CN102092044B - 一种基片处理***及其机械手臂装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种机械手臂装置，包括第一摇杆(21)和第二摇杆(22)；第一摇杆(21)绕其第一端旋转时，第二摇杆(22)带动与其连接的手臂本体(5)沿滑轨(7)滑动；该机械手臂装置还包括助力部件，助力部件可选择地带动手臂本体(5)沿滑轨(7)向前或者向后滑动。这样，当装置处于死点位置时，助力部件带动手臂本体(5)沿滑轨(7)向前或者向后滑动，使第一摇杆(21)与第二摇杆(22)之间的夹角发生变化，从而使机械手臂装置顺利通过死点位置，提高了装置的传动可靠性。本发明还公开了一种包括上述机械手臂装置的基片处理***。

Description

一种基片处理***及其机械手臂装置

技术领域

本发明涉及自动化传输设备领域，特别涉及一种用于基片处理***的机械手臂装置。本发明还涉及一种包括上述机械手臂装置的基片处理***。

背景技术

随着我国经济建设的快速发展，市场对于基片的需求量日益增大，由此便带动了基片加工行业的迅猛发展。

目前，用于加工基片的工艺腔的内部一般具有静电卡盘，该静电卡盘用于支撑被加工的基片，且其下部设有升降装置，该升降装置上插有用于支撑基片的顶针。加工基片时，一般通过专用的机械手臂将基片送入工艺腔内，并使基片高于静电卡盘的上表面一定距离；此时，位于上位的升降装置通过顶针把机械手上的基片托起，机械手臂随后退出工艺腔，而后，升降装置向下移动，把基片平稳地放到静电卡盘上表面后开始加工；加工完成后，升降装置向上移动，将基片托起到一定高度，机械手臂重新伸入工艺腔内把基片取走。

由上述基片的加工过程可知，在基片的加工开始之前，需要通过机械手臂将基片送入反应腔室，而加工完成之后，同样需要通过利用机械手臂将基片取出反应腔室。因此，机械手臂是基片加工过程中必不可少的设备，其工作质量以及工作稳定性的高低，直接影响整个基片加工***加工质量的优劣。

基片加工中使用的机械手臂通常为水平搬运机械手臂，并且由上述的使用过程可知，该机械手臂需要具有伸缩、旋转、升降等功能。

请参考图1，图1为一种典型的机械手臂的原理图。

该种典型的机械手臂包括第一摇杆11和第二摇杆12，第一摇杆11的第一端连接有电机（图中未示出），其第二端通过第一铰接轴与第二摇杆12的第一端铰接，第二摇杆12的第二端通过铰接轴与滑块15连接，手臂13通过滑块15可滑动地安装于滑轨14上，并且能够在滑轨14的延伸方向上滑动；上述第一摇杆11在电机的驱动下，以第一端与电机的连接点为旋转中心摆动，并带动第二摇杆12以第一铰接轴为转轴摆动，从而带动滑块15进而带动手臂13在滑轨14上滑动，上述第一摇杆11和第二摇杆12既有连接作用，又具有传递动力的作用。

在基片加工过程中，需要机械手具有足够的搬运距离，因此，上述第一摇杆11和第二摇杆12均需要具有足够的长度；同时，由于基片加工环境的限制，机械手能够占用的空间较小，则两摇杆需要具有较小的旋转半径。为了满足上述要求，上述第一摇杆11和第二摇杆12的长度应相等，并且，第一摇杆11的第一端应位于滑轨14延伸方向的中间位置。

而在机械手臂的伸缩过程中，在伸缩到第一摇杆11与第二摇杆12重叠的位置时，会出现传动角等于零的情况，该位置即为机构的死点位置，此时，机械手臂的有效传动力矩为零，机构处于不传力位置，而不利于机械手臂的连续化传送作业。

在上述典型的机械手臂中，通常利用滑块15的惯性带动机械手臂通过机构的死点位置，为了使机械手臂顺利通过死点位置，目前通常采用增加滑块15惯性的方式。而在实际的工作过程中，可能由于各种原因而使得滑块15失去了通过死点而必须具备的惯性，此时，机械手臂机构无法通过死点；另外，在机构调试的过程中，由于滑块15的测试速度较慢，其具备的能量不足以带动机构通过死点位置；因此，在很多情况下，机械手臂机构可能无法顺利通过死点位置，机构的传动可靠性较低。

