CN101933396A - 色变换滤光片的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于调节作为基底的彩色滤光层与色变换层形成用的墨水液滴之间的相互作用，形成具有高精细图案的色变换层的简便方法。本发明的方法的特征在于，包括：在透明基板上形成由聚硅氧烷和颜料构成的多种彩色滤光层，并在不同种的彩色滤光层的边界部分形成由树脂构成的堤坝，由此提供彩色滤光片的工序；对该彩色滤光片进行氧等离子体处理的工序；对该彩色滤光片进行氟等离子体处理的工序；和在该彩色滤光片的彩色滤光层上，使用喷墨法形成一种或多种的色变换层的工序。
Description
技术领域
本发明涉及色变换滤光片的制造方法。特别是涉及包括具有高精度图案的色变换层的色变换滤光片的制造方法。
背景技术
作为使用有机EL元件实现多色发光的方法之一，有色变换方式。色变换方式是将色变换层配设于有机EL元件的前面从而实现多色的方法，该色变换层吸收有机EL元件的发光进行波长分布变换，从而放射具有不同波长分布的光。由于色变换方式所使用的有机EL元件为1种(单色)，因此制造容易，积极研究着向大画面显示器的开发。另外，色变换方式通过进一步组合使特定波长区域的光透过的彩色滤光层，具有能够得到良好的色彩再现性等的有利特征。
作为这样的色变换层，在日本特开平8-286033号公报中提出了使荧光色素在高分子树脂中分散的结构(参照专利文献1)。但是，为了利用提出的树脂分散型色变换层得到充分的效率，需要使色变换层的膜厚为10μm左右。除此之外，为了在色变换层的上表面形成有机EL元件，需要使色变换层的上表面的凹凸变得平坦的技术以及遮蔽由色变换层产生的水分的技术等的特殊技术。这些方面导致显示器的成本上升。
为了解决树脂分散型色变换层的问题，日本特开2002-75643号公报和日本特开2003-217859号公报中提出了使用蒸镀法、溅镀法等干式工艺形成不含树脂的色变换层的方法(参照专利文献2和3)。在该方法中，能够形成膜厚2μm以下的色变换层，但是存在难以形成高精细(例如150ppi以上)的图案的问题。
作为具有较小膜厚和高精细度的图案的色变换层的形成方法，日本特开2004-253179号公报、日本特开2006-73450号公报、日本特开2006-32010号公报、日本特开2003-229261号公报等，提出了喷墨法(参照专利文献4～7)。使用喷墨法形成色变换层的优点在于，墨水的利用效率非常高，由此能够抑制形成色变换层的成本。
利用喷墨法形成高精细的图案时，必须使微量的液滴精密地喷出，因而必须降低墨水的粘度。因此不能使作为墨水增粘的原因的固体成分含量过度增大，用于得到需要膜厚的液滴的体积必然增大。作为解决液滴体积增大的对策，日本特开2000-353594号公报提出了在基板上形成堤坝(bank)的方法(参照专利文献8)。日本特开2000-353594号公报记载了为了形成高精细度的图案，不仅是控制堤坝的形状，控制堤坝表面的湿润性也至关重要。具体而言，必须控制堤坝表面对墨水具有拨液性、并且作为基底的面(即，墨水接收面)对墨水具有亲液性的状态。并且，日本特开2000-353594号公报记载了为了控制堤坝表面的湿润性从而形成高精细度的图案，进行(a)使用具有不同湿润性的两种材料形成堤坝的工序、和(b)进行使用多种气体并且控制这些气体的混合比的等离子体处理(氟等离子体/氧等离子体)的工序的方法。
