WO2015146312A1 - 仮固定用両面粘着テープおよびそれを用いた被加工物の仮固定方法 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporarily fixing a workpiece on a pedestal and a method for temporarily fixing a workpiece using the same.
- Wax is known as a temporary fixing means for temporarily fixing a workpiece on a pedestal (see, for example, Patent Document 1).
- the wax remains on the work piece and the pedestal when the work piece is peeled off from the pedestal, so a cleaning process using an organic solvent or the like is required. become.
- double-sided adhesive tape is known as another temporary fixing means.
- a double-sided pressure-sensitive adhesive tape a double-sided pressure-sensitive adhesive tape in which a single-sided pressure-sensitive adhesive layer is a general acrylic pressure-sensitive adhesive layer and the other-side pressure-sensitive adhesive layer is a temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive layer is known.
- the temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive layer is a pressure-sensitive adhesive layer that contains a pressure-sensitive adhesive and a side chain crystalline polymer, and whose adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the side chain crystalline polymer.
- the above-mentioned double-sided pressure-sensitive adhesive tape is such that an acrylic pressure-sensitive adhesive layer is attached to a pedestal and a temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive layer is attached to a work piece, and the work piece is temporarily fixed on the pedestal.
- the double-sided pressure-sensitive adhesive tape described above is peeled according to the following procedure. First, after polishing the workpiece, the workpiece is peeled from the base together with the double-sided adhesive tape. Next, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the side chain crystalline polymer to reduce the adhesive force of the temperature-sensitive adhesive layer, and the work piece is peeled from the double-sided pressure-sensitive adhesive tape.
- the double-sided pressure-sensitive adhesive tape described above has poor releasability when the work piece is peeled off from the pedestal together with the double-sided pressure-sensitive adhesive tape. Therefore, when peeling from the pedestal, for example, a spatula or the like is formed between the acrylic pressure-sensitive adhesive layer and the pedestal. It is necessary to form the separation starting point by inserting it at the interface. And there existed a problem that a to-be-processed object was damaged by the external force added when forming a peeling start point, and a yield fell.
- the workpieces are becoming thinner, shortening the processing time, and increasing the hardness of the material.
- the processing conditions such as polishing have become more severe with higher pressure, higher speed, and higher share, and the polishing temperature due to frictional heat is also increasing.
- the double-sided pressure-sensitive adhesive tape described above is used under such processing conditions, there is a problem that processing defects such as displacement and peeling occur during processing such as polishing.
- An object of the present invention is to provide a temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape that can suppress the occurrence of processing defects and can easily peel off a workpiece with a high yield, and a method of temporarily fixing a workpiece using the same. It is.
- the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing includes a film-like base material, a first pressure-sensitive adhesive layer that is laminated on one side of the base material, and is attached to a pedestal, and is laminated on the other side of the base material.
- the adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the first side chain crystalline polymer
- the second pressure-sensitive adhesive layer contains a second pressure-sensitive adhesive and a second side-chain crystalline polymer
- the adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the two-side chain crystalline polymer, and both the melting point of the first side-chain crystalline polymer and the melting point of the second side-chain crystalline polymer are 55 ° C. or higher.
- Another double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing of the present invention is a film-like base material, a third pressure-sensitive adhesive layer that is laminated on one side of the base material, and is attached to a pedestal, and laminated on the other side of the base material.
- a fourth pressure-sensitive adhesive layer that is attached to the workpiece, and the third pressure-sensitive adhesive layer contains a third pressure-sensitive adhesive, a third side-chain crystalline polymer, and a foaming agent (B).
- the adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the third side-chain crystalline polymer
- the fourth pressure-sensitive adhesive layer comprises a fourth pressure-sensitive adhesive, a fourth side-chain crystalline polymer, and a foaming agent (C )
- the adhesive force decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the fourth side chain crystalline polymer, and the melting point of the third side chain crystalline polymer and the melting point of the fourth side chain crystalline polymer are All are 55 degreeC or more.
- the present invention also includes a temporary fixing pressure-sensitive adhesive sheet.
- the pressure-sensitive adhesive sheet for temporary fixing of the present invention contains a fifth pressure-sensitive adhesive, a fifth side chain crystalline polymer, and a foaming agent (D), and is adhesive at a temperature equal to or higher than the melting point of the fifth side chain crystalline polymer. The force decreases, and the melting point of the fifth side chain crystalline polymer is 55 ° C. or higher.
- the method of temporarily fixing the workpiece of the present invention includes a step of temporarily fixing the workpiece on a pedestal via the above-described temporary fixing double-sided adhesive tape of the present invention, and processing the workpiece.
- the double-sided pressure-sensitive adhesive tape is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the first side-chain crystalline polymer and the foaming agent (A) expands or foams, and the processed workpiece is subjected to the temporary fixing both surfaces.
- the step of peeling from the pedestal together with the pressure-sensitive adhesive tape, and the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing are heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the second side chain crystalline polymer, and the processed workpiece is double-sided pressure-sensitive adhesive for temporary fixing. And a step of peeling from the tape.
- the tape 1 ⁇ / b> A of the present embodiment is laminated on a base material 2, a first pressure-sensitive adhesive layer 3 laminated on one side 21 of the base material 2, and the other surface 22 of the base material 2.
- the base material 2 of this embodiment is a film form.
- the film shape is not limited to a film shape, and is a concept including a film shape or a sheet shape as long as the effects of the present embodiment are not impaired.
- Examples of the constituent material of the substrate 2 include polyethylene, polyethylene terephthalate, polypropylene, polyester, polyamide, polyimide, polycarbonate, ethylene vinyl acetate copolymer, ethylene ethyl acrylate copolymer, ethylene polypropylene copolymer, and polyvinyl chloride.
- Examples include synthetic resins, and among the exemplified synthetic resins, polyethylene terephthalate is preferable.
- the substrate 2 of this embodiment may be either a single layer or a multilayer, and the thickness is preferably 5 to 250 ⁇ m, more preferably 12 to 188 ⁇ m, 25 More preferably, it is ⁇ 100 ⁇ m.
- corona discharge treatment, plasma treatment, blast treatment, chemical etching treatment, primer Surface treatment such as treatment can be performed.
- surface 21 of the base material 2 is a base, and contains a 1st pressure sensitive adhesive, a 1st side chain crystalline polymer, and a foaming agent (A). .
- the first pressure sensitive adhesive is a tacky polymer, and specific examples thereof include natural rubber adhesives, synthetic rubber adhesives, styrene / butadiene latex base adhesives, acrylic adhesives, and the like. Of these, acrylic adhesives are preferred.
- Examples of monomers constituting the acrylic adhesive include alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms such as 2-ethylhexyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, and butyl (meth) acrylate.
- (Meth) acrylate having a hydroxyalkyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxyhexyl (meth) acrylate, etc. You may use 1 type or in mixture of 2 or more types.
- (Meth) acrylate means acrylate or methacrylate.
- composition of the acrylic adhesive include a copolymer obtained by polymerizing 2-ethylhexyl acrylate, methyl acrylate and 2-hydroxyethyl acrylate. Further, each of the above-mentioned monomers is preferably polymerized at a ratio of 42 to 62 parts by weight of 2-ethylhexyl acrylate, 30 to 50 parts by weight of methyl acrylate, and 3 to 13 parts by weight of 2-hydroxyethyl acrylate.
- the polymerization method is not particularly limited, and for example, a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method and the like can be employed.
- a solution polymerization method a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method and the like can be employed.
- the solution polymerization method the above-described monomer may be mixed with a solvent and stirred at about 40 to 90 ° C. for about 2 to 10 hours.
- the weight average molecular weight of the polymer obtained by polymerizing the above-mentioned monomers, that is, the first pressure-sensitive adhesive is preferably 300,000 to 700,000, and more preferably 400,000 to 600,000.
- the weight average molecular weight is a value obtained by measuring the polymer by gel permeation chromatography (GPC) and converting the obtained measurement value to polystyrene.
- the first side chain crystalline polymer is a polymer having a melting point.
- the melting point is a temperature at which a specific portion of the polymer that was initially aligned in an ordered arrangement becomes disordered by an equilibrium process, and is measured at 10 ° C./min by a differential thermal scanning calorimeter (DSC). It shall mean the value obtained by measurement.
- the melting point of the first side chain crystalline polymer is 55 ° C. or higher, and preferably 55 to 65 ° C.
- the first side chain crystalline polymer is crystallized at a temperature lower than the melting point described above, and undergoes phase transition at a temperature higher than the melting point to exhibit fluidity. That is, the first side chain crystalline polymer has temperature sensitivity that reversibly causes a crystalline state and a fluid state in response to a temperature change. Thereby, since the 1st side chain crystalline polymer exists in a crystalline state at the temperature below melting
- the melting point described above can be adjusted by changing the composition of the first side chain crystalline polymer.
- the monomer constituting the first side-chain crystalline polymer include (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms, (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and a polar monomer. Is mentioned.
- Examples of the (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms include 16 to 22 carbon atoms such as cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, eicosyl (meth) acrylate, and behenyl (meth) acrylate.
- (Meth) acrylates having a linear alkyl group of, for example, (meth) acrylates having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate Hexyl (meth) acrylate and the like, and polar monomers include, for example, ethylenically unsaturated monomers having a carboxyl group such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid; 2-hydroxy Ethyl (meth) acrylate, 2-hydro Shipuropiru (meth) acrylate, 2-hydroxyhexyl (meth) ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group such as acrylate and the like, which may be used alone or in combination.
- the first side chain crystalline polymer is a polymer obtained by polymerizing a (meth) acrylate having a linear alkyl group having at least 16 carbon atoms, preferably 18 carbon atoms or more among the above-described monomers. It is good.
- Each of the above-mentioned monomers includes, for example, 70 to 100 parts by weight of (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms, and 0 to 30 parts by weight of (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
- the polymerization is preferably performed at a ratio of 1 to 10 parts by weight of the polar monomer.
- composition of the first side chain crystalline polymer examples include a copolymer obtained by polymerizing behenyl acrylate, methyl acrylate and acrylic acid. Further, each of the above-mentioned monomers is preferably polymerized in a proportion of 65 to 85 parts by weight of behenyl acrylate, 10 to 30 parts by weight of methyl acrylate, and 1 to 10 parts by weight of acrylic acid.
- the polymerization method is not particularly limited, and for example, a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method and the like can be employed.
- a solution polymerization method a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method and the like can be employed.
- the solution polymerization method the above-described monomer may be mixed with a solvent and stirred at about 40 to 90 ° C. for about 2 to 10 hours.
- the weight average molecular weight of the first side chain crystalline polymer is preferably 3,000 to 30,000, more preferably 5,000 to 20,000, and 6,000 to 11,000. Is more preferable. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of adhesive residue when the tape 1A is peeled from the base. Moreover, when the first side chain crystalline polymer exhibits fluidity at a temperature equal to or higher than the melting point, the adhesive strength of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 can be sufficiently reduced.
- the weight average molecular weight is a value obtained by measuring the first side chain crystalline polymer by GPC and converting the obtained measurement value into polystyrene.
