WO2022137894A1

WO2022137894A1 - 板ガラス加工装置及び板ガラスの製造方法

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Publication number: WO2022137894A1
Application number: PCT/JP2021/042101
Authority: WO
Inventors: 愛信星野; 和宏大野; 宏佳進藤
Original assignee: 日本電気硝子株式会社
Priority date: 2020-12-22
Filing date: 2021-11-16
Publication date: 2022-06-30
Also published as: JPWO2022137894A1; KR20230125165A; CN116261502A; TW202224846A

Abstract

板ガラス加工装置１は、板ガラスＡの端面を押圧する方向に加工具Ｂを移動させるサーボ機構３を備える。サーボ機構３は、コアレスリニアモータ７を備える。

Description

板ガラス加工装置及び板ガラスの製造方法

　本発明は、板ガラスの端面を加工する板ガラス加工装置及び板ガラスの製造方法に関する。

　近年、液晶ディスプレイ等の生産効率に対する改善要請に応じるべく、当該ディスプレイ等に使用されるガラス基板の製造効率に対する改善要求が高まっている。ここで、ガラス基板の製造では、大型のガラス原板（成形原板）から一枚又は複数枚のガラス基板を切り出すことが行われている。これにより、所望の寸法のガラス基板が取得できる。

　一方で、ガラス原板から切り出されたガラス基板の端面は、通常、切断面又は折割面となるため、微小な傷（欠陥）が存在することが多い。ガラス基板の端面に傷があると、その傷から割れ等が発生するため、これを防止するためにガラス基板の端面に対して研削加工（粗加工）と研磨加工（仕上げ加工）とが施される。

　例えば特許文献１には、送り方向に対して板ガラスと加工具とを相対的に移動させることで、板ガラスの端面を加工する定圧式の板ガラス加工装置が開示されている。板ガラス加工装置は、加工具を回転可能に支持するアーム部材と、アーム部材を回動可能に支持する支持軸部と、加工具が板ガラスの端面を押圧する力をアーム部材に生じさせるサーボ機構とを備える。

　板ガラス加工装置のサーボ機構は、回動軸を有するとともに、アーム部材を支持軸部材のまわりに回動可能に駆動するサーボモータと、サーボモータの回動軸とアーム部材とを連結するリンク機構とを備える。

　サーボ機構は、サーボモータの動力を、リンク機構を介してアーム部材に伝達することで、板ガラスに対する加工具の押圧力を調整することができる。また、サーボ機構は、そのフィードバック制御により、板ガラスの端面を精度良く加工することができる。

特開２０１７－３００８９号公報

　しかしながら、従来の板ガラス加工装置では、アーム部材及びリンク機構を用いていることから、送り方向における板ガラス加工装置の幅寸法が大きくなってしまう。このため、例えば複数の加工具を並設し、これらの複数の加工具によって板ガラスを一枚ずつ加工する場合に、加工時間（タクトタイム）を短縮することが困難であった。

　本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、板ガラス加工装置の幅寸法を小さくすることを技術的課題とする。

　本発明は上記の課題を解決するためのものであり、板ガラスと加工具とを相対的に移動させることで前記板ガラスの端面を加工する板ガラス加工装置であって、前記加工具を、前記板ガラスの前記端面を押圧する方向に移動させるサーボ機構を備え、前記サーボ機構は、コアレスリニアモータを備えることを特徴とする。

　かかる構成によれば、サーボ機構は、コアレスリニアモータを備えることで、従来のように回動部材（アーム部材）やリンク機構を用いることなく、板ガラスの端面を押圧する方向に移動させることができる。コアレスリニアモータは、鉄心（コア）にコイルを巻回することなく構成されるため、回動部材やリンク機構を用いる場合と比較して、板ガラス加工装置の寸法を小さくすることができる。したがって、送り方向における板ガラス加工装置の幅寸法を可及的に小さくし、板ガラスを効率良く加工することが可能となる。

