WO2023153373A1 - 電磁波偏向装置及び電磁波走査装置 - Google Patents
電磁波偏向装置及び電磁波走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2023153373A1 WO2023153373A1 PCT/JP2023/003853 JP2023003853W WO2023153373A1 WO 2023153373 A1 WO2023153373 A1 WO 2023153373A1 JP 2023003853 W JP2023003853 W JP 2023003853W WO 2023153373 A1 WO2023153373 A1 WO 2023153373A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- electromagnetic wave
- mirror
- axis
- substrate
- tilt angle
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Definitions
- the present disclosure relates to an electromagnetic wave deflection device and an electromagnetic wave scanning device.
- a mirror unit that suppresses noise by having a transmitting member that is inclined with respect to the MEMS mirror is known (see Patent Document 1, for example).
- An electromagnetic wave deflection device includes a mirror that reflects electromagnetic waves, a housing that houses the mirror and has an opening, and a transmission member that is provided in the opening.
- the transmission member is configured to transmit at least a portion of electromagnetic waves.
- the housing has a bottom surface opposite the opening.
- the mirror is housed in the housing while being inclined with respect to the bottom surface.
- An electromagnetic wave scanning device includes the electromagnetic wave deflection device, and an irradiation section that causes electromagnetic waves to be incident on the transmission member at a predetermined angle.
- FIG. 1 is a plan view showing a configuration example of an electromagnetic wave deflection device according to an embodiment of the present disclosure
- FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1
- FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of the traveling direction of electromagnetic waves when the mirror rotates around the first axis and is tilted
- FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of traveling directions of electromagnetic waves when a mirror rotates and tilts around a first axis and a second axis
- FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration example in which a transmissive member 30 has a convex portion on its surface
- FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of traveling directions of electromagnetic waves when a mirror rotates around a first axis and tilts in the configuration example of FIG. 5 ;
- both reduction of noise and securing of sealing performance can be realized.
- an electromagnetic wave deflection device 1 includes a housing 10, a reflection device 20, and a transmission member 30. As shown in FIGS. The housing 10 accommodates the reflecting device 20 inside. The transmissive member 30 is joined to the housing 10 while the reflecting device 20 is accommodated inside the housing 10 . By bonding the housing 10 and the transmissive member 30 together, the reflecting device 20 is sealed inside. The reflector 20 is configured to reflect an electromagnetic wave incident from the outside through the transparent member 30 and to emit the electromagnetic wave to the outside through the transparent member 30 .
- the housing 10 includes side walls 12 , a mounting portion 14 and a bottom surface 16 .
- Side wall 12 is positioned to surround housing 10 .
- the housing 10 is joined to the transmissive member 30 at the upper ends 12A of the side walls 12 .
- the side wall 12 is configured such that the posture of the transmissive member 30 is substantially horizontal or horizontal when the transmissive member 30 is joined to the upper end 12A.
- the sidewall 12 may be configured such that the difference in height of the upper end 12A at each portion is small.
- the housing 10 has an opening surrounded by the upper ends 12A of the side walls 12 .
- the transparent member 30 is provided in the opening of the housing 10 .
- the placing section 14 is configured so that the reflecting device 20 can be placed thereon.
- the mounting section 14 is configured to support the reflecting device 20 at four points in FIG.
- the number of portions where the reflecting device 20 is supported by the mounting portion 14 may be three or less, or may be five or more.
- the mounting portion 14 is configured to support the corner portions of the reflecting device 20 in FIG. may be configured to support at least a portion of the
- the bottom surface 16 corresponds to the surface on the opposite side of the transmission member 30 .
- the bottom surface 16 corresponds to the surface located opposite to the side (opening) to which the transmissive member 30 is joined.
- the bottom surface 16 may face the vertical direction (the direction in which gravity acts) when the electromagnetic wave deflection device 1 is used, or may face the direction other than the vertical direction. It is assumed that the bottom surface 16 faces the vertical direction when the transparent member 30 is joined to the housing 10 .
- the transparent member 30 is joined to the upper end 12A of the side wall 12 of the housing 10 in a state where the bottom surface 16 of the housing 10 is in contact with a workbench or the like.
- the transmissive member 30 is joined so as to be substantially parallel or parallel to the bottom surface 16 .
- the bottom surface 16 extends along the XY plane.
- the normal to bottom surface 16 is along the Z-axis.
- the normal to the surface 30A of the transmissive member 30 is along the Z-axis.
- the transmission member 30 is configured to transmit electromagnetic waves incident on the reflecting device 20 and electromagnetic waves reflected by the reflecting device 20 .
- the transmissive member 30 may be configured to contain glass, resin, or the like.
- the transmissive member 30 has a surface 30A facing out of the space enclosing the reflector 20 . It can also be said that the transmissive member 30 seals the reflecting device 20 by being joined to the housing 10 .
- the reflector 20 includes a mirror 22 that reflects electromagnetic waves and a substrate 24 that holds the mirror 22 .
- Mirror 22 is configured to be tiltable with respect to substrate 24 .
- Reflector 20 may further comprise a drive 26 for tilting mirror 22 .
- the reflecting device 20 is configured to be able to control the attitude of the mirror 22 .
- the mirror 22 may be configured including metal, semiconductor, resin, or the like.
- the substrate 24 may be composed of resin, ceramic, semiconductor, metal, or the like.
- the drive unit 26 may be configured including an actuator such as a piezoelectric element or a motor.
- the mirror 22 and the driver 26 may be formed on the substrate 24 by a manufacturing process based on MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology.
- MEMS Micro Electro Mechanical Systems
- the mirror 22 may be configured to be tiltable with respect to the substrate 24 around an axis extending in a direction perpendicular to the plane of the paper (an axis extending along the Y-axis).
- the axis extending in the direction perpendicular to the plane of the paper (the axis extending along the Y-axis) is also called the first axis. It can also be said that the first axis extends in a direction along the substrate 24 .
- Mirror 22 may be configured to be tiltable about a first axis.
- Mirror 22A represents the state in which mirror 22 is rotated through a maximum angle in a counterclockwise direction about the first axis and tilted.
- Mirror 22B represents the state in which mirror 22 is rotated through a maximum angle in a clockwise direction about the first axis and tilted.
- the electromagnetic waves incident on the reflector 20 are also referred to as incident electromagnetic waves 40 .
- the electromagnetic waves reflected by the reflector 20 are also referred to as reflected electromagnetic waves 50 .
- Reflected electromagnetic wave 50 travels in a direction represented as reflected electromagnetic wave 50A when mirror 22 is tilted to the maximum in the counterclockwise direction, represented as mirror 22A.
