CN102825516A - 抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法 - Google Patents

Abstract

一种用于使抛光板自转和公转的装置，其可提高玻璃基板的抛光率，因为抛光板可同时自转和公转。

Description

抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法

相关申请的交叉引用

本申请要求根据35USC 119（a）享有2011年6月16日在韩国提交的韩国专利申请No.10-2011-0058532的优先权，该申请的全部内容通过引用方式纳入本文。

技术领域

本发明涉及一种用于使抛光板自转（rotation）和公转（revolution）的装置以及一种使用该装置的抛光板操作方法，更具体地，涉及一种用于使抛光板自转和公转的装置以及一种使用该装置的抛光板操作方法，所述装置和方法可通过允许抛光板自转和公转来提高玻璃基板的抛光率。

背景技术

通常，非常重要的是使应用于液晶显示器的玻璃基板保持其平面度（flatness）在某一水平，从而准确地呈现图像。因此，存在于玻璃基板的表面的细微的不均匀或起伏应通过抛光工艺去除。

玻璃基板的抛光工艺可分为将单独的玻璃基板逐个抛光的所谓“操作顺序控制阵列（Oscar）”法和连续抛光一系列玻璃基板的所谓“排队（inline）”法。抛光工艺还可分为仅对玻璃基板的一个表面抛光的“单面抛光”和对玻璃基板的两个表面都抛光的“双面抛光”。

参照图1，其示意性示出一个常规的玻璃基板抛光设备，在玻璃基板G通过托架4保持在下部板2上的状态中，抛光设备10将一个上部板（或抛光板）8——其中抛光垫6安装至该上部板（抛光板）——带至与所述玻璃基板G接触，并同时在转动所述抛光板8时在抛光板8和玻璃基板G之间供应抛光液，由此研磨所述玻璃基板G。对于此，通过使用形成在抛光板8中的多个狭缝8a以及安装在抛光板8上方的与所述抛光板8间隔开的一个位置处的软管3，抛光设备10借助自由降落供应抛光液体。

抛光板8借助从一个轴7传送的转动力转动。然而，由于仅抛光板8转动，在提高玻璃基板G的抛光率方面存在限制。

发明内容

本发明设计用于解决现有技术的问题，因此本发明的一个目的是提供一种能够允许抛光板（或轴）自转和公转的装置，以及使用该装置的抛光板操作方法。

本发明的另一目的是提供一种能够提高玻璃基板的抛光率的装置以及使用该装置的抛光板操作方法。

一方面，本发明提供了一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由所述圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合。在将一个驱动力传送至所述圆柱体构件（20）使得所述圆柱体构件（20）自转的情况下，所述轴（50）借助于偏心性（eccentricity）在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。

此时，在将一个驱动力传送至所述外部齿轮（62）以使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）可自转。

所述环齿轮（60）可通过使用来自一个自转马达传送的驱动力自转，所述圆柱体构件（20）可通过使用来自一个公转马达传送的驱动力自转。

另外，可在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比（reduction rate）。

此外，在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间可安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

同时，在另一方面，本发明还提供了一种使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中通过推动（force）连接至用于将玻璃基板抛光的抛光板的一个轴（50）自转和公转，使抛光板同时自转和公转。

上述方法中使用的所述装置可包括：一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由所述圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至所述抛光板；以及一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装以与所述轴齿轮（51）啮合。随着所述圆柱体构件（20）通过一个驱动力自转，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。另外，在将一个驱动力传送至所述外部齿轮（62）使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）自转。

用于所述自转的所述驱动力可由一个自转马达传送，用于所述公转的所述驱动力由一个公转马达传送，可在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比，以及在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

