WO2022270948A1 - 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버 - Google Patents

독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버 Download PDF

Info

Publication number
WO2022270948A1
WO2022270948A1 PCT/KR2022/008965 KR2022008965W WO2022270948A1 WO 2022270948 A1 WO2022270948 A1 WO 2022270948A1 KR 2022008965 W KR2022008965 W KR 2022008965W WO 2022270948 A1 WO2022270948 A1 WO 2022270948A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
prober
stage chamber
chamber module
cell structure
electrical
Prior art date
Application number
PCT/KR2022/008965
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
박남우
박기택
신기훈
Original Assignee
주식회사 쎄믹스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 쎄믹스 filed Critical 주식회사 쎄믹스
Publication of WO2022270948A1 publication Critical patent/WO2022270948A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2862—Chambers or ovens; Tanks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2868—Complete testing stations; systems; procedures; software aspects

Definitions

  • the present invention relates to a prober, which is a device for inspecting a wafer, and more particularly, to a prober having an independent modular cell structure.
  • a wafer prober which is a semiconductor inspection equipment, measures the electrical characteristics of semiconductor devices made on a wafer immediately before entering a post-process for a wafer that has completed all semiconductor pre-processes. It is a device that inspects and checks for defects.
  • a prober is used as a wafer inspection device to inspect electrical characteristics of each semiconductor element.
  • the prober includes a disk-shaped probe card facing the wafer, and the probe card includes contact probes, which are a plurality of columnar contact terminals disposed to face each electrode pad or each solder bump of a semiconductor device of the wafer.
  • each contact probe on the probe card contacts the electrode pad or solder bump of the semiconductor element, and a test signal flows from each contact probe to the electric circuit of the semiconductor element connected to each electrode pad or each solder bump, thereby ensuring the conduction of the electric circuit. check status, etc.
  • a group prober equipped with individual cells to have a plurality of prober stages is being developed.
  • electric fields are provided on both sides or one side, and power and communication are all provided in the integrated electric field. configured to control.
  • one integrated electric field maintenance equipment is electrically powered on the side of a group prober, when performing maintenance on one individual cell, there is a problem in that the entire group prober must be turned off and then maintenance performed.
  • an independent modular cell structure that enables independent maintenance, repair, and operation of individual probers constituting a cell in group prober equipment and can proceed without stopping the operation of the group prober during individual prober maintenance.
  • a prober having an independent modular cell structure includes a prober stage chamber module in which an inspection is performed by supplying a probe card and a wafer; and an electrical module installed below the prober stage chamber module, supporting a load of the prober stage chamber module, and having electrical components for power, control, and communication installed thereon.
  • a prober stage chamber module in which an inspection is performed by supplying a probe card and a wafer
  • an electrical module installed below the prober stage chamber module, supporting a load of the prober stage chamber module, and having electrical components for power, control, and communication installed thereon.
  • a frame made of a plurality of cells may be further included so that the prober stage chamber module and the electrical module may be assembled into one cell to form a group prober.
  • a vibration isolation device may be provided inside the prober stage chamber module and the electrical module, respectively.
  • a space portion for supplying, separating, or controlling a work object is formed on the upper portion of the prober stage chamber module, and the space portion may be formed in an open or closed form.
  • an integrated electric unit installed on one side of the frame and connected to the electric module of each cell by a master cable having power and communication lines may be further included.
  • an electric maintenance door installed on one side of the prober stage chamber module to open and close the inside of the prober stage chamber module, wherein the electric maintenance door is inside the door body and inside the prober stage chamber module.
  • a space capable of accommodating electrical components to control the electrical operation of the probe is formed, power lines and communication lines are introduced from the outside, and the power lines and communication lines are connected to the electrical components inside the prober stage chamber module.
  • the burrs may be individually controllable.
  • a switch capable of individually turning on/off power of a prober stage of each cell may be provided at the electrical maintenance door.
  • the electrical maintenance door in the closed state, the prober stage chamber module is in close contact with the first sealing member installed in the entrance to seal the inner case formed with an internal space to accommodate electrical components therein;
  • a cover assembled to the inner case from an opposite side of the prober stage chamber module to open and close the inner space of the inner case may be included.
  • the electrical maintenance door may be assembled to be opened and closed to the prober stage chamber module by a hinge, and a cutout through which a master cable having a power line and a communication line passes may be formed in the inner case.
  • the cutout portion may be integrally formed across the front and side surfaces of the inner case so that the master cable does not interfere when the electric maintenance door is opened and closed.
  • the incision may be sealed by a second sealing member installed on the prober stage chamber module side in a closed state of the electrical maintenance door, and a passage hole through which a master cable passes may be formed in the second sealing member.
  • a detection switch capable of physically detecting whether the door is open may be installed between the prober stage chamber module and the electrical maintenance door.
  • the prober having an independent modular cell structure can install a single prober in individual cell units and individually control and manage it, so that individual maintenance and repair for each cell in a group prober is possible. , the operation becomes possible.
  • the design of the connection cable with the integrated electric part can be made very simple.
