WO2023188154A1 - 電子部品洗浄方法 - Google Patents
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- H01L21/52—Mounting semiconductor bodies in containers
Definitions
- the present disclosure relates to a method for cleaning the surface of electronic components such as wafers, semiconductor chips, and substrates.
- Patent Document 1 describes that when bonding two wafers, the surface of the wafer is scrubbed with a cleaning device, the surface of the wafer is modified with plasma treatment, and the surface of the wafer is made hydrophilic with pure water. A joining system for joining is disclosed.
- Patent Document 1 when the surface of the wafer is modified with plasma and then hydrophilized with pure water, the hydrophilicity of the surface deteriorates over time. In some cases, the bonding quality deteriorates.
- the present disclosure aims to maintain the surface of an electronic component in a highly hydrophilic state.
- the electronic component cleaning method of the present disclosure is an electronic component cleaning method that cleans the surface of an electronic component, and includes a wet cleaning step of wet cleaning the surface of the electronic component with a liquid, and after the wet cleaning, an atmospheric pressure plasma is used to clean the surface of the electronic component.
- the surface of the electronic component can be kept in a highly hydrophilic state, and the bonding quality can be improved.
- the hydrogen water treatment step may be started immediately after the dry cleaning step ends.
- the hydrogen water treatment step may be started within 30 seconds after the end of the dry cleaning step, or the hydrogen water treatment step may be started within 10 seconds after the end of the dry cleaning step.
- the surface of the electronic component can be kept in a highly hydrophilic state for a longer period of time.
- the hydrogen water treatment step may include spraying ultrasonically excited hydrogen water onto the surface of the electronic component.
- the hydrophilicity of the surface of the electronic component can be increased.
- the electronic component may be a wafer, a semiconductor chip, or a substrate for a semiconductor device.
- the semiconductor chip may be attached onto the support material.
- the surface of an electronic component can be kept in a highly hydrophilic state.
- FIG. 1 is a plan view of the first floor of an electronic component cleaning apparatus for carrying out an electronic component cleaning method according to an embodiment
- FIG. FIG. 2 is a plan view of the second floor of the electronic component cleaning apparatus shown in FIG. 1.
- FIG. FIG. 2 is an elevational sectional view of a wet cleaning unit and a dry cleaning unit of the electronic parts cleaning apparatus shown in FIG. 1.
- FIG. 2 is a system diagram showing a control system of the electronic parts cleaning apparatus shown in FIG. 1.
- FIG. 2 is a flowchart showing operations when the electronic component cleaning apparatus shown in FIG. 1 executes the electronic component cleaning method of the embodiment.
- FIG. 4 is a diagram showing an operation when the electronic component cleaning apparatus shown in FIG.
- FIG. 3 executes the electronic component cleaning method of the embodiment, and is an elevational sectional view showing a state in which a wafer is held on a processing stage.
- FIG. 4 is a diagram illustrating an operation when the electronic component cleaning apparatus shown in FIG. 3 executes the electronic component cleaning method of the embodiment, and is a vertical sectional view during wet cleaning. 4 is a diagram illustrating the operation of the electronic component cleaning apparatus shown in FIG. 3 when performing the electronic component cleaning method of the embodiment, and is an elevational cross-sectional view illustrating a state in which a wafer is moved from a wet cleaning chamber to a dry cleaning chamber.
- FIG. . FIG. 4 is a diagram illustrating an operation when the electronic component cleaning apparatus shown in FIG.
- FIG. 3 executes the electronic component cleaning method of the embodiment, and is a vertical sectional view during dry cleaning.
- FIG. 4 is a diagram illustrating an operation when the electronic component cleaning apparatus shown in FIG. 3 executes the electronic component cleaning method of the embodiment, and is a sectional view during hydrogen water treatment. Changes in pure water contact angle and hydrophilicity over time after dry cleaning with atmospheric pressure plasma, and changes in pure water contact angle and hydrophilicity after hydrogen water treatment after dry cleaning with atmospheric pressure plasma. It is a graph showing a change over time.
- FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of an electronic component cleaning apparatus according to another embodiment that executes the electronic component cleaning method according to the embodiment. 13 is a system diagram showing a control system of the electronic parts cleaning apparatus shown in FIG. 12.
- FIG. 13 is a flowchart showing an operation when the electronic parts cleaning apparatus shown in FIG. 12 executes an electronic parts cleaning method of another embodiment.
- FIG. 3 is a cross-sectional view showing a semiconductor chip pasted on a dicing film and a ring to which the dicing film is attached.
- an electronic component cleaning apparatus 100 that executes an electronic component cleaning method according to an embodiment will be described with reference to the drawings.
- the electronic component cleaning apparatus 100 cleans the surface 81 of the wafer 80, which is an electronic component. Cleaning can be performed, and the surface of a substrate for a semiconductor device to which the semiconductor chip 85 is bonded can also be cleaned.
- the electronic component cleaning apparatus 100 has a two-story structure with a first-story surface shown in FIG. 1 and a second-story surface shown in FIG. 2.
- a wet cleaning unit 10 and a horizontal transport unit 60 are arranged adjacent to each other on the first floor.
- a control unit 17 is arranged on the first floor.
- a dry cleaning unit 40 is arranged to overlap the wet cleaning unit 10.
- the wet cleaning unit 10 includes a substantially rectangular parallelepiped casing 11, a wet cleaning chamber 13 disposed inside the casing 11, a processing stage 14, and a stage drive for driving the processing stage 14.
- the device 16 the water nozzle 21, the ultrasonic vibrator 22, the nozzle arm 23, the nozzle arm drive section 24, the wiping head 31, the head arm 32, the head arm drive section 33, and the rotary press drive section 35.
- a wiping member 34 , a pure water tank 26 , a hydrogen water tank 27 , an ozone water tank 28 , and a cleaning water tank 37 .
- the processing stage 14 is a disk-shaped member that holds the wafer 80 on its upper surface.
- a shaft 15 is connected to the lower side of the processing stage 14 .
- the shaft 15 is rotated by the stage drive device 16 as shown by an arrow 95a in FIG. 3, and is also driven in the vertical direction as shown by an arrow 95b in FIG. Therefore, the processing stage 14 is rotated and driven in the vertical direction while holding the wafer 80 by the stage driving device 16.
- the processing stage 14 transports the wafer 80 in the vertical direction between the wet cleaning chamber 13 of the wet cleaning unit 10 and the dry cleaning chamber 44 of the dry cleaning unit 40 when the shutter 48 is opened. Configure a transport unit to
- the water nozzle 21 is arranged above the processing stage 14 and sprays pure water, ozone water, and hydrogen water onto the wafer 80 held on the upper surface of the processing stage 14.
- the water nozzle 21 is attached to the tip of a nozzle arm 23.
- a root portion of the nozzle arm 23 is connected to a nozzle arm drive section 24.
- the nozzle arm drive section 24 rotates the nozzle arm 23 within a plane as shown by an arrow 91 in FIG. .
- An ultrasonic vibrator 22 is attached to the top of the water nozzle 21 to apply ultrasonic vibrations to the pure water, hydrogen water, and ozone water jetted from the water nozzle 21.
- the wiping head 31 is arranged above the processing stage 14, and rotates the wiping member 34 attached to the lower end in the direction of an arrow 95c shown in FIG.
- the wiping member 34 is brought into contact with the upper surface to wipe and clean the surface 81 of the wafer 80.
- the wiping member 34 may be, for example, a woven or knitted fabric using microfibers.
- the wiping head 31 includes a cleaning water nozzle that sprays cleaning water toward the wafer 80 .
- the wiping head 31 is attached to the tip of the head arm 32.
- the base of the head arm 32 is connected to a head arm drive section 33.
- the head arm driving unit 33 rotates the head arm 32 within a plane as shown by an arrow 92 in FIG. .
