JP2017026128A - Gate device, processing system, and sealing part replacement method - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gate device which reduces replacement frequency of sealing parts compared to a case where only one sealing part is provided at a valve body and enables replacement of the sealing parts to be easily conducted in a short time, and to provide a processing system and a sealing part replacement method.SOLUTION: A gate device 10 includes: a valve body 20 which is provided with flat surfaces and may rotate about an axis; sealing parts (for example, sealing materials 22) provided on the respective flat surfaces of the valve body 20; and a valve body housing part 12 which houses the valve body 20 and is provided with openings 14. Each opening 14 provided at the valve body housing part 12 is selectively sealed by one sealing part of the sealing parts.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、処理チャンバ内の領域を選択的に封止するためのゲート装置、このようなゲート装置を備えた処理システムおよびこのようなゲート装置における封止部の交換方法に関する。   The present invention relates to a gate device for selectively sealing a region in a processing chamber, a processing system including such a gate device, and a method for replacing a sealing portion in such a gate device.

半導体の製造工程において、ドライエッチング装置等の腐食性ガスを用いる真空装置が使用されている。このような装置において、処理チャンバ（プロセスチャンバ）内の領域を封止するためのゲート装置におけるシール材は、腐食性ガスへの露出やゲート開閉時の摺動等によって劣化しやすくなっており、シール材の交換を頻繁に行う必要があった。   In a semiconductor manufacturing process, a vacuum apparatus using a corrosive gas such as a dry etching apparatus is used. In such an apparatus, the sealing material in the gate apparatus for sealing the region in the processing chamber (process chamber) is easily deteriorated by exposure to corrosive gas, sliding at the time of opening and closing the gate, and the like. It was necessary to change the sealing material frequently.

これに対し、特許文献１には、シール材として２つ以上のＯ−リングを使用するようなゲートバルブの封止システムが開示されている。特許文献１に開示されるゲートバルブでは、腐食性ガスに対して露出される、封止性能と共に当該腐食性ガスに対して耐腐食性を有する第１のＯ−リングと、腐食性ガスに対して露出しない、封止性能と共に耐磨耗性を有する第２のＯ−リングとが用いられるようになっている。   On the other hand, Patent Document 1 discloses a sealing system for a gate valve that uses two or more O-rings as a sealing material. In the gate valve disclosed in Patent Document 1, a first O-ring that is exposed to a corrosive gas and has a sealing performance and corrosion resistance to the corrosive gas, and the corrosive gas are used. A second O-ring that is not exposed and has wear resistance as well as sealing performance is used.

特開２００３−５６７２４号公報JP 2003-56724 A

しかしながら、特許文献１に開示されるような従来のゲートバルブの封止システムでは、ゲートバルブを長期間使用することによって第１のＯ−リングの体積が減少すると、第２のＯ−リングが腐食しやすくなってしまうという問題がある。また、上記のゲートバルブの封止システムでは、第２のＯ−リングが摩耗劣化すると第１のＯ−リングの押しつけ力が強くなってしまい第１のＯ−リングの固着が生じるおそれがある。このように、上記のゲートバルブの封止システムでは、Ｏ−リングの交換頻度を十分に低減することができないおそれがある。また、上記のゲートバルブの封止システムでは、何れかのＯ−リングが摩耗劣化すると、処理チャンバを大気開放してＯ−リングの交換を行う必要があり、処理チャンバを長期間停止させなければならないという問題がある。   However, in the conventional gate valve sealing system as disclosed in Patent Document 1, when the volume of the first O-ring is reduced by using the gate valve for a long time, the second O-ring is corroded. There is a problem that it becomes easy to do. Further, in the gate valve sealing system described above, when the second O-ring is worn and deteriorated, the pressing force of the first O-ring becomes strong, and the first O-ring may be fixed. Thus, in the above gate valve sealing system, there is a possibility that the replacement frequency of the O-ring cannot be sufficiently reduced. Further, in the above gate valve sealing system, when any O-ring is worn and deteriorated, it is necessary to open the processing chamber to the atmosphere and replace the O-ring. There is a problem of not becoming.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、封止部の交換を短時間で容易に行うことができるゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and the frequency of replacement of the sealing portion can be reduced as compared with the case where only one sealing portion is provided in the valve body. An object of the present invention is to provide a gate device, a processing system, and a sealing portion replacement method that can easily replace a sealing portion in a short time.

本発明のゲート装置は、複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、を備え、前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっていることを特徴とする。   The gate device according to the present invention includes a valve body provided with a plurality of planes and rotatable about an axis, sealing portions provided on the respective planes of the valve body, and the valve body And a valve body housing portion provided with an opening, wherein the opening provided in the valve body housing portion is selectively selected by one sealing portion among the plurality of sealing portions. It is characterized by being able to be sealed.

このようなゲート装置によれば、軸心を中心として回転可能となっている弁体における複数の平面にそれぞれ封止部が設けられており、弁体収容部に設けられている開口を、複数の封止部のうちある一つの封止部により選択的に封止することができるようになっているため、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、弁体を回転させながら当該弁体の各平面に設けられている複数の封止部を順次交換することにより封止部の交換を短時間で容易に行うことができる。   According to such a gate device, the sealing portion is provided on each of a plurality of planes of the valve body that is rotatable about the axis, and a plurality of openings provided in the valve body housing portion are provided. Since it can be selectively sealed by one sealing portion among the sealing portions of the sealing portion, the sealing portion is compared with the case where only one sealing portion is provided in the valve body Replacement frequency can be reduced, and the sealing portion can be easily replaced in a short time by sequentially replacing a plurality of sealing portions provided on each plane of the valve body while rotating the valve body. Can be done.

本発明のゲート装置においては、前記弁体収容部には蓋部が設けられており、前記蓋部を開くことにより前記弁体収容部の内部にアクセスすることができるようになっていてもよい。   In the gate device of the present invention, the valve body housing portion may be provided with a lid portion, and the inside of the valve body housing portion may be accessed by opening the lid portion. .

本発明のゲート装置は、前記軸心を中心として前記弁体を回転させる回転駆動部を更に備えていてもよい。   The gate device of the present invention may further include a rotation drive unit that rotates the valve body about the axis.

本発明のゲート装置は、前記弁体を支持する弁体支持部と、前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域から退避する退避位置、前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域である進出位置および前記弁体収容部に設けられている前記開口を前記封止部により封止する封止位置の間で前記弁体が移動するよう前記弁体支持部を移動させる駆動機構と、を更に備えていてもよい。   The gate device of the present invention includes a valve body support portion that supports the valve body, a retreat position that retreats from a region adjacent to the opening in the valve body housing portion, and a region that is adjacent to the opening in the valve body housing portion. A drive mechanism for moving the valve body support portion so that the valve body moves between a certain advance position and a sealing position where the opening provided in the valve body housing portion is sealed by the sealing portion; May be further provided.

この場合、前記駆動機構は、前記弁体支持部を鉛直方向に沿って移動させることにより前記弁体を前記退避位置と前記進出位置との間で移動させる第１駆動部と、前記弁体支持部を回動させることにより前記弁体を前記進出位置と前記封止位置との間で移動させる第２駆動部とを有していてもよい。   In this case, the drive mechanism moves the valve body support portion along the vertical direction to move the valve body between the retracted position and the advanced position, and the valve body support. You may have the 2nd drive part which moves the said valve body between the said advance position and the said sealing position by rotating a part.

本発明のゲート装置においては、前記封止部はＯ−リングであってもよい。   In the gate device of the present invention, the sealing portion may be an O-ring.

