WO2020217729A1 - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2020217729A1 WO2020217729A1 PCT/JP2020/009347 JP2020009347W WO2020217729A1 WO 2020217729 A1 WO2020217729 A1 WO 2020217729A1 JP 2020009347 W JP2020009347 W JP 2020009347W WO 2020217729 A1 WO2020217729 A1 WO 2020217729A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- metal plate
- holding
- probe
- probe device
- main body
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
- G01R1/06727—Cantilever beams
Definitions
- the present invention relates to a probe device in which a signal terminal and a ground terminal are arranged close to each other.
- the wafer probe (wafer probe 20: hereinafter also referred to as “probe device”) of the probe measurement system disclosed in this patent document has an inner conductive finger 70 soldered to the tip end and a base end.
- a copper inner conductor (copper inner conductor 41: hereinafter simply referred to as “inner conductor”) to which an input port (input port 30) is connected to the part and an outer contact terminal (outer conductive finger 72a, 72b) are soldered to the tip part.
- a cable (semirigid coaxial cable 40: hereinafter, also simply referred to as a "coaxial cable”) is provided, and a configuration is adopted in which the inner contact terminal and the outer contact terminal are pressed against the probing target by the elastic restoring force of this coaxial cable.
- the coaxial cable (specifically, the coaxial probe is inserted into the rigid support block) attached under the first support block.
- the structure is adopted so that the inner contact terminal and the outer contact terminal can be reliably pressed against the probing target by contacting the tube (tube 148) to be made to contact and limiting the deformation of the coaxial cable. ing.
- a configuration is adopted in which the inner contact terminal and the outer contact terminal are pressed against the probing target by the restoring force.
- the electrical characteristics between the two soldered conductors change depending on the amount of flux, the amount of solder material, the temperature during the soldering process, and the like. Has been done. Therefore, in the conventional probe device, there is a problem that the electrical characteristics may vary depending on the environment of the soldering process of the inner contact terminal and the outer contact terminal with respect to the inner conductor and the outer conductor.
- the above-mentioned probe device also has a problem that the service life is short.
- a configuration is adopted in which a probe load (a force for pressing both connection terminals against the probing target) is generated by the elastic restoring force of the coaxial cable. Therefore, in order to be able to exert a probe load of an appropriate size, it is necessary to configure the device by adopting a coaxial cable having an elastic restoring force corresponding to such a probe load.
- the base end portion of the coaxial cable is fixed to the first support block and the input port attached to the first support block, and the central portion and the tip portion in the longitudinal direction of the coaxial probe are formed.
- a configuration is adopted in which the central portion of the coaxial cable in the longitudinal direction abuts against the rigid support block during probing to regulate deformation. Therefore, in this probe device, when the coaxial cable is deformed during probing and the central portion thereof shifts from the state where it is not in contact with the rigid support block to the state where it is in contact with the rigid support block, the probe load suddenly increases. growing. Therefore, this probe device has a problem that it is difficult to probe with a probe load of an appropriate size.
- the present invention has been made in view of such problems, and provides a probe device having sufficiently small variations in electrical characteristics and probe load, a sufficiently long service life, and a sufficiently high degree of freedom in design.
- the main purpose is that.
- the probe device is a probe device held by a terminal holding portion in a state where a signal terminal and a ground terminal are arranged close to each other, and is a first metal as the signal terminal.
- a plate and a second metal plate as the ground terminal are provided, and the terminal holding portion can hold the holding portion main body formed of a conductor, the first metal plate, and the second metal plate.
- a pair of holding members each formed of a dielectric, and a fixture capable of fixing both the holding members in a state of holding the first metal plate and the second metal plate to the holding portion main body.
- the first metal plate and the second metal plate are sandwiched by the both holding members in a state of being lined up along the plate surface direction, and the tip end side portions protrude from the both holding members. At the same time, the tip side portion is configured to be elastically deformable along the plate thickness direction.
- the probe device according to claim 2 is the probe device according to claim 1, wherein the fixture includes a fixing member formed of a conductor and at least two male screws formed of a conductor.
- the first metal plate and the second metal plate are formed by screwing each of the male screws into which the screw insertion portion formed in the fixing member is inserted into the female screw provided in the holding portion main body.
- the both holding members holding the metal plate are pressed against the holding portion main body by the fixing member so that they can be fixed.
- the probe device according to claim 3 is the probe device according to claim 2, wherein the second metal plate is sandwiched between the holding portion main body and the fixing member, and the second metal plate and the holding portion.
- the main body and the fixing member are electrically connected to each other.
- the probe device according to claim 4 is the probe device according to claim 2 or 3, wherein the fixing member has at least two second parts sandwiching a first part to be brought into contact with the holding member. Is provided to form a screw insertion portion in each of the second portions, and the thickness of the first portion along the insertion direction of the male screw with respect to the screw insertion portion is larger than that of the first portion. The thickness of the third portion between the second portion and the second portion along the insertion direction is reduced.
- the probe device according to claim 5 is the probe device according to any one of claims 1 to 4, wherein a positioning recess shallower than the thickness of the first metal plate and the second metal plate is used for sandwiching both of them.
- the first metal plate and the second metal plate are fitted and positioned in the positioning recess formed on at least one of the members.
- the probe device according to claim 6 is the probe device according to any one of claims 1 to 5, wherein the probe device includes two of the second metal plates, and the first metal is sandwiched between the two second metal plates. The plate is placed.
- the terminal holding portion is dielectrically capable of sandwiching a holding portion main body formed of a conductor, a first metal plate as a signal terminal, and a second metal plate as a ground terminal.
- the first metal is provided with a pair of holding members formed of a body and a fixture capable of fixing both holding members in a state of holding the first metal plate and the second metal plate to the holding portion main body.
- the plate and the second metal plate are sandwiched by both sandwiching members in a state of being lined up along the plate surface direction, and the tip side portion is projected from both sandwiching members, and the tip side portion is a plate. It is configured to be elastically deformable along the thickness direction.
- the probe device since there is no soldering portion at the portion where the probe load acts on the signal terminal (first metal plate) and the ground terminal (second metal plate), its durability The life can be sufficiently extended, and the amount to be measured can be accurately measured because the electrical characteristics do not vary due to differences in the amount of flux, the amount of solder material, and the temperature during the soldering process. Can be measured.
- the width, length, and thickness of both metal plates it is possible to configure the structure with elastic restoring force that can exert an appropriate probe load, so that the degree of freedom in design is increased. It can be sufficiently improved.
- the parts of the signal terminal (first metal plate) and the ground terminal (second metal plate) that are elastically deformed during probing do not come into contact with the terminal holding portion, and the elastic restoring force changes rapidly during elastic deformation.
- the elastic restoring force changes rapidly during elastic deformation.
- the fixture includes a fixing member formed of a conductor and at least two male screws formed of a conductor, and a screw insertion formed in the fixing member.
- Each male screw through which the portion is inserted is screwed into the female screw arranged on the main body of the holding portion to hold both the first metal plate and the two sandwiching members sandwiching the second metal plate by the fixing member. It is configured so that it can be fixed by pressing it against the main body.
- each male does not need to separately provide wiring or the like for connecting the holding portion main body and the fixing member to each other in order to set the holding portion main body and the fixing member to the ground potentials, respectively. Since the holding portion main body and the fixing member can be electrically connected to each other while fixing the fixing member to the holding portion main body by the screw, the assembly cost and the component cost of the probe device can be sufficiently reduced.
- the second metal plate is sandwiched between the holding portion main body and the fixing member, and the second metal plate, the holding portion main body and the fixing member are electrically connected to each other.
- the fixing member is fixed to the holding part main body by each male screw without separately providing wiring or the like for electrically connecting the ground terminal (second metal plate) to the holding part main body or the fixing member. Since the holding portion main body, the ground terminal (second metal plate), and the male screw can be electrically connected to each other, the assembly cost and the component cost of the probe device can be further reduced.
- the probe device According to the probe device according to claim 4, at least two second portions are provided with the first portion to be brought into contact with the holding member, and screw insertion portions are formed in both second portions. At the same time, the thickness of the third portion between the first portion and the second portion along the insertion direction of the male screw is thinner than the thickness of the first portion along the insertion direction of the male screw with respect to the screw insertion portion.
- the signal terminal (first metal plate) and the ground terminal (second metal plate) can be securely sandwiched by both sandwiching members, and one of the sandwiching members and the signal terminal (first metal) can be securely sandwiched.
- the laminated body of the plate), the ground terminal (second metal plate), and the other holding member can be securely fixed to the holding portion main body.
- a positioning recess shallower than the thickness of the first metal plate and the second metal plate is formed in at least one of both holding members, and the first metal is formed in the positioning recess.
- two second metal plates are provided and the first metal plate is arranged between the two second metal plates, so that one signal terminal and one ground terminal are provided. Since the signal terminals can be shielded at each ground terminal as compared with the configuration provided with each, the high frequency signal characteristics of the probe device can be sufficiently improved.
- FIG. 1 It is an external perspective view of the probe device 1. It is another external perspective view of the probe device 1. It is an exploded perspective view of the probe device 1. It is sectional drawing of the probe holding part 4 in the probe device 1. It is external perspective view of the probe 3a, 3b, 3b and the holding member 42, 43. It is an exploded perspective view of the probe holding part 4 in the probe device 1. It is explanatory drawing for demonstrating the principle of fixing a probe 3a, 3b, 3b and a holding member 42, 43 to a holding part main body 41 by a fixing member 44 and a male screw 45, 45. It is sectional drawing of the probe device 1. FIG.
- connection portion 33 (rear end portion 32a) of the probe 3a and the contact 5a of the connector 5. It is a side view of the probe device 1 in a non-probing state. It is a side view of the probe device 1 in the probing state.
