CN103118962B - 移载*** - Google Patents

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Abstract

在横向移载时也将物品移载到载置台的规定位置。移载***（100）能够在沿铺设于顶棚的轨道（1）行走的同时输送被输送物（3）的输送车（2）和设置在比轨道更靠下方的载置台（4）之间以横向移载方式来移载被输送物。移载***具备存储部（101）和控制部（102）。存储部存储（ⅰ）表示进行将由输送车抓持的物品载置到载置台的规定位置上的载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息、及（ⅱ）表示进行输送车抓持载置台上的物品的抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息。控制部控制输送车，以便在进行载置动作的情况下、在载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在抓持位置信息的移载位置进行移载。

Description

移载***
技术领域
本发明涉及在搬运装置等输送车和上货口等载置台之间移载例如收容半导体元件制造用的各种基板的FOUP（Front Opening Unified Pod：前开式晶圆盒）等物品的移载***的技术领域。
背景技术
作为这种***而提出了悬吊输送设备（例如参照专利文献1）。在该设备中，对每个支承台设定了提升用位置调整量及降下用位置调整量。设备的工件机械手，在以悬吊状态使工件（即物品）升降时，相应于工件提升或工件降下的作业，以所设定的位置调整量，来进行处于悬吊状态的工件的位置调整。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-192269号公报
发明内容
发明要解决的课题
通过上述的专利文献1的***，能够进行在与配设在输送用行走体的行走路径正下方的上货口之间装卸工件的所谓纵向移载。但是，该***未对应在与相对于输送用行走体（换言之，行走路径）而配设在左右横向的上货口之间装卸工件的所谓横向移载。这是因为，无论怎么驱动专利文献1中的位置调整用横向移动台，都只不过是调整与行走路径正下方的上货口对置的位置调整用横向移动台的左右横向的偏移。
此处，根据本申请发明人的研究或实验的成果或经验，假设在专利文献1的***中进行横向移载的情况下、位置调整用横向移动台（以下仅称为“横向移动台”）向左右横向中的例如右方向移动，则横向移动台和与其下方连接的升降单元及工件机械手成为向右方向较大地伸出的状态。于是，根据该伸出程度，横向移动台由于升降单元及工件机械手的重量而挠曲，工件机械手及由其抓持的工件向以行走路径为轴的旋转的方向倾斜。尤其，在使工件降下（即载置）时，由于工件的重量而使横向移动台的挠曲变得显著，工件容易较大地倾斜。这样的工件的倾斜，就会对于横向移载时的工件的移载位置而产生偏移。因此，在进行横向移载的情况下，会具有不能够将工件移载到所期望的位置、很有可能使横向移载失败的技术问题。
本发明是鉴于上述的问题而作出的，其课题在于提供一种即使在横向移载时也能够将物品移载到所期望的位置的移载***。
用于解决课题的方案
为了解决上述的课题，本发明的一观点涉及的移载***具备：输送车，在沿着设置于顶棚的轨道行走的同时输送物品；以及载置台，设置在比轨道更靠下方并能够将物品载置到该载置台的规定位置。输送车具有能够进行抓持载置台上的物品的抓持动作和将物品载置到所述载置台的载置动作的移载部。移载部能够在输送车和载置台之间以横向移载方式来移载物品。移载***还具备存储部和控制部。存储部存储以下的（ⅰ）、（ⅱ）的信息。
（ⅰ）表示移载部进行载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息
（ⅱ）表示移载部进行抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息