综上所述，如何在保证结构较为简单的情况下，使机械手臂能够顺利通过死点位置，从而提高机械手臂的传动可靠性，就成为本领域技术人员亟须解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于基片处理***的机械手臂装置，其结构较为简单，且能够顺利通过机构的死点位置，具有较高的工作可靠性。本发明的另一目的是提供一种包括上述机械手臂装置的基片处理***。

为解决上述技术问题，本发明提供一种机械手臂装置，包括第一摇杆和第二摇杆；所述第一摇杆通过其第一端与该机械手臂装置的基础部分相铰接，所述第二摇杆的第一端通过第一转轴与所述第一摇杆的第二端相铰接；所述第一摇杆绕其第一端旋转时，所述第二摇杆带动与其连接的手臂本体沿滑轨滑动；还包括助力部件，所述助力部件在摇杆机构处于死点位置时带动所述手臂本体沿所述滑轨向前或者向后滑动，以调整所述第一摇杆与所述第二摇杆之间的夹角。

优选地，所述第一转轴与所述第二摇杆的第一端固定连接；所述助力部件包括与所述第一转轴固定连接的第二转轮，以及驱动所述第二转轮相对于所述第一摇杆的第二端旋转的动力部件。

优选地，所述动力部件包括铰接于所述第一摇杆的第一端的第一转轮，以及连接所述第一转轮和所述第二转轮的传动带；所述第一转轮在外力的作用下可选择地旋转。

优选地，所述传动带包括交叉设置的第一传动带和第二传动带。

优选地，所述第一转轮的直径为所述第二转轮直径的两倍。

优选地，所述传动带包括第一传动带和第二传动带；所述第一传动带的两端分别安装于所述第一转轮和所述第二转轮的同侧，所述第二传动带的两端分别安装于所述第一转轮和所述第二转轮的另一侧。

优选地，所述第一转轮的直径与所述第二转轮的直径相同。

优选地，所述第二摇杆的第二端铰接有滑块，所述第二摇杆的第二端通过滑块安装所述手臂本体。

优选地，所述动力部件包括铰接于所述第一摇杆的第一端的第一转轮；所述第一转轮与所述第二转轮为在外圈相啮合的齿轮，且所述第一转轮在外力的作用下可选择地旋转。

优选地，所述第一转轮的分度圆直径为所述第二转轮分度圆直径的两倍。

优选地，所述第一转轮的分度圆直径与所述第二转轮的分度圆直径相等。

本发明还提供一种基片处理***，包括上述任一项所述的机械手臂装置。

本发明所提供的机械手臂装置，包括第一摇杆和第二摇杆；第一摇杆通过其第一端与该机械手臂装置的基础部分相铰接，第二摇杆的第一端通过第一转轴与第一摇杆的第二端相铰接；第一摇杆绕其第一端旋转时，第二摇杆带动与其连接的手臂本体沿滑轨滑动；该机械手臂装置还包括助力部件，该助力部件可选择地带动手臂本体沿滑轨向前或者向后滑动。这样，在传动的过程中，第一摇杆和第二摇杆组成的机构处于死点位置时，上述助力部件为装置提供动力，并带动手臂本体沿滑轨向前或者向后滑动，在手臂本体滑动的过程中，第一摇杆与第二摇杆之间的夹角发生变化，从而使机械手臂装置顺利通过死点位置，提高了装置的传动可靠性。

在一种优选的实施方式中，上述助力部件可以包括第一转轮、第二转轮以及安装于所述第一转轮与所述第二转轮之间的传动带；所述第一转轮铰接于所述第一摇杆的第一端，并在动力部件的驱动下转动；第二转轮固定安装于第二摇杆的第一端，且在传动带的带动下随第一转轮转动。

当第一转轮在外力的驱动下转动时，第一转轮的转动带动传动带的运动，从而带动第二转轮随第一转轮转动，由于第二转轮与第二摇杆的第二端固定连接，因此，第二转轮在随第一转轮转动的过程中，会带动第二摇杆以其第一端为中心摆动，进而带动手臂本体在滑轨上向前或者向后运动；同时带动第一转轴绕第一摇杆的第一端摆动，从而带动第一摇杆绕其第一端旋转。这样，机械手臂机构的动力通过第一转轮、第二转轮以及两转轮之间的传动带传递，即便第一摇杆和第二摇杆在机构运动过程中出现了死点位置，也不会对机构的运动造成影响，从而使得机构能够顺利地通过死点位置，提高了机械手臂的工作可靠性。