本発明の処理システムは、被処理物の処理を行う処理チャンバと、上記のゲート装置と、を備え、前記処理チャンバ内の領域と、前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とが当該弁体収容部に設けられた前記開口を介して連通しており、前記処理チャンバ内の領域と前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とを連通させる前記開口は、前記ゲート装置における複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止されるようになっていることを特徴とする。   The processing system of the present invention includes a processing chamber for processing an object to be processed and the gate device described above, and a region in the processing chamber and a region in the valve body housing portion in the gate device are the valve. The opening that communicates with the opening provided in the body housing portion, and that communicates the region in the processing chamber and the region in the valve body housing portion in the gate device includes a plurality of the openings in the gate device. It is characterized in that it is selectively sealed by one of the sealing portions.

本発明の封止部交換方法は、複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、を備え、前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっているゲート装置における前記封止部の交換方法であって、前記弁体収容部に設けられている蓋部を開く工程と、前記弁体収容部の内部にアクセスして前記封止部の交換を行う工程と、を備えたことを特徴とする。   The sealing part replacement method of the present invention includes a valve body provided with a plurality of planes and capable of rotating around an axis, sealing parts provided respectively on the planes of the valve body, A valve body accommodating portion in which a valve body is accommodated and an opening is provided, and the opening provided in the valve body accommodating portion is defined as one sealing portion among the plurality of sealing portions. A method of replacing the sealing portion in the gate device that can be selectively sealed by the step of opening a lid portion provided in the valve body housing portion, and the valve body housing And a step of accessing the inside of the part and exchanging the sealing part.

このような封止部交換方法によれば、軸心を中心として回転可能となっている弁体における複数の平面にそれぞれ封止部が設けられており、弁体収容部に設けられている開口を、複数の封止部のうちある一つの封止部により選択的に封止することができるようになっているため、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、弁体を回転させながら当該弁体の各平面に設けられている複数の封止部を順次交換することにより封止部の交換を短時間で容易に行うことができる。   According to such a sealing part replacement method, the sealing part is provided on each of a plurality of planes in the valve body that is rotatable about the axis, and the opening provided in the valve body accommodating part. Can be selectively sealed by one sealing portion among a plurality of sealing portions, compared with the case where only one sealing portion is provided in the valve body The replacement frequency of the sealing portion can be reduced, and the replacement of the sealing portion can be shortened by sequentially replacing a plurality of sealing portions provided on each plane of the valve body while rotating the valve body. Can be done easily in time.

本発明の封止部交換方法においては、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により前記弁体収容部に設けられている前記開口を封止している間に別の前記封止部の交換が行われるようになっていてもよい。   In the sealing part replacement | exchange method of this invention, while sealing the said opening provided in the said valve body accommodating part by the said one sealing part among several said sealing parts, another said The sealing part may be exchanged.

本発明のゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法によれば、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、封止部の交換を短時間で容易に行うことができる。   According to the gate device, the processing system, and the sealing portion replacement method of the present invention, the replacement frequency of the sealing portion can be reduced as compared with the case where only one sealing portion is provided in the valve body, and The sealing part can be easily replaced in a short time.

本発明の実施の形態によるゲート装置を備えた処理システムの構成を概略的に示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows roughly the structure of the processing system provided with the gate apparatus by embodiment of this invention. 本発明の実施の形態によるゲート装置の構成を示す側面図であって、弁体が退避位置に位置しているときの状態を示す図である。It is a side view which shows the structure of the gate apparatus by embodiment of this invention, Comprising: It is a figure which shows a state when a valve body is located in a retracted position. 図２に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。It is a front view which shows a structure when the gate apparatus shown in FIG. 2 is seen from the left side toward the right. 図２に示すゲート装置において弁体が進出位置に移動したときの状態を示す図である。It is a figure which shows a state when a valve body moves to the advance position in the gate apparatus shown in FIG. 図２に示すゲート装置において弁体が更に封止位置に移動したときの状態を示す図である。It is a figure which shows a state when a valve body further moves to the sealing position in the gate apparatus shown in FIG. 図２に示すゲート装置においてシール材の交換を行うために弁体収容部の蓋部を開いたときの状態を示す図である。It is a figure which shows a state when the cover part of a valve body accommodating part is opened in order to replace | exchange a sealing material in the gate apparatus shown in FIG. 本発明の実施の形態によるゲート装置における弁体やシール材の様々な構成のバリエーションを示す図である。It is a figure which shows the variation of the various structures of the valve body and sealing material in the gate apparatus by embodiment of this invention. 変形例に係るゲート装置の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the gate apparatus which concerns on a modification. 図８に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。It is a front view which shows a structure when the gate apparatus shown in FIG. 8 is seen from the left side toward the right. 別の変形例に係るゲート装置の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the gate apparatus which concerns on another modification. 図１０に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。It is a front view which shows a structure when the gate apparatus shown in FIG.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図６は、本実施の形態による処理システムやこのような処理システムに設けられたゲート装置を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態によるゲート装置を備えた処理システムの構成を概略的に示す概略構成図である。また、図２は、本実施の形態によるゲート装置の構成を示す側面図であって、弁体が退避位置に位置しているときの状態を示す図であり、図３は、図２に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。また、図４および図５は、それぞれ、図２に示すゲート装置において弁体が進出位置や封止位置に移動したときの状態を示す図である。また、図６は、図２に示すゲート装置においてシール材の交換を行うために弁体収容部の蓋部を開いたときの状態を示す図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 6 are diagrams showing a processing system according to the present embodiment and a gate device provided in such a processing system. Among these, FIG. 1 is a schematic configuration diagram schematically showing a configuration of a processing system including a gate device according to the present embodiment. 2 is a side view showing the configuration of the gate device according to the present embodiment, and shows a state when the valve body is located at the retracted position, and FIG. 3 is shown in FIG. It is a front view which shows a structure when a gate apparatus is seen rightward from the left side. FIGS. 4 and 5 are views showing the state when the valve body moves to the advance position or the sealing position in the gate device shown in FIG. FIG. 6 is a diagram showing a state when the lid of the valve body housing part is opened in order to replace the sealing material in the gate device shown in FIG.

まず、本実施の形態による処理システムの概略的な構成について図１を用いて説明する。図１に示すように、本実施の形態による処理システムは、真空状態に保たれ、腐食性ガスを用いるエッチングチャンバ等の処理チャンバ１と、処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり当該領域から基板を取り出したりするための搬送チャンバ２と、外部環境から処理システムに送られた基板を搬送したり処理システムから外部環境に基板を送ったりするための大気搬送ユニット４と、大気搬送ユニット４の近傍に設けられ、基板が集積されるストッカー５とを備えている。また、搬送チャンバ２と大気搬送ユニット４との間にはロードロックチャンバ３が設けられている。ロードロックチャンバ３は、処理チャンバ１内の領域を真空に保持し大気に開放しないことを目的に、処理チャンバ１への処理前、処理後の基板の出し入れを行うようになっている。また、搬送チャンバ２や大気搬送ユニット４には、基板の搬送を行う搬送アーム２ａ、４ａが設けられている。搬送チャンバ２に設けられた搬送アーム２ａにより、処理チャンバ１内の領域やロードロックチャンバ３内の領域への基板の出し入れが行われるようになっている。また、大気搬送ユニット４に設けられた搬送アーム４ａによりロードロックチャンバ３内の領域への基板の出し入れが行われるようになっている。また、このような搬送アーム４ａによりストッカー５に基板を集積したりストッカー５に集積されている基板を取り出したりする動作が行われるようになっている。   First, a schematic configuration of a processing system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the processing system according to the present embodiment is maintained in a vacuum state, and a processing chamber 1 such as an etching chamber using a corrosive gas, and a region in the processing chamber 1 are loaded with a substrate. A transfer chamber 2 for taking out the substrate, an atmospheric transfer unit 4 for transferring a substrate sent from the external environment to the processing system, and for transferring a substrate from the processing system to the external environment, and an atmospheric transfer unit 4 And a stocker 5 provided in the vicinity of which the substrates are integrated. A load lock chamber 3 is provided between the transfer chamber 2 and the atmospheric transfer unit 4. The load lock chamber 3 is designed to load and unload substrates before and after processing into the processing chamber 1 for the purpose of keeping the region in the processing chamber 1 in a vacuum and not opening it to the atmosphere. The transfer chamber 2 and the atmospheric transfer unit 4 are provided with transfer arms 2a and 4a for transferring the substrate. The transfer arm 2 a provided in the transfer chamber 2 allows the substrate to be taken in and out of the region in the processing chamber 1 and the region in the load lock chamber 3. Further, the substrate is taken in and out of the region in the load lock chamber 3 by the transfer arm 4 a provided in the atmospheric transfer unit 4. Further, such a transfer arm 4a performs an operation of stacking the substrates on the stocker 5 and taking out the substrates stacked on the stocker 5.

