JPS6168327A - 六フツ化ウランガスの回収装置 - Google Patents
六フツ化ウランガスの回収装置Info
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- JPS6168327A JPS6168327A JP19017884A JP19017884A JPS6168327A JP S6168327 A JPS6168327 A JP S6168327A JP 19017884 A JP19017884 A JP 19017884A JP 19017884 A JP19017884 A JP 19017884A JP S6168327 A JPS6168327 A JP S6168327A
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- JP
- Japan
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- gas
- pressure
- gaseous
- exhaust gas
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は六フッ化ウランガスがコンプレッサで胃圧され
てアキュムレータ等の密１：１１容参：：へ直接回収す
る六フッ化ウランガスの１１１収装置に関する。
てアキュムレータ等の密１：１１容参：：へ直接回収す
る六フッ化ウランガスの１１１収装置に関する。
六フッ化ウランガス（以下ＵＦ６ガスど記す）を大気圧
以下で取扱・うウランａ″：、縮プラントにおいて、Ｕ
Ｆ６ガスを回収する装置としで、コンブレラ１すにより
（）［６ガスを圧縮し、圧縮された（ＪＦ６を冷却した
ＬＩＦＧシリンダへ３？入１ハ固化回収するシステムが
採用されている１、これ（よ、圧縮されたＵＦ６ガスが
冷却されると気体から固体へ相変化する事を利用したし
のである、。
以下で取扱・うウランａ″：、縮プラントにおいて、Ｕ
Ｆ６ガスを回収する装置としで、コンブレラ１すにより
（）［６ガスを圧縮し、圧縮された（ＪＦ６を冷却した
ＬＩＦＧシリンダへ３？入１ハ固化回収するシステムが
採用されている１、これ（よ、圧縮されたＵＦ６ガスが
冷却されると気体から固体へ相変化する事を利用したし
のである、。
第２図は従来のＵＦ６ガスの回収装置の・「４成を承り
系統図である。
系統図である。
この図において、符号１はｔＪＦ６ガスを圧縮するコン
プレッサを示しており、このコンプレッサ１で圧縮され
たｔＪＦ６ガスは吐出側配管２からＵＦ６シリンダ３に
接続配管４を介して送られる。
プレッサを示しており、このコンプレッサ１で圧縮され
たｔＪＦ６ガスは吐出側配管２からＵＦ６シリンダ３に
接続配管４を介して送られる。
ＵＦ６シリンダ３は冷却槽５内に収納されて所定の温度
に維持される。接続配管４には圧力５１６と分岐配管７
が接続されており、分岐配管７には弁８が介在される。
に維持される。接続配管４には圧力５１６と分岐配管７
が接続されており、分岐配管７には弁８が介在される。
分岐配管７の下流側はコールドトラップ９．圧力調整弁
１０、（Ｊ「６吸払トラツプ１１、フッ化水素（ＨＦ
）吸着１〜ラツプ１２、圧力調整弁１３およびロータリ
ポンプ１４が順次接続されている。コールド１−ラップ
９と圧力調整弁１０との間には圧力検出器１５および圧
力ｒＪＪ整器１６が、また１−ＩＦ吸吸着トララップ１
２圧力調整弁１３との間には圧力検出器１７１Ｉ；よび
圧力調整器１８がそれぞれ設りられており、各Ｆ「力調
整器１６．１８は圧力調整弁１０，１３の弁開度を調節
制御している。
１０、（Ｊ「６吸払トラツプ１１、フッ化水素（ＨＦ
