WO2019240516A2 - Gate valve system and control method therefor - Google Patents

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sealing member
passage
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Definitions

  • the present invention relates to a gate valve system and a control method thereof, and more particularly, to a gate valve system and a control method thereof to allow the exchange of the o-ring or sealing plate while maintaining a vacuum in the chamber. It is about.
  • a gate valve is a semiconductor manufacturing facility provided between chambers of a semiconductor process to provide an inter-chamber passage and to open and close the provided passage, also called a slit valve.
  • the semiconductor process refers to various processes such as exposure, etching, deposition, and cleaning, and each process is performed in a vacuum chamber, so it is important to keep the chamber in a vacuum state.
  • the gate valve must be closed to open the gate valve to prevent diffusion of materials generated by the process performed in the chamber after the chamber receives the workpiece or the like, or to the other chamber, and to keep the other chamber in a vacuum state.
  • the gate valve moves the sealing plate to open and close the passage.
  • a sealing member such as an o-ring is attached to the sealing plate to seal the inside of the chamber.
  • the O-rings need to be replaced regularly as consumables.
  • the semiconductor process In order to replace the O-rings, the semiconductor process must be stopped, and after the O-rings are replaced, impurities in the chamber must be removed and vacuum suctioned takes a lot of time.
  • Korean Patent No. 10-0756110 shown in Fig. 1 is mounted in the carry-in opening of the processing chamber 4, and has a carry-in opening 37 in the gate valve device which opens and closes with the conveyance chamber 6 side in a vacuum state.
  • Valve body 44 which is seated so as to be able to open and close a), a sealing member 66 that is detachably provided on the surface of the valve body 44, and which is in airtight contact with the seating surface around the carry-in opening 37;
  • the maintenance sealing member 68 provided so that the outer periphery of the sealing member 66 may be enclosed at predetermined intervals from the sealing member 66, and the sealing member is installed in the valve housing and seats the valve body 44.
  • the maintenance opening 72 and the outside of the maintenance opening 72 which are the size which can be hermetically sealed by the maintenance sealing member 68 in the state which the 66 was exposed are detachably airtight.
  • the valve body drive mechanism which moves and seats between the maintenance opening 72 and seats is provided, and the gate valve apparatus which can replace the sealing member 66 without opening the conveyance chamber side to the air is provided.
  • sealing member 66 has the same meaning as the O-ring or the sealing member, and the valve body 44 has the same meaning as the sealing plate.
  • the moving distance of the sealing plate is long so that the supporting member 98 and the supporting member 98 connected to the sealing plate are up and down.
  • the cylinder to be moved to must be longer and can be time consuming if the sealing plate is moved to the front of the maintenance opening 72.
  • the prior art requires that the sealing plate be moved and fixed to three positions, such as the lowermost end of the gate valve, the front of the carry-in opening 37 or the front of the maintenance opening 72 for chamber opening, chamber sealing or O-ring exchange. Therefore, the manufacturing method is complicated and the manufacturing cost may increase.
  • the prior art requires a separate space for the O-ring exchange, so that the gate valve may protrude above the chamber, the impact may be applied to the gate valve by the protruding portion and the space for using other equipment may be limited. .
  • FIG. 2 is a view showing a change in height of the sealing plate with time in the gate valve of FIG.
  • the height of the sealing plate means the height of the sealing plate in the gate valve when the sealing plate is moved to three positions in order to open the chamber, close the chamber, or replace the O-ring in FIG. 1.
  • the sealing plate when the gate valve is opened to open the chamber in the gate valve of FIG. 1, when the height of the sealing plate is the minimum value A, and when the gate valve is to be closed to close the chamber, the sealing plate may have an opening opening 37.
  • the height of the sealing plate must be increased to the value of B since it must be moved up to the front of the
  • the height of the sealing plate should be increased to the value C.
  • the length of the cylinder for moving the connected support member 98 and the support member 98 up and down should be longer by the difference between the B value and the C value.
  • the gate valve may become unstable and the manufacturing cost increases.
  • the O-ring replacement requires additional time since the sealing plate must be moved higher.
  • the conventional sealing member replaceable gate valve has a number of problems, such as the time it takes for the valve body and the sealing member to reach the thermal equilibrium after the sealing member replacement is very long, which wastes a lot of time and cost
  • the sealing members have problems such as being easily deteriorated or damaged due to thermal stress and thermal damage.
  • the present invention is to solve the various problems including the above problems, while maintaining the vacuum in the chamber, it is possible to easily replace the sealing plate and the sealing members, the gate valve is minimized by minimizing the moving distance of the sealing plate Stable operation, reduced manufacturing cost, saving movement time of sealing plate, saving space of gate valve, minimizing movement distance of sealing plate, stable operation of gate valve, reduction of manufacturing cost and sealing It can save the plate moving time, save the space of gate valve, determine whether the exchanged sealing member is genuine or stop the operation of the gate valve if it is not genuine, and the whole door including O-ring Replaceable, significantly reducing replacement costs and time High volume reduction reduces equipment cost, vacuum build-up time and cost, for example, by simply lowering the movable platform to allow door replacement without breaking the overall vacuum of the valve housing, By installing a heat exchanger on the inner side of the valve body, it is possible to quickly heat or cool the valve body and the replaced new first sealing member, which can greatly reduce the preparation time and cost of the equipment, and the second sealing member can be opened in the replacement area.
  • the gate valve system for solving the above problems, the sealing plate for opening and closing the chamber; A support part connected to the sealing plate; A drive unit for moving the support part up and down; A valve housing having the sealing plate and the support part therein and formed with a passage and an exchange part; A first sealing member sealing the passage by the movement of the sealing plate; And a second sealing member sealing the exchange part by the movement of the sealing plate, wherein the driving part moves the sealing plate to a position corresponding to a passage or an exchange part.
  • the sealing member exchange method of the gate valve system for solving the above problems, the sealing plate for opening and closing the chamber, the support portion connected to the sealing plate, the drive unit for moving the support part up and down, the sealing plate And a valve housing having a support portion therein and having a passage and an exchange portion, a first sealing member sealing the passage by movement of the sealing plate, and a second sealing member sealing the exchange portion by movement of the sealing plate, A first valve for communicating or shielding the outside of the valve housing and the exchange part, and a second valve for communicating or shielding the inside or the outside of the valve housing with the exchange part, wherein the driving part passes through the sealing plate through a passage or exchange part.
  • a method of replacing a closure member comprising: sealing the exchange part by movement of the sealing plate; Increasing the pressure of the exchanger through a first valve; Opening the exchange to the outside; Exchanging a first sealing member provided on the sealing plate; Sealing the exchange part; And reducing the pressure of the exchange unit through the second valve.
  • the valve housing is formed with at least one passage; A door in which a first sealing member is installed to block the passage; A movable table for supporting the door in a detachable manner; A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage; A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And the door replacement area of the valve housing when the moving device is installed on the movable table and moved in the third direction opposite to the first direction from the standby position to the third position by using the first direction moving device. And an isolation member that is present.
  • the isolation member a lower lower surface portion formed to correspond to the inner surface of the valve housing; An intermediate inclined portion formed to be connected to the lower lower surface portion so as to correspond to an inclined surface of the protruding wall portion formed to protrude into the valve housing; And an upper lower surface portion formed to be connected to the intermediate inclined portion so as to correspond to an upper surface of the protruding wall portion.
  • the lower lower surface portion, the edge portion of the middle inclined portion and the upper lower surface portion or the contact surface of the protruding wall portion so as to release the vacuum only the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing.
  • the second sealing member may be installed in the.
  • At least one of the valve housing or the protruding wall portion corresponding to the door replacement area, at least one of the lower surface, the front surface, and combinations thereof is selected to form a door replacement opening, and the door A cover may be installed in the replacement opening.
  • the door may be a slide replaceable door that can be attached and detached along the rail member installed in the second direction movement device.
  • the door may be a fastening replaceable door that is detachably installed to the second direction moving device using a fixture or a jig.
  • the valve housing is formed with at least one passage; A door in which a first sealing member is installed to block the passage; A movable table for supporting the door in a detachable manner; A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage; A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And installed in the second direction moving device or the movable table, and are primarily moved from the standby position to the third position using the first direction moving device, and the third position using the second direction moving device. And an insulating member capable of isolating the door replacement area of the valve housing by being moved second to the fourth position in the second direction.
  • the isolation member may include an isolation plate formed to correspond to a side surface of the protruding wall portion protruding horizontally in a ring shape in the valve housing.
  • a second sealing member may be installed on the contact surface of the isolation plate or the protruding wall so as to release the vacuum only in the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing.
  • At least one of the valve housing or the protruding wall portion corresponding to the door replacement area, at least one of the lower surface, the front surface, and combinations thereof is selected to form a door replacement opening, and the door A cover may be installed in the replacement opening.
  • the door may be a slide replaceable door that can be attached and detached along the rail member provided in the second direction moving device or the separator plate.
  • the door may be a fastening replaceable door that is detachably installed to the second direction moving device using a fixture or a jig.
  • the valve housing is formed with at least one passage; A valve body provided with a first sealing member to block the passage; A moving device capable of moving the valve body in the passage direction; A cover provided in the opening of the replacement area of the valve housing so as to replace the first sealing member while maintaining the vacuum state of the vacuum area of the valve housing; And a heat exchanger installed on the cover to heat or cool the valve body or the first sealing member.
  • the gate valve is stable by minimizing the moving distance of the sealing plate It can reduce the manufacturing cost, save the moving time of the sealing plate, save the space of the gate valve, minimize the moving distance of the sealing plate, operate the gate valve stably, reduce the manufacturing cost and It can save travel time, save space of gate valve, determine whether the exchanged sealing member is genuine, stop the operation of gate valve if it is not genuine, and replace the whole door including O-ring. Significantly reduce replacement costs and time, and reduce the volume of equipment In order to reduce the unit cost and the time and cost of vacuum formation.
  • simply lowering the movable platform allows the door to be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the equipment. It is possible to improve the durability and performance of the equipment, and by installing a heat exchanger on the inner side of the cover which can be opposed to the valve body, it is possible to quickly heat or cool the valve body and the replaced new first sealing member to prepare the equipment. It can significantly reduce the cost and cost, and minimize the thermal stress and thermal damage by installing the second sealing member in the opening part of the replacement area to keep it away from the high temperature process module. It has the effect of greatly increasing. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
  • FIG. 1 is a side view illustrating an example of a conventional gate valve by way of example.
  • FIG. 2 is a view showing a change in height of the sealing plate with time in the gate valve of FIG.
  • 3A and 3B are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 5 is a front view exemplarily showing an example of a sealing plate according to the present invention.
  • 6A, 6B, 6C and 6D are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 7 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 8 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 9 is a view showing the height change of the sealing plate over time in the gate valve according to the present invention.
  • 10A, 10B and 10C are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 11 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
  • FIG. 12 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 13 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 14 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • FIG. 15 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • 16 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
  • FIG. 17 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 18 is an exploded perspective view of parts illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 17; FIG.
  • FIG. 19 is a cross-sectional view illustrating an example of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 21 is an enlarged perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 21 is an enlarged perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 22 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 23 is a perspective view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 17.
  • FIG. 23 is a perspective view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 17.
  • FIG. 24 is a cross-sectional view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 17.
  • FIG. 25 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 26 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 27 is a flowchart illustrating an operation process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 28 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 29 is a flowchart illustrating an example of a genuine product identification process of a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • FIG. 30 is a flowchart illustrating another example of a genuine product identification process of the door of the door replaceable gate valve system of FIG. 29.
  • FIG. 31 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 32 is a component assembly cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 31.
  • FIG. 33 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged door of the door replaceable gate valve system of FIG. 31.
  • FIG. 34 is a cross-sectional view illustrating the door of the door replaceable gate valve system of FIG. 31.
  • 35 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • 36 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 37 is an exploded perspective view of parts illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 36;
  • FIG. 38 is a cross-sectional view illustrating an example of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • FIG. 40 is an enlarged perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • FIG. 41 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • FIG. 42 is a perspective view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 36.
  • FIG. 42 is a perspective view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 36.
  • FIG. 43 is a cross-sectional view showing still another example of the door replacement opening of FIG. 36.
  • FIG. 44 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • FIG. 45 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • 46 is a flowchart illustrating an operation of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
  • 47 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 48 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 49 is a component assembly cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 48.
  • FIG. 49 is a component assembly cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 48.
  • FIG. 50 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged door of the door replaceable gate valve system of FIG. 48.
  • FIG. 51 is a cross-sectional view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 48.
  • FIG. 51 is a cross-sectional view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 48.
  • FIG. 52 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 53 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 54 is a sectional view of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 55 is an exploded perspective view of parts of the door replaceable gate valve system of FIG. 53;
  • FIG. 56 is a perspective view illustrating the valve housing of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 56 is a perspective view illustrating the valve housing of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 57 is an exploded perspective view of a part of the valve housing of the door replaceable gate valve system of FIG. 53; FIG.
  • FIG. 58 is a perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 58 is a perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 59 is a cross-sectional perspective view illustrating a fastening state of a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 60 is a perspective view illustrating the anti-friction member of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 61 is a perspective view illustrating the anti-friction member of FIG. 60.
  • FIG. 62 is a perspective view illustrating the isolation plate of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 63 is a side view illustrating an open state of the opening of the door replaceable gate valve system of FIG. 53; FIG.
  • 64 is a side view illustrating an open state of a guide pin member of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 65 is a side view illustrating a closed state of the guide pin member of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 66 is a perspective view illustrating a pin type jig of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
  • FIG. 67 is a perspective view illustrating a use state of a fastening jig and a chamber jig of a single type jig of a door replaceable gate valve system according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 68 is a perspective view illustrating a state of use of a multi-type jig of a door replaceable gate valve system according to some other embodiments of the inventive concept.
  • FIG. 69 is an enlarged perspective view illustrating the chamber jig of the door replaceable gate valve system of FIG. 67;
  • 70 is a perspective view illustrating a door detection sensor of the door replaceable gate valve system of FIG. 68.
  • FIG. 71 is an enlarged view illustrating an enlarged door detection sensor of FIG. 70.
  • FIG. 72 is a flowchart illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system according to some embodiments of the present invention.
  • 73 is a flowchart illustrating a door replacing method of the door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present invention.
  • FIG. 74 is an external perspective view illustrating a gate valve system in accordance with some embodiments of the present invention.
  • FIG. 75 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system of FIG. 74.
  • FIG. 76 is a cross-sectional view illustrating a passage closed state of the gate valve system of FIG. 75.
  • FIG. 77 is a cross-sectional view illustrating a valve body retracted state of the gate valve system of FIG. 76.
  • FIG. 78 is a cross-sectional view illustrating a valve body lowered state of the gate valve system of FIG. 77.
  • FIG. 79 is a cross-sectional view illustrating a closed area of a replacement valve of the gate valve system of FIG. 78.
  • FIG. 80 is a cross-sectional view illustrating a lid opening and a sealing member separated state of the gate valve system of FIG. 79.
  • FIG. 81 is a cross-sectional view illustrating a sealing member replacement state of the gate valve system of FIG. 80.
  • FIG. 82 is a cross-sectional view illustrating a lid fastening and heating or cooling state of the gate valve system of FIG. 81.
  • FIG. 83 is a perspective view illustrating an example of a rotatable lid of the gate valve system of FIG. 74.
  • FIG. 84 is a perspective view illustrating an example of a sliding lid of the gate valve system of FIG. 74.
  • FIG 85 is a cross-sectional view illustrating a replacement area sealed state of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 86 is a cross-sectional view illustrating a cover opening and a sealing plate detachment state of the gate valve system of FIG. 85.
  • 87 is a cross-sectional view illustrating a heat exchange device of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 88 is a cross-sectional view illustrating a valve body of a gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • 89 is a cross-sectional view illustrating a replaceable block of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 90 is a front view illustrating the sealing plate of the gate valve system of FIG. 85.
  • FIG. 91 is a cross-sectional view illustrating an example of a sealing plate of the gate valve system of FIG. 90.
  • FIG. 92 is a cross-sectional view illustrating another example of the sealing plate of the gate valve system of FIG. 91.
  • 93 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
  • 94 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • 3A and 3B are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the gate valve 100 has an opening 210 of the first chamber 200 facing the second passage 152b and an opening 310 of the second chamber 300 having the first opening. It may be provided between the first chamber 200 and the second chamber 300 to face the passage (152a).
  • the gate valve 100 may include a sealing plate 110, a horizontal driving part 120, a support part 130, a driving part 140, and a valve housing 150.
  • the first chamber 200 may be coupled to the gate valve 100 and may send an object, such as a wafer, to the second chamber 300 or receive an object from the second chamber 300 through the opening 210. have.
  • the second chamber 300 may be coupled to the gate valve 100, and receives an object to be processed, such as a wafer, from the first chamber 200 or sends the object to the first chamber 200 through the opening 310. Can be performed.
  • an object to be processed such as a wafer
  • first chamber 200 and the second chamber 300 do not necessarily have to be in a relationship of transmitting or receiving an object to be processed and may correspond to independent process chambers.
  • FIG. 4 is a perspective view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the gate valve 100 may include a sealing plate 110, a support 130, a driver 140, a valve housing 150, and an exchange 154.
  • the exchange part 154 may be located on any one surface of the front surface 154a, the bottom surface 154c, or the side surface 154d of the gate valve 100, as shown in FIG.
  • the front and lower surfaces of the gate valve 100 may be located over the front and side, the bottom and side or the front and bottom and side.
  • the exchange unit 154 is located on any two surfaces of the front, bottom, side surfaces of the gate valve 100 or located on three surfaces of the front, bottom, side surfaces, the exchange unit 154 is widened. 1 may be easy to replace the sealing member (112).
  • the sealing plate 110 may be connected to the support 130. More specifically, when the sealing plate 110 may be coupled to the support 130 through the horizontal driving unit 120 and the driving unit 140 performs the function of the horizontal driving unit 120, the horizontal driving unit 120 is unnecessary.
  • the sealing plate 110 may be directly coupled to the support 130.
  • the configuration of the sealing plate 110 will be described with reference to FIG. 5.
  • FIG. 5 is a front view exemplarily showing an example of a sealing plate according to the present invention.
  • the sealing plate 110 may include a first sealing member 112 and a second sealing member 114 surrounding the first sealing member 112 on a front surface thereof.
  • the first sealing member 112 and the second sealing member 114 may correspond to an o-ring.
  • the front surface of the sealing plate 110 is bounded by the first sealing member 112 provided on the front surface of the inner region (A) of the first sealing member 112 is used to seal the chamber and the first sealing
  • the outer area B of the member 112 can be distinguished as a part used only when closing the exchange part 154.
  • the first sealing member 112 may vary in shape depending on the shape of the first passage 152a connected to the chamber and may be coupled to the front surface of the sealing plate 110.
  • the first sealing member 112 performs a function of closing the first passage 152a by the movement of the sealing plate 110 to seal the chamber and may be damaged by chemicals generated by a process in the chamber. It needs to be replaced.
  • the first sealing member 112 is provided on the inner surface of the valve housing 150 in a manner of enclosing the first passage 152a at intervals from the first passage 152a rather than the front surface of the sealing plate 110. May be
  • the second sealing member 114 may vary in shape depending on the shape of the exchanger 154 and may be coupled to the front surface of the sealing plate 110 to surround the first sealing member 112.
  • the second sealing member 114 seals the exchange part 154 by the movement of the sealing plate 110 so that the inside of the gate valve 100 can replace the first sealing member 112 while maintaining a vacuum. You can do that.
  • the second sealing member 114 may be provided on the inner surface of the valve housing 150 in a form surrounding the exchange portion 154 not the front surface of the sealing plate 110, as shown in Figure 3b.
  • the second sealing member 114 is not used while the first sealing member 112 is in close contact with the chamber to seal the chamber and is used only when replacing the first sealing member 112. This is because the second sealing member 114 should not be damaged in order to periodically replace the first sealing member 112 while maintaining the vacuum through the second sealing member 114.
  • 6A to 6D will be described to describe a method for selectively using the first sealing member 112 and the second sealing member 114.
  • 6A, 6B, 6C and 6D are side views illustrating an example of a state of a gate valve according to the present invention.
  • the gate valve 100 may have four states as the sealing plate 110 moves back and forth or up and down.
  • the sealing plate 110 may have a protrusion formed at the center of the surface thereof, and the protrusion may include the first sealing member 112 and the peripheral portion surrounding the protrusion may include the second sealing member 114.
  • the gate valve 100 may be configured to use only the second sealing member 114.
  • the gate valve 100 may be configured to selectively use the first sealing member 112 and the second sealing member 114 in various ways, without being limited to such a method, and will be described with reference to FIGS. 7 and 8.
  • FIG. 7 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the first sealing member 112 and the second sealing member 114 may be formed in parallel on the same plane without the protrusion on the sealing plate 110, and the grooves may be formed along the first passage 152a. 151, when the first sealing member 112 is in close contact with the first passage 152a, the second sealing member 114 is positioned above the groove 151 so that the second sealing member 114 is used.
  • the gate valve 100 can be configured so as not to.
  • FIG. 8 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the second sealing member 114 may be provided on the inner side of the valve housing 150 at intervals from the exchange part 154 instead of the front surface of the sealing plate 110, in which case the sealing plate.
  • the second sealing member 114 is not used when the first sealing member 112 is in close contact with the first passage 152a even when the protrusion 110 is not disposed on the 110.
  • the horizontal driving unit 120 may be coupled to the rear surface of the sealing plate 110 and the support 130.
  • the horizontal driving part 120 advances the sealing plate 110 so that the first sealing member 112 is in close contact with the first passage 152a as shown in FIG. 6B, or the second sealing member is attached to the exchange part 154 as shown in FIG. 6D. 114 may be in close contact.
  • the horizontal driving unit 120 reverses the sealing plate 110 so that the first sealing member 112 is separated from the first passage 152a as shown in FIG. 6A or from the exchange unit 154 as shown in FIG. 6C.
  • the sealing member 114 may be separated.
  • the sealing plate 110 may be moved back and forth through another method that does not use the horizontal driving unit 120. At this time, since the horizontal driving unit 120 is unnecessary, the sealing plate 110 may be directly coupled to the support 130. Can be.
  • the driving unit 140 may be configured to automatically tilt forward after the support 130 moves up and down, and may be configured to automatically tilt backward while the support 130 moves up and down.
  • the sealing plate 110 coupled to the support 130 may also be inclined forward or backward so that the sealing plate 110 may be moved forward or backward so that the horizontal driving part 120 may be unnecessary.
  • the support 130 may be connected to the sealing plate 110. More specifically, the support unit 130 may be coupled to the sealing plate 110 through the horizontal driving unit 120 and the driving unit 140 performs the function of the horizontal driving unit 120 so that the horizontal driving unit 120 is unnecessary The support 130 may be directly coupled to the sealing plate 110.
  • the support 130 may be coupled to the driving unit 140 to move the sealing plate 110 up and down.
  • the driver 140 may be coupled to the support 130 to move the support 130 up and down, and then fix the support 130 to the moved position.
  • the driving unit 140 moves the support 130 up and down to move the sealing plate 110 coupled to the support 130 to a position corresponding to the first passage 152a as shown in FIG. 6A or FIG. It may be fixed after moving to a position corresponding to the exchange unit 154, such as 6c.
  • the driving unit 140 is configured such that the sealing plate 110 is moved and fixed only at two positions of the corresponding positions of the first passage 152a or the corresponding positions of the exchange unit 154, so that the sealing plates 110 have three kinds.
  • the distance that the sealing plate 110 should move up and down can be reduced and the manufacturing method becomes simpler than the case where it is configured to be fixed by moving to the above position, the gate valve 100 can be more stable and manufacturing cost can be reduced. .
  • the length of the support 130 may be reduced, and a cylinder (not shown) provided in the driving unit 140 to move the support 130 is provided.
  • the length of can also be reduced. Therefore, the size of the gate valve 100 can be reduced to save space, the manufacturing cost can be reduced, and the time for the sealing plate to move can be shortened.
  • the sealing plate 110 may be more shaken away from the driving unit 140, the sealing effect may gradually decrease.
  • the sealing unit 110 is configured to move and fix only the two positions, the driving unit 140 Since the distance from the 140 to the maximum position of the sealing plate 110 can be reduced, the distance is large and the problem of reducing the sealing effect can be improved.
  • the valve housing 150 may include a sealing plate 110 and a support 130 therein, and a passage 152 and an exchange part 154 may be formed in the valve housing 150.
  • the first passage 152a and the exchange part 154 may be formed at the upper and lower portions, respectively, and may be formed by changing the upper and lower sides.
  • a second passage 152b may be formed at the other side of the valve housing 150.
  • the exchange part 154 may be formed on the front surface, the bottom surface or the side surface of the valve housing 150, or may be formed over two or more surfaces among the front surface, the bottom surface or the side surface of the valve housing 150. .
  • the exchange part 154 may be formed at a height lower than the passage 152.
  • the exchange part 154 may allow the first sealing member 112 to be replaced while maintaining a vacuum.
  • the exchange unit 154 may include an exchange opening 155 formed at one side of the valve housing 150 as illustrated in FIG. 6A, and the gate valve 100 may include an exchange cover that opens and closes the exchange opening 155. 160 may be included.
  • An exchange opening 155 included in the exchange part 154 may be formed between the first sealing member 112 and the second sealing member 114. That is, when the sealing plate 110 is moved to seal the exchange opening 155, the first sealing member 112 is included inside the exchange opening 155, and the outside of the exchange opening 155 is made of the first sealing member 112. It may be surrounded by the two sealing member (114).
  • the inside of the gate valve 100 can maintain a vacuum, and the exchange can be performed while the vacuum is maintained.
  • the first sealing member 112 may be exchanged through the opening 155.
  • the second passage 152b and the first passage 152a may function as a passage for moving a target object such as a wafer between the first chamber 200 and the second chamber 300 and the exchange unit 154. Makes it possible to replace the first sealing member 112 from the outside.
  • the second passage 152b may be configured to face the opening 210 of the first chamber 200 and the first passage 152a may be configured to face the opening 310 of the second chamber 300. .
  • the front side of the exchange unit 154 may be configured such that the second chamber 300 is embedded.
  • the exchange unit 154 is located at the front of the gate valve 100 as shown in FIG. The reason for this is that the sealing member 112 can be easily replaced.
  • the space may be unnecessary when the exchange part 154 is located on the bottom or side surfaces of the gate valve 100. This is because there may be no chamber in front of the lower surface or the side surface of the gate valve 100.
  • the first chamber 200 and the second chamber 300 are gate valves not only when the gate valve 100 is in the same state as in FIG. 6C but also when the gate valve 100 is in the same state as in FIG. 6D.
  • the target object such as a wafer can be moved through the 100.
  • the sealing plate 110 is positioned between the second passage 152b and the first passage 152a so that the first chamber The 200 and the second chamber 300 may not be able to move a target object such as a wafer through the gate valve 100.
  • the process can be as follows.
  • the first step is the loading or unloading of the workpiece.
  • the gate valve 100 is in a state as shown in FIG. 6C and the second chamber 300 receives the workpiece from the first chamber 200 or the first chamber 200. You can send the object to
  • the second step is an upward movement step, in which the gate valve 100 moves the sealing plate 110 upward so as to be in a state as shown in FIG. 6A.
  • the third step is a sealing step, and the gate valve 100 advances the sealing plate 110 to close the first passage 152a, seal the second chamber 300, and remain in the state as shown in FIG. 6B.
  • the fourth step is a process step, the second chamber 300 may proceed the process in a closed state.
  • the fifth step is an opening step.
  • the gate valve 100 reverses the sealing plate 110 to open the first passage 152a, open the second chamber 300, and remain in the state as shown in FIG. 6A.
  • the sixth step is a downward movement step, in which the gate valve 100 moves the sealing plate 110 downward so as to be in a state as shown in FIG. 6C.
  • the first passage 152a and the exchange part 154 are formed at the upper side and the lower side at one side of the valve housing 150, and the sealing unit 110 is provided by providing the driving unit 140 at the lower side of the valve housing 150.
  • the moving distance of the sealing plate 110 may be minimized by allowing the first sealing member 112 to be exchanged through the exchange unit 154.
  • FIG. 9 is a view showing the height change of the sealing plate with time in the gate valve according to the present invention.
  • the height of the sealing plate 110 refers to the sealing plate 110 in the gate valve 100 when the sealing plate 110 is moved in order to open the chamber, seal the chamber, or replace the first sealing member 112. ) Means the height.
  • the height of the sealing plate 110 is A, which is the minimum value, and the gate valve 100 is closed for the chamber sealing.
  • the height of the sealing plate 110 should be increased to the B value.
  • the first sealing member 112 in order to replace the first sealing member 112, unlike the prior art FIG. 1, it is not necessary to further increase the sealing plate 110. This is because when the gate valve 100 is opened while the height of the sealing plate 110 becomes the minimum A, the first sealing member 112 may be exchanged through the exchange part 154.
  • the support 130 and the driving unit for moving the sealing plate 110 are different.
  • the length of the cylinder provided in the interior of 140 can be minimized. If the length of the support 130 and the cylinder is minimized, the driving unit 140 may be stabilized and manufacturing costs may be reduced.
  • the sealing plate 110 need not be moved higher for the first sealing member 112 to be replaced, time can be saved.
  • the present invention unlike the prior art Figure 1, because the space protruding upward in order to replace the first sealing member 112, it is possible to save space.
  • the exchange cover 160 may be coupled to the valve housing 150 to open and close the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 formed in the valve housing 150.
  • the exchange cover 160 may close the exchange opening 155 so that the inside of the gate valve 100 maintains a vacuum despite the exchange opening 155. Therefore, in order to replace the first sealing member 112 through the exchange opening 155, the exchange cover 160 must be opened.
  • the second sealing member 114 may be in close contact with the exchange opening 155 as shown in FIG. 6D to maintain the vacuum inside the gate valve 100.
  • the second sealing member when the second sealing member is provided on the inner side of the valve housing 150 as shown in FIGS. 3B and 8, the second sealing member 114 which advances the sealing plate 110 to surround the exchange opening 155. To be in close contact with each other, the inside of the gate valve 100 may be maintained even after the exchange cover 160 is opened.
  • 10A, 10B and 10C are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the gate valve 100 may further include an air supply 170 and an exhaust system 180.
  • the air supply machine 170 may include a first flow path 172 communicating with the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154, and a first valve 174 opening and closing the first flow path 172. have.
  • the outside of the valve housing 150 may mean a gas supply provided outside the valve housing 150 to supply an inert gas or clean air.
  • the exhaust system 180 includes a second flow passage 182 communicating the interior of the valve housing 150 and the exchange unit 154 and a second valve 184 opening and closing the second flow passage 182 as shown in FIG. 10A.
  • 10B may include a second channel 182 communicating with the outside of the valve housing 150 and the exchange unit 154, and a second valve 184 opening and closing the second channel 182. have.
  • valve housing 150 refers to a space inside the valve housing 150 in which vacuum is maintained when the first sealing member 112 is replaced
  • the exterior of the valve housing 150 refers to a valve housing 150. It may mean a vacuum suction device provided outside to suck the gas.
  • the first valve 174 may be connected to the first passage 172 and positioned outside the valve housing 150.
  • the first valve 174 may communicate or shield the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154.
  • the inside of the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 is a vacuum
  • the gas is provided outside the valve housing 150 to supply inert gas or clean air. Air supplied from the feeder may be introduced into the exchange opening 155 through the first flow passage 172 until the pressure inside the exchange opening 155 becomes atmospheric pressure.
  • the second valve 184 may be connected to the second passage 182 and may be located inside or outside the valve housing 150.
  • the second valve 184 may communicate or shield the inside or the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154. Looking more specifically as follows.
  • valve housing 150 When the inside of the valve housing 150 is vacuum and the pressure of the air inside the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 is atmospheric pressure, when the second valve 184 is opened, the air inside the exchange opening 155 is opened. May flow into the valve housing 150 maintained in a vacuum state through the second flow path 182 to decrease the pressure inside the exchange opening 155.
  • the operation means (not shown) for operating the second valve 184 is provided on the outside of the valve housing 150 can do.
  • the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 When the pressure of the air inside the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 is atmospheric pressure, when the second valve 184 is opened, the exchange opening is provided outside the valve housing 150 to a vacuum suction unit that sucks gas. Air inside the 155 may be leaked to decrease the pressure inside the exchange opening 155.
  • the air supply unit 170 and the exhaust system 180 may be configured as a single common valve.
  • a single valve may be connected to a single pump capable of both gas supply and vacuum suction.
  • the air supply unit 170 and the exhaust system 180 may be configured with a plurality of valves, respectively, to precisely adjust the pressure.
  • the air supply machine 170 may be composed of two valves for supplying and exhausting
  • the exhaust system 180 may be configured with two valves for supplying and exhausting.
  • the air supply machine 170 and the exhaust system 180 may include an air supply opening 173 and an exhaust opening 183 instead of the first flow passage 172 and the second flow passage 182. It may be.
  • the air supply opening 173 and the exhaust opening 183 may be openings formed in the wall constituting the valve housing 150.
  • FIG. 11 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
  • the sealing member exchanging method 500 may include a downward movement step 510 to an exchange part internal opening step 580.
  • the sealing plate 110 is moved downward to be in a state as shown in FIG. 6C.
  • the sealing part 110 may be advanced to close the exchange part 154 by bringing the second sealing member 114 provided on the sealing plate 110 into close contact with the exchange part 154. It is in the same state as in Fig. 6D.
  • the pressure of the exchange unit 154 may be slowly increased by opening the first valve 174.
  • the exchange unit 154 may be opened to the outside.
  • the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be opened to the outside by opening the exchange cover 160 from the outside.
  • the first sealing member 112 provided in the sealing plate 110 may be replaced.
  • the exchange part 154 opened to the outside may be sealed.
  • the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be sealed by closing the exchange cover 160 from the outside.
  • the pressure of the exchange part 154 may be slowly decreased by opening the second valve 184.
  • the sealing plate 110 may be reversed to open the exchange part 154 inward, and the state may be in a state as illustrated in FIG. 6C.
  • FIG. 12 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • an inclined surface 156 may be formed in the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 so that the cross-sectional area thereof increases from the inside to the outside.
  • the inclined surface 156 may be provided at the edge of the sealing plate 110 to quickly and easily replace the first sealing member 112 that is difficult to replace.
  • FIG. 13 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the exchange cover 160 may have a protruding needle 162 coupled with the first sealing member 112, and a plurality of protruding needles 162 may be formed.
  • the protruding needle 162 may be coupled to the first sealing member 112 when the sealing plate 110 is advanced in the exchange sealing step 520 of FIG. 11.
  • the protruding needle 162 may be provided at the edge of the sealing plate 110 to quickly and easily recover and replace the first sealing member 112 that is difficult to replace.
  • FIG. 14 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • each sealing plate 110 may include a first passage 152a and a second passage 152b. ) Can be sealed.
  • the first sealing member 112 provided on both sealing plates 110 can be replaced through the first exchange opening 155a and the second exchange opening 155b.
  • FIG. 15 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
  • the first sealing member 112 may include an identification tag 113 and the gate valve 100 may further include an identification unit 190 and a controller 195. .
  • the identification tag 113 may be combined with the first sealing member 112, may be provided inside the first sealing member 112, or may be printed on the surface of the first sealing member 112, and the identification unit 190 may be provided with a first tag. Information about the sealing member 112 may be provided.
  • the identification tag 113 may be a QR code, a barcode, or a radio frequency identification (RFID) tag.
  • the identification unit 190 may be coupled to the valve housing 150 or the sealing plate 110 to be provided inside the gate valve 100 to identify the identification tag 113 of the first sealing member 112.
  • the identification unit 190 may be a reader capable of recognizing a QR code, a barcode or an RFID tag.
  • the controller 195 may be provided inside or outside the gate valve 100 to control the gate valve 100. More specifically, the controller 195 is the drive unit 140, the sealing plate 110, the exchange cover 160 in accordance with the identification result of the identification unit 190 identified the identification tag 113 of the first sealing member (112). ), The gate valve 100 may be controlled by controlling at least one of the first valve 174 and the second valve 184.
  • 16 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
  • the sealing member exchanging method 500 may include an exchanging sealing step 610 to an stopping step 695.
  • the sealing plate 110 is moved downward to be in a state as illustrated in FIG. 6C, and then the sealing plate 110 is advanced to move the second sealing member 114 provided in the sealing plate 110. In contact with the exchanger 154 or by advancing the sealing plate 110 to the second sealing member 114 provided on the inner side of the valve housing 150 to seal the exchanger 154. It will be in the same state as 6d.
  • the pressure of the exchange unit 154 may be slowly increased by opening the first valve 174.
  • the exchange unit 154 may be opened to the outside.
  • the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be opened to the outside by opening the exchange cover 160 from the outside.
  • the first sealing member 112 provided in the sealing plate 110 may be replaced.
  • the identification unit 190 may identify the tag 113 of the exchanged first sealing member 112 and transmit the identification result to the control unit 195. If the received identification result matches the predetermined identification information, the control unit 195 allows the exchange sealing step 660 to the internal opening step 680 to be performed. If there is a mismatch, the display step 690 and the deactivation step 695 can be performed.
  • the inconsistency with the identification information may mean, for example, that the exchanged first sealing member 112 is not genuine, and in this case, the control unit 195 causes the operation stop step 695 to be performed. The operation of the valve 100 can be stopped.
  • the exchange part 154 opened to the outside may be sealed.
  • the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be sealed by closing the exchange cover 160 from the outside.
  • the pressure of the exchange part 154 may be slowly decreased by opening the second valve 184.
  • the sealing plate 110 may be reversed to open the exchange part 154 inward and may be in a state as shown in FIG. 6C.
  • control unit 195 may inform the user visually or audibly that the identification result of the exchanged first sealing member 112 is inconsistent with the predetermined identification information.
  • control unit 195 prevents the exchange cover 160 from closing, opening the second valve 184, or preventing the sealing plate 110 from reversing so that the gate valve 100 enters the process. It can be prevented from being used.
  • the exchange unit 154 maintains an atmospheric pressure state.
  • the chamber is prevented from proceeding with the first sealing member 112 being incorrectly replaced with an inappropriate sealing member.
  • the gate valve may be well maintained in a vacuum state, and only the authorized first sealing member 112 may be used interchangeably.
  • the sealing member identification step 650 may be performed after the exchange part sealing step 660. That is, after closing the exchanger 154 opened to the outside, the identification unit 190 may identify the exchanged first sealing member 112.
  • control unit 195 may prevent the gate valve 100 from being used in the process by preventing the second valve 184 from being opened or reversing the sealing plate 110 in the operation stop step 695. .
  • door replaceable gate valve systems 1100, 1200, 1300, and 1400 according to various embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
  • the door may be a concept that is substantially the same as the sealing plate or includes a sealing plate.
  • FIG. 17 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present disclosure.
  • 18 is an exploded perspective view showing parts of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17, and
  • FIG. 19 is a cross-sectional view illustrating an example of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
  • the door replaceable gate valve system 1100 may be classified into a valve housing 10, a door 20, and a movable table ( 30, a first direction movement device 40, a second direction movement device 50, and an isolation member 60.
  • valve housing 10 is a hollow box-shaped structure as a whole, and at least one passage 10a may be formed.
  • valve housing 10 the passage (10a) on one side or both sides so that various objects, such as advanced semiconductor devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, display devices or other medical devices can enter and exit. It may be a structure to be formed.
  • the valve housing 10 includes the door 20, the movable table 30, the first direction movement device 40, the second direction movement device 50, and the isolation member described above. It can support 60 and be a structure having sufficient strength and durability to be connected to various chambers.
  • the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
  • the door 20 is a kind of valve body in which a first sealing member S1 is installed to block the passage 10a. ) May be formed according to the detective of the passage (10a) to correspond to the shape of the passage (10a).
  • the first sealing member S1 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
  • the door 20 is shown for the sake of understanding, and is not limited to the drawings, it can be applied in various ways, such as being installed in various numbers or additionally installed various sealing members or various joints or hinge structures.
  • the movable table 30 is a kind of structure similar to a head block that supports the door 20 in a detachable manner, and moves in the first direction to be described later.
  • the device 40 may be installed to be movable.
  • the movable table 30 is not limited to the drawings, of course.
  • the said 1st direction movement apparatus 40 opposes the said movable stand 30 to the said valve housing 10 with the said passage 10a in a standby position.