また、図１に示すように、処理チャンバ１と搬送チャンバ２との間にはゲート装置１０が設けられている。また、搬送チャンバ２とロードロックチャンバ３との間やロードロックチャンバ３と大気搬送ユニット４との間にもゲート装置１０が設けられている。このようなゲート装置１０により、処理チャンバ１、搬送チャンバ２およびロードロックチャンバ３内の圧力がそれぞれ制御可能となる。このようなゲート装置１０の構成の詳細について図２乃至図６を用いて説明する。なお、以下の説明では処理チャンバ１と搬送チャンバ２との間に設けられたゲート装置１０について述べるが、搬送チャンバ２とロードロックチャンバ３との間やロードロックチャンバ３と大気搬送ユニット４との間に設けられるゲート装置１０も略同一の構成となっているためその説明を省略する。   As shown in FIG. 1, a gate device 10 is provided between the processing chamber 1 and the transfer chamber 2. A gate device 10 is also provided between the transfer chamber 2 and the load lock chamber 3 and between the load lock chamber 3 and the atmospheric transfer unit 4. With such a gate device 10, the pressures in the processing chamber 1, the transfer chamber 2 and the load lock chamber 3 can be controlled. Details of the configuration of the gate device 10 will be described with reference to FIGS. In the following description, the gate device 10 provided between the processing chamber 1 and the transfer chamber 2 will be described. However, between the transfer chamber 2 and the load lock chamber 3 and between the load lock chamber 3 and the atmospheric transfer unit 4. Since the gate device 10 provided between them has substantially the same configuration, the description thereof is omitted.

図２は、本実施の形態によるゲート装置１０の構成を示す側面図であり、図３は、図２に示すゲート装置１０を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。図２および図３に示すように、本実施の形態によるゲート装置１０は、複数（具体的には、３つ）の平面が設けられ、図２の紙面に直交する方向（すなわち、図３における左右方向）に延びる軸心を中心として回転自在となっている弁体２０と、弁体２０における各平面にそれぞれ設けられたＯ−リング等のシール材２２（封止部）と、弁体２０が収容され、処理チャンバ１および搬送チャンバ２にそれぞれ連通する２つの開口１４が設けられている弁体収容部１２とを備えている。図２に示すように、弁体２０の断面は正三角形形状となっており、この弁体２０の３つの平面にそれぞれＯ−リング等のシール材２２が設けられている。また、弁体２０の両端部にはそれぞれ軸２１が取り付けられており、当該軸２１は後述する弁体支持部３０の上部に取り付けられた軸支持部３１によって回転自在に支持されるようになっている。また、本実施の形態によるゲート装置１０には、軸２１を回転させるステッピングモータ等の回転駆動部２４が設けられており、当該回転駆動部２４によって軸２１が回転させられることにより弁体２０が回転するようになっている。図２および図４乃至図６において、弁体２０が回転駆動部２４によって回転させられるときの当該弁体２０の各頂点が通る領域を二点鎖線の円で示す。   FIG. 2 is a side view showing the configuration of the gate device 10 according to the present embodiment, and FIG. 3 is a front view showing the configuration when the gate device 10 shown in FIG. 2 is viewed from the left side to the right. As shown in FIGS. 2 and 3, the gate device 10 according to the present embodiment is provided with a plurality of (specifically, three) planes, and is in a direction perpendicular to the plane of FIG. A valve body 20 that is rotatable about an axis extending in the left-right direction), a sealing material 22 (sealing portion) such as an O-ring provided on each plane of the valve body 20, and the valve body 20 And a valve body accommodating portion 12 provided with two openings 14 communicating with the processing chamber 1 and the transfer chamber 2, respectively. As shown in FIG. 2, the cross section of the valve body 20 has an equilateral triangle shape, and seal members 22 such as O-rings are provided on three planes of the valve body 20. Also, shafts 21 are attached to both ends of the valve body 20, respectively, and the shafts 21 are rotatably supported by a shaft support portion 31 attached to the upper portion of a valve body support portion 30 described later. ing. Further, the gate device 10 according to the present embodiment is provided with a rotation drive unit 24 such as a stepping motor that rotates the shaft 21, and the valve body 20 is rotated by rotating the shaft 21 by the rotation drive unit 24. It is designed to rotate. 2 and 4 to 6, a region through which each vertex of the valve body 20 passes when the valve body 20 is rotated by the rotation driving unit 24 is indicated by a two-dot chain line circle.

本実施の形態によるゲート装置１０では、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４（すなわち、図２における右側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的にシール（封止）することができるようになっている。このようなシール材２２により開口１４のシールが行われる際の動作の詳細については後述する。   In the gate device 10 according to the present embodiment, the opening 14 on the processing chamber 1 side (that is, the right-side opening 14 in FIG. 2) provided in the valve body accommodating portion 12 is provided as one of the plurality of sealing materials 22. The sealing material 22 can be selectively sealed (sealed). Details of the operation when the opening 14 is sealed by the sealing material 22 will be described later.

また、本実施の形態によるゲート装置１０は、弁体２０を支持する棒状の弁体支持部３０と、弁体支持部３０を昇降させる昇降部４０と、昇降部４０を図２における左右方向に往復移動させるエアシリンダ４２とを備えている。弁体支持部３０の上部には、軸２１を回転自在に支持する軸支持部３１が取り付けられており、これらの軸支持部３１および弁体支持部３０は一体的に移動するようになっている。また、弁体支持部３０の下部には昇降部４０が設けられており、当該昇降部４０が弁体支持部３０を昇降させることにより、弁体２０は、図２に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置と、図４に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置との間で移動するようになっている。ここで、昇降部４０は、ラック・アンド・ピニオン等を用いることにより弁体支持部３０を機械的に昇降させるようになっている。また、弁体２０が図２に示すような退避位置に位置しているときには、搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって基板をゲート装置１０内の弁体２０の上方の領域を通過させながら各開口１４を通るようにすることによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになる。一方、弁体２０が図４に示すような進出位置に位置しているときには、弁体２０が邪魔となり搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができなくなる。   Further, the gate device 10 according to the present embodiment includes a rod-shaped valve body support portion 30 that supports the valve body 20, an elevating portion 40 that elevates and lowers the valve body support portion 30, and an elevating portion 40 in the left-right direction in FIG. And an air cylinder 42 for reciprocal movement. A shaft support portion 31 that rotatably supports the shaft 21 is attached to the upper portion of the valve body support portion 30, and the shaft support portion 31 and the valve body support portion 30 move integrally. Yes. Moreover, the raising / lowering part 40 is provided in the lower part of the valve body support part 30, and when the said raising / lowering part 40 raises / lowers the valve body support part 30, the valve body 20 contains valve body as shown in FIG. It moves between a retreat position that retreats from an area adjacent to the opening 14 in the portion 12 and an advance position that is an area adjacent to the opening 14 in the valve body housing portion 12 as shown in FIG. Yes. Here, the raising / lowering part 40 raises / lowers the valve body support part 30 mechanically by using a rack and pinion or the like. When the valve body 20 is located at the retracted position as shown in FIG. 2, the openings 14 are formed while the substrate is passed through the region above the valve body 20 in the gate device 10 by the transfer arm 2 a of the transfer chamber 2. By passing through, the substrate can be put into the region in the processing chamber 1 and the substrate can be taken out from the region in the processing chamber 1. On the other hand, when the valve body 20 is located at the advanced position as shown in FIG. 4, the valve body 20 becomes a hindrance and a substrate is put into a region in the processing chamber 1 by the transfer arm 2 a of the transfer chamber 2 or inside the processing chamber 1. The substrate cannot be taken out from the area.

