CH689280A5 - Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten in einer Vakuumkammer, mit einer Einrichtung zur Erkennung und Unterdrueckung von unerwuenschten Lichtboegen. - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten in einer Vakuumkammer, mit einer Einrichtung zur Erkennung und Unterdrueckung von unerwuenschten Lichtboegen. Download PDF

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