  • actuators such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the first direction to the first position, may be applied.
  • the said 2nd direction movement apparatus 50 is installed between the said movable stand 30 and the door 20,
  • the door 20 A wide variety of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the second direction from the first position to the second position where the passage 10a can be blocked, can be applied.
  • first direction moving device 40 is a lifting cylinder
  • second direction moving device 50 is a sealing cylinder. All mobile devices that have it can be applied.
  • the door 20 can be raised and lowered from the standby position to the first position by the first direction movement device 40 inside the valve housing 10, and then the second direction movement.
  • the device 50 may be advanced back and forth from the first position to the second position to selectively open and close the passage 10a.
  • the isolation member 60 is installed on the movable table 30, and is used in the standby position by using the first direction movement device 40.
  • the plate structure may be a plate structure that is bent in an L shape to be able to isolate the door replacement area A of the valve housing 10. .
  • the isolation member 60 may include a lower lower surface portion 61 formed to correspond to the inner side surface F1 of the valve housing 10.
  • the intermediate inclined portion 62 and the protruding wall portion formed to be connected to the lower lower surface portion 61 so as to correspond to the inclined surface F2 of the protruding wall portion W protruding into the valve housing 10.
  • It may include an upper lower surface portion 63 formed to be connected to the intermediate inclined portion 62 to correspond to the upper surface (F3) of the W.
  • the isolation member 60 has the lower lower portion 61, the middle inclined portion 62, and the upper lower surface portion 63 of the isolation member 60 by the simple lowering movement.
  • the door replacement area A may be isolated by being in close contact with one surface F1 of the), the inclined surface F2 of the protruding wall portion W, and the upper surface F3.
  • the second sealing member S2 may be installed at the edge portion of the portion 62 and the upper lower surface portion 63.
  • the second sealing member S2 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
  • the door replacement area A includes an internal vacuum line 71 in which a first valve V1 is installed and connected to the housing vacuum area B, and The second valve V2 may be installed and a vacuum release line 72 connected to an external atmospheric or clean air source may be connected.
  • the second valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 72, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
  • the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
  • the first valve V2 that covers the cover C and receives the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is
  • the vacuum release line 72 is closed, while the first valve V1 opens the internal vacuum line 71, the door replacement area A communicates with the housing vacuum area B.
  • vacuum pressures of the same pressure can be formed, and through this, a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
  • the door replacement area A may include an external vacuum line 73 in which a third valve V3 is installed and connected to an external pump PUMP. ) And a fourth valve V4 may be installed, and a vacuum release line 74 may be connected to an external atmospheric or clean air source.
  • the fourth valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 74, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
  • the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
  • the fourth valve V4 that covers the cover C and receives the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is
  • the vacuum release line 74 is closed, while the third valve V3 opens the external vacuum line 71, the door replacement area A is evacuated by the pump PUMP. This can be formed, through which a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
  • the door replacement area A may be provided with various connection lines such as an inert gas supply line for supplying an inert gas from an inert gas source and a clean air supply line for supplying clean air from a clean air source.
  • connection lines such as an inert gas supply line for supplying an inert gas from an inert gas source and a clean air supply line for supplying clean air from a clean air source.
  • the door replacement area A may be selectively connected to the inside or the outside to form a vacuum, or an inert gas such as nitrogen gas may be supplied or clean air may be supplied.
  • an inert gas such as nitrogen gas may be supplied or clean air may be supplied.
  • various pressure gauges, thermometers, and temperature control devices such as heaters and cooling devices may be additionally installed.
  • FIG. 21 is an enlarged perspective view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
  • the door 20 of the door replaceable gate valve system 1100 may include a rail member R installed in the second direction moving device 50. It may be a slide replaceable door 21 that can be removable according to sliding.
  • FIGS. 17 to 21 For the inflow and outflow of the door 20, at least a side surface 10c of the valve housing 10 and the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A is illustrated in FIGS. 17 to 21.
  • the door replacement opening (H) is formed in, and the cover (C) may be installed in the door replacement opening (H).
  • the present invention is not necessarily limited thereto, and the door 20 may flow in and out in various directions.
  • FIG. 22 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening H of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17, and FIG. 23 illustrates another example of the door replacement opening H of FIG. 17. It is a perspective view, and FIG. 24 is sectional drawing which shows another example of the door replacement opening H of FIG.
  • a door replacement opening H is formed in the valve housing 10 or the lower surface 10d of the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A.
  • the cover C may be installed in the door replacement opening H.
  • the door replacement opening H is formed in the front side 10e of the valve housing 10 or the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A.
  • FIG. The cover C may be installed in the door replacement opening H.
  • a door replacement opening H is formed in the bottom surface 10d and the front surface 10e of the valve housing 10 corresponding to the door replacement area A,
  • the cover C may be installed in the door replacement opening H.
  • the lower surface 10d and one side surface 10c or the lower surface 10d, the side surface 10c, and the front surface 10e all form openings H of various shapes to facilitate the replacement of the door 20. have.
  • the door 20 is detachably attached to the second direction movement device 50 by using a fastener F or a jig such as a bolt, a nut, a screw, or the like. It may be a fastening replaceable door 22 to be installed.
  • various fastening doors may be applied, such as using an interference bit groove, an interference bit projection, a snap button, or a magnet.
  • the cover (C), various O-rings, etc. are also installed, the lid is detachably fixed by a fastener, a folding door, a cover of various forms such as a cap or a shell may be applied.
  • the door 20 may be an L motion door capable of blocking a single passage 10a formed in the valve housing 10.
  • the door 20 is not necessarily limited thereto.
  • FIG. 25 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
  • the normal operation of the door replaceable gate valve system 1100 will be described.
  • the door 20 may be processed. You can wait in the open stage for loading or unloading.
  • the door 20 can be raised from the standby position to the first stage (Close stage), and then for a second time at the first position for a third time t3.
  • the passage 10a may be sealed by advancing to the position.
  • FIG. 26 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
  • FIG. 26 a door replacement process of the door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present disclosure will be described.
  • the door 20, that is, a sealing plate, of the process of FIG. 25 is described.
  • the door 20 is lowered from the open stage to the third position (Exchange stage) to isolate the door replacement area A.
  • the door replacement area A may be switched to the standby state ATM, and the door replacement operation may be performed during the second replacement time te2.
  • the isolation of the door replacement area A is released to switch the door replacement area A back to a vacuum state, and for the fourth replacement time te4, the door ( 20 may wait to rise from the third position to the standby position.
  • these replacement times are made during the first time t1 of FIG. 25 so that door replacement can be performed quickly without breaking the equipment or breaking the overall vacuum.
  • FIG. 27 is a flowchart illustrating an operation process of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
  • the door replacement operation of the present invention may be performed by the operator or the control unit, “Does the seal plate need to be replaced?”, For example, checking the use time of the door, The state of the door can be confirmed through various sensors such as a load sensor or a vision measuring the state of the sealing member or measuring the state of the sealing member.
  • FIG. 28 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system 1200 in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • the door 20 of the door replaceable gate valve system 1200 may include a first passage 10a formed at one side of the valve housing 10.
  • T motion door 23 including a first door 20-1 capable of blocking a second door and a second door 20-2 capable of blocking a second passage 10b formed at the other side of the valve housing 10. Can be. Therefore, the technical idea of the present invention can be applied to all the doors of various types of gate valves, such as the L motion and the T motion.
  • FIG. 29 is a flowchart illustrating an example of a genuine product identification process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
  • the apparatus may further include a device, and more specifically, as shown in FIGS. 19 and 20, for example, the identification device may recognize an RFID tag RT installed in the door 20.
  • the RFID identification control unit 80 may stop the operation of the equipment.
  • FIG. 30 is a flowchart illustrating another example of a genuine product identification process of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 29.
  • the door replacement area A is sealed, and the door replacement area A is switched to a standby state in a vacuum.
  • the cover C of the door replacement area A may be replaced.
  • the door replacement area A is converted to a vacuum to complete a normal exchange processor, or when it is not determined to be genuine, a non-genuine error message is output visually or audibly, and the door replacement area A Abnormal operation can be terminated at atmospheric pressure.
  • it is not necessarily limited thereto.
  • FIG. 31 is an exploded perspective view of a part of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1300 according to some other embodiments of the present invention
  • FIG. 32 is a door replaceable gate valve system 1300 of FIG. 31
  • 33 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1300 of FIG. 31,
  • FIG. 34 is a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 20 is a cross sectional view showing the cross section shown in FIG.
  • the door 20 of the door replaceable gate valve system 1300 may include at least one side of the contact rod DS of the door support DS. At least one insertion hole ARH coupled to the AR and an interference bite is formed, and an inlet portion of the insertion hole ARH may be provided with an O-ring S3 to prevent particles from scattering when combined.
  • the tactile bar AR illustrated in FIGS. 31 to 34 protrudes to the left in the horizontal direction from the door support DS, and thus, the door 20 may be disassembled in the horizontal direction. .
  • 35 is an exploded perspective view of a part of a door 20 of a door replaceable gate valve system 1400 in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • the tactile rod AR of the door replaceable gate valve system 1400 protrudes downward from the door support DS in a vertical direction.
  • the door 20 is illustrated that it can be disassembled in the vertical direction.
  • FIG. 36 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure.
  • 37 is an exploded perspective view showing parts of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36
  • FIG. 38 is a cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
  • the door replaceable gate valve system 2100 may be classified into a valve housing 10, a door 20, and a movable table ( 30, a first direction movement device 40, a second direction movement device 50, and an isolation member 60.
  • valve housing 10 is a hollow box-shaped structure as a whole, and at least one passage 10a may be formed.
  • valve housing 10 the passage (10a) on one side or both sides so that various objects, such as advanced semiconductor devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, display devices or other medical devices can enter and exit. It may be a structure to be formed.
  • the valve housing 10 includes the door 20, the movable table 30, the first direction movement device 40, the second direction movement device 50, and the isolation member described above. It can support 60 and be a structure having sufficient strength and durability to be connected to various chambers.
  • the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
  • the door 20 is a kind of valve body in which a first sealing member S1 is installed to block the passage 10a. ) May be formed according to the detective of the passage (10a) to correspond to the shape of the passage (10a).
  • the first sealing member S1 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
  • the door 20 is shown for the sake of understanding, and is not limited to the drawings, it can be applied in various ways, such as being installed in various numbers or additionally installed various sealing members or various joints or hinge structures.
  • the movable table 30 is a kind of structure similar to a head block that detachably supports the door 20, and moves in the first direction to be described later.
  • the device 40 may be installed to be movable.
  • the movable table 30 is not limited to the drawings, of course.
  • the said 1st direction movement apparatus 40 opposes the said movable stand 30 to the said valve housing 10 with the said passage 10a in a standby position.
  • actuators such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the first direction to the first position, may be applied.
  • the second direction movement device 50 is installed between the movable table 30 and the door 20.
  • actuators such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the second direction from the first position to the second position where the passage 10a can be blocked, can be applied.
  • the first direction movement device 40 is a lifting cylinder
  • the second direction movement device 50 is a sealing cylinder.
  • various shapes and types in various directions may be used. All mobile devices that have it can be applied.
  • the door 20 can be raised and lowered from the standby position to the first position by the first direction movement device 40 inside the valve housing 10, and then the second direction movement.
  • the device 50 may be advanced back and forth from the first position to the second position to selectively open and close the passage 10a.
  • the said isolation member 60 is provided in the said 2nd direction movement apparatus 50 or the said movable table 30, and is said 1st direction movement apparatus.
  • a first movement from the standby position to a third position by using 40 and a second movement in the second direction from the third position to a fourth position by using the second direction movement device 50 It may be a plate structure of a generally flat shape that can isolate the door replacement area A of the valve housing 10.
  • the isolation member 60 is formed to correspond to the side surface of the protruding wall portion protruding horizontally in a ring shape inside the valve housing 10.
  • the isolation plate 61 may be included.
  • the isolation member 60 has a first downward movement and a second forward movement, and the side surfaces of the isolation member 60 closely contact with the side surfaces of the protruding wall portion W, thereby closing the door replacement area A. Isolate.
  • the second sealing member (3) may be attached to the contact surface of the protruding wall portion W or the separator plate 61 so as to release the vacuum only in the door replacement area A while maintaining the overall vacuum of the valve housing 10. S2) can be installed.
  • the second sealing member S2 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
  • the door replacement area A includes an internal vacuum line 71 in which a first valve V1 is installed and connected to the housing vacuum area B, and The second valve V2 may be installed and a vacuum release line 72 connected to an external atmospheric or clean air source may be connected.
  • the second valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 72, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
  • the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
  • FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
  • the door replacement area A may include an external vacuum line 73 in which a third valve V3 is installed and connected to an external pump PUMP. ) And a fourth valve V4 may be installed, and a vacuum release line 74 may be connected to an external atmospheric or clean air source.
  • the fourth valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 74, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
  • the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
  • the fourth valve V4 which covers the cover C and receives the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is
  • the vacuum release line 74 is closed, while the third valve V3 opens the external vacuum line 71, the door replacement area A is evacuated by the pump PUMP. This can be formed, through which a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
  • the door replacement area A may be provided with various connection lines such as an inert gas supply line for supplying an inert gas from an inert gas source and a clean air supply line for supplying clean air from a clean air source.
  • connection lines such as an inert gas supply line for supplying an inert gas from an inert gas source and a clean air supply line for supplying clean air from a clean air source.
  • the door replacement area A may be selectively connected to the inside or the outside to form a vacuum, or an inert gas such as nitrogen gas may be supplied or clean air may be supplied.
  • an inert gas such as nitrogen gas may be supplied or clean air may be supplied.
  • various pressure gauges, thermometers, and temperature control devices such as heaters and cooling devices may be additionally installed.
  • FIG. 40 is an enlarged perspective view illustrating the door 20 of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
  • the door 20 of the door replaceable gate valve system 2100 may include a rail member R installed in the second direction moving device 50. It may be a slide replaceable door 21 that can be removable according to sliding.
  • the door replacement opening (H) is formed in, and the cover (C) may be installed in the door replacement opening (H).
  • the present invention is not necessarily limited thereto, and the door 20 may flow in and out in various directions.
  • FIG. 41 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening H of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36
  • FIG. 42 illustrates another example of the door replacement opening H of FIG. 36. It is a perspective view
  • FIG. 43 is sectional drawing which shows another example of the door replacement opening H of FIG.
  • a door replacement opening H is formed in the valve housing 10 or the lower surface 10d of the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A.
  • the cover C may be installed in the door replacement opening H.
  • the door replacement opening H is formed in the front surface 10e of the valve housing 10 or the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A.
  • FIG. The cover C may be installed in the door replacement opening H.
  • a door replacement opening H is formed in the bottom surface 10d and the front surface 10e of the valve housing 10 corresponding to the door replacement area A.
  • the cover C may be installed in the door replacement opening H.
  • the lower surface 10d and one side surface 10c or the lower surface 10d, the side surface 10c, and the front surface 10e all form openings H of various shapes to facilitate the replacement of the door 20. have.
  • the door 20 is detachably installed to the second direction movement device 50 by using a fastener F or a jig such as a bolt, nut, or screw. It may be a fastening replaceable door 22.
  • various fastening doors may be applied, such as using an interference bit groove, an interference bit projection, a snap button, or a magnet.
  • the cover (C), various O-rings, etc. are also installed, the lid is detachably fixed by a fastener, a folding door, a cover of various forms such as a cap or a shell may be applied.
  • the door 20 may be an L motion door capable of blocking a single passage 10a formed in the valve housing 10.
  • the door 20 is not necessarily limited thereto.
  • FIG. 44 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
  • the normal operation of the door replaceable gate valve system 2100 will be described.
  • the door 20 may be processed. You can wait in the open stage for loading or unloading.
  • the door 20 can be raised from the standby position to the first stage (Close stage), and then for a second time at the first position for a third time t3.
  • the passage 10a may be sealed by advancing to the position.
  • 45 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
  • FIG. 45 a door replacement process of the door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure will be described.
  • the door 20, that is, the sealing plate, of the process of FIG. 44 is described. If the exchange of is required, the door 20 is first lowered from the open stage to the third exchange stage during the zero replacement time te0 and during the first replacement time te1. The door 20 may be advanced second from the third position to the fourth position to isolate the door replacement area A.
  • the door replacement area A may be switched to the standby state ATM and the door replacement operation may be performed.
  • the door 20 is switched to the vacuum state, and the door 20 is opened at the fourth position to release the isolation of the door replacement area A.
  • FIG. Can be reversed to the third position.
  • the door 20 may rise from the third position to the standby position and wait.
  • these replacement times are made during the first time t1 of FIG. 44 so that door replacement can be performed quickly without breaking the equipment or breaking the overall vacuum.
  • FIG. 46 is a flowchart illustrating an operation process of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
  • the door replacement operation of the present invention may be performed by the operator or the control unit, “Does the seal plate need to be replaced?”, For example, confirming the use time of the door, The state of the door can be confirmed through various sensors such as a load sensor or a vision measuring the state of the sealing member or measuring the state of the sealing member.
  • 47 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system 2200 according to some other embodiments of the present invention.
  • the door 20 of the door replaceable gate valve system 2200 may include a first passage 10a formed at one side of the valve housing 10.
  • T motion door 23 including a first door 20-1 capable of blocking a second door and a second door 20-2 capable of blocking a second passage 10b formed at the other side of the valve housing 10. Can be. Therefore, the technical idea of the present invention can be applied to all the doors of various types of gate valves, such as the L motion and the T motion.
  • FIG. 48 is an exploded perspective view of a part of the door 20 of the door replaceable gate valve system 2300 according to some other embodiments of the present invention
  • FIG. 49 is a door replaceable gate valve system 2300 of FIG. 48.
  • 50 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 2300 of FIG. 48
  • FIG. 51 is a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 20 is a cross sectional view showing the cross section shown in FIG.
  • the door 20 of the door replaceable gate valve system 2300 according to some other embodiments of the present invention, the at least one side of the contact rod (DS) of the contact rod (DS) At least one insertion hole ARH coupled to the AR and an interference bite is formed, and an inlet portion of the insertion hole ARH may be provided with an O-ring S3 to prevent particles from scattering when combined.
  • the tactile rods AR illustrated in FIGS. 48 to 51 protrude leftward from the door support DS in the horizontal direction, and thus, the door 20 is disassembled in the horizontal direction. .
  • FIG 52 is an exploded perspective view of a part of the door 20 of the door replaceable gate valve system 2400 in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • the tactile rod AR of the door replaceable gate valve system 2400 protrudes downward from the door support DS in a vertical direction.
  • the door 20 is illustrated that it can be disassembled in the vertical direction.
  • FIG. 53 is a perspective view illustrating a door replaceable gate valve system 3100 according to some embodiments of the present disclosure
  • FIG. 54 is a cross-sectional view of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 55 is a view of FIG. 55
  • 53 is an exploded perspective view of parts of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 56 is a perspective view illustrating the valve housing 10 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 57 is a door of FIG. 53.
  • the door replaceable gate valve system 3100 may include a valve housing 10 in which at least one passage 10a is formed, and the passage.
  • the door 20 in which the first sealing member S1 is installed to block 10a, the movable table 30 supporting the door 20 in a detachable manner, and the valve housing 10 A first direction moving device 40 capable of moving the movable table 30 in a first direction from a standby position to a first position opposite the passage 10a, the movable table 30 and the door 20 And a second direction moving device 50 and the second which move the door 20 in the second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage 10a.
  • the door replacement area of the valve housing 10 is first moved from a standby position to a third position, and secondly moved in the second direction from the third position to the fourth position by using the second direction moving device. It may include an isolation member 60 capable of isolating (A).
  • a door replacement opening H is formed at a side surface of the valve housing 10 corresponding to the door replacement area A, and the door replacement opening H is formed.
  • Removable cover (C) may be installed.
  • the removable cover (C) is to be detachably fixed to the side of the valve housing 10 by a fixing screw, the removable cover (C) is formed at one side of the atmospheric pressure forming valve (V5) On the other side, a vacuum pressure forming vacuum tube VP of FIG. 72 may be installed.
  • the removable cover (C) when replacing the door, it is possible to completely remove the removable cover (C) from the valve housing 10 by loosening the set screw.
  • the atmospheric pressure forming valve V5 before removing the removable cover C, the atmospheric pressure forming valve V5 must be opened to allow atmospheric pressure to be formed in the door replacement area A, and after the door replacement, the removable cover C is reassembled.
  • a vacuum pressure may be formed in the door replacement area A by using the vacuum pressure forming vacuum tube VP.
  • FIG. 58 is a perspective view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 59 is a view illustrating the fastening state of the door 20 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53. Sectional perspective view.
  • the door 20 is a slide replaceable door that can be detachably slid along a rail member installed in the second direction moving device 50 or the isolation member 60. 21).
  • the door 20 is formed with at least one rib portion RB in the middle of the rear portion so as to prevent the bending due to the back pressure, two L in the upper and lower ends, Guide portion (G) bent in the shape may be formed.
  • the two rib portions RB and the two guide portions G may increase the strength of the door 20, and the guide portions G correspond to the guide portions G. While sliding along the member, it can be firmly attached to the isolation member 60.
  • FIG. 60 is a perspective view of the anti-friction member 62 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 61 is a perspective view of the anti-friction member 62 of FIG. 60
  • FIG. 62 is of FIG. 53.
  • the isolation member 60 includes an isolation plate 61 formed to correspond to the side surface of the protruding wall portion horizontally protruding in a ring shape in the valve housing 10.
  • the second sealing member S2 may be installed on the contact surface of the protruding wall so as to release the vacuum only in the door replacement area A while maintaining the overall vacuum of the valve housing 10.
  • a friction preventing member 62 made of a resin material may be installed between the isolation plate 61 and the door 20 of the isolation member 60.
  • the anti-friction member 62 is made of an engineering plastic material such as PEEK (polyetheretherketone) or Teflon having excellent impact buffer and abrasion resistance so as to minimize friction between the isolation plate 61 and the door 20. Can be.
  • PEEK polyetheretherketone
  • Teflon having excellent impact buffer and abrasion resistance so as to minimize friction between the isolation plate 61 and the door 20. Can be.
  • the isolation plate 61 may have a hard anodizing coating layer formed on a surface thereof to increase hardness and prevent generation of foreign matter.
  • FIG. 63 is a side view illustrating an open state of the opening H of the replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 64 illustrates a guide pin member 80 of the replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53
  • FIG. 65 is a side view illustrating a closed state of the guide pin member 80 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53.
  • the door replaceable gate valve system 3100 has the door 20 in the isolation plate 61 when the shaft is rotated at a first angle. Pressurized and fixed to the shaft, the shaft rotation is possible to the isolation plate 61 or the door 20 so as to freely slide the door 20 from the isolation plate 61 when the shaft is rotated at a second angle. It may be further provided, and may further include a guide pin member 80 is formed in an eccentric shape is formed in the notch portion (N) at least in part.
  • the removable cover C is removed, and then the guide pin is inserted into the driver groove DH of the guide pin member 80 through the exposed opening H.
  • the notch portion N of the guide pin member 80 is opposed to the door 20 when the member 80 is axially rotated.
  • the door 20 may be freely slidably moved from the isolation plate 61, and as shown in FIG. 65, a rounded portion, not the notch portion, when the shaft is rotated at a first angle is formed in the isolation plate 61.
  • the door 20 can be fixed to the pressure.
  • the positional deviation or sliding malfunction of the door 20 can be prevented in advance.
  • FIG. 66 is a perspective view illustrating the pin type jig Z1 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53.
  • the removable cover C may be removed, and then the user may open the door 20 by a user. It may further include a pin-type jig (Z1) consisting of a handle (Z1a) and the binding pin (Z1b) protruding from the handle (Z1a) to be drawn out.
  • the pin type jig Z1 needs to be careful not to collide with the valve housing 10 when the door 20 is pulled out.
  • FIG. 67 is a perspective view illustrating a use state of the fastening jig Z2 and the chamber jig Z3 of the single type jig SZ of the door replaceable gate valve system 3200 according to some other exemplary embodiments.
  • 68 is a perspective view illustrating a state of use of the multi-type jig DZ of the door replaceable gate valve system 3300 according to some other embodiments of the present disclosure
  • FIG. 69 is a door replaceable gate valve of FIG. 67.
  • the door replaceable gate valve system 3200 may be configured to remove the removable cover C, and then the position of the removable cover C.
  • the sliding jig (Z2) is formed on one side sliding fastening (Z2a) and the sliding fastening with the sliding fastening portion (Z2a) of the fastening jig (Z2), the door (
  • the movable part K which can be combined with the 20 is installed, and a push bar PB connected to the movable part K is installed outside, and the door 20 drawn out to the outside by the push bar PB.
  • It may further include a chamber-shaped jig (Z3) that can be surrounded by a total protection.
  • the fastening jig Z2 is temporarily fixed to the position of the removable cover C, and the sliding fastening part of the fastening jig Z2 ( Z2a) and the chamber-type jig (Z3) by sliding fastening, and then can be safely drawn out without using the push bar (PB) without exposing the door (20).
  • the chamber-type jig Z3 includes at least a single jig for pulling out (SZ), an input single jig, and the pull-out single jig (SZ) and the input single jig.
  • SZ single jig for pulling out
  • SZ pull-out single jig
  • DZ dual jig
  • a wide variety of types and types of jig may be applied.
  • FIG. 70 is a perspective view illustrating the door detection sensor S of the door replaceable gate valve system 3300 of FIG. 68
  • FIG. 71 is an enlarged view illustrating the door detection sensor S of FIG.
  • the door replaceable gate valve system 3300 may change the position of the door 20 when the passage 10a of the door 20 is blocked. It may further include a door detection sensor (S) for detecting.
  • S door detection sensor
  • 72 is a flowchart illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system 3300 according to some exemplary embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 1 the valve housing 10 is described.
  • opening the atmospheric pressure forming valve (V5) of the removable cover (C) installed in the valve housing 10 to replace the door of the valve housing 10 The removable cover C may be detached to create an atmospheric pressure in the area A and to open the opening H of the valve housing 10 as shown in FIG. 3.
  • the fastening jig Z2 may be temporarily fastened to the position of the removable cover C removed.
  • the size of the fixing screw of the removable cover (C) and the fixing screw specifications of the fastening jig (Z2) may be the same.
  • the chamber type jig Z3 is slid to the sliding fastening portion Z2a of the fastening type jig Z2, and as in No. 6, the push bar PB of the chamber type jig Z3 is pushed.
  • the push bar (PB) By pulling the push bar (PB) using the), the old door 20 into the chamber-shaped jig (Z3) can be drawn out of the valve housing 10, as in step 7.
  • the chamber-type jig Z3 accommodating the old door 20 is separated from the fastening jig Z2, and the other chamber-type jig Z3 accommodating the new door 20 is fastened.
  • the chamber housing jig Z3 and the fastening jig Z2 are removed from the valve housing 10, and as in No. 3, the valve housing 10 is removed.
  • a vacuum pressure may be formed in the door replacement area A of the valve housing 10 by using a vacuum pressure forming vacuum tube VP installed in the removable cover C. .
  • 73 is a flowchart illustrating a door replacing method of the door replaceable gate valve system 3300 according to some embodiments of the present disclosure.
  • the door replacement method of the door replaceable gate valve system 3300 forming the atmospheric pressure of the removable cover (C) installed in the valve housing 10 Opening the valve (V5) to form an atmospheric pressure in the door replacement area (A) of the valve housing 10 (S110), and the removable cover to open the opening (H) of the valve housing 10 (C) separating the step (S111), the step of temporarily tightening the fastening jig (Z2) in the position of the removable cover (C) removed (S112), and the sliding fastening portion of the fastening jig (Z2) Sliding and fastening the chamber-type jig (Z3) to (Z2a) (S113) and the old door 20 into the chamber-type jig (Z3) by using the push bar (PB) of the chamber-type jig (Z3).
  • PB push bar
  • the productivity can be greatly improved by greatly reducing the downtime of the equipment from days to hours.
  • FIG. 74 is an external perspective view illustrating the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present disclosure
  • FIG. 75 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system 4100 of FIG. 74.
  • the gate valve system 4100 includes a valve housing 10, a valve body 20, and a moving device 30. And a cover 40 and a heat exchanger 50.
  • valve housing 10 is a hollow box-shaped structure as a whole, and more specifically, for example, one side is connected to a process module PM, that is, a process chamber in which various semiconductor or display processes can be performed. At least one passage 10a may be formed so that the other side thereof may be connected to the transfer module TM on which the transfer or the transfer robot is installed.
  • valve housing 10 is installed between the process module PM and the transfer module TM, and thus is provided with advanced devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, and the like.
  • the passage 10a may be formed at one side or both sides to allow various objects such as a semiconductor device, a display device, and other medical devices to enter and exit.
  • valve housing 10 is not limited to being installed between the process module PM and the transfer module TM, and may be, for example, between various modules and chambers such as a loading chamber, an unloading chamber or a buffer chamber. Can be installed on
  • valve housing 10 can support the valve body 20, the moving device 30, the lid 40, and the heat exchanger 50 described above, and the various chambers. It may be a structure having sufficient strength and durability to be connected to the.
  • valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
  • valve housing 10 may be divided into a vacuum region A, which occupies most of the internal space including the passage 10a, and a replacement region B for replacing the sealing member.
  • the vacuum region A may be partitioned relatively large in consideration of the moving space of the valve body 20, and the replacement region B may be converted from vacuum pressure to atmospheric pressure or vacuum pressure at atmospheric pressure. When converted to, it can be partitioned relatively narrowly with a minimum volume to reduce pressure conversion time.
  • the position, shape, or volume of the vacuum area A and the replacement area B may be formed in various shapes and shapes according to the specification, process environment, etc. of the process module PM or the transfer module TM to be applied. Can be.
  • the valve body 20 is provided with a first sealing member S1 to block the passage 10a
  • the passage 10a and It may include a door 21 is formed in a shape corresponding to the opening (Ba), the detachable groove (G) is formed so that the first sealing member (S1) can be detachably inserted.
  • the first sealing member S1 may have various sealing members such as an O-ring or a gasket formed in a ring shape for airtightness.
  • the first sealing member S1 is not necessarily limited thereto, and a wide variety of sealing members may be applied.
  • the door 21 is a sealing member mounting surface on which the first sealing member S1 is installed and the second sealing to be described later, in order to minimize thermal contact area with the high temperature process module PM. It is preferable that the contact surface that can be in contact with the member S2 forms a step.
  • the present invention is not limited thereto, and the door 21 may be formed in a wide variety of shapes such as the sealing member installation surface and the contact surface having a flat shape.
  • door 21 is not limited to the drawings, and may be applied in various ways, such as being installed in various numbers or additionally installing various sealing members, various joints, hinge structures, and the like.
  • the moving device 30 is a device capable of moving the valve body 20 in the direction of the passage 10a.
  • First direction moving device 31 capable of moving the movable table M connected to the valve body 20 in a first direction (up and down direction) from a standby position to a first position facing the passage 10a.
  • a second direction front and rear direction
  • the mobile device 30 may be applied to all kinds of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box.
  • the first direction movement device 31 may be a lifting cylinder
  • the second direction movement device 32 may be a sealing cylinder, but in addition to having various shapes and types in various directions. All mobile devices can be applied.
  • the door 21 can be raised and lowered from the standby position to the first position by the first direction movement device 31 inside the valve housing 10, and then the second direction movement.
  • the device 32 can be advanced back and forth from the first position to the second position to selectively open and close the passage 10a.
  • FIG. 83 is a perspective view illustrating an example of the rotatable lid 41 of the gate valve system 4100 of FIG. 74.
  • the cover 40 replaces the first sealing member S1 while maintaining the vacuum state of the vacuum region A of the valve housing 10. It can be installed in the opening (Ba) of the replacement area (B) of the valve housing 10 so that.
  • the cover 40 may be a rotatable cover 41 that is rotated based on the hinge shaft H of the valve housing 10.
  • the rotational cover 41 may be held or released from the valve housing 10 by various hooks, screws, bolts, nuts, and other fasteners.
  • the pivotal cover 41 covers and seals the opening Ba of the valve housing 10, or the first sealing member (
  • the opening Ba may be opened by being rotated based on the hinge shaft H so that S1) may be exposed to the outside for replacement.
  • the heat exchanger 50 is installed on the cover 40 to heat or cool the valve body 20 or the first sealing member S1. More specifically, for example, it may be formed in various forms, such as a planar heating element having a heating layer, a heating coil made of a heating wire, etc., and according to the heating principle, resistance heating, electric heating, light heating, induction heating, magnetic heating All of the heat exchanger using various principles, such as can be applied.
  • the heat exchange device 50 is installed on the valve body facing surface, that is, the inner side of the lid 40, and is located near the lid 40 in a closed state. It may be a heater or a cooling device which is formed in a shape corresponding to the valve body 20 so as to heat the valve body 20 and can be controlled by the temperature control unit 90.
  • the temperature control unit 90 preheats or replaces the high temperature valve body 20 to a temperature at which it is easy to replace the low temperature valve body 20 to be applied to the high temperature process module PM. Can be cooled.
  • the heat exchange device 50 is installed on the inner surface of the cover 40 which may be opposed to the valve body 20 so that the valve body 20 and the new first sealing member S1 replaced are replaced. Rapid heating or cooling in minutes to hours can greatly reduce equipment preparation time and costs compared to conventional equipment, which had to wait for hours to days.
  • the gate valve system 4100 may allow the replacement area B to be sealed by the valve body 20.
  • the second sealing member S2 may be installed inside the opening Ba of the replacement area B of the valve housing 10.
  • an inner side of the cover 40 or the opening Ba may be closed to seal the opening Ba of the replacement area B of the valve housing 10.
  • the third sealing member S3 may be installed on the outside of the third sealing member S3.
  • one side and the other side of the replacement area B may be separately sealed using the second sealing member S2 and the third sealing member S3.
  • the replacement area (B) may be provided with an internal vacuum line 71 and a vacuum pressure release line 72 in which valves are installed, respectively.
  • the valve body 20 can be separated in place of the internal vacuum line 71, the replacement area B can be formed from the vacuum state to the atmospheric state only by the vacuum release line 72. have.
  • the vacuum pressure release line 72 is opened in order to open the lid 40 to separate the aged first sealing member S1 to the outside.
  • the replacement area B may be converted to atmospheric pressure by using Nm. Then, when the new first sealing member S1 is replaced, the cover 40 is fastened, and then the internal vacuum line 71 is closed.
  • the replacement area (B) By converting the replacement area (B) to a vacuum pressure again using the valve body 20 can open the replacement area (B) to perform the opening and closing operation.
  • the replacement area B may additionally be provided with various lines and valves and additional devices such as an external vacuum line connected to a vacuum pump, an inert gas supply line connected to an inert gas supply, a clean air supply line, and the like.
  • each of these lines can be controlled by a control unit 70 for controlling the valves, the control unit 70 controls the moving device 30 described above to perform a series of valve opening and closing operations and sealing member replacement operation Can be done.
  • the gate valve system 4100 can identify the identification information of the first sealing member (S1) or the sealing plate 23 to allow operation only when matching the identification information. It may further comprise an identification device (80).
  • the identification device 80 may be used to check various identification information such as the RF ID included in the first sealing member S1 or the sealing plate 23 so that only genuine products can be operated normally.
  • FIG. 76 is a cross-sectional view illustrating a passage closed state of the gate valve system 4100 of FIG. 75
  • FIG. 77 is a cross-sectional view illustrating a valve body backward state of the gate valve system 4100 of FIG. 76
  • FIG. 78 is a gate of FIG. 77
  • 79 is a cross-sectional view illustrating a valve body lowered state of the valve system 4100
  • FIG. 79 is a cross-sectional view illustrating a closed area sealing state of the gate valve system 4100 of FIG. 78
  • FIG. 80 is a cross-sectional view of the gate valve system 4100 of FIG. 79
  • 81 is a cross-sectional view showing a lid opening and a sealing member detached state
  • FIG. 81 is a cross-sectional view showing a sealing member replacement state of the gate valve system 4100 of FIG. 80
  • FIG. 82 is a lid fastening and It is sectional drawing which shows a heating or cooling state.
  • the operation of the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present invention will be described first, as shown in FIG. 76, the valve body 20 is When advancing in the raised position, the first sealing member S1 may be in contact with the passage 10a to close the passage 10a.
  • the first sealing member S1 is exposed to a high temperature environment of the process module PM, and may be deteriorated or damaged when used for a long time.
  • valve body 20 can be reversed to open the passage 10a, and then shown in FIG. As described above, the valve body 20 may descend to stand by at the waiting place so that the substrate flows in and out through the passage 10a.
  • the opening and closing process of the passage 10a may be repeatedly performed until a predetermined cycle or deterioration or damage of the first sealing member S1 occurs.
  • valve body 20 moves forward in the lowered state. To seal the replacement area (B).
  • the vacuum region A forms an atmospheric pressure in the replacement region B while maintaining the vacuum pressure, and removes the lid 40 from the valve housing 10.
  • the opening Ba may be opened by separating.
  • the aged first sealing member S1 exposed to the outside through the opening Ba may be separated from the door 21.
  • the new first sealing member S1 may be replaced with the detachable groove G of the door 21.
  • the cover 40 is fastened to the valve housing 10 to close the opening Ba, and a vacuum pressure is formed in the replacement area B.
  • the valve body 20 or the first sealing member S1 can be heated or cooled by using the 50.
  • the finishing passage opening and closing process may be repeatedly performed.
  • FIG. 84 is a perspective view illustrating an example of a sliding lid of the gate valve system 4100 of FIG. 74.
  • the lid 40 of the gate valve system 4100 of FIG. 74 may be a sliding lid 42 sliding along the rail R of the valve housing 10.
  • the rotational space of the pivotal cover 41 of FIG. 83 is not sufficient due to equipment specifications, maintenance space, or the like, the sliding that may be raised and lowered and adhered to the opening Ba along the rail G.
  • the mold cover 42 can efficiently operate the equipment even in a narrow space.
  • FIG. 85 is a cross-sectional view illustrating a closed area sealing state of the gate valve system 4200 according to some other embodiments of the present disclosure
  • FIG. 86 illustrates a cover opening and a sealing plate detachment state of the gate valve system 4200 of FIG. 85. It is sectional drawing to show.
  • the base plate is formed in a shape corresponding to the opening (Ba) ( 22) and a sealing plate 23 detachably mounted to the base plate 22 and formed in a shape corresponding to the passage 10a and in which the first sealing member S1 is integrally fixed. Can be.
  • 87 is a cross-sectional view illustrating a heat exchange device of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • a gate valve system may provide a width of the heat exchange device 50 in order to minimize the influence of temperature on the first sealing member S1.
  • L1 may be formed to be narrower than the width of the first sealing member S1.
  • FIG. 88 is a cross-sectional view illustrating a valve body 20 of the gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • valve body 25 of the gate valve system may include an inclined surface Bb having a second sealing member S2 installed in the opening Ba. Corresponding inclined surfaces may be formed.
  • the operator checks the second sealing member S2 with the naked eye easily through the inclined surface Bb of the opening Ba with the naked eye. It is possible to replace only the second sealing member S2 without having to open the entire valve housing 10.
  • 89 is a cross-sectional view illustrating a replaceable block 11 of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • a second sealing member S2 is formed on one side of the gate valve system, and the opening Ba is formed.
  • a fourth sealing member may be installed between the valve housing 10 and the replaceable block 11 to maintain airtightness.
  • the second sealing member S2 may be easily replaced by separating the replaceable block 11 from the valve housing 10.
  • FIG. 90 is a front view illustrating the sealing plate 23 of the gate valve system of FIG. 85
  • FIG. 91 is a cross-sectional view illustrating an example of the sealing plate 23 of the gate valve system of FIG. 90.
  • valve body 20 of the gate valve system of FIG. 85 is a fastener F provided in an outer region of the first sealing member S1 of the sealing plate 23. It may further include.
  • the sealing plate 23 may be firmly fixed to the base plate 22 by using the fastener F that is not exposed to the processing environment of the process module PM. have.
  • FIG. 92 is sectional drawing which shows another example of the sealing plate 23 of the gate valve system of FIG.
  • the sealing plate 23 may have a locking portion T formed at one side thereof, that is, a lower side thereof, and the fixture F may be fastened to the other side and the upper side thereof.