  • FIG. 1 is a perspective view of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is an exploded perspective view of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is an assembled perspective view of a single prober applied to a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a perspective view of a state in which a door cover of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention is separated.
  • FIG. 6 is a perspective view of a door of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention in an open state.
  • FIG. 7 is a front configuration view of an incision in a closed state of a door of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention.
  • Words and terms used in this specification and claims are not construed as limited in their ordinary or dictionary meanings, but in accordance with the principle that the inventors can define terms and concepts in order to best describe their inventions. It should be interpreted as a meaning and concept that corresponds to the technical idea.
  • a component being in the "front”, “rear”, “above” or “below” of another component means that it is in direct contact with another component, unless there are special circumstances, and is “in front”, “rear”, “above” or “below”. It includes not only those disposed at the lower part, but also cases in which another component is disposed in the middle.
  • the fact that certain components are “connected” to other components includes cases where they are not only directly connected to each other but also indirectly connected to each other unless there are special circumstances.
  • a prober 10 having an independent modular cell structure includes a prober stage chamber module 110 and an electrical module 140 .
  • the prober stage chamber module 110 may be inspected by supplying a probe card and a wafer.
  • a dust removal device may be provided inside the prober stage chamber module 110 to filter foreign substances such as dust during air conditioning.
  • the prober stage chamber module 110 should be isolated from the external environment when the wafer is inspected inside, and the inspection must be performed in a suitable environment. Therefore, the prober stage chamber module 110 must be isolated and sealed in all directions during inspection.
  • the prober stage chamber module 110 may be provided with different wafers and probe cards for each cell, and may be operated individually. Therefore, in most cases, inspections do not start at the same time and finish at the same time. In other words, in most cases, the working time and situation may proceed differently. Therefore, it is very important that maintenance, repair, and operation are performed for each prober stage chamber module 110 of each cell.
  • a space 130 for supplying, separating, or controlling a work object is formed on the upper side of the prober stage chamber module 110, and the space 130 is opened using a partition wall member 131. Or it may be made in a closed form.
  • a single prober entering one cell by the space part 130 can be composed of three layers.
  • the prober stage chamber module 110 and the electrical module 140 may be assembled into the cells 11a of the frame 11 in a state of being coupled, or may be assembled by inserting them into cells one by one in a separated state.
  • the electrical module 140 is installed below the prober stage chamber module 110 and supports the load of the prober stage chamber module 140 on the upper side, while providing power and Electrical components for control and communication may be installed.
  • a vibration isolation device 141a may be provided inside the main body 141 of the electrical module.
  • the prober stage chamber module 110 and the electrical module 140 are assembled into one cell to form a group prober.
  • a frame 11 made of a plurality of cells may be further included.
  • the present invention has a structure applicable to the single prober 100 and the group prober 10, and when applied to the group prober, the frame 11 can be applied.
  • the frame 11 merely performs a physical role of supporting the single prober 100 described above. That is, the group prober 10 can be implemented by manufacturing the frame 11, which is a skeleton, according to design, and assembling the single prober 100 in response thereto and directly assembling the frame to the frame. Of course, each single prober can be operated and controlled independently.
  • the prober having an independent modular cell structure is installed on one side of the frame 11 and connected to the electrical module 140 of each cell by a master cable having power and communication lines.
  • a tenon 12 may be further included.
  • the integrated electric unit 12 is equipped with a plurality of single probers 100, it is possible to operate individually, but is installed so that each of them can be collectively controlled from the outside again. That is, by placing the integrated electronic unit 12 on the left side of the frame 11, the operator can quickly monitor and simultaneously control all operations at one place.
  • the prober stage chamber module 110 maintains an electric field to facilitate maintenance individually in each single prober 100.
  • a maintenance door 120 may be included.
  • the single prober 100 is entirely controlled by the electrical module 140, but the electrical maintenance door 120 can be installed for more convenient maintenance.
  • the electrical maintenance door 120 is installed on one side of the prober stage chamber module 110 to open and close the inside of the prober stage chamber module 120 .
  • a space is formed inside the door body to accommodate electrical components so as to control the electrical operation inside the prober stage chamber module 110, and a power line and The prober stage 100 installed in each cell can be individually controlled by introducing a communication line and connecting the power line and the communication line to electrical components inside the prober stage chamber module 110 .
  • the electrical maintenance door 120 may open and close the prober stage chamber module 110 while being rotated by the hinge 123 .
  • a sliding method may be considered in addition to a method in which the electrical maintenance door 120 rotates using the hinge 123, but due to the characteristics of the group prober 10 of FIG. 1, adjacent prober stages 100 interfere with each other Since this can be, a casement type using a hinge 123 would be preferable.
  • an on/off switch capable of individually turning on/off the power of the prober stage module 100 of each cell may be provided at the electrical maintenance door 120 .
  • the target prober stage 100 can be turned on and off using the on/off switch to perform maintenance, repair, and operation, and prober stages other than the target prober stage 100 can perform their own inspections without interference. can Therefore, individual maintenance, repair, and operation of the prober stage 100 of each cell are possible.
  • the electrical maintenance door 120 adheres closely to the first sealing member 114 installed at the entrance to seal the prober stage chamber module 110, and has an internal space to accommodate electrical components therein.
