FR2709376A1

FR2709376A1 - Procédé et appareil pour déposer une couche sur un substrat dans une chambre à vide avec détection et suppression d'arcs indésirés.

Info

Publication number: FR2709376A1
Application number: FR9409623A
Authority: FR
Inventors: Teschner Gotz; Bruch Jurgen
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1993-08-04
Filing date: 1994-08-03
Publication date: 1995-03-03
Anticipated expiration: 2014-08-03
Also published as: DE4326100B4; DE4326100A1; NL194867B; JPH0778588A; JP3654931B2; CH689280A5; GB9414387D0; GB2280799B; NL9401248A; GB2280799A; FR2709376B1; NL194867C

Abstract

Ce procédé et cet appareil utilisent un dispositif pour détecter et supprimer des arcs indésirés, notamment entre les cibles et les cathodes. Une demi-alternance du signal moyenne fréquence du générateur (9) est divisée en un grand nombre d'intervalles de temps. Les valeurs électriques de courant et de tension d'un intervalle préfixé sont relevées pour la formation d'un signal de valeur réelle, au moyen d'un diviseur de tension (12) et d'un transformateur (13), et sont introduites dans un îlot de mesure (16) sans terre formant une station satellite dans un réseau annulaire dont la station maîtresse se trouve dans une unité de commande (11) du générateur (9). Celui-ci est bloqué, à l'apparition d'un arc, par une ligne de liaison (19). Applicable en particulier au dépôt de couches non conductrices par pulvérisation en atmosphère réactive.

Description

L'invention concerne un procédé et un appareil pour revêtir ou recouvrir

des substrats de couches, en particulier de couches électriquement non conductrices, dans une atmosphère réactive, comprenant des cathodes de pulvérisation placées dans une chambre à vide présentant une admission de gaz de traitement, des cibles faites du

matériau à pulvériser et à déposer en une couche, un gé-

nérateur moyenne fréquence relié par un conducteur double aux cathodes, ainsi qu'un dispositif pour détecter et

supprimer des arcs indésirés.

Une demande de brevet allemand antérieure, non encore soumise à l'inspection publique (P 41 06 770.3)

décrit un procédé et un appareil pour le revêtement réac-

tif d'un substrat avec un matériau électriquement iso-

lant, du dioxyde de silicium (SiO2) par exemple, qui com-

prend une source de courant alternatif reliée à des ca-

thodes placées dans une chambre de revêtement et renfer-

mant des aimants, qui coopèrent avec des cibles, l'agen-

cement étant tel que deux sorties sans terre de la source de courant alternatif sont reliées chacune à une cathode portant une cible, que les deux cathodes sont juxtaposées dans la chambre de revêtement à l'intérieur d'un espace à plasma, et que les cathodes présentent chacune à peu près la même distance dans l'espace par rapport au substrat

situé en face. La valeur efficace de la tension de dé-

charge est mesurée dans ce cas par un dispositif - rac-

cordé par une ligne électrique à la cathode - pour la me-

sure de la tension efficace, laquelle est appliquée par une ligne électrique et sous la forme d'une tension continue à un régulateur qui, par l'intermédiaire d'une soupape de réglage, commande le débit de gaz réactif à partir du réservoir dans la conduite de distribution, de manière que la tension mesurée corresponde à une tension

de consigne.

Une autre demande de brevet allemand antérieure, non soumise à l'inspection publique

(P 41 36 655.7; addition à P 40 42 289.5) décrit égale-

ment un appareil pour le revêtement réactif d'un sub-

strat, dans lequel une cathode séparée électriquement de

la chambre à vide, réalisée comme une cathode de magné-

tron, est composée de deux parties électriquement sépa-

rées l'une de l'autre. Le corps de base de la cible, com-

prenant une culasse et des aimants, forme une partie rac-

cordée avec interposition d'une capacité au pôle négatif d'une alimentation courant continu, tandis que la cible proprement dite, formant l'autre partie, est raccordée à

l'alimentation par une ligne de raccordement et avec in-

terposition d'une bobine d'inductance et d'une résistance montée en parallèle avec celle-ci. La cible est reliée à travers une capacité supplémentaire au pôle positif de l'alimentation et à l'anode, reliée elle-même à la masse avec interposition d'une résistance. Une inductance est interposée en série avec la capacité à faible induction dans la ligne d'embranchement menant à la résistance et à la bobine d'inductance et la valeur pour la résistance

est typiquement comprise entre 2 KQ et 10 KQ. Cet appa-

reil antérieur est déjà conçu de manière qu'il supprime

la majorité des arcs produits pendant un processus de re-

vêtement, abaisse l'énergie des arcs et améliore le ré-

allumage du plasma après un arc.