- the wet cleaning chamber 13 is a circular pan that is provided below the processing stage 14 and receives pure water, ozone water, hydrogen water jetted from the water nozzle 21, or cleaning water jetted from the wiping head 31. , the opening narrows towards the top. The upper opening is large enough to allow the wafer 80 to be taken in and taken out.
- the pure water tank 26, hydrogen water tank 27, and ozone water tank 28 are tanks that store pure water, hydrogen water, and ozone water, respectively.
- hydrogen water is water in which hydrogen gas is dissolved
- ozone water is water in which ozone gas is dissolved in water.
- the cleaning water tank 37 stores cleaning water such as pure water, hydrogen water, alkali-added hydrogen water, carbonated water, etc., for example.
- the pure water tank 26, hydrogen water tank 27, and ozone water tank 28 are connected to the water nozzle 21 through a pure water valve 26a, a hydrogen water valve 27a, an ozone water valve 28a, and piping 25, respectively. Further, the cleaning water tank 37 is connected to the wiping head 31 through a cleaning water valve 37a and piping 36.
- a horizontal transport unit 60 is arranged adjacent to the wet cleaning unit 10 on the first floor.
- the lateral transfer unit 60 includes a casing 61, a wafer transfer stage 63 disposed inside the casing 61, and a lateral transfer robot 64 as a lateral transfer device.
- the wafer transfer stage 63 is a stage that receives an uncleaned wafer 80 from the outside and also transfers a cleaned wafer 80.
- An opening 66 for transporting the wafer 80 between the horizontal transport unit 60 and the wet cleaning unit 10 is provided in the side wall 11a of the casing 11 of the wet cleaning unit 10 and the side wall 61a of the horizontal transport unit 60.
- the lateral transfer robot 64 transfers the wafer 80 between the wafer transfer stage 63 and the processing stage 14 of the wet cleaning unit 10 through the opening 66, as shown by an arrow 93 in FIG.
- the dry cleaning unit 40 has a substantially rectangular parallelepiped casing 41 that is placed over the top of the casing 11 of the wet cleaning unit 10, a floor plate 42, a ceiling plate 43, and a ceiling rail 46. , an atmospheric pressure plasma head 51 , a plasma ignition device 52 , a plasma gas tank 53 , and a plasma head drive section 56 .
- a space partitioned by the wall of the casing 41, the floor plate 42, and the ceiling plate 43 constitutes a dry cleaning chamber 44 in which a dry cleaning process is performed using atmospheric pressure plasma injected from the atmospheric pressure plasma head 51. Further, the space above the ceiling plate 43 constitutes an equipment arrangement space 45 into which atmospheric pressure plasma does not enter.
- the atmospheric pressure plasma head 51 includes, for example, a ceramic tube through which plasma gas flows, a negative electrode placed outside the ceramic tube, and a ground electrode placed inside the ceramic tube.
- a device may also be used in which a plurality of plasma generators are arranged in a row to generate a discharge in the ceramic tube by applying a high voltage therebetween, and to eject plasma from the tip.
- the atmospheric pressure plasma head 51 is attached to the ceiling rail 46 via a plasma head drive section 56.
- the plasma head drive unit 56 reciprocates the atmospheric pressure plasma head 51 in the horizontal direction, as shown by an arrow 94a in FIG.
- an opening 47 is provided that allows the processing stage 14 to move in the vertical direction.
- a shutter 48 for opening and closing the opening 47 is provided below the floorboard 42.
- the shutter 48 opens and closes the opening 47 by sliding as shown by an arrow 94b in FIG. 2 by a drive unit (not shown).
- the processing stage 14 of the wet cleaning unit 10 can move upward as shown by an arrow 95d and move from the wet cleaning chamber 13 into the dry cleaning chamber 44. becomes.
- Shutter 48 is closed after processing stage 14 has been moved into dry cleaning chamber 44 .
- a semicircular notch 49 (see FIG. 2 ) is provided.
- the plasma ignition device 52 is a device that supplies high voltage to electrodes arranged inside the atmospheric pressure plasma head 51, and is connected to the atmospheric pressure plasma head 51 by a connecting wire 55.
- the plasma gas tank 53 is a tank that stores plasma gas.
- an inert gas such as argon or helium may be used.
- the plasma gas tank 53 and the atmospheric pressure plasma head 51 are connected by a plasma gas valve 53a and a pipe 54.
- the control unit 17 is a computer that includes a CPU 18 and a memory 19 inside. As shown in FIG. 4, the control unit 17 includes the nozzle arm drive unit 24 of the wet cleaning unit 10, the ultrasonic vibrator 22, the pure water valve 26a, the hydrogen water valve 27a, the ozone water valve 28a, the head arm drive unit 33, It is connected to the rotary pressure drive unit 35, the cleaning water valve 37a, the stage driving device 16, and the shutter 48, and adjusts the operation of each device of the wet cleaning unit 10 and the processing stage 14 that constitutes the transport unit. Further, the control unit 17 is connected to the atmospheric pressure plasma head 51, the plasma head drive unit 56, the plasma ignition device 52, and the plasma gas valve 53a, and adjusts the operation of each device of the dry cleaning unit 40. Further, the control unit 17 is connected to the lateral transfer robot 64 of the lateral transfer unit 60 and adjusts the operation of the lateral transfer robot 64.
- the shutter 48 is closed, and the wet cleaning unit 10 and the dry cleaning unit 40 are separated by the floor plate 42 of the casing 41 of the dry cleaning unit 40 and the shutter 48. . Further, as shown in FIG. 1, the nozzle arm 23 and the head arm 32 are retracted to a position where the water nozzle 21 and the wiping head 31 do not overlap the processing stage 14.
- control unit 17 operates the horizontal transfer robot 64 shown in FIG. It is then carried into the wet cleaning unit 10 and placed on the processing stage 14.
- the control unit 17 causes the wafer 80 to be held on the upper surface of the processing stage 14 .
- the control unit 17 performs wet cleaning on the front surface 81 of the wafer 80 in steps S102 to S104 in FIG.
- steps S102 to S104 in FIG. 5 constitute a wet cleaning process.
- the control unit 17 performs hydrogen water cleaning as shown in step S102 in FIG.
- the control unit 17 operates the nozzle arm drive section 24 to rotate the nozzle arm 23 and move the water nozzle 21 upward to the processing stage 14. Then, the control unit 17 rotates the processing stage 14 using the stage driving device 16, opens the hydrogen water valve 27a, and sprays hydrogen water from the water nozzle 21 toward the wafer 80 to clean the wafer 80. At this time, the control unit 17 operates the ultrasonic vibrator 22 to apply ultrasonic vibration to the hydrogen water, and injects the ultrasonic-excited hydrogen water onto the surface of the wafer 80 .
- the control unit 17 performs wiping cleaning with pure water in step S103 of FIG.
- the control unit 17 operates the head arm drive section 33 to rotate the head arm 32 and move the wiping head 31 above the processing stage 14. Since the water nozzle 21 has been moved upward to the processing stage 14 during the previous hydrogen water cleaning, the control unit 17 opens the pure water valve 26a and injects pure water from the water nozzle 21 toward the wafer 80.
- the rotation pressing drive unit 35 of the wiping head 31 is operated to rotate the wiping member 34 and bring it into contact with the upper surface of the wafer 80 .
- the control unit 17 causes the head arm driving section 33 to move the wiping head 31 along the surface 81 of the wafer 80 to wipe and clean the surface 81 of the wafer 80 .
- the control unit 17 may perform wiping cleaning of the surface 81 of the wafer 80 while opening the cleaning water valve 37a and jetting cleaning water from the wiping head 31.
- step S104 of FIG. 5 the control unit 17 again performs hydrogen water cleaning similar to step S102 of FIG.
- step S102 By wet cleaning from step S102 to step S104 in FIG. 5, inorganic and organic foreign matter are removed from the surface 81 of the wafer 80.
