CN102943252A - 一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器 - Google Patents

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蒲勇
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Abstract

本发明公开了一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、炉体中间设有一中心孔，中心孔的周围设有第一支架，炉体的周边设有第二支架，炉体上位于第一支架和第二支架之间设有第三支架；所述第一支架的头部上设有呈上下多层排列的发热丝卡槽，第二支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，第三支架的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝。由于炉体中心孔周围支架采用多层发热丝卡槽结构，可有效防止中心轴热量散失而影响温度均匀性，炉体周边支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，可有效防止热量向外散失而影响温度均匀性。

Description

一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器
技术领域
本发明属于加热器，具体涉及一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器。
背景技术
在用金属有机化学气相沉积设备（MOCVD）制备半导体薄膜材料时，所发生的化学反应都是在特定的温度环境下进行，温度均匀性直接影响薄膜的品质。为了适应市场对设备腔体直径不断增大的需求，加热器的直径也会相对增加，加热器随着直径的增加，设计难度将随之增加。现有的大直径加热器通常在炉体中部设有中心孔以便能够安装中心轴，驱动石墨高速旋获得更加均匀的加热效果。这种加热器存在的问题是，炉体中心孔和周边的发热丝散热较快，影响加热温度的均匀性，对加工产品的质量带来影响。
发明内容
本发明的目的是提供一种加热温度均匀的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器。
实现本发明目的采用的技术方案如下： 
本发明提供的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、炉体中间设有一中心孔，中心孔的周围设有第一支架，炉体的周边设有第二支架，炉体上位于第一支架和第二支架之间设有第三支架；所述第一支架的头部上设有呈上下多层排列的发热丝卡槽，第二支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，第三支架的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝。
所述第二支架的头部上边和外侧边分别设有3个横向排列的发热丝卡槽和2个或3个竖向排列的发热丝卡槽。
本发明加热器的炉体中心孔周围支架采用多层发热丝卡槽结构，可有效防止中心轴热量散失而影响温度均匀性，炉体周边支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，可有效防止热量向外散失而影响温度均匀性。
下面结合附图进一步说明本发明的技术方案。
附图说明
附图是本发明的结构示意图。
具体实施方式
见附图，可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括设有支脚11的圆形炉体、炉体包括上下设置的负电极板8和正电极板10，正电极板10和负电极板8通过连接部件15相互固定并绝缘，负电极板8设有负电极12，正电极板10设有正电极14，正电极板10和负电极板8之间设有固定板9，负电极板8通过支撑部件13设有反射板5，炉体中间设有一中心孔1，从中心孔1到周边分为A、B、C、D区(对于直径较小的炉体可只有A,B,C三区)，中心孔1周围的A区设有第一支架2，炉体周边的D区设有第二支架7，炉体上位于第一支架2和第二支架7之间的B、C区设有第三支架4；所述第一支架2的头部上设有呈上下两层排列的发热丝卡槽，第二支架7的头部上边和外侧边分别设有3个横向排列的发热丝卡槽和2个或3个竖向排列的发热丝卡槽，第三支架4的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝3，在使用时炉体的发热丝3上面设有石墨盘（或碳化硅盘或碳化硅包裹的石墨盘)6，石墨盘6由安装在中心孔1内的中心轴驱动旋转。

Claims (2)

1.一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、炉体中间设有一中心孔，其特征是中心孔的周围设有第一支架，炉体的周边设有第二支架，炉体上位于第一支架和第二支架之间设有第三支架；所述第一支架的头部上设有呈上下多层排列的发热丝卡槽，第二支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，第三支架的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝。
2.根据权利要求1所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述第二支架的头部上边和外侧边分别设有3个横向排列的发热丝卡槽和2个或3个竖向排列的发热丝卡槽。
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Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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