控制部控制移载部，以便在进行载置动作的情况下、在所存储的载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在所存储的抓持位置信息的移载位置进行移载。
本发明的一观点涉及的输送车，例如为输送FOUP的OHT（OverheadHoist Transfer：高架提升传输装置）等，在与用于在半导体元件制造用的制造装置及储料器的内外进行存取的装载上货口、或设置在输送机上的暂存区等载置台之间，不仅能够以纵向移载方式、还能够以横向移载方式移载物品。此处，相对于在与设置在输送车主体的铅垂方向上的载置台之间移载FOUP的“纵向移载方式”，“横向移载方式”是表示能够沿与轨道的方向正交的横向移动FOUP、在与设置在输送车主体的横向上的载置台之间移载FOUP。即，表示经由使FOUP沿横向移动的工序来进行移载。
此处，如上述那样，在使FOUP沿输送车主体的横向移动的情况下，输送车主体的重心由于FOUP、抓持该FOUP的抓持部和使该抓持部沿铅垂方向、横向等移动的移动部的重量而偏移。此时，沿轨道行走的行走辊变形或移动部的一部分挠曲，从而输送车主体向以轨道的方向为轴中心而旋转的旋转方向倾斜。输送车主体的倾斜还会成为抓持部的倾斜，由其抓持的FOUP也会倾斜。如果想要以这样的倾斜状态、在不考虑该状态的移载位置进行横向移载，则FOUP以向载置台倾斜的状态被载置或者从载置台露出，从而会从预先设定在载置台上的位置（即规定位置）偏移。当FOUP从该规定位置偏移时，不得不停止半导体元件制造用的制造工序、该制造工序所包含的输送工序或该输送工序的一部分。反之，当为了在由这样的FOUP的倾斜（换言之，重量）所引起的移载动作（即载置动作）时（即，严格来说在使FOUP降下前）消除偏移而预先进行定位时，下次在没有FOUP的重量的抓持动作时（即，严格来说是在抓持FOUP前）就会产生偏移。
因此，在本发明的一观点涉及的移载装置中，在进行横向移载时控制输送车，以便无论在载置动作及抓持动作的哪个中，都会可靠地将FOUP载置到载置台的规定位置、或抓持处于该规定位置的FOUP。
根据本发明的一观点涉及的移载装置，ROM或存储器等存储部例如装备在输送车上。存储部存储与载置动作对应的载置位置信息及与抓持动作对应的抓持位置信息。ＣPU等控制部例如与存储部同样地装备在输送车上。控制部控制输送车，以从存储部读出与要执行的动作（即载置动作及抓持动作）对应的位置信息（即载置位置信息或抓持位置信息）、并在读出的位置信息的移载位置进行其动作。
这样，在进行载置动作的情况下，在载置位置信息的移载位置进行载置动作，在进行抓持动作的情况下，在抓持位置信息的移载位置进行抓持动作。即，在载置动作中，为了消除能够伴随着移载而产生的物品的偏移，而使移载位置与抓持动作的情况下不同。由此，能够与由物品的重量引起的移动部等的挠曲的大小无关地，进行将物品载置到载置台的规定位置即所期望的位置的横向移载。
另外，上述的作用效果（即，使移载位置在载置动作和抓持动作中不同，而将物品时常载置到所期望的位置），并不限定于横向移载方式下的移载，在纵向移载方式下的移载中也有效。这是因为，由于轨道、输送车中的行走辊、悬吊抓持部的一对带、及载置或抓持的物品的状态（例如轨道的变形、行走辊的倾斜、带长度的不同、FOUP重心的偏倚）等，即使在纵向移载中也很有可能由于载置动作和抓持动作而在移载位置上产生偏移。
另外，取代存储部及控制部装备在输送车上，而使其装备在集中控制该移载***的主控制部上。在这种情况下，主控制部例如具备：将输送车的认证码和输送车固有的位置信息建立对应而存储的存储单元即数据库、以及按照从该数据库读出的与载置动作或抓持动作对应的位置信息来控制输送车的控制单元即输送车控制部。
另外，该移载***能够具备多个输送车及多个载置台。
在本发明的一观点涉及的移载***的一个形态中，载置位置信息及抓持位置信息的每个被表示为，表示在多个输送车所通用的移载位置的通用数据和表示各输送车所固有的移载位置的机械误差数据之和。