- the probe device 1 shown in FIGS. 1 to 3 is an example of a "probe device” and is configured so that it can be used when measuring electrical characteristics using a high frequency signal.
- the probe device 1 includes a base portion 2, probes 3a, 3b, 3b, a probe holding portion 4, a connector 5, a stay 6, and male screws 11, 11, 12, and 12.
- the base portion 2 is a body to which the probe holding portion 4, the connector 5 and the stay 6 are attached, and is formed of a conductor such as an aluminum alloy or stainless steel as an example. As shown in FIG. 3, the base portion 2 has screw holes 21 and 21 into which male screws 11 and 11 for attaching the probe holding portion 4 can be screwed, and male screws 12 for attaching the stay 6. Screw holes 22, 22 into which 12 can be screwed are formed. Further, the base portion 2 is provided with a step portion 23 for restricting the mounting position of the probe holding portion 4 with respect to the base portion 2. Further, as shown in FIG. 8, a mounting hole 24a for mounting the connector 5 is formed in the base portion 2, and a contact 5a described later in the connector 5 is inserted into the central portion of the mounting hole 24a. A possible insertion hole 24b is formed.
- the probe 3a is an example of a "first metal plate” as a "signal terminal”
- the probes 3b and 3b are an example of a "second metal plate” as a "ground terminal”.
- the probe 3a is arranged between the probes 3b and 3b, and the probes 3a, 3b and 3b are sufficiently close to each other and arranged along the plate surface direction (closely arranged state). ) Is held by the probe holding unit 4.
- the probes 3a, 3b, and 3b are formed into a thin plate by a conductor such as a nickel alloy by electroplating, and are elastically deformable along the plate thickness direction. ing. Further, as shown in FIGS.
- the rear end portion 32a of the probe 3a is provided with a connection portion 33 connected to the contact 5a of the connector 5, and the rear end portion 32b of the probe 3b is provided with a probe holding portion. Insertion holes 34 through which the male screw 45 described later in No. 4 can be inserted are provided.
- the probe holding portion 4 is an example of a “terminal holding portion” and includes a holding portion main body 41, holding members 42, 43, fixing members 44, and male screws 45, 45, as shown in FIGS. , As shown in FIGS. 1 and 2, the probes 3a, 3b, and 3b are attached to the base portion 2 by the male screws 11 and 11 while holding the probes 3a, 3b, and 3b.
- the holding portion main body 41 is an example of the “holding portion main body”, and the probe device 1 of this example is formed of a conductor such as an aluminum alloy or stainless steel.
- male screws 45, 45 can be screwed into screw holes 51, 51 (an example of "female screw arranged on the holding portion main body”: see FIG. 4), and male screws 11, Insertion holes 52 and 52 through which 11 can be inserted are formed.
- the sandwiching members 42 and 43 are examples of "a pair of sandwiching members” and are formed of a dielectric such as crosslinked polystyrene resin or polytetrafluoroethylene.
- a positioning recess 42a which is an example of a “positioning recess”, is formed on the surface of the sandwiching member 42 facing the sandwiching member 43.
- the positioning recess 42a is formed to be shallower than the thickness of each probe 3a, 3b, 3b, and is configured to be able to be fitted in a state where the probes 3a, 3b, 3b are arranged close to each other as described above.
- the surface of the sandwiching member 43 facing the sandwiching member 42 is formed flat (“at least of the sandwiching member 43”.
- "One side" is an example of a configuration in which only the holding member 42 is arranged so as to be in contact with the holding portion main body 41). In this case, in the probe device 1 of this example, as shown in FIGS.
- the tip portion 31a of the probe 3a (an example of the “tip portion side portion”) and the tip portions 31b of the probes 3b and 3b
- a configuration is adopted in which the probes 3a, 3b, 3b are held in a state of being sandwiched by both sandwiching members 42, 43 so that 31b (an example of a "tip side portion") protrudes from the sandwiching members 42, 43. ..
- the fixing member 44 is an example of the "fixing member", and together with the male screws 45 and 45, constitutes the “fixing tool”.
- the fixing member 44 is formed of a conductor such as an aluminum alloy or stainless steel in the same manner as the holding portion main body 41. Further, as shown in FIGS. 3, 4 and 6, the fixing member 44 is formed with insertion holes 55 (an example of a "screw insertion portion") into which male screws 45 can be inserted at both ends in the width direction thereof. Has been done.
- the male screws 45, 45 through which the insertion holes 55, 55 of the fixing member 44 are inserted are screwed into the screw holes 51, 51 of the holding portion main body 41.
- the fixing member 44 is brought close to the holding portion main body 41, the holding members 42, 43 sandwiching the probes 3a, 3b, 3b are sandwiched between the holding portion main body 41 and the fixing member 44.
- a configuration is adopted in which the laminated body of the holding member 42, the probes 3a, 3b, 3b and the holding member 43 is fixed by being pressed against the bottom surface of the holding portion main body 41 by the fixing member 44. Is
- the portion of the fixing member 44 where the insertion hole 55 is formed corresponds to the "second portion", and the fixing member 44 is brought into contact with the holding member 43.
- the part to be sewn corresponds to the "first part”, and the thickness of the "third part” between the “first part” and the “second part” (for insertion).
- a convex portion 56 is provided in the “first portion” so that the thickness (thickness along the insertion direction of the male screw 45 with respect to the hole 55) is thinner than the thickness of the "first portion", and the protruding end surface of the convex portion 56. Is configured to come into contact with the holding member 43.
- the "third part” between the above “first part” and the “second part (the part where the convex part 56 is formed) is also referred to as a thin part 57.
- the male screws 45 and 45 are examples of "male screws", and the probe device 1 of this example is made of a conductor such as stainless steel.
- the holding portion main body 41 and the fixing member 44 are formed of a conductor. Therefore, in the probe device 1 of this example, as will be described later, the fixing member 44 is inserted with the rear end portions 32b, 32b of the probes 3b, 3b sandwiched between the holding portion main body 41 and the fixing member 44.
- the connector 5 is a connector for connecting the probes 3a, 3b, 3b to a signal cable (coaxial cable) (not shown), and as shown in FIGS. 3, 8 and 9, the contact 5a, the dielectric 5b and the body 5c It has. Further, on the peripheral surface of the body 5c, a male screw that can be screwed into the female screw formed in the mounting hole 24a of the base portion 2 is formed. Although illustration and detailed description are omitted in order to facilitate understanding of the configuration of the probe device 1, a spring washer, a Kikuza washer, or the like, if necessary, is used between the connector 5 and the base portion 2. May be pinched.
- the connectors 5 are not provided and the probes 3a, 3b, 3b are reared.
- the ends 32a, 32b, 32b can also be configured to be connectable to the circuit board.
- the stay 6 is a fixing bracket for fixing the probe device 1 to a moving mechanism (probing mechanism) (not shown), and as shown in FIG. 3, a male screw 12 for fixing the stay 6 to the base portion 2. , 12 are formed through the insertion holes 61 and 61, and the insertion holes 62 and 62 through which a male screw (not shown) for fixing the probe device 1 (stay 6) to the moving mechanism can be inserted.
- the base portion 2 In manufacturing the probe device 1, first, the base portion 2, the probes 3a, 3b, 3b, the probe holding portion 4 (holding portion main body 41, holding members 42, 43, fixing member 44), stay 6 and the like are respectively. To manufacture. In this case, in the probe device disclosed in the above-mentioned patent document, it is difficult to select a coaxial cable having an appropriate elastic restoring force from the coaxial cables having excellent high frequency signal characteristics, and the appropriate size is used. The degree of freedom in design is reduced in order to be able to exert the probe load.
- the probes 3a, 3b, and 3b are formed into a thin plate by electroplating using a nickel alloy or the like, so that the probe load is replaced with the required probe load. It is possible to manufacture the probe device 1 capable of exerting a probe load of an appropriate size only by appropriately changing the width, length, thickness, etc. of the probes 3a, 3b, 3b and performing the electroforming process. ing. As a result, the degree of freedom in design is sufficiently improved.
- the connector 5 (body 5c) is screwed into the mounting hole 24a of the base portion 2, so that the connector 5 is attached to the base portion 2, and the male screws 12 and 12 through which the insertion holes 61 and 61 are inserted are used as the base.
- the stay 6 is fixed to the base portion 2 by screwing into the screw holes 22 and 22 of the portion 2, and the probes 3a, 3b and 3b are held by the probe holding portion 4.
- the holding members are held in a state where the probes 3a, 3b, 3b are arranged along the plate surface direction as shown in FIGS. It fits into the positioning recess 42a of 42.
- the holding member 43 facing the holding member 42 so as to sandwich the probes 3a, 3b, 3b, the laminated body of the holding member 42, the probes 3a, 3b, 3b and the holding member 43 is placed. It is arranged at the center of the bottom of the holding portion main body 41 in the width direction.
- the male screws 45, 45 through which the insertion holes 55, 55 of the fixing member 44 are inserted are screwed into the screw holes 51, 51 of the holding portion main body 41, whereby the fixing member 44 is inserted into the holding portion main body 41. Get closer to.
- the laminated body of the holding member 42, the probes 3a, 3b, 3b and the holding member 43 is sandwiched between the holding portion main body 41 and the fixing member 44, and the holding members 42, 43
- Each probe 3a, 3b, 3b sandwiched by the main body 41 is positioned with respect to the holding portion main body 41.
- the male screws 45, 45 through which the insertion holes 55, 55 of the fixing member 44 are inserted are screwed into the screw holes 51, 51 of the holding portion main body 41, the fixing member 44 with respect to the holding portion main body 41
- the tip of the convex portion 56 of the fixing member 44 comes into contact with the holding member 43, and the male screws 45 and 45 are further screwed into the same.
