WO2019064534A1

WO2019064534A1 - 可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法

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Publication number: WO2019064534A1
Application number: PCT/JP2017/035611
Authority: WO
Inventors: 貴翁斉藤; 庸輔神崎; 雅貴山中; 屹孫; 誠二金子
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2017-09-29
Filing date: 2017-09-29
Publication date: 2019-04-04
Also published as: US10754387B2; US20200150725A1

Abstract

補強膜（ＥＺ）上に形成された引き回し配線ＷＳ３は、凹部（ＥＺａ）における底部（ＬＰ）及び凸部（ＥＺｂ）における頭頂部（ＨＰ）と平面視において重なる部分を含む。

Description

可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法

　本発明は、可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法に関する。

　特許文献１には、引き回し配線が備えられたベンディング領域で１８０度折り曲げることができる可撓性表示装置（フレキシブル表示装置）について開示されている。

日本国公開特許公報「特開２０１４‐２３２３００号」公報（２０１４年１２月１１日公開）

　しかしながら、特許文献１に開示されている構成の場合、ベンディング領域（折り曲げ領域）において引き回し配線が平面形状の下地膜上に形成されているので、可撓性表示装置をベンディング領域で折り曲げた際に、引き回し配線に加わるストレスによって、ベンディング領域における引き回し配線に断線が容易に発生するという問題がある。

　本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、折り曲げ領域に備えられた引き回し配線の断線を抑制した可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法を提供することを目的とする。

　本発明の可撓性表示装置は、上記の課題を解決するために、表示領域と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に設けられた端子部と、上記表示領域と上記端子部との間に設けられた折り曲げ領域と、上記折り曲げ領域の両側に位置する第１配線と第２配線とを電気的に接続する引き回し配線と、を備えた可撓性表示装置であって、上記折り曲げ領域は、１層以上の無機膜の少なくとも一部が除去されたスリット状の領域であり、第１樹脂層は、上記折り曲げ領域を埋めるとともに、最も膜厚が小さい底部を含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部を含む複数の凸部とを備えており、上記第１樹脂層上に形成された上記引き回し配線は、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なる部分を含むことを特徴としている。

　上記構成によれば、折り曲げ領域に備えられた引き回し配線の断線を抑制した可撓性表示装置を実現できる。

　本発明の可撓性表示装置の製造方法は、上記の課題を解決するために、表示領域と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に設けられた端子部と、上記表示領域と上記端子部との間に設けられた折り曲げ領域と、上記折り曲げ領域の両側に位置する第１配線と第２配線とを電気的に接続する引き回し配線と、を備えた可撓性表示装置の製造方法であって、上記折り曲げ領域を形成する工程においては、１層以上の無機膜の少なくとも一部を、スリット状に除去し、上記折り曲げ領域を埋める第１樹脂層を形成する工程においては、最も膜厚が小さい底部を含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部を含む複数の凸部とを形成し、上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるように、上記引き回し配線を形成することを特徴としている。

　上記方法によれば、折り曲げ領域に備えられた引き回し配線の断線を抑制した可撓性表示装置を製造できる。

　本発明の一態様によれば、折り曲げ領域に備えられた引き回し配線の断線及び膜剥がれを抑制した可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法を提供できる。

実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の表示部の構成例を示す断面図である。実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の構成例を示す平面図である。実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線を示す平面図である。図４に示すＡ‐Ａ’断面図である。図４に示すＢ‐Ｂ’断面図である。図４に示すＣ‐Ｃ’断面図である。実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置を、折り曲げ領域において折り曲げた際を示す図である。実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置に用いることができる、異なる形状の凹部及び凸部を有する補強膜の一例を示す図である。実施形態２のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線を示す平面図である。実施形態３のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線を説明するための図である。比較例であるフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線の問題点を説明するための図である。実施形態４のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線を説明するための図である。実施形態５のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた補強膜の一例を示す図である。

　本発明の実施の形態について図１から図１３に基づいて説明すれば、次の通りである。以下、説明の便宜上、特定の実施形態にて説明した構成と同一の機能を有する構成については、同一の符号を付記し、その説明を省略する場合がある。

　なお、以下の各実施形態においては、表示素子（光学素子）の一例として、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子を例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、例えば、電圧によって輝度や透過率が制御され、バックライトを必要としない、反射型の液晶表示素子等であってもよい。

　上記表示素子（光学素子）は、電流によって輝度や透過率が制御される光学素子であってもよく、電流制御の光学素子としては、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、又は無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイ、ＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等がある。

　〔実施形態１〕
　以下においては、図１から図９に基づき、本発明の実施形態１のフレキシブル有機ＥＬ表示装置２について説明する。

　図１は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の製造方法の一例を示すフローチャートである。

　図２は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の表示部の構成例を示す断面図である。

　図３は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の構成例を示す平面図である。

　以下においては、「同層」とは同一プロセスにて同材料で形成されていることを意味し、「下層」とは、比較対象の層よりも先のプロセスで形成されていることを意味し、「上層」とは比較対象の層よりも後のプロセスで形成されていることを意味する。

