WO2022176929A1 - 送り軸の制御方法および装置 - Google Patents

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interpolation cycle
axis
movement
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光成 尾田
魯橋 陳
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株式会社牧野フライス製作所
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G—PHYSICS
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Definitions

  • the present invention relates to a control method and control device for a feed axis of a machine tool that reduces trajectory errors that occur at corners.
  • the speed of each feed axis changes abruptly at the corners of the tool trajectory, which can cause impacts and vibrations in various parts of the machine tool.
  • acceleration/deceleration control of the feed shaft and filtering of the amount of movement are performed.
  • Patent Literature 1 describes a machine tool having a fine movement mechanism in which a feed axis moves in the same direction in order to reduce a locus error that occurs at a corner portion with respect to an instructed tool locus.
  • the technical problem of the present invention is to solve the problems of the conventional technology, and the purpose is to reduce the trajectory error that occurs at the corner without using a fine movement mechanism while reducing impact and vibration.
  • a feed axis control method for a machine tool having a feed axis with low control responsiveness and a feed axis with high control responsiveness. generating a command, interpolating the movement command to generate a movement amount for each interpolation cycle of each feed axis, calculating a target position of the tool for each interpolation cycle based on the movement amount for each interpolation cycle of each feed axis, Based on the target position of the tool for each interpolation cycle, the movement amount for each interpolation cycle of the feed axis with low control responsiveness, and the movement amount for each interpolation cycle for the feed axis with high control response.
  • a feed axis control method is provided in which a feed axis with high control response is driven based on a post-correction movement amount.
  • a reading and interpreting section reads and interprets an NC program to generate a movement command.
  • an interpolation unit that interpolates the movement command to generate the movement amount for each interpolation cycle of each feed axis, and a tool that calculates the target position of the tool for each interpolation cycle based on the movement amount for each interpolation cycle of each feed axis Filter processing based on the position calculation unit, the target position of the tool for each interpolation cycle, the movement amount for each interpolation cycle of the feed axis with low control response, and the movement amount for each interpolation cycle with high control response a calculation unit that calculates a correction amount for each interpolation cycle for correcting the tool position deviation amount from the target position caused by the feed axis with high control response,
  • the feed axis with low control response is driven based on the movement amount of the feed axis with low control response averaged for each interpolation period, and the movement amount of the feed axis with high control response averaged for each interpolation period is calculated for each interpolation period.
  • a feed shaft control device that drives a feed shaft with high control response
  • the delay of the feed axis with low responsiveness is compensated for by using the feed axis with high responsiveness, so that high precision and high efficiency machining can be performed. It becomes possible.
  • FIG. 1 is a block diagram of a feed shaft control device according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a detailed block diagram of the controller of FIG. 1
  • FIG. FIG. 3 is a block diagram similar to FIG. 2 of a feed shaft control device according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 10 is a simulation tool locus when the present invention is carried out, and is a diagram for explaining a correction amount
  • FIG. 1 is a partially broken side view showing an example of a machine tool to which the present invention is applied
  • FIG. 6 is a front view of the machine tool of FIG. 5
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing another example of shaft configuration to which the present invention can be applied
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing still another example of a shaft configuration to which the present invention can be applied
  • a 5-axis numerically controlled machine tool 10 is shown as an example of a machine tool to which the present invention is applied.
  • the machine tool 10 has two rotary feed shafts for controlling the attitude of the tool, and three linear feed shafts for relatively moving the position of the workpiece with respect to the tool.
  • the machine tool 10 includes a bed 12 as a base fixed to the floor of a factory, a column 14 erected and fixed on the upper surface of the bed 12 at the rear end side of the bed 12 (right side in FIG. 5), and the bed 12.
  • a table 26 provided movably in the front-rear direction or the Y-axis direction (left-right direction in FIG.
  • a spindle head 22 provided above the table 26.
  • a spindle head support 60 is provided to support the spindle so as to be rotatable around the axis Oa.
  • the spindle head support portion 60 is attached to the front surface of the saddle 16 so as to be movable in the vertical direction or the Z-axis direction, and the Z-axis slider 18 is mounted on the Z-axis slider 18 about the tilt axis Oc as the second rotation axis. and a C-axis turning shaft 20 supported so as to be rotatable in the direction.
  • a pair of X-axis guide rails 28 are provided at the upper end of the column 14 to extend in the horizontal X-axis direction (perpendicular to the paper surface of FIG. 5).
  • a slidable guide block 30 is attached.
  • a ball screw 32 extending in the X-axis direction and an X-axis servomotor 34 connected to one end of the ball screw are provided as an X-axis feed device for reciprocating the saddle 16 along the X-axis guide rail 28.
  • a nut (not shown) that engages the ball screw 32 is attached to the saddle 16 .
  • an inclined surface 14a is formed at the upper end of the column 14. As shown in FIG. The inclined surface 14a extends obliquely upward from the front side to the rear side of the machine tool 10 in parallel with the X axis.
  • the angle of the inclined surface 14a can be, for example, 45° with respect to the horizontal plane (XY plane).
  • a pair of Z-axis guide rails 36 are provided on the front surface of the saddle 16 and extend in the Z-axis direction (vertical direction in FIGS. 5 and 6).
  • a guide block 38 is mounted which is slidable on rails 36 .
  • the saddle 16 has a ball screw 40 extending in the Z-axis direction as a Z-axis feed device for reciprocating the Z-axis slider 18 along the Z-axis guide rail 36, and a ball screw 40 connected to one end of the ball screw 40.
  • a Z-axis servomotor 44 is provided, and a nut that engages the ball screw 40 is attached to the Z-axis slider 18 (FIG. 5 shows a bracket 42 for attaching the nut).
  • the C-axis turning shaft 20 is supported by a bearing 50 so as to be rotatable about the tilt axis Oc.
  • the tilt axis Oc extends obliquely upward from the front side to the back side of the machine tool 10 perpendicularly to the X-axis and substantially parallel to the tilted surface 14a.
  • the tilt axis Oc and the tilt surface 14a may be tilted in the same direction, but it is more effective if they are nearly parallel.