- the portions of the fixing member 44 where the insertion holes 55 are formed are in contact with the probes 3b and 3b, and the probes 3b and 3b are between the holding portion main body 41 and the fixing member 44. (Rear end portions 32b, 32b) are sandwiched.
- the convex portion 56 is formed at the portion of the fixing member 44 that comes into contact with the holding member 43.
- the thin portion 57 (third portion) between the convex portion 56 and the forming portion (second portion) of the screw hole 51 is formed to be thinner than the convex portion 56 (first portion).
- the fixing member 44 and the holding member 43 It is preferably avoided that a gap is formed between the two.
- the degree of the deformation is exaggerated.
- the laminated body of the holding member 42, the probes 3a, 3b, 3b and the holding member 43 is pressed by the fixing member 44 against the holding portion main body 41 with sufficient pressing force, which is shown in FIG.
- the holding of the probes 3a, 3b, 3b by the probe holding unit 4 is completed.
- the probe holding portion 4 in a state of holding the probes 3a, 3b, 3b is attached to the base portion 2.
- the rear end portion of the holding portion main body 41 of the probe holding portion 4 is engaged with the step portion 23 of the base portion 2.
- the probe 3a sandwiched by the sandwiching members 42 and 43 A state in which the connecting portion 33 at the rear end portion 32a is pressed against the contact 5a of the connector 5 attached to the base portion 2 and the probe 3a is electrically connected to the contact 5a of the connector 5. It is configured to be.
- the probe holding portion 4 is fixed to the base portion 2 by screwing the male screws 11 and 11 through which the insertion holes 52 and 52 of the holding portion main body 41 are inserted into the screw holes 21 and 21 of the base portion 2.
- the base portion 2, the probes 3a, 3b, 3b, the probe holding portion 4, the connector 5 and the stay 6 are integrated, and the holding portion is electrically connected to the probes 3b, 3b.
- the main body 41 and the body 5c of the connector 5 attached to the base portion 2 are electrically connected to each other via the base portion 2 and the male screws 11 and 11.
- a series of assembly operations are completed, and the probe device 1 is completed as shown in FIGS. 1 and 2.
- the probe device When measuring the electrical characteristics of the probing target X using this probe device 1, the probe device is obtained by screwing a male screw through which the insertion holes 62, 62 of the stay 6 are inserted into a moving mechanism (not shown). 1 is attached to the moving mechanism, and the connector 5 (contact 5a and body 5c) of the probe device 1 is connected to the measuring device via a signal cable (not shown). Then, when the measurement start is instructed, as shown in FIG. 10, the probe device 1 is moved onto the probing target X by the moving mechanism and then brought closer to the probing target X, thereby being shown in FIG. As described above, the tip portions 31a, 31b, 31g of each probe 3a, 3b, 3b are probed with respect to the probing target X.
- the portions of the probes 3a, 3b, 3b on the tips 31a, 31b, 31b side protruding from the holding members 42, 43 of the probe holding portion 4 are the respective probes.
- the tip portions 31a, 31b, 31b are pressed against the probing target X with a sufficient pressing force by the elastic restoring force.
- the portions of the probes 3a, 3b, 3b on the tip portions 31a, 31b, 31b side protruding from the two holding members 42, 43 of the probe holding portion 4 hold the probe during probing. It is elastically deformed without contacting any part of the part 4. Therefore, since only the elastic restoring force that changes according to the degree of elastic deformation of each probe 3a, 3b, 3b acts as the probe load, the probe load does not change abruptly during probing. As a result, each probe 3a, 3b, 3b can be suitably probed with respect to the probing target X with a desired probe weight.
- the probes 3a, 3b, 3b In the vicinity of the connection portion 33 of the rear end portion 32a of the probe 3a and the insertion hole 34 of the rear end portion 32b of the probe 3b), the probes 3a, 3b, 3b "conductor portion of the signal potential (contact 5a of the connector 5). "And” the conductor portion of the ground potential (holding portion main body 41, fixing member 44, etc.) ", respectively.
- the probe device 1 has a configuration in which there is no soldering portion in the portions of the probes 3a, 3b, and 3b that are elastically deformed during probing.
- the probe holding portion 4 includes the holding portion main body 41 formed of the conductor, the probe 3a (“first metal plate” as the “signal terminal”), and the probes 3b, 3b. (A "second metal plate” as a “ground terminal”) can be sandwiched.
- a pair of sandwiching members 42, 43 made of dielectrics, respectively, and probes 3a, 3b, 3b for both sandwiching.
- the probes 3a, 3b, and 3b are provided along the plate surface direction with a “fixing tool (fixing member 44 and male screws 45, 45 in this example)" capable of fixing the members 42 and 43 to the holding portion main body 41.
- the probe device 1 since there is no soldering portion in the probe 3a, 3b, 3b where the probe load acts, the useful life can be sufficiently extended, and the amount of flux and soldering can be extended. Since there is no variation in electrical characteristics caused by differences in the amount of material and the temperature during the soldering process, the amount to be measured can be measured accurately. Further, by changing any of the width, length and thickness of the probes 3a, 3b and 3b, it is possible to configure the structure so as to have an elastic restoring force capable of exerting an appropriate probe load. The degree of freedom can be sufficiently improved.
- the portion elastically deformed during probing does not contact the probe holding portion 4, and the elastic restoring force does not change suddenly during elastic deformation, so that the variation in the probe load is sufficiently small.
- probing with an appropriately sized probe load can be performed reliably and easily.
- the "fixing tool” includes a fixing member 44 formed of a conductor and two male screws 45 and 45 formed of a conductor, and the fixing member 44 has a fixing member 44.
- the male screws 45 and 45 through which the formed insertion holes 55 and 55 were inserted were screwed into the screw holes 51 and 51 arranged in the holding portion main body 41 to sandwich the probes 3a, 3b and 3b.
- Both holding members 42 and 43 are pressed against the holding portion main body 41 by the fixing member 44 so that they can be fixed.
- this probe device 1 in order to set the holding portion main body 41 and the fixing member 44 to the ground potentials, respectively, it is not necessary to separately provide wiring or the like for connecting the holding portion main body 41 and the fixing member 44 to each other. Since the holding portion main body 41 and the fixing member 44 can be electrically connected to each other while fixing the fixing member 44 to the holding portion main body 41 by the screws 45 and 45, the assembly cost and the component cost of the probe device 1 can be reduced. It can be sufficiently reduced.
- the probes 3b and 3b are sandwiched between the holding portion main body 41 and the fixing member 44, and the probes 3b and 3b, the holding portion main body 41 and the fixing member 44 are electrically connected to each other.
- the fixing member 44 is fixed to the holding portion main body 41 by the male screws 45 and 45 without separately providing wiring or the like for electrically connecting the probes 3b and 3b to the holding portion main body 41 and the fixing member 44.
- the holding portion main body 41, the probes 3b, 3b and the male screw 45 can be electrically connected to each other, the assembly cost and the component cost of the probe device 1 can be further reduced.
- the probe device 1 at least two “second parts” are provided with the “first part (the part where the convex portion 56 is formed)" brought into contact with the holding members 42 and 43.
- the insertion holes 55 are formed in both “second parts", and the thickness of the "first part” along the insertion direction of the male screws 45, 45 with respect to the insertion holes 55, 55 is “1st part”.
- the male The convex portion 56 can be pressed against the holding member 43 with a sufficient force by the elastic restoring force of the thin portions 57, 57 which are elastically deformed by the screwing of the screws 45, 45, whereby the probes 3a, 3b , 3b can be securely sandwiched by the sandwiching members 42, 43, and the laminated body of the sandwiching member 42, the probes 3a, 3b, 3b and the sandwiching member 43 can be reliably fixed to the holding portion main body 41.
- a positioning recess 42a shallower than the thickness of the probes 3a, 3b, 3b is formed in both holding members 42, and the probes 3a, 3b, 3b are fitted into the positioning recess 42a.
- each "ground terminal” can shield the "signal terminal", so that the high frequency signal characteristics of the probe device 1 can be sufficiently improved.
- the configuration of the "probe device” is not limited to the above-mentioned example of the configuration of the probe device 1.
- the probe device 1 having two probes 3b corresponding to the “second metal plate as the ground terminal” has been described as an example, but the “first metal plate as the signal terminal” and the “first metal plate as the signal terminal” have been described.
- a “probe device” can also be configured by providing one "second metal plate” as a ground terminal.
- the "fixing tool” is configured by including the fixing member 44 and the male screws 45 and 45 has been described.
- the holding member 43 and the fixing member in the probe device 1 have been described.
- 44 is integrally formed of a dielectric to form "one of a pair of holding members”
- a “fixing tool” is formed only by male screws 45 and 45, and the above “pair of holding members” is formed.
- Male screws 45 and 45 are inserted into the "screw insertion portion (the same component as the insertion holes 55 and 55 of the fixing member 44 in the probe device 1)" provided in "one of them” to insert the male screws 45 and 45 into the holding portion main body 41. It is also possible to adopt a configuration in which the screws are screwed into the screw holes 51 and 51 of (not shown).
- a "nut” arranged in the "holding portion main body” is provided instead of the configuration in which the screw holes 51, 51 provided in the holding portion main body 41 are made to function as “female screws” and the male screws 45, 45 are screwed in. It is also possible to adopt a configuration in which a “male screw” such as a male screw 45, 45 is screwed in by using it as a “female screw” (not shown). Further, instead of the "male screw” such as the male screw 45, 45, the "holding unit main body” and the “fixing member” (or the above “one of the pair of holding members") are sandwiched. A “fixing tool” can also be constructed with a possible U-shaped clip material (not shown). In this case, the number of "male screws” and “clips” is not limited to two, and can be any number of three or more. Further, the number of “female screws” can be any number of 3 or more according to the number of "male screws”.