  • the inner case 121 has a border 124 and has an open front surface to form an internal space.
  • the cover 122 can be easily assembled and separated by a piece on the open part of the front side. Therefore, during maintenance, repair, and operation, the cover 122 may be separated as necessary to maintain, repair, and operate electrical components inside the door 120 .
  • the electrical maintenance door 120 is assembled to be opened and closed to the prober stage chamber module 110 with a hinge 123, and the inner case 121 has a master cable 13 provided with a power line and a communication line ) may be formed through the cutout (121a).
  • the cutout 121a may be integrally formed over the front and side surfaces of the inner case 121 so that the master cable 13 does not interfere when the electrical maintenance door 120 is opened and closed.
  • the cutout 121a is sealed by the second sealing member 113 installed on the side of the prober stage chamber 110 when the electrical maintenance door 120 is closed, and the second sealing member ( 113 may have a through hole through which the master cable 13 passes.
  • a detection switch 111 capable of physically detecting whether or not it is opened may be installed between the prober stage chamber module 110 and the electrical maintenance door 120 .
  • the detection switch 111 installed on the side of the prober stage chamber 110 is bitten by the rim 124 of the inner case 121 to physically sense the locked state.
  • a locking part may be installed on the electrical maintenance door 120 and the prober stage chamber module 110 to maintain a locked state.
  • the locking portion may be locked using a variety of locking mechanisms.
  • these mechanisms may also apply bolts and nuts.
  • a lever-type locking mechanism for closing a large freezer or other warehouse may be applied.
  • Various locking mechanisms can be applied, but since the prober stage chamber module 110 is maintained in a sealed state, it is better to apply a locking mechanism that can be sealed together with the first sealing member 114 rather than simply closing. desirable.
  • the prober 10 includes a frame 11 dividing each cell, a prober stage 100 installed in the frame 11, and an integrated electric unit 12.
  • the prober stage chamber module 110 and the electrical module 140 may be assembled and installed in each cell.
  • An integrated electrical unit 12 is installed on one side of the frame 11, and the integrated electrical unit 12 is connected to the electrical maintenance door 120 installed in each cell by a master cable 13. Therefore, the integrated electrical unit 12 does not directly control the prober stage 100 of each cell, but controls the electrical module 140 of each cell or the electrical components of the electrical maintenance door 120 or controls the overall situation by communicating. will do
  • FIG. 2 a front view of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention is shown.
  • the prober stage chamber module 110 to be inspected is made in a substantially box shape and has an electrical maintenance door 120 installed on the front side.
  • the electrical module 140, the prober stage chamber module 110, and the space unit 130 may be sequentially stacked to complete a single prober.
  • FIG. 3 an assembly view of a prober stage chamber module 110 and an electrical module 140 of a prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention is shown.
  • the two components are assembled vertically, but as described above, they can be engaged at precise positions by grooves and protrusions, and in that state, they can be fastened to each other and to the frame by means of fastening members.
  • fastening members Of course, after assembling, electrical and electronic contact with each other enables automatic electrical connection.
  • a single prober of a prober having an independent modular cell structure is shown assembled. From the bottom, it is composed of three layers: the electric module 140, the prober stage chamber module 110, and the space part 130. In this state or by being fastened to each cell of the frame 11 one by one, it may be fixed and supported.
  • FIG. 5 it is a perspective view of the electrical maintenance door in a state in which the door cover 122 is separated.
  • the cover 122 of the electrical maintenance door 120 is separated, and electrical components in the internal space are shown.
  • the master cable 13 of the integrated electric unit 12 may pass through one side of the inner case 121 or the cover 122 and be connected to the inside of the door 120 . Even in the state of the illustrated door 120, the chamber 110 is sealed and only the cover 122 is separated. In this state, maintenance, repair, and operation of the prober stage 100 may be performed.
  • the master cable 13 led inside the door 120 is not only connected to electrical components in the internal space, but also connected to the inside of the prober stage chamber module 110 through the cutout 121a to control power and communication. .
  • FIGS. 6 and 7 a state in which the door 120 of the prober having an independent modular cell structure according to an embodiment of the present invention is opened is shown.
  • the locking member 125 of the door 120 is released and the door 120 is rotated around the hinge 123 to open the inside of the chamber module 110 .
  • the detection switch 111 pressed on the inner case 121 is released to detect that the door 120 is opened, and this can be transmitted to the integrated electronic unit 12 .
  • the master cable 13 connecting the door 120 and the prober stage 100 may be connected through the cutout 121a.
  • the master cable 13 is not shown, a part of the master cable 13 will be fixed to the second sealing member 113 by the sealing 13a for sealing.
  • the master cable 13 is completely fixed inside the prober stage 100 at the second sealing member 113 and does not move at all, and there is a slight flow gap from the second sealing member 113 to the inside of the door 120.
  • the cutout 121a is formed by integrally cutting a portion of the side surface and a portion of the front surface of the inner case 121 to minimize interference during hinge rotation of the door 120 .
  • the cutout 121a on the side is sealed by being in close contact with the sealing member 112 installed on the side of the hinge 123, and the cutout on the front side is the second sealing member 113 as shown in FIG. Sealing will be done by When the door 120 is closed and sealed using the locking member 125, the inside of the prober stage chamber module 110 is completely sealed. Of course, the inspection work proceeds in that state.
  • the on/off switch of only the prober stage 100 of that cell can be turned off to perform repair, maintenance, and the like.
  • the prober stage 100 of the other cell will continue to perform its work.
  • the present invention can be applied to an apparatus for inspecting a wafer.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Structure Of Telephone Exchanges (AREA)