在另一种优选的实施方式中，上述传动带包括第一传动带和第二传动带，上述第一转轮和第二转轮的直径相同，且第一传动带和第二传动带大体平行地安装于两转轮之间。这样，第一传动带和第二传动带在工作过程中，其作用力方向与第一摇杆的轴线方向所形成的夹角大体为零，则垂直于第一摇杆的轴线方向的分力大体为零，从而减小了传动力的损失，进一步提高了传动效果。

附图说明

图1为一种典型的机械手臂装置的原理图；

图2为本发明所提供机械手臂装置第一种具体实施方式的原理图；

图3为本发明所提供机械手臂装置第一种具体实施方式的立体图；

图4为图3所示机械手臂装置仰视方向的结构示意图；

图5为本发明所提供机械手臂装置第二种具体实施方式的原理图；

图6为本发明所提供机械手臂装置第二种具体实施方式的立体图；

图7为图6所示机械手臂装置的俯视方向的结构示意图；

图8为图6所示机械手臂装置的两摇杆重叠状态下的立体图；

图9为本发明所提供机械手臂装置在图8状态下的俯视方向的结构示意图；

图10为图9中A-A方向的示意图。

具体实施方式

本发明的核心是提供一种用于基片处理***的机械手臂装置，其结构较为简单，且能够顺利通过机构的死点位置，具有较高的工作可靠性。本发明的另一核心是提供一种包括上述机械手臂装置的基片处理***。

本发明所提供的机械手臂装置，包括第一摇杆21和第二摇杆22；所述第一摇杆21通过其第一端与该机械手臂装置的基础部分相铰接，所述第二摇杆22的第一端通过第一转轴与所述第一摇杆21的第二端相铰接；所述第一摇杆21绕其第一端旋转时，所述第二摇杆22带动与其连接的手臂本体5沿滑轨7滑动；该机械手臂装置还包括助力部件，该助力部件可选择地带动手臂本体5沿滑轨7向前或者向后滑动。

这样，在传动的过程中，第一摇杆21和第二摇杆22组成的机构处于死点位置时，上述助力部件为装置提供动力，并带动手臂本体5沿滑轨7向前或者向后滑动，在手臂本体5滑动的过程中，第一摇杆21与第二摇杆22之间的夹角发生变化，从而使机械手臂装置顺利通过死点位置，提高了装置的传动可靠性。

请参考图2至图4，图2为本发明所提供机械手臂装置第一种具体实施方式的原理图；图3为本发明所提供机械手臂装置第一种具体实施方式的立体图；图4为图3所示机械手臂装置仰视方向的结构示意图。

在第一种具体实施方式中，本发明所提供的机械手臂装置中，所述第一转轴与所述第二摇杆22的第一端固定连接，上述助力部件包括与第一转轴固定连接的第二转轮32，以及驱动所述第二转轮32相对于所述第一摇杆21的第二端旋转的动力部件。当机械手臂装置处于不传力的死点位置时，第二转轮32在动力部件的驱动下相对于第一摇杆21的第二端旋转，由于第一转轴与第二摇杆22的第一端固定连接，则上述运动带动第二摇杆22的第二端在滑轨7上向前或者向后滑动（也即第二摇杆22的第二端连接的手臂本体5在滑轨7上向前或者向后滑动），从而改变第一摇杆21与第二摇杆22之间的夹角，进而推动机械手臂装置克服其死点位置，提高了装置的传送可靠性。

上述动力部件还可以包括铰接于所述第一摇杆21的第一端的第一转轮31，以及连接所述第一转轮31和所述第二转轮32的传动带4；所述第一转轮31在外力的作用下可选择地旋转。