　フレキシブル有機ＥＬ表示装置２を製造する場合、図１～図３に示すように、まず、透光性の支持基板（例えば、マザーガラス基板）上に樹脂層１２を形成する（ステップＳ１）。次いで、バリア層３を形成する（ステップＳ２）。次いで、端子（端子部）ＴＭ及び端子配線ＴＷを含むＴＦＴ層４を形成する（ステップＳ３）。次いで、表示素子として、発光素子層である有機ＥＬ素子層５を形成する（ステップＳ４）。次いで、封止層６を形成する（ステップＳ５）。次いで、封止層６上に上面フィルムを貼り付ける（ステップＳ６）。なお、封止層６上に上面フィルムを貼り付けるステップは、例えば、封止層６上に接着層を介してタッチパネルを設ける場合などには、適宜省くことができるのは言うまでもない。次いで、支持基板越しに樹脂層１２の下面にレーザ光を照射して支持基板及び樹脂層１２間の結合力を低下させ、支持基板を樹脂層１２から剥離する（ステップＳ７）。このステップをＬａｓｅｒ　Ｌｉｆｔ　Ｏｆｆ工程（ＬＬＯ工程）ともいう。次いで、樹脂層１２において、支持基板を剥離した面に、接着層を介して、下面フィルム１０を貼り付ける（ステップＳ８）。次いで、下面フィルム１０、樹脂層１２、バリア層３、ＴＦＴ層４、有機ＥＬ素子層５、封止層６及び上面フィルムを含む積層体を分断し、複数の個片を得る（ステップＳ９）。次いで、縁部分の端子ＴＭに電子回路基板（例えば、ＩＣチップ）をマウントする（ステップＳ１０）。次いで、縁折り加工（図３の折り曲げ部ＣＬを１８０度折り曲げる加工）を施し、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２とする（ステップＳ１１）。次いで、断線検査を行い、断線があれば修正を行う（ステップＳ１２）。

　樹脂層１２の材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂等を挙げることができるが、これに限定されることはない。

　下面フィルム１０の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等を挙げることができるが、これに限定されることはない。

　バリア層３は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の使用時に、水分や不純物が、ＴＦＴ層４や有機ＥＬ素子層５に到達することを防ぐ層であり、例えば、ＣＶＤにより形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。

　ＴＦＴ層４は、樹脂層１２及びバリア層３の上層に設けられている。ＴＦＴ層４は、半導体膜１５と、半導体膜１５よりも上層の無機絶縁膜１６（ゲート絶縁膜）と、無機絶縁膜１６よりも上層のゲート電極ＧＥと、ゲート電極ＧＥよりも上層の無機絶縁膜１８と、無機絶縁膜１８よりも上層の容量配線ＣＥと、容量配線ＣＥよりも上層の無機絶縁膜２０と、無機絶縁膜２０よりも上層の、ソース・ドレイン配線ＳＨ及び端子ＴＭと、ソース・ドレイン配線ＳＨ及び端子ＴＭよりも上層の平坦化膜２１（第２樹脂層）とを含む。

　半導体膜１５、無機絶縁膜１６（ゲート絶縁膜）、ゲート電極ＧＥ及びソース・ドレイン配線ＳＨを含むように薄層トランジスタＴｒ（ＴＦＴ）が構成される。

　図３に図示するフレキシブル有機ＥＬ表示装置２の表示領域ＤＡの外側に配置された額縁領域ＮＡには、ＩＣチップ、ＦＰＣ等の電子回路基板との接続に用いられる端子ＴＭと、端子ＴＭと表示領域ＤＡの配線等を繋ぐ端子配線ＴＷ（後に詳述）とが形成される。端子ＴＭは額縁領域ＮＡの端部に設けられている。

　半導体膜１５は、例えば低温ポリシリコン（ＬＴＰＳ）あるいは酸化物半導体で構成される。なお、図２では、半導体膜１５をチャネルとするＴＦＴがトップゲート構造で示されているが、ボトムゲート構造でもよい（例えば、ＴＦＴのチャネルが酸化物半導体の場合）。

　ゲート電極ＧＥ、容量電極ＣＥ、ソース・ドレイン配線ＳＨ、端子配線ＴＷ、及び端子ＴＭは、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）の少なくとも１つを含む金属の単層膜あるいは積層膜によって構成される。

　無機絶縁膜１６・１８・２０は、例えば、ＣＶＤ法によって形成された、酸化シリコン（ＳｉＯｘ）膜、窒化シリコン（ＳｉＮｘ）膜あるいは酸窒化シリコン膜またはこれらの積層膜によって構成することができる。

　平坦化膜（層間絶縁膜）２１は、例えば、ポリイミド樹脂やアクリル樹脂等の塗布可能な感光性有機材料によって構成することができる。

　有機ＥＬ素子層５は、平坦化膜２１よりも上層のアノード２２と、アノード２２のエッジを覆うバンク２３と、アノード２２よりも上層のＥＬ（エレクトロルミネッセンス）層２４と、ＥＬ層２４よりも上層のカソード２５とを含み、サブピクセルごとに、島状のアノード２２、ＥＬ層２４、及びカソード２５を含む。バンク２３（アノードエッジカバー）２３は、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂等の塗布可能な感光性有機材料によって構成することができる。有機ＥＬ素子層５は、表示領域ＤＡを形成し、ＴＦＴ層４の上層に設けられている。

　ＥＬ層２４は、例えば、下層側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層を積層することで構成される。発光層は、蒸着法あるいはインクジェット法によって、サブピクセルごとに島状に形成されるが、その他の層はベタ状の共通層とすることもできる。また、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のうち１以上の層を形成しない構成も可能である。

　アノード（陽極）２２は、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）とＡｇを含む合金との積層によって構成され、光反射性を有する（後に詳述）。カソード２５は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）、ＩＺＯ（Indium Zincum Oxide）等の透光性の導電材で構成することができる。

　有機ＥＬ素子層５においては、アノード２２及びカソード２５間の駆動電流によって正孔と電子がＥＬ層２４内で再結合し、これによって生じたエキシトンが基底状態に落ちることによって、光が放出される。カソード２５が透光性であり、アノード２２が光反射性であるため、ＥＬ層２４から放出された光は上方に向かい、トップエミッションとなる。

　封止層６は透光性であり、カソード２５を覆う第１無機封止膜２６と、第１無機封止膜２６よりも上側に形成される有機封止膜２７と、有機封止膜２７を覆う第２無機封止膜２８とを含む。有機ＥＬ素子層５を覆う封止層６は、水、酸素等の異物の有機ＥＬ素子層５への浸透を防いでいる。