Abstract

독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버는, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버 모듈; 및 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 하부에 설치되고 상부의 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 하중을 지지하는 동시에 전원과 제어 및 통신을 위한 전장품이 설치된 전장 모듈; 을 포함할 수 있다.

Description

독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버
본 발명은 웨이퍼를 검사하는 장비인 프로버에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼 상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다.
다수의 반도체 소자가 형성된 반도체 웨이퍼에 있어서, 각 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 하기 위해, 웨이퍼 검사 장치로서 프로버가 이용되고 있다. 프로버는 웨이퍼와 대향하는 원판형 프로브 카드를 구비하고, 프로브 카드는 웨이퍼의 반도체 소자의 각 전극 패드나 각 솔더 범프와 대향하도록 배치되는 복수의 기둥형 접촉단자인 콘택트 프로브를 구비한다.
프로버에서는 프로브 카드의 각 콘택트 프로브가 반도체 소자의 전극 패드나 솔더 범프와 접촉하고 각 콘택트 프로브에서 각 전극 패드나 각 솔더 범프에 접속된 반도체 소자의 전기 회로로 검사 신호를 흐르게 함으로써 전기 회로의 도통 상태 등을 검사한다.
종래 기술에 의하면, 복수개의 프로버 스테이지를 갖도록 개별 셀이 구비된 그룹 프로버가 개발되고 있는 실정인데, 통상 양측면 또는 일측면에 전장을 구비하도록 하고, 그 통합 전장부에서 전원과 통신 등을 모두 제어하도록 구성되어 있다. 이러한 종래기술은 통합된 하나의 전장 유지보수 장비가 그룹 프로버의 측부에서 전장되는 경우, 개별 셀 하나의 유지 보수 시, 그룹 프로버 전체를 오프한 다음 유지보수를 진행해야 하는 문제점 있었다.
따라서, 종래기술은 그룹 프로버의 셀 개수가 많으면 많을수록 유지보수 시 전체 장치의 진행을 멈춘 상태에서 유지보수를 진행해야 하기 때문에 전체 검사 진행 시간의 손해를 더욱 발생시키게 되는 문제점이 있었다.
또한, 통합 전장 유지보수 장비를 로더의 측부나 상부 공간을 활용하여 구성하는 경우가 있는데, 이러한 공간활용은 자동화 등에 매우 불리한 문제점이 있었다.
본 발명에 따르면 그룹 프로버 장비에서 셀을 이루는 개별 프로버에 대한 독립적인 유지, 보수, 운영이 가능하고 개별 프로버 유지보수 시 그룹 프로버의 가동을 멈추지 않고 진행할 수 있는 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버를 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버는, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버 모듈; 및 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 하부에 설치되고 상부의 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 하중을 지지하는 동시에 전원과 제어 및 통신을 위한 전장품이 설치된 전장 모듈; 을 포함할 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈과 전장 모듈이 하나의 셀에 조립되어 그룹 프로버를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어진 프레임을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈과 상기 전장 모듈 내부에는 각각 제진장비가 구비될 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 상부에는 내부로 작업 대상물의 공급, 분리 또는 제어를 위한 공간부가 형성되고, 상기 공간부는 개방 또는 폐쇄된 형태로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 프레임의 일측에 설치되고, 각 셀의 전장 모듈에 전력과 통신선을 구비한 마스터 케이블로 연결된 통합 전장부를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어를 더 포함하고, 상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버가 개별적으로 제어 가능할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어에는 각 셀의 프로버 스테이지의 전력을 개별적으로 온오프할 수 있는 스위치가 구비될 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어는, 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈을 밀폐하도록 출입구에 설치된 제1 실링 부재에 밀착되고, 내부에 전장품을 수용할 수 있도록 내부 공간이 형성된 내측 케이스; 상기 내측 케이스의 내부 공간을 개폐할 수 있도록 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 반대쪽에서 상기 내측 케이스에 조립되는 커버;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어는 힌지로 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈에 개폐할 수 있도록 조립되고, 상기 내측 케이스에는 전력선과 통신선이 구비된 마스터 케이블이 통과하는 절개부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어의 개폐 시 상기 마스터 케이블이 간섭되지 않도록 상기 내측 케이스 정면과 측면에 걸쳐 일체로 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어가 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 측에 설치된 제2 실링 부재에 의해 밀폐되고, 상기 제2 실링 부재에는 마스터 케이블이 통과하는 통과홀이 형성될 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈과 상기 전장 유지보수 도어 사이에는 개방 여부를 물리적으로 감지할 수 있는 감지 스위치가 설치될 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버는, 개별적인 셀 단위로 싱글 프로버를 설치하고 이를 개별적으로 제어 및 관리가 가능하여 그룹 프로버에서 각 셀 별로 개별적인 유지, 보수, 운영이 가능해진다.
본 발명에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버는, 각 셀의 도어에 전장부가 설치되어 있기 때문에 통합 전장부와의 연결 케이블 설계가 매우 간결하게 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버에 적용되는 싱글 프로버의 조립된 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 도어의 커버가 분리된 상태의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 도어가 개방된 상태의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 도어가 닫힌 상태의 절개부의 정면 구성도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버(10)를 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버(10)는 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 전장 모듈(140)을 포함한다.
