WO2015114093A2

WO2015114093A2 - Beleuchtungseinrichtung insbesondere zur fourier-ptychographie

Info

Publication number: WO2015114093A2
Application number: PCT/EP2015/051924
Authority: WO
Inventors: Lars STOPPE; Christoph HUSEMANN
Original assignee: Carl Zeiss Ag
Priority date: 2014-01-31
Filing date: 2015-01-30
Publication date: 2015-08-06
Also published as: WO2015114093A3; DE102014101219A1

Abstract

Es wird eine Beleuchtungseinrichtung sowie eine Mikroskopvorrichtung für eine derartige Beleuchtungseinrichtung und ein entsprechendes Verfahren bereitgestellt. Mittels einer Auswahleinrichtung (24) kann ein Teil eines Lichtes einer Lichtquelle (20) ausgewählt werden, um ein Objekt (27) aus einer gewünschten Richtung zu beleuchten.

Description

Beschreibung Beleuchtungseinrichtung insbesondere zur Fourier-Ptychographie

Die vorliegende Anmeldung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung, insbesondere zur Fourier- Ptychographie, eine Mikroskopvorrichtung mit einer derartigen Beleuchtungseinrichtung sowie ein entsprechendes Verfahren.

Bei der mikroskopischen Untersuchung von Objekten sind für viele Anwendungen eine möglichst hohe Auflösung bzw. ein hohes Raum-Bandbreite-Produkt und/oder ein hoher Kontrast wünschenswert.

Eine hierzu in neuerer Zeit entwickelte Technik ist die Fourier-Ptychographie, welche in dem Artikel von Guoan Zheng, Roarke Horstmeyer and Changhuei Yang„Wide-field, high-resolution Fourier ptychographic Microscopy", Nature Photonics 2013, detailliert beschrieben ist. Bei diesem Verfahren wird ein zu mikroskopierendes Objekt nacheinander unter verschiedenen Beleuchtungsrichtungen partiell kohärent beleuchtet. Zu jeder Beleuchtungsrichtung wird das so beleuchtete Objekt mit einem Mikroskop abgebildet und aufgenommen und das so

aufgenommene Bild abgespeichert. Auf diese Weise wird ein Stapel von Bildern erhalten, wobei jedem Bild eine andere Beleuchtungsrichtung zugeordnet ist. Mit diesem Stapel an Bildern wird dann mittels eines iterativen Algorithmus, zum Beispiel einem Fehler-Verringerungsalgorithmus, einem Hybrid-Input-Output-Algorithmus, und/oder einem Gerchberg-Saxton-Algorithmus, eine Phasen- und Amplitudenverteilung des Objekts errechnet. Statt dem Objekt selbst wird dabei ein Spektrum des Objekts durch den Algorithmus rekonstruiert, sodass die Phasen- und Amplitudenverteilung des Objekts durch eine weitere Fourier-Transformation erhalten werden kann.

Bei einer in der oben genannten Veröffentlichung verwendeten Vorrichtung zur Fourier- Ptychographie werden die verschiedenen Beleuchtungsrichtungen durch eine matrixförmige Leuchtdiodenanordnung unterhalb des Objekts realisiert, wobei ein Mikroskop das Objekt dann in Transmission abbildet. Der Arbeitsabstand zwischen der Leuchtdiodenanordnung und dem Objekt ist dabei derart gewählt, dass jede einzelne Leuchtdiode einen ausreichend hohen Kohärenzgrad aufweist. Durch das wahlweise sequentielle Anschalten einzelner Leuchtdioden können Bilder mit verschiedenen Beleuchtungsrichtungen aufgenommen werden.

Diese Herangehensweise zur Beleuchtung weist jedoch verschiedene Nachteile auf. So ist die Ausleuchtung verschiedener Beleuchtungsrichtungen nicht homogen, insbesondere wenn sich die Beleuchtungsrichtungen stark unterscheiden. Stark ausgelenkte Beleuchtungsrichtungen durch Leuchtdioden am Rand der Leuchtdiodenanordnung entsprechen einer größeren

Entfernung der Leuchtdiode zum Objekt und führen damit zu einer verminderten Lichtleistung. Zudem sind ein für eine derartige Leuchtdiodenanordnung erforderlicher Bauraum und ein erforderlicher Abstand zwischen der Leuchtdiodenanordnung und dem Objekt relativ groß. Schließlich lässt sich eine derartige Beleuchtungstechnik nicht auf einfache Weise in bestehende Beleuchtungskonzepte klassischer Mikroskope integrieren. Insbesondere kann sie nicht als Zusatzmodul eingesetzt werden, mit dem zwischen herkömmlicher inkohärenter Beleuchtung und kohärenter Beleuchtung aus verschiedenen Richtungen umgeschaltet werden kann.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Beleuchtungseinrichtung sowie eine entsprechende Mikroskopvorrichtung und entsprechende Verfahren bereitzustellen, mit welchen die oben beschriebenen Nachteile zumindest teilweise überwunden werden können und eine einfach in bestehende Mikroskopkonzepte integrierbare Möglichkeit insbesondere zur Fourier- Ptychographie, aber auch für andere Mikroskopverfahren, bereitgestellt wird.