并且，日本特开2007-102030号公报提出了通过使用黑矩阵作为分隔壁的喷墨法形成彩色滤光层时，在二氧化碳和稀有气体的混合气体氛围下对形成有黑矩阵的基板进行大气压等离子体处理，从而提高基板表面对墨水的亲液性的方法(参照专利文献9)。在该方法中，大气压等离子体处理时的气体混合比等的复杂的控制是必要的。
另外，日本特开2003-229261号公报提出了使用湿润性可变层的方法(参照专利文献7)。该方法包括：以覆盖基板和在该基板上形成的分隔壁的方式形成湿润性可变层的工序；和仅使通过含有光催化剂层的第二基板、湿润性可变层的与基板接触的部分曝光，从而提高曝光区域的湿润性可变层对墨水的亲液性的工序。在该方法中，为了仅使湿润性可变层的与基板接触的部分曝光，在曝光工序中需要对分隔壁进行对位的掩模。因此，工序繁琐。
另外，日本特开2005-156739号公报提出了对含有光催化剂和作为拨液性付与剂的有机聚硅氧烷的层进行图案状曝光，由此制作包括拨液性部分和亲液性部分的图案形成体的方法(参照专利文献10)。日本特开2005-156739号公报记载了在图案形成体之上制作彩色滤光片、金属配线、有机EL层、生物芯片等的方案。
专利文献1：日本特开平8-286033号公报
专利文献2：日本特开2002-75643号公报
专利文献3：日本特开2003-217859号公报
专利文献4：日本特开2004-253179号公报
专利文献5：日本特开2006-73450号公报
专利文献6：日本特开2006-32010号公报
专利文献7：日本特开2003-229261号公报
专利文献8：日本特开2000-353594号公报
专利文献9：日本特开2007-102030号公报
专利文献10：日本特开2005-156739号公报
发明内容
因此，本发明希望解决的课题在于提供一种用于调节作为基底的彩色滤光层与色变换层形成用的墨水液滴之间的相互作用，形成具有高精细图案的色变换层的简便方法。
本发明的色变换滤光片的制造方法的特征在于，包括：(1)在透明基板上形成由聚硅氧烷和颜料构成的多种彩色滤光层，并在不同种的彩色滤光层的边界部分形成由树脂构成的堤坝，由此提供彩色滤光片的工序；(2)对该彩色滤光片进行氧等离子体处理的工序；(3)对该彩色滤光片进行氟等离子体处理的工序；和(4)在该彩色滤光片的彩色滤光层上，使用喷墨法形成一种或多种的色变换层的工序。另外，本发明还涉及通过上述方法制造的色变换滤光片。
发明效果
通过采用以上构成，提供一种色变换滤光片的新的制造方法，其对以聚硅氧烷作为基础的彩色滤光层和树脂制的堤坝进行氧等离子体处理和氟等离子体处理，能够同时实现彩色滤光层对色变换层形成用墨水的亲液性、以及堤坝对色变换层形成用墨水的拨液性，使用喷墨法，形成包括具有高精细度图案的色变换层的色变换滤光片。另外，使用通过本发明的方法制造的色变换滤光片，能够降低具有高精细度的平板显示器的制造成本。
附图说明
图1是表示通过本发明的制造方法形成的色变换滤光片的截面图。
符号说明
1：基板；2：黑矩阵；3：(R，G，B)彩色滤光层；4：堤坝；5：(R，G)色变换层；6：屏障(barrier)层。
具体实施方式
图1表示通过本发明的制造方法形成的色变换滤光片。图1的色变换滤光片在透明基板1上具有黑矩阵2，红色、绿色和蓝色的三种彩色滤光层3(R，G，B)，设置于不同种的彩色滤光层3的边界的堤坝4，设置于红色和绿色彩色滤光层3(R，G)上的红色和绿色的两种色变换层5(R，G)，以及以覆盖色变换层5以下的层的方式形成的屏障层6。
首先，在透明基板1上形成黑矩阵2，这是任意选择的工序。关于黑矩阵2，可以通过在使用涂布法(旋涂法)在透明基板1的整个表面上形成之后，使用光刻法等进行图案化而形成，或者也可以通过使用丝网印刷法等形成为图案状。