상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)은, 도 1 내지 도 4를 참고하면, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어질 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 내부에는 공조 시, 먼지 등 이물질을 여과할 수 있도록 제진장비가 구비될 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)은 내부에서 웨이퍼의 검사가 이루어질 때 외부 환경과 격리하고 적합한 환경에서 검사가 이루어져야 한다. 따라서 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)은 검사 시, 모든 방향에서 격리 및 밀폐된 상태를 유지해야 한다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)은 각 셀마다 서로 다른 웨이퍼와 프로브 카드가 제공될 수 있고, 개별적으로 작동이 이루어질 수도 있다. 따라서 대부분의 경우 검사 시 동시에 시작하여 동시에 완료되는 것은 아니다. 즉 대부분의 경우 서로 작업 시간과 상황이 다르게 진행될 수 있다. 따라서 각 셀의 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 별로 유지, 보수, 운영이 이루어지는 것이 매우 중요하다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 상부에는 내부로 작업 대상물의 공급, 분리 또는 제어를 위한 공간부(130)가 형성되고, 상기 공간부(130)는 격벽 부재(131)를 이용하여 개방 또는 폐쇄된 형태로 이루어질 수 있다. 상기 공간부(130)에 의해 하나의 셀에 들어가는 싱글 프로버는 3층으로 구성될 수 있게 된다. 물론 조립 시, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 전장 모듈(140)을 결합한 상태에서 프레임(11)의 셀(11a)에 조립하거나 분리된 상태에서 하나씩 셀에 넣어 조립할 수도 있다.
상기 전장 모듈(140)은, 도 1 내지 도 4를 참고하면, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)의 하부에 설치되고 상부의 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(140)의 하중을 지지하는 동시에 전원과 제어 및 통신을 위한 전장품이 설치될 수 있다.
이때, 상기 전장 모듈의 본체(141) 내부에도 제진장비(141a)가 구비될 수 있다.
이때, 상기 전장 모듈(140) 상부에 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)이 놓이게 되면 각각 설치된 전기 단자가 서로 접촉되어 그 상태로 전기적인 연결이 가능할 수 있다. 또한 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 상기 전장 모듈(140)의 접촉되는 면에는 홈부와 돌출부가 서로 대응되는 위치에 형성되어 서로 밀착되면 그 위치가 자동으로 확보되고 그 상태에서 체결 부재에 의해 체결됨으로써 물리적, 전기적 조립이 완성될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버(10)는, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 전장 모듈(140)이 하나의 셀에 조립되어 그룹 프로버를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어진 프레임(11)을 더 포함할 수 있다.
본 발명은 싱글 프로버(100)와 그룹 프로버(10)에 적용이 가능한 구조를 가지고, 그룹 프로버에 적용되는 경우에는 프레임(11)이 적용될 수 있다.
물론, 상기 프레임(11)은 전술한 싱글 프로버(100)를 지지하는 물리적인 역할을 수행할 뿐이다. 즉 뼈대인 프레임(11)을 설계대로 제작하고, 이에 대응하여 싱글 프로버(100)를 조립하여 프레임에 바로 조립함으로써 그룹 프로버(10)를 구현할 수 있다. 물론 각 싱글 프로버는 독립적으로 작동 및 제어될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버는, 상기 프레임(11)의 일측에 설치되고, 각 셀의 전장 모듈(140)에 전력과 통신선을 구비한 마스터 케이블로 연결된 통합 전장부(12)를 더 포함할 수 있다.
이때, 도 2를 참고하면, 상기 통합 전장부(12)는 여러 개의 싱글 프로버(100)들이 장착되어 있기 때문에 개별적으로 작동은 가능하지만, 각각을 다시 외부에서 통합적으로 제어할 수 있도록 설치된 것이다. 즉 프레임(11) 좌측에 통합 전장부(12)를 둠으로써 그 위치에서 작업자가 모든 작업을 신속하게 한 곳에서 감시하는 동시에 제어할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버는, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)에 각 싱글 프로버(100)에서 유지 보수를 개별적으로 용이하게 할 수 있도록 전장 유지 보수 도어(120)를 포함할 수 있다.
물론, 상기 전장 모듈(140)에서 싱글 프로버(100)를 전체적으로 제어하게 되나 좀 더 편리한 유지 보수를 위하여 전장 유지 보수 도어(120)를 둘 수 있는 것이다.
상기 전장 유지보수 도어(120)는, 도 4 내지 도 7을 참고하면, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(120) 내부를 개폐할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버 스테이지(100)가 개별적으로 제어 가능할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는 힌지(123)에 의해 회전되면서 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)를 개폐할 수 있다. 여기서 힌지(123)를 이용하여 전장 유지보수 도어(120)가 회전하는 방식 외에도 슬라이딩 방식을 고려할 수 있으나 도 1의 그룹 프로버(10)의 특성 상, 인접하는 프로버 스테이지(100)에 서로 간섭이 될 수 있기 때문에 힌지(123)를 이용한 여닫이식이 바람직할 것이다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)에는 각 셀의 프로버 스테이지 모듈(100)의 전력을 개별적으로 온오프할 수 있는 온오프 스위치가 구비될 수 있다.
이때, 상기 온오프 스위치를 이용하여 대상 프로버 스테이지(100)를 온오프하여 유지, 보수, 운영을 할 수 있고, 대상 프로버 스테이지(100) 외의 프로버 스테이지들은 각자 진행하는 검사를 간섭없이 진행할 수 있다. 따라서 각 셀의 프로버 스테이지(100)의 개별적인 유지, 보수, 운영이 가능해진다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)을 밀폐하도록 출입구에 설치된 제1 실링 부재(114)에 밀착되고, 내부에 전장품을 수용할 수 있도록 내부 공간이 형성된 내측 케이스(121)와, 상기 내측 케이스(121)의 내부 공간을 개폐할 수 있도록 상기 프로버 스테이지 챔버(110) 반대쪽에서 상기 내측 케이스(121)에 조립되는 커버(122)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 내측 케이스(121)는 테두리(124)를 갖고, 내부 공간이 형성될 수 있도록 전면이 개방된 형태를 가진다. 물론 전면의 개방된 부분에는 상기 커버(122)가 피스에 의해 손쉽게 조립 및 분리될 수 있다. 