- Reflected electromagnetic wave 50 travels in a direction represented as reflected electromagnetic wave 50B when mirror 22 is tilted most in the clockwise direction, represented as mirror 22B. If mirror 22 is tilted between the state represented as mirror 22A and the state represented as mirror 22B, reflected electromagnetic wave 50 is contained between the direction of reflected electromagnetic wave 50A and the direction of reflected electromagnetic wave 50B. direction.
- the reflected electromagnetic wave 50 is scanned between the direction of the reflected electromagnetic wave 50A and the direction of the reflected electromagnetic wave 50B as the tilt angle of the mirror 22 changes.
- the range scanned by the reflected electromagnetic waves 50 is also referred to as a scanning range 52 . If the mirror 22 tilts about one axis, the reflected electromagnetic wave 50 is linearly (one-dimensionally) scanned. That is, the scanning range 52 is expressed as a linear range.
- At least part of the incident electromagnetic wave 40 is transmitted through the transmissive member 30 and enters the reflecting device 20 .
- part of the incident electromagnetic wave 40 is reflected by the surface 30A of the transmission member 30 .
- the electromagnetic waves reflected by the surface 30 ⁇ /b>A of the transmission member 30 travel in a fixed direction regardless of the scanning direction of the reflected electromagnetic waves 50 .
- the electromagnetic waves reflected by the surface 30A of the transmissive member 30 are also called reflected waves.
- the electromagnetic waves reflected by the surface 30A of the transmissive member 30 are unnecessary electromagnetic waves for scanning the reflected electromagnetic waves 50 within the scanning range 52 and are also called noise electromagnetic waves 60 .
- the reflection device 20 is arranged so that the intensity of the reflected electromagnetic waves 50 reaching each part included in the scanning range 52 during one cycle of scanning becomes uniform (the difference in the integrated value of the intensity of the electromagnetic waves reaching each part is small). ) to control the tilt of the mirror 22 . If the noise electromagnetic wave 60 travels within the scanning range 52, the integrated value of the intensity of the electromagnetic wave increases only in the portion where the noise electromagnetic wave 60 travels.
- the electromagnetic wave deflection device 1 is configured so that the noise electromagnetic wave 60 (reflected wave) travels outside the scanning range 52 .
- the substrate 24 of the reflecting device 20 is attached to the mounting section 14 so as to be tilted about the axis in the direction along the first axis, which is the axis when the mirror 22 is tilted with respect to the bottom surface 16 of the housing 10 . may be placed.
- the mirror 22 may be housed in the housing 10 at an angle with respect to the bottom surface 16 .
- the axis along the first axis which is the axis for tilting the mirror 22, corresponds to the axis extending in the direction perpendicular to the plane of the paper (the axis extending along the Y-axis).
- the electromagnetic wave deflection device 1 widens the scanning range 52 so that the traveling direction of the noise electromagnetic wave 60 determined by the surface 30 ⁇ /b>A of the transparent member 30 is outside the scanning range 52 . can be moved. As a result, noise when scanning electromagnetic waves within scanning range 52 can be reduced.
- the mirror 22 is configured to be able to control its posture so that the reflecting surface of the electromagnetic wave is not parallel to the transmitting member 30 .
- the substrate 24 of the reflector 20 rotates and tilts at an angle larger than a predetermined angle around the axis in the direction along the first axis, which is the axis when the mirror 22 tilts with respect to the bottom surface 16 of the housing 10. may be placed on the placing portion 14 at the same time.
- the direction in which the substrate 24 is tilted may be clockwise or counterclockwise with respect to the axis.
- the predetermined angle is determined based on the angle at which the mirror 22 is tilted.
- the mirror 22 tilts clockwise and counterclockwise with respect to the axis up to the maximum tilt angle, using a state in which it is substantially parallel or parallel to the substrate 24 as a reference posture. Assume that the maximum clockwise tilt angle is equal to the maximum counterclockwise tilt angle.
- the predetermined angle may be set to twice the maximum tilt angle. This is because the angle between the traveling direction of the reflected electromagnetic wave 50 when the mirror 22 is in the reference posture and the traveling direction of the reflected electromagnetic wave 50 when the mirror 22 is tilted is twice the tilt angle of the mirror 22 . be.
- the predetermined angle may be set to a different value for each direction of tilt.
- the predetermined angle when the substrate 24 of the reflector 20 is tilted clockwise may be set to twice the maximum clockwise tilt angle of the mirror 22 .
- the predetermined angle for tilting the substrate 24 of the reflector 20 counterclockwise may be set to twice the maximum counterclockwise tilt angle of the mirror 22 .
- the substrate 24 of the reflecting device 20 may be mounted on the mounting section 14 so as to tilt about an axis along a direction intersecting the first axis, which is the axis along which the mirror 22 tilts. That is, the substrate 24 may be tilted around the axis in the direction in which the electromagnetic waves are not scanned.
- the electromagnetic wave deflection device 1 can also move the scanning range 52 so that the traveling direction of the noise electromagnetic wave 60 determined by the surface 30A of the transmitting member 30 is outside the scanning range 52 .
- the substrate 24 is mounted on the mounting portion 14 so as to be inclined around both the axis in the scanning direction of the electromagnetic wave (the axis along the first axis) and the axis in the non-scanning direction of the electromagnetic wave. Alternatively, it may be placed on the placement portion 14 so as to be inclined only around one of the axes.
- the electromagnetic wave deflection device 1 can move the traveling direction of the noise electromagnetic wave 60 out of the scanning range 52 by inclining the reflection device 20 . As a result, noise can be reduced.
- the transmission member 30 is inclined with respect to the bottom surface 16 of the housing 10 in order to make the traveling direction of the noise electromagnetic waves 60 out of the scanning range 52 .
- the transparent member 30 is inclined with respect to the bottom surface 16 of the housing 10 , it is necessary to place the transparent member 30 on the housing 10 in an inclined state when joining the transparent member 30 to the housing 10 .
- Various conditions in the process of joining the transmissive member 30 and the housing 10 are such that the transmissive member 30 is placed substantially horizontally on the housing 10 so as to ensure the sealing performance of the transmissive member 30 and the housing 10. It is determined on the premise that it will be joined in the state.
- the sealing performance between the transparent member 30 and the housing 10 may be deteriorated by joining the transparent member 30 on the housing 10 in an inclined state. If various conditions in the bonding process are re-determined according to the inclination of the transmissive member 30 in order to ensure the sealing performance, the workload of re-determining the conditions may increase. In addition, it becomes necessary to re-determine the conditions each time the tilt angle of the transmissive member 30 is changed, which may further increase the workload.