）吸着１〜ラツプ１２、圧力調整弁１３およびロータリ
ポンプ１４が順次接続されている。コールド１−ラップ
９と圧力調整弁１０との間には圧力検出器１５および圧
力ｒＪＪ整器１６が、また１−ＩＦ吸吸着トララップ１
２圧力調整弁１３との間には圧力検出器１７１Ｉ；よび
圧力調整器１８がそれぞれ設りられており、各Ｆ「力調
整器１６．１８は圧力調整弁１０，１３の弁開度を調節
制御している。
しかして、ＵＦ６シリンダ３は冷却槽５にＪ：つて冷却
されており、ＵＦ６シリング３に導入されるＵ「 ガス
は冷却されて固化され、ＵＦ６シリシダ３内に回収され
る。しかしながら、使用されるｔＪＦ６シリンダ３はＡ
ＮＳ Ｉ規搭で規定されたボンベタイプのｊＪ Ｆ
輸送容器であり、（ｊ「６シリングにはＬＪＦ、、ガス
導入口が１り所；旧づられているだけである。
されており、ＵＦ６シリング３に導入されるＵ「 ガス
は冷却されて固化され、ＵＦ６シリシダ３内に回収され
る。しかしながら、使用されるｔＪＦ６シリンダ３はＡ
ＮＳ Ｉ規搭で規定されたボンベタイプのｊＪ Ｆ
輸送容器であり、（ｊ「６シリングにはＬＪＦ、、ガス
導入口が１り所；旧づられているだけである。
（前項技術の問題点〕
ところで、Ｕ「６ガスは、不純物としてｌ−Ｉ Ｆガス
を含んでおり、かつ、ＵＦ６取扱いプロレスが大気圧力
以下で操作される為、ＩＪ Ｆ ６ガス回収系統内にリ
ークインした歩出の空気も不純物として存在する。した
がって、従来のＵＦ６ガスの回収装置で、ＩＪＦ６ガス
の回収を続けていくと、１−１Ｆガスおよび空気がＵＦ
６シリンダ３内に蓄（ろされ、かつ、ＵＦ６シリンダ３
内の回収ＵＦ６ｆｎも増加し、ＵＦ６シリンダ内気相部
の容積が減少する。
を含んでおり、かつ、ＵＦ６取扱いプロレスが大気圧力
以下で操作される為、ＩＪ Ｆ ６ガス回収系統内にリ
ークインした歩出の空気も不純物として存在する。した
がって、従来のＵＦ６ガスの回収装置で、ＩＪＦ６ガス
の回収を続けていくと、１−１Ｆガスおよび空気がＵＦ
６シリンダ３内に蓄（ろされ、かつ、ＵＦ６シリンダ３
内の回収ＵＦ６ｆｎも増加し、ＵＦ６シリンダ内気相部
の容積が減少する。
このため、回収圧力が次第に高くなる現象が発生し、コ
ンプレッサの回収効率７％低下する問題があった。
ンプレッサの回収効率７％低下する問題があった。
また、１１Ｆガスは、一定の圧力を超えると液化する性
７１を右しているため、圧力が高い所で回収操作を続け
ると回収Ｕ［６中に不純物として液化されたＩ−Ｉ Ｆ
が混入する。さらに、回収ＵＦ６が淵斬１ウランの場合
には回収ＵＦ６中の水Ｍ温度が決められた値以下になる
扛定められいる。このため従来のＵＦ６がスの回収装置
では回収ガス圧力を圧力計６で監視し、ＵＦ６ガス回収
系統内の圧力が一定の値以上になると弁８を間き、回収
系統内のガスを排気し回収圧力を下げる操作を行なう必
要があった。しかし、弁８を聞き、ガスを排気り−る排
気操作時に回収づべぎＩＪＦ６ガスも同時にＩ／Ｉ−気
されてし１１う問題点があり、かっこのＵＦ６成分が多
く含まれる排気ガスを処理りる為コールド１〜ラツプ９
、ＵＦ６吸着トラップ１１、ＨＦ吸着１゛ラツプ１２お
よびロータリポンプ１４と、各吸着トラップの圧力ｆｊ
Ｊ Ｉ２Ｉ＋装置とから構成される排気ガス処理系が必
要であり、その分だ【プ排気ガス処理系のＭ４′？ｉが
複雑で高価なものとなっていた。
７１を右しているため、圧力が高い所で回収操作を続け
ると回収Ｕ［６中に不純物として液化されたＩ−Ｉ Ｆ
が混入する。さらに、回収ＵＦ６が淵斬１ウランの場合
には回収ＵＦ６中の水Ｍ温度が決められた値以下になる
扛定められいる。このため従来のＵＦ６がスの回収装置
では回収ガス圧力を圧力計６で監視し、ＵＦ６ガス回収
