CN102812275B - 流体控制器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流体控制器，能够以简单结构对其开闭状态进行视觉确认。外壳(3)以在上方开口的方式形成，在阀杆(7)位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳(3)的开口露出的方式在阀杆(7)上端部设置活塞(8)。

Description

流体控制器

技术领域

本发明涉及流体控制器，尤其涉及一种能够使流体通路的开闭状态被视觉确认的流体控制器。

背景技术

作为流体控制器而公知有如下的流体控制器，其具有：设有流体通路的主体；设置在主体的上方的外壳；对流体通路进行开闭的阀体；通过上升或下降而使阀体向开方向或闭方向移动的阀杆；设置在阀杆上的活塞；和驱动活塞的活塞驱动机构，由于在这种流体控制器中，无法从外部观察到开闭状态，所以，在专利文献1中提出了一种具有开闭显示功能的流体控制器。

专利文献1：日本特开2000-9254号公报

在专利文献1的流体控制器中，需要大量用于实现开闭显示功能的部件，而使流体控制器变得复杂，另外，还具有成本提高的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够以简单结构对其开闭状态进行视觉确认的流体控制器。

本发明的流体控制器具有：设有流体通路的主体；设置在主体的上方的外壳；对流体通路进行开闭的阀体；通过上升或下降而使阀体向开方向或闭方向移动的阀杆；设置在阀杆上的活塞；和驱动活塞的活塞驱动机构，其特征在于，外壳以在上方开口的方式形成，在阀杆位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳的开口露出的方式在阀杆上端部设置活塞。

流体控制器是例如称为气体控制阀的开闭阀，但并不限定于此。

在使用这种流体控制器时，通常，阀杆、活塞等由设有顶壁的外壳覆盖，因此开闭状态无法从外部观察到。但是，在使用本发明的流体控制器时，上下移动的活塞的上端部从外壳的开口露出，通过对活塞的状态进行视觉确认而能够得知其开闭状态。例如，在当阀杆位于上方位置时从外壳的开口露出、而阀杆位于下方位置时收纳在外壳内的活塞的部分上，通过预先画上标记线等的显示，能够判断出若能看到该显示则为“打开”，若看不到则为“闭合”，无需使用除此之外的开闭显示部件，就能很容易地从外部确认流体控制器的开闭状态。

活塞的个数可以是一个，也可以是多个。在活塞为多个的情况下，位于最上方的活塞以使活塞上端部从外壳的开口露出的方式设置，而其他活塞收纳在外壳内。

活塞驱动机构是通过使驱动气体(例如压缩气体)作用于活塞而使阀杆移动的结构，也可以是使阀杆分别向上方及下方移动的结构，另外，与压缩螺旋弹簧等弹性部件并用，由弹性部件对阀杆进行弹压以使其位于常开位置或常闭位置上，活塞驱动机构也可以是抵抗弹性部件的弹压力而使阀杆移动的结构。

本发明的流体控制器适于优选为通过限位开关确认其开闭状态的用途。即，通过使活塞的上端部从外壳的开口露出，在使用该流体控制器时，易于安装能够对活塞位置进行检测的限位开关，由此，能够提高使用该流体控制器的各种控制装置的控制精度。

在阀杆位于下方位置时的流体通路闭合状态下，可以使活塞的上端面与外壳的上端面相比向上方突出，在阀杆位于下方位置时的流体通路闭合状态下，也可以使活塞的上端面与外壳的上端面成为同一个面。从便于视觉确认的点来看，后者更为优选。

流体控制器可以是所谓的双活塞式，在阀杆的中间部也设有活塞，在设于阀杆上端部的活塞上设有贯穿孔，在该贯穿孔下部***有阀杆上端部，将贯穿孔上部作为驱动气体导入部，并且，在各活塞的下方形成有驱动气体导入室，在阀杆内部，形成有从驱动气体导入部向下方延伸的轴向通路以及从轴向通路向各驱动气体导入室连通的径向通路。这样，能够简化活塞驱动机构的结构并高精度地进行阀杆的移动。

流体控制器可以是所谓的单活塞式，活塞仅在阀杆上端部设置有一个，阀杆由与活塞一体设置的上半部和与该上半部螺合的下半部构成，在活塞的下方形成有驱动气体导入室，并且，在活塞上部设有在上方开口的驱动气体导入部，与驱动气体导入部相连的轴向通路以及从轴向通路向驱动气体导入室连通的径向通路形成在活塞下部及阀杆上端部。在这种情况下，也能简化活塞驱动机构的结构并高精度地进行阀杆的移动。

