CN102822110A - 玻璃板的制造方法及制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种玻璃板的制造方法，其具备：由熔融玻璃成形平板玻璃的成形工序；将所述成形后的平板玻璃切折成规定的尺寸的玻璃板的切折工序；将在所述切折后的玻璃板的表面上附着的异物除去的异物除去工序；及通过对该玻璃板的表面进行研磨而将所述异物除去工序后的玻璃板的表面的损伤除去的研磨工序。

Description

玻璃板的制造方法及制造装置
技术领域
本发明涉及具有异物除去工序的玻璃板的制造方法及制造装置，其中该异物除去工序高效率地将附着在玻璃板的表面上的异物除去。
背景技术
在液晶显示器等中使用的FPD（Flat Panel Display：平板显示器）用的玻璃基板如下所述制造：利用被称为浮法的玻璃制法将熔融玻璃成形为板状的厚度约0.1~2.8mm的薄板，并通过专利文献1等公开的连续式的研磨装置，将所述薄板表面的微小的凹凸、波纹研磨除去，从而满足液晶显示器等所要求的平坦度。
在这种连续式研磨装置中，如专利文献2记载那样，一般利用自转及公转的研磨垫（研磨用具）来研磨玻璃基板。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本国特开2007-190657号公报
专利文献2：日本国特开2001-293656号公报
发明内容
玻璃板例如通过以下所示的方法制造。首先，将玻璃原料向熔化槽投入而得到熔融玻璃。得到的熔融玻璃通过浮法、下拉法等而成形为规定的宽度的连续的带状的玻璃带，在缓冷炉中缓冷。缓冷后的带状的平板玻璃在由清洗装置清洗之后，通过切折装置切断成规定的尺寸的玻璃板。
在成形后的带状的平板玻璃的表面上，在缓冷炉中的缓冷时、缓冷炉-切折装置之间的搬运时、及在切折装置的切断时可能会附着碎玻璃、粉尘等异物。
由于这些异物的尺寸为几μm~几十μm，因此若利用上述那样的研磨装置研磨并除去，则与通常相比研磨时间增大，成为生产性下降的原因。而且，存在除去的异物向研磨料浆混入而将研磨料浆的循环***污染这样的问题点。
本发明鉴于这种情况而作出，其目的在于提供一种具有异物除去工序的玻璃板的制造方法及制造装置，其中该异物除去工序用于高效率地将附着在玻璃板的表面上的异物除去。
为了实现所述目的，本发明的玻璃板的制造方法具备：由熔融玻璃成形平板玻璃的成形工序；将所述成形后的平板玻璃切折成规定的尺寸的玻璃板的切折工序；将附着于所述切折后的玻璃板的表面上的异物除去的异物除去工序；及通过对该玻璃板的表面进行研磨而将所述异物除去工序后的玻璃板的表面的损伤除去的研磨工序。
根据本发明，由于在研磨工序的前工序中具备异物除去工序，在该异物除去工序中，将附着在玻璃板的表面上的异物除去，利用研磨工序将除去异物时产生的玻璃板的表面的损伤研磨除去，因此能够高效率地除去附着在玻璃板的表面上的异物。
为了实现所述目的，本发明的玻璃板的制造装置具备：由熔融玻璃成形平板玻璃的成形单元；将所述成形后的平板玻璃切折成规定的尺寸的玻璃板的切折单元；异物除去单元，使异物除去垫以规定的接触压力与所述切折后的玻璃板的表面抵接而滑动，由此将附着于该玻璃板的表面上的异物除去；及通过对该玻璃板的表面进行研磨而将所述异物除去后的玻璃板的表面的损伤除去的研磨单元。
根据本发明，由于使用异物除去垫将附着在玻璃板的表面上的异物除去，利用研磨单元将除去异物时产生的玻璃板的表面的损伤研磨除去，因此能够高效率地除去附着在玻璃板的表面上的异物。
本发明的所述异物除去垫优选具有多层结构，该多层结构包括由弹性体构成的缓冲层、和层叠于该缓冲层且与所述玻璃板的表面抵接的固定磨粒层。
根据本方式，利用异物除去垫的缓冲层，能够使固定磨粒层与玻璃板之间的接触压力成为适当的压力，从而能够将固定磨粒层的磨粒引起的玻璃板的表面的损伤抑制成最小限度。