透明基板1优选由满足以下条件的材料形成：
(a)具有优异的光透射性和尺寸稳定性；
(b)能够耐受在其上形成的层(黑矩阵2、彩色滤光层3、色变换层5等)的形成中所使用的条件(溶剂、温度等)；
(c)能够耐受在色变换滤光片上形成有机EL元件时，有机EL元件的形成中所使用的条件(溶剂、温度等)；和
(d)不会引起使用得到的色变换滤光片而形成的多色发光显示器的性能降低。
用于形成透明基板1的材料的例子，包括玻璃、各种塑料、各种膜等。
黑矩阵2是用于遮断可见光、提高对比度的层。黑矩阵2的膜厚只要能够满足上述功能，可以任意地设定。黑矩阵2可以由沿第一方向延伸的多个条状部分构成。或者黑矩阵2也可以是由沿第一方向和第二方向(与第一方向正交的方向)延伸的条状部分构成的、具有具备多个开口部的格子状形状的一体的层。此时，黑矩阵2的开口部划定亚像素(Sub-Pixel)。黑矩阵2能够使用通常的平板显示器用的材料形成。
作为第一工序，在透明基板1上形成多种彩色滤光层3，并且在不同种的彩色滤光层3的边界部分形成堤坝4，从而得到彩色滤光片。
首先，在作为不同种的彩色滤光层3的边界部分，形成堤坝4。不设置黑矩阵2时，堤坝4在透明基板1上形成；设置黑矩阵2时，堤坝4在黑矩阵2上形成。堤坝4例如可以由沿第一方向延伸的多个条状部分构成。
从防止用于形成色变换层5的墨水向不期望的区域扩散的观点出发，堤坝4是有效的。特别是在使用喷墨法形成具有高精细度图案的色变换层时，堤坝4是有效的。形成高精细度的图案时，为了边精密地控制喷出体积边喷出液滴，必须降低墨水的粘度，不能增大作为墨水增粘原因的墨水的固体成分含量。因此，用于得到需要膜厚的色变换层的墨水体积必然增大，堤坝4的扩散防止变得重要。
另外，在如后所述使用喷墨法形成彩色滤光层3时，从防止用于形成彩色滤光层3的墨水向不期望的区域扩散的观点出发，堤坝4是有效的。此时，在形成彩色滤光层3之前，对于透明基板1、堤坝4和存在时的黑矩阵2进行氟等离子体处理，可以使堤坝4和黑矩阵2对用于形成彩色滤光层3的墨水具有拨液性。
优选堤坝4对用于形成后述的色变换层5的墨水具有拨液性。用于形成堤坝4的材料为树脂，其中包括光固化型树脂或者光热固化型树脂(例如，含有固化性部位的丙烯酸酯树脂)。堤坝4可以通过将这些材料涂布在整个表面上之后进行图案化而形成，也可以通过使用丝网印刷法等仅在希望的位置附着这些材料而形成。
接着，形成多种彩色滤光层3。在堤坝4由沿第一方向延伸的多个条状部分构成时，多种彩色滤光层3也分别由沿第一方向延伸的多个条状部分构成。多种彩色滤光层3用于使各自不同波长区域的光透过、使透射光成为期望的色相、并使透射光的色纯度提高。形成图1的色变换滤光片时，期望形成透过400nm～550nm的波长区域的光的蓝色彩色滤光层3B、透过500nm～600nm的波长区域的光的绿色彩色滤光层3G和透过600nm以上的波长区域的光的红色彩色滤光层3R。
本发明的彩色滤光层3由聚硅氧烷材料和在聚硅氧烷材料中分散的有机颜料形成。以聚硅氧烷材料的质量为基准，有机颜料在聚硅氧烷材料中的分散量为1～20质量％，优选为1～10质量％。