Le but de la présente invention est de créer,

pour des appareils de revêtement de grandeur et de puis-

sance particulières, un dispositif destiné à détecter et

supprimer les arcs précocement et qui permette au person-

nel de conduite d'ajuster l'appareil de manière que soient seulement supprimés les arcs nuisibles pour un

processus de revêtement déterminé.

Conformément à l'invention, on obtient ce ré-

sultat par le fait qu'une demi-alternance du signal de

moyenne fréquence du générateur moyenne fréquence est di-

visée en un grand nombre d'intervalles de temps, avec détermination, pour un intervalle de temps préfixé, des valeurs électriques du courant et de la tension en vue de

la formation d'un signal de valeur réelle et avec intro-

duction de ces valeurs électriques dans un îlot de mesure

sans terre, la tension étant déterminée à l'aide d'un di-

viseur de tension symétrique compensé qui est branché entre les deux cathodes et le courant étant déterminé à l'aide d'un transformateur interposé par bouclage dans la ligne d'alimentation d'une cathode, l'îlot de mesure étant inclu en tant que station satellite dans un réseau en anneau dont la station maîtresse se trouve dans l'unité de commande prévue dans le générateur et réalisée par exemple comme une commande par programme enregistré, le générateur étant bloqué, à l'apparition d'un arc, à travers une ligne de liaison qui relie l'îlot de mesure au générateur, les paramètres de la surveillance d'arc et de la détermination des valeurs de mesure étant préfixés à cet effet, à travers le réseau, à l'aide d'un logiciel,

par exemple d'une commande par programme enregistré.

Les processus de pulvérisation réactifs, appli-

qués de préférence dans l'appareil dont il est question ici, présentent une dépendance affectée d'hystérésis de la tension de décharge de la fraction de gaz réactif. En raison de la caractéristique à pente raide au point de travail, ils ont déjà tendance, même sous de faibles fluctuations des paramètres du processus, à basculer dans un autre état, mais qui ne convient pas au procédé. Une conduite stable du processus requiert notamment que la puissance injectée par le générateur MF dans les cathodes soit constante. Il est donc nécessaire de mesurer, en tant que signaux primaires, la tension et le courant sur les cathodes et d'en tirer, par la formation du produit, la valeur réelle de la puissance. La pointe que présente la tension, dépend du comportement d'allumage du système, lequel est influencé par exemple par le type et la pression du gaz. La plage concernée n'est pas importante pour le processus de pulvérisation proprement dit, mais elle influence considérablement la valeur moyenne ou la valeur efficace de la tension. Si l'on utilisait ces grandeurs en tant que mesures de la tension de décharge, des fluctuations dans le comportement d'allumage, provoquées par exemple par des instabilités de la pres- sion, feraient croire à un changement de la véritable tension de décharge. Cette dernière est déterminée par la zone de signal (zone de décharge) faisant suite à la

pointe d'allumage. La zone caractéristique pour la dé-

charge et par conséquent pour le processus, peut également présenter d'autres formes d'onde, suivant le réglage effectué pour le processus, de sorte qu'il convient de tenir compte, suivant le processus employé, de différents segments partiels des signaux pour la

formation de la valeur réelle.

A des fins d'évaluation et de documentation (archivage) d'états de processus déterminés, les allures de signal caractéristiques doivent être retenues, par exemple à l'aide d'un enregistreur. Cependant, il faut pour cela que les signaux soient préparés en conséquence puisque les enregistreurs habituels ne sont plus capable d'inscrire des signaux dans la gamme de fréquences

concernée (de 40 kHz par exemple).