- the probe device 1 having a configuration in which the fixing member 44, the probes 3b, 3b and the holding portion main body 41 are electrically connected to each other has been described as an example, but the “second metal plate as a ground terminal” is referred to as “2nd metal plate as a ground terminal”. It is also possible to separately provide wiring for electrically connecting to the "holding unit main body” and the "fixing member”.
- an example is a configuration in which one of the holding members 42 and 43 (in this example, the holding member 42) corresponding to the "pair of holding members" is provided with the positioning recess 42a, which is an example of the "positioning recess".
- a “positioning recess” is provided in the "pinching member” corresponding to the sandwiching member 43 in the probe device 1.
- both “holding members” are in direct contact with each other when the "first metal plate” and the “second metal plate” are held. It is necessary to form so that the total depth of both “positioning recesses” is less than the thickness of the "first metal plate” and the "second metal plate” so as not to be.
- the service life thereof can be sufficiently extended, and the amount of flux, the amount of solder material, and soldering can be sufficiently extended. Since there is no variation in electrical characteristics that occurs due to differences in temperature during processing, the amount to be measured can be measured accurately, and the width, length, and width and length of both metal plates that make up the signal terminal and ground terminal.
- the structure By changing any of the thicknesses, it is possible to configure the structure with elastic restoring force that can exert an appropriate probe load, so that the degree of freedom in its design can be sufficiently improved, and the signal terminal and the signal terminal and Since the part of the ground terminal that is elastically deformed during probing does not come into contact with the terminal holding portion and the elastic restoring force does not change suddenly during elastic deformation, the variation in probe load can be sufficiently reduced, which is appropriate. Probing with a probe load of a large size can be performed reliably and easily. As a result, it can be suitably used for a probe device in which a signal terminal and a ground terminal are arranged close to each other.
- Probe device 2 Base 3a, 3b, 3b Probe 4 Probe holding 5 Connector 6 Stay 11, 12, 45 Male screw 21, 22, 51 Screw hole 24a Mounting hole 24b, 34, 52, 55, 61, 62 Insertion Common holes 31a, 31b Tip part 32a, 32b Rear end part 33 Connection part 41 Holding part Main body 42,43 Holding member 42a Positioning recess 44 Fixing member 56 Convex part 57 Thin part X Probing target
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
電気的特性やプローブ荷重のばらつきが充分に小さく、かつ耐用寿命が充分に長いプローブ装置を提供する。 シグナル端子としてのプローブ3a(第1の金属プレート)およびグランド端子としてのプローブ3b(第2の金属プレート)を備え、プローブ保持部4は、導電体で形成された保持部本体41と、プローブ3a,3b,3bを挟持可能にそれぞれ誘電体で形成された挟持用部材42,43と、プローブ3a,3b,3bを挟持した両挟持用部材42,43を保持部本体41に固定可能な固定用部材44および雄ネジ(固定具)とを備え、プローブ3a,3b,3bは、板面方向に沿って並んだ状態で両挟持用部材42,43によって挟持され、かつ両挟持用部材42,43から先端部31a,31b,31b側の部位がそれぞれ突出させられると共に、先端部31a,31b,31b側の部位が板厚方向に沿って弾性変形可能に構成されている。
Description
本発明は、シグナル端子およびグランド端子が近接配置されたプローブ装置に関するものである。
例えば、下記の特許文献には、高周波信号を用いて集積回路や超小型電子装置の電気的特性を測定するためのプローブ測定システムの発明が開示されている。
この特許文献に開示されているプローブ測定システムのウエハプローブ(wafer probe 20:以下、「プローブ装置」ともいう)は、先端部に内側接触端子(inner conductive finger 70)が半田付けされ、かつ基端部に入力ポート(input port 30 )が接続された銅製内部導体(copper inner conductor 41 :以下、単に「内部導体」ともいう)と、先端部に外側接触端子(outer conductive finger 72a,72b)が半田付けされ、かつ基端部が第1サポートブロック(primary support block 32)に接続されて固定された銅製外部導体(copper outer conductor 43 :以下、単に「外部導体」ともいう)とを有する半剛性同軸ケーブル(semirigid coaxial cable 40:以下、単に「同軸ケーブル」ともいう)を備え、この同軸ケーブルの弾性復元力によって内側接触端子および外側接触端子をプロービング対象に対して押し付ける構成が採用されている。
また、このプローブ装置では、プロービングに際して同軸プローブが弾性変形させられたときに、第1サポートブロックの下に取り付けられている剛性支持ブロック(rigid support block )に同軸ケーブル(詳しくは、同軸プローブが挿通させられている管(tube 148))が当接して同軸ケーブルの変形が制限されることにより、内側接触端子および外側接触端子をプロービング対象に対して確実に押し付けることができるように構成が採用されている。
ところが、上記特許文献に開示のプローブ装置には、以下のような解決すべき問題点が存在する。
具体的には、上記特許文献に開示のプローブ装置では、内側接触端子(信号端子)が内部導体に半田付けされると共に外側接触端子(グランド端子)が外部導体に半田付けされた同軸ケーブルの弾性復元力によって内側接触端子および外側接触端子をプロービング対象に対して押し付ける構成が採用されている。この場合、半田付けによる導体同士の接続時には、フラックスの量や半田材の量、および半田付け処理時の温度等に応じて、半田付けされた両導体間の電気的特性が変化することが知られている。このため、従来のプローブ装置では、内側導体および外側導体に対する内側接触端子および外側接触端子の半田付け処理の環境に応じて電気的特性がばらつくことがあるという問題点が存在する。
また、上記のプローブ装置では、プロービング時に、内側接触端子および内部導体の半田付け部位や外側接触端子および外部導体の半田付け部位にプロービング加重(内側接触端子および外側接触端子をプロービング対象に対して押し付ける力)が作用する結果、プロービングを繰り返すうちに、内部導体からの内側接触端子の剥がれや、外部導体からの外側接触端子の剥がれが生じ易い状態となる。このため、上記のプローブ装置には、耐用寿命が短いという問題点もある。
さらに、上記のプローブ装置では、前述のように、同軸ケーブルの弾性復元力によってプローブ荷重(両接続端子をプロービング対象に押し付ける力)を生じさせる構成が採用されている。このため、適切な大きさのプローブ荷重を発揮可能とするには、そのようなプローブ荷重に応じた弾性復元力を有する同軸ケーブルを採用して装置を構成する必要がある。しかしながら、この種の装置において採用可能な高周波信号特性に優れた同軸ケーブルの中から適当な弾性復元力を有する同軸ケーブルを選定するのが困難となっており、入手可能な同軸ケーブルに応じて、適切な大きさのプローブ荷重を発揮可能に各部の寸法を決定する必要があることから、その設計の自由度が低下しているという問題点もある。