根据本发明的用于使抛光板自转和公转的装置以及使用该装置的抛光板操作方法产生下列效果。

首先，抛光板（或，轴）可同时自转和公转。

其次，通过允许抛光板（或，轴）同时自转和公转，可提高玻璃基板的抛光率。

附图说明

本发明的其他目的和方面将从下面参照附图对实施方案的描述中变得明了，在所述附图中：

图1是示出一个常规的玻璃基板抛光设备的侧视图；

图2是示出根据本发明的一个优选实施方案用于使抛光板自转和公转的装置的立体图；

图3是示出图2的装置中使用的公转单元的立体图；

图4是示出图2的装置中使用的圆柱体构件和轴的竖向截面图；

图5是示出图2的装置中使用的自转单元的立体图。

<参考标记>

20：圆柱体构件        21：公转马达

22、23、24：齿轮      25：中空部

26：外周缘齿轮        50：轴

51：轴齿轮            60：环齿轮

61：内部齿轮          62：外部齿轮

70：自转马达          71、72、73、74、75：齿轮

100：用于使抛光板自转和公转的装置

G:玻璃基板           d:偏心距离

具体实施方式

在下文，将参照附图详细描述本发明的优选实施方案。在描述之前，应理解在说明书和随附权利要求中使用的术语不应理解为限制于通常含义和字典含义，而是应根据允许发明人为最佳解释合适限定术语的原则，基于对应于本发明的技术方面的含义和概念被解释。因此，本文给出的描述只是仅为示例目的的优选示例，不意在限制本发明的范围，因此应理解在不偏离本发明的主旨和范围的情况下，可对本发明做出其他等同替换和修改。

图2是示出根据本发明的一个优选实施方案用于使抛光板自转和公转的装置的立体图。

参照图2，装置100包括用于使轴50公转的公转单元和用于使轴50自转的自转单元。

同时，轴50连接至一个抛光板8（参见图1）（图2中未示出）。从而，在本发明中，如果轴50自转，抛光板8也自转。另外，如果轴50公转，抛光板8也公转。此外，如果轴50同时自转和公转，抛光板8也同时自转和公转。因此，在本发明中，轴50的自转代表了抛光板8的自转，轴50的公转代表了抛光板8的公转。

公转单元包括：一个圆柱体构件20；一个公转马达21，用于提供允许所述圆柱体构件20自转的驱动力；以及多个齿轮22、23和24，用于将公转马达21的驱动力传送至圆柱体构件20。所述公转单元允许安装穿过所述圆柱体构件20的轴50基于圆柱体构件20的中心公转。

如图4中所示，圆柱体构件20包括沿该圆柱体构件的长度方向形成的中空部25、一个安装在该圆柱体构件的外周缘的外周缘齿轮26、以及用于支承所述轴50的轴承27。圆柱体构件20固定在框架30中。

所述中空部25沿圆柱体构件20的长度方向形成在圆柱体构件20中，所述外周缘齿轮26接收来自公转马达21的驱动力并自转。

轴承27支承安装穿过所述中空部25的所述轴50，使得轴50可自转。所述轴50被安装为偏离所述圆柱体构件20的中心一个预定距离d。从而，如果圆柱体构件20自转，轴50公转同时画一个半径为偏心距离d的圆。

公转马达21通过多个齿轮22、23和24将驱动力传送至外周缘齿轮26。多个齿轮22、23和24优选具有不同的齿数目，使得可降低公转马达21的转动速度（R.P.M.）。图3示出了三个齿轮22、23和24被安装为相互啮合，可按照多种方式改变齿轮的组合来获得想要的减速比。

自转单元允许所述轴50基于轴50的中心自转。如图5中所示，自转单元包括：一个轴50，具有安装至该轴的轴齿轮51；一个环齿轮60，安装用于与所述轴齿轮51啮合；一个自转马达70；以及多个齿轮71、72、73、74和75，用于将该自转马达70的驱动力传送至所述环齿轮60。

所述轴50沿所述圆柱体构件20的长度方向被安装在中空部25中。所述轴50被安装在偏离所述圆柱体构件20的中心一个预定距离d的位置。所述轴50被轴承27支承以能够自转。

轴齿轮51安装在所述轴50的外周缘，抛光板8（参见图1）（图5中未示出）安装在轴50的下端。

环齿轮60安装在圆柱体构件20的上侧。环齿轮60包括一个内部齿轮61和一个外部齿轮62，内部齿轮61形成在该环齿轮的内周缘，外部齿轮62形成在该环齿轮的外周缘。所述内部齿轮61被安装为与轴齿轮51啮合，所述外部齿轮62被安装为与所述齿轮75啮合。

环齿轮60和圆柱体构件20分开自转。换言之，环齿轮60通过自转马达70的驱动力自转，圆柱体构件20通过公转马达21的驱动力自转。

环齿轮60具有一个允许所述轴50同时自转和公转的内径（由环齿轮60的内周缘形成的直径）。换言之，轴50被安装在一个偏离圆柱体构件20的中心的位置并且公转，同时画一个半径为偏心距离d的圆。此时，环齿轮60具有如下一个内径，该内径保持所述轴50在如上所述公转时与内部齿轮61啮合，从而所述轴50可同时自转和公转。