- the first side chain crystalline polymer is preferably blended in an amount of 0.5 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the first pressure-sensitive adhesive, in terms of solid content, and preferably 0.5 to 5 parts by weight. It is more preferable that they are blended at a ratio of Thereby, when the 1st side chain crystalline polymer shows fluidity
- foaming agent (A) both general chemical foaming agents and physical foaming agents can be employed.
- Chemical foaming agents include pyrolytic and reactive organic foaming agents and inorganic foaming agents.
- Examples of the pyrolytic organic foaming agent include various azo compounds (such as azodicarbonamide), nitroso compounds (such as N, N′-dinitrosopentamethylenetetramine), and hydrazine derivatives [4,4′-oxybis (benzene). Sulfonyl hydrazide) and the like], semicarbazide compound (hydrazodicarbonamide and the like), azide compound, tetrazole compound and the like.
- Examples of the reactive organic foaming agent include isocyanate compounds.
- thermal decomposition type inorganic foaming agent examples include bicarbonate / carbonate (sodium bicarbonate, etc.), nitrite / hydride, etc.
- reaction type inorganic foaming agent examples include sodium bicarbonate and the like. The combination with an acid, the combination of hydrogen peroxide and yeast, the combination of zinc powder and an acid, etc. are mentioned.
- Examples of the physical foaming agent include organic physical foaming agents such as aliphatic hydrocarbons such as butane, pentane and hexane, chlorohydrocarbons such as dichloroethane and dichloromethane, and fluorochlorohydrocarbons such as chlorofluorocarbons; air, carbonic acid
- organic physical foaming agents such as aliphatic hydrocarbons such as butane, pentane and hexane, chlorohydrocarbons such as dichloroethane and dichloromethane, and fluorochlorohydrocarbons such as chlorofluorocarbons
- air carbonic acid
- examples thereof include inorganic physical foaming agents such as gas and nitrogen gas.
- a so-called microballoon foaming agent that is microencapsulated thermally expandable fine particles can be employed.
- the microballoon foaming agent is obtained by encapsulating a heat-expandable substance made of a solid, liquid, or gas inside a polymer shell made of a thermoplastic or thermosetting resin.
- the microballoon foaming agent includes a hollow polymer shell having an average particle size of micro order, and a heat-expandable substance enclosed in the polymer shell.
- the microballoon foaming agent expands in volume by 40 times or more by heating, and a foam in the form of closed cells is obtained.
- the microballoon foaming agent has a characteristic that the expansion ratio is considerably larger than that of a normal foaming agent.
- a commercially available product can be used as such a microballoon foaming agent.
- “461DU20” and “551DU40” manufactured by EXPANCEL are suitable.
- the foaming agent (A) is preferably blended at a ratio of 10 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the first pressure-sensitive adhesive in terms of solid content, and blended at a ratio of 10 to 40 parts by weight. More preferably. Thereby, when a foaming agent (A) expand
- the temperature at which the foaming agent (A) expands or foams is usually higher than the melting point of the first side chain crystalline polymer. Further, the temperature at which the foaming agent (A) expands or foams is usually 180 ° C. or lower, and it is preferable that the expansion or foaming starts at 90 ° C. and the foaming agent substantially completely foams at 120 ° C.
- the average particle diameter of the foaming agent (A) is preferably 5 to 50 ⁇ m, more preferably 5 to 20 ⁇ m.
- the average particle diameter is a value obtained by measurement with a particle size distribution measuring device.
- the first pressure-sensitive adhesive layer 3 containing the first pressure-sensitive adhesive and the first side-chain crystalline polymer described above together with such a foaming agent (A) on one side 21 of the substrate 2 for example, What is necessary is just to apply
- the coater include a knife coater, a roll coater, a calendar coater, a comma coater, a gravure coater, and a rod coater.
- the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 is preferably 10 to 50 ⁇ m, and more preferably 15 to 45 ⁇ m.
- various additives such as a crosslinking agent, a tackifier, a plasticizer, an anti-aging agent, an ultraviolet absorber, can be added to the 1st adhesive layer 3, and a crosslinking agent is illustrated among the illustrated additives. Is preferably added.
- the crosslinking agent include isocyanate compounds.
- the cross-linking agent is preferably added in a proportion of 0.1 to 10 parts by weight, preferably 0.1 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the first pressure-sensitive adhesive in terms of solid content. More preferably, it is added at a ratio of 0.3 to 3 parts by weight.
- the first side chain crystalline polymer, the foaming agent (A) and the crosslinking agent in the first pressure-sensitive adhesive layer 3 described above are in a weight ratio, and the first pressure-sensitive adhesive.
- Agent: first side chain crystalline polymer: foaming agent (A): crosslinking agent 100: 0.5-3: 10-40: 0.5-3
- a to-be-adhered body is a to-be-processed object, a 2nd pressure sensitive adhesive and a 2nd side chain crystalline polymer are contained, It is a temperature-sensitive adhesive layer in which the adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the second side chain crystalline polymer.
- the weight average molecular weight of the second pressure-sensitive adhesive is preferably 300,000 to 700,000, and more preferably 400,000 to 600,000.
- the weight average molecular weight of a 2nd pressure sensitive adhesive may be larger than the weight average molecular weight of the 1st pressure sensitive adhesive mentioned above.
- composition of the second pressure sensitive adhesive may be the same as or different from the first pressure sensitive adhesive described above.
- the other configuration of the second pressure-sensitive adhesive is the same as that of the first pressure-sensitive adhesive described above, and a description thereof will be omitted.
- the second side chain crystalline polymer has a melting point of 55 ° C. or higher, similar to the first side chain crystalline polymer described above. That is, in this embodiment, the melting point of the first side chain crystalline polymer and the melting point of the second side chain crystalline polymer are both 55 ° C. or higher. Thereby, for example, even if the workpiece is polished at a heat generation temperature of 23 ° C. or higher and lower than 55 ° C., and the temperature of the tape 1A becomes 50 ° C.
- the first and second side chain crystalline polymers are both Since the crystalline state can be maintained, the adhesive strength of the first and second pressure-sensitive adhesive layers 3 and 4 can be secured, and as a result, the occurrence of processing defects such as polishing defects can be suppressed.
- the preferred melting point of the second side chain crystalline polymer is 55 to 65 ° C.
- the weight average molecular weight of the second side chain crystalline polymer is preferably 3,000 to 30,000, more preferably 5,000 to 20,000, and 6,000 to 11,000. Is more preferable.
- the second side chain crystalline polymer is preferably blended at a ratio of 0.5 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the second pressure-sensitive adhesive, in terms of solid content, preferably 0.5 to 5 parts by weight. It is more preferable that they are blended at a ratio of
- the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer 4 containing the second pressure-sensitive adhesive and the second side-chain crystalline polymer described above is preferably smaller than the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 described above.
- the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 is preferably larger than the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer 4.
- the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 is configured to be larger than the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer 4.
- the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer 4 is preferably 5 to 40 ⁇ m. Within this numerical range, the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 is made larger than the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer 4. Is preferred.
- a crosslinking agent to the second pressure-sensitive adhesive layer 4 as in the case of the first pressure-sensitive adhesive layer 3.
- the cross-linking agent is preferably added at a rate of 0.1 to 10 parts by weight, preferably 0.1 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the second pressure-sensitive adhesive in terms of solid content. More preferably, it is added at a ratio of 0.3 to 3 parts by weight.
- the second pressure-sensitive adhesive As a particularly preferred formulation of the second pressure-sensitive adhesive, the second side-chain crystalline polymer, and the crosslinking agent in the second pressure-sensitive adhesive layer 4 described above, these are in a weight ratio, and the second pressure-sensitive adhesive: second side chain.
- a ratio of crystalline polymer: crosslinking agent 100: 0.5 to 3: 0.5 to 3 can be mentioned. Since the other structure of the 2nd adhesive layer 4 is the same as that of the 1st adhesive layer 3 mentioned above, description is abbreviate
- the tape 1A of the present embodiment described above further includes the first separator S1 laminated on the surface 31 of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 and the second separator S2 laminated on the surface 41 of the second pressure-sensitive adhesive layer 4. I have. Thereby, the surface 31 of the 1st adhesive layer 3 and the surface 41 of the 2nd adhesive layer 4 can each be protected.
- first separator S1 and the second separator S2 include those in which a release agent such as silicone or fluorine is applied to the surface of a film made of polyethylene, polyethylene terephthalate, or the like.
- the thickness of each of the first separator S1 and the second separator S2 is preferably 10 to 110 ⁇ m.
- the first separator S1 and the second separator S2 may have the same composition, thickness, or the like, or may be different.
- the first separator S1 is obtained by applying silicone to the surface of a polyethylene film
- the second separator S2 is obtained by applying silicone to the surface of a polyethylene terephthalate film.
- the thickness of the first separator S1 is larger than the thickness of the second separator S2.
- the 180 ° peel strength of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 with respect to the polyethylene terephthalate film at 23 ° C. is preferably 2 to 20 N / 25 mm, and more preferably 10 to 20 N / 25 mm. Thereby, the fixing force with respect to a base can be obtained.
- the 180 ° peel strength of the first pressure-sensitive adhesive layer 3 with respect to the polyethylene terephthalate film at an ambient temperature of 23 ° C. is a value obtained by measurement according to JIS Z0237.
- the 180 ° peel strength of the second pressure-sensitive adhesive layer 4 with respect to the sapphire glass at 23 ° C. is preferably 1 to 13 N / 25 mm, and more preferably 1 to 5 N / 25 mm. .
- the 180 ° peel strength of the second pressure-sensitive adhesive layer 4 with respect to the sapphire glass at an ambient temperature of 23 ° C. is a value obtained by measurement according to JIS Z0237.
- the tape 1 ⁇ / b> B of the present embodiment is laminated on the base material 2, the third pressure-sensitive adhesive layer 5 laminated on one side 21 of the base material 2, and the other surface 22 of the base material 2.
- the third and fourth pressure-sensitive adhesive layers 5 and 6 both contain a foaming agent.
- the third pressure-sensitive adhesive layer 5 has an adherend as a pedestal, contains a third pressure-sensitive adhesive, a third side-chain crystalline polymer, and a foaming agent (B), and has a third side.
- the adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the chain crystalline polymer.
- the fourth pressure-sensitive adhesive layer 6 has an adherend that is a workpiece, and includes a fourth pressure-sensitive adhesive, a fourth side-chain crystalline polymer, and a foaming agent (C). The adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the conductive polymer.
- the melting point of the third side chain crystalline polymer and the melting point of the fourth side chain crystalline polymer are both 55 ° C. or higher. Even with such a configuration, the tape 1B has the same effects as the tape 1A according to the first embodiment described above.
- the thickness of the fourth pressure-sensitive adhesive layer 6 is preferably 10 to 50 ⁇ m, and more preferably 15 to 45 ⁇ m. Further, the average particle diameter of the foaming agent (C) is preferably 5 to 50 ⁇ m, more preferably 5 to 20 ⁇ m.
- the third pressure-sensitive adhesive and the fourth pressure-sensitive adhesive may have the same composition or the like.
- the third side chain crystalline polymer and the fourth side chain crystalline polymer may have the same or different melting points, compositions, weight average molecular weights, blending amounts, and the like.