  • the Z-axis slider 18 also incorporates a C-axis servomotor 52 as a C-axis feeder or a second rotary feeder that rotationally drives the C-axis turning shaft 20 .
  • a pair of left and right arm portions 20a and 20b extending parallel to the tilt axis Oc are formed at the front end portion of the C-axis turning shaft 20. As shown in FIG.
  • the spindle head 22 supports the spindle 24 so as to be rotatable around the spindle axis Os, and a tool T is attached to the tip of the spindle 24 .
  • a spindle head 22 is arranged between a pair of left and right arm portions 20 a and 20 b of the C-axis turning shaft 20 .
  • the spindle head 22 is rotatable in the A-axis direction by A-axis turning shafts 22a and 22b formed on both sides about a rotation axis Oa as a first rotation axis perpendicular to the tilt axis Oc. It is supported by the arm portions 20 a and 20 b of the C-axis turning shaft 20 of the support portion 60 .
  • one of the arm portions 20a and 20b (the arm portion 20a in this embodiment) is connected to one of the A-axis turning shafts 22a and 22b (the A-axis turning shaft 22a in this embodiment).
  • A-axis servomotor 21 coupled to is incorporated.
  • the tilt axis Oc passes through the vicinity of the intersection O between the main shaft axis Os of the main shaft 24 and the rotation axis Oa.
  • the rotational position of the C-axis feeder at which the rotational axis Oa is parallel to the horizontal X-axis is defined as the origin position of the C-axis.
  • the rotational position of the A-axis feeder at which the main shaft axis Os of the main shaft 24 is vertical when the C-axis is at the origin position is defined as the origin position of the A-axis.
  • a pair of Y-axis guide rails 46 are provided on the upper surface of the bed 12 so as to extend in the horizontal Y-axis direction (horizontal direction in FIG. 5).
  • a guide block 48 is attached.
  • the bed 12 is also provided with a ball screw (not shown) extending in the Y-axis direction, and a A coupled Y-axis servomotor 51 is provided, and the table 26 is fitted with a nut (not shown) that engages the ball screw.
  • the X-axis servomotor 34, the Y-axis servomotor 51, the Z-axis servomotor 44, the A-axis servomotor 21 and the C-axis servomotor 52 are connected to a control device 100 (FIG. 5) of the machine tool 10, and the control controlled by the device 100;
  • the control device 100 includes a read interpretation section 102, an interpolation section 104, a filter 106, a servo control section 108, a tool position calculation section 110 and a correction calculation section 112 as main components.
  • the read interpretation unit 102 reads the NC program 130 and sends the movement command 114 to the interpolation unit 104 .
  • the interpolation unit 104 calculates the movement amount 116 of each feed axis for each interpolation cycle. For example, the interpolator 104 calculates the movement amount 116 for each time interval set based on the movement command 114 .
  • the movement amount 116 of each feed axis from the interpolation section 104 is output to the servo control section 108 via the filter 106 .
  • the servo control unit 108 outputs a current 120 to be supplied to the servo motor of each feed axis based on the movement amount 118 of each feed axis, and controls the X-axis servo motor 34, Y-axis servo motor 51 and Z-axis servo of the machine tool 10.
  • the motor 44, the A-axis servomotor 21, and the C-axis servomotor 52 are driven.
  • the control device 100 includes a CPU (central processing element), a memory device such as RAM (random access memory) and ROM (read only memory), a storage device such as HDD (hard disk drive) and SSD (solid state drive), and an output device. It can consist of a computer and associated software including input ports and a bi-directional bus interconnecting them, and in particular can be software-configured as part of a typical NC device.
  • CPU central processing element
  • memory device such as RAM (random access memory) and ROM (read only memory)
  • HDD hard disk drive
  • SSD solid state drive
  • the interpolation unit 104 inversely kinematically calculates the movement commands (tool position and posture) described in the NC program 130 read and interpreted by the reading and interpreting unit 102 for each interpolation cycle, performs acceleration/deceleration processing, and performs X-axis,
  • the movement amounts q 0X , q 0Y , q 0Z , q 0A , and q 0C of the feed axes Y, Z, A, and C are obtained and output to the filter 106 .
  • the filter 106 filters the movement amounts q 0X , q 0Y , q 0Z , q 0A and q 0C of each feed axis.
  • Filter processing is preferably moving average processing.
  • the filter 106 stores time-series data of the movement amount of each feed axis generated by the interpolation unit 104 for each interpolation cycle, extracts a predetermined number of the most recent movement amounts from the data, averages them for each interpolation cycle, Generate post-filter displacement.
  • the filter 106 performs weak filtering on feed axes with high control responsiveness, and strong filtering on feed axes with high control responsiveness.
  • the X-axis and the Y-axis have relatively low natural frequencies and low control responsiveness compared to the Z-axis, A-axis, and C-axis.
  • Weak filtering (moving average) is performed on the Z-axis, A-axis, and C-axis, and the number of data (first predetermined number) of the movement amounts q 0Z , q 0A , and q 0C of the interpolation unit 104 to be averaged is reduced, The number of data (second predetermined number) of the movement amounts q 0X and q 0Y when performing filtering (moving average) on the X-axis and the Y-axis is increased.
  • a feed axis with low control responsiveness will have low control responsiveness not only when the natural frequency is low, but also when, for example, the mass to be moved relative to the thrust of the feed axis is excessive.
  • the present invention can also be applied in such cases.
  • the filter 106 averages 10 pieces of time-series data as a second predetermined number for the movement amounts q 0X and q 0Y of the X-axis and the Y-axis before filtering every interpolation cycle, and X-axis and Y-axis movement amounts q X and q Y are output, and the Z-axis, A-axis and C-axis movement amounts q 0Z , q 0A and q 0C before filtering are set to 5 as the first predetermined number. are averaged for each interpolation cycle, and the movement amounts q Z , q A , and q C of the Z-axis, A-axis, and C-axis after filtering are output.
  • the tool position calculation unit 110 calculates the movement amounts q 0X , q 0Y , q 0Z , q 0A , q 0A , Based on q 0C , the tool positions r 0X , r 0Y and r 0Z are calculated forward kinematically.