- the substrate 24 of the reflection device 20 is tilted with respect to the bottom surface 16 inside the housing 10, so that the noise electromagnetic wave 60 is deflected without tilting the transmitting member 30. can be advanced outside the scanning range 52 .
- noise can be reduced without affecting the process of joining the transmissive member 30 to the housing 10 .
- both noise reduction and sealing performance can be achieved.
- the electromagnetic wave deflection device 1 is configured so that the noise electromagnetic wave 60 travels to a region beyond the distance (on the extension of the scanning range 52 and outside the scanning range 52). Equivalent effects to those of the present embodiment can also be obtained by configuring as follows.
- Incident electromagnetic waves 40 may be emitted from a light source 70 as shown in FIG.
- the light source 70 causes electromagnetic waves to enter the transmissive member 30 at a predetermined angle.
- the light source 70 is also called an irradiation section.
- a configuration including the irradiation unit and the electromagnetic wave deflection device 1 is also called an electromagnetic wave scanning device.
- the electromagnetic wave scanning device may include a controller that controls the posture of the mirror 22 so that the electromagnetic wave reflected by the mirror 22 scans a predetermined range.
- the controller may control the posture of the mirror 22 within a range in which the electromagnetic wave reflecting surface of the mirror 22 is not parallel to the transmitting member 30 .
- the electromagnetic wave deflection device 1 or the electromagnetic wave scanning device advances the reflected electromagnetic wave 50 toward a predetermined object.
- the reflected electromagnetic wave 50 is reflected or scattered by a predetermined object and is detected by an electromagnetic wave detection device provided separately.
- a given object is also referred to as a detection target.
- the electromagnetic wave detection device acquires, for example, an image of the detection target or acquires distance data from the detection target to the electromagnetic wave detection device based on the detection result of the electromagnetic waves reflected or scattered by the detection target.
- the electromagnetic wave detection device may detect the electromagnetic wave from the detection target in accordance with the scanning period of the electromagnetic wave by the electromagnetic wave deflection device 1 .
- the electromagnetic wave deflection device 1 may scan the electromagnetic waves so as to synchronize with the timing of detection of the electromagnetic waves by the electromagnetic wave detection device.
- the electromagnetic wave deflection device 1 may scan the electromagnetic wave at a predetermined cycle regardless of the timing of detection of the electromagnetic wave by the electromagnetic wave detection device.
- mirror 22 was configured to be tiltable about an axis extending along the Y axis.
- the mirror 22 may also be configured to be tiltable around an axis extending along the X-axis, as illustrated in FIG. That is, the mirror 22 may be configured to be tiltable about two axes.
- the mirror 22 may be configured not only to be tiltable about a first axis, but also to be tiltable about a second axis that intersects the first axis. It can also be said that the first axis and the second axis extend in the direction along the substrate 24 .
- the reflected electromagnetic wave 50 is planarly (two-dimensionally) scanned by configuring the mirror 22 to be tiltable about two axes. That is, the scanning range 52 is expressed as a planar range.
- the substrate 24 of the reflector 20 may be mounted on the mounting part 14 so as to be rotated and tilted about the first axis by an angle greater than a predetermined angle, and about the second axis by an angle greater than the predetermined angle. may be placed on the placement portion 14 so as to rotate and incline.
- the predetermined angle is determined based on the angle at which the mirror 22 is tilted.
- the maximum tilt angle when the mirror 22 rotates about the first axis is also referred to as the first maximum tilt angle.
- the maximum tilt angle when mirror 22 rotates about the second axis is also referred to as the second maximum tilt angle.
- the substrate 24 of the reflector 20 is at an angle greater than twice the first maximum tilt angle with respect to the bottom surface 16 of the housing 10 about the first axis. may be placed on the placing portion 14 so as to be inclined at . By doing so, the noise electromagnetic waves 60 can be outside the scanning range 52 .
- the substrate 24 of the reflector 20 is at an angle greater than twice the second maximum tilt angle with respect to the bottom surface 16 of the housing 10 about the second axis. may be placed on the placing portion 14 so as to be inclined at . By doing so, the noise electromagnetic waves 60 can be outside the scanning range 52 .
- the substrate 24 of the reflector 20 is at a first tilt relative to the bottom surface 16 of the housing 10 about at least one of the first axis and the second axis. It may be mounted on the mounting portion 14 so as to be tilted at an angle larger than twice the maximum tilt angle (or the second maximum tilt angle). By doing so, the noise electromagnetic waves 60 can be outside the scanning range 52 .
- Substrate 24 of reflector 20 may be tilted with respect to bottom surface 16 of housing 10 about only one of the first axis and the second axis, or about both the first axis and the second axis. may be tilted with respect to the bottom surface 16 of the housing 10 about the axis of .
- the electromagnetic wave deflection device 1 may be configured so that the traveling direction of the noise electromagnetic wave 60 is outside the scanning range 52 depending on the shape of the transmitting member 30 .
- the substrate 24 of the reflector 20 may not be inclined with respect to the bottom surface 16 of the housing 10, but may be substantially parallel.
- the transmissive member 30 may have protrusions 32 on the surface 30A, as illustrated in FIG. Assume that the substrate 24 of the reflector 20 is parallel to the bottom surface 16 of the housing 10 . Other configurations are assumed to be the same as those shown in FIGS.
- the transmitting member 30 has a convex portion 32 on the portion of the surface 30A on which the incident electromagnetic wave 40 is incident, at least part of the incident electromagnetic wave 40 from the light source 70 is transmitted through the convex portion 32. Incident on the member 30 .
- An incident electromagnetic wave 40 that enters from the convex portion 32 and reaches the reflecting device 20 is reflected by the reflecting device 20 .
- Reflected electromagnetic wave 50 travels in a direction represented as reflected electromagnetic wave 50A when mirror 22 is tilted to the maximum in the counterclockwise direction, represented as mirror 22A.
- Reflected electromagnetic wave 50 travels in a direction represented as reflected electromagnetic wave 50B when mirror 22 is tilted most in the clockwise direction, represented as mirror 22B.
- reflected electromagnetic wave 50 is contained between the direction of reflected electromagnetic wave 50A and the direction of reflected electromagnetic wave 50B. direction.
- the reflected electromagnetic wave 50 is scanned within a scanning range 52 between the direction of the reflected electromagnetic wave 50A and the direction of the reflected electromagnetic wave 50B by changing the tilt angle of the mirror 22 .
- a part of the incident electromagnetic wave 40 is reflected by the surface of the convex portion 32 and becomes a noise electromagnetic wave 60 .