- the foaming agent (B) and the foaming agent (C) may be the same or different in composition, average particle diameter, blending amount, and the like.
- the tape 1B of the present embodiment further includes a third separator S3 laminated on the surface 51 of the third pressure-sensitive adhesive layer 5 and a fourth separator S4 laminated on the surface 61 of the fourth pressure-sensitive adhesive layer 6. I have. Since other configurations are the same as those of the tape 1A according to the first embodiment described above, the description thereof is omitted.
- a temporary fixing pressure-sensitive adhesive sheet (hereinafter sometimes referred to as “sheet”) according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.
- the sheet 10 of this embodiment is a base material-less adhesive sheet.
- the sheet is not limited to a sheet shape, and is a concept including a sheet shape or a film shape as long as the effects of the present embodiment are not impaired.
- the sheet 10 of the present embodiment contains the fifth pressure-sensitive adhesive, the fifth side chain crystalline polymer, and the foaming agent (D), and the adhesive strength decreases at a temperature equal to or higher than the melting point of the fifth side chain crystalline polymer. To do. And as for the sheet
- the thickness of the sheet 10 is preferably 10 to 50 ⁇ m, and more preferably 15 to 45 ⁇ m.
- the average particle size of the foaming agent (D) is preferably 5 to 50 ⁇ m, more preferably 5 to 20 ⁇ m.
- the sheet 10 of the present embodiment includes a fifth separator S5 laminated on one side 11 of the sheet 10 and a sixth separator S6 laminated on the other side 12. Since other configurations are the same as those of the tapes 1A and 1B according to the first and second embodiments described above, the description thereof is omitted.
- the workpiece 200 is temporarily fixed on the pedestal 100 via the tape 1A.
- the workpiece 200 may be any desired one, and is not particularly limited, but is not limited to sapphire glass, which is a material for an LED substrate, silicon carbide (SiC), gallium nitride (GaN), which is a material for a power device substrate, or the like. Is preferred.
- the exemplified sapphire glass, silicon carbide, and gallium nitride are hard-to-polish substrate materials.
- the workpiece 200 of this embodiment is sapphire glass.
- the base 100 the thing made from a ceramic is mentioned, for example.
- the process of processing the workpiece 200 is a process of polishing the workpiece 200 to a predetermined thickness as shown in FIGS.
- the temperature of the tape 1A is 50 ° C. or higher.
- the workpiece 200 is polished at a polishing exothermic temperature of 23 ° C. or higher and lower than 55 ° C.
- the melting points of the first and second side chain crystalline polymers are both 55 ° C. or higher, even if the temperature of the tape 1A is 50 ° C.
- the upper limit of the temperature of the tape 1A at the time of polishing is a temperature lower than the melting point of each of the first and second side chain crystalline polymers.
- the upper limit of the temperature of the tape 1A is less than 55 ° C.
- the tape 1A is heated to a temperature not lower than the melting point of the first side-chain crystalline polymer described above and a temperature at which the foaming agent (A) expands or foams.
- the first side chain crystalline polymer exhibits fluidity at a temperature equal to or higher than the melting point, and the foaming agent (A) expands or foams, so that the adhesive strength of the first adhesive layer 3 is sufficiently reduced.
- the processed workpiece 200 can be smoothly peeled off from the pedestal 100 together with the tape 1A in the direction of the arrow A, and therefore an external force is applied during peeling. It can suppress that the workpiece 200 is damaged and a yield falls.
- the heating means for heating the tape 1A include a heater.
- the tape 1A is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the second side-chain crystalline polymer to reduce the adhesive strength of the second pressure-sensitive adhesive layer 4, and FIG. As shown in (d), the workpiece 200 is peeled from the tape 1A in the direction of arrow B. At this time, according to the tape 1A, it is difficult for adhesive residue to be generated on the workpiece 200, so that the cleaning process can be simplified or omitted.
- the method of temporarily fixing the workpiece according to the present embodiment includes a step of temporarily fixing the workpiece on the pedestal via the tape 1B and processing the workpiece, and the tape 1B includes a third side chain crystalline polymer. Heating the foaming agent (B) to a temperature at which the foaming agent (B) expands or foams, and peeling the processed workpiece from the pedestal together with the tape 1B; And heating the foaming agent (C) to a temperature at which the foaming agent (C) expands or foams, and peels the processed workpiece from the tape 1B.
- the method for temporarily fixing a workpiece according to the present embodiment includes a step of temporarily fixing a workpiece on a pedestal via the sheet 10 and processing the workpiece, and the sheet 10 is made of a fifth side chain crystalline polymer. And heating the foaming agent (D) to a temperature at which the foaming agent (D) expands or foams, and peels the processed workpiece from the sheet 10.
- Other configurations are the same as those of the workpiece temporary fixing method according to the first and second embodiments described above, and thus the description thereof is omitted.
- Table 1 shows the copolymers of Synthesis Examples 1 to 3 and Comparative Synthesis Example.
- the weight average molecular weight was obtained by measuring a copolymer by GPC and converting the obtained measured value into polystyrene.
- the melting point was obtained by measuring the copolymer with DSC at 10 ° C./min.
- Crosslinking agent Isocyanate compound “Coronate L-45E” manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.
- the obtained mixture was adjusted with ethyl acetate so that the solid content would be 30% by weight to obtain a coating solution.
- the obtained coating solutions were applied to a film substrate made of polyethylene terephthalate and having a thickness of 100 ⁇ m and dried to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive tape.
- the obtained coating liquid was apply
- the release film a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 ⁇ m obtained by applying silicone was used. Drying was performed for each of the first to fourth pressure-sensitive adhesive layers using a heater.
- the drying conditions of the first to fourth pressure-sensitive adhesive layers and the pressure-sensitive adhesive sheet are as follows. First, third to fourth pressure-sensitive adhesive layers, pressure-sensitive adhesive sheet: 80 ° C. ⁇ 10 minutes Second pressure-sensitive adhesive layer: 100 ° C. ⁇ 10 minutes
- the thicknesses of the first to fourth pressure-sensitive adhesive layers and the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet in the obtained double-sided pressure-sensitive adhesive tape are as follows. First adhesive layer thickness: 20 ⁇ m Second adhesive layer thickness: 10 ⁇ m The thickness of the third pressure-sensitive adhesive layer: 40 ⁇ m The thickness of the fourth pressure-sensitive adhesive layer: 40 ⁇ m Adhesive sheet thickness: 40 ⁇ m
- the 180 ° peel strength for the polyethylene terephthalate film at an ambient temperature of 23 ° C. of the adhesive sheet was evaluated as follows. First, at an atmospheric temperature of 23 ° C., a separator on one side arbitrarily selected from both sides of the pressure-sensitive adhesive sheet was removed, and a polyethylene terephthalate film having a thickness of 100 ⁇ m was stuck on the exposed one side. Next, the separator of the other side was turned up, and the polyethylene terephthalate film stuck on one side was fixed to the stainless steel plate via a commercially available double-sided tape. Next, the separator on the other surface was removed, and a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 ⁇ m was stuck on the other exposed surface. Then, the polyethylene terephthalate film was peeled 180 ° from the other surface at a speed of 300 mm / min using a load cell. These results are shown in the column of “PET” in “180 ° peel strength” in Table 2.
- 180 ° peel strength with respect to sapphire glass was evaluated as follows. First, the double-sided adhesive tape was stuck on sapphire glass through the adhesive layer at an ambient temperature of 23 ° C. Next, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape was peeled 180 ° from the sapphire glass at a rate of 300 mm / min using a load cell. The 180 ° peel strength was measured in the same manner at atmospheric temperatures of 50 ° C. and 60 ° C. For the pressure-sensitive adhesive sheet, after attaching the polyethylene terephthalate film on one side in the same manner as the 180 ° peel strength for the polyethylene terephthalate film described above, the separator on the other side is removed, and the exposed other side is attached to the sapphire glass. The 180 ° peel strength was measured in the same manner as the double-sided pressure-sensitive adhesive tape except that it was worn. These results are shown in the column of “sapphire glass” in “180 ° peel strength” in Table 2.
- a double-sided pressure-sensitive adhesive tape was attached to the ceramic plate via the first and third pressure-sensitive adhesive layers at an ambient temperature of 23 ° C.
- the ambient temperature was raised to 130 ° C., which is a temperature equal to or higher than the melting point of the first and third side chain crystalline polymers and the foaming agents (A) and (B) expand or foam.
- the foaming peelability of the adhesive sheet was evaluated in the same manner as the double-sided adhesive tape, except that the adhesive sheet was attached to the ceramic plate via one side arbitrarily selected from both sides of the adhesive sheet. The evaluation criteria were set as follows. ⁇ : Peeled. X: It did not peel.
- each surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape and the pressure-sensitive adhesive sheet were attached to sapphire glass at an ambient temperature of 23 ° C.
- the double-sided pressure-sensitive adhesive tape and the pressure-sensitive adhesive sheet were foamed and peeled at an atmospheric temperature of 130 ° C.
- the double-sided adhesive tape was peeled at the atmospheric temperature of 60 degreeC.
- the adhesive residue (residue) was evaluated by visually observing the surface of the sapphire glass after peeling. The evaluation criteria were set as follows. ⁇ : Some glue residue (residue) was observed in the sapphire glass, but it was in a range where there was no problem in actual use.
- X Adhesive residue (residue) was observed on the sapphire glass.
- polishingness First, at an atmospheric temperature of 23 ° C., a double-sided pressure-sensitive adhesive tape was attached to the surface plate of a polishing machine via the first and third pressure-sensitive adhesive layers. Next, a plate-like workpiece made of sapphire glass having a thickness of 635 ⁇ m was attached to the double-sided pressure-sensitive adhesive tape via the second and fourth pressure-sensitive adhesive layers. Then, two kinds of polishing conditions were set as follows.
- Polishing machine Surface plate size 36 inches Polishing pressure: 170 kgf / axis Surface plate rotation speed: 45 rpm Slurry: Colloidal silica Abrasive cloth: Non-woven fabric type Atmospheric temperature: 23 ° C Exothermic temperature range during polishing: 23 to 45 ° C [High temperature polishing] Polishing machine: Surface plate size 36 inches Polishing pressure: 210 kgf / axis Surface plate rotation speed: 60 rpm Slurry: Colloidal silica Abrasive cloth: Non-woven fabric type Atmospheric temperature: 23 ° C Exothermic temperature range during polishing: 23 ° C or higher and lower than 55 ° C
- the workpiece was polished to a thickness of 620 ⁇ m.
- the abrasiveness was evaluated by visually observing whether the adhesive layers on both sides were displaced or peeled off. The visual observation was performed during or after polishing.
- the evaluation criteria were set as follows. ⁇ : No shift or peeling occurred in any of the adhesive layers on both sides. X: Deviation or peeling occurred in at least one of the double-sided pressure-sensitive adhesive layers.
- the abrasiveness of the pressure-sensitive adhesive sheet was evaluated in the same manner as the double-sided pressure-sensitive adhesive tape except that the evaluation criteria were set as follows. ⁇ : No shift or peeling occurred in the adhesive sheet. X: The adhesive sheet was displaced or peeled off.