また、上記のプローブ装置では、同軸ケーブルの基端部が第1サポートブロックおよび第1サポートブロックに取り付けられた入力ポートに固定されているだけで、同軸プローブの長手方向における中央部や先端部はいずれの部位にも固定されていないが、プロービング時には、同軸ケーブルにおける長手方向の中央部が剛性支持ブロックに対して当接して変形が規制される構成が採用されている。したがって、このプローブ装置では、プロービングに際して同軸ケーブルが変形させられて、その中央部が剛性支持ブロックに当接していない状態から剛性支持ブロックに当接した状態に移行したときに、プローブ荷重が急激に大きくなる。このため、このプローブ装置では、適切な大きさのプローブ荷重でのプロービングが困難となっているという問題点がある。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、電気的特性やプローブ荷重のばらつきが充分に小さく、耐用寿命が充分に長く、かつ設計の自由度が充分に高いプローブ装置を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく、請求項1記載のプローブ装置は、シグナル端子およびグランド端子が近接配置された状態で端子保持部によって保持されたプローブ装置であって、前記シグナル端子としての第1の金属プレート、および前記グランド端子としての第2の金属プレートを備え、前記端子保持部は、導電体で形成された保持部本体と、前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートを挟持可能にそれぞれ誘電体で形成された一対の挟持用部材と、前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートを挟持した状態の前記両挟持用部材を前記保持部本体に固定可能な固定具とを備え、前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートは、板面方向に沿って並んだ状態で前記両挟持用部材によって挟持され、かつ当該両挟持用部材から先端部側部位がそれぞれ突出させられると共に、当該先端部側部位が板厚方向に沿って弾性変形可能に構成されている。
請求項2記載のプローブ装置は、請求項1記載のプローブ装置において、前記固定具は、導電体で形成された固定用部材と、導電体で形成された少なくとも2本の雄ネジとを備えると共に、前記固定用部材に形成されたネジ挿通部を挿通させた前記各雄ネジが前記保持部本体に配設された雌ネジに捩じ込まれることで前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートを挟持した前記両挟持用部材を当該固定用部材によって当該保持部本体に押し付けて固定可能に構成されている。
請求項3記載のプローブ装置は、請求項2記載のプローブ装置において、前記第2の金属プレートが前記保持部本体および前記固定用部材の間に挟み込まれて当該第2の金属プレート、当該保持部本体および当該固定用部材が電気的に相互に接続されている。
請求項4記載のプローブ装置は、請求項2または3記載のプローブ装置において、前記固定用部材は、前記挟持用部材に当接させられる第1の部位を挟んで少なくとも2箇所の第2の部位が設けられて当該各第2の部位にネジ挿通部が形成されると共に、前記ネジ挿通部に対する前記雄ネジの挿通方向に沿った前記第1の部位の厚みよりも、前記第1の部位と前記第2の部位との間の第3の部位の当該挿通方向に沿った厚みが薄くなるように形成されている。
請求項5記載のプローブ装置は、請求項1から4のいずれかに記載のプローブ装置において、前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートの厚みよりも浅い位置決め用凹部が前記両挟持用部材の少なくとも一方に形成されて当該位置決め用凹部に当該第1の金属プレートおよび当該第2の金属プレートが嵌入されて位置決めされている。
請求項6記載のプローブ装置は、請求項1から5のいずれかに記載のプローブ装置において、前記第2の金属プレートを2枚備え、当該両第2の金属プレートの間に前記第1の金属プレートが配置されている。
請求項1記載のプローブ装置では、端子保持部が、導電体で形成された保持部本体と、シグナル端子としての第1の金属プレートおよびグランド端子としての第2の金属プレートを挟持可能にそれぞれ誘電体で形成された一対の挟持用部材と、第1の金属プレートおよび第2の金属プレートを挟持した状態の両挟持用部材を保持部本体に固定可能な固定具とを備え、第1の金属プレートおよび第2の金属プレートが、板面方向に沿って並んだ状態で両挟持用部材によって挟持され、かつ両挟持用部材から先端部側部位がそれぞれ突出させられると共に、先端部側部位が板厚方向に沿って弾性変形可能に構成されている。
したがって、請求項1記載のプローブ装置によれば、シグナル端子(第1の金属プレート)およびグランド端子(第2の金属プレート)においてプローブ加重が作用する部位に半田付け部位が存在しないため、その耐用寿命を充分に長くすることができると共に、フラックスの量や半田材の量、および半田付け処理時の温度等の相違に応じて生じる電気的特性のばらつきが生じないため、被測定量を正確に測定することができる。また、両金属プレートの幅、長さおよび厚みのうちのいずれかを変更することで適切なプローブ荷重を発揮し得る弾性復元力を備えた構成とすることができるため、その設計の自由度を充分に向上させることができる。さらに、シグナル端子(第1の金属プレート)およびグランド端子(第2の金属プレート)においてプロービング時に弾性変形させられる部位が端子保持部に接せず、弾性変形時に弾性復元力が急激に変化することがないため、プローブ荷重のばらつきを充分に小さくすることができる結果、適切な大きさのプローブ荷重でのプロービングを確実かつ容易に行うことができる。
請求項2記載のプローブ装置では、固定具が、導電体で形成された固定用部材と、導電体で形成された少なくとも2本の雄ネジとを備えると共に、固定用部材に形成されたネジ挿通部を挿通させた各雄ネジが保持部本体に配設された雌ネジに捩じ込まれることで第1の金属プレートおよび第2の金属プレートを挟持した両挟持用部材を固定用部材によって保持部本体に押し付けて固定可能に構成されている。
したがって、請求項2記載のプローブ装置によれば、保持部本体および固定用部材をそれぞれグランド電位とするために保持部本体および固定用部材を相互に接続する配線等を別途設けることなく、各雄ネジによって保持部本体に固定用部材を固定しつつ保持部本体および固定用部材を電気的に相互に接続することができるため、プローブ装置の組立てコストおよび部品コストを充分に低減することができる。
請求項3記載のプローブ装置によれば、第2の金属プレートを保持部本体および固定用部材の間に挟み込んで第2の金属プレート、保持部本体および固定用部材を電気的に相互に接続したことにより、グランド端子(第2の金属プレート)を保持部本体や固定用部材に電気的に接続する配線等を別途設けることなく、各雄ネジによって保持部本体に固定用部材を固定しつつ、保持部本体、グランド端子(第2の金属プレート)および雄ネジを電気的に相互に接続することができるため、プローブ装置の組立てコストおよび部品コストを一層低減することができる。
請求項4記載のプローブ装置によれば、挟持用部材に当接させられる第1の部位を挟んで少なくとも2箇所の第2の部位が設けられて両第2の部位にネジ挿通部が形成されると共に、ネジ挿通部に対する雄ネジの挿通方向に沿った第1の部位の厚みよりも、第1の部位と第2の部位との間の第3の部位の挿通方向に沿った厚みが薄くなるように固定用部材を構成したことにより、各雄ネジの捩じ込みによって弾性変形させられる第3の部位の弾性復元力によって挟持用部材に対して第1の部位を充分な力で押し付けることができ、これにより、シグナル端子(第1の金属プレート)およびグランド端子(第2の金属プレート)を両挟持用部材によって確実に挟持できると共に、一方の挟持用部材、シグナル端子(第1の金属プレート)およびグランド端子(第2の金属プレート)、並びに他方の挟持用部材の積層体を保持部本体に確実に固定することができる。
請求項5記載のプローブ装置によれば、第1の金属プレートおよび第2の金属プレートの厚みよりも浅い位置決め用凹部を両挟持用部材の少なくとも一方に形成して位置決め用凹部に第1の金属プレートおよび第2の金属プレートが嵌入して位置決めしたことにより、挟持用部材に対するシグナル端子(第1の金属プレート)およびグランド端子(第2の金属プレート)の意図しない位置ずれを好適に回避することができる。
請求項6記載のプローブ装置によれば、第2の金属プレートを2枚備えて両第2の金属プレートの間に第1の金属プレートを配置したことにより、シグナル端子およびグランド端子をそれぞれ1つずつ備えた構成と比較して、各グランド端子でシグナル端子をシールドできるため、プローブ装置の高周波信号特性を充分に向上させることができる。
以下、プローブ装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
図1~3に示すプローブ装置1は、「プローブ装置」の一例であって、高周波信号を用いた電気的特性の測定を行う際に使用することができるように構成されている。このプローブ装置1は、ベース部2、プローブ3a,3b,3b、プローブ保持部4、コネクタ5、ステー6および雄ネジ11,11,12,12を備えている。
ベース部2は、プローブ保持部4、コネクタ5およびステー6が取り付けられる?体であって、一例として、アルミニウム合金やステンレス鋼などの導電体で形成されている。このベース部2には、図3に示すように、プローブ保持部4を取り付けるための雄ネジ11,11を捩じ込み可能なネジ穴21,21、およびステー6を取り付けるための雄ネジ12,12を捩じ込み可能なネジ穴22,22が形成されている。また、ベース部2には、このベース部2に対するプローブ保持部4の取り付け位置を規制するための段部23が設けられている。さらに、ベース部2には、図8に示すように、コネクタ5を取り付けるための取付け用穴24aが形成されると共に、取付け用穴24aの中央部には、コネクタ5における後述のコンタクト5aを挿通可能な挿通用孔24bが形成されている。
プローブ3aは、「シグナル端子」としての「第1の金属プレート」の一例であり、プローブ3b,3bは、「グランド端子」としての「第2の金属プレート」の一例であって、本例のプローブ装置1では、両プローブ3b,3bの間にプローブ3aが配置されると共に、各プローブ3a,3b,3bが充分に接近させられて板面方向に沿って並んだ状態(近接配置された状態)でプローブ保持部4によって保持されている。この場合、本例のプローブ装置1では、上記のプローブ3a,3b,3bが、電気鋳造処理によってニッケル合金等の導電体で薄板状に成形されて板厚方向に沿って弾性変形可能に構成されている。また、図3,5に示すように、プローブ3aの後端部32aには、コネクタ5のコンタクト5aに接続される接続部33が設けられ、プローブ3bの後端部32bには、プローブ保持部4における後述の雄ネジ45を挿通可能な挿通用孔34がそれぞれ設けられている。
プローブ保持部4は、「端子保持部」の一例であって、図3,4に示すように、保持部本体41、挟持用部材42,43、固定用部材44および雄ネジ45,45を備え、図1,2に示すように、各プローブ3a,3b,3bを保持した状態で雄ネジ11,11によってベース部2に取り付けられている。保持部本体41は、「保持部本体」の一例であって、本例のプローブ装置1では、アルミニウム合金やステンレス鋼などの導電体で形成されている。この保持部本体41には、雄ネジ45,45を捩じ込み可能なネジ穴51,51(「保持部本体に配設された雌ネジ」の一例:図4参照)と、雄ネジ11,11を挿通可能な挿通用孔52,52とが形成されている。
挟持用部材42,43は、「一対の挟持用部材」の一例であって、架橋ポリスチレン樹脂やポリテトラフルオロエチレンなどの誘電体で形成されている。この場合、図4,5に示すように、挟持用部材42における挟持用部材43との対向面には、「位置決め用凹部」の一例である位置決め用凹部42aが形成されている。この位置決め用凹部42aは、各プローブ3a,3b,3bの厚みよりも浅く形成されて各プローブ3a,3b,3bを上記のように近接配置した状態で嵌入可能に構成されている。
また、図3,4に示すように、本例のプローブ装置1では、一例として、挟持用部材43における挟持用部材42との対向面が平坦に形成されている(「両挟持用部材の少なくとも一方」が、保持部本体41に接するように配置される挟持用部材42だけである構成の例)。この場合、本例のプローブ装置1では、図1,2,10,11に示すように、プローブ3aの先端部31a(「先端部側部位」の一例)およびプローブ3b,3bの先端部31b,31b(「先端部側部位」の一例)が挟持用部材42,43から突出するようにプローブ3a,3b,3bを両挟持用部材42,43によって挟持した状態で保持する構成が採用されている。