聚硅氧烷材料可以通过使有机二烷氧基硅烷类、有机二酰氧基硅烷类等的单体(前体)水解缩合或者共水解缩合而形成。能够使用的有机二烷氧基硅烷类包括二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、甲基苯基二甲氧基硅烷、甲基乙烯基二甲氧基硅烷、甲基乙烯基二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二乙氧基硅烷、环己基甲基二甲氧基硅烷、十七氟癸基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基二甲氧基硅烷、十八烷基甲基二甲氧基硅烷等。能够使用的有机二酰氧基硅烷类包括二甲基二乙酰氧基硅烷、二苯基二乙酰氧基硅烷等。能够使用的有机二酰氧基硅烷类包括二甲基二氯硅烷、二乙基二氯硅烷、二苯基二氯硅烷、甲基苯基二氯硅烷、甲基乙烯基二氯硅烷、十八烷基甲基二氯硅烷、十七氟癸基甲基二氯硅烷等。水解缩合或者共水解缩合可以通过在酸催化剂存在的水性条件下，混合一个或多个单体而实施。或者可以在透明基板1上，例如在150℃加热30分钟，实施前体的水解缩合或共水解缩合。
作为能够在彩色滤光层3中使用的有机颜料，包括偶氮色淀类颜料、不溶性偶氮类颜料、缩合偶氮类颜料、酞菁类颜料、喹吖啶酮类颜料、二嗪类颜料、异吲哚啉酮类颜料、蒽醌类颜料、紫环酮(perinone)类颜料、硫靛类颜料、苝类颜料或者它们的混合物。
彩色滤光层3通过使用喷墨法、丝网印刷法等，将聚硅氧烷材料或者其前体与有机颜料的分散物附着于透明基板1上而制作。在使用聚硅氧烷材料的前体时，在透明基板1上进行水解缩合或者共水解缩合而形成聚硅氧烷。
作为第二工序，对彩色滤光片(即形成有彩色滤光层3和堤坝4的透明基板1)进行氧等离子体处理，使彩色滤光层3的表面对用于形成色变换层5的墨水具有亲液性。在彩色滤光层3形成后直接对用于形成色变换层5的墨水具有充分的亲液性时，可以省略该工序。本发明的“氧等离子体处理”是在1～10Pa压力的减压氛围下进行等离子体照射的减压等离子体处理。此时，可以将氧气的流量设定为50～1000mL/分钟，施加的电力设定为50～1000W。期望通过氧等离子体处理，使彩色滤光层3的表面相对于用于形成色变换层5的墨水的接触角为15°以下。
作为第三工序，对彩色滤光片实施氟等离子体处理，使堤坝4对用于形成色变换层5的墨水具有拨液性。本发明的氟等离子体处理是在基本为大气压的含有氟或氟化合物的气体中照射等离子体的大气压等离子体处理。氟等离子体处理可以使用公知的表面处理装置实施。能够使用的氟化合物包括CF4、CHF3、SF6等。氟等离子体处理中所使用的气体为在Ar或He气体中混合有1～10％、优选2～5％的氟或者氟化合物的气体。期望通过氟等离子体处理，使堤坝4的表面相对于用于形成色变换层5的墨水的接触角为30°以上。这里，实施了氧等离子体处理后的彩色滤光层3的表面，即使通过氟等离子体处理也维持对墨水的亲液性，而不具有拨液性。
作为第四工序，使用喷墨法，在彩色滤光层3上形成一种或者多种的色变换层5。图1中表示形成红色变换层5R和绿色变换层5G的例子。根据需要，也可以仅设置红色变换层5R。或者除了红色变换层5R和绿色变换层5G之外，还设有蓝色变换层(未图示)。
用于形成色变换层5的墨水含有至少一种的色变换色素和溶剂。本发明中能够使用的色变换色素包括三(8-羟基喹啉)铝配位化合物(Alq3)等的铝螯合物类色素；3-(2-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素(香豆素6)、3-(2-苯并咪唑基)-7-二乙基氨基香豆素(香豆素7)、香豆素135等香豆素类色素；以及溶剂黄43、溶剂黄44等萘二甲酰亚胺类色素那样的低分子类有机荧光色素。另外，也可以将以聚亚苯基、聚芳撑和聚芴烃为代表的高分子荧光材料作为色变换色素使用。