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Abstract
本発明の仮固定用両面粘着テープは、基材と、台座に貼着する第１粘着剤層と、被加工物に貼着する第２粘着剤層と、を備え、前記第１粘着剤層は、第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ａ）を含有し、前記第２粘着剤層は、第２感圧性接着剤および第２側鎖結晶性ポリマーを含有し、前記第１および前記第２側鎖結晶性ポリマーの融点がいずれも、５５℃以上である。本発明の被加工物の仮固定方法は、前記仮固定用両面粘着テープを所定温度に加熱し、加工した被加工物を前記仮固定用両面粘着テープとともに台座から剥離する工程と、前記仮固定用両面粘着テープを所定温度に加熱し、前記加工した被加工物を前記仮固定用両面粘着テープから剥離する工程と、を備える。
Description
本発明は、台座上に被加工物を仮固定する仮固定用両面粘着テープおよびそれを用いた被加工物の仮固定方法に関する。
台座上に被加工物を仮固定する仮固定手段として、ワックスが知られている（例えば、特許文献１参照）。
しかし、ワックスを介して台座上に被加工物を仮固定すると、被加工物を台座から剥離したときにワックスが被加工物および台座のそれぞれに残るため、有機溶剤等を使用した洗浄工程が必要になる。
しかし、ワックスを介して台座上に被加工物を仮固定すると、被加工物を台座から剥離したときにワックスが被加工物および台座のそれぞれに残るため、有機溶剤等を使用した洗浄工程が必要になる。
一方、他の仮固定手段として、両面粘着テープが知られている。両面粘着テープとして、片面の粘着剤層が一般的なアクリル系粘着剤層であり、他面の粘着剤層が感温性粘着剤層からなる、両面粘着テープが知られている。感温性粘着剤層は、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する粘着剤層である。
上述した両面粘着テープは、アクリル系粘着剤層を台座に、感温性粘着剤層を被加工物にそれぞれ貼着させて、台座上に被加工物を仮固定するものである。上述した両面粘着テープの剥離は、次の手順で行う。まず、被加工物を研磨加工等した後に、被加工物を両面粘着テープとともに台座から剥離する。次に、両面粘着テープを側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にまで加熱して感温性粘着剤層の粘着力を低下させ、被加工物を両面粘着テープから剥離する。
ここで、上述した両面粘着テープは、被加工物を両面粘着テープとともに台座から剥離するときの剥離性が悪いため、台座から剥離するときに、例えばスパチュラ等をアクリル系粘着剤層と台座との界面に挿入して剥離起点を形成する必要がある。そして、剥離起点を形成するときに加わる外力によって被加工物が破損して歩留りが低下するという問題があった。
また、被加工物は、薄膜化、加工時間の短縮化、材料の硬度化等が進んでいる。これに伴い、研磨等の加工条件も、高圧力化、高速化、高シェア化とより厳しくなっており、摩擦熱による研磨温度等も上昇傾向にある。このような加工条件に上述した両面粘着テープを使用すると、研磨等の加工時において、ズレ、剥がれ等の加工不良が発生するという問題があった。
本発明の課題は、加工不良の発生を抑制することができるとともに、被加工物を歩留りよく簡単に剥離できる仮固定用両面粘着テープおよびそれを用いた被加工物の仮固定方法を提供することである。
本発明の仮固定用両面粘着テープは、フィルム状の基材と、前記基材の片面に積層されており台座に貼着する第１粘着剤層と、前記基材の他面に積層されており被加工物に貼着する第２粘着剤層と、を備え、前記第１粘着剤層は、第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ａ）を含有するとともに、前記第１側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第２粘着剤層は、第２感圧性接着剤および第２側鎖結晶性ポリマーを含有するとともに、前記第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第１側鎖結晶性ポリマーの前記融点および前記第２側鎖結晶性ポリマーの前記融点がいずれも、５５℃以上である。
本発明の他の仮固定用両面粘着テープは、フィルム状の基材と、前記基材の片面に積層されており台座に貼着する第３粘着剤層と、前記基材の他面に積層されており被加工物に貼着する第４粘着剤層と、を備え、前記第３粘着剤層は、第３感圧性接着剤、第３側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｂ）を含有するとともに、前記第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第４粘着剤層は、第４感圧性接着剤、第４側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｃ）を含有するとともに、前記第４側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第３側鎖結晶性ポリマーの前記融点および前記第４側鎖結晶性ポリマーの前記融点がいずれも、５５℃以上である。
本発明は、仮固定用粘着シートも含む。本発明の仮固定用粘着シートは、第５感圧性接着剤、第５側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｄ）を含有するとともに、前記第５側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第５側鎖結晶性ポリマーの前記融点が、５５℃以上である。
本発明の他の仮固定用両面粘着テープは、フィルム状の基材と、前記基材の片面に積層されており台座に貼着する第３粘着剤層と、前記基材の他面に積層されており被加工物に貼着する第４粘着剤層と、を備え、前記第３粘着剤層は、第３感圧性接着剤、第３側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｂ）を含有するとともに、前記第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第４粘着剤層は、第４感圧性接着剤、第４側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｃ）を含有するとともに、前記第４側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第３側鎖結晶性ポリマーの前記融点および前記第４側鎖結晶性ポリマーの前記融点がいずれも、５５℃以上である。
本発明は、仮固定用粘着シートも含む。本発明の仮固定用粘着シートは、第５感圧性接着剤、第５側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｄ）を含有するとともに、前記第５側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、前記第５側鎖結晶性ポリマーの前記融点が、５５℃以上である。
本発明の被加工物の仮固定方法は、上述した本発明の仮固定用両面粘着テープを介して台座上に被加工物を仮固定して前記被加工物を加工する工程と、前記仮固定用両面粘着テープを、前記第１側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ前記発泡剤（Ａ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した前記被加工物を前記仮固定用両面粘着テープとともに前記台座から剥離する工程と、前記仮固定用両面粘着テープを、前記第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱し、前記加工した被加工物を前記仮固定用両面粘着テープから剥離する工程と、を備える。
本発明によれば、加工不良の発生を抑制することができるとともに、被加工物を歩留りよく簡単に剥離できるという効果がある。
＜仮固定用両面粘着テープ＞
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る仮固定用両面粘着テープ（以下、「テープ」と言うことがある。）について、図１を参照して詳細に説明する。
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る仮固定用両面粘着テープ（以下、「テープ」と言うことがある。）について、図１を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、本実施形態のテープ１Ａは、基材２と、基材２の片面２１に積層されている第１粘着剤層３と、基材２の他面２２に積層されている第２粘着剤層４と、を備えている。
（基材）
本実施形態の基材２は、フィルム状である。フィルム状とは、フィルム状のみに限定されるものではなく、本実施形態の効果を損なわない限りにおいて、フィルム状ないしシート状をも含む概念である。
本実施形態の基材２は、フィルム状である。フィルム状とは、フィルム状のみに限定されるものではなく、本実施形態の効果を損なわない限りにおいて、フィルム状ないしシート状をも含む概念である。
基材２の構成材料としては、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂が挙げられ、例示した合成樹脂のうちポリエチレンテレフタレートが好ましい。
本実施形態の基材２は、単層体または複層体のいずれであってもよく、その厚さとしては、５～２５０μｍであるのが好ましく、１２～１８８μｍであるのがより好ましく、２５～１００μｍであるのがさらに好ましい。基材２の片面２１および他面２２には、第１粘着剤層３および第２粘着剤層４に対する密着性を高める上で、例えばコロナ放電処理、プラズマ処理、ブラスト処理、ケミカルエッチング処理、プライマー処理等の表面処理を施すことができる。
（第１粘着剤層）
基材２の片面２１に積層されている第１粘着剤層３は、被着体が台座であり、第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ａ）を含有する。
基材２の片面２１に積層されている第１粘着剤層３は、被着体が台座であり、第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ａ）を含有する。
第１感圧性接着剤は、粘着性を有するポリマーであり、その具体例としては、天然ゴム接着剤、合成ゴム接着剤、スチレン／ブタジエンラテックスベース接着剤、アクリル系接着剤等が挙げられ、例示したこれらのうちアクリル系接着剤が好ましい。
アクリル系接着剤を構成するモノマーとしては、例えば２－エチルへキシル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート等の炭素数１～１２のアルキル基を有する（メタ）アクリレート；２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレート等が挙げられ、これらは１種または２種以上を混合して用いてもよい。（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートのことを意味するものとする。
アクリル系接着剤の具体的な組成としては、２－エチルヘキシルアクリレート、メチルアクリレートおよび２－ヒドロキシエチルアクリレートを重合させることによって得られる共重合体等が挙げられる。また、上述した各モノマーは、２－エチルヘキシルアクリレートを４２～６２重量部、メチルアクリレートを３０～５０重量部、および２－ヒドロキシエチルアクリレートを３～１３重量部とする割合で重合させるのが好ましい。
重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。溶液重合法を採用する場合には、上述したモノマーを溶剤に混合し、４０～９０℃程度で２～１０時間程度攪拌すればよい。
上述したモノマーを重合させることによって得られる重合体、すなわち第１感圧性接着剤の重量平均分子量としては、３０万～７０万であるのが好ましく、４０万～６０万であるのがより好ましい。これにより、テープ１Ａを台座から剥離したときに第１粘着剤層３が台座上に残る、いわゆる糊残りが発生するのを抑制することができる。また、第１粘着剤層３の凝集力が高くなりすぎて第１粘着剤層３の粘着力が低くなるのを抑制することができる。重量平均分子量は、重合体をゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
一方、第１側鎖結晶性ポリマーは、融点を有するポリマーである。融点とは、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整合されていた重合体の特定部分が無秩序状態になる温度であり、示差熱走査熱量計（ＤＳＣ）によって１０℃／分の測定条件で測定して得られる値のことを意味するものとする。第１側鎖結晶性ポリマーの融点は、５５℃以上であり、５５～６５℃であるのが好ましい。