当机械手臂装置处于不传力的死点位置时，第一转轮31在外力的驱动下转动，而第一转轮31的转动带动传动带4的运动，从而带动第二转轮32随第一转轮31转动，由于第二转轮32与第二摇杆22的第一端固定连接，因此，第二转轮32在随第一转轮31转动的过程中，会带动第二摇杆22以其第一端为中心摆动，进而带动手臂本体5在滑轨7上向前或者向后运动；同时，带动第一转轴绕第一摇杆的第一端摆动，从而带动第一摇杆绕其第一端旋转。这样，机械手臂装置的动力通过第一转轮31、第二转轮32以及两转轮之间的传动带4传递，即便第一摇杆21和第二摇杆22在机构运动过程中出现了死点位置，也不会对机构的运动造成影响，从而使得装置能够顺利地通过死点位置，提高了机械手臂装置的工作可靠性。

上述第一转轮31、第一摇杆21的第一端可以均通过第一铰接轴安装于滑轨7的中心位置。而上述各部件的安装位置也不局限于滑轨7的中心位置，在满足使用要求的前提下，也可以安装于其他位置。

上述第二摇杆22的第二端还可以铰接有滑块6，第二摇杆22的第二端通过滑块6安装上述手臂本体5。这样，先将手臂本体5安装于滑块6上，再将滑块6与第二摇杆22的第二端铰接，安装较为方便；同时，通过滑块6在滑轨7上的运动，从而实现手臂本体5以预定的轨道运动，提高了手臂本体5的运动可靠性，并且避免了手臂本体5直接与滑轨7相接触而产生的摩擦破坏，提高了手臂本体5的使用寿命。

上述滑轨7可以为直线形导轨，也可以为其他形式的导轨，滑轨7的具体形式和长度应根据使用过程中所需要的传送路径确定，其具体形状和长度不应受到本说明书的限制；需要指出的是，一般在基片处理***中应用的机械手臂装置中的滑轨一般为水平直线导轨。

上述第二摇杆22的第一端可以通过螺钉与第二转轮32固定连接，也可以通过其他常规的连接方式实现两者的可靠连接，以保证第二转轮32与第二摇杆22的同步运动。

需要指出的是，由于机械手臂装置使用环境和自身结构要求的限制，上述第一摇杆21和第二摇杆22通常具有相等的长度，因此，由第一摇杆21和第二摇杆22构成的结构仍然会具有机构不传力的位置，也即死点位置，此时，通过第一转轮31、第二转轮32以及传动带4构成的传动机构会使装置顺利通过上述死点位置。

在上述结构的基础上，请参考图3和图4；本发明所提供的传动带4可以为具有适当拉紧力的柔性部件。当第一转轮31在动力部件的驱动下转动时，对传动带4施加拉力的作用，传动带4将该拉力传递至第二转轮32，并带动第二转轮32转动，从而实现机械手臂装置的运动。

上述传动带4可以具体为钢带，当然也可以为其他能够实现使用功能的材料，并且，传动带4的长度和厚度等参数应根据使用中的施工条件确定，在此不做限制。

上述传动带4也不局限于上述钢带，也可以为皮带或带齿的同步带等部件，且皮带或带齿的同步带的应用较为广泛，成本较低，可以降低传动带4的维护成本。

上述驱动部件可以为伺服电机，当然也可以为其他能够实现使用功能的驱动装置。

如图4所示，上述传动带4可以包括第一传动带41和第二传动带42，且第一传动带41和第二传动带42交叉设置。此时，当第一转轮31顺时针转动时，第一传动带41张紧并带动第二转轮32逆时针转动，当第一转轮31逆时针转动时，第二传动带42张紧并带动第二转轮32顺时针转动，也即第一转轮31和第二转轮32的转动方向相反；同时，手臂本体5在导轨7左侧（以上述第一铰接轴为基准将导轨7分为左右两侧，且该左右是指图4中的左右方向）的运动过程中，当第一摇杆21绕其第一端顺时针转动时，第一摇杆21和第二摇杆22之间的夹角变小，手臂本体5向靠近上述第一铰接轴的方向运动，反之，当第一摇杆21绕其第一端逆时针转动时，第一摇杆21和第二摇杆22之间的夹角变大，手臂本体5向远离第一铰接轴的方向运动；在手臂本体5位于导轨7右侧的运动过程中，手臂本体5的运动方向与上述相反。以上实现的运动方向与目前使用的典型的机械手臂装置的运动方向相同，因此，将助力部件增加至原有的设备中时，无需改变原有的方向控制策略，从而降低了机械手臂装置的改进难度，并且显著降低了改进成本。