自转马达70通过多个齿轮71、72、73、74和75将驱动力传送至外部齿轮62。所述多个齿轮71、72、73、74和75优选具有不同的齿数目，使得可降低自转马达70的转动速度（R.P.M.）。尽管图5示出了五个齿轮71、72、73、74和75被安装为相互啮合，但可按照多种方式改变齿轮的组合来获得想要的减速比。

现在，将描述根据本发明的优选实施方案的装置100的操作过程。该操作过程也指抛光板操作方法。同时，在该操作方法中，通过使用托架4（图1）将玻璃基板G（参见图1）放置在下部板2的上表面以及将抛光液供应在抛光板8和玻璃基板G之间是本领域众所周知的，此处将不再详细描述。

首先，如果自转马达70工作，所述自转马达70的驱动力通过多个齿轮71、72、73、74和75被传送至外部齿轮62，从而使所述环齿轮60自转。如果环齿轮60自转，与所述内部齿轮61啮合的轴齿轮51自转，从而使所述轴50自转。如图5中所示，如果环齿轮60沿逆时针方向（沿箭头方向，其在从上方观察时是逆时针方向）自转，则所述轴50也沿逆时针方向（沿箭头方向）自转。

同时，如果公转马达21工作，所述公转马达21的驱动力通过多个齿轮22、23和24传送至外周缘齿轮26，从而使所述圆柱体构件20自转。

如果圆柱体构件20自转，轴50绕圆柱体构件20的中心旋转同时画一个半径为偏心距离d的圆。此时，为了获得想要的减速比，可互换所述齿轮22、23和24来改变减速比。

如图3中所示，如果圆柱体构件20沿顺时针方向（沿箭头方向，该箭头方向在从上方观察时是顺时针方向）自转，轴50也沿顺时针方向（当从上方观察时）“公转”。

由于在轴齿轮51保持与内部齿轮61啮合时进行公转，因此在公转期间持续地进行自转。

如上所述，根据本发明的装置100可提高抛光率，因为公转马达21和自转马达70都工作使得抛光板8同时自转和公转。例如，根据本发明的装置100可将玻璃基板G的抛光率提高0.3μm/min以上。

同时，尽管已示例为公转马达21和自转马达70都工作使得轴50——也即，抛光板8——同时自转和公转，但在根据本发明的装置100中，在自转马达70处于关停状态的情况下，通过仅运行所述公转马达21可使抛光板8同时自转和公转。尽管自转马达70被关停，轴50也可自转，因为在轴50公转时所述轴齿轮51保持与内部齿轮61啮合。

另外，还可能的是，通过仅运行所述自转马达70并关停所述公转马达21来使所述抛光板8自转。这对于本领域普通技术人员而言是明了的，此处不再详细描述。

Claims (8)

1.一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：

一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；

一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及

一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，

其中，在将一个驱动力传送至所述圆柱体构件（20）以使得所述圆柱体构件（20）自转的情况下，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。

2.根据权利要求1所述的使抛光板自转和公转的装置，其中在驱动力传送至所述外部齿轮（62）使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）自转。

3.根据权利要求2所述的使抛光板自转和公转的装置，其中所述环齿轮（60）通过使用来自一个自转马达传送的驱动力自转，所述圆柱体构件（20）通过使用来自一个公转马达传送的驱动力自转。

4.根据权利要求3所述的使抛光板自转和公转的装置，其中在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

5.根据权利要求3所述的使抛光板自转和公转的装置，其中在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

6.一种使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中通过推动连接至用于将玻璃基板抛光的抛光板的一个轴（50）自转和公转，使所述抛光板同时自转和公转。

7.根据权利要求6所述的使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中所述装置包括：

一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；

一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至所述抛光板；以及

一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，

其中，随着所述圆柱体构件（20）通过一个驱动力自转，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的，以及

其中，在将一个驱动力传送至所述外部齿轮（62）以使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）自转。

8.根据权利要求7所述的使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，

其中用于所述自转的驱动力由一个自转马达传送，以及用于所述公转的驱动力由一个公转马达传送，以及

其中在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比，以及在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

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