此处，载置位置信息及抓持位置信息涉及的“通用数据”是表示多个载置台的每个中的多个输送车所通用的数据。该通用数据例如在载置位置信息及抓持位置信息的情况下相同。此外，“机械误差数据”是表示多个载置台的每个中的各输送车所固有的数据。该机械误差数据例如在载置位置信息及抓持位置信息的情况下不同。根据该形态，通过由通用数据及机械误差数据这两个数据构成载置位置信息及抓持位置信息的每个，例如，只要主要管理通用数据并将其定期地更新，就能够时常在存储单元中保持高精度的移载位置涉及的数据。此外，尤其能够使多个输送车所通用的通用数据的取得时间极短。在该移载***中，考虑到存在多个输送车及多个移载位置，这样缩短数据取得时间与移载时间的缩短相联系，在实践上极为有益。
在该形态中，载置位置信息的机械误差数据和抓持位置信息的机械误差数据之差，也可以相当于基于物品的移载位置上的倾斜程度及物品的高度的物品的偏移量。
此处，物品涉及的“倾斜程度”是表示处于移载位置的物品相对于载置台的倾斜角度。此外，关于物品涉及的“偏移量”，在进行纵向移载中的载置动作及抓持动作以及横向移载中的抓持动作时，将在移载位置上处于水平状态的物品的位置设为零点。在该情况下，“偏移量”表示从零点到进行横向移载中的载置动作时在移载位置上处于倾斜状态的物品的距离。这样的偏移量σ，例如能够通过下述（1）式，根据倾斜程度Φ及物品的高度h而唯一地算出。当特定这样的偏移量σ时，通过将表示偏移量σ的例如偏移量信息与机械误差数据中的抓持位置信息相加，来决定机械误差数据中的载置位置信息。
σ=h×sinΦ     （1）
如果这样构成，则作为机械误差数据，而由抓持位置信息及偏移量信息这两个数据构成，还能够将存储单元的数据容量抑制为最小限度。
在本发明涉及的移载***的其它形态中，移载部具备抓持部、铅垂移动部、横向水平移动部及旋转移动部。抓持部抓持及释放物品。铅垂移动部使抓持部能够沿铅垂方向升降。横向水平移动部使抓持部能够沿与轨道的方向正交的横向水平移动。旋转移动部使抓持部能够以铅垂轴为中心旋转。载置位置信息及抓持位置信息的每个表示轨道的方向、横向、铅垂方向及铅垂轴旋转方向这四个方向上的位置。
根据该形态，移载部使能够抓持物品的抓器等抓持部能够沿铅垂方向、横向及铅垂轴旋转方向这三个方向移动。载置位置信息及抓持位置信息的每个表示在三个方向上加上了轨道的方向的四个方向上的位置。关于四个方向上的位置，例如作为坐标，将抓持位置信息表示为（X**1，Y**1，Z**1，Θ**1），将载置位置信息表示为（X**2，Y**2，Z**2，Θ**2）。由此，能够以高精度构筑载置位置信息及抓持位置信息涉及的数据。
另外，在四个方向上的位置被表示为上述坐标的情况下，如果使上述偏移量信息为（σX，σY，σZ，σΘ），则载置位置信息及抓持位置信息的关系成为下述（2）式。
（X**2，Y**2，Z**2，Θ**2）=（X**1，Y**1，Z**1，Θ**1）＋（σX，σY，σZ，σΘ）      （2）
在本发明涉及的移载***的其它形态中，物品具有形成有凹部的底面，载置台具有形成有能够与凹部卡合的凸部的上表面，在载置动作中，通过凹部及凸部的卡合而将物品载置到将物品相对于载置台定位的规定位置上。
此处，物品涉及的“凹部”，是在物品的底面形成为倒V字形的例如被称为V形槽的凹陷，载置台涉及的“凸部”，是在载置台的上表面形成为能够与物品的凹部卡合的例如被称为活动销的突出物。在这些凹部和凸部处于卡合状态的情况下，成为将物品相对于载置台定位的定位状态。载置台涉及的“规定位置”是表示物品成为定位状态的位置。
将载置位置信息及抓持位置信息的每个表示为通用数据和机械误差数据之和的该移载***，也可以还具备在多个输送车之间相互示教通用数据的示教单元。
此处，至少包含基于无线或红外线等的通信单元的示教单元，例如与存储单元及控制单元同样地，装备在输送车上。示教单元通过分送存储单元存储的通用数据，而对其它输送车进行通用数据的示教。如果这样构成，则从一个输送车向多个输送车的示教变得容易，处于作为可通信区域的示教区域的全部输送车能够保持最新的通用数据。由此，能够在短时间内进行用于得知移载位置的载置位置信息及抓持位置信息的取得，能够缩短移载时间。
本发明的作用及其它利益根据接下来说明的用于实施的方式显而易见。
附图说明
图1是示意性地表示本发明的实施方式涉及的移载***的构成及该移载***中的输送车的结构的主视图。
图2是说明进行实施方式涉及的横向移载方式下的移载时的、图1的输送车的状态的主视图。
