WO2019188543A1 - 電子装置の製造方法 - Google Patents

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WO2019188543A1
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adhesive
adhesive resin
manufacturing
mass
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五十嵐　康二
木下　仁
宏嘉 栗原
三浦　徹
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三井化学東セロ株式会社
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    • H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
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    • H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181—Encapsulation

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing an electronic device.
  • a fan-out type WLP has been developed as a technology capable of reducing the size and weight of an electronic device (for example, a semiconductor device).
  • eWLB embedded Wafer Level Ball Grid Array
  • a plurality of electronic components such as semiconductor chips are temporarily fixed on an adhesive film affixed to a support substrate. Then, a technique of collectively sealing a plurality of electronic components with a sealing material is taken.
  • the adhesive film needs to be fixed to the electronic component and the support substrate in a sealing process or the like, and after sealing, it needs to be removed from the electronic component sealed together with the support substrate.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-134811
  • Patent Document 1 discloses a heat-resistant adhesive sheet for manufacturing a semiconductor device, which is used by adhering when a substrate-less semiconductor chip is resin-sealed.
  • the heat-resistant adhesive sheet includes a base material layer and an adhesive layer.
  • the adhesive layer has an adhesive strength to SUS304 of 0.5 N / 20 mm or more after bonding, and is cured by the stimulus received until the resin sealing process is completed, and has a peel strength against the package.
  • a heat-resistant pressure-sensitive adhesive sheet for manufacturing a semiconductor device which is a layer having a thickness of 2.0 N / 20 mm or less, is described.
  • the inventors of the present invention have made extensive studies in order to achieve the above problems. As a result, it has been found that by performing a step of reducing the amount of moisture in the adhesive film or a step of reducing the amount of moisture in the structure including the adhesive film, it is possible to suppress displacement of the electronic component in the sealing step. Thus, the present invention has been completed.
  • the following electronic device manufacturing method is provided.
  • a base material layer provided on the first surface side of the base material layer, and an adhesive resin layer (A) for temporarily fixing an electronic component; provided on the second surface side of the base material layer; And an adhesive film provided with an adhesive resin layer (B) whose adhesive strength is reduced by an external stimulus, An electronic component attached to the adhesive resin layer (A) of the adhesive film;
  • a method of manufacturing an electronic device comprising at least [2]
  • the step (2) includes a step (2-1) for reducing the amount of water in the adhesive film,
  • the step (2-1) is a method for manufacturing an electronic device performed before the step (1).
  • step (2-1) In the method for manufacturing an electronic device according to the above [2], In the step (2-1), a method for producing an electronic device wherein the moisture content in the adhesive film is reduced by heating the adhesive film and / or depressurizing the adhesive film.
  • step (2) includes a step (2-2) for reducing the amount of water in the structure, The step (2-2) is a method for manufacturing an electronic device performed between the step (1) and the step (3).
  • step (2-2) a method of manufacturing an electronic device in which the amount of moisture in the structure is reduced by heating the structure and / or reducing the pressure of the structure.
  • the said process (2) is a manufacturing method of the electronic device performed just before the said process (3).
  • an electronic device is further provided with a step (4) of reducing the adhesive force of the adhesive resin layer (B) by applying an external stimulus and peeling the support substrate from the structure.
  • Method. [8] In the method for manufacturing an electronic device according to the above [7], The manufacturing method of the electronic apparatus further equipped with the process (5) which peels the said adhesive film from the said electronic component after the said process (4).
  • Drawing 1 is a sectional view showing typically an example of structure of adhesive film 50 of an embodiment concerning the present invention.
  • 2 to 4 are cross-sectional views schematically showing an example of a method for manufacturing an electronic device according to an embodiment of the present invention.
  • the method for manufacturing an electronic device according to this embodiment includes at least the following three steps.
  • the electronic component when the electronic component is arranged on the adhesive film and the electronic component is sealed with the sealing material, the position of the electronic component is shifted (hereinafter, referred to as “the electronic component”). (It is also referred to as electronic component misalignment.)
  • the misalignment of the electronic component is caused by the outgas derived from the moisture contained in the adhesive film, particularly the outgas derived from the moisture contained in the adhesive resin layer on the side attached to the support substrate. I found out that would occur.
  • the present inventors have further studied based on the above findings.
  • step (2) selected from the step (2-1) for reducing the moisture content in the adhesive film 50 and the step (2-2) for reducing the moisture content in the structure 100 is performed.
  • the displacement of the electronic component in the sealing process can be suppressed. That is, according to the method for manufacturing an electronic device according to the present embodiment, the step (2-1) of reducing the amount of moisture in the adhesive film 50 and the step (2-2) of reducing the amount of moisture in the structure 100.
  • step of sealing the electronic component by performing at least one step (2) selected from the above, in the adhesive resin layer on the side that is attached to the support substrate, outgas derived from moisture contained in the adhesive film Generation
  • step (1) the adhesive film 50, the electronic component 70 attached to the adhesive resin layer (A) of the adhesive film 50, and the adhesive resin layer (B) of the adhesive film 50 are attached. And the support substrate 80 are prepared.
  • Such a structure 100 can be produced, for example, by the following procedure.
  • the adhesive film 50 is stuck on the support substrate 80 so that the adhesive resin layer (B) is on the support substrate 80 side.
  • a protective film may be affixed on the adhesive resin layer (B), and the protective film may be peeled off to adhere the exposed surface of the adhesive resin layer (B) to the surface of the support substrate 80.
  • the support substrate 80 for example, a quartz substrate, a glass substrate, a SUS substrate, or the like can be used.
  • the structure 100 can be obtained by disposing the electronic component 70 on the adhesive resin layer (A) of the adhesive film 50 adhered on the support substrate 80.
  • the electronic component 70 include semiconductor chips such as ICs, LSIs, discretes, light emitting diodes, and light receiving elements, semiconductor panels, and semiconductor packages.
  • Step (2) includes at least one step selected from the step (2-1) for reducing the amount of water in the adhesive film 50 and the step (2-2) for reducing the amount of water in the structure 100. .
  • the step (2-1) is preferably performed before the step (1) as shown in FIG. That is, it is preferable to reduce the amount of moisture in the adhesive film 50 before the structure 100 is manufactured. By doing so, it becomes possible to reduce the amount of water with the adhesive film 50 in a roll state, for example, in a stage before cutting out to an appropriate size, and the amount of water in the structure 100 is more efficiently reduced. It becomes possible.
  • the amount of water in the adhesive film 50 can be reduced by heating the adhesive film 50 and / or reducing the pressure of the adhesive film 50.
  • step (2-2) is preferably performed between step (1) and step (3), more preferably performed immediately before step (3).
  • step (2-2) it is possible to further suppress the displacement of the electronic component in the sealing step.
  • step (2-2) for example, the amount of moisture in the structure 100 can be reduced by heating the structure 100 and / or reducing the pressure of the structure 100.
  • the interval between step (2) and step (3) is preferably within 12 hours, more preferably within 6 hours, and within 3 hours. Is more preferable, and it is particularly preferably within 1 hour.
  • sucks to the adhesive film 50 or the structure 100 between a process (2) and a process (3).
  • moisture content contained in the adhesive film 50 or the structure 100 can be suppressed further, As a result, the position shift of the electronic component in a sealing process is further increased. Can be suppressed.
  • the temperature at which the adhesive film 50 or the structure 100 is heated can reduce the amount of water contained in the adhesive film 50 or the structure 100, and the adhesive film 50 or the structure 100 can be reduced.
  • it will not specifically limit if it is the temperature which does not deteriorate, For example, it is preferable to exist in the range of 80 degreeC or more and 180 degrees C or less, and it is more preferable that it exists in the range of 100 degreeC or more and 150 degrees C or less.
  • the time for heating the adhesive film 50 or the structure 100 is a heating time in which the amount of water in the adhesive film 50 or the structure 100 can be reduced and the adhesive film 50 or the structure 100 does not deteriorate.
  • it does not specifically limit, For example, it exists in the range of 1 minute or more and 120 minutes or less, Preferably it is 5 minutes or more and 60 minutes or less.
  • the method of heating the adhesive film 50 or the structure 100 is not specifically limited, For example, generally well-known heat processing methods, such as oven, a dryer, a heating roll, a drying furnace, can be used.
  • the pressure at the time of depressurization is, for example, 100 Pa or more and 10,000 Pa or less.
  • a method for reducing the pressure of the adhesive film 50 or the structure 100 is not particularly limited.
  • a generally known pressure reduction method such as a vacuum dryer can be used.
  • the amount of water can be adjusted by heating or depressurizing the adhesive film 50 or the structure 100 as described above, but when heated at a temperature exceeding 125 ° C., peeling of the electronic component 70 and the adhesive film 50 is prevented. Therefore, the pressure during decompression is preferably 500 Pa or more.
  • Whether the moisture content in the adhesive film 50 or the structure 100 has decreased can be determined by a known method such as thermogravimetric analysis.
  • the electronic component 70 is sealed with the sealing material 60.
  • the electronic component 70 is covered with the sealing material 60, and the electronic material 70 is sealed by curing the sealing material 60 at a temperature of 150 ° C. or less, for example.
  • it does not specifically limit as a form of the sealing material 60, For example, it is a granular form, a sheet form, or liquid form.
  • the sealing material 60 the epoxy resin type sealing material using an epoxy resin can be used.
  • the liquid epoxy resin-based sealing material is preferable in that the affinity of the sealing material 60 to the adhesive film 50 becomes better and the electronic component 70 can be sealed more evenly.
  • an epoxy resin-based sealing material for example, T693 / R4000 series, T693 / R1000 series, T693 / R5000 series manufactured by Nagase ChemteX Corporation can be used.
  • sealing method examples include transfer molding, injection molding, compression molding, and cast molding. After sealing the electronic component 70 with the sealing material 60, for example, the sealing material 60 is cured by heating at a temperature of 150 ° C. or less, and the structure 100 in which the electronic component 70 is sealed is obtained.
  • the method further includes a step (5) of peeling the adhesive film 50 from the electronic component 70 to obtain the electronic device 200.
  • a step (5) of peeling the adhesive film 50 from the electronic component 70 includes a method of mechanically peeling and a method of peeling after reducing the adhesive force on the surface of the adhesive film 50.
  • the step (6) of obtaining the electronic device 300 by forming the wiring layer 310 and the bump 320 on the exposed surface of the obtained electronic device 200 is performed. Further, it may be provided.
  • the wiring layer 310 includes pads (not shown) that are external connection terminals formed on the outermost surface, and wiring (not shown) that electrically connects the exposed electronic component 70 and the pads.
  • the wiring layer 310 can be formed by a conventionally known method, and may have a multilayer structure.
  • the bump 320 is formed on the pad of the wiring layer 310, and the electronic device 300 can be obtained.
  • the bump 320 include a solder bump and a gold bump.
  • the solder bump can be formed, for example, by placing a solder ball on a pad that is an external connection terminal of the wiring layer 310 and melting (reflowing) the solder by heating.
  • Gold bumps can be formed by methods such as ball bonding, plating, and Au ball transfer.
  • a step (7) of obtaining a plurality of electronic devices 400 by dicing the electronic device 300 may be further provided.
  • the dicing of the electronic device 300 can be performed by a known method.
  • Drawing 1 is a sectional view showing typically an example of structure of adhesive film 50 of an embodiment concerning the present invention.
  • an adhesive film 50 includes a base material layer 10, an adhesive resin layer (A) provided on the first surface 10 ⁇ / b> A side of the base material layer 10, and a base material layer. And an adhesive resin layer (B) that is provided on the second surface 10B side and has an adhesive force that is reduced by an external stimulus.
  • the total thickness of the adhesive film 50 according to this embodiment is preferably 10 ⁇ m or more and 1000 ⁇ m or less, more preferably 20 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less, from the viewpoint of the balance between mechanical properties and handleability.
