CA2866211A1 - Installation de pompage amelioree et le procede de controle d'une telle installation de pompage - Google Patents
Installation de pompage amelioree et le procede de controle d'une telle installation de pompage Download PDFInfo
- Publication number
- CA2866211A1 CA2866211A1 CA2866211A CA2866211A CA2866211A1 CA 2866211 A1 CA2866211 A1 CA 2866211A1 CA 2866211 A CA2866211 A CA 2866211A CA 2866211 A CA2866211 A CA 2866211A CA 2866211 A1 CA2866211 A1 CA 2866211A1
- Authority
- CA
- Canada
- Prior art keywords
- volumetric machine
- machine
- volumetric
- gas
- pumping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
- F04B41/06—Combinations of two or more pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/10—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of internal-axis type with the outer member having more teeth or tooth equivalents, e.g. rollers, than the inner member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/18—Pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/19—Temperature
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
- Control Of Non-Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
La présente invention se rapporte à une installation de pompage (IP) avec au moins une première machine volumétrique (10) et une deuxième machine volumétrique (20), ainsi qu'avec un module de contrôle (MC), dans laquelle un gaz (G) est évacué d'un volume enfermé (VE) par le biais de la première machine volumétrique (10) et/ou de la deuxième machine volumétrique (20), où l'installation de pompage (IP) comprend en outre au moins une valve de contrôle (VC) qui est contrôlée par le module de contrôle (MC) et un capteur de pression (CP) pour capter la valeur de la pression à la sortie de la première machine volumétrique (10) et/ou un capteur de température (TP) pour capter la valeur de la température à la sortie de la première machine volumétrique (10) afin de régler le flux de gaz (G) entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l'installation de pompage (IP).
Description
Installation de pompage améliorée et le procédé de contrôle d'une telle installation de pompage Domaine technique de l'invention De manière générale, cette invention se rapporte au domaine tech-nique des machines volumétriques et des installations comprenant de telles machines volumétriques. Cette invention intéresse particulièrement les machi-nes volumétriques destinées à recevoir des fluides compressibles (tels que l'air) et pouvant être utilisées comme machines de pompage.
Concrètement, mais non exclusivement, cette invention concerne le domaine des groupes ou installations de pompage comprenant au moins une première machine volumétrique et une deuxième machine volumétrique, ainsi que le domaine des procédés de contrôle des installations de pompage de ce type.
Etat de la technique Une multitude de procès industriels ou de recherche (p.ex. dans le domaine de l'alimentation, de la chimie, pharmaceutique, etc.) ont aujourd'hui besoin d'un vide plus ou moins vigoureux (typiquement dans le domaine entre 1 et 10-4 mbar).
Pour réaliser ce vide, on utilise depuis de nombreuses années déjà
des pompes à vide , c'est-à-dire des machines volumétriques capables d'extraire plus ou moins complètement l'air (ou un autre gaz, ou également un mélange de gaz) contenu dans un volume ou enceinte enfermé (p.ex. dans une chambre blanche utilisée pour la production des circuits imprimés).
Différents types de pompes à vide sont connus à cette date. Parmi les plus connus et plus répandus, on peut notamment citer les pompes à palet-tes, les pompes à anneau liquide, les pompes à vis, les pompes à spirale (ou Scroll) ou aussi les pompes à lobes (ou Roots). Chacun de ces différents types
Concrètement, mais non exclusivement, cette invention concerne le domaine des groupes ou installations de pompage comprenant au moins une première machine volumétrique et une deuxième machine volumétrique, ainsi que le domaine des procédés de contrôle des installations de pompage de ce type.
Etat de la technique Une multitude de procès industriels ou de recherche (p.ex. dans le domaine de l'alimentation, de la chimie, pharmaceutique, etc.) ont aujourd'hui besoin d'un vide plus ou moins vigoureux (typiquement dans le domaine entre 1 et 10-4 mbar).
Pour réaliser ce vide, on utilise depuis de nombreuses années déjà
des pompes à vide , c'est-à-dire des machines volumétriques capables d'extraire plus ou moins complètement l'air (ou un autre gaz, ou également un mélange de gaz) contenu dans un volume ou enceinte enfermé (p.ex. dans une chambre blanche utilisée pour la production des circuits imprimés).
Différents types de pompes à vide sont connus à cette date. Parmi les plus connus et plus répandus, on peut notamment citer les pompes à palet-tes, les pompes à anneau liquide, les pompes à vis, les pompes à spirale (ou Scroll) ou aussi les pompes à lobes (ou Roots). Chacun de ces différents types
2 de pompes à vide possède certains avantages (et inconvénients) qui le rendent spécialement adapté à l'utilisation dans des applications particulières. Comme les caractéristiques des différents types de pompes à vide sont bien connues des hommes de métier dans ce domaine technique, une longue élaboration des différentes propriétés ne nous semble pas nécessaire.
Pour améliorer certaines performances des pompes à vide, la créa-tion de groupes ou installations de pompage est également connue de longue date, notamment en combinant deux ou plusieurs pompes à vide. Une telle configuration consiste typiquement en une pompe dite primaire qui est connectée à l'enceinte qui doit être évacuée et qui réalise d'abord un vide dit primaire , donc des pressions comprises approximativement dans la plage entre 1 bar (103 mbar) et 1 mbar. Par la suite, le vide primaire créé par cette pompe primaire est repris par une pompe dite secondaire , connectée en série à la pompe primaire, qui réalise un vide plus important. Les pressions à
la sortie d'une pompe secondaire sont typiquement comprises entre 1 et 10-4 mbar, même si des pressions plus basses sont également possibles.
Une installation typique comprenant deux pompes est une combinai-son d'une pompe Roots avec une autre pompe, p.ex. une pompe à vis. Bien entendu, des arrangements avec trois pompes (ou plus) sont également possi-bles, de même que les installations avec des pompes connectées en parallèle ou avec une combinaison des connexions en série et en parallèle.
Outre les pompes, un tel groupe de pompage comprend typiquement une ou plusieurs soupapes (ou valves), ainsi qu'un module de contrôle électro-nique et/ou mécanique pour contrôler le flux de gaz entre l'entrée et la sortie du système. Les particularités d'installation et de collaboration des différents éléments dans un groupe de pompage classique font également partie des connaissances typiques d'un homme du métier dans le domaine de la techno-logie du vide de façon qu'une description détaillée ne semble pas être néces-saire à cet endroit.
Or, toutes les machines volumétriques utilisées comme pompes à
vide ont la caractéristique de se réchauffer pendant leur fonctionnement. D'un
Pour améliorer certaines performances des pompes à vide, la créa-tion de groupes ou installations de pompage est également connue de longue date, notamment en combinant deux ou plusieurs pompes à vide. Une telle configuration consiste typiquement en une pompe dite primaire qui est connectée à l'enceinte qui doit être évacuée et qui réalise d'abord un vide dit primaire , donc des pressions comprises approximativement dans la plage entre 1 bar (103 mbar) et 1 mbar. Par la suite, le vide primaire créé par cette pompe primaire est repris par une pompe dite secondaire , connectée en série à la pompe primaire, qui réalise un vide plus important. Les pressions à
la sortie d'une pompe secondaire sont typiquement comprises entre 1 et 10-4 mbar, même si des pressions plus basses sont également possibles.
Une installation typique comprenant deux pompes est une combinai-son d'une pompe Roots avec une autre pompe, p.ex. une pompe à vis. Bien entendu, des arrangements avec trois pompes (ou plus) sont également possi-bles, de même que les installations avec des pompes connectées en parallèle ou avec une combinaison des connexions en série et en parallèle.
Outre les pompes, un tel groupe de pompage comprend typiquement une ou plusieurs soupapes (ou valves), ainsi qu'un module de contrôle électro-nique et/ou mécanique pour contrôler le flux de gaz entre l'entrée et la sortie du système. Les particularités d'installation et de collaboration des différents éléments dans un groupe de pompage classique font également partie des connaissances typiques d'un homme du métier dans le domaine de la techno-logie du vide de façon qu'une description détaillée ne semble pas être néces-saire à cet endroit.
Or, toutes les machines volumétriques utilisées comme pompes à
vide ont la caractéristique de se réchauffer pendant leur fonctionnement. D'un
3 côté, le principe de fonctionnement de la plupart des pompes à vide fait que les gaz pompés se réchauffent entre l'entrée et la sortie du système grâce à la ré-duction forcée du volume et une augmentation conséquente de leur pression.
Cette augmentation de la température des gaz résulte directement des lois de la physique et elle ne peut pas être complètement éliminée. D'un autre côté, les effets secondaires, tels que la friction entre les pièces rotatives dans la pompe, résultent également en une augmentation de la température de la pompe même. Ce réchauffement résulte de nouveau en une augmentation de la température des gaz à l'intérieur des pompes.