根据需要，作为色变换色素，也可以使用两种以上的色素的混合物。使用色素混合物是在从蓝色光向红色光变换时等的波长位移幅度较广时有效的方法。色素混合物可以是上述色素彼此的混合物。或者也可以是上述色素与下述色素的混合物。
(1)二乙基喹吖啶酮(DEQ)等喹吖啶酮衍生物；
(2)4-二氰基亚甲基-2-甲基-6-(对二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM-1)、4-二氰基亚甲基-2-甲基-6-(久洛尼定-9-基)-4H-吡喃(DCM-2)和4-二氰基亚甲基-2-叔丁基-6-(1，1，7，7-四甲基久洛尼定-9-基)-4H-吡喃(DCJTB)等花青苷色素；
(3)4，4-二氟-1，3，5，7-四苯基-4-硼(bora)-3a，4a-二氮杂-s-苯并二茚；
(4)路玛近(Lumogen)F红；
(5)尼罗红；
(6)若丹明B、若丹明6G等呫吨类色素；或者
(7)吡啶1等吡啶类色素。
用于形成色变换层5的墨水用溶剂，可以使用能够溶解上述色变换色素的任意的溶剂。例如，可以将甲苯等非极性有机溶剂，或者氯仿、醇类、酮类等极性有机溶剂作为墨水用溶剂使用。墨水用溶剂可以以单一成分构成。或者，以调节粘度、蒸气压、溶解性和/或湿润性为目的，也可以混合多种溶剂，调制墨水用溶剂。
在本实施方式中，可以通过将至少一种色变换色素在溶剂中混合而制作墨水。为了排除水分和氧的影响，优选在不活泼性气体(例如，氮气或者氩气等稀有气体)氛围下制作墨水。在制作墨水之前，为了除去溶剂中的水分和氧，可以使用脱气处理、水分吸收剂的处理、氧吸收剂的处理、蒸馏等该技术领域中已知的任意手段，对溶剂进行前处理。
以能够进行所期望的析像度的涂布为条件，使用该技术领域中已知的任意的喷墨装置和方法，利用堤坝4分离为不同种的彩色滤光层3，在实施了等离子体处理后的彩色滤光层3上附着制作得到的墨水。喷墨装置和方法可以是热喷墨方式，也可以是压力喷墨方式。使用喷墨方式附着的墨水，能够通过堤坝4而防止扩散到必要部位以外、同时不会被排斥地在彩色滤光层3上展开。
附着之后，使溶剂蒸发将其除去，形成由至少一种色变换色素构成的色变换层5。色变换层5形成于被两个堤坝夹着的区域。在堤坝4由沿第一方向延伸的多个条状部分构成时，色变换层5也由沿第一方向延伸的多个条状构成。通过在上述不活泼性气体氛围下或者真空中，加热至溶剂蒸发的温度，实施溶剂的除去。此时，优选设定为墨水中的色变换色素不发生劣化或者热分解的加热温度。
最后，形成屏障层6，以覆盖黑矩阵2、彩色滤光层3、堤坝4和色变换层5。屏障层6的形成是能够任意选择进行的工序。在使用由于水、氧和/或有机溶剂的存在导致劣化的材料形成色变换层5时，在维持色变换层5的特性的方面，屏障层6是有效的。
能够使用对气体(包括水蒸气和氧)以及有机溶剂具有屏障性、并且在可见区域富有透明性的材料(400～700nm范围内的透射率为50％以上)形成屏障层6。优选屏障层6的材料具有电绝缘性。能够在屏障层6的形成中使用的材料，包括例如SiOx、AlOx、TiOx、TaOx、ZnOx等无机氧化物，SiNx等无机氮化物和SiNxOy等无机氧氮化物。屏障层6可以是上述材料的单一的层，也可以是多层的叠层体。
屏障层6可以通过溅射法、CVD法、真空蒸镀法等该技术领域中已知的任意方法形成。从避免形成屏障层6时对色变换层5的损伤的观点出发，优选使用能够以100℃以下的低温实施、并且成膜所使用的颗粒的能量小的CVD法形成屏障层6。