固定用部材44は、「固定用部材」の一例であって、雄ネジ45,45と相俟って「固定具」を構成する。この固定用部材44は、上記の保持部本体41と同様にしてアルミニウム合金やステンレス鋼などの導電体で形成されている。また、図3,4,6に示すように、固定用部材44には、その幅方向の両端部に雄ネジ45を挿通可能な挿通用孔55(「ネジ挿通部」の一例)がそれぞれ形成されている。
この場合、本例のプローブ装置1におけるプローブ保持部4では、固定用部材44の挿通用孔55,55を挿通させた雄ネジ45,45が保持部本体41のネジ穴51,51に捩じ込まれて固定用部材44が保持部本体41に接近させられることにより、各プローブ3a,3b,3bを挟持した挟持用部材42,43が保持部本体41と固定用部材44との間に挟み込まれ、これにより、挟持用部材42、プローブ3a,3b,3bおよび挟持用部材43の積層体が固定用部材44によって保持部本体41の底面に押し付けられるようにして固定される構成が採用されている
なお、本例のプローブ装置1では、固定用部材44において挿通用孔55が形成されている部位が「第2の部位」に相当し、かつ固定用部材44において挟持用部材43に当接させられる部位(幅方向の中央部)が「第1の部位」に相当すると共に、この「第1の部位」と「第2の部位」との間の「第3の部位」の厚み(挿通用孔55に対する雄ネジ45の挿通方向に沿った厚み)が、「第1の部位」の厚みよりも薄くなるように「第1の部位」に凸部56が設けられ、凸部56の突端面が挟持用部材43に当接するように構成されている。また、以下の説明においては、上記の「第1の部位」と「第2の部位(凸部56の形成部位)」との間の「第3の部位」を薄厚部57ともいう。
雄ネジ45,45は、「雄ネジ」の一例であって、本例のプローブ装置1では、スレンレス鋼などの導電体で形成されている。この場合、前述したように、本例のプローブ装置1では、保持部本体41および固定用部材44が導電体で形成されている。したがって、本例のプローブ装置1では、後述するように、保持部本体41と固定用部材44との間にプローブ3b,3bの後端部32b,32bを挟み込んだ状態で固定用部材44の挿通用孔55およびプローブ3b,3bの挿通用孔34,34を挿通させた雄ネジ45,45を保持部本体41のネジ穴51,51に捩じ込むことにより、保持部本体41、プローブ3b,3b、固定用部材44および雄ネジ45,45が電気的に相互に接続された状態となる。
コネクタ5は、プローブ3a,3b,3bを図示しない信号ケーブル(同軸ケーブル)に接続するための接続具であって、図3,8,9に示すように、コンタクト5a、誘電体5bおよびボディ5cを備えている。また、ボディ5cの周面には、ベース部2の取付け用穴24aに形成された雌ネジに捩じ込み可能な雄ネジが形成されている。なお、プローブ装置1の構成に関する理解を容易にするために、図示および詳細な説明を省略するが、コネクタ5とベース部2との間には、必要に応じて、スプリングワッシャや菊座ワッシャなどが挟み込まれることもある。また、信号ケーブルを介さずに各プローブ3a,3b,3bを図示しない測定回路に対して直接接続する構成を採用する場合には、コネクタ5を設けずに、各プローブ3a,3b,3bの後端部32a,32b,32bを回路基板に接続可能に構成することもできる。
ステー6は、図示しない移動機構(プロービング機構)にプローブ装置1を固定するための固定用金具であって、図3に示すように、このステー6をベース部2に固定するための雄ネジ12,12を挿通可能な挿通用孔61,61、およびプローブ装置1(ステー6)を移動機構に固定するための図示しない雄ネジを挿通可能な挿通用孔62,62が形成されている。
このプローブ装置1の製造に際しては、まず、ベース部2、プローブ3a,3b,3b、プローブ保持部4(保持部本体41、挟持用部材42,43および固定用部材44)およびステー6などをそれぞれ製作する。この場合、前述の特許文献に開示のプローブ装置では、高周波信号特性に優れた同軸ケーブルの中から適当な弾性復元力を有する同軸ケーブルを選定するのが困難となっており、適切な大きさのプローブ荷重を発揮可能とするために、設計の自由度が低下している。これに対して、本例のプローブ装置1では、前述したように、ニッケル合金等を用いた電気鋳造処理によってプローブ3a,3b,3bを薄板状に成形するため、必要とされるプローブ荷重に代えてプローブ3a,3b,3bの幅、長さおよび厚みなどを適宜変更して電気鋳造処理を行うだけで、適切な大きさのプローブ荷重を発揮可能なプローブ装置1を製造することが可能となっている。これにより、設計の自由度が充分に向上している。
次いで、ベース部2の取付け用穴24aにコネクタ5(ボディ5c)を捩じ込むことでベース部2にコネクタ5を取り付け、かつ挿通用孔61,61を挿通させた雄ネジ12,12をベース部2のネジ穴22,22に捩じ込むことでベース部2にステー6を固定すると共に、プローブ保持部4によって各プローブ3a,3b,3bを保持させる。
この場合、プローブ保持部4によるプローブ3a,3b,3bの保持に際しては、まず、各プローブ3a,3b,3bを図3,5に示すように板面方向に沿って並べた状態で挟持用部材42の位置決め用凹部42aに嵌入する。次いで、各プローブ3a,3b,3bを挟み込むようにして挟持用部材42に挟持用部材43を対向させた状態で、挟持用部材42、プローブ3a,3b,3bおよび挟持用部材43の積層体を保持部本体41の底部における幅方向の中央部に配置する。続いて、固定用部材44の挿通用孔55,55を挿通させた雄ネジ45,45を保持部本体41のネジ穴51,51に捩じ込むことにより、固定用部材44を保持部本体41に対して接近させる。
この際には、挟持用部材42、プローブ3a,3b,3bおよび挟持用部材43の積層体が保持部本体41と固定用部材44との間に挟み込まれた状態となり、挟持用部材42,43によって挟持された各プローブ3a,3b,3bが保持部本体41に対して位置決めされた状態となる。この場合、固定用部材44の挿通用孔55,55を挿通させた雄ネジ45,45を保持部本体41のネジ穴51,51に捩じ込んだときには、保持部本体41に対する固定用部材44の接近に伴い、まず、図7における上図に示すように、固定用部材44の凸部56における突端が挟持用部材43に当接し、雄ネジ45,45をさらに捩じ込むことにより、同図における下図に示すように、固定用部材44における挿通用孔55の形成部位がプローブ3b,3bに当接した状態となって保持部本体41と固定用部材44との間にプローブ3b,3b(後端部32b,32b)が挟み込まれた状態となる。
また、本例のプローブ装置1(プローブ保持部4)における固定用部材44では、前述したように、固定用部材44において挟持用部材43に当接させられる部位に凸部56が形成されると共に、凸部56(第1の部位)よりも、凸部56とネジ穴51の形成部位(第2の部位)との間の薄厚部57(第3の部位)が薄くなるように形成されている。したがって、保持部本体41と固定用部材44との間にプローブ3b,3bが挟み込まれるまでネジ穴51,51に対して雄ネジ45,45を充分に捩じ込んだ状態では、図7における下図に示すように、固定用部材44の薄厚部57,57が僅かに変形して凸部56の突端が挟持用部材43に押し付けられた状態となる結果、固定用部材44と挟持用部材43との間に隙間が生じた状態となるのが好適に回避される。なお、同図では、薄厚部57の変形に関する理解を容易とするために、その変形の度合いが大きくなるように誇張して図示している。これにより、挟持用部材42、プローブ3a,3b,3bおよび挟持用部材43の積層体が固定用部材44によって保持部本体41に対して充分な押し付け力で押し付けられた状態となり、図4に示すように、プローブ保持部4によるプローブ3a,3b,3bの保持が完了する。
次いで、プローブ3a,3b,3bを保持した状態のプローブ保持部4をベース部2に取り付ける。具体的には、プローブ保持部4における保持部本体41の後端部をベース部2の段部23に係合させる。この場合、本例のプローブ装置1では、図8,9に示すように、段部23に保持部本体41を係合させたときに、挟持用部材42,43によって挟持されているプローブ3aの後端部32aにおける接続部33が、ベース部2に取り付けられているコネクタ5のコンタクト5aに対して押し付けられてプローブ3aがコネクタ5のコンタクト5aに対して電気的に相互に接続された状態となるように構成されている。
次いで、保持部本体41の挿通用孔52,52を挿通させた雄ネジ11,11をベース部2のネジ穴21,21に捩じ込むことでプローブ保持部4をベース部2に固定する。これにより、ベース部2、プローブ3a,3b,3b、プローブ保持部4、コネクタ5およびステー6が一体化した状態になると共に、プローブ3b,3bに対して電気的に接続された状態の保持部本体41と、ベース部2に取り付けられた状態のコネクタ5におけるボディ5cとがベース部2および雄ネジ11,11を介して電気的に相互に接続された状態となる。以上により、一連の組立て作業が完了し、図1,2に示すように、プローブ装置1が完成する。
このプローブ装置1を用いてプロービング対象Xについての電気的特性を測定する際には、ステー6の挿通用孔62,62を挿通させた雄ネジを図示しない移動機構に捩じ込むことでプローブ装置1を移動機構に取り付けると共に、図示しない信号ケーブルを介してプローブ装置1のコネクタ5(コンタクト5aおよびボディ5c)を測定装置に接続する。次いで、測定開始が指示されたときには、図10に示すように、移動機構によってプローブ装置1がプロービング対象X上に移動させられた後にプロービング対象Xに向けて接近させられることにより、図11に示すように、各プローブ3a,3b,3bの先端部31a,31b,31gがプロービング対象Xに対してプロービングされる。
この際には、同図に示すように、各プローブ3a,3b,3bにおいてプローブ保持部4の挟持用部材42,43から突出させられている先端部31a,31b,31b側の部位が各プローブ3a,3b,3bの板厚方向に沿って弾性変形させられる結果、その弾性復元力によって先端部31a,31b,31bがプロービング対象Xに対して充分な押し付け力で押し付けられた状態となる。
この場合、このプローブ装置1では、プローブ3a,3b,3bにおいてプローブ保持部4の両挟持用部材42,43から突出させられている先端部31a,31b,31b側の部位が、プロービング時にプローブ保持部4のいずれの部位に接触することなく弾性変形させられる。したがって、各プローブ3a,3b,3bの弾性変形の度合いに応じて変化する弾性復元力だけがプローブ荷重として作用するため、プロービング時にプローブ荷重が急激に変化することがない。この結果、所望のプローブ加重で各プローブ3a,3b,3bをプロービング対象Xに対して好適にプロービングさせることができる。
また、このプローブ装置1では、プローブ3a,3b,3bにおいてプローブ保持部4の両挟持用部材42,43から突出させられている先端部31a,31b,31b側の部位を除く部位(本例では、プローブ3aにおける後端部32aの接続部33およびプローブ3bにおける後端部32bの挿通用孔34の近傍)において、プローブ3a,3b,3bが「シグナル電位の導体部(コネクタ5のコンタクト5a)」や「グランド電位の導体部(保持部本体41および固定用部材44等)」にそれぞれ接続されている。これにより、このプローブ装置1では、プローブ3a,3b,3bにおいてプロービング時に弾性変形させられる部位に半田付け部位が存在しない構成となっている。
このように、このプローブ装置1では、プローブ保持部4が、導電体で形成された保持部本体41と、プローブ3a(「シグナル端子」としての「第1の金属プレート」)およびプローブ3b,3b(「グランド端子」としての「第2の金属プレート」)を挟持可能にそれぞれ誘電体で形成された一対の挟持用部材42,43と、プローブ3a,3b,3bを挟持した状態の両挟持用部材42,43を保持部本体41に固定可能な「固定具(本例では、固定用部材44および雄ネジ45,45)」とを備え、プローブ3a,3b,3bが、板面方向に沿って並んだ状態で両挟持用部材42,43によって挟持され、かつ両挟持用部材42,43から先端部31a,31b,31bがそれぞれ突出させられると共に、先端部31a,31b,31bが板厚方向に沿って弾性変形可能に構成されている。