  • the tool position is the coordinates of the center of the ball portion at the tip of the tool T when the tool T is a ball end mill.
  • the tool position is a tool position (target tool position) on the premise that the X-, Y-, Z-, A-, and C-axes are at the position indicated by the position command before filtering.
  • the correction calculator 112 receives the tool positions r 0X , r 0Y and r 0Z from the tool position calculator 110 .
  • the correction calculation unit 112 also calculates the movement amounts q X , q Y , q Z , q A , q C of each of the feed axes of the X-axis, Y-axis, Z-axis, A-axis, and C-axis after filtering from the filter 106 . receive.
  • the correction calculation unit 112 calculates the Z-axis, A-axis, and C-axis values. Moving amount correction values ⁇ q Z , ⁇ q A , and ⁇ q C for moving amounts q Z , q A , and q C after filtering are calculated.
  • the movement amount correction values ⁇ q Z , ⁇ q A , and ⁇ q C are added to the movement amounts q Z , q A , and q C after filtering of the Z-axis, A-axis, and C-axis from the filter 106, and the Z-axis and A-axis , C-axis post-correction movement amounts q' Z , q' A , and q' C are input to the servo control unit 108 together with post-filter processing movement amounts q X and q Y for the X- and Y-axes.
  • FIG. 4 shows a corner portion where the moving direction of the tool is changed by 90° within the XY plane, that is, a tool locus which is bent by 90° within the XY plane.
  • the movement amount 116 from the interpolation unit 104 is actually transferred to the filter 106.
  • the filtering causes the tool T to go inward from the solid line tool locus indicated by the NC program, as indicated by the two-dot chain line.
  • the correction calculation unit 112 uses the Z-axis, A-axis, and C-axis with high control responsiveness to adjust the Z Correct the movement amounts q Z , q A , and q C after filter processing of the axis, A axis, and C axis.
  • the correction calculation unit 112 may correct the displacement between the tool trajectory indicated by the solid line and the tool trajectory indicated by the two-dot chain line by moving amounts q Z , q A , q Correct C.
  • the central axis of the tool T is changed from the central axis O' before the correction to the central axis O by correcting the A-axis and the C-axis.
  • the first filter 126 receives the movement amounts q 0X , q 0Y , q 0Z , q 0A , and q 0C of the feed axes of the X, Y, Z, A, and C axes from the interpolator 104 and Filter.
  • the second filter 128 receives the movement amounts of the feed axes of the X-axis and the Y-axis that have been subjected to weak filtering by the first filter 126, and performs strong filtering.
  • the first filter 126 applies Five pieces of time-series data as the first predetermined number are averaged for each interpolation cycle and subjected to the first filter processing to output q 1X , q 1Y , q z , q A , and q c .
  • the second filter 128 uses 10 pieces of time-series data larger than the first predetermined number as the second predetermined number for the X-axis and Y-axis movement amounts q 1X and q 1Y before the second filter processing. are averaged for each interpolation cycle and subjected to the second filter processing to output the X-axis and Y-axis movement amounts q X and q Y .
  • the tool position calculation unit 110 calculates the movement amounts q 1X , q 1Y , q Z , q A and qC are acquired, and target tool positions r0X , r0Y , and r0Z are forward kinematically calculated based on them.
  • the correction calculator 112 receives the tool positions r 0X , r 0Y and r 0Z from the tool position calculator 110 .
  • the correction calculation unit 112 also obtains the movement amounts qX and qY of the X- and Y -axes after filtering from the second filter 128, and the movement amounts of the Z-, A-, and C-axes from the first filter 126. Receive q Z , q A , q C .
  • the correction calculation unit 112 calculates the Z-axis, A-axis, and C-axis after filtering. Calculate movement amount correction values ⁇ q Z , ⁇ q A , and ⁇ q C for the movement amounts q Z , q A , and q C .
  • the movement amount correction values ⁇ q Z , ⁇ q A , and ⁇ q C are added to the movement amounts q Z , q A , and q C after filtering the Z-axis, A-axis, and C-axis from the first filter 126, and the Z-axis , A-axis, and C-axis corrected movement amounts q' Z , q' A , and q' C are input to the servo control unit 108 together with filtered movement amounts q X and q Y for the X- and Y-axes.
  • the above-described embodiment relates to a five-axis machine tool 10 having three orthogonal linear feed axes of X, Y, and Z axes and two rotary feed axes of A and C axes.
  • the present invention is not limited to this.
  • Y-axis and one rotary feed axis (C-axis) to move in a plane.
  • the Y-axis movement trajectory is corrected by correcting the X-axis and C-axis movement amounts. can be done.
  • the tool position or the position of the robot's hand can be divided into three orthogonal linear feed axes of the X, Y, and Z axes and two rotation axes of the A and B axes. It can also be applied to a device with a shaft structure that moves three-dimensionally by a feed shaft.
  • a device with a shaft structure that moves three-dimensionally by a feed shaft for example, when the Z-axis, A-axis, and B-axis have high control responsiveness and the X-axis and Y-axis have low control responsiveness, by correcting the movement amount of the Z-axis, A-axis, and B-axis, , X-axis, and Y-axis (in the XY plane) can be corrected.
  • a machine tool having a rotary feed shaft on the side of the spindle that grips the tool has been described, but the present invention is not limited to this.
  • the present invention can be applied to a machine tool having a rotary feed shaft on the side of a table on which a work is placed.
  • the Y-axis of the linear feed shaft that moves horizontally on the bed is provided
  • the B-axis of the rotary feed shaft is provided on the Y-axis so as to be movable on the Y-axis
  • the B-axis rotates on the B-axis.
  • a machine tool is provided with a C-axis as a rotary feed shaft and a table configured to be rotatable on the C-axis on the C-axis, wherein the X-axis as a linear feed shaft is mounted on a column erected on the upper surface of the bed.
  • a machine tool is conceivable in which a Z-axis of a linear motion feed axis is provided on the X-axis so as to be movable along the X-axis, and a spindle is configured to be movable along the Z-axis on the Z-axis.