第１側鎖結晶性ポリマーは、上述した融点未満の温度で結晶化し、且つ融点以上の温度では相転位して流動性を示す。すなわち、第１側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こす感温性を有する。これにより、融点未満の温度では、第１側鎖結晶性ポリマーが結晶状態にあることから、第１粘着剤層３は粘着力を確保することができる。また、融点以上の温度では、第１側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって上述した第１感圧性接着剤の粘着性を阻害し、結果として第１粘着剤層３の粘着力を低下させることができる。
上述した融点は、第１側鎖結晶性ポリマーの組成等を変えることによって調整することができる。第１側鎖結晶性ポリマーを構成するモノマーとしては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート、炭素数１～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート、極性モノマー等が挙げられる。
炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばセチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート等の炭素数１６～２２の線状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられ、炭素数１～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられ、極性モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等のカルボキシル基を有するエチレン不飽和単量体；２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有するエチレン不飽和単量体等が挙げられ、これらは１種または２種以上を混合して用いてもよい。
第１側鎖結晶性ポリマーは、上述した各モノマーのうち少なくとも炭素数１６以上、好ましくは炭素数１８以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートを重合させることによって得られる重合体であるのがよい。上述した各モノマーは、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートを７０～１００重量部、炭素数１～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートを０～３０重量部、極性モノマーを１～１０重量部とする割合で重合させるのが好ましい。
第１側鎖結晶性ポリマーの具体的な組成としては、ベヘニルアクリレート、メチルアクリレートおよびアクリル酸を重合させることによって得られる共重合体等が挙げられる。また、上述した各モノマーは、ベヘニルアクリレートを６５～８５重量部、メチルアクリレートを１０～３０重量部、およびアクリル酸を１～１０重量部とする割合で重合させるのが好ましい。
重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。溶液重合法を採用する場合には、上述したモノマーを溶剤に混合し、４０～９０℃程度で２～１０時間程度攪拌すればよい。
第１側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量としては、３，０００～３０，０００であるのが好ましく、５，０００～２０，０００であるのがより好ましく、６，０００～１１，０００であるのがさらに好ましい。これにより、テープ１Ａを台座から剥離したときに糊残りが発生するのを抑制することができる。また、第１側鎖結晶性ポリマーが融点以上の温度で流動性を示したときに、第１粘着剤層３の粘着力を十分に低下させることができる。重量平均分子量は、第１側鎖結晶性ポリマーをＧＰＣによって測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
第１側鎖結晶性ポリマーは、固形分換算で第１感圧性接着剤１００重量部に対して０．５～１０重量部の割合で配合されているのが好ましく、０．５～５重量部の割合で配合されているのがより好ましい。これにより、第１側鎖結晶性ポリマーが融点以上の温度で流動性を示したときに、第１粘着剤層３の粘着力を十分に低下させることができる。
一方、発泡剤（Ａ）としては、一般的な化学発泡剤および物理発泡剤のいずれもが採用可能である。化学発泡剤には、熱分解型および反応型の有機系発泡剤ならびに無機系発泡剤が含まれる。
熱分解型の有機系発泡剤としては、例えば各種のアゾ化合物（アゾジカルボンアミド等）、ニトロソ化合物（Ｎ，Ｎ’－ジニトロソペンタメチレンテトラミン等）、ヒドラジン誘導体［４，４’－オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）等］、セミカルバジド化合物（ヒドラゾジカルボンアミド等）、アジド化合物、テトラゾール化合物等が挙げられ、反応型の有機系発泡剤としては、例えばイソシアネート化合物等が挙げられる。
熱分解型の無機系発泡剤としては、例えば重炭酸塩・炭酸塩（炭酸水素ナトリウム等）、亜硝酸塩・水素化物等が挙げられ、反応型の無機系発泡剤としては、例えば重炭酸ナトリウムと酸との組み合わせ、過酸化水素とイースト菌との組み合わせ、亜鉛粉末と酸との組み合わせ等が挙げられる。
物理発泡剤としては、例えばブタン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ジクロロエタン、ジクロロメタン等の塩化炭素水素類、フロン等のフッ化塩化炭化水素類等の有機系物理発泡剤；空気、炭酸ガス、窒素ガス等の無機系物理発泡剤等が挙げられる。
また、他の発泡剤として、マイクロカプセル化された熱膨張性微粒子である、いわゆるマイクロバルーン発泡剤を採用することができる。マイクロバルーン発泡剤は、熱可塑性または熱硬化性樹脂によって構成されているポリマー殻の内部に、固体、液体または気体からなる加熱膨張性物質を封入したものである。言い換えれば、マイクロバルーン発泡剤は、マイクロオーダーの平均粒径を有する中空状のポリマー殻と、ポリマー殻の内部に封入されている加熱膨張性物質と、を備えるものである。マイクロバルーン発泡剤は加熱によって体積が４０倍以上に膨張し、独立気泡形式の発泡体が得られる。したがって、マイクロバルーン発泡剤は、通常の発泡剤に比べて、発泡倍率がかなり大きくなるという特性を有する。このようなマイクロバルーン発泡剤は、市販のものを用いることができ、例えばＥＸＰＡＮＣＥＬ社製の「４６１ＤＵ２０」、「５５１ＤＵ４０」等が好適である。
発泡剤（Ａ）は、固形分換算で第１感圧性接着剤１００重量部に対して１０～５０重量部の割合で配合されているのが好ましく、１０～４０重量部の割合で配合されているのがより好ましい。これにより、発泡剤（Ａ）が膨脹ないし発泡したときに、第１粘着剤層３の粘着力を十分に低下させることができる。
発泡剤（Ａ）が膨脹ないし発泡する温度は、通常、第１側鎖結晶性ポリマーの融点よりも高い温度である。また、発泡剤（Ａ）が膨脹ないし発泡する温度としては、通常、１８０℃以下であり、９０℃で膨脹ないし発泡を開始して１２０℃で実質的に完全に発泡するのが好ましい。
発泡剤（Ａ）の平均粒径としては、５～５０μｍであるのが好ましく、５～２０μｍであるのがより好ましい。平均粒径は、粒度分布測定装置で測定して得られる値である。
このような発泡剤（Ａ）とともに、上述した第１感圧性接着剤および第１側鎖結晶性ポリマーを含有する第１粘着剤層３を基材２の片面２１に積層するには、例えば第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ａ）を溶剤に加えた塗布液を、コーター等によって基材２の片面２１に塗布して乾燥させればよい。コーターとしては、例えばナイフコーター、ロールコーター、カレンダーコーター、コンマコーター、グラビアコーター、ロッドコーター等が挙げられる。
第１粘着剤層３の厚さとしては、１０～５０μｍであるのが好ましく、１５～４５μｍであるのがより好ましい。
なお、第１粘着剤層３には、例えば架橋剤、粘着付与剤、可塑剤、老化防止剤、紫外線吸収剤等の各種の添加剤を添加することができ、例示した添加剤のうち架橋剤を添加するのが好ましい。架橋剤としては、例えばイソシアネート化合物等が挙げられる。架橋剤は、固形分換算で第１感圧性接着剤１００重量部に対して０．１～１０重量部の割合で添加するのが好ましく、０．１～５重量部の割合で添加するのがより好ましく、０．３～３重量部の割合で添加するのがさらに好ましい。
上述した第１粘着剤層３における第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマー、発泡剤（Ａ）および架橋剤の特に好ましい配合としては、これらが重量比で、第１感圧性接着剤：第１側鎖結晶性ポリマー：発泡剤（Ａ）：架橋剤＝１００：０．５～３：１０～４０：０．５～３になる比率が挙げられる。
（第２粘着剤層）
上述した基材２の他面２２に積層されている第２粘着剤層４は、被着体が被加工物であり、第２感圧性接着剤および第２側鎖結晶性ポリマーを含有し、第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する感温性粘着剤層である。
上述した基材２の他面２２に積層されている第２粘着剤層４は、被着体が被加工物であり、第２感圧性接着剤および第２側鎖結晶性ポリマーを含有し、第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する感温性粘着剤層である。
第２感圧性接着剤の重量平均分子量としては、３０万～７０万であるのが好ましく、４０万～６０万であるのがより好ましい。なお、第２感圧性接着剤の重量平均分子量は、上述した第１感圧性接着剤の重量平均分子量よりも大きくてもよい。これにより、第２粘着剤層４の凝集力が第１粘着剤層３の凝集力よりも向上することから、被加工物を保持する保持力が向上し、結果として被加工物をテープ１Ａとともに台座から剥離するときに、被加工物がテープ１Ａから脱落するのを抑制することができる。
第２感圧性接着剤の組成等は、上述した第１感圧性接着剤と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
第２感圧性接着剤のその他の構成は、上述した第１感圧性接着剤と同様であるので、説明を省略する。
第２感圧性接着剤のその他の構成は、上述した第１感圧性接着剤と同様であるので、説明を省略する。
一方、第２側鎖結晶性ポリマーは、上述した第１側鎖結晶性ポリマーと同様に、その融点が５５℃以上である。すなわち、本実施形態では、第１側鎖結晶性ポリマーの融点および第２側鎖結晶性ポリマーの融点がいずれも、５５℃以上である。これにより、例えば被加工物を研磨時発熱温度２３℃以上５５℃未満で研磨加工し、テープ１Ａの温度が５０℃以上になったとしても、第１，第２側鎖結晶性ポリマーはいずれも結晶状態を維持できることから、第１，第２粘着剤層３，４の粘着力を確保することができ、結果として研磨不良等の加工不良の発生を抑制することができる。
第２側鎖結晶性ポリマーの好ましい融点としては、５５～６５℃である。第２側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は、３，０００～３０，０００であるのが好ましく、５，０００～２０，０００であるのがより好ましく、６，０００～１１，０００であるのがさらに好ましい。第２側鎖結晶性ポリマーは、固形分換算で第２感圧性接着剤１００重量部に対して０．５～１０重量部の割合で配合されているのが好ましく、０．５～５重量部の割合で配合されているのがより好ましい。
第２側鎖結晶性ポリマーの融点、組成、重量平均分子量、配合量等は、上述した第１側鎖結晶性ポリマーと同じであってもよいし、異なっていてもよい。
第２側鎖結晶性ポリマーのその他の構成は、上述した第１側鎖結晶性ポリマーと同様であるので、説明を省略する。
第２側鎖結晶性ポリマーのその他の構成は、上述した第１側鎖結晶性ポリマーと同様であるので、説明を省略する。
上述した第２感圧性接着剤および第２側鎖結晶性ポリマーを含有する第２粘着剤層４は、その厚さが、上述した第１粘着剤層３の厚さよりも小さいのが好ましい。言い換えれば、第１粘着剤層３の厚さが、第２粘着剤層４の厚さよりも大きいのが好ましい。本実施形態では、第１粘着剤層３の厚さが、第２粘着剤層４の厚さよりも大きく構成されている。このような構成によれば、テープ１Ａを介して被加工物を台座に押し付けたとき、台座に貼着する厚肉の第１粘着剤層３が台座の表面形状に沿って拡がり、接触面積が大きくなることから、被加工物の仮固定状態を安定させることができる。また、被加工物に貼着する薄肉の第２粘着剤層４が、テープ１Ａの外周部からはみ出し難くなることから、はみ出した余分な第２粘着剤層４によって被加工物が汚染されるのを抑制することができる。