　本発明に係る板ガラス加工装置において、前記サーボ機構は、前記加工具を、前記板ガラスの前記端面に沿った方向である送り方向に交差する切り込み方向に沿って直線的に移動させるようにしてもよい。

　このように加工具を移動させることで、送り方向における板ガラス加工装置の幅寸法をより小さくできる。

　本発明に係る板ガラス加工装置において、前記サーボ機構は、前記加工具を支持するとともに前記コアレスリニアモータによって駆動される支持部材と、前記支持部材を直線的に案内するガイド機構と、を備え、前記コアレスリニアモータと前記ガイド機構とが前記送り方向において重なるように配置されてもよい。

　このように、コアレスリニアモータとガイド機構とを送り方向において重なるように配置することで、送り方向における板ガラス加工装置の幅寸法をさらに小さくすることが可能となる。

　上記構成の板ガラス加工装置において、前記コアレスリニアモータは、前記支持部材の下方に配置されてもよい。これにより、板ガラス加工装置の重心を可及的に下方位置に設定することができる。したがって、板ガラス加工装置は、加工具を安定した姿勢で支持することができる。

　本発明に係る板ガラスの製造方法は、上述の板ガラス加工装置により前記板ガラスの前記端面を加工する工程を備えることを特徴とする。

　このようにすれば、従来よりも幅寸法が小さな板ガラス加工装置によって、板ガラスを効率良く加工することが可能となる。

　本発明によれば、板ガラスの送り方向における板ガラス加工装置の幅寸法を小さくすることが可能となる。

第一実施形態に係る板ガラス加工装置の平面図である。板ガラス加工装置の正面図である。板ガラス加工装置の側面図である。サーボ機構の制御部の機能ブロック図である。板ガラスの製造方法における一工程を示す平面図である。板ガラスの製造方法における一工程を示す平面図である。加工開始時における加工具の挙動を示す平面図である。第二実施形態に係る板ガラス加工装置の平面図である。板ガラス加工装置の正面図である。第三実施形態に係る板ガラス加工装置の平面図である。板ガラス加工装置の正面図である。第四実施形態に係る板ガラス加工装置の平面図である。板ガラス加工装置の正面図である。第五実施形態に係る板ガラス加工装置の平面図である。板ガラス加工装置の正面図である。第六実施形態に係る板ガラス加工装置の正面図である。板ガラス加工装置の側面図である。

　以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。

　板ガラス加工装置の加工対象となる板ガラスＡは、矩形の板形状を有している。板ガラスＡの板厚は例えば０．０５ｍｍ～１０ｍｍである。しかしながら、本発明はこれに限定されない。本発明は、矩形以外の形状（例えば多角形や円形等）を有する板ガラスＡの加工や、板厚が０．０５ｍｍ～１０ｍｍ以外である板ガラスＡの加工にも適用され得る。

　板ガラスＡの端面は、加工具Ｂによって加工される。加工具Ｂによる板ガラスＡの端面加工は、例えば板ガラスＡの端面の面取り加工（研削処理）が挙げられる。また、加工具Ｂによる板ガラスＡの端面加工は、面取り加工後の端面の凹凸を均一にする研磨処理でもあり得る。加工具Ｂは、例えば回転軸を中心に回転駆動される砥石であり、この砥石が回転しながら板ガラスＡの端面を研削加工又は研磨加工するものである。研削加工用の加工具Ｂとしては、例えば高剛性砥石であるダイヤモンド砥粒を電着ボンドで固めた、いわゆる電着砥石や、砥粒を金属質結合剤で固めた、いわゆるメタル砥石が好適に使用され得る。

　板ガラスＡと加工具Ｂは、相対的に移動する。以下、板ガラスＡと加工具Ｂとが板ガラスＡの端面に沿って相対的に移動する方向を「送り方向」という。本実施形態では、例えば、送り方向Ｃに沿って移動する板ガラスＡに対して、加工具Ｂが固定された状態で加工を行うことができる。また、固定された板ガラスＡに対して、加工具Ｂが送り方向Ｃに沿って移動しながら加工を行ってもよい。

