NL9401248A - Werkwijze en inrichting voor het in een vacuümkamer aanbrengen van een laag op substraten, met een inrichting voor de identificatie en onderdrukking van ongewenste lichtbogen. - Google Patents

Description

Titel: Werkwijze en inrichting voor het in een vacuümkamer aanbrengen van een laag op substraten, met een inrichting voor de identificatie en onderdrukking van ongewenste lichtbogen.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze en een inrichting voor het aanbrengen van een laag op substraten, in het bijzonder van elektrisch niet-geleidende lagen in een reactieve atmosfeer, voorzien van in een vacuümkamer met een procesgasinlaat aangebrachte sputterkathoden, van sputter-doelen van het te versputteren materiaal, van een midden-frequentiegenerator verbonden met de kathoden via een twee-draadsleiding en van een inrichting voor de identificatie en onderdrukking van ongewenste lichtbogen, zogenoemde arc's.

In een oudere, niet vóórgepubliceerde Duitse octrooiaanvrage 41 06 770.3 zijn een werkwijze en een inrichting beschreven voor het reactief aanbrengen van een elektrisch isolerende laag op substraten, bijvoorbeeld met siliciumoxide (Si02), bestaande uit een wisselstroombron, die is verbonden met in een laag-aaribrengkamer aangebrachte magneten, welke kathoden omvatten die met doelen samenwerken, waarbij twee aardingsvrije uitgangen van de wisselstroombron met elk een doel dragende kathode zijn verbonden, waarbij beide kathoden in de laag-aanbrengkamer naast elkaar liggend in een plasma-ruimte zijn voorzien en tot het tegenoverliggende substraat telkens ongeveer dezelfde ruimtelijke afstand hebben. De effectieve waarde van de ontladingsspanning wordt daarbij door een, via een leiding met de kathode verbonden spannings-effectiviteitsopneming gemeten en als gelijkspanning aan een regelaar toegevoerd, welke via een regelventiel de reactieve gasstroom van de voorraadhouder in de verdelingsleiding zo stuurt, dat de gemeten spanning overeenkomt met een nominale waarde.

Ook is een inrichting voor het reactief aanbrengen van een laag op substraten beschreven in een oudere, niet-gepubliceerde octrooiaanvrage DE-A 41.36.655.7 (aanvulling op DE-A 40.42.289.5), waarbij een elektrisch van de vacuümkamer afgescheiden, als magnetronkathode uitgevoerde, uit twee elektrisch van elkaar gescheiden delen bestaande kathode, waarbij de doel-basislichamen met juk en magneten, waarbij het ene deel onder tussenschakeling van een capaciteit aan de negatieve pool van een gelijkstroom-spanningsverzorging en het doel, en waarbij het andere deel via een leiding en onder tussenschakeling van een smoorspoel en een hiermee parallel liggende weerstand op de stroomverzorging is aangesloten en het doel via een verdere capaciteit met de pluspool van de stroomverzorging en met de anode is verbonden, welke weer onder tussenschakeling van een weerstand met de aarde is verbonden, waarbij in serie naar de inductie-arme capaciteit een inductiviteit in de afgetakte leiding naar de weerstand en naar de smoorspoel is ingeschakeld en de waarde voor de weerstand typisch tussen 2 ka en 10 ka ligt. Deze oudere inrichting is reeds zo uitgevoerd, dat deze het merendeel van de tijdens een proces voor het aanbrengen van een laag optredende arc's onderdrukt en de energie van de arc's vermindert en het herontsteken van het plasma na een are verbetert.

Het doel van de uitvinding is om voor inrichtingen voor het aanbrengen van een laag, welke een bijzondere grootte en vermogen hebben, een inrichting voor de vroege arc-identificatie en are-onderdrukking te verschaffen, die het voor het bedieningspersoneel mogelijk maakt de inrichting zo in te stellen dat slechts de voor een bepaald proces voor het aanbrengen van een laag schadelijke arc's worden onderdrukt.