在单活塞式及双活塞式的任一情况下，设置在活塞上的驱动气体导入部通过实施螺纹加工而形成，由此，在外壳上无需用于形成驱动气体导入部的螺纹加工，使外壳的制作变得容易。

此外，在本说明书中，上下为附图的上下(以主体侧为下，以外壳侧为上)，但是，该上下是为了便于说明，也可以使上下相反，或使上下变成左右来使用。

发明效果

根据本发明的流体控制器，外壳以上方开口的方式形成，在阀杆位于上方位置时，以使活塞上端部从位置的开口露出的方式在阀杆上端部设有活塞，因此，通过对活塞的状态进行确认，能够进行开闭状态的视觉确认。

附图说明

图1是表示本发明的流体控制器的第一实施方式的闭合状态的垂直剖视图。

图2是表示其打开状态的垂直剖视图。

图3是表示本发明的流体控制器的第二实施方式的闭合状态的垂直剖视图。

图4是表示同一实施方式的打开状态的垂直剖视图。

图5是表示本发明的流体控制器的第三实施方式的闭合状态的垂直剖视图。

图6是表示同一实施方式的打开状态的垂直剖视图。

附图标记说明

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，上下指的是图的上下。

图1及图2示出了本发明的流体控制器的第一实施方式，流体控制器1具有：设有流体流入通路2a及流体流出通路2b的主体2；设置在主体2的上方的外壳3；设置在流体流入通路2a的周缘的环状阀座4；相对于环状阀座4被推压或分离从而对流体通路2a进行开闭的隔膜(阀体)5；将隔膜5向下方推压的隔膜推压件6；配置在外壳3内且通过上升或下降而使隔膜5向开方向或闭方向移动的阀杆7；设于阀杆7上的上下两层的活塞(上侧的第一活塞8及下侧的第二活塞9)；将阀杆7向下弹压的压缩螺旋弹簧(弹性部件)10；和驱动第一及第二活塞8、9的活塞驱动机构11。

外壳3由固定在主体2上的下部外壳21、和通过连接件23而与下部外壳21结合的上部外壳22构成。

阀杆7由两个部件(轴杆24及轴杆活塞25)形成。轴杆24由在上部设有内螺纹部的轴部24a、和设置在轴部24a的下端部的凸缘部24b构成，并使凸缘部24b的下表面与隔膜推压件6相抵接。阀杆活塞25由下端部与轴杆24的轴部24a螺合的轴部25a、和与轴部25a的中间部一体形成的凸缘部25b构成。凸缘部25b上形成有第二活塞9，轴杆24与轴杆活塞25的轴部25a组合，而构成阀杆7。

活塞驱动机构11是为了使阀杆7向上方移动而使驱动气体作用于各活塞8、9的机构，用于上述目的的上侧的第一驱动气体导入室26以及下侧的第二驱动气体导入室27形成在各活塞8、9的下方。

将下部外壳21与上部外壳22结合的连接件23形成为，具有贯穿孔的环状并在外周上形成有外螺纹，该贯穿孔能够使阀杆7上下移动且供其流体密封地穿插。在下部外壳21的上端部及上部外壳22的下端部上，形成有与连接件23的外螺纹螺合的内螺纹部，下部外壳21从下侧且上部外壳22从上侧分别与连接件23螺合，从而将下部外壳21与上部外壳22相互对接而结合。由此，在连接件23的上方及下方，分别形成有第一活塞8及第二活塞9的移动空间。而且，第一活塞8以使其下表面与连接件23的上表面相对的方式，能够在上部外壳22内上下移动地配置，第二活塞9以其上表面与连接件23的下表面相对的方式，能够在下部外壳21内上下移动地配置。

在第一活塞8的外周与上部外壳22之间设有O型环31，另外，在第二活塞9的外周与下部外壳21之间也设有O型环32。在连接件23的内周与阀杆7的外周之间也设有O型环33。另外，在连接件23的上端部未设有外螺纹，而在连接件23的上端部与上部外壳22之间设有O型环34。由此，第一活塞8以能够在上部外壳22内上下移动的方式配置，并且，通过向形成在第一活塞8与连接件23之间的第一驱动气体导入室26导入驱动气体，而承受向上的力；第二活塞9以能够在下部外壳21内上下移动的方式配置，并且，通过向形成在第二活塞9与下部外壳21的向内凸缘部28之间的第二驱动气体导入室27导入驱动气体，而承受向上的力。

