WO2024138530A1 - 一种兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法 - Google Patents

一种兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法 Download PDF

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赵立新
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王彦钦
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    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor

Definitions

  • the illumination system can be divided into two categories: coaxial illumination and off-axis illumination; among them, coaxial illumination means that the axis of the light beam shining on the pattern forming device is coaxial with the projection objective, and its structure is relatively simple. In projection exposure systems where the resolution requirement is not very high, coaxial illumination systems are generally used. Off-axis illumination means that the axis of the light beam shining on the pattern forming device is not coaxial with the projection objective, thereby improving the resolution of the imaging optical system.
  • the resolution of the optical imaging system R k 1 ⁇ /NA. When the process coefficient k 1 and the incident wavelength ⁇ remain unchanged, the larger the NA, the smaller the resolvable light spot.
  • the coaxial lighting unit includes a first fiber optic beam expander group, a first integrator group, a first condenser group, a total internal reflection mirror, a digital micromirror device and a projection mirror group in sequence along the optical path; wherein the light emitted from the optical fiber is expanded by the first fiber optic beam expander group, homogenized by the first integrator group and the first condenser group, and then deflected by the total internal reflection mirror, uniformly irradiated on the digital micromirror device, and after light intensity is modulated by the digital micromirror device, it is imaged onto the graphic surface through the projection lens group.
  • the present disclosure provides a method for lighting according to the aforementioned lighting device compatible with coaxial and off-axis, including: S1, using a first fiber optic beam expander group to expand the light emitted from the optical fiber, using a first integrator and a first condenser group to homogenize, using a total internal reflection mirror to turn the homogenized light, and evenly irradiate it on a digital micromirror device; using a digital micromirror device to modulate the light intensity, using a projection lens group to image onto a graphic surface, and realizing coaxial lighting; S2, using a second fiber optic beam expander group to expand the light emitted from the optical fiber, using a second integrator and a second condenser group to homogenize, using a first reflector group and a second reflector group in turn to turn the homogenized light and image it onto the graphic surface, and realizing off-axis lighting; wherein, the switching between coaxial lighting and off-axis lighting is realized by using a digital micro
  • FIG7 schematically shows a schematic diagram of the NA control principle of the off-axis lighting unit according to an embodiment of the present disclosure
  • the N levels include single level, two levels or four levels; wherein, when the N levels are multiple levels, the N levels of off-axis lighting units 2 are evenly distributed on the periphery of the coaxial lighting unit 1 .
  • the present disclosure also provides a method for lighting according to the aforementioned lighting device compatible with coaxial and off-axis, comprising: S1, using the first fiber optic beam expander group 1-1 to expand the light emitted from the optical fiber, using the first integrator 1-2 and the first condenser group 1-3 to homogenize, using the total internal reflection mirror 1-4 to turn the homogenized light, and evenly irradiate the digital micromirror device 1-5; using the digital micromirror device 1-5 to modulate the light intensity, using the projection lens group 1-6 to image the surface of the figure, so as to achieve coaxial lighting; S2, using the second fiber optic beam expander group 2-2 to expand the light emitted from the optical fiber, using the second integrator 2-3 and the second condenser group 2-5 to homogenize, using the first reflection mirror group 2-6 and the second reflection mirror group 2-7 in turn to turn the homogenized light and image it onto the surface of the figure, so as to achieve off-axis lighting; wherein, the switching between the coaxial lighting and the
  • the relationship between the illumination grating period and the illumination system NA is as follows:
  • a multi-stage off-axis lighting unit 2 is usually used to superimpose light, and the overlapping area is selected as the lighting light field.
  • the off-axis lighting unit 2 is four-stage, the four-stage light spots are converged on the graphic surface through the displacement motion mechanism 2-4, and the overlapping area in the middle is selected as the final lighting light field to increase its light intensity uniformity.