Une température surélevée au sein d'un groupe de pompage n'est pas souhaitable. Elle peut notamment causer des problèmes sévères de fonc-tionnement des machines volumétriques dû par exemple aux réactions chimi-ques et/ou physiques des gaz pompés. Certains gaz contiennent notamment des éléments qui peuvent sublimer ou se condenser aux températures élevées, produisant ainsi des résidus à l'intérieur des pompes. Avec le temps, ces rési-dus peuvent résulter en un grippage ou un autre mauvais fonctionnement des pompes. Aussi, une température trop élevée à l'intérieur des pompes est très défavorable pour un rendement optimal des pompes, à cause du fait qu'elle est capable de causer une dilatation importante des éléments métalliques.
Pour pallier ces inconvénients, différents modes de refroidissement ont déjà été mis en oeuvre dans les différentes pompes à vide. Ainsi, il existe des pompes refroidies à l'air, notamment avec les nervures ou autres éléments similaires sur leur surface extérieure afin d'augmenter l'aire de la surface expo-sée à l'air et afin de favoriser le refroidissement du mécanisme de la pompe par l'air environnemental. D'autres pompes possèdent un refroidissement à
liquide, notamment à l'eau ou à l'huile. Par exemple, dans une pompe à palet-tes lubrifiée, les palettes glissent sur une surface lubrifiée à l'huile.
Cette huile sert à la fois à la lubrification de la surface de contact afin de réaliser un glis-sement plus facile et au refroidissement de la pompe.
Cependant, tous ces mécanismes de refroidissement présentent un désavantage majeur, notamment du fait qu'ils rendent les pompes à la fois plus complexes, plus chères et plus susceptibles de tomber en panne. En outre, les
Cette augmentation de la température des gaz résulte directement des lois de la physique et elle ne peut pas être complètement éliminée. D'un autre côté, les effets secondaires, tels que la friction entre les pièces rotatives dans la pompe, résultent également en une augmentation de la température de la pompe même. Ce réchauffement résulte de nouveau en une augmentation de la température des gaz à l'intérieur des pompes.
Une température surélevée au sein d'un groupe de pompage n'est pas souhaitable. Elle peut notamment causer des problèmes sévères de fonc-tionnement des machines volumétriques dû par exemple aux réactions chimi-ques et/ou physiques des gaz pompés. Certains gaz contiennent notamment des éléments qui peuvent sublimer ou se condenser aux températures élevées, produisant ainsi des résidus à l'intérieur des pompes. Avec le temps, ces rési-dus peuvent résulter en un grippage ou un autre mauvais fonctionnement des pompes. Aussi, une température trop élevée à l'intérieur des pompes est très défavorable pour un rendement optimal des pompes, à cause du fait qu'elle est capable de causer une dilatation importante des éléments métalliques.
Pour pallier ces inconvénients, différents modes de refroidissement ont déjà été mis en oeuvre dans les différentes pompes à vide. Ainsi, il existe des pompes refroidies à l'air, notamment avec les nervures ou autres éléments similaires sur leur surface extérieure afin d'augmenter l'aire de la surface expo-sée à l'air et afin de favoriser le refroidissement du mécanisme de la pompe par l'air environnemental. D'autres pompes possèdent un refroidissement à
liquide, notamment à l'eau ou à l'huile. Par exemple, dans une pompe à palet-tes lubrifiée, les palettes glissent sur une surface lubrifiée à l'huile.
Cette huile sert à la fois à la lubrification de la surface de contact afin de réaliser un glis-sement plus facile et au refroidissement de la pompe.
Cependant, tous ces mécanismes de refroidissement présentent un désavantage majeur, notamment du fait qu'ils rendent les pompes à la fois plus complexes, plus chères et plus susceptibles de tomber en panne. En outre, les
4 fluides de refroidissement doivent typiquement être filtrés, purifiés et/ou chan-gés de temps à autre, ce qui rend la manutention des pompes également plus compliquée et plus coûteuse.
Exposé sommaire de l'invention La présente invention a donc pour but de proposer une solution à ce problème de températures surélevées dans des pompes à vide et/ou dans des groupes de pompage, sans l'utilisation des systèmes de refroidissement com-plexes.
Un autre résultat que la présente invention vise à obtenir est une lo installation de pompage dont les performances sont maintenues dans le temps.
A cet effet, l'invention a pour objet une installation de pompage con-forme à la revendication 1. Les modes de réalisations plus détaillés sont définis dans les revendications dépendantes et dans la description.
Plus concrètement, la présente invention concerne une installation de pompage comprenant au moins une première machine volumétrique et une deuxième machine volumétrique, ainsi qu'un module de contrôle, dans laquelle installation de pompage un gaz est évacué d'un volume enfermé par le biais de la première machine volumétrique et/ou de la deuxième machine volumétrique, et où l'installation de pompage comprend en outre au moins une valve de con-trôle qui est contrôlée par le module de contrôle afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé et la sortie de l'installation de pompage.
L'avantage principal de la présente invention réside dans le fait que l'installation de pompage proposée possède des moyens aptes à contrôler de manière précise le flux de gaz à pomper entre l'entrée et la sortie du système.
De cette manière, la collaboration entre les machines volumétriques peut être adaptée aux besoins concrets de la situation, ce qui rend très facile le contrôle des performances du système. Par conséquent, il est également possible et facile de contrôler le réchauffement des machines volumétriques.
A cet endroit, il faut souligner que la présente invention ne concerne pas seulement une installation de pompage selon les modes de réalisation précités mais aussi un procédé de contrôle d'une telle installation de pompage.
Exposé sommaire de l'invention La présente invention a donc pour but de proposer une solution à ce problème de températures surélevées dans des pompes à vide et/ou dans des groupes de pompage, sans l'utilisation des systèmes de refroidissement com-plexes.
Un autre résultat que la présente invention vise à obtenir est une lo installation de pompage dont les performances sont maintenues dans le temps.
A cet effet, l'invention a pour objet une installation de pompage con-forme à la revendication 1. Les modes de réalisations plus détaillés sont définis dans les revendications dépendantes et dans la description.
Plus concrètement, la présente invention concerne une installation de pompage comprenant au moins une première machine volumétrique et une deuxième machine volumétrique, ainsi qu'un module de contrôle, dans laquelle installation de pompage un gaz est évacué d'un volume enfermé par le biais de la première machine volumétrique et/ou de la deuxième machine volumétrique, et où l'installation de pompage comprend en outre au moins une valve de con-trôle qui est contrôlée par le module de contrôle afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé et la sortie de l'installation de pompage.
L'avantage principal de la présente invention réside dans le fait que l'installation de pompage proposée possède des moyens aptes à contrôler de manière précise le flux de gaz à pomper entre l'entrée et la sortie du système.
De cette manière, la collaboration entre les machines volumétriques peut être adaptée aux besoins concrets de la situation, ce qui rend très facile le contrôle des performances du système. Par conséquent, il est également possible et facile de contrôler le réchauffement des machines volumétriques.
A cet endroit, il faut souligner que la présente invention ne concerne pas seulement une installation de pompage selon les modes de réalisation précités mais aussi un procédé de contrôle d'une telle installation de pompage.
5 Brève description des dessins L'invention sera bien comprise à la lecture de la description ci-après faite à titre d'exemple non limitatif en regard des dessins ci-annexés qui repré-sentent schématiquement :
- figure 1 : un schéma synoptique d'une installation de pompage se-Ion un premier mode de réalisation de la présente invention ;
- figure 2 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage (également nommée débit ) dans le volume enfermé, évacué uniquement avec une première machine volumétrique ;
- figure 3 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la première machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 2 ;
- figure 4 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé, évacué uniquement avec une deuxième machine volumétrique ;
- figure 5 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la deuxième machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 4 ;
- figure 6 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé selon la présente invention, évacué à la fois avec la première et la deuxième machine volumétrique ;
- figure 1 : un schéma synoptique d'une installation de pompage se-Ion un premier mode de réalisation de la présente invention ;
- figure 2 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage (également nommée débit ) dans le volume enfermé, évacué uniquement avec une première machine volumétrique ;
- figure 3 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la première machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 2 ;
- figure 4 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé, évacué uniquement avec une deuxième machine volumétrique ;
- figure 5 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la deuxième machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 4 ;
- figure 6 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé selon la présente invention, évacué à la fois avec la première et la deuxième machine volumétrique ;
6 - figure 7 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la première et de la deuxième machine volumétrique, corres-pondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 6 ;
- figure 8 : un schéma synoptique d'une installation de pompage se-Ion un deuxième mode de réalisation de la présente invention ;
- figure 9 : un schéma synoptique d'une installation de pompage se-lon un troisième mode de réalisation de la présente invention ; et - figure 10 : un schéma synoptique d'une installation de pompage selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention.
Description détaillée de l'invention La figure 1 représente un schéma synoptique d'une installation de pompage IP selon un mode de réalisation de la présente invention. Dans la figure 1, une première machine volumétrique est représentée d'une manière simplifié par un rectangle portant le signe de référence 10 et une deuxième machine volumétrique est représentée par un autre rectangle portant le signe de référence 20. Egalement représenté d'une manière schématique dans la figure 1 est un volume enfermé VE qui est évacué à l'aide de l'installation de pompage IP. Ce volume enfermé VE peut correspondre à une salle blanche (donc une pièce dans laquelle on contrôle la température, l'humidité et/ou la pression avec le but de créer et maintenir les conditions environnementales nécessaires pour des diverses applications industrielles ou de recherche), une enceinte de production (p.ex. dans une machine-outil) ou tout autre volume dans lequel la pression doit être contrôlée d'une manière précise.
