CN101780654B - 一种用于晶圆磨床的对刀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种用于晶圆磨床的对刀装置。其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴。
Description
(一)技术领域
本发明涉及晶圆磨床的设备领域，具体为一种用于晶圆磨床的对刀装置。
(二)背景技术
现有的晶圆磨床的对刀装置，其通过进给砂轮使得砂轮接触传感器座后，将整个摆杆往下压，然后传感器触头与下部真空吸盘接触，在整个工作过程中，摆杆有一个弯曲变形，导致传感器有一个垂直方向到倾斜方向的微小变形，降低了对刀的精确度。同时，现有的对刀装置无法对传感器进行上下位置的调整，使得对刀装置的通用性低。
(三)发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种用于晶圆磨床的对刀装置，其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。
其技术方案是这样的：其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴；
其进一步特征在于：所述传感器座带有导杆安装法兰，所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔，所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔，所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧，所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔，所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面；
所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧，所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面，所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面，所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处；
所述弹簧定位孔为通孔，所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片，所述支撑片环绕所述传感器，所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面；
所述侧臂与所述连接块通过螺钉和销紧固连接；
所述轴向调节机构具体包括两个螺母、垫块，所述连接块的与所述转动轴的连接部分开有一个开口式环形孔，所述转动轴的上部有带有螺纹的螺纹端，所述两个螺母套装于所述螺纹端，所述转动轴贯穿所述垫块的安装孔，所述垫块支承于所述两个螺母中的上部螺母的上端面，所述转动轴贯穿所述连接块的所述开口式环形孔，螺钉紧固连接所述开口式环形孔的开口的两侧；
所述驱动机构具体包括双作用气缸、连接条、连接板、衬套、轴承座、防水罩，所述连接条紧固连接所述支架的上端部的一侧面，所述双作用气缸通过T形座与所述连接条紧固连接，所述双作用气缸的活塞头连接所述连接板，所述连接板通过肘接头连接所述转动轴，所述轴承座支承于所述支架的上端面，所述轴承座的外部套装有所述防水罩，所述轴承座内部安装有所述衬套，所述转动轴贯穿所述轴承座内部的所述衬套。
采用本发明的上述结构后，由于所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，侧臂转动，当砂轮接触传感器座后，传感器座作用于均布的带弹簧的导杆，弹簧压缩后，导杆起导向作用，带动整个传感器座下压，使得传感器的触头与下部真空吸盘接触，完成对刀，整个过程中，其下压时，侧臂不会产生垂直方向到倾斜方向的微小变形，故提高了对刀的精确度；由于所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴，所述轴向调节结构在所述转动轴上的轴向调节，导致所述连接块上下可调，进而带动侧臂上下可调，进而传感器可以进行上下位置调整，故对刀装置的通用性得到提高；双作用气缸的驱动机构其保证了驱动的力度和刚性，进一步保证了对刀的精准度。
(四)附图说明
图1是本发明的主视图结构示意图；
图2是图1的俯视图结构示意图(去除水槽)；
图3是图1的左视图结构示意图(去除水槽)；
图4是图1的A向视图的结构示意图(局部)；
图5是图3的B处局部放大图；
图6是图3的C向视图的结构示意图(局部)。
(五)具体实施方式
见图1、图2、图3、图4、图5、图6，传感器1装于传感器座2内，传感器座2通过侧臂3连接连接块4，连接块4连接转动轴5，转动轴5连接下部的驱动机构，驱动机构安装于支架6，传感器座2套装于侧臂3的安装孔7内，传感器座2通过均布的带弹簧8的导杆9轴向定向于侧臂3，连接块4支承于在转动轴5的轴向上可调节的轴向调节结构，轴向调节机构连接转动轴5；
