CN101780654B - 一种用于晶圆磨床的对刀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种用于晶圆磨床的对刀装置。其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。其包括传感器、传感器座,所述传感器座通过侧臂连接连接块,所述连接块连接转动轴,所述转动轴连接下部的驱动机构,所述驱动机构连接于支架,其特征在于:所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内,所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂,所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构,所述轴向调节机构连接所述转动轴。
Description
(一)技术领域
本发明涉及晶圆磨床的设备领域,具体为一种用于晶圆磨床的对刀装置。
(二)背景技术
现有的晶圆磨床的对刀装置,其通过进给砂轮使得砂轮接触传感器座后,将整个摆杆往下压,然后传感器触头与下部真空吸盘接触,在整个工作过程中,摆杆有一个弯曲变形,导致传感器有一个垂直方向到倾斜方向的微小变形,降低了对刀的精确度。同时,现有的对刀装置无法对传感器进行上下位置的调整,使得对刀装置的通用性低。
(三)发明内容
针对上述问题,本发明提供了一种用于晶圆磨床的对刀装置,其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。
其技术方案是这样的:其包括传感器、传感器座,所述传感器座通过侧臂连接连接块,所述连接块连接转动轴,所述转动轴连接下部的驱动机构,所述驱动机构连接于支架,其特征在于:所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内,所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂,所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构,所述轴向调节机构连接所述转动轴;
其进一步特征在于:所述传感器座带有导杆安装法兰,所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔,所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔,所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧,所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔,所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面;
所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧,所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面,所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面,所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处;
所述弹簧定位孔为通孔,所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片,所述支撑片环绕所述传感器,所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面;
所述侧臂与所述连接块通过螺钉和销紧固连接;
所述轴向调节机构具体包括两个螺母、垫块,所述连接块的与所述转动轴的连接部分开有一个开口式环形孔,所述转动轴的上部有带有螺纹的螺纹端,所述两个螺母套装于所述螺纹端,所述转动轴贯穿所述垫块的安装孔,所述垫块支承于所述两个螺母中的上部螺母的上端面,所述转动轴贯穿所述连接块的所述开口式环形孔,螺钉紧固连接所述开口式环形孔的开口的两侧;
所述驱动机构具体包括双作用气缸、连接条、连接板、衬套、轴承座、防水罩,所述连接条紧固连接所述支架的上端部的一侧面,所述双作用气缸通过T形座与所述连接条紧固连接,所述双作用气缸的活塞头连接所述连接板,所述连接板通过肘接头连接所述转动轴,所述轴承座支承于所述支架的上端面,所述轴承座的外部套装有所述防水罩,所述轴承座内部安装有所述衬套,所述转动轴贯穿所述轴承座内部的所述衬套。
采用本发明的上述结构后,由于所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内,所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂,侧臂转动,当砂轮接触传感器座后,传感器座作用于均布的带弹簧的导杆,弹簧压缩后,导杆起导向作用,带动整个传感器座下压,使得传感器的触头与下部真空吸盘接触,完成对刀,整个过程中,其下压时,侧臂不会产生垂直方向到倾斜方向的微小变形,故提高了对刀的精确度;由于所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构,所述轴向调节机构连接所述转动轴,所述轴向调节结构在所述转动轴上的轴向调节,导致所述连接块上下可调,进而带动侧臂上下可调,进而传感器可以进行上下位置调整,故对刀装置的通用性得到提高;双作用气缸的驱动机构其保证了驱动的力度和刚性,进一步保证了对刀的精准度。
(四)附图说明
图1是本发明的主视图结构示意图;
图2是图1的俯视图结构示意图(去除水槽);
图3是图1的左视图结构示意图(去除水槽);
图4是图1的A向视图的结构示意图(局部);
图5是图3的B处局部放大图;
图6是图3的C向视图的结构示意图(局部)。
(五)具体实施方式
见图1、图2、图3、图4、图5、图6,传感器1装于传感器座2内,传感器座2通过侧臂3连接连接块4,连接块4连接转动轴5,转动轴5连接下部的驱动机构,驱动机构安装于支架6,传感器座2套装于侧臂3的安装孔7内,传感器座2通过均布的带弹簧8的导杆9轴向定向于侧臂3,连接块4支承于在转动轴5的轴向上可调节的轴向调节结构,轴向调节机构连接转动轴5;
传感器座2带有导杆安装法兰10,导杆安装法兰10均布有导杆定位孔11,侧臂3上端面开有与导杆定位孔11对应的弹簧定位孔12,导杆9的直杆部分贯穿传感器座2的的导杆定位孔11,导杆9的直杆部分外端套装有弹簧8,导杆9的上部通过螺母28紧固于导杆安装法兰10上端面,弹簧8下端面低于导杆9的下端面,弹簧8的上端顶装于导杆安装法兰10下端面,弹簧8的下端顶装于弹簧定位孔12的最深处;
弹簧定位孔12为通孔,侧臂3的下端面通过螺钉13紧固连接有支撑片14,支撑片14环绕传感器1,弹簧8的下端顶装于支撑片14的上端面;
侧臂3与连接块4通过螺钉29和销30紧固连接;
轴向调节机构具体包括两个螺母15、垫块16,连接块4的与转动轴5的连接部分开有一个开口式环形孔17,转动轴5的上部有带有螺纹的螺纹端,两个螺母15套装于螺纹端,转动轴5贯穿垫块16的安装孔,垫块16支承于两个螺母15中的上部螺母的上端面,转动轴5贯穿连接块4的开口式环形孔17,螺钉18紧固连接开口式环形孔17的开口的两侧;驱动机构具体包括双作用气缸19、连接条20、连接板21、衬套22、轴承座23、防水罩24,连接条20紧固连接支架6的上端部的一侧面,双作用气缸19通过T形座25与连接条20紧固连接,双作用气缸19的活塞头连接连接板21,连接板21通过肘接头26连接转动轴5,轴承座23支承于支架6的上端面,轴承座23的外部套装有防水罩24,轴承座23内部安装有衬套22,转动轴5贯穿轴承座23内部的衬套22;图1中27为水槽。
其工作原理如下:双作用气缸19作用,带动连接板21运动,进而带动转动轴5转动,转动轴5将转动传递至连接块4,连接块4将转动量传递至侧臂3,实现传感器座2的转动,直至传感器1对准下部的真空吸盘,此后进给砂轮使其接触传感器座2后,传感器座2作用于均布的带弹簧8的导杆9,弹簧8压缩后,导杆9起导向作用,带动整个传感器座8下压,使得传感器1的触头与下部真空吸盘接触,完成对刀。
同时,当传感器1的上下高度不合适时,可以通过调整两个螺母15在转动轴5的螺纹端的上下位置,到达调整传感器1上下高度的目的。
Claims (4)
1.一种用于晶圆磨床的对刀装置,其包括传感器、传感器座,所述传感器座通过侧臂连接连接块,所述连接块连接转动轴,所述转动轴连接下部的驱动机构,所述驱动机构连接于支架,其特征在于:所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内,所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂,所述连接块支承于在转动轴的轴向上能够调节的轴向调节机构,所述轴向调节机构连接所述转动轴;所述传感器座带有导杆安装法兰,所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔,所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔,所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧,所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔,所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面;所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧,所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面,所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面,所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处;所述弹簧定位孔为通孔,所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片,所述支撑片环绕所述传感器,所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置,其特征在于:所述侧臂与所述连接块通过螺钉和销紧固连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置,其特征在于:所述轴向调节机构具体包括两个螺母、一个垫块,所述连接块的与所述转动轴的连接部分开有一个开口式环形孔,所述转动轴的上部有带有螺纹的螺纹端,所述两个螺母套装于所述螺纹端,所述转动轴贯穿所述一个垫块的安装孔,所述一个垫块支承于所述两个螺母中的上部螺母的上端面,所述转动轴贯穿所述连接块的所述开口式环形孔,螺钉紧固连接所述开口式环形孔的开口的两侧。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置,其特征在于:所述驱动机构具体包括双作用气缸、连接条、连接板、衬套、轴承座和防水罩,所述连接条紧固连接所述支架的上端部的一侧面,所述双作用气缸通过T形座与所述连接条紧固连接,所述双作用气缸的活塞头连接所述连接板,所述连接板通过肘接头连接所述转动轴,所述轴承座支承于所述支架的上端面,所述轴承座的外部套装有所述防水罩,所述轴承座内部安装有所述衬套,所述转动轴贯穿所述轴承座内部的所述衬套。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101211355A CN101780654B (zh) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 一种用于晶圆磨床的对刀装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101211355A CN101780654B (zh) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 一种用于晶圆磨床的对刀装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101780654A CN101780654A (zh) | 2010-07-21 |
CN101780654B true CN101780654B (zh) | 2011-11-09 |
Family
ID=42520858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010101211355A Expired - Fee Related CN101780654B (zh) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 一种用于晶圆磨床的对刀装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101780654B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107953159A (zh) * | 2017-12-15 | 2018-04-24 | 台州美日新能源有限公司 | 一种钝化机 |
CN110169588B (zh) * | 2019-05-24 | 2022-01-25 | 云南昆船烟草设备有限公司 | 一种切丝机可自动控制的对刀装置及对刀方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10105360A1 (de) * | 2000-12-03 | 2002-06-13 | Iht Innovationsgesellschaft Fu | Einrichtung zur Ermittlung des optimalen Abstandes eines Bearbeitungswerkzeugs zur Werkstückoberfläche vor Beginn des Bearbeitungsprozesses in automatischen Bearbeitungsmaschinen |
CN2923170Y (zh) * | 2005-12-13 | 2007-07-18 | 陈志林 | 数控机床对刀仪 |
CN200951522Y (zh) * | 2006-10-09 | 2007-09-26 | 北京第二机床厂有限公司 | 砂轮微量精密修整对刀装置 |
CN201009118Y (zh) * | 2007-03-23 | 2008-01-23 | 浙江日发数码精密机械股份有限公司 | 机床对刀装置 |
CN101633152B (zh) * | 2009-07-29 | 2012-09-05 | 无锡机床股份有限公司 | 一种半导体晶片磨削砂轮对刀装置 |
-
2010
- 2010-03-10 CN CN2010101211355A patent/CN101780654B/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN101780654A (zh) | 2010-07-21 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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