以上以具有三种彩色滤光层3和两种色变换层5的、图1所示的色变换滤光片为例，说明了本发明的制造方法。本领域技术人员能够理解，本发明的制造方法也能够适用于具有两种或者四种以上的彩色滤光层3的色变换滤光片。
实施例
<实施例1>
在透明基板1(Corning公司生产1737玻璃)上涂布彩色镶嵌图案(color mosaic)CK-7001(能够由fujifilm株式会社购入)，使用光刻法，形成具有多个矩形开口部的黑矩阵2。黑矩阵2具有1μm的膜厚。矩形开口部分别(相当于亚像素)具有纵向300μm×横向100μm，相邻的矩形开口部之间的间隔为纵向30μm、横向10μm。
接着，涂布光固化型丙烯酸酯树脂(V259PA/P5，新日铁化学生产)，利用光刻法形成图案，在黑矩阵2上，形成由沿纵向延伸的多个条状部分构成的堤坝4，构成堤坝4的条状部分分别具有10μm的宽度和5μm的高度。
接着，在大气压下，在ATOMFLO装置(Surfx Technologies LLC生产)中导入在Ar气体中混合有3％CF4的气体，向形成有黑矩阵2和堤坝4的透明基板1照射等离子体。此时，透明基板1与等离子体照射口之间的距离设定为1cm。
接着，在二甲基二甲氧基硅烷中混合3质量％的Cromophtal RedBRN(Ciba-geigy公司生产红色颜料：双偶氮类颜料)，调制红色彩色滤光片材料。使用喷墨法使得到的红色彩色滤光片材料附着，形成由沿纵向延伸的多个条状部分构成的红色彩色滤光层3R。多个条状部分分别具有1μm的膜厚和110μm的宽度。另外，多个条状部分分别如图1所示，条状部分的两侧边缘连接于黑矩阵2和堤坝4，以220μm的间隔配置。接着，通过在150℃加热30分钟，使二甲基二甲氧基硅烷转变成聚硅氧烷。
接着，除了使用1质量％的Lionol Green 2Y-301(TOYO INK MFG.CO.，LTD.生产：氯溴化铜酞菁类颜料)代替3质量％的Cromophtal RedBRN以外，重复进行以上的步骤，形成绿色彩色滤光层3G。另外，除了使用1质量％的Cromophtal Blue A3R(Ciba-geigy公司生产蓝色颜料：阴丹士林类颜料)代替3质量％的Cromophtal Red BRN以外，重复以上的步骤，形成蓝色彩色滤光层3B，得到彩色滤光片。
接着，将彩色滤光片配置于等离子体处理装置内，将装置内减压至2Pa。在装置内以100mL/分钟的流量流通氧气，施加100W的电力，实施10秒的氧等离子体处理。
接着，在大气压下，在ATOMFLO装置(Surfx Technologies LLC生产)中导入在Ar气体中混合有3％CF4的气体，对形成有黑矩阵2和堤坝4的透明基板1照射等离子体。此时，透明基板1与等离子体照射口之间的距离设定为1cm。
接着，混合1000重量份甲苯、和50重量份香豆素6与DEQ的混合物(摩尔比为香豆素6∶DEQ＝48∶2)，调制墨水。将调制得到的墨水填装至喷墨装置(UniJet生产UJ200)中。接着，在氮气氛围中，在绿色彩色滤光层3G之上，每1亚像素附着42pL的墨水。不破坏氮气氛围地将附着有墨水的彩色滤光片移动至真空干燥炉中，在1.0×10-3Pa的压力下加热至100℃，除去甲苯。得到的绿色变换层5G具有500nm的膜厚。
另外，混合1000重量份甲苯、和50重量份香豆素6与DCM-2的混合物(摩尔比为香豆素6∶DCM-2＝48∶2)，调制墨水。将调制得到的墨水填装至喷墨装置(UniJet生产UJ200)中。接着，在氮气氛围中，在红色彩色滤光层3R之上，每1亚像素附着42pL的墨水。不破坏氮气氛围地将附着有墨水的彩色滤光片移动至真空干燥炉中，在1.0×10-3Pa的压力下加热至100℃，除去甲苯。得到的红色变换层5R具有500nm的膜厚。
