CN102402173A

CN102402173A - 钟表用齿轮和钟表

Info

Publication number: CN102402173A
Application number: CN2011102712242A
Authority: CN
Inventors: 麦岛胜也
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2010-09-14
Filing date: 2011-09-14
Publication date: 2012-04-04
Also published as: CH703781A2; JP2012063162A

Abstract

本发明提供一种高质量的钟表用齿轮和钟表，该钟表用齿轮能够高效地制造以实现低成本化，并且具有精细且高精度的外形形状，并且耐磨损性高、工作可靠性高。钟表用齿轮(130)具备通过光刻法技术形成为齿轮状的齿轮部(132)，齿轮部由能够实施光刻法的材料且与硅(Si)相比硬度及韧性高的材料形成。

Description

钟表用齿轮和钟表

技术领域

本发明涉及一种钟表用齿轮和具有该钟表用齿轮的钟表。

背景技术

在以机械式钟表为代表的钟表中，使用了非常多的钟表用齿轮。这种钟表用齿轮根据用途形成为各种形状，而且通过复杂地组合来传递动力。以往，这种钟表用齿轮主要通过冲裁加工等机械加工进行制造，而近年采用的方法是利用微机电***(MEMS：Micro Electro Mechanical Systems)技术之一的光刻法(photolithography)技术来进行制造。因为与机械加工相比，上述方法的加工精度更高，并且即使是复杂的外形形状也能够高精度地进行制造。

因此，作为利用光刻法技术来进行制造的方法之一，公知有这样的方法：利用通过光刻法制造的电铸模具进行电铸，将该电铸件作为钟表用齿轮。

但是，该方法耗费在电铸上的工序增加，从而难以进行高效率的制造。此外，镍等电铸材料具有硬度低(维氏硬度Hv为800以下)、耐磨损性差的特性。

因此，如图6所示，有必要进行二次加工，即在钟表用齿轮100的末端部形成成为油槽部的台阶部101。

特别是，钟表用齿轮由于滑动次数多，因此要求高耐磨损性，为了进一步提高耐磨损性并指示更准确的时间，期待今后能够进一步改善耐磨损性。然而，在采用上述的电铸的方法的情况下，需要向油槽部注油，并且各油槽部的保油性会产生偏差而有可能无法确保良好的耐磨损性。

另一方面，作为利用光刻法技术的另一方法，还公知有这样的方法：采用为半导体材料的硅(Si)作为母材，利用光刻法将硅的母材直接形成外形来作为钟表用齿轮。

在该情况下，由于与上述的情况不同，不需要进行电铸，因此能够省略耗费于电铸上的工序。然而，硅具有硬度高(维氏硬度Hv为数千)而韧性却非常低(韧性值约为0.9)的特性，如直接仅采用母材的话，则作为钟表用齿轮难以确保充分的耐磨损性。

因此，在采用硅作为母材的情况下，通常，实施表面处理以形成保护膜，通过该保护膜来对母材进行保护，从而提高耐磨损性。

作为这种表面处理，公知有如下方法等，即实施热氧化处理来包覆保护膜的方法(参见专利文献1)、或实施物理蒸镀处理(PVD：Physical Vapor Deposition)来包覆保护膜的方法。

通过这样的表面处理而包覆的保护膜硬度非常高，例如还能够形成示出维氏硬度Hv为1500～3000这样高数值的保护膜。因此，作为钟表用齿轮，能够确保充分的耐磨损性，不需要进行上述的二次加工来形成油槽部，也不需要注油。

因此，在制造钟表用齿轮时，适合采用这样的方法：采用硅作为母材，并通过表面处理在该母材上包覆保护膜。

专利文献1：日本特表2008-544290号公报

然而，上述现有的方法还留有如下课题。

首先，通过表面处理而包覆的保护膜具有硬度高而残余应力却高的特性，必须要减薄膜厚。假如增厚膜厚，则会积存高的残余应力，从而与母材之间会产生大的应力差。因此，有可能因该应力差而使保护膜及母材本身产生自身破坏所造成的裂纹或裂痕等。因此必须将膜厚减薄至0.1μm～2μm左右。然而，由于膜厚薄，因此，即使是高硬度的保护膜也很有可能因磨擦或撞击等而产生膜剥落的现象，从而有时无法确保充分的耐磨损性。