图3是表示在实施方式涉及的抓持动作时由图1的输送车抓持的物品的移载位置的主视图。
图4是说明在实施方式涉及的载置动作时由图1的输送车抓持的物品的移载位置的主视图。
图5是示意性地表示实施方式涉及的各种载置台的设置的俯视图。
图6是用于读出实施方式涉及的通用数据的表。
图7是用于读出实施方式涉及的机械误差数据的表。
图8A是表示本发明的机械误差数据的其它例的表。
图8B是表示本发明的机械误差数据的其它例的表。
图9是说明实施方式涉及的横向移载方式下的移载处理的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选的实施方式进行说明。
〈实施方式〉
〈实施方式的构成〉
首先，参照图1对本发明的实施方式涉及的移载***100的构成进行说明。此处，图1是示意性地表示移载***100的构成及移载***100中的搬运装置2的结构的主视图。
在图1中，移载***100构成为，包含在用于输送作为半导体元件制造用基板的FOUP3的输送***200中，并能够按照来自输送***200中的输送指示部201的指示信号而在搬运装置2和载置台4之间移载FOUP3。移载***100主要具备导轨1、搬运装置2、载置台4。
FOUP3作为本发明涉及的“物品”的一例，而具备成为搬运装置2抓持时的把手的凸缘3a。FOUP3在其下表面具有能够与载置台4的活动销4a卡合的V形槽3b（即本发明涉及的“凹部”的一例）。V形槽3b被用于FOUP3主体相对于载置台4的定位。
载置台4以制造装置上货口、UTB（Under Track Baffer：轨道下暂存区）及左右的STB(Side Table Baffer：侧台暂存区）之类的各种各样的方式而设置在比导轨1更靠下方。各载置台4在其上表面具备能够与FOUP3的V形槽3b卡合的活动销4a（即本发明涉及的“凸部”的一例）。活动销4a被用于FOUP3相对于载置台4的定位。
导轨1为本发明涉及的“轨道”的一例，铺设在设置输送***200的半导体元件制造工厂等建筑物内部的顶棚上。关于导轨1，其内部成为搬运装置2的行走路的一部分。关于导轨1的下表面，其中央部为了避开连接搬运装置2的行走部20和主体部的部位而开放。
搬运装置2为本发明涉及的“输送车”的一例，包括：行走部20；具备抓器21、升降机构22、横向机构23和旋转机构24的主体部；以及具备存储器101、搬运装置控制器102和收发部103的控制部。行走部20具备作为动力源的未图示的马达、和一对辊20a，通过由马达的动力来驱动一对辊20a，而由行走部20使主体部沿导轨1移动。
抓器21为本发明涉及的“抓持部”的一例，具备作为动力源的未图示的马达和一对钩爪21a。抓器21通过由马达的动力来驱动一对钩爪21a，而在抓持FOUP3的抓持状态和释放FOUP3的释放状态之间使一对钩爪21a位移。
升降机构22为本发明涉及的“铅垂移动部”的一例，具备作为动力源的未图示的马达、卷绕部22a、带22b。升降机构22通过由马达的动力来使卷绕部22a沿卷绕方向或放卷方向旋转，而进行一端被固定在抓器21的上表面的带22b的卷绕或放卷。这样，升降机构22使抓器21沿铅垂方向移动。
横向机构23为本发明涉及的“横向水平移动部”的一例，具备作为驱动源的未图示的马达和滑动部23a。横向机构23通过由马达的动力使滑动部23a沿与导轨1正交的横向（即图1中的左右方向）滑动，而使被固定在滑动部23a的下表面的升降机构22沿横向移动。
旋转机构24为本发明涉及的“旋转移动部”的一例，包含在升降机构22中，并具备作为驱动源的未图示的马达。旋转机构24通过由马达的动力使固定在旋转机构24主体的下表面的卷绕部22a沿以铅垂轴为中心的铅垂轴旋转方向旋转，而使经由卷绕部22a及带22b连接的抓器21沿铅垂轴旋转方向移动。
〈横向移载中的抓持动作及载置动作〉
此处，在说明存储器101、搬运装置控制器102及收发部103前，参照图2对移载***100中的横向移载进行说明。此处，图2是说明进行横向移载的搬运装置2的状态的主视图。