Dit doel wordt volgens de uitvinding bereikt doordat telkens een halve golf van het middenfrequentiesignaal van de middenfrequentiegenerator in een groot aantal perioden wordt onderverdeeld, waarbij voor een vooraf bepaalde periode de elektrische waarde van de stroom en de spanning voor het vormen van een werkelijke-waarde-sigraal wordt geregistreerd en in een aardingsvrij meeteiland wordt ingevoerd, waartoe de spanning via een gecompenseerde symmetrische spanningsdeler, welke tussen de beide kathoden is aangesloten en de stroom via een omvormer wordt bepaald, welke in de toevoer leiding van een kathode is ingeslepen en waarbij het meeteiland als een station op afstand op een ringvormig netwerk is aangesloten, waarvan het hoofdstation zich in de in de generator aanwezige, bijvoorbeeld als SPS besturing uitgevoerde besturingseenheid bevindt, waarbij de blokkering van de generator bij het optreden van een are via een verbindingsleiding geschiedt, welke het meeteiland met de generator verbindt, waartoe de parameters van de are-bewaking en de meetwaardeopneming via het netwerk met behulp van programmatuur, bijvoorbeeld door een SPS worden bepaald.

Verdere bijzonderheden en kenmerken zijn in de volg-conclusies nader beschreven en gekenmerkt.

De bij de infra-bestendige inrichting bij voorkeur toegepaste reactieve sputterprocessen tonen een hysterese-belaste afhankelijkheid van de ontladingsspanning van een reactief gasbestanddeel. Vanwege de steil oplopende karakteristiek in het werkpunt neigen deze reeds bij geringe schommelingen van de procesparameters ertoe, in een andere toestand te kantelen, welke voor het proces echter niet geschikt is. Een stabiele besturing van het proces vereist onder andere, dat het, door de MF-generator in de kathoden opgeslagen vermogen, constant is. Daarom is het noodzakelijk om als primaire signalen de spanning en de stroom aan de kathoden te meten en daaruit door produktvorming de werkelijke vermogenswaarde te bepalen. De bij de spanning aanwezige top is afhankelijk van het ontstekingsgedrag van de inrichting; welke bijvoorbeeld wordt beïnvloed door het soort gas en de gasdruk. Dit gebied is voor het eigenlijke sputterproces niet belangrijk, doch deze beïnvloedt echter in aanzienlijke mate de midden- resp. de effectieve waarde van de spanning. Zou men van deze grootheden gebruik maken als maat voor de ontladings-spanning, dan zouden de schommelingen bij het ontstekingsgedrag, bijvoorbeeld door drukinstabiliteiten, een verandering van de eigenlijke ontladingsspanning voorspiegelen. Deze wordt bepaald door het op de ontlaadpiek aansluitende signaalgebied (ontladingsgebied). Het voor de ontlading en daarmee voor het proces karakteristieke gebied, kan al naargelang de instelling van het proces ook andere grafiekvormen tonen, zodat het zinvol is, al naar het toegepaste proces, met verschillende periodes van de signalen voor de vorming van de werkelijke waarde rekening te houden.

Voor de beoordeling en de documentatie van bepaalde procestoestanden is het noodzakelijk het karakteristieke verloop van de signalen bijvoorbeeld met behulp van een schrijver vast te leggen. Daarbij dienen de signalen echter overeenkomstig te worden bewerkt, daar de gebruikelijke signalen van de schrijver in het overeenkomstige frequentie-gebied (bijv. 40 kHz) niet kunnen worden afgebeeld.

De gemeten stroom bevat door de capaciteit van de kathode zelf evenals door eventueel direct op de kathode aangebrachte condensatoren een reactieve component, welke door geschikte maatregelen dient te worden gecompenseerd.

Bij het sputteren met een reactiefgas treden overslagen van verschillende vorm op, welke gebruikelijk als arc's worden aangeduid. Arc's komen voor op de doelen tussen gebieden, welke zijn bekleed met een isolerende laag, en gebieden, welke onbedekt metallisch zijn, als afvlakking van de lading treden kleine lichtflitsen op. Verder komt het tot kortsluitingen van de kathoden en/of de doelen met elkaar resp. de kathoden en/of de doelen met andere delen in de sputterinrichting. De arc's kunnen het sputterproces verstoren en de doeloppervlakken beschadigen. De meeste van deze arc's zijn energie-arm en doven zonder verder ingrijpen vanzelf. Er ontstaan echter ook energierijke arc's, welke in de vorm van een lichtboog duurzaam blijven bestaan en, indien zij niet snel worden gedoofd, tot ernstige beschadigingen leiden, welke een verdere voortzetting van het proces onmogelijk maken. Om op geschikte wijze op deze verschillende arc’s te kunnen reageren, is het noodzakelijk, werkwijzen voor een zekere identificatie te ontwikkelen, welke de snelle uitdoving van de duurzame arc's mogelijk maken. In fig. 3 is het signaalverloop van een typische are kwalitatief weergegeven (5. halve golf).