- the electromagnetic wave deflection device 1 can set the traveling direction of the noise electromagnetic wave 60 outside the scanning range 52 by providing the convex portion 32 . If the surface 30A of the transmissive member 30 is flat without the projections 32, the incident electromagnetic wave 40 reflected by the flat surface 30A travels as hypothetical noise electromagnetic waves 62. FIG. The direction of travel of the hypothetical noise electromagnetic wave 62 may be within the scanning range 52 . Therefore, it can be said that the convex portion 32 causes the noise electromagnetic wave 60 to advance outside the scanning range 52 .
- the transmissive member 30 may have a recess in a portion of the surface 30A where the incident electromagnetic wave 40 is incident. Further, the transmission member 30 may have an inclined surface at a portion of the surface 30A on which the incident electromagnetic wave 40 is incident. Even if the transmissive member 30 has a concave portion or an inclined surface in the portion of the surface 30 ⁇ /b>A on which the incident electromagnetic wave 40 is incident, the traveling direction of the noise electromagnetic wave 60 on which the incident electromagnetic wave 40 is incident may be outside the scanning range 52 .
- Descriptions such as “first” and “second” in this disclosure are identifiers for distinguishing the configurations. Configurations that are differentiated in descriptions such as “first” and “second” in this disclosure may interchange the numbers in that configuration. For example, a first axis can exchange identifiers “first” and “second” with a second axis. The exchange of identifiers is done simultaneously. The configurations are still distinct after the exchange of identifiers. Identifiers may be deleted. Configurations from which identifiers have been deleted are distinguished by codes. The description of identifiers such as “first” and “second” in this disclosure should not be used as a basis for interpreting the order of the configuration or the existence of lower numbered identifiers.
- X-axis, Y-axis, and Z-axis are provided for convenience of explanation and may be interchanged with each other.
- Configurations according to the present disclosure have been described using a Cartesian coordinate system formed by X, Y, and Z axes.
- the positional relationship of each configuration according to the present disclosure is not limited to an orthogonal relationship.
- electromagnetic wave deflection device 10 housing (12: side wall, 12A: upper end of side wall, 14: mounting section, 16: bottom surface)
- reflection device 22, 22A, 22B: mirrors
- 24 substrate
- 26 drive unit
- Transmissive member (30A: surface, 32: convex portion) 40 incident electromagnetic waves 50, 50A, 50B reflected electromagnetic waves 52 scanning range 60 noise electromagnetic waves 62 hypothetical noise electromagnetic waves 70 light source
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
電磁波偏向装置は、電磁波を反射するミラーと、ミラーを収容し、開口を有する筐体と、開口に設けられる透過部材とを備える。透過部材は、電磁波の少なくとも一部を透過するように構成される。筐体は、開口の反対側に位置する底面を有する。ミラーは、底面に対して傾斜して筐体に収容されている。
Description
本出願は、日本国特許出願2022-19760号(2022年2月10日出願)の優先権を主張するものであり、当該出願の開示全体を、ここに参照のために取り込む。
本開示は、電磁波偏向装置及び電磁波走査装置に関する。
MEMSミラーに対して傾斜した透過部材を有することによってノイズを抑制するミラーユニットが知られている(例えば、特許文献1参照)。
本開示の一実施形態に係る電磁波偏向装置は、電磁波を反射するミラーと、前記ミラーを収容し、開口を有する筐体と、前記開口に設けられる透過部材とを備える。前記透過部材は、電磁波の少なくとも一部を透過するように構成される。前記筐体は、前記開口の反対側に位置する底面を有する。前記ミラーは、前記底面に対して傾斜して前記筐体に収容されている。
本開示の一実施形態に係る電磁波走査装置は、前記電磁波偏向装置と、前記透過部材に対して所定の角度で電磁波を入射させる照射部とを備える。
MEMSミラーを載置した筐体を傾斜した透過部材で封止する場合、封止性能の確保が難しくなる。ノイズの低減と封止性能の確保とを両方とも実現することが求められる。本開示の一実施形態に係る電磁波偏向装置及び電磁波走査装置によれば、ノイズの低減と封止性能の確保とが両方とも実現され得る。