  • the base material layer 10 is a layer provided for the purpose of improving the handling properties, mechanical properties, heat resistance, and other properties of the adhesive film 50.
  • the base material layer 10 is not specifically limited, For example, a resin film is mentioned. A known thermoplastic resin can be used as the resin constituting the resin film.
  • polyolefins such as polyethylene, polypropylene, poly (4-methyl-1-pentene), poly (1-butene); polyesters such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate; nylon-6, nylon-66, poly Polyamide; Polymethacrylate; Polymethacrylate; Polyvinyl chloride; Polyvinylidene chloride; Polyimide; Polyetherimide; Ethylene / vinyl acetate copolymer; Polyacrylonitrile; Polycarbonate; Polystyrene; Ionomer; Polysulfone; Ether sulfone; one or two or more selected from polyphenylene ether and the like can be mentioned.
  • polypropylene polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyamide, and polyimide are preferable, and polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable. More preferred is at least one selected from
  • the base material layer 10 may be a single layer or two or more layers.
  • the form of the resin film used to form the base material layer 10 may be a stretched film or a film stretched in a uniaxial direction or a biaxial direction. From the viewpoint of improving the mechanical strength of the film, a film stretched in a uniaxial direction or a biaxial direction is preferable.
  • the thickness of the base material layer 10 is preferably 1 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less, more preferably 5 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less, and further preferably 10 ⁇ m or more and 250 ⁇ m or less from the viewpoint of obtaining good film properties.
  • the base material layer 10 may be subjected to a surface treatment in order to improve adhesion with other layers. Specifically, corona treatment, plasma treatment, undercoat treatment, primer coat treatment, or the like may be performed.
  • the adhesive resin layer (A) is a layer provided on one surface side of the base material layer 10.
  • the surface of the electronic component It is a layer for temporarily fixing an electronic component in contact with the surface.
  • the adhesive resin layer (A) contains an adhesive resin (A1).
  • the adhesive resin (A1) include (meth) acrylic adhesive resin (a), silicone adhesive resin, urethane adhesive resin, olefin adhesive resin, styrene adhesive resin, and the like. .
  • the (meth) acrylic adhesive resin (a) is preferable from the viewpoint of facilitating adjustment of the adhesive strength.
  • the adhesive resin layer (A) a radiation-crosslinking adhesive resin layer that reduces the adhesive force by radiation can also be used.
  • the radiation-crosslinking type adhesive resin layer is cross-linked by irradiation with radiation, and the adhesive strength is remarkably reduced. Therefore, the adhesive film 50 is easily peeled from the electronic component.
  • Examples of radiation include ultraviolet rays, electron beams, and infrared rays.
  • an ultraviolet crosslinkable adhesive resin layer is preferable.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (a) used for the adhesive resin layer (A) has, for example, a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer unit (a1) and a functional group capable of reacting with a crosslinking agent.
  • a copolymer containing the monomer unit (a2) may be mentioned.
  • (meth) acrylic acid alkyl ester means acrylic acid alkyl ester, methacrylic acid alkyl ester, or a mixture thereof.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (a) includes, for example, a monomer mixture including a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer (a1) and a monomer (a2) having a functional group capable of reacting with a crosslinking agent. Can be obtained by copolymerization.
  • Examples of the monomer (a1) forming the (meth) acrylic acid alkyl ester monomer unit (a1) include (meth) acrylic acid alkyl esters having an alkyl group having about 1 to 12 carbon atoms. Preferred is a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. Specific examples include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, and 2-ethylhexyl methacrylate. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the content of the (meth) acrylic acid alkyl ester monomer unit (a1) is the total monomer in the (meth) acrylic adhesive resin (a).
  • the total unit is 100% by mass, it is preferably 10% by mass or more and 98.9% by mass or less, more preferably 50% by mass or more and 97% by mass or less, and 85% by mass or more and 95% by mass or less. More preferably.
  • Examples of the monomer (a2) forming the monomer (a2) having a functional group capable of reacting with a crosslinking agent include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, mesaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, maleic acid, and itaconic acid monoalkyl esters.
  • the content of the monomer unit (a2) is 100% by mass of the total of all monomer units in the (meth) acrylic adhesive resin (a). 1 mass% or more and 40 mass% or less is preferable, 1 mass% or more and 20 mass% or less is more preferable, and 1 mass% or more and 10 mass% or less is further more preferable.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (a) has a property as a bifunctional monomer unit (a3) and a surfactant in addition to the monomer unit (a1) and the monomer unit (a2). Further comonomer (hereinafter referred to as polymerizable surfactant) units.
  • the polymerizable surfactant has a property of copolymerizing with the monomer (a1), the monomer (a2) and the monomer (a3), and also has an action as an emulsifier in the case of emulsion polymerization.
  • Monomers (a3) forming the bifunctional monomer unit (a3) include allyl methacrylate, allyl acrylate, divinylbenzene, vinyl methacrylate, vinyl acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri ( (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, for example, diacrylate or dimethacrylate at both ends and a main chain structure of propylene glycol type (for example, NOF Corporation) Product name: PDP-200, PDP-400, ADP-200, ADP-400), tetramethylene glycol type (for example, manufactured by NOF Corporation, product name: ADT-250, ADT-850) ) And their mixed type ( If For example, Nippon Oil & Fats Co., Ltd., trade name: ADET-1800, such as those which are the same AD
  • the content of the monomer unit (a3) is 100% by mass of the total of all monomer units in the (meth) acrylic adhesive resin (a). Is preferably 0.1% by mass or more and 30% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or more and 15% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less. Is more preferable, and 0.1 to 5% by mass is particularly preferable.
  • polymerizable surfactant examples include, for example, those in which a polymerizable 1-propenyl group is introduced into the benzene ring of polyoxyethylene nonylphenyl ether (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd .; trade name: Aqualon RN-10) RN-20, RN-30, RN-50, etc.), and a polymerized 1-propenyl group introduced into the benzene ring of an ammonium salt of polyoxyethylene nonylphenyl ether sulfate (Daiichi Kogyo Seiyaku) Product name: Aqualon HS-10, HS-20, HS-1025, etc.), and sulfosuccinic acid diester type having a polymerizable double bond in the molecule (manufactured by Kao Corporation); : Latemulu S-120A, S-180A, etc.).
  • the content of the polymerizable surfactant is 100% by mass of the total of all monomer units in the (meth) acrylic adhesive resin (a). Is preferably 0.1% by mass or more and 30% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or more and 15% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less. Is more preferable, and 0.1 to 5% by mass is particularly preferable.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (a) according to this embodiment further contains a monomer unit formed of a monomer having a polymerizable double bond such as vinyl acetate, acrylonitrile, or styrene, if necessary. May be.
  • Examples of the polymerization reaction mechanism of the (meth) acrylic adhesive resin (a) according to this embodiment include radical polymerization, anionic polymerization, and cationic polymerization.
  • the polymerization is preferably performed by radical polymerization.
  • benzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, dicumyl peroxide, 3,3,5-trimethylhexanoyl peroxide, di-2-ethylhexyl peroxide are used as radical polymerization initiators.
  • Dicarbonate methyl ethyl ketone peroxide, t-butyl peroxyphthalate, t-butyl peroxybenzoate, di-t-butyl peroxyacetate, t-butyl peroxyisobutyrate, t-butyl peroxy-2-hexanoate, t -Butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-3,5,5-trimethylhexanoate, acetyl peroxide, isobutyryl peroxide, octanoyl peroxide, t-butyl peroxide Organic peroxides such as di-t-amyl peroxide; inorganic peroxides such as ammonium persulfate, potassium persulfate and sodium persulfate; 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- Examples include azo compounds such as 2-methylbutyronitrile and 4,4′-azo
  • inorganic peroxides such as water-soluble ammonium persulfate, potassium persulfate, and sodium persulfate, and water-soluble 4,4′-azobis are also used.
  • An azo compound having a carboxyl group in the molecule such as -4-cyanovaleric acid is preferred.
  • azo compounds having a carboxyl group in the molecule such as ammonium persulfate and 4,4′-azobis-4-cyanovaleric acid are more preferable, and 4,4′-azobis An azo compound having a carboxyl group in the molecule such as -4-cyanovaleric acid is particularly preferable.
  • the adhesive resin layer (A) preferably further includes a crosslinking agent (A2) having two or more crosslinkable functional groups in one molecule in addition to the adhesive resin (A1).
  • the crosslinking agent (A2) having two or more crosslinkable functional groups in one molecule is used to react with the functional group of the adhesive resin (A1) to adjust the adhesive force and cohesive force.
  • crosslinking agent (A2) examples include sorbitol polyglycidyl ether, polyglycerol polyglycidyl ether, pentaerythritol polyglycidyl ether, diglycerol polyglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, resorcin diglycidyl.
  • Epoxy compounds such as ethers; Isocyanate compounds such as tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethylolpropane toluene diisocyanate triadduct, polyisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate; trimethylolpropane-tri- ⁇ -aziridini Lupropionate, tetramethylolmethane-tri- ⁇ -aziridinylpropio Nate, N, N′-diphenylmethane-4,4′-bis (1-aziridinecarboxamide), N, N′-hexamethylene-1,6-bis (1-aziridinecarboxamide), N, N′-toluene Aziridine compounds such as -2,4-bis (1-aziridinecarboxamide) and trimethylolpropane-tri- ⁇ - (2-methylaziridine) propionate; N, N, N
  • the content of the cross-linking agent (A2) is usually preferably in a range where the number of functional groups in the cross-linking agent (A2) is not greater than the number of functional groups in the adhesive resin (A1). However, when a functional group is newly generated by the crosslinking reaction, or when the crosslinking reaction is slow, it may be contained excessively as necessary.
  • the content of the crosslinking agent (A2) in the adhesive resin layer (A) is 100 parts by mass of the adhesive resin (A1) from the viewpoint of improving the balance with the heat resistance and adhesion of the adhesive resin layer (A). On the other hand, it is preferable that they are 0.1 mass part or more and 15 mass parts or less.
  • the total content of the adhesive resin (A1) and the crosslinking agent (A2) in the adhesive resin layer (A) is preferably 50% by mass when the entire adhesive resin layer (A) is 100% by mass. It is 100 mass% or less, More preferably, it is 70 mass% or more and 100 mass% or less, More preferably, it is 90 mass% or more and 100 mass% or less, Most preferably, it is 95 mass% or more and 100 mass% or less. Thereby, the adhesive residue by the side of the electronic component at the time of peeling an adhesive film from an electronic component can be suppressed further.
  • the thickness of the adhesive resin layer (A) is not particularly limited, for example, it is preferably 1 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less, and more preferably 3 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less.
  • the adhesive resin layer (A) can be formed, for example, by applying an adhesive on the base material layer 10.
  • the pressure-sensitive adhesive may be dissolved in a solvent and applied as a coating liquid, or may be applied as an aqueous emulsion, or a liquid pressure-sensitive adhesive may be applied directly.
  • aqueous emulsion coating solutions are preferred.
  • aqueous emulsion coating liquids include (meth) acrylic adhesive resin (a), silicone adhesive resin, urethane adhesive resin, olefin adhesive resin, and styrene adhesive resin dispersed in water.
  • Examples of the coating solution An adhesive coating solution dissolved in an organic solvent may be used.
  • the organic solvent is not particularly limited, and may be appropriately selected from known ones in view of solubility and drying time.
  • organic solvents include ester systems such as ethyl acetate and methyl acetate; ketone systems such as acetone and MEK; aromatic systems such as benzene, toluene and ethylbenzene; linear or cyclic aliphatic systems such as heptane, hexane and cyclohexane; isopropanol Examples thereof include alcohols such as butanol.