　また、加工具Ｂは、送り方向Ｃに交差する方向（例えば直交する方向）において、板ガラスＡの端面に対して接近・離反可能に構成される。これにより、加工具Ｂは、板ガラスＡの端面の加工量（切り込み量）を調整することができる。以下、加工具Ｂが板ガラスＡの端面に対して接近・離反する方向を「切り込み方向」という。切り込み方向Ｄにおいて、加工具Ｂが板ガラスＡの端面に近づく方向を「切り込み方向前方」といい、加工具Ｂが板ガラスＡの端面から離れる方向を「切り込み方向後方」という。

　図１乃至図７は、本発明に係る板ガラス加工装置の第一実施形態を示す。図１乃至図３に示すように、板ガラス加工装置１は、加工具Ｂを駆動する回転駆動装置２と、板ガラスＡの端面を押圧する方向に加工具Ｂを移動させるサーボ機構３と、回転駆動装置２及びサーボ機構３の制御を実行する制御装置４と、を備える。

　回転駆動装置２は、加工具Ｂとしての砥石を、回転軸を中心に回転させる電動モータである。電動モータには、同期モータ、インダクションモータ、又はサーボモータ等が使用され得るが、これに限定されるものではない。回転駆動装置２は、制御装置４に接続されており、その始動、停止、回転速度等が制御され得る。

　図１乃至図４に示すように、サーボ機構３は、加工具Ｂ及び回転駆動装置２を支持する支持部材５と、支持部材５を切り込み方向Ｄに沿って直線的に案内するガイド機構６ａ，６ｂと、支持部材５を駆動するコアレスリニアモータ７と、加工具Ｂの位置を検出する検出器８と、コアレスリニアモータ７の制御を実行する制御部９（サーボアンプ、ドライバ）と、ガイド機構６ａ，６ｂ及びコアレスリニアモータ７を支持する基台１０と、を備える。サーボ機構３は、検出器８及び制御部９によりコアレスリニアモータ７のフィードバック制御を実行する。

　支持部材５は、長尺状の板部材により構成されるが、この形状に限定されず、ブロック状その他の各種形状により構成され得る。支持部材５は、加工具Ｂの下方に配置されていえる。支持部材５は、その上面において回転駆動装置２及び検出器８を支持している。また、支持部材５は、その下面においてコアレスリニアモータ７の一部を支持している。支持部材５の下面は、ガイド機構６ａ，６ｂに固定されている。ガイド機構６ａ，６ｂに支持されることで、支持部材５は、切り込み方向Ｄに沿う直線的な移動が可能となる。

　ガイド機構６ａ，６ｂは、支持部材５の下方に配置されている。ガイド機構６ａ，６ｂは、例えばクロスローラガイド等により構成されるリニアガイド機構である。ガイド機構６ａ，６ｂは、第一ガイド機構６ａと、第二ガイド機構６ｂとを含む。第一ガイド機構６ａ及び第二ガイド機構６ｂは、送り方向Ｃにおいて間隔をあけて配置されている。図１及び図２に示すように、送り方向Ｃにおける第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間隔Ｓ１は、送り方向Ｃにおけるコアレスリニアモータ７の幅寸法Ｗ１以上とされている。

　各ガイド機構６ａ，６ｂは、可動部１１と、可動部１１を移動可能に支持する基部１２とを備える。可動部１１は、支持部材５の下面に固定されている。基部１２は、基台１０に固定されている。基部１２は、図示しないクロスローラを介して可動部１１を切り込み方向Ｄに沿って移動可能に支持している。

　コアレスリニアモータ７は、支持部材５の下方に配置されている。コアレスリニアモータ７は、ガイド機構６ａ，６ｂよりも切り込み方向後方ＤＢに配置されている。これにより、冷却又は洗浄のための液体が加工具Ｂに使用される場合であっても、この液体がコアレスリニアモータ７に付着することを防止できる。また、コアレスリニアモータ７は、送り方向Ｃ又は正面視（図２参照）において、第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間に位置する。

