CN102744230A - 一种粘污太阳能硅片的清洗方法 - Google Patents
一种粘污太阳能硅片的清洗方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102744230A CN102744230A CN2012102612427A CN201210261242A CN102744230A CN 102744230 A CN102744230 A CN 102744230A CN 2012102612427 A CN2012102612427 A CN 2012102612427A CN 201210261242 A CN201210261242 A CN 201210261242A CN 102744230 A CN102744230 A CN 102744230A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cleaning
- silicon chip
- dirty
- stuck
- cleaning method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
本发明涉及一种粘污太阳能硅片的清洗方法,该方法是将硅片放入水中,并在水中按质量百分比加入1~1.5%的清洗液和0.1~0.3%的氢氧化钠,然后将该溶液加热到45~55℃,再采用超声波清洗硅片5~10分钟;接着,将硅片放在质量百分比浓度为1~2%的柠檬酸溶液中漂洗5~10分钟;最后用纯水超声溢流清洗硅片若干道即可。采用本发明,可以极大地提高粘污太阳能硅片的清洗效果,达到提高太阳能硅片清洗合格率的目的;据实践表明,太阳能硅片的清洗合格率由原来的98%提高到99.99%。
Description
技术领域
本发明涉及一种粘污太阳能硅片的清洗方法,尤其适用于经过通常清洗工艺后,部分表面具有砂浆残留、花篮印、清洗液残留、清洗液与硅的反应物、硅片氧化物的粘污太阳能硅片清洗。
背景技术
目前,太阳能硅片的清洗方法是在晶棒切成片并经脱胶后,先用纯水漂洗,接着用纯水超声清洗,然后又在纯水中加入清洗剂进行超声波清洗,之后再经多次纯水超声波漂洗即完成清洗工艺。通过这种正常的清洗工艺后,再通过检验,经常会检出较大比重的粘污片,上面会有砂浆残留、花篮印、清洗液残留、清洗液与硅的反应物、硅片氧化物等,这些粘污的太阳能硅片如果采用通常的清洗工艺再次清洗,几乎没有效果。只有报废或作次片处理,影响了太阳能硅片的合格率。
发明内容
本发明的目的是提供具有很好的清洗效果的一种粘污太阳能硅片的清洗方法。
本发明采取的技术方案是:一种粘污太阳能硅片的清洗方法,其特征在于将硅片放入水中,并在水中按质量百分比加入1~1.5%的清洗液和0.1~0.3%的氢氧化钠,然后将该溶液加热到45~55℃,再采用超声波清洗硅片5~10分钟;接着,将硅片放在质量百分比浓度为1~2%的柠檬酸溶液中漂洗5~10分钟;最后用纯水超声溢流清洗硅片若干道即可。
采用本发明,可以极大地提高粘污太阳能硅片的清洗效果,达到提高太阳能硅片清洗合格率的目的;据实践表明,太阳能硅片的清洗合格率由原来的98%提高到99.99%。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
1、将若干粘污太阳能硅片放在100㎏水中,并加入1~1.5㎏的清洗液和0.1~0.3㎏的氢氧化钠,将该溶液加热到45~55℃,用超声波清洗硅片5~10分钟。
2、接着,将硅片放在质量百分比浓度为1~2%的柠檬酸溶液中漂洗5~10分钟。
3、最后用纯水超声溢流清洗硅片二道以上,每道5~8分钟时间即可。
Claims (1)
1.一种粘污太阳能硅片的清洗方法,其特征在于将硅片放入水中,并在水中按质量百分比加入1~1.5%的清洗液和0.1~0.3%的氢氧化钠,然后将该溶液加热到45~55℃,再采用超声波清洗硅片5~10分钟;接着,将硅片放在质量百分比浓度为1~2%的柠檬酸溶液中漂洗5~10分钟;最后用纯水超声溢流清洗硅片若干道即可。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012102612427A CN102744230A (zh) | 2012-07-26 | 2012-07-26 | 一种粘污太阳能硅片的清洗方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012102612427A CN102744230A (zh) | 2012-07-26 | 2012-07-26 | 一种粘污太阳能硅片的清洗方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102744230A true CN102744230A (zh) | 2012-10-24 |
Family
ID=47024923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012102612427A Pending CN102744230A (zh) | 2012-07-26 | 2012-07-26 | 一种粘污太阳能硅片的清洗方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102744230A (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103464413A (zh) * | 2013-09-10 | 2013-12-25 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 硅料清洗方法 |
CN106206253A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-12-07 | 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司 | 一种多晶硅硅锭的清洗方法 |
CN111192816A (zh) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 东莞新科技术研究开发有限公司 | 一种半导体工件清洗方法 |
CN115518936A (zh) * | 2022-10-26 | 2022-12-27 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2722511A1 (fr) * | 1994-07-15 | 1996-01-19 | Ontrak Systems Inc | Procede pour enlever les metaux dans un dispositif de recurage |
JPH08264500A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Sony Corp | 基板の洗浄方法 |