在移载***100中，在搬运装置2和载置台4之间，不仅将FOUP3纵向移载，还将其横向移载。在图2中，在搬运装置2进行横向移载的情况下，使滑动部23a滑动，使升降机构22沿横向移动。此时，由于沿横向移动了的升降机构22的重量，一对行走辊20a中远离升降机构22的一方脱离，并且接近升降机构22的另一方被按压向升降机构22侧而变形。此外，由于升降机构22的重量，横向机构23挠曲，搬运装置2主体就会倾斜。该倾斜方向为以导轨1为轴中心而旋转的轨道旋转方向，在升降机构22倾斜Φ1度的情况下，经由带22b而与升降机构22连结的抓器21及由抓器21抓持的FOUP3也成为倾斜了Φ1度的状态。并且，这样的倾斜，在相应于搬运装置2是空载（即要去取得FOUP3的情况）还是抓持有FOUP3（即要去降下FOUP3时）、即相应于FOUP3的重量、来决定抓器21或FOUP3的位置上，存在不能忽视的程度地不同。
存储器101为本发明涉及的“存储单元”的一例，存储有在搬运装置2和载置台4之间移载FOUP3时、表示抓器21应取得的位置即移载位置的数据。但是，该数据在进行从搬运装置2到载置台4的横向移载的载置动作时和进行从载置台4到搬运装置2的横向移载的抓持动作时而不同。
此处，参照图3及图4对抓持动作及载置动作进行说明。此处，图3是说明抓持动作时的移载位置的主视图，图4是说明载置动作时的移载位置的主视图。
在图3中，表示了作为右STB起作用的载置台4、处于相对该载置台4而被定位的位置（即本发明涉及的“规定位置”的一例，适宜地称为“定位位置”）的FOUP3、及处于抓持有该FOUP3的状态的抓器21。处于定位位置的FOUP3通常水平地载置在载置台4上。此外，在图3中，表示了抓器21相对于FOUP3（换言之，载置台4）的倾斜角度（即本发明涉及的“倾斜程度”的一例）Φ。在本实施方式中，在抓器21的中心和FOUP3的凸缘3a的中心处于同一铅垂线上的移载位置上，搬运装置2进行抓持FOUP3的抓持动作。即，即便不使不抓持FOUP3的抓器21向横向移动，也能够进行抓持动作。
在图4中，表示了作为右STB起作用的载置台4、要移载到该载置台4上的FOUP3、处于抓持有该FOUP3的状态的抓器21。此外，表示了FOUP3（换言之，抓器21）相对于载置台4的倾斜角度Φ1、FOUP3的高度h。在本实施方式中，将向横向（即图4中的箭头方向）移动根据倾斜角度Φ1及FOUP高度h算出的偏移量σY量的位置作为移载位置，搬运装置2进行将FOUP3载置到载置台4的定位位置的载置动作。
在假设以不进行向横向移动偏移量σY量的位置（即图4所示的状态）作为移载位置而进行了载置动作的情况下，FOUP3的V形槽3b的端部在铅垂方向上与载置台4的活动销4a的中央部对置，FOUP3会从载置台4的定位位置脱离而被载置。
因此，在下述（3）式中，为了将FOUP3载置到活动销4a的中央部和V形槽3b的中央部在铅垂方向上一致的定位位置，而算出FOUP3的横向上的偏移量σY。例如，在FOUP高度h为330mm、倾斜角度Φ1为0.5度的情况下，σY为2.9mm。
σY=h×sinΦ1   （3）
在本实施方式中，在进行抓持动作时，如果抓器21中心和凸缘3a中心处于同一铅垂线上，则不需要移载位置的变更，相对于此，在进行载置动作时，使移载位置错开基于FOUP3（换言之，抓器21）的倾斜角度Φ1及高度h的偏移量σY量。即，抓持动作时的移载位置和载置动作时的移载位置就会在横向上具有偏移量σY的差异。
与存储器101连接的搬运装置控制器102为本发明涉及的“控制单元”的一例，从存储器101读取与要执行的抓持动作或载置动作对应的数据，在读取的数据所表示的移载位置，执行应执行的抓持动作或载置动作。
与存储器101及搬运装置控制器102连接的收发部103为本发明涉及的“示教单元”的一例，在更新了记录在存储器101中的数据的情况下，将所更新的数据发送给其它搬运装置2。另一方面，接收从其它搬运装置2发送的更新数据。在这种情况下，搬运装置控制器102使存储器101存储所接收的更新数据。
〈表示移载位置的数据的结构〉
接着，参照图5～图7对表示移载位置的数据进行说明。此处，图5是说明该移载***中设置的各种载置台4的俯视图，图6及图7是说明存储器101中存储的数据的结构的表。
