WO2022224553A1 - 部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法 - Google Patents

部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法 Download PDF

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WO2022224553A1
WO2022224553A1 PCT/JP2022/005076 JP2022005076W WO2022224553A1 WO 2022224553 A1 WO2022224553 A1 WO 2022224553A1 JP 2022005076 W JP2022005076 W JP 2022005076W WO 2022224553 A1 WO2022224553 A1 WO 2022224553A1
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component
parts
air
section
conveying
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PCT/JP2022/005076
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English (en)
French (fr)
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元寛 樋口
和宜 石川
達哉 佐野
茂 松川
尚樹 深美
Original Assignee
パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/02—Feeding of components
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components

Definitions

  • the present disclosure relates to a component supply device, a component mounting device, and a component supply method.
  • Patent Literature 1 discloses an electronic component supply device provided with a component supply rail that supplies components supplied from a component relay chamber to an extraction position.
  • the component supply rail is vibrated by the vibrating mechanism to supply the component to the pick-up position.
  • the present disclosure provides a component supply apparatus, a component mounting apparatus, and a component supply method capable of suppressing blackening of components during transportation of the components.
  • a component supply device is a component supply device that supplies components stored in a component storage unit in a bulk state to an extraction position where a holding unit that holds the components extracts the components.
  • an aligning section for aligning the parts supplied from the storage section and conveying them to the pick-up position; and a first inclined surface provided along the aligning section and inclined downward toward the aligning section.
  • the aligning portion and the first conveying portion are a plurality of first sloping surfaces that open to the aligning portion and the first inclined surface on which the components of the first conveying portion are supported; comprising a plurality of first air ejection holes for levitating and conveying the component by ejecting air, wherein the plurality of first air ejection holes comprise the alignment portion and the Each of the first inclined surfaces is configured to be capable of ejecting air upward in a first direction from the component storage portion toward the take-out position.
  • a component mounting apparatus includes the above-described component supply device, a head for holding the component supplied by the component supply device, a drive unit that moves the head, and a component that is held by the head. and a board holding part for holding a board on which the components are mounted.
  • a parts supply method is a parts supply method in a parts supply device that supplies parts stored in a parts storage unit in a bulk state to a pick-up position where a holding unit that holds the parts picks up the parts.
  • the component supply device includes an aligning unit that aligns the components supplied from the component storage unit and conveys them to the take-out position, and an aligning unit that is provided along the aligning unit and tilts downward toward the aligning unit.
  • a first transport portion having a first inclined surface, wherein the alignment portion and the first transport portion are positioned at the first portion on which the components of the alignment portion and the first transport portion are supported; a plurality of first air ejection holes opening to an inclined surface, the plurality of first air ejection holes for levitating and conveying the parts by ejecting air, the parts supply method comprising: In each of the aligning portion and the first inclined surface, air is ejected upward in a first direction toward the pick-up position from the component storage portion.
  • a component supply device or the like capable of suppressing blackening of components during transport of the components.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a supply unit according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing part of the feeder according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the component supply device according to the embodiment.
  • FIG. 4A is a plan view showing the component supply device according to the embodiment;
  • FIG. 4B is a plan view showing a component conveying direction in the component supply device according to the embodiment.
  • FIG. 5A is a cross-sectional view showing the Va-Va cross section shown in (a) of FIG. 4A.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view showing the Vb-Vb cross section shown in (a) of FIG. 4A.
  • FIG. 6A is a sectional view showing the VIa-VIa section shown in (a) of FIG.
  • FIG. 6B is a perspective view showing a part surrounded by a broken line frame shown in (a) of FIG. 4A.
  • FIG. 7 is a block diagram showing the functional configuration of the component supply device according to the embodiment.
  • FIG. 8 is a flow chart showing the operation of the component supply device according to the embodiment.
  • FIG. 9A is a diagram showing a first example of step S20 shown in FIG.
  • FIG. 9B is a diagram showing a second example of step S20 shown in FIG.
  • FIG. 9C is a diagram showing a third example of step S20 shown in FIG.
  • FIG. 9D is a diagram showing a fourth example of step S20 shown in FIG.
  • FIG. 10 is a diagram showing the configuration of the component mounting apparatus according to the embodiment.
  • FIG. 11 is a block diagram showing the functional configuration of a component supply device according to another embodiment.
  • each figure is a schematic diagram and is not necessarily strictly illustrated. Therefore, for example, scales and the like do not necessarily match in each drawing. Moreover, in each figure, substantially the same configurations are denoted by the same reference numerals, and overlapping descriptions are omitted or simplified.
  • the X-axis, Y-axis and Z-axis indicate three axes of a three-dimensional orthogonal coordinate system.
  • the X-axis direction indicates the component transport direction
  • the Z-axis direction indicates the vertical direction of the component supply device.
  • a planar view means viewing from the Z-axis direction
  • a cross-sectional view means viewing a cross section defined by the Y-axis and the Z-axis from the X-axis direction.
  • FIG. 1 A component supply device and the like according to the present embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 10.
  • FIG. 1 A component supply device and the like according to the present embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 10.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a supply unit 80 according to this embodiment.
  • the supply unit 80 is a device for supplying components (for example, electronic components) used in a component mounting apparatus (for example, the component mounting apparatus 100 shown in FIG. 10), which will be described later.
  • 1 also shows a mounting head 107 that holds and takes out a component from the feeder 20 when the supply unit 80 is attached to the component mounting apparatus. Holding includes at least one of sucking or gripping. 1 shows a state in which the cover 11 of the case 10 is open.
  • the supply unit 80 includes a case 10, a feeder 20, and a truck 70.
  • the supply unit 80 is movable and detachably attached to the component mounting apparatus.
  • the case 10 is a hollow box body, and contains parts in a bulk state inside.
  • the case 10 accommodates bulk components, for example.
  • the case 10 is detachably attached to the feeder 20 and supplies the contained components to the feeder 20 .
  • the case 10 supplies the accommodated components to the feeder 20 by being shaken by vibration or the like while being attached to the feeder 20 .
  • the case 10 is an example of a component storage section.
  • the component is, for example, an electronic component such as a resistor and a capacitor, but is not limited to this, and may be an object such as a substrate that can be mounted on an object.
  • at least a part of the component may be made of metal, and may have chargeability or magnetism. A metal part or a part having chargeability or magnetism may be provided exposed, for example.
  • the metal portion may be, for example, a metal layer (plated layer).
  • the case 10 has a cover 11.
  • the cover 11 is provided over an opening for supplying parts from the inside of the case 10 to the feeder 20 .
  • the cover 11 covers the opening when the case 10 is not attached to the feeder 20 .
  • the cover 11 is opened when the case 10 is attached to the feeder 20 .
  • the cover 11 is pushed toward the negative side of the X axis by a rod (not shown) provided on the attached portion 32, thereby Rotate with the direction as the axis of rotation.
  • the feeder 20 supplies the components stored in the case 10 in a bulk state to a pick-up position where the mounting head 107 holding the components picks them up.
  • the feeder 20 has a configuration for conveying parts by air rather than by vibration.
  • the carriage 70 is detachably attached to the feeder 20 and moves the feeder 20 to a predetermined position of the component mounting apparatus. Note that the carriage 70 is not an essential component.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing part of the feeder 20 according to this embodiment.
  • the feeder 20 has a component supply device 30 and a body portion 60. As shown in FIGS. 1 and 2, the feeder 20 has a component supply device 30 and a body portion 60. As shown in FIGS. 1 and 2, the feeder 20 has a component supply device 30 and a body portion 60. As shown in FIGS. 1 and 2, the feeder 20 has a component supply device 30 and a body portion 60. As shown in FIGS. 1 and 2, the feeder 20 has a component supply device 30 and a body portion 60.
  • the component supply device 30 is detachably attached to the case 10 and conveys components supplied from the case 10 .
  • the component supply device 30 has a transport section 40 and a supply section 50 .
  • the component supply device 30 also has a mounted portion 32 to which the case 10 is mounted, and a tube 36 used for vacuum suction for fixing the component.
  • the transport unit 40 is a transport mechanism for aligning a plurality of components supplied from the case 10 to the component supply position 42 and transporting them to the supply unit 50 .
  • the transport section 40 has, for example, a second sensor 41 that detects the amount of components accommodated in the transport section 40 . It can also be said that the second sensor 41 detects the storage state of parts (for example, the amount of parts) in the transport section 40 .
  • the second sensor 41 may detect, for example, the storage state of components in a first transport portion (for example, the first transport portion 40a1 shown in FIG. 4A), which will be described later.
  • the second sensor 41 may, for example, detect the presence or absence of a component at a predetermined position on the transport section 40 .
  • the second sensor 41 is not particularly limited as long as it can detect parts.
  • the second sensor 41 may be a sensor that detects components using light.
  • the second sensor 41 is an example of a second detector.
  • alignment means aligning the orientation of multiple parts and arranging them in a row.
  • alignment means, for example, that the long sides of the parts are in the first direction (X-axis plus direction) from the part supply position 42 toward the supply unit 50, and the parts are aligned in the first direction. are arranged in a row.
  • arranging in a line is not limited to being in a complete line, but may be substantially in a line, and may be, for example, in a zigzag shape.
  • a direction (for example, X-axis direction) and a direction (for example, X-axis positive direction) are simply referred to as a direction (for example, first direction).
  • the supply unit 50 is a transport mechanism, one end of which is connected to the transport unit 40, for supplying a plurality of components transported from the transport unit 40 to a pick-up position where the mounting head 107 picks up the components.
  • the supply section 50 has a first sensor 51 that detects the amount of components accommodated in the supply section 50 .
  • the first sensor 51 detects, for example, the presence or absence of a component at a predetermined position of the supply section 50 .
  • the first sensor 51 is provided, for example, in the vicinity of the supply unit entrance 52 which is the connection position between the transport unit 40 and the supply unit 50, and detects the components that have passed through the supply unit entrance 52.
  • the first sensor 51 is not particularly limited as long as it can detect parts.
  • the first sensor 51 may be a sensor that detects components using light.
  • the mounting part 32 is a part to which the case 10 is attached and detached, and fixes the case 10 and opens and closes the cover 11 of the case 10 .
  • the tube 36 forms a vacuum path for fixing the parts transported to the take-out position by vacuum suction.
  • the tube 36 communicates with a suction hole (suction hole 55a shown in FIG. 6B) for sucking a component provided in the supply section 50 .
  • the suction hole is provided at the extraction position.
  • the component supply device 30 is detachably attached to the body portion 60 .
  • the main body portion 60 is a container housing a first air supply portion 62 (first supply portion 62), a second air supply portion 63 (first supply portion 63), a third sensor 64, and the like. , for example, a box. Further, the body portion 60 may house the control portion 61 .
  • the first air supply section 62 communicates with a plurality of air ejection holes opening in the transport section 40, and supplies air ejected from the plurality of air ejection holes.
  • the second air supply section 63 communicates with a plurality of air ejection holes opening in the supply section 50, and supplies air ejected from the plurality of air ejection holes.
  • the first air supply unit 62 and the second air supply unit 63 supply, for example, compressed air to the extent that parts can be floated and transported.
  • the pressure of the compressed air is controlled by a regulator or the like.
  • the first air supply section 62 and the plurality of air ejection holes of the transport section 40 are connected to the first air passage (for example, the first air supply section 62 shown in FIG.
  • a valve for example, an electromagnetic valve
  • the second air supply part 63 and the plurality of air ejection holes of the supply part 50 are connected to a second air passage (for example, a broken line path connected to the second air supply part 63 shown in FIG. 2) by a tube or the like.
  • a valve for example, an electromagnetic valve for switching the presence or absence of air supply is provided on the second air passage.
  • the gas supplied by the first air supply unit 62 and the second air supply unit 63 is not limited to air, and may be other gas.
  • the third sensor 64 detects whether or not there is a component at the pick-up position by measuring the flow rate or the degree of vacuum in a vacuum path connected to a suction hole provided in the supply section 50 for sucking the component. do.
  • the third sensor 64 detects that there is a part at the pick-up position when the flow rate of air is below a predetermined value or the degree of vacuum is above a predetermined value.
  • the mounting head 107 sucks and holds the component at the pickup position based on the detection result of the third sensor 64 .
  • a vacuum path is an example of an air path.
  • the third sensor 64 is an example of a third detector.
  • the control unit 61 is a control device that controls the transportation of components in the component supply device 30 .
  • the control unit 61 controls the transport of components in the transport unit 40 and the transport of components in the supply unit 50 independently of each other.
  • the control unit 61 controls, for example, the air ejected from the plurality of air ejection holes of the conveying unit 40 and the air ejected from the plurality of air ejection holes of the supply unit 50 independently of each other via the air supply mechanism.
  • Controlling air includes at least one control of ON/OFF of air, air pressure, air ejection direction, air flow rate, and the like.
  • the control unit 61 controls the air supply mechanism.
  • the air supply mechanism includes, for example, at least one of the first air supply unit 62 and the second air supply unit 63, regulators, valves, air paths, air ejection holes, and the like.
  • the air supply mechanism includes, for example, a plurality of air ejection holes 43b opening in a support surface 43a (an example of a first support surface) on which parts are supported in the transport section 40, and a support surface 43b on which the parts are supported in the supply section 50. It is a mechanism for ejecting air for conveying a component from each of a plurality of air ejection holes 53b opened in a surface 53a (an example of a second support surface).
  • the control unit 61 generates thrust only in the first direction (forward direction, X-axis plus direction) by floating and conveying the component.
  • the control unit 61 may control the first air supply unit 62, the second air supply unit 63, and the like, and supply pulse air by repeating ON and OFF of the blowing of air at predetermined intervals. That is, the component may be transported while moving up and down in the Z-axis direction.
  • the conditions for blowing air for floating and transporting are not limited to the above.
  • control section 61 is not limited to this, and may be provided in the component supply device 30, for example.
  • the body portion 60 may accommodate an air suction device that communicates with the suction holes and the tube 36 and fixes the component at the removal position by sucking air from the suction holes.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the component supply device 30 according to this embodiment.
  • FIG. 4A is a plan view showing the component supply device 30 according to this embodiment. Specifically, (a) of FIG. 4A shows a plan view of the component supply device 30 according to the present embodiment, and (b) of FIG. 4A shows the body portion 40a shown in (a) of FIG. 4A. (c) of FIG. 4A shows an enlarged dashed line area of the main body 50a shown in (a) of FIG. 4A.
  • FIG. 4B is a plan view showing the conveying direction of components in component supply device 30 according to the present embodiment.
  • FIG. 4B is a diagram in which the conveying directions d1 to d4 of the parts are superimposed on the plan view shown in FIG. In FIG. 4B, the component transport directions d1 to d4 are indicated by dotted arrows inside.
  • FIG. 5A is a cross-sectional view showing the Va-Va cross section shown in (a) of FIG. 4A.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view showing the Vb-Vb cross section shown in (a) of FIG. 4A.
  • 5A and 5B illustrate a rectangular part P as an example of the part. 5A and 5B also show symbols indicating the direction in which the component P is conveyed.
  • the x symbol in the circle indicates that the part P is being transported from the front to the back (from the positive side of the X axis to the negative side of the X axis), and the dot symbol in the circle indicates that the part P is being transported from the back. This indicates that the sheet is being conveyed forward (from the minus side of the X axis to the plus side of the X axis).
  • the driving force for the components in the component supply device 30 is all air. In other words, in the present embodiment, vibration is not used to generate the propulsion force for the parts in the parts supply device 30 .
  • the transport section 40 of the component supply device 30 has a main body section 40a and a lid section 40b.
  • the lid portion 40b covers the main body portion 40a and is fixed to the main body portion 40a by a fastening member 38 such as a screw.
  • a through hole 40b1 through which components from the case 10 pass is formed in the lid portion 40b. The component passes through the through hole 40b1 and is supplied to the component supply position 42. As shown in FIG.
  • a rubber sheet member may be provided on the Z-axis negative side surface of the lid portion 40b.
  • the sheet member With the lid portion 40b fixed to the main body portion 40a, the sheet member may be provided within the component supply position 42 in a plan view, or may be arranged between the component supply position 42, the component alignment portion 43, and the first inclined surface. 44 may be provided on the boundary. Further, the sheet member is provided at a predetermined distance from the component supply position 42 in a state where the lid portion 40b is fixed to the main body portion 40a.
  • the predetermined spacing is, for example, greater than the length of the shortest side of the part and less than the length of the longest side of the part if the part is a rectangular parallelepiped.
  • the sheet member has a function of contacting only a standing part (a member whose long side is in the vertical direction) and laying down the contacting member. As a result, it is possible to prevent the standing component from being transported to the component aligning section 43 or the first inclined surface 44 .
  • the body portion 40a includes a second sensor 41 (see FIG. 2), a component supply position 42, a component alignment portion 43, a first inclined surface 44, and a second sensor 40a.
  • a plurality of air ejection holes of the conveying section 40 are arranged in a component supply position 42, a component aligning section 43, a first inclined surface 44, a second inclined surface 45, a turning section 47, and a return conveying section 48. formed.
  • a component supply position 42 is a portion (area) where components are supplied from the case 10 .
  • the parts supply position 42 has a plurality of air ejection holes (not shown) for supplying the parts supplied from the case 10 and the parts returned via the return conveying part 48 to the parts alignment part 43 . formed.
  • the component supply position 42 is a flat surface, for example, at least a portion thereof may be inclined.
  • the component supply position 42 is connected to each of the component alignment section 43 and the first inclined surface 44 . That is, the components at the component supply position 42 are supplied to either the component alignment part 43 or the first inclined surface 44 by air from a plurality of air ejection holes (not shown) formed at the component supply position 42 . be.