また、図２等に示すように、弁体収容部１２の外部において当該弁体収容部１２の底面と弁体支持部３０の下端部３０ａとの間にはベローズ３４（伸縮管）が設けられており、昇降部４０が弁体支持部３０を上方に移動させるとベローズ３４が縮むようになっている。   Further, as shown in FIG. 2 and the like, a bellows 34 (expandable tube) is provided between the bottom surface of the valve body housing portion 12 and the lower end portion 30a of the valve body support portion 30 outside the valve body housing portion 12. When the elevating part 40 moves the valve body support part 30 upward, the bellows 34 is contracted.

また、エアシリンダ４２は、弁体２０が図４に示すような進出位置に位置しているときに昇降部４０を図４における左側に引き寄せるようになっており、昇降部４０が図４における左向きに移動すると弁体支持部３０は弁体収容部１２の底面と同じ高さレベルに位置する軸心３２を中心として図４や図５における時計回りの方向に回動する。このことにより、弁体２０は、図４に示すような進出位置から、図５に示すような弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置に移動するようになる。このように、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４がシール材２２によりシールされると、処理チャンバ１内を真空状態に維持することができるようになる。   Further, the air cylinder 42 is adapted to draw the elevating part 40 toward the left side in FIG. 4 when the valve body 20 is located at the advanced position as shown in FIG. 4, and the elevating part 40 is directed leftward in FIG. When the valve body support portion 30 is moved, the valve body support portion 30 rotates in the clockwise direction in FIGS. 4 and 5 about the shaft center 32 located at the same height level as the bottom surface of the valve body housing portion 12. As a result, the valve body 20 seals (seals) the opening 14 on the processing chamber 1 side provided in the valve body housing portion 12 as shown in FIG. It will move to the sealing position. As described above, when the opening 14 on the processing chamber 1 side provided in the valve body accommodating portion 12 is sealed by the sealing material 22, the inside of the processing chamber 1 can be maintained in a vacuum state.

このように、本実施の形態によるゲート装置１０では、昇降部４０およびエアシリンダ４２を組み合わせることにより、弁体２０が、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置（図２参照）、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置（図４参照）および弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）をシール材２２により封止する封止位置の間で移動するよう、弁体支持部３０を移動させる駆動機構が構成されている。また、このような駆動機構において、昇降部４０は、弁体支持部３０を鉛直方向に沿って移動させることにより弁体２０を退避位置と進出位置との間で移動させる第１駆動部として機能し、また、エアシリンダ４２は、軸心３２を中心として弁体支持部３０を回動させることにより弁体２０を進出位置と封止位置との間で移動させる第２駆動部として機能するようになっている。   As described above, in the gate device 10 according to the present embodiment, the valve body 20 is retracted from the region adjacent to the opening 14 in the valve body housing portion 12 by combining the elevating unit 40 and the air cylinder 42 ( 2), an advanced position (see FIG. 4), which is a region adjacent to the opening 14 in the valve body housing portion 12, and an opening 14 provided in the valve body housing portion 12 (specifically, the processing chamber 1 side) A driving mechanism for moving the valve body support 30 is configured to move between the sealing positions where the opening 14) is sealed by the sealing material 22. In such a drive mechanism, the elevating unit 40 functions as a first drive unit that moves the valve body 20 between the retracted position and the advanced position by moving the valve body support section 30 along the vertical direction. In addition, the air cylinder 42 functions as a second drive unit that moves the valve body 20 between the advanced position and the sealing position by rotating the valve body support section 30 about the axis 32. It has become.

また、本実施の形態によるゲート装置１０では、弁体収容部１２の上端部に蓋部１６が設けられており、この蓋部１６を開くことにより弁体収容部１２の内部にアクセスすることができるようになっている。図６は、図２に示すゲート装置１０において弁体収容部１２の蓋部１６を開いたときの状態を示す図である。このように、作業者は蓋部１６を開いて弁体収容部１２の内部にアクセスすることにより弁体２０の各平面に設けられたシール材２２を順次交換することができるようになる。なお、シール材２２の交換を行う際に、まず弁体２０を図５に示すような封止位置に移動させ、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシールした後に蓋部１６を開き、別のシール材２２の交換を行ってもよい。この場合には、処理チャンバ１内の領域を密封した状態で（すなわち、処理チャンバ１内を真空状態に保ったままで）、シール材２２の交換を行うことができるようになるため、処理チャンバ１内にパーティクルや水蒸気が流入してしまうことを防止することができるようになる。あるいは、弁体２０が図４に示すような進出位置に位置しているときに蓋部１６を開いて弁体収容部１２の内部にアクセスすることにより弁体２０の各平面に設けられたシール材２２を順次交換してもよい。   Further, in the gate device 10 according to the present embodiment, a lid portion 16 is provided at the upper end portion of the valve body housing portion 12, and the inside of the valve body housing portion 12 can be accessed by opening the lid portion 16. It can be done. FIG. 6 is a diagram illustrating a state when the lid portion 16 of the valve body accommodating portion 12 is opened in the gate device 10 illustrated in FIG. 2. Thus, the operator can sequentially replace the sealing material 22 provided on each plane of the valve body 20 by opening the lid portion 16 and accessing the inside of the valve body housing portion 12. When replacing the sealing material 22, first, the valve body 20 is moved to a sealing position as shown in FIG. 5, and one sealing material 22 among the plurality of sealing materials 22 is placed in the valve body housing portion 12. After sealing the opening 14 on the side of the processing chamber 1 provided, the lid 16 may be opened and another sealing material 22 may be replaced. In this case, since the sealing material 22 can be replaced while the region in the processing chamber 1 is sealed (that is, while the processing chamber 1 is kept in a vacuum state), the processing chamber 1 It is possible to prevent particles and water vapor from flowing into the inside. Alternatively, when the valve body 20 is located at the advanced position as shown in FIG. 4, the cover 16 is opened to access the inside of the valve body housing portion 12 to provide a seal provided on each plane of the valve body 20. The material 22 may be replaced sequentially.

以上のような構成からなる本実施の形態によるゲート装置１０によれば、軸心（具体的には、軸２１）を中心として回転可能となっている弁体２０における複数の平面にそれぞれシール材２２（封止部）が設けられており、弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的に封止することができるようになっている。この場合には、弁体２０に１つのシール材２２しか設けられていない場合と比較してシール材２２の交換頻度を低減することができ、また、弁体２０を回転させながら当該弁体２０の各平面に設けられているシール材２２を順次交換することによりシール材２２の交換を短時間で容易に行うことができる。   According to the gate device 10 according to the present embodiment having the above-described configuration, the sealing material is provided on each of a plurality of planes in the valve body 20 that is rotatable about the axis (specifically, the shaft 21). 22 (sealing portion) is provided, and the opening 14 (specifically, the opening 14 on the processing chamber 1 side) provided in the valve body housing portion 12 is provided as one of the plurality of sealing materials 22. The sealing material 22 can be selectively sealed. In this case, it is possible to reduce the replacement frequency of the sealing material 22 as compared with the case where only one sealing material 22 is provided on the valve body 20, and the valve body 20 while rotating the valve body 20. By sequentially exchanging the sealing material 22 provided on each plane, the sealing material 22 can be easily replaced in a short time.