따라서 유지, 보수, 운영 시, 필요에 따라 상기 커버(122)를 분리하고 도어(120) 내부의 전장품을 유지, 보수, 운영할 수 있을 것이다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는 힌지(123)로 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)에 개폐할 수 있도록 조립되고, 상기 내측 케이스(121)에는 전력선과 통신선이 구비된 마스터 케이블(13)이 통과하는 절개부(121a)가 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부(121a)는 상기 전장 유지보수 도어(120)의 개폐 시 상기 마스터 케이블(13)이 간섭되지 않도록 상기 내측 케이스(121) 정면과 측면에 걸쳐 일체로 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부(121a)는 상기 전장 유지보수 도어(120)가 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버(110) 측에 설치된 제2 실링 부재(113)에 의해 밀폐되고, 상기 제2 실링 부재(113)에는 마스터 케이블(13)이 통과하는 통과홀이 형성될 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 상기 전장 유지보수 도어(120) 사이에는 개방 여부를 물리적으로 감지할 수 있는 감지 스위치(111)가 설치될 수 있다. 전장 유지보수 도어(120)가 잠길 때, 프로버 스테이지 챔버(110) 측에 설치된 감지 스위치(111)가 내측 케이스(121)의 테두리(124)에 의해 물려 물리적으로 잠금 상태를 감지하게 된다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)와 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)에는 잠금 상태를 유지할 수 있도록 잠금부가 설치될 수 있다. 잠금부는 다양한 잠금 기구를 사용하여 잠글 수 있을 것이다. 여기서는 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 측에서 돌출된 피스가 내측 케이스(121) 테두리(124)에 형성된 관통 홀(142a)을 관통하면 잠금 부재(125)로 조여 잠글 수 있도록 되어 있다. 물론 이러한 기구는 볼트, 너트를 적용할 수도 있을 것이다. 다른 예로 대형 냉동고나 기타 창고를 밀폐하기 위한 지렛대 방식의 잠금 기구를 응용할 수도 있을 것이다. 다양한 잠금 기구를 적용할 수 있으나 다만 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)을 밀폐한 상태로 유지하게 하기 때문에 단순히 닫는 용도가 아닌 제1 실링 부재(114)와 함께 밀폐할 수 있는 잠금 기구를 적용하는 것이 바람직하다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버(10)의 사시도가 도시되어 있다. 프로버(10)는 각 셀을 나누는 형태의 프레임(11), 프레임(11)에 설치되는 프로버 스테이지(100), 그리고 통합 전장부(12)를 포함한다. 여기서는 3개 층으로 각 층마다 4개씩 셀이 형성되어 있는 형태이다. 각 셀에는 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 전장 모듈(140)가 조립 설치될 수 있다. 프레임(11) 일측에는 통합 전장부(12)가 설치되어 있으며, 통합 전장부(12)는 각 셀에 설치된 전장 유지보수 도어(120)에 마스터 케이블(13)에 의해 연결되어 있다. 따라서 통합 전장부(12)는 각 셀의 프로버 스테이지(100)를 직접 제어하는 것이 아니라 각 셀의 전장 모듈(140) 또는 전장 유지보수 도어(120)의 전장품을 제어하거나 통신함으로써 전체적인 상황을 케어하게 된다.
도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 정면도가 도시되어 있다. 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)은 대략 박스 형태로 이루어지고 전면에 전장 유지보수 도어(120)가 설치되어 있다. 또한 전장 모듈(140), 프로버 스테이지 챔버 모듈(110), 그리고 공간부(130) 순서로 적층되어 싱글 프로버가 완성될 수 있다.
도 3를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 프로버 스테이지 챔버 모듈(110)과 전장 모듈(140)의 조립도가 도시되어 있다. 두 구성품은 상하로 조립되되, 전술한 바와 같이 홈부와 돌출부 등에 의해 정확한 위치에서 맞물림이 가능하고, 그 상태에서 체결 부재에 의해 상호 체결 및 프레임에도 체결이 가능하다. 물론 조립 후, 서로 전기 전자가 접촉되어 자동으로 전기적으로도 연결이 가능하다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 싱글 프로버가 조립된 상태를 보여준다. 하부로부터 전장 모듈(140), 프로버 스테이지 챔버 모듈(110), 그리고 공간부(130)의 3층으로 이루어지게 된다. 이 상태에서 또는 부재 하나씩 프레임(11)의 각 셀에 체결되어 고정 및 지지될 수 있을 것이다.
도 5를 참고하면, 도어 커버(122)가 분리된 상태의 전장 유지보수 도어의 사시도이다. 상기 전장 유지보수 도어(120)의 커버(122)가 분리되어 있고, 내부 공간의 전장품들이 도시되어 있다. 통합 전장부(12)의 마스터 케이블(13)은 내측 케이스(121)의 일측 또는 커버(122)를 관통하여 도어(120) 내부와 연결될 수 있다. 도시된 도어(120)의 상태에서도 챔버(110)는 밀폐되어 있고 커버(122)만이 분리된 상태이다. 이러한 상태에서 해당 프로버 스테이지(100)의 유지, 보수, 운영이 이루어질 수 있다. 도어(120) 내측으로 인입된 마스터 케이블(13)은 내부 공간의 전장품에 연결될 뿐만 아니라, 절개부(121a)를 통하여 다시 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 내측까지 연결되어 전력 및 통신을 제어하게 된다.
도 6과 도 7을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버의 도어(120)가 개방된 상태가 도시되어 있다. 도어(120)가 잠금 부재(125)가 해제되고 도어(120)가 힌지(123)를 중심으로 회전되어 챔버 모듈(110) 내부가 개방된다. 이때 내측 케이스(121)에 눌려 있던 감지 스위치(111)는 해제되어 도어(120)가 개방되었음을 감지하고 이는 통합 전장부(12)에 송신될 수 있다. 이러한 상태에서 챔버(110) 내부의 수리나 기타 유지, 보수, 운영이 가능할 것이다. 도어(120)와 프로버 스테이지(100)를 연결하는 마스터 케이블(13)은 절개부(121a)를 통과하여 연결될 수 있다. 여기서 마스터 케이블(13)은 도시되어 있지 않지만 마스터 케이블(13)은 실링을 위하여 제2 실링 부재(113)에 일부가 실링(13a) 고정되어 있을 것이다. 마스터 케이블(13)은 제2 실링 부재(113)에서 프로버 스테이지(100) 내부에서는 완전히 고정되어 전혀 움직이지 않은 상태이고, 제2 실링 부재(113)에서 도어(120) 내측까지는 약간의 유동 간격을 가질 수 있다. 절개부(121a)는 내측 케이스(121) 측면 일부와 전면 일부가 일체로 절개되어 형성되어 도어(120)의 힌지 회전 시 간섭을 최소화하도록 되어 있다. 도어(120) 밀폐 시, 측면의 절개부(121a)는 힌지(123) 쪽에 설치된 실링 부재(112)에 밀착되어 실링되고, 전면의 절개부는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 실링 부재(113)에 의해 실링이 이루어질 것이다. 도어(120)를 닫고 잠금 부재(125)를 이용하여 밀폐시키면 프로버 스테이지 챔버 모듈(110) 내부는 완전히 밀폐된다. 물론 그 상태에서 검사 작업이 진행된다.
이때, 어느 한 셀의 프로버 스테이지(100)를 유지, 보수, 운영하고자 할 때에는 그 셀의 프로버 스테이지(100)만 온오프 스위치를 오프하여 수리, 보수 등을 진행할 수 있다. 물론 그 외 셀의 프로버 스테이지(100)는 계속 하던 작업을 수행할 것이다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
본 발명은 웨이퍼를 검사하는 장치에 적용이 가능하다.