  • the parts aligning section 43 aligns the parts and conveys them to the supply section 50 .
  • the component aligning unit 43 aligns the components and transports them in the transport direction d1 shown in FIG. 4B.
  • the component alignment section 43 is provided extending in the first direction.
  • a plurality of air ejection holes 43b are formed in the support surface 43a of the component alignment section 43.
  • the parts aligning section 43 sequentially conveys a plurality of parts by air ejected from a plurality of air ejection holes 43b.
  • the parts aligning section 43 can convey a plurality of parts at the same time through a plurality of air ejection holes 43b.
  • part of the air passage for communicating the first air supply portion 62 and the air ejection hole 43b is illustrated by a broken line.
  • the component alignment portion 43 is a concave groove extending in the first direction.
  • the support surface 43a is configured by the bottom surface of the groove.
  • the support surface 43 a is located on the Z-axis minus side of the first inclined surface 44 .
  • the support surface 43a is formed with a plurality of air ejection holes 43b, which are openings for levitating and conveying the component in the first direction.
  • a plurality of air ejection holes 44b formed in the support surface 43a are formed so as to be able to eject air upward in a first direction. That is, the plurality of air ejection holes 43b formed in the support surface eject air obliquely upward in the first direction when viewed in the Y-axis direction.
  • a plurality of air ejection holes 43b formed in the support surface 43a eject air in a direction perpendicular to the support surface 43a when viewed from the X-axis direction.
  • the width of the part alignment part 43 in the Y-axis direction is larger than the length of the shortest side of the part P and smaller than the length of the longest side of the part P, but is not limited to this. Further, when the component P is a rectangular parallelepiped, the width of the component alignment section 43 in the Y-axis direction may be smaller than twice the length of the shortest side of the component P. Also, the width of the component alignment portion 43 in the Y-axis direction may be determined including the dimensional tolerance of the component P.
  • component alignment portion 43 is not limited to being a groove, and may be, for example, a flat surface connected to the lower end portion (Y-axis plus side end portion) of the first inclined surface 44 , or the first inclined surface 43 . may be inclined in the opposite direction to the inclined surface 44 of .
  • the first inclined surface 44 is provided along the component alignment section 43 and slopes downward toward the component alignment section 43 . It can also be said that the first inclined surface 44 is provided adjacent to the component alignment section 43 .
  • the first inclined surface 44 is provided to move the components supplied from the component supply position 42 to the first inclined surface 44 toward the component alignment section 43 .
  • the first inclined surface 44 is, for example, a flat inclined surface extending in the first direction.
  • the first inclined surface 44 is formed with a plurality of air ejection holes 44b that are openings for floating and conveying the components P on the first inclined surface 44 to the component aligning section 43 .
  • a plurality of air ejection holes 44b formed in the first inclined surface 44 are formed so as to be able to eject air upward in a first direction.
  • a plurality of air ejection holes 44b formed in the first inclined surface 44 eject air in a direction perpendicular to the first inclined surface 44 when viewed from the X-axis direction.
  • the first inclined surface 44 is formed with a plurality of air ejection holes 44b.
  • part of the air passage for communicating the first air supply portion 62 and the air ejection hole 44b is shown by a dashed line in the air ejection hole 44b on the X-axis plus side in (b) of FIG. 4A.
  • the inclination angle of the first inclined surface 44 is not particularly limited. may be such an angle that it does not move (for example, it does not slip or rotate) to the component alignment part 43 .
  • the components on the first inclined surface 44 move to the component aligning portion 43 in a state in which air is not ejected from the plurality of air ejection holes 44b of the first inclined surface 44, so that the first inclined surface It is possible to suppress the occurrence of friction between the surface 44 and the component P, that is, the blackening of the component.
  • the inclination angle of the first inclined surface 44 is such that, for example, air is ejected from the plurality of air ejection holes 44b of the first inclined surface 44, and the part P on the first inclined surface 44 is the part The angle may be such that it moves to the alignment section 43 .
  • the inclination angle of the first inclined surface 44 may be, for example, 10 degrees or less, or may be 5 degrees or less.
  • the angle of inclination is the angle when the direction (Y-axis direction) of the support surface 43a of the component alignment section 43 in FIG. The angles are as follows.
  • the air on the first inclined surface 44 is pulsed air, the parts P on the first inclined surface 44 are more likely to be affected by the inclination of the first inclined surface 44 , and the component aligning section 43 can be easier to move.
  • the second inclined surface 45 is provided along the component alignment section 43 on the downstream side (X-axis plus side) of the first inclined surface 44 in the first direction.
  • the parts P that have moved from the second inclined surface 44 to the second inclined surface 45 are suppressed from moving to the component alignment part 43.
  • at least a portion of the second inclined surface 45 is inclined downward in a direction opposite to the component alignment section 43 .
  • the second inclined surface 45 is not limited to being inclined.
  • the second inclined surface 45 may be a surface parallel to the support surface 43a of the component alignment section 43, which is arranged on the Z-axis plus side of the support surface 43a.
  • the second inclined surface 45 has a plurality of air ejection holes so that air can be ejected upward on the side opposite to the component alignment section 43 (Y-axis minus side). may be provided.
  • the length in the Y-axis direction of the second inclined surface 45 is longer than the length in the Y-axis direction of the component alignment section 43, for example.
  • the length of the second inclined surface 45 in the Y-axis direction is longer than the length of the long side of the component P, for example.
  • FIG. 4A shows an example in which the first inclined surface 44 and the second inclined surface 45 are directly connected. Between them, a switching portion is provided for gradually switching the inclination angle from the first inclined surface 44 to the second inclined surface 45 from the component supply position 42 side (upstream side) toward the supply section 50 side (downstream side). good too.
  • first conveying portion 40a1 includes at least the first inclined surface 44. As shown in FIG.
  • the first conveying portion 40a1 may further include a second inclined surface 45. As shown in FIG.
  • the cover 46 is positioned at a position corresponding to the end of the first conveying portion 40a1 (for example, the second inclined surface 45) on the take-out position side in the first direction (the end on the plus side of the X axis). It is arranged with a predetermined gap in the Z-axis direction from the support surface 43a of 43, and covers the part alignment section 43 from above. It can also be said that the cover 46 partially covers the component alignment section 43 and the component rectilinear advance section 53 .
  • the cover 46 is provided to prevent the parts P from being transported to the supply part 50 in an overlapping state, for example, when there are parts P overlapping in the vertical direction (Z-axis direction) in the parts alignment section 43 .
  • the predetermined gap is, for example, a gap that allows the cover 46 to contact the upper member without contacting the lower member when there is a vertically overlapping component P in the component alignment section 43. .
  • the cover 46 has a shape that allows the upper part to be moved to the swivel part 47 .
  • the cover 46 moves the upper component to the turning portion 47 by, for example, contacting the end surface of the cover 46 on the negative side of the X axis with the upper component.
  • the surface of the cover 46 on the negative X-axis side is, for example, an inclined surface that inclines in the positive direction of the X-axis as it goes from the positive Y-axis side to the negative Y-axis side (separates from the parts alignment unit 43) in plan view. good too.
  • the inclined surface may be formed with a plurality of air ejection holes for ejecting air in the Y-axis negative direction.
  • the components are transported from the transport unit 40 to the supply unit 50 by passing through the component alignment unit 43 formed in a tunnel shape by the cover 46 .
  • the turning portion 47 is a portion (area) for moving the parts from the second inclined surface 45 and the cover 46 to the return transport portion 48, and is connected to the second inclined surface 45 and the return transport portion 48, respectively. It is The turning section 47 conveys the component P in the conveying direction d2 shown in FIG. 4B.
  • the revolving portion 47 is formed with a plurality of air ejection holes for moving parts.
  • the turning part 47 is a flat surface, for example, at least a part thereof may be inclined.
  • the return conveying portion 48 is connected to the second inclined surface 45 and provided along the first conveying portion 40a1, and extends in a second direction opposite to the first direction (minus direction of the X axis). Conveying parts.
  • the return conveying unit 48 conveys the part P in the conveying direction d3 shown in FIG. 4B.
  • a return conveying section 48 is provided to return the components that have not been aligned by the component aligning section 43 to the component supply position 42 .
  • the return conveying portion 48 is formed with a plurality of air ejection holes (not shown) that open in a support surface that supports the components of the return conveying portion 48, and air is ejected upward in the second direction from the plurality of air ejection holes.
  • the parts are transported to the parts supply position 42 by jetting.
  • the pressure or flow rate of the air ejected from the plurality of air ejection holes of the return conveying section 48 is determined by the air ejection holes of the component alignment section 43, the first inclined surface 44 and the second inclined surface 45. may be higher than or equal to the pressure or flow rate of
  • the air ejection holes formed in the support surface of the return conveying portion 48 are an example of the second air ejection holes.
  • the support surface of the return transport unit 48 may be, for example, an inclined surface that inclines upward (Z-axis plus direction) from the turning unit 47 toward the component supply position 42 .
  • the parts may be transported from the turning part 47 to the part supply position 42 at a position higher than the turning part 47 by the return transfer part 48 .
  • the second conveying portion 40a2 is configured including a return conveying portion 48.
  • the second conveying portion 40a2 opens onto a supporting surface (an example of a third supporting surface) on which the components of the second conveying portion 40a2 are supported, and is configured to be capable of ejecting air upward in a second direction. It can also be said that it has a plurality of air ejection holes (an example of the second air ejection holes).
  • the side walls 49a and 49c and the partition wall 49b are walls that extend in the first direction and form the first conveying portion 40a1 and the second conveying portion 40a2.
  • the side wall 49a and the partition wall 49b form the first conveying portion 40a1, and the partition wall 49b and the side wall 49c form the second conveying portion 40a2.
  • the partition wall 49b functions as a partition that prevents the air jetted from one of the first conveying portion 40a1 and the second conveying portion 40a2 from flowing to the other.
  • side walls 49a and 49c and the partition wall 49b may be integrally formed, for example. In other words, no gap need be formed between the first conveying portion 40a1 and the second conveying portion 40a2.
  • the conveying portion 40 as described above, no gap is formed between the first conveying portion 40a1 and the second conveying portion 40a2. 2 can be brought closer to each other, and the width (the length in the Y-axis direction) of the transport section 40 can be reduced. That is, the component supply device 30 can be miniaturized. In addition, it is possible to prevent the component from being caught in the gap. For example, it is possible to smoothly turn the parts in the turning section 47 .
  • the transport section 40 has a first transport section 40a1 that transports components in the first direction toward the supply section 50, and is provided along the first transport section 40a1. and a second conveying portion 40a2 for conveying the parts in a second direction opposite to the first direction.
  • An annular path is formed by the first transport portion 40a1 and the second transport portion 40a2.
  • the first conveying portion 40a1 is not formed in the supply section 50. That is, the length in the first direction of the first conveying portion 40a1 is the total length in the first direction of the component aligning portion 43 and the component rectilinear advancing portion 53 (an example of the length of the aligning portion in the first direction). shorter.
  • FIG. 6A is a sectional view showing the VIa-VIa section shown in (a) of FIG. 4A.
  • FIG. 6B is a perspective view showing the portion of the broken line frame VIb shown in (a) of FIG. 4A.
  • 6A and 6B omit illustration of a plurality of air ejection holes formed in the support surface (bottom surface). Further, in FIG. 6B, illustration of the side wall 54a is omitted.
  • the supply section 50 of the component supply device 30 has a body section 50a and a lid section 50b.
  • the lid portion 50b covers the main body portion 50a and is fixed to the main body portion 50a by a fastening member 38 such as a screw.
  • the body portion 50a has a first sensor 51 (see FIG. 2), a component rectilinear portion 53, and side walls 54a and 54b.
  • the first sensor 51 is provided, for example, in the vicinity of the inlet of the component straight advancing section 53 (near the supply section inlet 52), and detects the components passing through the supply section inlet 52.
  • FIG. Sidewalls 54a and 54b are examples of side members.
  • the parts rectilinear advancing section 53 is connected to the parts aligning section 43, and supplies the parts to the picking-up position by conveying the aligned parts from the conveying section 40 to the picking-up position.
  • the component alignment unit 43 transports the aligned components P from the transport unit 40 in the transport direction d1 shown in FIG. 4B.
  • the component rectilinear portion 53 is provided extending in the first direction.
  • a plurality of air ejection holes 53b are formed in the support surface 53a of the component rectilinear portion 53.
  • the parts rectilinear advance section 53 sequentially conveys a plurality of parts by air ejected from a plurality of air ejection holes 53b.
  • the parts rectilinear advance section 53 can convey a plurality of parts at the same time through a plurality of air ejection holes 53b.
  • part of the air passage for communicating the second air supply portion 63 and the air ejection hole 53b is illustrated by a dashed line.
  • the component rectilinear portion 53 is a concave groove extending in the first direction.
  • a support surface 53a of the component rectilinear portion 53 is formed by the bottom surface of the groove and supports the component.
  • the support surface 53a is connected to the support surface 43a of the component alignment section 43 and is on the same plane as the support surface 43a.
  • the support surface 53a is formed with a plurality of air ejection holes 53b for floating and conveying the component in the first direction.
  • a plurality of air ejection holes 53b formed in the support surface 53a are formed so as to be able to eject air upward in a first direction.
  • the plurality of air ejection holes 53b formed in the support surface 53a eject air obliquely upward in the first direction when viewed in the Y-axis direction.
  • a plurality of air ejection holes 53b formed in the support surface 53a eject air in a direction perpendicular to the support surface 53a when viewed from the X-axis direction.
  • the width (length in the Y-axis direction) of the part rectilinear portion 53 is larger than the length of the shortest side of the part and smaller than the length of the longest side of the part.
  • the width of the component rectilinear portion 53 may be the same as the width of the component alignment portion 43 .
  • the component rectilinear portion 53 has two side walls 54a and 54b arranged to face each other with a gap in the width direction of the support surface 53a.
  • One of the two sidewalls 54a and 54b (the sidewall 54b in the example of FIGS. 6A and 6B) is the other sidewall of the two sidewalls 54a and 54b (the sidewall in the example of FIGS. 6A and 6B).
  • 54a) has a plurality of air ejection holes 54b2 for ejecting air.
  • the plurality of air ejection holes 54b2 are formed by one of the mutually facing wall surfaces 54a1 and 54b1 (in the example of FIGS.
  • the wall surface 54b1 A plurality of air ejection holes 54b2 are provided along the first direction on the wall surface 54b1. During the period when air is jetted from the plurality of air jet holes 53b of the support surface 53a of the component rectilinear advance portion 53, air is also jetted from the plurality of air jet holes 54b2.
  • a plurality of air ejection holes 54b2 are provided so as to be able to eject air onto the component being floated and conveyed by the component rectilinear advancing portion 53.
  • the plurality of air ejection holes 54b2 are provided, for example, at a height at which air can be ejected to the component.
  • the pressure or flow rate of air ejected from the air ejection holes 54b2 may be smaller than the pressure or flow rate of air ejected from the air ejection holes 53b.
  • the air ejection hole 54b2 is an example of a third air ejection hole.
  • the component rectilinear advance portion 53 has a wall portion 55 at the end of the component rectilinear advance portion 53 in the first direction, which contacts the end surface of the component in the first direction.
  • the wall portion 55 abuts on the component to stop the component from being conveyed in the first direction.
  • the wall portion 55 has the function of positioning the component at the take-out position 56 .
  • the wall portion 55 is formed with suction holes 55a for sucking air.
  • the component is firmly positioned on the wall portion 55 by sucking the first direction side surface of the component conveyed to the take-out position 56 by the suction holes 55a. The part is thereby fixed in the pick-up position. Further, the transportation of the component to the pick-up position 56 may be assisted by air suction through the suction holes 55a. The component may be drawn to the pick-up position 56 by sucking air through the suction holes 55a. In this way, the suction holes 55a may have the function of transporting the component in addition to the function of positioning the component.
  • the air ejection holes 53b are formed up to the extraction position 56.
  • suction holes for fixing the component cannot be provided at the extraction position on the support surface 53a of the component rectilinear advance portion 53 .
  • the suction holes 55a in the wall portion 55 the component can be fixed at a desired position without hindering the levitation and transportation of the component.
  • the suction hole 55a is an example of a suction portion that suctions the end face of the component on the first direction side (the end face on the plus side of the X axis).
  • the adsorption section is not limited to adsorbing a component by air suction, and may be configured to adsorb a component by any of electrostatic force, magnetic force, and adhesive force. Any existing configuration may be used as the configuration for attracting the component by any of electrostatic force, magnetic force, and adhesive force.
  • the attraction section includes one or more electrodes for generating electrostatic force.
  • the control unit 61 may apply a DC voltage to one or more electrodes to cause the component to be attracted (for example, in close contact) to the wall 55 by an electrostatic force between the one or more electrodes and the component.
  • the parts rectilinear advancing part 53 and the parts aligning part 43 form an aligning part in the parts supply device 30 .
  • the aligning section aligns the components supplied from the case 10 and conveys them to the pick-up position.
  • the plurality of air ejection holes are configured to be capable of ejecting air upward in a first direction from the case 10 toward the removal position 56 on each of the alignment portion and the first inclined surface 44 .
  • the plurality of air ejection holes here includes air ejection holes 43b, 44b and 53b.
  • the air ejection holes 43b and 53b are an example of first air ejection holes
  • the air ejection hole 44b is an example of a second air ejection hole.
  • the component rectilinear advancing portion 53 constitutes a downstream portion of the aligning portion on the take-out position 56 side in the first direction.
  • control unit 61 may turn off air suction by the suction holes 55a at the timing when the component is taken out by the mounting head 107 .