- control unit 17 transports the wet-cleaned wafer 80 from the wet cleaning chamber 13 to the dry cleaning chamber 44 in steps S105 to S108 in FIG.
- the control unit 17 opens the shutter 48 in step S105 of FIG. Further, the control unit 17 operates the nozzle arm drive section 24 and the head arm drive section 33, so that the nozzle arm 23, the head arm 32, the water nozzle 21, and the wiping head 31 are in a position where they do not overlap the processing stage 14. Evacuate.
- the control unit 17 opens the shutter 48 as shown in FIG. 8
- the control unit 17 operates the stage drive device 16 to move the processing stage 14 in the direction indicated by the arrow 95d in FIG. 8 in step S107 in FIG. so that it rises. Accordingly, the control unit 17 moves the processing stage 14 from the wet cleaning chamber 13 into the dry cleaning chamber 44 and transports the wafer 80 from the wet cleaning chamber 13 into the dry cleaning chamber 44 .
- control unit 17 closes the shutter 48 in step S108 in FIG.
- step S109 in FIG. 5 constitutes a dry cleaning process.
- the control unit 17 operates the plasma head drive section 56 to move the atmospheric pressure plasma head 51 above the processing stage 14, as shown in FIG. Then, the control unit 17 operates the plasma ignition device 52 to supply high voltage from the plasma ignition device 52 to the atmospheric pressure plasma head 51, and opens the plasma gas valve 53a to supply a large amount of plasma gas from the plasma gas tank 53.
- the atmospheric pressure plasma is supplied to the atmospheric pressure plasma head 51, and atmospheric pressure plasma is generated within the atmospheric pressure plasma head 51.
- the control unit 17 operates the plasma head drive section 56 as shown by an arrow 96 in FIG. Inject to.
- step S109 in FIG. 5 foreign matter adhering to the surface 81 of the wafer 80 is removed by irradiation with atmospheric pressure plasma, and the surface of the wafer 80 is subjected to hydrophilic treatment. Therefore, after dry cleaning, the surface 81 of the wafer 80 is highly hydrophilic.
- control unit 17 transports the dry cleaned wafer 80 from the dry cleaning chamber 44 to the wet cleaning chamber 13 in steps S110 to S112 in FIG.
- the control unit 17 opens the shutter 48 in step S110 of FIG. 5, operates the stage drive device 16 to lower the processing stage 14 in step S111 of FIG.
- the wafer 80 is transferred from the dry cleaning chamber 44 into the wet cleaning chamber 13 by moving the wafer 80 from the cleaning chamber 44 into the wet cleaning chamber 13 .
- the control unit 17 closes the shutter 48 in step S112 of FIG.
- step S113 in FIG. 5 constitutes a hydrogen water treatment process. Similar to the hydrogen water cleaning described in step S102 of FIG. 5, as shown in FIG.
- the processing stage 14 is rotated by the stage drive device 16, and the hydrogen water valve 27a is opened to inject hydrogen water from the water nozzle 21 toward the wafer 80 to perform hydrogen water treatment on the wafer 80.
- the control unit 17 operates the ultrasonic vibrator 22 to apply ultrasonic vibration to the hydrogen water, and injects the ultrasonic-excited hydrogen water onto the surface of the wafer 80 .
- the hydrogen water treatment is similar to the hydrogen water cleaning in steps S102 and S104 in FIG.
- the time is shorter than the hydrogen water cleaning in steps S102 and S104 in FIG.
- control unit 17 After finishing the hydrogen water treatment, the control unit 17 proceeds to step S114 in FIG. 5 and performs a spin drying process.
- the control unit 17 rotates the processing stage 14 at high speed using the stage drive device 16, and uses centrifugal force to blow hydrogen water remaining on the surface 81 of the wafer 80 to the outer circumferential side, thereby drying the surface 81.
- control unit 17 proceeds to step S115 in FIG. 5 and unloads the wafer 80 from the wet cleaning unit 10.
- the control unit 17 operates the horizontal transfer robot 64 shown in FIG. The wafer is placed on the wafer transfer stage 63 of the horizontal transfer unit 60.
- a solid line a in FIG. 11 indicates that, like the cleaning operation of the wafer 80 of the electronic component cleaning apparatus 100 of the embodiment described above, hydrophilization by hydrogen water treatment is performed immediately after dry cleaning by atmospheric pressure plasma is performed.
- 12 shows the time change of the contact angle of pure water on the surface 81 in the case of the present invention.
- a broken line b in FIG. 11 shows the change over time in the contact angle of pure water on the surface 81 when only dry cleaning using atmospheric pressure plasma is performed.
- the pure water contact angle is the angle formed between the liquid level and the surface 81 at a place where the free surface of stationary pure water contacts the surface 81, and when the pure water contact angle is large, the hydrophilicity is low; When the pure water contact angle is small, the hydrophilicity becomes high.
- the contact angle of pure water on the surface of the wafer 80 changes from time t2 to time t3 as shown by the arrow d in FIG. During this period, the temperature shifts to a higher state than at the end of the dry cleaning, and after that, it gradually rises. To put this in terms of changes in hydrophilicity, the hydrophilicity of the surface 81 of the wafer 80 transitions to a state lower than that at the end of hydrophilization between time t2 and time t3, and then gradually decreases. becomes.
- hydrophilicity is performed by hydrogen water treatment immediately after dry cleaning using atmospheric pressure plasma, hydrophilicity higher than the hydrophilicity at the end of hydrogen water treatment can be maintained for a long time.
- hydrophilicity increases over time after the hydrogen water treatment is completed is thought to be because hydroxyl groups are attached to the surface 81 of the wafer 80 due to the hydrogen water treatment.
- the inventor's research has shown that if the time between dry cleaning using atmospheric pressure plasma and the start of hydrogen water treatment is not short, hydrophilicity increases over time after the hydrogen water treatment ends, as described above. I know that I will not be able to get it.
- the dry cleaning unit 40 is stacked on top of the wet cleaning unit 10, and the processing stage 14 is moved up and down to transfer the wafer 80 to the dry cleaning unit. 40 and the wet cleaning unit 10, the interval between the dry cleaning process using atmospheric pressure plasma and the hydrophilization process using hydrogen water treatment process is shortened.
- the hydrogen water treatment process can be started immediately after the dry cleaning process using atmospheric pressure plasma ends, more specifically, 5 to 10 seconds after the dry cleaning process ends. Therefore, the electronic component cleaning apparatus 100 of the embodiment can maintain the hydrophilicity of the surface 81 of the wafer 80 in a high state for a long time, and can improve bonding quality.
- FIGS. 12 to 14 An electronic component cleaning apparatus 200 that executes the electronic component cleaning method of the embodiment will be described with reference to FIGS. 12 to 14.
- the same parts as those of the electronic component cleaning apparatus 100 previously described with reference to FIGS. 1 to 11 are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.
- a vertical conveyance unit 70 is arranged adjacent to the side walls 11b and 41b of the wet cleaning unit 10 and the dry cleaning unit 240, which are arranged one above the other.
- the vertical transport unit 70 transports the wafer 80 between the wet cleaning chamber 13 and the dry cleaning chamber 44 .
- the electronic component cleaning apparatus 200 includes a control unit 17.
- the vertical transport unit 70 includes a casing 71 and a vertical transport device 75 disposed inside the casing 71.
- the casing 71 is a substantially rectangular parallelepiped member that is disposed adjacent to the side surfaces of the wet cleaning unit 10 and the dry cleaning unit 240 and extends vertically across the wet cleaning unit 10 and the dry cleaning unit 240.
- An opening 72a is provided in the first floor side wall 72 of the casing 71 and communicates with the opening 11c of the side wall 11b of the casing 11 of the wet cleaning unit 10.
- the side wall 73 on the second floor is provided with an opening 73a that communicates with the opening 41c of the side wall 41b of the casing 41 of the dry cleaning unit 240.