(電磁波偏向装置1の構成例)
図1及び図2に示されるように、一実施形態に係る電磁波偏向装置1は、筐体10と、反射装置20と、透過部材30とを備える。筐体10は、反射装置20を内部に収容する。透過部材30は、反射装置20が筐体10の内部に収容された状態で筐体10に接合される。筐体10と透過部材30とが接合されることによって、反射装置20が内部に封止される。反射装置20は、透過部材30を通して外から入射する電磁波を反射して透過部材30を通して外へ射出するように構成される。
図1及び図2に示されるように、一実施形態に係る電磁波偏向装置1は、筐体10と、反射装置20と、透過部材30とを備える。筐体10は、反射装置20を内部に収容する。透過部材30は、反射装置20が筐体10の内部に収容された状態で筐体10に接合される。筐体10と透過部材30とが接合されることによって、反射装置20が内部に封止される。反射装置20は、透過部材30を通して外から入射する電磁波を反射して透過部材30を通して外へ射出するように構成される。
筐体10は、側壁12と、載置部14と、底面16とを備える。側壁12は、筐体10の周囲を囲むように位置する。筐体10は、側壁12の上端12Aで透過部材30と接合される。側壁12は、透過部材30が上端12Aに接合される際に、透過部材30の姿勢が略水平もしくは水平になるように構成される。具体的に、側壁12の各部における上端12Aの高さの差が小さくなるように構成されてよい。筐体10は、側壁12の上端12Aで囲まれて形成されている開口を備えるともいえる。透過部材30は、筐体10の開口に設けられるともいえる。
載置部14は、反射装置20を載置できるように構成される。載置部14は、図1において4か所で反射装置20を支持するように構成されている。載置部14によって反射装置20を支持する部分の数は、3か所以下であってもよいし5か所以上であってもよい。載置部14は、図1において反射装置20の角の部分を支持するように構成されているが、反射装置20の辺の部分を支持するように構成されてもよいし反射装置20の裏面の少なくとも一部を支持するように構成されてもよい。
電磁波偏向装置1において、底面16は、透過部材30の反対側の面に対応する。言い換えれば、底面16は、透過部材30が接合する側(開口)の反対側に位置する面に対応する。底面16は、電磁波偏向装置1の使用時において鉛直方向(重力が作用する方向)を向いてもよいし鉛直方向以外の方向を向いてもよい。底面16は、筐体10に透過部材30を接合する際に鉛直方向を向くとする。透過部材30は、筐体10の底面16が作業台等に接触する状態で、筐体10の側壁12の上端12Aに接合される。結果として、透過部材30は、底面16に対して略平行もしくは平行に位置するように接合される。底面16は、XY平面に沿っているとする。言い換えれば、底面16の法線はZ軸に沿っているとする。また、透過部材30の表面30Aの法線はZ軸に沿っているとする。
透過部材30は、反射装置20に入射する電磁波と、反射装置20で反射した電磁波とを透過するように構成される。透過部材30は、ガラス又は樹脂等を含んで構成されてよい。透過部材30は、反射装置20を封止している空間の外側を向く表面30Aを有する。透過部材30は、筐体10と接合することによって反射装置20を封止するともいえる。
反射装置20は、電磁波を反射するミラー22と、ミラー22を保持する基板24とを備える。ミラー22は、基板24に対して傾斜可能に構成される。反射装置20は、ミラー22を傾斜させる駆動部26を更に備えてよい。つまり、反射装置20は、ミラー22の姿勢を制御可能に構成される。ミラー22は、金属、半導体又は樹脂等を含んで構成されてよい。基板24は、樹脂、セラミック、半導体又は金属等を含んで構成されてよい。駆動部26は、圧電素子又はモータ等のアクチュエータを含んで構成されてよい。ミラー22及び駆動部26は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術に基づく製造プロセスによって基板24の上に形成されてもよい。
ミラー22は、図3に例示されるように、紙面に垂直な方向に延びる軸(Y軸に沿って延びる軸)の周りで基板24に対して傾斜可能に構成されてよい。紙面に垂直な方向に延びる軸(Y軸に沿って延びる軸)は、第1軸とも称される。第1軸は、基板24に沿う方向に延びているともいえる。ミラー22は、第1軸の周りで傾斜可能に構成されてよい。ミラー22Aは、ミラー22が第1軸の周りで反時計回りの方向に最大の角度で回転して傾斜した状態を表す。ミラー22Bは、ミラー22が第1軸の周りで時計回りの方向に最大の角度で回転して傾斜した状態を表す。
反射装置20に入射する電磁波は、入射電磁波40とも称される。反射装置20で反射された電磁波は、反射電磁波50とも称される。反射電磁波50は、ミラー22がミラー22Aとして表されるように反時計回りの方向に最大に傾斜している場合、反射電磁波50Aとして表される方向に進行する。反射電磁波50は、ミラー22がミラー22Bとして表されるように時計回りの方向に最大に傾斜している場合、反射電磁波50Bとして表される方向に進行する。ミラー22がミラー22Aとして表される状態とミラー22Bとして表される状態との間の状態で傾斜する場合、反射電磁波50は、反射電磁波50Aの方向と反射電磁波50Bの方向との間に含まれる方向に進行する。つまり、反射電磁波50は、ミラー22の傾斜角度の変化によって、反射電磁波50Aの方向と反射電磁波50Bの方向との間で走査される。反射電磁波50が走査される範囲は、走査範囲52とも称される。ミラー22が1つの軸の周りで傾斜する場合、反射電磁波50は、線状に(1次元に)走査される。つまり、走査範囲52が線状の範囲として表される。
入射電磁波40の少なくとも一部は、透過部材30を透過して反射装置20に入射する。一方で、入射電磁波40の一部は、透過部材30の表面30Aで反射される。透過部材30の表面30Aで反射された電磁波は、反射電磁波50の走査方向にかかわらず一定の方向に進行する。透過部材30の表面30Aで反射された電磁波は、反射波とも称される。また、透過部材30の表面30Aで反射された電磁波は、走査範囲52の中における反射電磁波50の走査にとって不要な電磁波であり、ノイズ電磁波60とも称される。
反射装置20は、1周期の走査の間に走査範囲52に含まれる各部分に到達する反射電磁波50の強度が均一になるように(各部分に到達した電磁波の強度の積分値の差が小さくなるように)、ミラー22の傾斜を制御する。仮に、ノイズ電磁波60が走査範囲52の中に進行する場合、ノイズ電磁波60が進行した部分だけ電磁波の強度の積分値が大きくなる。
本実施形態に係る電磁波偏向装置1は、ノイズ電磁波60(反射波)が走査範囲52の外に進行するように構成される。具体的に、反射装置20の基板24が筐体10の底面16に対してミラー22が傾斜するときの軸となる第1軸に沿う方向の軸の周りで傾斜するように載置部14に載置されてよい。言い換えれば、ミラー22は、底面16に対して傾斜して筐体10に収容されてよい。図3の例においてミラー22が傾斜するときの軸となる第1軸に沿う方向の軸は、紙面に垂直な方向に延びる軸(Y軸に沿って延びる軸)に対応する。基板24が底面16に対して傾斜することで、電磁波偏向装置1は、透過部材30の表面30Aによって定まっているノイズ電磁波60の進行方向が走査範囲52の外になるように、走査範囲52を移動させることができる。その結果、走査範囲52の中で電磁波を走査するときのノイズが低減され得る。基板24が底面16に対して傾斜することで、ミラー22は、電磁波の反射面が透過部材30と平行にならないように姿勢を制御可能に構成されているともいえる。
反射装置20の基板24は、筐体10の底面16に対してミラー22が傾斜するときの軸となる第1軸に沿う方向の軸の周りで所定角度より大きい角度で回転して傾斜するように載置部14に載置されてよい。基板24を傾斜させる方向は、軸に対して時計回りでもよいし反時計回りでもよい。
所定角度は、ミラー22が傾斜する角度に基づいて定まる。ミラー22は、基板24と略平行もしくは平行である状態を基準姿勢として、軸に対して時計回り及び反時計回りそれぞれへ最大傾斜角度まで傾斜する。時計回りの最大傾斜角度と反時計回りの最大傾斜角度とは等しいとする。この場合、所定角度は、最大傾斜角度の2倍の角度に設定されてよい。なぜならば、ミラー22が基準姿勢のときの反射電磁波50の進行方向とミラー22が傾斜したときの反射電磁波50の進行方向との間の角度は、ミラー22の傾斜角度の2倍になるからである。