系統内の圧力が一定の値以上になると弁８を間き、回収
系統内のガスを排気し回収圧力を下げる操作を行なう必
要があった。しかし、弁８を聞き、ガスを排気り−る排
気操作時に回収づべぎＩＪＦ６ガスも同時にＩ／Ｉ−気
されてし１１う問題点があり、かっこのＵＦ６成分が多
く含まれる排気ガスを処理りる為コールド１〜ラツプ９
、ＵＦ６吸着トラップ１１、ＨＦ吸着１゛ラツプ１２お
よびロータリポンプ１４と、各吸着トラップの圧力ｆｊ
Ｊ Ｉ２Ｉ＋装置とから構成される排気ガス処理系が必
要であり、その分だ【プ排気ガス処理系のＭ４′？ｉが
複雑で高価なものとなっていた。
（発明の目的）
本発明は上述した事情を考直してなされたものＣ、コン
プレッサで圧縮されたｊＪＦ６ガスを回収容器内に効率
的に回収させるとともに、回収容器内のＨＦガス等の不
純物（軽ガス成分）を排気づ。
プレッサで圧縮されたｊＪＦ６ガスを回収容器内に効率
的に回収させるとともに、回収容器内のＨＦガス等の不
純物（軽ガス成分）を排気づ。
る際、排気ガス中に含まれるｔＪＦ６ガス十を少なくし
、排気ガス処理系を構成を簡素化した六フッ化ウランガ
スの回収装置を（？洪することを目的とする。
、排気ガス処理系を構成を簡素化した六フッ化ウランガ
スの回収装置を（？洪することを目的とする。
本発明は、上述した目的を構成するために、六フッ化ウ
ランガスの３９人配管と↑１気ガス配管が０通する冷ｆ
ＪＪｌりと、この冷却槽内に収納され上記ガス導入配管
と排気ガス配管とがそれぞれ６脱自在に接続される回収
容器ど、前記排気ガス配管に順次接続された六フッ化つ
ラン吸（”ｉ ｌ−ラップ、フッ化水素吸着トラップお
よび００′：ポンプからなる朗気ガス処理系と、この排
気ガス処理系の六フッ化つラン吸？、’ｆ トラップお
よびＱ圧ポンプの上流側にそ札ぞれ設けられた圧力調節
弁とを右し、上記圧力調節弁より回収容器の背側圧力を
調節制御したものである。
ランガスの３９人配管と↑１気ガス配管が０通する冷ｆ
ＪＪｌりと、この冷却槽内に収納され上記ガス導入配管
と排気ガス配管とがそれぞれ６脱自在に接続される回収
容器ど、前記排気ガス配管に順次接続された六フッ化つ
ラン吸（”ｉ ｌ−ラップ、フッ化水素吸着トラップお
よび００′：ポンプからなる朗気ガス処理系と、この排
気ガス処理系の六フッ化つラン吸？、’ｆ トラップお
よびＱ圧ポンプの上流側にそ札ぞれ設けられた圧力調節
弁とを右し、上記圧力調節弁より回収容器の背側圧力を
調節制御したものである。
ぞし゛Ｃ１本発明ではアキュムレータ等の同収容器の背
圧をコンｌ−ロール１゛ることにＪ：・）で常時１−Ｉ
ＦＦガスどの督ガス成分である排気ガスを排気処理する
ことが可能であり、ＩＩ＋気ガスに含まれてＩＪ１気さ
れるＵＦ６ガス墳を減らすことが可口しどなる。
圧をコンｌ−ロール１゛ることにＪ：・）で常時１−Ｉ
ＦＦガスどの督ガス成分である排気ガスを排気処理する
ことが可能であり、ＩＩ＋気ガスに含まれてＩＪ１気さ
れるＵＦ６ガス墳を減らすことが可口しどなる。
以下、本発明に係るＵＦ６ガスの回収装置の一実施例を
第１図に基いて説明する。
第１図に基いて説明する。
第１図は本発明のＵＦ６ガス回収装置の構成を系統図で
示している。なお、第１図中、第２図と同一の部分には
同一符号を付し、重複する部分の説明を省略する。
示している。なお、第１図中、第２図と同一の部分には
同一符号を付し、重複する部分の説明を省略する。
范１図において、符号１はガス分Ｎｔカスケードから排
出される製品（）Ｆ６ガスを圧縮するコンプレン１ノ゛
を示し、このコンブレラ１ｆ１のガス吐出部は、冷却槽
５内を書いて延びるガス３ｒン人配管４を介して回収容
器どしてのアキュムレータ２０に接続される。アキ」、