当上述第一传动带41和第二传动带42交叉设置时，虽然能够提高装置的通用性，但是，由于第一传动带41和第二传动带42与第一摇杆21轴线之间的夹角较大，传动力在垂直于第一摇杆21轴线方向上的分力较大，在某种情况下可能不利于机构中的第二摇杆22顺利通过死点位置。因此，为了提高该结构形式的传动可靠性，令第一摇杆21的第一端和第一转轮31可分别由不同的驱动装置驱动，以提高传动的可靠性。

上述第一传动带41和第二传动带42交叉设置具体是指，两传动带大体呈“8”字形缠绕于第一转轮31和第二转轮32之间；需要指出的是，为了防止在传动过程中第一传动带41和第二传动带42发生接触，因此，两传动带在转轮上的缠绕位置应具有一定的高度差。

上述第一转轮31的直径可以为第二转轮32直径的两倍，这样，本发明所提供的机械手臂装置与现有技术中的机械手臂装置在工作时的传送速度相同，因此，仅需在现有机械手臂装置的基础上增加第一转轮31、第二转轮32以及两转轮之间的传动带4即能够实现机械手臂装置的既定功能，而无需改变原有的速度控制策略，从而降低了机械手臂装置的改进难度，降低了改进成本。

还可以对本发明所提供的机械手臂装置进行进一步的改进。

请参考图5至图10；图5为本发明所提供机械手臂装置第二种具体实施方式的原理图；图6为本发明所提供机械手臂装置第二种具体实施方式的立体图；图7为图6所示机械手臂装置的俯视方向的结构示意图；图8为图6所示机械手臂装置的两摇杆重叠状态下的立体图；图9为本发明所提供机械手臂装置在图8状态下的俯视方向的结构示意图；图10为图9中A-A方向的示意图。

在第二种具体实施方式中，传动带4包括第一传动带41和第二传动带42；第一传动带41的两端分别安装于第一转轮31和第二转轮32的同侧，第二传动带42的两端分别安装于第一转轮31和第二转轮32的另一侧。

需要指出的是，为了防止在传动过程中第一传动带41和第二传动带42发生接触，因此，两传动带在转轮上的缠绕位置应具有一定的高度差。

这样，如图9所示，当第一转轮31逆时针转动时，第一传动带41张紧并带动第二转轮32同样逆时针转动，当第一转轮31顺时针转动时，第二传动带42张紧并带动第二转轮32顺时针转动，也即第一转轮31和第二转轮32的转动方向相同；同时，手臂本体5在滑轨7的右侧（以上述第一铰接轴为基准将导轨7分为左右两侧，且该左右是指图9中的左右方向）运动时，当第一摇杆21绕其第一端逆时针转动时，第一摇杆21和第二摇杆22之间的夹角变小，手臂本体5向靠近上述第一铰接轴的方向运动，反之，当第一摇杆21绕其第一端顺时针转动时，第一摇杆21和第二摇杆22之间的夹角变大，手臂本体5向远离第一铰接轴的方向运动；而手臂本体5在滑轨7的左侧运动时，上述运动情况相反。上述动作过程同样能够在机构处于死点位置时，对机构施加足够的作用力，使机构顺利通过死点；需要指出的是，以上述方式设置的第一传动带41和第二传动带42在工作过程中，传动带4的作用力方向与第一摇杆21的轴线所形成的夹角较小，减小了垂直于第一摇杆21的轴线方向的分力，从而减小了传动力的损失，进一步提高了传动效果。

显然地，上述传动带也不局限于上述钢带，还可以为皮带或带齿的同步带等部件，且皮带或带齿的同步带的应用较为广泛，成本较低，可以降低传动带4的维护成本。

上述第一转轮31的直径和第二转轮32的直径可以相同，此时，上述第一传动带41和第二传动带42大体平行地设置，此时，传动带4与第一摇杆21轴线的夹角大体为零，则传动力在垂直于第一摇杆21轴线方向上的分力大体为零，从而进一步减少了有效传动力的损失，提高了传动效果。