  • the components P are transported in the direction of the arrow (transportation directions d1 to d4).
  • the component P is transported to the component alignment section 43 and the first inclined surface 44 after being supplied to the component supply position 42 .
  • the parts P on the first inclined surface 44 are moved to the part alignment section 43 by air.
  • the parts P on the parts alignment section 43 are conveyed to the parts rectilinear advance section 53 by air. In this way, some of the components P are distributed between the component supply position 42, the component alignment unit 43, and The parts are conveyed in the order of the part rectilinear advance section 53 .
  • the parts P that have not fallen from the first inclined surface 44 to the part alignment section 43 are conveyed to the second conveying section 40a2 via the revolving section 47.
  • the parts P on the second conveying portion 40a2 are conveyed to the upstream side of the parts aligning section 43 and the parts rectilinear advancing section 53, and conveyed to the parts aligning section 43 and the first inclined surface 44 again.
  • part of the parts P is aligned as indicated by the circular arrows (arrow group) passing through the parts alignment section 43, the turning section 47, the return conveying section 48, and the parts supply position 42.
  • the part 43 , turning part 47 , return transfer part 48 , and component supply position 42 are circularly conveyed in this order.
  • FIG. 7 is a block diagram showing the functional configuration of the component supply device 30 according to this embodiment.
  • the component supply device 30 includes, as a functional configuration, the first sensor 51, the second sensor 41, the control section 61, the first air supply section 62, and the and a second air supply portion 63 .
  • FIG. 8 is a flow chart showing the operation of the component supply device 30 according to this embodiment.
  • the control unit 61 determines whether or not production requiring operation of the component supply device 30 has started (S10). For example, the control unit 61 may determine that production has started when the mounting system to which the component supply device 30 is attached has started operation, or information indicating that production has started from a higher-level control device. It may be determined that production has started by obtaining
  • the control section 61 controls the transportation of the parts in the transportation section 40 and the transportation of the parts in the supply section 50 independently of each other (S20). In other words, the control unit 61 does not uniformly control the transportation of components in the transportation unit 40 and the supply unit 50 . In the present embodiment, the control unit 61 controls the air transportation of the components in the transportation unit 40 and the air transportation of the components in the supply unit 50 independently of each other.
  • control unit 61 determines whether or not production has ended (S30). For example, the control unit 61 may determine that the production has ended when the operation of the component mounting apparatus to which the component supply device 30 is attached has ended, or the upper control device indicates that the production has ended. By acquiring the information, it may be determined that the production is finished, or when the number of parts detected by the first sensor 51 exceeds a predetermined number, it may be determined that the production is finished.
  • control unit 61 stops controlling the transportation of the parts in the transportation unit 40 and the transportation of the parts in the supply unit 50 (S40). If not (No in S30), the process returns to step S20 to continue the processing of step S20.
  • control unit 61 ends the operation.
  • FIG. 9A is a diagram showing a first example of step S20 shown in FIG.
  • FIG. 9A shows the operation in a state where the supply of air in the conveying section 40 is stopped. Air may be supplied to the supply unit 50 during the operation shown in FIG. 9A.
  • the control unit 61 acquires a detection result from the first sensor 51 indicating whether or not there is a component in the supply unit 50 (S21). For example, the control unit 61 acquires the detection result from the first sensor 51 at predetermined time intervals.
  • the control unit 61 supplies air to the transport unit 40 (S23). It can be said that the control unit 61 starts supplying air to the conveying unit 40, for example, when the result of step S22 is No. Specifically, the control unit 61 controls the first air supply unit 62 and the like to eject air from the air ejection holes of the conveying unit 40 .
  • the control unit 61 controls, for example, air flow in each of the component supply position 42, the component alignment unit 43, the first inclined surface 44, the second inclined surface 45, the turning unit 47, and the return conveying unit 48. Control supply integrally.
  • the control section 61 causes air to be jetted from all of the multiple air jetting holes formed in the conveying section 40 .
  • control section 61 may control the conveyance of components in the conveying section 40 based on the detection result of the first sensor 51, for example.
  • control unit 61 acquires from the first sensor 51 a detection result indicating that there is no component in the supply unit 50 (for example, a detection result indicating that there is no component at a predetermined position in the supply unit 50), 40 is caused to transport the parts.
  • FIG. 9B is a diagram showing a second example of step S20 shown in FIG.
  • the control unit 61 supplies air to the supply unit 50 (S24). Specifically, the control unit 61 controls the second air supply unit 63 and the like to eject air from at least the air ejection holes 53b of the supply unit 50 .
  • the control section 61 causes air to be ejected from each of the air ejection holes 53b and 54b2.
  • the controller 61 may integrally control the supply of air to each of the air ejection holes 53b and 54b2.
  • the controller 61 may cause the suction holes 55a to suck air.
  • control unit 61 may control the conveyance of components in the supply unit 50 without depending on the detection result of the first sensor 51, for example.
  • the control section 61 may always perform control for supplying components to the pick-up position of the supply section 50 .
  • control section 61 may perform control to supply air from the second air supply section 63 to the plurality of air ejection holes 53b when the component mounting apparatus 100 is in operation.
  • FIG. 9C is a diagram showing a third example of step S20 shown in FIG.
  • the control unit 61 may perform steps S25 to S27 in addition to the operations shown in FIG. 9A. If there is no component in the supply unit 50 (No in S22), the control unit 61 supplies air to the supply unit 50 for a predetermined period (S25). For example, when the determination in step S22 is No, the control unit 61 continues supplying air to the supply unit 50 for a predetermined period without causing the transport unit 40 to supply air immediately. At this time, air is not supplied to the conveying section 40 .
  • control unit 61 acquires the detection result after air is supplied from the first sensor 51 to the supply unit 50 (S26). Based on the detection result obtained in step S26, if there are no parts in the supply unit 50 (No in S27), the control unit 61 supplies air to the transport unit 40 (S23), and if there are parts in the supply unit 50 ( Yes in S27), air is not supplied to the conveying unit 40;
  • the control unit 61 causes the supply unit 50 to carry the component for a predetermined period of time, and after the predetermined period of time, the component is not at the predetermined position.
  • the transport unit 40 may be caused to transport the components.
  • the parts are conveyed by the conveying section 40 only when there are no parts by the supply section 50, so that blackening of the parts due to contact of the parts in the conveying section 40 or the like can be further suppressed.
  • FIG. 9D is a diagram showing a fourth example of step S20 shown in FIG.
  • control section 61 may supply air to the aligning section and the first conveying section 40a1 (S28).
  • control unit 61 may perform control to supply parts from the case 10 based on the detection result of the second sensor 41, for example. For example, when the control unit 61 acquires from the second sensor 41 a detection result indicating that there is no component in the transport unit 40 (for example, a detection result indicating that there is no component at a predetermined position of the transport unit 40), , parts are supplied to the parts supply position 42 by vibrating the case 10 or the like. Further, for example, when there is no component at a predetermined position on the transport unit 40, the control unit 61 causes the transport unit 40 to transport the component for a predetermined period of time. Since there are no parts in the transport section 40 , the parts may be supplied from the case 10 to the part supply position 42 .
  • control unit 61 controls the conveyance of the parts in the conveying unit 40 based on the detection result of the second sensor 41, and Conveyance of parts may be controlled.
  • FIG. 10 is a diagram showing the configuration of a component mounting apparatus 100 according to this embodiment.
  • the component mounting apparatus 100 has a function of picking up a component from a component feeder and transferring and mounting the component onto a board 103 .
  • the substrate 103 is an example of an object on which components are mounted.
  • the component mounting apparatus 100 includes a supply unit 80, a base 101, a board transfer mechanism 102, a component mounting mechanism 108 including a mounting head 107, a board recognition camera 109, and a component recognition camera 110. and a power supply unit (not shown).
  • the substrate transfer mechanism 102 is arranged near the center of the base 101 along the X-axis (in the transfer direction of the substrate 103).
  • the substrate transport mechanism 102 transports the substrate 103 carried in from the upstream side in the direction along the X-axis, and positions and holds it on the mounting stage set for executing the component mounting work.
  • the board transfer mechanism 102 is an example of a board holding section that holds the board 103 on which the component held by the mounting head 107 is mounted.
  • the supply unit 80 is detachably attached to a supply unit attachment section (not shown) of the base 101 which is the main body of the component mounting apparatus 100 . More specifically, the carriage 70 that constitutes the supply unit 80 is attached to the supply unit attachment portion.
  • the supply unit mounting portions are provided on both sides of the substrate transport mechanism 102 , and the supply units 80 are also arranged on both sides of the substrate transport mechanism 102 .
  • a plurality of feeders 20 can be arranged in parallel along the Y-axis in each supply unit 80, and at least one feeder 20 (bulk feeder) is mounted in parallel.
  • each functional unit for example, the first air supply unit 62 and the second air supply unit 63, etc.
  • the power supply unit is electrically connected. , and power is supplied from the power supply unit to each functional unit of the supply unit 80 .
  • the feeder 20 arranged in the supply unit 80 supplies components to the pick-up position (pick-up position 56 shown in FIG. 6B) by the mounting head 107 of the component mounting mechanism 108 .
  • the mounting head 107 is an example of a head.
  • An X-axis moving table 105 having a linear drive mechanism is arranged in the X-axis direction at the end in the Y-axis negative direction on the upper surface of the base 101.
  • the X-axis moving table 105 is similarly linearly driven.
  • Two Y-axis moving tables 106 equipped with mechanisms are coupled so as to be movable in the X-axis direction.
  • a mounting head 107 is mounted on each of the two Y-axis moving tables 106 so as to be movable in the Y-axis direction.
  • the mounting head 107 mounts (mounts) the component held by the feeder 20 arranged in the supply unit 80 on the board 103 .
  • the mounting head 107 mounts the component on the board 103 based on the detection result of the third sensor 64, for example.
  • the mounting head 107 is equipped with component suction nozzles 107a that can suction and hold components and can move up and down individually.
  • the mounting head 107 includes a Z-axis elevating mechanism for elevating the component suction nozzle 107a and a ⁇ -axis rotating mechanism for rotating the component suction nozzle 107a around the nozzle axis.
  • the component suction nozzle 107a is an example of a holding unit that holds a component.
  • a component mounting mechanism 108 is configured by the substrate transport mechanism 102 , the X-axis moving table 105 , the Y-axis moving table 106 and the mounting head 107 .
  • the X-axis movement table 105 and the Y-axis movement table 106 are examples of a driving section that moves the mounting head 107 .
  • a component recognition camera 110 is arranged between each of the upper and lower carriages 70 and the substrate transport mechanism 102 .
  • the component recognition camera 110 images the component held by the mounting head 107 .
  • a processing unit (not shown) recognizes and processes the imaging result by image recognition, thereby identifying and detecting the position of the component.
  • the mounting head 107 is equipped with a board recognition camera 109 which is positioned on the lower surface side of the Y-axis moving table 106 and moves integrally with the mounting head 107 .
  • the board recognition camera 109 moves above the board 103 positioned by the board transfer mechanism 102 and picks up an image of the board 103 .
  • the position of the substrate 103 is detected by similarly recognizing the imaging result by the image recognition of the processing unit.
  • the power supply unit supplies power to each functional unit of the component mounting apparatus 100 .
  • the power supply unit supplies power to, for example, the supply unit 80 arranged in the substrate transport mechanism 102 .
  • the power supply section supplies electric power to the first air supply section 62 and the second air supply section 63 of the supply unit 80 and the like.
  • the power supply unit may be connected to an external power supply.
  • a component supply device 30 supplies components stored in a case 10 (an example of a component storage unit) in a bulk state to an extraction position 56 where a holding unit that holds the components extracts the components. It is a device.
  • the parts supply device 30 includes a parts aligning section 43 and a parts rectilinear advance section 53 (an example of an aligning section) for aligning and conveying the parts supplied from the case 10 to a pick-up position 56 , and and a first conveying portion 40a1 having a first slanted surface 44 that slopes downward toward a component alignment portion 43 and a component rectilinear advance portion 53. As shown in FIG.
  • the parts aligning portion 43, the parts straight advancing portion 53, and the first conveying portion 40a1 are composed of the parts arranging portion 43, the parts straight advancing portion 53, and the first inclined surface 44 on which the parts of the first conveying portion 40a1 are supported.
  • a plurality of air ejection holes 43b, 44b and 53b (an example of first air ejection holes) that open to the have
  • the plurality of air ejection holes 43b, 44b and 53b are arranged in the first direction (X axis positive direction) and upwardly.
  • the propulsive force when a propulsive force is applied to a part by vibration, the propulsive force is applied in the negative direction of the X axis, the direction of the Y axis, etc. in addition to the positive direction of the X axis.
  • Contact and the like can occur.
  • an alignment wall for example, a tapered wall in a plan view
  • contact between the parts and the wall may occur. That is, when parts are transported using vibration or alignment walls, blackening of the parts can occur during transport of the parts.
  • the components are conveyed in the first direction (X-axis positive direction) and by the upward air, so that the components are transported in the first direction (X-axis positive direction).
  • Propulsion can be reliably given only by For example, since it is possible to suppress the movement of the parts in the negative direction of the X-axis or the like compared to the case where the propulsive force is applied to the parts by vibration, it is possible to suppress the contact of the parts.
  • air is also ejected to the first inclined surface 44, the parts on the first inclined surface 44 are moved to the parts alignment part 43 while suppressing the friction between the parts and the first inclined surface 44. can be moved and aligned.
  • the component supply device 30 can suppress blackening of the components during transport of the components.
  • the first conveying portion 40 a 1 may further have a second inclined surface 45 that slopes downward in the direction opposite to the component alignment section 43 and the component rectilinear advance section 53 .
  • the second inclined surface 45 may be provided downstream of the first inclined surface 44 in the first direction.
  • the component alignment section 43 and the component straight advancing section 53 are arranged with a predetermined gap from the supporting surfaces 43a and 53a (an example of the first supporting surface) on which the components of the component aligning section 43 and the straight straight advancing section 53 are supported.
  • a cover 46 covering a portion of the upper portion may be further provided.
  • the length in the first direction of first conveying portion 40a1 is shorter than the length in the first direction of component aligning portion 43 and component rectilinear advancing portion 53, and cover 46 is located in the first direction of first conveying portion 40a1. may be provided at a position corresponding to the end on the take-out position 56 side.
  • the second conveying portion 40a2 opens onto a support surface (an example of a third supporting surface) on which the components of the second conveying portion 40a2 are supported, and is configured to be capable of ejecting air upward in a second direction.
  • the parts that have not been conveyed by the parts aligning section 43 and the parts rectilinear advance section 53 can be conveyed by the air even in the second conveying portion 40a2. It can be returned to the upstream side of the component alignment section 43 and the component rectilinear advance section 53 while suppressing the occurrence of friction. Therefore, it is possible to return the component to the upstream side while suppressing blackening of the component.
  • the downstream portion of the component aligning portion 43 and the component straight advancing portion 53 on the take-out position 56 side in the first direction is the width direction (Y-axis direction) of the support surfaces 43a and 53a of the component aligning portion 43 and the straight component advancing portion 53. ) spaced apart and facing each other (an example of a side member).
  • One side wall 54b of the two side walls 54a and 54b has a plurality of air ejection holes 54b2 (an example of a third air ejection hole) for ejecting air toward the other side wall 54a of the two side walls 54a and 54b. ).
  • the parts can be brought closer to the side wall 54a (positioned) by the air, so that the components can be moved by the structure such as the wall portion. contact with other objects can be suppressed as compared with the case of moving the side wall 54a. Therefore, the component supply device 30 can bring the components closer to the side wall 54a while suppressing blackening of the components during transport of the components.
  • the component aligning portion 43 and the component rectilinear advance portion 53 have a wall portion 55 at the terminal end of the component aligning portion 43 and the component rectilinear advance portion 53 in the first direction, the wall portion 55 coming into contact with the end face of the component on the first direction side.
  • the wall portion 55 may have a suction portion (for example, a suction hole 55a for sucking air) for sucking the end surface of the component.
  • the air ejection holes can be formed on the wall portion 55.
  • the component can be fixed at the pick-up position 56 by the sucking portion (for example, the sucking hole 55a).
  • a suction hole 55a for sucking air is formed in the wall portion 55, and a third sensor 64 (an example of a sensor) for measuring the flow rate or degree of vacuum in the air path connected to the suction hole 55a is further provided.
  • a third sensor 64 an example of a sensor
  • the component supply device 30 can suppress the blackening of the component compared to the case where the presence or absence of the component is determined using a contact sensor.
  • the component alignment portion 43 and the component rectilinear advance portion 53 may be grooves extending in the first direction.
  • the component supply device 30 can effectively align the components with the grooves.
  • the parts supply method is a parts supply method in the parts supply device 30 that supplies the parts stored in the case 10 in a bulk state to the pick-up position 56 where the parts are picked up by the holding unit that holds the parts. is.
  • the component supply device 30 is provided along the component aligning unit 43 and the component straight advancing unit 53 for aligning the components supplied from the case 10 and conveying them to the take-out position 56, and along the component aligning unit 43 and the component straight advancing unit 53.
  • a first conveying portion 40 a 1 having a portion 43 and a first inclined surface 44 that slopes downward toward the parts rectilinear advance portion 53 may be provided.
  • the component aligning portion 43, the component rectilinear advance portion 53, and the first conveying portion 40a1 form a first inclined surface on which the components of the component aligning portion 43, the component rectilinear advance portion 53, and the first conveying portion 40a1 are supported.
  • a plurality of air ejection holes 43b, 44b, and 53b (an example of first air ejection holes) that open to and 44, and are for ejecting air to levitate and convey parts. and 53b.