本发明的所述固定磨粒层优选在与所述玻璃板抵接的面上以规定的规则排列有包含粒径10μm以下的磨粒的多棱锥状或多棱台状的多个突起物，所述突起物的高度大致相同且为10~200μm的范围，密度为5~200个/mm2。根据本方式，能够将附着在玻璃板的表面上的异物适当地除去。需要说明的是，所述突起物的高度更优选为20~150μm的范围，密度更优选为5~100个/mm2。
本发明的所述磨粒优选为氧化铝磨粒。根据本方式，能够更适当地除去附着在玻璃板的表面上的异物。
本发明的所述缓冲层优选由聚氨酯泡沫构成。根据本方式，能够简单地将固定磨粒层与玻璃板之间的接触压力形成为适当的压力。
在本发明的所述固定磨粒层与所述缓冲层之间优选夹设A硬度为60以上且厚度为50μm~200μm的中间层。根据本方式，通过在固定磨粒层与缓冲层之间夹设所述中间层，而能够使固定磨粒层与玻璃板之间的接触压力为一定，也能够将异物的除去保持为一定。
本发明的所述异物除去单元优选具备旋转单元，通过利用该旋转单元使所述异物除去垫旋转，从而将附着于所述玻璃板的表面上的异物除去。根据本方式，能够顺畅地除去附着在玻璃板的表面上的异物。
本发明的所述异物除去单元优选具备多个异物除去垫列，该异物除去垫列沿着与玻璃板的搬运方向正交的方向将多个异物除去垫以规定的间隔排列而形成，通过将各异物除去垫列的异物除去垫配置在沿玻璃板搬运方向观察下相邻的异物除去垫列的异物除去垫间的间隙内，而沿着与玻璃板的搬运方向正交的方向连续地配置异物除去垫。根据本方式，由于异物除去单元的固定磨粒层与玻璃板的整个面接触，因此能够无遗漏地将附着在玻璃板上的异物除去。
本发明的异物除去单元优选具备通过向玻璃板的表面供给清洗液而冲洗除去了的异物的单元。根据本方式，能够通过水或一般的玻璃清洗用的洗涤剂溶液等清洗液对除去后的异物进行冲洗，从而能够防止因除去后的异物对玻璃板造成的损伤。
发明效果
根据本发明的玻璃板的制造方法及制造装置，能够高效率地将附着在玻璃板的表面上的异物除去。
附图说明
图1是表示玻璃板的制造流程的图。
图2是在成形工序中使用的成形装置的结构图。
图3是表示清洗装置的主要部分的立体图。
图4（a）及4（b）是表示异物除去垫的配置的俯视图。
图5（a）及5（b）是从清洗装置的玻璃板的搬运方向观察到的侧视图。
图6是异物除去垫的立体图。
图7（a）及7（b）是固定磨粒薄膜的表面放大图。
具体实施方式
以下，根据附图，说明本发明的玻璃板的制造方法及制造装置的优选实施方式。需要说明的是，在本实施方式的玻璃板的制法中，对浮法进行说明，但本发明也可以适用于流孔下引法、溢流下拉法、再曳引法、提拉法等。
图1是表示本实施方式的玻璃板的制造流程的图。
玻璃板经过使用浮法来成形平板玻璃的成形工序（S1）、将成形后的平板玻璃切折成规定的尺寸的玻璃板的切折工序（S2）、对切折后的玻璃板的表面进行清洗的清洗工序（异物除去工序）（S3）、对清洗后的玻璃板的表面进行研磨的研磨工序（S4）、检查研磨后的玻璃基板的损伤的有无、表面的平坦度、板厚等的检查工序（S5）、将检查合格的玻璃基板收纳于规定的容器而进行包装的包装工序（S6），从而出库（S7）。这里，将研磨后的玻璃板称为玻璃基板。
<成形工序（S1）>
图2表示在成形工序中使用的成形装置10的结构图。成形装置10构成为具备熔融炉11、澄清槽12、金属液槽13、及缓冷炉14。
在熔融炉11中熔融后的熔融玻璃在澄清槽12内被澄清而除去气泡。该熔融玻璃被导入到积存有熔融锡的金属液槽13内，在熔融锡上扩展而成形为规定的厚度的玻璃带。
该玻璃带在向缓冷炉14的方向施加的延伸力的作用下，被拉伸且向金属液槽13的下游方向成为一定宽度的玻璃带而前进。然后，玻璃带在由缓冷炉14的搬运辊搬运的过程中被缓冷，除去在成形时产生的变形等而成为带状的平板玻璃。
<切折工序（S2）>
带状的平板玻璃利用金刚石玻璃刀等在表面加入划线，在该划线产生应力，由此割断成规定的尺寸的玻璃板100。
<清洗工序（异物除去工序）（S3）>