Le courant mesuré contient, en raison de la ca-

pacité de la cathode elle-même, ainsi que de condensa-

teurs éventuellement montés directement sur la cathode,

une composante réactive qu'il faut compenser par des dis-

positions appropriées.

Pendant la pulvérisation avec un gaz réactif, il se produit des décharges disruptives de différentes

formes, appelées globalement "arcs". Des arcs se produi-

sent sur les cibles entre des régions recouvertes d'une couche isolante et des régions métalliques nues pour compenser des charges et sous forme de petits

éclairs lumineux. Il se produit en outre des court-

circuits des cathodes et/ou des cibles entre elles ou des cathodes et/ou des cibles avec d'autres parties de l'installation de pulvérisation. Les arcs peuvent perturber le processus de pulvérisation et endommager la surface des cibles. La plupart d'entre eux sont pauvres en énergie et s'éteignent d'eux-mêmes sans que cela demande une intervention particulière. Il se produit cependant aussi des arcs lumineux plus riches en énergie et durables qui, s'il ne sont pas éteints rapidement, entraînent d'importants dommages et interdisent la poursuite du processus. Pour pouvoir réagir de manière appropriée à ces différents arcs, il est nécessaire de mettre au point des procédés permettant leur détection sûre et l'extinction rapide des arcs durables. La figure 3 représente qualitativement l'allure du signal à la

survenue d'un arc typique (dans la cinquième demi-alter-

nance). Le système à deux cathodes, alimenté sous moyenne fréquence, est généralement conçu comme une

boucle sans terre pour des raisons de symétrie. Les ten-

sions maximales apparaissant entre les deux cathodes sont de l'ordre de 1 à 2 kV. La différence de potentiel entre cathode et terre est du même ordre de grandeur. Il s'agit donc de trouver une méthode adéquate pour déterminer la

tension entre les cathodes et le courant les traversant.

Comme différents procédés et processus sont

susceptibles d'être utilisés sur une seule et même ins-

tallation existante, la commande de la logique d'arc et de la détermination des valeurs de mesure doit permettre une grande souplesse afin de pouvoir répondre aux divers

besoins.

Le procédé selon l'invention pour revêtir ou recouvrir des substrats de couches, en particulier de

couches non conductrices électriquement dans une atmo-

sphère réactive, comprenant des cathodes de pulvérisation placées dans une chambre à vide présentant une admission de gaz de traitement, des cibles faites du matériau à pulvériser et à déposer en une couche, un générateur

moyenne fréquence relié par un conducteur double aux ca-

thodes, ainsi qu'un dispositif pour détecter et supprimer des arcs indésirés, est caractérisé en ce que l'on divise chaque fois une demialternance du signal moyenne fré- quence du générateur moyenne fréquence en un grand nombre

d'intervalles de temps, on détermine des valeurs élec-

triques du courant et de la tension pour un intervalle de

temps préfixé en vue de la formation d'un signal de va-

leur réelle et on introduit ces valeurs électriques dans un îlot de mesure sans terre, la tension étant déterminée au moyen d'un diviseur de tension symétrique compensé et le courant étant déterminé au moyen d'un transformateur,

l'îlot de mesure étant indclu en tant que station satel-

lite dans un réseau en anneau dont la station maîtresse

se trouve dans une unité de commande prévue dans le géné-

rateur, le générateur étant bloqué, à l'apparition d'un arc, à travers une ligne de liaison qui relie l'îlot de mesure au générateur, les paramètres de la surveillance d'arc et de la détermination des valeurs de mesure étant

préfixés à travers le réseau à l'aide d'un logiciel.