　第１無機封止膜２６及び第２無機封止膜２８はそれぞれ、例えば、ＣＶＤにより形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。有機封止膜２７は、第１無機封止膜２６及び第２無機封止膜２８よりも厚い、透光性有機膜であり、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂等の塗布可能な感光性有機材料によって構成することができる。

　以上のように、本実施形態においては、ＬＬＯ工程を含む製造工程で、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２を製造する場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、例えば、支持基板として、図１に図示したステップＳ１からステップＳ５までの工程における温度に耐えられる高耐熱性を有する可撓性基板を用いる場合には、基板の付け替え等が不要であるため、図１に図示したステップＳ７及びステップＳ８は省略できる。

　図４は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の折り曲げ領域ＣＬに備えられた引き回し配線ＷＳ３を示す平面図である。

　図５は、図４に示すＡ‐Ａ’断面図であり、図６は、図４に示すＢ‐Ｂ’断面図であり、図７は、図４に示すＣ‐Ｃ’断面図である。

　図５に図示するように、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の折り曲げ領域ＣＬにおいては、バリア層３、無機絶縁膜（第１無機絶縁膜）１６、無機絶縁膜（第２無機絶縁膜）１８及び無機絶縁膜（第３無機絶縁膜）２０で構成される無機積層膜が除去されている。

　フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の折り曲げ領域ＣＬは、スリット形状に形成されており、図３に図示されているように、折り曲げ領域ＣＬは、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の一端部から他端部までの開口であるとともに、表示領域ＤＡ及び端子ＴＭの間に設けられている。例えば、折り曲げ領域ＣＬの幅（図３における上下方向の折り曲げ領域ＣＬの幅）は、１ｍｍ以上２ｍｍ程度であってもよいが、これに限定されることはなく、折り曲げ領域ＣＬの幅は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２のサイズ及び用途などによって種々に変更可能である。

　本実施形態においては、折り曲げ易さや無機積層膜に生じるクラックなどを考慮し、折り曲げ領域ＣＬにおいて、バリア層３、無機絶縁膜（第１無機絶縁膜）１６、無機絶縁膜（第２無機絶縁膜）１８及び無機絶縁膜（第３無機絶縁膜）２０で構成される無機積層膜全体を除去しているが、これに限定されることはなく、折り曲げ領域ＣＬにおける上記無機積層膜の少なくとも一部が除去されていてもよく、例えば、上記無機積層膜中の最上層である無機絶縁膜２０の全部または一部が除去されていてもよく、無機絶縁膜２０の全部と無機絶縁膜１８の全部または一部とが除去されていてもよく、無機絶縁膜２０の全部と無機絶縁膜１８の全部と無機絶縁膜１６の全部または一部とが除去されていてもよく、無機絶縁膜２０の全部と無機絶縁膜１８の全部と無機絶縁膜１６の全部とバリア層３の一部とが除去されていてもよい。

　図５に図示するように、本実施形態においては、バリア層３のスリットの側面Ｎａと、無機絶縁膜１６のスリットの側面Ｎｂと、無機絶縁膜１８のスリットの側面Ｎｃと、無機絶縁膜２０のスリットの側面Ｎｄとが、平面視において、一致するようにし、折り曲げ領域ＣＬのスリットの側面が平面状に形成されるようにしたが、これに限定されることはなく、側面Ｎａと側面Ｎｂと側面Ｎｃと側面Ｎｄとは、平面視において、一致しなくてもよく、例えば、側面Ｎａと側面Ｎｂと側面Ｎｃと側面Ｎｄそのものを順テーパー形状に形成するとともに、側面Ｎａと側面Ｎｂと側面Ｎｃと側面Ｎｄとがこの順に、より内側に位置するようにし、折り曲げ領域ＣＬのスリットの側面が順テーパー形状になるようにしてもよい。

　また、本実施形態においては、下面フィルム１０のスリットの側面Ｎｘも、側面Ｎａ、側面Ｎｂ、側面Ｎｃ及び側面Ｎｄと、平面視において、一致するようにしたが、これに限定されることはなく、下面フィルム１０のスリットの側面Ｎｘは、側面Ｎａ、側面Ｎｂ、側面Ｎｃ及び側面Ｎｄと、平面視において、一致しなくてもよい。

　なお、下面フィルム１０が、十分に可撓性を有する場合には、下面フィルム１０にはスリットを形成しなくてもよい。

　図５に図示するように、補強膜ＥＺは、例えば、ポリイミド、アクリル等の塗布可能な感光性有機材で構成され、無機絶縁膜２０よりも上層かつ平坦化膜２１よりも下層として形成され、折り曲げ領域ＣＬのスリットを埋める。

　図４及び図５に図示するように、端子配線ＴＷは、折り曲げ領域ＣＬの両側に位置する第１配線ＷＳ１及び第２配線ＷＳ２と、折り曲げ領域ＣＬを通り、第１配線ＷＳ１及び第２配線ＷＳ２それぞれと電気的に接続する引き回し配線ＷＳ３とを含む。

　具体的には、第１配線ＷＳ１及び第２配線ＷＳ２は、ＴＦＴ層４に含まれるゲート電極ＧＥ（図２参照）又は容量配線ＣＥと同層で形成され、引き回し配線ＷＳ３は、ＴＦＴ層４に含まれるソース・ドレイン配線ＳＨ（図２参照）及び端子ＴＭと同層で形成される。

　引き回し配線ＷＳ３は、折り曲げ領域ＣＬの一方の側から、補強膜ＥＺ上を通って折り曲げ領域ＣＬの他方の側へ到り、折り曲げ領域ＣＬにおいては、補強膜ＥＺ及び平坦化膜２１で挟まれている。補強膜ＥＺ及び平坦化膜２１は同一の有機材料（例えば、ポリイミド）で構成してもよい。

