Oberflachenmontlerbares optoelektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines oberflachenmontierbaren optoelektronischen Bauelements
Der hier beschriebene Gegenstand betrifft ein
oberflachenmontierbares optoelektronisches Bauelement mit ei¬ ner seitlich angeordneten Strahlungsfläche. Ferner wird ein Verfahren zum Herstellen eines oberflachenmontierbaren optoelektronischen Bauelements mit einer seitlich angeordne¬ ten Strahlungsfläche beschrieben.
Optoelektronische Bauelemente, wie zum Beispiel Leuchtdioden (LED) , mit seitlich angeordneten Strahlungsflächen können als Sidelooker bezeichnet werden. Diese Bauelemente können mit ihrer Grundfläche auf einen Schaltungsträger montiert werden, wobei die von Bauelement erzeugte oder die vom Bauelement zu detektierende elektromagnetische Strahlung an einer senkrecht zur Grundfläche angeordneten Strahlungsfläche abgegeben oder aufgenommen wird.
Derartige Bauelemente können zum Beispiel zur Hintergrundbe¬ leuchtung einer Anzeige, beispielsweise einem Bildschirm ei¬ nes Mobiltelefons, vorgesehen sein. Die Sidelooker sind mit ihrer Strahlungsfläche an den Seitenflächen einer Lichtver¬ teilerplatte angeordnet. Die Lichtverteilerplatte wiederum ist hinter der Flüssigkristallanzeige angeordnet. Das von den LEDs erzeugte Licht wird an den Rändern der Lichtverteiler¬ platte in die Lichtverteilerplatte eingekoppelt. Die Licht¬ verteilerplatte weist Auskoppelstrukturen auf, mit denen das eingekoppelte Licht gleichmäßig ausgekoppelt wird und in Richtung der Flüssigkristallanzeige abgestrahlt wird. Das die Flüssigkristallanzeige durchdringende Licht kann von einem Betrachter der Anzeige wahrgenommen werden.
Mit Hinblick auf die Miniaturisierung mobiler Endgeräte be- steht die Anforderung möglichst kompakte Bauelemente bereit- zustellen, um die Dicke der Anzeige zu verringern. Insbeson-
dere die Höhe des Bauelements ist dabei ein relevantes Krite¬ rium. Bisher verwendete Bauelemente, wie zum Beispiel die Micro SIDELED von OSRAM Opto Semiconductors , weisen bei¬ spielsweise eine Höhe von ungefähr 0,65 mm auf. Es besteht somit die Aufgabe ein optoelektronisches Bauelement mit ge¬ ringer Höhe bereitzustellen. Da mit abnehmender Größe der Bauelemente die Herstellung und die Verarbeitung der Bauele¬ mente zunehmend schwieriger werden, besteht ferner die Aufga¬ be, ein Verfahren zur Herstellung der optoelektronischen Bau¬ elemente bereitzustellen.
Vorgeschlagene Lösung
Zur Lösung der Aufgabe wird ein oberflächenmontierbares optoelektronisches Bauelement mit einem ersten Strukturele¬ ment, einem zweiten Strukturelement und einem
optoelektronischen Chip vorgeschlagen, wobei eine Strahlungs¬ fläche des optoelektronischen Chips senkrecht zu einer Monta¬ gefläche des Bauelements angeordnet ist. An der Montagefläche ist an einem ersten Strukturelement des Bauelements ein ers¬ ter elektrischer Anschlusskontakt vorgesehen, der geeignet ist, das Bauelement elektrisch und mechanisch mit einem
Schaltungsträger zu verbinden. An der Montagefläche ist an einem zweiten Strukturelement des Bauelements ein zweiter elektrischer Anschlusskontakt vorgesehen, der geeignet ist, das Bauelement elektrisch und mechanisch mit dem Schaltungs¬ träger zu verbinden. In dem ersten und/oder dem zweiten
Strukturelement ist eine Aussparung vorgesehen, die das erste und/oder das zweite Strukturelement in einer Richtung senk¬ recht zur Montagefläche vollständig durchdringt. Der Chip ist in der Aussparung angeordnet und zumindest eine senkrecht zur Montagefläche angeordnete Seitenfläche des optoelektronischen Chips ist mechanisch mit dem ersten und/oder dem zweiten Strukturelement verbunden. Das erste und das zweite Struktur¬ element sind aus einem elektrisch leitenden Material geformt und voneinander elektrisch isoliert.
Ferner wird zur Lösung ein Verfahren zum Herstellen eines oberflächenmontierbaren optoelektronischen Bauelements vorge¬ schlagen. Das Verfahren umfasst ein Bereitstellen eines Strukturelementträgers, wobei eine Vielzahl erster und zwei¬ ter Strukturelemente entlang einer Bearbeitungsrichtung auf dem Strukturelementträger angeordnet ist, und wobei die Viel¬ zahl der ersten und zweiten Strukturelemente über einen
Grundkörper des Strukturelementträgers mechanisch miteinander verbunden ist. Zudem umfasst das Verfahren ein Aufbringen ei¬ nes Verbindungsmittels auf das erste Strukturelement, das zweite Strukturelement und/oder einen optoelektronischen Chip; ein Einsetzen des optoelektronischen Chips in eine in dem ersten und/oder dem zweiten Strukturelement angeordnete Aussparung, wobei die Aussparung senkrecht zur Bearbeitungs¬ richtung angeordnet ist und die Aussparung den Strukturele¬ mentträger vollständig durchdringt; ein mechanisches Verbin¬ den des optoelektronischen Chips mit dem ersten und/oder dem zweiten Strukturelement; und ein elektrisches Isolieren des ersten Strukturelements von dem zweiten Strukturelement.
Durch die einfache Struktur können Bauelemente mit geringer Höhe bereitgestellt werden. Die elektrisch leitenden ersten und zweiten Strukturelemente ermöglichen eine kompakte elekt rische Kontaktierung des optoelektronischen Chips. Zum Bei¬ spiel sind für die elektrische Kontaktierung keine Vias oder Durchkontaktierungen erforderlich. Durch das Anordnen des Chips in der Aussparung können die Strukturelemente derart gestaltet werden, dass die durch die Strukturelemente bereit gestellte elektrische und mechanische Funktionen nicht zur Höhe des Bauelements beitragen. Vereinfacht ausgedrückt sind die Strukturelemente und die Aussparung derart gestaltet, dass der Chip neben den Strukturelementen angeordnet ist. Da Bauelement ist für unterschiedliche Chiptypen geeignet. Wenn das Bauelement zum Beispiel einen lichtemittierenden Chip aufweist, kann als Chip zum Beispiel ein Saphir-Chip, ein Sa phir-Flip-Chip oder ein Dünnfilmchip vorgesehen sein. Ferner können Chips mit zwei Rückseitenkontakten, zwei Oberseiten-
kontakten oder mit einem Oberseiten und einem Rückseitenkon¬ takt vorgesehen sein.
Ferner vereinfacht der gemeinsame Strukturelementträger die Herstellung der Bauelemente, da anstelle einer Vielzahl ein¬ zelner Strukturelemente lediglich ein gemeinsamer Struktur¬ elementträger gehandhabt werden muss. Zudem ermöglicht der Strukturelementträger, dass einige der Verfahrensschritte für eine Vielzahl von Bauelementen parallel durchgeführt werden können. Zum Beispiel kann das mechanische Verbinden der Chips mit den Strukturelementen für eine Vielzahl von Bauelementen parallel durchgeführt werden. Dadurch kann die Herstellung der Bauelemente vereinfacht werden.
Weitere Ausgestaltungen
Die vorgeschlagene Struktur ermöglicht das Bereitstellen von Bauelementen mit geringer Höhe. So kann die Höhe des ersten und zweiten Strukturelements ungefähr der Höhe des
optoelektronischen Chips entsprechen. Ferner kann die Gesamt¬ höhe des oberflächenmontierbaren optoelektronischen Bauele¬ ments maximal doppelt so groß sein, wie die Höhe des
optoelektronischen Chips. Zum Beispiel können Bauelemente be¬ reitgestellt werden, bei denen der optoelektronische Chip ei¬ ne Höhe von ungefähr 200 pm aufweist und das Bauelement eine Gesamthöhe von 300 pm aufweist. Es können somit Bauelemente bereitgestellt werden, deren Gesamthöhe maximal dem 1,5 fa¬ chen der Höhe des Chips entspricht. Bei einigen Ausführungs¬ beispielen können Bauelemente bereitgestellt werden, bei de¬ nen die Gesamthöhe des Bauelements ungefähr der Höhe der Strahlungsfläche des optoelektronischen Chips entspricht.