Dans l'installation de pompage IP selon la présente invention, la première machine volumétrique 10 peut notamment être une pompe à vis. Une pompe à vis est composée essentiellement de deux vis parallèles qui sont en-tramées en rotation dans les sens opposé. Grâce à cette rotation, les gaz qui se trouvent à l'intérieur de la pompe peuvent être transportés entre l'entrée et
- figure 8 : un schéma synoptique d'une installation de pompage se-Ion un deuxième mode de réalisation de la présente invention ;
- figure 9 : un schéma synoptique d'une installation de pompage se-lon un troisième mode de réalisation de la présente invention ; et - figure 10 : un schéma synoptique d'une installation de pompage selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention.
Description détaillée de l'invention La figure 1 représente un schéma synoptique d'une installation de pompage IP selon un mode de réalisation de la présente invention. Dans la figure 1, une première machine volumétrique est représentée d'une manière simplifié par un rectangle portant le signe de référence 10 et une deuxième machine volumétrique est représentée par un autre rectangle portant le signe de référence 20. Egalement représenté d'une manière schématique dans la figure 1 est un volume enfermé VE qui est évacué à l'aide de l'installation de pompage IP. Ce volume enfermé VE peut correspondre à une salle blanche (donc une pièce dans laquelle on contrôle la température, l'humidité et/ou la pression avec le but de créer et maintenir les conditions environnementales nécessaires pour des diverses applications industrielles ou de recherche), une enceinte de production (p.ex. dans une machine-outil) ou tout autre volume dans lequel la pression doit être contrôlée d'une manière précise.
Dans l'installation de pompage IP selon la présente invention, la première machine volumétrique 10 peut notamment être une pompe à vis. Une pompe à vis est composée essentiellement de deux vis parallèles qui sont en-tramées en rotation dans les sens opposé. Grâce à cette rotation, les gaz qui se trouvent à l'intérieur de la pompe peuvent être transportés entre l'entrée et
7 la sortie de la pompe. Des pompes à vis sont des pompes sèches, donc les pompes dans lequel les gaz pompés n'entrent jamais en contact avec les li-quides de lubrification qui pourrait résulter en une contamination. Grâce à
cette caractéristique, les pompes à vis peuvent être utilisées dans les applications nécessitant un degré d'hygiène élevé (p.ex. dans l'industrie alimentaire).
Bien entendu, la machine volumétrique 10 peut être réalisée part tout autre type de pompe approprié.
Cette première machine volumétrique 10 est connecté au volume enfermé VE par le biais d'un conduit (ou ligne de pression) LP1. Ce conduit lo LP1 peut notamment correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien entendu, d'autres types de conduit LP1 sont égale-ment possibles. La première machine volumétrique 10 est donc disposée et arrangée pour évacuer directement l'air (ou tout autre gaz à l'intérieur du volu-me enfermé VE) et le dégager à sa sortie qui est typiquement réalisée par un orifice d'échappement.
Un autre conduit LP2 est connecté à l'orifice d'échappement de la première machine volumétrique 10. Comme le conduit LP1 qui connecte le vo-lume enfermé VE à la première machine volumétrique 10, le conduit LP2 peut être un tuyau classique, mais également réalisé d'une autre façon appropriée.
Le conduit LP2 prend donc les gaz à la sortie de la machine volumétrique 10 et les canalise par la suite vers la deuxième machine volumétrique 20 via un troi-sième conduit LP3.
La deuxième machine volumétrique 20 qui reçoit le flux des gaz qui ont été évacué du volume enfermé par la première machine volumétrique 10 via le conduit LP3 peut notamment être une pompe à palettes. Des pompes à
palettes sont composées d'un stator et un rotor avec des palettes coulissantes qui tourne tangentiellement au stator. Pendant la rotation, les palettes restent en contact avec les parois du stator. Les parois du stator dans une zone sont recouverte d'un bain d'huile qui assure à la fois l'étanchéité de la pompe et la lubrification des pièces mobiles. Les pompes à palettes ne sont donc pas des pompes sèches, et les gaz pompés peuvent entrer en contact avec les lubri-fiants. Ces pompes ne sont donc typiquement pas utilisées dans des applica-
cette caractéristique, les pompes à vis peuvent être utilisées dans les applications nécessitant un degré d'hygiène élevé (p.ex. dans l'industrie alimentaire).
Bien entendu, la machine volumétrique 10 peut être réalisée part tout autre type de pompe approprié.
Cette première machine volumétrique 10 est connecté au volume enfermé VE par le biais d'un conduit (ou ligne de pression) LP1. Ce conduit lo LP1 peut notamment correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien entendu, d'autres types de conduit LP1 sont égale-ment possibles. La première machine volumétrique 10 est donc disposée et arrangée pour évacuer directement l'air (ou tout autre gaz à l'intérieur du volu-me enfermé VE) et le dégager à sa sortie qui est typiquement réalisée par un orifice d'échappement.
Un autre conduit LP2 est connecté à l'orifice d'échappement de la première machine volumétrique 10. Comme le conduit LP1 qui connecte le vo-lume enfermé VE à la première machine volumétrique 10, le conduit LP2 peut être un tuyau classique, mais également réalisé d'une autre façon appropriée.
Le conduit LP2 prend donc les gaz à la sortie de la machine volumétrique 10 et les canalise par la suite vers la deuxième machine volumétrique 20 via un troi-sième conduit LP3.
La deuxième machine volumétrique 20 qui reçoit le flux des gaz qui ont été évacué du volume enfermé par la première machine volumétrique 10 via le conduit LP3 peut notamment être une pompe à palettes. Des pompes à
palettes sont composées d'un stator et un rotor avec des palettes coulissantes qui tourne tangentiellement au stator. Pendant la rotation, les palettes restent en contact avec les parois du stator. Les parois du stator dans une zone sont recouverte d'un bain d'huile qui assure à la fois l'étanchéité de la pompe et la lubrification des pièces mobiles. Les pompes à palettes ne sont donc pas des pompes sèches, et les gaz pompés peuvent entrer en contact avec les lubri-fiants. Ces pompes ne sont donc typiquement pas utilisées dans des applica-
8 tions ayant des normes d'hygiène plus élevées. Egalement ici, la machine vo-lumétrique 20 n'est pas forcement une pompe à palettes et elle peut aussi être réalisée part un autre type de pompe approprié.
La sortie (l'orifice d'échappement) de la deuxième machine volume-trique 20 est connectée à un quatrième conduit LP4 qui sert à évacuer les gaz pompées par la deuxième machine volumétrique 20 à la sortie de l'installation du pompage IP. Le conduit LP4 peut aussi correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien évidemment, d'autres types de conduit sont également imaginables, de même qu'une solution dans laquelle le conduit LP4 n'est pas prévu et les gaz sortant de la machine volumétrique 20 sont directement dirigés ver la sortie de l'installation de pompage IP.
Dans l'installation de pompage IP selon la présente invention, une valve de contrôle VO est connectée entre les conduits LP2 et LP3, donc entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
Cette valve de contrôle VO sert essentiellement à contrôler le flux des gaz et particulièrement à empêcher le flux des gaz pompés dans la direction en ar-rière , c'est-à-dire vers la machine volumétrique 10. De telles valves de con-trôle sont déjà connues dans la technique et leur principe de fonctionnement peut notamment être basé sur un clapet anti-retour. Bien entendu, tout autre type de valves de contrôle peut être utilisé si ces autres valves satisfont aux conditions précitées.
La valve de contrôle VO peut de sa part être contrôlée par un mo-dule de contrôle MO externe. Le module de contrôle MO est un dispositif élec-tronique et/ou mécanique qui permet de diriger le fonctionnement de la valve de contrôle VO afin de régler le flux des gaz entre le conduit LP1 et le conduit LP2 et donc entre le volume enfermé VE et la sortie de l'installation de pom-page IP. A cette fin, un cinquième conduit LP5 menant directement à la sortie de l'installation de pompage IP est aussi connecté à la valve de contrôle VO
L'installation de pompage IP selon la présente invention, telle que représentée à la figure 1, fonctionne de la manière suivante : Lors de la mise en marche de la première machine volumétrique 10, les gaz sont pompés du
La sortie (l'orifice d'échappement) de la deuxième machine volume-trique 20 est connectée à un quatrième conduit LP4 qui sert à évacuer les gaz pompées par la deuxième machine volumétrique 20 à la sortie de l'installation du pompage IP. Le conduit LP4 peut aussi correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien évidemment, d'autres types de conduit sont également imaginables, de même qu'une solution dans laquelle le conduit LP4 n'est pas prévu et les gaz sortant de la machine volumétrique 20 sont directement dirigés ver la sortie de l'installation de pompage IP.
