CN101616753A - 表面处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种表面处理装置，其能够在使表面处理槽内保持真空状态的同时，使收纳在该表面处理槽内的作业机构上下移动，并使作业机构旋转或摆动等。上述表面处理装置包括：耐压槽(1)，其内部能够成为真空状态；筒形的耐压外壳(7)，其***在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽向外侧凸出，在该凸出部(17)连接有上下移动机构(18)，从而该耐压外壳能够上下移动；旋转驱动机构(16)，其配置于上述凸出部；驱动轴(13)，其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；作业机构(34)，驱动轴的驱动力经与该驱动轴的下部连接的旋转传递机构(24)传递至该作业机构，从而该作业机构进行表面处理作业；耐压真空密封件(36)，其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性；以及驱动真空密封件(40)，其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或/和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性。

Description

表面处理装置
技术领域
本发明涉及一种表面处理装置，该表面处理装置具有能够使表面处理用笼在真空状态的耐压槽内上下移动和旋转的动力传递机构，该表面处理用笼将被处理物收纳在内部来进行防锈、清洗、滚磨、镀敷以及其它的表面处理。
背景技术
以往，如专利文献1所示，已知有这样的清洗装置：一边使被清洗物在清洗槽内旋转和上下移动来一边进行清洗。关于该清洗装置，驱动轴的下端侧***在清洗槽内，在驱动轴的从上述清洗槽凸出的上端侧，连接有能够使该驱动轴上下移动的上下移动机构。此外，在该驱动轴的上端，设置有能够使驱动轴旋转移动的旋转驱动机构，并且，在该驱动轴的下端，经传递上述驱动轴的驱动力的旋转传递机构设置有转动盘。
另外，在将被清洗物固定在该转动盘上的状态下，通过使上述旋转驱动机构工作而驱动驱动轴旋转，由此能够使被清洗物旋转，并且通过使上述上下移动机构工作来使驱动轴上下移动，由此能够使被清洗物进行升降。另外，通过这样进行被清洗物的旋转和/或升降，来进行被清洗物的清洗作业。此外，专利文献1所示的清洗装置以在清洗槽内是常压的状态下进行使用为前提。
另一方面，如果在使清洗槽内保持真空状态的状态下进行清洗作业，则能够获得优异的效果，这是已知的。例如，如果使清洗槽内为真空状态来进行超声波清洗的话，与常压状态下的超声波清洗相比减少了超声波的衰减，而且使附着于凹凸部的空气排出，提高了清洗效果，这是已知的。此外，在镀敷等除清洗作业以外的表面处理作业中，通过在真空状态下进行该作业，即使在被处理物相互接触或重合的情况下，表面处理用的药剂也能够浸透到细微部分，能够进行均匀的表面处理。
专利文献1：日本特公昭63-24754号公报
但是，由于上述专利文献1中记载的清洗装置是在清洗槽内为常压的状态下使用的装置，所以清洗槽内未进行耐压密封，而是形成为常压状态。因此，不可能使用该清洗装置在真空气氛中进行清洗。
发明内容
因此，本发明是为了解决如上所述的课题而完成的，其目的在于获得一种表面处理装置，该表面处理装置能够在使表面处理槽内保持真空状态的同时，使收纳在该表面处理槽内的作业机构上下移动，并且能够利用作业机构部分进行旋转、摆动等与表面处理目的相符的作业。
为了解决如上所述的课题，本发明包括：耐压槽，其内部能够成为真空状态；和筒形的耐压外壳，其下端侧***在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽凸出到外侧，在该凸出部连接有上下移动机构，从而上述耐压外壳能够上下移动。通过这样使外壳具有耐压性，即使在外壳配置于真空状态的耐压槽内的情况下，也不易产生外壳破损的可能，能够在稳定的状态下使用装置。此外，上述耐压外壳也可以在下部形成有耐压收纳部，该耐压收纳部用于收纳如下所示的旋转传递机构。此外，上述上下移动机构既可以是液压缸或气压缸，也可以是螺旋丝杠或链滑车等。