　引き回し配線ＷＳ３は、その一端が、無機絶縁膜１８に形成されたコンタクトホールＨｃ１及び無機絶縁膜２０に形成されたコンタクトホールＨｄ１によって第１配線ＷＳ１に接続される。引き回し配線ＷＳ３の他端は、無機絶縁膜１８に形成されたコンタクトホールＨｃ２及び無機絶縁膜２０に形成されたコンタクトホールＨｄ２によって第２配線ＷＳ２に接続される。

　図４及び図５に図示するように、折り曲げ領域ＣＬにおいて、補強膜ＥＺは、表面が凹んだ凹部ＥＺａと、表面が突出した凸部ＥＺｂとを有する。凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとは、引き回し配線ＷＳ３の長手方向である第１方向において、交互に配置され、引き回し配線ＷＳ３の幅方向である第２方向においても、交互に配置されており、千鳥配置となっている。

　図５及び図７に図示するように、凹部ＥＺａには、凹部ＥＺａ内において最も膜厚が小さい底部ＬＰが備えられており、凸部ＥＺｂには、凸部ＥＺｂ内において最も膜厚が大きい頭頂部ＨＰが備えられている。

　本実施形態においては、各々の凹部ＥＺａに底部ＬＰを形成するとともに、各々の凸部ＥＺｂに頭頂部ＨＰを形成するため、図５及び図７に図示するように、各々の凹部ＥＺａは略逆半球形状（略逆ドーム形状）に形成しており、各々の凸部ＥＺｂは略半球形状（略ドーム形状）に形成しているが、これに限定されることはなく、例えば、底部ＬＰ及び頭頂部ＨＰが頂点となるように、各々の凹部ＥＺａは略逆角錐形状または、逆円錐形状に形成してもよく、各々の凸部ＥＺｂは略角錐形状または、円錐形状に形成してもよい。さらには、底部ＬＰ及び頭頂部ＨＰが平面となるように、凹部ＥＺａおよび凸部ＥＺｂを形成してもよい。

　図４及び図５に図示するように、引き回し配線ＷＳ３は、第１方向において、各々の凹部ＥＺａにおける底部ＬＰと、各々の凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰとを通るように形成されている。

　図５に図示するように、引き回し配線ＷＳ３において、各々の凹部ＥＺａにおける底部ＬＰ上の部分は引き回し配線ＷＳ３ａであり、各々の凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰ上の部分は引き回し配線ＷＳ３ｂであり、第１方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上の部分は引き回し配線ＷＳ３ｃである。

　以上のように、引き回し配線ＷＳ３は、折り曲げ領域ＣＬにおいて、凹部ＥＺａにおける底部ＬＰと凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰとを通ることで、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の厚さ方向において、大きく湾曲している部分を有するので、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２を、折り曲げ領域ＣＬにおいて折り曲げても、引き回し配線ＷＳ３の断線を抑制できる。

　さらに、図４及び図７に図示するように、引き回し配線ＷＳ３は、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界を通る部分を有する。

　図６に図示するように、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界は、略平坦に形成されているので、引き回し配線ＷＳ３が、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上に形成される部分である引き回し配線ＷＳ３ｄを有することで、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２を、折り曲げ領域ＣＬにおいて折り曲げても、引き回し配線ＷＳ３の補強膜ＥＺからの膜剥がれを抑制できる。

　本実施形態においては、図４に図示するように、引き回し配線ＷＳ３を、第２方向に所定の幅を有し、その両端が第１方向に直線状に延伸する、直線形状に形成した場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、引き回し配線ＷＳ３は、各々の凹部ＥＺａにおける底部ＬＰ上に形成される部分である引き回し配線ＷＳ３ａと、各々の凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰ上に形成される部分である引き回し配線ＷＳ３ｂと、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上に形成される部分である引き回し配線ＷＳ３ｄとを含むのであれば、その形状は特に限定されず、曲線形状で形成されていてもよい。

　図８の（ａ）及び図８の（ｂ）は、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２を、折り曲げ領域ＣＬにおいて折り曲げた際を示す図である。

　図８の（ａ）に図示するように、引き回し配線ＷＳ３は、折り曲げ領域ＣＬにおいて、フレキシブル有機ＥＬ表示装置２の厚さ方向において、大きく湾曲している部分を含むとともに、図８の（ｂ）に図示するように、引き回し配線ＷＳ３は、凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界である略平坦面上に形成された部分も含む。

　したがって、折り曲げ領域ＣＬに備えられた引き回し配線ＷＳ３の断線及び膜剥がれを抑制したフレキシブル有機ＥＬ表示装置２を実現できる。

　図９は、逆四角錐形状の凹部ＥＺａ’と、四角錐形状の凸部ＥＺｂ’とを有する補強膜ＥＺ’の一例を示す図である。

　補強膜ＥＺ’を用いる場合においても、引き回し配線ＷＳ３が、凹部ＥＺａ’における底部ＬＰと凸部ＥＺｂ’における頭頂部ＨＰとを通る部分と、図９において点線で図示する凹部ＥＺａ’と凸部ＥＺｂ’との境界上に形成される部分とを含むことで、折り曲げ領域ＣＬに備えられた引き回し配線ＷＳ３の断線及び膜剥がれを抑制したフレキシブル有機ＥＬ表示装置２を実現できる。

　〔実施形態２〕
　次に、図１０に基づき、本発明の実施形態２について説明する。本実施形態においては、補強膜における凹部ＥＺａ’’と凸部ＥＺｂ’’とが、第１方向における幅より第２方向における幅が広く形成されているとともに、凹部ＥＺａ’’における底部と、凸部ＥＺｂ’’における頭頂部とが平面となるように形成されている点において、実施形態１とは異なり、その他については実施形態１において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図１０は、実施形態２のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域ＣＬに備えられた引き回し配線ＷＳ３を示す平面図である。