  • the moving directions of the X-, Y-, and Z-axes of the linear feed shafts are not parallel to each other, and the rotation axes of the B- and C-axes of the rotary feed shafts are also different. Even in such a machine tool, the X-axis and Y-axis with low control responsiveness can be corrected using the Z-axis, B-axis, and C-axis with high control responsiveness.
  • the present invention can be applied by using a plurality of feed axes with different movement directions from a feed axis with low control response to be corrected in various shaft configurations.

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Abstract

衝撃や振動を低減しながら、微動機構を用いることなく、コーナー部で発生する軌跡誤差を低減すること。　ＮＣプログラムの移動指令を補間、フィルタ処理した位置指令により工作機械の制御応答性が低い送り軸を駆動し、フィルタ処理に起因して生じる目標位置からの工具位置のずれ量を制御応答性が高い送り軸で補正するよう、ＮＣプログラムの移動指令を補間、フィルタ処理した位置指令を補正して制御応答性が高い送り軸を駆動するようにした。

Description

送り軸の制御方法および装置
　本発明は、コーナー部で発生する軌跡誤差を低減した工作機械の送り軸の制御方法および制御装置に関する。
　例えば、工作機械の送り軸の制御では、ＮＣプログラムを実行する間、工具軌跡のコーナー部では各送り軸の速度が急激に変化するため、工作機械の各部に衝撃や振動が生じることがある。こうした衝撃や振動を低減するために、送り軸の加減速制御や移動量のフィルタ処理が行われる。
　こうした衝撃や振動を低減するために、送り軸の加減速制御や移動量のフィルタ処理を行うと、コーナー部において工具軌跡に誤差を生じる。こうした工具軌跡の誤差は、特に固有振動数が低く制御応答性の低い送り軸において発生する。御応答性が低いとは、固有振動数が低い状態だけでなく、制御指令で入力された操作量に対する制御対象の応答が遅い状態を意味し、例えば、送り軸の推力に対して移動させる質量が過大である状態であるときにも、制御応答性が低くなる。特許文献１には、指令された工具軌跡に対して、コーナー部で発生する軌跡誤差を低減するために、送り軸に移動方向が同じ微動機構を備えた工作機械が記載されている。
国際特許公報ＷＯ２０１６／０５１５４２
　特許文献１の工作機械では、微動機構を備える必要であり、送り軸自体の質量が増大し、許容できる加速度を大きくできないという課題がある。
　本発明は、こうした従来技術の問題を解決することを技術課題としており、衝撃や振動を低減しながら、微動機構を用いることなく、コーナー部で発生する軌跡誤差を低減することを目的としている。
　上述の目的を達成するために、本発明によれば、制御応答性が低い送り軸と制御応答性が高い送り軸を有する工作機械の送り軸の制御方法において、ＮＣプログラムを読み取り解釈して移動指令を生成し、移動指令を補間処理して各送り軸の補間周期毎の移動量を生成し、各送り軸の補間周期毎の移動量に基づき工具の目標位置を補間周期毎に演算し、補間周期毎の工具の目標位置と、制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の移動量と、制御応答性の高い送り軸の補間周期毎の移動量とに基づいて、フィルタ処理に起因して生じる目標位置からの工具位置のずれ量を制御応答性が高い送り軸で補正する補間周期毎の補正量を演算し、
　フィルタ処理した制御応答性の低い送り軸の移動量に基づいて制御応答性の低い送り軸を駆動し、制御応答性の高い送り軸の移動量に補間周期毎の補正量を加算して算出した補正後移動量に基づいて制御応答性の高い送り軸を駆動するようにした送り軸の制御方法が提供される。
　更に、本発明によれば、制御応答性が低い送り軸と制御応答性が高い送り軸を有する工作機械の送り軸の制御装置において、ＮＣプログラムを読み取り解釈して移動指令を生成する読取解釈部と、移動指令を補間処理して各送り軸の補間周期毎の移動量を生成する補間部と、各送り軸の補間周期毎の移動量に基づき工具の目標位置を補間周期毎に演算する工具位置演算部と、補間周期毎の工具の目標位置と、制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の移動量と、制御応答性の高い補間周期毎の移動量とに基づいて、フィルタ処理に起因して生じる目標位置からの工具位置のずれ量を制御応答性が高い送り軸で補正する補間周期毎の補正量を演算する演算部とを具備し、
　補間周期毎に平均した制御応答性の低い送り軸の移動量に基づいて制御応答性の低い送り軸を駆動し、補間周期毎に平均した制御応答性の高い送り軸の移動量に補間周期毎の補正量を加算して算出した補正後移動量に基づいて制御応答性の高い送り軸を駆動するようにした送り軸の制御装置が提供される。
　本発明によれば、移動方向の異なる送り軸のうち、応答性が低い送り軸の遅れを、応答性の高い送り軸を使い補償するようにしたので、高精度・高効率加工を行うことが可能となる。
本発明の第１の実施形態による送り軸の制御装置のブロック図である。 図１の制御装置の詳細ブロック図である。 本発明の第２の実施形態による送り軸の制御装置の図２と同様のブロック図である。 本発明を実施した場合のシミュレーション工具軌跡であり、補正量を説明するための図である。 本発明を適用する工作機械の一例の一部を破断して示す側面図である。 図５の工作機械の正面図である。 本発明を適用可能な軸構成の他の例を示す略図である。 本発明を適用可能な軸構成の更に他の例を示す略図である。