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Abstract

一种兼容同轴和离轴的照明装置及方法，包括：同轴照明单元（1）；N级离轴照明单元（2）；基板（2‑8），用于固定安装同轴照明单元（1）和N级离轴照明单元（2）；运动机构（2‑4），用于带动离轴照明单元（2）前后移动，以匹配不同尺寸和图像周期的光栅，实现不同的NA照明。兼容同轴和离轴的照明装置及方法可实现同轴照明和离轴照明的切换；通过更换不同尺寸和图像周期的光栅，结合运动机构，可实现不同数值孔径的离轴照明。

Description

一种兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法 技术领域
本公开涉及光学照明技术领域，具体涉及一种兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法。
背景技术
按照明***与投影物镜是否同轴，可将照明***分为同轴照明和离轴照明两类；其中，同轴照明是指照在图案形成装置的光束的轴线与投影物镜同轴，其结构比较简单。在分辨力要求不是很高的投影曝光***中，一般都采用同轴照明***。离轴照明是指照在图案形成装置的光束的轴线与投影物镜不同轴，从而提高了成像光学***的分辨力。光学***的数值孔径(NA)是一个无量纲数，用来衡量该***能够收集的光的角度范围：NA＝n·sinα。光学成像***分辨力R＝k 1λ/NA，当工艺系数k 1和入射波长λ不变时，NA越大，可分辨的光斑越小。
传统照明***中，为提高照明分辨率，需提高照明***的NA值，而一套照明***的NA值是不变的，变换NA值需要通过更换不同NA光学装置来实现，因此，无法通过一套照明***来实现不同分辨力的曝光。并且，数值孔径的增大会给设计和加工带来相当的难度，特别是数值孔径NA大于0.6之后，NA每增加0.05，设计、加工物镜的难度就要增加许多。
发明内容
(一)要解决的技术问题
针对上述问题，本公开提供了一种兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法，用于解决传统照明装置难以实现不同分辨力的曝光、装置加工难度大等技术问题。
(二)技术方案
本公开一方面提供了一种兼容同轴和离轴的照明装置，包括：同轴照明单元；N级离轴照明单元；基板，用于固定安装同轴照明单元和N级离轴照明单元；运动机构，用于带动离轴照明单元前后移动，以匹配不同尺寸和图像周期的光栅，实现不同的NA照明。
进一步地，同轴照明单元沿光路依次包括第一光纤扩束镜组、第一积分镜、第一聚光镜组、全内反射镜、数字微镜器件和投影镜组；其中，光纤出射的光通过第一光纤扩束镜组进行扩束，经第一积分镜、第一聚光镜组进行匀化，再通过全内反射镜转向后，均匀照射在数字微镜器件上，经数字微镜器件进行光强调制后，通过投影镜组成像到图形面。
进一步地，离轴照明单元沿光路依次包括离轴照明快门、第二光纤扩束镜组、第二积分镜、第二聚光镜组、第一反射镜组、第二反射镜组；其中，光纤出射的光通过第二光纤扩束镜组进行扩束，经第二积分镜、第二聚光镜组进行匀化，再依次经过第一反射镜组、第二反射镜组转向后成像到图形面；离轴照明快门用于实现离轴照明单元光路的通断。
进一步地，N级包括单级、二级或四级；其中，N级为多级时，N级离轴照明单元均匀分布于同轴照明单元的***。
进一步地，运动机构包括：载物台，用于固定离轴照明单元；导轨，固定在基板上；电机，用于推动载物台在导轨上前后滑动。
进一步地，数字微镜器件的照明面设置在离焦的位置。
本公开另一方面提供了一种根据前述的兼容同轴和离轴的照明装置进行照明的方法，包括：S1，利用第一光纤扩束镜组将光纤出射的光进行扩束，利用第一积分镜、第一聚光镜组进行匀化，利用全内反射镜将匀化后的光转向，均匀照射在数字微镜器件上；利用数字微镜器件进行光强调制，利用投影镜组成像到图形面，实现同轴照明；S2，利用第二光纤扩束镜组将光纤出射的光进行扩束，利用第二积分镜、第二聚光镜组进行匀化，依次利用第一反射镜组、第二反射镜组将匀化后的光转向后成像到图形面，实现离轴照明；其中，利用数字微镜器件和离轴照明快门实现同轴照明与离轴照明的切换。