在下部外壳21内周的中央部分形成有能够使阀杆7上下移动且使其经由O型环35而流体密封地穿插的向内凸缘部28。通过使该向内凸缘部28的上表面与第二活塞9的下表面相对，而形成有第二驱动气体导入室27。另外，压缩螺旋弹簧10通过该向内凸缘部28和阀杆24的凸缘部24b而承接。

在阀杆7(轴杆活塞25的轴部25a)的上端部设有外螺纹部，并且，在第一活塞8上设有贯穿孔8a，在贯穿孔8a的下部设有与阀杆7的上端部螺合的内螺纹部，阀杆7与第一活塞8使阀杆7上端部***到第一活塞8的贯穿孔8a下部而螺合，由此结合。

上部外壳22以在上方开口的方式形成，在阀杆7位于上方位置时，以使活塞上端部从上部外壳22的开口露出的方式在阀杆7上端部设置第一活塞8。

第一活塞8的贯穿孔8a的上部被设为能够与导入驱动气体的配管连接的驱动气体导入部41。而且，在阀杆7内部形成有从驱动气体导入部41向下方延伸的轴向通路42、和从轴向通路42中间部向第一驱动气体导入室26连通的径向通路44。由此，驱动气体导入部41被设有一个，且从该驱动气体导入部41向各驱动气体导入室26、27流入驱动气体。

在未向各驱动气体导入室26、27导入驱动气体的状态下，阀杆7由于压缩螺旋弹簧10的弹压力而位于闭合位置(下方位置)，与此相随，第一活塞8也位于下方位置。若向各驱动气体导入室26、27导入驱动气体，则阀杆7抵抗压缩螺旋弹簧10的弹压力，而向上方移动，与此相随，第一活塞8也向上方位置移动。这样，上下移动的第一活塞8的上端部从外壳3的开口露出，由此，通过对第一活塞8的状态进行确认，而能够得知流体控制器1的开闭状态。

另外，通过使第一活塞8的上端部从外壳3的开口露出，而能够在该流体控制器1的使用者一侧安装能够对第一活塞8的位置进行检测的限位开关。进一步地，相对于以往将顶壁设置在外壳上并在其上设置驱动气体导入部的情况，而在上述流体控制器1中，在第一活塞8上设有驱动气体导入部41，因此使外壳3的形成变得容易。

在上述中，由于第一活塞8的上端部不仅在阀杆7位于上方位置时，而且在其位于下方位置时也(即在流体流入通路2a打开时和闭合时)从外壳3的开口露出，所以为了得知流体控制器1的开闭状态，需要设置标记线，但是，如下所示，在阀杆57位于下方位置时的流体通路闭合状态下，使第一活塞58的上端面与外壳53的上端面成为同一个面，由此，使流体控制器1的开闭状态的确认变得更容易。

图3及图4表示本发明的流体控制器的第二实施方式，流体控制器51具有：设有流体流入通路52a及流体流出通路52b的主体52；设置在主体52的上方的外壳53；设置在流体流入通路52a的周缘的环状阀座54；相对于环状阀座54被推压或分离从而对流体通路52a进行开闭的隔膜(阀体)55；将隔膜55向下方推压的隔膜推压件56；配置在外壳53内且通过上升或下降而使隔膜55向开方向或闭方向移动的阀杆57；设于阀杆57上的上下两段的活塞(上侧的第一活塞58及下侧的第二活塞59)；将阀杆57向下弹压的压缩螺旋弹簧(弹性部件)60；和驱动第一及第二活塞58、59的活塞驱动机构61。

外壳53由固定在主体52上的下部外壳71、和通过连接件73而与下部外壳71结合的上部外壳72构成。

阀杆57由两个部件(轴杆74及轴杆活塞75)形成。轴杆74由在上部设有内螺纹部的轴部74a、和设置在轴部74a的下端部的凸缘部74b构成，使凸缘部74b的下表面与隔膜推压件56相抵接。阀杆活塞75由下端部与阀杆74的轴部74a螺合的轴部75a、和与轴部75a的中间部一体形成的凸缘部75b构成。凸缘部75b上形成有第二活塞59，轴杆74与轴杆活塞75的轴部75a组合，而构成阀杆57。

活塞驱动机构61是为了使阀杆57向上方移动而使驱动气体作用于各活塞58、59的机构，用于上述目的的上侧的第一驱动气体导入室76以及下侧的第二驱动气体导入室77形成在各活塞58、59的下方。

