ATE547385T1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines tiegels aus quarzglas - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines tiegels aus quarzglas

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ATE547385T1
ATE547385T1 AT09757375T AT09757375T ATE547385T1 AT E547385 T1 ATE547385 T1 AT E547385T1 AT 09757375 T AT09757375 T AT 09757375T AT 09757375 T AT09757375 T AT 09757375T AT E547385 T1 ATE547385 T1 AT E547385T1
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vitrifying
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AT09757375T
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Thomas Kayser
Walter Lehmann
Hilmar Laudahn
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Heraeus Quarzglas
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    • C30B15/10Crucibles or containers for supporting the melt
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
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    • C30B35/002Crucibles or containers

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005289776A (ja) * 2004-04-05 2005-10-20 Canon Inc 結晶製造方法および結晶製造装置
US8272234B2 (en) * 2008-12-19 2012-09-25 Heraeus Shin-Etsu America, Inc. Silica crucible with pure and bubble free inner crucible layer and method of making the same
JP4951040B2 (ja) * 2009-08-05 2012-06-13 信越石英株式会社 シリカ容器及びその製造方法
US9003832B2 (en) * 2009-11-20 2015-04-14 Heraeus Shin-Etsu America, Inc. Method of making a silica crucible in a controlled atmosphere
FR2954764B1 (fr) * 2009-12-30 2011-12-30 Saint Gobain Quartz Sas Creuset en silice
JP5605903B2 (ja) * 2010-12-02 2014-10-15 株式会社Sumco シリカガラスルツボ製造装置
US9221709B2 (en) * 2011-03-31 2015-12-29 Raytheon Company Apparatus for producing a vitreous inner layer on a fused silica body, and method of operating same
CN102363319A (zh) * 2011-06-30 2012-02-29 德清县建明坩埚厂 一种用于坩埚成型机的下模
DE102011113130B3 (de) * 2011-09-14 2013-01-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Solarstrahlungsempfänger mit einem Eintrittsfenster aus Quarzglas
JP7141844B2 (ja) * 2018-04-06 2022-09-26 信越石英株式会社 石英ガラスるつぼの製造方法
WO2021084682A1 (ja) * 2019-10-31 2021-05-06 ユアサ化成株式会社 ガラスセルの製造装置及び製造方法
JP2023520407A (ja) * 2020-03-30 2023-05-17 コーニング インコーポレイテッド ガラス溶融システムにおいて欠陥を低減するための装置及び方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6168327A (ja) * 1984-09-11 1986-04-08 Toshiba Corp 六フツ化ウランガスの回収装置
JP2830987B2 (ja) * 1994-07-19 1998-12-02 信越石英株式会社 石英ガラスルツボ及びその製造方法
DE19541372A1 (de) * 1994-11-15 1996-05-23 Gen Electric Tiegel aus geschmolzenem Quarz sowie Verfahren zu dessen Herstellung
JP4398527B2 (ja) * 1998-05-25 2010-01-13 信越石英株式会社 シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ
JP4548682B2 (ja) * 1999-04-06 2010-09-22 株式会社ワコム製作所 石英ガラスるつぼの製造方法
EP1094039B1 (de) * 1999-04-06 2015-04-29 Wacom Manufacturing Co., Ltd. Verfahren zur herstellung eines quartzglastiegels
JP3765368B2 (ja) * 1999-06-01 2006-04-12 東芝セラミックス株式会社 石英ガラスルツボおよびその製造方法
US6502422B1 (en) * 2000-10-27 2003-01-07 General Electric Company Method for quartz crucible fabrication
JP4279015B2 (ja) 2002-03-19 2009-06-17 コバレントマテリアル株式会社 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法
DE10324440A1 (de) * 2003-05-28 2004-12-16 Wacker-Chemie Gmbh Verfahren zur Herstellung eines innenseitig verglasten SiO2-Tiegels
JP5080764B2 (ja) * 2005-08-08 2012-11-21 信越石英株式会社 石英ガラス坩堝の製造方法

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