在图5中示出有，设置在导轨1的铅垂下方的制造装置上货口：A及B，以及UTB：A；设置在比导轨1更靠下方并且在其左横向的左STB：A；设置在导轨1的下方并且在其右横向的右STB：A。在本实施方式中，抓持动作时及载置动作时的各移载位置，由表示全部搬运装置2所通用的通用数据的坐标、和表示搬运装置2所固有的机械误差数据的坐标的和来表示。
在图6中表示了通用数据。通用数据表示将各载置台4和与各载置台4对应的通用坐标建立了关联的数据。在图7中表示了机械误差数据。机械误差数据表示将制造装置上货口、UTB及左右STB这四种载置台4、各种载置台4上的FOUP3的有无、和有FOUP3的情况及没有FOUP3的情况的机械误差坐标建立了关联的数据。此处，“没有FOUP”的情况表示以抓器21不抓持FOUP3的释放状态进行移载的抓持动作，“有FOUP”的情况表示以抓器21抓持FOUP3的抓持状态进行移载的载置动作。
在图6中，各个通用坐标及机械误差坐标，表示为导轨1的延伸方向上的位置X、横向上的位置Y、铅垂方向上的位置Z、及铅垂轴旋转方向上的位置或倾角Θ的这四个方向上的位置即坐标。此处，关于通用坐标（X**，Y**，Z**，Θ**）中的、赋予各方向上的位置的下标，位于左侧的第一下标表示了载置台的类别，是制造装置上货口“1”、UTB“2”、右STB“3”及左STB“4”中的任一个。此外，位于右侧的第二下标表示了载置台的识别码，是赋予各载置台4的“1”以上的数字。另一方面，关于机械误差坐标（X***，Y***，Z***，Θ***）中的、赋予各方向上的位置的下标，位于左侧的第一下标与通用坐标同样地表示了载置台的类别。位于中央的第二下标表示搬运装置2的识别码，是赋予各搬运装置2的“1”以上的数字。此外，位于右侧的第三下标表示了FOUP3的有无，是FOUP：有的情况下为“1”，FOUP3：没有时为“2”的数字。在这种情况下，例如关于制造装置上货口：A，抓持动作时的移载位置，以通用坐标（X1A，Y1A，Z1A，Θ1A）和机械误差坐标（X111，Y111，Z111，Θ111）之和来表示。此外，载置动作时的移载位置，以通用坐标（X1A，Y1A，Z1A，Θ1A）和机械误差坐标（X112，Y112，Z112，Θ112）之和来表示。
抓持动作时和载置动作时的FOUP3的偏移量σ表示为四个方向的坐标。此处，关于表示偏移量σ的坐标（σｘ*，σｙ*，σｚ*，σΘ*）中的、赋予各方向上的位置的下标，位于左侧的第一下标表示了X、Y、Z及Θ这四个方向中的任一个方向，位于右侧的第二下标表示制造装置上货口“1”、UTB“2”、右STB“3”及左STB“4”中的任一个载置台的类别。在这种情况下，例如关于制造装置上货口：A，抓持动作时和载置动作时的移载位置的差即偏移量σ为（σX1，σY1，σZ1，σΘ1）。
另外，关于机械误差数据，如图7所示，并非限定于表示分别与FOUP3的有无对应的机械误差坐标。例如，如图8A所示，关于机械误差数据，也可以是，在抓持动作时，换言之在FOUP：没有的情况下，将与基准搬运装置的差异表示为机械误差坐标（X111，Y111，Z111，Θ111），在载置动作时，换言之在FOUP：有的情况下，将与FOUP：没有时的机械误差坐标的差异表示为机械误差坐标（σX1，σY1，σZ1，σΘ1）。在这种情况下，例如关于制造装置上货口：A，抓持动作时的移载位置，以通用坐标（X1A，Y1A，Z1A，Θ1A）和机械误差坐标（X111，Y111，Z111，Θ111）之和来表示。此外，载置动作时的移载位置，通过将通用坐标（X1A，Y1A，Z1A，Θ1A）和抓持动作时的机械误差坐标（X111，Y111，Z111，Θ111）之和加上与偏移量σ相当的机械误差坐标（σX1，σY1，σZ1，σΘ1）来表示。
另一方面，例如，如图8B所示，关于机械误差数据，也可以是，在载置动作时，换言之在FOUP：有的情况下，将与基准搬运装置的差异表示为机械误差坐标（X112，Y112，Z112，Θ112），在抓持动作时，换言之在FOUP：没有的情况下，将与FOUP：有时的机械误差坐标的差异表示为机械误差坐标（σX1，σY1，σZ1，σΘ1）。在这种情况下，例如关于制造装置上货口：A，载置动作时的移载位置，以通用坐标（X1A，Y1A，Z1A，Θ1A）和机械误差坐标（X112，Y112，Z112，Θ112）之和来表示。此外，抓持动作时的移载位置，通过从通用坐标（X1A，Y1A，Z1A，Θ1A）和载置动作时的机械误差坐标（X112，Y112，Z112，Θ112）之和减去与偏移量σ相当的机械误差坐标（σX1，σY1，σZ1，σΘ1）来表示。