Als Material für die Strukturelemente kann zum Beispiel Kup¬ fer, Aluminium oder eine diese Metalle umfassende Legierung vorgesehen sein. Das erste und/oder das zweite Strukturele¬ ment können durch Bearbeiten eines Bleches geformt sein. Das erste und das zweite Strukturelement können zum Beispiel Stanzgitter sein, die durch Stanzen, Ätzen oder Laserschnei-
den geformt wurden. Das erste und zweite Strukturelement kön nen an einer Seitenfläche zumindest einen Vorsprung aufwei¬ sen. Die Vorsprünge können Reste eines Trennsteges sein. Die Trennstege können vorgesehen sein, die Strukturelemente mit einem Grundkörper eines Strukturelementträgers zu verbinden. Der Strukturelementträger kann streifenförmig oder bandförmi sein. Die Aussparung kann an einer senkrecht zu einer Haupt- erstreckungsebene angeordneten Seitenfläche des Strukturele¬ mentträgers angeordnet sein. Die Materialdicke des Struktur¬ elementträgers kann der Höhe der optoelektronischen Chips entsprechen .
Das Bauelement kann einen Spalt aufweisen, der das erste Strukturelement und das zweite Strukturelement voneinander trennt. Der Spalt kann mit einem elektrisch isolierenden Ma¬ terial gefüllt sein. Zum Beispiel kann der Spalt mit einem Klebstoff oder einer Vergussmasse gefüllt sein.
An der Montagefläche der Strukturelemente und/oder an einer der Montagefläche gegenüberliegenden Oberseite der Struktur¬ elemente kann eine Reflektorschicht angeordnet sein. Durch die Reflektorschicht kann die Effizienz des Bauelements er¬ höht werden. Die Reflektorschicht kann Teil einer auf die Strukturelemente aufgebrachten Folie sein. Ferner kann die Reflektorschicht eine reflektierende Vergussmasse sein.
In dem Strahlengang des Chips kann parallel zur Strahlungs¬ fläche eine Folie angeordnet sein, wobei auf der Folie ein Leuchtstoff aufgebracht ist. In weiteren Ausführungsbeispie¬ len kann ein Leuchtstoff direkt auf die Strahlungsfläche des optoelektronischen Chips aufgebracht sein. Zum Beispiel kann ein in Vergussmasse eingebetteter Leuchtstoff in eine durch Folien und die Strukturelemente gebildete Kavität gefüllt werden. Für das Einfüllen des Leuchtstoffs in die durch die Folien und die Strukturelemente gebildete Kavität kann zum Beispiel Dispensen vorgesehen sein. Ferner kann der
Leuchtstoff auf die Strahlungsfläche des Chips aufgesprüht sein .
Das erste und zweite Strukturelement können zusammen den optoelektronischen Chip an drei senkrecht zur Montagefläche angeordneten Seitenflächen umgeben. Entsprechend können das erste und das zweite Strukturelement zusammen im Wesentlichen U-förmig sein.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel können zumindest zwei Bauelemente zu einem Mehrfachbauelement zusammengefasst wer¬ den. Die einzelnen Bauelemente eines Mehrfachbauelements kön¬ nen über eine elektrisch leitende Folie mechanisch und elekt¬ risch leitend miteinander verbunden sein. Die elektrisch lei¬ tende Folie kann ein Beispiel für einen Schaltungsträger sein. Die einzelnen Bauelemente des Mehrfachbauelements kön¬ nen in einer elektrischen Reihenschaltung angeordnet sein. Die elektrisch leitende Folie kann an der Montagefläche und/oder der Oberseite der Strukturelemente angeordnet sein. Die elektrisch leitende Folie kann eine Reflektorschicht auf¬ weisen. Ferner können auf der Montagefläche und auf der Ober¬ seite angeordnete Folien über die Strahlungsfläche überstehen und zusammen mit den Strukturelementen eine Kavität bilden. Dabei kann zumindest eine der Folien eine elektrisch leitende Folie sein. In die Kavität kann ein Leuchtstoff eingebracht werden. Aufgrund der größeren Abmessungen kann ein Mehrfach¬ bauelement im Vergleich zu einem einzelnen Bauelement zum Beispiel einfacher weiterverarbeitet werden.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel können das Bauelement oder das Mehrfachbauelement Teil einer Hintergrundbeleuch¬ tungseinrichtung sein. Die Hintergrundbeleuchtungseinrichtung kann dazu eingerichtet sein, den Hintergrund einer Flüssig¬ kristallanzeige eines Bildschirms zu beleuchten. Die Hinter¬ grundbeleuchtungseinrichtung kann eine Lichtverteilerplatte aufweisen, wobei das Bauelement oder das Mehrfachbauelement an zumindest einer senkrecht zu einer Lichtauskoppelfläche der Lichtverteilerplatte angeordneten Seitenfläche der Licht¬ verteilerplatte angeordnet sein können.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel können die Bauelemente über eine auf der Montagefläche und/oder der Oberseite ange¬ ordnete Folie lediglich mechanisch miteinander verbunden sein. Lediglich mechanisch miteinander verbunden kann dabei bedeuten, dass zwischen den Bauelementen keine elektrisch leitende Verbindung besteht. Die mechanisch miteinander ver¬ bunden Bauelemente können dann unmittelbar vor dem Aufbringen auf einen Schaltungsträger voneinander getrennt werden. Die Folie kann eine Reflektorschicht aufweisen. Die durch die Fo¬ lie miteinander verbunden Bauelemente können einfach gehand¬ habt, transportiert und verarbeitet werden.
Über einen Grundkörper eines Strukturelementträgers miteinan¬ der verbundenden Bauelemente könne im Verbund mit dem Struk¬ turelementträger auf eine Rolle aufgewickelt werden. Ferner können über zumindest eine Folie mechanisch miteinander ver¬ bundenden Bauelemente auf eine Rolle aufgewickelt werden. Das Aufwickeln auf eine Rolle kann als Transportverpackung vorge¬ sehen sein.
Ferner kann eine Folie mit einer Vielzahl von Bauelementen in einzelne Bauelemente oder in Gruppen mit mindestens zwei Bau¬ elementen aufgeteilt werden. Für das Aufteilen der Folie so¬ wie der über die Folie mechanisch miteinander verbundenen Bauelemente kann zum Beispiel Lasertrennen oder Schneiden vorgesehen sein.
Der Strukturelementträger kann vor dem Einbringen der
optoelektronischen Chips von einer horizontalen Ausrichtung in eine vertikale Ausrichtung gedreht werden. Der Struktur¬ elementträger kann nach dem Einbringen der optoelektronischen Chips aus einer vertikalen Ausrichtung in eine horizontalle Ausrichtung gedreht werden. Zum Beispiel kann ein Struktur¬ elementträger in einer horizontalen Ausrichtung von einer Rolle gewickelt werden. Die optoelektronischen Chips können in den vertikal ausgerichteten Strukturelementträger in die Aussparungen eingebracht werden. Der Strukturelementträger
kann in einer horizontalen Ausrichtung auf eine Rolle aufge¬ wickelt werden.
Nach dem Verbinden des optoelektronischen Chips mit den
Strukturelementen kann eine Folie auf eine Oberseite und/oder eine Unterseite des ersten und/oder zweiten Strukturelements aufgebracht werden. Durch die Folie kann die mechanische Sta¬ bilität der Bauelemente erhöht werden. Das Aufbringen eines Verbindungsmittels, ein Einbringen einer elektrischen Isolierung zwischen das erste und das zweite Strukturelement, ein Einbringen von Wärmeenergie und/oder ein Aufbringen eines Leuchtstoffs auf eine Strahlungsfläche eines optoelektronischen Chips kann parallel für eine Vielzahl von Bauelementen erfolgen. Durch die parallele Bearbeitung kann die Bearbeitung beschleunigt werden und die Kosten reduziert werden .
Der Strukturelementträger kann in der vertikalen Ausrichtung mit einer Vergussmasse umformt werden. Die Vergussmasse kann zum Beispiel ein Silikonharz sein. Die Vergussmasse kann re¬ flektierende Partikel enthalten. Die reflektierenden Partikel können für den Wellenlängenbereich des Bauelements eine hohe Reflektivität aufweisen. Zum Beispiel kann Titandioxid als Material für die reflektierenden Partikel vorgesehen sein.
Durch das Umformen mit Vergussmasse kann zumindest der Spalt 22 gefüllt werden. Durch die Vergussmasse kann die mechani¬ sche Stabilität der Bauelemente erhöht werden. Zudem kann durch das Umformen mit Vergussmasse eine reflektierende
Schicht erzeugt werden. Ein Teil der Vergussmasse kann nach dem Umformen entfernt werden. Für das Entfernen der
Vergussmasse kann zum Beispiel Sägen, Schleifen oder Ätzen vorgesehen sein. Das Entfernen der Vergussmasse kann parallel zur Bearbeitungsrichtung erfolgen. Durch das Entfernen der Vergussmasse kann die Höhe des Bauelements eingestellt wer¬ den. Fernern können durch das Entfernen der Vergussmasse die Anschlusskontakte des Bauelements freigelegt werden. Das Bau¬ element kann mehrmals mit Vergussmasse umformt werden. Zum
Beispiel kann das Bauelement vor und nach dem Einbringen der optoelektronischen Chips mit Vergussmasse umformt werden. Durch das Umformen vor dem Einbringen der Chips kann zum Bei¬ spiel zumindest der Spalt zwischen dem ersten und dem zweiten Strukturelement mit Vergussmasse gefüllt werden. Durch das Umformen nach dem Einbringen der Chips kann zum Beispiel zu¬ mindest der Spalt zwischen dem ersten und dem zweiten Struk¬ turelement, die Schlitze zwischen den Strukturelementen und dem Grundkörper und/oder der Zwischenraum zwischen den Sei¬ tenflächen der Chips und der Aussparung mit Vergussmasse ge¬ füllt werden.
