WO2021220762A1 - レーザ加工ヘッド及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Definitions
- the present disclosure relates to a laser processing head and a laser processing apparatus.
- a laser light source that outputs a laser beam containing a plurality of wavelength components, an optical fiber connected to the laser light source, and a laser processing head that irradiates a processing object with the laser light transmitted by the optical fiber are provided.
- a laser processing apparatus is known (see, for example, Patent Document 1).
- the output of the laser beam for processing may fluctuate due to deterioration of the optical system of the laser light source, optical axis deviation, and the like. Therefore, the inventor of the present application has considered detecting the diffused light from the lens constituting the optical system of the laser processing head in order to confirm the fluctuation of the output of the laser beam.
- the present disclosure has been made in view of this point, and an object thereof is to enable accurate detection of fluctuations in the output of laser light including different wavelengths while suppressing costs.
- the first invention is a laser processing head that emits laser light, and the laser light includes a first laser light having a first wavelength and a second laser light having a second wavelength.
- a transmission fiber that transmits the A detection unit for detecting diffused light diffused from at least one of the lenses is provided, and an AR coat is provided on at least one of the collimator lens and the focus lens, and the AR coat reflects the first laser beam.
- the first reflectance is higher than the second reflectance that reflects the second laser light
- the detection unit receives the second laser light with the first light receiving sensitivity of receiving the first laser light. It is lower than the second light receiving sensitivity.
- an AR coat is provided on at least one of the collimator lens and the focus lens, and diffused light is diffused.
- the first reflectance is higher than the second reflectance.
- Diffused light is detected in the detection unit.
- the first light receiving sensitivity is lower than the second light receiving sensitivity.
- the first reflectance and the second reflectance are increased by making the first reflectance higher than the second reflectance, that is, making the second reflectance lower than the first reflectance.
- the cost can be reduced compared to the case where both are lowered.
- the incident amount of the diffused light on the detection unit is such that the diffused light of the first wavelength is larger than the diffused light of the second wavelength. Therefore, by lowering the first light receiving sensitivity of the detection unit to be lower than the second light receiving sensitivity, it is possible to accurately detect fluctuations in the total power of the laser beam including the first wavelength and the second wavelength.
- the first light receiving sensitivity when the first reflectance is a, the first light receiving sensitivity is 1 / a, and when the second reflectance is b, the second light receiving sensitivity is It is 1 / b.
- the first light receiving sensitivity is set to 1 / a when the first reflectance is a
- the second light receiving sensitivity is set to 1 / b when the second reflectance is b.
- the output of the second laser beam is higher than the output of the first laser beam.
- the output of the second laser beam is higher than the output of the first laser beam.
- the first reflectance of the first laser beam is higher than the second reflectance of the second laser beam.
- the fourth invention is connected to the laser processing head according to any one of the first to third inventions and the incident end of the transmission fiber, and oscillates laser light including the first wavelength and the second wavelength. It is a laser processing apparatus including a laser oscillator and a control unit that controls the output of the laser oscillator based on the detection value of the detection unit.
- the laser beam oscillated by the laser oscillator is incident on the laser processing head according to any one of the first to third inventions via a transmission fiber to obtain a laser processing apparatus. I am trying to configure it.
- the control unit controls the output of the laser oscillator based on the detection value of the detection unit.
- the output of the laser beam can be corrected by increasing the output of the laser oscillator.
- the fifth invention includes, in the fourth invention, a notification unit that performs a predetermined notification operation based on the detection value of the detection unit.
- the notification unit performs a predetermined notification operation based on the detection value of the detection unit. For example, when the detected value is smaller than a predetermined threshold value, it is determined that the output of the laser beam has decreased, and a notification operation such as sounding an alarm buzzer, turning on an alarm lamp, or displaying an alarm message is performed. ing.
- FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a laser processing apparatus according to the present embodiment.
- FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a laser processing head.
- FIG. 3 is a graph showing the relationship between the wavelength of the laser beam and the reflectance of the AR coat.
- FIG. 4 is a graph showing the relationship between the wavelength of the laser beam and the light receiving sensitivity of the detection unit.
- FIG. 5 is a graph showing the time change of the output energy of the laser beam.
- the laser processing apparatus 1 includes a laser oscillator 10, a transmission fiber 15, a laser processing head 20, a robot 16, and a control unit 30.