  • ethyl acetate and toluene are preferable. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
  • a conventionally known coating method such as a roll coater method, a reverse roll coater method, a gravure roll method, a bar coat method, a comma coater method, a die coater method, or the like can be employed.
  • drying is preferably performed for 10 seconds to 10 minutes in a temperature range of 80 to 200 ° C. More preferably, it is dried at 80 to 170 ° C. for 15 seconds to 5 minutes.
  • the base material layer 10 and the adhesive resin layer (A) may be formed by coextrusion molding, or the film-like base material layer 10 and the film-like adhesive resin layer (A) are laminated (laminated). ).
  • the adhesive film 50 includes an adhesive resin layer (B) whose adhesive force is reduced by an external stimulus on the second surface 10B side opposite to the first surface 10A of the base material layer 10. Thereby, the adhesive film 50 can be easily peeled from the support substrate 80 by applying an external stimulus.
  • the adhesive resin layer (B) whose adhesive strength is reduced by external stimulation for example, a heat-releasable adhesive resin layer whose adhesive strength is reduced by heating, or a radiation release type whose adhesive strength is reduced by radiation
  • an adhesive resin layer for example, a heat-peelable adhesive resin layer whose adhesive strength is reduced by heating is preferable.
  • the heat-peelable pressure-sensitive adhesive resin layer examples include a heat-expandable pressure-sensitive adhesive containing a gas generating component, a heat-expandable pressure-sensitive adhesive containing heat-expandable microspheres that can expand and reduce the adhesive force, and an adhesive by heat.
  • a pressure-sensitive resin layer composed of a heat-expandable pressure-sensitive adhesive whose adhesive strength is reduced by a cross-linking reaction of components.
  • the heat-expandable pressure-sensitive adhesive used for the pressure-sensitive resin layer (B) is a pressure-sensitive adhesive whose adhesive strength is reduced or lost by heating at a temperature exceeding 150 ° C., for example.
  • a temperature exceeding 150 ° C. for example, it is possible to select a material that does not peel at a temperature of 150 ° C. or lower and peels at a temperature exceeding 150 ° C. It is preferable.
  • the adhesive strength is reduced or lost by heating at a temperature exceeding 150 ° C., for example, the adhesive resin layer (B) side is attached to a stainless steel plate, and a heat treatment is performed at 1400 ° C. for 1 hour.
  • the peel strength from the stainless steel plate measured after heating for 2 minutes at a temperature exceeding 150 ° C.
  • the specific heating temperature when heating at a temperature exceeding 150 ° C. is set to a temperature higher than the temperature at which the gas is generated or the temperature at which the thermally expandable microspheres are thermally expanded. It is set as appropriate depending on the type of microsphere.
  • the loss of adhesive strength means, for example, a case where the 180 ° peel strength measured under conditions of 23 ° C. and a tensile speed of 300 mm / min is less than 0.5 N / 25 mm.
  • an azo compound, an azide compound, a meltrum acid derivative, or the like can be used as the gas generating component used for the heat-expandable pressure-sensitive adhesive.
  • inorganic foaming agents such as ammonium carbonate, ammonium hydrogen carbonate, sodium hydrogen carbonate, ammonium nitrite, sodium borohydride, various azides, water; chlorofluorinated alkanes such as trichloromonofluoromethane and dichloromonofluoromethane Compounds; azo compounds such as azobisisobutyronitrile, azodicarbonamide, barium azodicarboxylate; paratoluenesulfonyl hydrazide, diphenylsulfone-3,3′-disulfonylhydrazide, 4,4′-oxybis (benzenesulfonyl) Hydrazine compounds such as hydrazide) and allylbis (sulfonylhydra
  • heat-expandable microspheres used for the heat-expandable pressure-sensitive adhesive for example, a microencapsulated foaming agent can be used.
  • heat-expandable microspheres include microspheres in which substances such as isobutane, propane, and pentane that are easily gasified and expanded by heating are encapsulated in an elastic shell.
  • the material constituting the shell include vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polymethyl methacrylate, polyacrylonitrile, polyvinylidene chloride, and polysulfone.
  • Thermally expandable microspheres can be produced by, for example, a coacervation method or an interfacial polymerization method. Thermally expandable microspheres can be added to the adhesive resin.
  • the content of at least one selected from gas generating components and thermally expandable microspheres can be set as appropriate according to the expansion ratio of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive resin layer (B), the ability to reduce adhesive strength, and the like.
  • 1 mass part or more and 150 mass parts or less with respect to 100 mass parts of adhesive resin (B1) in a heat-peelable adhesive resin layer (B) Preferably it is 10 mass parts It is 130 parts by mass or less, more preferably 12 parts by mass or more and 100 parts by mass or less.
  • the temperature at which the gas is generated and the temperature at which the thermally expandable microspheres thermally expand exceed 150 ° C.
  • Examples of the adhesive resin (B1) constituting the heat-expandable adhesive include (meth) acrylic resin (b), urethane resin, silicone resin, polyolefin resin, polyester resin, polyamide resin, fluorine And styrene-diene block copolymer resins. Among these, (meth) acrylic resin (b) is preferable.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (b) used for the adhesive resin layer (B) has, for example, a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer unit (b1) and a functional group capable of reacting with a crosslinking agent.
  • (meth) acrylic acid alkyl ester means acrylic acid alkyl ester, methacrylic acid alkyl ester, or a mixture thereof.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (b) includes, for example, a monomer mixture containing a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer (b1) and a monomer (b2) having a functional group capable of reacting with a crosslinking agent. Can be obtained by copolymerization.
  • Examples of the monomer (b1) forming the (meth) acrylic acid alkyl ester monomer unit (b1) include (meth) acrylic acid alkyl esters having an alkyl group having about 1 to 12 carbon atoms. Preferred is a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. Specific examples include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, and 2-ethylhexyl methacrylate. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the content of the (meth) acrylic acid alkyl ester monomer unit (b1) is the total monomer in the (meth) acrylic adhesive resin (b).
  • the total unit is 100% by mass, it is preferably 10% by mass or more and 98.9% by mass or less, more preferably 50% by mass or more and 97% by mass or less, and 85% by mass or more and 95% by mass or less. More preferably.
  • Examples of the monomer (b2) forming the monomer (b2) having a functional group capable of reacting with a crosslinking agent include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, mesaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, maleic acid, and itaconic acid monoalkyl ester.
  • the content of the monomer unit (b2) is 100% by mass of the total of all monomer units in the (meth) acrylic adhesive resin (b). 1 mass% or more and 40 mass% or less is preferable, 1 mass% or more and 20 mass% or less is more preferable, and 1 mass% or more and 10 mass% or less is further more preferable.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (b) has a property as a bifunctional monomer unit (b3) or a surfactant in addition to the monomer unit (b1) and the monomer unit (b2). Further comonomer (hereinafter referred to as polymerizable surfactant) units.
  • the polymerizable surfactant has a property of copolymerizing with the monomer (b1), the monomer (b2) and the monomer (b3), and also has an action as an emulsifier in the case of emulsion polymerization.
  • the content of the monomer unit (b3) is 100% by mass of the total of all monomer units in the (meth) acrylic adhesive resin (b). Is preferably 0.1% by mass or more and 30% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or more and 15% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less. Is more preferable, and 0.1 to 5% by mass is particularly preferable.
  • polymerizable surfactant examples include, for example, those in which a polymerizable 1-propenyl group is introduced into the benzene ring of polyoxyethylene nonylphenyl ether (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd .; trade name: Aqualon RN-10) RN-20, RN-30, RN-50, etc.), and a polymerized 1-propenyl group introduced into the benzene ring of an ammonium salt of polyoxyethylene nonylphenyl ether sulfate (Daiichi Kogyo Seiyaku) Product name: Aqualon HS-10, HS-20, HS-1025, etc.), and sulfosuccinic acid diester type having a polymerizable double bond in the molecule (manufactured by Kao Corporation); : Latemulu S-120A, S-180A, etc.).
  • the content of the polymerizable surfactant is 100% by mass of the total monomer units in the (meth) acrylic adhesive resin (b). Is preferably 0.1% by mass or more and 30% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or more and 15% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less. Is more preferable, and 0.1 to 5% by mass is particularly preferable.
  • the (meth) acrylic adhesive resin (b) according to the present embodiment further contains a monomer unit formed by a monomer having a polymerizable double bond such as vinyl acetate, acrylonitrile, or styrene, if necessary. May be.
  • Examples of the polymerization reaction mechanism of the (meth) acrylic adhesive resin (b) according to this embodiment include radical polymerization, anionic polymerization, and cationic polymerization.
  • the polymerization is preferably performed by radical polymerization.
  • benzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, dicumyl peroxide, 3,3,5-trimethylhexanoyl peroxide, di-2-ethylhexyl peroxide are used as radical polymerization initiators.
  • Dicarbonate methyl ethyl ketone peroxide, t-butyl peroxyphthalate, t-butyl peroxybenzoate, di-t-butyl peroxyacetate, t-butyl peroxyisobutyrate, t-butyl peroxy-2-hexanoate, t -Butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-3,5,5-trimethylhexanoate, acetyl peroxide, isobutyryl peroxide, octanoyl peroxide, t-butyl peroxide Organic peroxides such as di-t-amyl peroxide; inorganic peroxides such as ammonium persulfate, potassium persulfate and sodium persulfate; 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- Examples include azo compounds such as 2-methylbutyronitrile and 4,4′-azo
  • inorganic peroxides such as water-soluble ammonium persulfate, potassium persulfate, and sodium persulfate, and water-soluble 4,4′-azobis are also used.
  • An azo compound having a carboxyl group in the molecule such as -4-cyanovaleric acid is preferred.
  • azo compounds having a carboxyl group in the molecule such as ammonium persulfate and 4,4′-azobis-4-cyanovaleric acid are more preferable, and 4,4′-azobis An azo compound having a carboxyl group in the molecule such as -4-cyanovaleric acid is particularly preferable.
  • the adhesive resin layer (B) has a crosslinkable functional group in one molecule in addition to the adhesive resin (B1) from the viewpoint of further suppressing displacement of the electronic component in the sealing process. It is preferable to further include a cross-linking agent (B2) having two or more.
  • the crosslinking agent (B2) having two or more crosslinkable functional groups in one molecule is used to react with the functional group of the adhesive resin (B1) to adjust the adhesive force and cohesive force.
  • crosslinking agent (B2) examples include sorbitol polyglycidyl ether, polyglycerol polyglycidyl ether, pentaerythritol polyglycidyl ether, diglycerol polyglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, resorcin diglycidyl.
  • Epoxy compounds such as ethers; Isocyanate compounds such as tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethylolpropane toluene diisocyanate triadduct, polyisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate; trimethylolpropane-tri- ⁇ -aziridini Lupropionate, tetramethylolmethane-tri- ⁇ -aziridinylpropio Nate, N, N′-diphenylmethane-4,4′-bis (1-aziridinecarboxamide), N, N′-hexamethylene-1,6-bis (1-aziridinecarboxamide), N, N′-toluene Aziridine compounds such as -2,4-bis (1-aziridinecarboxamide) and trimethylolpropane-tri- ⁇ - (2-methylaziridine) propionate; N, N, N
  • the content of the crosslinking agent (B2) is usually preferably in a range where the number of functional groups in the crosslinking agent (B2) does not become larger than the number of functional groups in the adhesive resin (B1). However, when a functional group is newly generated by the crosslinking reaction, or when the crosslinking reaction is slow, it may be contained excessively as necessary.
  • the content of the cross-linking agent (B2) in the adhesive resin layer (B) is 0.100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the adhesive resin (B1) from the viewpoint of further suppressing the displacement of the electronic component in the sealing process. It is preferably 1 part by mass or more and 10 parts by mass or less, and more preferably 0.5 parts by mass or more and 5 parts by mass or less.