Das Aufbringen eines Verbindungsmittels, ein Einbringen einer elektrischen Isolierung zwischen das erste und das zweiten Strukturelement, ein Einbringen von Wärmeenergie und/oder ein Aufbringen eines Leuchtstoffs auf eine Strahlungsfläche eines optoelektronischen Chips können seriell für eine Vielzahl von Bauelementen erfolgen. Durch die serielle Bearbeitung kann das Herstellverfahren als Rolle zu Rolle Prozess umgesetzt werden .
Kurze Beschreibung der Figuren
Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele anhand der Figuren näher erläutert. Die gleichen Bezugszeichen werden für gleichartige oder gleich wirkende Elemente bzw. Eigenschaften in allen Figuren verwendet. Die Figuren sind nicht maßstabs¬ getreu .
eine schematische Draufsicht auf ein erstes oberflächenmontierbares optoelektronisches Bauele¬ ment ;
eine schematische Seitenansicht des in Fig. la dar gestellten Bauelements;
eine schematische Schnittdarstellung eines zweiten oberflächenmontierbaren optoelektronischen Bauele¬ ments;
eine schematische Schnittdarstellung eines dritten oberflachenmontierbaren optoelektronischen Bauele¬ ments;
eine schematische Schnittdarstellung eines vierten oberflachenmontierbaren optoelektronischen Bauele¬ ments;
eine schematische Draufsicht auf ein fünftes oberflächenmontierbares optoelektronisches Bauele¬ ment ;
eine schematische Schnittdarstellung des in Fig. 2a dargestellten Bauelements;
3c schematische Darstellungen zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten;
4b schematische Darstellungen einer vertikalen Ausrichtung und einer horizontalen Aus¬ richtung eines Strukturelementträgers für eine pa¬ rallele Bearbeitung;
schematische Darstellung einer vertikalen Ausrich¬ tung eines Strukturelementträgers für eine paralle¬ le Bearbeitung;
eine schematische Darstellung eines Mehrfachbauele¬ ments .
Detaillierte Beschreibung von Ausführungsbeispielen
Der Begriff „optoelektronisches Bauelement" kann zum Beispiel Bauelemente umfassen, die dazu eingerichtet sind, elektromag¬ netische Strahlung zu emittieren und/oder elektromagnetische Strahlung zu detektieren. Nachfolgend wird die vorgeschlagene Lösung am Beispiel einer Licht emittierenden Diode (LED) er¬ läutert, wobei die für eine LED erläuterten Merkmale auch bei anderen optoelektronischen Bauelementen vorgesehen sein kön¬ nen .
In Fig. la ist ein oberflächenmontierbares optoelektronisches Bauelement 10 schematisch dargestellt. Die Fig. la ist eine Draufsicht auf eine Montagefläche des oberflächenmontierbaren optoelektronischen Bauelements 10. Die Fig. lb ist eine sehe-
matische Draufsicht auf die Strahlungsfläche 20 des Bauele¬ ments 10. Als oberflächenmontierbares Bauelement 10 werden Bauelemente bezeichnet, die für eine Oberflächenmontage auf einem Schaltungsträger, wie zum Beispiel einer Leiterplatte, geeignet sind. Diese Bauelementform kann auch als SMD (engl. Surface Mounted Device) bezeichnet werden. Bei der Oberflä¬ chenmontage werden die Bauelemente mit einer Montagefläche auf den Schaltungsträger gelegt. Die Bauelemente werden dann durch Kleben oder Löten, zum Beispiel Wiederaufschmelzlöten (engl, reflow-soldering) oder mit einem elektrisch leitenden Klebstoff, mechanisch und elektrisch leitend mit dem Schal¬ tungsträger verbunden.
Das in den Figuren la und lb dargestellte Bauelement 10 um- fasst ein erstes Strukturelement 12, ein zweites Strukturele¬ ment 14 und einen optoelektronischen Chip 16. Der dargestell¬ te optoelektronische Chip 16 weist ungefähr die Form eines Quaders auf. Der Chip 16 ist in einer Aussparung des ersten Strukturelements 12 und/oder des zweiten Strukturelements 14 angeordnet. Die dargestellten Strukturelemente 12, 14 umgeben zusammen drei Seitenflächen des Chips 16. Die Aussparung durchdringt die Strukturelemente 12, 14 in vertikaler Rich¬ tung - also bei der Darstellung der Fig. la senkrecht zur Zeichenebene - vollständig. Die Aussparung wird an einer Sei- te nicht durch die Strukturelemente 12, 14 begrenzt. Diese Seite kann nachstehend auch als offene Seite der Aussparung bezeichnet werden. Somit umgeben das erste Strukturelement 12 und das zweite Strukturelement 14 den Chip 16 im Wesentlichen U-förmig. Die Form der Aussparung ist an die Form des aufzu- nehmenden optoelektronischen Chips 16 angepasst. Für das dar¬ gestellte Ausführungsbeispiel kann zum Beispiel ein Dünnfilm¬ chip mit zwei Oberseitenkontakten vorgesehen sein.
Ausgehend von der Aussparung ist ein Spalt 22 vorgesehen, der das erste Strukturelement 12 von dem zweiten Strukturelement 14 trennt. Der Spalt ist dazu vorgesehen, das erste Struktur¬ element 12 von dem zweiten Strukturelement 14 elektrisch zu
isolieren. Der Spalt kann zum Beispiel mit Klebstoff oder ei¬ ner Vergussmasse gefüllt sein.
Der Chip 16 weist an einer Seitenfläche, also einer senkrecht zur Montagefläche 18 angeordneten Fläche eine Strahlungsflä¬ che 20 auf. Die Strahlungsfläche 20 ist beim erläuterten Bei¬ spiel der LED dazu vorgesehen, die von dem Chip erzeugte elektromagnetische Strahlung aus dem Chip 16 auszukoppeln. Die zur Strahlungserzeugung vorgesehene Schichtenfolge des Chips 16 ist parallel zur Strahlungsfläche 20 angeordnet. Die Strahlungsfläche 20 ist an der offenen Seite der Aussparung angeordnet. Da die Strahlungsfläche 20 in dem Bauelement 10 senkrecht zur Montagefläche 18 angeordnet ist, wird das von dem Bauelement 10 emittierte Licht seitlich ausgekoppelt. Diese Bauform kann als Sidelooker bezeichnet werden.
Sidelooker können zum Beispiel vorgesehen sein, um Licht seitlich in eine Lichtverteilerplatte einzukoppeln .
Bei dem dargestellten Bauelement 10 ist der Chip 16 an drei Seiten von den Strukturelementen 12, 14 U-förmig umgeben. Ei¬ ne erste an die Strahlungsfläche 20 angrenzende Seitenfläche des Chips 16 ist einer ersten Seitenfläche der Aussparung zu¬ gewandt. Die erste Seitenfläche der Aussparung wird durch das erste Strukturelement 12 gebildet. Eine zweite an die Strah- lungsfläche 20 angrenzende Seitenfläche des Chips 16 ist ei¬ ner zweiten Seitenfläche der Aussparung zugewandt. Die zweite Seitenfläche der Aussparung wird durch das zweite Struktur¬ element 14 gebildet. Eine der Strahlungsfläche 20 gegenüber¬ liegende Rückseite des Chips 16 ist einer dritten Seitenflä- che der Aussparung zugewandt. Die dritte Seitenfläche der
Aussparung kann so wie bei der Darstellung der Fig. la voll¬ ständig durch das erste Strukturelement 12 oder durch das zweite Strukturelement 14 gebildet werden. Ferner kann die dritte Seitenfläche so wie bei der Darstellung der Fig. 2a dargestellt teilweise durch das erste Strukturelement 12 und teilweise durch das zweite Strukturelement 14 gebildet wer¬ den .