进一步地，S1还包括：利用数字微镜器件进行灰度调制控制，以实现照明场任意光场强度分布照明。
进一步地，S2还包括：更换不同尺寸和图像周期的光栅，利用运动机构带动离轴照明单元前后移动，实现不同数值孔径的离轴照明。
进一步地，S2还包括：使用多级离轴照明单元进行光线叠加，并选取光线叠加的区域为照明光场。
(三)有益效果
本公开的兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法，利用同轴照明单元实现同轴照明，利用离轴照明单元实现离轴照明，利用同轴照明单元中的数字微镜器件和离轴照明单元中的离轴照明快门实现同轴照明与离轴照明的切换；进一步地，通过更换不同尺寸和图像周期的光栅，利用运动机构带动离轴照明单元前后移动，实现不同数值孔径的离轴照明。
附图说明
图1示意性示出了根据本公开实施例中兼容同轴和离轴的照明装置的结构示意图；
图2示意性示出了根据本公开实施例中同轴照明单元的结构示意图；
图3示意性示出了根据本公开实施例中离轴照明单元的结构示意图；
图4示意性示出了根据本公开实施例离轴照明单元中运动机构的结构示意图；
图5示意性示出了根据本公开实施例中离焦去除栅格效应仿真示意图；
图6示意性示出了根据本公开实施例中DMD栅格实验的结果图；
图7示意性示出了根据本公开实施例中离轴照明单元NA调控原理示意图；
图8示意性示出了根据本公开实施例中当NA发生变化时照明场变化的原理示意图；
图9示意性示出了根据本公开实施例中四级光斑会聚的照明示意图；
附图标记说明：
1，同轴照明单元；1-1，第一光纤扩束镜组；1-2，第一积分镜；1-3，第一聚光镜组；1-4，全内反射镜；1-5，数字微镜器件；1-6，投影镜组；2，离轴照明单元；2-1，离轴照明快门；2-2，第二光纤扩束镜组；2-3，第二积分镜；2-4，运动机构；2-4-1，载物台；2-4-2，导轨；2-4-3，电机；2-5，第二聚光镜组、2-6，第一反射镜组、2-7，第二反射镜组；2-8，基板。
具体实施方式
为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。
在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
需要说明，若本公开实施例中有涉及方向性指示，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
说明书与权利要求中所使用的序数例如“第一”、“第二”、“第三”等的用词，以修饰相应的元件，其本身并不意含或代表该元件有任何的序数，也不代表某一元件与另一元件的顺序、或是制造方法上的顺序，该些序数的使用仅用来使具有某命名的一元件得以和另一具有相同命名的元件能作出清楚区分。
本公开提供了一种兼容同轴和离轴的照明装置，请参见图1，包括：同轴照明单元1；N级离轴照明单元2；基板2-8，用于固定安装同轴照明单元1和N级离轴照明单元2；运动机构2-4，用于带动离轴照明单元2前后移动，以匹配不同尺寸和图像周期的光栅，实现不同的NA照 明。
该照明装置主要包括同轴照明单元1和离轴照明单元2两个部分，利用同轴照明单元1实现同轴照明，利用离轴照明单元1实现离轴照明，且可实现同轴照明和离轴照明的切换；通过更换不同尺寸和图像周期的光栅，利用运动机构2-4带动离轴照明单元2前后移动，实现了不同数值孔径的离轴照明。
同轴照明单元1和离轴照明单元2安装在基板2-8上，可以根据需要在基板2-8上设置N级离轴照明单元2，通过多级离轴照明光斑投影在同一区域形成照明区域，解决了单级离轴照明光场不均匀的问题。运动机构2-4带动单级离轴照明单元2前后移动，匹配不同尺寸和图像周期的光栅，进而实现在指定区域上提供不同NA的照明***，实现了在离轴照明时提高照明NA角的功能需求，满足不同功能的切换。