  • the component supply method is such that air is jetted upward in the first direction toward the take-out position 56 from the case 10 at each of the component alignment portion 43, the component rectilinear advance portion 53, and the first inclined surface 44. may contain.
  • the component supply device 30 is a component supply device that supplies components stored in the case 10 in a bulk state up to an extraction position 56 where the components are extracted by a holding unit that holds the components.
  • the component supply device 30 includes a transport unit 40 that aligns and transports the components supplied from the case 10, and a supply unit that is connected at one end to the transport unit 40 and supplies the components transported from the transport unit 40 to the pickup position 56. 50 , and a control unit 61 that independently controls the transport of components in the transport unit 40 and the transport of components in the supply unit 50 .
  • the component supply device 30 can suppress blackening of the components during transport of the components.
  • a first sensor 51 (an example of a first detection section) that detects the amount of components accommodated in the supply section 50 may be provided. Then, the control section 61 may control the transportation of the component in the transportation section 40 based on the detection result of the first sensor 51 .
  • the conveyance of the parts in the conveying section 40 is controlled according to the amount of the parts in the supply section 50, the conveyance of the parts can be reduced compared to the case where the conveyance section 40 is controlled regardless of the amount of the parts in the supply section 50.
  • the number of transfers or transfer time of parts in the section 40 can be reduced.
  • the component supply device 30 according to one aspect of the present disclosure can further suppress blackening of the components during transport of the components.
  • the first sensor 51 detects the presence or absence of a component at a predetermined position of the supply unit 50, and the control unit 61 receives a detection result from the first sensor 51 indicating that there is no component at the predetermined position.
  • the transport unit 40 may be caused to transport the component.
  • the transport unit 40 transports the component.
  • the transport unit 40 does not transport the component. Therefore, since it is possible to limit the transportation of components by the transportation unit 40 to the case where there is no component at a predetermined position in the supply unit 50 , the component supply device 30 can prevent the components from contacting with each other in the transportation unit 40 and causing the blackening of the components. can be suppressed.
  • control unit 61 when there is no component at a predetermined position, the control unit 61 further causes the supply unit 50 to convey the component for a predetermined period of time. may be made to transport the parts.
  • the component supply device 30 can further suppress blackening of components in the transport section 40 .
  • control unit 61 may control the conveyance of components in the supply unit 50 regardless of the detection result of the first sensor 51 .
  • the supply unit 50 can convey the parts under constant conditions regardless of the detection result of the first sensor 51 . Therefore, the supply unit 50 can more reliably supply the components to the pick-up position 56 .
  • the conveying unit 40 has a plurality of air ejection holes 43b that open in a support surface 43a (an example of a first support surface) that supports the components, and ejects air to float and transport the components.
  • the supply unit 50 has a plurality of air ejection holes 53b that open to a support surface 53a (an example of a second support surface) that supports components, and ejects air. It may have a plurality of air ejection holes 53b for levitating and conveying the component.
  • the control section 61 may independently control the air ejected from the plurality of air ejection holes 43b and the air ejected from the plurality of air ejection holes 53b.
  • the parts are levitated and conveyed, so that friction between the parts and the support surfaces 43a and 53a can be suppressed.
  • the air ejected from the plurality of air ejection holes 43b and the air ejected from the plurality of air ejection holes 53b are controlled independently of each other, compared to the case where the two airs are integrally controlled, either It is possible to perform flexible control such as stopping the supply of one air. By stopping the supply of air, it is possible to suppress the contact of parts in the component. Therefore, the component supply device 30 according to one aspect of the present disclosure can further suppress blackening of the components during transport of the components.
  • the transport unit 40 is connected to a first transport portion 40a1 that transports components in a first direction from the case 10 to the supply unit 50, and is connected to the first transport portion 40a1.
  • a second transport portion 40a2 may be provided along the portion 40a1 for transporting components from the first transport portion 40a1 in a second direction opposite to the first direction.
  • the parts that have not been transported from the transport unit 40 to the supply unit 50 can be returned to the upstream side (X-axis minus side) of the transport unit 40 .
  • the transport section 40 may further include a component alignment section 43 that is provided along the first transport portion 40a1 and that aligns the components transported in the first direction.
  • the parts aligned by the parts alignment section 43 can be supplied to the supply section 50 .
  • a second sensor 41 (an example of a second detection unit) that detects the amount of components in the first transport portion 40a1 may be further provided. Then, the control section 61 may perform control for supplying components from the case 10 based on the detection result of the second sensor 41 .
  • the parts supply device 30 can suppress the parts from coming into contact with each other.
  • the parts supply method is a parts supply method of the parts supply device 30 that supplies the parts stored in the case 10 in a bulk state to the pick-up position 56 where the parts are picked up by the holding unit that holds the parts.
  • the component supply device 30 includes a transport unit 40 that aligns and transports the components supplied from the case 10, and a supply unit that is connected at one end to the transport unit 40 and supplies the components transported from the transport unit 40 to the pickup position 56. 50.
  • the component supply method may include controlling the component transport in the transport unit 40 and the component transport in the supply unit 50 independently of each other.
  • the component mounting apparatus 100 includes the component supply device 30 described above, the mounting head 107 (an example of a head) for holding the component supplied by the component supply device 30, and the mounting head 107 and a Y-axis moving table 106 (an example of a driving unit), and a substrate transport mechanism 102 (a part of the substrate holding unit) that holds the substrate 103 on which the components held by the mounting head 107 are mounted. example).
  • the component mounting apparatus 100 can mount on the board 103 a component whose blackening is suppressed.
  • FIG. 11 is a block diagram showing the functional configuration of a component supply device 30a according to another embodiment.
  • the component supply device 30a includes a first sensor 51, a second sensor 41, a control section 61, a first vibration supply section 62a, and a second vibration supply section 63a. may have.
  • the first vibration supply unit 62a is a vibration generator for vibrating the transport unit 40, and vibrates the transport unit 40 along the X-axis direction, for example.
  • the second vibration supply unit 63a is a vibration generator for vibrating the supply unit 50, and vibrates the supply unit 50 along the X-axis direction, for example.
  • the control unit 61 controls the transport of the component by vibration in the transport unit 40 and the transport of the component by vibration in the supply unit 50 independently of each other.
  • the transport section 40 and the supply section 50 may be provided with a gap, for example.
  • the controller 61 to vibrate the conveying unit 40 only when there is no component in the supply unit 50, it is possible to suppress the contact of the components when the conveying unit 40 conveys the components.
  • the first transport portion 40a1 and the second transport portion 40a2 of the transport section 40 may be provided with a gap, for example.
  • the component supply device 30a may convey components using both vibration and air.
  • the component supply device 30a may transport components by vibration in the transport unit 40 and transport components by air in the supply unit 50 .
  • the first inclined surface and the second inclined surface may not be provided when the conveying unit 40 conveys the component by vibration.
  • the shapes of the air ejection holes and the suction holes in the above embodiment are, for example, circular, but are not limited to this, and may be of any shape. Also, the arrangement of the air ejection holes is not limited to the above embodiment.
  • the first sensor and the second sensor detect the presence or absence of parts as the quantity of parts, but the present invention is not limited to this, and the quantity of parts may be detected. Then, the control section may supply air to the conveying section when the number of components detected by the first sensor is equal to or less than a predetermined number. Further, the control unit may cause the parts to be supplied from the case when the number of parts detected by the second sensor is equal to or less than a predetermined number. Also, the quantity of parts is not limited to the number of parts, and may be, for example, the weight of the parts. In this case, the first sensor and the second sensor are implemented by sensors capable of detecting the weight of the parts.
  • transport section and the supply section may be integrally formed, or may be formed separately and connected.
  • the component supply device has been described as an example configured by a transport section and a supply section, but may be configured further including a body section (for example, body section 60). That is, the component supply device may be realized by the feeder according to the above embodiment.