ミラー22の最大傾斜角度が時計回り及び反時計回りそれぞれで異なる場合、所定角度は、傾斜の方向ごとに異なる値に設定されてよい。反射装置20の基板24を時計回りに傾斜させる場合の所定角度は、ミラー22の時計回りの最大傾斜角度の2倍の角度に設定されてよい。反射装置20の基板24を反時計回りに傾斜させる場合の所定角度は、ミラー22の反時計回りの最大傾斜角度の2倍の角度に設定されてよい。
反射装置20の基板24は、ミラー22が傾斜するときの軸である第1軸に交差する方向に沿った軸の周りで傾斜するように載置部14に載置されてよい。つまり、基板24は、電磁波を走査しない方向の軸の周りで傾斜してよい。このようにすることでも、電磁波偏向装置1は、透過部材30の表面30Aによって定まっているノイズ電磁波60の進行方向が走査範囲52の外になるように、走査範囲52を移動させることができる。基板24は、電磁波を走査する方向の軸(第1軸に沿った軸)、及び、電磁波を走査しない方向の軸の両方の軸の周りで傾斜するように載置部14に載置されてもよいし、いずれか一方の軸の周りだけで傾斜するように載置部14に載置されてもよい。
以上述べてきたように、実施形態に係る電磁波偏向装置1は、反射装置20を傾斜させることによってノイズ電磁波60の進行方向を走査範囲52の外にできる。その結果、ノイズが低減され得る。
比較例として、ノイズ電磁波60の進行方向を走査範囲52の外にするために、筐体10の底面16に対して透過部材30を傾斜させる構成が考えられる。透過部材30を筐体10の底面16に対して傾斜させる場合、透過部材30を筐体10に接合する際に、筐体10の上に透過部材30を傾斜した状態で置く必要がある。透過部材30と筐体10との接合工程における種々の条件は、透過部材30と筐体10とによる封止性能を確保できるように、筐体10の上に透過部材30を略水平に置いた状態で接合することを前提として決定されている。したがって、筐体10の上に透過部材30を傾斜させて置いた状態での接合によって、透過部材30と筐体10とによる封止性能が低下し得る。仮に、封止性能を確保するために接合工程における種々の条件を透過部材30の傾斜に合わせて決定しなおす場合、条件を決定しなおす作業負荷が増大し得る。また、透過部材30の傾斜角度を変更するたびに条件を決定しなおす必要が生じ、さらに作業負荷が増大し得る。
これに対して、本実施形態に係る電磁波偏向装置1は、筐体10の内部で反射装置20の基板24を底面16に対して傾斜させることによって、透過部材30を傾斜させずにノイズ電磁波60を走査範囲52の外に進行させることができる。このようにすることで、透過部材30を筐体10に接合する工程に影響を与えずにノイズを低減させることができる。その結果、ノイズの低減と封止性能の確保とが両方とも実現され得る。尚、電磁波偏向装置1は、走査範囲52が距離的に有限である場合、その距離を超えた領域(走査範囲52の延長上であって走査範囲52の外)にノイズ電磁波60が進行するように構成されることでも本実施形態と同等の効果を享受することができる。
(他の実施形態)
以下、他の実施形態が説明される。
以下、他の実施形態が説明される。
<電磁波走査装置>
入射電磁波40は、図3に示されるように光源70から射出されてよい。光源70は、透過部材30に対して所定の角度で電磁波を入射させる。光源70は、照射部とも称される。照射部と電磁波偏向装置1とを備える構成は、電磁波走査装置とも称される。電磁波走査装置は、ミラー22で反射した電磁波で所定の範囲を走査するようにミラー22の姿勢を制御する制御部を備えてよい。制御部は、ミラー22の電磁波の反射面が透過部材30と平行にならない範囲でミラー22の姿勢を制御してよい。
入射電磁波40は、図3に示されるように光源70から射出されてよい。光源70は、透過部材30に対して所定の角度で電磁波を入射させる。光源70は、照射部とも称される。照射部と電磁波偏向装置1とを備える構成は、電磁波走査装置とも称される。電磁波走査装置は、ミラー22で反射した電磁波で所定の範囲を走査するようにミラー22の姿勢を制御する制御部を備えてよい。制御部は、ミラー22の電磁波の反射面が透過部材30と平行にならない範囲でミラー22の姿勢を制御してよい。
電磁波偏向装置1又は電磁波走査装置は、反射電磁波50を所定の物体に向けて進行させる。反射電磁波50は、所定の物体において反射されたり散乱されたりして別に設けられる電磁波検出装置によって検出される。所定の物体は、検出対象とも称される。電磁波検出装置は、検出対象で反射されたり散乱されたりした電磁波の検出結果に基づいて、例えば、検出対象の画像を取得したり検出対象から電磁波検出装置までの距離データを取得したりする。電磁波検出装置は、電磁波偏向装置1による電磁波の走査の周期に合わせて検出対象からの電磁波を検出してもよい。つまり、電磁波偏向装置1は、電磁波検出装置による電磁波の検出のタイミングに同期させるように電磁波を走査してよい。電磁波偏向装置1は、電磁波検出装置による電磁波の検出のタイミングにかかわらず所定の周期で電磁波を走査してもよい。
<ミラー22が2軸それぞれの周りで傾斜する構成例>
図3の例において、ミラー22は、Y軸に沿って延びる軸の周りで傾斜可能に構成されていた。ミラー22は、図4に例示されるように、X軸に沿って延びる軸の周りでも傾斜可能に構成されてよい。つまり、ミラー22は、2本の軸それぞれの周りで傾斜可能に構成されてよい。言い換えれば、ミラー22は、第1軸の周りで傾斜可能に構成されるだけでなく、第1軸に交差する第2軸の周りでも傾斜可能に構成されてよい。第1軸及び第2軸は、基板24に沿う方向に延びているともいえる。ミラー22が2本の軸それぞれの周りで傾斜可能に構成されることによって、反射電磁波50は、面状に(2次元に)走査される。つまり、走査範囲52が面状の範囲として表される。
図3の例において、ミラー22は、Y軸に沿って延びる軸の周りで傾斜可能に構成されていた。ミラー22は、図4に例示されるように、X軸に沿って延びる軸の周りでも傾斜可能に構成されてよい。つまり、ミラー22は、2本の軸それぞれの周りで傾斜可能に構成されてよい。言い換えれば、ミラー22は、第1軸の周りで傾斜可能に構成されるだけでなく、第1軸に交差する第2軸の周りでも傾斜可能に構成されてよい。第1軸及び第2軸は、基板24に沿う方向に延びているともいえる。ミラー22が2本の軸それぞれの周りで傾斜可能に構成されることによって、反射電磁波50は、面状に(2次元に)走査される。つまり、走査範囲52が面状の範囲として表される。
反射装置20の基板24は、第1軸の周りで所定角度より大きい角度で回転して傾斜するように載置部14に載置されてよいし、第2軸の周りで所定角度より大きい角度で回転して傾斜するように載置部14に載置されてよい。
所定角度は、ミラー22が傾斜する角度に基づいて定まる。第1軸の周りでミラー22が回転するときの最大傾斜角度は、第1最大傾斜角度とも称される。第2軸の周りでミラー22が回転するときの最大傾斜角度は、第2最大傾斜角度とも称される。
第2最大傾斜角度が第1最大傾斜角度よりも大きい場合、反射装置20の基板24は、第1軸の周りで筐体10の底面16に対して第1最大傾斜角度の2倍より大きい角度で傾斜するように載置部14に載置されてよい。このようにすることで、ノイズ電磁波60が走査範囲52の外になり得る。
第2最大傾斜角度が第1最大傾斜角度よりも小さい場合、反射装置20の基板24は、第2軸の周りで筐体10の底面16に対して第2最大傾斜角度の2倍より大きい角度で傾斜するように載置部14に載置されてよい。このようにすることで、ノイズ電磁波60が走査範囲52の外になり得る。
第1最大傾斜角度と第2最大傾斜角度とが等しい場合、反射装置20の基板24は、第1軸及び第2軸の少なくとも一方の軸の周りで筐体10の底面16に対して第1最大傾斜角度(又は第2最大傾斜角度)の2倍より大きい角度で傾斜するように載置部14に載置されてよい。このようにすることで、ノイズ電磁波60が走査範囲52の外になり得る。
反射装置20の基板24は、第1軸及び第2軸のいずれか一方の軸の周りだけで筐体10の底面16に対して傾斜してもよいし、第1軸及び第2軸の両方の軸の周りで筐体10の底面16に対して傾斜してもよい。