在上述实施例的基础上，同轴照明单元1沿光路依次包括第一光纤扩束镜组1-1、第一积分镜1-2、第一聚光镜组1-3、全内反射镜(Total Internal Reflector，TIR)1-4、数字微镜器件(Digtial Micromirror Device，DMD)1-5和投影镜组1-6；其中，光纤出射的光通过第一光纤扩束镜组1-1进行扩束，经第一积分镜1-2、第一聚光镜组1-3进行匀化，再通过全内反射镜1-4转向后，均匀照射在数字微镜器件1-5上，经数字微镜器件1-5进行光强调制后，通过投影镜组1-6成像到图形面。
同轴照明单元1的结构示意图如图2所示，光纤出射的光通过第一光纤扩束镜组1-1扩束后，经第一积分镜1-2、第一聚光镜组1-3匀光；匀化后的光通过TIR棱镜转折，均匀照射DMD面，再通过投影镜组1-6成像到图形面；同轴照明单元1还包括镜筒，用于以上这些元件的安装。
在上述实施例的基础上，离轴照明单元2沿光路依次包括离轴照明快门2-1、第二光纤扩束镜组2-2、第二积分镜2-3、第二聚光镜组2-5、第一反射镜组2-6、第二反射镜组2-7；其中，光纤出射的光通过第二光纤扩束镜组2-2进行扩束，经第二积分镜2-3、第二聚光镜组2-5进行匀化，再依次经过第一反射镜组2-6、第二反射镜组2-7转向后成像到图形面；离轴照明快门2-1用于实现离轴照明单元2光路的通断。
离轴照明单元2的结构示意图如图3所示，光纤出射的光通过第二光纤扩束镜组2-2扩束后，经第二积分镜2-3、第二聚光镜组2-5匀光；匀化后的光依次通过第一反射镜组2-6、第二反射镜组2-7转折，均匀照射在图形面(图中未示出)，光路如图3中虚线所示，入射到图形面上的光与图形面法线的夹角为θ。
本公开的兼容同轴和离轴的照明装置及照明的方法，利用同轴照明单元1中的DMD和离轴照明单元中的离轴照明快门2-1实现同轴照明与离轴照明的切换，该装置机械结构紧凑，简易便捷。
在上述实施例的基础上，N级包括单级、二级或四级；其中，N级为多级时，N级离轴照明单元2均匀分布于同轴照明单元1的***。
如图1所示，离轴照明单元2为四级，四级离轴照明单元2均匀分布于同轴照明单元1的***；当然，离轴照明单元2也可以为单级、二级等，可以按实际所需离轴照明单元级数进行选择。
在上述实施例的基础上，如图4所示，运动机构2-4包括：载物台2-4-1，用于固定离轴照明单元2；导轨2-4-2，固定在基板2-8上；电机2-4-3，用于推动载物台2-4-1在导轨2-4-2上前后滑动。
首先给电机2-4-3通电，使其运转，电机2-4-3带动载物台2-4-1在导轨2-4-2上进行前后移动，载物台2-4-1进而带动单级离轴照明单元2前后移动，进而在不同NA时，均能在图形面的指定区域形成照明场。
在上述实施例的基础上，数字微镜器件1-5的照明面设置在离焦的位置。
DMD为微反射镜单元组成的阵列结构，微反射镜单元的尺寸约为14μm左右，通常由多达50至200万的微反射镜单元构成阵列来使用，相连单元间间隙约为1μm，因此在DMD的焦面上会产生清晰的栅格效应，导致不均匀照明。
请参照图5中(a)所示，DMD芯片中相邻像素单元之间存在着0.8μm～1μm间隙，而较高分辨率时，该间隙会在照明光场中焦面上清晰显示出来，从而产生比较清晰的栅格效应，导致不均匀照明，这是照明***设计中应该避免的。因此，本公开通过将照明光场设置在离焦的位 置，以抑制栅格效应。
假设DMD中所有微反射镜输出的照明光在焦面上强度相等，相邻微反射镜间间隙区域的光场强度为0，在离焦1mm处与光轴垂直平面上，通过PSF仿真获得该平面的光场强度分布，如图5中(b)所示。显然，通过选取离焦处的光场作为同轴照明单元1的照明光场，消除了DMD中微反射镜间隙造成的“马赛克”效应，使得像面强度分布连续而光滑。具体离焦量可以通过所需照明场上的均匀系数进行反推得出。
具体地，请参照图6，首先进行了离焦消除同轴照明单元中DMD栅格效应的实验，分别采集不离焦与离焦情况光场分布。如图6中(a)所示，焦面处可以明显可以看出栅格像，离焦1mm后可以得到分布均匀的光场，如图6中(b)所示，验证了离焦可以实现光场匀化。