ムレータ２０は密閉された筒状構造に形成され、冷却槽
５内に取出し自在に収容される。アー１．ユムレータ２
０の〜・側上部にガス３９人配管４ど接続する（）「６
ガス３ｒＩ入０２０ Ｆ、ｌが、ぞの他側上部に排気ガ
ス配管２１に接続されるガス排気口２０ｂが形成される
１１両配管４．２１とアキュムレータ２０の接続は冷７
Ｊｌ ’Ｍ ５内でフランジ等により看悦自在に行なわ
れる。ｎｔ気ガス配管２１は冷却槽５を口いて外部に灰
び、での延長部にＨＦガス等の排気ガスを処理する排気
ガス処理系２２が設けられる。
出される製品（）Ｆ６ガスを圧縮するコンプレン１ノ゛
を示し、このコンブレラ１ｆ１のガス吐出部は、冷却槽
５内を書いて延びるガス３ｒン人配管４を介して回収容
器どしてのアキュムレータ２０に接続される。アキ」、
ムレータ２０は密閉された筒状構造に形成され、冷却槽
５内に取出し自在に収容される。アー１．ユムレータ２
０の〜・側上部にガス３９人配管４ど接続する（）「６
ガス３ｒＩ入０２０ Ｆ、ｌが、ぞの他側上部に排気ガ
ス配管２１に接続されるガス排気口２０ｂが形成される
１１両配管４．２１とアキュムレータ２０の接続は冷７
Ｊｌ ’Ｍ ５内でフランジ等により看悦自在に行なわ
れる。ｎｔ気ガス配管２１は冷却槽５を口いて外部に灰
び、での延長部にＨＦガス等の排気ガスを処理する排気
ガス処理系２２が設けられる。
排気ガス処理系２２は排気ガス配管２１にＵＦ６吸着１
−ラップ１１ 、ＨＦ吸着トラップ１２および負圧ポン
プとしてのロータリポンプ１４を順次接続することによ
り構成され、ｔＪＦ６吸着１−ラップ１１およびロータ
リポンプ７４の上流側に圧力調節弁１０および１３がそ
れぞれ介装される。
−ラップ１１ 、ＨＦ吸着トラップ１２および負圧ポン
プとしてのロータリポンプ１４を順次接続することによ
り構成され、ｔＪＦ６吸着１−ラップ１１およびロータ
リポンプ７４の上流側に圧力調節弁１０および１３がそ
れぞれ介装される。
圧力調節弁１０．１３は圧力調節計１６．１８により作
動制御され、弁開度が調節される。圧力調節計１６．１
８には圧力検出Ｚ１５．１７からの検出信号が入力され
る。、各圧力検出器１５．１７は圧力調節弁１０．１３
の上流側に設置される。
動制御され、弁開度が調節される。圧力調節計１６．１
８には圧力検出Ｚ１５．１７からの検出信号が入力され
る。、各圧力検出器１５．１７は圧力調節弁１０．１３
の上流側に設置される。
一方の圧力調節弁１０【よアキュムレータ２０のテテ側
圧力を調節制御しており、池方の圧力調節弁１３は吸着
トラップ１１．１２の捕！Ｌ効率を高めるために設置さ
れる。圧力、Ｊ￥節弁１３の設定１直は、一方の圧力調
節弁１０の設定値（圧力）の約半分であり、このように
圧力調節弁１３を作動制御することにより、圧力調節弁
１３をクリティカル条１′１て使用することが可能とな
り、その下流側の圧力変り１の影響を上流側にりえるこ
とを防１［゛できる。
圧力を調節制御しており、池方の圧力調節弁１３は吸着
トラップ１１．１２の捕！Ｌ効率を高めるために設置さ
れる。圧力、Ｊ￥節弁１３の設定１直は、一方の圧力調
節弁１０の設定値（圧力）の約半分であり、このように
圧力調節弁１３を作動制御することにより、圧力調節弁
１３をクリティカル条１′１て使用することが可能とな
り、その下流側の圧力変り１の影響を上流側にりえるこ
とを防１［゛できる。
次に、ＵＦ６ガスの回収菰；６の作用について説明りる
。
。
１１Ｆの蒸気圧曲線は、Ｐｌｌ「を１−１Ｆガス圧力（
８１ｍ１−１）、ｔを１−ＩＦ濡度（°Ｃ）としたとさ
、ワ ” ’ １０ＰＩＦ ＝ ８ 、 ３８０３６−１９５２ 、’ ５５ ／
’ （３３５。
８１ｍ１−１）、ｔを１−ＩＦ濡度（°Ｃ）としたとさ