　図１０に図示するように、端子配線ＴＷ’は、折り曲げ領域ＣＬの両側に位置する第１配線ＷＳ１及び第２配線ＷＳ２と、折り曲げ領域ＣＬを通り、第１配線ＷＳ１及び第２配線ＷＳ２それぞれと電気的に接続する引き回し配線ＷＳ３とを含む。

　本実施形態の補強膜における凹部ＥＺａ’’と凸部ＥＺｂ’’とは、第１方向における幅より第２方向における幅が広く形成されているとともに、凹部ＥＺａ’’における底部と、凸部ＥＺｂ’’における頭頂部とが平面となるように形成されている。

　凹部ＥＺａ’’における平面形状の底部は、第１方向において隣接する凸部ＥＺｂ’’との境界近くまで形成されているとともに、第２方向において隣接する凸部ＥＺｂ’’との境界近くまで形成されている。

　一方、凸部ＥＺｂ’’における平面形状の頭頂部は、第１方向において隣接する凹部ＥＺａ’’との境界近くまで形成されているとともに、第２方向において隣接する凹部ＥＺａ’’との境界近くまで形成されている。

　図１０に図示されている４本の引き回し配線ＷＳ３中、左から１本目、２本目及び４本目の引き回し配線ＷＳ３は、凹部ＥＺａ’’における底部と凸部ＥＺｂ’’における頭頂部とを通る部分のみを含むが、左から３本目の引き回し配線ＷＳ３は、凹部ＥＺａ’’における底部と凸部ＥＺｂ’’における頭頂部とを通る部分と、第２方向における凹部ＥＺａ’’と凸部ＥＺｂ’’との境界上に形成される部分とを含むので、折り曲げ領域ＣＬに備えられた引き回し配線ＷＳ３の断線及び膜剥がれを抑制したフレキシブル有機ＥＬ表示装置を実現できる。

　〔実施形態３〕
　次に、図１１及び図１２に基づき、本発明の実施形態３について説明する。本実施形態においては、引き回し配線ＷＳ４の形状が曲線形状を含む点において、実施形態１及び２とは異なり、その他については実施形態１及び２において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１及び２の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図１１の（ａ）は、実施形態３のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線ＷＳ４を説明するための図であり、図１１の（ｂ）は、図１１の（ａ）に示すＤ‐Ｄ’断面図であり、図１１の（ｃ）は、図１１の（ａ）に示すＥ‐Ｅ’断面図である。

　図１１の（ａ）、図１１の（ｂ）及び図１１の（ｃ）に図示するように、引き回し配線ＷＳ４において、各々の凹部ＥＺａにおける底部ＬＰ上の部分は引き回し配線ＷＳ４ａであり、各々の凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰ上の部分は引き回し配線ＷＳ４ｂであり、第１方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上の部分は引き回し配線ＷＳ４ｃである。

　また、図１１の（ａ）及び図１１の（ｃ）に図示するように、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界は、略平坦に形成されているので、引き回し配線ＷＳ４が、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上に形成される部分である引き回し配線ＷＳ４ｄを有する。

　以上のように、引き回し配線ＷＳ４は、折り曲げ領域ＣＬにおいて、凹部ＥＺａにおける底部ＬＰと凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰとを通ることで、フレキシブル有機ＥＬ表示装置の厚さ方向において、大きく湾曲している部分を有するので、フレキシブル有機ＥＬ表示装置を、折り曲げ領域ＣＬにおいて折り曲げても、引き回し配線ＷＳ４の断線を抑制できる。

　さらに、引き回し配線ＷＳ４が、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上に形成される部分である引き回し配線ＷＳ４ｄを有することで、フレキシブル有機ＥＬ表示装置を、折り曲げ領域ＣＬにおいて折り曲げても、引き回し配線ＷＳ４の補強膜ＥＺからの膜剥がれを抑制できる。

　本実施形態においては、引き回し配線ＷＳ４として、真ん中に円形の開口を有する曲線形状を含む配線を用いた一例を挙げて説明したが、引き回し配線ＷＳ４の形状はこれに限定されることはない。

　図１２の（ａ）は、比較例のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた引き回し配線ＷＳ５を説明するための図であり、図１２の（ｂ）は、図１２の（ａ）に示すＦ‐Ｆ’断面図であり、図１２の（ｃ）は、図１２の（ａ）に示すＧ‐Ｇ’断面図である。

　図１２の（ａ）、図１２の（ｂ）及び図１２の（ｃ）に図示した引き回し配線ＷＳ５は、図１１の（ａ）、図１１の（ｂ）及び図１１の（ｃ）に図示した引き回し配線ＷＳ４とその形状は同一であるが、引き回し配線ＷＳ５の補強膜ＥＺの凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとに対する配置位置が異なる。

　図１２の（ａ）、図１２の（ｂ）及び図１２の（ｃ）に図示した引き回し配線ＷＳ５の場合、引き回し配線ＷＳ５の各々の開口が、凹部ＥＺａにおける底部ＬＰまたは、凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰと平面視において重なるように配置されているので、引き回し配線ＷＳ５は凹部ＥＺａにおける底部ＬＰと凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰとを通らないので、フレキシブル有機ＥＬ表示装置の厚さ方向において、大きく湾曲している部分を有さない。また、引き回し配線ＷＳ５は、第２方向における凹部ＥＺａと凸部ＥＺｂとの境界上にも形成されない。