本公开还提供一种根据前述的兼容同轴和离轴的照明装置进行照明的方法，包括：S1，利用第一光纤扩束镜组1-1将光纤出射的光进行扩束，利用第一积分镜1-2、第一聚光镜组1-3进行匀化，利用全内反射镜1-4将匀化后的光转向，均匀照射在数字微镜器件1-5上；利用数字微镜器件1-5进行光强调制，利用投影镜组1-6成像到图形面，实现同轴照明；S2，利用第二光纤扩束镜组2-2将光纤出射的光进行扩束，利用第二积分镜2-3、第二聚光镜组2-5进行匀化，依次利用第一反射镜组2-6、第二反射镜组2-7将匀化后的光转向后成像到图形面，实现离轴照明；其中，利用数字微镜器件1-5和离轴照明快门2-1实现所述同轴照明与离轴照明的切换。
本公开利用上述兼容同轴和离轴的照明装置进行照明，可通过同轴照明单元的DMD和离轴照明单元的离轴照明快门，实现同轴照明和离轴照明的切换；通过更换不同尺寸和周期的光栅，结合位移运动机构，在指定照明区域实现不同NA的离轴照明，兼顾同轴照明和不同NA离轴照明模式的切换。
在上述实施例的基础上，S1还包括：利用数字微镜器件1-5进行灰度调制控制，以实现照明场任意光场强度分布照明。
当所需照明光场的某些区域强度高、某些区域强度低，即所需照明 光场为非均匀光场时，可以将所需光强弱位置处，数字微镜器件1-5中对应的微反射镜阵列区域调整到关的状态，进而降低该区域光强，即通过DMD灰度调制控制，可实现图形面任意光场强度分布照明。另外，还可以通过调节DMD开、关来实现同轴照明单元1光路的通断。此时，开启离轴照明快门2-1，就可以实现由同轴照明单元1向离轴照明单元2的切换。
在上述实施例的基础上，S2还包括：更换不同尺寸和图像周期的光栅，利用运动机构2-4带动离轴照明单元2前后移动，实现不同数值孔径的离轴照明。
单级离轴照明单元2匹配不同周期的光栅，可实现照明***NA的变化。运动机构2-4带动单级离轴照明单元2前后移动，带动照明光场到达指定位置。
如图7所示，照明光栅周期与照明***NA的相互关系如下：
Figure PCTCN2022143397-appb-000001
其中，d表示所需光栅周期，n 1表示光栅基底折射率；n 2表示入射面折射率；
Figure PCTCN2022143397-appb-000002
表示衍射角；θ表示入射角；k表示衍射级次；λ表示波长。
Figure PCTCN2022143397-appb-000003
可以根据所需NA进行光栅周期d的计算：
Figure PCTCN2022143397-appb-000004
由于使用不同周期d的光栅，在照明***的数值孔径NA发生变化时，由于衍射角变化，如果离轴照明单元的位置不发生变化，那么衍射光线在图形面A2形成的照明场的位置会发生变化，这就造成了当NA发生变化时，无法在所需区域形成照明场。为了在指定区域形成照明场，如图8中所示的D1区域，单级的离轴照明单元2需在运动机构2-4的带动下前后移动，形成所需照明场。如当NA变大时，衍射角度
Figure PCTCN2022143397-appb-000005
变大，为了此时形成的照明场，与NA较小时形成的照明场均位于D1范围内，运动机构2-4需带动单级离轴照明单元2向后移动。与之相反，当NA变小时，衍射角度
Figure PCTCN2022143397-appb-000006
变小，为了此时形成的照明场，与NA较大时形成的照明场均位于D1范围内，运动机构2-4需带动单级离轴照明单元2 向中心移动。
在上述实施例的基础上，S2还包括：使用多级离轴照明单元2进行光线叠加，并选取光线叠加的区域为照明光场。
请参照图9，由于单级的离轴照明单元2光强均匀性较差，通常使用多级离轴照明单元2进行光线的叠加，并选取重叠区域为照明光场，如图9所示，例如当离轴照明单元2为四级时，通过位移运动机构2-4，将四级光斑会聚在图形面上，并选取其中间的重叠区域，为最终的照明光场，以增加其光强均匀性。
综上，本公开提供了一种同轴、大数值孔径多极离轴照明***装置及照明方法，在实现同轴照明时，光场分布可调控；在实现离轴照明时，提高了照明NA角的功能需求，且满足不同照明模式的切换。
以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (10)