  • the component supply device is a device that conveys components supplied from a case that stores randomly stacked components
  • the parts feeder may, for example, convey parts supplied from a bowl whose inner wall is provided with a spiral track along which the parts can travel.
  • the feeder may be a bowl feeder.
  • each component may be configured with dedicated hardware or realized by executing a software program suitable for each component.
  • Each component may be realized by reading and executing a software program recorded in a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory by a program execution unit such as a CPU or processor.
  • each step in the flowchart is executed is for illustrative purposes in order to specifically describe the present disclosure, and orders other than the above may be used. Also, some of the steps may be executed concurrently (in parallel) with other steps, or some of the steps may not be executed.
  • the division of functional blocks in the block diagram is an example, and a plurality of functional blocks can be realized as one functional block, one functional block can be divided into a plurality of functional blocks, and some functions can be moved to other functional blocks.
  • single hardware or software may process functions of a plurality of functional blocks having similar functions in parallel or in a time division manner.
  • these general or specific aspects may be implemented in a system, method, integrated circuit, computer program, or non-transitory recording medium such as a computer-readable CD-ROM. It may be implemented in any combination of circuits, computer programs or recording media.
  • each component described in the above embodiments may be realized as software, or typically as an LSI, which is an integrated circuit. These may be made into one chip individually, or may be made into one chip so as to include part or all of them.
  • LSI is used here, it may also be called IC, system LSI, super LSI, or ultra LSI depending on the degree of integration.
  • the method of circuit integration is not limited to LSI, and may be realized by a dedicated circuit or a general-purpose processor.
  • An FPGA Field Programmable Gate Array
  • a reconfigurable processor that can reconfigure the connections or settings of the circuit cells inside the LSI may be used.
  • an integrated circuit technology that replaces the LSI emerges due to advances in semiconductor technology or another technology derived from it, the components may naturally be integrated using that technology.
  • a system LSI is an ultra-multifunctional LSI manufactured by integrating multiple processing units on a single chip. Specifically, it includes a microprocessor, ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), etc.
  • a computer system comprising A computer program is stored in the ROM. The system LSI achieves its functions by the microprocessor operating according to the computer program.
  • one aspect of the present disclosure may be a computer program that causes a computer to execute each characteristic step included in the component supply method shown in any one of FIGS. 8 to 9D.
  • the program may be a program to be executed by a computer.
  • one aspect of the present disclosure may be a computer-readable non-transitory recording medium on which such a program is recorded.
  • such a program may be recorded on a recording medium and distributed or distributed. For example, by installing the distributed program in a device having another processor and causing the processor to execute the program, it is possible to cause the device to perform the above processes.
  • the present disclosure is useful for a mounting apparatus or the like for producing mounted boards by mounting components on boards.

Landscapes

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Abstract

部品供給装置（３０）は、バラ積み状態でケース（１０）に収納された部品を、取出位置（５６）まで供給する部品供給装置であって、ケース（１０）から供給された部品を整列させ取出位置（５６）まで搬送する整列部と、整列部に沿って設けられ、整列部に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面（４４）を有する第１の搬送部分（４０ａ１）とを備える。整列部及び第１の搬送部分（４０ａ１）は、整列部と、第１の搬送部分（４０ａ１）の第１の傾斜面（４４）とに開口する複数のエア噴出孔（４３ｂ、４４ｂ及び５３ｂ）であって、部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔（４３ｂ、４４ｂ及び５３ｂ）を有し、複数のエア噴出孔（４３ｂ、４４ｂ及び５３ｂ）は、整列部及び第１の傾斜面（４４）のそれぞれにおいて、ケース（１０）から取出位置（５６）に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される。

Description

部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法
　本開示は、部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法に関する。
　特許文献１には、部品中継室から供給された部品を取出位置まで供給する部品供給レールを備える電子部品供給装置が開示されている。当該電子部品供給装置では、部品供給レールが加振機構により加振されることにより、部品を取出位置まで供給する。
特開２０１１－１１４０８４号公報
　しかしながら、部品供給レールが加振機構により加振されることで、部品が取出位置へ搬送されるときに、部品供給レール上の部品同士が接触（例えば、衝突）し部品の黒化が進むという課題がある。
　そこで、本開示は、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法を提供する。
　本開示の一態様に係る部品供給装置は、バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置であって、前記部品収納部から供給された前記部品を整列させ前記取出位置まで搬送する整列部と、前記整列部に沿って設けられ、前記整列部に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面を有する第１の搬送部分と、を備え、前記整列部及び前記第１の搬送部分は、前記整列部と前記第１の搬送部分の前記部品が支持される前記第１の傾斜面とに開口する複数の第１のエア噴出孔であって、エアを噴出することにより前記部品を浮上搬送させるための複数の第１のエア噴出孔を有し、前記複数の第１のエア噴出孔は、前記整列部及び前記第１の傾斜面のそれぞれにおいて、前記部品収納部から前記取出位置に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される。
　本開示の一態様に係る部品実装装置は、上記の部品供給装置と、前記部品供給装置により供給された前記部品を保持するためのヘッドと、前記ヘッドを移動する駆動部と、前記ヘッドにより保持された前記部品が実装される基板を保持する基板保持部と、を備える。
　本開示の一態様に係る部品供給方法は、バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置における部品供給方法であって、前記部品供給装置は、前記部品収納部から供給された前記部品を整列させ前記取出位置まで搬送する整列部と、前記整列部に沿って設けられ、前記整列部に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面を有する第１の搬送部分と、を備え、前記整列部及び前記第１の搬送部分は、前記整列部と前記第１の搬送部分の前記部品が支持される前記第１の傾斜面とに開口する複数の第１のエア噴出孔であって、エアを噴出することにより前記部品を浮上搬送させるための複数の第１のエア噴出孔を有し、前記部品供給方法は、前記整列部及び前記第１の傾斜面のそれぞれにおいて、前記部品収納部から前記取出位置に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出させることを含む。
　本開示の一態様によれば、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる部品供給装置等を実現することができる。
図１は、実施の形態に係る供給ユニットを模式的に示す図である。 図２は、実施の形態に係るフィーダの一部を模式的に示す斜視図である。 図３は、実施の形態に係る部品供給装置を示す斜視図である。 図４Ａは、実施の形態に係る部品供給装置を示す平面図である。 図４Ｂは、実施の形態に係る部品供給装置における部品の搬送方向を示す平面図である。 図５Ａは、図４Ａの（ａ）に示すＶａ－Ｖａ断面を示す断面図である。 図５Ｂは、図４Ａの（ａ）に示すＶｂ－Ｖｂ断面を示す断面図である。 図６Ａは、図４Ａの（ａ）に示すＶＩａ－ＶＩａ断面を示す断面図である。 図６Ｂは、図４Ａの（ａ）に示す破線枠の部分を示す斜視図である。 図７は、実施の形態に係る部品供給装置の機能構成を示すブロック図である。 図８は、実施の形態に係る部品供給装置の動作を示すフローチャートである。 図９Ａは、図８に示すステップＳ２０の第１例を示す図である。 図９Ｂは、図８に示すステップＳ２０の第２例を示す図である。 図９Ｃは、図８に示すステップＳ２０の第３例を示す図である。 図９Ｄは、図８に示すステップＳ２０の第４例を示す図である。 図１０は、実施の形態に係る部品実装装置の構成を示す図である。 図１１は、その他の実施の形態に係る部品供給装置の機能構成を示すブロック図である。
　以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
　なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
　また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。したがって、例えば、各図において縮尺などは必ずしも一致しない。また、各図において、実質的に同一の構成については同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。
　また、本明細書および図面において、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、三次元直交座標系の三軸を示している。各実施の形態では、Ｘ軸方向は、部品の搬送方向を示しており、Ｚ軸方向は部品供給装置の上下方向を示している。平面視とは、Ｚ軸方向から見ることを意味し、断面視とは、Ｙ軸およびＺ軸で規定される断面をＸ軸方向から見ることを意味する。
　また、本明細書において、垂直、平行などの要素間の関係性を示す用語、および、円形などの要素の形状を示す用語、並びに、数値、および、数値範囲は、厳格な意味のみを表す表現ではなく、実質的に同等な範囲、例えば数％程度（例えば、１０％未満）の差異をも含むことを意味する表現である。
　（実施の形態）
　以下、本実施の形態に係る部品供給装置等について、図１～図１０を参照しながら説明する。
　［１．部品供給装置の構成］
　まず、本実施の形態に係る部品供給装置を有する供給ユニットの構成について、図１を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態に係る供給ユニット８０を模式的に示す図である。供給ユニット８０は、後述する部品実装装置（例えば、図１０に示す部品実装装置１００）で使用される部品（例えば、電子部品）を供給するための装置である。なお、図１では、供給ユニット８０が部品実装装置に取り付けられたときに、フィーダ２０から部品を保持して取り出す実装ヘッド１０７も図示している。保持は、吸着または把持の少なくとも１つを含む。また、図１では、ケース１０のカバー１１は開いている状態を示す。
　図１に示すように、供給ユニット８０は、ケース１０と、フィーダ２０と、台車７０とを備える。供給ユニット８０は、移動可能であり、部品実装装置に取り外し可能に取り付けられる。
　ケース１０は、中空の箱体であり、内部にバラ積み状態で部品を収容する。ケース１０は、例えば、バルク状態の部品を収容する。ケース１０は、フィーダ２０に着脱自在に取り付けられ、収容する部品をフィーダ２０に供給する。例えば、ケース１０は、フィーダ２０に装着された状態で、振動等により揺らされることで収容する部品をフィーダ２０に供給する。ケース１０は、部品収納部の一例である。また、部品は、例えば、抵抗器、コンデンサなどの電子部品であるが、これに限定されず、基板等の対象物に実装可能な物体であればよい。また、部品は、少なくとも一部が金属であってもよいし、帯電性または磁性を有していてもよい。金属部分、または、帯電性もしくは磁性を有する部分は、例えば、露出して設けられてもよい。金属部分は、例えば、金属層（めっき層）であってもよい。
　ケース１０は、カバー１１を有する。カバー１１は、ケース１０の内部からフィーダ２０に部品を供給するための開口に設けられる。カバー１１は、ケース１０がフィーダ２０に取り付けられていない状態では、開口を覆っている。また、カバー１１は、ケース１０がフィーダ２０に取り付けられた場合に開けられる。例えば、カバー１１は、フィーダ２０の被装着部３２にケース１０が装着されたときに、被装着部３２に設けられた棒体（図示しない）によりＸ軸マイナス側に押し込まれることで、Ｙ軸方向を回転軸として回転する。
　フィーダ２０は、バラ積み状態でケース１０に収容された部品を、部品を保持する実装ヘッド１０７により取り出される取出位置まで供給する。本実施の形態では、フィーダ２０は、振動ではなく、エアにより部品を搬送する構成を有する。
　台車７０は、フィーダ２０が着脱自在に取り付けられ、フィーダ２０を部品実装装置の所定位置まで移動させる。なお、台車７０は、必須の構成ではない。
　ここで、フィーダ２０について、さらに図２～図６Ｂを参照しながら説明する。図２は、本実施の形態に係るフィーダ２０の一部を模式的に示す斜視図である。
　図１および図２に示すように、フィーダ２０は、部品供給装置３０と本体部６０とを有する。
　部品供給装置３０は、ケース１０が着脱自在に装着され、ケース１０から供給された部品を搬送する。
　部品供給装置３０は、搬送部４０と、供給部５０とを有する。また、部品供給装置３０は、ケース１０が装着される被装着部３２と、部品を固定するための真空吸引に用いられるチューブ３６とを有する。
　搬送部４０は、ケース１０から部品供給位置４２に供給された複数の部品を整列させて供給部５０まで搬送するための搬送機構である。搬送部４０は、例えば、搬送部４０に収容される部品の量を検出する第２のセンサ４１を有する。第２のセンサ４１は、搬送部４０における部品の貯留状態（例えば、部品の量）を検出するとも言える。第２のセンサ４１は、例えば、後述する第１の搬送部分（例えば、図４Ａに示す第１の搬送部分４０ａ１）における部品の貯留状態を検出してもよい。第２のセンサ４１は、例えば、搬送部４０の所定の位置における部品の有無を検出してもよい。第２のセンサ４１は、部品を検出可能なセンサであれば特に限定されない。第２のセンサ４１は、光を用いて部品を検出するセンサであってもよい。第２のセンサ４１は、第２の検出部の一例である。
　なお、整列とは、複数の部品の向きを揃え、かつ、一列に並べることを意味する。部品が直方体である場合、整列とは、例えば、部品の長辺を部品供給位置４２から供給部５０へ向かう第１の方向（Ｘ軸プラス方向）とし、かつ、第１の方向を向いた部品を一列に並べることである。なお、一列に並べるとは、完全な一列であることに限定されず、実質的に一列であればよく、例えば、ジグザグ状であってもよい。なお、以下では、方向（例えば、Ｘ軸方向）、および、向き（例えば、Ｘ軸プラス方向）を、単に方向（例えば、第１の方向）と記載する。
　供給部５０は、一端が搬送部４０と接続され、搬送部４０から搬送された複数の部品を実装ヘッド１０７により部品が取り出される取出位置に供給するための搬送機構である。供給部５０は、供給部５０に収容される部品の量を検出する第１のセンサ５１を有する。第１のセンサ５１は、例えば、供給部５０の所定の位置における部品の有無を検出する。第１のセンサ５１は、例えば、搬送部４０と供給部５０との接続位置である供給部入口５２付近に設けられ、当該供給部入口５２を通過した部品を検出する。第１のセンサ５１は、部品を検出可能なセンサであれば特に限定されない。第１のセンサ５１は、光を用いて部品を検出するセンサであってもよい。
　被装着部３２は、ケース１０が着脱される部分であり、ケース１０を固定し、かつ、ケース１０のカバー１１の開閉を行う。
　チューブ３６は、取出位置まで搬送された部品を真空吸引により固定するための真空経路を形成する。チューブ３６は、供給部５０に設けられる部品を吸着するための吸着孔（図６Ｂに示す吸着孔５５ａ）と連通する。当該吸着孔は、取出位置に設けられる。
　本体部６０は、部品供給装置３０が着脱自在に取り付けられる。本体部６０は、第１のエア供給部６２（第１の供給部６２）、第２のエア供給部６３（第１の供給部６３）および第３のセンサ６４等を収容する収容体であり、例えば、箱体である。また、本体部６０は、制御部６１を収容していてもよい。
　第１のエア供給部６２は、搬送部４０に開口する複数のエア噴出孔に連通し、当該複数のエア噴出孔から噴出されるエアを供給する。
　第２のエア供給部６３は、供給部５０に開口する複数のエア噴出孔に連通し、当該複数のエア噴出孔から噴出されるエアを供給する。
　第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３は、例えば、部品を浮上搬送可能な程度の圧縮空気を供給する。圧縮空気の圧力は、レギュレータ等により制御される。また、第１のエア供給部６２と搬送部４０の複数のエア噴出孔とは、チューブ等により第１のエア通路（例えば、図２に示す第１のエア供給部６２と接続される破線の経路）が形成されており、当該第１のエア通路上にはエアの供給の有無を切り替える弁（例えば、電磁弁）が設けられる。第２のエア供給部６３と供給部５０の複数のエア噴出孔とは、チューブ等により第２エア通路（例えば、図２に示す第２のエア供給部６３と接続される破線の経路）が形成されており、当該第２エア通路上にはエアの供給の有無を切り替える弁（例えば、電磁弁）が設けられる。なお、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３が供給する気体は、空気であることに限定されず、他の気体であってもよい。
　第３のセンサ６４は、供給部５０に設けられる部品を吸着するための吸着孔と接続される真空経路における空気の流量または真空度を計測することで取出位置に部品があるか否かを検出する。第３のセンサ６４は、空気の流量が所定値以下、または、真空度が所定値以上である場合、取出位置に部品があることを検出する。実装ヘッド１０７は、第３のセンサ６４における検出結果に基づいて、取出位置にある部品を吸着して保持する。真空経路は、エア経路の一例である。第３のセンサ６４は、第３の検出部の一例である。