- the laser oscillator 10 is connected to the incident end of the transmission fiber 15.
- the laser oscillator 10 includes a first laser module 11, a second laser module 12, and a beam coupler 13.
- the first laser module 11 oscillates the first laser beam LB1 having the first wavelength.
- the first laser beam LB1 is, for example, a blue laser beam.
- the first laser beam LB1 is incident on the beam coupler 13.
- the second laser module 12 oscillates the second laser beam LB2 of the second wavelength.
- the output of the second laser beam LB2 is higher than the output of the first laser beam LB1.
- the second laser beam LB2 is, for example, an infrared laser beam.
- the second laser beam LB2 is incident on the beam coupler 13.
- the beam coupler 13 combines the first laser light LB1 and the second laser light LB2 into one laser light LB.
- the laser beam LB coupled by the beam coupler 13 is focused by a condenser lens (not shown) and then incident on the transmission fiber 15.
- the laser oscillator 10 for example, a solid-state laser light source, a gas laser light source, or a fiber laser light source can be used. Further, the laser oscillator 10 may be a semiconductor laser light source that directly uses the light emitted from the semiconductor laser, or a semiconductor laser array including a plurality of laser light emitters.
- the laser processing head 20 is connected to the exit end of the transmission fiber 15.
- the laser beam LB emitted from the laser oscillator 10 is transmitted to the laser processing head 20 via the transmission fiber 15.
- the laser processing head 20 is attached to the robot 16.
- the laser processing head 20 can change the emission position and the focal position of the laser beam LB with respect to the work W by operating the robot 16.
- a laser oscillator 10, a laser machining head 20, and a robot 16 are connected to the control unit 30.
- the control unit 30 controls, in addition to the moving speed of the laser processing head 20, the output start and stop of the laser beam LB, the output intensity of the laser beam LB, and the like.
- a notification unit 35 is connected to the control unit 30.
- the notification unit 35 performs predetermined notification operations such as sounding an alarm buzzer, turning on an alarm lamp, and displaying an alarm message.
- the control unit 30 has a determination unit 31. As will be described in detail later, the determination unit 31 determines the fluctuation of the output of the laser machining head 20.
- the laser processing head 20 includes a collimator lens 21, a focus lens 22, and a detection unit 25.
- the collimator lens 21 parallelizes the laser beam LB emitted from the emission end of the transmission fiber 15.
- the focus lens 22 collects the laser beam LB parallelized by the collimator lens 21.
- the laser beam LB focused by the focus lens 22 is emitted to the work W.
- a part of the laser beam LB is diffused when it passes through the collimator lens 21 and the focus lens 22.
- the detection unit 25 detects the diffused light DL diffused by the collimator lens 21 and the focus lens 22.
- the detection unit 25 has a first light receiving sensitivity that receives the first laser light LB1 lower than a second light receiving sensitivity that receives the second laser light LB2.
- the detected value of the detection unit 25 is sent to the control unit 30.
- the collimator lens 21 and the focus lens 22 are provided with an AR coat 23.
- the first reflectance a that reflects the first laser beam LB1 is higher than the second reflectance b that reflects the second laser beam LB2 (see FIG. 3).
- the first reflectance a is made higher than the second reflectance b, that is, the second reflectance b is made lower than the first reflectance a.
- the cost can be suppressed.
- the incident amount of the diffused light DL on the detection unit 25 is such that the diffused light DL of the first wavelength is larger than the diffused light DL of the second wavelength. More.
- the first light receiving sensitivity of the detection unit 25 it is possible to accurately detect fluctuations in the total power of the laser beam LB including the first wavelength and the second wavelength.
- the first reflectance of the AR coat 23 is a
- the first light receiving sensitivity of the detection unit 25 is set to 1 / a.
- the second reflectance of the AR coat 23 is b
- the second light receiving sensitivity of the detection unit 25 is set to 1 / b (see FIG. 4).
- the output of the second laser light LB2 is higher than the output of the first laser light LB1.
- the first reflectance a of the first laser beam LB1 is higher than the second reflectance b of the second laser beam LB2.
- the low-power first laser light LB1 is incident on the detection unit 25 more than the high-power second laser light LB2, and the load on the detection unit 25 can be reduced.
- the control unit 30 controls the output of the laser oscillator 10 based on the detection value of the detection unit 25. Specifically, the control unit 30 has a determination unit 31. The determination unit 31 determines the fluctuation of the output of the laser machining head 20.