  • the total content of the adhesive resin (B1) and the crosslinking agent (B2) in the adhesive resin layer (B) is preferably 50% by mass when the entire adhesive resin layer (B) is 100% by mass. It is 100 mass% or less, More preferably, it is 70 mass% or more and 100 mass% or less, More preferably, it is 90 mass% or more and 100 mass% or less, Most preferably, it is 95 mass% or more and 100 mass% or less. Thereby, the position shift of the electronic component in a sealing process can be suppressed further.
  • the total of at least one content selected from the adhesive resin (B1), the crosslinking agent (B2), the gas generating component and the thermally expandable microsphere in the adhesive resin layer (B) is the adhesive resin layer (
  • the total of B) is 100% by mass, it is preferably 50% by mass to 100% by mass, more preferably 70% by mass to 100% by mass, still more preferably 90% by mass to 100% by mass, particularly preferably. It is 95 mass% or more and 100 mass% or less.
  • the adhesive film 50 when an external stimulus is applied, the adhesive force of the adhesive resin layer (B) is reduced, and the electronic component is peeled off from the adhesive resin layer (B).
  • the content of at least one selected from gas generating components and thermally expandable microspheres in the adhesive resin layer (A) is adhesive.
  • the entire resin layer (A) is 100% by mass, it is preferably 0.1% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or less, and 0.01% by mass or less. More preferably, it is particularly preferable that the adhesive resin layer (A) does not contain at least one selected from gas generating components and thermally expandable microspheres.
  • the adhesive resin layer (B) according to this embodiment preferably contains a tackifier resin in addition to the adhesive resin (B1) from the viewpoint of improving the adhesion to the support substrate. It is preferable to include a tackifier resin in the adhesive resin layer (B) because it is easy to adjust the adhesion with the support substrate at around room temperature. As tackifying resin, that whose softening point is 100 degreeC or more is preferable.
  • tackifying resins include rosin resins such as rosin derivatives treated by esterification; terpene resins such as ⁇ -pinene, ⁇ -pinene, dipentene and terpene phenols; Natural rosins such as wood-based and tall oil-based; these natural rosins include hydrogenation, disproportionation, polymerization, maleation, petroleum resin; coumarone-indene resin and the like.
  • those having a softening point in the range of 100 to 160 ° C. are more preferable, and those having a softening point in the range of 120 to 150 ° C. are particularly preferable.
  • a tackifying resin having a softening point within the above range is used, not only the support substrate is contaminated and adhesive residue is reduced, but also the adhesion to the support substrate in the working environment can be further improved.
  • a polymerized rosin ester-based tackifying resin is used as the tackifying resin, not only the contamination to the supporting substrate and the adhesive residue is reduced, but also the tackiness with the supporting substrate in an environment of 80 to 130 ° C. is improved. After the expansion of the thermally expandable microspheres, it can be more easily peeled off from the support substrate.
  • the blending ratio of the tackifying resin may be appropriately selected so that the elastic modulus of the adhesive resin layer (B) can be adjusted within a desired predetermined numerical range, and is not particularly limited.
  • the amount is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the adhesive resin (B1). It exists in the tendency for adhesiveness with the support substrate at the time of work to become favorable that the compounding ratio of tackifying resin is more than the said lower limit with respect to 100 mass parts of adhesive resin (B1). On the other hand, when it is not more than the above upper limit value, the sticking property with the support substrate at room temperature tends to be good.
  • the blending ratio of the tackifying resin is more preferably 2 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the adhesive resin (B1). Moreover, it is preferable that the acid value of tackifying resin is 30 or less. If the acid value of the tackifying resin is less than or equal to the above upper limit value, adhesive residue tends to hardly occur on the support substrate during peeling.
  • the thickness of the adhesive resin layer (B) is not particularly limited, but is preferably 5 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less, and more preferably 20 ⁇ m or more and 150 ⁇ m or less.
  • the adhesive resin layer (B) is, for example, a method of applying an adhesive coating solution on the base material layer 10 or a method of transferring the adhesive resin layer (B) formed on the separator onto the base material 10. Can be formed.
  • a method for applying the adhesive coating solution a conventionally known coating method such as a roll coater method, a reverse roll coater method, a gravure roll method, a bar coat method, a comma coater method, a die coater method, or the like can be employed.
  • drying conditions of the applied pressure-sensitive adhesive but in general, drying is preferably performed for 10 seconds to 10 minutes in a temperature range of 80 to 200 ° C. More preferably, it is dried at 80 to 170 ° C.
  • the base material layer 10 and the adhesive resin layer (B) may be formed by coextrusion molding, or the film-like base material layer 10 and the film-like adhesive resin layer (B) are laminated (laminated). ).
  • the adhesive film 50 which concerns on this embodiment is between the base material layer 10 and an adhesive resin layer (A), or the base material layer 10 and an adhesive resin layer (B).
  • an uneven absorption layer, a shock absorption layer, an easy adhesion layer, and the like may be further provided.
  • the unevenness absorbing layer is preferably formed of natural rubber or synthetic rubber having a Shore D hardness of 50 or less, preferably 40 or less, or a synthetic resin having rubber elasticity, according to ASTM D-2240 D-type shore.
  • the thickness of the uneven absorption layer is, for example, 500 ⁇ m or less, preferably 5 to 300 ⁇ m, more preferably 10 to 150 ⁇ m.
  • Synthetic rubbers or synthetic resins include, for example, synthetic rubbers such as nitriles, dienes and acrylics, thermoplastic elastomers such as polyolefins and polyesters, ethylene / vinyl acetate copolymers and polyurethanes, polybutadiene and soft polyvinyl chloride, etc. And a synthetic resin having rubber elasticity.
  • synthetic rubbers such as nitriles, dienes and acrylics
  • thermoplastic elastomers such as polyolefins and polyesters, ethylene / vinyl acetate copolymers and polyurethanes, polybutadiene and soft polyvinyl chloride, etc.
  • a synthetic resin having rubber elasticity even a hard polymer such as polyvinyl chloride, which has rubber elasticity in combination with a compounding agent such as a plasticizer or a softener, can be used.
  • the adhesive resin etc. which were illustrated by said adhesive resin layer (A) and adhesive resin layer (B) can be used preferably for
  • ⁇ Adhesive resin solution SA1> In deionized pure water, 0.5 parts by mass of 4,4′-azobis-4-cyanovaleric acid (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., trade name: ACVA) as a polymerization initiator and monomer (a1) ) 74.3 parts by weight of acrylic acid-n-butyl and 13.7 parts by weight of methyl methacrylate, 9 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate as the monomer (a2), and poly as a polymerizable surfactant.
  • 4,4′-azobis-4-cyanovaleric acid manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., trade name: ACVA
  • ⁇ Adhesive resin solution SA2> In deionized pure water, 0.5 parts by mass of ammonium persulfate as a polymerization initiator, 63 parts by mass of 2-ethylhexyl acrylate as a monomer (a1), 21 parts by mass of n-butyl acrylate, And 9 parts by weight of methyl methacrylate, 3 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate as monomer (a2), and polytetramethylene glycol diacrylate (manufactured by NOF Corporation, trade name; ADT-) as monomer (a3) 250) 1 part by mass, a polymerizable surfactant having a polymerizable 1-propenyl group introduced into the benzene ring of the ammonium salt of polyoxyethylene nonylphenyl ether sulfate (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd .; 2 parts by weight of each product name: Aqual
  • Adhesive resin solution SA1 is 57.4 parts by mass
  • adhesive resin solution SA2 is 42.6 parts by mass
  • dimethylethanolamine is 0.4 parts by mass
  • an epoxy compound that is a cross-linking agent (Ex- 1610) was mixed in an amount of 3.4 parts by mass to obtain an adhesive coating solution A1.
  • Adhesive resin solution SB1> In a mixed solvent containing ethyl acetate and toluene, 0.536 parts by mass of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate (manufactured by NOF Corporation, trade name: Perbutyl O (registered trademark)) as a polymerization initiator, As monomer (b1), 34.9 parts by weight of 2-ethylhexyl acrylate, 41 parts by mass of n-butyl acrylate and 14.7 parts by weight of ethyl acrylate, and 2-hydroxymethacrylate as monomer (b2) 9.4 parts by mass of ethyl was added, and solution polymerization was performed for 11 hours at 83 to 87 ° C. with stirring to obtain an acrylic resin solution having a solid content concentration of 45% by mass. This was designated as adhesive resin solution SB1.
  • ⁇ Adhesive coating liquid B1 100 parts by mass of adhesive resin solution SB1, 0.9 parts by mass of isocyanate-based crosslinking agent (trade name: Olester P49-75S, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc. (2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of adhesive resin)) Each was mixed and the solid content concentration was adjusted to 40% with ethyl acetate to obtain an adhesive coating solution B1.
  • isocyanate-based crosslinking agent trade name: Olester P49-75S, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc. (2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of adhesive resin)
  • the pressure-sensitive adhesive coating solution B2 was prepared by adjusting to%.
  • Example 1 An adhesive coating liquid A1 was applied on a polyethylene terephthalate (PET) film (thickness 38 ⁇ m) as a base material layer and then dried to form an adhesive resin layer (A) having a thickness of 10 ⁇ m.
  • the pressure-sensitive adhesive coating liquid B1 is applied to the surface of the PET film opposite to the pressure-sensitive adhesive resin layer (A), and dried to form a concavo-convex absorption layer having a thickness of 20 ⁇ m, and the pressure-sensitive adhesive coating liquid B2 is formed thereon.
  • the film was dried to form a heat-peelable pressure-sensitive adhesive resin layer (B) having a thickness of 30 ⁇ m to obtain a pressure-sensitive adhesive film.
  • Adhesive resin layer (B) side of the obtained adhesive film is adhered onto a 320 mm square SUS substrate, and as an electronic component, 5 mm square semiconductor chips are adhered to the grid pattern at intervals of 2 mm.
  • the adhesive body layer (A) and the adhesive resin layer (B) are stabilized by sticking on the adhesive resin layer (A) and then heat-treated at 130 ° C. for 30 minutes to stabilize the structure. Obtained. Two days after the structure was obtained, the obtained structure was heat-treated at 100 ° C. for 20 minutes to reduce the amount of water in the structure.
  • Comparative Example 1 The positional shift of the semiconductor chip was observed in the same manner as in Example 1 except that the structure was heat treated at 100 ° C. for 20 minutes and the step of reducing the amount of moisture in the structure was not performed. As a result, a spot where the semiconductor chip was flying was observed. That is, in Comparative Example 1, a semiconductor chip position shift was observed.