  1. 一种兼容同轴和离轴的照明装置，其特征在于，包括：
    同轴照明单元(1)；
    N级离轴照明单元(2)；
    基板(2-8)，用于固定安装所述同轴照明单元(1)和N级所述离轴照明单元(2)；运动机构(2-4)，用于带动所述离轴照明单元(2)前后移动，以匹配不同尺寸和图像周期的光栅，实现不同的NA照明。
  2. 根据权利要求1所述的兼容同轴和离轴的照明装置，其特征在于，所述同轴照明单元(1)沿光路依次包括第一光纤扩束镜组(1-1)、第一积分镜(1-2)、第一聚光镜组(1-3)、全内反射镜(1-4)、数字微镜器件(1-5)和投影镜组(1-6)；其中，光纤出射的光通过所述第一光纤扩束镜组(1-1)进行扩束，经所述第一积分镜(1-2)、所述第一聚光镜组(1-3)进行匀化，再通过所述全内反射镜(1-4)转向后，均匀照射在所述数字微镜器件(1-5)上，经所述数字微镜器件(1-5)进行光强调制后，通过所述投影镜组(1-6)成像到图形面。
  3. 根据权利要求1所述的兼容同轴和离轴的照明装置，其特征在于，所述离轴照明单元(2)沿光路依次包括离轴照明快门(2-1)、第二光纤扩束镜组(2-2)、第二积分镜(2-3)、第二聚光镜组(2-5)、第一反射镜组(2-6)、第二反射镜组(2-7)；其中，光纤出射的光通过所述第二光纤扩束镜组(2-2)进行扩束，经所述第二积分镜(2-3)、第二聚光镜组(2-5)进行匀化，再依次经过所述第一反射镜组(2-6)、所述第二反射镜组(2-7)转向后成像到图形面；所述离轴照明快门(2-1)用于实现所述离轴照明单元(2)光路的通断。
  4. 根据权利要求1所述的兼容同轴和离轴的照明装置，其特征在于，所述N级包括单级、二级或四级；
    其中，N级为多级时，N级所述离轴照明单元(2)均匀分布于所述同轴照明单元(1)的***。
  5. 根据权利要求4所述的兼容同轴和离轴的照明装置，其特征在于，所述运动机构(2-4)包括：
    载物台(2-4-1)，用于固定所述离轴照明单元(2)；
    导轨(2-4-2)，固定在所述基板(2-8)上；
    电机(2-4-3)，用于推动所述载物台(2-4-1)在所述导轨(2-4-2)上前后滑动。
  6. 根据权利要求1所述的兼容同轴和离轴的照明装置，其特征在于，所述数字微镜器件(1-5)的照明面设置在离焦的位置。
  7. 一种根据权利要求1～6中任意一项所述的兼容同轴和离轴的照明装置进行照明的方法，其特征在于，包括：
    S1，利用第一光纤扩束镜组(1-1)将光纤出射的光进行扩束，利用第一积分镜(1-2)、第一聚光镜组(1-3)进行匀化，利用全内反射镜(1-4)将匀化后的光转向，均匀照射在所述数字微镜器件(1-5)上；利用所述数字微镜器件(1-5)进行光强调制，利用投影镜组(1-6)成像到图形面，实现同轴照明；
    S2，利用第二光纤扩束镜组(2-2)将光纤出射的光进行扩束，利用第二积分镜(2-3)、第二聚光镜组(2-5)进行匀化，依次利用第一反射镜组(2-6)、所述第二反射镜组(2-7)将匀化后的光转向后成像到图形面，实现离轴照明；
    其中，利用所述数字微镜器件(1-5)和离轴照明快门(2-1)实现所述同轴照明与所述离轴照明的切换。
  8. 根据权利要求7所述的根据兼容同轴和离轴的照明装置进行照明的方法，其特征在于，所述S1还包括：
    利用所述数字微镜器件(1-5)进行灰度调制控制，以实现照明场任意光场强度分布照明。
  9. 根据权利要求7所述的根据兼容同轴和离轴的照明装置进行照明的方法，其特征在于，所述S2还包括：
    更换不同尺寸和图像周期的光栅，利用运动机构(2-4)带动离轴照明单元(2)前后移动，实现不同数值孔径的离轴照明。
  10. 根据权利要求9所述的根据兼容同轴和离轴的照明装置进行照明的方法，其特征在于，所述S2还包括：
    使用多级离轴照明单元(2)进行光线叠加，并选取所述光线叠加的区域为照明光场。
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