- Shutters 72b and 73b are attached to the openings 72a and 73a, respectively.
- the vertical transport device 75 is disposed inside the casing 71 and transports the wafer 80 in and out of the wet cleaning chamber 13 and the dry cleaning chamber 44, and also transports the wafer 80 between the wet cleaning chamber 13 and the dry cleaning chamber 44. .
- the vertical conveyance device 75 includes a main body 76 that moves vertically as indicated by an arrow 99 in FIG. 12, and a chuck 77 that is attached to the top of the main body 76 and slides horizontally. ing.
- the chuck 77 grips the wafer 80 and reciprocates in the horizontal direction as indicated by arrows 98a and 98b shown in FIG.
- the wet cleaning unit 10 has the same configuration as the wet cleaning unit 10 of the electronic component cleaning apparatus 100 previously described with reference to FIGS. 1 to 11, except that the side wall 11b of the casing 11 is provided with an opening 11c. .
- the dry cleaning unit 240 includes a processing stage 58 that holds the wafer 80 inside the dry cleaning chamber 44, and a slide drive section 57 that reciprocates the processing stage 58 in the direction of arrow 97 shown in FIG.
- the atmospheric pressure plasma head 51 is attached to the ceiling rail 46 with a bracket 56a, and unlike the dry cleaning unit 40 previously described with reference to FIGS. 1 to 11, the atmospheric pressure plasma head 51 does not move back and forth. Furthermore, an opening 41c is provided in the side wall 41b of the casing 41.
- the control unit 17 includes the nozzle arm drive section 24 of the wet cleaning unit 10, the ultrasonic vibrator 22, the pure water valve 26a, the hydrogen water valve 27a, and the ozone water valve 28a. , the head arm drive section 33, the rotary pressure drive section 35, the wash water valve 37a, the stage drive device 16, and the shutter 72b, and adjusts the operation of each device of the wet cleaning unit 10. Further, the control unit 17 is connected to the atmospheric pressure plasma head 51, the slide drive unit 57, the plasma ignition device 52, the plasma gas valve 53a, and the shutter 73b, and adjusts the operation of each device of the dry cleaning unit 40. Furthermore, the control unit 17 is connected to the vertical conveyance device 75 of the vertical conveyance unit 70 and adjusts the operation of the vertical conveyance device 75.
- step S101 of FIG. 14 the control unit 17 of the electronic parts cleaning apparatus 200 operates the vertical transport device 75 to carry the wafer 80 into the wet cleaning unit 10, and similarly to the electronic parts cleaning apparatus 100, the process starts from step S102 of FIG. A wet cleaning process is performed in S104.
- the control unit 17 opens the shutters 72b and 73b in step S105 in FIG. 14, operates the vertical conveyance device 75 in step S201 in FIG. The wafer 80 is transported. After the transfer of the wafer 80 is completed, the control unit 17 closes the shutters 72b and 73b in step S108 of FIG. Then, in step S109 of FIG. 14, the control unit 17 performs a dry cleaning process by reciprocating the processing stage 58 holding the wafer 80 on its upper surface using the slide drive unit 57. When the dry cleaning process is completed, the control unit 17 opens the shutters 72b and 73b in step S110 of FIG. 14, and transports the wafer 80 to the wet cleaning unit 10 by the vertical transport device 75 in step S202 of FIG.
- control unit 17 closes the shutters 72b and 73b in step S112 of FIG. 14, proceeds to step S113 of FIG. 14, and performs a hydrogen water treatment process in the wet cleaning unit 10.
- control unit 17 unloads the wafer 80 from the wet cleaning unit 10 using the vertical transport device 75 in step S115 in FIG.
- the electronic component cleaning apparatus 200 can start hydrophilization by the hydrogen water treatment process immediately after the dry cleaning process using atmospheric pressure plasma is completed, so that the surface 81 of the wafer 80 can be made hydrophilic. It is possible to maintain a high condition and improve bonding quality.