De middenfrequentie-gevoede dubbele kathode-inrichting wordt in de regel om symmetrieredenen aardingsvrij aan- gesloten. De maximaal optredende spanningen tussen de beide kathoden, liggen in de ordegrootte van 1...2 kV. Het potentiaalverschil tussen de kathode en de aarde, ligt in dezelfde ordegrootte.

Het is derhalve noodzakelijk een geschikte werkwijze voor het bepalen van de spanning tussen deze en de stroom door de kathode te vinden.

Daar op een bestaande inrichting verschillende werkwijzen en processen kunnen worden toegepast, moet de mogelijkheid voor een zeer flexibele besturing van de are-logica en van de meetwaardeopneming zijn gegeven, om ook aan de verschillende eisen te kunnen voldoen.

De uitvinding laat de meest verschillende uitvoeringsmogelijkheden toe; één daarvan is in de bijgevoegde tekeningen schematisch weergegeven en hierin toont:

Fig. 1 de principiële rangschikking van de bouwgroepen van de inrichting; fig. 2 de schematische weergave van de afhankelijkheid van de ontladingsspanning van het reactieve gasgedeelte en van het middenfreguent ievermogen; fig. 3 karakteristieke verlopen van de kathodespanning en van de kathodestroom; fig. 4 de schematische weergave van de kathodespanning en de kathodestroom en de opdeling in afzonderlijke perioden; fig. 5 de schematische weergave van afzonderlijke are's (kathode tegen omgeving), waarbij de are-teller op 3 is ingesteld en het terugzetten van de are-teller naar 2 complete halve golven geschiedt; fig. 6 de weergave van symmetrische are’s (tussen beide kathoden), waarbij de are-teller op 3 is ingesteld en het terugzetten van de are-teller naar 2 complete halve golven geschiedt; fig. 7 de weergave van de funktiegroepen van de elektronica-platine MAM (middenfrequentie-are-logica-meetwaardeopnemer); fig. 8 de weergave van de analoge ingangen en de triggers overeenkomstig fig. 7; fig. 9 de weergave van de bouwstenen voor de synchronisatie en de impulsopwekking; fig. 10 de weergave van de bouwstenen voor de are-logica overeenkomstig fig. 7; fig. 11 de weergave van de analoog/digitaal-omzetter overeenkomstig fig. 7; en fig. 12 de weergave van de microprocessor overeenkomstig fig. 7;

De inrichting bestaat in hoofdzaak uit de kamer 1 voor het aanbrengen van een laag met de vacuüm-pompaansluiting 2 en de gasinlaat 3 en uit de in de kamer aangebrachte kathoden 4,5, uit de bijbehorende doelen 6, 7, uit het substraat 8, uit de met de coaxiaalkabel 10 verbonden middenfreguentiegenerator 9 met besturing ll, uit de spanningsdeler 12, uit de stroom-omvormer 13 met compensatiewikkeling 20, de beide capaciteiten 14, 15, de middenfrequentie are-logica-meetwaarde-opnemer 16 met isolatietransformator 21 en de lichtgolfgeleiders 17, 18, 19, welke de generator 9 resp. de besturing 11 met de schakeling 16 verbinden. De schakeling 16 van haar kant is in de figuren 7 tot 12 nader weergegeven en bestaat in hoofdzaak uit de analoog/digitaal-omzetter 23, de bouwsteen 24 voor synchronisatie en impulsopwekking, de bouwsteen 25 voor de are-logica, de microprocessor 26 en de bouwsteen 22 met analoge ingangen en trigger.

Een essentieel kenmerk van de uitvinding bestaat daarin, dat een halve golf van het middenfrequentiesignaal in bijvoorbeeld 10 perioden wordt onderverdeeld (zie fig. 4).

Door geschikte keuze van een dergelijke periode en registreren van de op dat ogenblik aanwezige waarden van stroom en spanning, is het mogelijk dat bijvoorbeeld voor een regeling aan het best geschikte signaalsegment en slechts dit, ter vorming van een werkelijke-waarde-signaal te bepalen. In fig.

4 is een dergelijke periode met R aangeduid. Voor are-controle kunnen de signalen in een andere, eventueel hiervoor beter geschikte deelperioden worden gecontroleerd (in fig. 4 met A aangeduid). Verder kunnen de signaalniveaus in de afzonderlijke perioden na elkaar, met een langzame frequentie worden afgetast (steekproef-proces) en zo een laagfrequentiesignaal wordt opgewekt, dat de karakteristieke grafiekvorm van het middenfrequentiesignaal heeft en op een gebruikelijke schrijver kan worden weergegeven (in fig. 4 met M aangeduid). De voor het rasteren van de halve golven benodigde signalen worden door de nuldoorgangen van het spanningssignaal gesynchroniseerd.