また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、弁体収容部１２には蓋部１６が設けられており、蓋部１６を開くことにより弁体収容部１２の内部にアクセスすることができるようになっている。この場合には蓋部１６を開くだけで弁体２０の各平面に設けられているシール材２２の交換を行うことができるため、シール材２２の交換をより容易に行うことができるようになる。   In the gate device 10 of the present embodiment, as described above, the valve body housing portion 12 is provided with the lid portion 16, and the inside of the valve body housing portion 12 is accessed by opening the lid portion 16. Can be done. In this case, since the sealing material 22 provided on each plane of the valve body 20 can be replaced simply by opening the lid portion 16, the sealing material 22 can be replaced more easily. .

また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２により封止する軸心（具体的には、軸２１）を中心として弁体２０を回転させる回転駆動部２４が設けられている。このことにより、弁体２０に設けられている複数のシール材２２について、弁体収容部１２に設けられている開口１４をシールするシール材２２を自動で他のシール材２２に切り替えることができるようになる。   Further, in the gate device 10 according to the present embodiment, as described above, the shaft center (specifically, the shaft 21) that seals the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 with the sealing material 22 is provided. A rotation drive unit 24 that rotates the valve body 20 as a center is provided. As a result, with respect to the plurality of sealing materials 22 provided in the valve body 20, the sealing material 22 that seals the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 can be automatically switched to another sealing material 22. It becomes like this.

また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置（図２参照）、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置（図４参照）および弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置（図５参照）の間で弁体２０が移動するよう弁体支持部３０を移動させる駆動機構が設けられている。具体的には、このような駆動機構は、弁体支持部３０を鉛直方向に沿って移動させることにより弁体２０を退避位置と進出位置との間で移動させる第１駆動部としての昇降部４０と、軸心３２を中心として弁体支持部３０を回動させることにより弁体２０を進出位置と封止位置との間で移動させる第２駆動部としてのエアシリンダ４２とを有している。このことにより、弁体２０が退避位置に位置しているときには搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになり、一方、弁体２０を退避位置から進出位置を経て封止位置に移動させることにより弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシールすることができるようになる。   Further, in the gate device 10 of the present embodiment, as described above, the retreat position (see FIG. 2) for retreating from the region adjacent to the opening 14 in the valve body accommodating portion 12, the opening in the valve body accommodating portion 12 14 between the advancing position (see FIG. 4) which is an area adjacent to 14 and the sealing position (see FIG. 5) for sealing (sealing) the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 with the sealing material 22. A drive mechanism that moves the valve body support 30 so that the body 20 moves is provided. Specifically, such a drive mechanism includes an elevating unit as a first drive unit that moves the valve body 20 between the retracted position and the advanced position by moving the valve body support section 30 along the vertical direction. 40, and an air cylinder 42 as a second drive unit that moves the valve body 20 between the advanced position and the sealing position by rotating the valve body support section 30 about the shaft center 32. Yes. Accordingly, when the valve body 20 is located at the retracted position, the substrate can be put into the region in the processing chamber 1 or taken out from the region in the processing chamber 1 by the transfer arm 2 a of the transfer chamber 2. On the other hand, by moving the valve body 20 from the retracted position to the sealing position through the advanced position, the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 can be sealed with the sealing material 22. .

また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、封止部としてのシール材２２はＯ−リングである。なお、本実施の形態のゲート装置１０はこのような態様に限定されることはなく、シール材２２としてＯ−リング以外の他の種類のシール材が用いられるようになっていてもよい。   Moreover, in the gate apparatus 10 of this Embodiment, as mentioned above, the sealing material 22 as a sealing part is an O-ring. In addition, the gate apparatus 10 of this Embodiment is not limited to such an aspect, As a sealing material 22, other types of sealing materials other than an O-ring may be used.

また、本実施の形態のゲート装置１０を備えた処理システムにおいては、上述したように、処理チャンバ１内の領域と、ゲート装置１０における弁体収容部１２内の領域とが当該弁体収容部１２に設けられた開口１４を介して連通しており、処理チャンバ１内の領域とゲート装置１０における弁体収容部１２内の領域とを連通させる開口１４は、弁体２０の複数の平面にそれぞれ設けられたシール材２２のうちある一つのシール材２２によってシール（封止）されるようになっている。   Further, in the processing system including the gate device 10 of the present embodiment, as described above, the region in the processing chamber 1 and the region in the valve body housing portion 12 in the gate device 10 are the valve body housing portion. The opening 14 communicating with the region in the processing chamber 1 and the region in the valve body accommodating portion 12 in the gate device 10 is formed in a plurality of planes of the valve body 20. Sealing (sealing) is performed by one sealing material 22 among the sealing materials 22 provided.

また、本実施の形態のゲート装置１０におけるシール材２２の交換方法において、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により弁体収容部１２に設けられている開口１４を封止している間に別のシール材２２の交換が行われるようになっている。この場合には、処理チャンバ１内の領域を密封した状態で（すなわち、処理チャンバ１内を真空状態に保ったままで）、シール材２２の交換を行うことができるようになるため、処理チャンバ１内にパーティクルや水蒸気が流入してしまうことを防止することができるようになる。   Further, in the method of replacing the sealing material 22 in the gate device 10 of the present embodiment, the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 is sealed by one sealing material 22 among the plurality of sealing materials 22. During this time, another seal material 22 is exchanged. In this case, since the sealing material 22 can be replaced while the region in the processing chamber 1 is sealed (that is, while the processing chamber 1 is kept in a vacuum state), the processing chamber 1 It is possible to prevent particles and water vapor from flowing into the inside.

なお、本実施の形態によるゲート装置１０は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。   In addition, the gate apparatus 10 by this Embodiment is not limited to the above aspects, A various change can be added.

例えば、ゲート装置１０に設けられる弁体は、図２等に示すような断面が正三角形形状となっており３つのシール材２２が３つの平面に設けられるような構成のものに限定されることはない。本実施の形態によるゲート装置１０における弁体の様々な構成のバリエーションについて図７（ａ）〜（ｆ）を用いて説明する。図７（ａ）に示す弁体２０ａでは、断面が長方形形状となっており、２つのシール材２２が２つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｂ）に示す弁体２０ｂでは、断面が正方形形状となっており、４つのシール材２２が４つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｃ）に示す弁体２０ｃでは、断面が正五角形形状となっており、５つのシール材２２が５つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｄ）に示す弁体２０ｄでは、断面が正六角形形状となっており、６つのシール材２２が６つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｅ）に示す弁体２０ｅでは、断面が扇形状となっており、２つのシール材２２が２つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｆ）に示す弁体２０ｆでは、断面が台形形状となっており、３つのシール材２２が３つの平面の各々に設けられるようになっている。このように、本実施の形態によるゲート装置１０に設けられる弁体として、複数の平面を有するとともに複数のシール材２２が複数の平面の各々に設けられるものであれば、図２等に示すような形状のもの以外にも様々な形状のものを用いることができる。なお、本実施の形態によるゲート装置１０に設けられる弁体として、図７（ａ）〜（ｆ）に示す形状以外のものが用いられてもよい。   For example, the valve body provided in the gate device 10 is limited to a configuration in which the cross section is an equilateral triangle as shown in FIG. 2 and the like, and the three sealing materials 22 are provided on three planes. There is no. Variations of various configurations of the valve body in the gate device 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. In the valve body 20a shown in FIG. 7A, the cross section has a rectangular shape, and two sealing materials 22 are provided on each of the two planes. Moreover, in the valve body 20b shown in FIG.7 (b), a cross section becomes a square shape, and the four sealing materials 22 are provided in each of four planes. Moreover, in the valve body 20c shown in FIG.7 (c), a cross section becomes a regular pentagon shape, and the five sealing materials 22 are provided in each of five planes. Moreover, in the valve body 20d shown in FIG.7 (d), a cross section becomes a regular hexagon shape, and the six sealing materials 22 are provided in each of six planes. Moreover, in the valve body 20e shown in FIG.7 (e), a cross section is a fan shape, and the two sealing materials 22 are provided in each of two planes. Moreover, in the valve body 20f shown in FIG.7 (f), a cross section becomes trapezoid shape and the three sealing materials 22 are provided in each of three planes. Thus, as shown in FIG. 2 etc., if the valve body provided in the gate device 10 according to the present embodiment has a plurality of planes and a plurality of sealing materials 22 are provided on each of the plurality of planes. Various shapes other than those having various shapes can be used. In addition, as a valve body provided in the gate apparatus 10 by this Embodiment, things other than the shape shown to Fig.7 (a)-(f) may be used.