在切折工序（S2）中，被割断成规定的尺寸的玻璃板100由未图示的搬运单元向清洗装置（异物除去单元）30搬运。
图3是表示清洗装置30的主要部分的立体图。如该图所示，清洗装置30主要包括下侧搬运辊31、异物除去垫32、上侧搬运辊33、清洗垫34。需要说明的是，关于上侧搬运辊33、清洗垫34，仅图示一部分。而且，清洗装置30具备向玻璃板100的上下表面喷射高压的清洗液的未图示的喷射单元。需要说明的是，在本发明中，“上方”是指铅垂上方，“下方”是指铅垂下方。
下侧搬运辊31具备在其旋转中心由轴承312支承为旋转自如的旋转轴311。而且，上侧搬运辊33也同样地具备由未图示的轴承支承为旋转自如的旋转轴331。该旋转轴311及旋转轴331在未图示的驱动单元的作用下旋转，从而使下侧搬运辊31及上侧搬运辊33旋转。下侧搬运辊31及上侧搬运辊33夹持玻璃板100并旋转，向图3的箭头方向搬运玻璃板100。玻璃板100优选以1~20m/分的速度被搬运，更优选以5~15m/分的速度被搬运。
异物除去垫32以其表面按照规定的压力与所搬运的玻璃板100的底面相接的方式分别安装于平台321。而且，平台321由旋转轴322支承，旋转轴322在未图示的驱动单元的作用下旋转（自转），从而使异物除去垫32的表面滑动拂拭玻璃板100的底面。需要说明的是，旋转轴322既可以由1个驱动单元使多个旋转轴322连动旋转，也可以对于每个旋转轴322来设置驱动单元，并使它们分别独立旋转。
同样地，清洗垫34以按照规定的压力与所搬运的玻璃板100的顶面（底面的相反侧的表面）相接的方式分别安装于底座341。底座341由旋转轴342支承，旋转轴342在未图示的驱动单元的作用下旋转（自转），从而清洗垫34的表面滑动拂拭玻璃板100的顶面。关于旋转轴342，也与旋转轴322同样地，既可以使多个旋转轴342连动旋转，也可以分别独立旋转。
需要说明的是，在本实施方式中，使异物除去垫32及清洗垫34分别以约300rpm的速度旋转，但旋转速度只要适当决定即可。
在清洗装置30中，在玻璃板100的宽度方向的整个区域上，由以规定的间隔配置成大致直线状的多个异物除去垫32构成的异物除去垫列以与玻璃板100的搬运方向正交的方式配置多列。
该配置成多列的异物除去垫32以如下方式沿着与玻璃板100的搬运方向正交的方向错开规定量配置，所述方式为在使各列的异物除去垫32向玻璃板100的搬运方向投影时，在投影垫之间不产生间隙。即，将各异物除去垫32配置在沿玻璃板搬运方向观察下相邻的异物除去垫列的异物除去垫32之间的间隙内，而沿着与玻璃板100的搬运方向正交的方向在玻璃板搬运方向观察下连续配置。通过如此配置，能够将玻璃板100的整个面的异物除去，并能够实现异物除去时间的均一化。
图4（a）是表示将异物除去垫32相对于玻璃板100的搬运方向配置两列时的异物除去垫32的配置的俯视图，图中的箭头表示玻璃板100的搬运方向。这种情况下，例如，将直径100mm的异物除去垫32在每1列配置19个，并且将第二列相对于第一列错开50mm左右进行配置。通过如此配置，能够均一地清洗宽度2.5m的玻璃板100的整个面，能够实现异物除去时间的均一化。
另外，图4（b）是表示将异物除去垫相对于玻璃板100的搬运方向配置三列时的异物除去垫32的配置的俯视图。这种情况下，例如，将直径100mm的异物除去垫32在每1列配置12或13个，并且将第一列相对于第二列沿着与玻璃板100的搬运方向正交的方向错开50mm左右，将第三列相对于第二列向所述方向的反方向错开50mm左右进行配置。通过如此配置，能够均一地清洗宽度2.5m的玻璃板100的整个面，能够实现异物除去时间的均一化。
需要说明的是，异物除去垫32的尺寸、排列的列数及玻璃板的尺寸并不局限于本实施方式的数值，只要以能够均一地对整个面进行异物除去的方式适当决定即可。
图5（a）是表示图4（a）所示的将异物除去垫32相对于玻璃板100的搬运方向配置两列时的从玻璃板100的搬运方向观察到的异物除去垫32和清洗垫34的配置的侧视图。