L'invention autorise les modes de mise en oeuvre les plus divers; l'un d'eux sera ci-après décrit à titre non limitatif en référence aux dessins schématiques annexés, sur lesquels:

- la figure 1 montre le principe de l'agence-

ment des sous-ensembles de l'appareil; - la figure 2 représente par un diagramme la dépendance de la tension de décharge de la fraction de gaz réactif et de la puissance moyenne fréquence; - la figure 3 représente des allures typiques de la tension cathodique et du courant cathodique; - la figure 4 représente par un diagramme la

tension et le courant cathodiques et la division en in-

tervalles de temps séparés; - la figure 5 montre par un diagramme des arcs unilatéraux (cathode par rapport à l'environnement), le compteur d'arcs étant réglé à 3 et la remise à zéro du compteur d'arcs s'effectuant après deux demi-alternances intactes; - la figure 6 est une représentation analogue d'arcs symétriques (entre les deux cathodes), le compteur d'arcs étant réglé à 3 et la remise à zéro du compteur d'arcs s'effectuant après 2 demi-alternances intactes;

- la figure 7 représente les modules de la pla-

quette électronique de détermination des valeurs de me-

sure et de logique d'arc à moyenne fréquence ou plaquette

électronique MAM (pour "Mittelfrequenz-arc-logic-Mepwer-

terfassung"); - la figure 8 montre les entrées analogiques et le déclencheur selon la figure 7; - la figure 9 montre les composants pour la synchronisation et la génération du rythme;

- la figure 10 montre le composant pour la lo-

gique d'arc selon la figure 7;

- la figure 11 montre le convertisseur analo-

gique/numérique selon la figure 7; et - la figure 12 montre le microprocesseur selon

la figure 7.

L'appareil se compose essentiellement de la chambre de revêtement 1 avec le raccord de pompe à vide 2 et l'admission de gaz 3 et avec les cathodes 4, 5 placées dans la chambre et auxquelles sont coordonnées les cibles 6, 7, du substrat 8, du générateur moyenne fréquence 9

raccordé par le câble coaxial 10 et comprenant la com-

mande 11, du diviseur de tension 12, du transformateur de courant 13 avec l'enroulement de compensation 20, des deux capacités 14, 15, du dispositif 16 de détermination de valeurs de mesure-logique d'arc moyenne fréquence avec le transformateur d'isolement 21, ainsi que des fibres optiques 17, 18, 19 qui relient le générateur 9 ou la commande 11 au circuit 16. Ce dernier est représenté plus

en détail sur les figures 7 à 12 et se compose essentiel-

lement du convertisseur analogique/numérique 23, du com-

posant 24 pour la synchronisation et la génération du rythme, du composant 25 pour la logique d'arc, du micro-

processeur 26 et du composant 22 pour les entrées analo-

giques et le déclencheur.

Selon une particularité essentielle de l'inven-

tion, une demi-alternance du signal moyenne fréquence est divisée en intervalles de temps, au nombre de dix par exemple (voir la figure 4). Par le choix approprié d'un tel intervalle de temps et la détermination des valeurs de courant et de tension régnant à cet instant, il est possible de n'utiliser que le segment de signal convenant

le mieux à une régulation par exemple en vue de la forma-

tion d'un signal de valeur réelle. Sur la figure 4, un tel segment est désigné par R. Pour la surveillance d'arc, les signaux peuvent être contrôlés dans un autre segment, convenant éventuellement mieux dans ce but (un tel segment est désigné sur la figure 4 par A). De plus, les niveaux de signal dans les différents intervalles peuvent être explorés l'un après l'autre, à fréquence lente (par un procédé d'échantillonnage) afin de produire

ainsi un signal basse fréquence qui a la forme d'onde ca-

ractéristique du signal moyenne fréquence et peut être représenté par un enregistreur habituel (indiqué sur la figure 4 par M). Les signaux nécessaires à la division de la demi-alternance sont synchronisés par les passages par

zéro du signal de tension.

Un arc est caractérisé par le fait que la ten-

sion descend à une faible valeur (la tension d'arc) et que le courant reste en même temps à son niveau haut ou

augmente même. Le contrôle quant à l'existence ou l'ab-

sence d'un tel état s'effectue en chaque demi-alternance, dans un intervalle contenant à cet effet, ainsi que cela

a été mentionné déjà dans le paragraphe précédent.

Lorsque la valeur de la tension à l'instant considéré est inférieure à un seuil Uarc et la valeur du courant est supérieure à un autre seuil Inul, on est en présence d'un

état d'arc. Les signaux d'arc sont comptés en trois comp-

teurs d'événements séparés dont l'un compte tous les arcs qui se produisent, un deuxième compte tous les arcs dans la demi-alternance positive et le troisième compte tous

les arcs se produisant dans la demi-alternance négative.