Claims (12)

  1. 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버 모듈;
    상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 하부에 조립되고 전원과 제어 및 통신을 위한 전장품이 설치된 전장 모듈; 을 포함하는 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 프로버 스테이지 챔버 모듈과 전장 모듈이 하나의 셀에 조립되어 그룹 프로버를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어진 프레임을 더 포함하는, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 프로버 스테이지 챔버 모듈과 상기 전장 모듈 내부에는 각각 제진장비가 구비된, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 상부에는 내부로 작업 대상물의 공급, 분리 또는 제어를 위한 공간부가 형성되고, 상기 공간부는 개방 또는 폐쇄된 형태로 이루어진, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 프레임의 일측에 설치되고, 각 셀의 전장 모듈에 전력과 통신선을 구비한 마스터 케이블로 연결된 통합 전장부를 더 포함하는, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 프로버 스테이지 챔버 모듈의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어를 더 포함하고, 상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버가 개별적으로 제어 가능한, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어에는 각 셀의 프로버 스테이지의 전력을 개별적으로 온오프할 수 있는 스위치가 구비된, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어는,
    닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈을 밀폐하도록 출입구에 설치된 제1 실링 부재에 밀착되고, 내부에 전장품을 수용할 수 있도록 내부 공간이 형성된 내측 케이스;
    상기 내측 케이스의 내부 공간을 개폐할 수 있도록 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 반대쪽에서 상기 내측 케이스에 조립되는 커버;를 포함하는, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어는 힌지로 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈에 개폐할 수 있도록 조립되고, 상기 내측 케이스에는 전력선과 통신선이 구비된 마스터 케이블이 통과하는 절개부가 형성된, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어의 개폐 시 상기 마스터 케이블이 간섭되지 않도록 상기 내측 케이스 정면과 측면에 걸쳐 일체로 형성된, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어가 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 모듈 측에 설치된 제2 실링 부재에 의해 밀폐되고, 상기 제2 실링 부재에는 마스터 케이블이 통과하는 통과홀이 형성된, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
  12. 제6 항에 있어서,
    상기 프로버 스테이지 챔버 모듈과 상기 전장 유지보수 도어 사이에는 개방 여부를 물리적으로 감지할 수 있는 감지 스위치가 설치된, 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버.
PCT/KR2022/008965 2021-06-23 2022-06-23 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버 WO2022270948A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2021-0081727 2021-06-23
KR1020210081727A KR102669106B1 (ko) 2021-06-23 2021-06-23 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022270948A1 true WO2022270948A1 (ko) 2022-12-29

