JP4854357B2 - 転写装置および転写方法 - Google Patents
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Description
7 型保持体
13、19 リニアモータ
23 制御装置
25 ロードセル
Claims (4)
- 転写用の型を基板テーブルに対向させて保持可能であると共に、前記基板テーブルに対し接近・離反する方向で相対的に移動自在な型保持体と;
基板を前記型保持体に対向させて保持可能であると共に、前記型保持体の接近・離反方向に対して交差する方向で前記型保持体に対し相対的に移動自在な前記基板テーブルと;
前記型保持体を前記接近・離反する方向で相対的に移動するための型保持体駆動手段と;
前記基板テーブルを前記交差する方向で相対的に移動するための基板テーブル駆動手段と;
前記基板テーブル駆動手段で所定の位置に移動位置決めされた前記基板テーブルに前記型保持体を接近させて前記型で前記基板を押圧するときに、この押圧力で前記基板テーブルが前記所定の位置から前記交差する方向で変位するように、前記基板テーブル駆動手段による保持力を低減するべく前記基板テーブル駆動手段を制御する制御手段と;
を有することを特徴とする転写装置。 - 転写用の型を基板テーブルに対向させて保持可能であると共に、前記基板テーブルに対し接近・離反する方向で相対的に移動自在な型保持体と;
基板を前記型保持体に対向させて保持可能であると共に、前記型保持体の接近・離反方向に対して交差する方向で前記型保持体に対し相対的に移動自在な前記基板テーブルと;
前記型保持体を前記接近・離反する方向で相対的に移動するための型保持体駆動手段と;
前記基板テーブルを前記交差する方向で相対的に移動するためのサーボモータと;
前記サーボモータで相対的に移動する前記基板テーブルの位置を検出する基板テーブル位置検出手段と;
前記サーボモータで前記基板テーブルを相対的に所定の位置に移動位置決め可能であると共に、前記所定の位置に移動位置決めされた前記基板テーブルに前記型保持体を相対的に接近させて前記型で前記基板を押圧するときに変化する前記基板テーブルの位置を、前記基板テーブル位置検出手段で検出し、この検出値が目標値になるように前記サーボモータを制御して前記基板テーブルを相対的に移動位置決めする制御手段と;
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項2に記載の転写装置において、
前記型で前記基板を押圧するときの押圧力を検出する押圧力検出手段を有し、
前記制御手段は、前記押圧力検出手段の検出結果に応じて、前記サーボモータを制御し、前記基板テーブルの相対的な移動位置決めをする手段であることを特徴とする転写装置。 - 転写用の型を基板テーブルに対向させて型保持体で保持する工程と;
基板を前記型保持体に対向させて前記基板テーブルで保持する工程と;
前記型の転写パターンを前記基板の所定の位置へ転写するために、サーボモータを用いて前記基板テーブルを前記型保持体に対して所定の位置に位置決めする工程と;
前記型の転写パターンを前記基板の所定の位置へ転写すべく前記型で前記基板を押圧する工程と;
を有し、前記押圧をしているときに、前記サーボモータによる前記基板テーブルの保持力を低減することを特徴とする転写方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006085225A JP4854357B2 (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 転写装置および転写方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006085225A JP4854357B2 (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 転写装置および転写方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007260791A JP2007260791A (ja) | 2007-10-11 |
JP4854357B2 true JP4854357B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=38634294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006085225A Active JP4854357B2 (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 転写装置および転写方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4854357B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103958149A (zh) * | 2012-10-15 | 2014-07-30 | 夏普株式会社 | 成型装置、成型装置单元以及成形方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1333115C (zh) * | 2004-05-11 | 2007-08-22 | 上海卡姆丹克半导体有限公司 | 一种拉制硅单晶工艺方法 |
JP6497849B2 (ja) * | 2014-04-15 | 2019-04-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
US10495989B2 (en) | 2015-02-12 | 2019-12-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004034300A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Elionix Kk | 微小型押成形装置 |
JP3783054B2 (ja) * | 2002-10-24 | 2006-06-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | アクティブダブルジョイント式加圧機構 |
JP2005101201A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Canon Inc | ナノインプリント装置 |
-
2006
- 2006-03-27 JP JP2006085225A patent/JP4854357B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103958149A (zh) * | 2012-10-15 | 2014-07-30 | 夏普株式会社 | 成型装置、成型装置单元以及成形方法 |
CN103958149B (zh) * | 2012-10-15 | 2015-07-08 | 夏普株式会社 | 成型装置、成型装置单元以及成形方法 |
US9987774B2 (en) | 2012-10-15 | 2018-06-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Molding apparatus, molding apparatus unit, and molding method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007260791A (ja) | 2007-10-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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