　コアレスリニアモータ７は、固定子１３と、可動子１４とを備える。

　固定子１３は、基台１０に固定されている。固定子１３は、複数の磁石１５と、磁石１５を支持する取付座１６とを備える。取付座１６は、上下方向に間隔をおいて配置される一対の支持部１６ａ，１６ｂと、第一支持部１６ａ及び第二支持部１６ｂを連結する連結部１６ｃと、を備える。

　一対の支持部１６ａ，１６ｂは、水平方向に沿って連結部１６ｃから同方向に向けて突出している。一対の支持部１６ａ，１６ｂは、各々複数の磁石１５を支持している。連結部１６ｃは、一対の支持部１６ａ，１６ｂを上下方向に離間させた状態で支持している。

　一対の支持部１６ａ，１６ｂは、上方に位置する第一支持部１６ａと、下方に位置する第二支持部１６ｂとを含む。第一支持部１６ａと第二支持部１６ｂとの間には、可動子１４が挿入される溝部が形成されている。溝部は、水平方向に開口し、かつ切り込み方向Ｄに沿って延びている。

　第一支持部１６ａは、支持部材５に接触することなく、この支持部材５の下方に位置する。第二支持部１６ｂは、基台１０に固定されている。各支持部１６ａ，１６ｂは、切り込み方向Ｄにおいて隣り合う磁石１５の極性が相互に異なるように、複数の磁石１５を支持している。すなわち、各支持部１６ａ，１６ｂに支持される複数の磁石１５は、切り込み方向Ｄにおいて、Ｎ極の磁石１５とＳ極の磁石１５とが交互に並ぶように配列されている。

　第一支持部１６ａに支持される磁石１５と、第二支持部１６ｂに支持される磁石１５は、上下方向において対向している。各支持部１６ａ，１６ｂは、上下方向において対向する磁石１５の極性が異なるように、複数の磁石１５を支持している。すなわち、例えば第一支持部１６ａに支持されるＮ極の磁石１５は、第二支持部１６ｂに支持されるＳ極の磁石１５と対向する。

　可動子１４は、固定子１３の溝部に挿入される電機子巻線１４ａと、電機子巻線１４ａを保持する保持部１４ｂとを備える。

　電機子巻線１４ａは、複数のコイルを有するとともにモールド樹脂により被覆されている。保持部１４ｂは、電機子巻線１４ａを固定子１３の溝部に挿入した状態で、溝部の外側において、この電機子巻線１４ａの一端部を保持する。保持部１４ｂの上端部は、支持部材５の下面に固定されている。このように電機子巻線１４ａは、鉄心（コア）にコイルを巻回することなく構成されるため、コアと磁石の吸引により動作抵抗が上がったり、コギングが発生したりすることも抑制できる。

　検出器８は、例えばリニアエンコーダにより構成される。本実施形態では、検出器８として磁気式のリニアエンコーダを例示するが、光学式のリニアエンコーダ等を用いてもよい。図１乃至図３に示すように、検出器８は、支持部材５の上面に固定される磁気センサ１７と、支持部材５の近傍位置に配される構造物に固定される磁気スケール１８と、を備える。検出器８は、支持部材５の移動に伴って、磁気センサ１７が磁気スケール１８に対する位置を読み取ることにより、切り込み方向Ｄにおける加工具Ｂの位置を検出することができる。

　制御部９は、検出器８及び制御装置４に接続されており、検出器８からの信号を、制御装置４に送信し得る。図４に示すように、制御部９は、速度押圧力・位置制御部１９と、電力変換部２０とを備える。