如图5（a）所示，异物除去垫32与清洗垫34以上下成为一组的方式相对地设置多组。而且，构成一组的异物除去垫32和清洗垫34沿着与玻璃板100的搬运方向正交的方向错开规定量而配置。而且，异物除去垫32及清洗垫34构成为能够调整上下方向的位置，以便于能够调整相对于玻璃板100的接触压力。接触压力的调整机构既可以构成为能够对于每个垫来调整，也可以够成为能够对于异物除去垫列来调整。
图5（b）是表示图4（b）所示的将异物除去垫32配置成三列时的从玻璃板100的搬运方向观察到的异物除去垫32和清洗垫34的配置的侧视图。与配置成两列的情况同样地，异物除去垫32与清洗垫34以上下成为一组的方式相对设置多组，构成一组的异物除去垫32和清洗垫34沿着与玻璃板100的搬运方向正交的方向错开规定量而配置。
图6是异物除去垫32的立体图。如该图所示，异物除去垫32形成为圆盘状，具有包括固定磨粒层323和聚氨酯层（缓冲层）324的多层结构。
固定磨粒层323形成于与玻璃板100抵接的面，包括固定磨粒薄膜平坦形状部323a和固定磨粒薄膜R形状部323b。
图7（a）是固定磨粒薄膜平坦形状部323a的表面的剖视放大图，图7（b）是俯视放大图。如该图所示，在固定磨粒薄膜平坦形状部323a的表面形成有多个大致同一形状及尺寸的三棱锥状的异物除去用突起物320，规则正确地排列。异物除去用突起物320优选其高度S为10~200μm，三棱锥的一边的长度P为0.05~0.5mm，排列间距Q为0.1~3mm，排列的行的宽度R为0.1~3mm。尤其是更优选S为20~150μm，P为0.1~0.3mm，Q为0.1~1.5mm，R为0.1~1.5mm。而且，每1mm2的异物除去用突起物320的个数优选为5~200个，更优选为10~150个。
异物除去用突起物320由粒径为10μm以下的研磨磨粒与粘合剂的混合物构成。研磨磨粒可以使用碳化硅、金刚石，但更优选使用氧化铝磨粒。这是因为，若使用粒径大于10μm的研磨磨粒与粘合剂的混合物，或使用比氧化铝磨粒硬的碳化硅、金刚石，则容易损伤玻璃板。其中更优选粒径为5μm以下的氧化铝磨粒，特别优选0.5~5μm的氧化铝磨粒。而且，作为粘合剂，可以使用环氧树脂材料、丙烯酸树脂材料。
需要说明的是，在本实施方式中，异物除去用突起物320形成为三棱锥状，但突起物的形状并未限定于此，也可以是多棱锥、圆锥、三棱台、多棱台、圆锥台、三棱柱、多棱柱、圆柱状。此外，也可以使上述的形状混杂。
通过使用这种固定磨粒薄膜平坦形状部323a，能够适当地除去在玻璃板100的表面上附着的异物。
另外，在固定磨粒层323设有固定磨粒薄膜R形状部323b，该固定磨粒薄膜R形状部323b在外周具有规定的角度的锥形，以便于使由下侧搬运辊31及上侧搬运辊33搬运来的玻璃板100容易夹入到异物除去垫32与清洗垫34之间。固定磨粒薄膜R形状部323b的R形状优选为R2~R6，更优选为R3~R5。
固定磨粒层323压接在规定的厚度的聚氨酯层324上。聚氨酯层324在固定磨粒层323与玻璃板100抵接时起到作为弹性缓冲材料的作用，由具有表1的品质特征的聚氨酯泡沫构成。
[表1]
  项目   规格值
  密度   60±15(kg/m3)
  硬度   20±5(kN/m2)
  单元数   60±15(个/25mm)
  拉伸强度   150以上(kPa)
  延伸   70以上(％)
  通气性   50±15(升/分钟)
这些数据基于以下的方法而能够得到。
密度：JISK7222（2005年）
硬度：JISK6400-2（2004年）
拉伸强度：JISK6400-5（2004年）
延伸：JISK6400-5（2004年）
通气性：JISK6400-7（2004年）
聚氨酯层324以使固定磨粒层323相对于玻璃板100按照后述的适合的接触压力抵接的方式选择适合作为弹性缓冲材料的材质、厚度。聚氨酯层324通过设置在与层叠有固定磨粒层323的面相反侧的面上的未图示的保持单元，而安装在由氯乙烯树脂形成的平台321上。