- the electronic component cleaning apparatuses 100 and 200 were described as cleaning the surface 81 of the wafer 80 by executing the electronic component cleaning method of the embodiment, but they can also clean the surface of the semiconductor chip 85.
- the semiconductor chips 85 are divided by attaching a silicon dicing film 87 as a supporting material to the lower surface of the disk-shaped wafer 80 and making cuts in a grid pattern from the upper side with a dicing saw. It is something.
- the upper surface of the outer periphery of the dicing film 87 is attached to a ring 86 . Therefore, the semiconductor chip 85 is attached to the upper surface of the dicing film 87 and is handled together with the ring 86.
- Reference numeral 89 shown in FIG. 15 indicates the front surface 89 of the semiconductor chip 85.
- the semiconductor chip 85 is not limited to being stuck on the dicing film 87, but may be stuck on a silicon wafer, a glass plate, or a substrate.
- the wet cleaning process was described as being performed using hydrogen water, but the wet cleaning process is not limited to this, and may be performed using ozone water. Further, in the hydrogen water cleaning step and the hydrogen water treatment step, hydrogen water may be injected onto the surface 81 of the wafer 80 without ultrasonic vibration.
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Abstract
ウェーハの表面の洗浄を行う電子部品洗浄方法であって、水素水と純水によりウェーハの表面のウェット洗浄を行うウェット洗浄工程(S102~S104)と、ウェット洗浄の後に、大気圧プラズマにより電子部品の表面のドライ洗浄を行うドライ洗浄工程(S109)と、ドライ洗浄工程の後に、水素ガスを水に溶解した水素水を用いてウェーハの表面の洗浄を行う水素水処理工程(S113)と、を含む。
Description
本開示は、ウェーハ、半導体チップ、基板等の電子部品の表面の洗浄を行う方法に関する。
接合により半導体装置を製造する際には、シリコンウェーハや化合物半導体ウェーハ等のウェーハの表面の洗浄が必要となる。特許文献1には、2枚のウェーハの接合を行う際に、洗浄装置によってウェーハの表面を擦り洗いし、プラズマ処理によりウェーハの表面改質を行い、純水によってウェーハの表面を親水化した後に接合する接合システムが開示されている。
しかし、特許文献1に記載された従来技術のように、プラズマによって表面の改質処理を行った後、純水によってウェーハの表面の親水化処理を行う場合には、時間と共に表面の親水性が低下してしまい、ボンディング品質が低下する場合があった。
そこで、本開示は、電子部品の表面を親水性の高い状態に保つことを目的とする。
本開示の電子部品洗浄方法は、電子部品の表面の洗浄を行う電子部品洗浄方法であって、液体により電子部品の表面のウェット洗浄を行うウェット洗浄工程と、ウェット洗浄の後に、大気圧プラズマにより電子部品の表面のドライ洗浄を行うドライ洗浄工程と、ドライ洗浄工程の後に、水素ガスを水に溶解した水素水を用いて電子部品の表面の親水化を行う水素水処理工程と、を含むことを特徴とする。
このように、大気圧プラズマによるドライ洗浄の後に水素水処理を行うことにより、電子部品の表面を親水性の高い状態に保つことができ、ボンディング品質を向上させることができる。
本開示の電子部品洗浄方法において、ドライ洗浄工程の終了の直後に水素水処理工程を開始してもよい。ここで、ドライ洗浄工程の終了後30秒以内に水素水処理工程を開始してよいし、ドライ洗浄工程の終了後10秒以内に水素水処理工程を開始してよい。
これにより、より長い時間電子部品の表面を親水性の高い状態に保つことができる。
本開示の電子部品洗浄方法において、水素水処理工程は、超音波加振した水素水を電子部品の表面に噴射してもよい。
これにより、電子部品の表面の親水性を高めることができる。
本開示の電子部品洗浄方法において、電子部品は、ウェーハ、半導体チップ、又は半導体装置用の基板でもよい。ここで、半導体チップは、支持材の上に貼り付けられてもよい。
本開示は、電子部品の表面を親水性の高い状態に保つことができる。
以下、図面を参照しながら実施形態の電子部品洗浄方法を実行する電子部品洗浄装置100について説明する。尚、以下の説明では、電子部品洗浄装置100によって電子部品であるウェーハ80の表面81の洗浄を行う場合について説明するが、電子部品洗浄装置100は半導体チップ85の表面89(図15参照)の洗浄を行うこともできるし、半導体チップ85をボンディングする半導体装置用の基板の表面の洗浄を行うこともできる。
図1、2に示すように、電子部品洗浄装置100は、図1に示す一階面と、図2に示す二階面との二階構造である。図1に示すように、一階面には、ウェット洗浄ユニット10と、横搬送ユニット60とが隣接して配置されている。また、一階面には、制御ユニット17が配置されている。二階面には、ウェット洗浄ユニット10の上部に重ね合わせてドライ洗浄ユニット40が配置されている。
図1、3に示すように、ウェット洗浄ユニット10は、略直方体のケーシング11と、ケーシング11の内部12に配置されたウェット洗浄チャンバ13と、処理ステージ14と、処理ステージ14を駆動するステージ駆動装置16と、水ノズル21と、超音波振動子22と、ノズルアーム23と、ノズルアーム駆動部24と、拭き取りヘッド31と、ヘッドアーム32と、ヘッドアーム駆動部33と、回転押圧駆動部35と、拭き取り部材34と、純水タンク26、水素水タンク27と、オゾン水タンク28と、洗浄水タンク37とを含んでいる。
処理ステージ14は、上面にウェーハ80を保持する円板状部材である。処理ステージ14の下側にはシャフト15が接続されている。シャフト15は、ステージ駆動装置16によって図3の矢印95aに示すように回転駆動されるとともに図3に示す矢印95bのように上下方向に駆動される。従って、処理ステージ14は、ステージ駆動装置16によってウェーハ80を保持した状態で回転及び上下方向に駆動される。処理ステージ14は、後で説明するようにシャッタ48が開の際に、ウェット洗浄ユニット10のウェット洗浄チャンバ13と、ドライ洗浄ユニット40のドライ洗浄チャンバ44との間で上下方向にウェーハ80を搬送する搬送ユニットを構成する。
水ノズル21は、処理ステージ14の上方に配置され、純水、オゾン水、水素水を処理ステージ14の上面に保持されたウェーハ80に噴射する。水ノズル21はノズルアーム23の先端に取り付けられている。ノズルアーム23の根元部はノズルアーム駆動部24に接続されている。ノズルアーム駆動部24は、図1の矢印91に示すように平面内でノズルアーム23を回転移動してノズルアーム23の先端に取り付けられた水ノズル21を処理ステージ14の上面に対して出し入れする。水ノズル21の上部には、水ノズル21から噴射する純水、水素水、オゾン水に超音波振動を与える超音波振動子22が取り付けられている。
拭き取りヘッド31は、処理ステージ14の上側に配置され、上端に取付けられた回転押圧駆動部35によって下端に取り付けられた拭き取り部材34を図3に示す矢印95cのように回転駆動するとともにウェーハ80の上面に拭き取り部材34を接触させてウェーハ80の表面81を拭き取り洗浄する。拭き取り部材34は、例えば、マイクロファイバーを用いた織物又は編み物でもよい。また、拭き取りヘッド31には、洗浄水をウェーハ80に向けて噴射する洗浄水ノズルが組み込まれている。