将下部外壳71与上部外壳72结合的连接件73形成为具有贯穿孔的环状并在外周形成有外螺纹，该贯穿孔能够使阀杆57上下移动且供其流体密封地穿插。在下部外壳71的上端部及上部外壳72的下端部上，形成有与连接件73的外螺纹螺合的内螺纹部，下部外壳71从下侧且上部外壳72从上侧分别与连接件73螺合，从而使下部外壳71与上部外壳72相互对接而结合。由此，在连接件73的上方及下方，分别形成有第一活塞58及第二活塞59的移动空间。而且，第一活塞58以使其下表面与连接件73的上表面相对的方式，能够在上部外壳72内上下移动地配置，第二活塞59以使其上表面与连接件73的下表面相对的方式，能够在下部外壳71内上下移动地配置。

在第一活塞58的外周与上部外壳72之间设有O型环31，另外，在第二活塞59的外周与下部外壳71之间也设有O型环32。在连接件73的内周与阀杆57的外周之间也设有O型环33。另外，在连接件73的上端部未设有外螺纹，而在连接件73的上端部与上部外壳72之间设有O型环34。由此，第一活塞58以能够在上部外壳72内上下移动的方式配置，并且，通过向形成在第一活塞58与连接件73之间的第一驱动气体导入室76导入驱动气体，而承受向上的力，第二活塞59以能够在下部外壳71内上下移动的方式配置，并且，通过向形成在第二活塞59与下部外壳71的向内凸缘部78之间的第二驱动气体导入室77导入驱动气体，而承受向上的力。

在下部外壳71内周的中央部分形成有能够使阀杆57上下移动且使其经由O型环35而流体密封地穿插的向内凸缘部78。通过使该向内凸缘部78的上表面与第二活塞59的下表面相对，而形成有第二驱动气体导入室77。另外，压缩螺旋弹簧60通过该向内凸缘部78和阀杆74的凸缘部74b而承接。

在阀杆57(轴杆活塞75的轴部75a)的上端部设有外螺纹部，并且，在第一活塞58上设有贯穿孔58a，在贯穿孔58a的下部设有与阀杆57的上端部螺合的内螺纹部，阀杆57与第一活塞58使阀杆57上端部***到第一活塞58的贯穿孔58a下部而螺合，由此结合。

上部外壳72以在上方开口的方式形成，在图3所示的阀杆57位于下方位置(流体流入通路52a为闭合状态)时，第一活塞58的上端面与上部外壳72的上端面成为同一个面，并且，在图4所示的阀杆57位于上方位置(流体流入通路52a为打开状态)时，以使活塞上端部从上部外壳72的开口露出的方式在阀杆57上端部设置第一活塞58。

第一活塞58的贯穿孔58a的上部被设为能够与导入驱动气体的配管连接的驱动气体导入部81。而且，在阀杆57内部形成有，从驱动气体导入部81向下方延伸的轴向通路82、从轴向通路82中间部向第一驱动气体导入室76连通的径向通路83、以及从轴向通路82下端部向第二驱动气体导入室77连通的径向通路84。由此，驱动气体导入部81被设有一个，且从该驱动气体导入部81向各驱动气体导入室76、77流入驱动气体。

在未向各驱动气体导入室76、77导入驱动气体的状态下，阀杆57由于压缩螺旋弹簧60的弹压力而位于闭合位置(下方位置)，与此相随，第一活塞58也位于下方位置。若向各驱动气体导入室76、77导入驱动气体，则阀杆57抵抗压缩螺旋弹簧60的弹压力，而向上方移动，与此相随，第一活塞58也向上方位置移动。这样，上下移动的第一活塞58的上端部除了在闭合位置上与外壳53的上端面正好成为同一个面之外，会从外壳53的开口露出，由此，通过对第一活塞58的状态进行确认，从而能够得知流体控制器51的开闭状态。

这样，在本实施方式中，如图3所示，在阀杆57位于下方位置时的流体流入通路52a闭合状态下，第一活塞58的上端面与外壳53(上部外壳72)的上端面成为同一个面，由此更加明确了与图4所示的阀杆57位于上方位置(流体流入通路52a为打开状态)时的差异，从而使流体控制器1的开闭状态的确认变得更容易。

另外，通过使第一活塞58的上端部从外壳53的开口露出，能够在该流体控制器51的使用者一侧安装能够对第一活塞58的位置进行检测的限位开关。进一步地，相对于以往将顶壁设置在外壳上并在其上设有驱动气体导入部的情况，在上述流体控制器51中，在第一活塞58上设有驱动气体导入部81，因此使外壳53的形成变得容易。