此外，本发明包括：旋转驱动机构，其配置于上述耐压外壳的凸出部；驱动轴，其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；和作业机构，驱动轴的驱动力经与该驱动轴的下部连接的旋转传递机构传递至该作业机构，从而该作业机构进行表面处理作业。此外，关于作业机构，也可以通过将设置有旋转传递辊子或移送链条的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转传递辊子或移送链条，从而能够使载置于该旋转传递辊子或移送链条上的表面处理用笼旋转或摆动。此外，也可以通过将设置有旋转盘的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转盘，从而能够使载置于该旋转盘上的表面处理用笼旋转。此外，也可以构成其它任意的作业机构，并将驱动轴的驱动力传递给该作业机构。
此外，本发明包括：耐压真空密封件，其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，并通过耐压外壳的上下移动来保持耐压槽内的气密性；和驱动真空密封件，其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或/和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，并通过驱动轴或/和旋转传递机构的旋转来保持耐压槽内的气密性。这样，通过分别配置针对上下移动的耐压真空密封件、和针对旋转的驱动真空密封件，能够保持以下部分的气密性：耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部、以及耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部或/和耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，因此，能够在使耐压槽内保持真空状态的同时，分别进行上述耐压外壳的上下移动以及驱动轴的旋转。
此外，上述耐压真空密封件仅针对耐压外壳的上下移动来保持气密性，而不针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转。此外，上述驱动真空密封件仅针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转来保持气密性，而不针对耐压外壳的上下移动。
由于本发明如上所述地构成，所以通过在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部配置耐压真空密封件，能够在将耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部密封的状态下使耐压外壳和驱动轴上下移动。此外，通过在上述耐压外壳与驱动轴之间的连通部，或/和在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部配置驱动真空密封件，能够在将耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部、或/和耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部密封的状态下，使驱动轴或/和旋转传递机构旋转。
此外，关于该密封，耐压真空密封件仅针对耐压外壳的上下移动来保持气密性，而不针对由驱动轴或/和旋转传递机构构成的旋转部分。此外，驱动真空密封件仅针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转来保持气密性，而不针对耐压外壳的上下移动。因此，不会对各密封部件施加过度的载荷，能够获得长期且稳定的真空密封效果。其结果为，能够在保持耐压槽内的真空状态的同时进行如下作业：同时或单独进行耐压外壳的上下移动、与驱动轴或/和旋转传递机构的旋转。
这样，由于本发明能够在保持耐压槽内的真空状态的同时，同时或单独地进行旋转表面处理作业和上下移动表面处理作业，所以能够实现真空状态下的表面处理方法的应用扩大，能够进一步提高表面处理效果、例如在清洗作业中能够增加物理力从而进一步提高清洗效果等。
附图说明
图1是表示本发明的实施例1的表面处理装置的剖视图。
图2是图1的局部放大剖视图。
图3是表示在图1中使液压缸杆上升后的状态的剖视图。