  • the operator first engages the locking portion T below the base plate 22, and then fastens the fastener F above the base plate 22, thereby fixing the fastener F. It is possible to secure the installation area of the first sealing member (S1) as wide as possible while reducing the number of installation of the, and simplify the fastening process.
  • 93 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
  • a control method of a gate valve system may include a valve housing 10 in which at least one passage 10a is formed, and the passage 10a.
  • the moving device 30 capable of moving the valve body 20 in the passage direction, and the valve housing 10 of the valve housing 10.
  • the cover 40 which is installed in the opening Ba of the replacement area B of the valve housing 10 so that the first sealing member S1 can be replaced while maintaining the vacuum state of the vacuum area A and the In the control method of the gate valve system 4100 including the heat exchanger 50 which is installed in the cover 40 to heat or cool the valve body 20 or the first sealing member (S1), the The valve 30 is moved in the direction of the replacement area B by the moving device 30 so that the bell A replacement area sealing step (S10) of sealing the replacement area (B) of the bar housing (10); An atmospheric pressure forming step (S20) of forming an atmospheric pressure in the replacement area (B); A cover opening step (S30) of opening the opening (Ba) by separating the cover (40) from the valve housing (10); A replacement step (S40) of replacing the first sealing member (S1) through the opening (Ba); A cover fastening step (S50) of closing the opening Ba by fastening the cover 40 to the valve housing 10; After the cover fastening step (S50), the vacuum pressure to form a vacuum pressure in
  • the present invention is not necessarily limited thereto, and in order to save time, it is also possible to simultaneously perform the heat exchange step 60 and the vacuum pressure forming step 70.
  • 94 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
  • the vacuum pressure forming step S70 for forming a vacuum pressure in the replacement area B and the heat exchanger 50 may be performed. It is also possible to perform the heat exchange step S60 for heating or cooling the valve body 20.
  • the gate valve is stable by minimizing the moving distance of the sealing plate It can reduce the manufacturing cost, save the moving time of the sealing plate, save the space of the gate valve, minimize the moving distance of the sealing plate, operate the gate valve stably, reduce the manufacturing cost and It can save travel time, save space of gate valve, determine whether the exchanged sealing member is genuine, stop the operation of gate valve if it is not genuine, and replace the whole door including O-ring. Significantly reduce replacement costs and time, and reduce the volume of equipment In order to reduce the unit cost and the time and cost of vacuum formation.
  • simply lowering the movable platform allows the door to be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the equipment. It is possible to improve the durability and performance of the equipment, and by installing a heat exchanger on the inner side of the cover which can be opposed to the valve body, it is possible to quickly heat or cool the valve body and the replaced new first sealing member to prepare the equipment. It can significantly reduce the cost and cost, and minimize the thermal stress and thermal damage by installing the second sealing member in the opening part of the replacement area to keep it away from the high temperature process module. It can be greatly increased.

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Abstract

Embodiments of the present invention provide a gate valve comprising: a sealing plate for opening/closing a chamber; a support part connected to the sealing plate; a driving part for vertically moving the support part; a valve housing having the sealing plate and the support part therein and having a passage and a replacement part; a first sealing member for sealing the passage by means of the movement of the sealing plate; and a second sealing member for sealing the replacement part by means of the movement of the sealing plate, wherein the driving part moves the sealing plate to the location corresponding to the passage or the replacement part. Thus, the moving distance of the sealing plate is minimized such that the gate valve operate reliably, manufacturing costs thereof are reduced, movement time of the sealing plate can be saved and the space of the gate valve can be saved.

Description

게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법Gate valve system and its control method
본 발명은 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 챔버 내에서 진공상태를 유지하면서 오링(o-ring) 또는 실링 플레이트를 교환할 수 있도록 하는 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve system and a control method thereof, and more particularly, to a gate valve system and a control method thereof to allow the exchange of the o-ring or sealing plate while maintaining a vacuum in the chamber. It is about.
게이트 밸브(gate valve)란 반도체 공정의 챔버들 사이에 구비되어 챔버간 통로를 제공하고 제공된 통로를 개폐하는 반도체 제조 설비로서 슬릿밸브라고도 불린다.A gate valve is a semiconductor manufacturing facility provided between chambers of a semiconductor process to provide an inter-chamber passage and to open and close the provided passage, also called a slit valve.
여기에서, 반도체 공정이란 노광, 식각, 증착, 세정 등의 다양한 공정을 의미하는데 각 공정은 진공 상태의 챔버에서 수행되므로 챔버를 진공 상태로 유지하는 것이 중요하다.Here, the semiconductor process refers to various processes such as exposure, etching, deposition, and cleaning, and each process is performed in a vacuum chamber, so it is important to keep the chamber in a vacuum state.
따라서, 게이트 밸브를 열어서 챔버가 웨이퍼 등의 피처리체를 전달받거나 다른 챔버로 전달한 후에 챔버에서 수행되는 공정에 의해 발생되는 물질의 확산을 막고 다른 챔버를 진공 상태로 유지하기 위해서는 게이트 밸브를 닫아야 한다.Therefore, the gate valve must be closed to open the gate valve to prevent diffusion of materials generated by the process performed in the chamber after the chamber receives the workpiece or the like, or to the other chamber, and to keep the other chamber in a vacuum state.
게이트 밸브는 실링 플레이트(seal plate)를 이동시켜서 통로를 개폐시키는데, 실링 플레이트에는 오링(o-ring)과 같은 밀폐 부재가 부착되어 챔버 내부를 밀폐시키는 역할을 한다.The gate valve moves the sealing plate to open and close the passage. A sealing member such as an o-ring is attached to the sealing plate to seal the inside of the chamber.
그런데, 오링은 소모품으로서 정기적으로 교환해 주어야 하는데, 오링을 교환하기 위해서는 반도체 공정을 정지해야 하고 오링을 교환한 후에는 챔버 내의 불순물을 제거하고 진공 흡인해야 하므로 많은 시간이 소요된다.However, the O-rings need to be replaced regularly as consumables. In order to replace the O-rings, the semiconductor process must be stopped, and after the O-rings are replaced, impurities in the chamber must be removed and vacuum suctioned takes a lot of time.
따라서, 챔버 내부의 진공상태를 유지하면서 오링을 빠르게 교환할 수 있는 방법이 요구된다.Therefore, there is a need for a method that can quickly change the O-ring while maintaining the vacuum inside the chamber.
이와 관련하여, 종래기술을 살펴본다.In this regard, look at the prior art.
도 1에 나타낸 한국등록특허 제10-0756110호는 처리챔버(4)의 반입 개구에 장착되어서, 진공상태의 반송실(6)측과의 사이를 개폐하는 게이트 밸브 장치에 있어서, 반입 개구(37)를 개폐하도록 착석 가능하게 된 밸브체(44)와, 밸브체(44)의 표면에 착탈 가능하게 설치되어서 반입 개구(37)의 주위의 착석면에 기밀하게 접촉되는 밀봉부재(66)와, 밀봉부재(66)의 외주에 밀봉부재(66)로부터 소정의 간격을 두고 둘러싸도록 하여 설치된 유지보수용 밀봉부재(68)와, 밸브 하우징에 설치되고, 밸브체(44)를 착석시켰을 때에 밀봉부재(66)가 노출된 상태에서 유지보수용 밀봉부재(68)에 의해 기밀하게 밀봉할 수 있는 크기로 된 유지보수용 개구(72)와, 유지보수용 개구(72)의 외측을 착탈 가능하게 기밀하게 폐쇄하는 유지보수용 개폐 덮개(74)와, 밸브체(44)를 반입 개구와 상기 유지보수용 개구(72)와의 사이에서 이동시켜서 착석시키는 밸브체 구동 기구를 구비하여 반송실측을 대기 개방하지 않고 밀봉부재(66)를 교환하는 것이 가능한 게이트 밸브 장치를 제공한다.Korean Patent No. 10-0756110 shown in Fig. 1 is mounted in the carry-in opening of the processing chamber 4, and has a carry-in opening 37 in the gate valve device which opens and closes with the conveyance chamber 6 side in a vacuum state. Valve body 44, which is seated so as to be able to open and close a), a sealing member 66 that is detachably provided on the surface of the valve body 44, and which is in airtight contact with the seating surface around the carry-in opening 37; The maintenance sealing member 68 provided so that the outer periphery of the sealing member 66 may be enclosed at predetermined intervals from the sealing member 66, and the sealing member is installed in the valve housing and seats the valve body 44. The maintenance opening 72 and the outside of the maintenance opening 72 which are the size which can be hermetically sealed by the maintenance sealing member 68 in the state which the 66 was exposed are detachably airtight. The opening / closing cover 74 for maintenance and the valve body 44 to be closed, and The valve body drive mechanism which moves and seats between the maintenance opening 72 and seats is provided, and the gate valve apparatus which can replace the sealing member 66 without opening the conveyance chamber side to the air is provided.
여기에서, 밀봉부재(66)는 오링 또는 밀폐 부재와 동일한 의미를 갖고 밸브체(44)는 실링 플레이트와 동일한 의미를 가진다.Here, the sealing member 66 has the same meaning as the O-ring or the sealing member, and the valve body 44 has the same meaning as the sealing plate.
그러나, 종래기술은 오링을 교체하기 위해서 실링 플레이트를 유지보수용 개구(72)의 전방까지 이동시켜야 하므로 실링 플레이트의 이동 거리가 길어서 실링 플레이트와 연결된 지지부재(98) 및 지지부재(98)를 상하로 이동시키는 실린더가 더 길어야 하고 실링 플레이트를 유지보수용 개구(72)의 전방까지 이동시킬 경우에 시간이 많이 소요될 수 있다.However, in the prior art, since the sealing plate must be moved to the front of the maintenance opening 72 to replace the O-ring, the moving distance of the sealing plate is long so that the supporting member 98 and the supporting member 98 connected to the sealing plate are up and down. The cylinder to be moved to must be longer and can be time consuming if the sealing plate is moved to the front of the maintenance opening 72.
또한, 종래기술은 챔버개방, 챔버밀폐 또는 오링교환을 위해서 실링 플레이트를 게이트 밸브의 최하단, 반입 개구(37)의 전방 또는 유지보수용 개구(72)의 전방과 같이 세 가지 위치로 이동시켜서 고정해야 하므로 제조 방법이 복잡하여 제조 비용이 증가할 수 있다.In addition, the prior art requires that the sealing plate be moved and fixed to three positions, such as the lowermost end of the gate valve, the front of the carry-in opening 37 or the front of the maintenance opening 72 for chamber opening, chamber sealing or O-ring exchange. Therefore, the manufacturing method is complicated and the manufacturing cost may increase.
또한, 종래기술은 오링교환을 위해서 별도의 공간이 필요므로 게이트 밸브가 챔버의 위쪽으로 돌출될 수 있는데 돌출 부위에 의해 게이트 밸브에 충격이 가해질 수 있고 다른 장비를 사용하기 위한 공간이 제한될 수 있다.In addition, the prior art requires a separate space for the O-ring exchange, so that the gate valve may protrude above the chamber, the impact may be applied to the gate valve by the protruding portion and the space for using other equipment may be limited. .
또한, 종래기술은 오링을 교환할 때 시간이 많이 소요될 수 있다.In addition, the prior art can take a long time when replacing the O-ring.
도 2는 도 1의 게이트 밸브에서 시간에 따른 실링 플레이트의 높이 변화를 나타낸 도면이다.2 is a view showing a change in height of the sealing plate with time in the gate valve of FIG.
여기에서, 실링 플레이트의 높이란 도 1에서 챔버개방, 챔버밀폐 또는 오링교환을 위해서 실링 플레이트를 세 가지 위치로 이동시킬 경우에 게이트 밸브 내에서의 실링 플레이트의 높이를 의미한다.Here, the height of the sealing plate means the height of the sealing plate in the gate valve when the sealing plate is moved to three positions in order to open the chamber, close the chamber, or replace the O-ring in FIG. 1.
도 2를 참조하면, 도 1의 게이트 밸브에서 챔버개방을 위해서 게이트 밸브가 열린 경우에는 실링 플레이트의 높이가 최소값인 A이고 챔버밀폐를 위해서 게이트 밸브를 닫으려고 하는 경우에는 실링 플레이트가 반입 개구(37)의 전방까지 이동되어야 하므로 실링 플레이트의 높이를 B 값까지 증가시켜야 한다.Referring to FIG. 2, when the gate valve is opened to open the chamber in the gate valve of FIG. 1, when the height of the sealing plate is the minimum value A, and when the gate valve is to be closed to close the chamber, the sealing plate may have an opening opening 37. The height of the sealing plate must be increased to the value of B since it must be moved up to the front of the
또한, 오링교환을 위해서는 실링 플레이트가 유지보수용 개구(72)의 전방까지 이동되어야 하므로 실링 플레이트의 높이를 C 값까지 증가시켜야 하는데 실링 플레이트의 높이를 B 값에서 C 값까지 증가시키기 위해서는 실링 플레이트와 연결된 지지부재(98) 및 지지부재(98)를 상하로 이동시키는 실린더의 길이가 B 값과 C 값의 차이만큼 더 길어져야 한다.In addition, since the sealing plate must be moved to the front of the maintenance opening 72 for the O-ring exchange, the height of the sealing plate should be increased to the value C. In order to increase the height of the sealing plate from the value B to the value C, The length of the cylinder for moving the connected support member 98 and the support member 98 up and down should be longer by the difference between the B value and the C value.
그런데, 지지부재(98) 및 실린더의 길이가 길어질수록 게이트 밸브는 불안정해질 수 있고 제조비용도 상승한다. 또한, 오링교환을 위해서는 실링 플레이트를 더 높이 이동시켜야 하므로 부가적인 시간이 소요된다.However, as the length of the support member 98 and the cylinder increases, the gate valve may become unstable and the manufacturing cost increases. In addition, the O-ring replacement requires additional time since the sealing plate must be moved higher.
한편, 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.On the other hand, the conventional technology of replacing only the O-ring cannot be used in a door with an integrated O-ring, which is a recent trend, and even if only the O-ring is replaced, the O-ring is inserted into the narrow O-ring groove because it is very cumbersome and manual. There were problems that were difficult to maintain confidentiality due to damaged or incomplete installation of the O-ring.
또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.In addition, such a conventional O-ring exchange technology requires a very large area to be opened in order to exchange the O-rings. This large area increases the volume of the equipment, which increases the manufacturing cost of the equipment, and also increases the internal space of the equipment. There have been many problems such as time and cost to build a vacuum pressure.
또한, 종래의 실링 부재 교체형 게이트 밸브는 실링 부재 교체 이후에 밸브체와 실링 부재가 열적 평형 상태까지 도달되는 데에 걸리는 시간이 매우 길어져서 이로 인하여 시간과 비용이 크게 낭비되는 등 많은 문제점들이 있었고, 실링 부재들이 열적 스트레스와 열적 데미지에 의해 탄력성 등의 성질이 쉽게 변질되거나 파손되는 등의 문제점들이 있었다.In addition, the conventional sealing member replaceable gate valve has a number of problems, such as the time it takes for the valve body and the sealing member to reach the thermal equilibrium after the sealing member replacement is very long, which wastes a lot of time and cost In addition, the sealing members have problems such as being easily deteriorated or damaged due to thermal stress and thermal damage.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함한 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 챔버 내에서 진공 상태를 유지하면서, 실링 플레이트 및 밀폐 부재들을 용이하게 교체할 수 있고, 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있고, 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있고, 교환된 밀폐 부재가 정품인지 아닌지를 판단하고 정품이 아니라면 게이트 밸브의 작동을 중지시킬 수 있게 하며, 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하고, 덮개의 내측면에 열교환 장치를 설치하여 밸브체 및 교체된 새로운 제 1 실링 부재를 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있고, 제 2 실링 부재를 교체 영역의 개구 부분에 설치하여 고온의 프로세스 모듈로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있게 하는 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The present invention is to solve the various problems including the above problems, while maintaining the vacuum in the chamber, it is possible to easily replace the sealing plate and the sealing members, the gate valve is minimized by minimizing the moving distance of the sealing plate Stable operation, reduced manufacturing cost, saving movement time of sealing plate, saving space of gate valve, minimizing movement distance of sealing plate, stable operation of gate valve, reduction of manufacturing cost and sealing It can save the plate moving time, save the space of gate valve, determine whether the exchanged sealing member is genuine or stop the operation of the gate valve if it is not genuine, and the whole door including O-ring Replaceable, significantly reducing replacement costs and time High volume reduction reduces equipment cost, vacuum build-up time and cost, for example, by simply lowering the movable platform to allow door replacement without breaking the overall vacuum of the valve housing, By installing a heat exchanger on the inner side of the valve body, it is possible to quickly heat or cool the valve body and the replaced new first sealing member, which can greatly reduce the preparation time and cost of the equipment, and the second sealing member can be opened in the replacement area. Its purpose is to provide a gate valve system and its control method, which can be installed at a distance from the high temperature process module to minimize thermal stress and thermal damage, thereby greatly increasing component durability and replacement cycles. . However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 챔버를 개폐시키는 실링 플레이트; 상기 실링 플레이트에 연결된 지지부; 상기 지지부를 상하로 이동시키는 구동부; 상기 실링 플레이트 및 상기 지지부를 내부에 구비하고 통로 및 교환부가 형성된 밸브 하우징; 상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 통로를 밀폐시키는 제1밀폐 부재; 및 상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 교환부를 밀폐시키는 제2밀폐 부재를 포함하고, 상기 구동부는 상기 실링 플레이트를 통로 또는 교환부에 대응하는 위치로 이동시키는 것을 특징으로 할 수 있다.The gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problems, the sealing plate for opening and closing the chamber; A support part connected to the sealing plate; A drive unit for moving the support part up and down; A valve housing having the sealing plate and the support part therein and formed with a passage and an exchange part; A first sealing member sealing the passage by the movement of the sealing plate; And a second sealing member sealing the exchange part by the movement of the sealing plate, wherein the driving part moves the sealing plate to a position corresponding to a passage or an exchange part.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템의 밀폐 부재 교환 방법은, 챔버를 개폐시키는 실링 플레이트, 상기 실링 플레이트에 연결된 지지부, 상기 지지부를 상하로 이동시키는 구동부, 상기 실링 플레이트 및 상기 지지부를 내부에 구비하고 통로 및 교환부가 형성된 밸브 하우징, 상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 통로를 밀폐시키는 제1밀폐 부재, 상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 교환부를 밀폐시키는 제2밀폐 부재, 상기 밸브 하우징의 외부와 상기 교환부를 연통 또는 차폐시키는 제1밸브 및 상기 밸브 하우징의 내부 또는 외부와 상기 교환부를 연통 또는 차폐시키는 제2밸브를 포함하고, 상기 구동부는 상기 실링 플레이트를 통로 또는 교환부에 대응하는 위치로 이동시키는 게이트 밸브의 제1밀폐 부재의 교환 방법에 있어서, 상기 실링 플레이트의 이동에 의해 상기 교환부를 밀폐시키는 단계; 제1밸브를 통해 상기 교환부의 압력을 증가시키는 단계; 상기 교환부를 외부로 개방하는 단계; 상기 실링 플레이트에 구비된 제1밀폐 부재를 교환하는 단계; 상기 교환부를 밀폐시키는 단계; 및 상기 제2밸브를 통해 상기 교환부의 압력을 감소시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.On the other hand, the sealing member exchange method of the gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problems, the sealing plate for opening and closing the chamber, the support portion connected to the sealing plate, the drive unit for moving the support part up and down, the sealing plate And a valve housing having a support portion therein and having a passage and an exchange portion, a first sealing member sealing the passage by movement of the sealing plate, and a second sealing member sealing the exchange portion by movement of the sealing plate, A first valve for communicating or shielding the outside of the valve housing and the exchange part, and a second valve for communicating or shielding the inside or the outside of the valve housing with the exchange part, wherein the driving part passes through the sealing plate through a passage or exchange part. First mill of the gate valve to move to a position corresponding to 1. A method of replacing a closure member, the method comprising: sealing the exchange part by movement of the sealing plate; Increasing the pressure of the exchanger through a first valve; Opening the exchange to the outside; Exchanging a first sealing member provided on the sealing plate; Sealing the exchange part; And reducing the pressure of the exchange unit through the second valve.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템은, 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 착탈이 가능하게 지지하는 가동대; 상기 밸브 하우징에 상기 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치; 상기 가동대와 상기 도어 사이에 설치되고, 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치; 및 상기 가동대에 설치되고, 상기 제 1 방향 이동 장치를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 상기 제 1 방향의 역방향인 제 3 방향으로 이동되면 상기 밸브 하우징의 상기 도어 교체 영역을 격리시킬 수 있는 격리 부재;를 포함할 수 있다.On the other hand, the door replaceable gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problems, the valve housing is formed with at least one passage; A door in which a first sealing member is installed to block the passage; A movable table for supporting the door in a detachable manner; A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage; A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And the door replacement area of the valve housing when the moving device is installed on the movable table and moved in the third direction opposite to the first direction from the standby position to the third position by using the first direction moving device. And an isolation member that is present.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 격리 부재는, 상기 밸브 하우징의 내측 일면과 대응되도록 형성되는 하방 하면부; 상기 밸브 하우징의 내부로 돌출되게 형성되는 돌출벽부의 경사면과 대응되도록 상기 하방 하면부와 연결되게 형성되는 중간 경사부; 및 상기 돌출벽부의 상면과 대응되도록 상기 중간 경사부와 연결되게 형성되는 상방 하면부;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the isolation member, a lower lower surface portion formed to correspond to the inner surface of the valve housing; An intermediate inclined portion formed to be connected to the lower lower surface portion so as to correspond to an inclined surface of the protruding wall portion formed to protrude into the valve housing; And an upper lower surface portion formed to be connected to the intermediate inclined portion so as to correspond to an upper surface of the protruding wall portion.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역만 진공을 해제할 수 있도록 상기 하방 하면부와, 상기 중간 경사부 및 상기 상방 하면부의 테두리 부분 또는 상기 돌출벽부의 접촉면에 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.According to the present invention, the lower lower surface portion, the edge portion of the middle inclined portion and the upper lower surface portion or the contact surface of the protruding wall portion so as to release the vacuum only the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing. The second sealing member may be installed in the.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체 영역과 대응되는 상기 밸브 하우징 또는 상기 돌출벽부의 적어도 측면, 하면, 전면 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 도어 교체용 개구가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구에 덮개가 설치될 수 있다.According to the present invention, at least one of the valve housing or the protruding wall portion corresponding to the door replacement area, at least one of the lower surface, the front surface, and combinations thereof is selected to form a door replacement opening, and the door A cover may be installed in the replacement opening.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 상기 제 2 방향 이동 장치에 설치된 레일 부재를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door may be a slide replaceable door that can be attached and detached along the rail member installed in the second direction movement device.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 고정구 또는 지그를 이용하여 상기 제 2 방향 이동 장치에 착탈 가능하게 설치되는 체결 교체형 도어일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door may be a fastening replaceable door that is detachably installed to the second direction moving device using a fixture or a jig.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템은, 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 착탈이 가능하게 지지하는 가동대; 상기 밸브 하우징에 상기 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치; 상기 가동대와 상기 도어 사이에 설치되고, 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치; 및 상기 제 2 방향 이동 장치 또는 상기 가동대에 설치되고, 상기 제 1 방향 이동 장치를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 1차 이동되며, 상기 제 2 방향 이동 장치를 이용하여 상기 제 3 위치에서 제 4 위치까지 상기 제 2 방향으로 2차 이동되어 상기 밸브 하우징의 상기 도어 교체 영역을 격리시킬 수 있는 격리 부재;를 포함할 수 있다.On the other hand, the door replaceable gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problems, the valve housing is formed with at least one passage; A door in which a first sealing member is installed to block the passage; A movable table for supporting the door in a detachable manner; A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage; A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And installed in the second direction moving device or the movable table, and are primarily moved from the standby position to the third position using the first direction moving device, and the third position using the second direction moving device. And an insulating member capable of isolating the door replacement area of the valve housing by being moved second to the fourth position in the second direction.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 격리 부재는, 상기 밸브 하우징의 내부에 링 형상으로 수평 돌출되는 돌출벽부의 측면과 대응되도록 형성되는 격리 플레이트;를 포함할 수 있다.According to the present invention, the isolation member may include an isolation plate formed to correspond to a side surface of the protruding wall portion protruding horizontally in a ring shape in the valve housing.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역만 진공을 해제할 수 있도록 상기 격리 플레이트 또는 상기 돌출벽부의 접촉면에 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, a second sealing member may be installed on the contact surface of the isolation plate or the protruding wall so as to release the vacuum only in the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체 영역과 대응되는 상기 밸브 하우징 또는 상기 돌출벽부의 적어도 측면, 하면, 전면 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 도어 교체용 개구가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구에 덮개가 설치될 수 있다.According to the present invention, at least one of the valve housing or the protruding wall portion corresponding to the door replacement area, at least one of the lower surface, the front surface, and combinations thereof is selected to form a door replacement opening, and the door A cover may be installed in the replacement opening.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 상기 제 2 방향 이동 장치 또는 상기 격리 플레이트에 설치된 레일 부재를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door may be a slide replaceable door that can be attached and detached along the rail member provided in the second direction moving device or the separator plate.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 고정구 또는 지그를 이용하여 상기 제 2 방향 이동 장치에 착탈 가능하게 설치되는 체결 교체형 도어일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door may be a fastening replaceable door that is detachably installed to the second direction moving device using a fixture or a jig.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체; 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치; 상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개; 및 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치;를 포함할 수 있다.On the other hand, the gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problems, the valve housing is formed with at least one passage; A valve body provided with a first sealing member to block the passage; A moving device capable of moving the valve body in the passage direction; A cover provided in the opening of the replacement area of the valve housing so as to replace the first sealing member while maintaining the vacuum state of the vacuum area of the valve housing; And a heat exchanger installed on the cover to heat or cool the valve body or the first sealing member.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 챔버 내에서 진공 상태를 유지하면서, 실링 플레이트 및 밀폐 부재들을 용이하게 교체할 수 있고, 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있고, 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있고, 교환된 밀폐 부재가 정품인지 아닌지를 판단하고 정품이 아니라면 게이트 밸브의 작동을 중지시킬 수 있으며, 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있고, 밸브체와 대향될 수 있는 덮개의 내측면에 열교환 장치를 설치하여 밸브체 및 교체된 새로운 제 1 실링 부재를 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있고, 제 2 실링 부재를 교체 영역의 개구 부분에 설치하여 고온의 프로세스 모듈로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to various embodiments of the present invention made as described above, while maintaining the vacuum in the chamber, it is possible to easily replace the sealing plate and the sealing member, the gate valve is stable by minimizing the moving distance of the sealing plate It can reduce the manufacturing cost, save the moving time of the sealing plate, save the space of the gate valve, minimize the moving distance of the sealing plate, operate the gate valve stably, reduce the manufacturing cost and It can save travel time, save space of gate valve, determine whether the exchanged sealing member is genuine, stop the operation of gate valve if it is not genuine, and replace the whole door including O-ring. Significantly reduce replacement costs and time, and reduce the volume of equipment In order to reduce the unit cost and the time and cost of vacuum formation. For example, simply lowering the movable platform allows the door to be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the equipment. It is possible to improve the durability and performance of the equipment, and by installing a heat exchanger on the inner side of the cover which can be opposed to the valve body, it is possible to quickly heat or cool the valve body and the replaced new first sealing member to prepare the equipment. It can significantly reduce the cost and cost, and minimize the thermal stress and thermal damage by installing the second sealing member in the opening part of the replacement area to keep it away from the high temperature process module. It has the effect of greatly increasing. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
도 1은 종래의 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.1 is a side view illustrating an example of a conventional gate valve by way of example.
도 2는 도 1의 게이트 밸브에서 시간에 따른 실링 플레이트의 높이 변화를 나타낸 도면이다.2 is a view showing a change in height of the sealing plate with time in the gate valve of FIG.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.3A and 3B are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 실링 플레이트의 일례를 예시적으로 나타낸 정면도이다.5 is a front view exemplarily showing an example of a sealing plate according to the present invention.
도 6a, 도 6b, 도 6c 및 도 6d는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.6A, 6B, 6C and 6D are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.7 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.8 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 9는 본 발명에 따른 게이트 밸브에서 시간에 따른 실링 플레이트의 높이 변화를 나타낸 도면이다.9 is a view showing the height change of the sealing plate over time in the gate valve according to the present invention.
도 10a, 도 10b 및 도 10c는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.10A, 10B and 10C are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 11은 본 발명에 따른 밀폐 부재 교환 방법의 일례를 예시적으로 나타낸 순서도이다.11 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
도 12는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.12 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 13은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.13 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 14는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.14 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 15는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.15 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 16은 본 발명에 따른 밀폐 부재 교환 방법의 일례를 예시적으로 나타낸 순서도이다.16 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
도 17은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.17 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
도 18은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 분해 사시도이다.FIG. 18 is an exploded perspective view of parts illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 17; FIG.
도 19는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 일례를 나타내는 단면도이다.19 is a cross-sectional view illustrating an example of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 20은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.20 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 21은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 21 is an enlarged perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 17. FIG.
도 22는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 교체용 개구의 다른 일례를 나타내는 사시도이다.22 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 23은 도 17의 도어 교체용 개구의 또 다른 일례를 나타내는 사시도이다.FIG. 23 is a perspective view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 17. FIG.
도 24는 도 17의 도어 교체용 개구의 또 다른 일례를 나타내는 단면도이다.24 is a cross-sectional view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 17.
도 25는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 정상 작동 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 25 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 26은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 26 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 27은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 나타내는 순서도이다.FIG. 27 is a flowchart illustrating an operation process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 28은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.28 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 29는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어의 정품 식별 과정의 일례를 나타내는 순서도이다.FIG. 29 is a flowchart illustrating an example of a genuine product identification process of a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 30은 도 29의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어의 정품 식별 과정의 다른 일례를 나타내는 순서도이다.30 is a flowchart illustrating another example of a genuine product identification process of the door of the door replaceable gate valve system of FIG. 29.
도 31은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 부품 분해 사시도이다.31 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 32는 도 31의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 조립 단면도이다.FIG. 32 is a component assembly cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 31.
도 33은 도 31의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 33 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged door of the door replaceable gate valve system of FIG. 31.
도 34는 도 31의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 횡단면도이다.FIG. 34 is a cross-sectional view illustrating the door of the door replaceable gate valve system of FIG. 31.
도 35는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 부품 분해 사시도이다.35 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 36은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.36 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
도 37은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 분해 사시도이다.FIG. 37 is an exploded perspective view of parts illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 36; FIG.
도 38은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 38 is a cross-sectional view illustrating an example of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
도 39는 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system of FIG. 36. FIG.
도 40은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 40 is an enlarged perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
도 41은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 교체용 개구의 다른 일례를 나타내는 사시도이다.FIG. 41 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
도 42는 도 36의 도어 교체용 개구의 또 다른 일례를 나타내는 사시도이다.FIG. 42 is a perspective view illustrating still another example of the door replacement opening of FIG. 36. FIG.
도 43은 도 36의 도어 교체용 개구의 또 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 43 is a cross-sectional view showing still another example of the door replacement opening of FIG. 36.
도 44는 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 정상 작동 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 44 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
도 45는 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 45 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
도 46은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 나타내는 순서도이다.46 is a flowchart illustrating an operation of the door replaceable gate valve system of FIG. 36.
도 47은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.47 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 48은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 부품 분해 사시도이다.48 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 49는 도 48의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 조립 단면도이다.FIG. 49 is a component assembly cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system of FIG. 48. FIG.
도 50은 도 48의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.50 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged door of the door replaceable gate valve system of FIG. 48.
도 51은 도 48의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 횡단면도이다.FIG. 51 is a cross-sectional view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 48. FIG.
도 52는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 부품 분해 사시도이다.52 is an exploded perspective view illustrating a door of a door replaceable gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 53은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.53 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
도 54는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 단면도이다.FIG. 54 is a sectional view of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 55는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 부품 분해 사시도이다.FIG. 55 is an exploded perspective view of parts of the door replaceable gate valve system of FIG. 53;
도 56은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 밸브 하우징을 나타내는 사시도이다.FIG. 56 is a perspective view illustrating the valve housing of the door replaceable gate valve system of FIG. 53. FIG.
도 57은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 밸브 하우징을 나타내는 부품 분해 사시도이다.FIG. 57 is an exploded perspective view of a part of the valve housing of the door replaceable gate valve system of FIG. 53; FIG.
도 58은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 사시도이다.FIG. 58 is a perspective view illustrating a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 53. FIG.
도 59는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어의 체결 상태를 나타내는 단면 사시도이다.FIG. 59 is a cross-sectional perspective view illustrating a fastening state of a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 60은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 마찰 방지 부재를 나타내는 사시도이다.FIG. 60 is a perspective view illustrating the anti-friction member of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 61은 도 60의 마찰 방지 부재를 나타내는 사시도이다.FIG. 61 is a perspective view illustrating the anti-friction member of FIG. 60.
도 62는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 격리 플레이트를 나타내는 사시도이다.FIG. 62 is a perspective view illustrating the isolation plate of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 63은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 개구의 개방 상태를 나타내는 측면도이다.FIG. 63 is a side view illustrating an open state of the opening of the door replaceable gate valve system of FIG. 53; FIG.
도 64는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 가이드 핀 부재의 오픈 상태를 나타내는 측면도이다.64 is a side view illustrating an open state of a guide pin member of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 65는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 가이드 핀 부재의 클로우즈 상태를 나타내는 측면도이다.FIG. 65 is a side view illustrating a closed state of the guide pin member of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 66은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 핀타입 지그를 나타내는 사시도이다.FIG. 66 is a perspective view illustrating a pin type jig of the door replaceable gate valve system of FIG. 53.
도 67은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 싱글 타입 지그의 체결형 지그와 챔버형 지그의 사용 상태를 나타내는 사시도이다.FIG. 67 is a perspective view illustrating a use state of a fastening jig and a chamber jig of a single type jig of a door replaceable gate valve system according to another exemplary embodiment.
도 68은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 멀티 타입 지그의 사용 상태를 나타내는 사시도이다.FIG. 68 is a perspective view illustrating a state of use of a multi-type jig of a door replaceable gate valve system according to some other embodiments of the inventive concept.
도 69는 도 67의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 챔버형 지그를 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 69 is an enlarged perspective view illustrating the chamber jig of the door replaceable gate valve system of FIG. 67;
도 70은 도 68의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 감지 센서를 나타내는 사시도이다.70 is a perspective view illustrating a door detection sensor of the door replaceable gate valve system of FIG. 68.
도 71은 도 70의 도어 감지 센서를 확대하여 나타내는 확대도이다.FIG. 71 is an enlarged view illustrating an enlarged door detection sensor of FIG. 70.
도 72는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 나타내는 단계도들이다.72 is a flowchart illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system according to some embodiments of the present invention.
도 73은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.73 is a flowchart illustrating a door replacing method of the door replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present invention.
도 74는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.74 is an external perspective view illustrating a gate valve system in accordance with some embodiments of the present invention.
도 75는 도 74의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.75 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system of FIG. 74.
도 76은 도 75의 게이트 밸브 시스템의 통로 폐쇄 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 76 is a cross-sectional view illustrating a passage closed state of the gate valve system of FIG. 75.
도 77은 도 76의 게이트 밸브 시스템의 밸브체 후진 상태를 나타내는 단면도이다.77 is a cross-sectional view illustrating a valve body retracted state of the gate valve system of FIG. 76.
도 78은 도 77의 게이트 밸브 시스템의 밸브체 하강 상태를 나타내는 단면도이다.78 is a cross-sectional view illustrating a valve body lowered state of the gate valve system of FIG. 77.
도 79는 도 78의 게이트 밸브 시스템의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 79 is a cross-sectional view illustrating a closed area of a replacement valve of the gate valve system of FIG. 78.
도 80은 도 79의 게이트 밸브 시스템의 덮개 개방 및 실링 부재 분리 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 80 is a cross-sectional view illustrating a lid opening and a sealing member separated state of the gate valve system of FIG. 79.
도 81은 도 80의 게이트 밸브 시스템의 실링 부재 교체 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 81 is a cross-sectional view illustrating a sealing member replacement state of the gate valve system of FIG. 80.
도 82는 도 81의 게이트 밸브 시스템의 덮개 체결 및 가열 또는 냉각 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 82 is a cross-sectional view illustrating a lid fastening and heating or cooling state of the gate valve system of FIG. 81.
도 83은 도 74의 게이트 밸브 시스템의 회동형 덮개의 일례를 나타내는 사시도이다.FIG. 83 is a perspective view illustrating an example of a rotatable lid of the gate valve system of FIG. 74.
도 84는 도 74의 게이트 밸브 시스템의 슬라이딩형 덮개의 일례를 나타내는 사시도이다.84 is a perspective view illustrating an example of a sliding lid of the gate valve system of FIG. 74.
도 85는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이다.85 is a cross-sectional view illustrating a replacement area sealed state of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
도 86은 도 85의 게이트 밸브 시스템의 덮개 개방 및 실링 플레이트 분리 상태를 나타내는 단면도이다.86 is a cross-sectional view illustrating a cover opening and a sealing plate detachment state of the gate valve system of FIG. 85.
도 87은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 열교환 장치를 나타내는 단면도이다.87 is a cross-sectional view illustrating a heat exchange device of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
도 88은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 밸브체를 나타내는 단면도이다.88 is a cross-sectional view illustrating a valve body of a gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 89는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 교체형 블럭을 나타내는 단면도이다.89 is a cross-sectional view illustrating a replaceable block of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
도 90은 도 85의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트를 나타내는 정면도이다.FIG. 90 is a front view illustrating the sealing plate of the gate valve system of FIG. 85.
도 91은 도 90의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트의 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 91 is a cross-sectional view illustrating an example of a sealing plate of the gate valve system of FIG. 90.
도 92는 도 91의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 92 is a cross-sectional view illustrating another example of the sealing plate of the gate valve system of FIG. 91.
도 93은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.93 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
도 94는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.94 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following examples can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is It is not limited to an Example. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. In addition, the thickness or size of each layer in the drawings is exaggerated for convenience and clarity of description.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" may include the plural forms as well, unless the context clearly indicates otherwise. Also, as used herein, "comprise" and / or "comprising" specifies the presence of the mentioned shapes, numbers, steps, actions, members, elements and / or groups of these. It is not intended to exclude the presence or the addition of one or more other shapes, numbers, acts, members, elements and / or groups.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings, which schematically illustrate ideal embodiments of the present invention. In the figures, for example, variations in the shape shown may be expected, depending on manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, embodiments of the inventive concept should not be construed as limited to the specific shapes of the regions shown herein, but should include, for example, changes in shape resulting from manufacturing.
이하의 실시예들에서 개시되는 게이트 밸브에 대해 각 도면을 참조하여 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.The gate valve disclosed in the following embodiments will be described in more detail with reference to the drawings.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.3A and 3B are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 게이트 밸브(100)는 제1챔버(200)의 개구(210)가 제2통로(152b)와 마주하고 제2챔버(300)의 개구(310)가 제1통로(152a)와 마주하도록 제1챔버(200)와 제2챔버(300) 사이에 구비될 수 있다.3A and 3B, the gate valve 100 has an opening 210 of the first chamber 200 facing the second passage 152b and an opening 310 of the second chamber 300 having the first opening. It may be provided between the first chamber 200 and the second chamber 300 to face the passage (152a).
게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110), 수평구동부(120), 지지부(130), 구동부(140), 밸브 하우징(150)을 포함하여 구성될 수 있다.The gate valve 100 may include a sealing plate 110, a horizontal driving part 120, a support part 130, a driving part 140, and a valve housing 150.
제1챔버(200)는 게이트 밸브(100)와 결합될 수 있고 개구(210)를 통해 웨이퍼 등의 피처리체를 제2챔버(300)로 보내거나 제2챔버(300)로부터 피처리체를 받을 수 있다.The first chamber 200 may be coupled to the gate valve 100 and may send an object, such as a wafer, to the second chamber 300 or receive an object from the second chamber 300 through the opening 210. have.
제2챔버(300)는 게이트 밸브(100)와 결합될 수 있고 개구(310)를 통해 웨이퍼 등의 피처리체를 제1챔버(200)로부터 받거나 제1챔버(200)로 피처리체를 보낸 후에 공정을 수행할 수 있다.The second chamber 300 may be coupled to the gate valve 100, and receives an object to be processed, such as a wafer, from the first chamber 200 or sends the object to the first chamber 200 through the opening 310. Can be performed.