图5及图6表示本发明的流体控制器的第三实施方式，流体控制器91具有：设有流体流入通路92a及流体流出通路92b的主体92；设置在主体92的上方的外壳93；设置在流体流入通路92a的周缘的环状阀座94；相对于环状阀座94被推压或分离从而对流体通路92a进行开闭的隔膜(阀体)95；将隔膜95向下方推压的隔膜推压件96；配置在外壳93内且通过上升或下降而使隔膜95向开方向或闭方向移动的阀杆97；设置在阀杆97上端部的活塞98；将阀杆97向下弹压的压缩螺旋弹簧(弹性部件)99；和驱动活塞98的活塞驱动机构100。

外壳93由固定在主体92上的下部外壳101、和与下部外壳101结合的上部外壳102构成。

在主体92上，设有在外周形成有外螺纹部的筒状上方突出部92a，在下部外壳101的中间部，设有凸缘部101a。而且，通过螺合在主体92的上方突出部92a上的盖形螺母103将凸缘部101a向下方推压，而将下部外壳101固定在主体92上。

上部外壳102具有嵌合在下部外壳101的上端部附近的向内凸缘部102a。在下部外壳101的外周，在与凸缘部101a相比位于上方位置上设有层差部101b，在上部外壳102的向内凸缘部102a内周设置的层差部102b由下部外壳101的层差部101b承接。上部外壳102的上端部与下部外壳101的向内凸缘部102a相比向上方突出，通过在该突出的部分上嵌合扣环107，而使上部外壳102与下部外壳101结合。

阀杆97由两个部件(轴杆104及轴杆活塞105)形成。轴杆104由在上部设有内螺纹部的轴部104a、和设置在轴部104a的下端部的凸缘部104b构成，使凸缘部104b的下表面与隔膜推压件96相抵接。轴杆活塞105由下端部与轴杆104的轴部104a螺合的轴部105a、和与轴部105a的上端部一体形成的凸缘部105b构成。凸缘部105b上形成有活塞98，轴杆活塞105的轴部(与活塞一体设置的阀杆上半部)105a与轴杆(与阀杆上半部105a螺合的阀杆下半部)104组合，而构成阀杆97。

活塞驱动机构100是为了使阀杆97向上方移动而使驱动气体作用于活塞98的机构，用于上述目的的驱动气体导入室106在形成活塞98的下方。将上部外壳102的与向内凸缘部102a相比上方的部分作为活塞98的移动空间。而且，活塞98以使其下表面与上部外壳102的向内凸缘部102a的上表面相对的方式，能够在上部外壳102内上下移动地配置。

在活塞98的外周与上部外壳102之间设有O型环31，另外，在下部外壳101与阀杆97的外周之间也设有O型环33。另外，在下部外壳101与上部外壳102之间也设有O型环36。由此，活塞98以能够在上部外壳102内上下移动的方式配置，并且，通过向形成在活塞98与上部外壳102的向内凸缘部102a之间的驱动气体导入室106导入驱动气体，而承受向上的力。

压缩螺旋弹簧99由轴杆104的凸缘部104b和设置在下部外壳101上的层差部承接。

上部外壳102以在上方开口的方式形成，在图5所示的阀杆97位于下方位置(流体流入通路92a为闭合状态)时，活塞98的上端面与上部外壳102的上端面成为同一个面，并且，在图6所示的阀杆97位于上方位置(流体流入通路92a为打开状态)时，以使活塞上端部从上部外壳102的开口露出的方式在阀杆97上端部设置活塞98。

在活塞98上设有贯穿孔98a，贯穿孔98a的上部是能够与导入驱动气体的配管连接的驱动气体导入部111。而且，在从活塞98下端部至阀杆97上端部的内部，形成有从驱动气体导入部111向下方延伸的短的轴向通路112，在阀杆97上端部的内部，形成有从轴向通路112下端部向驱动气体导入室106连通的径向通路113。由此，从驱动气体导入部111向驱动气体导入室106流入驱动气体。

在未向驱动气体导入室106导入驱动气体的状态下，阀杆97由于压缩螺旋弹簧99的弹压力而位于闭合位置(下方位置)，与此相随，活塞98也位于下方位置。若向驱动气体导入室106导入驱动气体，则阀杆97抵抗压缩螺旋弹簧99的弹压力，并向上方移动，与此相随，活塞98也向上方位置移动。这样，上下移动的活塞98的上端部除了在闭合位置上与外壳93的上端面正好成为同一个面之外，会从外壳93的开口露出，由此，通过对活塞98的状态进行确认，从而能够得知流体控制器91的开闭状态。

这样，在本实施方式中，如图5所示，在阀杆97位于下方位置时的流体流入通路92a闭合状态下，活塞98的上端面与外壳93(上部外壳102)的上端面成为同一个面，由此更加明确了与图6所示的阀杆97位于上方位置(流体流入通路92a为打开状态)时的差异，从而使流体控制器91的开闭状态的确认变得更容易。

另外，通过使活塞98的上端部从外壳93的开口露出，能够在该流体控制器91的使用者一侧安装能够对活塞98的位置进行检测的限位开关。进一步地，相对于以往将顶壁设置在外壳上并在其上设有驱动气体导入部的情况，在上述流体控制器91中，在活塞98上设有驱动气体导入部111，因此使外壳93的形成变得容易。

工业上的利用可能性

根据本发明，通过将用于从外部确认流体控制器的开闭状态的结构设为简单的结构，从而能够降低其成本，并能够扩大能够从外部很容易地确认开闭状态的流体控制器的使用范围。

Claims (2)

1.一种流体控制器，其具有：设有流体通路的主体；设置在主体的上方的外壳；对流体通路进行开闭的阀体；通过上升或下降而使阀体向开方向或闭方向移动的阀杆；设置在阀杆上的活塞；和驱动活塞的活塞驱动机构，其特征在于，

外壳以在上方开口的方式形成，在活塞的下部外周与外壳之间设有O型环，由此在活塞的下面形成有构成活塞驱动机构的驱动气体导入室，在阀杆位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳的开口露出的方式在阀杆上端部设置活塞，由此，用于使阀杆移动的活塞兼用作表示开闭状态的部件，

活塞包括设有O型环的主体、和设于主体上端部并从外壳露出的周缘，

外壳由固定在主体上的下部外壳和与下部外壳结合的上部外壳构成，下部外壳与上部外壳通过连接件结合，活塞由设在阀杆上端部的上层活塞和设在阀杆的中间部的下层活塞构成，在连接件的上方形成有上层活塞的移动空间，且在连接件的下方形成有下层活塞的移动空间，在上层活塞上设有贯穿孔，在该贯穿孔下部***有阀杆上端部，将贯穿孔上部作为能够与导入驱动气体的配管连接的驱动气体导入部，并且，在各活塞的下方形成有驱动气体导入室，在阀杆内部，形成有从驱动气体导入部向下方延伸的轴向通路以及从轴向通路向各驱动气体导入室连通的径向通路，

将阀杆向闭方向弹压的压缩螺旋弹簧由设于下部外壳的向内凸缘部和设于阀杆下端部的凸缘部承接。

2.一种流体控制器，具有：设有流体通路的主体；设置在主体的上方的外壳；对流体通路进行开闭的阀体；通过上升或下降而使阀体向开方向或闭方向移动的阀杆；设置在阀杆上的活塞；和驱动活塞的活塞驱动机构，其特征在于，

外壳以在上方开口的方式形成，在活塞的下部外周与外壳之间设有O型环，由此在活塞的下面形成有构成活塞驱动机构的驱动气体导入室，在阀杆位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳的开口露出的方式在阀杆上端部设置活塞，由此，用于使阀杆移动的活塞兼用作表示开闭状态的部件，

在阀杆位于下方位置时的流体通路闭合状态下，活塞的上端面与外壳的上端面成为同一个面，

外壳由固定在主体上的下部外壳和与下部外壳结合的上部外壳构成，下部外壳与上部外壳通过连接件结合，活塞由设在阀杆上端部的上层活塞和设在阀杆的中间部的下层活塞构成，在连接件的上方形成有上层活塞的移动空间，且在连接件的下方形成有下层活塞的移动空间，在上层活塞上设有贯穿孔，在该贯穿孔下部***有阀杆上端部，将贯穿孔上部作为能够与导入驱动气体的配管连接的驱动气体导入部，并且，在各活塞的下方形成有驱动气体导入室，在阀杆内部，形成有从驱动气体导入部向下方延伸的轴向通路以及从轴向通路向各驱动气体导入室连通的径向通路，

将阀杆向闭方向弹压的压缩螺旋弹簧由设于下部外壳的向内凸缘部和设于阀杆下端部的凸缘部承接。