第２粘着剤層４の厚さとしては、５～４０μｍであるのが好ましく、この数値範囲内で、第１粘着剤層３の厚さを、第２粘着剤層４の厚さよりも大きくするのが好ましい。
なお、第２粘着剤層４には、第１粘着剤層３と同様に、架橋剤を添加するのが好ましい。架橋剤は、固形分換算で第２感圧性接着剤１００重量部に対して０．１～１０重量部の割合で添加するのが好ましく、０．１～５重量部の割合で添加するのがより好ましく、０．３～３重量部の割合で添加するのがさらに好ましい。
上述した第２粘着剤層４における第２感圧性接着剤、第２側鎖結晶性ポリマーおよび架橋剤の特に好ましい配合としては、これらが重量比で、第２感圧性接着剤：第２側鎖結晶性ポリマー：架橋剤＝１００：０．５～３：０．５～３になる比率が挙げられる。
第２粘着剤層４のその他の構成は、上述した第１粘着剤層３と同様であるので、説明を省略する。
第２粘着剤層４のその他の構成は、上述した第１粘着剤層３と同様であるので、説明を省略する。
上述した本実施形態のテープ１Ａは、第１粘着剤層３の表面３１に積層されている第１セパレーターＳ１、および第２粘着剤層４の表面４１に積層されている第２セパレーターＳ２をさらに備えている。これにより、第１粘着剤層３の表面３１および第２粘着剤層４の表面４１をそれぞれ保護することができる。
第１セパレーターＳ１および第２セパレーターＳ２としては、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート等からなるフィルムの表面に、シリコーン、フッ素等の離型剤を塗布したものが挙げられる。また、第１セパレーターＳ１および第２セパレーターＳ２のそれぞれの厚さとしては、１０～１１０μｍであるのが好ましい。
第１セパレーターＳ１および第２セパレーターＳ２は、互いの組成、厚さ等が同じであってもよいし、異なっていてもよい。本実施形態では、第１セパレーターＳ１はポリエチレンフィルムの表面にシリコーンを塗布したものであり、第２セパレーターＳ２はポリエチレンテレフタレートフィルムの表面にシリコーンを塗布したものである。また、本実施形態では、第１セパレーターＳ１の厚さが、第２セパレーターＳ２の厚さよりも大きい。
本実施形態のテープ１Ａは、第１粘着剤層３の２３℃におけるポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度が２～２０Ｎ／２５ｍｍであるのが好ましく、１０～２０Ｎ／２５ｍｍであるのがより好ましい。これにより、台座に対する固定力を得ることができる。第１粘着剤層３の２３℃の雰囲気温度におけるポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度は、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定して得られる値である。
また、本実施形態のテープ１Ａは、第２粘着剤層４の２３℃におけるサファイアガラスに対する１８０°剥離強度が１～１３Ｎ／２５ｍｍであるのが好ましく、１～５Ｎ／２５ｍｍであるのがより好ましい。これにより、サファイアガラス等の被加工物に対する固定力を得ることができる。第２粘着剤層４の２３℃の雰囲気温度におけるサファイアガラスに対する１８０°剥離強度は、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定して得られる値である。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るテープについて、図２を参照して詳細に説明する。なお、図２においては、上述した図１と同一の構成部分には同一の符号を付して説明は省略する場合がある。
次に、本発明の第２実施形態に係るテープについて、図２を参照して詳細に説明する。なお、図２においては、上述した図１と同一の構成部分には同一の符号を付して説明は省略する場合がある。
図２に示すように、本実施形態のテープ１Ｂは、基材２と、基材２の片面２１に積層されている第３粘着剤層５と、基材２の他面２２に積層されている第４粘着剤層６と、を備えている。本実施形態のテープ１Ｂでは、第３，第４粘着剤層５，６がいずれも、発泡剤を含有している。
具体的に説明すると、第３粘着剤層５は、被着体が台座であり、第３感圧性接着剤、第３側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｂ）を含有するとともに、第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する。また、第４粘着剤層６は、被着体が被加工物であり、第４感圧性接着剤、第４側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｃ）を含有するとともに、第４側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する。そして、本実施形態のテープ１Ｂでは、第３側鎖結晶性ポリマーの融点および第４側鎖結晶性ポリマーの融点がいずれも、５５℃以上である。このような構成によっても、テープ１Ｂは、上述した第１実施形態に係るテープ１Ａと同様の効果を奏する。
第４粘着剤層６の厚さとしては、１０～５０μｍであるのが好ましく、１５～４５μｍであるのがより好ましい。また、発泡剤（Ｃ）の平均粒径としては、５～５０μｍであるのが好ましく、５～２０μｍであるのがより好ましい。
なお、第３感圧性接着剤および第４感圧性接着剤は、互いの組成等が同じであってもよいし、異なっていてもよい。同様に、第３側鎖結晶性ポリマーおよび第４側鎖結晶性ポリマーは、互いの融点、組成、重量平均分子量、配合量等が同じであってもよいし、異なっていてもよい。発泡剤（Ｂ）および発泡剤（Ｃ）は、互いの組成、平均粒径、配合量等が同じであってもよいし、異なっていてもよい。
また、本実施形態のテープ１Ｂは、第３粘着剤層５の表面５１に積層されている第３セパレーターＳ３、および第４粘着剤層６の表面６１に積層されている第４セパレーターＳ４をさらに備えている。
その他の構成は、上述した第１実施形態に係るテープ１Ａと同様であるので、説明を省略する。
その他の構成は、上述した第１実施形態に係るテープ１Ａと同様であるので、説明を省略する。
＜仮固定用粘着シート＞
次に、本発明の一実施形態に係る仮固定用粘着シート（以下、「シート」と言うことがある。）について、図３を参照して詳細に説明する。
次に、本発明の一実施形態に係る仮固定用粘着シート（以下、「シート」と言うことがある。）について、図３を参照して詳細に説明する。
図３に示すように、本実施形態のシート１０は、基材レスの粘着シートである。シートとは、シート状のみに限定されるものではなく、本実施形態の効果を損なわない限りにおいて、シート状ないしフィルム状をも含む概念である。
本実施形態のシート１０は、第５感圧性接着剤、第５側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｄ）を含有するとともに、第５側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下する。そして、本実施形態のシート１０は、第５側鎖結晶性ポリマーの融点が５５℃以上である。このような構成によっても、シート１０は、上述した第１，第２実施形態に係るテープ１Ａ，１Ｂと同様の効果を奏する。
シート１０の厚さとしては、１０～５０μｍであるのが好ましく、１５～４５μｍであるのがより好ましい。また、発泡剤（Ｄ）の平均粒径としては、５～５０μｍであるのが好ましく、５～２０μｍであるのがより好ましい。
また、本実施形態のシート１０は、シート１０の片面１１に積層されている第５セパレーターＳ５、および他面１２に積層されている第６セパレーターＳ６を備えている。
その他の構成は、上述した第１，第２実施形態に係るテープ１Ａ，１Ｂと同様であるので、説明を省略する。
その他の構成は、上述した第１，第２実施形態に係るテープ１Ａ，１Ｂと同様であるので、説明を省略する。
＜被加工物の仮固定方法＞
（第１実施形態）
次に、本発明の第１実施形態に係る被加工物の仮固定方法について、図４を参照して詳細に説明する。
（第１実施形態）
次に、本発明の第１実施形態に係る被加工物の仮固定方法について、図４を参照して詳細に説明する。
本実施形態では、まず、図４（ａ）に示すように、テープ１Ａを介して台座１００上に被加工物２００を仮固定する。被加工物２００としては、所望のものを採用することができ、特に限定されないが、ＬＥＤ基板の素材であるサファイアガラス、パワーデバイス基板の素材である炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）等が好適である。例示したサファイアガラス、炭化珪素および窒化ガリウムは、難研磨基板材料である。本実施形態の被加工物２００は、サファイアガラスである。また、台座１００としては、例えばセラミック製のものが挙げられる。
次に、被加工物２００を加工する。本実施形態では、被加工物２００を加工する工程が、図４（ａ），（ｂ）に示すように、被加工物２００を所定の厚さまで研磨加工する工程である。ここで、本実施形態では、被加工物２００を研磨加工するとき、テープ１Ａの温度が５０℃以上になる。また、本実施形態では、被加工物２００を研磨時発熱温度２３℃以上５５℃未満で研磨加工する。本実施形態では、上述のとおり、第１，第２側鎖結晶性ポリマーの融点がいずれも５５℃以上であることから、テープ１Ａの温度が５０℃以上になったとしても、第１，第２側鎖結晶性ポリマーはいずれも結晶状態を維持することができ、それゆえ第１，第２粘着剤層３，４の粘着力を確保することができ、結果として研磨不良の発生を抑制することができる。なお、研磨加工するときのテープ１Ａの温度の上限値は、第１，第２側鎖結晶性ポリマーのそれぞれの融点未満の温度である。具体例を挙げると、第１，第２側鎖結晶性ポリマーのそれぞれの融点が５５℃であるとき、テープ１Ａの温度の上限値は、５５℃未満である。
被加工物２００を研磨加工した後、テープ１Ａを、上述した第１側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ａ）が膨張ないし発泡する温度に加熱する。これにより、第１側鎖結晶性ポリマーが融点以上の温度で流動性を示し、さらに発泡剤（Ａ）が膨脹ないし発泡することから、第１粘着剤層３の粘着力を十分に低下させることができる。その結果、図４（ｃ）に示すように、加工した被加工物２００をテープ１Ａとともに台座１００から矢印Ａ方向へスムーズに剥離することができ、それゆえ剥離の際に外力が加わることによって被加工物２００が破損して歩留りが低下するのを抑制することができる。テープ１Ａを加熱する加熱手段としては、例えばヒータ等が挙げられる。
なお、第１粘着剤層３の粘着力の低下に伴って、第２粘着剤層４においても、通常、含有している第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度になって粘着力が低下するが、その粘着力は完全には消失しないことから、大きな外力が加わらない限り被加工物２００を第２粘着剤層４によって固定し続けることができる。
被加工物２００をテープ１Ａとともに台座１００から剥離した後、テープ１Ａを、第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱して第２粘着剤層４の粘着力を低下させ、図４（ｄ）に示すように、被加工物２００をテープ１Ａから矢印Ｂ方向へ剥離する。このとき、テープ１Ａによれば被加工物２００に糊残りが発生し難いことから、洗浄工程を簡易化または省略することができる。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る被加工物の仮固定方法について説明する。本実施形態に係る被加工物の仮固定方法は、テープ１Ｂを介して台座上に被加工物を仮固定して被加工物を加工する工程と、テープ１Ｂを、第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ｂ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した被加工物をテープ１Ｂとともに台座から剥離する工程と、テープ１Ｂを、第４側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ｃ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した被加工物をテープ１Ｂから剥離する工程と、を備える。
次に、本発明の第２実施形態に係る被加工物の仮固定方法について説明する。本実施形態に係る被加工物の仮固定方法は、テープ１Ｂを介して台座上に被加工物を仮固定して被加工物を加工する工程と、テープ１Ｂを、第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ｂ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した被加工物をテープ１Ｂとともに台座から剥離する工程と、テープ１Ｂを、第４側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ｃ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した被加工物をテープ１Ｂから剥離する工程と、を備える。