　以上から、図１２の（ａ）、図１２の（ｂ）及び図１２の（ｃ）に図示した引き回し配線ＷＳ５の場合、断線及び膜剥がれを抑制することができない。

　〔実施形態４〕
　次に、図１３に基づき、本発明の実施形態４について説明する。本実施形態においては、図１２に図示した引き回し配線ＷＳ５を、第１方向にずらして配置している点において、実施形態１から３とは異なり、その他については実施形態１から３において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１から３の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図１３は、実施形態４のフレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域に備えられた、第１方向にずらして配置された引き回し配線ＷＳ５を説明するための図である。

　図１３に図示するように、真ん中に円形の複数の開口を有する曲線形状を含む引き回し配線ＷＳ５は、その複数の開口の各々が、凹部ＥＺａにおける底部ＬＰ及び凸部ＥＺｂにおける頭頂部ＨＰと、平面視において重ならないように配置されている。

　そして、引き回し配線ＷＳ５は、引き回し配線ＷＳ５の延伸方向である第１方向に沿う底部ＬＰ及び頭頂部ＨＰを通る。

　すなわち、引き回し配線ＷＳ５は、第１方向に沿う複数の開口を有し、上記複数の開口中、ある一つの開口と、上記ある一つの開口と一方側で隣接する開口とに挟まれる引き回し配線ＷＳ５の第１配線部分（図１３中の引き回し配線ＷＳ５において直線形状に形成されている部分）は、底部ＬＰと、平面視において重なり、上記ある一つの開口と、上記ある一つの開口と他方側で隣接する開口とに挟まれる引き回し配線ＷＳ５の第２配線部分（図１３中の引き回し配線ＷＳ５において直線形状に形成されている部分）は、頭頂部ＨＰと、平面視において重なる。

　したがって、折り曲げ領域ＣＬに備えられた引き回し配線ＷＳ５の断線を抑制した可撓性表示装置を実現できる。

　本実施形態においては、引き回し配線ＷＳ５として、真ん中に円形の開口を有する曲線形状を含む配線を用いた一例を挙げて説明したが、引き回し配線ＷＳ５の形状はこれに限定されることはなく、例えば、四角形状の開口を含む直線形状の引き回し配線であってもよい。

　〔実施形態５〕
　次に、図１４に基づき、本発明の実施形態５について説明する。本実施形態においては、引き回し配線ＷＳ３をマスクとして、補強膜ＥＺ’に対してドライエッチングを行い、フレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域を折り曲げた際に、引き回し配線ＷＳ３の膜剥がれを防止できる補強膜ＥＺ’’’を形成している点において、実施形態１から３とは異なり、その他については実施形態１から４において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１から４の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図１４の（ａ）は、図９に図示した補強膜ＥＺ’の凸部ＥＺｂ’の頭頂部ＨＰを含む領域に形成された引き回し配線ＷＳ３を示す図であり、図１４の（ｂ）は、図１４の（ａ）に図示した引き回し配線ＷＳ３をマスクとして、補強膜ＥＺ’の凸部ＥＺｂ’に対してドライエッチングを行い、フレキシブル有機ＥＬ表示装置の折り曲げ領域を折り曲げた際に、引き回し配線ＷＳ３の膜剥がれを防止できる補強膜ＥＺ’’’の凸部ＥＺｂ’’’を形成した場合を示す図である。

　図１４の（ａ）に図示する矢印方向に力が加わった時に、引き回し配線ＷＳ３は補強膜ＥＺ’の凸部ＥＺｂ’から剥がれが生じ易いが、図１４の（ｂ）に図示するように、補強膜ＥＺ’’’の凸部ＥＺｂ’’’においては、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重なる部分と、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重ならない部分とで、段差が形成されているので、図１４の（ａ）に図示するような力が、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重なる部分に生じるのを抑制できる。

　図示してないが、引き回し配線ＷＳ３をマスクとして、補強膜ＥＺ’の凹部ＥＺａ’に対してもドライエッチングを行い、補強膜ＥＺ’’’の凹部ＥＺａ’’’において、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重なる部分と、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重ならない部分とで、段差を形成することで、図１４の（ａ）に図示するような力が、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重なる部分に生じるのを抑制できる。

　本実施形態においては、補強膜として、図９に図示した補強膜ＥＺ’を用いた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、上述した実施形態１から４において用いた補強膜の何れに対しても同様の効果を得ることができる。

　本実施形態においては、図１４の（ｂ）に図示するような段差が取り入れられているので、引き回し配線ＷＳ３は、図１４の（ａ）及び図１４の（ｂ）に図示するように、補強膜ＥＺ’’’の凹部ＥＺａ’’’における底部ＬＰと凸部ＥＺｂ’’’における頭頂部ＨＰとを通るのみでよく、上述した実施形態１から３のように、引き回し配線ＷＳ３が第２方向における凹部ＥＺａ’’’と凸部ＥＺｂ’’’との境界上の少なくとも一部を通らなくてもよい。

　なお、引き回し配線の膜剥がれをさらに抑制する観点からは、上述した実施形態１から３のように、引き回し配線が第２方向における凹部と凸部との境界上の少なくとも一部を通る構成に、図１４の（ｂ）に図示するような段差を取り入れることが好ましい。

　なお、フレキシブル有機ＥＬ表示装置の製造工程には、バリア層３、無機絶縁膜（第１無機絶縁膜）１６、無機絶縁膜（第２無機絶縁膜）１８及び無機絶縁膜（第３無機絶縁膜）２０で構成される無機積層膜全体をスリット状に除去する折り曲げ領域ＣＬを形成する工程と、折り曲げ領域ＣＬを埋めるとともに、最も膜厚が小さい底部ＬＰを含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部ＨＰを含む複数の凸部とを備えた補強膜ＥＺ（第１樹脂層）を形成する工程と、引き回し配線ＷＳ３の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるように、補強膜ＥＺ上に引き回し配線ＷＳ３を形成する工程と、補強膜ＥＺにおける上記凹部及び上記凸部の各々に、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重なる部分と、引き回し配線ＷＳ３と平面視において重ならない部分とで、段差を形成する工程とが含まれる。