当第一传动带41和第二传动带42大体平行的设置时，由于两传动带与第一摇杆21轴线的夹角均大体为零，因此，传动过程中所损失的力矩几乎为零，此时，可以仅使第一转轮31在驱动部件的驱动下转动，而第一摇杆21在上述第一转轴的带动下被动运动。

在第三种具体实施方式中，所述动力部件还可以包括铰接于所述第一摇杆21的第一端的第一转轮31；所述第一转轮31与所述第二转轮31为在外圈相啮合的齿轮，且所述第一转轮31在外力的作用下可选择地旋转。

上述第一转轮31的分度圆直径可以为第二转轮32分度圆直径的两倍。这样，在工作过程中，手臂本体5运动的速度与原有设备的预定速度相同，从而提高了装置的适用性。

除了以上具体实施方式，本发明所提供的助力部件还可以为其他部件或者装置，其作用为，通过改变第一摇杆21与第二摇杆22之间的角度关系，使装置克服并顺利通过死点位置，从而带动手臂本体5沿滑轨7向前或者向后滑动，因此，能够实现上述使用功能的部件或者装置均可以作为上述助力部件的具体实施方式，其具体结构不受本说明书的限制。

除了上述机械手臂装置，本发明还提供一种包括上述机械手臂装置的基片处理***，该基片处理***的其他各部分结构请参考现有技术，在此不再赘述。

以上对本发明所提供的一种基片处理***以及机械手臂装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (12)

1.一种机械手臂装置，包括第一摇杆（21）和第二摇杆（22）；所述第一摇杆（21）通过其第一端与该机械手臂装置的基础部分相铰接，所述第二摇杆（22）的第一端通过第一转轴与所述第一摇杆（21）的第二端相铰接；所述第一摇杆（21）绕其第一端旋转时，所述第二摇杆（22）带动与其连接的手臂本体（5）沿滑轨（7）滑动；其特征在于，还包括助力部件，所述助力部件在摇杆机构处于死点位置时带动所述手臂本体（5）沿所述滑轨（7）向前或者向后滑动，以调整所述第一摇杆（21）与所述第二摇杆（22）之间的夹角。

2.根据权利要求1所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第一转轴与所述第二摇杆（22）的第一端固定连接；所述助力部件包括与所述第一转轴固定连接的第二转轮（32），以及驱动所述第二转轮（32）相对于所述第一摇杆（21）的第二端旋转的动力部件。

3.根据权利要求2所述的机械手臂装置，其特征在于，所述动力部件包括铰接于所述第一摇杆（21）的第一端的第一转轮（31），以及连接所述第一转轮（31）和所述第二转轮（32）的传动带（4）；所述第一转轮（31）在外力的作用下可选择地旋转。

4.根据权利要求3所述的机械手臂装置，其特征在于，所述传动带（4）包括交叉设置的第一传动带（41）和第二传动带（42）。

5.根据权利要求4所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第一转轮（31）的直径为所述第二转轮（32）直径的两倍。

6.根据权利要求3所述的机械手臂装置，其特征在于，所述传动带（4）包括第一传动带（41）和第二传动带（42）；所述第一传动带（41）的两端分别安装于所述第一转轮（31）和所述第二转轮（32）的同侧，所述第二传动带（42）的两端分别安装于所述第一转轮（31）和所述第二转轮（32）的另一侧。

7.根据权利要求6所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第一转轮（31）的直径与所述第二转轮（32）的直径相同。

8.根据权利要求1至7任一项所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第二摇杆（22）的第二端铰接有滑块（6），所述第二摇杆（22）的第二端通过滑块（6）安装所述手臂本体（5）。

9.根据权利要求2所述的机械手臂装置，其特征在于，所述动力部件包括铰接于所述第一摇杆（21）的第一端的第一转轮（31）；所述第一转轮（31）与所述第二转轮（32）为在外圈相啮合的齿轮，且所述第一转轮（31）在外力的作用下可选择地旋转。

10.根据权利要求9所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第一转轮（31）的分度圆直径为所述第二转轮（32）分度圆直径的两倍。

11.根据权利要求9所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第一转轮（31）的分度圆直径与所述第二转轮（32）的分度圆直径相等。

12.一种基片处理***，其特征在于，包括权利要求1至11任一项所述的机械手臂装置。

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