图4是表示本发明的实施例2的表面处理装置的剖视图。
图5是表示本发明的实施例3的表面处理装置的剖视图。
图6是表示本发明的实施例4的表面处理装置的剖视图。
图7是沿图6中的A-A线的剖视图。
标号说明
1：耐压槽；3：表面处理用笼；7：耐压外壳；13：驱动轴；16：旋转驱动机构；17：凸出部；18：上下移动机构；20：液压缸；24：旋转传递机构；34：作业机构；35：旋转传递辊子；36：耐压真空密封件；40：驱动真空密封件；41：耐压收纳部；47：旋转盘；48：移送链条。
具体实施方式
实施例1
在图1～图3中详细说明本发明的实施例1，如图1所示，标号1是耐压槽，在该耐压槽1的顶板2上设置有使表面处理用笼3能够通过的开口部4，在该开口部4处配置有盖体5。另外，在该盖体5的底面设置有软弹性的密封件6，或者将密封件6设置在顶板2的上部，通过该密封件6，能够在使耐压槽1内减压了的时候将开口部4和盖体5之间密封起来。
此外，在上述耐压槽1的顶板2上设置有能够使形成为筒形的耐压外壳7贯穿***的贯穿***口8，在该贯穿***口8中贯穿***耐压外壳7，将该耐压外壳7的下端以能够滑动的方式配置在耐压槽1内。该耐压外壳7是在筒形的周壁10的上端和下端配置顶壁11和底壁12而形成的，并且该耐压外壳7配置成上端侧从耐压槽1向外侧凸出。
此外，在上述耐压外壳7中，以能够自由旋转且不能在上下方向上滑动的方式贯穿配置有驱动轴13。即，在上述耐压外壳7的顶壁11和底壁12上分别形成有能够使驱动轴13贯穿***的贯穿***孔14，并且如图2所示，驱动轴13经轴支承件15贯穿***在该贯穿***孔14中。此外，该驱动轴13的上端和下端分别从耐压外壳7的顶壁11和底壁12贯穿配置到外侧。
此外，在如上所述地配置的驱动轴13的上端设置有旋转驱动机构16，该旋转驱动机构16用于使该驱动轴13旋转，由电动机构成。此外，在上述耐压外壳7的从耐压槽1向外侧凸出的凸出部17上，连接有用于使该耐压外壳7上下移动的上下移动机构18。该上下移动机构18是液压缸20，该液压缸20的液压缸杆21经连接部件22连接固定在耐压外壳7的凸出部17。
另外，通过使上述上下移动机构18工作使液压缸杆21上下移动，能够使耐压外壳7上下移动，并且，伴随着该耐压外壳7的上下移动，能够使上述驱动轴13上下移动。此外，在本实施例中，如上所述，使用液压缸20作为上下移动机构18，然而在其它不同的实施例中，也可以使用气压缸、螺旋丝杠(スクリュ一ねじ)或链滑车(チエ一ンブロツク)等。此外，在上述耐压外壳7的底壁12上向水平方向凸出地设置有支承板23。
此外，在上述驱动轴13的下端连接有旋转传递机构24。下面对该旋转传递机构24进行详细说明，首先，在驱动轴13的下端设置有由锥齿轮构成的驱动旋转传递齿轮25，该驱动旋转传递齿轮25与第一从动轴26的由锥齿轮构成的从动旋转传递齿轮27卡合。该第一从动轴26以能够在水平方向上旋转的方式配置在凸出设置于上述支承板23底面的一对第一支承臂28上，在该第一从动轴26的靠驱动轴13侧的一端设置有上述从动旋转传递齿轮27。另外，在该第一从动轴26的另一端设置有第一链轮29。
另外，在该第一驱动轴13的第一链轮29的上方，隔着支承板23配置有设置于第二从动轴30的一端的第二链轮31。该第二从动轴30以能够在水平方向上转动的方式配置在竖立设置于支承板23上表面的一对第二支承臂32上，该第二从动轴30的第二链轮31和上述第一从动轴26的第一链轮29通过旋转传递链条33连接在一起。
此外，在如上所述地形成的旋转传递机构24上连接有作业机构34，驱动轴13的驱动力经该旋转传递机构24传递至该作业机构34，从而该作业机构34进行表面处理作业。该作业机构34是在上述第二从动轴30的外周隔开间隔地固定一对旋转传递辊子35、并在这一对旋转传递辊子35上载置表面处理用笼3而构成的结构。另外，通过使该旋转传递辊子35旋转，表面处理用笼3旋转，从而对配置于该表面处理用笼3内部的被处理物进行表面处理作业。在一个示例中，该表面处理用笼3是收纳被清洗物的清洗笼，被用作被清洗物的清洗装置。
此外，如图2所示，在上述耐压槽1的上表面、且在耐压外壳7的外周位置，沿着贯穿***口8紧贴固定有环状的耐压部壳体37，该耐压部壳体37在内部配置有环状的耐压真空密封件36。另外，通过使设置于该耐压部壳体37内的耐压真空密封件36的内周面和外周面分别与耐压外壳7的外周面和耐压部壳体37的内周面紧密接触地进行配置，能够使上述耐压槽1和耐压外壳7之间的外部气体连通部密封起来，从而能够在该外部气体连通部处保持耐压槽1内的气密性。另外，由于上述耐压真空密封件36仅针对耐压外壳7的上下移动来保持气密性，而无需针对以下说明的旋转部分，所以载荷小，能够实现长期且稳定的气密保持。