　以下、添付図面を参照して、本願発明の好ましい実施形態を説明する。
　図５、６を参照すると、本発明を適用する工作機械の一例として、５軸の数値制御工作機械１０が図示されている。工作機械１０は、工具の姿勢を制御する２つの回転送り軸と、工具に対してワークの位置を相対的に移動する３つの直線送り軸とを備えている。工作機械１０は、工場の床面に固定された基台としてのベッド１２、ベッド１２の後端側（図５では右側）で同ベッド１２の上面に立設、固定されたコラム１４、ベッド１２の前方部分（図５では左側）の上面で前後方向またはＹ軸方向（図５では左右方向）に移動可能に設けられワークＷが固定されるテーブル２６、テーブル２６の上方に設けられ主軸２４を回転可能に支持する主軸頭２２、コラム１４の頂部で左右方向またはＸ軸方向（図５では紙面に垂直な方向）に移動可能に設けられたサドル１６、サドル１６に設けられ主軸頭２２を回転軸線Ｏaを中心として回転可能に支持する主軸頭支持部６０を具備している。主軸頭支持部６０は、サドル１６の前面で上下方向またはＺ軸方向に移動可能に取り付けられＺ軸スライダ１８と、Ｚ軸スライダ１８に第２の回転軸線としての傾斜軸線Ｏcを中心としてＣ軸方向に回転可能に支持されたＣ軸旋回軸２０とを具備している。
　コラム１４の上端部には一対のＸ軸ガイドレール２８が水平なＸ軸方向（図５の紙面に垂直な方向）に延設されており、コラム１４には、該Ｘ軸ガイドレール２８上を摺動可能なガイドブロック３０が取り付けられている。サドル１６をＸ軸ガイドレール２８に沿って往復駆動するＸ軸送り装置として、Ｘ軸方向に延設されたボールねじ３２と、該ボールねじの一端に連結されたＸ軸サーボモータ３４が設けられており、サドル１６には、ボールねじ３２に係合するナット（図示せず）が取り付けられている。また、コラム１４の上端には傾斜面１４ａが形成されている。傾斜面１４ａはＸ軸に対して平行に工作機械１０の前面側から背面側へ斜め上方に延びている。傾斜面１４ａの角度は、例えば水平面（ＸＹ平面）に対して４５°とすることができる。
　サドル１６の前面には、一対のＺ軸ガイドレール３６が鉛直方向であるＺ軸方向に（図５、６では上下方向）に延設されており、Ｚ軸スライダ１８には、該Ｚ軸ガイドレール３６上を摺動可能なガイドブロック３８が取り付けられている。サドル１６には、Ｚ軸スライダ１８をＺ軸ガイドレール３６に沿って往復駆動するＺ軸送り装置として、Ｚ軸方向に延設されたボールねじ４０と、該ボールねじ４０の一端に連結されたＺ軸サーボモータ４４が設けられており、Ｚ軸スライダ１８には、ボールねじ４０に係合するナットが取り付けられている（図５には、該ナットを取り付けるブラケット４２が図示されている）。
　Ｚ軸スライダ１８の下端部には、Ｃ軸旋回軸２０が軸受５０によって傾斜軸線Ｏcを中心として回転可能に支持されている。傾斜軸線Ｏcは、Ｘ軸に対して垂直に工作機械１０の前面側から背面側へ斜め上方に、傾斜面１４ａに対して略平行に延びている。傾斜軸線Ｏcと傾斜面１４ａは同じ方向に傾斜していればよいが、平行に近い方が一層効果的である。Ｚ軸スライダ１８は、また、Ｃ軸旋回軸２０を回転駆動するＣ軸送り装置または第２の回転送り装置としてＣ軸サーボモータ５２を内蔵している。Ｃ軸旋回軸２０の正面側の先端部には、傾斜軸線Ｏcに対して平行に延びる左右一対の腕部２０ａ、２０ｂが形成されている。
　主軸頭２２は、主軸２４を主軸軸線Ｏs周りに回転可能に支持し、該主軸２４の先端部に工具Ｔが装着される。Ｃ軸旋回軸２０の左右一対の腕部２０ａ、２０ｂの間に主軸頭２２が配設される。主軸頭２２は、両側部に形成されたＡ軸旋回軸２２ａ、２２ｂによって、傾斜軸線Ｏcに対して垂直な第１の回転軸線としての回転軸線Ｏaを中心としてＡ軸方向に回転可能に主軸頭支持部６０のＣ軸旋回軸２０の腕部２０ａ、２０ｂに支持される。Ａ軸送り装置または第１の回転送り装置として、腕部２０ａ、２０ｂの一方（本実施形態では腕部２０ａ）にＡ軸旋回軸２２ａ、２２ｂの一方（本実施形態ではＡ軸旋回軸２２ａ）に結合されたＡ軸サーボモータ２１が組み込まれている。
　なお、傾斜軸線Ｏcは、主軸２４の主軸軸線Ｏsと回転軸線Ｏaとの交点Ｏの近傍を通過する。また、図６に示すように、回転軸線Ｏaが水平のＸ軸と平行となるＣ軸送り装置の回転位置をＣ軸の原点位置とする。更に、Ｃ軸が原点位置にあるとき、主軸２４の主軸軸線Ｏsが鉛直となるＡ軸送り装置の回転位置をＡ軸の原点位置とする。
　Ａ軸およびＣ軸が原点位置にあるとき、主軸２４端面および該主軸２４に装着された工具Ｔは、ワーク（図示せず）を取り付けるテーブル２６に対面する。ベッド１２の上面には、一対のＹ軸ガイドレール４６が水平なＹ軸方向（図５の左右方向）に延設されており、テーブル２６には、該Ｙ軸ガイドレール４６上を摺動可能なガイドブロック４８が取り付けられている。ベッド１２には、また、テーブル２６をＹ軸ガイドレール４６に沿って往復駆動するＹ軸送り装置として、Ｙ軸方向に延設されたボールねじ（図示せず）と、該ボールねじの一端に連結されたＹ軸サーボモータ５１が設けられており、テーブル２６には、前記ボールねじに係合するナット（図示せず）が取り付けられている。
　Ｘ軸サーボモータ３４、Ｙ軸サーボモータ５１、Ｚ軸サーボモータ４４、Ａ軸サーボモータ２１およびＣ軸サーボモータ５２は、工作機械１０の制御装置１００（図５）に接続されており、該制御装置１００によって制御される。
　図１を参照すると、制御装置１００は、読取解釈部１０２、補間部１０４、フィルタ１０６、サーボ制御部１０８、工具位置演算部１１０および補正演算部１１２を主要な構成要素として具備する。読取解釈部１０２はＮＣプログラム１３０を読み込み、移動指令１１４を補間部１０４に送出する。補間部１０４は、補間周期毎に各送り軸の移動量１１６を演算する。例えば、補間部１０４は、移動指令１１４に基づいて設定された時間間隔ごとの移動量１１６を算出する。補間部１０４からの各送り軸の移動量１１６は、フィルタ１０６を介してサーボ制御部１０８に出力される。サーボ制御部１０８は、各送り軸の移動量１１８に基づいて各送り軸のサーボモータへ供給する電流１２０を出力し、工作機械１０のＸ軸サーボモータ３４、Ｙ軸サーボモータ５１、Ｚ軸サーボモータ４４、Ａ軸サーボモータ２１、Ｃ軸サーボモータ５２を駆動する。