Les différents arcs symétriques et dissymétriques peuvent

ainsi être exploités séparément. Quand ces compteurs at-

teignent des positions de comptage déterminées, prééta-

blies par commutateur-sélecteur ou par logiciel au moyen de la commande par programme enregistré ou commande SPS, un signal est produit pour bloquer le générateur pendant un temps défini ajustable par commutateur-sélecteur ou

par logiciel. Ensuite, la surveillance d'arc est suppri-

mée pendant un temps défini, réglable par commutateur-sé-

lecteur ou par logiciel, afin d'éviter des réactions in-

adéquates dues à des processus transitoires au retour de la puissance. Un compteur supplémentaire, remis à zéro

par chaque arc produit, compte le nombre de demi-alter-

nances intactes successives dans lesquelles un état d'arc

n'est pas constaté. Lorsque ce compteur atteint une posi-

tion préétablie par commutateur-sélecteur ou par logi-

ciel, les compteurs d'arcs proprement dits sont remis à zéro puisqu'on peut considérer alors qu'un arc durable

précédemment créé a été éteint. Les figures 5 et 6 mon-

trent quelques exemples de surveillance d'arc à l'aide

d'un seul compteur d'arcs qui compte tous les arcs pro-

duits.

La tension est mesurée au moyen d'un diviseur de tension symétrique compensé 12 qui est branché entre les cathodes 4 et 5. Le courant est déterminé au moyen d'un transformateur 13 interposé par bouclage dans la ligne d'alimentation d'une cathode. Pour compenser les courants réactifs provoqués notamment par les capacités

existant directement sur les cathodes 4, 5, ce trans-

formateur de courant 13 est pourvu d'un enroulement de

compensation 20 par lequel un courant de compensation ca-

pacitif peut parcourir le transformateur, à travers le condensateur 14, en sens inverse. La mesure est effectuée sur un îlot de mesure 16 sans terre, qui est prévu à proximité immédiate des

cathodes 4, 5 et se trouve au potentiel cathodique moyen.

Les signaux à partir et vers cet îlot sont transmis par des fibres optiques ou d'autres guides d'ondes optiques,

désignés également par LWL (pour "Lichtwellenleiter").

L'alimentation électrique de l'îlot de mesure s'effectue

à travers un transformateur 21 isolé de façon appropriée.

L'îlot de mesure 16 est inclus en tant que sta-

tion éloigné ou satellite dans un réseau annulaire 17, 18 dont la station maîtresse se trouve dans la commande 11 (une commande par programme enregistré ou commande SPS par exemple) prévue dans le générateur. La détermination des valeurs de mesure est commandée et les données sont transmises depuis l'îlot de mesure dans la commande à travers cette liaison par fibres optiques. Le blocage du générateur est effectué, lorsqu'il se produit un arc, par une liaison 19 séparée, formée également par une fibre

optique ou une liaison LWL analogue, qui permet une réac-

tion rapide.

Tous les paramètres essentiels de la surveil-

lance d'arc et de la détermination des valeurs de mesure

sont préfixés et transmis à travers le réseau par logi-

ciel, par exemple par une commande SPS.

Dans l'appareil décrit, seules les zones d'in-

térêt de la demi-alternance de moyenne fréquence sont

utilisées pour la commande et la stabilisation du proces-

sus. Cela signifie une conduite nettement plus sûre du processus qu'avec les solutions connues jusqu'à présent, se référant aux valeurs moyennes ou aux valeurs efficaces des signaux. La détermination des valeurs de mesure directement sur les cathodes évite les déformations de signaux, tandis que les problèmes d'isolement posés à cet égard sont évités par l'emploi de circuits à fibres optiques ou analogues. Grâce à la commande par un raccordement bidirectionnel au réseau, la détermination des valeurs de mesure est réalisable de

façon très souple puisque les paramètres de la surveil-

lance d'arc et de la détermination des valeurs de mesure peuvent être fixés par logiciel. Les arcs durables sont

détectés de manière sûre et éteints rapidement.

L'exemple décrit est basé sur l'agencement dont le principe est représenté sur la figure 1. Le générateur moyenne fréquence a une fréquence de 40 kHz. Les parties

essentielles pour l'invention sont la plaquette électro-

nique MAM 16, laquelle est alimentée à travers un trans-

formateur d'isolement 21 et qui reçoit les signaux de va-

leur réelle du courant et de la tension cathodique par le transformateur de courant 13 et le diviseur de tension 12 respectivement, un circuit de compensation 14 et 15 ainsi que les liaisons par fibres optiques 17, 18 et 19 qui relient la plaquette électronique au générateur MF 9

et à la commande SPS 11.

La figure 7 est une vue d'ensemble des diffé-

rents modules de la plaquette électronique MAM, consti-

tuant l'îlot de mesure 16, avec introduction des valeurs de courant IK et de tension UK cathodiques - prélevées

sur l'alimentation des cathodes - dans le composant d'en-

trée 22 dont les signaux préparés (Uré et Iré indiquent les valeurs réelles de tension et de courant) sont

envoyés ensuite à travers les composants 23, 24 et la lo-

gique d'arc 25 au microprocesseur 26 et à partir de ce-

lui-ci au générateur 9. Les figures 8 à 12 représentent

de façon plus détaillée les différentes parties du mon-

tage, dans lequelles le sens du courant est indiqué

chaque fois par des flèches. Le composant 22 pour les en-

trées analogiques UK, IK et le déclencheur, composant qui

est contenu dans l'îlot de mesure 16, est formé d'ampli-

ficateurs d'entrée 27, 28 suivis de formateurs de gran- deurs ou totalisateurs 32, 33 et de générateurs de va- leurs de référence qui établissent les valeurs de compa-5 raison pour le courant (Inul) et la tension (Uarc). L'am- plificateur 27 est un amplificateur d'entrée différen-

tiel. Les références 29, 30 et 31 désignent des compara- teurs.

Claims

REVENDICATIONS

1. Appareil pour revêtir ou recouvrir des sub-

strats de couches, en particulier de couches non conduc-

trices électriquement, dans une atmosphère réactive, com-

prenant des cathodes de pulvérisation (4, 5) placées dans une chambre à vide (1) présentant une admission de gaz de traitement (3), des cibles (6, 7) faites du matériau à pulvériser et à déposer en une couche, un générateur moyenne fréquence (9) relié par un conducteur double (10)

aux cathodes (4, 5), ainsi qu'un dispositif (16) pour dé-

tecter et supprimer des arcs indésirés, caractérisé en ce qu'une demialternance du signal de moyenne fréquence du générateur moyenne fréquence (9) est divisée en un grand nombre d'intervalles de temps, avec détermination, pour un intervalle de temps préfixé (R ou A), des valeurs

électriques du courant et de la tension en vue de la for-

mation d'un signal de valeur réelle et avec introduction de ces valeurs électriques dans un îlot de mesure (16)

sans terre, la tension étant déterminée à l'aide d'un di-

viseur de tension (12) symétrique compensé qui est bran-

ché entre les deux cathodes (4, 5) et le courant étant déterminé à l'aide d'un transformateur (13) interposé par bouclage dans la ligne d'alimentation d'une cathode (5),

l'îlot de mesure (16) étant indclu en tant que station sa-

tellite dans un réseau en anneau (9, 16, 17, 18, 19, 11)

dont la station maîtresse se trouve dans l'unité de com-

mande (11) prévue dans le générateur (9) et réalisée par exemple comme une commande par programme enregistré (SPS), le générateur (9) étant bloqué, à l'apparition d'un arc, à travers une ligne de liaison (19) qui relie l'îlot de mesure (16) au générateur (9), les paramètres

de la surveillance d'arc et de la détermination des va-

leurs de mesure étant préfixés à cet effet, à travers le réseau (17, 18, 19), à l'aide d'un logiciel, par exemple

d'une commande par programme enregistré (SPS).