Der Chip 16 ist mechanisch mit beiden Strukturelementen 12, 14 verbunden. Das erste und zweite Strukturelement 12, 14 sind über den Chip 16 mechanisch miteinander verbunden. Für die mechanische Verbindung ist zwischen den Seitenflächen des Chips 16 und den in der Aussparung angeordneten Seitenflächen der Strukturelemente 12, 14 ein Verbindungsmittel 21 vorgese¬ hen. Als Verbindungsmittel 21 kann zum Beispiel Klebstoff, elektrisch leitender Klebstoff oder Lot vorgesehen sein. Das Verbindungsmittel kann zumindest einen durch das erste Struk- turelement 12 gebildete Seitenfläche und zumindest eine durch das zweite Strukturelement 14 gebildete Seitenfläche mit dem optoelektronischen Chip 16 verbinden. Bei einigen Ausfüh¬ rungsbeispielen können für ein Bauelement unterschiedliche Verbindungsmittel 21 vorgesehen sein. Dies kann insbesondere dann vorgesehen sein, wenn durch die Verwendung von zwei elektrisch leitenden Verbindungsmitteln 21 der erste und zweite Strukturelementträger 12, 14 elektrisch kurzgeschlos¬ sen wären.
Die Strukturelemente 12, 14 sind aus einem elektrisch leiten¬ den Material geformt. Die Strukturelemente 12, 14 können aus Metallen, wie zum Beispiel Kupfer oder Aluminium oder einer diese Materialien aufweisenden Legierung, geformt sein. Das Material der Strukturelemente kann zum Beispiel so gewählt sein, dass es für die von dem Chip 16 emittierte Strahlung eine hohe Reflektivität aufweist. Die Strukturelemente 12, 14 können zum Beispiel durch die Bearbeitung eines Bleches ge¬ formt werden. Die Strukturelemente 12, 14 können zum Beispiel Stanzgitter (engl. Leadframe) sein. Der Begriff Stanzgitter soll dabei auch vergleichbare Strukturen bezeichnen, die nicht mittels Stanzen erzeugt wurden, sondern zum Beispiel durch Ätzen oder Laserschneiden.
Die Strukturelemente 12, 14 können teilweise oder vollständig mit einer Beschichtung versehen sein. Die Beschichtung kann zum Beispiel vorgesehen sein, um die Lötbarkeit der Struktur¬ elemente 12, 14 zu verbessern. Ferner kann eine Beschichtung vorgesehen sein, die als Oberflächenpassivierung dient. Fer-
ner kann die Beschichtung vorgesehen sein, um die Reflektivität der Strukturelemente 12, 14 zu erhöhen oder um die elektrische Kontaktierung des Chips 16 zu verbessern. Es kann auch eine Beschichtung mit mehreren übereinander ange- ordneten Schichten vorgesehen sein. Durch mehrere übereinan¬ der angeordnete Schichten kann zum Beispiel die Qualität der elektrischen und mechanischen Verbindungen zwischen den
Strukturelementen 12, 14 und einem Schaltungsträger und/oder zwischen den Strukturelementen 12, 14 und dem Chip 16 verbes- sert werden. Zum Beispiel können eine Titanschicht, eine Pla¬ tinschicht, eine Nickelschicht eine Kupferschicht und/oder eine Goldschicht vorgesehen sein. Die Schichtdicken können zum Beispiel 100 nm für die Titanschicht, 100 nm für die Pla¬ tinschicht und 100 nm für die Goldschicht betragen. Die
Schichtdicken für die Kupfer und Nickelschicht können 1-2 pm betragen. Die Dicke der Schichten kann in Summe weniger als 10 pm betragen.
An den nicht in der Aussparung angeordneten Seitenflächen der Strukturelemente 12, 14 sind Vorsprünge 23 angeordnet. Die
Vorsprüngen 23 weisen Spuren einer Vereinzelung auf. Zum Bei¬ spiel können die Strukturelemente 12, 14 Spuren von Stanzen oder Laserschneiden aufweisen. Ferner können auch in dem Spalt 22 Vorsprünge 23 angeordnet sein.
Die an der Montagefläche 18 angeordneten Bereiche der Struk¬ turelemente 12, 14 bilden jeweils Anschlusskontakte. Für die Anschlusskontakte können ferner Beschichtungen oder flächige elektrisch leitende Strukturen an der Montagefläche 18 der Strukturelemente 12, 14 vorgesehen sein. Die Anschlusskontak¬ te können dazu eingerichtet sein, das Bauelement durch eine Oberflächenmontage mechanisch und elektrisch leitend mit ei¬ nem Schaltungsträger zu verbinden. Für die mechanische und elektrische leitende Verbindung kann zum Beispiel eine Lot- Verbindung oder ein elektrisch leitender Klebstoff vorgesehen sein .
Senkrecht zur Montagefläche 18 sind Kontakt flächen angeord¬ net. Die senkrecht zur Montagefläche 18 angeordneten Kontakt¬ flächen sind in Fig. lb dargestellt. Die Kontakt flächen sind zur elektrischen Kontakt ierung des Chips 16 vorgesehen. Bei dem in den Figuren la und lb dargestellten Ausführungsbei¬ spiel sind zur elektrischen Kontakt ierung des Chips 16 zumin¬ dest zwei Bonddrähte 28 vorgesehen. Dabei verbindet ein ers¬ ter Bonddraht 28 ein auf der Strahlungsfläche 20 des Chips 16 angeordnetes erstes Bondpad 30 mit einer auf dem ersten
Strukturelement 12 angeordneten ersten Bondfläche 32. Ein zweiter Bonddraht 28 verbindet ein zweites auf der Strah¬ lungsfläche 20 des Chips 16 angeordnetes Bondpad 34 mit einer auf dem zweiten Strukturelement 14 angeordneten zweiten Bond¬ fläche 36. Die erste und zweite Bondfläche 32, 36 und die Strahlungsfläche 20 sind im Vergleich zu der im Wesentlichen parallel zur Strahlungsfläche 20 des Chips 16 angeordneten Stirnfläche 38 des Bauelements 10 zurückgesetzt angeordnet. Durch die zurückgesetzte Anordnung der Bondflächen 32, 36 ra¬ gen die Bonddrähte 28 nicht über die Stirnfläche 38 hinaus.
Auf der Strahlungsfläche 20 kann ein Leuchtstoff 40 aufge¬ bracht sein. In den Darstellungen der Figuren la und lb ist der Leuchtstoff 40 schraffiert dargestellt. Der Leuchtstoff 40 ist dazu vorgesehen, die von dem Chip 16 in einem ersten Wellenlängenbereich emittierte Strahlung zumindest teilweise in Strahlung mit einem zweiten Wellenlängenbereich umzuwan¬ deln, so dass ein Betrachter die emittierte Strahlung zum Beispiel als „weißes" Licht wahrnimmt. Die Bonddrähte 28 kön¬ nen zumindest teilweise in den Leuchtstoff 40 eingebettet sein. Der Leuchtstoff 40 kann zum Beispiel eine Dicke von 20 pm aufweisen.
Die Fig. lc ist eine schematische Schnittdarstellung durch ein zweites Bauelement 42. Das zweite Bauelement 42 ist eine Variante des in Verbindung mit den Figuren la und lb darge¬ stellten ersten Bauelements 10. Das zweite Bauelement 42 un¬ terscheidet sich von dem ersten Bauelement durch eine auf ei-
ner Oberseite 44 des Bauelements 42 angeordnete erste Folie 46.
Die Oberseite 44 des Bauelements liegt der Montagefläche ge- genüber. Die erste Folie 46 weist mehrere Schichten auf. Bei dem in Fig. lb dargestellten Ausführungsbeispiel umfasst die erste Folie 46 eine Klebeschicht 48, eine Isolationsschicht 49 und eine Reflektorschicht 50. Die Isolationsschicht 49 ist zwischen der Klebeschicht 48 und der Reflektorschicht 50 an- geordnet. Die Isolationsschicht 49 ist elektrisch nicht lei¬ tend. Neben der elektrischen Isolation kann die Isolations¬ schicht 49 auch zur mechanischen Stabilisierung der ersten Folie 46 sowie des gesamten Bauelements vorgesehen sein. Als Material für die Isolationsschicht 49 können zum Beispiel Polyimide oder Polymethylmethacrylate vorgesehen sein. Die
Reflektorschicht 50 ist aus einem Material gebildet, das für die von dem Chip 16 emittierte elektromagnetische Strahlung einen hohen Reflexionsgrad aufweist. Als Material für die Reflektorschicht 50 kann zum Beispiel Silber oder Aluminium vorgesehen sein. Die Reflektorschicht 50 kann zum Beispiel auf die Isolationsschicht 49 mittels einer Beschichtung auf¬ gebracht werden. Ferner können über der Reflektorschicht 50 noch weitere Schichten wie zum Beispiel eine zweite Isolati¬ onsschicht angeordnet sein. Die erste Folie 46 kann zum Bei- spiel eine Dicke von weniger als 50 pm aufweisen.
Die erste Folie 46 ist mit der Klebeschicht 48 auf der Ober¬ seite 44 des Strukturelements 12 befestigt. Neben den reflek¬ tierenden Eigenschaften kann die erste Folie 46 das Bauele- ment mechanisch stabilisieren. Die erste Folie 46 kann bis zur Stirnfläche 38 des Bauelements reichen. Die erste Folie 46 kann im Bereich der Aussparung über die zurückgesetzten Bondflächen 32, 36 und den Chip 16 überstehen. Der überste¬ hende Abschnitt der ersten Folie 46 kann neben einer mechani- sehen Stabilisierung und der Reflexion von Strahlung ferner als Begrenzung für das Einbringen des Leuchtstoffs 40 vorge¬ sehen sein.