此外，在上述耐压外壳7的内部，如图1所示，在上述耐压外壳7的顶面和底面分别沿着贯穿***孔14紧贴着固定有环状的驱动部壳体38，并且该驱动部壳体38配置在驱动轴13的外周。另外，如图1和图2所示，通过在该驱动部壳体38内配置环状的驱动真空密封件40，并使各驱动真空密封件40的内周面和外周面分别与驱动轴13的外周面和驱动部壳体38的内周面紧密接触地进行配置，能够使上述耐压外壳7和驱动轴13之间的外部气体连通部密封起来，从而能够在该外部气体连通部处保持耐压槽1内的气密性。此外，由于驱动轴13不会相对于耐压外壳7上下移动，所以上述驱动真空密封件40能够仅针对驱动轴13的旋转来保持气密性，而无需针对上下移动，载荷很小，因而能够实现长期且稳定的气密保持。
此外，在本实施例中，如上所述，通过在耐压外壳7的顶面和底面分别配置驱动真空密封件40，能够保持稳定且高度的气密性，然而在其它不同的实施例中，也可以仅在耐压外壳7的顶面和底面的其中一方上配置驱动真空密封件40，由此能够获得价格便宜的密封效果。
在如上所述地构成的结构中，对将表面处理用笼3用作被清洗物的清洗笼的情况下的真空气氛中的清洗作业进行如下说明。首先，卸下耐压槽1的盖体5，并且使上下移动机构18工作使耐压外壳7与液压缸20的液压缸杆21一起上升，然后如图3所示将上述第二从动轴30配置在上述开口部4。然后，将作为在内部收纳有被清洗物的清洗笼的表面处理用笼3载置到该第二从动轴30的旋转传递辊子35上。
然后，使上下移动机构18工作，使耐压外壳7与液压缸杆21一起下降，从而使表面处理用笼3配置在耐压槽1内。然后，向该耐压槽1内导入清洗液。在这样的状态下，如图1所示将盖体5覆盖在耐压槽1的开口部4来使开口部4密封起来，并且使减压机构(未图示)工作来使耐压槽1内减压。
此时，如上所述，通过上述耐压真空密封件36将耐压槽1和耐压外壳7之间的外部气体连通部密封起来，并且通过上述驱动真空密封部件40将耐压外壳7和驱动轴13之间的外部气体连通部密封起来，因此能够使耐压槽1内成为真空状态。通过这样使清洗槽内保持真空状态清洗液被脱气，例如在将超声波振子54配置在耐压槽的底部53进行超声波清洗的情况下，与常压状态下的超声波清洗相比，超声波的衰减减小，并且排出了附着在被清洗物的微小凹凸部上的空气，使被清洗物与清洗液的接触良好，能够提高清洗效果。
在这样的状态下，通过使旋转驱动机构16工作使驱动轴13旋转，由此，第一从动轴26经驱动旋转传递齿轮25和从动旋转传递齿轮27而旋转。然后，通过该第一从动轴26的旋转，第一从动轴26的第一链轮29旋转，通过该第一链轮29的旋转，第二从动轴30的第二链轮31经旋转传递链条33而旋转。由此，第二从动轴30与第一从动轴26向同一方向旋转，并且设置在该第二从动轴30上的一对旋转传递辊子35旋转。
然后，通过该旋转传递辊子35的旋转，作为清洗笼的表面处理用笼3旋转，从而对表面处理用笼3内的被清洗物进行清洗作业。在这样使驱动轴13旋转时，由于将耐压外壳7和驱动轴13之间的外部气体连通部通过驱动真空密封件40密封起来，所以能够使耐压槽1内保持真空状态。此外，由于驱动轴13不会相对于耐压外壳7上下移动，所以上述驱动真空密封件40能够仅针对驱动轴13的旋转来保持气密性，而无需针对耐压外壳7的上下移动，载荷小，因而能够实现长期且稳定的气密保持。
此外，通过使上下移动机构18动作使液压缸杆21升降，由此，支承板23与耐压外壳7一起上下移动。并且，伴随着该支承板23的上下移动，配置于该支承板23上方的表面处理用笼3上下移动，从而通过表面处理用笼3的上下移动对被处理物进行表面处理作业。在这样使耐压外壳7上下移动时，由于将耐压槽1和耐压外壳7之间的外部气体连通部通过耐压真空密封件36密封起来，所以能够使耐压槽1内保持真空状态。此外，由于上述耐压真空密封件36仅针对耐压外壳7的上下移动来保持气密性，而无需针对驱动轴13的旋转，所以载荷小，能够实现长期且稳定的气密保持。