　制御部６１は、部品供給装置３０における部品の搬送を制御する制御装置である。制御部６１は、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御する。制御部６１は、例えば、搬送部４０の複数のエア噴出孔から噴出させるエア、および、供給部５０の複数のエア噴出孔から噴出させるエアを、エア供給機構を介して互いに独立して制御する。エアを制御とは、エアのＯＮおよびＯＦＦ、エアの圧力、エアの噴出方向、エアの流量等の少なくとも１つの制御を含む。
　制御部６１は、エア供給機構を制御するとも言える。エア供給機構は、例えば、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３、レギュレータ、弁、エア経路および各エア噴出孔等の少なくとも１つを含んで構成される。エア供給機構は、例えば、搬送部４０における部品が支持される支持面４３ａ（第１の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔４３ｂ、および、供給部５０における部品が支持される支持面５３ａ（第２の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔５３ｂのそれぞれから、部品を搬送するためのエアを噴出するための機構である。
　制御部６１は、部品を浮上搬送させることで、第１の方向のみ（前方であり、Ｘ軸プラス方向）に推力を発生させる。制御部６１は、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３等を制御し、エアの吹き出しのＯＮおよびＯＦＦを所定期間ごとに繰り返すことでパルスエアを供給させてもよい。つまり、部品は、Ｚ軸方向に上下しながら搬送されてもよい。なお、浮上搬送させるためのエアの吹き出し条件は、上記に限定されない。
　なお、制御部６１は、本体部６０に設けられる例について説明したがこれに限定されず、例えば、部品供給装置３０に設けられてもよい。
　また、本体部６０は、吸着孔およびチューブ３６と連通し、吸着孔からエアを吸引することで取出位置にある部品を固定するエア吸引装置を収容していてもよい。
　図３は、本実施の形態に係る部品供給装置３０を示す斜視図である。図４Ａは、本実施の形態に係る部品供給装置３０を示す平面図である。具体的には、図４Ａの（ａ）は、本実施の形態に係る部品供給装置３０の平面図を示しており、図４Ａの（ｂ）は、図４Ａの（ａ）に示す本体部４０ａにおける破線領域を拡大して示しており、図４Ａの（ｃ）は、図４Ａの（ａ）に示す本体部５０ａにおける破線領域を拡大して示している。図４Ｂは、本実施の形態に係る部品供給装置３０における部品の搬送方向を示す平面図である。図４Ｂは、図４の（ａ）に示す平面図に部品の搬送方向ｄ１～ｄ４を重畳して示し、一部の符号等を削除した図である。図４Ｂでは、部品の搬送方向ｄ１～ｄ４を内部にドットハッチングがある矢印で示している。
　また、図５Ａは、図４Ａの（ａ）に示すＶａ－Ｖａ断面を示す断面図である。図５Ｂは、図４Ａの（ａ）に示すＶｂ－Ｖｂ断面を示す断面図である。図５Ａおよび図５Ｂでは、部品の一例として、矩形状の部品Ｐを図示している。また、図５Ａおよび図５Ｂでは、部品Ｐの搬送方向を示す記号を図示している。円の中に×の記号は、部品Ｐが手前から奥へ（Ｘ軸プラス側からＸ軸マイナス側へ）搬送されていることを示し、円の中に点の記号は、部品Ｐが奥から手前へ（Ｘ軸マイナス側からＸ軸プラス側へ）搬送されていることを示している。
　なお、図３および図４Ａでは、第１のセンサ５１および第２のセンサ４１の図示を省略している。また、本実施の形態では、部品供給装置３０における部品の推進力は全てエアである。言い換えると、本実施の形態では、部品供給装置３０における部品の推進力の発生に振動は用いられていない。
　図３に示すように、部品供給装置３０の搬送部４０は、本体部４０ａと蓋部４０ｂとを有する。蓋部４０ｂは、本体部４０ａを覆い、例えば、ネジ等の締結部材３８により本体部４０ａに固定される。蓋部４０ｂには、ケース１０からの部品が通過する貫通孔４０ｂ１が形成されている。部品は、当該貫通孔４０ｂ１を通過し、部品供給位置４２に供給される。
　なお、蓋部４０ｂのＺ軸マイナス側の面には、ゴム性のシート部材が設けられてもよい。蓋部４０ｂが本体部４０ａに固定された状態で、シート部材は、平面視において、部品供給位置４２内に設けられてもよいし、部品供給位置４２と部品整列部４３および第１の傾斜面４４との境界に設けられてもよい。また、蓋部４０ｂが本体部４０ａに固定された状態で、シート部材は、部品供給位置４２から所定の間隔をあけて設けられる。所定の間隔は、例えば、部品が直方体である場合、部品の最も短い辺の長さより大きく、かつ、部品の最も長い辺の長さより小さい。シート部材は、立っている部品（長辺が上下方向となっている部材）のみと接触し、当該接触した部材をねかす機能を有する。これにより、立ったままの状態の部品が部品整列部４３又は第１の傾斜面４４に搬送されることを抑制することができる。
　図３および図４Ａに示すように、本体部４０ａは、第２のセンサ４１（図２を参照）と、部品供給位置４２と、部品整列部４３と、第１の傾斜面４４と、第２の傾斜面４５と、カバー４６と、旋回部４７と、戻り搬送部４８と、側壁４９ａおよび４９ｃと、仕切り壁４９ｂとを有する。搬送部４０の複数のエア噴出孔は、部品供給位置４２と、部品整列部４３と、第１の傾斜面４４と、第２の傾斜面４５と、旋回部４７と、戻り搬送部４８とに形成されている。
　部品供給位置４２は、ケース１０から部品が供給される部分（領域）である。また、部品供給位置４２には、部品整列部４３に整列されずに戻り搬送部４８を介して戻ってきた部品も存在し、当該部品を図４Ｂに示す搬送方向ｄ４に搬送する。部品供給位置４２には、ケース１０から供給された部品、および、戻り搬送部４８を介して戻ってきた部品のそれぞれを部品整列部４３に供給するための複数のエア噴出孔（図示しない）が形成されている。なお、部品供給位置４２は、平坦な面であるが、例えば、少なくとも一部が傾斜していてもよい。
　部品供給位置４２は、部品整列部４３および第１の傾斜面４４のそれぞれと接続されている。つまり、部品供給位置４２にある部品は、部品供給位置４２に形成された複数のエア噴出孔（図示しない）からのエアにより、部品整列部４３および第１の傾斜面４４のいずれかに供給される。
　部品整列部４３は、部品を整列させて供給部５０に搬送する。部品整列部４３は、部品を整列させて図４Ｂに示す搬送方向ｄ１に搬送する。部品整列部４３は、第１の方向に延在して設けられる。
　図４Ａの（ｂ）に示すように、部品整列部４３の支持面４３ａには、複数のエア噴出孔４３ｂが形成されている。部品整列部４３は、複数の部品を複数のエア噴出孔４３ｂから噴出されるエアにより順次搬送する。部品整列部４３は、複数のエア噴出孔４３ｂにより同時に複数の部品を搬送可能である。なお、図４Ａの（ｂ）におけるＸ軸プラス側のエア噴出孔４３ｂには、第１のエア供給部６２とエア噴出孔４３ｂとを連通するためのエア通路の一部を破線で図示している。
　図５Ａに示すように、部品整列部４３は、第１の方向に延在する凹状の溝である。支持面４３ａは、溝の底面により構成される。支持面４３ａは、第１の傾斜面４４よりＺ軸マイナス側に位置する。支持面４３ａには、部品を第１の方向に浮上搬送するための開口であるエア噴出孔４３ｂが形成複数されている。支持面４３ａに形成される複数のエア噴出孔４４ｂは、第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に形成される。つまり、支持面に形成される複数のエア噴出孔４３ｂは、Ｙ軸方向から見ると、第１の方向側の斜め上方にエアを噴出させる。また、支持面４３ａに形成される複数のエア噴出孔４３ｂは、Ｘ軸方向から見ると、支持面４３ａに対して垂直方向にエアを噴出させる。
　部品Ｐが直方体である場合、部品整列部４３のＹ軸方向の幅は、部品Ｐのうち最も短い辺の長さより大きく、部品Ｐのうち最も長い辺の長さより小さいがこれに限定されない。また、部品Ｐが直方体である場合、部品整列部４３のＹ軸方向の幅は、部品Ｐのうち最も短い辺の長さの２倍より小さくてもよい。また、部品整列部４３のＹ軸方向の幅は、部品Ｐの寸法公差を含んで決定されてもよい。
　なお、部品整列部４３は、溝であることに限定されず、例えば、第１の傾斜面４４の下端部（Ｙ軸プラス側の端部）につながる平坦面であってもよいし、第１の傾斜面４４と反対方向に傾斜する傾斜面であってもよい。
　第１の傾斜面４４は、部品整列部４３に沿って設けられ、部品整列部４３に向けて下方に傾斜する。第１の傾斜面４４は、部品整列部４３に隣接して設けられるとも言える。第１の傾斜面４４は、部品供給位置４２から第１の傾斜面４４に供給された部品を、部品整列部４３に向けて移動させるために設けられる。第１の傾斜面４４は、例えば、第１の方向に延在して設けられる平坦な斜面である。
　第１の傾斜面４４には、第１の傾斜面４４上の部品Ｐを部品整列部４３に浮上搬送するための開口であるエア噴出孔４４ｂが複数形成されている。第１の傾斜面４４に形成される複数のエア噴出孔４４ｂは、第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に形成される。第１の傾斜面４４に形成される複数のエア噴出孔４４ｂは、Ｘ軸方向から見ると、第１の傾斜面４４に対して垂直方向にエアを噴出させる。なお、図４Ａの（ｂ）に示すように、第１の傾斜面４４には、複数のエア噴出孔４４ｂが形成されている。なお、図４Ａの（ｂ）におけるＸ軸プラス側のエア噴出孔４４ｂには、第１のエア供給部６２とエア噴出孔４４ｂとを連通するためのエア通路の一部を破線で図示している。
　第１の傾斜面４４の傾斜角は、特に限定されないが、例えば、第１の傾斜面４４の複数のエア噴出孔４４ｂからエアが噴出していない状態で、第１の傾斜面４４上の部品が部品整列部４３に移動しない（例えば、滑らないまたは回転しない）程度の角度であってもよい。これにより、第１の傾斜面４４の複数のエア噴出孔４４ｂからエアが噴出していない状態で第１の傾斜面４４上にある部品が部品整列部４３に移動することで、第１の傾斜面４４と部品Ｐとの間で摩擦が発生すること、つまり、部品が黒化することを抑制することができる。
　また、第１の傾斜面４４の傾斜角は、例えば、第１の傾斜面４４の複数のエア噴出孔４４ｂからエアが噴出している状態で、第１の傾斜面４４上の部品Ｐが部品整列部４３に移動する程度の角度であってもよい。第１の傾斜面４４の傾斜角は、例えば、１０度以下であってもよく、５度以下であってもよい。なお、傾斜角は、図５Ａにおいて部品整列部４３の支持面４３ａの方向（Ｙ軸方向）と、第１の傾斜面４４を延長した延長線とが交差するときの角度であって、９０度以下の角度である。
　また、第１の傾斜面４４において、エアがパルスエアであることで、第１の傾斜面４４にある部品Ｐは、第１の傾斜面４４の傾斜の影響を受けやすくなり、部品整列部４３に移動しやすくなり得る。
　図４Ａを再び参照して、第２の傾斜面４５は、第１の方向における第１の傾斜面４４の下流側（Ｘ軸プラス側）において、部品整列部４３に沿って設けられ、第１の傾斜面４４から第２の傾斜面４５に移動してきた部品Ｐが部品整列部４３に移動することを抑制する。第２の傾斜面４５は、例えば、少なくとも一部が部品整列部４３とは逆方向に向かって下方に傾斜する。なお、第２の傾斜面４５は、傾斜していることに限定されない。
　図５Ｂに示すように、第２の傾斜面４５は、部品整列部４３の支持面４３ａよりＺ軸プラス側に配置された当該支持面４３ａと平行な面であってもよい。この場合、第２の傾斜面４５には、図５Ｂに示す断面において、部品整列部４３と反対側（Ｙ軸マイナス側）の上方に向けてエアを噴出可能なように複数のエア噴出孔が設けられてもよい。
　第２の傾斜面４５のＹ軸方向の長さは、例えば、部品整列部４３のＹ軸方向の長さより長い。第２の傾斜面４５のＹ軸方向の長さは、例えば、部品Ｐの長辺の長さより長い。
　また、図４Ａでは、第１の傾斜面４４と第２の傾斜面４５とが直接接続されている例を示しているが、例えば、第１の傾斜面４４と第２の傾斜面４５との間に、部品供給位置４２側（上流側）から供給部５０側（下流側）へ向けて第１の傾斜面４４から第２の傾斜面４５に徐々に傾斜角度を切換える切換部が設けられてもよい。
　なお、第１の搬送部分４０ａ１は、少なくとも第１の傾斜面４４を含んで構成される。第１の搬送部分４０ａ１は、さらに、第２の傾斜面４５を含んで構成されてもよい。
　カバー４６は、第１の搬送部分４０ａ１（例えば、第２の傾斜面４５）の第１の方向における取出位置側の端部（Ｘ軸プラス側の端部）に対応する位置に、部品整列部４３の支持面４３ａからＺ軸方向に所定の隙間をあけて配置され、部品整列部４３の上方を覆う。カバー４６は、部品整列部４３および部品直進部５３の一部を覆うとも言える。カバー４６は、例えば、部品整列部４３において上下方向（Ｚ軸方向）に重なっている部品Ｐがある場合、重なった状態で部品Ｐが供給部５０に搬送されることを抑制するために設けられる。所定の隙間は、例えば、部品整列部４３において上下方向に重なっている部品Ｐがある場合、カバー４６が、下側の部材とは接触せず、かつ、上側の部材と接触可能な間隔である。
　カバー４６は、上側の部品を旋回部４７に移動させることが可能な形状を有する。カバー４６は、例えば、カバー４６のＸ軸マイナス側の端面が当該上側の部品と当接することで、当該上側の部品を旋回部４７に移動させる。カバー４６のＸ軸マイナス側の面は、例えば、平面視において、Ｙ軸プラス側からＹ軸マイナス側に向かう（部品整列部４３から離れる）につれ、Ｘ軸プラス方向に傾斜する傾斜面であってもよい。また、当該傾斜面には、Ｙ軸マイナス方向側にエアを噴出する複数のエア噴出孔が形成されていてもよい。
　カバー４６によりトンネル状となった部品整列部４３を通過することで、部品は搬送部４０から供給部５０へ搬送される。
　旋回部４７は、第２の傾斜面４５およびカバー４６からの部品を、戻り搬送部４８へ移動させるための部分（領域）であり、第２の傾斜面４５および戻り搬送部４８のそれぞれと接続されている。旋回部４７は、部品Ｐを図４Ｂに示す搬送方向ｄ２に搬送する。旋回部４７には、部品の移動のための複数のエア噴出孔が形成されている。なお、旋回部４７は、平坦な面であるが、例えば、少なくとも一部が傾斜していてもよい。
　戻り搬送部４８は、第２の傾斜面４５と接続し、かつ、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の方向とは逆方向の第２の方向（Ｘ軸マイナス方向）に部品を搬送する。戻り搬送部４８は、部品Ｐを図４Ｂに示す搬送方向ｄ３に搬送する。戻り搬送部４８は、部品整列部４３により整列されなかった部品を、部品供給位置４２に戻すために設けられる。戻り搬送部４８は、戻り搬送部４８の部品を支持する支持面に開口する複数のエア噴出孔（図示しない）が形成されており、複数のエア噴出孔から第２の方向かつ上方にエアを噴出させることで、部品供給位置４２に部品を搬送する。戻り搬送部４８の複数のエア噴出孔から噴出されるエアの圧力または流量は、部品整列部４３、第１の傾斜面４４および第２の傾斜面４５の複数のエア噴出孔から噴出されるエアの圧力または流量より高くてもよいし、同じでもよい。戻り搬送部４８の支持面に形成されるエア噴出孔は、第２のエア噴出孔の一例である。
　戻り搬送部４８の支持面は、例えば、旋回部４７から部品供給位置４２に向かうにつれ上方（Ｚ軸プラス方向）に傾斜する傾斜面であってもよい。つまり、部品は、旋回部４７から当該旋回部４７より高い位置にある部品供給位置４２に、戻り搬送部４８により搬送されてもよい。
　なお、第２の搬送部分４０ａ２は、戻り搬送部４８を含んで構成される。第２の搬送部分４０ａ２は、第２の搬送部分４０ａ２の部品が支持される支持面（第３の支持面の一例）に開口し、第２の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される複数のエア噴出孔（第２のエア噴出孔の一例）を有するとも言える。
　側壁４９ａおよび４９ｃと、仕切り壁４９ｂとは、第１の方向に延在し、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２を形成するための壁部である。側壁４９ａと仕切り壁４９ｂとにより第１の搬送部分４０ａ１が形成され、仕切り壁４９ｂと側壁４９ｃとにより第２の搬送部分４０ａ２が形成される。また、仕切り壁４９ｂは、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の一方から噴出されるエアが他方に流れるのを防ぐ仕切りとして機能する。
　なお、側壁４９ａおよび４９ｃと、仕切り壁４９ｂとは、例えば、一体形成されてもよい。つまり、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の間に隙間は形成されていなくてもよい。
　また、例えば、第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２とにおいて振動により部品を搬送する場合、互いの振動条件が異なるので、第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２との間に隙間が形成される。これにより、搬送部の幅方向が大型化する、隙間に部品がひっかかる等の課題が生じ得る。
　一方、本実施の形態に係る搬送部４０は、上記のように、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の間に隙間が形成されていないので、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の位置を近づけることができ、搬送部４０の幅（Ｙ軸方向の長さ）を小さくすることができる。つまり、部品供給装置３０を小型化することができる。また、隙間に部品がひっかかることを抑制することができる。例えば、旋回部４７における部品の旋回をスムーズに行うことができる。
　上記のように、搬送部４０は、供給部５０へ向かう第１の方向に部品を搬送する第１の搬送部分４０ａ１と、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の搬送部分４０ａ１から第１の方向とは逆方向の第２の方向へ部品を搬送する第２の搬送部分４０ａ２とを含んで構成される。第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２とで環状の経路が形成される。
　なお、第１の搬送部分４０ａ１は、供給部５０には形成されていない。つまり、第１の搬送部分４０ａ１の第１の方向における長さは、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向における合計長さ（整列部の第１の方向における長さの一例）より短い。
　続いて、供給部５０について、さらに図６Ａおよび図６Ｂを参照しながら説明する。図６Ａは、図４Ａの（ａ）に示すＶＩａ－ＶＩａ断面を示す断面図である。図６Ｂは、図４Ａの（ａ）に示す破線枠ＶＩｂの部分を示す斜視図である。なお、図６Ａおよび図６Ｂでは、支持面（底面）に形成されている複数のエア噴出孔は、図示を省略している。また、図６Ｂにおいては、さらに、側壁５４ａの図示を省略している。
　図３に示すように、部品供給装置３０の供給部５０は、本体部５０ａと蓋部５０ｂとを有する。蓋部５０ｂは、本体部５０ａを覆い、例えば、ネジ等の締結部材３８により本体部５０ａに固定される。
　図３および図４Ａに示すように、本体部５０ａは、第１のセンサ５１（図２を参照）と、部品直進部５３と、側壁５４ａおよび５４ｂとを有する。第１のセンサ５１は、例えば、部品直進部５３の入口付近（供給部入口５２付近）に設けられ、供給部入口５２を通過する部品を検出する。側壁５４ａおよび５４ｂは、側方部材の一例である。
　部品直進部５３は、部品整列部４３と接続されており、搬送部４０からの整列された部品を取出位置まで搬送することで、取出位置に部品を供給する。部品整列部４３は、搬送部４０からの整列された部品Ｐを図４Ｂに示す搬送方向ｄ１に搬送する。部品直進部５３は、第１の方向に延在して設けられる。
　図４Ａの（ｃ）に示すように、部品直進部５３の支持面５３ａには、複数のエア噴出孔５３ｂが形成されている。部品直進部５３は、複数の部品を複数のエア噴出孔５３ｂから噴出されるエアにより順次搬送する。部品直進部５３は、複数のエア噴出孔５３ｂにより同時に複数の部品を搬送可能である。なお、図４Ａの（ｃ）におけるＸ軸プラス側のエア噴出孔５３ｂには、第２のエア供給部６３とエア噴出孔５３ｂとを連通するためのエア通路の一部を破線で図示している。
　図６Ａに示すように、部品直進部５３は、第１の方向に延在する凹状の溝である。部品直進部５３の支持面５３ａは、溝の底面により構成され、部品を支持する。支持面５３ａは、部品整列部４３の支持面４３ａと接続されており、支持面４３ａと同一平面上の面である。支持面５３ａには、部品を第１の方向に浮上搬送するための複数のエア噴出孔５３ｂが形成される。支持面５３ａに形成される複数のエア噴出孔５３ｂは、第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に形成される。つまり、支持面に５３ａ形成される複数のエア噴出孔５３ｂは、Ｙ軸方向から見ると、第１の方向側の斜め上方にエアを噴出させる。また、支持面５３ａに形成される複数のエア噴出孔５３ｂは、Ｘ軸方向から見ると、支持面５３ａに対して垂直方向にエアを噴出させる。
　部品が直方体である場合、部品直進部５３の幅（Ｙ軸方向の長さ）は、部品のうち最も短い辺の長さより大きく、部品のうち最も長い辺の長さより小さい。部品直進部５３の幅は、部品整列部４３の幅と同じであってもよい。これにより、部品直進部５３と部品整列部４３との境界（接続箇所）において、部品が壁面等に接触することが抑制され、部品の黒化抑制に効果を奏する。
　部品直進部５３は、支持面５３ａの幅方向に間隔をあけて対向するように配置された２つの側壁５４ａおよび５４ｂを有する。そして、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち一方の側壁（図６Ａおよび図６Ｂの例では、側壁５４ｂ）は、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち他方の側壁（図６Ａおよび図６Ｂの例では、側壁５４ａ）に向けてエアを噴出する複数のエア噴出孔５４ｂ２を有する。部品直進部５３が溝である場合、複数のエア噴出孔５４ｂ２は、当該溝を形成するための一対の側壁における、互いに対向する壁面５４ａ１および５４ｂ１の一方（図６Ａおよび図６Ｂの例では、壁面５４ｂ１）に形成される。複数のエア噴出孔５４ｂ２は、壁面５４ｂ１において、第１の方向に沿って複数設けられる。部品直進部５３の支持面５３ａの複数のエア噴出孔５３ｂからエアが噴出している期間、複数のエア噴出孔５４ｂ２からもエアが噴出される。
　複数のエア噴出孔５４ｂ２は、部品直進部５３により浮上搬送されている部品にエアを噴出可能に設けられる。複数のエア噴出孔５４ｂ２は、例えば、当該部品にエアを噴出可能な高さに設けられる。なお、エア噴出孔５４ｂ２から噴出されるエアの圧力または流量は、エア噴出孔５３ｂから噴出されるエアの圧力または流量より小さくてもよい。エア噴出孔５４ｂ２は、第３のエア噴出孔の一例である。
　また、図６Ｂに示すように、部品直進部５３は、部品直進部５３の第１の方向の終端に部品の第１の方向の端面と当接する壁部５５を有する。壁部５５は、部品と当接することで、部品の第１の方向への搬送を止める。壁部５５は、部品を取出位置５６に位置決めする機能を有する。
　壁部５５には、エアを吸引する吸着孔５５ａが形成される。取出位置５６まで搬送された部品の第１の方向側の面が吸着孔５５ａにより吸着されることで、当該部品は壁部５５にしっかりと位置決めされる。これにより、部品は、取出位置に固定される。また、吸着孔５５ａによるエアの吸引により、取出位置５６までの部品の搬送が補助されてよい。吸着孔５５ａによるエアの吸引により、部品が取出位置５６まで引き寄せられてもよい。このように、吸着孔５５ａは、部品を位置決めする機能に加えて、部品を搬送する機能を有していてもよい。