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Abstract

本発明の電子装置の製造方法は、基材層（１０）と、基材層（１０）の第１面（１０Ａ）側に設けられ、かつ、電子部品（７０）を仮固定するための粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層（１０）の第２面（１０Ｂ）側に設けられ、かつ、外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える粘着性フィルム（５０）と、粘着性フィルム（５０）の粘着性樹脂層（Ａ）に貼り付けられた電子部品（７０）と、粘着性フィルム（５０）の粘着性樹脂層（Ｂ）に貼り付けられた支持基板（８０）と、を備える構造体（１００）を準備する工程（１）と、粘着性フィルム（５０）中の水分量を低下させる工程（２－１）および構造体（１００）中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程（２）と、封止材（６０）により電子部品（７０）を封止する工程（３）と、を少なくとも備える。

Description

電子装置の製造方法
　本発明は、電子装置の製造方法に関する。
　電子装置（例えば、半導体装置）の小型化・軽量化を図ることができる技術として、ファンアウト型ＷＬＰ（ウエハレベルパッケージ）が開発されている。
　ファンアウト型ＷＬＰの作製方法のひとつであるｅＷＬＢ（Embedded Wafer Level Ball Grid Array）では、支持基板に貼り付けた粘着性フィルム上に、半導体チップ等の複数の電子部品を離間させた状態で仮固定し、封止材により複数の電子部品を一括封止する手法が取られる。ここで、粘着性フィルムは、封止工程等においては電子部品および支持基板に固着させる必要があり、封止後は支持基板とともに封止された電子部品から除去する必要がある。
　このようなファンアウト型ＷＬＰの製造方法に関する技術としては、例えば、特許文献１（特開２０１１－１３４８１１号）に記載のものが挙げられる。
　特許文献１には、基板レス半導体チップを樹脂封止する際に、貼着して使用される半導体装置製造用耐熱性粘着シートであって、上記耐熱性粘着シートは基材層と粘着剤層とを有し、該粘着剤層は貼り合わせ後の対ＳＵＳ３０４粘着力が０．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、樹脂封止工程完了時点に至るまでに受ける刺激により硬化して、対パッケージ剥離力が２．０Ｎ／２０ｍｍ以下になる層であることを特徴とする半導体装置製造用耐熱性粘着シートが記載されている。
特開２０１１－１３４８１１号公報
　本発明者らの検討によれば、粘着性フィルム上に電子部品を配置して封止材により電子部品を封止する際に、電子部品の位置がずれてしまう（以下、電子部品の位置ずれとも呼ぶ。）場合があることが明らかになった。
　本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、封止工程における電子部品の位置ずれを抑制することが可能な電子装置の製造方法を提供するものである。
　本発明者らは、上記課題を達成するために鋭意検討を重ねた。その結果、粘着性フィルム中の水分量を低下させる工程、あるいは粘着性フィルムを含む構造体中の水分量を低下させる工程をおこなうことによって、封止工程における電子部品の位置ずれを抑制できることを見出して、本発明を完成させた。
　本発明によれば、以下に示す電子装置の製造方法が提供される。
［１］
　基材層と、上記基材層の第１面側に設けられ、かつ、電子部品を仮固定するための粘着性樹脂層（Ａ）と、上記基材層の第２面側に設けられ、かつ、外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える粘着性フィルムと、
　上記粘着性フィルムの上記粘着性樹脂層（Ａ）に貼り付けられた電子部品と、
　上記粘着性フィルムの上記粘着性樹脂層（Ｂ）に貼り付けられた支持基板と、を備える構造体を準備する工程（１）と、
　上記粘着性フィルム中の水分量を低下させる工程（２－１）および上記構造体中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程（２）と、
　封止材により上記電子部品を封止する工程（３）と、
を少なくとも備える電子装置の製造方法。
［２］
　上記［１］に記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（２）は、上記粘着性フィルム中の水分量を低下させる工程（２－１）を含み、
　上記工程（２－１）は、上記工程（１）の前におこなう電子装置の製造方法。
［３］
　上記［２］に記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（２－１）では、上記粘着性フィルムを加熱する、および／または、上記粘着性フィルムを減圧することによって、上記粘着性フィルム中の水分量を低下させる電子装置の製造方法。
［４］
　上記［１］に記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（２）は、上記構造体中の水分量を低下させる工程（２－２）を含み、
　上記工程（２－２）は、上記工程（１）と上記工程（３）の間におこなう電子装置の製造方法。
［５］
　上記［４］に記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（２－２）では、上記構造体を加熱する、および／または、上記構造体を減圧することによって、上記構造体中の水分量を低下させる電子装置の製造方法。
［６］
　上記［４］または［５］に記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（２）は、上記工程（３）の直前におこなう電子装置の製造方法。
［７］
　上記［１］乃至［６］のいずれか一つに記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（３）の後に、外部刺激を与えることにより上記粘着性樹脂層（Ｂ）の粘着力を低下させて上記構造体から上記支持基板を剥離する工程（４）をさらに備える電子装置の製造方法。
［８］
　上記［７］に記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（４）の後に、上記電子部品から上記粘着性フィルムを剥離する工程（５）をさらに備える電子装置の製造方法。
［９］
　上記［１］乃至［８］のいずれか一つに記載の電子装置の製造方法において、
　上記工程（２）と上記工程（３）との間隔は１２時間以内である電子装置の製造方法。
［１０］
　上記［１］乃至［９］のいずれか一つに記載の電子装置の製造方法において、
　上記封止材がエポキシ樹脂系封止材である電子装置の製造方法。
［１１］
　上記［１］乃至［１０］のいずれか一つに記載の電子装置の製造方法において、
　上記粘着性樹脂層（Ａ）は（メタ）アクリル系粘着性樹脂を含む電子装置の製造方法。
　本発明によれば、封止工程における電子部品の位置ずれを抑制することが可能な電子装置の製造方法を提供することができる。
　上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。
本発明に係る実施形態の粘着性フィルムの構造の一例を模式的に示した断面図である。 本発明に係る実施形態の電子装置の製造方法の一例を模式的に示した断面図である。 本発明に係る実施形態の電子装置の製造方法の一例を模式的に示した断面図である。 本発明に係る実施形態の電子装置の製造方法の一例を模式的に示した断面図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には共通の符号を付し、適宜説明を省略する。また、図は概略図であり、実際の寸法比率とは一致していない。また、数値範囲の「Ａ～Ｂ」は特に断りがなければ、Ａ以上Ｂ以下を表す。また、本実施形態において、「（メタ）アクリル」とはアクリル、メタクリルまたはアクリルおよびメタクリルの両方を意味する。
１．電子装置の製造方法
　はじめに、本実施形態に係る電子装置の製造方法について説明する。図１は、本発明に係る実施形態の粘着性フィルム５０の構造の一例を模式的に示した断面図である。
図２～４は、本発明に係る実施形態の電子装置の製造方法の一例を模式的に示した断面図である。
　本実施形態に係る電子装置の製造方法は、以下の３つの工程を少なくとも備えている。
　（１）基材層１０と、基材層１０の第１面１０Ａ側に設けられ、かつ、電子部品７０を仮固定するための粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層１０の第２面１０Ｂ側に設けられ、かつ、外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える粘着性フィルム５０と、粘着性フィルム５０の粘着性樹脂層（Ａ）に貼り付けられた電子部品７０と、粘着性フィルム５０の粘着性樹脂層（Ｂ）に貼り付けられた支持基板８０と、を備える構造体１００を準備する工程
　（２）粘着性フィルム５０中の水分量を低下させる工程（２－１）および構造体１００中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程
　（３）封止材６０により電子部品７０を封止する工程
　上述したように、本発明者らの検討によれば、粘着性フィルム上に電子部品を配置して封止材により電子部品を封止する際に、電子部品の位置がずれてしまう（以下、電子部品の位置ずれとも呼ぶ。）場合があることが明らかになった。
　本発明者らは、上記課題を達成するために鋭意検討を重ねた。その結果、電子部品を封止する工程において、粘着性フィルムに含まれる水分由来のアウトガス、特に支持基板に貼り付けられる側の粘着性樹脂層に含まれる水分由来のアウトガスによって、電子部品の位置ずれが生じてしまうことを知見した。
　本発明者らは、上記知見をもとにさらに検討を重ねた。その結果、粘着性フィルム５０中の水分量を低下させる工程（２－１）および構造体１００中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程（２）をおこなうことによって、封止工程における電子部品の位置ずれを抑制できることを初めて見出した。
　すなわち、本実施形態に係る電子装置の製造方法によれば、粘着性フィルム５０中の水分量を低下させる工程（２－１）および構造体１００中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程（２）をおこなうことで、電子部品を封止する工程において、粘着性フィルムに含まれる水分由来のアウトガス、特に支持基板に貼り付けられる側の粘着性樹脂層に含まれる水分由来のアウトガスの発生を抑制でき、その結果、封止工程における電子部品の位置ずれを抑制することができる。
　以上のように、本実施形態に係る電子装置の製造方法によれば、封止工程における電子部品の位置ずれを抑制することが可能となる。
　以下、本実施形態に係る電子装置の製造方法の各工程について説明する。
（工程（１））
　工程（１）では、粘着性フィルム５０と、粘着性フィルム５０の粘着性樹脂層（Ａ）に貼り付けられた電子部品７０と、粘着性フィルム５０の粘着性樹脂層（Ｂ）に貼り付けられた支持基板８０と、を備える構造体１００を準備する。
　このような構造体１００は、例えば、以下の手順で作製することができる。
　まず、支持基板８０上に、粘着性フィルム５０を、粘着性樹脂層（Ｂ）が支持基板８０側となるように貼着する。粘着性樹脂層（Ｂ）上には保護フィルムが貼付けられていてもよく、当該保護フィルムを剥がし、粘着性樹脂層（Ｂ）の露出面を支持基板８０表面に貼着することができる。
　支持基板８０としては、例えば、石英基板、ガラス基板、ＳＵＳ基板等を使用することができる。
　次いで、支持基板８０上に貼着された粘着性フィルム５０の粘着性樹脂層（Ａ）上に電子部品７０を配置することにより構造体１００を得ることができる。
　電子部品７０としては、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ、ディスクリート、発光ダイオード、受光素子等の半導体チップや半導体パネル、半導体パッケージ等を挙げることができる。
（工程（２））
　工程（２）は、粘着性フィルム５０中の水分量を低下させる工程（２－１）および構造体１００中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程を含む。
　工程（２－１）は、図２に示すように、工程（１）の前におこなうことが好ましい。すなわち、構造体１００を作製する前の段階で、粘着性フィルム５０中の水分量を低下させることが好ましい。こうすることで、適当なサイズに切り出す前の段階にある、例えばロール状態にある粘着性フィルム５０で水分量を低下させることが可能となり、構造体１００中の水分量をより効率的に低下させることが可能となる。
　工程（２－１）では、例えば、粘着性フィルム５０を加熱する、および／または、粘着性フィルム５０を減圧することによって、粘着性フィルム５０中の水分量を低下させることができる。
　一方、工程（２－２）は、図３に示すように、工程（１）と工程（３）の間におこなうことが好ましく、工程（３）の直前におこなうことがより好ましい。工程（２－２）を工程（３）の直前におこなうことで、封止工程における電子部品の位置ずれをより一層抑制することが可能となる。
　工程（２－２）では、例えば、構造体１００を加熱する、および／または、構造体１００を減圧することによって、構造体１００中の水分量を低下させることができる。
　本実施形態に係る電子装置の製造方法において、工程（２）と工程（３）との間隔は１２時間以内であることが好ましく、６時間以内であることがより好ましく、３時間以内であることがさらに好ましく、１時間以内であることが特に好ましい。こうすることで、工程（２）と工程（３）との間に、粘着性フィルム５０や構造体１００に大気中の水分が吸着してしまうことを抑制することができる。これにより、電子部品を封止する工程において、粘着性フィルム５０や構造体１００に含まれる水分由来のアウトガスの発生をより一層抑制でき、その結果、封止工程における電子部品の位置ずれをより一層抑制することができる。
　工程（２）において、粘着性フィルム５０または構造体１００を加熱する際の温度としては粘着性フィルム５０または構造体１００に含まれる水分量を低下でき、かつ、粘着性フィルム５０または構造体１００の劣化が起きない温度であれば特に限定されないが、例えば、８０℃以上１８０℃以下の範囲内であることが好ましく、１００℃以上１５０℃以下の範囲内であることがより好ましい。
　粘着性フィルム５０または構造体１００を加熱する時間は、粘着性フィルム５０または構造体１００中の水分量を低下でき、かつ、粘着性フィルム５０または構造体１００の劣化が起きない加熱時間であれば特に限定されないが、例えば、１分以上１２０分以下の範囲内であり、好ましくは５分以上６０分以下である。
　粘着性フィルム５０または構造体１００を加熱する方法は特に限定されるものではないが、例えば、オーブン、ドライヤー、加熱ロール、乾燥炉等の一般的に公知の加熱処理方法を用いることができる。
　粘着性フィルム５０または構造体１００を減圧する場合は、減圧時の圧力は、例えば、１００Ｐａ以上１００００Ｐａ以下である。
　粘着性フィルム５０または構造体１００を減圧する方法は特に限定されるものではないが、例えば、真空乾燥機等の一般的に公知の減圧方法を用いることができる。
　水分量は、上記の様に粘着性フィルム５０または構造体１００を加熱ないし減圧することによって調整できるが、１２５℃を超える温度で加熱する際は、電子部品７０と粘着性フィルム５０の剥離を防止するために減圧時の圧力は５００Ｐａ以上とすることが好ましい。