Dans l'installation de pompage IP selon la présente invention, une valve de contrôle VO est connectée entre les conduits LP2 et LP3, donc entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
Cette valve de contrôle VO sert essentiellement à contrôler le flux des gaz et particulièrement à empêcher le flux des gaz pompés dans la direction en ar-rière , c'est-à-dire vers la machine volumétrique 10. De telles valves de con-trôle sont déjà connues dans la technique et leur principe de fonctionnement peut notamment être basé sur un clapet anti-retour. Bien entendu, tout autre type de valves de contrôle peut être utilisé si ces autres valves satisfont aux conditions précitées.
La valve de contrôle VO peut de sa part être contrôlée par un mo-dule de contrôle MO externe. Le module de contrôle MO est un dispositif élec-tronique et/ou mécanique qui permet de diriger le fonctionnement de la valve de contrôle VO afin de régler le flux des gaz entre le conduit LP1 et le conduit LP2 et donc entre le volume enfermé VE et la sortie de l'installation de pom-page IP. A cette fin, un cinquième conduit LP5 menant directement à la sortie de l'installation de pompage IP est aussi connecté à la valve de contrôle VO
L'installation de pompage IP selon la présente invention, telle que représentée à la figure 1, fonctionne de la manière suivante : Lors de la mise en marche de la première machine volumétrique 10, les gaz sont pompés du
9 volume enfermé VE. Figure 2 représente d'une manière schématique un dia-gramme avec l'évolution de la capacité de pompage (qui est également nom-mée débit de la pompe) dans le volume enfermé VE qui est évacué uni-quement avec cette première machine volumétrique 10.
On peut facilement s'apercevoir que la capacité de pompage aug-mente dans une première plage de fonctionnement pour diminuer dans une deuxième plage de fonctionnement et finalement reste constante après avoir atteint une pression limite. En parallèle, figure 3 représente l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10 qui correspond direc-tement à la capacité de pompage de la première machine volumétrique telle que représentée à la figure 2. En analysant ce diagramme, il est facile de se rendre compte d'une augmentation franche de la température de la machine volumétrique 10 à partir d'une pression limite. Comme déjà mentionné dans l'introduction, une grande augmentation de la température est généralement désavantageuse.
La figure 4 montre également un diagramme schématique avec l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé VE, mais dans le cas où ce volume est évacué uniquement avec la deuxième machine volu-métrique 20. Typiquement, cette deuxième machine volumétrique 20 montre une évolution plutôt constante. Cependant, la température dans la deuxième machine volumétrique 20 évolue de manière similaire à celle dans la machine volumétrique 10, donc montre une augmentation nette de la température au-delà d'une pression limite.
Pour palier complètement à ce problème, la présente invention pro-pose de régler la valve de contrôle VC par le biais du module de contrôle MC
afin de commuter le flux de gaz entre un premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique 10 et un deu-xième parcours dans lequel le gaz est pompé par à la fois par la première ma-chine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
Dans le premier cas, le gaz évacué du volume enfermé VE passe par le conduit LP1 et la première machine volumétrique 10, arrive à la valve de contrôle VO par le conduit LP2 et est ensuite directement dirigé vers la sortie de l'installation du pompage IP par le biais du conduit LP5. Contrairement à
ceci, le gaz évacué du volume enfermé VE dans le deuxième cas passe d'abord par le conduit LP1, la première machine volumétrique 10 et le deu-xième conduit LP2 pour arriver à la valve de contrôle VO qui le dirige non pas vers la sortie mais vers la deuxième machine volumétrique 20. Par la suite, le gaz pompé par la deuxième machine volumétrique 20 sort de l'installation du pompage IP par le biais du conduit LP4.
Normalement, cette commutation est contrôlée de manière tempo-
On peut facilement s'apercevoir que la capacité de pompage aug-mente dans une première plage de fonctionnement pour diminuer dans une deuxième plage de fonctionnement et finalement reste constante après avoir atteint une pression limite. En parallèle, figure 3 représente l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10 qui correspond direc-tement à la capacité de pompage de la première machine volumétrique telle que représentée à la figure 2. En analysant ce diagramme, il est facile de se rendre compte d'une augmentation franche de la température de la machine volumétrique 10 à partir d'une pression limite. Comme déjà mentionné dans l'introduction, une grande augmentation de la température est généralement désavantageuse.
La figure 4 montre également un diagramme schématique avec l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé VE, mais dans le cas où ce volume est évacué uniquement avec la deuxième machine volu-métrique 20. Typiquement, cette deuxième machine volumétrique 20 montre une évolution plutôt constante. Cependant, la température dans la deuxième machine volumétrique 20 évolue de manière similaire à celle dans la machine volumétrique 10, donc montre une augmentation nette de la température au-delà d'une pression limite.
Pour palier complètement à ce problème, la présente invention pro-pose de régler la valve de contrôle VC par le biais du module de contrôle MC
afin de commuter le flux de gaz entre un premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique 10 et un deu-xième parcours dans lequel le gaz est pompé par à la fois par la première ma-chine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
Dans le premier cas, le gaz évacué du volume enfermé VE passe par le conduit LP1 et la première machine volumétrique 10, arrive à la valve de contrôle VO par le conduit LP2 et est ensuite directement dirigé vers la sortie de l'installation du pompage IP par le biais du conduit LP5. Contrairement à
ceci, le gaz évacué du volume enfermé VE dans le deuxième cas passe d'abord par le conduit LP1, la première machine volumétrique 10 et le deu-xième conduit LP2 pour arriver à la valve de contrôle VO qui le dirige non pas vers la sortie mais vers la deuxième machine volumétrique 20. Par la suite, le gaz pompé par la deuxième machine volumétrique 20 sort de l'installation du pompage IP par le biais du conduit LP4.
Normalement, cette commutation est contrôlée de manière tempo-
10 relle. Par exemple, l'installation de pompage IP peut dans une première phase d'opération fonctionner comme dans le premier cas décrit ci-dessus, donc avec les gaz qui sont pompés par le premier parcours. Par la suite, après un certain intervalle de temps, l'installation de pompage IP peut fonctionner comme dans le deuxième cas décrit ci-dessus, donc avec les gaz qui sont pompés par le deuxième parcours.
La commutation entre le premier parcours et le deuxième parcours peut être programmée de manière statique . Il serait p.ex. possible de pro-grammer une commutation après un fonctionnement dans le premier mode de fonctionnement (parcours VE -> LP1 -> 10 -> LP2 -> VO -> LP5) de 20 ou 30 secondes. Dans ce cas, le module de contrôle compterait le temps écoulé de-puis la mise en marche de l'installation de pompage et donnerait l'instruction à
la valve de contrôle après avoir atteint le temps préprogrammé de changer le parcours de passage des gaz.
Néanmoins, plutôt que d'utiliser une commutation statique, il serait également possible d'utiliser un capteur de pression OP à la sortie de la pre-mière machine volumétrique 10 et de commuter le flux de gaz après qu'une certaine pression à la sortie de la première machine volumétrique 10 ait été
détectée. Cette pression limite pourrait être déterminée de manière pratique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle MO
afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle VO.
La commutation entre le premier parcours et le deuxième parcours peut être programmée de manière statique . Il serait p.ex. possible de pro-grammer une commutation après un fonctionnement dans le premier mode de fonctionnement (parcours VE -> LP1 -> 10 -> LP2 -> VO -> LP5) de 20 ou 30 secondes. Dans ce cas, le module de contrôle compterait le temps écoulé de-puis la mise en marche de l'installation de pompage et donnerait l'instruction à
la valve de contrôle après avoir atteint le temps préprogrammé de changer le parcours de passage des gaz.
Néanmoins, plutôt que d'utiliser une commutation statique, il serait également possible d'utiliser un capteur de pression OP à la sortie de la pre-mière machine volumétrique 10 et de commuter le flux de gaz après qu'une certaine pression à la sortie de la première machine volumétrique 10 ait été
détectée. Cette pression limite pourrait être déterminée de manière pratique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle MO
afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle VO.
11 Les figures 6 et 7 montrent d'une manière schématique l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé VE quant il est évacué à la fois avec la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volu-métrique 20, ainsi que l'évolution de la température correspondante.
Finalement, la figure 8 illustre un deuxième mode de réalisation de la présente invention de manière schématique. Par rapport au premier mode de réalisation qui a été représenté à la figure 1, ce deuxième mode de réalisation de la présente invention comprend une troisième machine volumétrique 30 qui est intercalée entre le volume enfermé VE et la première machine volumétrique lo 10. A cette fin, le conduit LP1 est divisé en deux partie, à savoir les conduits LP1' et LP1". Bien entendu, d'autres options pour l'interconnexion sont tout à
fait imaginables.
Cette troisième machine volumétrique 30 peut typiquement être une pompe Roots. Sa fonction correspond à la fonction d'une pompe booster qui est utilisée da manière classique dans les installations de pompages con-nues de ce jour. Il serait bien entendu également possible d'utiliser un autre type de machines volumétriques ou d'en ajouter d'avantages, sans partir de l'esprit de la présente invention.