此外，在如上所述地形成为真空状态的耐压槽1内，由于在使驱动轴13旋转时利用驱动真空密封件40来保持耐压槽1内的真空状态，并且在使耐压外壳7上下移动时利用耐压真空密封件36来保持耐压槽1内的真空状态，所以当然能够分别单独进行上述旋转表面处理作业和上下移动表面处理作业，而且，在使耐压外壳7上下移动从而使驱动轴13上下移动的同时，使该驱动轴13旋转，由此，还能够同时进行旋转表面处理作业和上下移动表面处理作业。通过这样同时进行旋转表面处理作业和上下移动表面处理作业，能够进一步提高表面处理效果、例如能够在清洗作业中增加物理力从而进一步提高清洗效果等。
实施例2
此外，在上述实施例1中，在耐压外壳7的顶壁11和底壁12上分别设置有驱动真空密封件40，而在本实施例2中，在耐压外壳7的下端形成有收纳旋转传递机构24的耐压收纳部41，在该耐压收纳部41上配置有驱动真空密封件40。在图4中对本实施例2进行详细说明，在耐压外壳7的下端设置有耐压收纳部41，该耐压收纳部41在内部收纳有驱动轴13的驱动旋转传递齿轮25、第一从动轴26的从动旋转传递齿轮27、第一从动轴26、第一从动轴26的第一链轮29、以及第二从动轴30的第二链轮31。
另外，设置有上述第二链轮31的第二从动轴30在水平方向上从耐压收纳部41的贯穿***孔42向外侧凸出地配置。此外，在该第二从动轴30的下方配置有从耐压收纳部41凸出设置的支承板23，在该支承板23上配置有与上述实施例1一样地形成的作业机构34。
此外，如图4所示，在耐压收纳部41的内侧，在上述贯穿***孔42的外周，紧贴固定有在内部配置了驱动真空密封件40的驱动部壳体38，并且该驱动部壳体38配置在第二从动轴30的外周。另外，通过使设置在该驱动部壳体38内的驱动真空密封件40紧密接触地配置驱动部壳体38的内周面和第二从动轴30的外周面之间，能够将上述耐压外壳7和旋转传递机构24之间的外部气体连通部密封起来，从而能够在该外部气体连通部处保持耐压槽1内的气密性。
此外，由于上述驱动真空密封件40能够仅针对旋转传递机构24的旋转来保持气密性，而无需针对耐压外壳7的上下移动，载荷小，所以能够实现长期且稳定的气密保持。因此，本实施例2的情况也与上述实施例1一样，在耐压外壳7上下移动时利用耐压真空密封件36来保持耐压槽1内的真空状态，并且在驱动轴13旋转时利用驱动真空密封件40来保持耐压槽1内的真空状态，因而能够单独或同时进行真空状态下的旋转表面处理作业和上下移动表面处理作业。
实施例3
此外，在上述实施例1中，表面处理用笼3配置在水平方向上，该表面处理用笼3通过旋转传递机构24能够绕水平轴旋转，但是在本实施例3中，表面处理用笼3配置在铅直方向上，该表面处理用笼3通过旋转传递机构24能够绕铅直轴旋转。在图5中对本实施例3进行说明，在沿水平方向设置于支承板23下方的第一从动轴26的两端，分别设置有由锥齿轮构成的成对的从动旋转传递齿轮43、44。
另外，一个从动旋转传递齿轮43与第一从动轴26的驱动旋转传递齿轮25卡合，并且另一从动旋转传递齿轮44与设置于第二从动轴30下端的第二从动旋转传递齿轮45卡合。另外，上述第二从动轴30以能够在铅直方向上转动的方式贯穿配置于支承板23，在该第二从动轴30和支承板23之间夹装有轴支承件46。此外，在该第二从动轴30的上端沿水平方向配置有圆盘状的旋转盘47，在该旋转盘47的上表面上沿铅直方向固定配置有表面处理用笼3。
在如上所述地构成的结构中，通过使旋转驱动机构16工作来使驱动轴13旋转，从而第二从动轴30经第一从动轴26而旋转，通过该第二从动轴30的旋转，表面处理用笼3与旋转盘47一起绕铅直轴旋转。
另外，在如上所述地使驱动轴13旋转时，由于将耐压外壳7和驱动轴13之间的外部气体连通部通过驱动真空密封件40密封起来，所以能够使耐压槽1内保持真空状态。因此，通过使驱动轴13旋转，能够在真空状态下使表面处理用笼3绕铅直轴旋转。此外，由于驱动轴13不会相对于耐压外壳7上下移动，所以上述驱动真空密封件40能够仅针对驱动轴13的旋转来保持气密性，而无需针对耐压外壳7的上下移动，载荷小，因此能够实现长期且稳定的气密保持。
实施例4
此外，在上述实施例1和实施例2中，在第二从动轴30上设置有旋转传递辊子35，在该旋转传递辊子35上载置有表面处理用笼3，通过使上述旋转传递辊子35旋转，能够使表面处理用笼3旋转，而在本实施例4中，在第二从动轴30上设置有移送链条48，在该移送链条48上载置有表面处理用笼3，该表面处理用笼3能够在水平方向摆动。