なお、上述した工程のうち、加工した被加工物をテープ１Ｂとともに台座から剥離する工程と、加工した被加工物をテープ１Ｂから剥離する工程とを、同時に行ってもよい。
その他の構成は、上述した第１実施形態に係る被加工物の仮固定方法と同様であるので、説明を省略する。
その他の構成は、上述した第１実施形態に係る被加工物の仮固定方法と同様であるので、説明を省略する。
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る被加工物の仮固定方法について説明する。本実施形態に係る被加工物の仮固定方法は、シート１０を介して台座上に被加工物を仮固定して被加工物を加工する工程と、シート１０を、第５側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ｄ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した被加工物をシート１０から剥離する工程と、を備える。
その他の構成は、上述した第１，第２実施形態に係る被加工物の仮固定方法と同様であるので、説明を省略する。
次に、本発明の第３実施形態に係る被加工物の仮固定方法について説明する。本実施形態に係る被加工物の仮固定方法は、シート１０を介して台座上に被加工物を仮固定して被加工物を加工する工程と、シート１０を、第５側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ｄ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した被加工物をシート１０から剥離する工程と、を備える。
その他の構成は、上述した第１，第２実施形態に係る被加工物の仮固定方法と同様であるので、説明を省略する。
以下、合成例および実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の合成例および実施例のみに限定されるものではない。なお、以下の説明で「部」は重量部を意味する。
（合成例１：感圧性接着剤）
２－エチルヘキシルアクリレートを５２部、メチルアクリレートを４０部、２－ヒドロキシエチルアクリレートを８部、および重合開始剤としてパーブチルＮＤ（日油社製）を０．２部の割合で、それぞれ酢酸エチル：ヘプタン＝７：３（重量比）の混合溶剤２００部に加え、５５℃で５時間攪拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は４５万であった。
２－エチルヘキシルアクリレートを５２部、メチルアクリレートを４０部、２－ヒドロキシエチルアクリレートを８部、および重合開始剤としてパーブチルＮＤ（日油社製）を０．２部の割合で、それぞれ酢酸エチル：ヘプタン＝７：３（重量比）の混合溶剤２００部に加え、５５℃で５時間攪拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は４５万であった。
（合成例２：感圧性接着剤）
攪拌時の温度を５５℃に代えて６０℃にし、パーブチルＮＤ（日油社製）を０．２部に代えて０．３部にし、溶剤を混合溶剤に代えてトルエンにした以外は、合成例１と同様にして、２－エチルヘキシルアクリレート、メチルアクリレートおよび２－ヒドロキシエチルアクリレートを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は２５万であった。
攪拌時の温度を５５℃に代えて６０℃にし、パーブチルＮＤ（日油社製）を０．２部に代えて０．３部にし、溶剤を混合溶剤に代えてトルエンにした以外は、合成例１と同様にして、２－エチルヘキシルアクリレート、メチルアクリレートおよび２－ヒドロキシエチルアクリレートを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は２５万であった。
（合成例３：側鎖結晶性ポリマー）
ベヘニルアクリレートを７５部、メチルアクリレートを２０部、アクリル酸を５部、連鎖移動剤としてドデシルメルカプタンを６部、および重合開始剤としてパーヘキシルＰＶ（日油社製）を１．０部の割合で、それぞれトルエン１００部に加え、８０℃で５時間攪拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は８，０００、融点は６０℃であった。
ベヘニルアクリレートを７５部、メチルアクリレートを２０部、アクリル酸を５部、連鎖移動剤としてドデシルメルカプタンを６部、および重合開始剤としてパーヘキシルＰＶ（日油社製）を１．０部の割合で、それぞれトルエン１００部に加え、８０℃で５時間攪拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は８，０００、融点は６０℃であった。
（比較合成例：側鎖結晶性ポリマー）
ベヘニルアクリレートを４０部、ステアリルアクリレートを３５部、メチルアクリレートを２０部、アクリル酸を５部、連鎖移動剤としてドデシルメルカプタンを６部、および重合開始剤としてパーヘキシルＰＶ（日油社製）を１．０部の割合で、それぞれトルエン１００部に加え、８０℃で５時間攪拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は８，０００、融点は５０℃であった。
ベヘニルアクリレートを４０部、ステアリルアクリレートを３５部、メチルアクリレートを２０部、アクリル酸を５部、連鎖移動剤としてドデシルメルカプタンを６部、および重合開始剤としてパーヘキシルＰＶ（日油社製）を１．０部の割合で、それぞれトルエン１００部に加え、８０℃で５時間攪拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の重量平均分子量は８，０００、融点は５０℃であった。
合成例１～３および比較合成例の各共重合体を表１に示す。なお、重量平均分子量は、共重合体をＧＰＣで測定し、得られた測定値をポリスチレン換算することによって得た。融点は、共重合体をＤＳＣで１０℃／分の測定条件で測定することによって得た。
［実施例１～３および比較例１～２］
＜両面粘着テープおよび粘着シートの作製＞
まず、合成例１～３および比較合成例で得た各共重合体、発泡剤および架橋剤を表２に示す組み合わせで混合して混合物を得た。表２中、比率は、固形分換算した重量比を示す。
＜両面粘着テープおよび粘着シートの作製＞
まず、合成例１～３および比較合成例で得た各共重合体、発泡剤および架橋剤を表２に示す組み合わせで混合して混合物を得た。表２中、比率は、固形分換算した重量比を示す。
合成例１～２で得た各共重合体と、表２中の第１～第５感圧性接着剤との関係は、以下のとおりである。
第１感圧性接着剤（Ａ）：合成例１
第１感圧性接着剤（Ｂ）：合成例２
第２感圧性接着剤 ：合成例１
第３感圧性接着剤 ：合成例１
第４感圧性接着剤 ：合成例１
第５感圧性接着剤 ：合成例１
第１感圧性接着剤（Ａ）：合成例１
第１感圧性接着剤（Ｂ）：合成例２
第２感圧性接着剤 ：合成例１
第３感圧性接着剤 ：合成例１
第４感圧性接着剤 ：合成例１
第５感圧性接着剤 ：合成例１
合成例３および比較合成例で得た各共重合体と、表２中の第１～第５側鎖結晶性ポリマーとの関係は、以下のとおりである。
第１側鎖結晶性ポリマー（Ａ）：合成例３
第１側鎖結晶性ポリマー（Ｂ）：比較合成例
第２側鎖結晶性ポリマー（Ａ）：合成例３
第２側鎖結晶性ポリマー（Ｂ）：比較合成例
第３側鎖結晶性ポリマー ：合成例３
第４側鎖結晶性ポリマー ：合成例３
第５側鎖結晶性ポリマー ：合成例３
第１側鎖結晶性ポリマー（Ａ）：合成例３
第１側鎖結晶性ポリマー（Ｂ）：比較合成例
第２側鎖結晶性ポリマー（Ａ）：合成例３
第２側鎖結晶性ポリマー（Ｂ）：比較合成例
第３側鎖結晶性ポリマー ：合成例３
第４側鎖結晶性ポリマー ：合成例３
第５側鎖結晶性ポリマー ：合成例３
使用した発泡剤および架橋剤は、以下のとおりである。
発泡剤（Ａ）：平均粒径が６～９μｍであり、発泡開始温度が９０℃以上であるＥＸＰＡＮＣＥＬ社製のマイクロバルーン発泡剤「４６１ＤＵ２０」
発泡剤（Ｂ）～（Ｄ）：平均粒径が１０～１６μｍであり、発泡開始温度が９０℃以上であるＥＸＰＡＮＣＥＬ社製のマイクロバルーン発泡剤「５５１ＤＵ４０」
架橋剤：日本ポリウレタン工業社製のイソシアネート化合物「コロネートＬ－４５Ｅ」
発泡剤（Ａ）：平均粒径が６～９μｍであり、発泡開始温度が９０℃以上であるＥＸＰＡＮＣＥＬ社製のマイクロバルーン発泡剤「４６１ＤＵ２０」
発泡剤（Ｂ）～（Ｄ）：平均粒径が１０～１６μｍであり、発泡開始温度が９０℃以上であるＥＸＰＡＮＣＥＬ社製のマイクロバルーン発泡剤「５５１ＤＵ４０」
架橋剤：日本ポリウレタン工業社製のイソシアネート化合物「コロネートＬ－４５Ｅ」
次に、得られた混合物を酢酸エチルによって固形分が３０重量％となるように調整し、塗布液を得た。そして、実施例１～２および比較例１～２については、得られた塗布液をポリエチレンテレフタレートからなる厚さ１００μｍのフィルム状の基材に塗布して乾燥させ、両面粘着テープを得た。実施例３については、得られた塗布液を離型フィルム上に塗布して乾燥させ、基材レスの粘着シートを得た。なお、離型フィルムは、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面にシリコーンを塗布した厚さ５０μｍのものを用いた。乾燥は、ヒータを使用して第１～第４粘着剤層毎に行った。第１～第４粘着剤層および粘着シートの乾燥条件は、以下のとおりである。
第１，第３～第４粘着剤層，粘着シート：８０℃×１０分
第２粘着剤層：１００℃×１０分
第１，第３～第４粘着剤層，粘着シート：８０℃×１０分
第２粘着剤層：１００℃×１０分
得られた両面粘着テープにおける第１～第４粘着剤層のそれぞれの厚さ、および粘着シートの厚さは、以下のとおりである。
第１粘着剤層の厚さ：２０μｍ
第２粘着剤層の厚さ：１０μｍ
第３粘着剤層の厚さ：４０μｍ
第４粘着剤層の厚さ：４０μｍ
粘着シートの厚さ ：４０μｍ
第１粘着剤層の厚さ：２０μｍ
第２粘着剤層の厚さ：１０μｍ
第３粘着剤層の厚さ：４０μｍ
第４粘着剤層の厚さ：４０μｍ
粘着シートの厚さ ：４０μｍ
＜評価＞
得られた両面粘着テープおよび粘着シートについて、１８０°剥離強度、発泡剥離性、糊残り性および研磨性を評価した。各評価方法を以下に示すとともに、その結果を表２に示す。
得られた両面粘着テープおよび粘着シートについて、１８０°剥離強度、発泡剥離性、糊残り性および研磨性を評価した。各評価方法を以下に示すとともに、その結果を表２に示す。
（１８０°剥離強度）
まず、２３℃の雰囲気温度において、第１，第３粘着剤層を上側にし、第２，第４粘着剤層を市販両面テープを介してステンレス鋼板に固定した。次に、第１，第３粘着剤層に厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを貼着した。そして、ロードセルを用いて３００ｍｍ／分の速度でポリエチレンテレフタレートフィルムを第１，第３粘着剤層から１８０°剥離した。このときの１８０°剥離強度をＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定し、第１，第３粘着剤層の２３℃の雰囲気温度におけるポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度を評価した。
まず、２３℃の雰囲気温度において、第１，第３粘着剤層を上側にし、第２，第４粘着剤層を市販両面テープを介してステンレス鋼板に固定した。次に、第１，第３粘着剤層に厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを貼着した。そして、ロードセルを用いて３００ｍｍ／分の速度でポリエチレンテレフタレートフィルムを第１，第３粘着剤層から１８０°剥離した。このときの１８０°剥離強度をＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定し、第１，第３粘着剤層の２３℃の雰囲気温度におけるポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度を評価した。
粘着シートの２３℃の雰囲気温度におけるポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度は、次のようにして評価した。まず、２３℃の雰囲気温度において、粘着シートの両面のうち任意に選択した一方の面のセパレーターを取り外し、露出した一方の面に厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを貼着した。次に、他方の面のセパレーターを上側にし、一方の面に貼着させたポリエチレンテレフタレートフィルムを市販両面テープを介してステンレス鋼板に固定した。次に、他方の面のセパレーターを取り外し、露出した他方の面に厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを貼着した。そして、ロードセルを用いて３００ｍｍ／分の速度でポリエチレンテレフタレートフィルムを他方の面から１８０°剥離した。これらの結果を、表２中の「１８０°剥離強度」における「ＰＥＴ」の欄に示す。