、ワ ” ’ １０ＰＩＦ ＝ ８ 、 ３８０３６−１９５２ 、’ ５５ ／
’ （３３５。
５２ ＋ ｔ ）で表わされる。
しかして、ＵＦ６ガス処理プラントのプロセスから排出
されるＵＦ６ガスをコンプレッサ１で圧縮し、圧縮され
たＵ「６ガスを冷ムロ槽５内のアキュムータ２０に案内
して、冷Ｉ、ｒｌ固（ヒさせる。その場合において、ア
キュムレータ２０内へ回収されたＵＦ６量が少ない時点
では、不純物である１１「ガス分圧も十分低く、か゛つ
ア’１− Ｊムレータ２０内の回収圧力も低いため、圧
力調節弁１０は開している。回収運転を継続していくう
らに、Ｉ−Ｉ Ｆガス等がＵＦ６ガス回収系統内に次第
に２７積し回収系統内圧力もＬ胃し、アキュムレータ２
０に導入されたＨ Ｆガスが液化り−る恐れが生じてく
る。
されるＵＦ６ガスをコンプレッサ１で圧縮し、圧縮され
たＵ「６ガスを冷ムロ槽５内のアキュムータ２０に案内
して、冷Ｉ、ｒｌ固（ヒさせる。その場合において、ア
キュムレータ２０内へ回収されたＵＦ６量が少ない時点
では、不純物である１１「ガス分圧も十分低く、か゛つ
ア’１− Ｊムレータ２０内の回収圧力も低いため、圧
力調節弁１０は開している。回収運転を継続していくう
らに、Ｉ−Ｉ Ｆガス等がＵＦ６ガス回収系統内に次第
に２７積し回収系統内圧力もＬ胃し、アキュムレータ２
０に導入されたＨ Ｆガスが液化り−る恐れが生じてく
る。
しかし、この場合には、冷却（１５の冷却温度を前記Ｈ
「の蒸気曲線の式に当てはめ、この式にり求まるｌ−Ｉ
Ｆガスの然気圧力値以下になるＪ：うに、アキュムレ
ータ２０内圧力（７１側圧力）が圧力調節弁１ｏにより
制御される３、これににす、１−ＩＦＦガス液化を有効
的にかつ確実に防１ヒすることができる。
「の蒸気曲線の式に当てはめ、この式にり求まるｌ−Ｉ
Ｆガスの然気圧力値以下になるＪ：うに、アキュムレ
ータ２０内圧力（７１側圧力）が圧力調節弁１ｏにより
制御される３、これににす、１−ＩＦＦガス液化を有効
的にかつ確実に防１ヒすることができる。
また、アキュムレータ２０内を１月二〇ガスと少品のＨ
Ｆガスが通過りる際、Ｌｊ ｒ二。ガスｔ、Ｌ ＩＩと
んどが固化されるため、排気）ＩＸ中の（）「６分圧は
、（、ロエ冷ＩＡ槽のン晶度で示２＼れるＵＦ６の藩気
圧となる１、これは、１０℃〜２０″Ｃの冷加：扁度で
比較すると１−ＩＦの蒸気圧の約１／１０程ビ［であり
、アキ−しムレ〜り２０は］−ルドトラップの機能を右
する。したがって、ＵＦ６ガス回収部から排気されるＵ
ＩＴ６ガスはＨＦガスに同伴されることが少なく、排気
されるＵＦ６ガスはわずか／ｆ申となる。
Ｆガスが通過りる際、Ｌｊ ｒ二。ガスｔ、Ｌ ＩＩと
んどが固化されるため、排気）ＩＸ中の（）「６分圧は
、（、ロエ冷ＩＡ槽のン晶度で示２＼れるＵＦ６の藩気
圧となる１、これは、１０℃〜２０″Ｃの冷加：扁度で
比較すると１−ＩＦの蒸気圧の約１／１０程ビ［であり
、アキ−しムレ〜り２０は］−ルドトラップの機能を右
する。したがって、ＵＦ６ガス回収部から排気されるＵ
ＩＴ６ガスはＨＦガスに同伴されることが少なく、排気
されるＵＦ６ガスはわずか／ｆ申となる。
よって、このｔＪＦ６ガス回収部から排気されるガスを
処理する装置に、−］−ルドトラップ笠の１本皿（よ不
要と＜ｒ ８ ｏ ＩＪｊ気される（Ｊ「６ガスが少な
いため、ＵＦ６ガスの処理は充填塔にフッ化す１ヘリウ
ム（ＮａＦ）ペレットを充１眞したＵＦ６吸看トラップ
１１で充分に行なうことができ、１１Ｆガスの処理は充
填塔に活性アルミナ（γ・Δ）、０３）ベレットを充填
した１−１Ｆ吸？′１１−ラップ１２で行ない１７る。
処理する装置に、−］−ルドトラップ笠の１本皿（よ不
要と＜ｒ ８ ｏ ＩＪｊ気される（Ｊ「６ガスが少な