Les figures 9 et 10 illustrent respectivement un troisième et un qua-trième mode de réalisation de la présente invention. Ces deux modes de réali-sation de la présente invention diffèrent du premier et du deuxième mode de réalisation de la présente invention en un point significatif qui sera explicité
plus bas.
Dans le troisième mode de réalisation de la présente invention, re-présenté à la figure 9, l'installation de pompage IP comprend aussi une pre-mière machine volumétrique 10 et une deuxième machine volumétrique 20 qui sont utilisées pour évacuer le volume enfermé VE (notamment une salle blan-che, une enceinte de production ou tout autre volume dans lequel la pression doit être contrôlée d'une manière précise). Comme déjà mentionné par rapport au premier mode de réalisation de la présente invention (représenté à la figure 1), la première machine volumétrique 10 peut être une pompe sèche, p.ex. une
Finalement, la figure 8 illustre un deuxième mode de réalisation de la présente invention de manière schématique. Par rapport au premier mode de réalisation qui a été représenté à la figure 1, ce deuxième mode de réalisation de la présente invention comprend une troisième machine volumétrique 30 qui est intercalée entre le volume enfermé VE et la première machine volumétrique lo 10. A cette fin, le conduit LP1 est divisé en deux partie, à savoir les conduits LP1' et LP1". Bien entendu, d'autres options pour l'interconnexion sont tout à
fait imaginables.
Cette troisième machine volumétrique 30 peut typiquement être une pompe Roots. Sa fonction correspond à la fonction d'une pompe booster qui est utilisée da manière classique dans les installations de pompages con-nues de ce jour. Il serait bien entendu également possible d'utiliser un autre type de machines volumétriques ou d'en ajouter d'avantages, sans partir de l'esprit de la présente invention.
Les figures 9 et 10 illustrent respectivement un troisième et un qua-trième mode de réalisation de la présente invention. Ces deux modes de réali-sation de la présente invention diffèrent du premier et du deuxième mode de réalisation de la présente invention en un point significatif qui sera explicité
plus bas.
Dans le troisième mode de réalisation de la présente invention, re-présenté à la figure 9, l'installation de pompage IP comprend aussi une pre-mière machine volumétrique 10 et une deuxième machine volumétrique 20 qui sont utilisées pour évacuer le volume enfermé VE (notamment une salle blan-che, une enceinte de production ou tout autre volume dans lequel la pression doit être contrôlée d'une manière précise). Comme déjà mentionné par rapport au premier mode de réalisation de la présente invention (représenté à la figure 1), la première machine volumétrique 10 peut être une pompe sèche, p.ex. une
12 pompe à vis, mais également tout autre machine volumétrique appropriée. En ce qui concerne la deuxième machine volumétrique 20, elle peut notamment être une pompe à palettes, mais il est bien entendu possible de réaliser cette deuxième machine volumétrique 20 par le biais d'une autre machine volume-trique approprié.
Un conduit ou une ligne de pression LP1, p.ex. un tuyau classique, connecte cette première machine volumétrique 10 au volume enfermé VE. La sortie de la première machine volumétrique 10 (alors normalement un orifice d'échappement de la pompe) est de son côté connectée à un autre conduit LP2 qui peut également être un tuyau classique, mais aussi un autre conduit ap-proprié. Ce deuxième conduit LP2 prend les gaz à la sortie de la machine vo-lumétrique 10 et les canalise via une valve de contrôle VO vers la deuxième machine volumétrique 20. A cette fin, un troisième conduit LP3 est aussi prévu pour connecter la valve de contrôle VO à la deuxième machine volumétrique 20.
Tout comme dans les installations de pompage selon le premier ou selon le deuxième mode de réalisation de la présente invention, la sortie de la deuxième machine volumétrique 20 est connectée à un quatrième conduit LP4 qui sert à évacuer les gaz pompées par la deuxième machine volumétrique 20 à la sortie de l'installation du pompage. De nouveau, ce conduit LP4 peut aussi correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié.
Bien évidemment, d'autres types de conduit sont également imaginables, de même qu'une solution dans laquelle le conduit LP4 n'est pas prévu et les gaz sortant de la machine volumétrique 20 sont directement dirigés ver la sortie de l'installation de pompage IP.
Comme déjà mentionné, la valve de contrôle VO est connectée entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
La fonction de cette valve de contrôle VO est, aussi dans ce troisième mode de réalisation de la présente invention, en premier lieu de contrôler le flux des gaz et particulièrement d'empêcher le flux des gaz pompés dans la direction en arrière , donc vers la machine volumétrique 10. Pour contrôler cette valve de contrôle VO, l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisa-
Un conduit ou une ligne de pression LP1, p.ex. un tuyau classique, connecte cette première machine volumétrique 10 au volume enfermé VE. La sortie de la première machine volumétrique 10 (alors normalement un orifice d'échappement de la pompe) est de son côté connectée à un autre conduit LP2 qui peut également être un tuyau classique, mais aussi un autre conduit ap-proprié. Ce deuxième conduit LP2 prend les gaz à la sortie de la machine vo-lumétrique 10 et les canalise via une valve de contrôle VO vers la deuxième machine volumétrique 20. A cette fin, un troisième conduit LP3 est aussi prévu pour connecter la valve de contrôle VO à la deuxième machine volumétrique 20.
Tout comme dans les installations de pompage selon le premier ou selon le deuxième mode de réalisation de la présente invention, la sortie de la deuxième machine volumétrique 20 est connectée à un quatrième conduit LP4 qui sert à évacuer les gaz pompées par la deuxième machine volumétrique 20 à la sortie de l'installation du pompage. De nouveau, ce conduit LP4 peut aussi correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié.
Bien évidemment, d'autres types de conduit sont également imaginables, de même qu'une solution dans laquelle le conduit LP4 n'est pas prévu et les gaz sortant de la machine volumétrique 20 sont directement dirigés ver la sortie de l'installation de pompage IP.
Comme déjà mentionné, la valve de contrôle VO est connectée entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
La fonction de cette valve de contrôle VO est, aussi dans ce troisième mode de réalisation de la présente invention, en premier lieu de contrôler le flux des gaz et particulièrement d'empêcher le flux des gaz pompés dans la direction en arrière , donc vers la machine volumétrique 10. Pour contrôler cette valve de contrôle VO, l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisa-
13 tion de la présente invention comprend également un module de contrôle MC.
C'est ce module de contrôle MC qui dirige le fonctionnement de la valve de contrôle VC pour qu'elle puisse régler le flux des gaz entre le conduit LP1 et le conduit LP2 et donc entre le volume enfermé VE et la sortie de l'installation de pompage IP. A cette fin, un cinquième conduit LP5 menant directement à la sortie de l'installation de pompage IP peut également être prévu à la sortie de la valve de contrôle VC
Il est donc manifeste que l'installation de pompage IP selon ce troi-sième mode de réalisation de la présente invention correspond par sa structure lo essentiellement à l'installation de pompage IP du premier mode de réalisation de la présente invention, représenté à la figure 1. Cependant, le fonctionne-ment de l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisation diffère significativement du fonctionnement de l'installation de pompage IP se-lon le premier mode de réalisation e la présente invention.
En effet, lors de la mise en marche de l'installation de pompage IP
selon ce troisième mode de réalisation de la présente invention, représenté à
la figure 9, la valve de contrôle VC est fermée, c'est-à-dire, elle est arrangée pour ne pas permettre le flux des gaz entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20 par le conduit LP3. En ce moment, la machine volumétrique 10 et la machine volumétrique 20 peuvent être démar-rées selon les procédures connues. Par conséquent, grâce au fait que la ma-chine volumétrique 10 est reliée directement au volume enfermé VE, les gaz enfermés dans le volume enfermés VE peuvent être évacués par le biais de la machine volumétrique 10. Pendant ce temps, tous ces gaz pompés sortent de l'installation de pompage IP par le biais du conduit LP5.
Le diagramme représenté à la figure 2 illustre l'évolution de la capa-cité de pompage (ou bien du débit de la pompe) dans le volume enfermé
VE qui est évacué uniquement avec la première machine volumétrique 10, et une représentation schématique de l'évolution de la température dans la pre-mière machine volumétrique 10 qui correspond à la capacité de pompage de cette première machine volumétrique 10 de la figure 2 est illustrée à la figure 3.
Ces deux diagrammes correspondent donc également aux données qui sont
C'est ce module de contrôle MC qui dirige le fonctionnement de la valve de contrôle VC pour qu'elle puisse régler le flux des gaz entre le conduit LP1 et le conduit LP2 et donc entre le volume enfermé VE et la sortie de l'installation de pompage IP. A cette fin, un cinquième conduit LP5 menant directement à la sortie de l'installation de pompage IP peut également être prévu à la sortie de la valve de contrôle VC
Il est donc manifeste que l'installation de pompage IP selon ce troi-sième mode de réalisation de la présente invention correspond par sa structure lo essentiellement à l'installation de pompage IP du premier mode de réalisation de la présente invention, représenté à la figure 1. Cependant, le fonctionne-ment de l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisation diffère significativement du fonctionnement de l'installation de pompage IP se-lon le premier mode de réalisation e la présente invention.