　制御装置１００は、CPU（中央演算素子）、RAM（ランダムアクセスメモリ）やROM（リードオンリーメモリ）のようなメモリ装置、HDD（ハードディスクドライブ）やSSD（ソリッドステートドライブ）のような記憶デバイス、出入力ポート、および、これらを相互接続する双方向バスを含むコンピュータおよび関連するソフトウェアから構成することができ、特に、一般的なＮＣ装置の一部としてソフトウェア的に構成することができる。
　図２を参照して、制御装置１００を更に詳細に説明する。
　補間部１０４は、読取解釈部１０２が読み取り解釈したＮＣプログラム１３０に記載されている移動指令（工具の位置、姿勢）を補間周期毎に逆運動学的に演算、加減速処理してＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の各送り軸の移動量ｑ0X、ｑ0Y、ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0Cを求め、フィルタ１０６へ出力する。
　フィルタ１０６は、各送り軸の移動量ｑ0X、ｑ0Y、ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0Cに対してフィルタ処理を行う。フィルタ処理は、好ましくは移動平均処理である。フィルタ１０６は、補間部１０４が補間周期毎に生成する各送り軸の移動量のデータを時系列的に格納し、これを所定数の直近の移動量を抽出して補間周期毎に平均し、フィルタ後移動量を生成する。
　フィルタ１０６は、制御応答性が高い送り軸については弱いフィルタ処理を行い、制御応答性が高い送り軸については強いフィルタ処理を行う。本実施形態では、Ｘ軸とＹ軸は、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸に比べて固有振動数が相対的に低く、制御応答性が低くなっている。Ｚ軸、Ａ軸およびＣ軸については弱いフィルタ処理（移動平均）を行い、平均する補間部１０４の移動量ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0Cのデータ数（第１の所定数）を少なくし、Ｘ軸とＹ軸についてフィルタ処理（移動平均）する際の移動量ｑ0X、ｑ0Yのデータ数（第２の所定数）をより多くする。
　御応答性が低い送り軸は、固有振動数が低い場合のみならず、例えば、送り軸の推力に対して移動させる質量が過大である場合にも制御応答性が低くなる。本発明は、こうした場合にも適用することができる。
　例えば、フィルタ１０６は、フィルタ処理前のＸ軸とＹ軸の移動量ｑ0X、ｑ0Yに対して第２の所定数として１０個の時系列データを補間周期毎に平均してフィルタ処理後のＸ軸およびＹ軸の移動量ｑX、ｑYを出力し、フィルタ処理前のＺ軸、Ａ軸およびＣ軸の移動量ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0C対して第１の所定数として５個の時系列データを補間周期毎に平均してフィルタ処理後のＺ軸、Ａ軸およびＣ軸の移動量ｑZ、ｑA、ｑCを出力する。
　工具位置演算部１１０は、補間部１０４が出力するフィルタ処理前のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の各送り軸の移動量ｑ0X、ｑ0Y、ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0Cに基づき、工具位置ｒ0X、ｒ0Y、ｒ0Zを順運動学的に演算する。工具位置は、工具Ｔがボールエンドミルの場合、工具Ｔの先端部のボール部の中心の座標である。工具位置は、フィルタ処理する前の位置指令が示す位置にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の送り軸があることを前提とした工具位置である（目標工具位置）。
　補正演算部１１２は、工具位置演算部１１０から工具位置ｒ0X、ｒ0Y、ｒ0Zを受け取る。補正演算部１１２は、また、フィルタ１０６からフィルタ処理後のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の各送り軸の移動量ｑX、ｑY、ｑZ、ｑA、ｑCを受け取る。補正演算部１１２は、工具位置ｒ0X、ｒ0Y、ｒ0Zと、フィルタ処理後の移動量ｑX、ｑY、ｑZ、ｑA、ｑCに基づき、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸のフィルタ処理後の移動量ｑZ、ｑA、ｑCに対する移動量補正値ΔｑZ、ΔｑA、ΔｑCを演算する。移動量補正値ΔｑZ、ΔｑA、ΔｑCは、フィルタ１０６からのＺ軸、Ａ軸、Ｃ軸のフィルタ処理後の移動量ｑZ、ｑA、ｑCに加算され、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の補正後移動量ｑ′Z、ｑ′A、ｑ′Cが、Ｘ軸およびＹ軸のフィルタ処理後移動量ｑX、ｑYと共にサーボ制御部１０８へ入力される。
　図４を参照して、補正後移動量について説明する。
　図４は、ＸＹ平面内で、工具の移動方向を９０°変更するコーナー部、つまりＸＹ平面内で９０°屈曲する工具軌跡を示している。従来、こうした場合、ＮＣプログラム上では、実線で示す直線的に９０°屈曲する工具軌跡を描くように移動指令となっていても、実際には、補間部１０４からの移動量１１６をフィルタ１０６においてフィルタ処理することによって、工具Ｔは、二点鎖線で示すように、ＮＣプログラムが指示する実線の工具軌跡から内回りしてしまう。補正演算部１１２は、制御応答性の高いＺ軸、Ａ軸およびＣ軸を用いて、工具Ｔが、つまり工具位置が、ＮＣプログラムが指示する実線の工具軌跡に沿って移動するように、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸のフィルタ処理後の移動量ｑZ、ｑA、ｑCを補正する。或いは、補正演算部１１２は、実線の工具軌跡と、二点鎖線の工具軌跡のずれを補正するように、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸のフィルタ処理後の移動量ｑZ、ｑA、ｑCを補正する。図４の例では、Ａ軸およびＣ軸を補正することにより、工具Ｔの中心軸線は、補正前の中心軸線Ｏ′から中心軸線Ｏに変化している。
　次に、図３を参照して、制御装置１００′の変形例を説明する。本例では、フィルタは、第１のフィルタ１２６と第２のフィルタ１２８を具備している点で図１、２の制御装置１００と異なっている。図３において、図２と同様の構成要素には同じ参照符号が付されている。