다만, 제1챔버(200) 및 제2챔버(300)는 피처리체를 반드시 전송하거나 수신하는 관계일 필요는 없고 독립적인 공정챔버에 해당할 수도 있다.However, the first chamber 200 and the second chamber 300 do not necessarily have to be in a relationship of transmitting or receiving an object to be processed and may correspond to independent process chambers.
도 4를 먼저 살펴본 후에 도 3a 및 도 3b의 게이트 밸브(100)의 각 구성에 대해서 구체적으로 살펴본다.After first looking at FIG. 4, each configuration of the gate valve 100 of FIGS. 3A and 3B will be described in detail.
도 4는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 4를 참조하면, 게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110), 지지부(130), 구동부(140), 밸브 하우징(150) 및 교환부(154)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the gate valve 100 may include a sealing plate 110, a support 130, a driver 140, a valve housing 150, and an exchange 154.
교환부(154)는 도 4와 같이 게이트 밸브(100)의 전면(154a), 하면(154c) 또는 측면(154d) 중 어느 하나의 면에 위치할 수 있고 도 4와 달리, 교환부(154)는 게이트 밸브(100)의 전면과 하면, 전면과 측면, 하면과 측면 또는 전면과 하면과 측면에 걸쳐서 위치할 수도 있다.The exchange part 154 may be located on any one surface of the front surface 154a, the bottom surface 154c, or the side surface 154d of the gate valve 100, as shown in FIG. The front and lower surfaces of the gate valve 100, may be located over the front and side, the bottom and side or the front and bottom and side.
한편, 교환부(154)가 게이트 밸브(100)의 전면, 하면, 측면 중 어느 두 면에 걸쳐서 위치하거나 전면, 하면, 측면의 세 면에 걸쳐서 위치하면 교환부(154)가 넓어지므로 후술할 제1밀폐 부재(112)를 교환하기 용이할 수 있다.On the other hand, if the exchange unit 154 is located on any two surfaces of the front, bottom, side surfaces of the gate valve 100 or located on three surfaces of the front, bottom, side surfaces, the exchange unit 154 is widened. 1 may be easy to replace the sealing member (112).
이하, 교환부(154)가 전면에 위치한 경우를 중심으로 살펴본다.Hereinafter, the case where the exchange unit 154 is located at the front side will be described.
다시 도 3a로 돌아와서 게이트 밸브(100)의 각 구성에 대해 살펴본다.3A will be described again with reference to each configuration of the gate valve 100.
실링 플레이트(110)는 지지부(130)와 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 실링 플레이트(110)는 수평구동부(120)를 통해 지지부(130)와 결합될 수 있고 구동부(140)가 수평구동부(120)의 기능을 수행하여 수평구동부(120)가 불필요한 경우에는 실링 플레이트(110)는 지지부(130)와 직접 결합될 수 있다.The sealing plate 110 may be connected to the support 130. More specifically, when the sealing plate 110 may be coupled to the support 130 through the horizontal driving unit 120 and the driving unit 140 performs the function of the horizontal driving unit 120, the horizontal driving unit 120 is unnecessary. The sealing plate 110 may be directly coupled to the support 130.
실링 플레이트(110)의 구성은 도 5와 관련하여 살펴본다.The configuration of the sealing plate 110 will be described with reference to FIG. 5.
도 5는 본 발명에 따른 실링 플레이트의 일례를 예시적으로 나타낸 정면도이다.5 is a front view exemplarily showing an example of a sealing plate according to the present invention.
도 5를 참조하면, 실링 플레이트(110)는 전면에 제1밀폐 부재(112) 및 제1밀폐 부재(112)를 둘러싸는 제2밀폐 부재(114)를 구비할 수 있다. 여기에서, 제1밀폐 부재(112) 및 제2밀폐 부재(114)는 오링(o-ring)에 해당할 수 있다.Referring to FIG. 5, the sealing plate 110 may include a first sealing member 112 and a second sealing member 114 surrounding the first sealing member 112 on a front surface thereof. Here, the first sealing member 112 and the second sealing member 114 may correspond to an o-ring.
또한, 실링 플레이트(110)의 전면은 전면에 구비된 제1밀폐 부재(112)를 경계로 제1밀폐 부재(112)의 안쪽 영역(A)은 챔버를 밀폐시킬 때에 사용되는 부분이고 제1밀폐 부재(112)의 바깥쪽 영역(B)은 교환부(154)를 밀폐시킬 때에만 사용되는 부분으로서 구별될 수 있다.In addition, the front surface of the sealing plate 110 is bounded by the first sealing member 112 provided on the front surface of the inner region (A) of the first sealing member 112 is used to seal the chamber and the first sealing The outer area B of the member 112 can be distinguished as a part used only when closing the exchange part 154.
제1밀폐 부재(112)는 챔버와 연결된 제1통로(152a)의 모양에 따라서 모양이 다양할 수 있고 실링 플레이트(110)의 전면에 결합될 수 있다. 제1밀폐 부재(112)는 실링 플레이트(110)의 이동에 의하여 제1통로(152a)를 밀폐시켜서 챔버를 밀폐시키는 기능을 수행하고 챔버 내의 공정에 의해 발생된 화학물질에 의해 훼손될 수 있으므로 정기적으로 교체할 필요가 있다.The first sealing member 112 may vary in shape depending on the shape of the first passage 152a connected to the chamber and may be coupled to the front surface of the sealing plate 110. The first sealing member 112 performs a function of closing the first passage 152a by the movement of the sealing plate 110 to seal the chamber and may be damaged by chemicals generated by a process in the chamber. It needs to be replaced.
한편, 제1밀폐 부재(112)는 실링 플레이트(110)의 전면이 아니라 제1통로(152a)와 간격을 두고 제1통로(152a)를 둘러싸는 형태로 밸브 하우징(150)의 내측면에 구비될 수도 있다.On the other hand, the first sealing member 112 is provided on the inner surface of the valve housing 150 in a manner of enclosing the first passage 152a at intervals from the first passage 152a rather than the front surface of the sealing plate 110. May be
제2밀폐 부재(114)는 교환부(154)의 모양에 따라서 모양이 다양할 수 있고 제1밀폐 부재(112)를 둘러싸도록 실링 플레이트(110)의 전면에 결합될 수 있다. 제2밀폐 부재(114)는 실링 플레이트(110)의 이동에 의하여 교환부(154)를 밀폐시켜서 게이트 밸브(100)의 내부는 진공을 유지한 상태에서 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수 있도록 할 수 있다.The second sealing member 114 may vary in shape depending on the shape of the exchanger 154 and may be coupled to the front surface of the sealing plate 110 to surround the first sealing member 112. The second sealing member 114 seals the exchange part 154 by the movement of the sealing plate 110 so that the inside of the gate valve 100 can replace the first sealing member 112 while maintaining a vacuum. You can do that.
한편, 제2밀폐 부재(114)는 도 3b와 같이 실링 플레이트(110)의 전면이 아니라 교환부(154)와 간격을 두고 둘러싸는 형태로 밸브 하우징(150)의 내측면에 구비될 수도 있다.On the other hand, the second sealing member 114 may be provided on the inner surface of the valve housing 150 in a form surrounding the exchange portion 154 not the front surface of the sealing plate 110, as shown in Figure 3b.
제2밀폐 부재(114)는 제1밀폐 부재(112)가 챔버에 밀착되어 챔버를 밀폐하는 동안에는 사용되지 않고 제1밀폐 부재(112)를 교체할 때에만 사용되도록 하는 것이 중요하다. 제2밀폐 부재(114)를 통해 진공을 유지하면서 제1밀폐 부재(112)를 정기적으로 교체하기 위해서는 제2밀폐 부재(114)를 훼손시키지 않아야 하기 때문이다.It is important that the second sealing member 114 is not used while the first sealing member 112 is in close contact with the chamber to seal the chamber and is used only when replacing the first sealing member 112. This is because the second sealing member 114 should not be damaged in order to periodically replace the first sealing member 112 while maintaining the vacuum through the second sealing member 114.
제1밀폐 부재(112)와 제2밀폐 부재(114)를 선택적으로 사용하기 위한 방법을 살펴보기 위해 도 6a 내지 도 6d를 살펴본다.6A to 6D will be described to describe a method for selectively using the first sealing member 112 and the second sealing member 114.
도 6a, 도 6b, 도 6c 및 도 6d는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 상태에 관한 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.6A, 6B, 6C and 6D are side views illustrating an example of a state of a gate valve according to the present invention.
도 6a 내지 도 6d를 참조하면, 게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110)가 전후 또는 상하로 이동함에 따라서 네가지 상태를 가질 수 있다.6A to 6D, the gate valve 100 may have four states as the sealing plate 110 moves back and forth or up and down.
또한, 실링 플레이트(110)는 표면의 중심부에 돌출부가 형성되어 돌출부에는 제1밀폐 부재(112)를 구비하고 돌출부를 둘러싸는 주변부에는 제2밀폐 부재(114)를 구비할 수 있다.In addition, the sealing plate 110 may have a protrusion formed at the center of the surface thereof, and the protrusion may include the first sealing member 112 and the peripheral portion surrounding the protrusion may include the second sealing member 114.
이를 이용하여, 도 6b과 같이 실링 플레이트(110)가 제1통로(152a)를 닫는 경우에는 제1밀폐 부재(112)만 사용되고 도 6d와 같이 실링 플레이트(110)가 교환부(154)를 밀폐시키는 경우에는 제2밀폐 부재(114)만 사용되도록 게이트 밸브(100)를 구성할 수 있다.6B, when the sealing plate 110 closes the first passage 152a as shown in FIG. 6B, only the first sealing member 112 is used, and as shown in FIG. 6D, the sealing plate 110 seals the exchange unit 154. In this case, the gate valve 100 may be configured to use only the second sealing member 114.
다만, 이러한 방법에 한정되지 않고 다양한 방법으로 제1밀폐 부재(112)와 제2밀폐 부재(114)가 선택적으로 사용되도록 게이트 밸브(100)를 구성할 수 있으며 도 7 및 도 8에서 살펴본다.However, the gate valve 100 may be configured to selectively use the first sealing member 112 and the second sealing member 114 in various ways, without being limited to such a method, and will be described with reference to FIGS. 7 and 8.
도 7은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.7 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 7을 참조하면, 실링 플레이트(110)에 돌출부를 두지 않고 제1밀폐 부재(112)와 제2밀폐 부재(114)를 동일한 평면상에 평행하게 구성하고 제1통로(152a)를 따라서 홈(151)을 구성하여 제1밀폐 부재(112)가 제1통로(152a)에 밀착될 경우에는 제2밀폐 부재(114)가 홈(151)의 위에 위치되도록 하여 제2밀폐 부재(114)가 사용되지 않도록 게이트 밸브(100)를 구성할 수 있다.Referring to FIG. 7, the first sealing member 112 and the second sealing member 114 may be formed in parallel on the same plane without the protrusion on the sealing plate 110, and the grooves may be formed along the first passage 152a. 151, when the first sealing member 112 is in close contact with the first passage 152a, the second sealing member 114 is positioned above the groove 151 so that the second sealing member 114 is used. The gate valve 100 can be configured so as not to.
도 8은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.8 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 8을 참조하면, 제2밀폐 부재(114)가 실링 플레이트(110)의 전면이 아니라 교환부(154)와 간격을 두고 밸브 하우징(150)의 내측면에 구비될 수 있고 이러한 경우에 실링 플레이트(110)에 돌출부를 두지 않아도 제1밀폐 부재(112)가 제1통로(152a)에 밀착될 경우에는 제2밀폐 부재(114)가 사용되지 않는다.Referring to FIG. 8, the second sealing member 114 may be provided on the inner side of the valve housing 150 at intervals from the exchange part 154 instead of the front surface of the sealing plate 110, in which case the sealing plate. The second sealing member 114 is not used when the first sealing member 112 is in close contact with the first passage 152a even when the protrusion 110 is not disposed on the 110.
수평구동부(120)는 실링 플레이트(110)의 후면 및 지지부(130)에 결합될 수 있다.The horizontal driving unit 120 may be coupled to the rear surface of the sealing plate 110 and the support 130.
수평구동부(120)는 실링 플레이트(110)를 전진시켜서 도 6b와 같이 제1통로(152a)에 제1밀폐 부재(112)가 밀착되도록 하거나 도 6d와 같이 교환부(154)에 제2밀폐 부재(114)가 밀착되도록 할 수 있다.The horizontal driving part 120 advances the sealing plate 110 so that the first sealing member 112 is in close contact with the first passage 152a as shown in FIG. 6B, or the second sealing member is attached to the exchange part 154 as shown in FIG. 6D. 114 may be in close contact.
또한, 수평구동부(120)는 실링 플레이트(110)를 후진시켜서 도 6a와 같이 제1통로(152a)로부터 제1밀폐 부재(112)가 분리되도록 하거나 도 6c와 같이 교환부(154)로부터 제2밀폐 부재(114)가 분리되도록 할 수 있다.In addition, the horizontal driving unit 120 reverses the sealing plate 110 so that the first sealing member 112 is separated from the first passage 152a as shown in FIG. 6A or from the exchange unit 154 as shown in FIG. 6C. The sealing member 114 may be separated.
한편, 도 6a 또는 도 6c와 같이 실링 플레이트(110)가 후진된 경우에만 실링 플레이트(110)의 상하이동이 용이할 수 있다.On the other hand, only when the sealing plate 110 is reversed, as shown in Figure 6a or 6c it may be easy to move the sealing plate 110.
다만, 수평구동부(120)를 사용하지 않는 다른 방법을 통해 실링 플레이트(110)를 전후로 이동시킬 수도 있는데 이 때에는 수평구동부(120)가 불필요하므로 실링 플레이트(110)는 지지부(130)에 직접 결합될 수 있다.However, the sealing plate 110 may be moved back and forth through another method that does not use the horizontal driving unit 120. At this time, since the horizontal driving unit 120 is unnecessary, the sealing plate 110 may be directly coupled to the support 130. Can be.
예를 들면, 구동부(140)는 지지부(130)가 상하로 이동한 후에는 자동으로 전방으로 기울어지도록 구성되고 지지부(130)가 상하로 이동하는 중에는 자동으로 후방으로 기울도록 구성될 수 있다.For example, the driving unit 140 may be configured to automatically tilt forward after the support 130 moves up and down, and may be configured to automatically tilt backward while the support 130 moves up and down.
이러한 경우에는 지지부(130)에 결합된 실링 플레이트(110)도 전방 또는 후방으로 기울어져서 실링 플레이트(110)가 전진 또는 후진하는 효과를 얻을 수 있으므로 수평구동부(120)는 불필요할 수 있다.In this case, the sealing plate 110 coupled to the support 130 may also be inclined forward or backward so that the sealing plate 110 may be moved forward or backward so that the horizontal driving part 120 may be unnecessary.
지지부(130)는 실링 플레이트(110)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 지지부(130)는 수평구동부(120)를 통해 실링 플레이트(110)와 결합될 수 있고 구동부(140)가 수평구동부(120)의 기능을 수행하여 수평구동부(120)가 불필요한 경우에는 지지부(130)는 실링 플레이트(110)와 직접 결합될 수 있다.The support 130 may be connected to the sealing plate 110. More specifically, the support unit 130 may be coupled to the sealing plate 110 through the horizontal driving unit 120 and the driving unit 140 performs the function of the horizontal driving unit 120 so that the horizontal driving unit 120 is unnecessary The support 130 may be directly coupled to the sealing plate 110.
또한, 지지부(130)는 구동부(140)와 결합되어 실링 플레이트(110)를 상하로 이동시킬 수 있다.In addition, the support 130 may be coupled to the driving unit 140 to move the sealing plate 110 up and down.
구동부(140)는 지지부(130)와 결합되어 지지부(130)를 상하로 이동시킨 후에 지지부(130)가 이동된 위치에 고정시킬 수 있다.The driver 140 may be coupled to the support 130 to move the support 130 up and down, and then fix the support 130 to the moved position.
보다 구체적으로, 구동부(140)는 지지부(130)를 상하로 이동시켜서 지지부(130)에 결합된 실링 플레이트(110)를 도 6a와 같이 제1통로(152a)에 대응하는 위치로 이동시키거나 도 6c와 같이 교환부(154)에 대응하는 위치로 이동시킨 후 고정시킬 수 있다.More specifically, the driving unit 140 moves the support 130 up and down to move the sealing plate 110 coupled to the support 130 to a position corresponding to the first passage 152a as shown in FIG. 6A or FIG. It may be fixed after moving to a position corresponding to the exchange unit 154, such as 6c.
이와 같이, 구동부(140)는 실링 플레이트(110)가 제1통로(152a)의 대응위치 또는 교환부(154)의 대응위치의 두 위치에만 이동하여 고정되도록 구성함으로써 실링 플레이트(110)가 세 가지 이상의 위치에 이동하여 고정되도록 구성하는 경우보다 실링 플레이트(110)가 상하로 이동해야 하는 거리가 감소할 수 있고 제조방법이 단순해지므로 게이트 밸브(100)가 더 안정되고 제조 비용이 감소할 수 있다.As described above, the driving unit 140 is configured such that the sealing plate 110 is moved and fixed only at two positions of the corresponding positions of the first passage 152a or the corresponding positions of the exchange unit 154, so that the sealing plates 110 have three kinds. The distance that the sealing plate 110 should move up and down can be reduced and the manufacturing method becomes simpler than the case where it is configured to be fixed by moving to the above position, the gate valve 100 can be more stable and manufacturing cost can be reduced. .
또한, 실링 플레이트(110)가 상하로 이동해야 하는 거리가 감소하면 지지부(130)의 길이가 감소할 수 있고 구동부(140)의 내부에 구비되어 지지부(130)를 이동시키는 실린더(미도시됨)의 길이도 감소할 수 있다. 따라서, 게이트 밸브(100)의 크기가 감소하여 공간을 절약할 수 있고 제조비용이 감소할 수 있으며 실링 플레이트가 이동하는 시간이 단축될 수 있다.In addition, when the distance that the sealing plate 110 has to move up and down is reduced, the length of the support 130 may be reduced, and a cylinder (not shown) provided in the driving unit 140 to move the support 130 is provided. The length of can also be reduced. Therefore, the size of the gate valve 100 can be reduced to save space, the manufacturing cost can be reduced, and the time for the sealing plate to move can be shortened.
또한, 구동부(140)로부터 멀어질수록 실링 플레이트(110)가 많이 흔들릴 수 있으므로 밀폐효과가 점차 감소할 수 있는데 실링 플레이트(110)가 두 가지 위치에만 이동하여 고정되도록 구동부(140)를 구성하면 구동부(140)로부터 최대로 멀어지는 실링 플레이트(110)의 위치까지의 거리를 감소시킬 수 있으므로 거리가 커서 밀폐효과가 감소하는 문제를 개선할 수 있다.In addition, since the sealing plate 110 may be more shaken away from the driving unit 140, the sealing effect may gradually decrease. When the sealing unit 110 is configured to move and fix only the two positions, the driving unit 140 Since the distance from the 140 to the maximum position of the sealing plate 110 can be reduced, the distance is large and the problem of reducing the sealing effect can be improved.
밸브 하우징(150)은 실링 플레이트(110) 및 지지부(130)를 내부에 구비할 수 있고 밸브 하우징(150)에는 통로(152) 및 교환부(154)가 형성될 수 있다. 밸브 하우징(150)의 일측에는 제1통로(152a) 및 교환부(154)가 각각 상부와 하부에 형성될 수 있고 상하가 바뀌어 형성될 수도 있다. 또한, 밸브 하우징(150)의 다른 일측에는 제2통로(152b)가 형성될 수 있다.The valve housing 150 may include a sealing plate 110 and a support 130 therein, and a passage 152 and an exchange part 154 may be formed in the valve housing 150. On one side of the valve housing 150, the first passage 152a and the exchange part 154 may be formed at the upper and lower portions, respectively, and may be formed by changing the upper and lower sides. In addition, a second passage 152b may be formed at the other side of the valve housing 150.
교환부(154)는 도 4에서 살펴본 바와 같이 밸브 하우징(150)의 전면, 하면 또는 측면에 형성되거나, 상기 밸브 하우징(150)의 전면, 하면 또는 측면 중에서 두 개 이상의 면에 걸쳐서 형성될 수 있다.As illustrated in FIG. 4, the exchange part 154 may be formed on the front surface, the bottom surface or the side surface of the valve housing 150, or may be formed over two or more surfaces among the front surface, the bottom surface or the side surface of the valve housing 150. .
또한, 교환부(154)는 상기 통로(152)보다 낮은 높이에 형성될 수 있다. 교환부(154)는 진공을 유지한 상태에서 제1밀폐 부재(112)를 교환하도록 할 수 있다.In addition, the exchange part 154 may be formed at a height lower than the passage 152. The exchange part 154 may allow the first sealing member 112 to be replaced while maintaining a vacuum.
또한, 교환부(154)는 도 6a과 같이, 밸브 하우징(150)의 일측에 형성된 교환용 개구(155)를 포함할 수 있고 게이트 밸브(100)는 교환용 개구(155)를 개폐시키는 교환커버(160)를 포함할 수 있다.In addition, the exchange unit 154 may include an exchange opening 155 formed at one side of the valve housing 150 as illustrated in FIG. 6A, and the gate valve 100 may include an exchange cover that opens and closes the exchange opening 155. 160 may be included.
교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)는 제1밀폐 부재(112) 및 제2밀폐 부재(114) 사이에 형성될 수 있다. 즉 실링 플레이트(110)를 이동시켜서 교환용 개구(155)를 밀폐시켰을 경우에 교환용 개구(155)의 안쪽에는 제1밀폐 부재(112)가 포함되고 교환용 개구(155)의 바깥쪽은 제2밀폐 부재(114)에 의해 둘러싸일 수 있다.An exchange opening 155 included in the exchange part 154 may be formed between the first sealing member 112 and the second sealing member 114. That is, when the sealing plate 110 is moved to seal the exchange opening 155, the first sealing member 112 is included inside the exchange opening 155, and the outside of the exchange opening 155 is made of the first sealing member 112. It may be surrounded by the two sealing member (114).
이와 같이, 교환용 개구(155)를 둘러싸는 제2밀폐 부재(114)에 의해 교환커버(160)를 열어도 게이트 밸브(100)의 내부는 진공을 유지할 수 있고 진공을 유지한 상태에서 교환용 개구(155)를 통해 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수 있다.In this way, even when the exchange cover 160 is opened by the second sealing member 114 surrounding the exchange opening 155, the inside of the gate valve 100 can maintain a vacuum, and the exchange can be performed while the vacuum is maintained. The first sealing member 112 may be exchanged through the opening 155.
제2통로(152b) 및 제1통로(152a)는 제1챔버(200) 및 제2챔버(300) 간에 웨이퍼 등의 피처리체를 이동시킬 수 있는 통로로서의 기능을 할 수 있고 교환부(154)는 외부로부터 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수 있도록 한다.The second passage 152b and the first passage 152a may function as a passage for moving a target object such as a wafer between the first chamber 200 and the second chamber 300 and the exchange unit 154. Makes it possible to replace the first sealing member 112 from the outside.
제1통로(152a), 교환부(154) 및 제2통로(152b)와 관련하여 다시 도 3a를 살펴본다.3A will be described again with respect to the first passage 152a, the exchange unit 154, and the second passage 152b.
도 3a에서, 제2통로(152b)는 제1챔버(200)의 개구(210)와 마주하고 제1통로(152a)는 제2챔버(300)의 개구(310)와 마주하도록 구성될 수 있다.In FIG. 3A, the second passage 152b may be configured to face the opening 210 of the first chamber 200 and the first passage 152a may be configured to face the opening 310 of the second chamber 300. .
또한, 교환부(154)의 전면부에는 제2챔버(300)가 함입되도록 구성될 수 있다. 도 3a과 같이 교환부(154)가 게이트 밸브(100)의 전면에 위치한 경우에 교환부(154)의 전면과 제2챔버(300) 사이에 공간을 마련함으로써 교환부(154)를 통해 제1밀폐 부재(112)를 용이하게 교환할 수 있도록 하기 위함이다.In addition, the front side of the exchange unit 154 may be configured such that the second chamber 300 is embedded. When the exchange unit 154 is located at the front of the gate valve 100 as shown in FIG. The reason for this is that the sealing member 112 can be easily replaced.
그러나 도 3a과 달리, 교환부(154)가 게이트 밸브(100)의 하면이나 측면에 위치한 경우에는 상기 공간은 불필요할 수 있다. 게이트 밸브(100)의 하면이나 측면의 전방에는 챔버가 없을 수 있기 때문이다.However, unlike FIG. 3A, the space may be unnecessary when the exchange part 154 is located on the bottom or side surfaces of the gate valve 100. This is because there may be no chamber in front of the lower surface or the side surface of the gate valve 100.
도 3a에서, 실링 플레이트(110)는 아래로 이동하여 교환부(154)에 대응하는 위치에 있으므로 제2통로(152b)와 제1통로(152a) 사이에는 장애물이 없어서 제1챔버(200)와 제2챔버(300)는 게이트 밸브(100)를 통해 웨이퍼 등의 피처리체를 이동시킬 수 있다.In FIG. 3A, since the sealing plate 110 moves downward to correspond to the exchange part 154, there is no obstacle between the second passage 152b and the first passage 152a so that the sealing chamber 110 and The second chamber 300 may move an object to be processed, such as a wafer, through the gate valve 100.
도 3a와 같이 게이트 밸브(100)가 도 6c와 같은 상태에 있는 경우뿐만 아니라 게이트 밸브(100)가 도 6d와 같은 상태인 경우에도 제1챔버(200)와 제2챔버(300)는 게이트 밸브(100)를 통해 웨이퍼 등의 피처리체를 이동시킬 수 있다.As shown in FIG. 3A, the first chamber 200 and the second chamber 300 are gate valves not only when the gate valve 100 is in the same state as in FIG. 6C but also when the gate valve 100 is in the same state as in FIG. 6D. The target object such as a wafer can be moved through the 100.
그러나, 도 3a과 달리 게이트 밸브(100)가 도 6a 또는 도 6b와 같은 상태에 있는 경우에는 제2통로(152b)와 제1통로(152a) 사이에는 실링 플레이트(110)가 위치하고 있어서 제1챔버(200)와 제2챔버(300)는 게이트 밸브(100)를 통해 웨이퍼 등의 피처리체를 이동시킬 수 없을 수도 있다.However, unlike FIG. 3A, when the gate valve 100 is in the same state as in FIG. 6A or 6B, the sealing plate 110 is positioned between the second passage 152b and the first passage 152a so that the first chamber The 200 and the second chamber 300 may not be able to move a target object such as a wafer through the gate valve 100.
공정과정은 다음과 같을 수 있다.The process can be as follows.
첫번째 단계는 피처리물 로딩 또는 언로딩 단계로서, 게이트 밸브(100)는 도 6c와 같은 상태에 있고 제2챔버(300)는 제1챔버(200)로부터 피처리체를 받거나 제1챔버(200)로 피처리체를 보낼 수 있다.The first step is the loading or unloading of the workpiece. The gate valve 100 is in a state as shown in FIG. 6C and the second chamber 300 receives the workpiece from the first chamber 200 or the first chamber 200. You can send the object to
두번째 단계는 상방이동 단계로서, 게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110)를 위로 이동시켜서 도 6a와 같은 상태에 있게 된다.The second step is an upward movement step, in which the gate valve 100 moves the sealing plate 110 upward so as to be in a state as shown in FIG. 6A.
세번째 단계는 밀폐 단계로서, 게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110)를 전진시켜서 제1통로(152a)를 닫고 제2챔버(300)를 밀폐시키며 도 6b와 같은 상태에 있게 된다.The third step is a sealing step, and the gate valve 100 advances the sealing plate 110 to close the first passage 152a, seal the second chamber 300, and remain in the state as shown in FIG. 6B.
네번째 단계는 공정처리 단계로서, 제2챔버(300)는 밀폐된 상태에서 공정을 진행할 수 있다.The fourth step is a process step, the second chamber 300 may proceed the process in a closed state.
다섯번째 단계는 개봉 단계로서, 게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110)를 후진시켜서 제1통로(152a)를 열고 제2챔버(300)를 개방시키며 도 6a와 같은 상태에 있게 된다.The fifth step is an opening step. The gate valve 100 reverses the sealing plate 110 to open the first passage 152a, open the second chamber 300, and remain in the state as shown in FIG. 6A.
여섯번째 단계는 하방이동 단계로서, 게이트 밸브(100)는 실링 플레이트(110)를 아래로 이동시켜서 도 6c와 같은 상태에 있게 된다.The sixth step is a downward movement step, in which the gate valve 100 moves the sealing plate 110 downward so as to be in a state as shown in FIG. 6C.
이와 같이, 밸브 하우징(150)의 일측에 제1통로(152a) 및 교환부(154)를 각각 상부와 하부에 형성하고 구동부(140)를 밸브 하우징(150)의 하부에 구비함으로써 실링 플레이트(110)가 하방이동하여 게이트 밸브(100)가 열린 경우에는 교환부(154)를 통해 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수도 있도록 하여 실링 플레이트(110)의 이동거리를 최소화 할 수 있다.As such, the first passage 152a and the exchange part 154 are formed at the upper side and the lower side at one side of the valve housing 150, and the sealing unit 110 is provided by providing the driving unit 140 at the lower side of the valve housing 150. When the gate valve 100 is opened by moving downward), the moving distance of the sealing plate 110 may be minimized by allowing the first sealing member 112 to be exchanged through the exchange unit 154.
도 9은 본 발명에 따른 게이트 밸브에서 시간에 따른 실링 플레이트의 높이 변화를 나타낸 도면이다.9 is a view showing the height change of the sealing plate with time in the gate valve according to the present invention.
여기에서, 실링 플레이트(110)의 높이란 챔버개방, 챔버밀폐 또는 제1밀폐 부재(112)의 교환을 위해서 실링 플레이트(110)를 이동시킬 경우에 게이트 밸브(100) 내에서의 실링 플레이트(110)의 높이를 의미한다.Here, the height of the sealing plate 110 refers to the sealing plate 110 in the gate valve 100 when the sealing plate 110 is moved in order to open the chamber, seal the chamber, or replace the first sealing member 112. ) Means the height.
도 9을 참조하면, 챔버개방을 위해서 실링 플레이트(110)가 하방이동하여 게이트 밸브(100)가 열린 경우에는 실링 플레이트(110)의 높이가 최소값인 A이고 챔버밀폐를 위해서 게이트 밸브(100)를 닫으려고 하는 경우에는 실링 플레이트(110) 가 제1통로(152a)의 전방까지 이동되어야 하므로 실링 플레이트(110)의 높이를 B 값까지 증가시켜야 한다.Referring to FIG. 9, when the sealing plate 110 moves downward to open the chamber and the gate valve 100 is opened, the height of the sealing plate 110 is A, which is the minimum value, and the gate valve 100 is closed for the chamber sealing. In the case of closing, since the sealing plate 110 should be moved to the front of the first passage 152a, the height of the sealing plate 110 should be increased to the B value.
그런데, 제1밀폐 부재(112)를 교환하기 위해서는 종래기술인 도 1과 달리 실링 플레이트(110)를 더 높일 필요가 없다. 실링 플레이트(110)의 높이가 최소(A)가 되면서 게이트 밸브(100)가 열린 경우에는 교환부(154)를 통해 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수 있기 때문이다.However, in order to replace the first sealing member 112, unlike the prior art FIG. 1, it is not necessary to further increase the sealing plate 110. This is because when the gate valve 100 is opened while the height of the sealing plate 110 becomes the minimum A, the first sealing member 112 may be exchanged through the exchange part 154.
즉, 도 2와 달리 실링 플레이트(110)의 최대 높이(B)가 게이트 밸브(100)가 닫혔을 때의 높이(B)와 동일하므로 실링 플레이트(110)를 이동시키기 위한 지지부(130) 및 구동부(140)의 내부에 구비된 실린더의 길이를 최소화 시킬 수 있다. 지지부(130) 및 실린더의 길이가 최소화 되면 구동부(140)가 안정되고 제조비용도 절감할 수 있다. 또한, 제1밀폐 부재(112)를 교환을 위해서 실링 플레이트(110)를 더 높이 이동시킬 필요가 없으므로 시간을 절약할 수 있다.That is, unlike FIG. 2, since the maximum height B of the sealing plate 110 is the same as the height B when the gate valve 100 is closed, the support 130 and the driving unit for moving the sealing plate 110 are different. The length of the cylinder provided in the interior of 140 can be minimized. If the length of the support 130 and the cylinder is minimized, the driving unit 140 may be stabilized and manufacturing costs may be reduced. In addition, since the sealing plate 110 need not be moved higher for the first sealing member 112 to be replaced, time can be saved.
한편, 본 발명은 종래기술인 도 1과 달리 제1밀폐 부재(112)를 교환하기 위해서 상방으로 돌출된 공간이 불필요하므로 공간도 절약할 수 있다.On the other hand, the present invention, unlike the prior art Figure 1, because the space protruding upward in order to replace the first sealing member 112, it is possible to save space.
교환커버(160)는 밸브 하우징(150)에 결합되며 밸브 하우징(150)에 형성된 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)를 개폐시킬 수 있다.The exchange cover 160 may be coupled to the valve housing 150 to open and close the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 formed in the valve housing 150.
교환커버(160)는 교환용 개구(155)가 있음에도 불구하고 교환용 개구(155)를 닫아서 게이트 밸브(100)의 내부가 진공을 유지하도록 할 수 있다. 따라서, 교환용 개구(155)를 통해 제1밀폐 부재(112)를 교환하려면 교환커버(160)를 열어야 한다.The exchange cover 160 may close the exchange opening 155 so that the inside of the gate valve 100 maintains a vacuum despite the exchange opening 155. Therefore, in order to replace the first sealing member 112 through the exchange opening 155, the exchange cover 160 must be opened.
한편, 교환커버(160)를 연 후에도 게이트 밸브(100)의 내부가 진공을 유지하도록 하기 위해 도 6d와 같이 제2밀폐 부재(114)를 교환용 개구(155)에 밀착시킬 수 있다.On the other hand, even after the exchange cover 160 is opened, the second sealing member 114 may be in close contact with the exchange opening 155 as shown in FIG. 6D to maintain the vacuum inside the gate valve 100.
한편, 도 3b 및 도 8과 같이 제2밀폐 부재가 밸브 하우징(150)의 내측면에 구비된 경우에는 실링 플레이트(110)를 전진시켜서 교환용 개구(155)를 둘러싸는 제2밀폐 부재(114)에 밀착시켜야 교환커버(160)를 연 후에도 게이트 밸브(100)의 내부가 진공을 유지하도록 할 수 있다.Meanwhile, when the second sealing member is provided on the inner side of the valve housing 150 as shown in FIGS. 3B and 8, the second sealing member 114 which advances the sealing plate 110 to surround the exchange opening 155. To be in close contact with each other, the inside of the gate valve 100 may be maintained even after the exchange cover 160 is opened.
도 10a, 도 10b 및 도 10c는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.10A, 10B and 10C are side views illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 10a 및 도 10b를 참조하면, 게이트 밸브(100)는 급기계(170) 및 배기계(180)를 더 포함할 수 있다.10A and 10B, the gate valve 100 may further include an air supply 170 and an exhaust system 180.
급기계(170)는 밸브 하우징(150)의 외부와 교환부(154)를 연통하는 제1유로(172)와 제1유로(172)를 개폐하는 제1밸브(174)을 포함하여 구성될 수 있다.The air supply machine 170 may include a first flow path 172 communicating with the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154, and a first valve 174 opening and closing the first flow path 172. have.
여기에서, 밸브 하우징(150)의 외부란 밸브 하우징(150) 외부에 마련되어 불활성 가스 또는 청정 공기를 공급하는 기체공급기를 의미할 수 있다.Here, the outside of the valve housing 150 may mean a gas supply provided outside the valve housing 150 to supply an inert gas or clean air.
배기계(180)는 도 10a와 같이 밸브 하우징(150)의 내부와 교환부(154)를 연통하는 제2유로(182)와 제2유로(182)를 개폐하는 제2밸브(184)를 포함하여 구성되거나 도 10b와 같이 밸브 하우징(150)의 외부와 교환부(154)를 연통하는 제2유로(182)와 제2유로(182)를 개폐하는 제2밸브(184)를 포함하여 구성될 수 있다.The exhaust system 180 includes a second flow passage 182 communicating the interior of the valve housing 150 and the exchange unit 154 and a second valve 184 opening and closing the second flow passage 182 as shown in FIG. 10A. 10B may include a second channel 182 communicating with the outside of the valve housing 150 and the exchange unit 154, and a second valve 184 opening and closing the second channel 182. have.
여기에서, 밸브 하우징(150)의 내부란 제1밀폐 부재(112)를 교환할 경우에 진공이 유지되는 밸브 하우징(150) 내부의 공간을 의미하고 밸브 하우징(150)의 외부란 밸브 하우징(150) 외부에 마련되어 기체를 흡인하는 진공흡인기를 의미할 수 있다.Here, the interior of the valve housing 150 refers to a space inside the valve housing 150 in which vacuum is maintained when the first sealing member 112 is replaced, and the exterior of the valve housing 150 refers to a valve housing 150. It may mean a vacuum suction device provided outside to suck the gas.
제1밸브(174)는 제1유로(172)와 연결되고 밸브 하우징(150)의 외부에 위치할 수 있다. 제1밸브(174)는 밸브 하우징(150)의 외부와 교환부(154)를 연통 또는 차폐시킬 수 있다.The first valve 174 may be connected to the first passage 172 and positioned outside the valve housing 150. The first valve 174 may communicate or shield the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154.
예를 들면, 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)의 내부가 진공인 경우에 제1밸브(174)를 열면 밸브 하우징(150) 외부에 마련되어 불활성 가스 또는 청정 공기를 공급하는 기체공급기로부터 공급된 공기가 제1유로(172)를 통해 교환용 개구(155) 내부로 유입되어 교환용 개구(155) 내부의 압력이 대기압이 될 때까지 증가할 수 있다.For example, when the inside of the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 is a vacuum, when the first valve 174 is opened, the gas is provided outside the valve housing 150 to supply inert gas or clean air. Air supplied from the feeder may be introduced into the exchange opening 155 through the first flow passage 172 until the pressure inside the exchange opening 155 becomes atmospheric pressure.
제2밸브(184)는 제2유로(182)와 연결되고 밸브 하우징(150)의 내부 또는 외부에 위치할 수 있다. 제2밸브(184)는 밸브 하우징(150)의 내부 또는 외부와 교환부(154)를 연통 또는 차폐시킬 수 있다. 보다 구체적으로 살펴보면 아래와 같다.The second valve 184 may be connected to the second passage 182 and may be located inside or outside the valve housing 150. The second valve 184 may communicate or shield the inside or the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154. Looking more specifically as follows.
우선, 도 10a와 같이 제2밸브(184)가 밸브 하우징(150)의 내부와 교환부(154)를 연통 또는 차폐시키는 경우의 예를 살펴본다.First, as shown in FIG. 10A, an example in which the second valve 184 communicates or shields the inside of the valve housing 150 and the exchange part 154 will be described.
밸브 하우징(150) 내부가 진공이고 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155) 내부의 공기의 압력이 대기압인 경우에 제2밸브(184)를 열면 교환용 개구(155) 내부의 공기가 제2유로(182)를 통해 진공상태로 유지되는 밸브 하우징(150) 내부로 유출되어 교환용 개구(155) 내부의 압력이 감소할 수 있다.When the inside of the valve housing 150 is vacuum and the pressure of the air inside the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 is atmospheric pressure, when the second valve 184 is opened, the air inside the exchange opening 155 is opened. May flow into the valve housing 150 maintained in a vacuum state through the second flow path 182 to decrease the pressure inside the exchange opening 155.
이와 같이, 밸브 하우징(150)의 내부로 공기를 유출시켜서 교환용 개구(155)를 감압하면 별도의 진공흡인기가 불필요하여 비용을 절감할 수 있다.As such, when the air is discharged into the valve housing 150 to depressurize the exchange opening 155, a separate vacuum suction device is unnecessary, thereby reducing costs.
한편, 제2밸브(184)가 밸브 하우징(150)의 내부에 위치에 위치하는 경우에는 제2밸브(184)를 조작하기 위한 조작수단(미도시됨)을 밸브 하우징(150)의 외부에 구비할 수 있다.On the other hand, when the second valve 184 is located in the interior of the valve housing 150, the operation means (not shown) for operating the second valve 184 is provided on the outside of the valve housing 150 can do.