　速度押圧力・位置制御部１９は、切り込み方向Ｄにおける加工具Ｂの移動速度（以下、単に「速度」と記載する）及び／又は押圧力を一定に維持するための制御を実行する。すなわち、速度押圧力・位置制御部１９では、検出器８及び電力変換部２０によって検出される加工具Ｂの速度及び押圧力を一定に維持するための目標値（参照値）が設定されており、この目標値を維持するためのフィードバック制御（以下「速度押圧力制御モード」という）が実行される。なお、本実施形態における速度の目標値は０に設定されている。また、押圧力は、加工具Ｂが送り方向Ｃに沿って移動する速度、加工具Ｂの板ガラスＡに対する加工代、加工具Ｂの回転速度等から演算により求められる。

　この速度押圧力制御モードは、加工具Ｂの速度制御と押圧力制御との両方を使い分けながら複合的に実行されるものである。また、速度押圧力制御モードには、制御開始時に加工具Ｂの速度制御（以下「速度制御モード」という）を実行し、その後、加工具Ｂの押圧力制御（以下「押圧力制御モード」という）を実行する制御モードも含まれる。なお、速度押圧力・位置制御部１９では、加工具Ｂの速度を一定に維持する速度制御モードのみを実行でき、または加工具Ｂの押圧力を一定に維持する押圧力制御モードのみを実行できる。

　また、速度押圧力・位置制御部１９では、加工具Ｂの位置を一定に維持するための制御も実行できる。すなわち、速度押圧力・位置制御部１９では、検出器８によって検出される加工具Ｂの位置（支持部材５の位置）の値を一定に維持するための目標値（参照値）を設定し、この目標値を維持するようにフィードバック制御（以下「位置制御モード」という）を実行できる。

　電力変換部２０は、速度押圧力・位置制御部１９から入力された速度、押圧力、位置に係る値を、コアレスリニアモータ７を駆動するための信号に変換する。

　基台１０は、長尺状の板部材により構成されるが、この構成に限定されない。基台１０は、ガイド機構６ａ，６ｂの基部１２及びコアレスリニアモータ７の固定子１３を支持する支持面１０ａを有する。

　制御装置４は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、モニタ、入出力インターフェース等の各種ハードウェアを実装するコンピュータ（例えばＰＣ）を含む。制御装置４は、回転駆動装置２による加工具Ｂの始動、停止及び回転速度の制御を実行する。制御装置４は、サーボ機構３の制御部９からの信号に基づいて、加工具Ｂの切り込み位置、切り込み方向Ｄにおける加工具Ｂの移動速度、及び板ガラスＡの端面に対する加工具Ｂの押圧力等を制御する。

　以下、上記構成の板ガラス加工装置１によって板ガラスＡを加工する方法（板ガラスＡの製造方法）について説明する。

　まず、公知のフロート法、ロールアウト法、ダウンドロー法、リドロー法等の成形法により大型の板ガラスＥを成形する。その後、この板ガラスＥを所定寸法に切断することによって、板ガラス加工装置１の加工対象となる板ガラスＡを得る。この板ガラスＥの切断は、例えばスクライブ切断によって行われる。

　以下、このスクライブ切断について図５を参照しながら説明する。図５に示すように、大型の板ガラスＥの切断予定線ＣＬに沿ってスクライブホイールＦを走行させる。これにより、板ガラスＥには、切断予定線ＣＬに沿って所定深さを有するスクライブ線が形成される。その後、このスクライブ線の周辺に曲げモーメントを作用させ、板ガラスＥをこのスクライブ線に沿って折割る。この折割りによって複数の板ガラスＡを得る。

　次に、板ガラス加工装置１は、板ガラスＡにおける各辺の端面に対して研削加工（面取り加工）を行う。図６（ａ）～（ｅ）は、板ガラス加工装置１による板ガラスＡの研削加工の工程を示す。図６（ａ）は、加工開始直前における加工具Ｂの状態を示す。

　図６（ａ）に示すように、加工開始前の状態では、制御装置４の制御により、図示しないストッパによって加工具Ｂを初期位置に位置決めしている。速度押圧力・位置制御部１９の制御モードは、速度押圧力制御モードに切り替えられている。