<透過部材30の表面30Aの形状>
電磁波偏向装置1は、透過部材30の形状によって、ノイズ電磁波60の進行方向を走査範囲52の外にするように構成されてもよい。この場合、反射装置20の基板24は、筐体10の底面16に対して傾斜していなくてもよく、略平行であってよい。
電磁波偏向装置1は、透過部材30の形状によって、ノイズ電磁波60の進行方向を走査範囲52の外にするように構成されてもよい。この場合、反射装置20の基板24は、筐体10の底面16に対して傾斜していなくてもよく、略平行であってよい。
透過部材30は、図5に例示されるように、表面30Aに凸部32を有してよい。反射装置20の基板24は、筐体10の底面16に対して平行であるとする。他の構成は、図1及び図2に示されている構成と同一であるとする。
図6に示されるように、透過部材30が表面30Aの入射電磁波40が入射する部分に凸部32を有する場合、光源70からの入射電磁波40の少なくとも一部は、凸部32を通って透過部材30に入射する。凸部32から入射して反射装置20に到達した入射電磁波40は、反射装置20で反射される。反射電磁波50は、ミラー22がミラー22Aとして表されるように反時計回りの方向に最大に傾斜している場合、反射電磁波50Aとして表される方向に進行する。反射電磁波50は、ミラー22がミラー22Bとして表されるように時計回りの方向に最大に傾斜している場合、反射電磁波50Bとして表される方向に進行する。ミラー22がミラー22Aとして表される状態とミラー22Bとして表される状態との間の状態で傾斜する場合、反射電磁波50は、反射電磁波50Aの方向と反射電磁波50Bの方向との間に含まれる方向に進行する。つまり、反射電磁波50は、ミラー22の傾斜角度の変化によって、反射電磁波50Aの方向と反射電磁波50Bの方向との間の走査範囲52の中で走査される。
入射電磁波40の一部は、凸部32の表面で反射してノイズ電磁波60になる。電磁波偏向装置1は、凸部32を備えることによって、ノイズ電磁波60の進行方向を走査範囲52の外にできる。仮に、凸部32が存在せずに透過部材30の表面30Aが平坦である場合、平坦な表面30Aで反射された入射電磁波40は、仮定のノイズ電磁波62として進行する。仮定のノイズ電磁波62の進行方向は、走査範囲52の中になり得る。したがって、凸部32がノイズ電磁波60を走査範囲52の外に進行させるといえる。
透過部材30は、表面30Aの入射電磁波40が入射する部分に凹部を有してもよい。また、透過部材30は、表面30Aの入射電磁波40が入射する部分に傾斜面を有してもよい。透過部材30が表面30Aの入射電磁波40が入射する部分に凹部又は傾斜面を有する場合でも、入射電磁波40が入射するノイズ電磁波60の進行方向は、走査範囲52の外になり得る。
本開示に係る実施形態について説明する図は模式的なものである。図面上の寸法比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。
本開示に係る実施形態について、諸図面及び実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形又は改変を行うことが可能であることに注意されたい。従って、これらの変形又は改変は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。例えば、各構成部などに含まれる機能などは論理的に矛盾しないように再配置可能であり、複数の構成部などを1つに組み合わせたり、或いは分割したりすることが可能である。本開示の範囲にはこれらも包含されるものと理解されたい。
本開示において「第1」及び「第2」等の記載は、当該構成を区別するための識別子である。本開示における「第1」及び「第2」等の記載で区別された構成は、当該構成における番号を交換することができる。例えば、第1軸は、第2軸と識別子である「第1」と「第2」とを交換することができる。識別子の交換は同時に行われる。識別子の交換後も当該構成は区別される。識別子は削除してよい。識別子を削除した構成は、符号で区別される。本開示における「第1」及び「第2」等の識別子の記載のみに基づいて、当該構成の順序の解釈、小さい番号の識別子が存在することの根拠に利用してはならない。
本開示において、X軸、Y軸、及びZ軸は、説明の便宜上設けられたものであり、互いに入れ替えられてよい。本開示に係る構成は、X軸、Y軸、及びZ軸によって構成される直交座標系を用いて説明されてきた。本開示に係る各構成の位置関係は、直交関係にあると限定されるものではない。
1 電磁波偏向装置
10 筐体(12:側壁、12A:側壁の上端、14:載置部、16:底面)
20 反射装置(22、22A、22B:ミラー、24:基板、26:駆動部)
30 透過部材(30A:表面、32:凸部)
40 入射電磁波
50、50A、50B 反射電磁波
52 走査範囲
60 ノイズ電磁波
62 仮定のノイズ電磁波
70 光源
10 筐体(12:側壁、12A:側壁の上端、14:載置部、16:底面)
20 反射装置(22、22A、22B:ミラー、24:基板、26:駆動部)
30 透過部材(30A:表面、32:凸部)
40 入射電磁波
50、50A、50B 反射電磁波
52 走査範囲
60 ノイズ電磁波
62 仮定のノイズ電磁波
70 光源
Claims (11)
- 電磁波を反射するミラーと、
前記ミラーを収容し、開口を有する筐体と、
前記開口に設けられる透過部材と
を備え、
前記透過部材は、電磁波の少なくとも一部を透過するように構成され、
前記筐体は、前記開口の反対側に位置する底面を有し、
前記ミラーは、前記底面に対して傾斜して前記筐体に収容されている、電磁波偏向装置。 - 前記ミラーは、反射した電磁波で所定の範囲を走査するように姿勢を制御可能に構成され、入射した電磁波の前記透過部材の表面での反射波が前記所定の範囲の外に進行するように前記筐体に収容されている、請求項1に記載の電磁波偏向装置。
- 前記ミラーは、電磁波の反射面が前記透過部材と平行にならないように姿勢を制御可能に構成されている、請求項1又は2に記載の電磁波偏向装置。
- 前記透過部材は、前記筐体の底面に対して略平行もしくは平行で前記筐体に接合されている、請求項1から3までのいずれか一項に記載の電磁波偏向装置。
- 前記ミラーを保持する基板と、前記基板を載置する載置部とを備え、
前記基板は、前記底面に対して傾斜して前記載置部に載置されている、請求項1から4までのいずれか一項に記載の電磁波偏向装置。 - 前記ミラーは、前記基板に沿って延びる第1軸の周りで傾斜可能に構成され、
前記基板は、前記ミラーが前記第1軸の周りで傾斜したときの前記透過部材の表面に対する傾斜角度の最大値である第1最大傾斜角度の2倍より大きい角度で前記底面に対して前記第1軸の周りに傾斜して前記載置部に載置されている、請求項5に記載の電磁波偏向装置。 - 前記ミラーは、さらに、前記第1軸に交差し、かつ、前記基板に沿って延びる第2軸の周りで傾斜可能に構成され、
前記ミラーが前記第2軸の周りで傾斜したときの前記透過部材の表面に対する傾斜角度の最大値である第2最大傾斜角度が前記第1最大傾斜角度よりも大きい場合、前記基板は、前記第1軸の周りで前記底面に対して前記第1最大傾斜角度の2倍より大きい角度で傾斜するように前記載置部に載置され、
前記第2最大傾斜角度が前記第1最大傾斜角度よりも小さい場合、前記基板は、前記第2軸の周りで前記底面に対して前記第2最大傾斜角度の2倍より大きい角度で傾斜するように前記載置部に載置され、
前記第1最大傾斜角度と前記第2最大傾斜角度とが等しい場合、前記基板は、前記第1軸及び第2軸の少なくとも一方の軸の周りで前記底面に対して前記第1最大傾斜角度の2倍より大きい角度で傾斜するように前記載置部に載置される、請求項6に記載の電磁波偏向装置。 - 前記ミラーは、前記基板に沿って延びる第1軸の周りで傾斜可能に構成され、
前記基板は、前記第1軸に交差する方向に沿った軸の周りに傾斜している、請求項5から7までのいずれか一項に記載の電磁波偏向装置。 - 請求項1から8までのいずれか一項に記載の電磁波偏向装置と、
前記透過部材に対して所定の角度で電磁波を入射させる照射部と
を備える、電磁波走査装置。 - 前記ミラーで反射した電磁波で所定の範囲を走査するように前記ミラーの姿勢を制御する制御部を更に備え、
