CN101483222A - 一种有机顶发光器件的阴极及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种有机顶发光器件的阴极及其制造方法，涉及电子显示器件技术领域；所要解决的是避免对发光有机层造成破坏的制造阴极的技术问题；该制造方法，包括在有机发光层上蒸镀一层(阴极)金属层，然后在金属层上热蒸镀一层含有氧空位的金属氧化物，即在蒸镀金属的过程中，在真空腔内加入一定含量的氧气，使蒸镀的金属转变为含有氧空位的氧化物。所述的金属氧化物的金属包括铝、镁、银、锌、镓、钙、钛、钒、铟、锡、铜。本发明的阴极制造方法能有效地避免对金属层下面的发光有机层造成的破坏。

Description

一种有机顶发光器件的阴极及其制造方法

技术领域

本发明涉及电子显示器件技术，特别是涉及一种有机顶发光器件的阴极制造技术。

背景技术

有机顶发光器件是一种正在发展中的技术，所谓顶发光就是有机层产生的光不经过基板玻璃出射，而是穿过发光有机层上面的阴极出射，因此阴极必须要足够透明，才会有比较高的出光效率。目前阴极的结构主要是一层很薄的金属层和一层铟锡氧化物层复合而成，由于需要透光性好，金属必须做得很薄，通常在5纳米到40纳米。铟锡氧化物是一层透明导电层，它主要的作用是提高阴极的导电性和出光效率。但铟锡氧化物层一般是采用溅射的工艺来制作的，而溅射过程中被溅射出来的粒子能量较高，粒子将会轰击金属层和发光有机层，由于金属层很薄，粒子很容易穿过金属层破坏发光有机层，同时溅射过程产生紫外线也会使有机发光器件的性能遭到破坏。所以这种阴极在实际制作中很难避免这样的问题。

发明内容

针对上述现有技术中存在的缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种能避免对金属层下面的发光有机层造成破坏的有机顶发光器件的阴极及其制造方法。

为了解决上述技术问题，本发明所提供的一种有机顶发光器件的阴极，包括一金属层，其特征在于，在阴极的金属层上附加一层含有氧空位氧化物的金属氧化物层。

进一步的，所述的金属氧化物的金属包括铝、镁、银、锌、镓、钙、钛、钒、铟、锡、铜。

为了解决上述技术问题，本发明所提供的一种有机顶发光器件阴极的制造方法，包括在有机发光层上蒸镀一层(阴极)金属层，其特征在于，然后在金属层上热蒸镀一层含有氧空位的金属氧化物，即在蒸镀金属的过程中，在真空腔内加入一定含量的氧气，使蒸镀的金属转变为含有氧空位的氧化物。

进一步的，所述的金属氧化物的金属包括铝、镁、银、锌、镓、钙、钛、钒、铟、锡、铜。

利用本发明提供的有机顶发光器件的阴极及其制造方法，由于在阴极金属层上采用蒸镀的方法制造一层金属氧化物层，这层氧化物具有一定的导电性，它可以增加阴极的导电性，而且氧化物是透明的，可以提高阴极的出光效率；从而可以替代铟锡氧化物层的功能，即提高阴极的导电性和出光效率；由于这一制造(热蒸镀)过程不会产生高能粒子和紫外线，避免了对金属层下面的发光有机层所造成的破坏。

附图说明

图1是本发明实施例有机顶发光器件的结构示意图；

图2是本发明另一实施例有机顶发光器件的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图说明对本发明的实施例作进一步详细描述，但本实施例并不用于限制本发明，凡是采用本发明的相似结构、方法及其相似变化，均应列入本发明的保护范围。

如图1所示，本发明实施例所提供的一种有机顶发光器件的阴极，包括一金属层4，其特征在于，在阴极的金属层上附加一层含有氧空位氧化物的金属氧化物层，由于含有氧空位，这层氧化物具有一定的导电性，它可以增加阴极的导电性，而且氧化物是透明的，可以提高阴极的出光效率。所述的金属氧化物的金属可以是铝，镁，银，锌，镓，钙，钛，钒，铟，锡，铜。

本发明实施例所提供的一种有机顶发光器件阴极的制造方法，包括在有机发光层3上蒸镀一层(阴极)金属层4，其特征在于，然后再在金属层4上热蒸镀一层含有氧空位的金属氧化物，即在蒸镀金属的过程中，在真空腔内加入一定含量的氧气，使蒸镀的金属转变为含有氧空位的氧化物。所述的金属氧化物的金属可以是铝，镁，银，锌，镓，钙，钛，钒，铟，锡，铜。这一制造(热蒸镀)过程不会产生高能粒子和紫外线，不会破坏金属下面的有机层。

本发明的一种实施方式是：在光刻好阳极2的基板1上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层等构层器件的发光部分的有机层3，然后再在上面蒸镀一层1纳米的氟化锂和15纳米的铝膜，构成阴极的金属层部分4，然后在蒸铝的过程中加入0.001帕的氧气，使铝转变成含有氧空位的氧化铝，在金属层4上面形成一层50纳米的氧化铝5。最终的器件如图1所示。

本发明的另一实施方式是：在光刻好阳极2的基板1上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层等构层器件的发光部分的有机层3，然后再在上面蒸镀一层1纳米的氟化锂和15纳米的铝膜，构成阴极的金属层部分4，然后再蒸锌，在蒸锌过程中加入压力为0.005帕的氧气，使锌转变成含有氧空位的氧化锌，在金属层4上面形成一层100纳米的氧化锌5’。最终的器件如图2所示。

Claims (4)

1、一种有机顶发光器件的阴极，包括一金属层，其特征在于，在阴极的金属层上附加一层含有氧空位氧化物的金属氧化物层。

2、根据权利要求1所述的有机顶发光器件的阴极，其特征在于，所述的金属氧化物的金属包括铝、镁、银、锌、镓、钙、钛、钒、铟、锡、铜。

3、一种权利要求1所述的有机顶发光器件阴极的制造方法，包括在有机发光层上蒸镀一层(阴极)金属层，其特征在于，然后在金属层上热蒸镀一层含有氧空位的金属氧化物，即在蒸镀金属的过程中，在真空腔内加入氧气，使蒸镀的金属转变为含有氧空位的氧化物。

4、根据权利要求3所述的有机顶发光器件阴极的制造方法，其特征在于，所述的金属氧化物的金属包括铝、镁、银、锌、镓、钙、钛、钒、铟、锡、铜。

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