　また、補強膜ＥＺ上に引き回し配線ＷＳ３を形成する工程においては、引き回し配線ＷＳ３の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるとともに、引き回し配線ＷＳ３の幅方向である第２方向に沿う上記凹部と上記凸部との境界の少なくとも一部と平面視において重なるように、引き回し配線ＷＳ３を形成することが好ましい。

　〔まとめ〕
　〔態様１〕
　表示領域と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に設けられた端子部と、上記表示領域と上記端子部との間に設けられた折り曲げ領域と、上記折り曲げ領域の両側に位置する第１配線と第２配線とを電気的に接続する引き回し配線と、を備えた可撓性表示装置であって、
　上記折り曲げ領域は、１層以上の無機膜の少なくとも一部が除去されたスリット状の領域であり、
　第１樹脂層は、上記折り曲げ領域を埋めるとともに、最も膜厚が小さい底部を含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部を含む複数の凸部とを備えており、
　上記第１樹脂層上に形成された上記引き回し配線は、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なる部分を含むことを特徴とする可撓性表示装置。

　〔態様２〕
　上記第１樹脂層における上記凹部及び上記凸部の各々には、上記引き回し配線と平面視において重なる部分と、上記引き回し配線と平面視において重ならない部分とで、段差が形成されていることを特徴とする態様１に記載の可撓性表示装置。

　〔態様３〕
　上記第１樹脂層上に形成された上記引き回し配線は、上記引き回し配線の幅方向である第２方向に沿う上記凹部と上記凸部との境界の少なくとも一部と平面視において重なる部分を含むことを特徴とする態様１または２に記載の可撓性表示装置。

　〔態様４〕
　上記引き回し配線は、複数の開口を有し、
　上記引き回し配線の複数の開口の各々は、上記底部及び上記頭頂部とは、平面視において重ならないことを特徴とする態様１から３の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様５〕
　上記引き回し配線は、複数の開口を有し、
　上記複数の開口中、ある一つの開口と、上記ある一つの開口と一方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第１配線部分は、上記底部と、平面視において重なり、
　上記ある一つの開口と、上記ある一つの開口と他方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第２配線部分は、上記頭頂部と、平面視において重なることを特徴とする態様１または２に記載の可撓性表示装置。

　〔態様６〕
　上記凹部は、逆半球形状であり、
　上記凸部は、半球形状であることを特徴とする態様１から５の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様７〕
　上記凹部は、逆角錐形状であり、
　上記凸部は、角錐形状であることを特徴とする態様１から５の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様８〕
　上記凹部は、逆円錐形状であり、
　上記凸部は、円錐形状であることを特徴とする態様１から５の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様９〕
　上記凹部と、上記凸部とは、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向及び上記引き回し配線の幅方向である第２方向の各々において、交互に配置されていることを特徴とする態様１から８の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様１０〕
　上記凹部及び上記凸部の各々は、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向の幅より上記引き回し配線の幅方向である第２方向の幅が大きく、
　上記底部及び上記頭頂部は、平面であることを特徴とする態様１から５の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様１１〕
　上記引き回し配線の両端は、上記第１方向に沿って直線形状で形成されていることを特徴とする態様１から１０の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様１２〕
　上記引き回し配線の少なくとも一部は、その両端が曲線形状で形成されていることを特徴とする態様１から１０の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様１３〕
　上記第１樹脂層及び上記引き回し配線を覆う第２樹脂層を備えたことを特徴とする態様１から１２の何れかに記載の可撓性表示装置。

　〔態様１４〕
　表示領域と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に設けられた端子部と、上記表示領域と上記端子部との間に設けられた折り曲げ領域と、上記折り曲げ領域の両側に位置する第１配線と第２配線とを電気的に接続する引き回し配線と、を備えた可撓性表示装置の製造方法であって、
　上記折り曲げ領域を形成する工程においては、１層以上の無機膜の少なくとも一部を、スリット状に除去し、
　上記折り曲げ領域を埋める第１樹脂層を形成する工程においては、最も膜厚が小さい底部を含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部を含む複数の凸部とを形成し、
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるように、上記引き回し配線を形成することを特徴とする可撓性表示装置の製造方法。

　〔態様１５〕
　上記第１樹脂層における上記凹部及び上記凸部の各々に、上記引き回し配線と平面視において重なる部分と、上記引き回し配線と平面視において重ならない部分とで、段差を形成する工程を含むことを特徴とする態様１４に記載の可撓性表示装置の製造方法。

　〔態様１６〕
　上記段差を形成する工程においては、上記引き回し配線をマスクとして、ドライエッチングを行い、上記段差を形成することを特徴とする態様１５に記載の可撓性表示装置の製造方法。

　〔態様１７〕
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるとともに、上記引き回し配線の幅方向である第２方向に沿う上記凹部と上記凸部との境界の少なくとも一部と平面視において重なるように、上記引き回し配線を形成することを特徴とする態様１４から１６の何れかに記載の可撓性表示装置の製造方法。

　〔態様１８〕
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線に、上記底部及び上記頭頂部とは、平面視において重ならない複数の開口を形成することを特徴とする態様１４から１７の何れか１項に記載の可撓性表示装置の製造方法。

　〔態様１９〕
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線に、複数の開口を形成するとともに、上記複数の開口中、ある一つの開口と、上記ある一つの開口と一方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第１配線部分は、上記底部と、平面視において重なるようにし、上記ある一つの開口と、上記ある一つの開口と他方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第２配線部分は、上記頭頂部と、平面視において重なるようにすることを特徴とする態様１４から１６の何れか１項に記載の可撓性表示装置の製造方法。