〈实施方式的动作〉
接着，参照图9对本发明的本实施方式涉及的移载***100的动作进行说明。此处，图9是表示移载***100中的移载处理的流程图。另外，移载***100中的全部搬运装置2经由收发部103而在搬运装置2间示教通用数据，时常保持最新的通用数据。
在图9中，搬运装置控制器102首先按照来自输送指示部201的指示信号，来判定要执行的动作是抓持动作还是载置动作（步骤S51）。在该判定的结果为抓持动作的情况下（步骤S51：抓持），从存储器101读取与作为移载目的地的一个载置台4建立关联的通用数据及机械误差数据，并根据所读取的这些数据来算出抓持动作时的移载位置（步骤S52）。于是，在算出的移载位置执行抓持动作（步骤S53）。由此，结束一系列的移载处理。
另一方面，在步骤S51的判定的结果为载置动作的情况下（步骤S51：载置），从存储器101读取与作为移载目的地的一个载置台4建立关联的通用数据及机械误差数据，并根据所读取的这些数据来算出载置动作时的移载位置（步骤S54）。于是，在算出的移载位置执行载置动作（步骤S55）。由此，结束一系列的移载处理。
根据本实施方式的移载处理，在进行抓持动作时，在与抓持动作对应的移载位置进行抓持动作，在进行载置动作时，在与载置动作对应的移载位置进行载置动作。即，在载置动作中，为了消除能够伴随着纵向移载或横向移载而产生的FOUP3的偏移，而使移载位置与抓持动作的情况下不同。由此，能够将FOUP3可靠地移载到载置台4的定位位置。
此外，由通用数据及机械误差数据这两个数据构成抓持动作时及载置动作时的各移载位置。通过这样构成，在移载***100中的全部搬运装置2间示教全部搬运装置2所通用的通用数据，并时常将其更新。由此，在各搬运装置2中，能够时常保持高精度的移载位置信息。由此，在移载动作前能够节约取得最新的通用数据的时间，能够将移载时间抑制为最小限度。
本发明并非限定于上述的实施方式，能够在不违反从整个权利要求书及说明书读取的发明的主旨或思想的范围内适宜地变更，伴随着这样的变更的移载***也包含在本发明的技术范围内。
标记说明
1    导轨
2    搬运装置
3    FOUP
4    载置台
100    移载***
101    存储器
102    搬运装置控制器
103    收发部

Claims (20)

1.一种移载***，具备：
输送车，在沿着设置于顶棚的轨道行走的同时输送物品；以及
载置台，设置在比所述轨道更靠下方，并能够将所述物品载置到该载置台的规定位置；
所述输送车具有能够进行抓持所述载置台上的所述物品的抓持动作和将所述物品载置到所述载置台的载置动作的移载部；
所述移载部具备：
抓持部，抓持及释放所述物品的被抓持部；
铅垂移动部，使所述抓持部能够沿铅垂方向升降；以及
横向水平移动部，使所述抓持部能够沿与所述轨道的方向正交的横向水平移动；
所述移载***还具备：
存储部，存储(ⅰ)表示所述移载部进行载置动作时的所述物品的移载位置的载置位置信息、和(ⅱ)表示所述移载部进行抓持动作时的所述物品的移载位置的抓持位置信息；以及
控制部，控制所述移载部，以便在进行所述载置动作的情况下、在所存储的载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行所述抓持动作的情况下、在所存储的抓持位置信息的移载位置进行移载；
所述抓持位置信息为，用于在由所述抓持部抓持被载置于所述载置台上的定位位置的物品时，以所述物品的被抓持部的中心与所述抓持部的中心处于同一铅垂线上的方式对所述抓持部进行定位的位置信息；
所述载置位置信息为，用于在将由所述抓持部抓持的物品载置到所述载置台上的定位位置时，将所述抓持部定位于从所述抓持位置信息示出的位置沿横向偏移基于所述物品的倾斜角度及所述物品的高度的偏移量的位置的位置信息。
2.如权利要求1所述的移载***，其中，