また、図２乃至図６に示すゲート装置１０において、弁体収容部１２内の雰囲気を加熱する加熱部が設けられていてもよい。弁体収容部１２内の雰囲気を加熱部によって加熱することによりこのゲート装置１０に隣接する処理チャンバ１内を早く真空状態とすることができるようになる。   Further, in the gate device 10 shown in FIGS. 2 to 6, a heating unit that heats the atmosphere in the valve body housing unit 12 may be provided. By heating the atmosphere in the valve body accommodating portion 12 by the heating portion, the inside of the processing chamber 1 adjacent to the gate device 10 can be quickly brought into a vacuum state.

また、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置および弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置の間で弁体２０が移動するよう弁体支持部を移動させる駆動機構は、図２乃至図６に示すような昇降部４０およびエアシリンダ４２を組み合わせたものに限定されることはない。退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構の他の構成例について図８および図９を用いて説明する。図８は、変形例に係るゲート装置１０ａの構成を示す側面図であり、図９は、図８に示すゲート装置１０ａを左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。なお、図８および図９に示すゲート装置１０ａを説明するにあたり、図２乃至図６に示すゲート装置１０と同じ構成部材については同じ参照符号を付けてその説明を省略する。   Further, a retracted position for retreating from a region adjacent to the opening 14 in the valve body housing portion 12, an advance position that is a region adjacent to the opening 14 in the valve body housing portion 12, and an opening provided in the valve body housing portion 12. The drive mechanism that moves the valve body support portion so that the valve body 20 moves between the sealing positions where the seal 14 is sealed (sealed) by the sealing material 22 includes an elevating section 40 and an air as shown in FIGS. It is not limited to the combination of the cylinders 42. Another configuration example of the drive mechanism that moves the valve body 20 between the retracted position, the advanced position, and the sealing position will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a side view showing the configuration of the gate device 10a according to the modification, and FIG. 9 is a front view showing the configuration when the gate device 10a shown in FIG. 8 is viewed from the left side to the right. In the description of the gate device 10a shown in FIGS. 8 and 9, the same components as those of the gate device 10 shown in FIGS. 2 to 6 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図８および図９に示すように、変形例に係るゲート装置１０ａにおいては、弁体２０の下方に棒状の弁体支持部３６が設けられており、この弁体支持部３６の上部には、軸２１を回転自在に支持する軸支持部３１が取り付けられている。また、弁体支持部３６には当該弁体支持部３６の長手方向に延びる長穴３６ａが設けられており、この長穴３６ａには、弁体収容部１２に位置固定で設けられたピン部材３８が挿入されるようになっている。また、弁体収容部１２の外部において当該弁体収容部１２の底面と弁体支持部３６の下端部３６ｂとの間にはベローズ３４（伸縮管）が設けられており、弁体支持部３０が上方に移動するとベローズ３４が縮むようになっている。   As shown in FIGS. 8 and 9, in the gate device 10 a according to the modification, a rod-like valve body support portion 36 is provided below the valve body 20, and an upper portion of the valve body support portion 36 is A shaft support portion 31 that rotatably supports the shaft 21 is attached. Further, the valve body support portion 36 is provided with a long hole 36a extending in the longitudinal direction of the valve body support portion 36, and a pin member provided in a fixed position in the valve body housing portion 12 in the long hole 36a. 38 is inserted. In addition, a bellows 34 (expandable tube) is provided between the bottom surface of the valve body housing portion 12 and the lower end portion 36 b of the valve body support portion 36 outside the valve body housing portion 12, and the valve body support portion 30. The bellows 34 is contracted when is moved upward.

また、弁体支持部３６の下端部３６ｂには棒状の取付部材４４が当該下端部３６ｂから下方に延びるよう取り付けられており、この取付部材４４の下端部分にはエアシリンダ４２の先端部分が回転自在に接続されている。また、図８および図９に示すような変形例に係るゲート装置１０ａでは、エアシリンダ４２自体が昇降可能となっている。そして、エアシリンダ４２が昇降することにより、弁体収容部１２に対して弁体支持部３６が図８における上下方向に移動し、このことにより、弁体２０は、図８（ａ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置と、図８（ｂ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置との間で鉛直方向に沿って移動するようになっている。ここで、弁体収容部１２に対して弁体支持部３６が図８における上下方向に移動する際に、当該弁体収容部１２に位置固定で設けられたピン部材３８が弁体支持部３６の長穴３６ａ内で相対的に移動するようになる。   Further, a rod-shaped attachment member 44 is attached to the lower end portion 36b of the valve body support portion 36 so as to extend downward from the lower end portion 36b, and the distal end portion of the air cylinder 42 rotates at the lower end portion of the attachment member 44. Connected freely. Further, in the gate device 10a according to the modification shown in FIGS. 8 and 9, the air cylinder 42 itself can be moved up and down. Then, when the air cylinder 42 moves up and down, the valve body support portion 36 moves in the vertical direction in FIG. 8 with respect to the valve body housing portion 12, whereby the valve body 20 is shown in FIG. Such a retreat position for retreating from the region adjacent to the opening 14 in the valve body accommodating portion 12 and an advance position that is a region adjacent to the opening 14 in the valve body accommodating portion 12 as shown in FIG. It moves along the vertical direction. Here, when the valve body support portion 36 moves in the vertical direction in FIG. 8 with respect to the valve body housing portion 12, the pin member 38 provided in a fixed position on the valve body housing portion 12 is provided with the valve body support portion 36. It moves relatively in the long hole 36a.

また、エアシリンダ４２は、弁体２０が図８（ｂ）に示すような進出位置に位置しているときに取付部材４４の下端部分を図８における左側に引き寄せるようになっており、取付部材４４の下端部分が図８における左向きに移動すると長穴３６ａ内のピン部材３８を中心として弁体支持部３６が図８における時計回りの方向に回動する。このことにより、弁体２０は、図８（ｂ）に示すような進出位置から、図８（ｃ）に示すような弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置に移動するようになる。このように、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４がシール材２２によりシールされると、処理チャンバ１内を真空状態に維持することができるようになる。   Further, the air cylinder 42 draws the lower end portion of the mounting member 44 to the left side in FIG. 8 when the valve body 20 is located at the advanced position as shown in FIG. When the lower end portion of 44 moves to the left in FIG. 8, the valve body support portion 36 rotates in the clockwise direction in FIG. 8 around the pin member 38 in the elongated hole 36a. Thus, the valve body 20 seals the opening 14 on the processing chamber 1 side provided in the valve body housing portion 12 as shown in FIG. 8C from the advanced position as shown in FIG. 8B. The material 22 moves to a sealing position to be sealed (sealed). As described above, when the opening 14 on the processing chamber 1 side provided in the valve body accommodating portion 12 is sealed by the sealing material 22, the inside of the processing chamber 1 can be maintained in a vacuum state.