　第１のフィルタ１２６は、補間部１０４からＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の各送り軸の移動量ｑ0X、ｑ0Y、ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0Cを受け取り、弱いフィルタ処理を行う。第２のフィルタ１２８は、第１のフィルタ１２６で弱いフィルタ処理を行ったＸ軸、Ｙ軸の各送り軸の移動量を受け取り強いフィルタ処理を行う。例えば、第１のフィルタ１２６は、第１のフィルタ処理前のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の移動量ｑ0X、ｑ0Y、ｑ0Z、ｑ0A、ｑ0Cに対して第１の所定数として５個の時系列データを補間周期毎に平均して第１のフィルタ処理を行い、ｑ1X、ｑ1Y、ｑz、ｑA、ｑcを出力する。第２のフィルタ１２８は、第２のフィルタ処理前のＸ軸、Ｙ軸の移動量ｑ1X、ｑ1Y、対して第２の所定数として第１の所定数よりも多い１０個の時系列データを補間周期毎に平均して第２のフィルタ処理を行い、Ｘ軸、Ｙ軸の移動量ｑX、ｑYを出力する。
　工具位置演算部１１０は、第１のフィルタ１２６で弱いフィルタ処理を行ったＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の各送り軸の移動量ｑ1X、ｑ1Y、ｑZ、ｑA、ｑCを取得し、これに基づいて目標工具位置ｒ0X、ｒ0Y、ｒ0Zを順運動学的に演算する。
　補正演算部１１２は、工具位置演算部１１０から工具位置ｒ0X、ｒ0Y、ｒ0Zを受け取る。補正演算部１１２は、また、第２のフィルタ１２８からフィルタ処理後のＸ軸およびＹ軸の移動量ｑX、ｑYと、第１のフィルタ１２６からＺ軸、Ａ軸、Ｃ軸の移動量ｑZ、ｑA、ｑCを受け取る。補正演算部１１２は、工具位置ｒ0X、ｒ0Y、ｒ0Zと、移動量ｑX、ｑY、ｑZ、ｑA、ｑCに基づき、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸のフィルタ処理後の移動量ｑZ、ｑA、ｑCに対する移動量補正値ΔｑZ、ΔｑA、ΔｑCを演算する。移動量補正値ΔｑZ、ΔｑA、ΔｑCは、第１のフィルタ１２６からのＺ軸、Ａ軸、Ｃ軸のフィルタ処理後の移動量ｑZ、ｑA、ｑCに加算され、Ｚ軸、Ａ軸、Ｃ軸の補正後移動量ｑ′Z、ｑ′A、ｑ′Cが、Ｘ軸およびＹ軸のフィルタ処理後移動量ｑX、ｑYと共にサーボ制御部１０８へ入力される。
　なお、既述の実施形態では、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交３軸の直線送り軸と、Ａ軸、Ｃ軸の２つの回転送り軸とを有した５軸の工作機械１０に関連して本発明を説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば、図７に示すように、工具位置またはロボットの手先の位置)（ＴＣＰ）が、２つの直線送り軸（Ｘ軸およびＹ軸）と、１つの回転送り軸（Ｃ軸）とによって平面内で移動する軸構成の装置に適用することができる。この場合、例えば、Ｘ軸、Ｃ軸が制御応答性が高く、Ｙ軸が制御応答性が低い場合に、Ｘ軸およびＣ軸の移動量を補正することによって、Ｙ軸の移動軌跡を補正するようにできる。
　或いは、図８に示すように、工具位置またはロボットの手先の位置)（ＴＣＰ）が、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交３軸の直線送り軸と、Ａ軸、Ｂ軸の２つの回転送り軸によって、３次元的に移動する軸構成の装置に適用することもできる。この場合、例えば、Ｚ軸、Ａ軸、Ｂ軸が制御応答性が高く、Ｘ軸、Ｙ軸が制御応答性が低い場合に、Ｚ軸、Ａ軸およびＢ軸の移動量を補正することによって、Ｘ軸、Ｙ軸（ＸＹ平面内）の移動軌跡を補正するようにできる。
　更に言えば、記述の実施形態では、工具を把持する主軸側に回転送り軸がある工作機械で説明したが、本願発明はこれに限定されるものではない。例えば、ワークを載置するテーブル側に回転送り軸がある工作機械でも本願発明は適用できる。一例としては、ベッド上を水平に移動する直動送り軸のＹ軸が設けられ、Ｙ軸上にＹ軸で移動可能に回転送り軸のＢ軸が設けられ、Ｂ軸上にＢ軸で回転可能に回転送り軸のＣ軸が設けられ、Ｃ軸上にＣ軸で回転可能にテーブルが構成された工作機械であって、ベッド上面に立設されたコラムに直動送り軸のＸ軸が設けられ、Ｘ軸上にＸ軸で移動可能に直動送り軸のＺ軸が設けられ、Ｚ軸上にＺ軸で移動可能に主軸が構成された工作機械が考えられる。直動送り軸のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の移動方向はそれぞれ互いに平行でなく、回転送り軸のＢ軸、Ｃ軸の回転軸線も異なる回転軸線で構成される。このような工作機械においても、制御応答性が高いＺ軸、Ｂ軸、Ｃ軸を用いて、制御応答性が低いＸ軸とＹ軸を補正することができる。他にも様々な軸構成で、補正される制御応答性が低い送り軸と移動方向が異なる複数の送り軸を用いることで、本願発明は適用できる。
　１０　　工作機械
　１２　　ベッド
　１４　　コラム
　１６　　サドル
　１８　　Ｚ軸スライダ
　２０　　Ｃ軸旋回軸
　２１　　Ａ軸サーボモータ
　２２　　主軸頭
　２４　　主軸
　２６　　テーブル
　４４　　Ｚ軸サーボモータ
　５０　　軸受
　５１　　Ｙ軸サーボモータ
　５２　　Ｃ軸サーボモータ
　６０　　主軸頭支持部
　１００　　制御装置
　１０２　　読取解釈部
　１０４　　補間部
　１０６　　フィルタ
　１０８　　サーボ制御部
　１１０　　工具位置演算部
　１１２　　補正演算部
　１１４　　移動指令
　１１６　　移動量
　１１８　　移動量
　１２０　　電流
　１２６　　第１のフィルタ
　１２８　　第２のフィルタ
　１３０　　ＮＣプログラム

Claims (12)

  1. 　制御応答性が低い送り軸と制御応答性が高い送り軸を有する工作機械の送り軸の制御方法において、
    　ＮＣプログラムを読み取り解釈して移動指令を生成し、
    　移動指令を補間処理して各送り軸の補間周期毎の移動量を生成し、