したがって、このプローブ装置1によれば、プローブ3a,3b,3bにおいてプローブ加重が作用する部位に半田付け部位が存在しないため、その耐用寿命を充分に長くすることができると共に、フラックスの量や半田材の量、および半田付け処理時の温度等の相違に応じて生じる電気的特性のばらつきが生じないため、被測定量を正確に測定することができる。また、プローブ3a,3b,3bの幅、長さおよび厚みのうちのいずれかを変更することで適切なプローブ荷重を発揮し得る弾性復元力を備えた構成とすることができるため、その設計の自由度を充分に向上させることができる。さらに、プローブ3a,3b,3bにおいてプロービング時に弾性変形させられる部位がプローブ保持部4に接せず、弾性変形時に弾性復元力が急激に変化することがないため、プローブ荷重のばらつきを充分に小さくすることができる結果、適切な大きさのプローブ荷重でのプロービングを確実かつ容易に行うことができる。
また、このプローブ装置1では、「固定具」が、導電体で形成された固定用部材44と、導電体で形成された2本の雄ネジ45,45とを備えると共に、固定用部材44に形成された挿通用孔55,55を挿通させた各雄ネジ45,45が保持部本体41に配設されたネジ穴51,51に捩じ込まれることでプローブ3a,3b,3bを挟持した両挟持用部材42,43を固定用部材44によって保持部本体41に押し付けて固定可能に構成されている。
したがって、このプローブ装置1によれば、保持部本体41および固定用部材44をそれぞれグランド電位とするために保持部本体41および固定用部材44を相互に接続する配線等を別途設けることなく、雄ネジ45,45によって保持部本体41に固定用部材44を固定しつつ保持部本体41および固定用部材44を電気的に相互に接続することができるため、プローブ装置1の組立てコストおよび部品コストを充分に低減することができる。
さらに、このプローブ装置1によれば、プローブ3b,3bを保持部本体41および固定用部材44の間に挟み込んでプローブ3b,3b、保持部本体41および固定用部材44を電気的に相互に接続したことにより、プローブ3b,3bを保持部本体41や固定用部材44に電気的に接続する配線等を別途設けることなく、雄ネジ45,45によって保持部本体41に固定用部材44を固定しつつ、保持部本体41、プローブ3b,3bおよび雄ネジ45を電気的に相互に接続することができるため、プローブ装置1の組立てコストおよび部品コストを一層低減することができる。
また、このプローブ装置1によれば、挟持用部材42,43に当接させられる「第1の部位(凸部56の形成部位)」を挟んで少なくとも2箇所の「第2の部位」が設けられて両「第2の部位」に挿通用孔55が形成されると共に、挿通用孔55,55に対する雄ネジ45,45の挿通方向に沿った「第1の部位」の厚みよりも、「第1の部位」と「第2の部位」との間の「第3の部位(薄厚部57)」の挿通方向に沿った厚みが薄くなるように固定用部材44を構成したことにより、雄ネジ45,45の捩じ込みによって弾性変形させられる薄厚部57,57の弾性復元力によって挟持用部材43に対して凸部56を充分な力で押し付けることができ、これにより、プローブ3a,3b,3bを挟持用部材42,43によって確実に挟持できると共に、挟持用部材42、プローブ3a,3b,3bおよび挟持用部材43の積層体を保持部本体41に確実に固定することができる。
さらに、このプローブ装置1によれば、プローブ3a,3b,3bの厚みよりも浅い位置決め用凹部42aを両挟持用部材42に形成して位置決め用凹部42aにプローブ3a,3b,3bを嵌入して位置決めしたことにより、挟持用部材42に対するプローブ3a,3b,3bの意図しない位置ずれを好適に回避することができる。
また、このプローブ装置1によれば、「第2の金属プレート」に相当するプローブ3bを2枚備えて両プローブ3b,3bの間にプローブ3aを配置したことにより、「シグナル端子」および「グランド端子」をそれぞれ1つずつ備えた構成と比較して、各「グランド端子」で「シグナル端子」をシールドできるため、プローブ装置1の高周波信号特性を充分に向上させることができる。
なお、「プローブ装置」の構成は、上記のプローブ装置1の構成の例に限定されない。例えば、「グランド端子としての第2の金属プレート」に相当するプローブ3bを2枚備えて構成したプローブ装置1を例に挙げて説明したが、「シグナル端子としての第1の金属プレート」および「グランド端子としての第2の金属プレート」をそれぞれ1枚ずつ備えて「プローブ装置」を構成することもできる。
また、固定用部材44および雄ネジ45,45を備えて「固定具」を構成した例について説明したが、このような構成に代えて、例えば、プローブ装置1における挟持用部材43および固定用部材44を誘電体によって一体形成して「一対の挟持用部材のうちの1つ」を構成すると共に、雄ネジ45,45だけで「固定具」を構成し、上記の「一対の挟持用部材のうちの1つ」に設けられた「ネジ挿通部(プローブ装置1における固定用部材44の挿通用孔55,55と同様の構成要素)」に雄ネジ45,45を挿通させて保持部本体41のネジ穴51,51に捩じ込む構成を採用することもできる(図示せず)。
さらに、保持部本体41に設けたネジ穴51,51を「雌ネジ」として機能させて雄ネジ45,45を捩じ込む構成に代えて、「保持部本体」に配設した「ナット」を「雌ネジ」として使用して雄ネジ45,45等の「雄ネジ」を捩じ込む構成を採用することもできる(図示せず)。また、雄ネジ45,45のような「雄ネジ」に代えて、「保持部本体」と「固定用部材」(または、上記の「一対の挟持用部材のうちの1つ」)とを挟持可能なコ字状のクリップ材を備えて「固定具」を構成することもできる(図示せず)。この場合、「雄ネジ」や「クリップ」の数は、2つに限定されず、3つ以上の任意の数とすることができる。また、「雌ネジ」の数についても「雄ネジ」の数に合わせて3つ以上の任意の数とすることができる。
さらに、「挿通用孔55」に代えて、各種形状の「切欠き」や「スリット」を「ネジ挿通部」として設けて「固定用部材」を構成することもできる。また、固定用部材44の挿通用孔55,55およびプローブ3b,3bの挿通用孔34,34を挿通させた雄ネジ45,45を保持部本体41のネジ穴51,51に捩じ込むことで固定用部材44、プローブ3b,3bおよび保持部本体41を電気的に相互に接続する構成のプローブ装置1を例に挙げて説明したが、「グランド端子としての第2の金属プレート」を「保持部本体」や「固定用部材」に電気的に接続するための配線を別途設けることもできる。
また、「一対の挟持用部材」に相当する挟持用部材42,43の一方(本例では、挟持用部材42)に「位置決め用凹部」の一例である位置決め用凹部42aを設けた構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて(または、このような構成に加えて)プローブ装置1における挟持用部材43に相当する「挟持用部材」に「位置決め用凹部」を設ける構成を採用することもできる。この場合、「一対の挟持用部材」の双方に「位置決め用凹部」を形成するときには、「第1の金属プレート」および「第2の金属プレート」の挟持に際して両「挟持用部材」が直接接しないように、両「位置決め用凹部」の深さの合計が「第1の金属プレート」や「第2の金属プレート」の厚みを下回るによう形成する必要がある。
本願発明は、シグナル端子およびグランド端子においてプローブ加重が作用する部位に半田付け部位が存在しないため、その耐用寿命を充分に長くすることができると共に、フラックスの量や半田材の量、および半田付け処理時の温度等の相違に応じて生じる電気的特性のばらつきが生じないため、被測定量を正確に測定することができ、シグナル端子およびグランド端子を構成する両金属プレートの幅、長さおよび厚みのうちのいずれかを変更することで適切なプローブ荷重を発揮し得る弾性復元力を備えた構成とすることができるため、その設計の自由度を充分に向上させることができ、シグナル端子およびグランド端子においてプロービング時に弾性変形させられる部位が端子保持部に接せず、弾性変形時に弾性復元力が急激に変化することがないため、プローブ荷重のばらつきを充分に小さくすることができる結果、適切な大きさのプローブ荷重でのプロービングを確実かつ容易に行うことができる。これにより、シグナル端子およびグランド端子が近接配置されたプローブ装置に好適に利用することができる。
1 プローブ装置
2 ベース部
3a,3b,3b プローブ
4 プローブ保持部
5 コネクタ
6 ステー
11,12,45 雄ネジ
21,22,51 ネジ穴
24a 取付け用穴
24b,34,52,55,61,62 挿通用孔
31a,31b 先端部
32a,32b 後端部
33 接続部
41 保持部本体
42,43 挟持用部材
42a 位置決め用凹部
44 固定用部材
56 凸部
57 薄厚部
X プロービング対象
2 ベース部
3a,3b,3b プローブ
4 プローブ保持部
5 コネクタ
6 ステー
11,12,45 雄ネジ
21,22,51 ネジ穴
24a 取付け用穴
24b,34,52,55,61,62 挿通用孔
31a,31b 先端部
32a,32b 後端部
33 接続部
41 保持部本体
42,43 挟持用部材
42a 位置決め用凹部
44 固定用部材
56 凸部
57 薄厚部
X プロービング対象
Claims (6)
- シグナル端子およびグランド端子が近接配置された状態で端子保持部によって保持されたプローブ装置であって、
前記シグナル端子としての第1の金属プレート、および前記グランド端子としての第2の金属プレートを備え、
前記端子保持部は、導電体で形成された保持部本体と、前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートを挟持可能にそれぞれ誘電体で形成された一対の挟持用部材と、前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートを挟持した状態の前記両挟持用部材を前記保持部本体に固定可能な固定具とを備え、
前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートは、板面方向に沿って並んだ状態で前記両挟持用部材によって挟持され、かつ当該両挟持用部材から先端部側部位がそれぞれ突出させられると共に、当該先端部側部位が板厚方向に沿って弾性変形可能に構成されているプローブ装置。 - 前記固定具は、導電体で形成された固定用部材と、導電体で形成された少なくとも2本の雄ネジとを備えると共に、前記固定用部材に形成されたネジ挿通部を挿通させた前記各雄ネジが前記保持部本体に配設された雌ネジに捩じ込まれることで前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートを挟持した前記両挟持用部材を当該固定用部材によって当該保持部本体に押し付けて固定可能に構成されている請求項1記載のプローブ装置。
- 前記第2の金属プレートが前記保持部本体および前記固定用部材の間に挟み込まれて当該第2の金属プレート、当該保持部本体および当該固定用部材が電気的に相互に接続されている請求項2記載のプローブ装置。
- 前記固定用部材は、前記挟持用部材に当接させられる第1の部位を挟んで少なくとも2箇所の第2の部位が設けられて当該各第2の部位にネジ挿通部が形成されると共に、前記ネジ挿通部に対する前記雄ネジの挿通方向に沿った前記第1の部位の厚みよりも、前記第1の部位と前記第2の部位との間の第3の部位の当該挿通方向に沿った厚みが薄くなるように形成されている請求項2または3記載のプローブ装置。
- 前記第1の金属プレートおよび前記第2の金属プレートの厚みよりも浅い位置決め用凹部が前記両挟持用部材の少なくとも一方に形成されて当該位置決め用凹部に当該第1の金属プレートおよび当該第2の金属プレートが嵌入されて位置決めされている請求項1から4のいずれかに記載のプローブ装置。