此外，由于在通过光刻法将硅的母材加工成钟表用齿轮的形状后还需要进行表面处理，因此制造工序增加了，不仅不能高效率地进行制造，而且也影响了低成本化。

并且，如上所述，由于硅本身具有韧性非常低的特性，因而在受到撞击等时容易发生变形或碎裂(缺损)。因此，对于滑动次数多且容易受到撞击的钟表用齿轮，很难期待高的可靠性。

发明内容

本发明就是鉴于上述的情况而作出的，其目的在于提供一种高质量的钟表用齿轮和具有该钟表用齿轮的钟表，该钟表用齿轮不仅能够高效地制造以实现低成本化，而且具有精细且高精度的外形形状，并且耐磨损性高、工作可靠性高。

为了解决上述课题，本发明提供以下手段。

(1)本发明的钟表用齿轮具备通过光刻法技术形成为齿轮状的齿轮部，该钟表用齿轮的特征在于，所述齿轮部由能够实施光刻法的材料且与硅(Si)相比硬度及韧性高的材料形成。

根据本发明的钟表用齿轮，由于齿轮部通过光刻法技术形成外形，因此，与机械加工不同，能够形成精加工为精细且高精度的外形形状的高质量的钟表用齿轮。

并且，由于该齿轮部由与硅(Si)相比硬度及韧性高的材料形成，因此，即便不像以往那样地实施表面处理以包覆保护膜，也能够作为钟表用齿轮而确保充分的耐磨损性。因此，能够省略耗费在表面处理上的工序，从而能够进行高效的制造并容易实现低成本化。

此外，由于不需要实施表面处理以包覆保护膜，因此齿轮部也不会出现因覆膜而产生的裂纹及裂痕等。并且，由于齿轮部本身的韧性高，因而在受到撞击等时不易发生变形或碎裂。因此，即便滑动次数多也能够长期稳定地工作，并且能够提高工作的可靠性。

(2)此外，在上述本发明的钟表用齿轮中，所述齿轮部也可以在整个面形成为均一的厚度。

在该情况下，由于如上述那样地充分地确保了齿轮部本身的耐磨损性，因而不需要实施通常用来提高耐磨损性的对策，即不需要设置对润滑油等进行储存的台阶(油槽部)等。因此，能够将齿轮部在整个面形成为均一的厚度，从而能够将厚度本身减薄。因此，能够实现钟表用齿轮的轻量化，并且能够使齿轮的动作(从动性)良好而提高工作性能。此外，由于不需要设置上述台阶部，因此能够易于实现形状的简单化，并进一步实现低成本化。

(3)此外，在上述本发明的钟表用齿轮中，所述齿轮部也可以为擒纵轮用齿轮部，该擒纵轮用齿轮部具有多个钩形状的齿部，在所述钩形状的齿部的末端部形成有供擒纵叉的叉瓦进行滑动的滑动部，并且也可以对所述齿部的角部进行曲面加工。

在该情况下，可以使钟表用齿轮为具备擒纵轮用齿轮部的擒纵轮，该擒纵轮用齿轮部具有多个齿部，对所述齿部的角度进行曲面加工(R加工)。特别是，由于齿轮部本身的韧性高，因而不会导致变形或碎裂，且能够将包括滑动部的齿部整体的角部曲面加工成光滑的。

因此，在擒纵叉的叉瓦与滑动部接触并进行滑动时，即便叉瓦相对于该滑动部的接触位置稍微发生了变化，也容易将两者的接触状况维持在相同的状态。假如在齿部的角部处于突出的状态的情况下，那么可以想到叉瓦有时与角部线接触，有时与平坦面面接触，二者不形成一定的接触方式。但是，通过对齿部的角部进行曲面加工，由于容易将叉瓦与滑动部的接触状况维持成一定状态，因此能够将来自叉瓦的能量均衡地可靠地向擒纵轮进行传递。