Die Fig . ld ist eine schematische Schnittdarstellung durch ein drittes Bauelement 52. Das dritte Bauelement 52 ist eine Variante des in Verbindung mit den Figuren la und lb darge¬ stellten ersten Bauelements 10. Das dritte Bauelement 52 un- terscheidet sich von dem ersten Bauelement 10 dadurch, dass auf der Oberseite 44 eine erste Folie 46 und auf der Montage¬ fläche 18 eine zweite Folie 66 angeordnet ist. Die zweite Fo¬ lie 66 kann im Wesentlichen der ersten Folie 46 entsprechen. Die zweite Folie 66 weist eine bereits in Verbindung mit Fig. lc genannte zweite Isolationsschicht 51 auf. Die zweite Iso¬ lationsschicht 51 entspricht der ersten Isolationsschicht 49. Die zweite Isolationsschicht 49 ist auf der Reflektorschicht 50 angeordnet. Die erste und zweite Folie 46, 66 stehen im Bereich der Aus¬ sparung über die zurückgesetzten Bondflächen 32, 36 und den Chip 16 über. Auf der zweiten Folie 66 sind Öffnungen für die auf der Montagefläche 18 angeordneten ersten und zweiten An¬ schlusskontakte 24, 26 vorgesehen. Die überstehende erste und zweite Folien 46, 66 bilden zusammen mit dem Strukturelement 12 eine Kavität, wobei die Strahlungsfläche 20 und die Bond¬ flächen 32, 36 den Boden der Kavität bilden. In diese Kavität kann zum Beispiel eine Leuchtstoffpartikel aufweisende
Vergussmasse 40 gefüllt werden.
Die Fig . le ist eine schematische Schnittdarstellung durch ein viertes Bauelement 54. Das vierte Bauelement 54 ist eine Variante des in Verbindung mit den Figuren la und lb darge¬ stellten ersten Bauelements 10. Das vierte Bauelement 54 un- terscheidet sich von dem ersten Bauelement 10 dadurch, dass an der Oberseite 44 und/oder der Montagefläche 18 eine re¬ flektierende Vergussmasse 56 angeordnet ist. Die reflektie¬ rende Vergussmasse 56 kann zum Beispiel ein mit Titandioxid¬ partikeln gefülltes Silikonharz sein. Die reflektierende Vergussmasse 56 kann eine Reflektorschicht bilden. Die re¬ flektierende Vergussmasse kann zum Beispiel eine Dicke von 10 pm bis 50 pm aufweisen. An der Montagefläche 18 des vier¬ ten Bauelements 54 sind die Anschlusskontakte 24, 26 angeord-
net . Bei einer Höhe des Chips von 200 pm kann somit ein Bau¬ element mit einer Höhe von weniger als 300 pm bereitgestellt werden . In den Figuren 2a und 2b ist ein fünftes
oberflachenmontierbares optoelektronisches Bauelement 60 dar¬ gestellt. Die Fig. 2a ist eine Draufsicht auf die Montageflä¬ che 18 des oberflachenmontierbaren optoelektronischen Bauele¬ ments 60. Die Fig. 2b ist eine schematische Schnittdarstel- lung entlang der in Fig. 2a dargestellten Linie AA. Das fünf¬ te Bauelement 60 unterscheidet sich von dem ersten Bauelement 10 insbesondere dadurch, dass anstelle eines Dünnfilmchips mit zwei Oberseitenkontakten ein Saphir-Flip-Chip 61 vorgese¬ hen ist, dessen Kontakte an der Rückseite vorgesehen sind. Entsprechend sind zur elektrischen Kontaktierung des Chips 61 keine Bonddrähte erforderlich. Die an der Rückseite des Chips 61 angeordnete Kontakte sind über zwei Verbindungsmittel 21 jeweils mit dem an der dritten Seitenfläche der Aussparung angeordneten Kontaktflächen des ersten und zweiten Struktur- elements 12, 14 elektrisch leitend verbunden. Zum Beispiel kann als Verbindungsmittel eine Lotlegierung vorgesehen sein, deren Löttemperatur bei über 250 °C liegt.
Ferner ist bei dem in den Figuren 2a und 2b dargestellten Ausführungsbeispiel auf der Oberseite 44 der Strukturelemente 12, 14 die erste Folie 46 und auf der Montagefläche 18 die zweite Folie 66 angeordnet. Die Folien sind bei der Darstel¬ lung der Fig. 2a gestrichelt und transparent dargestellt, da ansonsten der Chip 16 durch die Folien verdeckt wird. Die Fo- lien können den bereits in Verbindung mit Fig. ld erläuterten Folien entsprechen. Bei der Darstellung der Figuren 2a und 2b sind die erste und zweite Folie 46, 66 über einen Foliensteg 74 miteinander verbunden. Der Foliensteg 74 ist auf Höhe der Stirnfläche 38 im Wesentlichen parallel zur Strahlungsfläche 20 angeordnet. Auf den Foliensteg 74 kann ein Leuchtstoff 80 aufgebracht sein. Dies ist in der Darstellung der Fig. 2b durch die schraffierte Fläche gekennzeichnet. Der Foliensteg 74 kann zum Beispiel aus einer Isolationsschicht 49 oder ei-
ner Trägerschicht der Folie gebildet sein. Ferner ist der Fo¬ liensteg 74 für die von dem Chip 16 und/oder dem Leuchtstoff 80 emittierte Strahlung transparent. Die in Verbindung mit den Figuren 1 und 2 erläuterten Merkma¬ le sind voneinander unabhängig. Zum Beispiel kann auch beim ersten Bauelement 10, die in Verbindung mit den Figuren 2a und 2b erläuterte zweite Folie 66 vorgesehen sein. Zudem sind auch Mischformen möglich, so kann zum Beispiel auch ein Dünn- filmchip mit einem Oberseitenkontakt und einem Rückseitenkon¬ takt vorgesehen sein. Entsprechend kann an der Strahlungsflä¬ che 20 des Chips 16 ein in Verbindung mit den Figuren la und lb beschriebener Bonddraht 28 zur elektrischen Kontaktierung des Oberseitenkontakts und an der Rückseite des Chips 16 eine in Verbindung mit den Figuren 2a und 2b beschriebene Lotver¬ bindung zur elektrischen Kontaktierung des Rückseitenkontakts angeordnet sein. Ferner kann das fünfte Bauelement 60 auch Merkmale des zweiten, dritten und/oder vierten Bauelements 42, 52, 54 aufweisen.
Bei den Bauelementen 10, 42, 52, 54 60 entspricht die Höhe „hc" der Chips 16, 61 ungefähr der Höhe der Strukturelemente 12, 14. Da durch die Folien 46, 66 die Gesamthöhe „hg" des Bauelements lediglich geringfügig erhöht wird, kann ein Bau- element bereitgestellt werden, dessen Gesamthöhe „hc" maximal doppelt so groß ist wie die Höhe „hc" des Chips 16, 61. Es kann ein Bauelement bereitgestellt werden, dessen Gesamthöhe „hg" kleiner ist als 0,5 mm. Zum Beispiel können Bauelemente 10 mit einer Höhe im Bereich zwischen 0,3 mm und 0,15 mm be- reitgestellt werden. Bei einem Ausführungsbeispiel kann die Gesamthöhe „hg" des Bauelements 200 pm betragen. Die Gesamt¬ länge „lg" der Bauelemente 10, 60 kann zum Beispiel zwischen 0,8 mm und 2,5 mm betragen. Die Gesamtbreite „bg" der Bauele¬ mente 10, 60 kann zum Beispiel zwischen 0,3 mm und 1 mm be- tragen.
Anhand der Darstellung der Figuren 3a bis 3c wird ein Verfah¬ ren zum Herstellen optoelektronischer Bauelemente erläutert.
Die Figuren sind dabei jeweils schematische Darstellungen zwischen ausgewählten Bearbeitungsschritten.
In Fig. 3a ist ein Strukturelementträger 102 in einer hori- zontallen Ausrichtung dargestellt. Der Strukturelementträger 102 weist einen Grundkörper 104 und in den Grundkörper 104 eingebrachte erste und zweite Strukturelemente 12, 14 auf. Der Grundkörper 104 kann im Wesentlichen ein langgestreckter Blechstreifen oder ein Blechband sein. Der Strukturelement- träger 102 kann zum Beispiel eine Länge von mindestens 20 cm, eine Breite von einigen Zentimetern und eine Dicke von weni¬ ger als 0,5 mm aufweisen. Die Dicke des Strukturelementträ¬ gers kann an die Höhe der opotelektronischen Chips angepasst sein .