JP2002509355A (ja) * | 1997-12-12 | 2002-03-26 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | シリコンウエハのラッピング後洗浄法 |
CN101275105A (zh) * | 2007-03-30 | 2008-10-01 | 上海超日太阳能科技股份有限公司 | 一种太阳能硅片清洗剂 |
CN101590476A (zh) * | 2009-06-10 | 2009-12-02 | 嘉兴五神光电材料有限公司 | 一种单晶硅片的清洗方法 |
CN101817006A (zh) * | 2010-03-22 | 2010-09-01 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能硅片的表面清洗方法 |
CN102533470A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-07-04 | 镇江市港南电子有限公司 | 一种硅片清洗液 |
-
2012
- 2012-07-26 CN CN2012102612427A patent/CN102744230A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2722511A1 (fr) * | 1994-07-15 | 1996-01-19 | Ontrak Systems Inc | Procede pour enlever les metaux dans un dispositif de recurage |
JPH08264500A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Sony Corp | 基板の洗浄方法 |
JP2002509355A (ja) * | 1997-12-12 | 2002-03-26 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | シリコンウエハのラッピング後洗浄法 |
CN101275105A (zh) * | 2007-03-30 | 2008-10-01 | 上海超日太阳能科技股份有限公司 | 一种太阳能硅片清洗剂 |
CN101590476A (zh) * | 2009-06-10 | 2009-12-02 | 嘉兴五神光电材料有限公司 | 一种单晶硅片的清洗方法 |
CN101817006A (zh) * | 2010-03-22 | 2010-09-01 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能硅片的表面清洗方法 |
CN102533470A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-07-04 | 镇江市港南电子有限公司 | 一种硅片清洗液 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103464413A (zh) * | 2013-09-10 | 2013-12-25 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 硅料清洗方法 |
CN106206253A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-12-07 | 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司 | 一种多晶硅硅锭的清洗方法 |
CN111192816A (zh) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 东莞新科技术研究开发有限公司 | 一种半导体工件清洗方法 |
CN115518936A (zh) * | 2022-10-26 | 2022-12-27 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备 |
CN115518936B (zh) * | 2022-10-26 | 2023-11-17 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102744230A (zh) | 一种粘污太阳能硅片的清洗方法 | |
CN102218410A (zh) | 蓝宝石抛光后的清洗方法 | |
CN102943307A (zh) | 单晶硅无醇制绒添加剂 | |
CN101817006A (zh) | 一种太阳能硅片的表面清洗方法 | |
CN102225406B (zh) | 一种金刚线切割硅片的清洗方法 | |
CN204353145U (zh) | 一种胶缸残留乳胶清洗装置 | |
RU2013131274A (ru) | Жидкие очищающие композиции, содержащие длинноцепочечные жирные спирты | |
CN102168315B (zh) | 一种单晶硅太阳能电池表面织构化方法 | |
CN104498219A (zh) | 一种太阳能硅片的除锈剂配方 | |
CN104028503B (zh) | 硅原材料的清洗方法 | |
CN103413759A (zh) | 一种多晶硅片的制绒方法 | |
CN101875048A (zh) | 一种去除硅片表面杂质的方法 | |
CN102732886B (zh) | 太阳能单晶硅片的制绒液及其制备方法 | |
CN102698983A (zh) | 一种太阳能级硅片的清洗方法 | |
CN105344641A (zh) | 一种硅原材料的清洗方法 | |
CN104498231A (zh) | 一种太阳能硅片的清洗剂配方 | |
CN103255009A (zh) | 一种织物干洗剂 | |
CN103701423A (zh) | 石英晶体频率片清洗工艺 | |
CN102351186A (zh) | 一种表面具有金属镀层的硅料回收方法 | |
CN103451956B (zh) | 羽绒阻燃护理剂及其制备方法 | |
CN202845382U (zh) | 一种硅料清洗装置组 | |
CN106098537A (zh) | 高压二极管镀镍硅片前处理清洗方法 | |
NZ600334A (en) | Process for the preparation of gadobenate dimeglumine complex in a solid form | |
CN102400158A (zh) | 锅炉水处理设备酸洗除锈垢剂 | |
CN101698573B (zh) | 一种碲化镉薄膜太阳电池导电玻璃的清洗方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20121024 |