　例えば、エア噴出孔５３ｂは、取出位置５６までにわたって形成される。つまり、部品直進部５３の支持面５３ａにおける取出位置には、部品を固定するための吸着孔を設けることができない。このような場合であって、吸着孔５５ａが壁部５５に設けられることで、部品の浮上搬送を阻害することなく、部品を所望の位置に固定させることができる。
　吸着孔５５ａは、部品の第１の方向側の端面（Ｘ軸プラス側の端面）を吸着する吸着部の一例である。なお、吸着部は、エアの吸引により部品を吸着することに限定されず、静電気力、磁力、粘着力のいずれかにより部品を吸着するように構成されてもよい。静電気力、磁力、粘着力のいずれかにより部品を吸着するための構成は、既存のいかなる構成が用いられてもよい。例えば、静電気力により部品を吸着する場合、吸着部は、静電気力を発生させるための１以上の電極を含んで構成される。そして、制御部６１により１以上の電極への直流電圧の印加によって生じる当該１以上の電極と部品との間の静電気力により、部品を壁部５５に吸着（例えば、密着）させてもよい。
　なお、部品直進部５３と部品整列部４３とにより、部品供給装置３０における整列部が形成される。整列部は、ケース１０から供給された部品を整列させ取出位置まで搬送する。例えば、複数のエア噴出孔は、整列部および第１の傾斜面４４のそれぞれにおいて、ケース１０から取出位置５６に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される。ここでの複数のエア噴出孔は、エア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂを含む。例えば、エア噴出孔４３ｂおよび５３ｂは、第１のエア噴出孔の一例であり、エア噴出孔４４ｂは、第２のエア噴出孔の一例である。また、部品直進部５３は、整列部の第１の方向における取出位置５６側の下流部を構成する。
　なお、制御部６１は、実装ヘッド１０７により部品が取り出されるタイミングで、吸着孔５５ａによるエアの吸引をＯＦＦにしてもよい。
　上記のように、部品供給装置３０において、部品Ｐは矢印方向（搬送方向ｄ１～ｄ４）に搬送される。例えば、部品Ｐは、部品供給位置４２に供給された後、部品整列部４３と第１の傾斜面４４とに搬送される。第１の傾斜面４４上にある部品Ｐはエアによって部品整列部４３に移動する。部品整列部４３上にある部品Ｐはエアによって部品直進部５３に搬送される。このように、部品Ｐの一部は、部品供給位置４２と部品直進部５３とを通過する直線状の矢印（搬送方向ｄ１）が示すように、部品供給位置４２、部品整列部４３、および、部品直進部５３の順に搬送される。
　また、第１の傾斜面４４から部品整列部４３に落下しなかった部品Ｐは、旋回部４７を経て第２の搬送部分４０ａ２に搬送される。第２の搬送部分４０ａ２上にある部品Ｐは、部品整列部４３および部品直進部５３の上流側に搬送され、再び部品整列部４３と第１の傾斜面４４とに搬送される。このように、部品Ｐの一部は、部品整列部４３と、旋回部４７と、戻り搬送部４８と、部品供給位置４２とを通過する環状の矢印（矢印群）が示すように、部品整列部４３、旋回部４７、戻り搬送部４８、および、部品供給位置４２の順に環状に搬送される。
　図７は、本実施の形態に係る部品供給装置３０の機能構成を示すブロック図である。
　図７に示すように、部品供給装置３０は、機能構成として、上記で説明した、第１のセンサ５１と、第２のセンサ４１と、制御部６１と、第１のエア供給部６２と、第２のエア供給部６３とを有する。
　［２．部品供給装置の動作］
　続いて、上記のように構成される部品供給装置３０における動作について、図８～図９Ｄを参照しながら説明する。図８は、本実施の形態に係る部品供給装置３０の動作を示すフローチャートである。
　図８に示すように、制御部６１は、部品供給装置３０が動作必要な生産が開始されたか否かを判定する（Ｓ１０）。制御部６１は、例えば、部品供給装置３０が取付けられた実装システムの動作が開始したことにより、生産が開始されたと判定してもよいし、上位の制御装置から生産を開始したことを示す情報を取得することにより、生産が開始されたと判定してもよい。
　次に、制御部６１は、生産が開始された場合（Ｓ１０でＹｅｓ）、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御する（Ｓ２０）。つまり、制御部６１は、搬送部４０および供給部５０における部品の搬送を、一律に制御しない。本実施の形態では、制御部６１は、搬送部４０における部品のエアによる搬送、および、供給部５０における部品のエアによる搬送を互いに独立して制御する。
　次に、制御部６１は、生産が終了したか否かを判定する（Ｓ３０）。制御部６１は、例えば、部品供給装置３０が取り付けられた部品実装装置の動作が終了したことにより、生産が終了したと判定してもよいし、上位の制御装置から生産を終了したことを示す情報を取得することにより、生産が終了したと判定してもよいし、第１のセンサ５１が検出した部品の数が所定数を超えたときに、生産が終了したと判定してもよい。
　次に、制御部６１は、生産が終了した場合（Ｓ３０でＹｅｓ）、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送の制御を停止し（Ｓ４０）、生産が終了していない場合（Ｓ３０でＮｏ）、ステップＳ２０に戻りステップＳ２０の処理を継続する。
　次に、制御部６１は、ステップＳ４０の処理を実行後、または、生産が開始されていない場合（Ｓ１０でＮｏ）、動作を終了する。
　ここで、ステップＳ２０の制御について、図９Ａ～図９Ｄを参照しながら説明する。図９Ａは、図８に示すステップＳ２０の第１例を示す図である。図９Ａでは、搬送部４０におけるエアの供給が停止されている状態の動作を示す。なお、図９Ａに示す動作中、供給部５０には、エアが供給されていてもよい。
　制御部６１は、第１のセンサ５１から供給部５０に部品があるか否かを示す検出結果を取得する（Ｓ２１）。制御部６１は、例えば、所定の時間間隔ごとに第１のセンサ５１から検出結果を取得する。
　次に、制御部６１は、検出結果に基づいて供給部５０に部品がない場合（Ｓ２２でＮｏ）、搬送部４０にエアを供給する（Ｓ２３）。制御部６１は、例えば、ステップＳ２２でＮｏの場合、搬送部４０にエアの供給を開始するとも言える。具体的には、制御部６１は、第１のエア供給部６２等を制御して、搬送部４０のエア噴出孔からエアを噴出させる。制御部６１は、例えば、部品供給位置４２と、部品整列部４３と、第１の傾斜面４４と、第２の傾斜面４５と、旋回部４７と、戻り搬送部４８とのそれぞれにおけるエアの供給を一体的に制御する。例えば、制御部６１は、ステップＳ２３において、搬送部４０に形成された複数のエア噴出孔の全てからエアを噴出させる。
　このように、制御部６１は、例えば、第１のセンサ５１の検出結果に基づいて、搬送部４０における部品の搬送を制御してもよい。制御部６１は、供給部５０に部品が無いことを示す検出結果（例えば、供給部５０の所定の位置に部品が無いことを示す検出結果）を第１のセンサ５１から取得した場合、搬送部４０に部品の搬送を行わせる。
　図９Ｂは、図８に示すステップＳ２０の第２例を示す図である。
　図９Ｂに示すように、制御部６１は、生産が開始されると（Ｓ１０でＹｅｓ）、供給部５０にエアを供給する（Ｓ２４）。具体的には、制御部６１は、第２のエア供給部６３等を制御して、少なくとも供給部５０のエア噴出孔５３ｂからエアを噴出させる。例えば、制御部６１は、ステップＳ２４において、エア噴出孔５３ｂおよび５４ｂ２のそれぞれからエアを噴出させる。制御部６１は、エア噴出孔５３ｂおよび５４ｂ２のそれぞれにおけるエアの供給を一体的に制御してもよい。また、制御部６１は、ステップＳ２４において、吸着孔５５ａによるエアの吸引を行わせてもよい。
　このように、制御部６１は、例えば、第１のセンサ５１の検出結果によらずに供給部５０における部品の搬送を制御してもよい。制御部６１は、例えば、後述する部品実装装置１００が稼働しているときには、常に供給部５０の取出位置に部品を供給するための制御を行ってもよい。例えば、制御部６１は、部品実装装置１００が稼働しているときには、第２のエア供給部６３から複数のエア噴出孔５３ｂにエアを供給させる制御を行ってもよい。
　図９Ｃは、図８に示すステップＳ２０の第３例を示す図である。
　図９Ｃに示すように、制御部６１は、図９Ａに示す動作に加えて、ステップＳ２５～Ｓ２７の動作を行ってもよい。制御部６１は、供給部５０に部品がない場合（Ｓ２２でＮｏ）、所定期間、供給部５０にエアを供給する（Ｓ２５）。制御部６１は、例えば、ステップＳ２２でＮｏである場合、すぐに搬送部４０にエアを供給させずに、供給部５０へのエアの供給を所定期間継続させる。なお、このとき、搬送部４０には、エアは供給されていない。
　次に、制御部６１は、第１のセンサ５１から供給部５０にエアを供給後の検出結果を取得する（Ｓ２６）。制御部６１は、ステップＳ２６で取得した検出結果に基づいて供給部５０に部品がない場合（Ｓ２７でＮｏ）、搬送部４０にエアを供給し（Ｓ２３）、供給部５０に部品がある場合（Ｓ２７でＹｅｓ）、搬送部４０にエアを供給しない。
　このように、制御部６１は、例えば、供給部５０の所定の位置に部品が無い場合、供給部５０における部品の搬送を所定期間行わせ、当該所定期間の後にも所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０に部品の搬送を行わせてもよい。
　これにより、供給部５０により確実に部品がない場合のみ搬送部４０での部品の搬送が行われるので、搬送部４０における部品の接触等による当該部品の黒化をさらに抑制することができる。
　図９Ｄは、図８に示すステップＳ２０の第４例を示す図である。
　図９Ｄに示すように、制御部６１は、生産が開始される（Ｓ１０でＹｅｓ）と、整列部と第１の搬送部分４０ａ１とにエアを供給してもよい（Ｓ２８）。
　また、制御部６１は、例えば、第２のセンサ４１の検出結果に基づいて、ケース１０から部品を供給させる制御を行ってもよい。制御部６１は、例えば、搬送部４０に部品が無いことを示す検出結果（例えば、搬送部４０の所定の位置に部品が無いことを示す検出結果）を第２のセンサ４１から取得した場合に、ケース１０を振動等させることで部品供給位置４２に部品を供給させる。また、制御部６１は、例えば、搬送部４０の所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０における部品の搬送を所定期間行わせ、当該所定期間の後にも所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０に部品がないので、ケース１０から部品供給位置４２に部品を供給させてもよい。
　このように、制御部６１は、第２のセンサ４１の検出結果に基づいて、搬送部４０における部品の搬送を制御し、かつ、第２のセンサ４１の検出結果によらずに供給部５０における部品の搬送を制御してもよい。
　［３．部品実装装置の構成］
　次に、上記で説明した部品供給装置３０を有する供給ユニット８０が取り付けられる部品実装装置１００について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、本実施の形態に係る部品実装装置１００の構成を示す図である。なお、部品実装装置１００は、基板１０３に部品を実装する装置である例について説明する。部品実装装置１００は、部品を供給するフィーダから部品を取り出して基板１０３に移送搭載する機能を有する。なお、基板１０３は、部品が実装される対象物の一例である。
　図１０に示すように、部品実装装置１００は、供給ユニット８０と、基台１０１と、基板搬送機構１０２と、実装ヘッド１０７を含む部品実装機構１０８と、基板認識カメラ１０９と、部品認識カメラ１１０と、電源部（図示しない）とを備える。
　基板搬送機構１０２は、基台１０１の中央付近にＸ軸に沿って（基板１０３の搬送方向）に配設されている。基板搬送機構１０２は、上流側から搬入された基板１０３をＸ軸に沿った方向に搬送し、部品実装作業を実行するために設定された実装ステージに位置決めして保持する。基板搬送機構１０２は、実装ヘッド１０７により保持された部品が実装される基板１０３を保持する基板保持部の一例である。
　供給ユニット８０は、部品実装装置１００の本体部である基台１０１の供給ユニット装着部（図示せず）に着脱自在に装着されている。より具体的には供給ユニット８０を構成する台車７０が供給ユニット装着部に装着されている。本実施の形態において、供給ユニット装着部は基板搬送機構１０２の両側に設けられており、供給ユニット８０も基板搬送機構１０２の両側に配置されている。それぞれの供給ユニット８０には複数のフィーダ２０がＹ軸に沿って並列に配置可能であり、少なくとも１つのフィーダ２０（バルクフィーダ）が並列に装着されている。また、供給ユニット８０が基台１０１に装着されることで、供給ユニット８０が有する各機能部（例えば、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３等）と電源部とが電気的に接続され、電源部から供給ユニット８０の各機能部に電力が供給される。
　供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０は、部品実装機構１０８の実装ヘッド１０７による取出位置（図６Ｂに示す取出位置５６）に部品を供給する。なお、実装ヘッド１０７は、ヘッドの一例である。
　基台１０１の上面においてＹ軸マイナス方向の端部には、リニア駆動機構を備えたＸ軸移動テーブル１０５がＸ軸方向に配設されており、Ｘ軸移動テーブル１０５には、同様にリニア駆動機構を備えた２基のＹ軸移動テーブル１０６が、Ｘ軸方向に移動自在に結合されている。２基のＹ軸移動テーブル１０６には、それぞれ実装ヘッド１０７がＹ軸方向に移動自在に装着されている。
　実装ヘッド１０７は、供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０により保持される部品を基板１０３に搭載（実装）する。実装ヘッド１０７は、例えば、第３のセンサ６４の検出結果に基づいて、部品を基板１０３に実装する。
　実装ヘッド１０７には、部品を吸着して保持し個別に昇降可能な部品吸着ノズル１０７ａが装着されている。実装ヘッド１０７は、部品吸着ノズル１０７ａを昇降させるＺ軸昇降機構および部品吸着ノズル１０７ａをノズル軸廻りに回転させるθ軸回転機構を備えている。部品吸着ノズル１０７ａは、部品を保持する保持部の一例である。
　Ｘ軸移動テーブル１０５、および、Ｙ軸移動テーブル１０６を駆動することにより、実装ヘッド１０７はＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。これにより２つの実装ヘッド１０７は、それぞれ対応した供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０の取出位置から部品を部品吸着ノズル１０７ａによって取り出す。なお、基板搬送機構１０２、Ｘ軸移動テーブル１０５、Ｙ軸移動テーブル１０６および実装ヘッド１０７により、部品実装機構１０８が構成される。Ｘ軸移動テーブル１０５、および、Ｙ軸移動テーブル１０６は、実装ヘッド１０７を移動する駆動部の一例である。
　上側および下側の台車７０のそれぞれと基板搬送機構１０２との間には、部品認識カメラ１１０が配設されている。供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０から部品を取り出した実装ヘッド１０７が部品認識カメラ１１０の上方を移動する際に、部品認識カメラ１１０は実装ヘッド１０７に保持された状態の部品を撮像する。この撮像結果を処理部（図示しない）の画像認識によって認識処理することにより、部品の識別および位置検出が行われる。
　実装ヘッド１０７には、Ｙ軸移動テーブル１０６の下面側に位置して、それぞれ実装ヘッド１０７と一体的に移動する基板認識カメラ１０９が装着されている。実装ヘッド１０７が移動することにより、基板認識カメラ１０９は基板搬送機構１０２に位置決めされた基板１０３の上方に移動し、基板１０３を撮像する。この撮像結果を同様に処理部の画像認識によって認識処理することにより基板１０３の位置が検出される。
　電源部は、部品実装装置１００の各機能部に電力を供給する。電源部は、例えば、基板搬送機構１０２に配置された供給ユニット８０に電力を供給する。具体的には、電源部は、供給ユニット８０の第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３等に電力を供給する。また、電源部は、外部の電源と接続されていてもよい。
　［４．効果など］
　本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、バラ積み状態でケース１０（部品収納部の一例）に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させ取出位置５６まで搬送する部品整列部４３および部品直進部５３（整列部の一例）と、部品整列部４３および部品直進部５３に沿って設けられ、部品整列部４３および部品直進部５３に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面４４を有する第１の搬送部分４０ａ１とを備える。部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１とは、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１の部品が支持される第１の傾斜面４４とに開口する複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂ（第１のエア噴出孔の一例）であって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂを有する。そして、複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂは、部品整列部４３および部品直進部５３と第１の傾斜面４４とのそれぞれにおいて、ケース１０から取出位置５６に向かう第１の方向（Ｘ軸プラス方向）かつ上方にエアを噴出可能に構成されてもよい。
　例えば、振動により部品に推進力を与える場合、Ｘ軸プラス方向に加えて、Ｘ軸マイナス方向、Ｙ軸方向等に推進力が与えられるので、前後の部品同士の接触、部品と壁部との接触等が起こり得る。また、整列用の壁部（例えば、平面視においてテーパ状の壁部）に部品を当接させることで当該部品を整列させる場合、部品と壁部との接触が起こり得る。つまり、振動又は整列用の壁部を用いて部品を搬送する場合、部品の搬送時に部品の黒化が起こり得る。
　一方、本実施の形態に係る部品供給装置３０は、第１の方向（Ｘ軸プラス方向）かつ上方のエアにより部品が搬送されるので、部品に対して第１の方向（Ｘ軸プラス方向）のみにより確実に推進力を与えることができる。例えば、部品に対して振動により推進力を与える場合に比べてＸ軸マイナス方向等に部品が移動することを抑制することができるので、部品が接触することを抑制することができる。また、第１の傾斜面４４にもエアが噴出されるので、第１の傾斜面４４の部品を、部品と第１の傾斜面４４との間の摩擦を抑制しつつ、部品整列部４３に移動させ、整列させることができる。例えば、整列用の壁部を用いて部品を整列させる場合に比べて、部品が壁部等の構造物と接触することを抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる。
　また、例えば、第１の搬送部分４０ａ１は、部品整列部４３および部品直進部５３とは逆方向に向かって下方に傾斜する第２の傾斜面４５をさらに有してもよい。そして、第２の傾斜面４５は、第１の方向における第１の傾斜面４４の下流側に設けられもよい。
　これにより、部品整列部４３および部品直進部５３の下流側（例えば、部品直進部５３）において、部品がつまることを抑制することができる。
　また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３の部品が支持される支持面４３ａおよび５３ａ（第１の支持面の一例）から所定の隙間をあけて部品整列部４３および部品直進部５３の上方の一部を覆うカバー４６をさらに備えてもよい。第１の搬送部分４０ａ１の第１の方向における長さは、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向における長さより短く、カバー４６は、第１の搬送部分４０ａ１の第１の方向における取出位置５６側の端部に対応する位置に設けられてもよい。
　これにより、部品が上下方向に重なって搬送されている場合に、カバー４６により部品の重なりを解除することができる。
　また、例えば、第２の傾斜面４５と接続され、かつ、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の方向とは逆方向の第２の方向（Ｘ軸マイナス方向）に部品を搬送する第２の搬送部分４０ａ２をさらに備えてもよい。そして、第２の搬送部分４０ａ２は、第２の搬送部分４０ａ２の部品が支持される支持面（第３の支持面の一例）に開口し第２の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される複数のエア噴出孔（第２のエア噴出孔の一例）を有してもよい。
　これにより、第２の搬送部分４０ａ２においてもエアにより部品を搬送できるので、部品整列部４３および部品直進部５３により搬送されなかった部品を、部品と第２の搬送部分４０ａ２の支持面と間の摩擦が生じることを抑制しつつ、部品整列部４３および部品直進部５３の上流側に戻すことができる。よって、部品の黒化を抑制しつつ、部品を上流側に戻すことができる。
　また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向における取出位置５６側の下流部は、部品整列部４３および部品直進部５３の支持面４３ａおよび５３ａの幅方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて対向するように配置された２つの側壁５４ａおよび５４ｂ（側方部材の一例）を有してもよい。そして、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち一方の側壁５４ｂは、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち他方の側壁５４ａに向けてエアを噴出する複数のエア噴出孔５４ｂ２（第３のエア噴出孔の一例）を有してもよい。
　これにより、部品整列部４３および部品直進部５３の下流部（例えば、部品直進部５３）において、エアにより部品を側壁５４ａに寄せる（位置決めする）ことができるので、壁部等の構造物により部品を側壁５４ａに寄せる場合に比べて、部品が他の物体に接触することを抑制することができる。よって、部品供給装置３０は、部品の搬送時に部品が黒化することを抑制しつつ、部品を側壁５４ａに寄せることができる。
　また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３は、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向の終端に部品の第１の方向側の端面と当接する壁部５５を有し、壁部５５は、当該部品の当該端面を吸着する吸着部（例えば、エアを吸引する吸着孔５５ａ）を有してもよい。
　これにより、支持面４３ａおよび５３ａ（例えば、支持面５３ａ）に複数のエア噴出孔が形成されており吸着部を当該支持面５３ａに形成することができない場合であっても、壁部５５に形成された吸着部（例えば、吸着孔５５ａ）により部品を取出位置５６に固定することができる。
　また、例えば、壁部５５にはエアを吸引する吸着孔５５ａが形成され、吸着孔５５ａと接続されるエア経路における流量または真空度を計測する第３のセンサ６４（センサの一例）をさらに備えてもよい。