図８および図９に示すような変形例に係るゲート装置１０ａでも、図２乃至図６に示すようなゲート装置１０と同様に、軸心（具体的には、軸２１）を中心として回転可能となっている弁体２０における複数の平面にそれぞれシール材２２（封止部）が設けられており、軸心を中心として弁体２０を回転させることにより、弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的に封止することができるようになっているため、弁体２０に１つのシール材２２しか設けられていない場合と比較してシール材２２の交換頻度を低減することができ、また、弁体２０を回転させながら当該弁体２０の各平面に設けられているシール材２２を順次交換することによりシール材２２の交換を短時間で容易に行うことができる。また、図８および図９に示すような変形例に係るゲート装置１０ａでも、退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構が設けられているため、弁体２０が退避位置に位置しているときには搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになり、一方、弁体２０を退避位置から進出位置を経て封止位置に移動させることにより弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシールすることができるようになる。   The gate device 10a according to the modification shown in FIGS. 8 and 9 can also rotate around the axis (specifically, the shaft 21), similarly to the gate device 10 shown in FIGS. Seal members 22 (sealing portions) are respectively provided on a plurality of planes of the valve body 20 that are formed, and are provided in the valve body housing portion 12 by rotating the valve body 20 about the axis. The opening 14 (specifically, the opening 14 on the processing chamber 1 side) can be selectively sealed by one sealing material 22 among the plurality of sealing materials 22. Compared to the case where only one sealing material 22 is provided on the body 20, the replacement frequency of the sealing material 22 can be reduced, and the valve body 20 is provided on each plane of the valve body 20 while rotating. The sealing material 22 It can be easily performed in a short time to replace the sealing member 22 by conversion. Also in the gate device 10a according to the modified example as shown in FIGS. 8 and 9, a drive mechanism for moving the valve body 20 between the retracted position, the advanced position, and the sealing position is provided. Is positioned at the retracted position, the transfer arm 2a of the transfer chamber 2 allows the substrate to be put into the region in the processing chamber 1 and the substrate to be taken out from the region in the processing chamber 1. By moving the body 20 from the retracted position to the sealing position through the advanced position, the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 can be sealed with the sealing material 22.

退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構の更に他の構成例について図１０および図１１を用いて説明する。図１０は、別の変形例に係るゲート装置１０ｂの構成を示す側面図であり、図１１は、図１０に示すゲート装置１０ｂを左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。なお、図１０および図１１に示すゲート装置１０ｂを説明するにあたり、図２乃至図６に示すゲート装置１０や図８および図９に示すゲート装置１０ａと同じ構成部材については同じ参照符号を付けてその説明を省略する。   Still another configuration example of the drive mechanism that moves the valve body 20 between the retracted position, the advanced position, and the sealing position will be described with reference to FIGS. 10 and 11. FIG. 10 is a side view showing a configuration of a gate device 10b according to another modification, and FIG. 11 is a front view showing a configuration when the gate device 10b shown in FIG. 10 is viewed from the left side to the right. In describing the gate device 10b shown in FIGS. 10 and 11, the same components as those of the gate device 10 shown in FIGS. 2 to 6 and the gate device 10a shown in FIGS. The description is omitted.

図１０および図１１に示すように、別の変形例に係るゲート装置１０ｂにおいては、弁体２０の下方に弁体支持部５０が設けられており、この弁体支持部５０の上部には、軸２１を回転自在に支持する軸支持部３１が取り付けられている。また、弁体収容部１２の内部において弁体支持部５０の下端部５０ａと弁体収容部１２の底面との間にはベローズ５２（伸縮管）が設けられており、弁体支持部５０が下方に移動するとベローズ５２が縮むようになっている。   As shown in FIGS. 10 and 11, in a gate device 10b according to another modification, a valve body support portion 50 is provided below the valve body 20, and an upper portion of the valve body support portion 50 is A shaft support portion 31 that rotatably supports the shaft 21 is attached. In addition, a bellows 52 (expandable tube) is provided between the lower end portion 50a of the valve body support portion 50 and the bottom surface of the valve body storage portion 12 inside the valve body storage portion 12, and the valve body support portion 50 is When moved downward, the bellows 52 contracts.

また、図１０および図１１に示すゲート装置１０ｂは、弁体支持部５０を昇降させる昇降部５４と、昇降部５４を図１０における左右方向に往復移動させるエアシリンダ４２とを備えており、昇降部５４が弁体支持部５０を昇降させることにより、弁体２０は、図１０（ａ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置と、図１０（ｂ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置との間で鉛直方向に沿って移動するようになっている。ここで、昇降部５４は、ラック・アンド・ピニオン等を用いることにより弁体支持部５０を機械的に昇降させるようになっている。   The gate device 10b shown in FIGS. 10 and 11 includes an elevating unit 54 that elevates and lowers the valve body support unit 50, and an air cylinder 42 that reciprocates the elevating unit 54 in the left-right direction in FIG. When the part 54 raises and lowers the valve body support part 50, the valve body 20 is retracted from the region adjacent to the opening 14 in the valve body housing part 12 as shown in FIG. It moves along the vertical direction between the advanced position, which is a region adjacent to the opening 14 in the valve body housing portion 12 as shown in FIG. Here, the raising / lowering part 54 raises / lowers the valve body support part 50 mechanically by using a rack and pinion or the like.

また、エアシリンダ４２は、弁体２０が図１０（ｂ）に示すような進出位置に位置しているときに昇降部５４の下部を図１０における左側に引き寄せるようになっており、昇降部５４の下部が図１０における左向きに移動すると当該昇降部５４および弁体支持部５０は一体的に図１０における時計回りの方向に回動する。このことにより、弁体２０は、図１０（ｂ）に示すような進出位置から、図１０（ｃ）に示すような弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置に移動するようになる。このように、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４がシール材２２によりシールされると、処理チャンバ１内を真空状態に維持することができるようになる。   Further, the air cylinder 42 draws the lower part of the elevating part 54 to the left side in FIG. 10 when the valve body 20 is located at the advanced position as shown in FIG. 10 moves to the left in FIG. 10, the elevating part 54 and the valve body support part 50 integrally rotate in the clockwise direction in FIG. 10. Accordingly, the valve body 20 seals the opening 14 on the processing chamber 1 side provided in the valve body housing portion 12 as shown in FIG. 10C from the advanced position as shown in FIG. The material 22 moves to a sealing position to be sealed (sealed). As described above, when the opening 14 on the processing chamber 1 side provided in the valve body accommodating portion 12 is sealed by the sealing material 22, the inside of the processing chamber 1 can be maintained in a vacuum state.