En effet, lors de la mise en marche de l'installation de pompage IP
selon ce troisième mode de réalisation de la présente invention, représenté à
la figure 9, la valve de contrôle VC est fermée, c'est-à-dire, elle est arrangée pour ne pas permettre le flux des gaz entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20 par le conduit LP3. En ce moment, la machine volumétrique 10 et la machine volumétrique 20 peuvent être démar-rées selon les procédures connues. Par conséquent, grâce au fait que la ma-chine volumétrique 10 est reliée directement au volume enfermé VE, les gaz enfermés dans le volume enfermés VE peuvent être évacués par le biais de la machine volumétrique 10. Pendant ce temps, tous ces gaz pompés sortent de l'installation de pompage IP par le biais du conduit LP5.
Le diagramme représenté à la figure 2 illustre l'évolution de la capa-cité de pompage (ou bien du débit de la pompe) dans le volume enfermé
VE qui est évacué uniquement avec la première machine volumétrique 10, et une représentation schématique de l'évolution de la température dans la pre-mière machine volumétrique 10 qui correspond à la capacité de pompage de cette première machine volumétrique 10 de la figure 2 est illustrée à la figure 3.
Ces deux diagrammes correspondent donc également aux données qui sont
14 obtenues dans le cas qui a été décrit par rapport au premier mode de réalisa-tion de la présente invention.
Pour revenir à ces deux diagrammes, on peut s'apercevoir que la capacité de pompage augmente dans une première plage de fonctionnement, qu'elle diminue dans une deuxième plage de fonctionnement, et qu'elle reste constante après avoir atteint une pression limite. En ce qui concerne la figure 3 et l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10, on peut facilement se rendre compte d'une augmentation franche de la tempéra-ture de la machine volumétrique 10 à partir d'une pression limite. Comme déjà
mentionné dans l'introduction, une grande augmentation de la température est généralement désavantageuse.
Pour palier à ce problème de température, le troisième mode de réa-lisation de la présente invention, à l'instar du premier mode de réalisation de la présente invention, propose aussi de régler la valve de contrôle VC par le biais du module de contrôle MC pour commuter le flux de gaz entre un premier par-cours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volu-métrique 10 et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumé-trique 20. Néanmoins, la manière de concrétiser ce réglage dans l'installation de pompage IP selon le troisième mode de réalisation de la présente invention diffère de la manière utilisée dans l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation de la présente invention.
Néanmoins, en lieu d'un capteur de pression, l'installation de pom-page IP selon le troisième mode de réalisation de la présente invention utilise un capteur de température TP placé à la sortie de la première machine volumé-trique 10. Ce capteur de température est capable à mesure la température des gaz à la sortie de la première machine volumétrique 10 et de transmettre cette information thermique au module de contrôle MC pour qu'il puisse contrôler la valve de contrôle VC.
Le contrôle de la valve de contrôle VC fonctionne de la manière sui-vante : Pendant que la température sensée à la sortie de la première machine volumétrique 10 reste au-dessous d'une valeur prédéterminée, la valve de con-trôle VO reste dans la position initiale, c'est-à-dire avec le conduit LP3 fermé, et avec le dégagement des gaz pompés depuis le volume enfermé VE par le conduit LP5. Bien entendu, la température limite peut être choisie d'une ma-nière dynamique , c'est-à-dire en fonction des gaz pompés, pour garantir que la température à la sortie de la première machine volumétrique 10 ne dé-passe la valeur critique qui résulterait en des réactions chimiques et/ou physi-ques des gaz pompés et des résidus à l'intérieur de la machine volumétrique 10. Cette température limite peut notamment être déterminée de manière pra-10 tique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle MO afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle VO.
Il faut remarquer à cet endroit que, pendant cette première phase du fonctionnement de l'installation de pompage IP, la deuxième machine volumé-trique 20 marche également, même si elle est connecté au conduit LP3 qui ne
Pour revenir à ces deux diagrammes, on peut s'apercevoir que la capacité de pompage augmente dans une première plage de fonctionnement, qu'elle diminue dans une deuxième plage de fonctionnement, et qu'elle reste constante après avoir atteint une pression limite. En ce qui concerne la figure 3 et l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10, on peut facilement se rendre compte d'une augmentation franche de la tempéra-ture de la machine volumétrique 10 à partir d'une pression limite. Comme déjà
mentionné dans l'introduction, une grande augmentation de la température est généralement désavantageuse.
Pour palier à ce problème de température, le troisième mode de réa-lisation de la présente invention, à l'instar du premier mode de réalisation de la présente invention, propose aussi de régler la valve de contrôle VC par le biais du module de contrôle MC pour commuter le flux de gaz entre un premier par-cours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volu-métrique 10 et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumé-trique 20. Néanmoins, la manière de concrétiser ce réglage dans l'installation de pompage IP selon le troisième mode de réalisation de la présente invention diffère de la manière utilisée dans l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation de la présente invention.
Néanmoins, en lieu d'un capteur de pression, l'installation de pom-page IP selon le troisième mode de réalisation de la présente invention utilise un capteur de température TP placé à la sortie de la première machine volumé-trique 10. Ce capteur de température est capable à mesure la température des gaz à la sortie de la première machine volumétrique 10 et de transmettre cette information thermique au module de contrôle MC pour qu'il puisse contrôler la valve de contrôle VC.
Le contrôle de la valve de contrôle VC fonctionne de la manière sui-vante : Pendant que la température sensée à la sortie de la première machine volumétrique 10 reste au-dessous d'une valeur prédéterminée, la valve de con-trôle VO reste dans la position initiale, c'est-à-dire avec le conduit LP3 fermé, et avec le dégagement des gaz pompés depuis le volume enfermé VE par le conduit LP5. Bien entendu, la température limite peut être choisie d'une ma-nière dynamique , c'est-à-dire en fonction des gaz pompés, pour garantir que la température à la sortie de la première machine volumétrique 10 ne dé-passe la valeur critique qui résulterait en des réactions chimiques et/ou physi-ques des gaz pompés et des résidus à l'intérieur de la machine volumétrique 10. Cette température limite peut notamment être déterminée de manière pra-10 tique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle MO afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle VO.
Il faut remarquer à cet endroit que, pendant cette première phase du fonctionnement de l'installation de pompage IP, la deuxième machine volumé-trique 20 marche également, même si elle est connecté au conduit LP3 qui ne
15 contient pas de gaz à pomper (étant donné que la valve de contrôle VO
ferme ce conduit-ci). Par conséquent, cette deuxième machine volumétrique 20 tend à se réchauffer.
Lorsqu'une température au-dessus de la température limite prédé-terminée est détectée par le biais du capteur de température TP à la sortie de la première machine volumétrique 10, le module de contrôle MO peut régler la valve de contrôle VO pour qu'elle ouvre le conduit LP3 au passage des gaz sortant de la première machine volumétrique 10 et passant par le conduit LP2.
Au même temps, le conduit LP5 est fermé. A partir de ce moment, le gaz est pompé à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième ma-chine volumétrique 20. Cette deuxième machine volumétrique 20 arrête donc à
pomper contre un conduit LP3 vide et sa température tend à baisser pour at-tendre la température de travail optimale.
Bien entendu, la deuxième machine volumétrique 20 dans une telle configuration est susceptible de surchauffage, d'autant plus qu'il est normale-ment souhaitable d'utiliser une machine petite avec les dimensions qui sont réduites au maximum. Pour éviter ce problème, cette deuxième machine volu-métrique 20 peut comprendre un mécanisme de refroidissement plus ou moins
ferme ce conduit-ci). Par conséquent, cette deuxième machine volumétrique 20 tend à se réchauffer.
Lorsqu'une température au-dessus de la température limite prédé-terminée est détectée par le biais du capteur de température TP à la sortie de la première machine volumétrique 10, le module de contrôle MO peut régler la valve de contrôle VO pour qu'elle ouvre le conduit LP3 au passage des gaz sortant de la première machine volumétrique 10 et passant par le conduit LP2.
Au même temps, le conduit LP5 est fermé. A partir de ce moment, le gaz est pompé à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième ma-chine volumétrique 20. Cette deuxième machine volumétrique 20 arrête donc à
pomper contre un conduit LP3 vide et sa température tend à baisser pour at-tendre la température de travail optimale.
Bien entendu, la deuxième machine volumétrique 20 dans une telle configuration est susceptible de surchauffage, d'autant plus qu'il est normale-ment souhaitable d'utiliser une machine petite avec les dimensions qui sont réduites au maximum. Pour éviter ce problème, cette deuxième machine volu-métrique 20 peut comprendre un mécanisme de refroidissement plus ou moins
16 sophistiqué. Il est notamment possible d'utiliser un système de refroidissement classique à l'air, un système de refroidissement à l'eau (ou un autre liquide approprié), ou tout autre système connu. Aussi, ce mécanisme de refroidisse-ment peut également être dynamique, donc être piloté par un capteur de tem-pérature (indépendant du capteur TP) pour démarrer le refroidissement seule-ment si la température de la deuxième machine volumétrique dépasse une va-leur prédéterminée.