- the determination unit 31 determines whether the energy of the diffused light DL detected by the detection unit 25 is smaller than a predetermined threshold value.
- the determination unit 31 determines that the laser oscillator 10 has an abnormality when the energy of the diffused light DL becomes smaller than the threshold value.
- control unit 30 corrects the output of the laser beam LB by increasing the output of the laser oscillator 10 based on the determination result of the determination unit 31.
- the notification unit 35 performs a predetermined notification operation indicating an abnormality of the laser oscillator 10 based on the determination result of the determination unit 31 (see FIG. 1). For example, when the detection value of the detection unit 25 is smaller than a predetermined threshold value, it is determined that the output of the laser beam LB has decreased, and an alarm buzzer is sounded, an alarm lamp is turned on, an alarm message is displayed, or the like. I am trying to do the operation.
- the operator can determine the maintenance time of the laser processing apparatus 1 based on the predetermined notification operation.
- the embodiment may have the following configuration.
- the detection unit 25 detects the diffused light DL diffused from both the collimator lens 21 and the focus lens 22, but the present embodiment is not limited to this embodiment.
- the detection unit 25 may detect the diffused light DL diffused from either the collimator lens 21 or the focus lens 22.
- the present disclosure is extremely useful and industrial because it has a highly practical effect of being able to accurately detect fluctuations in the output of laser light containing different wavelengths while suppressing costs.
- the above availability is high.
- Laser processing equipment 10
- Laser oscillator 15
- Transmission fiber 20
- Laser processing head 21
- Collimeter lens 22
- Focus lens 23
- AR coat 25
- Detection unit 30
- Control unit 35
- Notification unit DL
- Diffuse light LB
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Abstract
コリメータレンズ(21)及びフォーカスレンズ(22)には、ARコート(23)が設けられている。ARコート(23)では、第1レーザ光を反射する第1反射率が、第2レーザ光を反射する第2反射率よりも高くなっている。検出部(25)は、コリメータレンズ(21)及びフォーカスレンズ(22)で拡散された拡散光(DL)を検出する。検出部(25)では、第1レーザ光を受光する第1受光感度が、第2レーザ光を受光する第2受光感度よりも低くなっている。