いため、ＵＦ６ガスの処理は充填塔にフッ化す１ヘリウ
ム（ＮａＦ）ペレットを充１眞したＵＦ６吸看トラップ
１１で充分に行なうことができ、１１Ｆガスの処理は充
填塔に活性アルミナ（γ・Δ）、０３）ベレットを充填
した１−１Ｆ吸？′１１−ラップ１２で行ない１７る。
このため、ロータリポンプ１４からは、１１気ガス処理
系２２に流入した空電のみを吸引し、外部に排気処理す
ることができる。
系２２に流入した空電のみを吸引し、外部に排気処理す
ることができる。
以上に述べたように本発明に係るＵ「６ガスの回収装置
は、冷１．ｌ］槽内に収容されに回収容器に排気ガス配
管を接続し、この１月気ガス配Ｖ、に六フッ化ウラン吸
着１〜ラップ、フッ化水毒吸６１−ラップおよび負圧ポ
ンプを順次ｊｐ ＩＸした排気ガス姐理系を接続し、ご
のＩＡ気ガス処処理の六フッ化ウラン吸着トラップ（υ
Ｊ、び負圧ポンプの上流側に月−力調節弁をそれぞれ設
け、上記圧力調節弁により回収容器の背側圧力を調節す
ることにより、回収容器内でｌ−Ｉ Ｆガスの液化を確
実に防市するとともに、回収容器から排気される１−１
［ガス簀の不純物に同伴されて排出されるＵＦ６ガスｎ
１を少なくすることができ、しかも、回収容器がコール
ドｌ−ラップの機能を有″！Ｖるので、排気ガス処理系
にコールドトラップを使用する必要が／（、その分だけ
、排気ガス処理系を簡素化、安価にラツ造することがで
きる。排気ガス処理系に］−ルド１へラップを設（」な
くても、ｔＪＦ６万スやＨＦガスの回収を効率よく行な
うことができる。
は、冷１．ｌ］槽内に収容されに回収容器に排気ガス配
管を接続し、この１月気ガス配Ｖ、に六フッ化ウラン吸
着１〜ラップ、フッ化水毒吸６１−ラップおよび負圧ポ
ンプを順次ｊｐ ＩＸした排気ガス姐理系を接続し、ご
のＩＡ気ガス処処理の六フッ化ウラン吸着トラップ（υ
Ｊ、び負圧ポンプの上流側に月−力調節弁をそれぞれ設
け、上記圧力調節弁により回収容器の背側圧力を調節す
ることにより、回収容器内でｌ−Ｉ Ｆガスの液化を確
実に防市するとともに、回収容器から排気される１−１
［ガス簀の不純物に同伴されて排出されるＵＦ６ガスｎ
１を少なくすることができ、しかも、回収容器がコール
ドｌ−ラップの機能を有″！Ｖるので、排気ガス処理系
にコールドトラップを使用する必要が／（、その分だけ
、排気ガス処理系を簡素化、安価にラツ造することがで
きる。排気ガス処理系に］−ルド１へラップを設（」な
くても、ｔＪＦ６万スやＨＦガスの回収を効率よく行な
うことができる。
第１図は、本発明に係る六フッ化ウランガスの回収装置
の一実施例を概略的に示す系統図、第２図は従来の六フ
ッ化ウランガスの回収装置を概略的に示す系統図である
。。 １・・・コンブレラ１す、３・・・ＵＦ６シリンダ、５
・・・冷７Ｊ］槽、９・・・］−ルド（−ラップ、１０
．１３・・・圧ノフ調節弁、１１・・・ｔＪＦ６＠着１
〜ラップ、１２・・・；−１「吸着トラップ、１４・・
・ロータリポンプ、２０・・・アキコムレータ、２２・
・・１１気ガス叫理系、。
の一実施例を概略的に示す系統図、第２図は従来の六フ
ッ化ウランガスの回収装置を概略的に示す系統図である
。。 １・・・コンブレラ１す、３・・・ＵＦ６シリンダ、５
・・・冷７Ｊ］槽、９・・・］−ルド（−ラップ、１０
．１３・・・圧ノフ調節弁、１１・・・ｔＪＦ６＠着１
〜ラップ、１２・・・；−１「吸着トラップ、１４・・
・ロータリポンプ、２０・・・アキコムレータ、２２・
・・１１気ガス叫理系、。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、六フッ化ウランガスの導入配管と排気ガス配管が貫
通する冷却槽と、この冷却槽内に収納され上記ガス導入