　また、制御装置４は、サーボ機構３のコアレスリニアモータ７を駆動し、支持部材５を介して加工具Ｂに切り込み方向前方ＤＦへの力を付与している。また、制御装置４は、回転駆動装置２を駆動して加工具Ｂを回転させている。

　図６（ｂ）は、加工具Ｂが板ガラスＡに接触するときの状態を示す。また、図７は、加工具Ｂが、板ガラスＡに接触した後、所定の距離（以下「初期加工距離」という）Ｌを相対的に移動するまでの間の挙動を示す。なお、この図７では、加工具Ｂの挙動を明確に表示するために、板ガラスＡの端面を平坦面（平面視直線状）として示している。

　板ガラスＡが加工具Ｂに接触する直前に、ストッパによる加工具Ｂの規制が解除される。図６（ｂ）及び図７に示すように、加工具Ｂは設定された押圧力で、板ガラスＡの始端部Ａ１と衝突する。これにより、加工具Ｂは、板ガラスＡから離れようとする。すなわち、加工具Ｂは、切り込み方向後方ＤＢに移動する。この場合において、検出器８と電力変換部２０とにより、速度、位置、押圧力に関する信号を、速度押圧力・位置制御部１９に入力し、この信号に基づいて速度押圧力制御モードが実行される。

　速度押圧力制御モードでは、速度（位置）の変化に応じて、速度制御と押圧力制御の比率が変更される。比率の切り換え具合は、ゲイン設定により変更可能である。また、速度押圧力制御モードでは、速度（位置）の変化が激しい加工開始時の場合には、速度制御比率が大きくなり、板ガラスＡに切り込み方向前方ＤＦへの力を生じさせる。支持部材５は、この力により、加工具Ｂが板ガラスＡから離れようとすることを抑制する力（押圧力）を生じさせる。これにより、加工具Ｂは、板ガラスＡとの接触を維持したままで研削を続行できる。

　上記の制御により、加工具Ｂは、初期加工距離Ｌを移動する間、板ガラスＡの端面から離れることなく、加工代Ｇを確保した状態で端面の加工を行うことができる。これにより、加工開始時において、加工具Ｂが板ガラスＡの端面からの離間と端面に対する接触とを繰り返すバウンド現象が防止される。

　図６（ｃ）に示すように、板ガラスＡの端面の中途部を加工する場合には、上記の速度押圧力制御モードを維持してもよく、あるいは、押圧力制御モードに切り換えて研削加工を行ってもよい。

　サーボ機構３の制御部９は、図６（ｄ）に示すように加工具Ｂが板ガラスＡの終端部Ａ２に近づくと、位置制御モードへと制御モードを切り替える。制御装置４は、この切り替えに必要なトリガ信号を制御部９に送信する。これにより、板ガラス加工装置１は、図６（ｄ）（ｅ）に示すように、板ガラスＡにおける一辺の中途部から板ガラスＡの終端部Ａ２までの範囲で、位置制御モードによる端面の研削加工を行う。

　位置制御モードでは、検出器８によって検出される加工具Ｂの位置（支持部材５の位置）を一定に維持するための目標値（参照値）が設定され、この目標値を維持するためのフィードバック制御が実行される。位置制御モードは、加工具Ｂが板ガラスＡの終端部Ａ２を通過するまでの間、継続して実行される。したがって、この加工具Ｂは、板ガラスＡの終端部Ａ２に到達し、この終端部Ａ２から離れようとする場合であっても、この終端部Ａ２を過度に削り取ることがない。

　上記のような板ガラスＡの端面に対する研削処理が行われた後、板ガラスＡにおける各辺の端面に対して研磨処理が施される。この研磨処理は、研磨用の加工具Ｂ（砥石）を備える板ガラス加工装置１によって行われる。研磨処理が終了すると、板ガラスＡのコーナ部に対して角取り処理が施される。この角取り処理は、板ガラス加工装置１による研削処理の前または同時に行われてもよい。

　以上説明した本実施形態に係る板ガラス加工装置１及び板ガラスＡの製造方法によれば、サーボ機構３は、コアレスリニアモータ７を用いた直動機構により構成されることで、従来のように回動部材であるアーム部材やこのアーム部材を動作させるリンク機構を用いることなく、加工具Ｂを、板ガラスＡの端面を押圧する方向に移動させることができる。コアレスリニアモータ７は、鉄心（コア）にコイルを巻回することなく構成されるため、回動部材やリンク機構を用いる場合と比較して、板ガラス加工装置１の寸法を小さくすることができる。したがって、送り方向Ｃにおける板ガラス加工装置１の幅寸法を可及的に小さくし、板ガラスＡを効率良く加工することが可能となる。

　図８及び図９は、板ガラス加工装置の第二実施形態を示す。本実施形態に係る板ガラス加工装置は、ガイド機構とコアレスリニアモータの位置関係が第一実施形態と異なる。すなわち、板ガラス加工装置１の第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間隔Ｓ２は、第一実施形態における第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間隔Ｓ１よりも小さい。これにより、コアレスリニアモータ７の一部とガイド機構６ａ，６ｂの一部とが送り方向Ｃ又は正面視（図９参照）において重なるように配置されている。

　本実施形態では、第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間隔Ｓ２が小さくなるように、第一ガイド機構６ａ及び第二ガイド機構６ｂを、送り方向Ｃにおいてコアレスリニアモータ７と重ねている。このように、第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間隔Ｓ２を小さくすることで、支持部材５及び基台１０の送り方向Ｃにおける幅寸法を可及的に小さくすることができ、板ガラス加工装置１の全幅も小さくすることが可能となる。

　図１０及び図１１は、板ガラス加工装置の第三実施形態を示す。本実施形態では、板ガラス加工装置におけるサーボ機構のコアレスリニアモータの構成が第一実施形態と異なる。

　コアレスリニアモータ７の固定子１３は、上方に開口する溝部を有する。具体的には、固定子１３の取付座１６は、送り方向Ｃにおいて間隔をあけて配置される一対の支持部１６ａ，１６ｂと、一対の支持部１６ａ，１６ｂを連結する連結部１６ｃと、を備える。一対の支持部１６ａ，１６ｂは、連結部１６ｃから上方に向かって立設されている。連結部１６ｃは、基台１０の支持面１０ａに固定されている。第一支持部１６ａに支持される磁石１５と、第二支持部１６ｂに支持される磁石１５とは、水平方向（送り方向Ｃ）において対向している。

　コアレスリニアモータ７の可動子１４は、上下方向に沿って配される電機子巻線１４ａと、電機子巻線１４ａを保持する保持部１４ｂと備える。上記の第一実施形態では、水平方向に沿うように電機子巻線１４ａを配していたが、本実施形態では電機子巻線１４ａを上下方向に沿って配することで、送り方向Ｃにおけるコアレスリニアモータ７の幅寸法Ｗ２を第一実施形態に係るコアレスリニアモータ７の幅寸法Ｗ１よりも小さくすることが可能となる。

　図１２及び図１３は、板ガラス加工装置の第四実施形態を示す。本実施形態では、板ガラス加工装置におけるサーボ機構のガイド機構とコアレスリニアモータの位置関係が第三実施形態と異なる。

　本実施形態に係る板ガラス加工装置１の第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂの送り方向Ｃにおける間隔Ｓ２は、第三実施形態における第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間隔Ｓ１よりも小さい。すなわち、板ガラス加工装置１は、第一ガイド機構６ａの一部及び第二ガイド機構６ｂの一部が、第三実施形態と同じ構成を有するコアレスリニアモータ７の一部と送り方向Ｃ又は正面視（図１３参照）において重なるように配置されている。

　図１４及び図１５は、板ガラス加工装置の第五実施形態を示す。本実施形態では、サーボ機構のガイド機構とコアレスリニアモータの位置関係が第二実施形態と異なる。

　第二実施形態に係る板ガラス加工装置１では、送り方向Ｃ又は正面視において、コアレスリニアモータ７が第一ガイド機構６ａ及び第二ガイド機構６ｂの両方と重なっていたが、本実施形態に係る板ガラス加工装置１では、コアレスリニアモータ７は、第一ガイド機構６ａのみと重なっており、第二ガイド機構６ｂと重なっていない。

　具体的には、図１４に示すように、コアレスリニアモータ７は、第一ガイド機構６ａと第二ガイド機構６ｂとの間に引かれた中心線Ｏ１に対して、第一ガイド機構６ａ寄りにずれて配置されている。

　上記の構成に限らず、コアレスリニアモータ７は、第二ガイド機構６ｂのみに重なるように配置されてもよい。また、本実施形態に係る板ガラス加工装置１の構成は、第四実施形態の板ガラス加工装置にも適用可能である。

　図１６及び図１７は、板ガラス加工装置の第六実施形態を示す。本実施形態では、第一実施形態の板ガラス加工装置を上下反転させた構成となっている。

　具体的には、板ガラス加工装置１のサーボ機構３は、加工具Ｂの上方に位置する。サーボ機構３の支持部材５は、その下面において回転駆動装置２及び検出器８（磁気センサ１７）を支持している。支持部材５は、その上面においてコアレスリニアモータ７の可動子１４を支持している。支持部材５の上面は、ガイド機構６ａ，６ｂに固定されている。

　サーボ機構３のガイド機構６ａ，６ｂは、支持部材５の上方に配置されている。ガイド機構６ａ，６ｂの可動部１１は、支持部材５の上面に固定されている。ガイド機構６ａ，６ｂの基部１２は、支持部材５の上方に位置する基台１０に固定されている。

　サーボ機構３のコアレスリニアモータ７は、支持部材５の上方に配置されている。このコアレスリニアモータ７における固定子１３では、第一支持部１６ａが下方に位置し、第二支持部１６ｂが上方に位置している。コアレスリニアモータ７の可動子１４（保持部１４ｂ）は、支持部材５の上面から上方に向かって突出している。

　サーボ機構３における基台１０の支持面１０ａは下方に面しており、コアレスリニアモータ７の固定子１３（第二支持部１６ｂ）を支持している。

　本実施形態の構成に限らず、本発明は、第二実施形態乃至第五実施形態に係る板ガラス加工装置を上下反転させた構成を採用してもよい。

　なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　１　　　　　　板ガラス加工装置
　３　　　　　　サーボ機構
　５　　　　　　支持部材
　６ａ　　　　　第一ガイド機構
　６ｂ　　　　　第二ガイド機構
　７　　　　　　コアレスリニアモータ
　Ａ　　　　　　板ガラス
　Ｂ　　　　　　加工具
　Ｃ　　　　　　送り方向
　Ｄ　　　　　　切り込み方向

Claims

　板ガラスと加工具とを相対的に移動させることで前記板ガラスの端面を加工する板ガラス加工装置であって、
　前記加工具を、前記板ガラスの前記端面を押圧する方向に移動させるサーボ機構を備え、
　前記サーボ機構は、コアレスリニアモータを備えることを特徴とする板ガラス加工装置。
　前記サーボ機構は、前記加工具を、前記板ガラスの前記端面に沿った方向である送り方向に交差する切り込み方向に沿って直線的に移動させる請求項１に記載の板ガラス加工装置。
　前記サーボ機構は、前記加工具を支持するとともに前記コアレスリニアモータによって駆動される支持部材と、前記支持部材を直線的に案内するガイド機構と、を備え、
　前記コアレスリニアモータと前記ガイド機構とが前記送り方向において重なるように配置される請求項２に記載の板ガラス加工装置。
　前記コアレスリニアモータは、前記支持部材の下方に配置される請求項３に記載の板ガラス加工装置。
　請求項１から４のいずれか一項に記載の板ガラス加工装置により前記板ガラスの前記端面を加工する工程を備えることを特徴とする板ガラスの製造方法。