Der Strukturelementträger 102 kann zum Beispiel auf eine Rol¬ le aufgewickelt bereitgestellt werden. Auf dem Strukturele¬ mentträger 102 sind eine Vielzahl erster und zweiter Struk¬ turelemente 12, 14 angeordnet. Die ersten und zweiten Struk- turelemente 12, 14 sind auf dem Strukturelementträger 102 entlang einer Bearbeitungsrichtung „BR" angeordnet. Die Form der ersten und zweiten Strukturelemente 12, 14 kann zum Bei¬ spiel durch Stanzen, Laserschneiden und/oder Ätzen in den Grundkörper 104 eingebracht worden sein. Die ersten und zwei- ten Strukturelemente 12, 14 sind voneinander durch die Spalte 22 getrennt. Das erste und zweite Strukturelement 12, 14 sind von dem Grundkörper 104 durch die Schlitze 106 von dem Grund¬ körper 104 getrennt. Der Abstand eines ersten Strukturele¬ ments 12 zum jeweiligen zweiten Strukturelement 14 entspricht dem Abstand der ersten und zweiten Strukturelemente 12, 14 im fertigen Bauelement. Die Strukturelemente 12, 14 sind also bereits in Produktordnung angeordnet. Am ersten und zweiten Strukturelement 12, 14 ist jeweils zumindest ein Trennsteg 108 vorgesehen. Die Trennstege 108 sind vorgesehen, um die Strukturelemente 12, 14 und den Grundkörper 104 bis zum end¬ gültigen Trennen der Strukturelemente 12, 14 von dem Grund¬ körper 104 mechanisch miteinander zu verbinden.
Auf der von den Strukturelementen 12, 14 abgewandten Seite weist der Grundkörper 104 eine Vielzahl von Förderlöchern 110 auf. Die Förderlöcher 110 sind in einen gleichbleibenden Ab¬ stand zueinander angeordnet und vorgesehen, um ein Fördern des Strukturelementträgers 102 in Bearbeitungsrichtung „BR" zu erleichtern.
Ferner können auf den Strukturelementträger 102 Ausnehmungen 111 angeordnet sein. Die Ausnehmungen 111 sind so geformt, um die bei der Bearbeitung oder beim Betrieb der Bauelemente auftretenden mechanischen Spannungen und Verformungen zu re¬ duzieren. Die Ausnehmungen 111 können zum Beispiel im Wesent¬ lichen senkrecht und/oder parallel zur Bearbeitungsrichtung angeordnet sein. Ferner können die Ausnehmungen 111 zumindest zwei im Wesentlichen senkrecht zueinander angeordnete Lang¬ lochabschnitte 112 aufweisen. In Fig. 3a ist zum Beispiel ei¬ ne Ausnehmung 111 mit drei Langlochabschnitten 112 darge¬ stellt. Der erste Langlochabschnitt 112a ist im Wesentlichen senkrecht zur Bearbeitungsrichtung „BR" angeordnet. Der zwei- te Langlochabschnitt 112b ist im Wesentlichen parallel zur
Bearbeitungsrichtung „BR" angeordnet. Der dritte Langlochab¬ schnitt 112c ist im Wesentlichen senkrecht zur Bearbeitungs¬ richtung „BR" und versetzt zum ersten Langlochabschnitt 112a angeordnet .
In Fig. 3b ist ein Strukturelementträger 102 in einer verti¬ kalen Ausrichtung dargestellt. Der Strukturelementträger 102 kann aus der in Fig. 3a dargestellten horizontallen Ausrich¬ tung in die in Fig. 3b dargestellte vertikale Ausrichtung ge- dreht werden, um zum Beispiel ein Einsetzten der Chips zu er¬ leichtern. Bei der Darstellung der Fig. 3b sind die
optoelektronischen Chips 16 bereits in den Strukturelement¬ träger 102 eingesetzt worden. Vor dem Einsetzten der optoelektronischen Chips 16 wird auf zumindest eine Seitenfläche der Chips 16 oder eine Seitenflä¬ che der Aussparung ein Verbindungsmittel 21 aufgebracht. Das Aufbringen des Verbindungsmittels 21 kann je nach Verbin-
dungsmittel und/oder der für das Aufbringen verwendeten Ma¬ schinen vor oder nach dem Drehen der Strukturelementträgers 102 erfolgen. Als Verbindungsmittel kann zum Beispiel Lot oder Klebstoff vorgesehen sein.
Nach dem Aufbringen der optoelektronischen Chips 16, 61 kann durch die Zuführung von Wärmenergie das Verbindungsmittel 21 ausgehärtet bzw. gelötet werden. Durch das Löten oder Kleben kann neben einer mechanischen Verbindung auch eine elektri- sehe Verbindung bereitgestellt werden. Zum Beispiel können die Rückseitenkontakte des in Verbindung mit den Figuren 2a und 2b erläuterten Saphir-Flip-Chips 61 über eine Lotverbin¬ dung mechanisch und elektrisch leitend mit dem ersten Struk¬ turelement 12 sowie dem zweiten Strukturelement 14 verbunden werden. Für Chips mit zumindest einem Oberseitenkontakt kann zusätzlich ein Drahtbondprozess zur elektrischen Kontaktie- rung vorgesehen sein.
Ferner kann nach dem elektrischen Kontaktieren der
optoelektronischen Chips Leuchtstoff, zum Beispiel durch
Sprühen auf die Strahlungsfläche aufgebracht werden. Bereiche auf denen kein Leuchtstoff aufgebracht werden soll, können zum Beispiel durch eine Schattenmaske abgedeckt werden. Das Aufbringen des Verbindungsmittels, der Wärmeeintrag und das Aufbringen des Leuchtstoffs können seriell oder parallel erfolgen. Mit seriell kann dabei eine Bearbeitung bezeichnet werden, bei der die Bearbeitungsschritte für jedes Bauelement separat und nacheinander ausgeführt werden. Als parallel kann eine Bearbeitung bezeichnet werden, bei der die Bearbeitungs¬ schritte gleichzeitig für eine Vielzahl von Bauelementen aus¬ geführt werden. Eine serielle Bearbeitung kann zum Beispiel für einen bandförmigen Strukturelementträger 102 vorgesehen sein, der auf einer Rolle bereitgestellt wird. Eine parallele Bearbeitung kann zum Beispiel für einen streifenförmigen
Strukturelementträger 102 vorgesehen sein. Eine parallele Be¬ arbeitung wird anhand der Figuren 4a und 4b erläutert. Zum Beispiel können das Aufbringen des Verbindungsmittels 21, der
Wärmeeintrag und/oder das Aufbringen des Leuchtstoffs paral¬ lel oder seriell durchgeführt werden.
In Fig. 3c ist der Strukturelementträger in der vertikalen Ausrichtung dargestellt. Nach dem mechanischen und elektri¬ schen Verbinden der Chips 16 mit den Strukturelementen 12, 14 kann die erste und/oder die zweite Folie 46, 66 auf den
Strukturelementträger 102 aufgebracht werden. In Abhängigkeit von der jeweiligen Vorrichtung können die Folien in der ver- tikalen Ausrichtung oder in der horizontallen Ausrichtung auf den Strukturelementträger 102 aufgebracht werden. Entspre¬ chend kann es erforderlich sein, den Strukturelementträger 102 aus der vertikalen Anordnung in die horizontale Anordnung zu drehen.
In der Fig. 3c ist der Strukturelementträger 102 mit der ers¬ ten und zweiten Folie 46, 66 dargestellt. Die erste und zwei¬ te Folie 46, 66 sind als zwei separate Elemente ausgeführt. Die erste und zweite Folie 46, 66 stehen jeweils im Bereich der Strahlungsfläche 20 über den zurückgesetzten Chip 16 über. Die überstehenden Folien 46, 46 können zusammen mit den Strukturelementen 12, 14 und den zurückgesetzten Chip 16 eine Kavität bilden. Sofern noch kein Leuchtstoff 40 auf die
Strahlungsfläche 20 aufgebracht wurde, kann in die Kavität eine Leuchtstoffpartikel umfassende Vergussmasse, zum Bei¬ spiel mittels Dispensen, gefüllt werden. Die Vergussmasse kann zum Beispiel Silikon umfassen.
Die zweite Folie 66 kann an der Montagefläche 18 Öffnungen aufweisen. Die Öffnungen sind vorgesehen, damit die auf der Montagefläche 18 angeordneten Anschlusskontakte 24, 26 frei zugänglich bleiben.
Die über den Chip 16 und/oder über ein in dem Spalt 22 an- geordnetes elektrisch isolierendes Material mechanisch mitei¬ nander verbundenen ersten und zweiten Strukturelemente 12, 14 können von dem Strukturelementträger 102 getrennt werden. Für das Trennen der ersten und zweiten Strukturelemente 12, 14
können die Trennstege 108 zum Beispiel durch Laserschneiden oder Stanzen unterbrochen werden. Nach dem Trennen der ersten und zweiten Strukturelemente 12, 14 von dem Strukturelement¬ träger 102 können an den Seitenflächen der Strukturelemente 12, 14 Vorsprünge 23 verbleiben. Das Trennen der Strukturele¬ mente 12, 14 von dem Grundkörper 104 kann zum Beispiel nach dem Aufbringen zumindest einer der ersten und zweiten Folien 46, 66 vorgesehen sein. Die erste und/oder die zweite Folie 46, 66 können so angeordnet sein, dass nach dem Unterbrechen der Trennstege 108 die Bauelemente über die ersten und/oder die zweite Folie 46, 66 mechanisch miteinander verbunden sind .
Um die Handhabung und die weitere Verarbeitung der
optoelektronischen Bauelemente zu erleichtern, können die über die ersten und/oder zweiten Folie oder und/oder den Strukturelementträger 102 mechanisch miteinander verbundenen Bauelemente zum Beispiel auf eine Rolle aufgewickelt werden. Das Aufwickeln auf einen Rolle kann zum Beispiel bei einer seriellen Bearbeitung vorgesehen sein. Die in Verbindung mit den Figuren 3a-3c erläuterten Bearbeitungsschritte können zum Beispiel als Rolle zu Rolle Prozess gestaltet sein. Die auf einer Rolle aufgewickelten Bauelemente können einem Kunden, zum Beispiel einem Hersteller von bestückten Schaltungsträ- gern, bereitgestellt werden. Die Bauelemente können dann un¬ mittelbar vor dem Aufbringen der Bauelemente auf einen Schal¬ tungsträger vereinzelt werden.
In den Figuren 3a-3c ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt, bei dem der Chip 16 über Bonddrähte 28 kontaktiert wird. Die erläuterten Bearbeitungsschritte können jedoch in gleicher Weise auch für teilweise oder ausschließlich über die Rück¬ seite kontaktierte Chips 61 ausgeführt werden. Anhand der Figuren 4a und 4b wird eine Variante zur paralle¬ len Bearbeitung erläutert. In der Fig. 4a sind vier Struktur¬ elementträger 102 parallel zueinander angeordnet. Die Struk¬ turelementträger 102 sind streifenförmig. Die Strukturele-
mentträger 102 sind drehbar in einem Rahmen 400 angeordnet. Der Rahmen kann zum Beispiel speziell für die Aufnahme der Strukturelementträger während der Bearbeitung vorgesehen sein. Ferner kann der Rahmen zum Beispiel Teil des Stanzgit- ters sein. Bei der Darstellung der Fig. 4a sind die Struktur¬ elementträger 102 in der horizontalen Ausrichtung angeordnet. In der horizontalen Ausrichtung kann zum Beispiel ein Kleb¬ stoff oder eine Vergussmasse in den Spalt 22 eingebracht wer¬ den, um das erste und zweite Strukturelement 12, 14 zuverläs- sig voneinander zu isolieren.
Aus der horizontalen Ausrichtung können die Strukturelemente in die vertikale Ausrichtung gedreht werden. Die vertikale Ausrichtung ist in Fig. 4b dargestellt. Der Rahmen ist so ge- staltet, dass eine Drehung der Strukturelementträger 102 um 90° aus der horizontalen Position in die vertikale Position und/oder umgekehrt möglich ist. Bei Ausführungsbeispielen, bei denen der Rahmen 400 Teil des Stanzgitters ist, kann der Übergang zwischen dem Rahmen 400 und den Strukturelementträ- gern 102 jeweils so gestaltet sein, dass eine Drehung zwi¬ schen der horizontalen Position und der vertikalen Position möglich ist.
In der vertikalen Ausrichtung kann ein Verbindungsmittel 21 auf eine Vielzahl der ersten und/oder zweiten Strukturelemen¬ te 12, 14 aufgebracht werden. Ferner können in der vertikalen Ausrichtung die optoelektronischen Chips 16, 61 in die Aus¬ sparungen eingebracht werden. Durch Einbringen von Wärmeener¬ gie können die optoelektronischen Chips 16 dauerhaft mit den ersten und/oder zweiten Strukturelementen 12, 14 verbunden werden. Zudem kann in der vertikalen Anordnung Leuchtstoff auf die Strahlungsfläche 20 der optoelektronischen Chips 16, 61 aufgebracht werden. Der Leuchtstoff kann zum Beispiel auf¬ gesprüht werden. Es kann eine Schattenmaske vorgesehen sein, um den Leuchtstoff strukturiert auf eine Vielzahl von Strah¬ lungsflächen aufzusprühen.
Ferner können die Bauelemente in der vertikalen Anordnung mit einer Vergussmasse umformt werden. Für das Umformen der Bau¬ elemente kann zum Beispiel Formpressen oder Spritzpressen vorgesehen sein. Die Vergussmasse kann reflektierende Parti¬ kel aufweisen. Die Vergussmasse kann der in Verbindung mit Fig. le erläuterten Vergussmasse entsprechen. Durch das Um¬ formen der Strukturelemente mit Vergussmasse kann zumindest der Spalt 22 gefüllt werden. Durch die Vergussmasse kann die mechanische Stabilität der Bauelemente erhöht werden. Ferner kann durch das Umformen die Effizienz des Bauelements gestei¬ gert werden, da zumindest ein Teil der nicht in Richtung der Strahlungsfläche 20 abgegebenen Strahlung von der reflektie¬ renden Vergussmasse 56 in Richtung der Strahlungsfläche 20 abgelenkt werden kann.
Ein Teil der Vergussmasse kann nach dem Umformen wieder ent¬ fernt werden. Für das Entfernen der Vergussmasse kann zum Beispiel Sägen, Schleifen oder Ätzen vorgesehen sein. Das Entfernen der Vergussmasse kann parallel zur Bearbeitungs¬ richtung erfolgen. Durch das Entfernen der Vergussmasse kann zum Beispiel die Höhe des Bauelements eingestellt werden. Fernern können durch das Entfernen der Vergussmasse die An¬ schlusskontakte des Bauelements freigelegt werden. Die
Vergussmasse kann zum Beispiel durch Sägen und Schleifen der¬ art entfernt werden, dass an der Montagefläche 18 und/oder an der Oberseite 44 des Bauelements eine reflektierende Schicht verbleibt. Die reflektierende Schicht kann eine Dicke von zum Beispiel 10 pm bis 50 pm aufweisen.
Das Bauelement kann in mehreren Schritten mit Vergussmasse umformt werden. Zum Beispiel kann das Bauelement vor und nach dem Einbringen der optoelektronischen Chips mit Vergussmasse umformt werden. Durch das Umformen vor dem Einbringen der Chips kann zum Beispiel zumindest der Spalt zwischen dem ers¬ ten und dem zweiten Strukturelement mit Vergussmasse gefüllt werden. Durch das Umformen nach dem Einbringen der Chips kann zum Beispiel zumindest der Spalt zwischen dem ersten und dem zweiten Strukturelement, die Schlitze zwischen den Struktur-
elementen und dem Grundkörper und/oder der Zwischenraum zwi¬ schen den Seitenflächen der Chips und der Aussparung mit Vergussmasse gefüllt werden. Die Fig. 4c ist eine schematische Darstellung einer horizon¬ talen Anordnung für ein weiteres Ausführungsbeispiel. Bei dem in Fig. 4c dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Stanz¬ gitter derart gestaltet, dass die Strukturelementträger 402 bereits in der vertikalen Ausrichtung bereitgestellt werden. Insbesondere können die Strukturelementträger 402 derart be¬ reitgestellt werden, dass die Aussparungen senkrecht zur der - bei der Darstellung der Fig. 4c in der Zeichenebene liegen¬ den - Haupterstreckungsebene des Stanzgitters angeordnet sind. Das in Fig. 4c dargestellte Stanzgitter kann zum Bei- spiel ein sogenanntes halbgeätztes Stanzgitter sein. Der Rah¬ men 400 kann Teil des Stanzgitters sein.
Bei den in Fig. 4c dargestellten Bearbeitungsstand wurden be¬ reits Chips 61 in die Aussparungen eingebracht und elektrisch kontaktiert. Zudem wurde bereits ein Leuchtstoff 40 auf die Strahlungsfläche 20 der Chips aufgebracht. Ferner sind die Chips 16 und der Strukturelementträger 402 mit einer reflek¬ tierenden Vergussmasse 406 umformt. Für das Umformen kann der Strukturelementträger zum Beispiel in die Kavität eines
Spritzpresswerkzeuges gelegt werden. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel wird der Rahmen 400 des Stanzgitters nicht umformt. Die Stirnflächen und die Strahlungsflächen 20 können auf einer in die Kavität eingebrachten Folie auflie¬ gen. Entsprechend werden die Stirnflächen der Strukturelemen- te und die Strahlungsflächen der Chips beziehungsweise des Leuchtstoffs nicht umformt.
Nebeneinander angeordnete Strukturelementträger 402 können über Stabilisierungsstege 408 miteinander verbunden sein. In der Darstellung der Fig. 4c sind die Stabilisierungsstege 408 gestrichelt dargestellt, da sie durch die Vergussmasse ver¬ deckt sind und somit eigentlich nicht sichtbar wären.
Zudem sind in Fig. 4c Trennlinien 410 dargestellt. Die Bau¬ elemente können entlang der Trennlinien 410 vereinzelt wer¬ den. Die Trennlinien können mit einem Abstand von 10 pm - 50 pm zur Seitenkante der Strukturelemente angeordnet sein. Durch das Trennen der Bauelemente beziehungsweise dem Entfer¬ nen der Vergussmasse können somit reflektierende Schichten 56 mit einer Dicke von 10 pm - 50 pm erzeugt werden. Zusätzlich zu den in Fig. 4c dargestellten Trennlinien, die im Wesentli¬ chen parallel zur Längserstreckung der Strukturelementträger angeordnet sind, können die Bauelemente quer zur Längserstre¬ ckung des Strukturelementträgers vereinzelt werden.
Die Stabilisierungsstege 408 werden beim Trennen der Bauele¬ mente beziehungsweise dem Entfernen der Vergussmasse durch- trennt. An der Trennfläche liegen die durchtrennten Stabili¬ sierungsstege frei. Über die freiliegenden Trennflächen der Stabilisierungsstege 408 kann das Bauelement elektrisch kon¬ taktiert werden. Zum Beispiel kann ein an der Montagefläche angeordneter Rest der Stabilisierungsstege als Anschlusskon- takt vorgesehen sein.
Fig. 5 ist eine schematische Darstellung eines ersten Mehr¬ fachbauelements 500. Das erste Mehrfachbauelement 500 umfasst zumindest zwei Bauelemente 502, 504. Die zumindest zwei Bau- elemente 502, 504 sind über eine elektrisch leitende Folie
506 mechanisch und elektrisch leitend miteinander verbunden. Die Bauelemente 502, 504 sind entlang der in Verbindung mit der Fig. 3a definierten Bearbeitungsrichtung beabstandet von¬ einander auf die elektrisch leitende Folie 506 aufgebracht. Die Zwischenräume zwischen den einzelnen Bauelementen können frei bleiben oder zum Beispiel mit Silikon gefüllt sein.
Die elektrisch leitende Folie 506 unterscheidet sich von der ersten und zweiten Folie 46, 66 zumindest dadurch, dass zu- sätzlich zu der Klebeschicht 48, der Isolationsschicht 49 und der Reflektorschicht 50 zumindest eine weitere Isolations¬ schicht und elektrische Leiterbahnen 510 vorgesehen sind. Die elektrischen Leiterbahnen 510 können zum Beispiel zwischen
zwei Isolationsschichten 49 eingebettet sein. Die elektri¬ schen Leiterbahnen 510 können auf der von den Strukturelemen¬ ten 12 abgewandten Seite der elektrisch leitenden Folie 506 angeordnet sein. Die elektrisch leitende Folie kann ausgehend von dem Strukturelement 12 eine Klebeschicht 48, eine Isola¬ tionsschicht 49, eine Reflektorschicht 50, eine Isolations¬ schicht 49, elektrische Leiterbahnen 510, und eine weitere Isolationsschicht 49 aufweisen. Ferner weist die elektrisch leitende Folie 506 Durchkontaktierungen 512 auf. Die
Durchkontaktierungen 512 durchdringen einen Teil der Isolati¬ onsschichten 49 sowie die Reflektorschicht 50 und bilden eine elektrisch leitende Verbindung zwischen den elektrischen Lei¬ terbahnen 510 und den Anschlusskontakten 24, 26 der einzelnen Bauelemente. Die Reflektorschicht kann Öffnungen für die Durchkontaktierungen 512 aufweisen. Die Durchkontaktierungen 512 können zum Beispiel mit einem elektrisch leitenden Kleb¬ stoff oder durch eine Lotverbindung mit den Anschlusskontak¬ ten 24, 26 elektrisch leitend verbunden sein. Die elektrisch leitende Folie kann zum Beispiel eine Dicke von weniger als 100 pm aufweisen.
Ferner weist die elektrisch leitende Folie 506 einen ersten und einen zweiten externen Anschlusskontakt 514, 516 auf. Der erste und der zweite externe Anschlusskontakt 514, 516 sind vorgesehen, um das Mehrfachbauelement 500 elektrisch zu kon¬ taktieren. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist der erste externe Anschlusskontakt 514 über eine elektrische Lei¬ terbahn 510 mit einem ersten Anschlusskontakt 24 des Bauele¬ ments 502 elektrisch leitend verbunden. Der zweite Anschluss- kontakt 26 des Bauelements 502 ist über eine elektrische Lei¬ terbahn 510 mit dem ersten Anschlusskontakt 24 des Bauele¬ ments 504 elektrisch leitend verbunden. Der zweite Anschluss¬ kontakt 26 des Bauelements 506 ist über eine elektrische Lei¬ terbahn 510 mit dem zweiten externen Anschlusskontakt 516 elektrisch leitend verbunden. Die Bauelemente 504, 506 des
Mehrfachbauelements 500 sind elektrisch in Reihe geschaltet. Zusätzlich zur elektrisch leitenden Folie 506 kann auf der anderen Seite der Bauelemente einer der in Verbindung mit den
Figuren lc, ld, 2a, 2b beschriebenen Folien 46, 66 vorgesehen sein. Ferner kann auf der Oberseite und der Unterseite der Bauelemente eine elektrisch leitende Folie 506 angeordnet sein. Das Mehrfachbauelement 500 unterscheidet sich somit von zum Beispiel auf einer Rolle angeordneten Einzelbauelementen insbesondere dadurch, dass die Bauelemente des Mehrfachbau¬ elements 500 elektrisch leitend miteinander verbunden sind.
Durch das Zusammenfassen von zumindest zwei Bauelementen zu einem Mehrfachbauelement, kann die Handhabung der Bauelemente bei der weiteren Verarbeitung vereinfacht werden.
Die Bauelemente sowie die Mehrfachbauelemente können zum Bei¬ spiel zum Einkoppeln von Licht in eine Lichtverteilerplatte vorgesehen sein. Das Mehrfachbauelement und die Lichtvertei¬ lerplatte können zum Beispiel Teil einer Hintergrundbeleuch¬ tungseinrichtung einer Anzeige, wie zum Beispiel einer Flüs¬ sigkristallanzeige sein. Die Bauelemente können mit ihrer Strahlungsfläche 20 an einer Seitenfläche der Lichtverteiler¬ platte angeordnet sein. Die Seitenfläche der Lichtverteiler¬ platte kann senkrecht zu einer Lichtauskoppelfläche der
Lichtverteilerplatte angeordnet sein. Der Lichtweg zwischen der Strahlungsfläche und der Seitenfläche der Lichtverteiler¬ platte kann einstellbar sein. Einstellbar kann zum Beispiel bedeuten, dass die Länge des Lichtweges auf einen gewünschten Wert eingestellt werden kann. Der gewünschte Wert kann zum Beispiel kleiner als 100 pm sein. Die Länge des Lichtweges kann zum Beispiel über die Tiefe der Aussparung relativ zur Stirnfläche 38 eingestellt werden. Ferner kann die Länge des Lichtweges durch die Dicke eines auf der Strahlungsfläche an¬ geordneten Leuchtstoffs 40 eingestellt werden.
Das optoelektronische Bauelement und das Verfahren zum Her¬ stellen eines optoelektronischen Bauelements wurden zur Ver¬ anschaulichung des zugrundeliegenden Gedankens anhand einiger Ausführungsbeispiele beschrieben. Die Ausführungsbeispiele sind dabei nicht auf bestimmte Merkmalskombinationen be¬ schränkt. Auch wenn einige Merkmale und Ausgestaltungen nur
im Zusammenhang mit einem besonderen Ausführungsbeispiel oder einzelnen Ausführungsbeispielen beschrieben wurden, können sie jeweils mit anderen Merkmalen aus anderen Ausführungsbei¬ spielen kombiniert werden. Es ist ebenso möglich, in Ausfüh¬ rungsbeispielen einzeln dargestellte Merkmale oder besondere Ausgestaltungen wegzulassen oder hinzuzufügen, soweit die allgemeine technische Lehre realisiert bleibt.
Auch wenn die Schritte des Verfahrens zum Herstellen des optoelektronischen Bauelements in einer bestimmten Reihenfol¬ ge beschrieben sind, so ist es selbstverständlich, dass jedes der in dieser Offenbarung beschriebenen Verfahren in jeder anderen, sinnvollen Reihenfolge durchgeführt werden kann, wo¬ bei auch Verfahrensschritte ausgelassen oder hinzugefügt wer¬ den können, soweit nicht von dem Grundgedanken der beschrie¬ benen technischen Lehre abgewichen wird.