CN102351186A - 一种表面具有金属镀层的硅料回收方法 - Google Patents

一种表面具有金属镀层的硅料回收方法 Download PDF

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金利民
郜勇军
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Abstract

本发明涉及一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，该方法是将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：A：采用纯氢氟酸浸泡一定时间，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止；B：采用王水煮泡一定时间；C：采用普通的硅材料清洗工艺清洗；D：采用离子水超洗。采用本发明，可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除，达到重新回收利用的目的。

Description

一种表面具有金属镀层的硅料回收方法
技术领域
本发明涉及一种表面具有金属镀层的硅料回收方法。
背景技术
目前，对于用重掺测试仪测试，有响声，表现为重掺的一种表面具有金属镀层的废硅料，通常情况下当废料处理，没有进行回收利用。
发明内容
本发明的目的是提供能去除表面金属，回收硅料的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法。
本发明采取的技术方案是：一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：
A：采用纯氢氟酸浸泡一定时间，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止；
B：采用王水煮泡一定时间；
C：采用普通的硅材料清洗工艺清洗；
D：采用离子水超洗。
所述的纯氢氟酸为工业级，体积浓度比为55～56％。
所述的采用纯氢氟酸浸泡时间在5～10天。
所述的王水为工业级硝酸和盐酸按体积1∶3配比制成，配比前硝酸的体积浓度比为62～63％，配比前盐酸的体积浓度比为36～38％。
所述的采用王水煮泡一定时间，是指将硅料放入王水至浸没，加热至100～120℃，保持时间在1小时以上。
采用本发明，可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除，达到重新回收利用的目的。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
本发明将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：
一、采用体积浓度比为55～56％，工业级的纯氢氟酸浸泡5～10天，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止。
二、制作王水，以工业级硝酸和盐酸按体积1∶3配比制成，配比前硝酸的体积浓度比为62～63％，配比前盐酸的体积浓度比为36～38％。
三、将硅料放入王水至浸没，并加热至100～120℃，保持时间在1小时以上，然后取出。
四、采用普通的硅材料清洗工艺清洗，即经过离子水清洗→离子水超声→烘干。
五、采用离子水超洗。
通过上述步骤，可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除，达到重新回收利用的目的。

Claims (5)

1.一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：
A：采用纯氢氟酸浸泡一定时间，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止；
B：采用王水煮泡一定时间；
C：采用普通的硅材料清洗工艺清洗；
D：采用离子水超洗。
2.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于纯氢氟酸为工业级，体积浓度比为55～56％。
3.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于采用纯氢氟酸浸泡时间在5～10天。
4.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于王水为工业级硝酸和盐酸按体积1∶3配比制成，配比前硝酸的体积浓度比为62～63％，配比前盐酸的体积浓度比为36～38％。
5.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于采用王水煮泡一定时间，是指将硅料放入王水至浸没，加热至100～120℃，保持时间在1小时以上。
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