　〔付記事項〕
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

　本発明は、可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法に利用することができる。

　２　　フレキシブル有機ＥＬ表示装置
　３　　バリア層
　４　　ＴＦＴ層
　５　　有機ＥＬ素子層
　６　　封止層
　１６・１８・２０　無機絶縁膜
　２１　平坦化膜（第２樹脂層）
　ＥＺ　補強膜（第１樹脂層）
　ＣＬ　折り曲げ領域
　ＤＡ　表示領域
　ＮＡ　額縁領域
　ＴＭ　端子（端子部）
　ＴＷ　端子配線
　ＷＳ１　第１配線
　ＷＳ２　第１配線
　ＷＳ３、ＷＳ４　引き回し配線
　ＥＺａ、ＥＺａ’、ＥＺａ’’　凹部
　ＥＺｂ、ＥＺｂ’、ＥＺｂ’’、ＥＺｂ’’’　凸部
　ＨＰ　　頭頂部
　ＬＰ　　底部

Claims

　表示領域と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に設けられた端子部と、上記表示領域と上記端子部との間に設けられた折り曲げ領域と、上記折り曲げ領域の両側に位置する第１配線と第２配線とを電気的に接続する引き回し配線と、を備えた可撓性表示装置であって、
　上記折り曲げ領域は、１層以上の無機膜の少なくとも一部が除去されたスリット状の領域であり、
　第１樹脂層は、上記折り曲げ領域を埋めるとともに、最も膜厚が小さい底部を含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部を含む複数の凸部とを備えており、
　上記第１樹脂層上に形成された上記引き回し配線は、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なる部分を含むことを特徴とする可撓性表示装置。
　上記第１樹脂層における上記凹部及び上記凸部の各々には、上記引き回し配線と平面視において重なる部分と、上記引き回し配線と平面視において重ならない部分とで、段差が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の可撓性表示装置。
　上記第１樹脂層上に形成された上記引き回し配線は、上記引き回し配線の幅方向である第２方向に沿う上記凹部と上記凸部との境界の少なくとも一部と平面視において重なる部分を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の可撓性表示装置。
　上記引き回し配線は、複数の開口を有し、
　上記引き回し配線の複数の開口の各々は、上記底部及び上記頭頂部とは、平面視において重ならないことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記引き回し配線は、複数の開口を有し、
　上記複数の開口中、ある一つの開口と、上記ある一つの開口と一方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第１配線部分は、上記底部と、平面視において重なり、
　上記ある一つの開口と、上記ある一つの開口と他方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第２配線部分は、上記頭頂部と、平面視において重なることを特徴とする請求項１または２に記載の可撓性表示装置。
　上記凹部は、逆半球形状であり、
　上記凸部は、半球形状であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記凹部は、逆角錐形状であり、
　上記凸部は、角錐形状であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記凹部は、逆円錐形状であり、
　上記凸部は、円錐形状であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記凹部と、上記凸部とは、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向及び上記引き回し配線の幅方向である第２方向の各々において、交互に配置されていることを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記凹部及び上記凸部の各々は、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向の幅より上記引き回し配線の幅方向である第２方向の幅が大きく、
　上記底部及び上記頭頂部は、平面であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記引き回し配線の両端は、上記第１方向に沿って直線形状で形成されていることを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記引き回し配線の少なくとも一部は、その両端が曲線形状で形成されていることを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　上記第１樹脂層及び上記引き回し配線を覆う第２樹脂層を備えたことを特徴とする請求項１から１２の何れか１項に記載の可撓性表示装置。
　表示領域と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に設けられた端子部と、上記表示領域と上記端子部との間に設けられた折り曲げ領域と、上記折り曲げ領域の両側に位置する第１配線と第２配線とを電気的に接続する引き回し配線と、を備えた可撓性表示装置の製造方法であって、
　上記折り曲げ領域を形成する工程においては、１層以上の無機膜の少なくとも一部を、スリット状に除去し、
　上記折り曲げ領域を埋める第１樹脂層を形成する工程においては、最も膜厚が小さい底部を含む複数の凹部と、最も膜厚が大きい頭頂部を含む複数の凸部とを形成し、
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるように、上記引き回し配線を形成することを特徴とする可撓性表示装置の製造方法。
　上記第１樹脂層における上記凹部及び上記凸部の各々に、上記引き回し配線と平面視において重なる部分と、上記引き回し配線と平面視において重ならない部分とで、段差を形成する工程を含むことを特徴とする請求項１４に記載の可撓性表示装置の製造方法。
　上記段差を形成する工程においては、上記引き回し配線をマスクとして、ドライエッチングを行い、上記段差を形成することを特徴とする請求項１５に記載の可撓性表示装置の製造方法。
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線の延伸方向である第１方向に沿う上記底部及び上記頭頂部と平面視において重なるとともに、上記引き回し配線の幅方向である第２方向に沿う上記凹部と上記凸部との境界の少なくとも一部と平面視において重なるように、上記引き回し配線を形成することを特徴とする請求項１４から１６の何れか１項に記載の可撓性表示装置の製造方法。
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線に、上記底部及び上記頭頂部とは、平面視において重ならない複数の開口を形成することを特徴とする請求項１４から１７の何れか１項に記載の可撓性表示装置の製造方法。
　上記第１樹脂層上に上記引き回し配線を形成する工程においては、上記引き回し配線に、複数の開口を形成するとともに、上記複数の開口中、ある一つの開口と、上記ある一つの開口と一方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第１配線部分は、上記底部と、平面視において重なるようにし、上記ある一つの開口と、上記ある一つの開口と他方側で隣接する開口とに挟まれる上記引き回し配線の第２配線部分は、上記頭頂部と、平面視において重なるようにすることを特徴とする請求項１４から１６の何れか１項に記載の可撓性表示装置の製造方法。