    　各送り軸の補間周期毎の移動量に基づき工具の目標位置を補間周期毎に演算し、
    　補間周期毎の工具の目標位置と、制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の移動量と、制御応答性の高い送り軸の補間周期毎の移動量とに基づいて、フィルタ処理に起因して生じる目標位置からの工具位置のずれ量を制御応答性が高い送り軸で補正する補間周期毎の補正量を演算し、
    　フィルタ処理した制御応答性の低い送り軸の移動量に基づいて制御応答性の低い送り軸を駆動し、制御応答性の高い送り軸の移動量に補間周期毎の補正量を加算して算出した補正後移動量に基づいて制御応答性の高い送り軸を駆動するようにした送り軸の制御方法。
  2. 　制御応答性の高い送り軸に関して補間周期毎の移動量に対して第１のフィルタ処理を行い、
    　制御応答性の低い送り軸に関して補間周期毎の移動量に対して第１のフィルタ処理よりも強い第２のフィルタ処理を行うことを更に含み、
    　補間周期毎の目標位置と、制御応答性の高い送り軸の第１のフィルタ処理後の補間周期毎の移動量と、制御応答性の低い第２のフィルタ処理後の補間周期毎の移動量とに基づいて補間周期毎の補正量を演算するようにした請求項１に記載の送り軸の制御方法。
  3. 　第１のフィルタ処理は、第１の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均することを含み、第２のフィルタ処理は、第１の所定数よりも多い第２の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均することを含む請求項２に記載の送り軸の制御方法。
  4. 　各送り軸の補間周期毎の移動量について第１のフィルタ処理を行い、該補間周期毎のフィルタ処理後の移動量に基づいて補間周期毎の目標位置を演算するようにした請求項１に記載の送り軸の制御方法。
  5. 　制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の移動量に対して前記第１のフィルタ処理よりも強い第２のフィルタ処理を前記第１のフィルタ処理の後に行い、
    　補間周期毎の目標位置と、制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の第２のフィルタ処理後の移動量と、制御応答性の高い送り軸の補間周期毎の第１のフィルタ処理後の移動量とに基づいて補間周期毎の補正量を演算するようにした請求項４に記載の送り軸の制御方法。
  6. 　前記第１のフィルタ処理は、第１の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均することを含み、第２のフィルタ処理は、前記所定数よりも多い第２の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均することを含む請求項４に記載の送り軸の制御方法。
  7. 　制御応答性が低い送り軸と制御応答性が高い送り軸を有する工作機械の送り軸の制御装置において、
    　ＮＣプログラムを読み取り解釈して移動指令を生成する読取解釈部と、
    　移動指令を補間処理して各送り軸の補間周期毎の移動量を生成する補間部と、
    　各送り軸の補間周期毎の移動量に基づき工具の目標位置を補間周期毎に演算する工具位置演算部と、
    　補間周期毎の工具の目標位置と、制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の移動量と、制御応答性の高い補間周期毎の移動量とに基づいて、フィルタ処理に起因して生じる目標位置からの工具位置のずれ量を制御応答性が高い送り軸で補正する補間周期毎の補正量を演算する演算部とを具備し、
    　補間周期毎に平均した制御応答性の低い送り軸の移動量に基づいて制御応答性の低い送り軸を駆動し、補間周期毎に平均した制御応答性の高い送り軸の移動量に補間周期毎の補正量を加算して算出した補正後移動量に基づいて制御応答性の高い送り軸を駆動するようにした送り軸の制御装置。
  8. 　制御応答性の高い送り軸に関して補間周期毎の移動量に対して第１のフィルタ処理を行い、制御応答性の低い送り軸に関して補間周期毎の移動量に対して第１のフィルタ処理よりも強い第２のフィルタ処理を行うフィルタを更に含み、
    　補間周期毎の目標位置と、制御応答性の高い送り軸の第１のフィルタ処理後の補間周期毎の移動量と、制御応答性の低い送り軸の第２のフィルタ処理後の補間周期毎の移動量とに基づいて補間周期毎の補正量を演算するようにした請求項７に記載の送り軸の制御装置。
  9. 　第１のフィルタは、第１の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均することを含み、第２のフィルタは、第１の所定数よりも多い第２の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均する請求項８に記載の送り軸の制御装置。
  10. 　各送り軸の補間周期毎の移動量についてフィルタ処理を行う第１のフィルタを具備し、該補間周期毎のフィルタ処理後の移動量に基づいて補間周期毎の目標位置を演算するようにした請求項７に記載の送り軸の制御装置。
  11. 　制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の移動量に対して前記第１のフィルタにおけるフィルタ処理よりも強いフィルタ処理を行う第２のフィルタを更に具備し、
    　補間周期毎の目標位置と、制御応答性の高い送り軸の補間周期毎の第１のフィルタにおけるフィルタ処理後の移動量と、制御応答性の低い送り軸の補間周期毎の第２のフィルタにおけるフィルタ処理後の移動量とに基づいて補間周期毎の補正量を演算するようにした請求項１０に記載の送り軸の制御装置。
  12. 　第１のフィルタは、第１の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均することを含み、第２のフィルタは、第１の所定数よりも多い第２の所定数の直近の移動量を補間周期毎に平均する請求項１０に記載の送り軸の制御装置。
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