- 前記第2の金属プレートを2枚備え、当該両第2の金属プレートの間に前記第1の金属プレートが配置されている請求項1から5のいずれかに記載のプローブ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17/605,101 US12000862B2 (en) | 2019-04-26 | 2020-03-05 | Probe apparatus |
CN202080031069.4A CN113728236B (zh) | 2019-04-26 | 2020-03-05 | 探针装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019-085595 | 2019-04-26 | ||
JP2019085595A JP7387285B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | プローブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2020217729A1 true WO2020217729A1 (ja) | 2020-10-29 |
Family
ID=72942526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/009347 WO2020217729A1 (ja) | 2019-04-26 | 2020-03-05 | プローブ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US12000862B2 (ja) |
JP (1) | JP7387285B2 (ja) |
CN (1) | CN113728236B (ja) |
WO (1) | WO2020217729A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02208572A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-20 | Nec Corp | 高周波プローブ |
JP2001194387A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブおよびその製造方法 |
JP2006194765A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Molex Inc | 高周波プローブ装置 |
JP2011196821A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Advanced Systems Japan Inc | 高周波プローブ |
JP2014013196A (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-23 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 高周波プローブ |
US20150185253A1 (en) * | 2013-12-31 | 2015-07-02 | Mpi Corporation | Probe module |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1186019A (en) * | 1915-11-01 | 1916-06-06 | Meisel Press And Mfg Company | Numbering-head. |
US5506515A (en) | 1994-07-20 | 1996-04-09 | Cascade Microtech, Inc. | High-frequency probe tip assembly |
US5936547A (en) * | 1997-07-15 | 1999-08-10 | Ameritech Corporation | System and method for providing user-selected information to a paging-capable device |
DE19945178C2 (de) * | 1999-09-21 | 2003-05-28 | Rosenberger Hochfrequenztech | Meßspitze zur Hochfrequenzmessung und Verfahren zu deren Herstellung |
US6930497B2 (en) * | 2001-12-19 | 2005-08-16 | Chung Shan Institute Of Science And Technology Armaments Bureau, M.N.D. | Flexible multi-layered probe for measuring a signal from an object |
KR20060126700A (ko) * | 2003-12-24 | 2006-12-08 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 능동 웨이퍼 프로브 |
WO2007123185A1 (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-01 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | コンタクトプローブ、及びその作製方法 |
JP2006330006A (ja) * | 2006-09-04 | 2006-12-07 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ装置および回路基板検査装置 |
US20080186036A1 (en) * | 2007-02-06 | 2008-08-07 | Brian Shumaker | High Speed Electrical Probe |
DE202008010533U1 (de) * | 2008-08-07 | 2008-10-30 | Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg | Kontaktlose Schleifensonde |
JP6576176B2 (ja) * | 2015-09-09 | 2019-09-18 | 日置電機株式会社 | プローブユニットおよび基板検査装置 |
CN208026771U (zh) * | 2018-01-31 | 2018-10-30 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 刀片式探针的安装结构 |
-
2019
- 2019-04-26 JP JP2019085595A patent/JP7387285B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-05 CN CN202080031069.4A patent/CN113728236B/zh active Active
- 2020-03-05 US US17/605,101 patent/US12000862B2/en active Active
- 2020-03-05 WO PCT/JP2020/009347 patent/WO2020217729A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02208572A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-20 | Nec Corp | 高周波プローブ |
JP2001194387A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブおよびその製造方法 |
JP2006194765A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Molex Inc | 高周波プローブ装置 |
JP2011196821A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Advanced Systems Japan Inc | 高周波プローブ |
JP2014013196A (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-23 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 高周波プローブ |
US20150185253A1 (en) * | 2013-12-31 | 2015-07-02 | Mpi Corporation | Probe module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020180931A (ja) | 2020-11-05 |
CN113728236A (zh) | 2021-11-30 |
US20220206042A1 (en) | 2022-06-30 |
JP7387285B2 (ja) | 2023-11-28 |
US12000862B2 (en) | 2024-06-04 |
CN113728236B (zh) | 2024-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9140722B2 (en) | Contact and connector | |
JPH087232B2 (ja) | Icアダプタ | |
JP2004325306A (ja) | 検査用同軸プローブおよびそれを用いた検査ユニット | |
JP2008541409A (ja) | 高周波コネクタ組立体 | |
WO2008072322A1 (ja) | 同軸ケーブルユニット、及び試験装置 | |
JPH11281675A (ja) | 信号測定用プローブ | |
WO2010075336A1 (en) | Coaxial connector | |
JPH04230865A (ja) | 電気試験プローブ | |
WO2020217729A1 (ja) | プローブ装置 | |
JPH0727005B2 (ja) | 検査装置 | |
JPH11219746A (ja) | 電気接続用コネクタ | |
JP6515216B1 (ja) | コネクタ及び測温ユニット | |
JP4765508B2 (ja) | 高周波デバイスの測定治具 | |
US10892574B2 (en) | Cable-to-board connector | |
CN111224265A (zh) | 连接器 | |
JP3815165B2 (ja) | 電子部品の測定装置 | |
CN112956082A (zh) | 连接器以及三向传输和转换电路模块 | |
JPH08110366A (ja) | 表面実装型電子部品の測定治具 | |
JP3340294B2 (ja) | 電子部品用コネクタ | |
JPH11258270A (ja) | 先端脱着式高周波プローブ | |
JP3190885B2 (ja) | 高周波プローブの先端構造 | |
JP2000304769A (ja) | プローブ | |
KR102331204B1 (ko) | 전기 시험용 전기 전도 장치 | |
JP6847139B2 (ja) | Hf信号伝送用コネクタモジュールおよびコネクタ | |
JP6515217B1 (ja) | コネクタ及び測温ユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 20795685 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 20795685 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |