WO2018180565A1

WO2018180565A1 - 気流制御装置および延伸フィルムの製造方法

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Publication number: WO2018180565A1
Application number: PCT/JP2018/010340
Authority: WO
Inventors: 竜太阿部; 西川　徹
Original assignee: 東レ株式会社
Priority date: 2017-03-28
Filing date: 2018-03-15
Publication date: 2018-10-04
Also published as: US20200108547A1; KR102364565B1; JP7020402B2; US11370161B2; CN110461570B; EP3603936A4; JPWO2018180565A1; EP3603936B1; HUE064050T2; CN110461570A; KR20190127752A; EP3603936A1

Abstract

本発明は、テンターオーブンの入り口の上流側および／または出口の下流側に隣接して気流制御装置を設置する。気流制御装置内には、フィルム走行方向に延在し、フィルム走行面に対向する面が開口している箱状体カバーがあり、箱状体カバーの内部にフィルム幅方向に延在した仕切り構造体を少なくとも１つ有し、仕切り構造体によって箱状体カバーが複数の室に区分けされていて、複数の室の少なくとも２室に備えたエア排気機構で外部へエアを排気する。

Description

気流制御装置および延伸フィルムの製造方法

　本発明は、熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造に適したテンターオーブンの入口または出口に設ける気流制御装置、および、この気流制御装置を用いた熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造方法に関する。

　熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造方法として、一般にテンターオーブンを用いた熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムをその長手方向に延伸することにより、一軸延伸フィルムを得た後、幅方向に延伸する逐次二軸延伸法、あるいは熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムを長手方向およびその幅方向に同時に延伸する同時二軸延伸法が知られている。いずれかの延伸方法で得られる熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムは、熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムに比べて、機械的特性、熱的特性、電気的特性等が優れているので、この特性を活かして包装用途をはじめとして、各種工業材料用途などに広く用いられている。

　一般に、テンターオーブンはフィルムを所望の温度まで昇温する予熱工程と、フィルムを所望の幅まで拡幅する延伸工程と、フィルムを所望の温度で熱処理する熱固定工程と、フィルムを所望の温度まで冷却する冷却工程の、少なくとも１つの工程を有しており、各工程のフィルム温度は、予め所望の温度に加熱したエアを、吹き付けノズルを介してフィルムに吹付けることで調整することができる。

　しかし、テンターオーブンの出入口あるいはゾーン間で生じる圧力差や、走行フィルムの随伴気流により、フィルム走行方向にエアが流れる現象があり、このようなエア流れをＭａｃｈｉｎｅ　Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ（以下、単にＭＤという）流と呼ぶ。ＭＤ流が発生すると、テンターオーブンの出入口から異なる温度のエアが流れ込み、テンターオーブン内の吹き付けノズルから吹き出される加熱エアと混ざるため、フィルムの加熱効率ムラが生じ、フィルムの温度ムラが生じることがある。フィルムの温度ムラが生じると、フィルム幅方向の特性および厚みムラが生じ、製品の品質低下を引き起こすばかりでなく、テンターオーブン内のフィルム破れによる生産性低下を引き起こすことがある。

　さらに、テンターオーブンでＭＤ流が生じた際の問題点として、テンターオーブンの外部から冷気が流入することがあり、冷気流入で低温化したエアを再加熱するため、消費エネルギーが増加する。また、テンターオーブン内部の高温エアが、外部へ吹き出すと周囲温度が上昇し、テンターオーブン周囲の作業環境の悪化を引き起こすことがある。加えて、フィルムからの昇華物による塵埃度の高いエアが、テンターオーブンの内部から外部へ吹き出すと、周囲環境やフィルム面を汚染し、異物欠点として、生産性低下を引き起こすことがある。

　上記のテンターオーブンの問題に対して、次のような技術が提案されている。特許文献１には、テンターオーブンの入口と出口にそれぞれ独立した圧力調整室を設け、入口側圧力調整室の圧力と出口側圧力調整室の圧力の差を制御する方法が記載されている。

　特許文献２には、テンターオーブンの入口あるいは出口にフィルム表裏面に対向した板状の緩衝帯を設ける延伸機が記載されている。

　特許文献３には、テンターオーブンを構成する室の内側から外側に流出する流体を遮断する遮蔽板を備え、遮蔽板のフィルム面に近づく側の先端が、フィルム走行方向に対して室の内側に傾斜することが記載されている。

　特許文献４には、平坦部と、それに続いて設けられた傾斜部とを有するノズルから、シート面に平行流のエアを流し、シートのバタツキを抑える方法が記載されている。特許文献４には、上述した方法により、フィルムとノズルとの間のギャップを狭くでき、テンターオーブンの出入口の熱の出入りを抑える効果があることが記載されている。

特開平３－８７２３８号公報特開２００９－２６９２６８号公報特開２０１１－１６７９２３号公報特開２００５－８４０７号公報

　特許文献１は、テンターオーブンの出入口に設けた圧力調整室で、出口側圧力調整室の圧力を入口側圧力調整室の圧力より大きく設定し、出口側調整室から入口側調整室に向けて気流を形成することで、テンターオーブンの入口側から侵入する冷風を低減でき、出口側から漏出する熱風量を少なくすることができる。しかし、入口側から漏出する熱風に含まれるフィルムからの昇華物による塵埃度の高いエアが、周囲環境やフィルム面を汚染し、異物欠点として、生産性低下を引き起こすことがある。また、出口側から侵入する冷風でフィルムの加熱効率ムラが生じ、フィルムの温度ムラによって、フィルム幅方向の特性および厚みムラが生じることがある。

　特許文献２や特許文献３は、板状の緩衝帯や遮蔽板を用いてテンターオーブンのフィルム走行用の開口を狭くして流体抵抗を大きくすることによって、テンターオーブンから外部に流出するエアの流量を低減させているが、十分に流体抵抗を発生させるためには、開口面積を十分に小さくする必要があり、板状の緩衝帯や遮蔽板とフィルムとが接触し、フィルム面に傷が発生する、あるいはフィルムの破れが発生し、フィルムの生産性を低下させることがある。

　特許文献４は、フィルムの吸引力を得るためにフィルム走行方向にエアを吹き付けるため、ＭＤ流が増加し、テンターオーブン内部のフィルム加熱用の吹き付けノズルの本来の加熱性能が見込めなくなる。

　そこで、本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、テンターオーブンの外部からの吹き込みを気流制御装置で抑制することで、フィルムの温度ムラを低減し、フィルム幅方向の特性および厚みが均一である熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造を可能にするとともに、フィルムを所望の温度まで加熱し、その温度を保持するのに必要な消費エネルギーの削減を可能とするばかりでなく、テンターオーブンの内部の高温エアが外部へ吹き出し、テンターオーブン周囲の作業環境を悪化させることや、フィルムからの昇華物による塵埃度の高いエアが、テンターオーブンの外部に吹き出して、周囲環境やフィルム面を汚染し、異物欠点として、生産性を低下させることを防止する、気流制御装置を提供することにある。

　上記の課題を解決する本発明の第一の気流制御装置は、フィルムが搬入される入口と、フィルムが搬出される出口とを有するテンターオーブンの、前記入口のフィルム走行方向上流側および／または前記出口のフィルム走行方向下流側に隣り合って、フィルム走行面の上面側および／または下面側に設置され、前記フィルム走行方向に延在し、前記フィルム走行面に対向する面が開口している箱状体カバーを備え、前記箱状体カバーは、当該箱状体カバーの内部に、前記フィルムの幅方向に延在し、箱状体カバー内部を複数の室に区分けする仕切り構造体を少なくとも１つ有し、前記複数の室の少なくとも２室に、室内の空気を排出するエア排気機構が設けられている。

　本発明の第一の気流制御装置は、以下の各構成のいずれか、または全てを有することが好ましい。
・前記仕切り構造体が、昇降する機構を有すること。
・前記箱状体カバーと前記仕切り構造体とが、前記フィルムの幅方向に伸縮する機構を有すること。

　上記の課題を解決する本発明の第二の気流制御装置は、フィルムが搬入される入口と、フィルムが搬出される出口とを有するテンターオーブンの、前記入口のフィルム走行方向上流側および／または前記出口のフィルム走行方向下流側に隣り合い、フィルム走行面の上面側および／または下面側に設置され、前記フィルム走行方向に並び、前記フィルム走行面に対向する面が開口し、前記フィルムの幅方向に延在する複数の室を備え、前記複数の室は、前記フィルム走行面側から見たときに、隣り合う室と室とは隙間なく配置され、前記複数の室の少なくとも２室に、室の内部から空気を排出するエア排気機構が設けられている。

　本発明の第二の気流制御装置は、以下の各構成のいずれか、または全てを有することが好ましい。
・各室が、隣り合う室に対向する部分が昇降する機構を有すること。
・気流制御装置が、フィルムの幅方向に伸縮する機構を有すること。

　本発明の第一、第二の気流制御装置は、前記エア排気機構のうちの少なくとも１つのエア排気機構が、他のエア排気機構とは独立して排気流量を調整できる流量調整機構を備えることが好ましい。

　上記課題を解決する本発明の延伸フィルムの製造方法は、
　テンターオーブンと、テンターオーブン入口のフィルム走行方向上流側および／またはテンターオーブン出口のフィルム走行方向下流側に隣り合って設置された上記の発明にかかる気流制御装置とのそれぞれにフィルムを通過させ、前記気流制御装置において、前記エア排気機構により前記室の内部から空気を排出し、前記テンターオーブンにおいて、走行するフィルムを加熱しながら延伸する。

　本発明の延伸フィルムの製造方法は、前記気流制御装置の前記エア排気機構の排気流量を、全てのエア排気機構の排気を止めた状態で前記気流制御装置にフィルムを通過させた際に当該気流制御装置を流れるエア流れに対して、前記エア流れの上流側のエア排気機構の排気流量を下流側のエア排気機構の排気流量よりも大きくすることが好ましい。

　本発明のテンターオーブンに供される熱可塑性樹脂フィルムを形成する熱可塑性樹脂としては、例えば、次のものがある。すなわち、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン樹脂、ナイロン６、ナイロン６６などのポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン－２，６－ナフタレート、ポリメチレンテレフタレート、ポリエチレン－ｐ－オキシベンゾエート、ポリ－１，４－シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、および共重合成分として、例えば、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコールなどのジオール成分や、アジピン酸、セバチン酸、フタル酸、イソフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸などのジカルボン酸成分などを共重合したポリエステルなどのポリエステル樹脂、その他、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂がある。
　特に、本発明のより高い効果を得るには、ポリオレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂からなるフィルムが好ましい。中でも、ポリエチレン－２，６－ナフタレート樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂からなるフィルムが好ましく、特に、ポリエチレンテレフタレート樹脂からなるフィルムは、安価であるため、非常に多岐にわたる用途で用いられ、本発明の適用効果が高い。これらの熱可塑性樹脂は、ホモ樹脂であってもよく、共重合またはブレンドであってもよい。

　熱可塑性樹脂フィルムは、前述の熱可塑性樹脂と共に公知の各種添加剤、例えば、酸化防止剤、帯電防止剤、結晶核剤、無機粒子、減粘剤、熱安定剤、滑剤を含有していてもよい。

　本発明の気流制御装置によれば以下のような効果がもたらされる。
・　テンターオーブン内に外部から冷えたエアが吹き込むことを抑制することで、テンターオーブン内のフィルムの温度ムラを低減し、フィルム幅方向の特性および厚みが均一である熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムを製造できる。また、フィルムを所望の温度まで加熱して、温度を保持するための消費エネルギーを削減できる。
・　テンターオーブン内の高温エアがテンターオーブンの外部へ吹き出すことを抑制することで、テンターオーブン周囲の作業エリアが温度上昇し、作業環境が悪化することを防止できる。また、フィルムからの昇華物による塵埃度の高いエアが、テンターオーブン内部から外部へ吹き出すことで、周囲環境やフィルム面を汚染し、異物欠点として、生産性低下を引き起こすことを防止できる。

図１は、本発明の一実施の形態にかかる気流制御装置のフィルム走行方向の断面概略図である。図２は、図１のＡ１－Ａ１線に対応する気流制御装置の断面概略図である。図３は、図２のＡ２－Ａ２線に対応する気流制御装置の断面概略図である。図４は、本発明の実施の形態の変形例１にかかる気流制御装置のフィルム走行方向の断面概略図である。図５は、本発明の実施の形態の変形例２にかかる気流制御装置のフィルム走行方向の断面概略図である。図６は、本発明の実施例に用いた気流制御装置のフィルム走行方向の断面図である。

　以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明はこれに限定されるものではない。

　（実施の形態）
　本発明の一実施の形態にかかる気流制御装置を図１と図２を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態にかかる気流制御装置のフィルム走行方向の断面概略図であって、フィルム走行面と直交する平面を切断面とする気流制御装置の断面図である。図２は、図１に示すＡ１－Ａ１線に対応する気流制御装置の断面概略図である。テンターオーブン１０は、未延伸のフィルムを、所定の温度に加熱しながら、一軸方向、または互いに異なる二つの方向に延伸して、延伸フィルムを生成する。未延伸のフィルムは、後述するクリップに把持され、フィルム走行面１１上に配置される。この未延伸のフィルムは、クリップがクリップレール上を走行することによって、延伸されながらフィルム走行面１１上を走行する。

　テンターオーブン１０に供されるフィルムとして、熱可塑性樹脂フィルムが挙げられる。熱可塑性樹脂フィルムを形成する熱可塑性樹脂としては、例えば、次のものがある。すなわち、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン樹脂、ナイロン６、ナイロン６６などのポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン－２，６－ナフタレート、ポリメチレンテレフタレート、ポリエチレン－ｐ－オキシベンゾエート、ポリ－１，４－シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、および共重合成分として、例えば、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコールなどのジオール成分や、アジピン酸、セバチン酸、フタル酸、イソフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸などのジカルボン酸成分などを共重合したポリエステルなどのポリエステル樹脂、その他、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂がある。

　特に、ポリオレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂からなるフィルムは、高い効果を得るという観点で好ましい。中でも、ポリエチレン－２，６－ナフタレート樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂からなるフィルムが好ましく、特に、ポリエチレンテレフタレート樹脂からなるフィルムは、安価であるため、非常に多岐にわたる用途で用いられ、本発明の適用効果が高い。これらの熱可塑性樹脂は、ホモ樹脂であってもよく、共重合またはブレンドであってもよい。

　また、テンターオーブン１０に供される熱可塑性樹脂フィルムは、前述の熱可塑性樹脂と共に公知の各種添加剤、例えば、酸化防止剤、帯電防止剤、結晶核剤、無機粒子、減粘剤、熱安定剤、滑剤を含有していてもよい。

　気流制御装置１は、テンターオーブン１０のフィルム走行方向上流側に隣り合って設置されている箱状体カバー２ａ、２ｂを備える。気流制御装置１では、フィルム走行面１１の上側に箱状体カバー２ａを、フィルム走行面１１の下側に箱状体カバー２ｂを、お互いがフィルム走行面１１を挟んで対向するように備えている。箱状体カバー２ａ、２ｂは、それぞれフィルム走行方向に延在し、フィルム走行面１１に対向する面が開口している。箱状体カバー２ａの内部は、フィルム幅方向（以下、単に「幅方向」ということもある）に延在する仕切り構造体３ａによって、フィルム走行方向の上流側から順に室４ａと室４ｂとの２室に区分けされている。同様に、箱状体カバー２ｂの内部は、フィルム幅方向に延在する仕切り構造体３ｂによって、フィルム走行方向上流側から順に室４ｃと室４ｄとの２室に区分けされている。室４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄには、室内から空気を排出するエア排気機構５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄがそれぞれ設けられている。エア排気機構５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄは、室４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのそれぞれに設けられた空気を排出するための開口部と、この開口部に接続され、開口部を通じて各室の空気を吸引するブロワなどの排気設備とで少なくとも構成されている。開口部とブロワとは直接接続されていてもよく、ダクトを介して接続されていてもよい。開口部の開口パターンはスリット、丸孔、多孔、多角形穴、異形穴、半円などいずれでもよい。エア排気性能を高くする点と、製作が容易である点とから、開口部は多数の穴が開けられた多孔板であることが好ましい。

　フィルム走行面１１の上側に設置される箱状体カバー２ａは、高温なテンターオーブン１０からの吹き出しエア１６の自然対流によって、テンターオーブン１０の周囲温度が上昇し、作業環境が悪化することへの対策として用いられる。フィルム走行面１１の下側に設置される箱状体カバー２ｂは、テンターオーブン１０内よりも低温な外部からの吹き込みエア１５が自然対流によってテンターオーブン１０の下部に流れ、この下部において加熱性能が低下してテンターオーブン１０内のフィルム温度ムラにつながることへの対策として用いられる。

　図１、２に示した気流制御装置１は、フィルム走行面１１の上側に箱状体カバー２ａが設置され、下側に箱状体カバー２ｂが設置されているが、テンターオーブン１０で生じうる上記の現象に応じて、フィルム走行面１１の上側または下側のみに箱状体カバーを設置してもよい。好ましくはフィルム走行面１１の上側と下側との両方に箱状体カバー２ａ、２ｂを設置する。フィルム走行面１１の上側と下側との両方に箱状体カバー２ａ、２ｂを設置することで、テンターオーブン１０と外部空間１４との間のエア流れの変動をより抑制でき、品質が安定し、生産性が向上する。

　ここで、気流制御装置１が所望の動作をしたときのエアの流れ方を説明する。ただし、テンターオーブンの外部からの吹き込みやテンターオーブン内の高温エアが外部へ吹き出すことを抑制できればよく、エア流れは以下の記載に限定されるものではない。

　外部からの吹き込みエア１５は、外部空間１４と隣接する室４ａ、４ｃのエア排気機構５ａ、５ｃでエアの一部が排気される。そして、残りのエアは、仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１の間を、流路の急激な縮小による整流と増速の作用を受け、水平噴流１７として隣接する室４ｂ、４ｄに流入する。室４ｂ、４ｄに流入したエア（水平噴流１７）と、テンターオーブン１０からの吹き出しエア１６とが衝突し、それぞれフィルム走行方向の流れが打ち消され、流れの向きがフィルム走行面１１から離間する方向に変わり、エア排気機構５ｂ、５ｄで排気される。このように、外部からの吹き込みエア１５とテンターオーブン１０からの吹き出しエア１６とが気流制御装置１で排気されるので、外部からの吹き込みエア１５が、テンターオーブン１０内に吹き込むことや、テンターオーブン１０からの吹き出しエア１６が、テンターオーブン１０の周辺に吹き出すことを抑制できる。

　箱状体カバー２ａ、２ｂ内部の仕切り構造体３ａ、３ｂによって区分けされた室の数は、２室でも効果があるが、３室以上あるとさらに効果が高まる。室の数の上限は特に限定されないが、エア排気機構の数を考慮して１００室以下とするのが好ましい。また、箱状カバー２ａ、２ｂ内部の仕切り構造体３ａ、３ｂによって区分けされた室の数はフィルム走行面１１の上側と下側とで異なってもよい。

　箱状体カバー２ａ、２ｂ内部の各室に設置されるエア排気機構は、外部からの吹き込みエア１５とテンターオーブン１０からの吹き出しエア１６とを排気するためのエア排気機構をそれぞれ設けるために、各箱状体カバーを少なくとも２室に設置することが好ましい。この際、エア排気機構は、フィルム走行方向に並んでいる。エア排気機構を少なくとも２室に設置することで、テンターオーブン１０から離れた室において外部からの吹き込みエア１５を多く排気し、テンターオーブン１０に近い室においてテンターオーブン１０からの吹き出しエア１６を多く排気できるので、吹き込みエア１５と吹き出しエア１６とが混合するのを低減できる。吹き込みエア１５と吹き出しエア１６との混合を低減することで、吹き出しエア１６に含まれるフィルムからの昇華物が温度低下により析出して、フィルム面を汚染して異物欠点となることを抑制できる。また、吹き込みエア１５と吹き出しエア１６との混合を低減することで、異なる温度のエアが混合することによりエア温度が不安定になることを抑制できる。外部からの吹き込みエア１５とテンターオーブン１０からの吹き出しエア１６との混合をより低減するために、より多くの室にエア排気機構を設置して、多段で排気することが好ましく、すべての室にエア排気機構を設置することがさらに好ましい。また、箱状体カバーは、幅方向やフィルム走行方向のエア排気流量を調整するために、１室にエア排気機構を複数備えてもよい。

　一つの箱状体カバー２ａ、２ｂ内の各室のエア排気機構５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち、少なくとも一つのエア排気機構が、他のエア排気機構とは独立して排気流量を調整できる流量調整機構を備えることが好ましい。具体的には、図１に示すように、エア排気機構５ａ、５ｂ（５ｃ、５ｄ）とブロア７とを接続し、ブロア７からそれぞれのエア排気機構への枝分かれ配管の間にダンパ６を取り付けて流量を調整する構成がある。また、個々のエア排気機構を個別にブロアへ接続し、ブロアの設定を調整することで流量を調整する構成でもよい。フィルム走行方向の上流と下流とのエア排気機構の排気流量を独立に調整できれば、外部からの吹き込みエア１５と、テンターオーブンからの吹き出しエア１６との流量変化に対応して、フィルム走行方向の上流と下流とのエア排気機構の排気流量を調整することができる。

　全てのエア排気機構の排気を止めた状態で、気流制御装置１をフィルム走行方向に通過するエア流れがテンターオーブン１０から外部空間１４に吹き出す場合には、エア流れの上流側のエア排気機構５ｂ、５ｄの排気流量を、下流側のエア排気機構５ａ、５ｃの排気流量よりも大きくすることが好ましい。エア流れの上流側のエア排気機構５ｂ、５ｄの排気流量を、下流側のエア排気機構５ａ、５ｃの排気流量よりも大きくすることで、仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との間を流れる水平噴流１７と、テンターオーブン１０からの吹き出しエア１６と、が衝突して、テンターオーブン１０からの吹き出しエア１６を低減し、吹き出しエアの加熱エネルギーの損失を低減できる。逆に、エア流れの上流側のエア排気機構５ｂ、５ｄの排気流量を、下流側のエア排気機構５ａ、５ｃの排気流量より小さくすると、全てのエア排気機構の排気を止めた状態よりもテンターオーブン１０からの吹き出しエア１６がさらに増加し、吹き出しエア１６を加熱したエネルギーを損失する。

　同様に、全てのエア排気機構の排気を止めた状態で、気流制御装置１をフィルム走行方向に通過するエア流れが外部空間１４からテンターオーブン１０へ吹き込む場合には、エア流れの上流側のエア排気機構５ａ、５ｃの排気流量を、下流側のエア排気機構５ｂ、５ｄの排気流量よりも大きくすることが好ましい。エア流れの上流側のエア排気機構５ａ、５ｃの排気流量を、下流側のエア排気機構５ｂ、５ｄの排気流量よりも大きくすることで、仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との間を流れる水平噴流１７と、外部からの吹き込みエア１５と、が衝突して、外部からの吹き込みエア１５を低減し、テンターオーブン１０への外部からの吹き込みエア１５を抑制でき、テンターオーブン１０内のフィルムの温度ムラを低減できる。逆に、エア流れの上流側のエア排気機構５ａ、５ｃの排気流量を、下流側のエア排気機構５ｂ、５ｄの排気流量よりも小さくすると、全てのエア排気機構の排気を止めた状態よりも外部からの吹き込みエア１５がさらに増加し、テンターオーブン１０内のフィルム加熱性能が低下して、フィルムの温度ムラにつながる。

　箱状体カバー２ａ、２ｂは、テンターオーブン１０の入口１２および出口１３の付帯設備を考慮して、フィルム走行方向の寸法を１００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下とすることが好ましい。また、仕切り構造体３ａ、３ｂの形状は、隣り合う室を区分けして仕切れればよく、板状、半円状、箱状等のいずれの形状であってもよい。さらにフィルムとの接触による傷付きを防止するために、仕切り構造体３ａ、３ｂの先端には回転体を取り付けてもよい。また、仕切り構造体３ａ、３ｂのフィルム走行方向の寸法は、箱状体カバー２ａ、２ｂに収まる範囲で選択すればよい。

　品種や生産条件によって、フィルムのたるみや舞い上がりが生じ、仕切り構造体３ａ、３ｂと接触することもあるので、フィルム走行面１１との距離を維持するために、仕切り構造体３ａ、３ｂを昇降させて、仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との距離を調整できることが好ましい。昇降方法としては、例えば、仕切り構造体３ａ、３ｂにジャッキを取り付ける方法がある。仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との距離は、気流制御装置１の内部の圧力損失を大きくするためには、小さい方が好ましく、一方、フィルムのバタツキによる接触を回避する必要があるため、１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下の範囲で選択すればよい。仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との距離が２００ｍｍ以下であると、上述した仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との間の流路の急激な縮小による水平噴流１７の整流および増速の作用が高まるので、水平噴流１７とテンターオーブンからの吹き出しエア１６とを衝突させて、それぞれのフィルム走行方向の流れを打ち消し、流れの向きをフィルム走行面１１から離間する方向へ変えることが効果的にできる。仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルム走行面１１との距離が１０ｍｍ以上であると、フィルムのバタツキによる仕切り構造体３ａ、３ｂとフィルムとの接触を回避できるため、フィルム破断を防ぎ、生産性を高めることができる。

　図３を参照しながら説明を続ける。図３は、図２に示すＡ２－Ａ２線に対応する気流制御装置の断面概略図であって、フィルム走行面と平行な平面を切断面とする気流制御装置の断面図である。図３では、ダンパ６およびブロア７を除いた構成を図示している。一般に、生産品種に応じてフィルムの幅を変更するため、テンターオーブン１０において、フィルムの両端を把持するクリップ２４と、フィルムの両端に設けられ、フィルム走行方向にクリップを走行させる二つのクリップレール２５と、クリップ２４およびクリップレール２５をそれぞれ覆う二つのクリップレールカバー２２との間を幅方向（図３の両矢印）に広げたり、狭めたりする。箱状体カバー２ａ、２ｂや仕切り構造体３ａ、３ｂを、クリップレールカバー２２間に入れた状態で、クリップレールカバー２２間の距離を広げた場合、クリップレールカバー２２と気流制御装置１の隙間が大きくなり、迂回する気流が発生し、気流の制御効果が低減する。従って、箱状体カバー２ａ、２ｂや仕切り構造体３ａ、３ｂには幅方向の伸縮機構を有することが好ましい。このような幅方向の伸縮機構を設けることで、クリップレールカバー２２間の距離に応じて、気流制御装置１を幅方向に伸縮して、隙間を一定に保つことができる。幅方向の伸縮機構として、例えば、箱状体カバー２ａ、２ｂや仕切り構造体３ａ、３ｂにおいて、図３に示すフィルム幅方向の中央に固定部２０を、固定部２０のフィルム幅方向の両端部に、該フィルム幅方向に進退可能な可動部２１を設けて、固定部２０の内側あるいは外側に可動部２１が移動する構成が挙げられる。

　また、箱状体カバー２ａ、２ｂは、クリップレールカバー２２の幅方向の動きに可動部２１が追従するように、例えば、可動部２１とクリップレールカバー２２とを連結するレール接続機構２３を備える。

　（変形例１）
　図４を参照しながら、本発明の変形例１にかかる気流制御装置を説明する。気流制御装置１０１は、テンターオーブン１０のフィルム走行方向上流側に隣り合って設置される箱状体カバー２ｃを備える。箱状体カバー２ｃは、二つの箱状部材２４を隣接させてなり、フィルム走行面の上側に、フィルム走行方向上流側から下流側に向かって並ぶ２つの室１０４ａ、１０４ｂを有している。室１０４ａ、１０４ｂはそれぞれフィルム幅方向に延在しており、フィルム走行方向に対向する面が開口している。室１０４ａ、１０４ｂは、フィルム走行面側から見たときに、お互いの間に隙間がないように設置されている。また、室１０４ａ、１０４ｂは、それぞれの室の内部から空気を排出するエア排気機構１０５ａ、１０５ｂを備えている。

　（変形例２）
　図５を参照しながら、本発明の変形例２にかかる気流制御装置を説明する。気流制御装置１０１Ａは、テンターオーブン１０のフィルム走行方向上流側に隣り合って設置される箱状体カバー２ｄを備える。図４に示す箱状体カバー２ｃでは、室１０４ａと室１０４ｂとを隙間なく配置しているが、図５に示す箱状体カバー２ｄのように、離間した二つの箱状部材２４を連結部材４１で連結してなり、フィルム走行面側から見たときに、隣り合う室に対向する部分に間隙を設けて、つまり、室１０４ａと室１０４ｂとを隙間をあけて配置し、隣り合う室１０４ａ、１０４ｂを連結部材４１で連結している。

　図４、図５に示した気流制御装置１０１、１０１Ａは、２つの室１０４ａ、１０４ｂで構成されていたが、フィルム走行方向に並ぶ３室以上で構成してもよく、フィルム走行面１１の上側と下側とで室の数が異なってもよい。また、図４に示した第二の気流制御装置は、フィルム走行面１１の上側に２つの室１０４ａ、１０４ｂが設置されているが、上記の第一の気流制御装置と同様に、フィルム走行面１１の上側と下側の両方に設置してもよく、フィルム走行面１１の上側または下側のみに設置してもよい。好ましくは、フィルム走行面１１の上側と下側の両方に、同一数で室を構成する。

　本発明の実施の形態にかかる気流制御装置１では、１つの箱状体カバーの内部を１つまたは複数の仕切り構造体で仕切ることで複数の室に区分けしているのに対し、変形例１、２にかかる気流制御装置１０１、１０１Ａでは、複数の独立した室を隙間ができないように並べているだけであり、実質的に同様な構成である。そのため、気流制御装置１における様々な実施態様は、気流制御装置１０１、１０１Ａにも適用できる。

　以下、実施例によって、さらに本発明の詳細を説明する。しかし、本実施例により本発明が限定して解釈されるわけではない。

　[実施例１]
　まず、本発明による効果の評価方法について説明する。本発明の気流制御装置とテンターオーブン本体を構成する室をモデル化した数値解析モデルを作成し、これを数値的に計算して気流制御性能を評価した。

　図６は、本発明の実施例に用いた気流制御装置のフィルム走行方向の断面図である。図６は、上述した気流制御装置１およびテンターオーブン１０の断面図であって、フィルム走行面１１と直交する平面を切断面とする断面図である。図６では、フィルム走行面１１を境界として上下に分けたうち、気流制御装置１およびテンターオーブン１０の上半分の構成を示している。気流制御装置１およびテンターオーブン１０の内部気流を計算する上で、計算資源を節約するために、気流制御装置１、テンターオーブン１０および外部空間１４は、フィルム走行面１１を介して上下に対称な形状と仮定し、上半分のみを計算する。また、気流制御装置１の気流制御性能を評価するためには、フィルム走行方向の縦断面図におけるエアの流れ方を調べれば十分であり、この面における２Ｄモデルを作成した。

　各構造の寸法を次の通りとする。テンターオーブン１０は、フィルム走行方向の長さＤ₁を１．５ｍ、高さＨ₁を０．６５ｍとし、内部にエア吹き付けノズル３１を４本設置した。エア吹き付けノズル３１はフィルム走行方向の寸法を０．２ｍとし、各エア吹き付けノズル３１はピッチＰ₁が０．３ｍの等間隔で配置し、フィルム走行面１１との距離Ｈ₂を０．１５ｍとした。テンターオーブン１０の入口に隣接する気流制御装置１は、箱状体カバー２を２つの室４ａ、４ｂに分ける１つの仕切り構造体３を備える。室の寸法をフィルム走行方向に０．２５ｍ、高さ０．１５ｍとした。気流制御装置１は、フィルム走行方向の長さＤ₂を０．６ｍとした。気流制御装置１の室４ａ、４ｂおよび仕切り構造体３は、フィルム走行面１１と気流制御装置１の入口３８との距離Ｄ₃を０．０５ｍとした。そして、外部空間１４はフィルム走行方向の長さＤ₄を０．４ｍ、高さをテンターオーブン１０の高さ（高さＨ₁）と同じ０．６５ｍとした。また、ＭＤと記す方向はフィルム走行方向である。

　テンターオーブン１０のエア吹き付けノズル３１のフィルム走行面１１に対向する面に、０．０１ｍ幅のノズル開口部３２を設け、ノズル開口部３２に流速２０ｍ／ｓでエアを吹き出す境界条件を設定した。また、吸引部３３には、ノズル開口部３２から吹き出したエアの風量と同量を排気する境界条件を設定した。解析空間の外部境界３４と、テンターオーブン１０の内部境界３５とを圧力境界とし、外部境界３４の境界条件に大気圧（０．１ＭＰａ）を設定し、テンターオーブン１０の内部境界３５の境界条件に大気圧＋５Ｐａを設定した。

　流体の物性は、温度１００℃で大気圧の乾燥空気を想定し、密度０．９３ｋｇ／ｍ^３、粘度２．２×１０^－５Ｐａ・ｓ、比熱１０１２Ｊ／（ｋｇ・Ｋ）、熱伝導率０．０３１Ｗ／（ｍ・Ｋ）とした。

　解析は、市販の汎用熱流体解析ソフトウェアである「ＳＴＡＲ－ＣＣＭ」（株式会社ＩＤＡＪ製）を用い、定常計算を行った。乱流の取り扱いにはｋ－ε乱流モデルを用い、壁近傍の乱流境界層の取り扱いには壁法則を用いた。

　上記のソフトウェアは、流体の運動方程式であるナヴィエ・ストークス方程式を有限体積法により解析するものである。もちろん、同様の解析ができるものであればどのような熱流体解析ソフトウェアを用いてもよい。

　気流制御装置１の効果は、図６に示すテンターオーブン１０の入口３６、気流制御装置１の内部３７、気流制御装置１の入口３８の位置における、フィルム走行面１１の垂線で、フィルム走行方向の速度成分の平均エア流速を指標とした。

　なお、この条件において、外部空間１４に隣接するエア排気機構５ａと、テンターオーブン１０に隣接するエア排気機構５ｂとの両方からのエアの排気を止めると、テンターオーブン１０から気流制御装置１を通って外部空間１４まで平均流速３．０ｍ／ｓでエアが流れる（比較例１を参照）。

　外部空間１４と隣接するエア排気機構５ａと、テンターオーブン１０と隣接するエア排気機構５ｂとの各エア流速をそれぞれ０．４０ｍ／ｓとした。ただし、２次元の近似手法として、ここでは、エア流量はエア流速値を用いて示すこととする。気流制御装置の効果を表１、設定条件を表２に示す。なお、表１中のプラス（＋）は、テンターオーブン１０の入口３６から気流制御装置の入口３８へ向かう方向であり、マイナス（－）は、気流制御装置１の入口３８からテンターオーブン１０の入口３６へ向かう方向である。

　テンターオーブン１０から気流制御装置１への吹き出しエアは平均流速３．２ｍ／ｓでテンターオーブン１０の入口３６を通過する。テンターオーブン１０から吹き出したエアは、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂに設けたエア排気機構５ｂでエアの一部が排気され、排気しきれなかった残りのエアが、平均流速１．２ｍ／ｓで、仕切り構造体３とフィルム走行面１１の間の気流制御装置１の内部３７を、流路の急激な縮小による整流と増速の作用を受けて、水平噴流として外部空間１４と隣接する室４ａに流入する。外部空間１４と隣接する室４ａに設けたエア排気機構５ａの排気により、外部空間１４からの吹き込みエアが生じ、平均流速０．８ｍ／ｓで気流制御装置の入口３８を通過し、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂから流入する水平噴流と衝突する。衝突したエアは、フィルム走行方向の流れが打ち消され、流れの向きがフィルム走行面１１から離間する方向に変わり、エア排気機構５ａで排気される。

　結果として、外部空間１４から流入するエアと、テンターオーブン１０からの吹き出しエアが気流制御装置１に排気され、テンターオーブン１０から外部空間１４への吹き出しエアと、外部空間１４からテンターオーブン１０への吹き込みエアとが抑制される。

　［実施例２］
　実施例２では、実施例１と同じ計算モデルを用いた。実施例２は、外部空間１４と隣接するエア排気機構５ａのエア流速を０．６４ｍ／ｓ、テンターオーブン１０と隣接するエア排気機構５ｂのエア流速を０．１６ｍ／ｓとした以外は実施例１と同じである。

　表１の通り、テンターオーブン１０から気流制御装置１への吹き出しエアは平均流速３．３ｍ／ｓでテンターオーブン１０の入口３６を通過する。テンターオーブン１０から吹き出したエアは、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂに設けたエア排気機構５ｂでエアの一部が排気され、排気しきれなかった残りのエアが平均流速２．５ｍ／ｓで、仕切り構造体３とフィルム走行面１１の間の気流制御装置１の内部３７を、流路の急激な縮小による整流と増速の作用を受けて、水平噴流として外部空間と隣接する室４ａに流入する。外部空間１４と隣接する室４ａに設けたエア排気機構５ａの排気により、外部空間１４からの吹き込みエアが生じ、平均流速０．７ｍ／ｓで気流制御装置１の入口３８を通過し、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂから流入する水平噴流と衝突する。衝突したエアは、フィルム走行方向の流れが打ち消され、流れの向きがフィルム走行面１１から離間する方向に変わり、エア排気機構５ａで排気される。

　結果として、外部空間１４から流入するエアと、テンターオーブン１０からの吹き出しエアとが気流制御装置１に排気され、テンターオーブン１０から外部空間１４への吹き出しエアと、外部空間１４からテンターオーブン１０への吹き込みエアとが抑制される。

　ただし、全てのエア排気機構からのエアの排気を止めた状態でのエア流れの上流側となるエア排気機構５ｂのエア流速が、下流側のエア排気機構５ａのエア流速よりも小さいので、実施例１と比べてテンターオーブン１０の入口３６から吹き出したエアが０．１ｍ／ｓ増加し、テンターオーブン１０からの吹き出しエア分の加熱エネルギーの損失は増加した。

　［実施例３］
　実施例３では、実施例１と同じ計算モデルを用いた。実施例３は、外部空間１４と隣接するエア排気機構５ａのエア流速を０．１６ｍ／ｓ、テンターオーブン１０と隣接するエア排気機構５ｂのエア流速を０．６４ｍ／ｓとした以外は実施例１と同じである。

　表１の通り、テンターオーブン１０から気流制御装置１への吹き出しエアは平均流速３．０ｍ／ｓでテンターオーブン１０の入口３６を通過する。外部空間１４と隣接する室４ａからテンターオーブン１０に隣接する室４ｂに平均流速０．２ｍ／ｓで流入する水平噴流と、テンターオーブン１０の吹き出しエアが衝突し、フィルム走行方向の流れが打ち消され、流れの向きがフィルム走行面１１から離間する方向に変わり、エア排気機構５ｂで排気される。そして、外部空間１４からの吹き込みエアは平均流速１．０ｍ／ｓで気流制御装置１の入口３８を通過し、外部空間１４に隣接する室４ａのエア排気機構５ａで一部排気される。

　さらに、全てのエア排気機構からのエアの排気を止めた状態でのエア流れの上流側となるエア排気機構５ｂのエア流速が、下流側のエア排気機構５ａのエア流速よりも大きいので、実施例１と比べて、テンターオーブン１０の入口３６からの吹き出しエアが０．２ｍ／ｓ減少し、テンターオーブン１０からの吹き出しエアの加熱エネルギー損失は減少した。

　［比較例１］
　比較例１では、実施例１と同じ計算モデルを用いた。比較例１は、外部空間１４と隣接するエア排気機構５ａと、テンターオーブン１０と隣接するエア排気機構５ｂとの各エア流速をそれぞれ０．０ｍ／ｓとした以外は実施例１と同じである。

　表１の通り、テンターオーブン１０から気流制御装置１への吹き出しエアは、平均エア流速３．０ｍ／ｓでテンターオーブン１０の入口３６を通過する。テンターオーブン１０から吹き出したエアは、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂに設けたエア排気機構５ｂで、エアを排気されることなく、平均エア流速３．０ｍ／ｓで、気流制御装置１の内部３７を通過し、外部空間１４と隣接する室４ａに流入する。この室４ａに流入したエアは、そのまま気流制御装置１の入口３８を平均エア流速３．０ｍ／ｓで通過し、外部空間１４へ吹き出す。比較例１では、テンターオーブン１０からの吹き出しエアが外部空間１４へ吹き出した。

　比較例１では、気流制御装置１のエア排気機構が機能していないため、気流制御装置１に流入したエアと衝突する水平噴流が生じない。その結果、気流制御装置１に流入する流れに衝突し、フィルム走行方向の流れを打ち消し、流れの向きをフィルム走行面１１から離間する方向に変える作用が生じないため、テンターオーブン１０からの吹き出しエアを外部空間１４へ吹き出すことを抑制することはできない。

　［比較例２］
　比較例２では、実施例１と同じ計算モデルを用いた。比較例２は、外部空間１４と隣接するエア排気機構５ａのエア流速を０．０ｍ／ｓ、テンターオーブン１０と隣接するエア排気機構５ｂのエア流速を０．８ｍ／ｓとした以外は実施例１と同じである。

　表１の通り、テンターオーブン１０から気流制御装置１への吹き出しエアは、比較例１より２．０ｍ／ｓ増加して、平均エア流速５．０ｍ／ｓでテンターオーブン１０の入口３６を通過する。

　テンターオーブン１０から吹き出したエアは、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂのエア排気機構５ｂでエアの一部が排気され、平均エア流速１．０ｍ／ｓで気流制御装置１の内部３７を通過し、外部空間１４と隣接する室４ａに流入する。この室４ａに流入したエアは、そのまま気流制御装置１の入口３８を平均エア流速１．０ｍ／ｓで通過し、外部空間１４へ吹き出す。比較例２では、テンターオーブン１０からの吹き出しエア１６が外部空間１４へ吹き出した。