传感器座2带有导杆安装法兰10，导杆安装法兰10均布有导杆定位孔11，侧臂3上端面开有与导杆定位孔11对应的弹簧定位孔12，导杆9的直杆部分贯穿传感器座2的的导杆定位孔11，导杆9的直杆部分外端套装有弹簧8，导杆9的上部通过螺母28紧固于导杆安装法兰10上端面，弹簧8下端面低于导杆9的下端面，弹簧8的上端顶装于导杆安装法兰10下端面，弹簧8的下端顶装于弹簧定位孔12的最深处；
弹簧定位孔12为通孔，侧臂3的下端面通过螺钉13紧固连接有支撑片14，支撑片14环绕传感器1，弹簧8的下端顶装于支撑片14的上端面；
侧臂3与连接块4通过螺钉29和销30紧固连接；
轴向调节机构具体包括两个螺母15、垫块16，连接块4的与转动轴5的连接部分开有一个开口式环形孔17，转动轴5的上部有带有螺纹的螺纹端，两个螺母15套装于螺纹端，转动轴5贯穿垫块16的安装孔，垫块16支承于两个螺母15中的上部螺母的上端面，转动轴5贯穿连接块4的开口式环形孔17，螺钉18紧固连接开口式环形孔17的开口的两侧；驱动机构具体包括双作用气缸19、连接条20、连接板21、衬套22、轴承座23、防水罩24，连接条20紧固连接支架6的上端部的一侧面，双作用气缸19通过T形座25与连接条20紧固连接，双作用气缸19的活塞头连接连接板21，连接板21通过肘接头26连接转动轴5，轴承座23支承于支架6的上端面，轴承座23的外部套装有防水罩24，轴承座23内部安装有衬套22，转动轴5贯穿轴承座23内部的衬套22；图1中27为水槽。
其工作原理如下：双作用气缸19作用，带动连接板21运动，进而带动转动轴5转动，转动轴5将转动传递至连接块4，连接块4将转动量传递至侧臂3，实现传感器座2的转动，直至传感器1对准下部的真空吸盘，此后进给砂轮使其接触传感器座2后，传感器座2作用于均布的带弹簧8的导杆9，弹簧8压缩后，导杆9起导向作用，带动整个传感器座8下压，使得传感器1的触头与下部真空吸盘接触，完成对刀。
同时，当传感器1的上下高度不合适时，可以通过调整两个螺母15在转动轴5的螺纹端的上下位置，到达调整传感器1上下高度的目的。
Claims (4)
1.一种用于晶圆磨床的对刀装置，其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上能够调节的轴向调节机构，所述轴向调节机构连接所述转动轴；所述传感器座带有导杆安装法兰，所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔，所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔，所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧，所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔，所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面；所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧，所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面，所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面，所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处；所述弹簧定位孔为通孔，所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片，所述支撑片环绕所述传感器，所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置，其特征在于：所述侧臂与所述连接块通过螺钉和销紧固连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置，其特征在于：所述轴向调节机构具体包括两个螺母、一个垫块，所述连接块的与所述转动轴的连接部分开有一个开口式环形孔，所述转动轴的上部有带有螺纹的螺纹端，所述两个螺母套装于所述螺纹端，所述转动轴贯穿所述一个垫块的安装孔，所述一个垫块支承于所述两个螺母中的上部螺母的上端面，所述转动轴贯穿所述连接块的所述开口式环形孔，螺钉紧固连接所述开口式环形孔的开口的两侧。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆磨床的对刀装置，其特征在于：所述驱动机构具体包括双作用气缸、连接条、连接板、衬套、轴承座和防水罩，所述连接条紧固连接所述支架的上端部的一侧面，所述双作用气缸通过T形座与所述连接条紧固连接，所述双作用气缸的活塞头连接所述连接板，所述连接板通过肘接头连接所述转动轴，所述轴承座支承于所述支架的上端面，所述轴承座的外部套装有所述防水罩，所述轴承座内部安装有所述衬套，所述转动轴贯穿所述轴承座内部的所述衬套。
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