所述载置位置信息及所述抓持位置信息的每个被表示为，表示多个输送车所通用的移载位置的通用数据和表示各输送车所固有的移载位置的机械误差数据之和。
3.如权利要求2所述的移载***，其中，
所述载置位置信息的所述机械误差数据和所述抓持位置信息的所述机械误差数据之差，相当于基于所述移载位置上的所述物品的倾斜程度及所述物品的高度的所述物品的偏移量。
4.如权利要求1所述的移载***，其中，
所述移载部具备旋转移动部，该旋转移动部使所述抓持部能够以铅垂轴为中心旋转；
所述载置位置信息及所述抓持位置信息的每个表示所述轨道的方向、所述横向、所述铅垂方向及所述铅垂轴旋转方向这四个方向上的位置。
5.如权利要求2所述的移载***，其中，
所述移载部具备旋转移动部，该旋转移动部使所述抓持部能够以铅垂轴为中心旋转；
所述载置位置信息及所述抓持位置信息的每个表示所述轨道的方向、所述横向、所述铅垂方向及所述铅垂轴旋转方向这四个方向上的位置。
6.如权利要求3所述的移载***，其中，
所述移载部具备旋转移动部，该旋转移动部使所述抓持部能够以铅垂轴为中心旋转；
所述载置位置信息及所述抓持位置信息的每个表示所述轨道的方向、所述横向、所述铅垂方向及所述铅垂轴旋转方向这四个方向上的位置。
7.如权利要求1所述的移载***，其中，
所述物品具有形成有凹部的底面；
所述载置台具有形成有能够与所述凹部卡合的凸部的上表面；
在所述载置动作中，通过所述凹部及所述凸部的卡合而将所述物品载置到将所述物品相对于所述载置台定位的所述规定位置上。
8.如权利要求2所述的移载***，其中，
所述物品具有形成有凹部的底面；
所述载置台具有形成有能够与所述凹部卡合的凸部的上表面；
在所述载置动作中，通过所述凹部及所述凸部的卡合而将所述物品载置到将所述物品相对于所述载置台定位的所述规定位置上。
9.如权利要求3所述的移载***，其中，
所述物品具有形成有凹部的底面；
所述载置台具有形成有能够与所述凹部卡合的凸部的上表面；
在所述载置动作中，通过所述凹部及所述凸部的卡合而将所述物品载置到将所述物品相对于所述载置台定位的所述规定位置上。
10.如权利要求4所述的移载***，其中，
所述物品具有形成有凹部的底面；
所述载置台具有形成有能够与所述凹部卡合的凸部的上表面；
在所述载置动作中，通过所述凹部及所述凸部的卡合而将所述物品载置到将所述物品相对于所述载置台定位的所述规定位置上。
11.如权利要求5所述的移载***，其中，
所述物品具有形成有凹部的底面；
所述载置台具有形成有能够与所述凹部卡合的凸部的上表面；
在所述载置动作中，通过所述凹部及所述凸部的卡合而将所述物品载置到将所述物品相对于所述载置台定位的所述规定位置上。
12.如权利要求6所述的移载***，其中，
所述物品具有形成有凹部的底面；
所述载置台具有形成有能够与所述凹部卡合的凸部的上表面；
在所述载置动作中，通过所述凹部及所述凸部的卡合而将所述物品载置到将所述物品相对于所述载置台定位的所述规定位置上。
13.如权利要求2所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
14.如权利要求3所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
15.如权利要求5所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
16.如权利要求6所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
17.如权利要求8所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
18.如权利要求9所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
19.如权利要求11所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
20.如权利要求12所述的移载***，其中，
还具备在多个所述输送车之间相互示教所述通用数据的示教部。
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