Le résultat de ce réglage en ce qui concerne l'évolution de la capa-cité de pompage dans le volume enfermé VE peut être observé aux figures 6 et lo 7 (qui correspondent également au comportement de l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation de la présente invention).
Pour compléter cette description, il faut remarque qu'un quatrième mode de réalisation de la présente invention est représenté à la figure 10.
Par rapport au troisième mode de réalisation de la présente invention, ce quatrième mode de réalisation de la présente invention, à l'instar du deuxième mode de réalisation de la présente invention (cf. figure 8), comprend aussi une troisième machine volumétrique 30 (typiquement une pompe Roots) qui est intercalée entre le volume enfermé VE et la première machine volumétrique 10. La fonc-tion de la troisième machine volumétrique 30 correspond à la fonction d'une pompe booster qui est utilisée da manière classique dans les installations de pompages connues de ce jour. Il serait bien entendu également possible d'utiliser un autre type de machines volumétriques ou d'en ajouter d'avantages, sans partir de l'esprit de la présente invention.
Naturellement, la présente invention est sujette à de nombreuses va-nations quant à sa mise en oeuvre. Bien que plusieurs modes de réalisations aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Egalement, il est tout à fait possible de combiner les élé-ments décrits par rapport aux modes de réalisation particuliers pour créer ainsi des nouveaux modes de réalisation de la présente invention. Nous tenons éga-lement à préciser que les différents modes de réalisation de la présente inven-
Le résultat de ce réglage en ce qui concerne l'évolution de la capa-cité de pompage dans le volume enfermé VE peut être observé aux figures 6 et lo 7 (qui correspondent également au comportement de l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation de la présente invention).
Pour compléter cette description, il faut remarque qu'un quatrième mode de réalisation de la présente invention est représenté à la figure 10.
Par rapport au troisième mode de réalisation de la présente invention, ce quatrième mode de réalisation de la présente invention, à l'instar du deuxième mode de réalisation de la présente invention (cf. figure 8), comprend aussi une troisième machine volumétrique 30 (typiquement une pompe Roots) qui est intercalée entre le volume enfermé VE et la première machine volumétrique 10. La fonc-tion de la troisième machine volumétrique 30 correspond à la fonction d'une pompe booster qui est utilisée da manière classique dans les installations de pompages connues de ce jour. Il serait bien entendu également possible d'utiliser un autre type de machines volumétriques ou d'en ajouter d'avantages, sans partir de l'esprit de la présente invention.
Naturellement, la présente invention est sujette à de nombreuses va-nations quant à sa mise en oeuvre. Bien que plusieurs modes de réalisations aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Egalement, il est tout à fait possible de combiner les élé-ments décrits par rapport aux modes de réalisation particuliers pour créer ainsi des nouveaux modes de réalisation de la présente invention. Nous tenons éga-lement à préciser que les différents modes de réalisation de la présente inven-
17 tion peuvent sans doute être combinés pour créer d'autres modes de réalisa-tion appropriés. En particulier, il est sans autre possible de réaliser une nou-velle installation de pompage qui comprend à la fois la caractéristique princi-pale des deux premiers modes de réalisation (c'est-à-dire un capteur de pres-sion) avec un capteur de température tel que proposé par les troisième et qua-trième modes de réalisation de la présente invention.
Claims (15)
1. Installation de pompage (IP) comprenant au moins une première machine volumétrique (10) et une deuxième machine volumétrique (20), ainsi qu'un module de contrôle (MC), dans laquelle installation de pompage (IP) un gaz est évacué d'un volume enfermé (VE) par le biais de la première machine volumétrique (10) et/ou de la deuxième machine volumétrique (20), caractérisée en ce que l'installation de pompage (IP) comprend en outre au moins une valve de contrôle (VC) qui est contrôlée par le module de contrôle (MC) et un capteur de pression (CP) pour capter la valeur de la pres-sion à la sortie de la première machine volumétrique (10) et/ou un capteur de température (TP) pour capter la valeur de la température à la sortie de la pre-mière machine volumétrique (10) afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l'installation de pompage (IP).
2. Installation de pompage selon la revendication 1, caractérisée en ce que la valve de contrôle (VC) est apte à commuter le flux de gaz entre un premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique (10) et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par la première machine volumétrique (10) et la deuxième machine vo-lumétrique (20).
3. Installation de pompage selon la revendication 1 ou la revendica-tion 2, caractérisée en ce que la première machine volumétrique (10) est une pompe sèche.
4. Installation de pompage selon la revendication 3, caractérisée en ce que la première machine volumétrique (10) est une pompe à vis.
5. Installation de pompage selon l'une quelconque des revendica-tions 1 à 4, caractérisée en ce que la deuxième machine volumétrique (20) est une pompe à palettes.
6. Installation de pompage selon l'une quelconque des revendica-tions 1 à 5, caractérisée en ce que l'installation de pompage comprend en outre une troisième machine volumétrique (30), connectée en série entre le volume enfermé (VE) et la première machine volumétrique (10).
7. Installation de pompage selon la revendication 6, caractérisée en ce que la troisième machine volumétrique (30) est une pompe Roots.
8. Installation de pompage selon l'une quelconque des revendica-tions précédentes, caractérisée en ce que la deuxième machine volumétrique (20) comprend un mécanisme de refroidissement.
9. Procédé de contrôle d'une installation de pompage (IP) compre-nant au moins une première machine volumétrique (10) et une deuxième ma-chine volumétrique (20), ainsi qu'un module de contrôle (MC), dans laquelle installation de pompage (IP) un gaz est évacué d'un volume enfermé (VE) par le biais de la première machine volumétrique (10) et/ou de la deuxième ma-chine volumétrique (20), caractérisée en ce qu'au moins une valve de contrôle (VC) est con-trôlée par le module de contrôle (MC) en utilisant les informations reçues par un capteur de pression (CP) qui capte la valeur de la pression à la sortie de la première machine volumétrique (10) et/ou un capteur de température (TP) qui capte la valeur de la température à la sortie de la première machine volumé-trique (10) afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l'installation de pompage (IP).
10. Procédé selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le flux de gaz est commuté par la valve de contrôle (VC) entre un premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique (10) et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par la première machine volumétrique (10) et la deuxième machine volumétrique (20).
11. Procédé selon la revendication 9 ou la revendication 10, caracté-risé en ce que une troisième machine volumétrique (30), connectée en série entre le volume enfermé (VE) et la première machine volumétrique (10) est prévue dans l'installation de pompage (IP).
12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, ca-ractérisé en ce que, pendant que la température sensée à la sortie de la pre-mière machine volumétrique (10) par le capteur de température (TP) est au-dessous d'une valeur prédéterminée, la valve de contrôle (VC) bloque le pas-sage du gaz par le conduit (LP3).
13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, ca-ractérisé en ce que, lorsqu'une température au-dessus d'une température pré-déterminée est détectée par le biais du capteur de température (TP) à la sortie de la première machine volumétrique (10), le module de contrôle (MC) régle la valve de contrôle (VC) pour ouvrir le conduit (LP3).
14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, ca-ractérisé en ce que la température prédéterminée est choisie en fonction des gaz pompés.
15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 14, ca-ractérisé en ce que la température prédéterminée est déterminée de manière pratique pour chaque application concrète et stockée dans le module de con-trôle (MC) afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle (VC).