2. Appareil selon la revendication 1, caracté-

risé en ce que, pour la compensation des courants réac-

tifs produits par les capacités (15) existant directement sur les cathodes (4, 5), le transformateur de courant (13) est pourvu d'un enroulement de compensation (20) à travers duquel peut circuler, ainsi qu'à travers un

condensateur (14) supplémentaire, un courant de compensa-

tion capacitif qui parcourt le transformateur de courant

(13) en sens contraire.

3. Appareil selon la revendication 1 ou 2, ca-

ractérisé en ce que les signaux de ou vers l'îlot de me-

sure (16) sont transmis par des fibres optiques (17, 18, 19) ou d'autres guides d'ondes optiques, l'alimentation

électrique de l'îlot de mesure (16) s'effectuant à tra-

vers un transformateur d'isolement (21).

4. Appareil selon l'une quelconque des revendi-

cations précédentes, caractérisé en ce que l'îlot de me-

sure (16) est constitué essentiellement d'un déclencheur (22) avec des entrées analogiques pour le courant et la tension (UK, IK), d'un convertisseur analogique/numérique (23), d'un composant de synchronisation et de génération du rythme (24), d'un circuit logique d'arc (25) et d'un microprocesseur (26) présentant les raccordements (17,

18) à la commande (11) prévue sur le générateur (9).

5. Appareil selon une ou plusieurs des revendi-

cations précédentes, caractérisé en ce que les niveaux de signal de segments de signal sélectionnés peuvent être explorés l'un après l'autre à une fréquence lente, de préférence par un procédé d'échantillonnage, en vue de la génération d'un signal basse fréquence qui possède la

forme d'onde du signal moyenne fréquence et peut être re-

présenté au moyen d'un enregistreur, les signaux néces-

saires à la division de la demi-alternance pouvant être

synchronisés par les passages par zéro du signal de ten-

sion.

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6. Appareil selon une ou plusieurs des revendi-

cations précédentes, caractérisé en ce que le composant (22), contenu dans l'îlot de mesure (16),pour les entrées

analogiques (UK, IK), et le déclencheur, est formé d'am-

plificateurs d'entrée (27, 28) suivis de totalisateurs

(32, 33), de comparateurs (29, 30 et 31) et de généra-

teurs de valeurs de référence qui établissent les valeurs de comparaison pour le courant (I nul) et la tension (U arc).

7. Procédé pour revêtir ou recouvrir des sub-

strats de couches, en particulier de couches non conduc-

trices électriquement, dans une atmosphère réactive, com-

aux cathodes (4, 5), ainsi qu'un dispositif (16) pour dé-

tecter et supprimer des arcs indésirés, caractérisé en ce que l'on divise chaque fois une demi-alternance du signal moyenne fréquence du générateur moyenne fréquence (9) en un grand nombre d'intervalles de temps, on détermine des valeurs électriques du courant et de la tension pour un

intervalle de temps (R ou A) préfixé en vue de la forma-

tion d'un signal de valeur réelle et on introduit ces va-

leurs électriques dans un îlot de mesure (16) sans terre, la tension étant déterminée au moyen d'un diviseur de

tension (12) symétrique compensé et le courant étant dé-

terminé au moyen d'un transformateur (13), l'îlot de me-

sure (16) étant inclu en tant que station satellite dans

un réseau en anneau (9, 16, 17, 18, 19, 11) dont la sta-

tion maîtresse se trouve dans une unité de commande (11) prévue dans le générateur (9), le générateur (9) étant bloqué, à l'apparition d'un arc, à travers une ligne de

liaison (19) qui relie l'îlot de mesure (16) au généra-

teur (9), les paramètres de la surveillance d'arc et de la détermination des valeurs de mesure étant préfixés à

travers le réseau (17, 18, 19) à l'aide d'un logiciel.

8. Procédé selon la revendication 7, caracté-

risé en ce que les niveaux de signal de segments de sig-

nal sélectionnés peuvent être explorés l'un après l'autre à une fréquence lente, de préférence par un procédé d'échantillonnage, en vue de la génération d'un signal basse fréquence qui possède la forme d'onde du signal moyenne fréquence et peut être représenté au moyen d'un enregistreur, les signaux nécessaires à la division de la

demi-alternance pouvant être synchronisés par les pas-

sages par zéro du signal de tension.