配管と排気ガス配管とがそれぞれ着脱自在に接続される
回収容器と、前記排気ガス配管に順次接続された六フッ
化ウラン吸着トラップ、フッ化水素吸着トラップおよび
負圧ポンプからなる排気ガス処理系と、この排気ガス処
理系の六フッ化ウラン吸着トラップおよび負圧ポンプの
上流側にそれぞれ設けられた圧力調節弁とを有し、上記
圧力調節弁により回収容器の背側圧力を調節制御したこ
とを特徴とする六フッ化ウランガスの回収装置。 ２、回収容器はアキュムレータ等の筒状密閉容器であり
、上記回収容器の一側にガス導入配管を接続するガス導
入口が、その他側に排気ガス配管を接続するガス排出口
が形成された特許請求の範囲第１項に記載の六フッ化ウ
ランガスの回収装置。 ３、圧力調節弁はこの圧力調節弁の上流側排気ガス配管
に設けられた圧力検出器からの検出信号を入力する圧力
調節計により作動制御される特許請求の範囲第１項に記
載の六フッ化ウランガスの回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19017884A JPS6168327A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 六フツ化ウランガスの回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19017884A JPS6168327A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 六フツ化ウランガスの回収装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6168327A true JPS6168327A (ja) | 1986-04-08 |
Family
ID=16253741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19017884A Pending JPS6168327A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 六フツ化ウランガスの回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6168327A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110031909A (ko) * | 2008-06-05 | 2011-03-29 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 석영 유리 도가니의 제조 방법 및 장치 |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP19017884A patent/JPS6168327A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110031909A (ko) * | 2008-06-05 | 2011-03-29 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 석영 유리 도가니의 제조 방법 및 장치 |
| JP2011521882A (ja) * | 2008-06-05 | 2011-07-28 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 石英ガラスるつぼの製造方法及び装置 |
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