拭き取りヘッド31は、ヘッドアーム32の先端に取り付けられている。ヘッドアーム32の根元部はヘッドアーム駆動部33に接続されている。ヘッドアーム駆動部33は、図1の矢印92に示すように平面内でヘッドアーム32を回転移動してヘッドアーム32の先端に取り付けられた拭き取りヘッド31を処理ステージ14の上面に対して出し入れする。
ウェット洗浄チャンバ13は、処理ステージ14の下側に設けられ、水ノズル21から噴射された純水、オゾン水、水素水、或いは、拭き取りヘッド31から噴射された洗浄水を受け止める円形のパンであり、上部に向かって開口が狭くなっている。上部の開口は、ウェーハ80を出し入れ可能な大きさとなっている。
純水タンク26、水素水タンク27、オゾン水タンク28は、それぞれ純水、水素水、オゾン水を駐留するタンクである。ここで、水素水は、水に水素ガスを溶解させた水であり、オゾン水は、水にオゾンガスを溶解させた水である。尚、水素水タンク27、オゾン水タンク28に代えて、水素水を生成する水素水生成器、オゾン水を生成するオゾン水生成機を配置してもよい。また、洗浄水タンク37は、例えば、純水、水素水、アルカリ添加水素水、炭酸水等の洗浄水を貯留する。
純水タンク26、水素水タンク27、オゾン水タンク28は、それぞれ純水バルブ26a、水素水バルブ27a、オゾン水バルブ28aと、配管25とによって水ノズル21に接続されている。また、洗浄水タンク37は、洗浄水バルブ37a、配管36によって拭き取りヘッド31に接続されている。
図1に示すように、一階面にはウェット洗浄ユニット10に隣接して横搬送ユニット60が配置されている。横搬送ユニット60は、ケーシング61と、ケーシング61の内部62に配置されたウェーハ受け渡しステージ63と、横搬送装置である横搬送ロボット64とを備えている。ウェーハ受け渡しステージ63は、外部から未洗浄のウェーハ80を受け入れるとともに、洗浄済のウェーハ80を受け渡しするステージである。ウェット洗浄ユニット10のケーシング11の側壁11aと横搬送ユニット60の側壁61aとには、ウェーハ80を横搬送ユニット60とウェット洗浄ユニット10との間で搬送するための開口66が設けられている。横搬送ロボット64は、図1中の矢印93に示すように、開口66を通してウェーハ80をウェーハ受け渡しステージ63と、ウェット洗浄ユニット10の処理ステージ14との間で搬送する。
図2、3に示すように、ドライ洗浄ユニット40は、略直方体でウェット洗浄ユニット10のケーシング11の上部に重ね合わせて配置されたケーシング41と、床板42と、天井板43と、天井レール46と、大気圧プラズマヘッド51と、プラズマ点火装置52と、プラズマ用ガスタンク53と、プラズマヘッド駆動部56とを含んでいる。
ケーシング41の壁と、床板42と、天井板43とで仕切られる空間は、大気圧プラズマヘッド51から噴射される大気圧プラズマによるドライ洗浄処理行うドライ洗浄チャンバ44を構成する。また、天井板43の上側の空間は、大気圧プラズマが進入しない機器配置空間45を構成する。
大気圧プラズマヘッド51は、例えば、プラズマ用のガスが流れるセラミックスチューブと、セラミックスチューブの外側に配置した負電極と、セラミックスチューブの中に配置した接地電極とを含み、負電極と接地電極との間に高電圧を印加してセラミックスチューブの中で放電を発生させ、先端からプラズマを噴出させるプラズマ発生装置を複数並べて配置した装置でもよい。大気圧プラズマヘッド51は、プラズマヘッド駆動部56を介して天井レール46に取付けられている。プラズマヘッド駆動部56は、図3中の矢印94aに示すように、大気圧プラズマヘッド51を水平方向に往復移動させる。
床板42の中央部で、下側に配置されたウェット洗浄ユニット10の処理ステージ14の上側には、処理ステージ14が上下方向に移動可能な開口47が設けられている。床板42の下側には開口47を開閉するシャッタ48が設けられている。シャッタ48は、図示しない駆動部によって図2中の矢印94bに示すようにスライドして開口47を開閉する。シャッタ48が開放されると、図8に示すように、ウェット洗浄ユニット10の処理ステージ14が矢印95dに示すように上方向に移動してウェット洗浄チャンバ13からドライ洗浄チャンバ44の中に移動可能となる。シャッタ48は、処理ステージ14がドライ洗浄チャンバ44の中に移動した後に閉じられる。この際、シャフト15がウェット洗浄ユニット10とドライ洗浄ユニット40との間で貫通できるような開口を形成するように、2つのシャッタ48の合わせ面の中央には半円形の切欠き49(図2参照)が設けられている。
プラズマ点火装置52は、大気圧プラズマヘッド51の内部に配置された電極に高電圧を供給する装置であり、接続線55によって大気圧プラズマヘッド51に接続されている。
プラズマ用ガスタンク53は、プラズマ用のガスを貯留するタンクである。プラズマ用のガスとしては、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスを用いてもよい。プラズマ用ガスタンク53と大気圧プラズマヘッド51とはプラズマ用ガスバルブ53aと配管54で接続されている。
制御ユニット17は、内部にCPU18とメモリ19とを備えるコンピュータである。図4に示すように、制御ユニット17は、ウェット洗浄ユニット10のノズルアーム駆動部24、超音波振動子22、純水バルブ26a、水素水バルブ27a、オゾン水バルブ28a、ヘッドアーム駆動部33、回転押圧駆動部35、洗浄水バルブ37a、ステージ駆動装置16、シャッタ48に接続されて、ウェット洗浄ユニット10の各機器と、搬送ユニットを構成する処理ステージ14の動作を調整する。また、制御ユニット17は、大気圧プラズマヘッド51、プラズマヘッド駆動部56、プラズマ点火装置52、プラズマ用ガスバルブ53aに接続されてドライ洗浄ユニット40の各機器の動作を調整する。更に、制御ユニット17は、横搬送ユニット60の横搬送ロボット64に接続されて横搬送ロボット64の動作を調整する。
次、図5から図10を参照して上記のように構成された電子部品洗浄装置100が実施形態の電子部品洗浄方法を実行してウェーハ80の洗浄を行う際の電子部品洗浄装置100の動作について説明する。
図6に示すように、初期状態では、シャッタ48は閉となっており、ウェット洗浄ユニット10とドライ洗浄ユニット40とはドライ洗浄ユニット40のケーシング41の床板42とシャッタ48とで仕切られている。また、図1に示すように、ノズルアーム23と、ヘッドアーム32とは、水ノズル21と拭き取りヘッド31を処理ステージ14にかからない位置に退避している。
制御ユニット17は、図5のステップS101に示すように、図1に示す横搬送ロボット64を動作させ、ウェーハ受け渡しステージ63に載置された未洗浄のウェーハ80をピックアップし、図6に示すようにウェット洗浄ユニット10の中に搬入し、処理ステージ14の上に載置する。制御ユニット17は、処理ステージ14の上面にウェーハ80を保持させる。
制御ユニット17は、図5のステップS102からステップS104において、ウェーハ80の表面81のウェット洗浄を行う。ここで、図5のステップS102からステップS104はウェット洗浄工程を構成する。まず、制御ユニット17は、図5のステップS102に示すように水素水洗浄を実行する。
制御ユニット17は、図7に示すように、ノズルアーム駆動部24を動作させてノズルアーム23を回転させ、水ノズル21を処理ステージ14に上方に移動させる。そして、制御ユニット17は、ステージ駆動装置16によって処理ステージ14を回転させると共に、水素水バルブ27aを開として水ノズル21から水素水をウェーハ80に向かって噴射させてウェーハ80の洗浄を行う。この際、制御ユニット17は、超音波振動子22を動作させて水素水に超音波振動を印加し、超音波加振した水素水をウェーハ80の表面に噴射する。
次に制御ユニット17は、図5のステップS103で純水による拭き取り洗浄を行う。制御ユニット17は、図7に示すように、ヘッドアーム駆動部33を動作させてヘッドアーム32を回転させ、拭き取りヘッド31を処理ステージ14の上方に移動させる。水ノズル21は、先の水素水洗浄の際に処理ステージ14に上方に移動しているので、制御ユニット17は、純水バルブ26aを開として水ノズル21から純水をウェーハ80に向かって噴射させると共に、拭き取りヘッド31の回転押圧駆動部35を動作させて拭き取り部材34を回転駆動させながらウェーハ80の上面に接触させる。制御ユニット17は、ヘッドアーム駆動部33によってウェーハ80の表面81に沿って拭き取りヘッド31を移動させてウェーハ80の表面81を拭き取り洗浄する。この際、制御ユニット17は、洗浄水バルブ37aを開として拭き取りヘッド31から洗浄水を噴射させながらウェーハ80の表面81の拭き取り洗浄を行ってもよい。
次に、制御ユニット17は、図5のステップS104で再度、図5のステップS102と同様の水素水洗浄を実行する。
図5のステップS102からステップS104のウェット洗浄により、無機物、有機質の異物がウェーハ80の表面81から除去される。
制御ユニット17はウェット洗浄を終了したら、図5のステップS105からステップS108において、ウェット洗浄チャンバ13からドライ洗浄チャンバ44にウェット洗浄済のウェーハ80を搬送する。
制御ユニット17は、図5のステップS105でシャッタ48を開とする。また、制御ユニット17は、ノズルアーム駆動部24とヘッドアーム駆動部33とを動作させ、ノズルアーム23と、ヘッドアーム32と、水ノズル21と拭き取りヘッド31とが、処理ステージ14にかからない位置に退避させる。制御ユニット17は、図8に示すようにシャッタ48を開としたら、図5のステップS107、図8に示すように、ステージ駆動装置16を動作させて処理ステージ14を図8中の矢印95dのように上昇させる。これにより、制御ユニット17は、処理ステージ14をウェット洗浄チャンバ13からドライ洗浄チャンバ44の中に移動し、ウェーハ80をウェット洗浄チャンバ13からドライ洗浄チャンバ44の中に搬送する。
そして、制御ユニット17は、処理ステージ14をドライ洗浄チャンバ44の中に移動させたら図5のステップS108でシャッタ48を閉とする。
次に、制御ユニット17は、図5のステップS109において大気圧プラズマによるドライ洗浄を行う。ここで図5のステップS109はドライ洗浄工程を構成する。制御ユニット17は、プラズマヘッド駆動部56を動作させ、図9に示すように、大気圧プラズマヘッド51を処理ステージ14の上方に移動させる。そして、制御ユニット17は、プラズマ点火装置52を動作させてプラズマ点火装置52から高電圧を大気圧プラズマヘッド51に供給させるとともに、プラズマ用ガスバルブ53aを開としてプラズマ用ガスタンク53からプラズマ用ガスを大気圧プラズマヘッド51に供給させ、大気圧プラズマヘッド51の中で大気圧プラズマを発生させる。そして、制御ユニット17は、図9中の矢印96に示すようにプラズマヘッド駆動部56を動作させて大気圧プラズマヘッド51をウェーハ80の上方で往復移動させて大気圧プラズマをウェーハ80の表面81に噴射する。
図5のステップS109のドライ洗浄によって大気圧プラズマの照射によりウェーハ80の表面81に付着している異物が除去されると共に、ウェーハ80の表面の親水化処理がされる。このため、ドライ洗浄後には、ウェーハ80の表面81の親水性は高い状態となっている。
次に、制御ユニット17は、図5のステップS110からS112において、ドライ洗浄チャンバ44からウェット洗浄チャンバ13にドライ洗浄済のウェーハ80を搬送する。先に説明したと同様、制御ユニット17は、図5のステップS110でシャッタ48を開とし、図5のステップS111でステージ駆動装置16を動作させて処理ステージ14を下降させ、処理ステージ14をドライ洗浄チャンバ44からウェット洗浄チャンバ13の中に移動させてウェーハ80をドライ洗浄チャンバ44からウェット洗浄チャンバ13の中に搬送する。そして、制御ユニット17は、図5のステップS112でシャッタ48を閉とする。
次に、制御ユニット17は、図5のステップS113に進んで水素水処理による表面81の親水化を行う。ここで、図5のステップS113は、水素水処理工程を構成する。図5のステップS102で説明した水素水洗浄と同様、図10に示すように、ノズルアーム駆動部24を動作させてノズルアーム23を回転させ、水ノズル21を処理ステージ14に上方に移動させ、ステージ駆動装置16によって処理ステージ14を回転させると共に、水素水バルブ27aを開として水ノズル21から水素水をウェーハ80に向かって噴射させてウェーハ80の水素水処理を行う。この際、制御ユニット17は、超音波振動子22を動作させて水素水に超音波振動を印加し、超音波加振した水素水をウェーハ80の表面に噴射する。
水素水処理は、図5のステップS102、ステップS104の水素水洗浄と同様の処理であるが、ウェーハ80の表面81の異物の除去ではなく、表面81の親水化処理を行うものであり、処理時間は図5のステップS102、ステップS104の水素水洗浄よりも短くなっている。
制御ユニット17は、水素水処理を終了したら、図5のステップS114に進んで、スピン乾燥処理を行う。制御ユニット17は、ステージ駆動装置16によって処理ステージ14を高速で回転させ、遠心力でウェーハ80の表面81に残っている水素水を外周側に飛ばして表面81を乾燥させる。
制御ユニット17は、スピン乾燥処理が終了したら、図5のステップS115に進んで、ウェット洗浄ユニット10からウェーハ80を搬出する。制御ユニット17は、図1に示す横搬送ロボット64を動作させて処理ステージ14の上面に載置された洗浄済のウェーハ80をピックアップしてウェット洗浄ユニット10からウェーハ80を搬出し、ウェーハ80を横搬送ユニット60のウェーハ受け渡しステージ63の上に載置する。
次に、図11を参照しながら、ウェーハ80の表面81の親水性の変化について説明する。図11中の実線aは、先に説明した実施形態の電子部品洗浄装置100のウェーハ80の洗浄動作のように、大気圧プラズマによるドライ洗浄を実行した直後に水素水処理による親水化を行った場合の表面81の純水接触角の時間変化を示す。また、図11中の破線bは、大気圧プラズマによるドライ洗浄のみを実行した場合の表面81の純水接触角の時間変化を示す。
ここで、純水接触角は、静止した純水の自由表面が表面81に接する場所における液面と表面81とのなす角であり、純水接触角が大きい場合には、親水性が低く、純水接触角が小さい場合には、親水性は高くなる。
最初に図11に破線bで示す大気圧プラズマによるドライ洗浄のみを実行した場合の表面81の純水接触角、親水性の変化について説明する。
図11の時刻t1に大気圧プラズマによるドライ洗浄を実行すると大気圧プラズマの照射により表面81の異物が除去されると共に、表面81が親水化され、純水接触角はドライ洗浄前より大きく低下する。つまり、親水性が高くなる。大気圧プラズマによるドライ洗浄後、ウェーハ80を大気中に放置すると、ドライ洗浄が終了した時刻t1から時刻t2の間は、純水接触角は時間の経過とともに緩やかに大きくなっていく。そして、時刻t2を過ぎると時刻t3までの間は、純水接触角は時刻t1からt2の間よりも大きく上昇する。そして、時刻t3を過ぎると、純水接触角は、再び緩やかに上昇する。
このように、大気圧プラズマによるドライ洗浄を実行した後、ウェーハ80を大気中に放置すると、ウェーハ80の表面の純水接触角は、図11中の矢印dに示すように時刻t2から時刻t3の間にドライ洗浄終了時よりも高い状態に移行し、その後は、緩やかに上昇していく。これを親水性の変化で言えば、ウェーハ80の表面81の親水性は、時刻t2から時刻t3の間に親水化終了時よりも低い状態に移行し、その後は、緩やかに低下していくこととなる。
一方、大気圧プラズマによるドライ洗浄の直後に水素水処理による親水化を実行した場合には、図11中の矢印cに示すように、水素水処理が終了した時刻t1から時刻t2までの間は、ウェーハ80を大気中に放置しても表面81の純水接触角は緩やかに低下し、時刻t2以後は、表面81の純水接触角は緩やかに上昇していく。これを親水性の変化で言えば、水素水処理が終了した時刻t1から時刻t2までの間は、表面81の親水性は緩やかに高くなり、時刻t2以後は、表面81の親水性は緩やかに低下していくこととなる。
このため、大気圧プラズマによるドライ洗浄の直後に水素水処理による親水化を実行した場合には、水素水処理の終了時の親水性よりも高い親水性を長い時間保持することができる。
このように水素水処理の終了後に親水性が時間ともに高くなるのは、水素水処理により、ウェーハ80の表面81に水酸基が付くことによると思われる。ここで、発明者の研究により、大気圧プラズマによるドライ洗浄の後、水素水処理を開始するまでの時間が短くないと、上記のように水素水処理の終了後に親水性が時間ともに高くなる効果が得られなくなることが分かっている。
このため、実施形態の電子部品洗浄方法を実行する電子部品洗浄装置100では、ウェット洗浄ユニット10の上にドライ洗浄ユニット40を重ねて配置し、処理ステージ14を上下させてウェーハ80をドライ洗浄ユニット40とウェット洗浄ユニット10との間で搬送することにより、大気圧プラズマによるドライ洗浄工程と水素水処理工程による親水化との間隔を短くする構成としている。これにより、実施形態の電子部品洗浄方法は、大気圧プラズマによるドライ洗浄工程の終了直後、より詳しくは、ドライ洗浄工程の終了の5~10秒後に水素水処理工程を開始することができる。このため、実施形態の電子部品洗浄装置100は、ウェーハ80の表面81の親水性を長時間にわたって高い状態に保つことができ、ボンディング品質を向上させることができる。
次に図12から14を参照しながら実施形態の電子部品洗浄方法を実行する電子部品洗浄装置200について説明する。先に図1から図11を参照して説明した電子部品洗浄装置100と同一の部分には、同一の符号を付して説明は省略する。
図12に示す電子部品洗浄装置200は、上下に重ね合わせて配置したウェット洗浄ユニット10とドライ洗浄ユニット240の側壁11b、41bに隣接して縦搬送ユニット70を配置したものである。縦搬送ユニット70は、ウェット洗浄チャンバ13とドライ洗浄チャンバ44との間でウェーハ80を搬送する。また、図12には図示しないが電子部品洗浄装置200は、制御ユニット17を備えている。
縦搬送ユニット70は、ケーシング71と、ケーシング71の内部に配置された縦搬送装置75とを備えている。
ケーシング71は、ウェット洗浄ユニット10とドライ洗浄ユニット240の側面に隣接して配置され、ウェット洗浄ユニット10とドライ洗浄ユニット240とに跨って上下方向に延びる略直方体の部材である。ケーシング71の一階の側壁72にはウェット洗浄ユニット10のケーシング11の側壁11bの開口11cに連通する開口72aが設けられている。同様に、二階の側壁73にはドライ洗浄ユニット240のケーシング41の側壁41bの開口41cに連通する開口73aが設けられている。開口72a、73aには、それぞれシャッタ72b、73bが取り付けられている。
縦搬送装置75は、ケーシング71の内部に配置され、ウェーハ80をウェット洗浄チャンバ13とドライ洗浄チャンバ44とに出し入れするとともに、ウェーハ80をウェット洗浄チャンバ13とドライ洗浄チャンバ44との間で搬送する。
図12に示すように、縦搬送装置75は、図12の矢印99のように上下方向に移動する本体76と、本体76の上に取り付けられて水平方向にスライド移動するチャック77とで構成されている。チャック77は、ウェーハ80を把持して図12に示す矢印98a,98bのように水平方向に往復移動する。
ウェット洗浄ユニット10は、ケーシング11の側壁11bに開口11cが設けられている点以外、先に図1から11を参照して説明した電子部品洗浄装置100のウェット洗浄ユニット10と同一の構成である。
ドライ洗浄ユニット240は、ドライ洗浄チャンバ44の内部にウェーハ80を保持する処理ステージ58と、処理ステージ58を図12に示す矢印97の方向に往復移動させるスライド駆動部57とを備えている。大気圧プラズマヘッド51は、ブラケット56aで天井レール46に取り付けられており、先に図1~11を参照して説明したドライ洗浄ユニット40と異なり大気圧プラズマヘッド51は往復移動しない。また、ケーシング41の側壁41bには開口41cが設けられている。
図13に示すように、電子部品洗浄装置200では、制御ユニット17は、ウェット洗浄ユニット10のノズルアーム駆動部24、超音波振動子22、純水バルブ26a、水素水バルブ27a、オゾン水バルブ28a、ヘッドアーム駆動部33、回転押圧駆動部35、洗浄水バルブ37a、ステージ駆動装置16、シャッタ72bに接続されて、ウェット洗浄ユニット10の各機器の動作を調整する。また、制御ユニット17は、大気圧プラズマヘッド51、スライド駆動部57、プラズマ点火装置52、プラズマ用ガスバルブ53a、シャッタ73bに接続されてドライ洗浄ユニット40の各機器の動作を調整する。更に、制御ユニット17は、縦搬送ユニット70の縦搬送装置75に接続されて縦搬送装置75の動作を調整する。
次に、図14を参照して上記のように構成された電子部品洗浄装置200が実施形態の電子部品洗浄方法を実行してウェーハ80の洗浄を行う際の電子部品洗浄装置200の動作について説明する。先に図5を参照して説明した電子部品洗浄装置100の動作と同様の動作については同様のステップ番号を付して説明は省略する。
電子部品洗浄装置200の制御ユニット17は、図14のステップS101において、縦搬送装置75を動作させてウェット洗浄ユニット10にウェーハ80を搬入し電子部品洗浄装置100と同様、図14のステップS102からS104でウェット洗浄工程を実行する。
ウェット洗浄が終了したら、制御ユニット17は、図14のステップS105でシャッタ72b、73bを開放し、図14のステップS201で縦搬送装置75を動作させて、ウェット洗浄ユニット10からドライ洗浄ユニット240にウェーハ80を搬送する。そして、制御ユニット17は、ウェーハ80の搬送が終了したら、図14のステップS108でシャッタ72b、73bを閉とする。そして、制御ユニット17は、図14のステップS109において、スライド駆動部57によりウェーハ80を上面に保持している処理ステージ58を往復移動させてドライ洗浄工程を行う。ドライ洗浄工程が終了したら、制御ユニット17は、図14のステップS110でシャッタ72b、73bを開放し、図14のステップS202で縦搬送装置75によってウェーハ80をウェット洗浄ユニット10に搬送する。そして、制御ユニット17は、図14のステップS112でシャッタ72b、73bを閉として図14のステップS113に進み、ウェット洗浄ユニット10で水素水処理工程を行う。そして、制御ユニット17は、図14のステップS114でスピン乾燥処理工程を行った後、図14のステップS115で、縦搬送装置75によってウェット洗浄ユニット10からウェーハ80を搬出する。
電子部品洗浄装置200は、電子部品洗浄装置100と同様、大気圧プラズマによるドライ洗浄工程の終了直後に水素水処理工程による親水化を開始することができるので、ウェーハ80の表面81を親水性の高い状態に保つことができ、ボンディング品質を向上させることができる。
以上の説明では、電子部品洗浄装置100、200は、実施形態の電子部品洗浄方法を実行してウェーハ80の表面81を洗浄することとして説明したが半導体チップ85表面を洗浄することもできる。半導体チップ85は、図15に示すように、円板状のウェーハ80の下面に支持材であるシリコン製のダイシングフィルム87を貼り付け、上側からダイシングソーで格子状に切り込みを入れて分割されたものである。また、ダイシングフィルム87の外周の上側の面は、リング86に取り付けられている。従って、半導体チップ85は、ダイシングフィルム87の上面に貼り付けられた状態でリング86と一体にハンドリングされる。図15に示す符号89は、半導体チップ85の表面89を示す。尚、半導体チップ85はダイシングフィルム87の上に貼り付けられているものに限らず、シリコンウェーハ、ガラス板、または基板の上に貼り付けられていてもよい。
また、以上の説明では、ウェット洗浄工程は水素水を用いて行うこととして説明したがこれに限らず、オゾン水を用いて行ってもよい。また、水素水洗浄工程、水素水処理工程において、水素水を超音波加振せずにウェーハ80の表面81に噴射してもよい。
10 ウェット洗浄ユニット、11、41、61、71 ケーシング、11a、11b、41b、61a、72、73 側壁、11c、41c、47、66、72a、73a 開口、12、62 内部、13 ウェット洗浄チャンバ、14、58 処理ステージ、15 シャフト、16 ステージ駆動装置、17 制御ユニット、18 CPU、19 メモリ、21 水ノズル、22 超音波振動子、23 ノズルアーム、24 ノズルアーム駆動部、25、36、54 配管、26 純水タンク、26a 純水バルブ、27 水素水タンク、27a 水素水バルブ、28 オゾン水タンク、28a オゾン水バルブ、31 拭き取りヘッド、32 ヘッドアーム、33 ヘッドアーム駆動部、34 拭き取り部材、35 回転押圧駆動部、37 洗浄水タンク、37a 洗浄水バルブ、40、240 ドライ洗浄ユニット、42 床板、43 天井板、44 ドライ洗浄チャンバ、45 機器配置空間、46 天井レール、48、72b,73b シャッタ、49 切欠き、51 大気圧プラズマヘッド、52 プラズマ点火装置、53 プラズマ用ガスタンク、53a プラズマ用ガスバルブ、55 接続線、56 プラズマヘッド駆動部、56a ブラケット、57 スライド駆動部、60 横搬送ユニット、63 ウェーハ受け渡しステージ、64 横搬送ロボット、70 縦搬送ユニット、75 縦搬送装置、76 本体、77 チャック、80 ウェーハ、81、89 表面、85 半導体チップ、86 リング、87 ダイシングフィルム、100、200 電子部品洗浄装置。
Claims (7)
- 電子部品の表面の洗浄を行う電子部品洗浄方法であって、
液体により前記電子部品の表面のウェット洗浄を行うウェット洗浄工程と、
前記ウェット洗浄の後に、大気圧プラズマにより前記電子部品の表面のドライ洗浄を行うドライ洗浄工程と、
前記ドライ洗浄工程の後に、水素ガスを水に溶解した水素水を用いて前記電子部品の表面の洗浄処理を行う水素水処理工程と、
を含むことを特徴とする電子部品洗浄方法。 - 請求項1に記載の電子部品洗浄方法であって、
前記ドライ洗浄工程の終了の直後に前記水素水処理工程を開始すること、
を特徴とする電子部品洗浄方法。 - 請求項2に記載の電子部品洗浄方法であって、
前記ドライ洗浄工程の終了後30秒以内に前記水素水処理工程を開始すること、
を特徴とする電子部品洗浄方法。 - 請求項3に記載の電子部品洗浄方法であって、
前記ドライ洗浄工程の終了後10秒以内に前記水素水処理工程を開始すること、
を特徴とする電子部品洗浄方法。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の電子部品洗浄方法であって、
前記水素水処理工程は、超音波加振した前記水素水を前記電子部品の表面に噴射すること、
を特徴とする電子部品洗浄方法。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の電子部品洗浄方法であって、
前記電子部品は、ウェーハ、半導体チップ、又は半導体装置用の基板であること、
を特徴とする電子部品洗浄方法。 - 請求項6に記載の電子部品洗浄方法であって、
前記半導体チップは、支持材の上に貼り付けられていること、
を特徴とする電子部品洗浄方法。
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