Een are is gekenmerkt doordat de spanning naar een lage waarde (de lichtboogspanning) daalt, waarbij tegelijkertijd de stroom op een hoog niveau blijft, resp. nog toeneemt. De controle op een dergelijke toestand vindt in elke halve golf plaats, in een daartoe geschikte deelperiode, zoals reeds in de vorige alinea is vermeld. Indien op het beschouwde tijdstip de waarde van de spanning onder een drempelwaarde Uarc ligt en de waarde van de stroom groter is dan een verdere drempelwaarde Inui, betreft het een are-toestand. De are-signalen worden geteld en wel door tot aan drie gescheiden gebeurtenis-tellers, waarvan één alle, de volgende alle in de positieve halve golf, en de derde alle in de negatieve halve golf optredende are's telt. Op deze manier kan men de verschillende symmetrische en niet-symmetrische are's gescheiden analyseren, indien deze tellers bepaalde, per keuzeschakelaar of door middel van de programmatuur van de SPS vooraf ingestelde tellerstanden bereiken, wordt een signaal opgewekt, dat voor een vastgelegde, per keuzeschakelaar of door middel van de programmatuur instelbare tijd de generator blokkeert. Daarna wordt de are-bewaking voor een vastgelegde, per keuzeschakelaar of door middel van de programmatuur instelbare tijd onderdrukt, om foutieve reacties op grond van inschakel-verschijnselen bij het terugkerende vermogen te vermijden.

Via een verdere teller, welke door iedere optredende are wordt teruggezet, wordt het aantal van elkaar opvolgende complete halve golven geteld, waarin geen are-toestand wordt vast-gesteld. Indien deze teller per keuzeschakelaar of door middel van de programmatuur een vooraf ingestelde stand bereikt, worden de eigenlijke are-tellers teruggezet, daar er dan vanuit kan worden gegaan dat een vroeger opgetreden duurzame are is uitgedoofd. In de figuren 5 en 6 zijn enige voorbeelden voor de arc-bewaking weergegeven, waarbij hier slechts van één enkele arc-teller, die alle optredende are's telt, werd uitgegaan.

De spanning wordt gemeten via een gecompenseerde symmetrische spanningsdeler 12, welke tussen de kathoden 4, 5 is aangesloten. De stroom wordt via een omvormer 13 bepaald, welke in de toevoerleiding van een kathode is ingeslepen.

Ter compensatie van de relatieve stromen, door de direct aanwezige capaciteiten 15, wordt een compensatiewikkeling 20 aangebracht, waardoor via de condensator 14 een capacitieve compensatiestroom in tegengestelde richting door de omvormer kan stromen.

De meting wordt op een aardingsvrij meeteiland 16 uit-gevoerd, welke in de directe nabijheid van de kathoden 4, 5 is ondergebracht en op de middelste kathodepotentiaal ligt.

De signalen van en naar dit eiland worden via een lichtgolf-geleider (LWL) overgedragen. De spanningsvoorziening geschiedt via een overeenkomende geïsoleerde transformator 21.

Het meeteiland 16 is als een station op afstand op een ringvormig netwerk 17, 18 aangesloten, waarvan het hoofdstation zich in de in de generator aanwezige besturing 11 (bijv. SPS) bevindt, via deze LWL-verbinding wordt de meetwaardeopneming gestuurd en de gegevens van het meeteiland aan de besturing overgedragen. De blokkering van de generator in het arc-geval, wordt via een afzonderlijke LWL-verbinding 19 gerealiseerd, welke een snelle reactie mogelijk maakt.

Alle wezenlijke parameters van de arc-bewaking en van de meetwaardeopneming worden via het netwerk door middel van de programmatuur, bijvoorbeeld door een SPS bepaald.

Door de beschreven inrichting worden slechts de relevante gedeelten binnen de middenfrequentie-halve-golf voor de procesbesturing en -stabilisering erbij gehaald. Dat betekent een aanzienlijk betrouwbaardere procesbesturing, dan bij de tot nu toe bekende oplossingen, welke betrekking hebben op de middelen resp. effectieve waarden van de signalen. Door de opneming van de meetwaarden, direct aan de kathoden, worden signaalvervormingen vermeden, de daarbij optredende isolatie-problemen zijn door de toepassing van LWL-trajecten opgelost. Door de besturing via een bi-directionele netwerkaansluiting kan de meetwaardeopneming buitengewoon flexibel worden uitgevoerd, daar de are-bewaking en de meetwaardeopneming per programmatuur parametreerbaar zijn. Duurzame are's worden zeker geïdentificeerd en snel uitgedoofd.