다음으로, 도 10b와 같이 제2밸브(184)가 밸브 하우징(150)의 외부와 교환부(154)를 연통 또는 차폐시키는 경우의 예를 살펴본다.Next, as shown in FIG. 10B, an example in which the second valve 184 communicates or shields the outside of the valve housing 150 and the exchange part 154 will be described.
교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155) 내부의 공기의 압력이 대기압인 경우에 제2밸브(184)를 열면 밸브 하우징(150) 외부에 마련되어 기체를 흡인하는 진공흡인기로 교환용 개구(155) 내부의 공기가 유출되어 교환용 개구(155) 내부의 압력이 감소할 수 있다.When the pressure of the air inside the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 is atmospheric pressure, when the second valve 184 is opened, the exchange opening is provided outside the valve housing 150 to a vacuum suction unit that sucks gas. Air inside the 155 may be leaked to decrease the pressure inside the exchange opening 155.
한편, 도 10a 및 도 10b와 달리, 급기계(170)와 배기계(180)는 공통되는 단일한 밸브로 구성될 수도 있다. 이 때에, 단일한 밸브는 기체공급 및 진공흡인을 모두 할 수 있는 단일 펌프와 연결될 수 있다.Meanwhile, unlike FIGS. 10A and 10B, the air supply unit 170 and the exhaust system 180 may be configured as a single common valve. At this time, a single valve may be connected to a single pump capable of both gas supply and vacuum suction.
또한, 도 10a 및 도 10b와 달리, 급기계(170)와 배기계(180)는 압력을 정교하게 조절하기 위해 각각 복수개의 밸브로 구성될 수도 있다. 예를 들면, 급기계(170)는 급기와 배기를 하는 두 개의 밸브로 구성될 수도 있고 배기계(180)도 급기와 배기를 하는 두 개의 밸브로 구성될 수 있다.In addition, unlike FIGS. 10A and 10B, the air supply unit 170 and the exhaust system 180 may be configured with a plurality of valves, respectively, to precisely adjust the pressure. For example, the air supply machine 170 may be composed of two valves for supplying and exhausting, and the exhaust system 180 may be configured with two valves for supplying and exhausting.
한편, 도 10c를 참조하면, 급기계(170) 및 배기계(180)는 제1유로(172) 및 제2유로(182) 대신에 급기개구(173)와 배기개구(183)을 포함하여 구성될 수도 있다. 급기개구(173)와 배기개구(183)는 밸브 하우징(150)을 구성하는 벽의 내부에 형성된 개구일 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 10C, the air supply machine 170 and the exhaust system 180 may include an air supply opening 173 and an exhaust opening 183 instead of the first flow passage 172 and the second flow passage 182. It may be. The air supply opening 173 and the exhaust opening 183 may be openings formed in the wall constituting the valve housing 150.
제1밸브(174) 및 제2밸브(184)를 사용하여 제1밀폐 부재(112)를 교환하는 방법은 도 11에서 살펴본다.A method of replacing the first sealing member 112 by using the first valve 174 and the second valve 184 will be described with reference to FIG. 11.
도 11은 본 발명에 따른 밀폐 부재 교환 방법의 일례를 예시적으로 나타낸 순서도이다.11 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
도 11을 참조하면, 일 실시예에 따른 밀폐 부재 교환 방법(500)은 하방이동 단계(510) 내지 교환부내부개방 단계(580)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, the sealing member exchanging method 500 according to an exemplary embodiment may include a downward movement step 510 to an exchange part internal opening step 580.
하방이동 단계(510)에서는 실링 플레이트(110)를 아래로 이동시켜서 도 6c와 같은 상태에 있게 된다.In the downward movement step 510, the sealing plate 110 is moved downward to be in a state as shown in FIG. 6C.
교환부밀폐 단계(520)에서는 실링 플레이트(110)를 전진시켜서 실링 플레이트(110)에 구비된 제2밀폐 부재(114)를 교환부(154)에 밀착시킴으로써 교환부(154)를 밀폐시킬 수 있으며 도 6d와 같은 상태에 있게 된다.In the exchange part sealing step 520, the sealing part 110 may be advanced to close the exchange part 154 by bringing the second sealing member 114 provided on the sealing plate 110 into close contact with the exchange part 154. It is in the same state as in Fig. 6D.
대기압전환 단계(530)에서는 제1밸브(174)를 열어서 교환부(154)의 압력을 천천히 증가시킬 수 있다.In the atmospheric pressure conversion step 530, the pressure of the exchange unit 154 may be slowly increased by opening the first valve 174.
교환부외부개방 단계(540)에서는 교환부(154)를 외부로 개방할 수 있다. 예를 들면, 교환커버(160)를 외부로부터 열어서 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)가 외부로 개방될 수 있다.In the opening of the exchange unit 540, the exchange unit 154 may be opened to the outside. For example, the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be opened to the outside by opening the exchange cover 160 from the outside.
밀폐 부재교환 단계(550)에서는 실링 플레이트(110)에 구비된 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수 있다.In the sealing member replacement step 550, the first sealing member 112 provided in the sealing plate 110 may be replaced.
교환부밀폐 단계(560)에서는 외부로 개방된 교환부(154)를 밀폐시킬 수 있다. 예를 들면, 외부로부터 교환커버(160)를 닫아서 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)를 밀폐시킬 수 있다.In the exchange part sealing step 560, the exchange part 154 opened to the outside may be sealed. For example, the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be sealed by closing the exchange cover 160 from the outside.
진공전환 단계(570)에서는 제2밸브(184)를 열어서 교환부(154)의 압력을 천천히 감소시킬 수 있다.In the vacuum conversion step 570, the pressure of the exchange part 154 may be slowly decreased by opening the second valve 184.
교환부내부개방 단계(580)에서는 실링 플레이트(110)를 후진시켜서 교환부(154)를 내부로 개방시킬 수 있으며 도 6c와 같은 상태에 있게 된다.In the exchange part opening step 580, the sealing plate 110 may be reversed to open the exchange part 154 inward, and the state may be in a state as illustrated in FIG. 6C.
도 12는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.12 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 12를 참조하면, 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)에는 내측에서 외측으로 갈수록 단면적이 커지도록 경사면(156)이 형성될 수 있다. 경사면(156)은 실링 플레이트(110)의 가장자리에 구비되어 교환하기 어려운 제1밀폐 부재(112)를 신속하고 용이하게 교환할 수 있도록 한다.Referring to FIG. 12, an inclined surface 156 may be formed in the exchange opening 155 included in the exchange unit 154 so that the cross-sectional area thereof increases from the inside to the outside. The inclined surface 156 may be provided at the edge of the sealing plate 110 to quickly and easily replace the first sealing member 112 that is difficult to replace.
도 13은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.13 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 13을 참조하면, 교환커버(160)에는 제1밀폐 부재(112)와 결합되는 돌출바늘(162)이 형성될 수 있고 돌출바늘(162)은 복수개로 구성될 수 있다. 돌출바늘(162)은 도 11의 교환부밀폐 단계(520)에서 실링 플레이트(110)를 전진시킬 때 제1밀폐 부재(112)와 결합될 수 있다.Referring to FIG. 13, the exchange cover 160 may have a protruding needle 162 coupled with the first sealing member 112, and a plurality of protruding needles 162 may be formed. The protruding needle 162 may be coupled to the first sealing member 112 when the sealing plate 110 is advanced in the exchange sealing step 520 of FIG. 11.
돌출바늘(162)은 실링 플레이트(110)의 가장자리에 구비되어 교환하기 어려운 제1밀폐 부재(112)를 신속하고 용이하게 회수하여 교환할 수 있도록 한다.The protruding needle 162 may be provided at the edge of the sealing plate 110 to quickly and easily recover and replace the first sealing member 112 that is difficult to replace.
도 14는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.14 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 14를 참조하면, 게이트 밸브(100)는 지지부(130)의 양 쪽으로 실링 플레이트(110)를 한 개씩 구비할 수 있으므로 각 실링 플레이트(110)는 제1통로(152a)와 제2통로(152b)를 모두 밀폐시킬 수 있다. 또한, 제1교환용 개구(155a)와 제2교환용 개구(155b)를 통해 양 쪽의 실링 플레이트(110)에 각각 구비된 제1밀폐 부재(112)를 교체할 수 있다.Referring to FIG. 14, since the gate valve 100 may include one sealing plate 110 on both sides of the support 130, each sealing plate 110 may include a first passage 152a and a second passage 152b. ) Can be sealed. In addition, the first sealing member 112 provided on both sealing plates 110 can be replaced through the first exchange opening 155a and the second exchange opening 155b.
도 15는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일례를 예시적으로 나타낸 측면도이다.15 is a side view illustrating an example of a gate valve according to the present invention.
도 15를 참조하면, 제1밀폐 부재(112)는 식별태그(113)를 포함하여 구성될 수 있고 게이트 밸브(100)는 식별부(190) 및 제어부(195)를 더 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 15, the first sealing member 112 may include an identification tag 113 and the gate valve 100 may further include an identification unit 190 and a controller 195. .
식별태그(113)는 제1밀폐 부재(112)와 결합되거나 제1밀폐 부재(112)의 내부에 구비되거나 제1밀폐 부재(112)의 표면에 인쇄될 수 있고 식별부(190)에게 제1밀폐 부재(112)에 대한 정보를 제공해 줄 수 있다. 예를 들면, 식별태그(113)는 QR 코드, 바코드 또는 RFID(Radio Frequency Identification) 태그일 수 있다.The identification tag 113 may be combined with the first sealing member 112, may be provided inside the first sealing member 112, or may be printed on the surface of the first sealing member 112, and the identification unit 190 may be provided with a first tag. Information about the sealing member 112 may be provided. For example, the identification tag 113 may be a QR code, a barcode, or a radio frequency identification (RFID) tag.
식별부(190)는 밸브 하우징(150) 또는 실링 플레이트(110) 등에 결합되어 게이트 밸브(100)의 내부에 구비될 수 있고 제1밀폐 부재(112)의 식별태그(113)를 식별할 수 있다. 예를 들면, 식별부(190)는 QR코드, 바코드 또는 RFID 태그를 인식할 수 있는 리더(Reader)일 수 있다.The identification unit 190 may be coupled to the valve housing 150 or the sealing plate 110 to be provided inside the gate valve 100 to identify the identification tag 113 of the first sealing member 112. . For example, the identification unit 190 may be a reader capable of recognizing a QR code, a barcode or an RFID tag.
제어부(195)는 게이트 밸브(100)의 내부 또는 외부에 구비되어 게이트 밸브(100)를 제어할 수 있다. 보다 구체적으로, 제어부(195)는 식별부(190)가 제1밀폐 부재(112)의 식별태그(113)를 식별한 식별결과에 따라서 구동부(140), 실링 플레이트(110), 교환커버(160), 제1밸브(174) 또는 제2밸브(184) 중에서 어느 하나 이상을 제어함으로써 게이트 밸브(100)를 제어할 수 있다.The controller 195 may be provided inside or outside the gate valve 100 to control the gate valve 100. More specifically, the controller 195 is the drive unit 140, the sealing plate 110, the exchange cover 160 in accordance with the identification result of the identification unit 190 identified the identification tag 113 of the first sealing member (112). ), The gate valve 100 may be controlled by controlling at least one of the first valve 174 and the second valve 184.
제어부(195)의 동작을 도 16을 참고하여 살펴본다.An operation of the controller 195 will be described with reference to FIG. 16.
도 16은 본 발명에 따른 밀폐 부재 교환 방법의 일례를 예시적으로 나타낸 순서도이다.16 is a flowchart illustrating an example of a method of replacing a sealing member according to the present invention.
도 16을 참조하면, 일 실시예에 따른 밀폐 부재 교환 방법(500)은 교환부밀폐 단계(610) 내지 작동중지 단계(695)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 16, the sealing member exchanging method 500 according to an exemplary embodiment may include an exchanging sealing step 610 to an stopping step 695.
교환부밀폐 단계(610)에서는 실링 플레이트(110)를 아래로 이동시켜서 도 6c와 같은 상태에 있게 된 후에 실링 플레이트(110)를 전진시켜서 실링 플레이트(110)에 구비된 제2밀폐 부재(114)를 교환부(154)에 밀착시키거나 실링 플레이트(110)를 전진시켜서 밸브 하우징(150)의 내측면에 구비된 제2밀폐 부재(114)에 밀착시킴으로써 교환부(154)를 밀폐시킬 수 있으며 도 6d와 같은 상태에 있게 된다.In the exchange part sealing step 610, the sealing plate 110 is moved downward to be in a state as illustrated in FIG. 6C, and then the sealing plate 110 is advanced to move the second sealing member 114 provided in the sealing plate 110. In contact with the exchanger 154 or by advancing the sealing plate 110 to the second sealing member 114 provided on the inner side of the valve housing 150 to seal the exchanger 154. It will be in the same state as 6d.
대기압전환 단계(620)에서는 제1밸브(174)를 열어서 교환부(154)의 압력을 천천히 증가시킬 수 있다.In the atmospheric pressure conversion step 620, the pressure of the exchange unit 154 may be slowly increased by opening the first valve 174.
교환부외부개방 단계(630)에서는 교환부(154)를 외부로 개방할 수 있다. 예를 들면, 교환커버(160)를 외부로부터 열어서 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)가 외부로 개방될 수 있다.In the opening of the exchange unit 630, the exchange unit 154 may be opened to the outside. For example, the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be opened to the outside by opening the exchange cover 160 from the outside.
밀폐 부재교환 단계(640)에서는 실링 플레이트(110)에 구비된 제1밀폐 부재(112)를 교환할 수 있다.In the sealing member replacing step 640, the first sealing member 112 provided in the sealing plate 110 may be replaced.
밀폐 부재식별 단계(650)에서 식별부(190)는 교환된 제1밀폐 부재(112)의 태그(113)를 식별하여 제어부(195)에게 식별결과를 전송할 수 있다. 제어부(195)는 전송받은 식별결과가 미리 정해 놓은 식별정보와 일치하면 교환부밀폐 단계(660) 내지 교환부내부개방 단계(680)가 수행되도록 할 수 있도록 하지만 식별결과가 미리 정해 놓은 식별정보와 불일치하면 표시 단계(690) 및 작동중지 단계(695)가 수행되도록 할 수 있다.In the sealing member identification step 650, the identification unit 190 may identify the tag 113 of the exchanged first sealing member 112 and transmit the identification result to the control unit 195. If the received identification result matches the predetermined identification information, the control unit 195 allows the exchange sealing step 660 to the internal opening step 680 to be performed. If there is a mismatch, the display step 690 and the deactivation step 695 can be performed.
여기에서, 식별정보와 불일치한다는 것은 예를 들면 교환된 제1밀폐 부재(112)가 정품이 아닌 경우를 의미할 수 있고 이러한 경우에 제어부(195)는 작동중지 단계(695)가 수행되도록 하여 게이트 밸브(100)의 작동을 멈추게 할 수 있다.Here, the inconsistency with the identification information may mean, for example, that the exchanged first sealing member 112 is not genuine, and in this case, the control unit 195 causes the operation stop step 695 to be performed. The operation of the valve 100 can be stopped.
교환부밀폐 단계(660)에서는 외부로 개방된 교환부(154)를 밀폐시킬 수 있다. 예를 들면, 외부로부터 교환커버(160)를 닫아서 교환부(154)에 포함된 교환용 개구(155)를 밀폐시킬 수 있다.In the exchange part sealing step 660, the exchange part 154 opened to the outside may be sealed. For example, the exchange opening 160 included in the exchange unit 154 may be sealed by closing the exchange cover 160 from the outside.
진공전환 단계(670)에서는 제2밸브(184)를 열어서 교환부(154)의 압력을 천천히 감소시킬 수 있다.In the vacuum conversion step 670, the pressure of the exchange part 154 may be slowly decreased by opening the second valve 184.
교환부내부개방 단계(680)에서는 실링 플레이트(110)를 후진시켜서 교환부(154)를 내부로 개방시킬 수 있으며 도 6c와 같은 상태에 있게 된다.In the opening of the exchange part 680, the sealing plate 110 may be reversed to open the exchange part 154 inward and may be in a state as shown in FIG. 6C.
표시 단계(690)에서 제어부(195)는 교환된 제1밀폐 부재(112)의 식별결과가 미리 정해 놓은 식별정보와 불일치한다는 정보를 시각 또는 청각으로 사용자에게 알려줄 수 있다.In the display step 690, the control unit 195 may inform the user visually or audibly that the identification result of the exchanged first sealing member 112 is inconsistent with the predetermined identification information.
작동중지 단계(695)에서 제어부(195)는 교환커버(160)가 닫히지 않도록 하거나 제2밸브(184)를 열 수 없도록 하거나 실링 플레이트(110)를 후진시키지 못하게 하여 게이트 밸브(100)가 공정에 사용되는 것을 막을 수 있다.In the shutdown step 695, the control unit 195 prevents the exchange cover 160 from closing, opening the second valve 184, or preventing the sealing plate 110 from reversing so that the gate valve 100 enters the process. It can be prevented from being used.
이 때에, 제어부(195)가 제2밸브(184)를 열 수 없도록 한다면 교환부(154)는 대기압 상태를 유지하게 된다.At this time, if the controller 195 does not allow the second valve 184 to be opened, the exchange unit 154 maintains an atmospheric pressure state.
이와 같이, 교환된 제1밀폐 부재(112)의 식별결과에 따라서 게이트 밸브의 사용을 제어함으로써, 제1밀폐 부재(112)가 부적당한 밀폐 부재로 잘못 교환된 채로 공정이 진행되는 것을 방지하여 챔버 및 게이트 밸브가 진공 상태를 잘 유지되도록 할 수 있고 허가된 정품의 제1밀폐 부재(112)만 교환하여 사용되도록 할 수 있다.As such, by controlling the use of the gate valve according to the identification result of the replaced first sealing member 112, the chamber is prevented from proceeding with the first sealing member 112 being incorrectly replaced with an inappropriate sealing member. And the gate valve may be well maintained in a vacuum state, and only the authorized first sealing member 112 may be used interchangeably.
한편, 밀폐 부재식별 단계(650)가 교환부밀폐 단계(660) 이후에 수행될 수도 있다. 즉, 외부로 개방된 교환부(154)를 밀폐시킨 후에 식별부(190)가 교환된 제1밀폐 부재(112)를 식별할 수도 있다.Meanwhile, the sealing member identification step 650 may be performed after the exchange part sealing step 660. That is, after closing the exchanger 154 opened to the outside, the identification unit 190 may identify the exchanged first sealing member 112.
이 때에는, 작동중지 단계(695)에서 제어부(195)는 제2밸브(184)를 열 수 없도록 하거나 실링 플레이트(110)를 후진시키지 못하게 하여 게이트 밸브(100)가 공정에 사용되는 것을 막을 수 있다.At this time, the control unit 195 may prevent the gate valve 100 from being used in the process by preventing the second valve 184 from being opened or reversing the sealing plate 110 in the operation stop step 695. .
한편, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)(1200)(1300)(1400)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Meanwhile, door replaceable gate valve systems 1100, 1200, 1300, and 1400 according to various embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
이하에서 도어란 실질적으로 실링 플레이트와 동일하거나 또는 실링 플레이트를 포함하는 개념일 수 있다. Hereinafter, the door may be a concept that is substantially the same as the sealing plate or includes a sealing plate.
도 17은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 외관 사시도이다. 그리고, 도 18은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 19는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 일례를 나타내는 단면도이다.17 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present disclosure. 18 is an exploded perspective view showing parts of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17, and FIG. 19 is a cross-sectional view illustrating an example of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
먼저, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 제 1 방향 이동 장치(40)와, 제 2 방향 이동 장치(50) 및 격리 부재(60)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIGS. 17 to 19, the door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention may be classified into a valve housing 10, a door 20, and a movable table ( 30, a first direction movement device 40, a second direction movement device 50, and an isolation member 60.
예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 적어도 하나의 통로(10a)가 형성될 수 있다.For example, the valve housing 10 is a hollow box-shaped structure as a whole, and at least one passage 10a may be formed.
여기서, 상기 밸브 하우징(10)은, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 일측 또는 양측에 상기 통로(10a)가 형성되는 구조체일 수 있다.Here, the valve housing 10, the passage (10a) on one side or both sides so that various objects, such as advanced semiconductor devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, display devices or other medical devices can enter and exit. It may be a structure to be formed.
이러한 상기 밸브 하우징(10)은, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)와, 상기 제 2 방향 이동 장치(50) 및 상기 격리 부재(60)를 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.The valve housing 10 includes the door 20, the movable table 30, the first direction movement device 40, the second direction movement device 50, and the isolation member described above. It can support 60 and be a structure having sufficient strength and durability to be connected to various chambers. However, the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 일종의 밸브체로서, 상기 도어(20)는 상기 통로(10a)의 형상에 대응되도록 상기 통로(10a)의 형사에 따라 형성될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 실링 부재(S1)는 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 밀봉 부재일 수 있다. For example, as illustrated in FIGS. 17 to 19, the door 20 is a kind of valve body in which a first sealing member S1 is installed to block the passage 10a. ) May be formed according to the detective of the passage (10a) to correspond to the shape of the passage (10a). Here, the first sealing member S1 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
이러한, 상기 도어(20)는 이해를 구하기 위해 도시된 것으로, 도면에 국한되지 않고, 다양한 개수로 설치되거나 각종 실링 부재나 각종 관절 또는 힌지 구조물 등이 추가로 설치되는 등 매우 다양하게 적용될 수 있다.Such, the door 20 is shown for the sake of understanding, and is not limited to the drawings, it can be applied in various ways, such as being installed in various numbers or additionally installed various sealing members or various joints or hinge structures.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는, 상기 도어(20)를 착탈이 가능하게 지지하는 일종의 헤드 블록과 유사한 구조체로서, 후술될 상기 제 1 방향 이동 장치(40)에 의해 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 가동대(30)는 도면에 국한되지 않음은 물론이다. For example, as shown in FIGS. 17 to 19, the movable table 30 is a kind of structure similar to a head block that supports the door 20 in a detachable manner, and moves in the first direction to be described later. The device 40 may be installed to be movable. However, the movable table 30 is not limited to the drawings, of course.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)는, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 가동대(30)를 대기 위치에서 상기 통로(10a)와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 실린더나 모터나 동력 전달 장치나 기어 박스 등 매우 다양한 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 17-19, the said 1st direction movement apparatus 40 opposes the said movable stand 30 to the said valve housing 10 with the said passage 10a in a standby position. A wide variety of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the first direction to the first position, may be applied.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)는, 상기 가동대(30)와 상기 도어(20) 사이에 설치되는 것으로서, 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 실린더나 모터나 동력 전달 장치나 기어 박스 등 매우 다양한 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 17-19, the said 2nd direction movement apparatus 50 is installed between the said movable stand 30 and the door 20, The door 20 A wide variety of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the second direction from the first position to the second position where the passage 10a can be blocked, can be applied.
여기서, 도 17 내지 도 19에서는 상기 제 1 방향 이동 장치(40)는, 리프팅 실린더이고, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)는, 실링 실린더인 것을 예시하였으나, 이외에도 다양한 방향의 다양한 형태와 종류를 갖는 이동 장치들이 모두 적용될 수 있다.17 to 19 illustrate that the first direction moving device 40 is a lifting cylinder, and the second direction moving device 50 is a sealing cylinder. All mobile devices that have it can be applied.
따라서, 상기 도어(20)는 상기 밸브 하우징(10)의 내부에서 상기 제 1 방향 이동 장치(40)에 의해서 상기 대기 위치에서 상기 제 1 위치까지 승하강될 수 있고, 이어서, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)에 의해서 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치까지 전후진되어 상기 통로(10a)를 선택적으로 개폐시킬 수 있다.Thus, the door 20 can be raised and lowered from the standby position to the first position by the first direction movement device 40 inside the valve housing 10, and then the second direction movement. The device 50 may be advanced back and forth from the first position to the second position to selectively open and close the passage 10a.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)는, 상기 가동대(30)에 설치되는 것으로서, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 상기 제 1 방향의 역방향인 제 3 방향으로 이동되면 상기 밸브 하우징(10)의 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있는 전체적으로 L자 형상으로 절곡된 형태의 플레이트 구조체일 수 있다.Also, for example, as shown in FIGS. 17 to 19, the isolation member 60 is installed on the movable table 30, and is used in the standby position by using the first direction movement device 40. When the plate is moved in a third direction opposite to the first direction to a third position, the plate structure may be a plate structure that is bent in an L shape to be able to isolate the door replacement area A of the valve housing 10. .
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내측 일면(F1)과 대응되도록 형성되는 하방 하면부(61)와, 상기 밸브 하우징(10)의 내부로 돌출되게 형성되는 돌출벽부(W)의 경사면(F2)과 대응되도록 상기 하방 하면부(61)와 연결되게 형성되는 중간 경사부(62) 및 상기 돌출벽부(W)의 상면(F3)과 대응되도록 상기 중간 경사부(62)와 연결되게 형성되는 상방 하면부(63)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as illustrated in FIGS. 17 to 19, the isolation member 60 may include a lower lower surface portion 61 formed to correspond to the inner side surface F1 of the valve housing 10. The intermediate inclined portion 62 and the protruding wall portion formed to be connected to the lower lower surface portion 61 so as to correspond to the inclined surface F2 of the protruding wall portion W protruding into the valve housing 10. It may include an upper lower surface portion 63 formed to be connected to the intermediate inclined portion 62 to correspond to the upper surface (F3) of the W.
즉, 상기 격리 부재(60)는 단순한 하강 이동만으로도, 상기 격리 부재(60)의 상기 하방 하면부(61), 상기 중간 경사부(62) 및 상기 상방 하면부(63)들이 상기 밸브 하우징(10)의 일면(F1), 상기 돌출벽부(W)의 경사면(F2) 및 상기 상면(F3)과 밀착되어, 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있다.That is, the isolation member 60 has the lower lower portion 61, the middle inclined portion 62, and the upper lower surface portion 63 of the isolation member 60 by the simple lowering movement. The door replacement area A may be isolated by being in close contact with one surface F1 of the), the inclined surface F2 of the protruding wall portion W, and the upper surface F3.
이 때, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역(A)만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부(W)의 접촉면 또는 상기 하방 하면부(61)와, 상기 중간 경사부(62) 및 상기 상방 하면부(63)의 테두리 부분에 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 실링 부재(S2)는 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 밀봉 부재일 수 있다.At this time, the contact surface of the protruding wall portion W or the lower lower surface portion 61 and the intermediate inclination so as to release the vacuum only the door replacement area A while maintaining the overall vacuum of the valve housing 10. The second sealing member S2 may be installed at the edge portion of the portion 62 and the upper lower surface portion 63. Here, the second sealing member S2 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)은, 제 1 밸브(V1)가 설치되고, 하우징 진공 영역(B)과 연결되는 내부 진공 라인(71) 및 제 2 밸브(V2)가 설치되고, 외부의 대기 또는 청정 공기 공급원과 연결되는 진공 해제 라인(72)이 연결될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 19, the door replacement area A includes an internal vacuum line 71 in which a first valve V1 is installed and connected to the housing vacuum area B, and The second valve V2 may be installed and a vacuum release line 72 connected to an external atmospheric or clean air source may be connected.
따라서, 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)가 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킨 후, 제어부(70)에 의해 진공압 해제 제어 신호를 인가받은 상기 제 2 밸브(V2)가 상기 진공 해제 라인(72)을 개방하면, 상기 도어 교체 영역(A)의 진공압이 해제되면서 후술될 상기 덮개(C)를 개방하여 상기 도어 교체용 개구(H)를 통해 상기 도어(20)를 교체할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 19, after the isolation member 60 isolates the door replacement area A, the second valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 72, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
이 때, 상기 도어 교체 영역(A)은 격리된 상태로서, 상기 하우징 진공 영역(B)는 진공 상태를 유지할 수 있다.At this time, the door replacement area (A) is in an isolated state, the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
이어서, 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 교체 후, 상기 덮개(C)를 덮고, 상기 제어부(70)에 의해 진공압 형성 제어 신호를 인가받은 상기 제 1 밸브(V2)는 상기 진공 해제 라인(72)을 폐쇄시키고, 반면, 상기 제 1 밸브(V1)가 상기 내부 진공 라인(71)을 개방하는 경우, 상기 도어 교체 영역(A)은 상기 하우징 진공 영역(B)과 연통되어 서로 동일한 압력의 진공압이 형성될 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서 정상적인 도어 개폐 작동이 가능하다.Subsequently, as shown in FIG. 19, after the door 20 is replaced, the first valve V2 that covers the cover C and receives the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is When the vacuum release line 72 is closed, while the first valve V1 opens the internal vacuum line 71, the door replacement area A communicates with the housing vacuum area B. Thus, vacuum pressures of the same pressure can be formed, and through this, a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
그러므로, 이러한 과정을 통해서, 상기 하우징 진공 영역(B)의 진공압을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 교체가 가능해 질 수 있다.Therefore, through this process, it is possible to replace the door 20 without breaking the vacuum pressure of the housing vacuum region (B).
도 20은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.20 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
또 다른 실시예에 따르면, 예컨대, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)은, 제 3 밸브(V3)가 설치되고, 외부의 펌프(PUMP)와 연결되는 외부 진공 라인(73) 및 제 4 밸브(V4)가 설치되고, 외부의 대기 또는 청정 공기 공급원과 연결되는 진공 해제 라인(74)이 연결될 수 있다.According to another embodiment, for example, as shown in FIG. 20, the door replacement area A may include an external vacuum line 73 in which a third valve V3 is installed and connected to an external pump PUMP. ) And a fourth valve V4 may be installed, and a vacuum release line 74 may be connected to an external atmospheric or clean air source.
따라서, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)가 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킨 후, 제어부(70)에 의해 진공압 해제 제어 신호를 인가받은 상기 제 4 밸브(V2)가 상기 진공 해제 라인(74)을 개방하면, 상기 도어 교체 영역(A)의 진공압이 해제되면서 후술될 상기 덮개(C)를 개방하여 상기 도어 교체용 개구(H)를 통해 상기 도어(20)를 교체할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 20, after the isolation member 60 isolates the door replacement area A, the fourth valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 74, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
이 때, 상기 도어 교체 영역(A)은 격리된 상태로서, 상기 하우징 진공 영역(B)는 진공 상태를 유지할 수 있다.At this time, the door replacement area (A) is in an isolated state, the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
이어서, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 교체 후, 상기 덮개(C)를 덮고, 상기 제어부(70)에 의해 진공압 형성 제어 신호를 인가받은 상기 제 4 밸브(V4)는 상기 진공 해제 라인(74)을 폐쇄시키고, 반면, 상기 제 3 밸브(V3)가 상기 외부 진공 라인(71)을 개방하는 경우, 상기 펌프(PUMP)에 의해 상기 도어 교체 영역(A)은 진공압이 형성될 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서 정상적인 도어 개폐 작동이 가능하다.Subsequently, as shown in FIG. 20, after the door 20 is replaced, the fourth valve V4 that covers the cover C and receives the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is When the vacuum release line 74 is closed, while the third valve V3 opens the external vacuum line 71, the door replacement area A is evacuated by the pump PUMP. This can be formed, through which a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
그러므로, 이러한 과정을 통해서, 상기 하우징 진공 영역(B)의 진공압을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 교체가 가능해 질 수 있다.Therefore, through this process, it is possible to replace the door 20 without breaking the vacuum pressure of the housing vacuum region (B).
이외에도, 도시하지 않았지만, 상기 도어 교체 영역(A)은, 불활성 가스 공급원으로부터 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급원으로부터 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 라인 등 다양한 연결 라인들이 설치될 수 있다.In addition, although not shown, the door replacement area A may be provided with various connection lines such as an inert gas supply line for supplying an inert gas from an inert gas source and a clean air supply line for supplying clean air from a clean air source. have.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에는 선택적으로 내부 또는 외부와 연결되어 진공을 형성하거나, 질소 가스와 같은 불활성 가스가 공급되거나 청정 공기가 공급될 수 있다. 이외에도 각종 압력계나 온도계나 히터나 냉각 장치 등의 온도 조절 장치 등이 추가로 설치될 수 있다.Therefore, the door replacement area A may be selectively connected to the inside or the outside to form a vacuum, or an inert gas such as nitrogen gas may be supplied or clean air may be supplied. In addition, various pressure gauges, thermometers, and temperature control devices such as heaters and cooling devices may be additionally installed.
도 21은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어(20)를 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 21 is an enlarged perspective view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
도 21에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어(20)는, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)에 설치된 레일 부재(R)를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어(21)일 수 있다.As shown in FIG. 21, the door 20 of the door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention may include a rail member R installed in the second direction moving device 50. It may be a slide replaceable door 21 that can be removable according to sliding.
따라서, 상기 격리 부재(60)에 의해 상기 도어 교체 영역(A)이 격리되면, 상기 도어 교체 영역(A)만 외기와 연통시켜서 상기 레일 부재(R)로부터 오래된 슬라이드 교체형 도어(21)를 상기 제 1 실링 부재(S1)와 함께 일체로 슬라이딩 분리하고, 새로운 제 1 실링 부재(S1)가 설치된 슬라이드 교체형 도어(21)를 슬라이딩 삽입하여 교체할 수 있다.Therefore, when the door replacement area A is isolated by the isolation member 60, only the door replacement area A communicates with the outside air, thereby removing the old slide replacement door 21 from the rail member R. Sliding integrally with the first sealing member (S1), it is possible to replace by sliding inserting the slide replaceable door 21 is installed with a new first sealing member (S1).
이러한 상기 도어(20)의 유출입을 위해서, 도 17 내지 도 21에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10) 및 상기 돌출벽부(W)의 적어도 측면(10c)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 다양한 방향으로 상기 도어(20)를 유출입시킬 수 있다.For the inflow and outflow of the door 20, at least a side surface 10c of the valve housing 10 and the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A is illustrated in FIGS. 17 to 21. The door replacement opening (H) is formed in, and the cover (C) may be installed in the door replacement opening (H). However, the present invention is not necessarily limited thereto, and the door 20 may flow in and out in various directions.
도 22는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 교체용 개구(H)의 다른 일례를 나타내는 사시도이고, 도 23은 도 17의 도어 교체용 개구(H)의 또 다른 일례를 나타내는 사시도이고, 도 24는 도 17의 도어 교체용 개구(H)의 또 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 22 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening H of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17, and FIG. 23 illustrates another example of the door replacement opening H of FIG. 17. It is a perspective view, and FIG. 24 is sectional drawing which shows another example of the door replacement opening H of FIG.
즉, 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 돌출벽부(W)의 하면(10d)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다.That is, as shown in FIG. 22, a door replacement opening H is formed in the valve housing 10 or the lower surface 10d of the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A. The cover C may be installed in the door replacement opening H.
이외에도, 예컨대, 도 23에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 돌출벽부(W)의 전면(10e)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 23, the door replacement opening H is formed in the front side 10e of the valve housing 10 or the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A. FIG. The cover C may be installed in the door replacement opening H.
또한, 예컨대, 도 24에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10)의 하면(10d)과 전면(10e)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다. 이외에도, 하면(10d)과 일 측면(10c) 또는 하면(10d), 측면(10c) 및 전면(10e) 모두 다양한 형태의 개구(H)를 형성하여 상기 도어(20)의 교체를 용이하게 할 수 있다.For example, as shown in FIG. 24, a door replacement opening H is formed in the bottom surface 10d and the front surface 10e of the valve housing 10 corresponding to the door replacement area A, The cover C may be installed in the door replacement opening H. In addition, the lower surface 10d and one side surface 10c or the lower surface 10d, the side surface 10c, and the front surface 10e all form openings H of various shapes to facilitate the replacement of the door 20. have.
한편, 예컨대, 도 24에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 볼트나, 너트나, 나사 등의 고정구(F) 또는 지그를 이용하여 상기 제 2 방향 이동 장치(50)에 착탈 가능하게 설치되는 체결 교체형 도어(22)일 수 있다. 이외에도 예컨대, 억지 물림 홈이나, 억지 물림 돌기나, 스냅 버튼이나, 자석 등을 이용하는 등 각종 체결형 도어가 모두 적용될 수 있다.On the other hand, for example, as shown in FIG. 24, the door 20 is detachably attached to the second direction movement device 50 by using a fastener F or a jig such as a bolt, a nut, a screw, or the like. It may be a fastening replaceable door 22 to be installed. In addition, for example, various fastening doors may be applied, such as using an interference bit groove, an interference bit projection, a snap button, or a magnet.
또한, 상기 덮개(C) 역시, 각종 오링 등이 설치되어 체결구에 의해 착탈 가능하게 고정되는 뚜껑이나, 접철식 도어나, 캡이나, 쉘 등의 다양한 형태의 덮개들이 모두 적용될 수 있다. In addition, the cover (C), various O-rings, etc. are also installed, the lid is detachably fixed by a fastener, a folding door, a cover of various forms such as a cap or a shell may be applied.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 24에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 밸브 하우징(10)에 형성된 단일 통로(10a)를 차단할 수 있는 L 모션 도어일 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.Also, for example, as shown in FIGS. 17 to 24, the door 20 may be an L motion door capable of blocking a single passage 10a formed in the valve housing 10. However, it is not necessarily limited thereto.
도 25는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 정상 작동 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 25 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
도 25에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 정상 작동 과정을 설명하면, 제 1 시간(t1) 동안, 상기 도어(20)는 가공 대상물의 로딩이나 언로딩을 위해서 오픈 상태의 대기 위치(Open stage)에서 대기할 수 있다.As illustrated in FIG. 25, the normal operation of the door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present disclosure will be described. During the first time t1, the door 20 may be processed. You can wait in the open stage for loading or unloading.
이어서, 제 2 시간(t2) 동안, 상기 도어(20)는 상기 대기 위치에서 상기 제 1 위치(Close stage)까지 상승될 수 있고, 이어서, 제 3 시간(t3) 동안 상기 제 1 위치에서 제 2 위치까지 전진하여 상기 통로(10a)를 실링(Sealing)할 수 있다.Subsequently, for a second time t2, the door 20 can be raised from the standby position to the first stage (Close stage), and then for a second time at the first position for a third time t3. The passage 10a may be sealed by advancing to the position.
이어서, 제 4 시간(t4) 동안, 가동 대상물의 가공 프로세서를 마치면, 제 5 시간(t5) 동안, 상기 도어(20)는 제 2 위치에서 다시 제 1 위치로 후진하여 상기 통로(10a)를 언실링(Unsealing)할 수 있고, 제 6 시간(t5) 동안, 상기 제 1 위치에서 상기 대기 위치로 하강할 수 있다.Subsequently, when the processing processor of the movable object is finished for the fourth time t4, for the fifth time t5, the door 20 moves backward from the second position to the first position to freeze the passage 10a. Unsealing may be performed, and during the sixth time t5, the vehicle may descend from the first position to the standby position.
도 26은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 교체 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 26 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
한편, 도 26에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 교체 과정을 설명하면, 도 25의 과정 중 상기 도어(20), 즉 실링 플레이트의 교환이 필요한 경우, 제 0 교체 시간(te0) 동안, 상기 도어(20)는 상기 대기 위치(Open stage)에서 제 3 위치(Exchange stage)까지 하강하여 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시키고, 제 1 교체 시간(te1) 동안, 상술된 상기 도어 교체 영역(A)을 대기 상태(ATM)로 전환하며, 제 2 교체 시간(te2) 동안, 도어 교체 작업을 수행할 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 26, a door replacement process of the door replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present disclosure will be described. The door 20, that is, a sealing plate, of the process of FIG. 25 is described. In the case where a change of the pressure is required, during the 0th replacement time te0, the door 20 is lowered from the open stage to the third position (Exchange stage) to isolate the door replacement area A, During the first replacement time te1, the door replacement area A may be switched to the standby state ATM, and the door replacement operation may be performed during the second replacement time te2.
이어서, 제 3 교체 시간(te3) 동안, 상기 도어 교체 영역(A)의 격리를 해제하여 상기 도어 교체 영역(A)을 다시 진공 상태로 전환시키고, 제 4 교체 시간(te4) 동안, 상기 도어(20)는 상기 제 3 위치에서 상기 대기 위치까지 상승하여 대기할 수 있다.Subsequently, during the third replacement time te3, the isolation of the door replacement area A is released to switch the door replacement area A back to a vacuum state, and for the fourth replacement time te4, the door ( 20 may wait to rise from the third position to the standby position.