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH00285/12 | 2012-03-05 | ||
| CH00285/12A CH706231B1 (fr) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | Installation de pompage et procédé de contrôle d'une telle installation. |
| PCT/EP2013/054396 WO2013131911A1 (fr) | 2012-03-05 | 2013-03-05 | Installation de pompage amelioree et le procede de controle d'une telle installation de pompage |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA2866211A1 true CA2866211A1 (fr) | 2013-09-12 |
| CA2866211C CA2866211C (fr) | 2019-08-27 |
Family
ID=47827204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CA2866211A Active CA2866211C (fr) | 2012-03-05 | 2013-03-05 | Installation de pompage amelioree et le procede de controle d'une telle installation de pompage |
Country Status (17)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11204036B2 (fr) |
| EP (1) | EP2823182B1 (fr) |
| JP (1) | JP2015509569A (fr) |
| KR (1) | KR102002066B1 (fr) |
| CN (1) | CN104204518B (fr) |
| AU (1) | AU2013229569A1 (fr) |
| CA (1) | CA2866211C (fr) |
| CH (1) | CH706231B1 (fr) |
| DK (1) | DK2823182T3 (fr) |
| ES (1) | ES2706018T3 (fr) |
| HK (1) | HK1204034A1 (fr) |
| IN (1) | IN2014MN01761A (fr) |
| PL (1) | PL2823182T3 (fr) |
| PT (1) | PT2823182T (fr) |
| RU (1) | RU2014140216A (fr) |
| TR (1) | TR201818673T4 (fr) |
| WO (1) | WO2013131911A1 (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113982928A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-01-28 | 山东宽量节能环保技术有限公司 | 一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合*** |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2971691A (en) * | 1955-08-16 | 1961-02-14 | Heraeus Gmbh W C | Pumping system |
| US3799181A (en) * | 1972-09-05 | 1974-03-26 | H Maddren | Hot water supply system and method |
| US3854998A (en) * | 1973-08-30 | 1974-12-17 | Gen Motors Corp | Fluid powered ultrasonic washing, rinsing, and drying system for a dishwasher |
| JPS5862387A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-13 | Diesel Kiki Co Ltd | 圧縮機の容量可変装置 |
| US4699570A (en) * | 1986-03-07 | 1987-10-13 | Itt Industries, Inc | Vacuum pump system |
| US4850806A (en) * | 1988-05-24 | 1989-07-25 | The Boc Group, Inc. | Controlled by-pass for a booster pump |
| US4882097A (en) * | 1988-09-06 | 1989-11-21 | Abc/Sebrn Tech Corp. | Carbonation system |
| FR2640697B1 (fr) * | 1988-12-16 | 1993-01-08 | Cit Alcatel | Ensemble de pompage pour l'obtention de vides eleves |
| DE19500823A1 (de) * | 1995-01-13 | 1996-07-18 | Sgi Prozess Technik Gmbh | Vakuum-Pumpstand |
| DE19524609A1 (de) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Leybold Ag | Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer |
| JP3800966B2 (ja) * | 2001-02-13 | 2006-07-26 | 東海ゴム工業株式会社 | 空気圧制御式制振器 |
| US6589023B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-08 | Applied Materials, Inc. | Device and method for reducing vacuum pump energy consumption |
| US7174881B2 (en) * | 2001-12-07 | 2007-02-13 | Caterpillar Inc. | Actuation valve for controlling fuel injector and compression release valve, and engine using same |
| DE10225774C1 (de) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Vacuubrand Gmbh & Co Kg | Vakuumpumpe |
| GB0214273D0 (en) * | 2002-06-20 | 2002-07-31 | Boc Group Plc | Apparatus for controlling the pressure in a process chamber and method of operating same |
| US7165422B2 (en) * | 2004-11-08 | 2007-01-23 | Mmr Technologies, Inc. | Small-scale gas liquefier |
| US9285297B2 (en) * | 2005-08-22 | 2016-03-15 | Applied Biosystems, Llc | Device, system, and method for depositing processed immiscible-fluid-discrete-volumes |
| US7878765B2 (en) * | 2005-12-02 | 2011-02-01 | Entegris, Inc. | System and method for monitoring operation of a pump |
| JP2008088880A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Anest Iwata Corp | 真空排気装置 |
| DE102006058842A1 (de) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Lüfter |
| BR112012018803B1 (pt) * | 2009-12-24 | 2021-09-28 | Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd. | Aparelho de bomba de vácuo dupla e sistema de purificação de gás |
| EP2601413B1 (fr) * | 2010-08-05 | 2019-01-16 | Ebara Corporation | Système d'échappement |
| EP2744537B1 (fr) * | 2011-08-16 | 2018-01-24 | Medtronic, Inc. | Système d'hémodialyse modulaire |
| WO2013028809A2 (fr) * | 2011-08-22 | 2013-02-28 | Medtronic, Inc. | Cartouche de sorbant à double flux |
| US9884145B2 (en) * | 2013-11-26 | 2018-02-06 | Medtronic, Inc. | Parallel modules for in-line recharging of sorbents using alternate duty cycles |
| US10004838B2 (en) * | 2014-06-24 | 2018-06-26 | Medtronic, Inc. | Reserve zirconium phosphate module for use in sorbent dialysis |
-
2012
- 2012-03-05 CH CH00285/12A patent/CH706231B1/fr not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-03-05 PL PL13707630T patent/PL2823182T3/pl unknown
- 2013-03-05 AU AU2013229569A patent/AU2013229569A1/en not_active Abandoned
- 2013-03-05 US US14/382,810 patent/US11204036B2/en active Active
- 2013-03-05 CN CN201380012783.9A patent/CN104204518B/zh active Active
- 2013-03-05 DK DK13707630.3T patent/DK2823182T3/da active
- 2013-03-05 CA CA2866211A patent/CA2866211C/fr active Active
- 2013-03-05 PT PT13707630T patent/PT2823182T/pt unknown
- 2013-03-05 KR KR1020147024935A patent/KR102002066B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-05 TR TR2018/18673T patent/TR201818673T4/tr unknown
- 2013-03-05 EP EP13707630.3A patent/EP2823182B1/fr active Active
- 2013-03-05 JP JP2014560336A patent/JP2015509569A/ja active Pending
- 2013-03-05 RU RU2014140216A patent/RU2014140216A/ru not_active Application Discontinuation
- 2013-03-05 ES ES13707630T patent/ES2706018T3/es active Active
- 2013-03-05 WO PCT/EP2013/054396 patent/WO2013131911A1/fr active Application Filing
-
2014
- 2014-09-02 IN IN1761MUN2014 patent/IN2014MN01761A/en unknown
-
2015
- 2015-05-14 HK HK15104563.2A patent/HK1204034A1/xx unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113982928A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-01-28 | 山东宽量节能环保技术有限公司 | 一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合*** |
| CN113982928B (zh) * | 2021-10-29 | 2024-05-07 | 山东宽量节能环保技术有限公司 | 一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合*** |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2014140216A (ru) | 2016-04-27 |
| PL2823182T3 (pl) | 2019-04-30 |
| PT2823182T (pt) | 2018-12-24 |
| WO2013131911A1 (fr) | 2013-09-12 |
| CA2866211C (fr) | 2019-08-27 |
| IN2014MN01761A (fr) | 2015-07-03 |
| AU2013229569A1 (en) | 2014-09-25 |
| EP2823182A1 (fr) | 2015-01-14 |
| CN104204518B (zh) | 2017-03-08 |
| US11204036B2 (en) | 2021-12-21 |
| DK2823182T3 (da) | 2019-01-07 |
| CN104204518A (zh) | 2014-12-10 |
| TR201818673T4 (tr) | 2019-01-21 |
| ES2706018T3 (es) | 2019-03-27 |
| HK1204034A1 (en) | 2015-11-06 |
| EP2823182B1 (fr) | 2018-10-31 |
| CH706231A1 (fr) | 2013-09-13 |
| JP2015509569A (ja) | 2015-03-30 |
| US20150204332A1 (en) | 2015-07-23 |
| CH706231B1 (fr) | 2016-07-29 |
| KR102002066B1 (ko) | 2019-07-19 |
| KR20140135181A (ko) | 2014-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BE1018905A5 (fr) | Compresseur a vis sans huile. | |
| BE1018912A3 (fr) | Compresseur a vis sans huile. | |
| BE1014892A5 (fr) | Compresseur a vis sans huile. | |
| EP2715091B1 (fr) | Moteur à turbine à gaz avec arrangement spécifique de trois corps rotatifs | |
| FR2883934A1 (fr) | Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie | |
| FR2559848A1 (fr) | Machine a volutes pour comprimer un fluide | |
| EP3201469B1 (fr) | Systeme de pompage pour generer un vide et procede de pompage au moyen de ce systeme de pompage | |
| CA2564491A1 (fr) | Dispositif de ventilation de disques de turbine dans un moteur a turbine a gaz | |
| FR3065040B1 (fr) | Groupe de pompage et utilisation | |
| EP3867531B1 (fr) | Procédé de contrôle de la température d'une pompe à vide, pompe à vide et installation associées | |
| CA2866211C (fr) | Installation de pompage amelioree et le procede de controle d'une telle installation de pompage | |
| EP3161318B1 (fr) | Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide | |
| EP3198148B1 (fr) | Système de pompage pour générer un vide et procédé de pompage au moyen de ce système de pompage | |
| FR3094762A1 (fr) | Pompe à vide de type sèche et installation de pompage | |
| CA2943315C (fr) | Methode de pompage dans un systeme de pompes a vide et systeme de pompes a vide | |
| CA2944825A1 (fr) | Methode de pompage dans un systeme de pompage et systeme de pompes a vide | |
| EP3775558B1 (fr) | Pompe à vide de type sèche | |
| FR3098869A1 (fr) | Groupe de pompage | |
| FR2482208A1 (fr) | ||
| EP3105455B1 (fr) | Système de pompage et procédé de descente en pression dans un sas de chargement et de déchargement | |
| EP2034256B1 (fr) | Procede et dispositif d'equilibrage d'huile entre compresseurs | |
| WO2024088630A1 (fr) | Groupe de pompage | |
| FR3109965A1 (fr) | Dispositif et procédé de surveillance d’un dépôt de sous-produits de réaction au refoulement d’une pompe à vide | |
| FR3111958A3 (fr) | Dispositif, procédé de surveillance de dépôts et pompe à vide | |
| FR2694602A1 (fr) | Système mécanique de sécurité pour l'interruption de la circulation d'huile dans un compresseur à vis sans fin. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EEER | Examination request |
Effective date: 20171128 |