図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでも、図２乃至図６に示すようなゲート装置１０や図８および図９に示すようなゲート装置１０ａと同様に、軸心（具体的には、軸２１）を中心として回転可能となっている弁体２０における複数の平面にそれぞれシール材２２（封止部）が設けられており、軸心を中心として弁体２０を回転させることにより、弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的に封止することができるようになっているため、弁体２０に１つのシール材２２しか設けられていない場合と比較してシール材２２の交換頻度を低減することができ、また、弁体２０を回転させながら当該弁体２０の各平面に設けられているシール材２２を順次交換することにより、シール材２２の交換を短時間で容易に行うことができる。また、図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでも、退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構が設けられているため、弁体２０が退避位置に位置しているときには搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになり、一方、弁体２０を退避位置から進出位置を経て封止位置に移動させることにより弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシールすることができるようになる。また、図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでは、ベローズ５２が弁体収容部１２の内部に設けられているため、ベローズが外気に曝される場合と比較してベローズ５２が腐食してしまうことを抑制することができるようになる。また、図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでは、ベローズ５２が伸びている状態のときに昇降部５４および弁体支持部５０が一体的に回動するため、ベローズ５２が摩耗により損傷してしまうことを抑制することができるようになる。   The gate device 10b according to the modification shown in FIGS. 10 and 11 also has an axial center (like the gate device 10 shown in FIGS. 2 to 6 and the gate device 10a shown in FIGS. 8 and 9). Specifically, a sealing material 22 (sealing part) is provided on each of a plurality of planes of the valve body 20 that is rotatable about the shaft 21), and the valve body 20 is rotated about the axis. By doing so, the opening 14 (specifically, the opening 14 on the processing chamber 1 side) provided in the valve body accommodating portion 12 is selectively sealed by one sealing material 22 among the plurality of sealing materials 22. Since it can be stopped, the replacement frequency of the sealing material 22 can be reduced compared to the case where only one sealing material 22 is provided in the valve body 20, and the valve body 20 The valve while rotating By sequentially replacing the sealing member 22 provided in each plane 20, it can be easily performed in a short time to replace the sealing member 22. Also in the gate device 10b according to the modification shown in FIGS. 10 and 11, a drive mechanism for moving the valve body 20 between the retracted position, the advanced position, and the sealing position is provided. Is positioned at the retracted position, the transfer arm 2a of the transfer chamber 2 allows the substrate to be put into the region in the processing chamber 1 and the substrate to be taken out from the region in the processing chamber 1. By moving the body 20 from the retracted position to the sealing position through the advanced position, the opening 14 provided in the valve body housing portion 12 can be sealed with the sealing material 22. Further, in the gate device 10b according to the modification shown in FIGS. 10 and 11, the bellows 52 is provided inside the valve body housing portion 12, and therefore, the bellows is compared with the case where the bellows is exposed to the outside air. It can control that 52 corrodes. Further, in the gate device 10b according to the modification as shown in FIGS. 10 and 11, since the elevating part 54 and the valve body support part 50 rotate integrally when the bellows 52 is extended, the bellows 52 Can be prevented from being damaged by wear.

１ 処理チャンバ
２ 搬送チャンバ
２ａ 搬送アーム
３ ロードロックチャンバ
４ 大気搬送ユニット
４ａ 搬送アーム
５ ストッカー
１０、１０ａ、１０ｂ ゲート装置
１２ 弁体収容部
１４ 開口
１６ 蓋部
２０、２０ａ〜２０ｆ 弁体
２１ 軸
２２ シール材
２４ 回転駆動部
３０ 弁体支持部
３０ａ 下端部
３１ 軸支持部
３２ 軸心
３４ ベローズ
３６ 弁体支持部
３６ａ 長穴
３６ｂ 下端部
３８ ピン部材
４０ 昇降部
４２ エアシリンダ
４４ 取付部材
５０ 弁体支持部
５０ａ 下端部
５２ ベローズ
５４ 昇降部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing chamber 2 Transfer chamber 2a Transfer arm 3 Load lock chamber 4 Atmospheric transfer unit 4a Transfer arm 5 Stocker 10, 10a, 10b Gate device 12 Valve body accommodating part 14 Opening 16 Lid part 20, 20a-20f Valve body 21 Shaft 22 Seal Material 24 Rotation drive part 30 Valve body support part 30a Lower end part 31 Shaft support part 32 Shaft center 34 Bellows 36 Valve body support part 36a Long hole 36b Lower end part 38 Pin member 40 Lifting part 42 Air cylinder 44 Attachment member 50 Valve body support part 50a Lower end 52 Bellows 54 Elevating part

Claims (9)

複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、
前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、
前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、
を備え、
前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっている、ゲート装置。 A valve body provided with a plurality of planes and rotatable about an axis;
Sealing portions respectively provided on the flat surfaces of the valve body;
A valve body housing portion in which the valve body is housed and an opening is provided;
With
The gate apparatus which can selectively seal the said opening provided in the said valve body accommodating part with the said one sealing part among the said some sealing parts. 前記弁体収容部には蓋部が設けられており、前記蓋部を開くことにより前記弁体収容部の内部にアクセスすることができるようになっている、請求項１記載のゲート部。   The gate portion according to claim 1, wherein the valve body housing portion is provided with a lid portion, and the inside of the valve body housing portion can be accessed by opening the lid portion. 前記軸心を中心として前記弁体を回転させる回転駆動部を更に備えた、請求項１または２記載のゲート装置。   The gate device according to claim 1, further comprising a rotation drive unit that rotates the valve body about the axis. 前記弁体を支持する弁体支持部と、
前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域から退避する退避位置、前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域である進出位置および前記弁体収容部に設けられている前記開口を前記封止部により封止する封止位置の間で前記弁体が移動するよう前記弁体支持部を移動させる駆動機構と、
を更に備えた、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のゲート装置。 A valve body support part for supporting the valve body;
The retraction position for retreating from the region adjacent to the opening in the valve body housing portion, the advance position that is the region adjacent to the opening in the valve body housing portion, and the opening provided in the valve body housing portion are sealed. A drive mechanism for moving the valve body support portion so that the valve body moves between sealing positions sealed by a stop portion;
The gate device according to any one of claims 1 to 3, further comprising: 前記駆動機構は、前記弁体支持部を鉛直方向に沿って移動させることにより前記弁体を前記退避位置と前記進出位置との間で移動させる第１駆動部と、前記弁体支持部を回動させることにより前記弁体を前記進出位置と前記封止位置との間で移動させる第２駆動部とを有している、請求項４記載のゲート装置。   The drive mechanism moves the valve body support section along a vertical direction to move the valve body between the retracted position and the advanced position, and rotates the valve body support section. The gate device according to claim 4, further comprising: a second drive unit that moves the valve body between the advanced position and the sealing position. 前記封止部はＯ−リングである、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のゲート装置。   The gate device according to claim 1, wherein the sealing portion is an O-ring. 被処理物の処理を行う処理チャンバと、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のゲート装置と、
を備え、
前記処理チャンバ内の領域と、前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とが当該弁体収容部に設けられた前記開口を介して連通しており、前記処理チャンバ内の領域と前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とを連通させる前記開口は、前記ゲート装置における複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止されるようになっている、処理システム。 A processing chamber for processing a workpiece;
The gate device according to any one of claims 1 to 6,
With
The region in the processing chamber communicates with the region in the valve body housing portion of the gate device through the opening provided in the valve body housing portion, and the region in the processing chamber and the gate device The opening that communicates with the region in the valve body housing part in the gate device is selectively sealed by one sealing part among the plurality of sealing parts in the gate device. system. 複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、を備え、前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっているゲート装置における前記封止部の交換方法であって、
前記弁体収容部に設けられている蓋部を開く工程と、
前記弁体収容部の内部にアクセスして前記封止部の交換を行う工程と、
を備えた、封止部交換方法。 A valve body that is provided with a plurality of planes and is rotatable around an axis, a sealing portion that is provided on each of the planes of the valve body, the valve body is accommodated, and an opening is provided. A valve body housing portion, and the opening provided in the valve body housing portion can be selectively sealed by one sealing portion among the plurality of sealing portions. A method of replacing the sealing portion in a gate device configured as described above,
Opening the lid portion provided in the valve body housing portion;
A step of accessing the inside of the valve body housing portion and replacing the sealing portion;
The sealing part replacement | exchange method provided with. 複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により前記弁体収容部に設けられている前記開口を封止している間に別の前記封止部の交換を行う、請求項８記載の封止部交換方法。   The other sealing part is replaced while the opening provided in the valve body housing part is sealed by one sealing part among the sealing parts. The sealing part replacement | exchange method of description.

Images