　粘着性フィルム５０または構造体１００中の水分量が低下したかどうかは、例えば、熱重量分析等の公知の方法で判断することができる。
（工程（３））
　次いで、封止材６０により電子部品７０を封止する。
　封止材６０により電子部品７０を覆い、例えば１５０℃以下の温度で封止材６０を硬化させて、電子部品７０を封止する。
　また、封止材６０の形態としては特に限定されないが、例えば、顆粒状、シート状または液状である。
　封止材６０としては特に限定されないが、例えば、エポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂系封止材を用いることができる。
　特に、粘着性フィルム５０への封止材６０の親和性がより良好になり、電子部品７０をより一層ムラなく封止することが可能となる点から、液状のエポキシ樹脂系封止材が好ましい。
　このようなエポキシ樹脂系封止材としては、例えば、ナガセケムテックス社製のＴ６９３／Ｒ４０００シリーズやＴ６９３／Ｒ１０００シリーズ、Ｔ６９３／Ｒ５０００シリーズ等を用いることができる。
　封止方法としては、例えば、トランスファー成形、射出成形、圧縮成形、注型成形等が挙げられる。封止材６０で電子部品７０を封止後、例えば１５０℃以下の温度で加熱することによって封止材６０を硬化させ、電子部品７０が封止された構造体１００が得られる。
（工程（４））
　本実施形態に係る電子装置の製造方法において、図４に示すように、工程（３）の後に、外部刺激を与えることにより粘着性樹脂層（Ｂ）の粘着力を低下させて構造体１００から支持基板８０を剥離する工程（４）をさらに備えてもよい。
　支持基板８０は、例えば、電子部品７０を封止した後、１５０℃を超える温度に加熱して、粘着性樹脂層（Ｂ）の接着力を低下させることにより、粘着性フィルム５０から容易に除去することができる。
（工程（５））
　本実施形態に係る電子装置の製造方法において、図４に示すように、工程（４）の後に、電子部品７０から粘着性フィルム５０を剥離し、電子装置２００を得る工程（５）をさらに備えてもよい。
　電子部品７０から粘着性フィルム５０を剥離する方法としては、例えば、機械的に剥離する方法や、粘着性フィルム５０表面の粘着力を低下させてから剥離する方法等が挙げられる。
（工程（６））
　本実施形態に係る電子装置の製造方法において、図４に示すように、得られた電子装置２００の露出面に、配線層３１０およびバンプ３２０を形成し、電子装置３００を得る工程（６）をさらに備えてもよい。
　配線層３１０は、最外面に形成された外部接続端子であるパッド（不図示）と、露出した電子部品７０と該パッドとを電気的に接続する配線（不図示）と、を備える。配線層３１０は、従来公知の方法によって形成することができ、多層構造であってもよい。
　そして、配線層３１０のパッド上にバンプ３２０を形成し、電子装置３００を得ることができる。バンプ３２０としては、はんだバンプや金バンプ等を挙げることができる。はんだバンプは、例えば、配線層３１０の外部接続端子であるパッド上にはんだボールを配置し、加熱してはんだを溶融させる（リフローする）ことにより形成することができる。金バンプは、ボールボンディング法、めっき法、Ａｕボール転写法等の方法により形成することができる。
（工程（７））
　本実施形態に係る電子装置の製造方法において、図４に示すように、電子装置３００をダイシングし、複数の電子装置４００を得る工程（７）をさらに備えてもよい。
　電子装置３００のダイシングは、公知の方法で行うことができる。
２．粘着性フィルム
　以下、本実施形態に係る粘着性フィルム５０について説明する。
　図１は、本発明に係る実施形態の粘着性フィルム５０の構造の一例を模式的に示した断面図である。
　図１に示すように、本実施形態に係る粘着性フィルム５０は、基材層１０と、基材層１０の第１面１０Ａ側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層１０の第２面１０Ｂ側に設けられ、かつ、外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える。
　本実施形態に係る粘着性フィルム５０全体の厚さは、機械的特性と取扱い性のバランスの観点から、好ましくは１０μｍ以上１０００μｍ以下であり、より好ましくは２０μｍ以上５００μｍ以下である。
　次に、本実施形態に係る粘着性フィルム５０を構成する各層について説明する。
＜基材層＞
　基材層１０は、粘着性フィルム５０の取り扱い性や機械的特性、耐熱性等の特性をより良好にすることを目的として設けられる層である。
　基材層１０は特に限定されないが、例えば、樹脂フィルムが挙げられる。
　上記樹脂フィルムを構成する樹脂としては、公知の熱可塑性樹脂を用いることができる。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチル－１－ペンテン）、ポリ（１－ブテン）等のポリオレフィン；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ナイロン－６、ナイロン－６６、ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド；ポリアクリレート；ポリメタアクリレート；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリイミド；ポリエーテルイミド；エチレン・酢酸ビニル共重合体；ポリアクリロニトリル；ポリカーボネート；ポリスチレン；アイオノマー；ポリスルホン；ポリエーテルスルホン；ポリフェニレンエーテル等から選択される一種または二種以上を挙げることができる。
　これらの中でも、透明性や機械的強度、価格等のバランスに優れる観点から、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミドから選択される一種または二種以上が好ましく、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートから選択される少なくとも一種がより好ましい。
　基材層１０は、単層であっても、二種以上の層であってもよい。
　また、基材層１０を形成するために使用する樹脂フィルムの形態としては、延伸フィルムであってもよいし、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであってもよいが、基材層１０の機械的強度を向上させる観点から、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであることが好ましい。
　基材層１０の厚さは、良好なフィルム特性を得る観点から、好ましくは１μｍ以上５００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上３００μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以上２５０μｍ以下である。
　基材層１０は、他の層との接着性を改良するために、表面処理を行ってもよい。具体的には、コロナ処理、プラズマ処理、アンダーコート処理、プライマーコート処理等を行ってもよい。
＜粘着性樹脂層（Ａ）＞
　粘着性樹脂層（Ａ）は、基材層１０の一方の面側に設けられる層であり、例えば、電子装置の製造工程において封止材により電子部品を封止する際に、電子部品の表面に接触して電子部品を仮固定するための層である。
　粘着性樹脂層（Ａ）は、粘着性樹脂（Ａ１）を含む。
　粘着性樹脂（Ａ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等が挙げられる。
　これらの中でも粘着力の調整を容易にする観点等から、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）が好ましい。
　粘着性樹脂層（Ａ）としては、放射線により粘着力を低下させる放射線架橋型粘着性樹脂層を用いることもできる。放射線架橋型粘着性樹脂層は、放射線の照射により架橋して粘着力が著しく減少するため、電子部品から粘着性フィルム５０を剥離し易くなる。放射線としては、紫外線、電子線、赤外線等が挙げられる。
　放射線架橋型粘着性樹脂層としては、紫外線架橋型粘着性樹脂層が好ましい。
　粘着性樹脂層（Ａ）に使用される（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー単位（ａ２）を含む共重合体が挙げられる。
　本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー（ａ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ａ２）を含むモノマー混合物を共重合することにより得ることができる。
　（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）を形成するモノマー（ａ１）としては、炭素数１～１２程度のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。好ましくは炭素数１～８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルである。具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸－２－エチルヘキシル、メタクリル酸－２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１０質量％以上９８．９質量％以下であることが好ましく、５０質量％以上９７質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以上９５質量％以下であることがさらに好ましい。
　架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ａ２）を形成するモノマー（ａ２）としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル－ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル－ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド等である。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、モノマー単位（ａ１）、モノマー単位（ａ２）以外に、２官能性モノマー単位（ａ３）や界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）単位をさらに含んでもよい。
　重合性界面活性剤は、モノマー（ａ１）、モノマー（ａ２）およびモノマー（ａ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
　２官能性モノマー単位（ａ３）を形成するモノマー（ａ３）としては、メタクリル酸アリル、アクリル酸アリル、ジビニルベンゼン、メタクリル酸ビニル、アクリル酸ビニル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、例えば、両末端がジアクリレートまたはジメタクリレートで主鎖の構造がプロピレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＰＤＰ－２００、同ＰＤＰ－４００、同ＡＤＰ－２００、同ＡＤＰ－４００）、テトラメチレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＡＤＴ－２５０、同ＡＤＴ－８５０）およびこれらの混合型（例えば、日本油脂（株）製、商品名：ＡＤＥＴ－１８００、同ＡＤＰＴ－４０００）であるもの等が挙げられる。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ３）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
　重合性界面活性剤の例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＲＮ－１０、同ＲＮ－２０、同ＲＮ－３０、同ＲＮ－５０等）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０、同ＨＳ－２０、同ＨＳ－１０２５等）、および分子内に重合性二重結合を持つ、スルホコハク酸ジエステル系（花王（株）製；商品名：ラテムルＳ－１２０Ａ、同Ｓ－１８０Ａ等）等が挙げられる。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、さらに必要に応じて、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の重合性２重結合を有するモノマーにより形成されたモノマー単位をさらに含有してもよい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）の重合反応機構としては、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合等が挙げられる。（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）の製造コスト、モノマーの官能基の影響および電子部品表面へのイオンの影響等を考慮すればラジカル重合によって重合することが好ましい。
　ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
　乳化重合法により重合する場合には、これらのラジカル重合開始剤の中で、水溶性の過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物、同じく水溶性の４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を持ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
　本実施形態に係る粘着性樹脂層（Ａ）は、粘着性樹脂（Ａ１）に加えて、架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）をさらに含むことが好ましい。
　架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）は、粘着性樹脂（Ａ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いる。
　このような架橋剤（Ａ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
　これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
　架橋剤（Ａ２）の含有量は、通常、架橋剤（Ａ２）中の官能基数が粘着性樹脂（Ａ１）中の官能基数よりも多くならない程度の範囲が好ましい。しかし、架橋反応で新たに官能基が生じる場合や、架橋反応が遅い場合等、必要に応じて過剰に含有してもよい。
　粘着性樹脂層（Ａ）中の架橋剤（Ａ２）の含有量は、粘着性樹脂層（Ａ）の耐熱性や密着力とのバランスを向上させる観点から、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１５質量部以下であることが好ましい。
　粘着性樹脂層（Ａ）中の粘着性樹脂（Ａ１）および架橋剤（Ａ２）の含有量の合計は、粘着性樹脂層（Ａ）の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上１００質量％以下、より好ましくは７０質量％以上１００質量％以下、さらに好ましくは９０質量％以上１００質量％以下、特に好ましくは９５質量％以上１００質量％以下である。これにより、電子部品から粘着性フィルムを剥離する際の電子部品側の糊残りをより一層抑制することができる。
　粘着性樹脂層（Ａ）の厚さは特に制限されないが、例えば、１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、３μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。
　粘着性樹脂層（Ａ）は、例えば、基材層１０上に粘着剤を塗布することにより形成することができる。粘着剤は溶剤に溶解して塗布液として塗布してもよいし、水系エマルジョンとして塗布してもよいし、液状の粘着剤を直に塗布してもよい。
　中でも水系エマルジョン塗布液が好ましい。水系エマルジョン塗布液としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等を水に分散させた塗布液が挙げられる。
　有機溶剤に溶解した粘着剤塗布液を用いてもよい。有機溶剤は特に限定されず、溶解性や乾燥時間を鑑みて公知の中から適宜選択すればよい。有機溶剤としては、酢酸エチル、酢酸メチル等のエステル系；アセトン、ＭＥＫ等のケトン系；ベンゼン、トルエン、エチルベンゼン等の芳香族系；ヘプタン、ヘキサン、シクロヘキサン等の直鎖ないし環状脂肪族系；イソプロパノール、ブタノール等のアルコール系を例示することができる。有機溶剤として酢酸エチル、トルエンが好ましい。これらの溶剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
　粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
　また、基材層１０と粘着性樹脂層（Ａ）とは共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層１０とフィルム状の粘着性樹脂層（Ａ）とをラミネート（積層）して形成してもよい。
＜粘着性樹脂層（Ｂ）＞
　本実施形態に係る粘着性フィルム５０は、基材層１０の第１面１０Ａとは反対側の第２面１０Ｂ側に外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）を備える。
　これにより、外部刺激を与えることで支持基板８０から粘着性フィルム５０を容易に剥離することができる。
　ここで、外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）としては、例えば、加熱により粘着力が低下する加熱剥離型の粘着性樹脂層や、放射線により粘着力が低下する放射線剥離型の粘着性樹脂層等が挙げられる。これらの中でも加熱により粘着力が低下する加熱剥離型の粘着性樹脂層が好ましい。
　加熱剥離型の粘着性樹脂層としては、例えば、気体発生成分を含む加熱膨張型粘着剤、膨張して粘着力を低減できる熱膨張性の微小球を含む加熱膨張型粘着剤、熱により接着剤成分が架橋反応することで接着力が低下する加熱膨張型粘着剤等により構成された粘着性樹脂層が挙げられる。
　本実施形態において、粘着性樹脂層（Ｂ）に使用される加熱膨張型粘着剤は、例えば１５０℃を超える温度で加熱することで接着力が低下または喪失する粘着剤である。例えば、１５０℃以下では剥離せず、１５０℃を超える温度で剥離する材料を選択することができ、電子装置の製造工程中に粘着性フィルム５０が支持基板８０から剥離しない程度の接着力を有していることが好ましい。
　ここで、１５０℃を超える温度で加熱することで接着力が低下または喪失することは、例えば、粘着性樹脂層（Ｂ）側をステンレス板に貼り付け、１4０℃で１時間の加熱処理をおこない、次いで、１５０℃を超える温度で２分間加熱した後に測定される、ステンレス板からの剥離強度により評価することができる。１５０℃を超える温度で加熱する際の具体的な加熱温度は、気体が発生する温度や熱膨張性の微小球が熱膨張する温度よりも高い温度に設定され、発生する気体や熱膨張性の微小球の種類によって適宜設定される。本実施形態において、接着力が喪失するとは、例えば、２３℃、引張速度３００ｍｍ／分の条件で測定される１８０°剥離強度が０．５Ｎ／２５ｍｍ未満になる場合をいう。
　加熱膨張型粘着剤に使用される気体発生成分としては、例えば、アゾ化合物、アジド化合物、メルドラム酸誘導体等を用いることができる。また、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウム、各種アジド類等の無機系発泡剤や、水；トリクロロモノフルオロメタン、ジクロロモノフルオロメタン等の塩フッ化アルカン系化合物；アゾビスイソブチロニトリル、アゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレート等のアゾ系化合物；パラトルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン－３，３’－ジスルホニルヒドラジド、４，４’－オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、アリルビス（スルホニルヒドラジド）等のヒドラジン系化合物；ｐ－トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４’－オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）等のセミカルバジド系化合物；５－モルホリル－１，２，３，４－チアトリアゾール等のトリアゾール系化合物；Ｎ，Ｎ’－ジニトロソペンタメチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ´－ジメチル－Ｎ，Ｎ’－ジニトロソテレフタルアミド等のＮ－ニトロソ系化合物等の有機系発泡剤等も用いることができる。気体発生成分は粘着性樹脂（Ｂ１）に添加されていてもよく、粘着性樹脂（Ｂ１）に直接結合されていてもよい。
　加熱膨張型粘着剤に使用される熱膨張性の微小球としては、例えば、マイクロカプセル化されている発泡剤を用いることができる。このような熱膨張性の微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタン等の加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球等が挙げられる。上記殻を構成する材料として、例えば、塩化ビニリデン－アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホン等が挙げられる。熱膨張性の微小球は、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法等により製造することができる。
　熱膨張性の微小球は粘着性樹脂に添加することができる。
　気体発生成分および熱膨張性の微小球から選択される少なくとも一種の含有量は、加熱剥離型の粘着性樹脂層（Ｂ）の膨張倍率や接着力の低下性等に応じて適宜設定することができ、特に限定されないが、例えば、加熱剥離型の粘着性樹脂層（Ｂ）中の粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対して、例えば１質量部以上１５０質量部以下、好ましくは１０質量部以上１３０質量部以下、さらに好ましくは１２質量部以上１００質量部以下である。
　気体が発生する温度や熱膨張性の微小球が熱膨張する温度が、１５０℃を超える温度になるように設計することが好ましい。
　加熱膨張型粘着剤を構成する粘着性樹脂（Ｂ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂（ｂ）、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、スチレン－ジエンブロック共重合体系樹脂等を挙げることができる。これらの中でも（メタ）アクリル系樹脂（ｂ）が好ましい。
　粘着性樹脂層（Ｂ）に使用される（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー単位（ｂ２）を含む共重合体が挙げられる。
　本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー（ｂ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ｂ２）を含むモノマー混合物を共重合することにより得ることができる。
　（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）を形成するモノマー（ｂ１）としては、炭素数１～１２程度のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。好ましくは炭素数１～８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルである。具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸－２－エチルヘキシル、メタクリル酸－２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１０質量％以上９８．９質量％以下であることが好ましく、５０質量％以上９７質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以上９５質量％以下であることがさらに好ましい。
　架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ｂ２）を形成するモノマー（ｂ２）としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル－ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル－ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド等である。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、モノマー単位（ｂ１）、モノマー単位（ｂ２）以外に、２官能性モノマー単位（ｂ３）や界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）単位をさらに含んでもよい。
　重合性界面活性剤は、モノマー（ｂ１）、モノマー（ｂ２）およびモノマー（ｂ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
　２官能性モノマー単位（ｂ３）を形成するモノマー（ｂ３）としては、メタクリル酸アリル、アクリル酸アリル、ジビニルベンゼン、メタクリル酸ビニル、アクリル酸ビニル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、例えば、両末端がジアクリレートまたはジメタクリレートで主鎖の構造がプロピレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＰＤＰ－２００、同ＰＤＰ－４００、同ＡＤＰ－２００、同ＡＤＰ－４００）、テトラメチレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＡＤＴ－２５０、同ＡＤＴ－８５０）およびこれらの混合型（例えば、日本油脂（株）製、商品名：ＡＤＥＴ－１８００、同ＡＤＰＴ－４０００）であるもの等が挙げられる。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ３）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
　重合性界面活性剤の例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＲＮ－１０、同ＲＮ－２０、同ＲＮ－３０、同ＲＮ－５０等）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０、同ＨＳ－２０、同ＨＳ－１０２５等）、および分子内に重合性二重結合を持つ、スルホコハク酸ジエステル系（花王（株）製；商品名：ラテムルＳ－１２０Ａ、同Ｓ－１８０Ａ等）等が挙げられる。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、さらに必要に応じて、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の重合性２重結合を有するモノマーにより形成されたモノマー単位をさらに含有してもよい。
　本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）の重合反応機構としては、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合等が挙げられる。（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）の製造コスト、モノマーの官能基の影響および電子部品表面へのイオンの影響等を考慮すればラジカル重合によって重合することが好ましい。
　ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
　乳化重合法により重合する場合には、これらのラジカル重合開始剤の中で、水溶性の過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物、同じく水溶性の４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を持ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
　本実施形態に係る粘着性樹脂層（Ｂ）は、封止工程における電子部品の位置ずれをより一層抑制する観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）に加えて、架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ｂ２）をさらに含むことが好ましい。
　架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ｂ２）は、粘着性樹脂（Ｂ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いる。
　このような架橋剤（Ｂ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
　これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
　架橋剤（Ｂ２）の含有量は、通常、架橋剤（Ｂ２）中の官能基数が粘着性樹脂（Ｂ１）中の官能基数よりも多くならない程度の範囲が好ましい。しかし、架橋反応で新たに官能基が生じる場合や、架橋反応が遅い場合等、必要に応じて過剰に含有してもよい。
　粘着性樹脂層（Ｂ）中の架橋剤（Ｂ２）の含有量は、封止工程における電子部品の位置ずれをより一層抑制する観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以上５質量部以下であることがより好ましい。
　粘着性樹脂層（Ｂ）中の粘着性樹脂（Ｂ１）および架橋剤（Ｂ２）の含有量の合計は、粘着性樹脂層（Ｂ）の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上１００質量％以下、より好ましくは７０質量％以上１００質量％以下、さらに好ましくは９０質量％以上１００質量％以下、特に好ましくは９５質量％以上１００質量％以下である。これにより、封止工程における電子部品の位置ずれをより一層抑制することができる。
　粘着性樹脂層（Ｂ）中の粘着性樹脂（Ｂ１）、架橋剤（Ｂ２）並びに気体発生成分および熱膨張性の微小球から選択される少なくとも一種の含有量の合計は、粘着性樹脂層（Ｂ）の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上１００質量％以下、より好ましくは７０質量％以上１００質量％以下、さらに好ましくは９０質量％以上１００質量％以下、特に好ましくは９５質量％以上１００質量％以下である。