サファイアガラスに対する１８０°剥離強度は、次のようにして評価した。まず、２３℃の雰囲気温度において、粘着剤層を介して両面粘着テープをサファイアガラスに貼着した。次に、ロードセルを用いて３００ｍｍ／分の速度で両面粘着テープをサファイアガラスから１８０°剥離した。雰囲気温度５０℃および６０℃においても、同様に１８０°剥離強度を測定した。粘着シートについては、上述したポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度と同様にして一方の面にポリエチレンテレフタレートフィルムを貼着した後、他方の面のセパレーターを取り外し、露出した他方の面をサファイアガラスに貼着した以外は、両面粘着テープと同様にして１８０°剥離強度を測定した。これらの結果を、表２中の「１８０°剥離強度」における「サファイアガラス」の欄に示す。
（発泡剥離性）
まず、２３℃の雰囲気温度において、第１，第３粘着剤層を介して両面粘着テープをセラミック板に貼着した。次に、第１，第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ａ），（Ｂ）が膨張ないし発泡する温度である１３０℃にまで雰囲気温度を昇温した。このとき、両面粘着テープがセラミック板からテープの自重のみによって剥離するか否かを目視観察した。また、粘着シートの両面のうち任意に選択した一方の面を介して粘着シートをセラミック板に貼着した以外は、両面粘着テープと同様にして、粘着シートの発泡剥離性を評価した。なお、評価基準は、以下のように設定した。
○：剥離した。
×：剥離しなかった。
まず、２３℃の雰囲気温度において、第１，第３粘着剤層を介して両面粘着テープをセラミック板に貼着した。次に、第１，第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ発泡剤（Ａ），（Ｂ）が膨張ないし発泡する温度である１３０℃にまで雰囲気温度を昇温した。このとき、両面粘着テープがセラミック板からテープの自重のみによって剥離するか否かを目視観察した。また、粘着シートの両面のうち任意に選択した一方の面を介して粘着シートをセラミック板に貼着した以外は、両面粘着テープと同様にして、粘着シートの発泡剥離性を評価した。なお、評価基準は、以下のように設定した。
○：剥離した。
×：剥離しなかった。
（糊残り性）
まず、２３℃の雰囲気温度において、両面粘着テープの各面および粘着シートをサファイアガラスに貼着した。次に、第１，第３粘着剤層および粘着シートについては雰囲気温度１３０℃で両面粘着テープおよび粘着シートを発泡剥離した。また、第２粘着剤層については雰囲気温度６０℃で両面粘着テープを剥離した。そして、剥離後のサファイアガラスの表面を目視観察することによって、糊残り性（残渣）を評価した。なお、評価基準は、以下のように設定した。
○：サファイアガラスに若干の糊残り（残渣）が観察されたが、実使用上は問題のない範囲であった。
×：サファイアガラスに糊残り（残渣）が観察された。
まず、２３℃の雰囲気温度において、両面粘着テープの各面および粘着シートをサファイアガラスに貼着した。次に、第１，第３粘着剤層および粘着シートについては雰囲気温度１３０℃で両面粘着テープおよび粘着シートを発泡剥離した。また、第２粘着剤層については雰囲気温度６０℃で両面粘着テープを剥離した。そして、剥離後のサファイアガラスの表面を目視観察することによって、糊残り性（残渣）を評価した。なお、評価基準は、以下のように設定した。
○：サファイアガラスに若干の糊残り（残渣）が観察されたが、実使用上は問題のない範囲であった。
×：サファイアガラスに糊残り（残渣）が観察された。
（研磨性）
まず、２３℃の雰囲気温度において、第１，第３粘着剤層を介して両面粘着テープを研磨機の定盤に貼着した。次に、第２，第４粘着剤層を介して厚さ６３５μｍのサファイアガラスからなる板状の被加工物を両面粘着テープに貼着した。そして、研磨条件を以下のように２種類設定した。
［低温研磨］
研磨機：定盤サイズ３６インチ
研磨圧力：１７０ｋｇｆ／軸
定盤回転数：４５ｒｐｍ
スラリー：コロイダルシリカ
研磨布：不織布タイプ
雰囲気温度：２３℃
研磨時発熱温度範囲：２３～４５℃
［高温研磨］
研磨機：定盤サイズ３６インチ
研磨圧力：２１０ｋｇｆ／軸
定盤回転数：６０ｒｐｍ
スラリー：コロイダルシリカ
研磨布：不織布タイプ
雰囲気温度：２３℃
研磨時発熱温度範囲：２３℃以上５５℃未満
まず、２３℃の雰囲気温度において、第１，第３粘着剤層を介して両面粘着テープを研磨機の定盤に貼着した。次に、第２，第４粘着剤層を介して厚さ６３５μｍのサファイアガラスからなる板状の被加工物を両面粘着テープに貼着した。そして、研磨条件を以下のように２種類設定した。
［低温研磨］
研磨機：定盤サイズ３６インチ
研磨圧力：１７０ｋｇｆ／軸
定盤回転数：４５ｒｐｍ
スラリー：コロイダルシリカ
研磨布：不織布タイプ
雰囲気温度：２３℃
研磨時発熱温度範囲：２３～４５℃
［高温研磨］
研磨機：定盤サイズ３６インチ
研磨圧力：２１０ｋｇｆ／軸
定盤回転数：６０ｒｐｍ
スラリー：コロイダルシリカ
研磨布：不織布タイプ
雰囲気温度：２３℃
研磨時発熱温度範囲：２３℃以上５５℃未満
上述の各研磨条件で、被加工物を厚さ６２０μｍにまで研磨した。このとき、両面の粘着剤層にズレ、剥がれが生じたか否かを目視観察することによって研磨性を評価した。なお、目視観察は、研磨中ないし研磨後に行った。また、評価基準は、以下のように設定した。
○：両面の粘着剤層のいずれにもズレまたは剥がれが生じなかった。
×：両面の粘着剤層のうち少なくとも一方にズレまたは剥がれが生じた。
○：両面の粘着剤層のいずれにもズレまたは剥がれが生じなかった。
×：両面の粘着剤層のうち少なくとも一方にズレまたは剥がれが生じた。
また、評価基準を以下のように設定した以外は、両面粘着テープと同様にして、粘着シートの研磨性を評価した。
○：粘着シートにズレまたは剥がれが生じなかった。
×：粘着シートにズレまたは剥がれが生じた。
○：粘着シートにズレまたは剥がれが生じなかった。
×：粘着シートにズレまたは剥がれが生じた。
表２から明らかなように、実施例１～３はいずれも、各評価において良好な結果を示しているのがわかる。これに対し、第１，第２側鎖結晶性ポリマーの融点がいずれも５５℃未満である比較例１，２は、高温研磨において、劣る結果を示した。
Claims (15)
- フィルム状の基材と、
前記基材の片面に積層されており台座に貼着する第１粘着剤層と、
前記基材の他面に積層されており被加工物に貼着する第２粘着剤層と、を備え、
前記第１粘着剤層は、第１感圧性接着剤、第１側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ａ）を含有するとともに、前記第１側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、
前記第２粘着剤層は、第２感圧性接着剤および第２側鎖結晶性ポリマーを含有するとともに、前記第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、
前記第１側鎖結晶性ポリマーの前記融点および前記第２側鎖結晶性ポリマーの前記融点がいずれも、５５℃以上である、仮固定用両面粘着テープ。 - 前記第１粘着剤層の厚さが、前記第２粘着剤層の厚さよりも大きい、請求項１に記載の仮固定用両面粘着テープ。
- 前記第１感圧性接着剤および前記第２感圧性接着剤が、２－エチルヘキシルアクリレート、メチルアクリレートおよび２－ヒドロキシエチルアクリレートを重合させることによって得られる共重合体である、請求項１または２に記載の仮固定用両面粘着テープ。
- 前記第１感圧性接着剤および前記第２感圧性接着剤が、２－エチルヘキシルアクリレート、メチルアクリレートおよび２－ヒドロキシエチルアクリレートを重合させることによって得られるとともに、重量平均分子量が４０万～６０万の共重合体である、請求項１～３のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープ。
- 前記第１側鎖結晶性ポリマーおよび前記第２側鎖結晶性ポリマーが、少なくとも炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートを重合させることによって得られる重合体である、請求項１～４のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープ。
- 前記第１側鎖結晶性ポリマーおよび前記第２側鎖結晶性ポリマーが、ベヘニルアクリレート、メチルアクリレートおよびアクリル酸を重合させることによって得られる共重合体である、請求項１～５のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープ。
- 前記発泡剤（Ａ）が、マイクロオーダーの平均粒径を有する中空状のポリマー殻と、前記ポリマー殻の内部に封入されている加熱膨張性物質と、を備えるマイクロバルーン発泡剤である、請求項１～６のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープ。
- 前記第１粘着剤層は、２３℃の雰囲気温度におけるポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°剥離強度が２～２０Ｎ／２５ｍｍであり、
前記第２粘着剤層は、２３℃の雰囲気温度におけるサファイアガラスに対する１８０°剥離強度が１～１３Ｎ／２５ｍｍである、請求項１～７のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープ。 - 前記第１粘着剤層の表面に積層されている第１セパレーターおよび前記第２粘着剤層の表面に積層されている第２セパレーターをさらに備える、請求項１～８のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープ。
- フィルム状の基材と、
前記基材の片面に積層されており台座に貼着する第３粘着剤層と、
前記基材の他面に積層されており被加工物に貼着する第４粘着剤層と、を備え、
前記第３粘着剤層は、第３感圧性接着剤、第３側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｂ）を含有するとともに、前記第３側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、
前記第４粘着剤層は、第４感圧性接着剤、第４側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｃ）を含有するとともに、前記第４側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、
前記第３側鎖結晶性ポリマーの前記融点および前記第４側鎖結晶性ポリマーの前記融点がいずれも、５５℃以上である、仮固定用両面粘着テープ。 - 第５感圧性接着剤、第５側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤（Ｄ）を含有するとともに、前記第５側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下し、
前記第５側鎖結晶性ポリマーの前記融点が、５５℃以上である、仮固定用粘着シート。 - 請求項１～９のいずれかに記載の仮固定用両面粘着テープを介して台座上に被加工物を仮固定して前記被加工物を加工する工程と、
前記仮固定用両面粘着テープを、前記第１側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり且つ前記発泡剤（Ａ）が膨張ないし発泡する温度に加熱し、加工した前記被加工物を前記仮固定用両面粘着テープとともに前記台座から剥離する工程と、
前記仮固定用両面粘着テープを、前記第２側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱し、前記加工した被加工物を前記仮固定用両面粘着テープから剥離する工程と、
を備える、被加工物の仮固定方法。 - 前記被加工物を加工する工程において、前記仮固定用両面粘着テープの温度が５０℃以上になる、請求項１２に記載の被加工物の仮固定方法。
- 前記被加工物を加工する工程が、前記被加工物を研磨時発熱温度２３℃以上５５℃未満で研磨加工する工程である、請求項１２または１３に記載の被加工物の仮固定方法。
- 前記被加工物が、サファイアガラス、炭化珪素および窒化ガリウムから選ばれる１種である、請求項１２～１４のいずれかに記載の被加工物の仮固定方法。
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