여기서, 이러한 교체 시간들은 도 25의 제 1 시간(t1) 동안 이루어져서 장비의 중단이나 전체적인 진공 상태를 깨지 않고도 신속하게 도어 교체 작업이 이루어질 수 있다.Here, these replacement times are made during the first time t1 of FIG. 25 so that door replacement can be performed quickly without breaking the equipment or breaking the overall vacuum.
도 27은 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 나타내는 순서도이다.FIG. 27 is a flowchart illustrating an operation process of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 17.
도 27에 도시된 바와 같이, 본 발명의 도어 교체 작업은,“Seal plate(도어) 교환이 필요한가?”라는 작업자 또는 제어부의 판단에 의해 이루어질 수 있는 것으로서, 예컨대, 도어의 사용 시간을 확인하거나, 챔버 내부의 실링 상태를 확인하거나, 실링 부재의 상태를 측정하는 하중 센서나 비젼 등 각종 센서를 통해서 도어의 상태를 확인할 수 있다. As shown in FIG. 27, the door replacement operation of the present invention may be performed by the operator or the control unit, “Does the seal plate need to be replaced?”, For example, checking the use time of the door, The state of the door can be confirmed through various sensors such as a load sensor or a vision measuring the state of the sealing member or measuring the state of the sealing member.
도 28은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1200)을 나타내는 단면도이다.28 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system 1200 in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 28에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1200)의 도어(20)는, 상기 밸브 하우징(10)에 일측에 형성된 제 1 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 1 도어(20-1) 및 상기 밸브 하우징(10)의 타측에 형성된 제 2 통로(10b)를 차단할 수 있는 제 2 도어(20-2)를 포함하는 T 모션 도어(23)일 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상은, L 모션은 물론이고, T 모션 등 다양한 형태의 게이트 밸브의 도어에 모두 적용될 수 있다.As shown in FIG. 28, the door 20 of the door replaceable gate valve system 1200 according to some other embodiments of the present invention may include a first passage 10a formed at one side of the valve housing 10. T motion door 23 including a first door 20-1 capable of blocking a second door and a second door 20-2 capable of blocking a second passage 10b formed at the other side of the valve housing 10. Can be. Therefore, the technical idea of the present invention can be applied to all the doors of various types of gate valves, such as the L motion and the T motion.
그러므로, 상술된 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.Therefore, according to the various embodiments of the present invention described above, it is possible to replace the entire door including the O-ring can greatly reduce the replacement cost and time, reducing the volume of the equipment to reduce the unit cost and vacuum pressure forming time and The cost can be reduced, for example, by simply lowering the movable platform, the door can be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, thereby simplifying the operation and operation of the equipment, thereby improving the durability and performance of the equipment.
도 29는 도 17의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 정품 식별 과정의 일례를 나타내는 순서도이다.FIG. 29 is a flowchart illustrating an example of a genuine product identification process of the door replaceable gate valve system of FIG. 17.
도 17 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 본 발명의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치를 더 포함할 수 있는 것으로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 식별 장치는, 상기 도어(20)에 설치된 RFID 태그(tag)(RT)를 인식할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 RFID 태그(RT)와 대응되는 부분에 설치되는 RFID 센서(RS) 및 상기 RFID 센서(RS)로부터 식별 정보를 입력받아 식별 정보 매칭시에만 장비의 정상적인 동작을 허용하고, 그렇지 않은 경우, 장비의 동작을 중단하는 RFID 식별 제어부(80)일 수 있다.17 to 29, the door replaceable gate valve system 1100 of the present invention according to the present invention, the identification that can identify the identification information of the door to allow the operation only when the identification information matching The apparatus may further include a device, and more specifically, as shown in FIGS. 19 and 20, for example, the identification device may recognize an RFID tag RT installed in the door 20. To receive the identification information from the RFID sensor (RS) and the RFID sensor (RS) installed in the valve housing 10 or the portion corresponding to the RFID tag (RT) so that the normal operation of the equipment only when matching the identification information If not, the RFID identification control unit 80 may stop the operation of the equipment.
따라서, 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 상기 실링 플레이트(SP) 교체시, 상기 식별 장치의 RFID 센서(RS)가 상기 RFID 태그(RT)를 인식하여 식별 정보를 감지하면(S11), 상기 RFID 식별 제어부(80)가 매칭 여부를 판별하여(S12) 매칭되는 경우, 정상 동작을 허용하거나 또는 상기 도어(20)의 교체를 허용하고(S13), 매칭이 되지 않는 경우, 동작 불가 명령이나 상기 도어(20)의 교체 불가 판정을 내릴 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 29, when the sealing plate SP of the door 20 is replaced, when the RFID sensor RS of the identification device recognizes the RFID tag RT and detects identification information ( S11) If the RFID identification controller 80 determines whether to match (S12), if the match, the normal operation or allow the replacement of the door 20 (S13), if not match, the operation It is possible to make an impossible command or an inability to replace the door 20.
그러므로, 정식으로 식별 정보를 부여받은 정품 도어(20)만 교체할 수 있게 하여 장비의 안전도를 높이고, 오동작이나 불법 사용을 사전에 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to replace only the genuine door 20 that is formally given identification information, thereby increasing the safety of the equipment, it is possible to prevent malfunction or illegal use in advance.
도 30은 도 29의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어(20)의 정품 식별 과정의 다른 일례를 나타내는 순서도이다.30 is a flowchart illustrating another example of a genuine product identification process of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1100 of FIG. 29.
도 17 내지 도 30에 도시된 바와 같이, 더욱 구체적으로 예를 들면, 교환 프로세서를 시작하면, 상기 도어 교체 영역(A)을 실링하고, 진공에서 상기 도어 교체 영역(A)을 대기 상태로 전환하며, 상기 덮개(C)를 개방하여 도어를 교환할 때, 상기 RFID 태그(RT)를 상기 RFID 센서(RS)가 인식하여 정품으로 판별되면, 상기 도어 교체 영역(A)의 상기 덮개(C)를 닫은 후, 상기 도어 교체 영역(A)을 진공으로 전환하여 정상적인 교환 프로세서를 완료하거나, 정품으로 판별되지 않는 경우에는, 시각적 또는 청각적으로 비 정품 오류 메시지를 출력하고, 상기 도어 교체 영역(A)을 대기압 상태로 비정상적인 동작 종료를 할 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.17 to 30, more specifically, for example, when the exchange processor starts, the door replacement area A is sealed, and the door replacement area A is switched to a standby state in a vacuum. When the door is replaced by opening the cover C, if the RFID sensor RS recognizes the RFID tag as a genuine product, the cover C of the door replacement area A may be replaced. After closing, the door replacement area A is converted to a vacuum to complete a normal exchange processor, or when it is not determined to be genuine, a non-genuine error message is output visually or audibly, and the door replacement area A Abnormal operation can be terminated at atmospheric pressure. However, it is not necessarily limited thereto.
도 31은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)의 도어(20)를 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 32는 도 31의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)을 나타내는 부품 조립 단면도이고, 도 33은 도 31의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)의 도어(20)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 34는 도 31의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어(20)를 나타내는 횡단면도이다.31 is an exploded perspective view of a part of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1300 according to some other embodiments of the present invention, and FIG. 32 is a door replaceable gate valve system 1300 of FIG. 31. 33 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 1300 of FIG. 31, and FIG. 34 is a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 20 is a cross sectional view showing the cross section shown in FIG.
도 31 내지 도 34에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)의 도어(20)는, 적어도 일측에 도어 지지대(DS)의 촉형 막대(AR)와 억지 물림으로 결합되는 적어도 하나의 삽입홀(ARH)이 형성되고, 상기 삽입홀(ARH)의 입구부에는 결합시 파티클의 비산을 방지할 수 있도록 오링(S3)이 설치될 수 있다.As shown in FIGS. 31 to 34, the door 20 of the door replaceable gate valve system 1300 according to some other embodiments of the present invention may include at least one side of the contact rod DS of the door support DS. At least one insertion hole ARH coupled to the AR and an interference bite is formed, and an inlet portion of the insertion hole ARH may be provided with an O-ring S3 to prevent particles from scattering when combined.
여기서, 도 31 내지 도 34에 도시된 상기 촉형 막대(AR)는 상기 도어 지지대(DS)로부터 수평 방향으로 좌측방 돌출되는 것으로서, 따라서, 상기 도어(20)는 수평 방향으로 분해가 가능한 것을 예시하였다.Here, the tactile bar AR illustrated in FIGS. 31 to 34 protrudes to the left in the horizontal direction from the door support DS, and thus, the door 20 may be disassembled in the horizontal direction. .
도 35는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1400)의 도어(20)를 나타내는 부품 분해 사시도이다.35 is an exploded perspective view of a part of a door 20 of a door replaceable gate valve system 1400 in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 35에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(1400)의 상기 촉형 막대(AR)는 상기 도어 지지대(DS)로부터 수직 방향으로 하방 돌출되는 것으로서, 따라서, 상기 도어(20)는 수직 방향으로 분해가 가능한 것을 예시하였다.As shown in FIG. 35, the tactile rod AR of the door replaceable gate valve system 1400 according to some other embodiments of the present invention protrudes downward from the door support DS in a vertical direction. Thus, the door 20 is illustrated that it can be disassembled in the vertical direction.
그러나, 이러한 상기 도어(20)의 분해 방법은 매우 다양한 것으로서, 도면에 국한되지 않는다.However, the method of disassembling the door 20 is very diverse and is not limited to the drawings.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)(2200)(2300)(2400)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a door replaceable gate valve system 2100, 2200, 2300, and 2400 according to various embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 36은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 외관 사시도이다. 그리고, 도 37은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 38은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 단면도이다.36 is an external perspective view illustrating a door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure. 37 is an exploded perspective view showing parts of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36, and FIG. 38 is a cross-sectional view illustrating the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
먼저, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 제 1 방향 이동 장치(40)와, 제 2 방향 이동 장치(50) 및 격리 부재(60)를 포함할 수 있다.First, as illustrated in FIGS. 36 to 38, the door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present invention may be classified into a valve housing 10, a door 20, and a movable table ( 30, a first direction movement device 40, a second direction movement device 50, and an isolation member 60.
예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 적어도 하나의 통로(10a)가 형성될 수 있다.For example, the valve housing 10 is a hollow box-shaped structure as a whole, and at least one passage 10a may be formed.
여기서, 상기 밸브 하우징(10)은, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 일측 또는 양측에 상기 통로(10a)가 형성되는 구조체일 수 있다.Here, the valve housing 10, the passage (10a) on one side or both sides so that various objects, such as advanced semiconductor devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, display devices or other medical devices can enter and exit. It may be a structure to be formed.
이러한 상기 밸브 하우징(10)은, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)와, 상기 제 2 방향 이동 장치(50) 및 상기 격리 부재(60)를 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.The valve housing 10 includes the door 20, the movable table 30, the first direction movement device 40, the second direction movement device 50, and the isolation member described above. It can support 60 and be a structure having sufficient strength and durability to be connected to various chambers. However, the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
또한, 예컨대, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 일종의 밸브체로서, 상기 도어(20)는 상기 통로(10a)의 형상에 대응되도록 상기 통로(10a)의 형사에 따라 형성될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 실링 부재(S1)는 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 밀봉 부재일 수 있다. For example, as illustrated in FIGS. 36 to 38, the door 20 is a kind of valve body in which a first sealing member S1 is installed to block the passage 10a. ) May be formed according to the detective of the passage (10a) to correspond to the shape of the passage (10a). Here, the first sealing member S1 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
이러한, 상기 도어(20)는 이해를 구하기 위해 도시된 것으로, 도면에 국한되지 않고, 다양한 개수로 설치되거나 각종 실링 부재나 각종 관절 또는 힌지 구조물 등이 추가로 설치되는 등 매우 다양하게 적용될 수 있다.Such, the door 20 is shown for the sake of understanding, and is not limited to the drawings, it can be applied in various ways, such as being installed in various numbers or additionally installed various sealing members or various joints or hinge structures.
또한, 예컨대, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는, 상기 도어(20)를 착탈이 가능하게 지지하는 일종의 헤드 블록과 유사한 구조체로서, 후술될 상기 제 1 방향 이동 장치(40)에 의해 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 가동대(30)는 도면에 국한되지 않음은 물론이다. For example, as shown in FIGS. 36 to 38, the movable table 30 is a kind of structure similar to a head block that detachably supports the door 20, and moves in the first direction to be described later. The device 40 may be installed to be movable. However, the movable table 30 is not limited to the drawings, of course.
또한, 예컨대, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)는, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 가동대(30)를 대기 위치에서 상기 통로(10a)와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 실린더나 모터나 동력 전달 장치나 기어 박스 등 매우 다양한 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 36-38, the said 1st direction movement apparatus 40 opposes the said movable stand 30 to the said valve housing 10 with the said passage 10a in a standby position. A wide variety of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the first direction to the first position, may be applied.
또한, 예컨대, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)는, 상기 가동대(30)와 상기 도어(20) 사이에 설치되는 것으로서, 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 실린더나 모터나 동력 전달 장치나 기어 박스 등 매우 다양한 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.For example, as illustrated in FIGS. 36 to 38, the second direction movement device 50 is installed between the movable table 30 and the door 20. A wide variety of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box, which can move in the second direction from the first position to the second position where the passage 10a can be blocked, can be applied.
여기서, 도 36 내지 도 38에서는 상기 제 1 방향 이동 장치(40)는, 리프팅 실린더이고, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)는, 실링 실린더인 것을 예시하였으나, 이외에도 다양한 방향의 다양한 형태와 종류를 갖는 이동 장치들이 모두 적용될 수 있다.Here, in FIGS. 36 to 38, the first direction movement device 40 is a lifting cylinder, and the second direction movement device 50 is a sealing cylinder. However, various shapes and types in various directions may be used. All mobile devices that have it can be applied.
따라서, 상기 도어(20)는 상기 밸브 하우징(10)의 내부에서 상기 제 1 방향 이동 장치(40)에 의해서 상기 대기 위치에서 상기 제 1 위치까지 승하강될 수 있고, 이어서, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)에 의해서 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치까지 전후진되어 상기 통로(10a)를 선택적으로 개폐시킬 수 있다.Thus, the door 20 can be raised and lowered from the standby position to the first position by the first direction movement device 40 inside the valve housing 10, and then the second direction movement. The device 50 may be advanced back and forth from the first position to the second position to selectively open and close the passage 10a.
또한, 예컨대, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)는, 상기 제 2 방향 이동 장치(50) 또는 상기 가동대(30)에 설치되는 것으로서, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 1차 이동되며, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)를 이용하여 상기 제 3 위치에서 제 4 위치까지 상기 제 2 방향으로 2차 이동되어 상기 밸브 하우징(10)의 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있는 전체적으로 평평한 형태의 플레이트 구조체일 수 있다.For example, as shown in FIGS. 36-38, the said isolation member 60 is provided in the said 2nd direction movement apparatus 50 or the said movable table 30, and is said 1st direction movement apparatus. A first movement from the standby position to a third position by using 40 and a second movement in the second direction from the third position to a fourth position by using the second direction movement device 50 It may be a plate structure of a generally flat shape that can isolate the door replacement area A of the valve housing 10.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 36 내지 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에 링 형상으로 수평 돌출되는 돌출벽부의 측면과 대응되도록 형성되는 격리 플레이트(61)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIGS. 36 to 38, the isolation member 60 is formed to correspond to the side surface of the protruding wall portion protruding horizontally in a ring shape inside the valve housing 10. The isolation plate 61 may be included.
즉, 상기 격리 부재(60)는 1차 하강 이동 및 2차 전진 이동으로, 상기 격리 부재(60)의 측면이 상기 돌출벽부(W)의 측면과 서로 밀착되어, 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있다.That is, the isolation member 60 has a first downward movement and a second forward movement, and the side surfaces of the isolation member 60 closely contact with the side surfaces of the protruding wall portion W, thereby closing the door replacement area A. Isolate.
이 때, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역(A)만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부(W)의 접촉면 또는 상기 격리 플레이트(61)에 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 실링 부재(S2)는 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 밀봉 부재일 수 있다.At this time, the second sealing member (3) may be attached to the contact surface of the protruding wall portion W or the separator plate 61 so as to release the vacuum only in the door replacement area A while maintaining the overall vacuum of the valve housing 10. S2) can be installed. Here, the second sealing member S2 may be a sealing member such as an O-ring or a gasket for airtightness.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)은, 제 1 밸브(V1)가 설치되고, 하우징 진공 영역(B)과 연결되는 내부 진공 라인(71) 및 제 2 밸브(V2)가 설치되고, 외부의 대기 또는 청정 공기 공급원과 연결되는 진공 해제 라인(72)이 연결될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 38, the door replacement area A includes an internal vacuum line 71 in which a first valve V1 is installed and connected to the housing vacuum area B, and The second valve V2 may be installed and a vacuum release line 72 connected to an external atmospheric or clean air source may be connected.
따라서, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)가 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킨 후, 제어부(70)에 의해 진공압 해제 제어 신호를 인가받은 상기 제 2 밸브(V2)가 상기 진공 해제 라인(72)을 개방하면, 상기 도어 교체 영역(A)의 진공압이 해제되면서 후술될 상기 덮개(C)를 개방하여 상기 도어 교체용 개구(H)를 통해 상기 도어(20)를 교체할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 38, after the isolation member 60 isolates the door replacement area A, the second valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 72, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
이 때, 상기 도어 교체 영역(A)은 격리된 상태로서, 상기 하우징 진공 영역(B)는 진공 상태를 유지할 수 있다.At this time, the door replacement area (A) is in an isolated state, the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
이어서, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 교체 후, 상기 덮개(C)를 덮고, 상기 제어부(70)에 의해 진공압 형성 제어 신호를 인가받은 상기 제 1 밸브(V2)는 상기 진공 해제 라인(72)을 폐쇄시키고, 반면, 상기 제 1 밸브(V1)가 상기 내부 진공 라인(71)을 개방하는 경우, 상기 도어 교체 영역(A)은 상기 하우징 진공 영역(B)과 연통되어 서로 동일한 압력의 진공압이 형성될 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서 정상적인 도어 개폐 작동이 가능하다.Subsequently, as shown in FIG. 38, after replacing the door 20, the cover C is covered, and the first valve V2 receiving the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is When the vacuum release line 72 is closed, while the first valve V1 opens the internal vacuum line 71, the door replacement area A communicates with the housing vacuum area B. Thus, vacuum pressures of the same pressure can be formed, and through this, a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
그러므로, 이러한 과정을 통해서, 상기 하우징 진공 영역(B)의 진공압을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 교체가 가능해 질 수 있다.Therefore, through this process, it is possible to replace the door 20 without breaking the vacuum pressure of the housing vacuum region (B).
도 39는 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating another example of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
또 다른 실시예에 따르면, 예컨대, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)은, 제 3 밸브(V3)가 설치되고, 외부의 펌프(PUMP)와 연결되는 외부 진공 라인(73) 및 제 4 밸브(V4)가 설치되고, 외부의 대기 또는 청정 공기 공급원과 연결되는 진공 해제 라인(74)이 연결될 수 있다.According to another embodiment, for example, as illustrated in FIG. 39, the door replacement area A may include an external vacuum line 73 in which a third valve V3 is installed and connected to an external pump PUMP. ) And a fourth valve V4 may be installed, and a vacuum release line 74 may be connected to an external atmospheric or clean air source.
따라서, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)가 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킨 후, 제어부(70)에 의해 진공압 해제 제어 신호를 인가받은 상기 제 4 밸브(V2)가 상기 진공 해제 라인(74)을 개방하면, 상기 도어 교체 영역(A)의 진공압이 해제되면서 후술될 상기 덮개(C)를 개방하여 상기 도어 교체용 개구(H)를 통해 상기 도어(20)를 교체할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 39, after the isolation member 60 isolates the door replacement area A, the fourth valve V2 receives the vacuum pressure release control signal by the controller 70. Opens the vacuum release line 74, the vacuum pressure of the door replacement area A is released and the cover C to be described later is opened to open the door 20 through the door replacement opening H. Can be replaced.
이 때, 상기 도어 교체 영역(A)은 격리된 상태로서, 상기 하우징 진공 영역(B)는 진공 상태를 유지할 수 있다.At this time, the door replacement area (A) is in an isolated state, the housing vacuum area (B) can maintain a vacuum state.
이어서, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 교체 후, 상기 덮개(C)를 덮고, 상기 제어부(70)에 의해 진공압 형성 제어 신호를 인가받은 상기 제 4 밸브(V4)는 상기 진공 해제 라인(74)을 폐쇄시키고, 반면, 상기 제 3 밸브(V3)가 상기 외부 진공 라인(71)을 개방하는 경우, 상기 펌프(PUMP)에 의해 상기 도어 교체 영역(A)은 진공압이 형성될 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서 정상적인 도어 개폐 작동이 가능하다.Subsequently, as shown in FIG. 39, after the door 20 is replaced, the fourth valve V4 which covers the cover C and receives the vacuum pressure forming control signal by the controller 70 is When the vacuum release line 74 is closed, while the third valve V3 opens the external vacuum line 71, the door replacement area A is evacuated by the pump PUMP. This can be formed, through which a normal door opening and closing operation is possible under a vacuum environment.
그러므로, 이러한 과정을 통해서, 상기 하우징 진공 영역(B)의 진공압을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 교체가 가능해 질 수 있다.Therefore, through this process, it is possible to replace the door 20 without breaking the vacuum pressure of the housing vacuum region (B).
이외에도, 도시하지 않았지만, 상기 도어 교체 영역(A)은, 불활성 가스 공급원으로부터 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급원으로부터 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 라인 등 다양한 연결 라인들이 설치될 수 있다.In addition, although not shown, the door replacement area A may be provided with various connection lines such as an inert gas supply line for supplying an inert gas from an inert gas source and a clean air supply line for supplying clean air from a clean air source. have.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에는 선택적으로 내부 또는 외부와 연결되어 진공을 형성하거나, 질소 가스와 같은 불활성 가스가 공급되거나 청정 공기가 공급될 수 있다. 이외에도 각종 압력계나 온도계나 히터나 냉각 장치 등의 온도 조절 장치 등이 추가로 설치될 수 있다.Therefore, the door replacement area A may be selectively connected to the inside or the outside to form a vacuum, or an inert gas such as nitrogen gas may be supplied or clean air may be supplied. In addition, various pressure gauges, thermometers, and temperature control devices such as heaters and cooling devices may be additionally installed.
도 40은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어(20)를 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 40 is an enlarged perspective view illustrating the door 20 of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
도 40에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어(20)는, 상기 제 2 방향 이동 장치(50)에 설치된 레일 부재(R)를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어(21)일 수 있다.As shown in FIG. 40, the door 20 of the door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure may include a rail member R installed in the second direction moving device 50. It may be a slide replaceable door 21 that can be removable according to sliding.
따라서, 상기 격리 부재(60)에 의해 상기 도어 교체 영역(A)이 격리되면, 상기 도어 교체 영역(A)만 외기와 연통시켜서 상기 레일 부재(R)로부터 오래된 슬라이드 교체형 도어(21)를 상기 제 1 실링 부재(S1)와 함께 일체로 슬라이딩 분리하고, 새로운 제 1 실링 부재(S1)가 설치된 슬라이드 교체형 도어(21)를 슬라이딩 삽입하여 교체할 수 있다.Therefore, when the door replacement area A is isolated by the isolation member 60, only the door replacement area A communicates with the outside air, thereby removing the old slide replacement door 21 from the rail member R. Sliding integrally with the first sealing member (S1), it is possible to replace by sliding inserting the slide replaceable door 21 is installed with a new first sealing member (S1).
이러한 상기 도어(20)의 유출입을 위해서, 도 36 내지 도 40에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10) 및 상기 돌출벽부(W)의 적어도 측면(10c)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 다양한 방향으로 상기 도어(20)를 유출입시킬 수 있다.36 to 40, at least a side surface 10c of the valve housing 10 and the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A is provided for the inflow and outflow of the door 20. The door replacement opening (H) is formed in, and the cover (C) may be installed in the door replacement opening (H). However, the present invention is not necessarily limited thereto, and the door 20 may flow in and out in various directions.
도 41은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체용 개구(H)의 다른 일례를 나타내는 사시도이고, 도 42는 도 36의 도어 교체용 개구(H)의 또 다른 일례를 나타내는 사시도이고, 도 43은 도 36의 도어 교체용 개구(H)의 또 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 41 is a perspective view illustrating another example of the door replacement opening H of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36, and FIG. 42 illustrates another example of the door replacement opening H of FIG. 36. It is a perspective view, and FIG. 43 is sectional drawing which shows another example of the door replacement opening H of FIG.
즉, 도 41에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 돌출벽부(W)의 하면(10d)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다.That is, as shown in FIG. 41, a door replacement opening H is formed in the valve housing 10 or the lower surface 10d of the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A. The cover C may be installed in the door replacement opening H.
이외에도, 예컨대, 도 42에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 돌출벽부(W)의 전면(10e)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 42, the door replacement opening H is formed in the front surface 10e of the valve housing 10 or the protruding wall portion W corresponding to the door replacement area A. FIG. The cover C may be installed in the door replacement opening H.
또한, 예컨대, 도 43에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10)의 하면(10d)과 전면(10e)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다. 이외에도, 하면(10d)과 일 측면(10c) 또는 하면(10d), 측면(10c) 및 전면(10e) 모두 다양한 형태의 개구(H)를 형성하여 상기 도어(20)의 교체를 용이하게 할 수 있다.For example, as shown in FIG. 43, a door replacement opening H is formed in the bottom surface 10d and the front surface 10e of the valve housing 10 corresponding to the door replacement area A. The cover C may be installed in the door replacement opening H. In addition, the lower surface 10d and one side surface 10c or the lower surface 10d, the side surface 10c, and the front surface 10e all form openings H of various shapes to facilitate the replacement of the door 20. have.
한편, 예컨대, 도 43에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 볼트나 너트나 나사 등의 고정구(F) 또는 지그를 이용하여 상기 제 2 방향 이동 장치(50)에 착탈 가능하게 설치되는 체결 교체형 도어(22)일 수 있다. 이외에도 예컨대, 억지 물림 홈이나, 억지 물림 돌기나, 스냅 버튼이나, 자석 등을 이용하는 등 각종 체결형 도어가 모두 적용될 수 있다.On the other hand, for example, as shown in FIG. 43, the door 20 is detachably installed to the second direction movement device 50 by using a fastener F or a jig such as a bolt, nut, or screw. It may be a fastening replaceable door 22. In addition, for example, various fastening doors may be applied, such as using an interference bit groove, an interference bit projection, a snap button, or a magnet.
또한, 상기 덮개(C) 역시, 각종 오링 등이 설치되어 체결구에 의해 착탈 가능하게 고정되는 뚜껑이나, 접철식 도어나, 캡이나, 쉘 등의 다양한 형태의 덮개들이 모두 적용될 수 있다.In addition, the cover (C), various O-rings, etc. are also installed, the lid is detachably fixed by a fastener, a folding door, a cover of various forms such as a cap or a shell may be applied.
또한, 예컨대, 도 36 내지 도 43에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 밸브 하우징(10)에 형성된 단일 통로(10a)를 차단할 수 있는 L 모션 도어일 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.For example, as illustrated in FIGS. 36 to 43, the door 20 may be an L motion door capable of blocking a single passage 10a formed in the valve housing 10. However, it is not necessarily limited thereto.
도 44는 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 정상 작동 과정을 나타내는 도면이다.FIG. 44 is a view illustrating a normal operation process of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
도 44에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 정상 작동 과정을 설명하면, 제 1 시간(t1) 동안, 상기 도어(20)는 가공 대상물의 로딩이나 언로딩을 위해서 오픈 상태의 대기 위치(Open stage)에서 대기할 수 있다.As illustrated in FIG. 44, the normal operation of the door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure will be described. During the first time t1, the door 20 may be processed. You can wait in the open stage for loading or unloading.
이어서, 제 2 시간(t2) 동안, 상기 도어(20)는 상기 대기 위치에서 상기 제 1 위치(Close stage)까지 상승될 수 있고, 이어서, 제 3 시간(t3) 동안 상기 제 1 위치에서 제 2 위치까지 전진하여 상기 통로(10a)를 실링(Sealing)할 수 있다.Subsequently, for a second time t2, the door 20 can be raised from the standby position to the first stage (Close stage), and then for a second time at the first position for a third time t3. The passage 10a may be sealed by advancing to the position.
이어서, 제 4 시간(t4) 동안, 가동 대상물의 가공 프로세서를 마치면, 제 5 시간(t5) 동안, 상기 도어(20)는 제 2 위치에서 다시 제 1 위치로 후진하여 상기 통로(10a)를 언실링(Unsealing)할 수 있고, 제 6 시간(t5) 동안, 상기 제 1 위치에서 상기 대기 위치로 하강할 수 있다.Subsequently, when the processing processor of the movable object is finished for the fourth time t4, for the fifth time t5, the door 20 moves backward from the second position to the first position to freeze the passage 10a. Unsealing may be performed, and during the sixth time t5, the vehicle may descend from the first position to the standby position.
도 45는 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체 과정을 나타내는 도면이다.45 is a view illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
한편, 도 45에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체 과정을 설명하면, 도 44의 과정 중 상기 도어(20), 즉 실링 플레이트의 교환이 필요한 경우, 제 0 교체 시간(te0) 동안, 상기 도어(20)는 상기 대기 위치(Open stage)에서 제 3 위치(Exchange stage)까지 1차 하강하고, 제 1 교체 시간(te1) 동안, 상기 도어(20)는 상기 제 3 위치에서 제 4 위치까지 2차 전진되어 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있다.45, a door replacement process of the door replaceable gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure will be described. The door 20, that is, the sealing plate, of the process of FIG. 44 is described. If the exchange of is required, the door 20 is first lowered from the open stage to the third exchange stage during the zero replacement time te0 and during the first replacement time te1. The door 20 may be advanced second from the third position to the fourth position to isolate the door replacement area A. FIG.
이어서, 제 2 교체 시간(te2) 동안, 상술된 상기 도어 교체 영역(A)을 대기 상태(ATM)로 전환하며, 도어 교체 작업을 수행할 수 있다.Subsequently, during the second replacement time te2, the door replacement area A may be switched to the standby state ATM and the door replacement operation may be performed.
이어서, 제 3 교체 시간(te3) 동안, 상기 도어 교체 영역(A)을 진공상태로 전환하고, 상기 도어 교체 영역(A)의 격리를 해제하기 위해서 상기 도어(20)는 상기 제 4 위치에서 상기 제 3 위치로 후진될 수 있다.Subsequently, during the third replacement time te3, the door 20 is switched to the vacuum state, and the door 20 is opened at the fourth position to release the isolation of the door replacement area A. FIG. Can be reversed to the third position.
이어서, 제 6 교체 시간(te4) 동안, 상기 도어(20)는 상기 제 3 위치에서 상기 대기 위치까지 상승하여 대기할 수 있다.Subsequently, during the sixth replacement time te4, the door 20 may rise from the third position to the standby position and wait.
여기서, 이러한 교체 시간들은 도 44의 제 1 시간(t1) 동안 이루어져서 장비의 중단이나 전체적인 진공 상태를 깨지 않고도 신속하게 도어 교체 작업이 이루어질 수 있다.Here, these replacement times are made during the first time t1 of FIG. 44 so that door replacement can be performed quickly without breaking the equipment or breaking the overall vacuum.
도 46은 도 36의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2100)의 작동 과정을 나타내는 순서도이다.FIG. 46 is a flowchart illustrating an operation process of the door replaceable gate valve system 2100 of FIG. 36.
도 46에 도시된 바와 같이, 본 발명의 도어 교체 작업은,“Seal plate(도어) 교환이 필요한가?”라는 작업자 또는 제어부의 판단에 의해 이루어질 수 있는 것으로서, 예컨대, 도어의 사용 시간을 확인하거나, 챔버 내부의 실링 상태를 확인하거나, 실링 부재의 상태를 측정하는 하중 센서나 비젼 등 각종 센서를 통해서 도어의 상태를 확인할 수 있다. As shown in FIG. 46, the door replacement operation of the present invention may be performed by the operator or the control unit, “Does the seal plate need to be replaced?”, For example, confirming the use time of the door, The state of the door can be confirmed through various sensors such as a load sensor or a vision measuring the state of the sealing member or measuring the state of the sealing member.
도 47은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2200)을 나타내는 단면도이다.47 is a cross-sectional view illustrating a door replaceable gate valve system 2200 according to some other embodiments of the present invention.
도 47에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2200)의 도어(20)는, 상기 밸브 하우징(10)에 일측에 형성된 제 1 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 1 도어(20-1) 및 상기 밸브 하우징(10)의 타측에 형성된 제 2 통로(10b)를 차단할 수 있는 제 2 도어(20-2)를 포함하는 T 모션 도어(23)일 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상은, L 모션은 물론이고, T 모션 등 다양한 형태의 게이트 밸브의 도어에 모두 적용될 수 있다.As shown in FIG. 47, the door 20 of the door replaceable gate valve system 2200 according to some other embodiments of the present invention may include a first passage 10a formed at one side of the valve housing 10. T motion door 23 including a first door 20-1 capable of blocking a second door and a second door 20-2 capable of blocking a second passage 10b formed at the other side of the valve housing 10. Can be. Therefore, the technical idea of the present invention can be applied to all the doors of various types of gate valves, such as the L motion and the T motion.
그러므로, 상술된 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.Therefore, according to the various embodiments of the present invention described above, it is possible to replace the entire door including the O-ring can greatly reduce the replacement cost and time, reducing the volume of the equipment to reduce the unit cost and vacuum pressure forming time and The cost can be reduced, for example, by simply lowering the movable platform, the door can be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, thereby simplifying the operation and operation of the equipment, thereby improving the durability and performance of the equipment.
도 48은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2300)의 도어(20)를 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 49는 도 48의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2300)을 나타내는 부품 조립 단면도이고, 도 50은 도 48의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2300)의 도어(20)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 51은 도 48의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어(20)를 나타내는 횡단면도이다.48 is an exploded perspective view of a part of the door 20 of the door replaceable gate valve system 2300 according to some other embodiments of the present invention, and FIG. 49 is a door replaceable gate valve system 2300 of FIG. 48. 50 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 2300 of FIG. 48, and FIG. 51 is a door of the door replaceable gate valve system of FIG. 20 is a cross sectional view showing the cross section shown in FIG.
도 48 내지 도 51에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2300)의 도어(20)는, 적어도 일측에 도어 지지대(DS)의 촉형 막대(AR)와 억지 물림으로 결합되는 적어도 하나의 삽입홀(ARH)이 형성되고, 상기 삽입홀(ARH)의 입구부에는 결합시 파티클의 비산을 방지할 수 있도록 오링(S3)이 설치될 수 있다.48 to 51, the door 20 of the door replaceable gate valve system 2300 according to some other embodiments of the present invention, the at least one side of the contact rod (DS) of the contact rod (DS) At least one insertion hole ARH coupled to the AR and an interference bite is formed, and an inlet portion of the insertion hole ARH may be provided with an O-ring S3 to prevent particles from scattering when combined.
여기서, 도 48 내지 도 51에 도시된 상기 촉형 막대(AR)는 상기 도어 지지대(DS)로부터 수평 방향으로 좌측방 돌출되는 것으로서, 따라서, 상기 도어(20)는 수평 방향으로 분해가 가능한 것을 예시하였다.Here, the tactile rods AR illustrated in FIGS. 48 to 51 protrude leftward from the door support DS in the horizontal direction, and thus, the door 20 is disassembled in the horizontal direction. .
도 52는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2400)의 도어(20)를 나타내는 부품 분해 사시도이다.52 is an exploded perspective view of a part of the door 20 of the door replaceable gate valve system 2400 in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 52에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(2400)의 상기 촉형 막대(AR)는 상기 도어 지지대(DS)로부터 수직 방향으로 하방 돌출되는 것으로서, 따라서, 상기 도어(20)는 수직 방향으로 분해가 가능한 것을 예시하였다.As shown in FIG. 52, the tactile rod AR of the door replaceable gate valve system 2400 according to some other embodiments of the present invention protrudes downward from the door support DS in a vertical direction. Thus, the door 20 is illustrated that it can be disassembled in the vertical direction.
그러나, 이러한 상기 도어(20)의 분해 방법은 매우 다양한 것으로서, 도면에 국한되지 않는다.However, the method of disassembling the door 20 is very diverse and is not limited to the drawings.
도 53은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 54는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 단면도이고, 도 55는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 부품 분해 사시도이고, 도 56은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 밸브 하우징(10)을 나타내는 사시도이고, 도 57은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 밸브 하우징(10)을 나타내는 부품 분해 사시도이다.FIG. 53 is a perspective view illustrating a door replaceable gate valve system 3100 according to some embodiments of the present disclosure, FIG. 54 is a cross-sectional view of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53, and FIG. 55 is a view of FIG. 55. 53 is an exploded perspective view of parts of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53, and FIG. 56 is a perspective view illustrating the valve housing 10 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53, and FIG. 57 is a door of FIG. 53. An exploded perspective view of parts showing the valve housing 10 of the replaceable gate valve system 3100.
도 53 내지 도 57에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)은, 적어도 하나의 통로(10a)가 형성되는 밸브 하우징(10)와, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 도어(20)와, 상기 도어(20)을 착탈이 가능하게 지지하는 가동대(30)와, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 가동대(30)를 대기 위치에서 상기 통로(10a)와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치(40)와, 상기 가동대(30)와 상기 도어(20) 사이에 설치되고, 상기 도어(20)을 상기 제 1 위치에서 상기 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치(50) 및 상기 제 2 방향 이동 장치(50) 또는 상기 가동대(30)에 설치되고, 상기 제 1 방향 이동 장치(40)를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 1차 이동되며, 상기 제 2 방향 이동 장치를 이용하여 상기 제 3 위치에서 제 4 위치까지 상기 제 2 방향으로 2차 이동되어 상기 밸브 하우징(10)의 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있는 격리 부재(60)를 포함할 수 있다.53 to 57, the door replaceable gate valve system 3100 according to some embodiments of the present invention may include a valve housing 10 in which at least one passage 10a is formed, and the passage. The door 20 in which the first sealing member S1 is installed to block 10a, the movable table 30 supporting the door 20 in a detachable manner, and the valve housing 10 A first direction moving device 40 capable of moving the movable table 30 in a first direction from a standby position to a first position opposite the passage 10a, the movable table 30 and the door 20 And a second direction moving device 50 and the second which move the door 20 in the second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage 10a. Installed on the direction moving device 50 or the movable table 30, and using the first direction moving device 40 The door replacement area of the valve housing 10 is first moved from a standby position to a third position, and secondly moved in the second direction from the third position to the fourth position by using the second direction moving device. It may include an isolation member 60 capable of isolating (A).
또한, 도 53 내지 도 57에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10)의 측면에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 착탈식 덮개(C)가 설치될 수 있다.53 to 57, a door replacement opening H is formed at a side surface of the valve housing 10 corresponding to the door replacement area A, and the door replacement opening H is formed. Removable cover (C) may be installed.
여기서, 이러한 상기 착탈식 덮개(C)는 고정 나사에 의해 상기 밸브 하우징(10)의 측면에 착탈 가능하게 고정될 수 있는 것으로서, 상기 착탈식 덮개(C)는 일측에 대기압 형성용 밸브(V5)가 형성되고, 타측에 도 72의 진공압 형성용 진공관(VP)이 설치될 수 있다.Here, the removable cover (C) is to be detachably fixed to the side of the valve housing 10 by a fixing screw, the removable cover (C) is formed at one side of the atmospheric pressure forming valve (V5) On the other side, a vacuum pressure forming vacuum tube VP of FIG. 72 may be installed.
따라서, 도어 교체시, 고정 나사를 풀러서 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 착탈식 덮개(C)를 완전히 분리할 수 있다. 물론, 상기 착탈식 덮개(C)를 분리하기 전에 상기 대기압 형성용 밸브(V5)를 열어서 상기 도어 교체 영역(A)에 대기압이 형성되게 해야 하고, 도어 교체 이후에는 상기 착탈식 덮개(C)를 재조립한 다음, 상기 진공압 형성용 진공관(VP)을 이용하여 상기 도어 교체 영역(A)에 진공압을 형성할 수 있다.Therefore, when replacing the door, it is possible to completely remove the removable cover (C) from the valve housing 10 by loosening the set screw. Of course, before removing the removable cover C, the atmospheric pressure forming valve V5 must be opened to allow atmospheric pressure to be formed in the door replacement area A, and after the door replacement, the removable cover C is reassembled. Next, a vacuum pressure may be formed in the door replacement area A by using the vacuum pressure forming vacuum tube VP.
도 58은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 도어(20)를 나타내는 사시도이고, 도 59는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 도어(20)의 체결 상태를 나타내는 단면 사시도이다.FIG. 58 is a perspective view of the door 20 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53, and FIG. 59 is a view illustrating the fastening state of the door 20 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53. Sectional perspective view.
도 58 및 도 59에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 제 2 방향 이동 장치(50) 또는 상기 격리 부재(60)에 설치된 레일 부재를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어(21)일 수 있다.58 and 59, the door 20 is a slide replaceable door that can be detachably slid along a rail member installed in the second direction moving device 50 or the isolation member 60. 21).
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 도어(20)는, 역압에 의한 휨을 방지할 수 있도록 후면 중간부에 적어도 하나(도면에서는 2개)의 리브부(RB)가 형성되고, 후면 상하단부에 L자 형태로 절곡된 가이드부(G)가 형성될 수 있다.More specifically, for example, the door 20 is formed with at least one rib portion RB in the middle of the rear portion so as to prevent the bending due to the back pressure, two L in the upper and lower ends, Guide portion (G) bent in the shape may be formed.
따라서, 상기 2개의 리브부(RB)와 2개의 가이드부(G)가 상기 도어(20)의 강도를 증대시킬 수 있고, 상기 가이드부(G)가 상기 가이드부(G)와 대응되는 상기 레일 부재를 따라 슬라이딩하면서 상기 격리 부재(60)와 견고하게 착탈 결합될 수 있다.Accordingly, the two rib portions RB and the two guide portions G may increase the strength of the door 20, and the guide portions G correspond to the guide portions G. While sliding along the member, it can be firmly attached to the isolation member 60.
도 60은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 마찰 방지 부재(62)를 나타내는 사시도이고, 도 61은 도 60의 마찰 방지 부재(62)를 나타내는 사시도이고, 도 62는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 격리 플레이트(61)를 나타내는 사시도이다.FIG. 60 is a perspective view of the anti-friction member 62 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53, FIG. 61 is a perspective view of the anti-friction member 62 of FIG. 60, and FIG. 62 is of FIG. 53. A perspective view illustrating the isolation plate 61 of the door replaceable gate valve system 3100.
도 53 내지 도 62에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에 링 형상으로 수평 돌출되는 돌출벽부의 측면과 대응되도록 형성되는 격리 플레이트(61)를 포함하는 것으로서, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역(A)만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부의 접촉면에 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.53 to 62, the isolation member 60 includes an isolation plate 61 formed to correspond to the side surface of the protruding wall portion horizontally protruding in a ring shape in the valve housing 10. As such, the second sealing member S2 may be installed on the contact surface of the protruding wall so as to release the vacuum only in the door replacement area A while maintaining the overall vacuum of the valve housing 10.
도 60 내지 도 62에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)의 상기 격리 플레이트(61)와 상기 도어(20) 사이에 수지 재질의 마찰 방지 부재(62)가 설치될 수 있다.60 to 62, a friction preventing member 62 made of a resin material may be installed between the isolation plate 61 and the door 20 of the isolation member 60.
이러한, 상기 마찰 방지 부재(62)는 상기 격리 플레이트(61)와 상기 도어(20)의 마찰력을 최소화할 수 있도록 충격 완충 및 내마모성이 우수한 피크(PEEK; Polyetheretherketone)나 테프론 등의 엔지니어링 플라스틱 재질로 이루어질 수 있다.The anti-friction member 62 is made of an engineering plastic material such as PEEK (polyetheretherketone) or Teflon having excellent impact buffer and abrasion resistance so as to minimize friction between the isolation plate 61 and the door 20. Can be.
또한, 예컨대, 도 62에 도시된 바와 같이, 상기 격리 플레이트(61)는 경도를 증대시키고, 이물질 발생을 방지할 수 있도록 표면에 하드 아노다이징 코팅층이 형성될 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 62, the isolation plate 61 may have a hard anodizing coating layer formed on a surface thereof to increase hardness and prevent generation of foreign matter.
도 63은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 개구(H)의 개방 상태를 나타내는 측면도이고, 도 64는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 가이드 핀 부재(80)의 오픈 상태를 나타내는 측면도이고, 도 65는 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 가이드 핀 부재(80)의 클로우즈 상태를 나타내는 측면도이다.FIG. 63 is a side view illustrating an open state of the opening H of the replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53, and FIG. 64 illustrates a guide pin member 80 of the replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53. FIG. 65 is a side view illustrating a closed state of the guide pin member 80 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53.
도 63 내지 도 65에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)은, 제 1 각도로 축회전시 상기 격리 플레이트(61)에 상기 도어(20)을 가압 고정시키고, 제 2 각도로 축회전시 상기 격리 플레이트(61)로부터 상기 도어(20)을 슬라이딩이 가능한 정도로 자유롭게 할 수 있도록 상기 격리 플레이트(61) 또는 상기 도어(20)에 축회전이 가능하게 설치되고, 적어도 일부에 노치부(N)가 형성되어 편심된 형상으로 형성되는 가이드 핀 부재(80)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 63 to 65, the door replaceable gate valve system 3100 according to some embodiments of the present invention has the door 20 in the isolation plate 61 when the shaft is rotated at a first angle. Pressurized and fixed to the shaft, the shaft rotation is possible to the isolation plate 61 or the door 20 so as to freely slide the door 20 from the isolation plate 61 when the shaft is rotated at a second angle. It may be further provided, and may further include a guide pin member 80 is formed in an eccentric shape is formed in the notch portion (N) at least in part.
따라서, 도 63에 도시된 바와 같이, 상기 착탈식 덮개(C)를 제거한 다음, 노출된 상기 개구(H)를 통해서 상기 가이드 핀 부재(80)의 드라이버홈(DH)에 드라이버를 삽입하여 상기 가이드 핀 부재(80)를 축회전시킬 수 있는 것으로서, 도 64에 도시된 바와 같이, 제 2 각도로 축회전시 상기 가이드 핀 부재(80)의 상기 노치부(N)가 상기 도어(20)와 대향되어 상기 격리 플레이트(61)로부터 상기 도어(20)을 슬라이딩이 가능한 정도로 자유롭게 할 수 있고, 도 65에 도시된 바와 같이, 제 1 각도로 축회전시 상기 노치부가 아닌 둥근 부분이 상기 격리 플레이트(61)에 상기 도어(20)을 가압 고정시킬 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 63, the removable cover C is removed, and then the guide pin is inserted into the driver groove DH of the guide pin member 80 through the exposed opening H. As shown in FIG. 64, the notch portion N of the guide pin member 80 is opposed to the door 20 when the member 80 is axially rotated. The door 20 may be freely slidably moved from the isolation plate 61, and as shown in FIG. 65, a rounded portion, not the notch portion, when the shaft is rotated at a first angle is formed in the isolation plate 61. The door 20 can be fixed to the pressure.
그러므로, 상기 도어(20)의 상기 격리 플레이트(61)에 선택적으로 고정시킴으로써 상기 도어(20)의 위치 이탈이나 슬라이딩 오작동을 사전에 방지할 수 있다.Therefore, by selectively fixing to the isolation plate 61 of the door 20, the positional deviation or sliding malfunction of the door 20 can be prevented in advance.
도 66은 도 53의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)의 핀타입 지그(Z1)를 나타내는 사시도이다.FIG. 66 is a perspective view illustrating the pin type jig Z1 of the door replaceable gate valve system 3100 of FIG. 53.
도 66에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3100)은, 상기 착탈식 덮개(C)를 제거한 다음, 사용자가 손으로 잡고 상기 도어(20)을 외부로 인출할 수 있도록 손잡이(Z1a)와 상기 손잡이(Z1a)로부터 돌출된 결속핀(Z1b)으로 이루어지는 핀타입 지그(Z1)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 66, in the door replaceable gate valve system 3100 according to some embodiments of the present disclosure, the removable cover C may be removed, and then the user may open the door 20 by a user. It may further include a pin-type jig (Z1) consisting of a handle (Z1a) and the binding pin (Z1b) protruding from the handle (Z1a) to be drawn out.
따라서, 사용자는 상기 핀타입 지그(Z1)를 이용하여 상기 도어(20)를 외부로 쉽게 인출시킬 수 있다. 이러한, 상기 핀타입 지그(Z1)는 상기 도어(20)의 외부 인출시 상기 도어(20)가 상기 밸브 하우징(10)에 충돌하지 않도록 주의할 필요가 있다. Therefore, the user can easily withdraw the door 20 to the outside using the pin type jig (Z1). The pin type jig Z1 needs to be careful not to collide with the valve housing 10 when the door 20 is pulled out.
도 67은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3200)의 싱글 타입 지그(SZ)의 체결형 지그(Z2)와 챔버형 지그(Z3)의 사용 상태를 나타내는 사시도이고, 도 68은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)의 멀티 타입 지그(DZ)의 사용 상태를 나타내는 사시도이고, 도 69는 도 67의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3200)의 챔버형 지그(Z3)를 나타내는 확대 사시도이다.FIG. 67 is a perspective view illustrating a use state of the fastening jig Z2 and the chamber jig Z3 of the single type jig SZ of the door replaceable gate valve system 3200 according to some other exemplary embodiments. 68 is a perspective view illustrating a state of use of the multi-type jig DZ of the door replaceable gate valve system 3300 according to some other embodiments of the present disclosure, and FIG. 69 is a door replaceable gate valve of FIG. 67. An enlarged perspective view showing the chamber-shaped jig Z3 of the system 3200.
도 67 및 도 69에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3200)은, 상기 착탈식 덮개(C)를 제거한 다음, 상기 착탈식 덮개(C)의 위치에 임시 고정될 수 있고, 일측에 슬라이딩 체결부(Z2a)가 형성되는 체결형 지그(Z2) 및 상기 체결형 지그(Z2)의 상기 슬라이딩 체결부(Z2a)와 슬라이딩 체결되고, 내부에 상기 도어(20)과 결합될 수 있는 가동부(K)가 설치되며, 외부로 상기 가동부(K)와 연결되는 푸쉬바(PB)가 설치되고, 상기 푸쉬바(PB)에 의해 외부로 인출된 상기 도어(20)을 전체적으로 둘러싸서 보호할 수 있는 챔버형 지그(Z3)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 67 and 69, the door replaceable gate valve system 3200 according to some other embodiments of the present invention may be configured to remove the removable cover C, and then the position of the removable cover C. Can be temporarily fixed to, the sliding jig (Z2) is formed on one side sliding fastening (Z2a) and the sliding fastening with the sliding fastening portion (Z2a) of the fastening jig (Z2), the door ( The movable part K which can be combined with the 20 is installed, and a push bar PB connected to the movable part K is installed outside, and the door 20 drawn out to the outside by the push bar PB. It may further include a chamber-shaped jig (Z3) that can be surrounded by a total protection.
따라서, 도어 교체시, 상기 착탈식 덮개(C)를 제거한 다음, 상기 체결형 지그(Z2)를 상기 착탈식 덮개(C)의 위치에 임시 고정하고, 상기 체결형 지그(Z2)의 상기 슬라이딩 체결부(Z2a)와 상기 챔버형 지그(Z3)를 슬라이딩 체결한 다음, 상기 푸쉬바(PB)를 이용하여 상기 도어(20)를 노출시키지 않고 안전하게 외부로 인출할 수 있다.Therefore, when the door is replaced, the removable cover C is removed, and then the fastening jig Z2 is temporarily fixed to the position of the removable cover C, and the sliding fastening part of the fastening jig Z2 ( Z2a) and the chamber-type jig (Z3) by sliding fastening, and then can be safely drawn out without using the push bar (PB) without exposing the door (20).
여기서, 도 67 및 도 69에 도시된 바와 같이, 상기 챔버형 지그(Z3)는, 적어도 인출용 싱글 지그(SZ), 투입형 싱글 지그 및 상기 인출형 싱글 지그(SZ)와 상기 투입형 싱글 지그가 결합된 형태인 듀얼 지그(DZ) 중 어느 하나 이상이 적용될 수 있는 것으로서, 매우 다양한 형태와 종류의 지그가 적용될 수 있다.67 and 69, the chamber-type jig Z3 includes at least a single jig for pulling out (SZ), an input single jig, and the pull-out single jig (SZ) and the input single jig. As any one or more of the dual jig (DZ), which is a combined type, may be applied, a wide variety of types and types of jig may be applied.
도 70은 도 68의 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)의 도어 감지 센서(S)를 나타내는 사시도이고, 도 71은 도 70의 도어 감지 센서(S)를 확대하여 나타내는 확대도이다.FIG. 70 is a perspective view illustrating the door detection sensor S of the door replaceable gate valve system 3300 of FIG. 68, and FIG. 71 is an enlarged view illustrating the door detection sensor S of FIG.
도 70에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)상기 도어(20)의 상기 통로(10a) 차단시, 상기 도어(20)의 위치를 감지하는 도어 감지 센서(S)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 70, the door replaceable gate valve system 3300 according to some other embodiments of the present disclosure may change the position of the door 20 when the passage 10a of the door 20 is blocked. It may further include a door detection sensor (S) for detecting.
따라서, 상기 도어(20)의 정상적인 위치 또는 비정상적인 위치를 감지함으로써 상기 도어(20)가 역압이나 도어 교체 등에 의해 오동작될 때, 이를 감지하여 후속 조치를 가능하게 할 수 있다.Therefore, by detecting the normal position or abnormal position of the door 20, when the door 20 is malfunctioned by the back pressure or door replacement, it can be detected to enable subsequent measures.
도 72는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)의 도어 교체 과정을 나타내는 단계도들이다.72 is a flowchart illustrating a door replacement process of the door replaceable gate valve system 3300 according to some exemplary embodiments of the present disclosure.
도 53 내지 도 72에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)의 도어 교체 과정을 설명하면, 먼저, 1번과 같이, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 착탈식 덮개(C)가 체결된 상태에서, 2번과 같이, 상기 밸브 하우징(10)에 설치된 착탈식 덮개(C)의 대기압 형성용 밸브(V5)를 열어서 상기 밸브 하우징(10)의 도어 교체 영역(A)에 대기압을 형성하고, 3번에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 개구(H)를 개방할 수 있도록 상기 착탈식 덮개(C)를 분리할 수 있다.53 to 72, a door replacement process of the door replaceable gate valve system 3300 according to some embodiments of the present invention will be described. First, as shown in FIG. 1, the valve housing 10 is described. In the state that the removable cover (C) is fastened to the, as in No. 2, opening the atmospheric pressure forming valve (V5) of the removable cover (C) installed in the valve housing 10 to replace the door of the valve housing 10 The removable cover C may be detached to create an atmospheric pressure in the area A and to open the opening H of the valve housing 10 as shown in FIG. 3.
이어서, 4번과 같이, 제거된 상기 착탈식 덮개(C)의 위치에 체결형 지그(Z2)를 임시 체결할 수 있다. 이 때, 상기 착탈식 덮개(C)의 고정 나사의 규격과 상기 체결형 지그(Z2)의 고정 나사 규격은 서로 동일할 수 있다.Subsequently, as in No. 4, the fastening jig Z2 may be temporarily fastened to the position of the removable cover C removed. At this time, the size of the fixing screw of the removable cover (C) and the fixing screw specifications of the fastening jig (Z2) may be the same.
이어서, 5번과 같이, 상기 체결형 지그(Z2)의 슬라이딩 체결부(Z2a)에 챔버형 지그(Z3)를 슬라이딩 체결하고, 6번과 같이, 상기 챔버형 지그(Z3)의 푸쉬바(PB)를 이용하여 상기 푸쉬바(PB)를 잡아 당김으로써 7번과 같이, 상기 챔버형 지그(Z3) 내부로 오래된 도어(20)을 상기 밸브 하우징(10)의 외부로 인출시킬 수 있다.Subsequently, as in No. 5, the chamber type jig Z3 is slid to the sliding fastening portion Z2a of the fastening type jig Z2, and as in No. 6, the push bar PB of the chamber type jig Z3 is pushed. By pulling the push bar (PB) using the), the old door 20 into the chamber-shaped jig (Z3) can be drawn out of the valve housing 10, as in step 7.
이어서, 도시하지 않았지만, 상기 체결형 지그(Z2)로부터 오래된 도어(20)을 수용한 상기 챔버형 지그(Z3)를 분리하고, 새로운 도어(20)이 수용된 다른 챔버형 지그(Z3)를 상기 체결형 지그(Z2)에 슬라이딩 체결한 다음, 역순으로 6번과 같이, 상기 챔버형 지그(Z3)의 푸쉬바(PB)를 이용하여 상기 밸브 하우징(10)의 내부로 새로운 도어(20)을 투입시킨 후, 5번 및 4번과 같이, 상기 밸브 하우징(10)부터 상기 챔버형 지그(Z3)와 상기 체결형 지그(Z2)를 모두 제거하고, 3번과 같이, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 착탈식 덮개(C)를 다시 고정시켜서 상기 착탈식 덮개(C)에 설치된 진공압 형성용 진공관(VP)을 이용하여 상기 밸브 하우징(10)의 도어 교체 영역(A)에 진공압을 형성할 수 있다.Next, although not shown, the chamber-type jig Z3 accommodating the old door 20 is separated from the fastening jig Z2, and the other chamber-type jig Z3 accommodating the new door 20 is fastened. Sliding fastening to the mold jig (Z2), and then, in the reverse order as shown in 6, the new door 20 is introduced into the valve housing 10 by using the push bar (PB) of the chamber jig (Z3). Then, as in Nos. 5 and 4, the chamber housing jig Z3 and the fastening jig Z2 are removed from the valve housing 10, and as in No. 3, the valve housing 10 is removed. By fixing the removable cover C again, a vacuum pressure may be formed in the door replacement area A of the valve housing 10 by using a vacuum pressure forming vacuum tube VP installed in the removable cover C. .
도 73은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.73 is a flowchart illustrating a door replacing method of the door replaceable gate valve system 3300 according to some embodiments of the present disclosure.
도 72 및 도 73에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 교체형 게이트 밸브 시스템(3300)의 도어 교체 방법은, 밸브 하우징(10)에 설치된 착탈식 덮개(C)의 대기압 형성용 밸브(V5)를 열어서 상기 밸브 하우징(10)의 도어 교체 영역(A)에 대기압을 형성하는 단계(S110)와, 상기 밸브 하우징(10)의 개구(H)를 개방할 수 있도록 상기 착탈식 덮개(C)를 분리하는 단계(S111)와, 제거된 상기 착탈식 덮개(C)의 위치에 체결형 지그(Z2)를 임시 체결하는 단계(S112)와, 상기 체결형 지그(Z2)의 슬라이딩 체결부(Z2a)에 챔버형 지그(Z3)를 슬라이딩 체결하는 단계(S113)와, 상기 챔버형 지그(Z3)의 푸쉬바(PB)를 이용하여 상기 챔버형 지그(Z3) 내부로 오래된 도어(20)을 상기 밸브 하우징(10)의 외부로 인출시키는 단계(S114)와, 상기 체결형 지그(Z2)로부터 오래된 도어(20)을 수용한 상기 챔버형 지그(Z3)를 분리하는 단계(S115)와, 새로운 도어(20)이 수용된 다른 챔버형 지그(Z3)를 상기 체결형 지그(Z2)에 슬라이딩 체결하는 단계(S116)와, 상기 챔버형 지그(Z3)의 푸쉬바(PB)를 이용하여 상기 밸브 하우징(10)의 내부로 새로운 도어(20)을 투입시키는 단계(S117)와, 상기 밸브 하우징(10)부터 상기 챔버형 지그(Z3)와 상기 체결형 지그(Z2)를 모두 제거하는 단계(S118)와, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 착탈식 덮개(C)를 다시 고정시키는 단계(S119) 및 상기 착탈식 덮개(C)에 설치된 진공압 형성용 진공관(VP)을 이용하여 상기 밸브 하우징(10)의 도어 교체 영역(A)에 진공압을 형성하는 단계(S120)를 포함할 수 있다.72 and 73, the door replacement method of the door replaceable gate valve system 3300 according to some embodiments of the present invention, forming the atmospheric pressure of the removable cover (C) installed in the valve housing 10 Opening the valve (V5) to form an atmospheric pressure in the door replacement area (A) of the valve housing 10 (S110), and the removable cover to open the opening (H) of the valve housing 10 (C) separating the step (S111), the step of temporarily tightening the fastening jig (Z2) in the position of the removable cover (C) removed (S112), and the sliding fastening portion of the fastening jig (Z2) Sliding and fastening the chamber-type jig (Z3) to (Z2a) (S113) and the old door 20 into the chamber-type jig (Z3) by using the push bar (PB) of the chamber-type jig (Z3). Drawing out the valve housing 10 to the outside of the valve housing 10 and receiving the old door 20 from the fastening jig Z2. Separating the chamber-type jig (Z3) (S115), and sliding the other chamber-type jig (Z3) housed with the new door 20 to the fastening jig (Z2) (S116), and Injecting a new door 20 into the valve housing 10 by using the push bar (PB) of the chamber jig (Z3) (S117), and from the valve housing 10 to the chamber jig ( Removing the Z3) and the fastening jig (Z2) (S118), the step of fixing the removable cover (C) to the valve housing 10 again (S119) and installed in the removable cover (C) It may include the step (S120) of forming a vacuum pressure in the door replacement area (A) of the valve housing 10 by using a vacuum pressure forming vacuum pipe (VP).
그러므로, 프로세스 챔버나 트랜스퍼 챔버의 전체적인 진공압을 깨뜨리지 않고도 게이트 밸브의 오래된 도어를 새로운 도어로 쉽게 교체함으로써 장비의 중단 시간을 수 일에서 수 시간으로 크게 줄여서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.Therefore, by easily replacing the old door of the gate valve with a new door without breaking the overall vacuum pressure of the process chamber or the transfer chamber, the productivity can be greatly improved by greatly reducing the downtime of the equipment from days to hours.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4100)(4200)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the gate valve system 4100 and 4200 according to various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 74는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 75는 도 74의 게이트 밸브 시스템(4100)을 나타내는 단면도이다.74 is an external perspective view illustrating the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present disclosure, and FIG. 75 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system 4100 of FIG. 74.
먼저, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 밸브체(20)와, 이동 장치(30)와, 덮개(40) 및 열교환 장치(50)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIGS. 74 and 75, the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present invention includes a valve housing 10, a valve body 20, and a moving device 30. And a cover 40 and a heat exchanger 50.
예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 일측이 각종 반도체 또는 디스플레이 공정이 수행될 수 있는 프로세스 모듈(PM), 즉 공정 챔버와 연결되고, 타측이 트랜스퍼나 이송 로봇 등이 설치되는 트랜스퍼 모듈(TM)과 연결될 수 있도록 적어도 하나의 통로(10a)가 형성될 수 있다.For example, the valve housing 10 is a hollow box-shaped structure as a whole, and more specifically, for example, one side is connected to a process module PM, that is, a process chamber in which various semiconductor or display processes can be performed. At least one passage 10a may be formed so that the other side thereof may be connected to the transfer module TM on which the transfer or the transfer robot is installed.
따라서, 도 75에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 상기 프로세스 모듈(PM)과 상기 트랜스퍼 모듈(TM) 사이에 설치되는 것으로서, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 일측 또는 양측에 상기 통로(10a)가 형성될 수 있다.Thus, as shown in FIG. 75, the valve housing 10 is installed between the process module PM and the transfer module TM, and thus is provided with advanced devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, and the like. The passage 10a may be formed at one side or both sides to allow various objects such as a semiconductor device, a display device, and other medical devices to enter and exit.
그러나, 상기 밸브 하우징(10)은 반드시 상기 프로세스 모듈(PM)과 상기 트랜스퍼 모듈(TM) 사이에 설치되는 것에 국한되지 않고, 예컨대, 로딩 챔버나 언로딩 챔버나 버퍼 챔버 등 각종 모듈 및 챔버들 사이에 설치될 수 있다.However, the valve housing 10 is not limited to being installed between the process module PM and the transfer module TM, and may be, for example, between various modules and chambers such as a loading chamber, an unloading chamber or a buffer chamber. Can be installed on
또한, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 상술된 상기 밸브체(20)와, 상기 이동 장치(30)와, 상기 덮개(40) 및 상기 열교환 장치(50)를 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, the valve housing 10 can support the valve body 20, the moving device 30, the lid 40, and the heat exchanger 50 described above, and the various chambers. It may be a structure having sufficient strength and durability to be connected to the. However, the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
또한, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은 내부에 상기 통로(10a)를 포함하여 대부분의 내부 공간을 차지하는 진공 영역(A)과 실링 부재의 교체를 위한 교체 영역(B)으로 구획될 수 있다.Also, for example, the valve housing 10 may be divided into a vacuum region A, which occupies most of the internal space including the passage 10a, and a replacement region B for replacing the sealing member.
여기서, 이러한 상기 진공 영역(A)은 상기 밸브체(20)의 이동 공간을 고려하여 상대적으로 부피가 넓게 구획될 수 있고, 상기 교체 영역(B)은 진공압에서 대기압으로 전환되거나 대기압에서 진공압으로 전환될 때, 압력 변환 시간을 줄이기 위해서 최소한의 부피로 상대적으로 좁게 구획될 수 있다.Here, the vacuum region A may be partitioned relatively large in consideration of the moving space of the valve body 20, and the replacement region B may be converted from vacuum pressure to atmospheric pressure or vacuum pressure at atmospheric pressure. When converted to, it can be partitioned relatively narrowly with a minimum volume to reduce pressure conversion time.
이러한 상기 진공 영역(A)과 상기 교체 영역(B)의 위치나 형상이나 부피 등은 적용되는 상기 프로세스 모듈(PM)이나 상기 트랜스퍼 모듈(TM)의 규격이나 공정 환경 등에 따라 다양한 형상 및 형태로 형성될 수 있다.The position, shape, or volume of the vacuum area A and the replacement area B may be formed in various shapes and shapes according to the specification, process environment, etc. of the process module PM or the transfer module TM to be applied. Can be.
한편, 예컨대, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)는, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 것으로서, 상기 통로(10a) 및 상기 개구(Ba)와 대응되는 형상으로 형성되고, 상기 제 1 실링 부재(S1)가 착탈 가능하게 삽입될 수 있도록 착탈홈(G)이 형성되는 도어(21)를 포함할 수 있다.74 and 75, for example, as the valve body 20 is provided with a first sealing member S1 to block the passage 10a, the passage 10a and It may include a door 21 is formed in a shape corresponding to the opening (Ba), the detachable groove (G) is formed so that the first sealing member (S1) can be detachably inserted.
여기서, 상기 제 1 실링 부재(S1)는 기밀을 위해서 링 형상으로 형성되는 오링이나 가스킷 등 각종 밀봉 부재가 적용될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 제 1 실링 부재(S1)는 이에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형태의 실링 부재가 모두 적용될 수 있다.Here, the first sealing member S1 may have various sealing members such as an O-ring or a gasket formed in a ring shape for airtightness. However, the first sealing member S1 is not necessarily limited thereto, and a wide variety of sealing members may be applied.
또한, 여기서, 상기 도어(21)는 고온의 상기 프로세스 모듈(PM)과 열적인 접촉 면적을 최소화하기 위해서, 상기 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 실링 부재 설치면과 후술될 상기 제 2 실링 부재(S2)와 접촉될 수 있는 접촉면이 단차를 형성하는 것이 바람직하다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 상기 도어(21)는 상기 실링 부재 설치면과 상기 접촉면이 평평한 형태로 이루어지는 등 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.In addition, the door 21 is a sealing member mounting surface on which the first sealing member S1 is installed and the second sealing to be described later, in order to minimize thermal contact area with the high temperature process module PM. It is preferable that the contact surface that can be in contact with the member S2 forms a step. However, the present invention is not limited thereto, and the door 21 may be formed in a wide variety of shapes such as the sealing member installation surface and the contact surface having a flat shape.
이외에도, 상기 도어(21)는 도면에 국한되지 않고, 다양한 개수로 설치되거나 각종 실링 부재나 각종 관절 또는 힌지 구조물 등이 추가로 설치되는 등 매우 다양하게 적용될 수 있다.In addition, the door 21 is not limited to the drawings, and may be applied in various ways, such as being installed in various numbers or additionally installing various sealing members, various joints, hinge structures, and the like.
따라서, 상기 밸브체(20)가 상기 교체 영역(B)에 위치되는 경우, 상기 덮개(40)를 개방한 다음, 이러한 상기 도어(21)의 상기 착탈홈(G)으로부터 오래된 상기 제 1 실링 부재(S1)를 분리할 수 있다.Accordingly, when the valve body 20 is located in the replacement area B, the cover 40 is opened, and then the first sealing member that is old from the detachable groove G of the door 21 is opened. (S1) can be separated.
한편, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 상기 이동 장치(30)는, 상기 밸브체(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상기 이동 장치(30)는, 상기 밸브체(20)와 연결되는 가동대(M)를 대기 위치에서 상기 통로(10a)와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향(상하방향)으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치(31) 및 상기 가동대(M)와 상기 밸브체(20) 사이에 설치되고, 상기 밸브체(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향(전후방향)으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치(32)를 포함할 수 있다. 여기서, 이러한 상기 이동 장치(30)들은 실린더나 모터나 동력 전달 장치나 기어 박스 등 매우 다양한 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.74 and 75, the moving device 30 is a device capable of moving the valve body 20 in the direction of the passage 10a. First direction moving device 31 capable of moving the movable table M connected to the valve body 20 in a first direction (up and down direction) from a standby position to a first position facing the passage 10a. And a second direction (front and rear direction) provided between the movable table M and the valve body 20 to the second position where the valve body 20 can be blocked from the first position in the valve body 20. It may include a second direction movement device 32 that can move. Here, the mobile device 30 may be applied to all kinds of actuators, such as a cylinder, a motor, a power transmission device, or a gear box.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 제 1 방향 이동 장치(31)는 리프팅 실린더일 수 있고, 상기 제 2 방향 이동 장치(32)는 실링 실린더인 것을 예시하였으나, 이외에도 다양한 방향의 다양한 형태와 종류를 갖는 이동 장치들이 모두 적용될 수 있다. More specifically, for example, the first direction movement device 31 may be a lifting cylinder, and the second direction movement device 32 may be a sealing cylinder, but in addition to having various shapes and types in various directions. All mobile devices can be applied.
따라서, 상기 도어(21)는 상기 밸브 하우징(10)의 내부에서 상기 제 1 방향 이동 장치(31)에 의해서 상기 대기 위치에서 상기 제 1 위치까지 승하강될 수 있고, 이어서, 상기 제 2 방향 이동 장치(32)에 의해서 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치까지 전후진되어 상기 통로(10a)를 선택적으로 개폐시킬 수 있다.Thus, the door 21 can be raised and lowered from the standby position to the first position by the first direction movement device 31 inside the valve housing 10, and then the second direction movement. The device 32 can be advanced back and forth from the first position to the second position to selectively open and close the passage 10a.
도 83은 도 74의 게이트 밸브 시스템(4100)의 회동형 덮개(41)의 일례를 나타내는 사시도이다.FIG. 83 is a perspective view illustrating an example of the rotatable lid 41 of the gate valve system 4100 of FIG. 74.
도 74, 도 75 및 도 83에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(40)는, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 영역(A)의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)의 교체 영역(B)의 개구(Ba)에 설치될 수 있다.74, 75, and 83, the cover 40 replaces the first sealing member S1 while maintaining the vacuum state of the vacuum region A of the valve housing 10. It can be installed in the opening (Ba) of the replacement area (B) of the valve housing 10 so that.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 덮개(40)는, 상기 밸브 하우징(10)의 힌지축(H)을 기준으로 회동되는 회동형 덮개(41)일 수 있다. 여기서, 도시하지 않았지만, 상기 회동형 덮개(41)에는 각종 걸고리나, 나사나, 볼트나, 너트 등 각종 고정구에 의해 상기 밸브 하우징(10)에 결착 상태가 유지되거나 해제될 수 있다.More specifically, for example, the cover 40 may be a rotatable cover 41 that is rotated based on the hinge shaft H of the valve housing 10. Although not shown, the rotational cover 41 may be held or released from the valve housing 10 by various hooks, screws, bolts, nuts, and other fasteners.
따라서, 도 74, 도 75 및 도 83에 도시된 바와 같이, 상기 회동형 덮개(41)는 상기 밸브 하우징(10)의 상기 개구(Ba)를 덮어서 밀폐시키거나, 또는, 상기 제 1 실링 부재(S1)를 외부로 노출시켜서 교체할 수 있도록 상기 힌지축(H)을 기준으로 회동되어 상기 개구(Ba)를 개방시킬 수 있다.Thus, as shown in FIGS. 74, 75 and 83, the pivotal cover 41 covers and seals the opening Ba of the valve housing 10, or the first sealing member ( The opening Ba may be opened by being rotated based on the hinge shaft H so that S1) may be exposed to the outside for replacement.
한편, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 상기 열교환 장치(50)는, 상기 밸브체(20) 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개(40)에 설치되는 것으로서, 더욱 구체적으로는, 예컨대, 발열층을 갖는 면상 발열체나, 발열선으로 이루어지는 열선 코일 등 다양한 형태로 형성될 수 있고, 발열 원리를 따라 저항 가열식, 전열식, 광 가열식, 유도 가열식, 자기 가열식 등의 각종 원리를 이용한 열교환 장치가 모두 적용될 수 있다.74 and 75, the heat exchanger 50 is installed on the cover 40 to heat or cool the valve body 20 or the first sealing member S1. More specifically, for example, it may be formed in various forms, such as a planar heating element having a heating layer, a heating coil made of a heating wire, etc., and according to the heating principle, resistance heating, electric heating, light heating, induction heating, magnetic heating All of the heat exchanger using various principles, such as can be applied.
이러한, 상기 열교환 장치(50)는, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(40)의 밸브체 대향면, 즉 내측에 설치되어 상기 덮개(40)가 밀폐된 상태에서 근방에 위치한 상기 밸브체(20)를 가열할 수 있도록 상기 밸브체(20)와 대응되는 형상으로 형성되고, 온도 제어부(90)에 의해 제어될 수 있는 히터 또는 쿨링 장치일 수 있다.74 and 75, the heat exchange device 50 is installed on the valve body facing surface, that is, the inner side of the lid 40, and is located near the lid 40 in a closed state. It may be a heater or a cooling device which is formed in a shape corresponding to the valve body 20 so as to heat the valve body 20 and can be controlled by the temperature control unit 90.
따라서, 상기 온도 제어부(90)에 의해서 저온의 상기 밸브체(20)가 고온의 상기 프로세스 모듈(PM)에 적용될 수 있도록 미리 예열하거나 또는 고온의 상기 밸브체(20)를 교체가 용이한 온도로 냉각시킬 수 있다. Accordingly, the temperature control unit 90 preheats or replaces the high temperature valve body 20 to a temperature at which it is easy to replace the low temperature valve body 20 to be applied to the high temperature process module PM. Can be cooled.
그러므로, 상기 밸브체(20)와 대향될 수 있는 상기 덮개(40)의 내측면에 상기 열교환 장치(50)를 설치하여 상기 밸브체(20) 및 교체된 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)를 수분 내지 수시간 이내에 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 수시간 내지 수일까지 기다려야 했었던 종래의 장비들에 비해서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다.Therefore, the heat exchange device 50 is installed on the inner surface of the cover 40 which may be opposed to the valve body 20 so that the valve body 20 and the new first sealing member S1 replaced are replaced. Rapid heating or cooling in minutes to hours can greatly reduce equipment preparation time and costs compared to conventional equipment, which had to wait for hours to days.
한편, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4100)은, 상기 밸브체(20)에 의해 상기 교체 영역(B)이 밀폐될 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)의 상기 교체 영역(B)의 상기 개구(Ba)의 내측에 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.74 and 75, the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present invention may allow the replacement area B to be sealed by the valve body 20. The second sealing member S2 may be installed inside the opening Ba of the replacement area B of the valve housing 10.
그러므로, 상기 제 2 실링 부재(S1)를 상기 교체 영역(B)의 상기 개구(Ba) 부분에 설치하여 고온의 상기 프로세스 모듈(PM)로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있다.Therefore, by installing the second sealing member (S1) in the opening (Ba) portion of the replacement area (B) away from the high temperature process module (PM), it is possible to minimize thermal stress and thermal damage, This greatly increases component durability and replacement cycles.
한편, 도 74 및 도 75에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 상기 교체 영역(B)의 상기 개구(Ba)를 밀폐할 수 있도록 상기 덮개(40)의 내측 또는 상기 개구(Ba)의 외측에 제 3 실링 부재(S3)가 설치될 수 있다.74 and 75, an inner side of the cover 40 or the opening Ba may be closed to seal the opening Ba of the replacement area B of the valve housing 10. The third sealing member S3 may be installed on the outside of the third sealing member S3.
따라서, 상기 제 2 실링 부재(S2)와 상기 제 3 실링 부재(S3)를 이용하여 상기 교체 영역(B)의 일측과 타측을 각각 별도로 밀폐시킬 수 있다. Therefore, one side and the other side of the replacement area B may be separately sealed using the second sealing member S2 and the third sealing member S3.
여기서, 상기 교체 영역(B)은, 각각 밸브가 설치된 내부 진공 라인(71) 및 진공압 해제 라인(72)이 설치될 수 있다. 여기서, 상기 내부 진공 라인(71)을 대신하여 상기 밸브체(20)를 분리시킬 수 있기 때문에 상기 진공압 해체 라인(72) 만으로도 상기 교체 영역(B)을 진공압 상태에서 대기압 상태로 형성할 수 있다.Here, the replacement area (B) may be provided with an internal vacuum line 71 and a vacuum pressure release line 72 in which valves are installed, respectively. Here, since the valve body 20 can be separated in place of the internal vacuum line 71, the replacement area B can be formed from the vacuum state to the atmospheric state only by the vacuum release line 72. have.
그러므로, 상기 밸브체(20)가 상기 교체 영역(B)을 밀폐시키면, 상기 덮개(40)를 개방하여 노후된 상기 제 1 실링 부재(S1)를 외부로 분리하기 위해서, 상기 진공압 해제 라인(72)을 이용하여 상기 교체 영역(B)을 대기압으로 변환시킬 수 있고, 이어서, 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)가 교체되면, 상기 덮개(40)를 체결시킨 후, 상기 내부 진공 라인(71)을 이용하여 상기 교체 영역(B)을 다시 진공압으로 변환시켜서 상기 밸브체(20)가 상기 교체 영역(B)을 개방하여 통로 개폐 작업을 수행할 수 있다.Therefore, when the valve body 20 seals the replacement area B, the vacuum pressure release line 72 is opened in order to open the lid 40 to separate the aged first sealing member S1 to the outside. The replacement area B may be converted to atmospheric pressure by using Nm. Then, when the new first sealing member S1 is replaced, the cover 40 is fastened, and then the internal vacuum line 71 is closed. By converting the replacement area (B) to a vacuum pressure again using the valve body 20 can open the replacement area (B) to perform the opening and closing operation.
이외에도, 도시하지 않았지만, 상기 교체 영역(B)는 진공 펌프와 연결된 외부 진공 라인, 불활성 가스 공급원과 연결된 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급 라인 등 각종 라인과 밸브 및 추가적인 장치들이 부수적으로 설치될 수 있다.In addition, although not shown, the replacement area B may additionally be provided with various lines and valves and additional devices such as an external vacuum line connected to a vacuum pump, an inert gas supply line connected to an inert gas supply, a clean air supply line, and the like. .
아울러, 이러한 각각의 라인들은 밸브들을 제어하는 제어부(70)에 의해 제어될 수 있고, 이러한 제어부(70)는 상술된 상기 이동 장치(30)들을 제어하여 일련의 밸브 개폐 작업 및 실링 부재 교체 작업을 수행할 수 있다.In addition, each of these lines can be controlled by a control unit 70 for controlling the valves, the control unit 70 controls the moving device 30 described above to perform a series of valve opening and closing operations and sealing member replacement operation Can be done.