另外，也可以在固定磨粒层323与聚氨酯层324之间进一步夹设由聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚乙烯（PE）等形成的后板（中间层）325。在固定磨粒层323与玻璃板100的接触压力变得不均一时，虽然降低聚氨酯层324的硬度是有效的，但这种情况下，存在异物的除去能力降低的倾向。作为对策，通过进而追加后板325，能够使所述接触压力一定，而且，也能够将异物的除去能力保持为一定。后板325的A硬度优选为60以上，厚度优选为50μm~200μm。若A硬度小于60或厚度小于50μm，则难以维持异物的除去能力，反之当厚度超过200μm时，难以将接触压力保持为一定。
说明如此构成的清洗装置30的动作。清洗装置30将从切折工序（S2）搬运来的玻璃板100由下侧搬运辊31及上侧搬运辊33以约10m/分的速度搬运。异物除去垫32及清洗垫34预先以约300rpm的速度开始旋转。
玻璃板100利用在异物除去垫32的外周设置的锥形，而顺畅地夹入到异物除去垫32及清洗垫34之间。异物除去垫32及清洗垫34在维持旋转的状态下，以规定的接触压力来夹持玻璃板100。此外，利用喷射单元向玻璃板100的上下表面喷射水。
异物除去垫32对玻璃板100的底面进行滑动拂拭，对底面进行清洗并将附着在底面上的异物除去。同样地，清洗垫34对玻璃板100的顶面进行滑动拂拭，对顶面进行清洗。被除去后的污垢、异物等由基于喷射单元的高压水流进行冲洗，由此防止除去后的异物等对玻璃板100产生损伤。
此时的玻璃板100与异物除去垫32的接触压力优选成为0.01~20kPa。当接触压力比0.01kPa弱时，无法将附着在玻璃板100表面上的异物除去，而当接触压力比20kPa大时，异物除去垫32的异物除去用突起物320对玻璃板100的损伤变深，存在在下一工序的研磨工序（S4）中为了将该损伤除去所需的时间增大这样的问题。
该接触压力根据异物除去垫32向玻璃板100的压入量和异物除去垫32的聚氨酯层324的硬度，而设定为所希望的值。在本实施方式中，压入量设定为约0.5~1.5mm，接触压力设定为约2~10kPa。需要说明的是，在本说明书中，压入量是指异物除去垫32的固定磨粒薄膜平坦形状部323a表面与玻璃板100的底面相接的位置为0mm，从该位置开始将异物除去垫32向玻璃板100的底面压入的量。
通过如此进行清洗，而能够适当地除去在玻璃板100的底面上附着的碎玻璃、粉尘等异物。
需要说明的是，在本实施方式中，使用水作为从喷射单元喷射的清洗液，但也可以喷射一般的玻璃清洗用的洗涤剂溶液。
另外，在本实施方式中，将异物除去垫32安装成与玻璃板100的底面相接，但本发明并未限定于此，只要将异物除去垫安装在顶面及底面中的至少一个面上即可。即，也可以在利用安装在底面侧的异物除去垫将附着在玻璃板的底面上的异物除去之后，接着利用安装在顶面侧的异物除去垫将附着在该玻璃板的顶面上的异物除去。
<研磨工序（S4）>
在清洗工序（S3）之后，由未图示的搬运单元连续搬运的玻璃板100在研磨工序（S4）中，由研磨用具对研磨对象面进行研磨。研磨用具具有比玻璃板100的宽度大的直径，通过自转/公转机构来使规定的旋转中心绕着中心旋转，并使规定的公转中心绕着中心公转，并同时研磨玻璃板100的宽度整个区域。
由于清洗工序（S3）的异物除去垫32的滑动拂拭而在玻璃板100的底面及顶面中的至少一个面上产生的损伤通过该研磨工序（S4）除去。
研磨后的玻璃板100此后被清洗，将在研磨后的玻璃板100的表面上附着的研磨料浆、研磨玻璃屑和其他的异物等去除之后，作为玻璃基板而向检查工序（S5）搬运。
<检查工序（S5）~出库工序（S7）>
在研磨工序（S4）中将底面研磨后的玻璃基板在检查工序（S5）中检查有无损伤、表面的平坦度、板厚等。检查合格的玻璃基板在包装工序（S6）中收纳于规定的容器，进行包装。包装后的玻璃基板在出库工序（S7）中向规定的出库处出库。
所制造的玻璃板100并未限定为平板显示器用，也可列举建筑用、太阳能电池用或车辆用等各种用途。
详细地且参照特定的实施方式说明了本发明，但不脱离本发明的范围和精神而能够施加各种修正、变更的情况对于本领域技术人员来说不言自明。
本申请基于2010年4月8日提出申请的日本专利申请2010-089570，并将其内容作为参照而包含于此。
标号说明
10…成形装置，11…熔融炉，12…澄清槽，13…金属液槽，14…缓冷炉，30…清洗装置，31…下侧搬运辊，32…异物除去垫，323…固定磨粒层，323a…固定磨粒薄膜平坦形状部，323b…固定磨粒薄膜R形状部，324…聚氨酯层，33…上侧搬运辊，34…清洗垫，100…玻璃板，311、322、331、342…旋转轴，320…异物除去用突起物，321…平台，341…底座

Claims (10)

1.一种玻璃板的制造方法，其具备：
由熔融玻璃成形平板玻璃的成形工序；
将所述成形后的平板玻璃切折成规定的尺寸的玻璃板的切折工序；
将附着于所述切折后的玻璃板的表面上的异物除去的异物除去工序；及
通过对该玻璃板的表面进行研磨而将所述异物除去工序后的玻璃板的表面的损伤除去的研磨工序。
2.一种玻璃板的制造装置，其具备：
由熔融玻璃成形平板玻璃的成形单元；
将所述成形后的平板玻璃切折成规定的尺寸的玻璃板的切折单元；
异物除去单元，使异物除去垫以规定的接触压力与所述切折后的玻璃板的表面抵接而滑动，由此将附着于该玻璃板的表面上的异物除去；及
通过对该玻璃板的表面进行研磨而将所述异物除去后的玻璃板的表面的损伤除去的研磨单元。
3.根据权利要求2所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述异物除去垫具有多层结构，该多层结构包括由弹性体构成的缓冲层、和层叠于该缓冲层且与所述玻璃板的表面抵接的固定磨粒层。
4.根据权利要求3所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述固定磨粒层在与所述玻璃板抵接的面上以规定的规则排列有包含粒径10μm以下的磨粒的多棱锥状或多棱台状的多个突起物，所述突起物的高度大致相同且为10~200μm的范围，密度为5~200个/mm2。
5.根据权利要求4所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述磨粒是氧化铝磨粒。
6.根据权利要求3~5中任一项所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述缓冲层由聚氨酯泡沫构成。
7.根据权利要求3~6中任一项所述的玻璃板的制造装置，其中，
在所述固定磨粒层与所述缓冲层之间夹设A硬度为60以上且厚度为50μm~200μm的中间层。
8.根据权利要求2~7中任一项所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述异物除去单元具备旋转单元，通过利用该旋转单元使所述异物除去垫旋转，从而将附着于所述玻璃板的表面上的异物除去。
9.根据权利要求2~8中任一项所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述异物除去单元具备多个异物除去垫列，该异物除去垫列沿着与玻璃板的搬运方向正交的方向将多个异物除去垫以规定的间隔排列而形成，
通过将各异物除去垫列的异物除去垫配置在沿玻璃板搬运方向观察下相邻的异物除去垫列的异物除去垫间的间隙内，而沿着与玻璃板的搬运方向正交的方向连续地配置异物除去垫。
10.根据权利要求2~9中任一项所述的玻璃板的制造装置，其中，
所述异物除去单元具备通过向玻璃板的表面供给清洗液而冲洗除去了的异物的单元。
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