在图6和图7中对本实施例4进行详细说明，在第二从动轴30上分别设置有成对的移送链轮50。此外，如图7所示，在支承板23的上方与上述第二从动轴30平行地配置有辅助轴51，与第二从动轴30一样在该辅助轴51上也设置有成对的移送链轮52。另外，第二从动轴30的移送链轮50和辅助轴51的移送链轮52分别通过成对的移送链轮48连接在一起。
另外，如图6所示，在上述成对的移送链条48上载置表面处理用笼3，使旋转驱动机构16工作使驱动轴13向正方向或反方向一点一点地旋转。由此，移送链条48经第一从动轴26和第二从动轴30向正方向或反方向一点一点地旋转，由此表面处理用笼3在水平方向上摆动。并且，通过这样使表面处理用笼3摆动，能够对表面处理用笼3内的被处理物进行表面处理作业。
这样，由于在使驱动轴13旋转时，耐压外壳7和驱动轴13之间的外部气体连通部被驱动真空密封件40密封起来，所以能够在该外部气体连通部处使耐压槽1内保持真空状态。因此，通过使上述驱动轴13旋转，能够在真空状态下使表面处理用笼3摆动。此外，由于驱动轴13不会相对于耐压外壳7上下移动，所以上述驱动真空密封件40能够仅针对驱动轴13的旋转来保持气密性，而无需针对耐压外壳7的上下移动，载荷小，因此能够实现长期且稳定的气密保持。
另外，在本实施例4中也与上述实施例1和实施例2一样，在耐压外壳7上下移动时利用耐压真空密封件36来保持耐压槽1内的真空状态，并且在驱动轴13旋转时利用驱动真空密封件40来保持耐压槽1内的真空状态，因而能够单独或者同时进行真空状态中的摆动表面处理作业和上下移动表面处理作业。

Claims (6)

1.一种表面处理装置，其特征在于，
上述表面处理装置包括：
耐压槽，其内部能够成为真空状态；
筒形的耐压外壳，其下端侧***在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽凸出到外侧，在该凸出部连接有上下移动机构，从而上述耐压外壳能够上下移动；
旋转驱动机构，其配置于上述耐压外壳的凸出部；
驱动轴，其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；
作业机构，驱动轴的驱动力经与上述驱动轴的下部连接的旋转传递机构传递至该作业机构，从而该作业机构进行表面处理作业；
耐压真空密封件，其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性；以及
驱动真空密封件，其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或/和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性。
2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
耐压外壳在下部形成有耐压收纳部，该耐压收纳部用于收纳旋转传递机构。
3.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
在作业机构中，通过将设置有旋转传递辊子或移送链条的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转传递辊子或移送链条，从而能够使载置于该旋转传递辊子或移送链条上的表面处理用笼旋转或摆动。
4.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
在作业机构中，通过将设置有旋转盘的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转盘，从而能够使载置于该旋转盘上的表面处理用笼旋转。
5.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
耐压真空密封件仅针对耐压外壳的上下移动来保持气密性，而不针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转。
6.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
驱动真空密封件仅针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转来保持气密性，而不针对耐压外壳的上下移动。
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