　また、本実施形態に係る粘着性フィルム５０において、外部刺激を与えることにより粘着性樹脂層（Ｂ）の粘着力を低下させて粘着性樹脂層（Ｂ）から支持基板を剥離する際に電子部品を粘着性樹脂層（Ａ）上に安定的に保持する観点から、粘着性樹脂層（Ａ）中の気体発生成分および熱膨張性の微小球から選択される少なくとも一種の含有量は、粘着性樹脂層（Ａ）の全体を１００質量％としたとき、０．１質量％以下であることが好ましく、０．０５質量％以下であることがより好ましく、０．０１質量％以下であることがさらに好ましく、粘着性樹脂層（Ａ）中に気体発生成分および熱膨張性の微小球から選択される少なくとも一種が含まれないことが特に好ましい。
　本実施形態に係る粘着性樹脂層（Ｂ）は、支持基板への密着性を向上させる観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）に加えて、粘着付与樹脂を含むことが好ましい。粘着性樹脂層（Ｂ）に粘着付与樹脂を含有させることが、常温付近における支持基板との密着性の調整が容易となるために好ましい。粘着付与樹脂としては、その軟化点が１００℃以上であるものが好ましい。粘着付与樹脂の具体例としては、エステル化等の処理をしたロジン系誘導体等のロジン系樹脂；α－ピネン系、β－ピネン系、ジペンテン系、テルペンフェノール系等のテルペン系樹脂；ガム系、ウッド系、トール油系等の天然系ロジン；これらの天然系ロジンに水素化、不均化、重合、マレイン化、石油樹脂；クマロン－インデン樹脂等を挙げることができる。
　これらのなかでも、軟化点が１００～１６０℃の範囲内であるものがより好ましく、１２０～１５０℃の範囲であるものが特に好ましい。軟化点が上記範囲内である粘着付与樹脂を用いると、支持基板への汚染、糊残りが少ないばかりでなく、作業環境下における支持基板との密着性をさらに向上させることが可能となる。さらに、粘着付与樹脂として重合ロジンエステル系の粘着付与樹脂を用いると、支持基板への汚染、糊残りが少ないばかりか、８０～１３０℃の環境下での支持基板との粘着性が向上するとともに、熱膨張性微小球の膨張後は、支持基板からさらに容易に剥離可能となる。
　粘着付与樹脂の配合割合は、粘着性樹脂層（Ｂ）の弾性率を所望とする所定の数値範囲内に調整することができるように適宜選択すればよく、特に制限はない。ただし、粘着性樹脂層（Ｂ）の弾性率と初期剥離力の面から、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対して、１～１００質量部とすることが好ましい。粘着付与樹脂の配合割合が、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対して、上記下限値以上であると、作業時の支持基板との密着性が良好になる傾向にある。一方、上記上限値以下であると、常温における支持基板との貼り付け性が良好になる傾向にある。支持基板との密着性、及び常温における貼り付け性の面から、粘着付与樹脂の配合割合を、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対して、２～５０質量部とすることがさらに好ましい。また、粘着付与樹脂の酸価は、３０以下であることが好ましい。粘着付与樹脂の酸価が上記上限値以下であると剥離時に支持基板に糊残りが生じ難くなる傾向にある。
　粘着性樹脂層（Ｂ）の厚さは特に制限されないが、例えば、５μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましい。
　粘着性樹脂層（Ｂ）は、例えば、基材層１０上に粘着剤塗布液を塗布する方法や、セパレータ上に形成した粘着性樹脂層（Ｂ）を基材１０上に移着する方法等により形成することができる。
　粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
　また、基材層１０と粘着性樹脂層（Ｂ）とは共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層１０とフィルム状の粘着性樹脂層（Ｂ）とをラミネート（積層）して形成してもよい。
＜その他の層＞
　本実施形態に係る粘着性フィルム５０は、本実施形態の効果を損なわない範囲で、基材層１０と粘着性樹脂層（Ａ）との間あるいは基材層１０と粘着性樹脂層（Ｂ）との間に、例えば凹凸吸収層、衝撃吸収層、易接着層等がさらに設けられていてもよい。
　凹凸吸収層は、ＡＳＴＭ　Ｄ－２２４０のＤ型ショアーによるショアーＤ型硬度が、例えば５０以下、好ましくは４０以下の天然ゴムや合成ゴム、又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。凹凸吸収層の厚さは、例えば５００μｍ以下、好ましくは５～３００μｍ、より好ましくは１０～１５０μｍである。
　合成ゴム又は合成樹脂としては、例えばニトリル系やジエン系やアクリル系等の合成ゴム、ポリオレフィン系やポリエステル系等の熱可塑性エラストマー、エチレン・酢酸ビニル共重合体やポリウレタン、ポリブタジエンや軟質ポリ塩化ビニル等のゴム弾性を有する合成樹脂が挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルのように本質的には硬質系のポリマーであっても可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組合せでゴム弾性をもたせたものも本実施形態においては用いることができる。また上記の粘着性樹脂層（Ａ）や粘着性樹脂層（Ｂ）で例示した粘着性樹脂等も凹凸吸収層の形成に好ましく用いることができる。
　以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
　なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
　以下、実施例により本発明を具体的に説明するが本発明はこれに限定されるものではない。
　粘着性フィルムの作製に用いた材料の詳細は以下の通りである。
＜粘着性樹脂溶液ＳＡ１＞
　脱イオンを行った純水中に、重合開始剤として４，４’－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド（大塚化学（株）製、商品名：ＡＣＶＡ）を０．５質量部、モノマー（ａ１）としてアクリル酸－ｎ－ブチルを７４．３質量部、およびメタクリル酸メチルを１３．７質量部、モノマー（ａ２）としてメタクリル酸－２－ヒドロキシエチルを９質量部、重合性界面活性剤としてポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０２５）を３質量部それぞれ投入し、攪拌下で７０～７２℃において８時間乳化重合を実施し、アクリル系樹脂エマルションを得た。これをアンモニア水で中和（ｐＨ＝７．０）し、固形分濃度４２．５％の粘着性樹脂溶液ＳＡ１を得た。
＜粘着性樹脂溶液ＳＡ２＞
　脱イオンを行った純水中に、重合開始剤として過硫酸アンモニウムを０．５質量部、モノマー（ａ１）としてアクリル酸－２－エチルヘキシルを６３質量部、アクリル酸－ｎ－ブチルを２１質量部、およびメタクリル酸メチルを９質量部、モノマー（ａ２）としてメタクリル酸－２－ヒドロキシエチルを３質量部、モノマー（ａ３）としポリテトラメチレングリコールジアクリレート（日本油脂（株）製、商品名；ＡＤＴ－２５０）を１質量部、重合性界面活性剤としてポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０２５）を２質量部それぞれ投入し、攪拌下で７０～７２℃において８時間乳化重合を実施し、アクリル系樹脂エマルションを得た。これをアンモニア水で中和（ｐＨ＝７．０）し、固形分濃度５６．５％の粘着性樹脂溶液ＳＡ２を得た。
＜粘着剤塗布液Ａ１＞
　粘着性樹脂溶液ＳＡ１を５７．４質量部、粘着性樹脂溶液ＳＡ２を４２．６質量部、ジメチルエタノールアミンを０．４質量部、架橋剤であるエポキシ系化合物（ナガセケムテックス社製、Ｅｘ－１６１０）を３．４質量部、それぞれ混合して、粘着剤塗布液Ａ１を得た。
＜粘着性樹脂溶液ＳＢ１＞
　酢酸エチルおよびトルエンを含む混合溶剤中に、重合開始剤としてｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート（日本油脂社製、商品名：パーブチルＯ（登録商標））を０．５３６質量部、モノマー（ｂ１）としてアクリル酸２－エチルヘキシルを３４．９重量部、アクリル酸－ｎ－ブチルを４１質量部、およびアクリル酸エチルを１４．７質量部、モノマー（ｂ２）としてメタクリル酸－２－ヒドロキシエチルを９．４質量部それぞれ投入し、攪拌下で８３～８７℃において１１時間溶液重合を実施し、固形分濃度４５質量％のアクリル系樹脂溶液を得た。これを粘着性樹脂溶液ＳＢ１とした。
＜粘着剤塗布液Ｂ１＞
　粘着性樹脂溶液ＳＢ１を１００質量部、イソシアネート系架橋剤（三井化学（株）製、商品名：オレスターＰ４９－７５Ｓ）０．９質量部（粘着性樹脂１００質量部に対し、２質量部）それぞれ混合し、酢酸エチルで固形分濃度を４０％に調整して粘着剤塗布液Ｂ１を得た。
＜粘着剤塗布液Ｂ２＞
　粘着性樹脂溶液ＳＢ１を１００質量部、重合ロジンエステル系粘着付与剤（荒川化学工業（株）製、商品名：ペンセルＤ－１２５）２．２５重量部（粘着性樹脂１００質量部に対し、５質量部）、イソシアネート系架橋剤（三井化学（株）製、商品名：オレスターＰ４９－７５Ｓ）１．２質量部（粘着性樹脂１００質量部に対し、２質量部）、熱膨張性微小球（積水化学工業（株）製、商品名：アドバンセルＥＭ－５０３）を６．７５質量部（粘着性樹脂１００質量部に対し、１５質量部）それぞれ混合し、酢酸エチルで固形分濃度を３０％に調整して粘着剤塗布液Ｂ２を調製した。
［実施例１］
　基材層であるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（厚さ３８μｍ）上に、粘着剤塗布液Ａ１を塗布した後、乾燥させて、厚さ１０μｍの粘着性樹脂層（Ａ）を形成した。次いで、ＰＥＴフィルムの粘着性樹脂層（Ａ）とは反対側の表面に粘着剤塗布液Ｂ１を塗布し、乾燥させて厚さ２０μｍの凹凸吸収層を形成し、その上に粘着剤塗布液Ｂ２を塗布した後、乾燥させて、厚さが３０μｍの加熱剥離型の粘着性樹脂層（Ｂ）を形成し、粘着性フィルムを得た。
　得られた粘着性フィルムの粘着性樹脂層（Ｂ）側を３２０ｍｍ角のＳＵＳ基板上に接着し、電子部品として、５ｍｍ角の半導体チップを２ｍｍ間隔の格子状となるように粘着性フィルムの粘着性樹脂層（Ａ）上に載せて密着させ、次いで、１３０℃で３０分間熱処理することによって粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の粘着力を安定化させ、構造体を得た。
　構造体を得てから２日後に、得られた構造体を１００℃で、２０分間加熱処理し、構造体中の水分量を低下させた。
　構造体を加熱処理してから１０分後に、圧縮成形機を用いて、粘着性樹脂層（Ａ）上の複数個の半導体チップを顆粒状のエポキシ樹脂系封止材（住友ベークライト社製、製品名：Ｇ７３０）により１３５℃で圧縮成形により封止した。
　次いで、目視により、半導体チップの位置ずれを観察した。その結果、半導体チップの位置ずれは観察されなかった。
［比較例１］
　構造体を１００℃で、２０分間加熱処理し、構造体中の水分量を低下させる工程をおこなわなかった以外は実施例１と同様にして半導体チップの位置ずれを観察した。
　その結果、半導体チップが飛んでいる箇所が観察された。すなわち、比較例１では、半導体チップの位置ずれが観察された。
　この出願は、２０１８年３月３０日に出願された日本出願特願２０１８－０６６９００号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

Claims (11)

  1. 　基材層と、前記基材層の第１面側に設けられ、かつ、電子部品を仮固定するための粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の第２面側に設けられ、かつ、外部刺激により粘着力が低下する粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える粘着性フィルムと、
    　前記粘着性フィルムの前記粘着性樹脂層（Ａ）に貼り付けられた電子部品と、
    　前記粘着性フィルムの前記粘着性樹脂層（Ｂ）に貼り付けられた支持基板と、を備える構造体を準備する工程（１）と、
    　前記粘着性フィルム中の水分量を低下させる工程（２－１）および前記構造体中の水分量を低下させる工程（２－２）から選択される少なくとも一種の工程（２）と、
    　封止材により前記電子部品を封止する工程（３）と、
    を少なくとも備える電子装置の製造方法。
  2. 　請求項１に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（２）は、前記粘着性フィルム中の水分量を低下させる工程（２－１）を含み、
    　前記工程（２－１）は、前記工程（１）の前におこなう電子装置の製造方法。
  3. 　請求項２に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（２－１）では、前記粘着性フィルムを加熱する、および／または、前記粘着性フィルムを減圧することによって、前記粘着性フィルム中の水分量を低下させる電子装置の製造方法。
  4. 　請求項１に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（２）は、前記構造体中の水分量を低下させる工程（２－２）を含み、
    　前記工程（２－２）は、前記工程（１）と前記工程（３）の間におこなう電子装置の製造方法。
  5. 　請求項４に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（２－２）では、前記構造体を加熱する、および／または、前記構造体を減圧することによって、前記構造体中の水分量を低下させる電子装置の製造方法。
  6. 　請求項４または５に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（２）は、前記工程（３）の直前におこなう電子装置の製造方法。
  7. 　請求項１乃至６のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（３）の後に、外部刺激を与えることにより前記粘着性樹脂層（Ｂ）の粘着力を低下させて前記構造体から前記支持基板を剥離する工程（４）をさらに備える電子装置の製造方法。
  8. 　請求項７に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（４）の後に、前記電子部品から前記粘着性フィルムを剥離する工程（５）をさらに備える電子装置の製造方法。
  9. 　請求項１乃至８のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記工程（２）と前記工程（３）との間隔は１２時間以内である電子装置の製造方法。
  10. 　請求項１乃至９のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記封止材がエポキシ樹脂系封止材である電子装置の製造方法。
  11. 　請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法において、
    　前記粘着性樹脂層（Ａ）は（メタ）アクリル系粘着性樹脂を含む電子装置の製造方法。
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