接着，不破坏真空地将形成有绿色变换层5G和红色变换层5R的彩色滤光片移动至等离子体CVD装置中，使用等离子体CVD法，堆积膜厚1μm的氮化硅(SiN)，形成屏障层6，得到色变换滤光片。这里，使用甲硅烷(SiH4)、氨(NH3)和氮(N2)作为原料气体。另外，将屏障层6形成时的彩色滤光片的温度维持在100℃以下。
<比较例1>
涂布含有有机树脂的彩色镶嵌图案CR-7001、CG-7001和CB-7001(能够由fujifilm株式会社购入)，代替二甲基二甲氧基硅烷和各色颜料的混合物，使用光刻法形成图案，从而形成红色、绿色和蓝色彩色滤光层3(R，G，B)，除此以外，重复实施例1的步骤，形成色变换滤光片。
<比较例2>
除了不对彩色滤光片实施氧等离子体处理以外，重复实施例1的步骤，制作色变换滤光片。
<比较例3>
除了不对彩色滤光片实施氟等离子体处理以外，重复实施例1的步骤，制作色变换滤光片。
<评价>
对于实施例1和比较例1～3中制作的色变换滤光片，评价不均发生率和有无混色的发生。本发明中的“不均”是指，作为墨水被排斥的结果，在红色和绿色的亚像素内存在未形成色变换层的区域。另外“不均发生率”是指发生“不均”的亚像素数量相对于红色和绿色亚像素的全部数量的比率。另外，本发明中的“混色”是指，越过堤坝4、墨水进入相邻的其它颜色的区域内，红色变换层5R或绿色变换层5G中的任一个在不期望的位置形成。另外，将实施例1和比较例1～3中使用的彩色滤光片材料和堤坝材料涂布在其他的基板上，实施与各例相同的等离子体处理，测定其表面对于甲苯的接触角。结果在表1中表示。
[表1]色变换滤光片的评价
如表1所示可知，在将聚硅氧烷作为基础的彩色滤光层上使用两种等离子体处理的实施例1中，能够抑制不均的发生，改善彩色滤光层3对色变换层形成用墨水的亲液性。另外可知，不发生由于越过堤坝而导致的混色，堤坝4对色变换层形成用墨水的拨液性得到改善。由于兼具拨液性和亲液性，可以认为与使用将有机树脂作为基础的彩色滤光层的比较例1相比，不均发生率降低并且不发生混色。另外，在比较例2中，虽然不发生混色，但是显示较高的不均发生率，由此可知，对将聚硅氧烷作为基础的彩色滤光层实施氧等离子体处理，在改善对色变换层形成用墨水的亲液性方面至关重要。另外，根据实施例1与比较例3的比较可知，从改善堤坝4的拨液性从而防止混色的观点出发，色变换层形成前的氟等离子体处理至关重要。
如上所述，提供一种色变换滤光片的新的制造方法，其通过使用将聚硅氧烷作为基础的彩色滤光层和树脂制的堤坝，进行氧等离子体处理和氟等离子体处理，能够同时实现彩色滤光层对色变换层形成用墨水的亲液性、以及堤坝对色变换层形成用墨水的拨液性，使用喷墨法，形成包括具有高精细度图案的色变换层的色变换滤光片。另外，使用通过本发明的方法制造的色变换滤光片，能够降低具有高精细度的平板显示器的制造成本。
Claims (2)
1.一种色变换滤光片的制造方法，其特征在于，包括：
在透明基板上形成由聚硅氧烷和颜料构成的多种彩色滤光层，并在不同种的彩色滤光层的边界部分形成由树脂构成的堤坝，由此提供彩色滤光片的工序；
对该彩色滤光片进行氧等离子体处理的工序；
对该彩色滤光片进行氟等离子体处理的工序；和
在该彩色滤光片的彩色滤光层上，使用喷墨法形成一种或多种的色变换层的工序。
2.一种由权利要求1所述的方法制造的色变换滤光片。
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