Family

ID=84538676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2022/008965 WO2022270948A1 (ko) 2021-06-23 2022-06-23 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102669106B1 (ko)
TW (1) TW202304277A (ko)
WO (1) WO2022270948A1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100036996A (ko) * 2008-09-30 2010-04-08 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 검사 장치 및 검사 방법
KR20170104975A (ko) * 2013-10-29 2017-09-18 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 검사 시스템, 웨이퍼 검사 장치, 및 프로버
KR20190015135A (ko) * 2017-08-03 2019-02-13 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 검사 시스템
KR20200042414A (ko) * 2018-10-15 2020-04-23 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 중간 접속 부재 및 검사 장치
KR20210019193A (ko) * 2019-08-12 2021-02-22 주식회사 쎄믹스 그룹 프로버 시스템 및 이의 설치 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100036996A (ko) * 2008-09-30 2010-04-08 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 검사 장치 및 검사 방법
KR20170104975A (ko) * 2013-10-29 2017-09-18 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 검사 시스템, 웨이퍼 검사 장치, 및 프로버
KR20190015135A (ko) * 2017-08-03 2019-02-13 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 검사 시스템
KR20200042414A (ko) * 2018-10-15 2020-04-23 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 중간 접속 부재 및 검사 장치
KR20210019193A (ko) * 2019-08-12 2021-02-22 주식회사 쎄믹스 그룹 프로버 시스템 및 이의 설치 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220170635A (ko) 2022-12-30
KR102669106B1 (ko) 2024-05-24
TW202304277A (zh) 2023-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6962471B2 (en) Substrate conveying module and system made up of substrate conveying module and workstation
WO2014019248A1 (zh) 一种检测线路及液晶显示面板的制作方法
WO2017094983A1 (ko) 배터리 팩 및 이러한 배터리 팩을 포함하는 자동차
WO2022158725A1 (ko) 적층형 배터리 모듈의 조립 라인 시스템
WO2016122038A1 (ko) 모듈 기판 검사 장치
US20110256774A1 (en) Separate test electronics and blower modules in an apparatus for testing an integrated circuit
JPH06207967A (ja) ワイヤレスレシーバを持ったモジュール型ボードテストシステム
WO2022270948A1 (ko) 독립 모듈형 셀 구조를 갖는 프로버
US20070096758A1 (en) Method and apparatus for eliminating automated testing equipment index time
EP3520586A1 (fr) Aeronef ayant des calculateurs repartis dans le fuselage
WO2021125476A1 (ko) 복수의 단위 모듈과 bms 어셈블리를 포함하는 서브 팩 및 이를 포함하는 배터리 팩
WO2020213874A1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러
WO2022270875A1 (ko) 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버
US6491528B1 (en) Method and apparatus for vibration and temperature isolation
KR20110025084A (ko) 제전 장치의 감시 장치, 제전 장치의 감시 방법 및 제전 장치의 감시용 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
WO2010071277A1 (en) Probe station
WO2020096424A1 (ko) 전력전달유닛을 포함하는 무선 로터리 검사장치
WO2023074947A1 (ko) 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치
WO2022211229A1 (ko) 배전반의 공기흡입장치
WO2013176445A1 (ko) 프로브 카드
WO2020213960A1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러
WO2020213878A1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
WO2020111690A1 (ko) 멀티 프로버용 척 조립체 및 채널
WO2019182214A1 (ko) 방수검사장치
WO2010095848A2 (ko) 웨이퍼 결함 분석 시스템 및 그 제어방법

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22828795

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22828795

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1