前記ミラーは、入射した電磁波の前記透過部材の表面での反射波が前記所定の範囲の外に進行するように前記筐体に収容されている、請求項9に記載の電磁波走査装置。 - 前記制御部は、前記ミラーの電磁波の反射面が、前記透過部材と平行にならない範囲で、前記ミラーの姿勢を制御する、請求項10に記載の電磁波走査装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022-019760 | 2022-02-10 | ||
JP2022019760 | 2022-02-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2023153373A1 true WO2023153373A1 (ja) | 2023-08-17 |
Family
ID=87564345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2023/003853 WO2023153373A1 (ja) | 2022-02-10 | 2023-02-06 | 電磁波偏向装置及び電磁波走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
WO (1) | WO2023153373A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060078256A1 (en) * | 2004-10-08 | 2006-04-13 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Light modulator package having inclined light transmissive lid |
JP2009069457A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Seiko Epson Corp | 光走査素子及び画像表示装置 |
JP2011517626A (ja) * | 2008-03-04 | 2011-06-16 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ | マイクロシステムのためのカバー及びカバーを製造する方法 |
JP2016099567A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2019211526A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 株式会社リコー | 光偏向装置及びその製造方法、画像投影装置、物体認識装置、レーザヘッドランプ装置、光書込装置、並びに移動体 |
WO2021100300A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラーユニット |
-
2023
- 2023-02-06 WO PCT/JP2023/003853 patent/WO2023153373A1/ja unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060078256A1 (en) * | 2004-10-08 | 2006-04-13 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Light modulator package having inclined light transmissive lid |
JP2009069457A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Seiko Epson Corp | 光走査素子及び画像表示装置 |
JP2011517626A (ja) * | 2008-03-04 | 2011-06-16 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ | マイクロシステムのためのカバー及びカバーを製造する方法 |
JP2016099567A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2019211526A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 株式会社リコー | 光偏向装置及びその製造方法、画像投影装置、物体認識装置、レーザヘッドランプ装置、光書込装置、並びに移動体 |
WO2021100300A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラーユニット |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9348134B2 (en) | Optical scanning unit, and apparatus including the optical scanning unit | |
US7948667B2 (en) | Optical scanning element and image display apparatus | |
US20160094831A1 (en) | Mirror micromechanical structure and related manufacturing process | |
US20060158713A1 (en) | Scanning apparatus | |
US20080310002A1 (en) | Scanning Type Image Display Apparatus | |
CN110462488B (zh) | 平视显示器装置 | |
JP2011059282A (ja) | 光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP2016099567A (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 | |
WO2023153373A1 (ja) | 電磁波偏向装置及び電磁波走査装置 | |
JP6146965B2 (ja) | 光走査装置及び内視鏡装置 | |
CN215526099U (zh) | 光扫描装置及激光雷达 | |
JP7355133B2 (ja) | 光偏向装置及びその製造方法、画像投影装置、物体認識装置、レーザヘッドランプ装置、光書込装置、並びに移動体 | |
JP4360923B2 (ja) | マイクロミラー装置 | |
JP7375378B2 (ja) | 光走査装置、光学計測装置、および、ロボット | |
JP7310341B2 (ja) | 光モジュール | |
KR20010011931A (ko) | 레이저 스케닝 장치 | |
JP6489388B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び車両 | |
KR20010081616A (ko) | 레이저 빔 스캔 장치 | |
JP2019053331A (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び車両 | |
WO2019146598A1 (ja) | ライダー装置 | |
WO2023190068A1 (ja) | 電磁波偏向装置及び電磁波走査装置 | |
JP2020057007A (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び車両 | |
US20230324677A1 (en) | Movable device, projection apparatus, and head-up display | |
JP4961870B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP7247553B2 (ja) | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 23752837 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |