CN1779936A - 二维并联驱动的硅片搬运机器人 - Google Patents

二维并联驱动的硅片搬运机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN1779936A
CN1779936A CN 200510010440 CN200510010440A CN1779936A CN 1779936 A CN1779936 A CN 1779936A CN 200510010440 CN200510010440 CN 200510010440 CN 200510010440 A CN200510010440 A CN 200510010440A CN 1779936 A CN1779936 A CN 1779936A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bearing
synchronous
synchronous pulley
rocking arm
splined shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 200510010440
Other languages
English (en)
Other versions
CN100342517C (zh
Inventor
孙立宁
刘延杰
荣伟彬
曲东升
谢晖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CNB2005100104406A priority Critical patent/CN100342517C/zh
Publication of CN1779936A publication Critical patent/CN1779936A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100342517C publication Critical patent/CN100342517C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。

Description

二维并联驱动的硅片搬运机器人
(一)、所属领域
本发明涉及的是一种工业机器人。具体地说是一种IC制造工艺设备中用于硅片搬运传输的机器人。
(二)、背景技术
在IC制造工艺流程中，从拉单晶到最后检查的诸多关键制造设备中，大量使用了各种用于硅片搬运的机器人装备。随着IC制造业的迅速发展，对硅片搬运机器人的运动速度和定位精度提出了越来越高的要求。硅片搬运机器人的R轴和Z轴运动是这类机器人的两个运动，目前都是采用串联式联接结构。这种串联结构限制了R轴和Z轴运动速度和定位精度的进一步提高。
(三)、发明内容
本发明的目的在于提供一种结构紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能的二维并联驱动的硅片搬运机器人。
本发明的目的是这样实现的：它包括机体、导轨2、丝杠3、滚珠花键组合体、框架螺母5、套筒6、同步电机和同步轮I7、同步电机和同步轮II8、同步带结构I9、摇臂I10，轴I12、摇臂II13、同步带结构II14、轴II15、夹持机械手16和罩体17。机体包括机体底座1.1和机体支座1.2，同步电机和同步轮I7安装在机体底座1.1上，三根导轨2固定连接于机体底座1.1和机体支座1.2之间，丝杠3用轴承连接于机体底座1.1和机体支座1.2之间，丝杠3下端和同步电机和同步轮I7相连接，框架螺母5的下端在机体底座1.1和机体支座1.2之间、上端在机体支座1.2之上，滚珠花键组合体包括花键轴4.1、花键内圈4.2和轴承外套4.3，花键轴4.1和机体支座1.2的上端有轴承连接，花键轴4.1的下端和同步电机和同步轮II8连接，花键内圈4.2和摇臂I10固定连接，轴承外套4.3和同步带轮I9.1固定连接，同步带结构I包括同步带轮I9.1、同步带轮II9.2和连接于两同步带轮之间的同步带I9.3，同步带轮I9.1的下端通过套筒6和框架螺母5的上端面固连，同步带结构I位于摇臂I10之内，同步带结构II14包括同步带轮III14.1、同步带轮IV14.2和连接于两同步带轮之间的同步带II14.3，同步带结构II14位于摇臂II13之内，同步带轮II9.2和同步带轮III14.1安装在轴I12上，轴I12和摇臂I10固定连接在一起。
本发明还可以包括这样一些结构特征：
1、框架螺母5的下端在机体底座1.1和机体支座1.2之间，框架螺母5的下端和导轨2是滑动连接、和丝杠3是螺纹传动连接。
2、框架螺母5的上下端中间为三根支柱，支柱穿过机体支座1.2，和机体支座1.2无接触。
3、所述框架螺母5的上端和同步带轮I9.1通过套筒6固定连接。
4、花键轴4.1和机体支座1.2的上端有轴承连接，花键轴4.1的下端和同步电机和同步轮II8连接，轴承内套4.2和花键轴4.1有相对滑动而无相对转动，轴承内套4.2和轴承外套4.3有相对转动而无相对滑动，轴承内套4.2和摇臂110固定连接，轴承外套4.3和同步带轮I9.1固定连接。
本发明的工作原理为：
Z轴的运动：同步电机和同步轮I7驱动丝杠3转动，丝杠3和框架螺母5之间的螺旋传动带动框架螺母5沿导轨2上下运动，从而带动套筒6、同步带轮I9.1、轴承外套4.3、花键内圈4.2沿花键轴4.1上下运动，进而带动所有同步带机构和摇臂机构和夹持机械手上下运动。
R轴的运动：同步电机和同步轮II8驱动花键轴4.1转动，花键轴4.1带动花键内圈4.2转动，从而带动摇臂I10以花键轴4.1的轴心为轴心转动。同步带轮I9.1的下端通过套筒6和框架螺母5的上端面固连，所以无转动。摇臂I10和同步带轮I9.1的相对转动通过同步带I9.3的传动使同步带轮II9.2相对于轴I12转动，而轴I12和摇臂I10固定连接在一起，所以同步带轮II9.2和摇臂I10相对转动。同步带轮II9.2的上端和摇臂II13固定连接，从而摇臂II13以轴I12的轴心为轴心相对摇臂I10和轴I12转动。同步带轮III14.1和轴I12固定连接在一起，所以同步带轮III14.1相对摇臂II13转动，进而通过同步带II14.3使同步带轮IV14.2相对相对摇臂II13转动。同步带轮IV14.2和轴II15固定连接在一起，轴II15和摇臂II13通过轴承IV11.4和轴承V11.5联接，从而使轴II15相对摇臂II13转动。轴II15和夹持机械手16固定连接在一起，从而使夹持机械手16和摇臂II13有相对转动。
同步带结构I9的传动比为2∶1，同步带结构II14的传动比为1∶2，摇臂I10和摇臂II13等长，整个机构可简化等价成曲柄滑块结构，可使夹持机械手16沿R轴方向运动而保持姿态不变。
本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转(θ轴，机器人腰部的旋转运动，因与本发明没有直接关系，附图中未画出)半径方向的直线运动，R轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
(四)、附图说明
图1为本发明的整个机构的轴测图；
图2为图1去掉同步电机和同步轮I7、同步电机和同步轮II8、摇臂I10、摇臂II13、夹持机械手16和罩体17之后的内部结构；
图3为图2的透视图，旨在指出轴承I11.1和轴承VIII11.8。
(五)、具体实施方案
下面结合附图举例对本发明做更详细地描述：
机体底座1.1和机体支座1.2之间固定连接三个导轨2以圆形机体底座1.1的圆心为圆心按120度分布。丝杠3的下端通过轴承VI11.6和机体底座1.1联接，上端通过轴承VIII11.8和机体支座1.2联接。同步电机和同步轮I7固定在机体底座1.1上，它与同步轮和丝杠3的下端固定连接在一起。
框架螺母5中心和丝杠3的轴心相合，它们之间是螺纹传动联接。导轨2穿过框架螺母5下部的三个孔，和框架螺母5有上下相对滑动，对框架螺母5起垂直导向作用。框架螺母5中间的三个支柱穿过机体支座1.2的三个孔，它们之间无接触。
同步电机和同步轮II8固定在机体支座1.2的上部，它的同步轮和花键轴4.1的下端相固连，而花键轴4.1再往下通过轴承VII11.7和机体支座1.2的上部相连接。花键内圈4.2只相对花键轴4.1上下滑动而无转动，轴承外套4.3通过滚珠和花键内圈4.2有相对转动而无上下滑动。同步带轮I9.1的下端通过套筒6和框架螺母5的上端面固连，同步带轮I9.1的内圈和轴承外套4.3固连。摇臂I10的一端和花键内圈4.2固连在一起。另一端和轴I12固连在一起。同步带轮II9.2通过轴承I11.1、轴承II11.2和轴I12相连接，和轴I12有相对转动。同步带轮I9.1通过同步带I9.3和同步带轮II9.2有同步带传动。同步带轮II9.2的上端和摇臂II13固定连接。轴I12的上端通过轴承III11.3和摇臂II13联接，和摇臂II13有相对转动。同步带轮III14.1和轴I12固定连接在一起。同步带轮IV14.2和轴II15固定连接在一起。同步带轮III14.1和同步带轮IV14.2通过同步带II14.3进行同步带传动。轴II15和摇臂II13通过轴承IV11.4和轴承V11.5联接，两者之间有相对转动。夹持机械手16和轴II15固定连接在一起。

Claims (6)

1、一种二维并联驱动的硅片搬运机器人，它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)，其特征是：机体包括机体底座(1.1)和机体支座(1.2)，同步电机和同步轮I(7)安装在机体底座(1.1)上，三根导轨(2)固定连接于机体底座(1.1)和机体支座(1.2)之间，丝杠(3)用轴承连接于机体底座(1.1)和机体支座(1.2)之间，丝杠(3)下端和同步电机和同步轮I(7)相连接，框架螺母(5)的下端在机体底座(1.1)和机体支座(1.2)之间、上端在机体支座(1.2)之上，滚珠花键组合体包括花键轴(4.1)、花键内圈(4.2)和轴承外套(4.3)，花键轴(4.1)和机体支座(1.2)的上端有轴承连接，花键轴(4.1)的下端和同步电机和同步轮II(8)连接，花键内圈(4.2)和摇臂I(10)固定连接，轴承外套(4.3)和同步带轮I(9.1)固定连接，同步带结构I包括同步带轮I(9.1)、同步带轮II(9.2)和连接于两同步带轮之间的同步带I(9.3)，同步带轮I(9.1)的下端通过套筒(6)和框架螺母(5)的上端面固连，同步带结构I位于摇臂I(10)之内，同步带结构II(14)包括同步带轮III(14.1)、同步带轮IV(14.2)和连接于两同步带轮之间的同步带II(14.3)，同步带结构II(14)位于摇臂II(13)之内，同步带轮II(9.2)和同步带轮III(14.1)安装在轴I(12)上，轴I(12)和摇臂I(10)固定连接在一起。
2、根据权利要求1所述的二维并联驱动的硅片搬运机器人，其特征是：框架螺母(5)的下端在机体底座(1.1)和机体支座(1.2)之间，框架螺母(5)的下端和导轨(2)是滑动连接、和丝杠(3)是螺纹传动连接。
3、根据权利要求1或2所述的二维并联驱动的硅片搬运机器人，其特征是：框架螺母(5)的上下端中间为三根支柱，支柱穿过机体支座(1.2)，和机体支座(1.2)无接触。
4、根据权利要求3所述的二维并联驱动的硅片搬运机器人人，其特征是：所述框架螺母(5)的上端和同步带轮I(9.1)通过套筒(6)固定连接。
5、根据权利要求1、2或4所述的二维并联驱动的硅片搬运机器人，其特征是：花键轴(4.1)和机体支座(1.2)的上端有轴承连接，花键轴(4.1)的下端和同步电机和同步轮II(8)连接，轴承内套(4.2)和花键轴(4.1)有相对滑动而无相对转动，轴承内套(4.2)和轴承外套(4.3)有相对转动而无相对滑动，轴承内套(4.2)和摇臂1(10)固定连接，轴承外套(4.3)和同步带轮I(9.1)固定连接。
6、根据权利要求3所述的二维并联驱动的硅片搬运机器人，其特征是：花键轴(4.1)和机体支座(1.2)的上端有轴承连接，花键轴(4.1)的下端和同步电机和同步轮II(8)连接，轴承内套(4.2)和花键轴(4.1)有相对滑动而无相对转动，轴承内套(4.2)和轴承外套(4.3)有相对转动而无相对滑动，轴承内套(4.2)和摇臂1(10)固定连接，轴承外套(4.3)和同步带轮I(9.1)固定连接。
CNB2005100104406A 2005-10-19 2005-10-19 二维并联驱动的硅片搬运机器人 Expired - Fee Related CN100342517C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2005100104406A CN100342517C (zh) 2005-10-19 2005-10-19 二维并联驱动的硅片搬运机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2005100104406A CN100342517C (zh) 2005-10-19 2005-10-19 二维并联驱动的硅片搬运机器人

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1779936A true CN1779936A (zh) 2006-05-31
CN100342517C CN100342517C (zh) 2007-10-10

Family

ID=36770171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005100104406A Expired - Fee Related CN100342517C (zh) 2005-10-19 2005-10-19 二维并联驱动的硅片搬运机器人

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN100342517C (zh)

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100410026C (zh) * 2006-10-17 2008-08-13 大连理工大学 一种净化机器人
CN101195220B (zh) * 2006-11-15 2010-06-09 罗普伺达机器人有限公司 双臂型机器人
CN101908497A (zh) * 2010-07-14 2010-12-08 哈尔滨工业大学 一种应用于高洁净度环境下的双臂传输机器人
CN101506963B (zh) * 2006-08-21 2011-04-06 株式会社安川电机 双臂型机器人
CN102019615A (zh) * 2010-10-20 2011-04-20 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种晶片传递装置
CN102059187A (zh) * 2009-11-17 2011-05-18 赵德志 小型喷涂机器人
CN102085658A (zh) * 2009-12-07 2011-06-08 株式会社安川电机 水平多关节机械手以及具备该机械手的输送装置
CN102085934A (zh) * 2010-12-31 2011-06-08 广东理文造纸有限公司 一种自动贴标签机械手
WO2011069409A1 (zh) * 2009-12-10 2011-06-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种机械手臂装置及包括该机械手臂装置的基片处理***
CN102126208A (zh) * 2011-03-16 2011-07-20 哈尔滨工业大学 一种并联型r轴扩展机械臂
CN101698253B (zh) * 2009-06-19 2011-07-20 南京理工大学 高温锯片自动传送专用机械装置
CN102126209A (zh) * 2011-03-16 2011-07-20 哈尔滨工业大学 一种用于硅片传输机器人的w轴差轴传动机构
CN102157417A (zh) * 2011-03-16 2011-08-17 哈尔滨工业大学 一种硅片传输机器人
CN102161199A (zh) * 2011-03-16 2011-08-24 哈尔滨工业大学 一种用于硅片传输机器人的w轴同轴传动机构
CN102176423A (zh) * 2011-03-16 2011-09-07 哈尔滨工业大学 硅片传输机器人z轴双重限位机构
CN102200181A (zh) * 2011-03-16 2011-09-28 哈尔滨工业大学 一种z轴传动结构
CN101599421B (zh) * 2009-04-21 2011-12-07 张万进 一种硅片码片机
CN102270593A (zh) * 2010-06-04 2011-12-07 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种离子注入机机械臂装卸托盘
CN103802131A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 堆垛机手臂结构及其走线布置方法
CN104276412A (zh) * 2013-07-11 2015-01-14 楚天科技股份有限公司 用于胶塞或铝盖装料罐的出料装置
CN104401707A (zh) * 2014-11-25 2015-03-11 绍兴滨海华强机械有限公司 一种上喷丝板助力机
CN106184895A (zh) * 2016-08-29 2016-12-07 杭州三迪数控设备有限公司 一种有粉无粉医用乳胶手套包装机夹取装置
CN106379730A (zh) * 2016-11-09 2017-02-08 北京工业大学 采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构
CN106541042A (zh) * 2015-09-23 2017-03-29 任思旭 薄片零件冲压加工上下料机械手臂***
CN109760029A (zh) * 2019-03-22 2019-05-17 中国电子科技集团公司第三十八研究所 基于同步带轮传动的扁平型单臂机器人
CN112621718A (zh) * 2020-12-10 2021-04-09 台州学院 一种二自由度并联驱动机械手

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102602867A (zh) * 2012-03-09 2012-07-25 南京博健科技有限公司 药物灌装多维运动跟踪***

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6634851B1 (en) * 1999-01-15 2003-10-21 Asyst Technologies, Inc. Workpiece handling robot
US6663333B2 (en) * 2001-07-13 2003-12-16 Axcelis Technologies, Inc. Wafer transport apparatus
JP2003117877A (ja) * 2001-10-17 2003-04-23 Japan Servo Co Ltd 多関節型の産業用ロボット

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101506963B (zh) * 2006-08-21 2011-04-06 株式会社安川电机 双臂型机器人
CN100410026C (zh) * 2006-10-17 2008-08-13 大连理工大学 一种净化机器人
CN101195220B (zh) * 2006-11-15 2010-06-09 罗普伺达机器人有限公司 双臂型机器人
CN101599421B (zh) * 2009-04-21 2011-12-07 张万进 一种硅片码片机
CN101698253B (zh) * 2009-06-19 2011-07-20 南京理工大学 高温锯片自动传送专用机械装置
CN102059187A (zh) * 2009-11-17 2011-05-18 赵德志 小型喷涂机器人
CN102085658A (zh) * 2009-12-07 2011-06-08 株式会社安川电机 水平多关节机械手以及具备该机械手的输送装置
WO2011069409A1 (zh) * 2009-12-10 2011-06-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种机械手臂装置及包括该机械手臂装置的基片处理***
CN102092044B (zh) * 2009-12-10 2013-02-06 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种基片处理***及其机械手臂装置
CN102270593B (zh) * 2010-06-04 2013-08-14 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 一种离子注入机机械臂装卸托盘
CN102270593A (zh) * 2010-06-04 2011-12-07 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种离子注入机机械臂装卸托盘
CN101908497A (zh) * 2010-07-14 2010-12-08 哈尔滨工业大学 一种应用于高洁净度环境下的双臂传输机器人
CN101908497B (zh) * 2010-07-14 2013-04-10 哈尔滨工业大学 一种应用于高洁净度环境下的双臂传输机器人
CN102019615A (zh) * 2010-10-20 2011-04-20 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种晶片传递装置
CN102085934A (zh) * 2010-12-31 2011-06-08 广东理文造纸有限公司 一种自动贴标签机械手
CN102161199B (zh) * 2011-03-16 2012-09-19 哈尔滨工业大学 一种用于硅片传输机器人的w轴同轴传动机构
CN102157417B (zh) * 2011-03-16 2013-07-10 哈尔滨工业大学 一种硅片传输机器人
CN102176423A (zh) * 2011-03-16 2011-09-07 哈尔滨工业大学 硅片传输机器人z轴双重限位机构
CN102126209B (zh) * 2011-03-16 2012-08-15 哈尔滨工业大学 一种用于硅片传输机器人的w轴差轴传动机构
CN102126208B (zh) * 2011-03-16 2012-09-19 哈尔滨工业大学 一种并联型r轴扩展机械臂
CN102161199A (zh) * 2011-03-16 2011-08-24 哈尔滨工业大学 一种用于硅片传输机器人的w轴同轴传动机构
CN102176423B (zh) * 2011-03-16 2012-12-19 哈尔滨工业大学 硅片传输机器人z轴双重限位机构
CN102157417A (zh) * 2011-03-16 2011-08-17 哈尔滨工业大学 一种硅片传输机器人
CN102126209A (zh) * 2011-03-16 2011-07-20 哈尔滨工业大学 一种用于硅片传输机器人的w轴差轴传动机构
CN102200181A (zh) * 2011-03-16 2011-09-28 哈尔滨工业大学 一种z轴传动结构
CN102126208A (zh) * 2011-03-16 2011-07-20 哈尔滨工业大学 一种并联型r轴扩展机械臂
CN102200181B (zh) * 2011-03-16 2014-02-12 哈尔滨工业大学 一种z轴传动结构
CN103802131A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 堆垛机手臂结构及其走线布置方法
CN104276412A (zh) * 2013-07-11 2015-01-14 楚天科技股份有限公司 用于胶塞或铝盖装料罐的出料装置
CN104401707A (zh) * 2014-11-25 2015-03-11 绍兴滨海华强机械有限公司 一种上喷丝板助力机
CN106541042A (zh) * 2015-09-23 2017-03-29 任思旭 薄片零件冲压加工上下料机械手臂***
CN106184895A (zh) * 2016-08-29 2016-12-07 杭州三迪数控设备有限公司 一种有粉无粉医用乳胶手套包装机夹取装置
CN106379730A (zh) * 2016-11-09 2017-02-08 北京工业大学 采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构
CN109760029A (zh) * 2019-03-22 2019-05-17 中国电子科技集团公司第三十八研究所 基于同步带轮传动的扁平型单臂机器人
CN112621718A (zh) * 2020-12-10 2021-04-09 台州学院 一种二自由度并联驱动机械手

Also Published As

Publication number Publication date
CN100342517C (zh) 2007-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100342517C (zh) 二维并联驱动的硅片搬运机器人
CN2917979Y (zh) 工业机械手
CN103640028B (zh) 一种平面关节型机器人结构
CN100562410C (zh) 一种平面多关节机器人
TWI415778B (zh) Multi - joint robots
CN101873910B (zh) 一种用于对物体进行处理和/或执行加工操作的装置
CN1757491B (zh) 机器人
CN104723332B (zh) 一种直驱式可翻转晶圆传输机器人
CN101549493B (zh) 一种双臂玻璃基板搬运机器人
KR20010101564A (ko) 작업물 취급 로봇
CN102069499A (zh) 并联机器人
CN108258105A (zh) 一种led固晶机及固晶方法
CN106584429A (zh) 一种驱动固定的两转动一移动并联机构
CN107150334B (zh) 一种平面关节机器人
CN108356804A (zh) 一种晶圆搬运机械手
CN2850850Y (zh) 平面多关节机器人
CN203579682U (zh) 一种新型平面关节型机器人结构
CN108115539A (zh) 一种汽车变速箱内的齿轮轴的抛光上油加工设备
CN202701944U (zh) 一种任意曲率半径光学零件的加工设备
CN1546286A (zh) 转动副组合单元及其组成的运动解耦并联机构
CN205310082U (zh) 一种五轴悬臂喷砂机器人
CN200970769Y (zh) 平面多关节机器人
CN109227519A (zh) 一种驱动固定的两转动一移动弧形导轨并联机构
CN110154002A (zh) 一种平面二自由度并联机构
CN105773580A (zh) 一种并联机器人及应用在该并联机器人上的直线轴大臂

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20071010

Termination date: 20111019