한편, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4100)은 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 제 1 실링 부재(S1) 또는 실링 플레이트(23)의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치(80)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present invention can identify the identification information of the first sealing member (S1) or the sealing plate 23 to allow operation only when matching the identification information. It may further comprise an identification device (80).
따라서, 상기 식별 장치(80)를 이용하여 상기 제 1 실링 부재(S1) 또는 상기 실링 플레이트(23)에 포함된 RF ID 등 각종 식별 정보를 확인하여 정품만 정상 작동하게 할 수 있다.Therefore, the identification device 80 may be used to check various identification information such as the RF ID included in the first sealing member S1 or the sealing plate 23 so that only genuine products can be operated normally.
도 76은 도 75의 게이트 밸브 시스템(4100)의 통로 폐쇄 상태를 나타내는 단면도이고, 도 77은 도 76의 게이트 밸브 시스템(4100)의 밸브체 후진 상태를 나타내는 단면도이고, 도 78은 도 77의 게이트 밸브 시스템(4100)의 밸브체 하강 상태를 나타내는 단면도이고, 도 79는 도 78의 게이트 밸브 시스템(4100)의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이고, 도 80은 도 79의 게이트 밸브 시스템(4100)의 덮개 개방 및 실링 부재 분리 상태를 나타내는 단면도이고, 도 81은 도 80의 게이트 밸브 시스템(4100)의 실링 부재 교체 상태를 나타내는 단면도이고, 도 82는 도 81의 게이트 밸브 시스템(4100)의 덮개 체결 및 가열 또는 냉각 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 76 is a cross-sectional view illustrating a passage closed state of the gate valve system 4100 of FIG. 75, FIG. 77 is a cross-sectional view illustrating a valve body backward state of the gate valve system 4100 of FIG. 76, and FIG. 78 is a gate of FIG. 77. 79 is a cross-sectional view illustrating a valve body lowered state of the valve system 4100, FIG. 79 is a cross-sectional view illustrating a closed area sealing state of the gate valve system 4100 of FIG. 78, and FIG. 80 is a cross-sectional view of the gate valve system 4100 of FIG. 79. 81 is a cross-sectional view showing a lid opening and a sealing member detached state, FIG. 81 is a cross-sectional view showing a sealing member replacement state of the gate valve system 4100 of FIG. 80, and FIG. 82 is a lid fastening and It is sectional drawing which shows a heating or cooling state.
도 76 내지 도 82에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 76에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)가 상승된 위치에서 전진하게 되면 상기 제 1 실링 부재(S1)가 상기 통로(10a)와 접촉되면서 상기 통로(10a)를 폐쇄할 수 있다.76 to 82, the operation of the gate valve system 4100 according to some embodiments of the present invention will be described first, as shown in FIG. 76, the valve body 20 is When advancing in the raised position, the first sealing member S1 may be in contact with the passage 10a to close the passage 10a.
이 때, 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 프로세스 모듈(PM)의 고온의 환경에 노출되는 것으로서, 장시간 사용하는 경우, 성질이 변질되거나 손상을 입을 수 있다.In this case, the first sealing member S1 is exposed to a high temperature environment of the process module PM, and may be deteriorated or damaged when used for a long time.
이어서, 상기 통로(10a)를 통해서 기판의 유출입이 필요한 경우, 도 77에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)는 후진되어 상기 통로(10a)를 개방할 수 있고, 이어서, 도 78에 도시된 바와 같이, 상기 통로(10a)를 통해서 상기 기판이 유출입될 수 있도록 상기 밸브체(20)는 하강하여 대기 장소에서 대기할 수 있다.Subsequently, when the inflow and outflow of the substrate is required through the passage 10a, as shown in FIG. 77, the valve body 20 can be reversed to open the passage 10a, and then shown in FIG. As described above, the valve body 20 may descend to stand by at the waiting place so that the substrate flows in and out through the passage 10a.
이러한, 상기 통로(10a)의 개폐 과정은 정해진 주기 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)의 변질이나 손상이 발생되기 이전까지 반복적으로 이루어질 수 있다.The opening and closing process of the passage 10a may be repeatedly performed until a predetermined cycle or deterioration or damage of the first sealing member S1 occurs.
만약, 정해진 주기가 도래하거나, 각종 센서들에 의해 상기 제 1 실링 부재(S1)의 변질이나 손상이 감지되는 경우, 도 79에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)가 하강된 상태에서 전진하여 상기 교체 영역(B)을 밀폐시킬 수 있다.If a predetermined cycle arrives or if the deterioration or damage of the first sealing member S1 is detected by various sensors, as shown in FIG. 79, the valve body 20 moves forward in the lowered state. To seal the replacement area (B).
이어서, 도 80에 도시된 바와 같이, 상기 진공 영역(A)은 진공압을 그대로 유지한 상태에서 상기 교체 영역(B)에 대기압을 형성하고, 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 덮개(40)를 분리하여 상기 개구(Ba)를 개방할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 80, the vacuum region A forms an atmospheric pressure in the replacement region B while maintaining the vacuum pressure, and removes the lid 40 from the valve housing 10. The opening Ba may be opened by separating.
이 때, 상기 개구(Ba)를 통해 외부로 노출된 노후된 상기 제 1 실링 부재(S1)를 상기 도어(21)로부터 분리할 수 있다.At this time, the aged first sealing member S1 exposed to the outside through the opening Ba may be separated from the door 21.
이어서, 도 81에 도시된 바와 같이, 상기 도어(21)의 상기 착탈홈(G)에 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 81, the new first sealing member S1 may be replaced with the detachable groove G of the door 21.
이어서, 도 82에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 덮개(40)를 체결하여 상기 개구(Ba)를 폐쇄하고, 상기 교체 영역(B)에 진공압을 형성하는 동시에 상기 열교환 장치(50)를 이용하여 상기 밸브체(20) 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)를 가열 또는 냉각시킬 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 82, the cover 40 is fastened to the valve housing 10 to close the opening Ba, and a vacuum pressure is formed in the replacement area B. The valve body 20 or the first sealing member S1 can be heated or cooled by using the 50.
이어서, 도 76 내지 도 77에 도시된 바와 같이, 정삭적인 통로 개폐 과정을 반복적으로 수행할 수 있다.76 to 77, the finishing passage opening and closing process may be repeatedly performed.
그러므로, 상기 밸브체(20) 및 교체된 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)를 수분 내지 수시간 이내에 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 수시간 내지 수일까지 기다려야 했었던 종래의 장비들에 비해서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다.Therefore, the preparation time of the equipment compared to the conventional equipment, which could quickly heat or cool the valve body 20 and the new replacement first sealing member S1 within minutes to hours, had to wait for several hours to several days. And the cost can be greatly reduced.
도 84는 도 74의 게이트 밸브 시스템(4100)의 슬라이딩형 덮개의 일례를 나타내는 사시도이다.FIG. 84 is a perspective view illustrating an example of a sliding lid of the gate valve system 4100 of FIG. 74.
도 84에 도시된 바와 같이, 도 74의 게이트 밸브 시스템(4100)의 덮개(40)는, 상기 밸브 하우징(10)의 레일(R)을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩형 덮개(42)일 수 있다.As shown in FIG. 84, the lid 40 of the gate valve system 4100 of FIG. 74 may be a sliding lid 42 sliding along the rail R of the valve housing 10.
따라서, 도 83의 상기 회동형 덮개(41)의 회동 공간이 장비 스팩이나 정비 공간 등에 의해 충분하지 않을 경우, 상기 레일(G)을 따라 상기 개구(Ba)에 승하강 및 밀착될 수 있는 상기 슬라이딩형 덮개(42)를 이용하여 좁은 공간에서도 효율적으로 장비를 운용할 수 있다.Accordingly, when the rotational space of the pivotal cover 41 of FIG. 83 is not sufficient due to equipment specifications, maintenance space, or the like, the sliding that may be raised and lowered and adhered to the opening Ba along the rail G. The mold cover 42 can efficiently operate the equipment even in a narrow space.
도 85는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4200)의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이고, 도 86은 도 85의 게이트 밸브 시스템(4200)의 덮개 개방 및 실링 플레이트 분리 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 85 is a cross-sectional view illustrating a closed area sealing state of the gate valve system 4200 according to some other embodiments of the present disclosure, and FIG. 86 illustrates a cover opening and a sealing plate detachment state of the gate valve system 4200 of FIG. 85. It is sectional drawing to show.
도 85 및 도 86에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(4200)의 밸브체(20)는, 상기 개구(Ba)와 대응되는 형상으로 형성되는 베이스 플레이트(22) 및 상기 베이스 플레이트(22)와 착탈 가능하게 설치되고, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되며, 상기 제 1 실링 부재(S1)가 일체형으로 고정되는 실링 플레이트(23)를 포함할 수 있다.85 and 86, the valve body 20 of the gate valve system 4200 according to some other embodiments of the present invention, the base plate is formed in a shape corresponding to the opening (Ba) ( 22) and a sealing plate 23 detachably mounted to the base plate 22 and formed in a shape corresponding to the passage 10a and in which the first sealing member S1 is integrally fixed. Can be.
따라서, 도 85에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 플레이트(22)가 상기 교체 영역(B)을 밀폐시키면, 도 86에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(40)가 개방되면서 상기 베이스 플레이트(22)로부터 노후된 상기 제 1 실링 부재(S1) 및 상기 실링 플레이트(23)를 분리할 수 있고, 상기 베이스 플레이트(22)에 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1) 및 상기 실링 플레이트(23)를 삽입하여 부품을 교체할 수 있다.Thus, as shown in FIG. 85, when the base plate 22 closes the replacement area B, as shown in FIG. 86, the cover 40 is opened and the base plate 22 is removed from the base plate 22. The old first sealing member S1 and the sealing plate 23 can be separated, and the new first sealing member S1 and the sealing plate 23 are inserted into the base plate 22 to remove the part. It can be replaced.
도 87은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 열교환 장치를 나타내는 단면도이다.87 is a cross-sectional view illustrating a heat exchange device of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
도 87에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템은, 상기 제 1 실링 부재(S1)에 대한 온도의 영향을 최소화하기 위해서 상기 열교환 장치(50)의 폭(L1)은 상기 제 1 실링 부재(S1)의 폭 보다 좁게 형성될 수 있다.As shown in FIG. 87, a gate valve system according to some other embodiments of the present invention may provide a width of the heat exchange device 50 in order to minimize the influence of temperature on the first sealing member S1. L1) may be formed to be narrower than the width of the first sealing member S1.
따라서, 도 87에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 실링 부재(S1)에 대한 열교환은 최소화하면서 상기 밸브체(20)에 대한 열교환이 이루어져서 상기 제 1 실링 부재(S1)를 열적으로 보호할 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 87, heat exchange is performed on the valve body 20 while minimizing heat exchange with the first sealing member S1, thereby thermally protecting the first sealing member S1. .
도 88은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 밸브체(20)를 나타내는 단면도이다.88 is a cross-sectional view illustrating a valve body 20 of the gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
도 88에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 밸브체(25)는, 상기 개구(Ba)에 제 2 실링 부재(S2)가 설치된 경사면(Bb)과 대응되는 경사면이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 88, the valve body 25 of the gate valve system according to some other embodiments of the present invention may include an inclined surface Bb having a second sealing member S2 installed in the opening Ba. Corresponding inclined surfaces may be formed.
따라서, 도 88에 도시된 바와 같이, 이러한 상기 개구(Ba)의 상기 경사면(Bb)을 통해서 작업자가 상기 밸브 하우징(10)의 외부에서도 육안으로 쉽게 상기 제 2 실링 부재(S2)를 확인하면서 상기 밸브 하우징(10) 전체를 개방할 필요 없이 상기 제 2 실링 부재(S2)만 교체하는 것이 가능하다.Therefore, as shown in FIG. 88, the operator checks the second sealing member S2 with the naked eye easily through the inclined surface Bb of the opening Ba with the naked eye. It is possible to replace only the second sealing member S2 without having to open the entire valve housing 10.
도 89는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 교체형 블록(11)을 나타내는 단면도이다.89 is a cross-sectional view illustrating a replaceable block 11 of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
도 89에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템은, 일측에 상기 밸브체(20)와 접촉되는 제 2 실링 부재(S2)가 형성되고, 상기 개구(Ba)에 상기 밸브 하우징(10)과 착탈 가능하게 설치된 교체형 블록(11)을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 89, in the gate valve system according to some other embodiments of the present invention, a second sealing member S2 is formed on one side of the gate valve system, and the opening Ba is formed. ) May further include a replaceable block 11 detachably installed to the valve housing 10.
여기서, 상기 밸브 하우징(10)과 상기 교체형 블록(11) 사이에는 제 4 실링 부재가 설치되어 기밀을 유지할 수 있다.Here, a fourth sealing member may be installed between the valve housing 10 and the replaceable block 11 to maintain airtightness.
따라서, 도 89에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 교체형 블록(11)을 분리하여 상기 제 2 실링 부재(S2)를 손쉽게 교체할 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 89, the second sealing member S2 may be easily replaced by separating the replaceable block 11 from the valve housing 10.
도 90은 도 85의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트(23)를 나타내는 정면도이고, 도 91은 도 90의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트(23)의 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 90 is a front view illustrating the sealing plate 23 of the gate valve system of FIG. 85, and FIG. 91 is a cross-sectional view illustrating an example of the sealing plate 23 of the gate valve system of FIG. 90.
도 90 및 도 91에 도시된 바와 같이, 도 85의 게이트 밸브 시스템의 상기 밸브체(20)는, 상기 실링 플레이트(23)의 상기 제 1 실링 부재(S1) 외측 영역에 설치되는 고정구(F)를 더 포함할 수 있다.90 and 91, the valve body 20 of the gate valve system of FIG. 85 is a fastener F provided in an outer region of the first sealing member S1 of the sealing plate 23. It may further include.
따라서, 상기 통로(10a) 폐쇄시, 상기 프로세스 모듈(PM)의 가공 환경에 노출되지 않는 상기 고정구(F)를 이용하여 상기 실링 플레이트(23)를 상기 베이스 플레이트(22)에 견고하게 고정시킬 수 있다.Accordingly, when the passage 10a is closed, the sealing plate 23 may be firmly fixed to the base plate 22 by using the fastener F that is not exposed to the processing environment of the process module PM. have.
도 92는 도 91의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트(23)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 92: is sectional drawing which shows another example of the sealing plate 23 of the gate valve system of FIG.
도 92에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트(23)는, 일측, 즉 하측에 걸림부(T)가 형성되고, 타측, 상측에 상기 고정구(F)가 체결될 수 있다.As illustrated in FIG. 92, the sealing plate 23 may have a locking portion T formed at one side thereof, that is, a lower side thereof, and the fixture F may be fastened to the other side and the upper side thereof.
따라서, 먼저, 작업자는 상기 베이스 플레이트(22)의 하방에 상기 걸림부(T)를 먼저 걸림 결합시키고, 상기 베이스 플레이트(22)의 상방에 상기 고정구(F)를 체결함으로써, 상기 고정구(F)의 설치 개수를 줄이고, 체결 과정을 간략하게 하면서 상기 제 1 실링 부재(S1)의 설치 영역을 최대한 넓게 확보할 수 있다.Therefore, first, the operator first engages the locking portion T below the base plate 22, and then fastens the fastener F above the base plate 22, thereby fixing the fastener F. It is possible to secure the installation area of the first sealing member (S1) as wide as possible while reducing the number of installation of the, and simplify the fastening process.
한편, 도시하지 않았지만, 이러한 상기 베이스 플레이트(22)와 상기 실링 플레이트(23)의 체결 장치로서, 억지 물림식 각종 돌기나 홈 등 다양한 체결 방식을 이용할 수 있다.On the other hand, although not shown, as the fastening device of the base plate 22 and the sealing plate 23, various fastening methods such as various kinds of protrusions and grooves can be used.
도 93은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.93 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
도 74 내지 도 93에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법은, 적어도 하나의 통로(10a)가 형성되는 밸브 하우징(10)과, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 밸브체(20)와, 상기 밸브체(20)를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치(30)와, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 영역(A)의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)의 교체 영역(B)의 개구(Ba)에 설치되는 덮개(40) 및 상기 밸브체(20) 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개(40)에 설치되는 열교환 장치(50)를 포함하는 게이트 밸브 시스템(4100)의 제어 방법에 있어서, 상기 이동 장치(30)로 상기 밸브체(20)를 상기 교체 영역(B) 방향으로 이동시켜서 상기 밸브 하우징(10)의 상기 교체 영역(B)을 밀폐시키는 교체 영역 밀폐 단계(S10); 상기 교체 영역(B)에 대기압을 형성하는 대기압 형성 단계(S20); 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 덮개(40)를 분리하여 상기 개구(Ba)를 개방하는 덮개 개방 단계(S30); 상기 개구(Ba)를 통해 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체하는 교체 단계(S40); 상기 밸브 하우징(10)에 상기 덮개(40)를 체결하여 상기 개구(Ba)를 폐쇄하는 덮개 체결 단계(S50); 상기 덮개 체결 단계(S50) 이후에, 상기 열교환 장치(50)를 이용하여 상기 밸브체(20)를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계(S60) 및 상기 교체 영역(B)에 진공압을 형성하는 진공압 형성 단계(S70)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 열교환 단계(60)시 공기를 통해 열전달이 원활하게 이루어지도록 상기 열교환 단계(60)는 상기 진공압 형성 단계(70) 이전에 수행될 수 있다.74 to 93, a control method of a gate valve system according to some embodiments of the present disclosure may include a valve housing 10 in which at least one passage 10a is formed, and the passage 10a. Of the valve body 20 to which the first sealing member S1 is installed, the moving device 30 capable of moving the valve body 20 in the passage direction, and the valve housing 10 of the valve housing 10. The cover 40 which is installed in the opening Ba of the replacement area B of the valve housing 10 so that the first sealing member S1 can be replaced while maintaining the vacuum state of the vacuum area A and the In the control method of the gate valve system 4100 including the heat exchanger 50 which is installed in the cover 40 to heat or cool the valve body 20 or the first sealing member (S1), the The valve 30 is moved in the direction of the replacement area B by the moving device 30 so that the bell A replacement area sealing step (S10) of sealing the replacement area (B) of the bar housing (10); An atmospheric pressure forming step (S20) of forming an atmospheric pressure in the replacement area (B); A cover opening step (S30) of opening the opening (Ba) by separating the cover (40) from the valve housing (10); A replacement step (S40) of replacing the first sealing member (S1) through the opening (Ba); A cover fastening step (S50) of closing the opening Ba by fastening the cover 40 to the valve housing 10; After the cover fastening step (S50), the vacuum pressure to form a vacuum pressure in the heat exchange step (S60) and the replacement area (B) for heating or cooling the valve body 20 by using the heat exchange device (50). It may include a forming step (S70). Here, the heat exchange step 60 may be performed before the vacuum pressure forming step 70 so that the heat transfer through the air during the heat exchange step 60 is made smoothly.
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 시간을 절약하기 위해서, 상기 열교환 단계(60)와 상기 진공압 형성 단계(70)를 동시에 수행하는 것도 가능하다.However, the present invention is not necessarily limited thereto, and in order to save time, it is also possible to simultaneously perform the heat exchange step 60 and the vacuum pressure forming step 70.
도 94는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.94 is a flowchart illustrating a method of controlling a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
도 94에 도시된 바와 같이, 이외에도, 상기 덮개 체결 단계(S50) 이후에, 상기 교체 영역(B)에 진공압을 형성하는 진공압 형성 단계(S70) 및 상기 열교환 장치(50)를 이용하여 상기 밸브체(20)를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계(S60)를 수행하는 것도 가능하다.As shown in FIG. 94, in addition, after the lid fastening step S50, the vacuum pressure forming step S70 for forming a vacuum pressure in the replacement area B and the heat exchanger 50 may be performed. It is also possible to perform the heat exchange step S60 for heating or cooling the valve body 20.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 챔버 내에서 진공 상태를 유지하면서, 실링 플레이트 및 밀폐 부재들을 용이하게 교체할 수 있고, 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있고, 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있고, 교환된 밀폐 부재가 정품인지 아닌지를 판단하고 정품이 아니라면 게이트 밸브의 작동을 중지시킬 수 있으며, 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있고, 밸브체와 대향될 수 있는 덮개의 내측면에 열교환 장치를 설치하여 밸브체 및 교체된 새로운 제 1 실링 부재를 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있고, 제 2 실링 부재를 교체 영역의 개구 부분에 설치하여 고온의 프로세스 모듈로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있다.According to various embodiments of the present invention made as described above, while maintaining the vacuum in the chamber, it is possible to easily replace the sealing plate and the sealing member, the gate valve is stable by minimizing the moving distance of the sealing plate It can reduce the manufacturing cost, save the moving time of the sealing plate, save the space of the gate valve, minimize the moving distance of the sealing plate, operate the gate valve stably, reduce the manufacturing cost and It can save travel time, save space of gate valve, determine whether the exchanged sealing member is genuine, stop the operation of gate valve if it is not genuine, and replace the whole door including O-ring. Significantly reduce replacement costs and time, and reduce the volume of equipment In order to reduce the unit cost and the time and cost of vacuum formation. For example, simply lowering the movable platform allows the door to be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the equipment. It is possible to improve the durability and performance of the equipment, and by installing a heat exchanger on the inner side of the cover which can be opposed to the valve body, it is possible to quickly heat or cool the valve body and the replaced new first sealing member to prepare the equipment. It can significantly reduce the cost and cost, and minimize the thermal stress and thermal damage by installing the second sealing member in the opening part of the replacement area to keep it away from the high temperature process module. It can be greatly increased.

Claims (20)

  1. 챔버를 개폐시키는 실링 플레이트;A sealing plate for opening and closing the chamber;
    상기 실링 플레이트에 연결된 지지부;A support part connected to the sealing plate;
    상기 지지부를 상하로 이동시키는 구동부;A drive unit for moving the support part up and down;
    상기 실링 플레이트 및 상기 지지부를 내부에 구비하고 통로 및 교환부가 형성된 밸브 하우징;A valve housing having the sealing plate and the support part therein and formed with a passage and an exchange part;
    상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 통로를 밀폐시키는 제1밀폐 부재; 및A first sealing member sealing the passage by the movement of the sealing plate; And
    상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 교환부를 밀폐시키는 제2밀폐 부재를 포함하고,A second sealing member sealing the exchange part by the movement of the sealing plate,
    상기 구동부는 상기 실링 플레이트를 통로 또는 교환부에 대응하는 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.And the driving part moves the sealing plate to a position corresponding to a passage or an exchange part.
  2. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제2밀폐 부재는 상기 실링 플레이트의 전면에 구비되거나 상기 밸브 하우징의 내측면에 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.The second sealing member is provided on the front surface of the sealing plate or the gate valve system, characterized in that provided on the inner side of the valve housing.
  3. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제1밀폐 부재에는 식별태그가 구비되고,The first sealing member is provided with an identification tag,
    상기 게이트 밸브는,The gate valve,
    상기 식별태그를 식별하는 식별부;An identification unit for identifying the identification tag;
    상기 식별부의 식별결과에 따라서 게이트 밸브를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.And a control unit for controlling the gate valve according to the identification result of the identification unit.
  4. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 교환부는 교환용 개구를 포함하고The exchange portion includes an exchange opening
    상기 게이트 밸브는, 상기 교환용 개구를 개폐시키는 교환커버를 포함하고,The gate valve includes an exchange cover for opening and closing the exchange opening,
    상기 교환용 개구에는 내측에서 외측으로 갈수록 단면적이 커지도록 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.And the inclined surface is formed in the exchange opening so as to have a larger cross-sectional area from the inner side to the outer side.
  5. 챔버를 개폐시키는 실링 플레이트, 상기 실링 플레이트에 연결된 지지부, 상기 지지부를 상하로 이동시키는 구동부, 상기 실링 플레이트 및 상기 지지부를 내부에 구비하고 통로 및 교환부가 형성된 밸브 하우징, 상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 통로를 밀폐시키는 제1밀폐 부재, 상기 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 교환부를 밀폐시키는 제2밀폐 부재, 상기 밸브 하우징의 외부와 상기 교환부를 연통 또는 차폐시키는 제1밸브 및 상기 밸브 하우징의 내부 또는 외부와 상기 교환부를 연통 또는 차폐시키는 제2밸브를 포함하고,A sealing plate for opening and closing the chamber, a support part connected to the sealing plate, a driving part for moving the support part up and down, the valve housing having the sealing plate and the support part formed therein, and a passage and an exchange part formed therein, by the movement of the sealing plate A first sealing member for sealing a passage, a second sealing member for sealing the exchange part by movement of the sealing plate, a first valve for communicating or shielding the outside of the valve housing and the exchange part, and an inside or outside of the valve housing And a second valve for communicating or shielding the exchange unit,
    상기 구동부는 상기 실링 플레이트를 통로 또는 교환부에 대응하는 위치로 이동시키는 게이트 밸브의 제1밀폐 부재의 교환 방법에 있어서,In the method of replacing the first sealing member of the gate valve for moving the sealing plate to a position corresponding to the passage or the exchange unit,
    상기 실링 플레이트의 이동에 의해 상기 교환부를 밀폐시키는 단계;Closing the exchange part by moving the sealing plate;
    제1밸브를 통해 상기 교환부의 압력을 증가시키는 단계;Increasing the pressure of the exchanger through a first valve;
    상기 교환부를 외부로 개방하는 단계;Opening the exchange to the outside;
    상기 실링 플레이트에 구비된 제1밀폐 부재를 교환하는 단계;Exchanging a first sealing member provided on the sealing plate;
    상기 교환부를 밀폐시키는 단계; 및Sealing the exchange part; And
    상기 제2밸브를 통해 상기 교환부의 압력을 감소시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 밀폐 부재 교환 방법.And reducing the pressure of the exchange part through the second valve.
  6. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;A valve housing in which at least one passage is formed;
    상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 도어;A door in which a first sealing member is installed to block the passage;
    상기 도어를 착탈이 가능하게 지지하는 가동대;A movable table for supporting the door in a detachable manner;
    상기 밸브 하우징에 상기 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치;A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage;
    상기 가동대와 상기 도어 사이에 설치되고, 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치; 및A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And
    상기 가동대에 설치되고, 상기 제 1 방향 이동 장치를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 상기 제 1 방향의 역방향인 제 3 방향으로 이동되면 상기 밸브 하우징의 상기 도어 교체 영역을 격리시킬 수 있는 격리 부재;The door replacement area of the valve housing may be isolated when installed in the movable table and moved in the third direction opposite to the first direction from the standby position to the third position by using the first direction moving device. Isolation member;
    를 포함하는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.Including a door replaceable gate valve system.
  7. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 격리 부재는,The isolation member,
    상기 밸브 하우징의 내측 일면과 대응되도록 형성되는 하방 하면부;A lower lower surface portion formed to correspond to an inner surface of the valve housing;
    상기 밸브 하우징의 내부로 돌출되게 형성되는 돌출벽부의 경사면과 대응되도록 상기 하방 하면부와 연결되게 형성되는 중간 경사부; 및An intermediate inclined portion formed to be connected to the lower lower surface portion so as to correspond to an inclined surface of the protruding wall portion formed to protrude into the valve housing; And
    상기 돌출벽부의 상면과 대응되도록 상기 중간 경사부와 연결되게 형성되는 상방 하면부;An upper lower surface portion formed to be connected to the intermediate inclined portion so as to correspond to an upper surface of the protruding wall portion;
    를 포함하는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.Including a door replaceable gate valve system.
  8. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    상기 밸브 하우징의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부의 접촉면 또는 상기 하방 하면부와, 상기 중간 경사부 및 상기 상방 하면부의 테두리 부분에 제 2 실링 부재가 설치되는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.A second sealing member is installed on the contact surface of the protruding wall portion or the lower lower surface portion and the edge portion of the middle inclined portion and the upper lower surface portion so as to release the vacuum only in the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing. Door replaceable gate valve system.
  9. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8,
    상기 도어 교체 영역과 대응되는 상기 밸브 하우징 또는 상기 돌출벽부의 적어도 측면, 하면, 전면 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 도어 교체용 개구가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구에 덮개가 설치되고,A door replacement opening is formed by selecting at least one of the valve housing or the protruding wall portion corresponding to the door replacement area, at least one of a lower surface, a front surface, and a combination thereof, and a cover is installed in the door replacement opening. Become,
    상기 도어는, 상기 제 2 방향 이동 장치에 설치된 레일 부재를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어나 또는 고정구 또는 지그를 이용하여 상기 제 2 방향 이동 장치에 착탈 가능하게 설치되는 체결 교체형 도어인, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.The door is a slide replaceable door that can be slidably attached or detached along a rail member installed in the second direction moving device, or a fastening replaceable door detachably installed to the second direction moving device using a fixture or a jig. , Door replaceable gate valve system.
  10. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;A valve housing in which at least one passage is formed;
    상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 도어;A door in which a first sealing member is installed to block the passage;
    상기 도어를 착탈이 가능하게 지지하는 가동대;A movable table for supporting the door in a detachable manner;
    상기 밸브 하우징에 상기 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치;A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage;
    상기 가동대와 상기 도어 사이에 설치되고, 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치; 및A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And
    상기 제 2 방향 이동 장치 또는 상기 가동대에 설치되고, 상기 제 1 방향 이동 장치를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 1차 이동되며, 상기 제 2 방향 이동 장치를 이용하여 상기 제 3 위치에서 제 4 위치까지 상기 제 2 방향으로 2차 이동되어 상기 밸브 하우징의 상기 도어 교체 영역을 격리시킬 수 있는 격리 부재;It is installed in the second direction moving device or the movable table, and is primarily moved from the standby position to the third position using the first direction moving device, and at the third position using the second direction moving device. An isolation member capable of isolating the door replacement area of the valve housing secondly in the second direction to a fourth position;
    를 포함하는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.Including a door replaceable gate valve system.
  11. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 격리 부재는,The isolation member,
    상기 밸브 하우징의 내부에 링 형상으로 수평 돌출되는 돌출벽부의 측면과 대응되도록 형성되는 격리 플레이트;를 포함하고,And an isolation plate formed in the valve housing so as to correspond to a side surface of the protrusion wall protruding horizontally in a ring shape.
    상기 밸브 하우징의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부의 접촉면 또는 상기 격리 플레이트에 제 2 실링 부재가 설치되며,A second sealing member is installed on the contact surface of the protruding wall or the isolation plate so as to release the vacuum only in the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing.
    상기 도어 교체 영역과 대응되는 상기 밸브 하우징 또는 상기 돌출벽부의 적어도 측면, 하면, 전면 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 도어 교체용 개구가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구에 덮개가 설치되는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.A door replacement opening is formed by selecting at least one of the valve housing or the protruding wall portion corresponding to the door replacement area, at least one of a lower surface, a front surface, and a combination thereof, and a cover is installed in the door replacement opening. Door replaceable gate valve system.
  12. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;A valve housing in which at least one passage is formed;
    상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 도어;A door in which a first sealing member is installed to block the passage;
    상기 도어를 착탈이 가능하게 지지하는 가동대;A movable table for supporting the door in a detachable manner;
    상기 밸브 하우징에 상기 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치;A first direction moving device capable of moving said movable table in said valve housing in a first direction from a standby position to a first position opposite said passage;
    상기 가동대와 상기 도어 사이에 설치되고, 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치; 및A second direction moving device installed between the movable table and the door and capable of moving the door in a second direction from the first position to a second position capable of blocking the passage; And
    상기 제 2 방향 이동 장치 또는 상기 가동대에 설치되고, 상기 제 1 방향 이동 장치를 이용하여 상기 대기 위치에서 제 3 위치까지 1차 이동되며, 상기 제 2 방향 이동 장치를 이용하여 상기 제 3 위치에서 제 4 위치까지 상기 제 2 방향으로 2차 이동되어 상기 밸브 하우징의 상기 도어 교체 영역을 격리시킬 수 있는 격리 부재;를 포함하고,It is installed in the second direction moving device or the movable table, and is primarily moved from the standby position to the third position using the first direction moving device, and at the third position using the second direction moving device. An isolation member capable of isolating the door replacement area of the valve housing secondly in a second direction to a fourth position;
    상기 도어 교체 영역과 대응되는 상기 밸브 하우징의 측면에 도어 교체용 개구가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구에 착탈식 덮개가 설치되는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.And a door replacement opening is formed in a side surface of the valve housing corresponding to the door replacement area, and a removable cover is installed in the door replacement opening.
  13. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12,
    상기 도어는, 상기 제 2 방향 이동 장치 또는 상기 격리 부재에 설치된 레일 부재를 따라 슬라이딩 착탈될 수 있는 슬라이드 교체형 도어이고, 역압에 의한 휨을 방지할 수 있도록 후면 중간부에 적어도 하나의 리브부가 형성되고, 후면 상하단부에 L자 형태로 절곡된 가이드부가 형성되는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.The door is a slide replaceable door that can be slidably attached and detached along the rail member installed in the second direction moving device or the isolation member, and at least one rib portion is formed in the rear middle portion to prevent bending due to back pressure. The upper and lower rear end portion is bent L-shaped guide portion, the door replaceable gate valve system.
  14. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12,
    상기 격리 부재는,The isolation member,
    상기 밸브 하우징의 내부에 링 형상으로 수평 돌출되는 돌출벽부의 측면과 대응되도록 형성되는 격리 플레이트;를 포함하고,And an isolation plate formed in the valve housing so as to correspond to a side surface of the protrusion wall protruding horizontally in a ring shape.
    상기 밸브 하우징의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부의 접촉면에 제 2 실링 부재가 설치되는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.And a second sealing member is provided on a contact surface of the protruding wall portion so as to release the vacuum only in the door replacement area while maintaining the overall vacuum of the valve housing.
  15. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14,
    제 1 각도로 축회전시 상기 격리 플레이트에 상기 도어를 가압 고정시키고, 제 2 각도로 축회전시 상기 격리 플레이트로부터 상기 도어를 슬라이딩이 가능한 정도로 자유롭게 할 수 있도록 상기 격리 플레이트 또는 상기 도어에 축회전이 가능하게 설치되고, 적어도 일부에 노치부가 형성되어 편심된 형상으로 형성되는 가이드 핀 부재;Axial rotation is applied to the isolation plate or the door to press-fix the door to the isolation plate when the shaft is rotated at a first angle, and to freely slide the door from the isolation plate when the shaft is rotated at a second angle. A guide pin member which is installed to be possible and has a notched portion formed in at least a portion thereof to have an eccentric shape;
    를 더 포함하는, 도어 교체형 게이트 밸브 시스템.Further comprising, door replaceable gate valve system.
  16. 밸브 하우징에 설치된 착탈식 덮개의 대기압 형성용 밸브를 열어서 상기 밸브 하우징의 도어 교체 영역에 대기압을 형성하는 단계;Opening the atmospheric pressure forming valve of the removable cover installed in the valve housing to generate atmospheric pressure in the door replacement area of the valve housing;
    상기 밸브 하우징의 개구를 개방할 수 있도록 상기 착탈식 덮개를 분리하는 단계;Removing the removable cover to open the opening of the valve housing;
    제거된 상기 착탈식 덮개의 위치에 체결형 지그를 임시 체결하는 단계;Temporarily tightening the fastening jig at the position of the removable cover;
    상기 체결형 지그의 슬라이딩 체결부에 챔버형 지그를 슬라이딩 체결하는 단계;Slidingly fastening a chamber type jig to a sliding fastening portion of the fastening jig;
    상기 챔버형 지그의 푸쉬바를 이용하여 상기 챔버형 지그 내부로 오래된 도어를 상기 밸브 하우징의 외부로 인출시키는 단계;Drawing out an old door into the chamber jig out of the valve housing by using a push bar of the chamber jig;
    상기 체결형 지그로부터 오래된 도어를 수용한 상기 챔버형 지그를 분리하는 단계;Separating the chamber-type jig receiving the old door from the fastening jig;
    새로운 도어가 수용된 다른 챔버형 지그를 상기 체결형 지그에 슬라이딩 체결하는 단계;Slidingly fastening another chamber-type jig in which a new door is received to the fastening jig;
    상기 챔버형 지그의 푸쉬바를 이용하여 상기 밸브 하우징의 내부로 새로운 도어를 투입시키는 단계;Injecting a new door into the valve housing by using the push bar of the chamber-type jig;
    상기 밸브 하우징으로부터 상기 챔버형 지그와 상기 체결형 지그를 모두 제거하는 단계;Removing both the chamber type jig and the fastening jig from the valve housing;
    상기 밸브 하우징에 상기 착탈식 덮개를 다시 고정시키는 단계; 및Refastening the removable cover to the valve housing; And
    상기 착탈식 덮개에 설치된 진공압 형성용 진공관을 이용하여 상기 밸브 하우징의 도어 교체 영역에 진공압을 형성하는 단계;Forming a vacuum pressure in the door replacement area of the valve housing by using the vacuum pressure forming vacuum tube installed in the detachable cover;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법.Including, the door replacement method of the gate valve system.
  17. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;A valve housing in which at least one passage is formed;
    상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체;A valve body provided with a first sealing member to block the passage;
    상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치;A moving device capable of moving the valve body in the passage direction;
    상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개; 및A cover provided in the opening of the replacement area of the valve housing so as to replace the first sealing member while maintaining the vacuum state of the vacuum area of the valve housing; And
    상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치;A heat exchanger provided on the cover to heat or cool the valve body or the first sealing member;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.Including, the gate valve system.
  18. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17,
    상기 열교환 장치는, 상기 덮개의 밸브체 대향면에 설치되는 히터 또는 쿨링 장치이고,The heat exchange device is a heater or a cooling device provided on the valve body facing surface of the lid,
    상기 밸브체에 의해 상기 교체 영역이 밀폐될 수 있도록 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구의 내측에 제 2 실링 부재가 설치되며,A second sealing member is provided inside the opening of the replacement area of the valve housing so that the replacement area is sealed by the valve body;
    상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구를 밀폐할 수 있도록 상기 덮개의 내측 또는 상기 개구의 외측에 제 3 실링 부재가 설치되는, 게이트 밸브 시스템.And a third sealing member is provided inside the lid or on the outside of the opening to seal the opening of the replacement area of the valve housing.
  19. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;A valve housing in which at least one passage is formed;
    상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체;A valve body provided with a first sealing member to block the passage;
    상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치; 및A moving device capable of moving the valve body in the passage direction; And
    상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개;를 포함하고,And a cover installed in the opening of the replacement area of the valve housing to replace the first sealing member while maintaining the vacuum state of the vacuum area of the valve housing.
    상기 덮개는, 상기 밸브 하우징의 힌지축을 기준으로 회동되는 회동형 덮개 또는 상기 밸브 하우징의 레일을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩형 덮개인, 게이트 밸브 시스템.The cover is a gate valve system, a sliding cover that is rotated about the hinge axis of the valve housing or a sliding cover that slides along the rail of the valve housing.
  20. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징과, 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체와, 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치와, 상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개 및 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치를 포함하는 게이트 밸브 시스템의 제어 방법에 있어서,A valve housing having at least one passage formed therein, a valve body provided with a first sealing member to block the passage, a moving device capable of moving the valve body in the passage direction, and a vacuum region of the valve housing A cover installed in the opening of the replacement area of the valve housing so as to replace the first sealing member while maintaining the vacuum state of the valve housing, and installed in the cover so as to heat or cool the valve body or the first sealing member. In the control method of a gate valve system comprising a heat exchanger,
    상기 이동 장치로 상기 밸브체를 상기 교체 영역 방향으로 이동시켜서 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역을 밀폐시키는 교체 영역 밀폐 단계;A replacement area sealing step of closing the replacement area of the valve housing by moving the valve body in the direction of the replacement area with the moving device;
    상기 밸브 하우징으로부터 상기 덮개를 분리하여 상기 개구를 개방하는 덮개 개방 단계;A cover opening step of opening the opening by separating the cover from the valve housing;
    상기 개구를 통해 상기 제 1 실링 부재를 교체하는 교체 단계;A replacement step of replacing the first sealing member through the opening;
    상기 밸브 하우징에 상기 덮개를 체결하여 상기 개구를 폐쇄하는 덮개 체결 단계; 및A cover fastening step of closing the opening by fastening the cover to the valve housing; And
    상기 열교환 장치를 이용하여 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계;A heat exchange step of heating or cooling the valve body or the first sealing member by using the heat exchange apparatus;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 제어 방법.Including, the control method of the gate valve system.
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