Description
本開示は、レーザ加工ヘッド及びレーザ加工装置に関するものである。
従来より、複数の波長成分を含むレーザ光を出力するレーザ光源と、レーザ光源に接続された光ファイバと、光ファイバで伝送されたレーザ光を加工対象物に照射するレーザ加工ヘッドとを備えたレーザ加工装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、レーザ光源の光学系の劣化や光軸ずれ等により、加工用のレーザ光の出力が変動することがある。そこで、本願発明者は、レーザ光の出力の変動を確認するために、レーザ加工ヘッドの光学系を構成するレンズからの拡散光を検出することを考えた。
しかしながら、例えば、赤外レーザ光と青色レーザ光のように、波長が大きく異なるレーザ光の拡散光を検出するためには、赤外レーザ光の受光感度が最大となるように設計されたセンサと、青色レーザ光の受光感度が最大となるように設計されたセンサとを別々に設ける必要があり、コストが増大する。
また、赤外レーザ光及び青色レーザ光を含むレーザ光を光学系のレンズに透過させるのにあたって、赤外レーザ光及び青色レーザ光の両方の反射率が低いARコートをレンズに設けようとすると、コストが増大する。
本開示は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、コストを抑えつつ、互いに異なる波長を含むレーザ光の出力の変動を精度良く検出できるようにすることにある。
第1の発明は、レーザ光を出射するレーザ加工ヘッドであって、前記レーザ光は、第1波長の第1レーザ光と、第2波長の第2レーザ光とを含んでおり、前記レーザ光を伝送する伝送ファイバと、前記伝送ファイバで伝送された前記レーザ光を平行化するコリメータレンズと、前記コリメータレンズで平行化された前記レーザ光を集光するフォーカスレンズと、前記コリメータレンズ及び前記フォーカスレンズの少なくとも一方から拡散される拡散光を検出する検出部とを備え、前記コリメータレンズ及び前記フォーカスレンズの少なくとも一方には、ARコートが設けられ、前記ARコートは、前記第1レーザ光を反射する第1反射率が、前記第2レーザ光を反射する第2反射率よりも高く、前記検出部は、前記第1レーザ光を受光する第1受光感度が、前記第2レーザ光を受光する第2受光感度よりも低い。
第1の発明では、コリメータレンズ及びフォーカスレンズの少なくとも一方にARコートが設けられ、拡散光が拡散される。ARコートにおいて、第1反射率が第2反射率よりも高くなっている。検出部では、拡散光が検出される。検出部において、第1受光感度が第2受光感度よりも低くなっている。
このように、ARコートにおいて、第1反射率を第2反射率よりも高くする、つまり、第2反射率を第1反射率よりも低くすることで、第1反射率及び第2反射率を両方とも低くする場合に比べて、コストを抑えることができる。
ここで、第1反射率が第2反射率よりも高いことから、検出部への拡散光の入射量は、第1波長の拡散光が第2波長の拡散光よりも多くなる。そこで、検出部の第1受光感度を第2受光感度よりも低くすることで、第1波長及び第2波長を含むレーザ光のトータルパワーの変動を精度良く検出することができる。
第2の発明は、第1の発明において、前記第1反射率がaのとき、前記第1受光感度が1/aであり、前記第2反射率がbのとき、前記第2受光感度が1/bである。
第2の発明では、第1反射率がaのときに第1受光感度を1/aとし、第2反射率がbのときに第2受光感度を1/bとしている。このように、レーザ光の反射率が高くなるほど、検出部の受光感度が低くなるように設定することで、レーザ光のトータルパワーの変動を精度良く検出することができる。
第3の発明は、第1又は2の発明において、前記第2レーザ光の出力は、前記第1レーザ光の出力よりも高い。
第3の発明では、第2レーザ光の出力が第1レーザ光の出力よりも高くなっている。ここで、ARコートでは、第1レーザ光の第1反射率が第2レーザ光の第2反射率よりも高い。これにより、低出力な第1レーザ光が、高出力な第2レーザ光よりも検出部に多く入射されることとなり、検出部の負荷を小さくすることができる。
第4の発明は、第1乃至3の発明のうち何れか1つに記載のレーザ加工ヘッドと、前記伝送ファイバの入射端に接続され、第1波長及び第2波長を含むレーザ光を発振するレーザ発振器と、前記検出部の検出値に基づいて、前記レーザ発振器の出力を制御する制御部とを備えた、レーザ加工装置である。
第4の発明では、レーザ発振器で発振したレーザ光を、伝送ファイバを介して、第1乃至第3の発明のうち何れか1つに記載のレーザ加工ヘッドに入射することで、レーザ加工装置を構成するようにしている。制御部では、検出部の検出値に基づいてレーザ発振器の出力を制御している。
これにより、例えば、検出値が所定の閾値よりも小さい場合に、レーザ発振器の出力を上げることで、レーザ光の出力を補正することができる。
第5の発明は、第4の発明において、前記検出部の検出値に基づいて、所定の報知動作を行う報知部を備えている。
第5の発明では、報知部では、検出部の検出値に基づいて所定の報知動作が行われる。例えば、検出値が所定の閾値よりも小さい場合に、レーザ光の出力が低下したと判断して、警報ブザーを鳴らす、警報ランプを点灯させる、警報メッセージを表示する等の報知動作を行うようにしている。
これにより、作業者は、所定の報知動作に基づいて、レーザ加工装置のメンテナンス時期を判断することができる。
本開示によれば、互いに異なる波長を含むレーザ光の出力の変動を精度良く検出することができる。
以下、本開示の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
〈レーザ加工装置の構成〉
図1に示すように、レーザ加工装置1は、レーザ発振器10と、伝送ファイバ15と、レーザ加工ヘッド20と、ロボット16と、制御部30とを備えている。
図1に示すように、レーザ加工装置1は、レーザ発振器10と、伝送ファイバ15と、レーザ加工ヘッド20と、ロボット16と、制御部30とを備えている。
レーザ発振器10は、伝送ファイバ15の入射端に接続されている。レーザ発振器10は、第1レーザモジュール11と、第2レーザモジュール12と、ビーム結合器13とを有する。
第1レーザモジュール11は、第1波長の第1レーザ光LB1を発振する。第1レーザ光LB1は、例えば、青色レーザ光である。第1レーザ光LB1は、ビーム結合器13に入射される。
第2レーザモジュール12は、第2波長の第2レーザ光LB2を発振する。第2レーザ光LB2の出力は、第1レーザ光LB1の出力よりも高くなっている。第2レーザ光LB2は、例えば、赤外レーザ光である。第2レーザ光LB2は、ビーム結合器13に入射される。
ビーム結合器13は、第1レーザ光LB1及び第2レーザ光LB2を1つのレーザ光LBに結合する。ビーム結合器13で結合されたレーザ光LBは、図示しない集光レンズで集光された後、伝送ファイバ15に入射される。
レーザ発振器10は、例えば、固体レーザ光源、気体レーザ光源、ファイバレーザ光源を用いることができる。また、レーザ発振器10は、半導体レーザからの出射光を直接に用いる半導体レーザ光源や、複数のレーザ光エミッタを備える半導体レーザアレイであってもよい。
レーザ加工ヘッド20は、伝送ファイバ15の出射端に接続されている。レーザ発振器10から出射されたレーザ光LBは、伝送ファイバ15を介してレーザ加工ヘッド20に伝送される。
レーザ加工ヘッド20は、ロボット16に取り付けられている。レーザ加工ヘッド20は、ロボット16を動作させることで、ワークWに対するレーザ光LBの出射位置及び焦点位置を変更可能となっている。
制御部30には、レーザ発振器10、レーザ加工ヘッド20、及びロボット16が接続されている。制御部30は、レーザ加工ヘッド20の移動速度の他に、レーザ光LBの出力開始や停止、レーザ光LBの出力強度などを制御する。
制御部30には、報知部35が接続されている。報知部35では、例えば、警報ブザーを鳴らす、警報ランプを点灯させる、警報メッセージを表示する等の所定の報知動作が行われる。
制御部30は、判定部31を有する。詳しくは後述するが、判定部31は、レーザ加工ヘッド20の出力の変動を判定する。
〈レーザ加工ヘッドの構成〉
図2に示すように、レーザ加工ヘッド20は、コリメータレンズ21と、フォーカスレンズ22と、検出部25とを有する。
図2に示すように、レーザ加工ヘッド20は、コリメータレンズ21と、フォーカスレンズ22と、検出部25とを有する。
コリメータレンズ21は、伝送ファイバ15の出射端から出射されたレーザ光LBを平行化する。
フォーカスレンズ22は、コリメータレンズ21で平行化されたレーザ光LBを集光する。フォーカスレンズ22で集光されたレーザ光LBは、ワークWに出射される。
レーザ光LBは、コリメータレンズ21及びフォーカスレンズ22を透過する際に、その一部が拡散される。
検出部25は、コリメータレンズ21及びフォーカスレンズ22で拡散された拡散光DLを検出する。検出部25は、第1レーザ光LB1を受光する第1受光感度が、第2レーザ光LB2を受光する第2受光感度よりも低くなっている。検出部25の検出値は、制御部30に送られる。
コリメータレンズ21及びフォーカスレンズ22には、ARコート23が設けられている。ARコート23は、第1レーザ光LB1を反射する第1反射率aが、第2レーザ光LB2を反射する第2反射率bよりも高くなっている(図3参照)。
このように、ARコート23において、第1反射率aを第2反射率bよりも高くする、つまり、第2反射率bを第1反射率aよりも低くすることで、第1反射率a及び第2反射率bを両方とも低くする場合に比べて、コストを抑えることができる。
ここで、第1反射率aが第2反射率bよりも高いことから、検出部25への拡散光DLの入射量は、第1波長の拡散光DLが第2波長の拡散光DLよりも多くなる。
そこで、検出部25の第1受光感度を第2受光感度よりも低くすることで、第1波長及び第2波長を含むレーザ光LBのトータルパワーの変動を精度良く検出できるようにしている。
具体的に、ARコート23の第1反射率がaのときに、検出部25の第1受光感度を1/aとしている。また、ARコート23の第2反射率がbのときに、検出部25の第2受光感度を1/bとしている(図4参照)。
このように、ARコート23の反射率が高くなるほど、検出部25の受光感度が低くなるように設定することで、レーザ光LBのトータルパワーの変動を精度良く検出することができる。
また、第1レーザ光LB1が青色レーザ光であり、第2レーザ光LB2が赤外レーザ光であるから、第2レーザ光LB2の出力が第1レーザ光LB1の出力よりも高くなっている。
ここで、ARコート23では、第1レーザ光LB1の第1反射率aが第2レーザ光LB2の第2反射率bよりも高い。これにより、低出力な第1レーザ光LB1が、高出力な第2レーザ光LB2よりも検出部25に多く入射されることとなり、検出部25の負荷を小さくすることができる。
制御部30は、検出部25の検出値に基づいて、レーザ発振器10の出力を制御する。具体的に、制御部30は、判定部31を有する。判定部31は、レーザ加工ヘッド20の出力の変動を判定する。
図5に示すように、レーザ発振器10において、光学系の劣化や光軸ずれ等の不具合が生じた場合、レーザ光LBの出力が変動することとなる。そこで、判定部31において、検出部25で検出された拡散光DLのエネルギーが、所定の閾値よりも小さいかを判定する。
判定部31において、拡散光DLのエネルギーが閾値よりも小さくなった場合に、レーザ発振器10に異常が生じていると判定する。
そして、制御部30は、判定部31の判定結果に基づいて、レーザ発振器10の出力を上げることで、レーザ光LBの出力を補正する。
報知部35は、判定部31の判定結果に基づいて、レーザ発振器10の異常を示す所定の報知動作を行う(図1参照)。例えば、検出部25の検出値が所定の閾値よりも小さい場合に、レーザ光LBの出力が低下したと判断して、警報ブザーを鳴らす、警報ランプを点灯させる、警報メッセージを表示する等の報知動作を行うようにしている。
これにより、作業者は、所定の報知動作に基づいて、レーザ加工装置1のメンテナンス時期を判断することができる。
《その他の実施形態》
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
本実施形態では、検出部25において、コリメータレンズ21及びフォーカスレンズ22の両方から拡散される拡散光DLを検出するようにしたが、この形態に限定するものではない。例えば、検出部25において、コリメータレンズ21又はフォーカスレンズ22の一方から拡散される拡散光DLを検出するようにしてもよい。
以上説明したように、本開示は、コストを抑えつつ、互いに異なる波長を含むレーザ光の出力の変動を精度良く検出することができるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。
1 レーザ加工装置
10 レーザ発振器
15 伝送ファイバ
20 レーザ加工ヘッド
21 コリメータレンズ
22 フォーカスレンズ
23 ARコート
25 検出部
30 制御部
35 報知部
DL 拡散光
LB レーザ光
LB1 第1レーザ光
LB2 第2レーザ光
10 レーザ発振器
15 伝送ファイバ
20 レーザ加工ヘッド
21 コリメータレンズ
22 フォーカスレンズ
23 ARコート
25 検出部
30 制御部
35 報知部
DL 拡散光
LB レーザ光
LB1 第1レーザ光
LB2 第2レーザ光
Claims (5)
- レーザ光を出射するレーザ加工ヘッドであって、
前記レーザ光は、第1波長の第1レーザ光と、第2波長の第2レーザ光とを含んでおり、
前記レーザ光を伝送する伝送ファイバと、
前記伝送ファイバで伝送された前記レーザ光を平行化するコリメータレンズと、
前記コリメータレンズで平行化された前記レーザ光を集光するフォーカスレンズと、
前記コリメータレンズ及び前記フォーカスレンズの少なくとも一方から拡散される拡散光を検出する検出部とを備え、
前記コリメータレンズ及び前記フォーカスレンズの少なくとも一方には、ARコートが設けられ、
前記ARコートは、前記第1レーザ光を反射する第1反射率が、前記第2レーザ光を反射する第2反射率よりも高く、
前記検出部は、前記第1レーザ光を受光する第1受光感度が、前記第2レーザ光を受光する第2受光感度よりも低い、レーザ加工ヘッド。 - 請求項1において、
前記第1反射率がaのとき、前記第1受光感度が1/aであり、
前記第2反射率がbのとき、前記第2受光感度が1/bである、レーザ加工ヘッド。 - 請求項1又は2において、
前記第2レーザ光の出力は、前記第1レーザ光の出力よりも高い、レーザ加工ヘッド。 - 請求項1乃至3のうち何れか1つに記載のレーザ加工ヘッドと、
前記伝送ファイバの入射端に接続され、第1波長及び第2波長を含むレーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記検出部の検出値に基づいて、前記レーザ発振器の出力を制御する制御部とを備えた、レーザ加工装置。 - 請求項4において、
前記検出部の検出値に基づいて、所定の報知動作を行う報知部を備えた、レーザ加工装置。
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