Het uitgevoerde voorbeeld is gebaseerd op de in fig. l weergegeven principiële inrichting. De middenfrequentie-generator heeft een frequentie van 40 kHz. De voor de uitvinding wezenlijke onderdelen zijn, de elektronica-platine MAM 16, die via een isolatietransformator 21 wordt verzorgd en waarvan het werkelijke-waarde-signaal, de kathodestroom en de kathodespanning via de stroomomvormer 13 resp. de spanningsdeler 12 worden toegevoerd, een compensatieschakeling 14 en 20 evenals de LWL-verbindingen 17, 18 en 19, welke de elektronica-platine met de MF-generator 9 en de aanwezige SPS 11 verbinden.

Fig. 7 toont een overzicht van de verschillende funktiegroepen van de elektronica-platine MAM, resp. het meeteiland 16, waarbij de aan de kathodeverzorging ontnomen Ik en Uk in de ingangsbouwsteen 22 binnenstromen, waarvan de bewerkte signalen dan via de bouwstenen 23, 24, 25 naar de microprocessor 26 en daarvan naar de generator 9 stromen.

In de figuren 8 tot 12 zijn de afzonderlijke schakelings-onderdelen uitvoeriger weergegeven, waarbij de stromings-richting door pijlen wordt aangeduid.

Lijst van de afzonderlijke onderdelen 1. vacuümkamer 2. vacuüm-pompaansluiting 3. procesgasinlaat 4. kathode 5. kathode 6. doel 7. doel 8. substraat 9. middenfreguentiegenerator 10. coaxiaalkabel, tweedraadsleiding 11. besturing (geheugen-programmeerbare besturing) 12. symmetrische spanningsdeler 13. stroomomvormer 14. condensator, compensatieschakeling 15. capaciteit 16. meeteiland, middenfrequentie are-logische meetwaarde opnemer 17. lichtgolfgeleider 18. lichtgolfgeleider 19. lichtgolfgeleider 20. compensatiewikkeling 21. isolatietransformator 22. bouwsteen voor de analoge ingangen en trigger 23. A/D-omzetter (analoog/digitaal-omzetter) 24. bouwsteen voor de synchronisatie en impulsopwekking 25. are-logica 26. microprocessor 27. verschil-ingangsversterker 28. ingangsversterker 29. spanningsvergelijker 3 0. spanningsvergelij ker 31. spanningsvergelij ker 32. s omvormer 33. somvormer

Claims (8)

1. Inrichting voor het aanbrengen van een laag op substraten, in het bijzonder van elektrisch niet-geleidende lagen in een reactieve atmosfeer, voorzien van in een vacuümkamer (1) met een procesgasinlaat (3) aangebrachte sputterkathoden (4, 5), van sputterdoelen (6, 7) van het te versputteren materiaal, van een middenfrequentiegenerator (9) verbonden met de kathoden (4, 5) via een tweedraadsleiding (10), en van een inrichting (16) voor de identificatie en onderdrukking van ongewenste lichtbogen, zogenoemde arc's, met het kenmerk, dat telkens een halve golf van de middenfrequentiegenerator (9) in een groot aantal perioden wordt onderverdeeld, waarbij voor een vooraf bepaalde periode (R resp. A) de elektrische waarde van de stroom en spanning voor het vormen van een werkelijke waarde signaal wordt geregistreerd en in een aardingsvrij meeteiland (16) wordt ingevoerd, waartoe de spanning via een gecompenseerde symmetrische spanningsdeler (12), welke tussen de beide kathoden (4, 5) is aangesloten en de stroom via een omvormer (13) wordt bepaald, welke in de toevoerleiding van een kathode (5) is ingeslepen en waarbij het meeteiland (16) als afgezonderd station op een ringvormig netwerk (9, 16, 17, 18, 19, 11) is aangesloten, waarvan het hoofdstation zich in de in de generator (9) aanwezige, bijvoorbeeld als SPS besturing uitgevoerd besturingseenheid (11) bevindt, waarbij de blokkering van de generator (9) bij het optreden van een are via een verbindingsleiding (19) geschiedt, welke het meeteiland (16) met de generator (9) verbindt, waartoe de parameters van de are-bewaking en de meetwaardeopneming via het netwerk (17, 18, 19) met behulp van programmatuur, bijvoorbeeld door een SPS worden bepaald.

2. Inrichting volgens conclusie l, met het kenmerk, dat ter compensatie van de reactieve stromen door de direct op de kathoden (4, 5) aanwezige capaciteiten (15) een compensatie-wikkeling (20) aan de stroomomvormer (13) is aangebracht, waardoor via de condensator (14) een capacitieve compensatie-stroom in tegengestelde richting door de stroomomvormer (13) kan stromen.

3. Inrichting volgens de conclusies 1 en 2, met het kenmerk, dat de signalen van en naar het meeteiland (16) via lichtgolf geleiders (17, 18, 19) worden overgedragen, waarbij de spanningsvoorziening voor het meeteiland (16) via een geïsoleerde transformator (21) geschiedt.

4. Inrichting volgens de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het meeteiland (16) in hoofdzaak uit een trigger (22) met analoge ingangen voor stroom en spanning (UK, Ik) , een A/D-omzetter (23), een bouwsteen voor synchronisatie en impulsopwekking (24) , een are-logische schakeling (25) en een microprocessor (26) met de aansluitingen (17, 18) voor de besturing (11) aan de generator (9) is gevormd.

5. Inrichting volgens een of meerdere van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de signaalniveaus van uitgekozen signaalsegmenten, in afzonderlijke perioden (R, A) na elkaar met langzame frequentie, bij voorkeur in een steekproefproces, voor de opwekking van een laagfrequent signaal aftastbaar zijn, welke de grafiekvorm van het midden-frequentiesignaal heeft en door middel van een schrijver weergeefbaar is, waarbij de voor de rastering van de halve golven benodigde signalen door de nuldoorgangen van het spanningssignaal synchroniseerbaar zijn.

6. Inrichting volgens een of meerdere van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de, in het meeteiland (16) aanwezige bouwsteen (22), voor de analoge ingangen (UK, Ir) en de trigger uit uitgangsversterkers (27, 28) met nageschakelde somomvormers (32, 33) en referentiewaarde-opwekkers (34, 35) is gevormd, welke de vergelijkingswaarden voor stroom (I nul) en spanning (ü are) vormen.

7. Werkwijze voor het aanbrengen van een laag op substraten, in het bijzonder van elektrisch niet-geleidende lagen in een reactieve atmosfeer, voorzien van in een vacuümkamer (l) met een procesgasinlaat (3) aangebrachte sputterkathoden (4, 5), van sputterdoelen (6,7) van het te versputteren materiaal, van een middenfrequentiegenerator (9) verbonden met de kathoden (4, 5) via een tweedraadsleiding (10), en van een inrichting (16) voor de identificatie en onderdrukking van ongewenste lichtbogen, zogenoemde arc's, met het kenmerk, dat telkens een halve golf van de middenfrequentiegenerator (9) in een groot aantal perioden wordt onderverdeeld, waarbij voor een vooraf bepaalde periode (R resp. A) de elektrische waarde van de stroom en spanning voor het vormen van een werkelijke waarde signaal wordt geregistreerd en in een aardingsvrij meeteiland (16) wordt ingevoerd, waartoe de spanning via een gecompenseerde symmetrische spanningsdeler (12), en de stroom via een omvormer (13) wordt bepaald, waarbij het meeteiland (16) als afgezonderd station op een ringvormig netwerk (9, 16, 17, 18, 19, 11) is aangesloten, waarvan het hoofdstation zich in de in de generator (9) aanwezige besturingseenheid (ll) bevindt, waarbij de blokkering van de generator (9) bij het optreden van een are via een verbindingsleiding (19) geschiedt, welke het meeteiland (16) met de generator (9) verbindt, waartoe de parameters van de are-bewaking en de meetwaardeopneming via het netwerk (17, 18, 19) met behulp van programmatuur worden bepaald.

8. Werkwijze volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de signaalniveaus van uitgekozen signaalsegmenten, in afzonderlijke perioden (R, A) na elkaar met langzame frequentie, bij voorkeur in een steekproef-proces, voor de opwekking van een laagfrequent signaal aftastbaar zijn, welke de grafiekvorm van het middenfrequentiesignaal heeft en door middel van een schrijver weergeefbaar is, waarbij de voor de rastering van de halve golven benodigde signalen door de nuldoorgangen van het spanningssignaal synchroniseerbaar zijn.