　比較例２では、エア排気機構５ｂからはエアを排気するが、エア排気機構５ａからはエアを排気しないので、気流制御装置１に流入したエアと衝突する水平噴流が生じない。その結果、気流制御装置１に流入する流れと衝突し、フィルム走行方向の流れを打ち消し、流れの向きをフィルム走行面１１から離間する方向に変える作用が生じないため、テンターオーブン１０からの吹き出しエアを外部空間１４へ吹き出すことを抑制することはできない。

　［比較例３］
　比較例３では、実施例１と同じ計算モデルを用いた。比較例３は、外部空間１４と隣接するエア排気機構５ａのエア流速を０．８ｍ／ｓ、テンターオーブン１０と隣接するエア排気機構５ｂのエア流速を０．０ｍ／ｓとした以外は実施例１と同じである。

　表１の通り、テンターオーブン１０から気流制御装置１への吹き出しエアは、比較例１より１．８ｍ／ｓ増加して、平均エア流速４．８ｍ／ｓでテンターオーブン１０の入口３６を通過する。テンターオーブン１０から吹き出したエアは、テンターオーブン１０に隣接する室４ｂのエア排気機構５ｂで、エアを排気されることなく、平均エア流速４．８ｍ／ｓで、気流制御装置１の内部３７を通過し、外部空間１４と隣接する室４ａに流入する。この室４ａに流入したエアは、気流制御装置１の入口３８を平均エア流速０．８ｍ／ｓで通過し、外部空間１４へ吹き出す。比較例３では、テンターオーブン１０からの吹き出しエアが外部空間１４へ吹き出した。

　比較例３では、エア排気機構５ａからはエアを排気するが、エア排気機構５ｂからはエアを排気しないので、気流制御装置１に流入したエアと衝突する水平噴流が生じない。その結果、気流制御装置１に流入する流れと衝突し、フィルム走行方向の流れを打ち消し、流れの向きをフィルム走行面１１から離間する方向に変える作用が生じないため、テンターオーブンからの吹き出しエアを外部空間１４へ吹き出すことを抑制することはできない。

　本発明にかかる気流制御装置および延伸フィルムの製造方法は、フィルムの温度ムラを低減し、フィルム幅方向の特性および厚みが均一である熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造を可能にするとともに、フィルムを所望の温度まで加熱する際の温度を保持するのに必要な消費エネルギーの削減を可能とするばかりでなく、テンターオーブンの内部の高温エアが外部へ吹き出し、テンターオーブン周囲の作業環境を悪化させることや、フィルムの生産性を低下させることを防止するのに有用である。

１、１０１：気流制御装置
２ａ、２ｂ：箱状体カバー
３、３ａ、３ｂ：仕切り構造体
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ：室
１０４ａ、１０４ｂ：室
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ：エア排気機構
１０５ａ、１０５ｂ：エア排気機構
２０５ａ、２０５ｂ：エア排気機構
６：ダンパ
７：ブロア
１０：テンターオーブン
１１：フィルム走行面
１２、３６、３８：入口
１３：出口
１４：外部空間
１５：外部からの吹き込みエア
１６：吹き出しエア
１７：水平噴流
２０：固定部
２１：可動部
２２：クリップレールカバー
２３：レール接続機構
２４：クリップ
２５：クリップレール
３１：エア吹き付けノズル
３２：ノズル開口部
３３：吸引部
３４：解析空間の外部境界
３５：内部境界
３７：内部
４１：連結部材

Claims

　フィルムが搬入される入口と、フィルムが搬出される出口とを有するテンターオーブンの、前記入口のフィルム走行方向上流側および／または前記出口のフィルム走行方向下流側に隣り合って、フィルム走行面の上面側および／または下面側に設置され、前記フィルム走行方向に延在し、前記フィルム走行面に対向する面が開口している箱状体カバーを備え、
　前記箱状体カバーは、
　　当該箱状体カバーの内部に、前記フィルムの幅方向に延在し、箱状体カバー内部を複数の室に区分けする仕切り構造体を少なくとも１つ有し、
　　前記複数の室の少なくとも２室に、室内の空気を排出するエア排気機構が設けられた、気流制御装置。
　前記仕切り構造体が、昇降する機構を有する、請求項１の気流制御装置。
　前記箱状体カバーと前記仕切り構造体とが、前記フィルムの幅方向に伸縮する機構を有する、請求項１または２の気流制御装置。
　フィルムが搬入される入口と、フィルムが搬出される出口とを有するテンターオーブンの、前記入口のフィルム走行方向上流側および／または前記出口のフィルム走行方向下流側に隣り合い、フィルム走行面の上面側および／または下面側に設置され、前記フィルム走行方向に並び、前記フィルム走行面に対向する面が開口し、前記フィルムの幅方向に延在する複数の室を備え、
　前記複数の室は、
　　前記フィルム走行面側から見たときに、隣り合う室と室とは隙間なく配置され、
　　前記複数の室の少なくとも２室に、室の内部から空気を排出するエア排気機構が設けられた、気流制御装置。
　各室は、隣り合う室に対向する部分が昇降する機構を有する、請求項４の気流制御装置。
　前記フィルムの幅方向に伸縮する機構を有する、請求項４または５の気流制御装置。
　前記エア排気機構のうちの少なくとも１つのエア排気機構は、他のエア排気機構とは独立して排気流量を調整できる流量調整機構を備えた、請求項１から６のいずれかの気流制御装置。
　テンターオーブンと、テンターオーブン入口のフィルム走行方向上流側および／またはテンターオーブン出口のフィルム走行方向下流側に隣り合って設置された請求項１から７のいずれかに記載の気流制御装置とのそれぞれにフィルムを通過させ、
　前記気流制御装置において、前記エア排気機構により前記室の内部の空気を排出し、
　前記テンターオーブンにおいて、走行するフィルムを加熱しながら延伸する、
延伸フィルムの製造方法。
　前記気流制御装置の前記エア排気機構の排気流量を、全てのエア排気機構の排気を止めた状態で前記気流制御装置にフィルムを通過させた際に当該気流制御装置を流れるエア流れに対して、前記エア流れの上流側のエア排気機構の排気流量を下流側のエア排気機構の排気流量よりも大きくする、請求項８の延伸フィルムの製造方法。