CN101212023A - 一种有机顶发光器件及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
一种有机顶发光器件及其制造方法,涉及发光器件技术领域;该有机顶发光器件,自下而上是基板、光刻好的阳极、发光部分有机层、透明阴极,所述透明阴极自下而上是阴极的金属层、阴极的有机层。所述透明阴极的有机层上设有铟锡氧化物层。该制造方法:1)在光刻好阳极的基板上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层等构层器件的发光部分的有机层;2)然后再在上面蒸镀一层氟化锂和铝膜,构成阴极的金属层部分;3)在金属层的上面蒸镀一层八羟基奎啉铝的阴极的有机层。本发明能提高阴极的导电性和出光效率,能减弱溅射过程中高能粒子和紫外线对金属层下面的发光有机层的破坏,以提高顶发射有机发光器件的性能。
Description
技术领域
本发明涉及发光器件技术,特别是涉及一种有机顶发光器件及其制造方法的技术。
背景技术
有机顶发光器件是一种正在发展中的技术,所谓顶发光就是有机层产生的光不经过基板玻璃出射,而是穿过发光有机层上面的阴极出射,因此阴极必须要足够透明,才会有比较高的出光效率。目前阴极的结构主要是一层很薄的金属层和一层铟锡氧化物层复合而成,由于需要透光性好,金属必须做得很薄,通常在5纳米到40纳米。铟锡氧化物是一层透明导电层,它主要的作用是提高阴极的导电性和出光效率。但铟锡氧化物层一般是采用溅射的工艺来制作的,而溅射过程中被溅射出来的粒子能量较高,粒子将会轰击金属层和发光有机层,由于金属层很薄,粒子很容易穿过金属层破坏发光有机层,同时溅射过程产生紫外线也会使有机发光器件的性能遭到破坏。所以这种阴极结构在实际制作中很难避免这样的问题。
发明内容
针对上述现有技术中存在的缺陷,本发明所要解决的技术问题是提供一种能提高阴极的导电性和出光效率,能减弱溅射过程中高能粒子和紫外线对金属层下面的发光有机层的破坏,以提高顶发射有机发光器件的性能的有机顶发光器件及其制造方法。
为了解决上述技术问题,本发明所提供的一种有机顶发光器件,自下而上是基板、光刻好的阳极、发光部分有机层、透明阴极,其特征在于,所述透明阴极自下而上是阴极的金属层、阴极的有机层。
进一步地,所述透明阴极的有机层上设有铟锡氧化物层。
进一步地,所述阴极的金属层为一层1纳米的氟化锂和150纳米的铝膜。
进一步地,所述阴极的有机层为一层八羟基奎啉铝的有机层。
为了解决上述技术问题,本发明所提供的一种制造所述有机顶发光器件的方法:
1)在光刻好阳极的基板上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层等构层器件的发光部分的有机层;
2)然后再在上面蒸镀一层氟化锂和铝膜,构成阴极的金属层部分;其特征在于,
3)在金属层的上面蒸镀一层八羟基奎啉铝的阴极的有机层。
进一步地,所述步骤3)中在该有机层的上面溅射一层阴极的铟锡氧化物层。
利用本发明提供的有机顶发光器件及其制造方法,由于在阴极金属层上增加了一层有机层,可以部分替代铟锡氧化物层的功能,即提高阴极的导电性和出光效率,同时在制造过程中不会对金属层下面的发光有机层造成破坏,如果在其上面再溅射铟锡氧化物层或其它导电无机物,可以减弱溅射过程中高能粒子和紫外线对金属层下面的发光有机层的破坏,提高顶发射有机发光器件的性能。
附图说明
图1是本发明一实施例有机顶发光器件的结构示意图;
图2是本发明另一实施例有机顶发光器件的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图说明对本发明的实施例作进一步详细描述,但本实施例并不用于限制本发明,凡是采用本发明的相似结构、制造方法及其相似变化,均应列入本发明的保护范围。
本发明是针对上述阴极结构的缺点,提出一种新的阴极的结构,以避免在阴极制作过程中破坏阴极下面的有机层。本发明是在阴极的金属层附加一层导电的透明有机层,由于这层有机层是导电的,它可以增加阴极的导电性,而且它也是透明介质层,也可以提高阴极的出光效率。这一层导电的透明有机层起的作用与铟锡氧化物基本一样,但有机层的制作工艺一般采用热蒸镀工艺,不会产生高能粒子和紫外线,在制作过程中破坏金属下面的有机层。如果再在导电的透明有机层上溅射铟锡氧化物层或其它导电无机物,可以更好的提高器件性能,由于阴极金属上面有一层导电的透明有机层保护,它可以减弱溅射过程中高能粒子和紫外线对金属层下面的发光有机层的破坏。
本发明实施例的有机顶发光器件的一种实施方式是:在光刻好阳极2的基板1上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层等构层器件的发光部分的有机层3,然后再在上面蒸镀一层1纳米的氟化锂和150纳米的铝膜,构成阴极的金属层部分4,再在金属层的上面蒸镀一层100纳米的八羟基奎啉铝的阴极的有机层5。最终的器件如图1所示。
本发明实施例的有机顶发光器件的另一实施方式是:在光刻好阳极2的基板1上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层等构层器件的发光部分的有机层3,然后再在上面蒸镀一层1纳米的氟化锂和150纳米的铝膜,构成阴极的金属层部分4,再在金属层的上面蒸镀一层60纳米的八羟基奎啉铝的阴极的有机层5,再在该有机层的上面溅射一层100纳米的阴极的铟锡氧化物层6,最终的器件如图2所示。
Claims (3)
1.一种有机顶发光器件,自下而上是基板、光刻好的阳极、发光部分有机层、透明阴极,其特征在于,所述透明阴极自下而上是阴极的金属层、阴极的有机层。
2.根据权利要求1所述的有机顶发光器件,其特征在于,所述透明阴极的金属层上设有有机层。
3.根据权利要求1所述的有机顶发光器件,其特征在于,所述透明阴极的有机层上设有铟锡氧化物层。
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CNA200610148149XA CN101212023A (zh) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 一种有机顶发光器件及其制造方法 |
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