　これにより、エア経路における流量または真空度により取出位置５６に部品があるか否かを判定することができる。つまり、非接触で部品があるか否かを判定することができる。よって、部品供給装置３０は、接触式のセンサにより部品の有無を判定する場合に比べて、部品の黒化を抑制することができる。
　また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３は、第１の方向に延在する溝であってもよい。
　これにより、部品供給装置３０は、溝により効果的に部品を整列させることができる。
　また、本開示の一態様に係る部品供給方法は、バラ積み状態でケース１０に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置３０における部品供給方法である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させ取出位置５６まで搬送する部品整列部４３および部品直進部５３と、部品整列部４３および部品直進部５３に沿って設けられ、部品整列部４３および部品直進部５３に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面４４を有する第１の搬送部分４０ａ１とを備えてもよい。また、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１とは、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１の部品が支持される第１の傾斜面４４とに開口する複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂ（第１のエア噴出孔の一例）であって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂを有する。そして、部品供給方法は、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の傾斜面４４とのそれぞれにおいて、ケース１０から取出位置５６に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出させることを含んでもよい。
　これにより、上記の部品供給装置３０と同様の効果を奏する。
　また、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、バラ積み状態でケース１０に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させて搬送する搬送部４０と、一端が搬送部４０と接続され、搬送部４０から搬送された部品を取出位置５６に供給する供給部５０と、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御する制御部６１と、を備えてもよい。
　これにより、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送が互いに独立して制御されるので、当該２つの搬送を一体的に制御している場合に比べて、部品の接触を抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる。
　また、例えば、供給部５０に収容される部品の量を検出する第１のセンサ５１（第１の検出部の一例）を備えてもよい。そして、制御部６１は、第１のセンサ５１の検出結果に基づいて、搬送部４０における部品の搬送を制御してもよい。
　これにより、供給部５０における部品の量に応じて搬送部４０における部品の搬送が制御されるので、供給部５０における部品の量によらずに搬送部４０が制御される場合に比べて、搬送部４０における部品の搬送の回数または搬送時間を小さくすることができる。つまり、搬送部４０における部品の過剰な搬送が抑制されるので、搬送部４０での搬送時の部品の接触を抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化をより抑制することができる。
　また、例えば、第１のセンサ５１は、供給部５０の所定の位置における部品の有無を検出し、制御部６１は、第１のセンサ５１から所定の位置に部品が無いことを示す検出結果を得た場合に、搬送部４０に部品の搬送を行わせてもよい。
　これにより、供給部５０の所定の位置に部品がない場合、つまり搬送部４０から供給部５０に部品の搬送が必要な場合に、搬送部４０による部品の搬送が行われる。言い換えると、供給部５０の所定の位置に部品がある場合、つまり搬送部４０から供給部５０に部品の搬送が必要ではない場合に、搬送部４０による部品の搬送が行われない。よって、搬送部４０による部品の搬送を、供給部５０の所定の位置に部品がない場合に限定することができるので、部品供給装置３０は、搬送部４０において部品が接触し当該部品の黒化が発生することを抑制することができる。
　また、例えば、制御部６１は、所定の位置に部品が無い場合、さらに、供給部５０における部品の搬送を所定期間行わせ、所定期間の後にも所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０に部品の搬送を行わせてもよい。
　これにより、所定の位置により確実に部品が無い場合のみ、搬送部４０における部品の搬送を行わせることができる。よって、部品供給装置３０は、搬送部４０において部品の黒化が発生することをより抑制することができる。
　また、例えば、制御部６１は、第１のセンサ５１の検出結果によらずに、供給部５０における部品の搬送を制御してもよい。
　これにより、供給部５０は、第１のセンサ５１の検出結果によらず一定の条件で部品を搬送することができる。よって、供給部５０は、取出位置５６への部品の供給をより確実に行うことができる。
　また、例えば、搬送部４０は、部品を支持する支持面４３ａ（第１の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔４３ｂであって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔４３ｂを有し、供給部５０は、部品を支持する支持面５３ａ（第２の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔５３ｂであって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔５３ｂを有してもよい。そして、制御部６１は、複数のエア噴出孔４３ｂから噴出させるエア、および、複数のエア噴出孔５３ｂから噴出させるエアを互いに独立して制御してもよい。
　これにより、部品を浮上搬送させるので、部品と支持面４３ａおよび５３ａとの摩擦を抑制することができる。また、複数のエア噴出孔４３ｂから噴出させるエア、および、複数のエア噴出孔５３ｂから噴出させるエアを互いに独立して制御するので、２つのエアを一体的に制御する場合に比べて、いずれか一方のエアの供給を停止する等の柔軟な制御を行うことが可能となる。エアの供給を停止することで、当該構成要素における部品の接触を抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化をさらに抑制することができる。
　また、例えば、搬送部４０は、ケース１０から供給部５０へ向かう第１の方向に部品を搬送する第１の搬送部分４０ａ１と、第１の搬送部分４０ａ１と接続され、かつ、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の搬送部分４０ａ１から第１の方向とは逆方向の第２の方向へ部品を搬送する第２の搬送部分４０ａ２とを有してもよい。
　これにより、搬送部４０から供給部５０に搬送されなかった部品を、搬送部４０の上流側（Ｘ軸マイナス側）に戻すことができる。
　また、例えば、搬送部４０は、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の方向に搬送される部品を整列させる部品整列部４３をさらに有してもよい。
　これにより、部品整列部４３により整列された部品を供給部５０に供給することができる。
　また、例えば、第１の搬送部分４０ａ１における部品の量を検出する第２のセンサ４１（第２の検出部の一例）をさらに備えてもよい。そして、制御部６１は、第２のセンサ４１の検出結果に基づいて、ケース１０から部品を供給させるための制御を行ってもよい。
　これにより、ケース１０から部品が供給される位置における部品の密度が高くなるので、部品供給装置３０は、部品同士が接触することを抑制することができる。
　また、本開示の一態様に係る部品供給方法は、バラ積み状態でケース１０に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置３０の部品供給方法である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させて搬送する搬送部４０と、一端が搬送部４０と接続され、搬送部４０から搬送された部品を取出位置５６に供給する供給部５０とを備えてもよい。そして、部品供給方法は、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御することを含んでもよい。
　これにより、上記の部品供給装置３０と同様の効果を奏する。
　また、本開示の一態様に係る部品実装装置１００は、上記の部品供給装置３０と、部品供給装置３０により供給された部品を保持するための実装ヘッド１０７（ヘッドの一例）と、実装ヘッド１０７を移動するＸ軸移動テーブル１０５、および、Ｙ軸移動テーブル１０６（駆動部の一例）と、実装ヘッド１０７により保持された部品が実装される基板１０３を保持する基板搬送機構１０２（基板保持部の一例）とを備える。
　これにより、部品実装装置１００は、黒化が抑制された部品を基板１０３に実装することができる。
　（その他の実施の形態）
　以上、一つまたは複数の態様に係る部品供給装置等について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示に含まれてもよい。
　例えば、上記実施の形態では、部品供給装置は、エアにより部品を搬送したが、搬送方法はエアに限定されない。部品供給装置は、例えば、エアに替えて振動により部品を搬送してもよい。図１１は、その他の実施の形態に係る部品供給装置３０ａの機能構成を示すブロック図である。
　図１１に示すように、部品供給装置３０ａは、第１のセンサ５１と、第２のセンサ４１と、制御部６１と、第１の振動供給部６２ａと、第２の振動供給部６３ａとを有していてもよい。第１の振動供給部６２ａは、搬送部４０を振動させるための振動発生装置であり、例えば、Ｘ軸方向に沿って搬送部４０を振動させる。第２の振動供給部６３ａは、供給部５０を振動させるための振動発生装置であり、例えば、Ｘ軸方向に沿って供給部５０を振動させる。そして、制御部６１は、搬送部４０における振動による部品の搬送、および、供給部５０における振動による部品の搬送を互いに独立して制御する。
　この場合、搬送部４０と供給部５０とは、例えば、隙間をあけて設けられてもよい。これにより、搬送部４０および供給部５０が１つの振動発生装置により一体的に振動されている場合に比べて、部品同士が接触することを抑制することが可能となる。例えば、制御部６１が供給部５０に部品がない場合のみ搬送部４０を振動させることで、搬送部４０における部品搬送時の部品の接触を抑制することができる。また、この場合、搬送部４０の第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２とは、例えば、隙間をあけて設けられてもよい。
　なお、部品供給装置３０ａは、振動およびエアの両方を用いて部品を搬送してもよい。例えば、部品供給装置３０ａは、搬送部４０では振動により部品を搬送し、供給部５０ではエアにより部品を搬送してもよい。なお、搬送部４０が振動により部品を搬送する場合、第１の傾斜面および第２の傾斜面は設けられなくてもよい。
　また、上記実施の形態における、エア噴出孔および吸着孔の形状は、例えば、円形状であるがこれに限定されず、いかなる形状であってもよい。また、エア噴出孔の配列は、上記実施の形態に限定されない。
　また、上記実施の形態では、吸着孔は壁部に１つ設けられる例について説明したが、これに限定されず２以上設けられてもよい。
　また、上記実施の形態では、第１のセンサおよび第２のセンサは、部品の量として部品の有無を検出したがこれに限定されず、部品の数量を検出してもよい。そして、制御部は、第１のセンサが検出した部品の数が所定数以下である場合に、搬送部にエアを供給してもよい。また、制御部は、第２のセンサが検出した部品の数が所定数以下である場合に、ケースから部品を供給させてもよい。また、部品の量は、部品の数であることに限定されず、例えば、部品の重さであってもよい。この場合、第１のセンサおよび第２のセンサは、部品の重さを検出可能なセンサにより実現される。
　また、上記実施の形態に係る搬送部および供給部は、一体形成されていてもよいし、別々に形成され、接続されてもよい。
　また、上記実施の形態では、部品供給装置は、搬送部および供給部により構成される例について説明したが、さらに本体部（例えば、本体部６０）を含んで構成されてもよい。つまり、部品供給装置は、上記実施の形態に係るフィーダにより実現されてもよい。
　また、上記実施の形態では、部品供給装置は、バラ積み状態の部品を収納するケースから供給された部品を搬送する装置である例について説明したが、これに限定されない。部品供給装置は、例えば、内壁に部品が移動することができる螺旋状走路が設けられたボウルから供給される部品を搬送してもよい。例えば、フィーダは、ボウルフィーダであってもよい。
　また、上記実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
　また、フローチャートにおける各ステップが実行される順序は、本開示を具体的に説明するために例示するためのものであり、上記以外の順序であってもよい。また、上記ステップの一部が他のステップと同時（並列）に実行されてもよいし、上記ステップの一部は実行されなくてもよい。
　また、ブロック図における機能ブロックの分割は一例であり、複数の機能ブロックを一つの機能ブロックとして実現したり、一つの機能ブロックを複数に分割したり、一部の機能を他の機能ブロックに移してもよい。また、類似する機能を有する複数の機能ブロックの機能を単一のハードウェアまたはソフトウェアが並列または時分割に処理してもよい。
　また、これらの全般的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータで読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭ等の非一時的記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたは記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。
　また、上記実施の形態で説明した各構成要素は、ソフトウェアとして実現されても良いし、典型的には、集積回路であるＬＳＩとして実現されてもよい。これらは、個別に１チップ化されてもよいし、一部または全てを含むように１チップ化されてもよい。ここでは、ＬＳＩとしたが、集積度の違いにより、ＩＣ、システムＬＳＩ、スーパーＬＳＩ、ウルトラＬＳＩと呼称されることもある。また、集積回路化の手法はＬＳＩに限るものではなく、専用回路または汎用プロセッサで実現してもよい。ＬＳＩ製造後に、プログラムすることが可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ　Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｇａｔｅ　Ａｒｒａｙ）または、ＬＳＩ内部の回路セルの接続若しくは設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用してもよい。更には、半導体技術の進歩または派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて構成要素の集積化を行ってもよい。
　システムＬＳＩは、複数の処理部を１個のチップ上に集積して製造された超多機能ＬＳＩであり、具体的には、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）などを含んで構成されるコンピュータシステムである。ＲＯＭには、コンピュータプログラムが記憶されている。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、システムＬＳＩは、その機能を達成する。
　また、本開示の一態様は、図８～図９Ｄのいずれかに示される部品供給方法に含まれる特徴的な各ステップをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであってもよい。
　また、例えば、プログラムは、コンピュータに実行させるためのプログラムであってもよい。また、本開示の一態様は、そのようなプログラムが記録された、コンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体であってもよい。例えば、そのようなプログラムを記録媒体に記録して頒布または流通させてもよい。例えば、頒布されたプログラムを、他のプロセッサを有する装置にインストールして、そのプログラムをそのプロセッサに実行させることで、その装置に、上記各処理を行わせることが可能となる。
　本開示は、部品を基板に装着することによって実装基板を生産するための実装装置等に有用である。
　１０　　ケース
　１１、４６　　カバー
　２０　　フィーダ
　３０、３０ａ　　部品供給装置
　３２　　被装着部
　３６　　チューブ
　３８　　締結部材
　４０　　搬送部
　４０ａ、５０ａ、６０　　本体部
　４０ａ１　　第１の搬送部分
　４０ａ２　　第２の搬送部分
　４０ｂ、５０ｂ　　蓋部
　４０ｂ１　　貫通孔
　４１　　第２のセンサ（第２の検出部）
　４２　　部品供給位置
　４３　　部品整列部
　４３ａ、５３ａ　　支持面
　４３ｂ、５３ｂ　　エア噴出孔（第１のエア噴出孔）
　４４　　第１の傾斜面
　４４ｂ　　エア噴出孔
　４５　　第２の傾斜面
　４７　　旋回部
　４８　　戻し搬送部
　４９ａ、４９ｃ、５４ａ、５４ｂ　　側壁
　４９ｂ　　仕切り壁
　５０　　供給部
　５１　　第１のセンサ（第１の検出部）
　５２　　供給部入口
　５３　　部品直進部
　５４ａ１、５４ｂ１　　壁面
　５４ｂ２　　エア噴出孔（第３のエア噴出孔）
　５５　　壁部
　５５ａ　　吸着孔（吸着部）
　５６　　取出位置
　６１　　制御部
　６２　　第１のエア供給部
　６２ａ　　第１の振動供給部
　６３　　第２のエア供給部
　６３ａ　　第２の振動供給部
　６４　　第３のセンサ（第３の検出部）
　７０　　台車
　８０　　供給ユニット
　１００　　部品実装装置
　１０１　　基台
　１０２　　基板搬送機構
　１０３　　基板
　１０５　　Ｘ軸移動テーブル
　１０６　　Ｙ軸移動テーブル
　１０７　　実装ヘッド（ヘッド）
　１０７ａ　　部品吸着ノズル
　１０８　　部品実装機構
　１０９　　基板認識カメラ
　１１０　　部品認識カメラ
　Ｐ　　部品

Claims (10)

  1. 　バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置であって、
    　前記部品収納部から供給された前記部品を整列させ前記取出位置まで搬送する整列部と、
    　前記整列部に沿って設けられ、前記整列部に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面を有する第１の搬送部分と、を備え、
    　前記整列部及び前記第１の搬送部分は、前記整列部と前記第１の搬送部分の前記部品が支持される前記第１の傾斜面とに開口する複数の第１のエア噴出孔であって、エアを噴出することにより前記部品を浮上搬送させるための複数の第１のエア噴出孔を有し、
    　前記複数の第１のエア噴出孔は、前記整列部及び前記第１の傾斜面のそれぞれにおいて、前記部品収納部から前記取出位置に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される、
    　部品供給装置。
  2. 　前記第１の搬送部分は、前記整列部とは逆方向に向かって下方に傾斜する第２の傾斜面をさらに有し、
    　前記第２の傾斜面は、前記第１の方向における前記第１の傾斜面の下流側に設けられる、
    　請求項１に記載の部品供給装置。
  3. 　前記整列部の前記部品が支持される第１の支持面から所定の隙間をあけて前記整列部の上方の一部を覆うカバーをさらに備え、
    　前記第１の搬送部分の前記第１の方向における長さは、前記整列部の前記第１の方向における長さより短く、
    　前記カバーは、前記第１の搬送部分の前記第１の方向における前記取出位置側の端部に対応する位置に設けられる、
    　請求項１または２に記載の部品供給装置。
  4. 　前記第２の傾斜面と接続され、かつ、前記第１の搬送部分に沿って設けられ、前記第１の方向とは逆方向の第２の方向に前記部品を搬送する第２の搬送部分をさらに備え、
    　前記第２の搬送部分は、前記第２の搬送部分の前記部品が支持される第２の支持面に開口し前記第２の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される複数の第２のエア噴出孔を有する、
    　請求項２に記載の部品供給装置。
  5. 　前記整列部の前記第１の方向における前記取出位置側の下流部は、前記整列部の前記第１の支持面の幅方向に間隔をあけて対向するように配置された２つの側方部材を有し、
    　２つの前記側方部材のうち一方の前記側方部材は、２つの前記側方部材のうち他方の前記側方部材に向けてエアを噴出する複数の第３のエア噴出孔を有する、
    　請求項３に記載の部品供給装置。
  6. 　前記整列部は、前記整列部の前記第１の方向の終端に前記部品の前記第１の方向の端面と当接する壁部を有し、
    　前記壁部は、当該部品の前記端面を吸着する吸着部を有する、
    　請求項１から５のいずれか１項に記載の部品供給装置。
  7. 　前記壁部にはエアを吸引する吸着孔が形成され、前記吸着孔と接続されるエア経路における流量または真空度を計測するセンサをさらに備える、
    　請求項６に記載の部品供給装置。
  8. 　前記整列部は、前記第１の方向に延在する溝である
    　請求項１から７のいずれか１項に記載の部品供給装置。
  9. 　請求項１から８のいずれか１項に記載の部品供給装置と、
    　前記部品供給装置により供給された前記部品を保持するためのヘッドと、
    　前記ヘッドを移動する駆動部と、
    　前記ヘッドにより保持された前記部品が実装される基板を保持する基板保持部と、を備える、
    　部品実装装置。
  10. 　バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置における部品供給方法であって、
    　前記部品供給装置は、
    　前記部品収納部から供給された前記部品を整列させ前記取出位置まで搬送する整列部と、
    　前記整列部に沿って設けられ、前記整列部に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面を有する第１の搬送部分と、を備え、
    　前記整列部及び前記第１の搬送部分は、前記整列部と前記第１の搬送部分の前記部品が支持される前記第１の傾斜面とに開口する複数の第１のエア噴出孔であって、エアを噴出することにより前記部品を浮上搬送させるための複数の第１のエア噴出孔を有し、
    　前記部品供給方法は、
    　前記整列部及び前記第１の傾斜面のそれぞれにおいて、前記部品収納部から前記取出位置に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出させることを含む、
    　部品供給方法。
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