(4)此外，在上述本发明的钟表用齿轮中，所述齿轮部也可以由以碳化硅(SiC)为主要成分的材料形成。

在该情况下，由于齿轮部的主要成分是碳化硅(SiC)，因此能够达到接近金刚石的硬度，从而能够成为耐磨损性更加优异的钟表用齿轮。

(5)此外，本发明的钟表的特征在于，其具备本发明的上述钟表用齿轮。

根据本发明的钟表，由于其具备高质量的钟表用齿轮，该钟表用齿轮能够高效地制造且实现低成本化，并且耐磨损性高、工作可靠性高，因此该钟表能够成为能长期指示准确的时间且工作可靠性高的高质量的钟表，并且容易实现低成本化。

(发明的效果)

根据本发明的钟表用齿轮，能够高效率地制造且实现低成本化，而且能够成为具有精细且高精度的外形形状、并且耐磨损性高、工作可靠性高的高质量的钟表用齿轮。

根据本发明的钟表，由于其具备上述的钟表用齿轮，因此能够成为能长期指示准确的时间且工作可靠性高的高质量的钟表，并且容易实现低成本化。

附图说明

图1是本发明的具有作为钟表用齿轮的擒纵轮的机械式钟表中的机芯表侧的俯视图(省略了部分部件，以假想线表示支承部件)。

图2是从图1所示的机芯的发条盒轮来图示擒纵轮部分的概略局部剖视图。

图3是从图1所示的机芯的擒纵轮来图示游丝摆轮机构(てんぷ)部分的概略局部剖视图。

图4是构成图1所示的机芯的擒纵轮和擒纵叉的俯视图。

图5是将图4所示的擒纵轮的齿部放大的立体图。

图6是将现有的钟表用齿轮的齿部放大的立体图。

标号说明

1：机械式钟表(钟表)；130：擒纵轮(钟表用齿轮)；132：擒纵齿轮部(齿轮部、擒纵轮用齿轮部)；132a：齿部；132b：滑动部。

具体实施方式

下面，参照图1至图5对本发明的一个实施方式进行说明。再者，在本实施方式中，作为钟表的一个示例，列举机械式钟表为例来进行说明，此外，作为钟表用齿轮的一个示例，列举擒纵轮为例来进行说明。

首先，参照图1至图3对机械式钟表进行说明。再者，图1是机芯表侧的俯视图。图2是从发条盒轮来图示擒纵轮部分的概略局部剖视图。图3是从擒纵轮来图示游丝摆轮机构部分的概略局部剖视图。

如这些图1至图3所示，机械式钟表1具有机芯100。该机芯100具有构成该机芯100的基板的主板102。柄轴110以能够旋转的方式组装在主板102的柄轴引导孔102a中。此外，在机芯100安装有表盘104(参照图2及图3)。

通常，将主板102的两侧中的配置有表盘104的一侧称为机芯100的背侧，而将主板102的两侧中的与配置有表盘104的一侧相反的那一侧称为机芯100的表侧。此外，将组装在机芯100的表侧的轮系称为表侧轮系，将组装在机芯100的背侧的轮系称为背侧轮系。

通过包括拨杆190、轭板192、轭板弹簧194和背侧支承件(裏押さぇ)196的切换装置来确定柄轴110的轴线方向的位置。立轮(winding pinion)112以能够旋转的方式设置在柄轴110的引导轴部。当柄轴110在处于沿着旋转轴线方向最靠近机芯100的内侧的第一柄轴位置(第0档)的状态下使柄轴110旋转时，立轮112经由离合轮的旋转而旋转。圆孔轮114借助立轮112的旋转而旋转。此外，方孔轮116借助圆孔轮114的旋转而旋转。方孔轮116进行旋转，从而收纳在发条盒轮120中的发条122(参照图2)被卷绕起来。

二号轮124借助发条盒轮120的旋转而旋转。擒纵轮130经由四号轮128、三号轮126、二号轮124的旋转而旋转。发条盒轮120、二号轮124、三号轮126以及四号轮128构成表侧轮系。

用来控制表侧轮系的旋转的擒纵调速装置由游丝摆轮机构140、擒纵轮(がんぎ車)130和擒纵叉(ァンクル)142构成。如图3所示，游丝摆轮机构140具有摆轴(てん真)140a和游丝140c。如图2所示，分轮(筒かな)150基于二号轮124的旋转同时进行旋转。并且，安装于分轮150的分针152显示“分钟”。

并且，在分轮150设有相对于二号轮124滑移的滑移机构。基于分轮150的旋转，小时轮154经由跨轮(日の裏車)的旋转而旋转。并且，安装于小时轮154上的时针156显示“小时”。

如图3所示，游丝140c为具有多圈数的涡旋形状(螺旋状)的形态的薄板弹簧。游丝140c的内端部固定在被固定于摆轴140a的游丝内桩(ひげ玉)140d上。而游丝140c的外端部由游丝把持部170a通过螺纹紧固而固定，该游丝把持部170a安装在固定于摆轮支承件166(参照图1)上的游丝把持支承件170上。

微调针168以能够旋转的方式安装于摆轮支承件166。此外，游丝摆轮机构140被支承为能够相对于主板102和摆轮支承件166旋转。

如图2所示，发条盒轮120具有发条盒齿轮120d、发条盒轴120f和发条122。发条盒轴120f具有上轴部120a和下轴部120b。发条盒轴120f由碳素钢等金属形成。发条盒齿轮120d由黄铜等金属形成。

二号轮124具有上轴部124a、下轴部124b、龆轮部124c、齿轮部124d和算盘珠形部124h。二号轮124的龆轮部124c构成为与发条盒齿轮120d啮合。上轴部124a、下轴部124b和算盘珠形部124h由碳素钢等金属形成。齿轮部124d由镍等金属形成。

三号轮126具有上轴部126a、下轴部126b、龆轮部126c和齿轮部126d。三号轮126的龆轮部126c构成为与齿轮部124d啮合。

四号轮128具有上轴部128a、下轴部128b、龆轮部128c和齿轮部128d。四号轮128的龆轮部128c构成为与齿轮部126d啮合。上轴部128a和下轴部128b由碳素钢等金属形成。齿轮部128d由镍等金属形成。

擒纵轮130具备上轴部130a、下轴部130b、擒纵龆轮部130c以及擒纵齿轮部(齿轮部、擒纵轮用齿轮部)132。擒纵龆轮部130c构成为与齿轮部128d啮合。

如图3所示，擒纵叉142具有擒纵叉体142d和擒纵叉轴142f。擒纵叉轴142f具有上轴部142a和下轴部142b。

如图2所示，发条盒轮120被支承为能够相对于主板102和发条盒支承件(barrelbridge)160旋转。即，发条盒轴120f的上轴部120a被支承为能够相对于发条盒支承件160旋转。发条盒轴120f的下轴部120b被支承为能够相对于主板102旋转。

另外，二号轮124、三号轮126、四号轮128和擒纵轮130被支承为分别能够相对于主板102和轮系支承件162旋转。即，二号轮124的上轴部124a、三号轮126的上轴部126a、四号轮128的上轴部128a、以及擒纵轮130的上轴部130a分别被支承为能够相对于轮系支承板162旋转。另外，二号轮124的下轴部124b、三号轮126的下轴部126b、四号轮128的下轴部128b、以及擒纵轮130的下轴部130b分别被支承为能够相对于主板102旋转。

如图3所示，擒纵叉142被支承为能够相对于主板102和擒纵叉支承件164旋转。即，擒纵叉142的上轴部142a被支承为能够相对于擒纵叉支承件164旋转。擒纵叉142的下轴部142b被支承为能够相对于主板102旋转。

向下述部分注入润滑油：发条盒支承件160的将发条盒轴120f的上轴部120a支承为能够旋转的轴支承部；轮系支承件162的将二号轮124的上轴部124a支承为能够旋转的轴支承部；轮系支承件162的将三号轮126的上轴部126a支承为能够旋转的轴支承部；轮系支承件162的将四号轮128的上轴部128a支承为能够旋转的轴支承部；轮系支承件162的将擒纵轮130的上轴部130a支承为能够旋转的轴支承部；以及擒纵叉支承件164的将擒纵叉142的上轴部142a支承为能够旋转的轴支承部。

此外，向下述部分注入润滑油：主板102的将发条盒轴120f的下轴部120b支承为能够旋转的轴支承部；主板102的将二号轮124的下轴部124b支承为能够旋转的轴支承部；主板102的将三号轮126的下轴部126b支承为能够旋转的轴支承部；主板102的将四号轮128的下轴部128b支承为能够旋转的轴支承部；主板102的将擒纵轮130的下轴部130b支承为能够旋转的轴支承部；以及主板102的将擒纵叉142的下轴部142b支承为能够旋转的轴支承部。

上述润滑油优选为精密机械用油，特别优选为所谓的钟表油。

为了提高润滑油的保持性能，优选在主板102的各个轴支承部、发条盒支承件160的各个轴支承部、轮系支承件162的各个轴支承部设置圆锥状、圆筒状或圆台状的油槽部。设置该油槽部，则能够有效地阻止因润滑油的表面张力而导致油扩散。

此外，主板102、发条盒支承件160、轮系支承件162以及擒纵叉支承件164既可以由黄铜等金属形成，也可以由聚碳酸酯等树脂形成。

下面，对上述的擒纵轮130更详细地进行说明。

如图4及图5所示，该擒纵轮130由形成为预定厚度的擒纵齿轮部132、以及打入到该擒纵齿轮部132的中心的轴部件131构成。

再者，图4是相互啮合的擒纵轮130和擒纵叉142的俯视图。图5是将擒纵轮130的齿部132a放大的立体图。

擒纵齿轮部132是通过光刻法技术形成为齿轮状的部件。更具体地说，擒纵齿轮部132的上表面及下表面为平坦面，且在整个面都形成为均一的厚度，并具有形成为特殊的钩形状的多个齿部132a。所述多个齿部132a的末端部作为供后述的擒纵叉142的叉瓦144a、144b接触并进行滑动的滑动部132b。

此外，本实施方式的擒纵齿轮部132通过滚磨处理等实施去飞边、角部的倒角、表面的轧光处理等。因此，如图5所示，对于多个齿部132a，也将包括滑动部132b的整个角度曲面加工(R加工)为光滑的。

此外，本实施方式的擒纵齿轮部132由能够实施光刻法的材料且与硅(Si)相比硬度及韧性高的材料、即以碳化硅(SiC)为主要成分的材料形成。

轴部件131是通过打入到设置于擒纵齿轮部132的中心的未图示的保持孔内来进行安装的部件，轴部件131的中心轴线与擒纵齿轮部132的中心轴线相同。

此外，如图3所示，上述的上轴部130a设置于轴部件131的上端部，下轴部130b设置于轴部件131的下端部。此外，在上轴部130a的下方设有擒纵龆轮部130c。如上所述，该擒纵龆轮部130c与四号轮128的齿轮部128d啮合，由此擒纵龆轮部130c起到将四号轮128的旋转力传递到轴部件131从而使擒纵轮130旋转的作用。

如图4所示，这样构成的擒纵轮130的多个齿部132a与擒纵叉142啮合。擒纵叉142具有擒纵叉体142d和擒纵叉轴142f，该擒纵叉体142d由三个擒纵叉梁143形成为T字状，擒纵叉体142d构成为通过作为轴的擒纵叉轴142f能够进行旋转。

在三个擒纵叉梁143中的两个擒纵叉梁143的末端设有叉瓦144a、144b，在余下的一个擒纵叉梁143的末端安装有擒纵叉盒(ァンクルハコ)145。叉瓦144a、144b为形成为四棱柱状的红宝石，并利用粘接剂等被粘接固定在擒纵叉梁143上。

这样构成的擒纵叉142在以擒纵叉轴142f为中心进行旋转时，叉瓦144a或叉瓦144b与擒纵轮130的齿部132a的滑动部132b接触并进行滑动。并且，此时，安装有擒纵叉盒145的擒纵叉梁143与限位钉(ドテピン)(未图示)接触，由此使擒纵叉142不再向同一方向旋转。其结果为，擒纵轮130的旋转也暂时停止。

接下来，对上述的擒纵轮130的制造方法如下简单地进行说明。

首先，准备好以碳化硅为主要成分的未图示的基板后，通过网板印刷等在所述基板上包覆由感光性材料构成的光刻胶膜。再者，作为感光性材料，正片型负片型都可以，但在本实施方式中对采用了负片型感光性材料的情况进行了说明。

接下来，准备好图案形成为擒纵齿轮部132的形状且其以外的区域敞开的光刻胶掩模后，将该掩模定位在光刻胶膜上。然后，从光刻胶掩模的上方照射光，通过光刻胶掩模而使光刻胶膜曝光。即，利用光刻胶掩模对未被掩蔽的区域进行局部地曝光。

曝光结束后，除去光刻胶掩模，利用显影液使曝光了的光刻胶膜显影。这样，由于光刻胶膜是负片型的，因此未曝光的区域溶解。由此，倣照擒纵齿轮部132的外形形状以局部除去光刻胶膜的方式进行图案形成，并且碳化硅的基板倣照擒纵齿轮部132的外形形状而露出。

接下来，对碳化硅的基板进行蚀刻加工。此时，干法蚀刻或湿法蚀刻都可以。这样，可选择性地仅对未被图案形成后的光刻胶膜覆盖的部分、即碳化硅基板的露出的一部分进行蚀刻加工。由此，能够将由碳化硅构成的基板形成为具有多个齿部132a的擒纵齿轮部132。

并且，进行蚀刻加工后，在利用溶剂等除去光刻胶膜后，对擒纵齿轮部132进行滚磨处理，从而进行整体的去飞边、角部的倒角及表面的轧光处理等。其结果是，能够制造出如图5所示地对多个齿部132a整体的角部进行了使其光滑的曲面加工的、如图4所示的擒纵齿轮部132。

特别是，由于擒纵齿轮部132由比硅(Si)韧性高(韧性值约为3.5～5)的碳化硅(SiC)构成，因此即使进行上述滚磨处理也不会导致变形或碎裂，从而能够将包括滑动部132b的齿部132a整体的角部曲面加工成光滑的。

进而，最后进行将轴部件131打入到擒纵齿轮部132的中心的工序，从而能够制造出图4所示的擒纵轮130。

如上所述，根据通过本实施方式的制造方法制造出的擒纵轮130，由于通过光刻法技术对擒纵齿轮部132进行外形形成，因此与机械加工不同，能够形成精加工为精细且高精度的外形形状的高质量的擒纵轮130。

并且，由于擒纵齿轮部132由与硅(Si)相比硬度及韧性高的碳化硅(SiC)形成，因此，即便不像以往那样地实施表面处理而包覆保护膜，也能够确保作为钟表用齿轮的充分的耐磨损性。因此，能够省略耗费在表面处理上的工序，从而能够进行高效的制造并容易实现低成本化。

特别是，由于本实施方式的擒纵轮130由以碳化硅为主要成分的材料形成，因此能够达到接近金刚石的硬度，从而能够成为耐磨损性更加优异的擒纵轮130。

通常，擒纵轮由于一年的滑动次数超过数百万次，因而是非常容易磨损的齿轮。但是，由于本实施方式的擒纵轮130的耐磨损性非常优异，因此，即便滑动次数多也不易磨损、可靠性优异。

此外，由于不需要实施表面处理而包覆保护膜，因此擒纵齿轮部132上不会出现因覆膜引起的裂纹或裂痕等。并且，由于擒纵齿轮部132的韧性高，因此在受到撞击等时不易发生变形或碎裂。因此，即便滑动次数多也能够长期稳定地工作，从而能够提高工作的可靠性。

此外，由于本实施方式的擒纵轮130充分地确保了擒纵齿轮部132的耐磨损性，因而不需要实施在齿部132a设置对润滑油等进行储存的台阶部(油槽部)等通常用来提高耐磨损性的对策。因此，能够使擒纵齿轮部132在整个面形成为均一的厚度，能够将厚度本身减薄。因此，能够实现擒纵轮130的轻量化，并且能够使作为齿轮的动作良好，从而能够提高擒纵机效率。此外，由于不需要设置上述台阶部，因此易于实现形状的简单化，通过此点也容易实现低成本化。

特别是，由于利用比重轻的碳化硅形成擒纵齿轮部132，因此容易形成起动及从动性优异的擒纵轮130，从而使擒纵机效率非常优异。

此外，由于本实施方式的擒纵轮130的擒纵齿轮部132的齿部132a的角部实施了曲面加工，因此，在擒纵叉142的叉瓦144a、144b与形成于齿部132a的末端部的滑动部132b接触并进行滑动时，即便叉瓦144a、144b相对于滑动部132b的接触点稍微发生变化，也容易将两者的接触状况维持在同一状态。假如在齿部132a的角部处于突出的状态的情况下，可以想到叉瓦144a、144b有时与角部线接触，有时与平坦面面接触，二者不形成一定的接触方式。

但是，通过对齿部132a的角部进行曲面加工，由于容易将叉瓦144a、144b与滑动部132b的接触状况维持成一定状态，因此能够将来自叉瓦144a、144b的能量均衡地可靠地向擒纵轮130进行传递。因此，通过此点也能够提高擒纵机效率。

此外，本实施方式的机械式钟表1由于具备高质量的擒纵轮130，该擒纵轮130能够高效率地制造且实现低成本化，并且耐磨损性高、工作可靠性高，因此该机械式钟表1能够成为能长期指示准确的时间、工作可靠性高的高质量的钟表，并且容易实现低成本化。

再者，本发明的技术范围不受上述实施方式的限定，在不脱离本发明宗旨的范围内能够加以各种变更。

例如，在上述实施方式中，列举了将钟表用齿轮应用于擒纵轮130的情况为例进行了说明，但不限于擒纵轮130，也可以是其他的齿轮。特别能够优选应用于滑动载荷高且要求耐磨损性的齿轮。

具体来说，既可以应用于二号轮、三号轮及四号轮，也能够应用于自动上发条的各种齿轮(传递齿轮及传递中间齿轮)等。

此外，在上述实施方式中，列举了由碳化硅(SiC)形成擒纵齿轮部132的情况为例进行了说明，但不限于碳化硅，只要是能够实施光刻法的材料并且与硅(Si)相比硬度及韧性高的材料即可。

例如也可以是二氧化铝(Al₂O₃)、二氧化锆(ZrO₂)或二氧化硅(SiO₂)。由于这些材料均满足上述条件，并且在硬度及韧性方面具有与碳化硅(SiC)同等程度的特性，因此能够起到与采用碳化硅(SiC)的情况下同样的作用效果。此外，可以根据钟表用齿轮的种类及设计思想对这些材料适当地划分。例如，在上述的材料中，韧性值最高的是二氧化锆(ZrO₂)，因此，在期望韧性更高、不易发生碎裂等的钟表用齿轮的情况下，可以选择该材料。

Claims

1.一种钟表用齿轮，其具备通过光刻法技术形成为齿轮状的齿轮部，该钟表用齿轮的特征在于，

所述齿轮部由能够实施光刻法的材料且与硅相比硬度及韧性高的材料形成。

2.根据权利要求1所述的钟表用齿轮，其特征在于，

所述齿轮部在整个面形成为均一的厚度。

3.根据权利要求1所述的钟表用齿轮，其特征在于，

所述齿轮部为擒纵轮用齿轮部，该擒纵轮用齿轮部具有多个钩形状的齿部，在所述钩形状的齿部的末端部形成有供擒纵叉的叉瓦进行滑动的滑动部，

对所述齿部的角部进行曲面加工。

4.根据权利要求2所述的钟表用齿轮，其特征在于，

对所述齿部的角部进行曲面加工。

5.根据权利要求1所述的钟表用齿轮，其特征在于，

所述齿轮部由以碳化硅为主要成分的材料形成。

6.根据权利要求2所述的钟表用齿轮，其特征在于，

所述齿轮部由以碳化硅为主要成分的材料形成。

7.根据权利要求3所述的钟表用齿轮，其特征在于，

所述齿轮部由以碳化硅为主要成分的材料形成。

8.根据权利要求4所述的钟表用齿轮，其特征在于，

所述齿轮部由以碳化硅为主要成分的材料形成。

9.一种钟表，其特征在于，

该钟表具备权利要求1所述的钟表用齿轮。

10.一种钟表，其特征在于，

该钟表具备权利要求2所述的钟表用齿轮。