Es werden eine Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 10 sowie ein Verfahren nach Anspruch 17 oder 19 bereitgestellt. Die Unteransprüche definieren weitere

Ausführungsbeispiele der Beleuchtungseinrichtung und des Verfahrens sowie eine

Untersuchungsvorrichtung mit einer derartigen Beleuchtungseinrichtung.

Erfindungsgemäß wird eine Beleuchtungseinrichtung bereitgestellt, umfassend:

eine insbesondere monochromatische Lichtquelle,

eine erste Teiloptik zum Lenken von Licht von der Lichtquelle auf eine Auswahleinrichtung, eine zweite Teiloptik zum Lenken von Licht von der Auswahleinrichtung zu einem zu beleuchtenden Objekt, wobei die Auswahleinrichtung zum sequentiellen Auswählen

verschiedener Teile des Lichtes zum Beleuchten des Objekts eingerichtet ist. Durch das sequentielle Auswählen verschiedener Teile des Lichtes kann auf einfache Weise eine sequentielle Beleuchtung aus verschiedenen Richtungen realisiert werden. Die Auswahleinrichtung ist dabei näherungsweise in einer Ebene einer Beleuchtungspupille angeordnet, um so die Beleuchtung aus verschiedenen Richtungen ermöglichen zu können. Die Beleuchtungspupille kann dabei einer konjugierten Ebene des Objekts entsprechen. Bei manchen Ausführungsbeispielen kann die Beleuchtungspupille zudem einer Ebene eines Zwischenbildes der Lichtquelle entsprechen. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann die Beleuchtungspupille zudem einer konjugierten Ebene der Lichtquelle entsprechen.

Der Begriff„näherungsweise" berücksichtigt in diesem Zusammenhang zum Einen, dass die Beleuchtungspupille, das Zwischenbild und/oder die oben erwähnten konjugierten Ebenen bei realen Optiken nicht unbedingt exakt eben sind, sondern eine Krümmung aufweisen können. Zum Anderen kann die Auswahleinrichtung auch geringfügig aus der Beleuchtungspupille verschoben sein, ohne dass sie ihre Funktion verliert. Beispielsweise kann eine Verschiebung entlang einer optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung um nicht mehr als 10%, bevorzugt um nicht mehr als 5%, einer Brennweite eines nächsten optischen Elements, in dessen

Richtung verschoben wird, vorhanden sein.

Die Auswahleinrichtung kann dabei auf verschiedene Weise realisiert sein. Beispielsweise kann die Auswahleinrichtung eine in der Ebene der Beleuchtungspupille bewegliche Lochblende umfassen. Es ist jedoch ebenso eine Realisierung mittels eines LCD-Feldes oder einer

Mikrospiegelanordnung, beispielsweise einer DMD-Anordnung (digital micromirror device) oder mittels eines anderen räumlichen Lichtmodulators möglich.

Die erste Teiloptik und die zweite Teiloptik können dabei zusammen eine herkömmliche Optik für eine herkömmliche Mikroskopbeleuchtung bilden, beispielsweise eine Optik einer

Köhlerschen Beleuchtung oder eine Optik für eine kritische Beleuchtung. Somit kann ein herkömmlicher Mikroskopaufbau abgesehen von dem Hinzufügen der Auswahleinrichtung im Wesentlichen unverändert gelassen werden, was eine einfache Implementierung in bestehende Aufbauten ermöglicht.

Dabei wird die Lichtquelle bevorzugt auf ein vergrößertes Zwischenbild der Ebene der

Beleuchtungspupille abgebildet.

Die Auswahleinrichtung kann bei manchen Ausführungsbeispielen zudem gleichzeitig als Aperturblende der Beleuchtungseinrichtung dienen. Die Auswahleinrichtung kann bei manchen Ausführungsbeispielen deaktivierbar sein, was beispielsweise einem Auswählen des gesamten Zwischenbildes und somit einer herkömmlichen Beleuchtung entsprechen kann. Auf diese Weise kann zwischen einer Betriebsart, in welcher Beleuchtungen aus verschiedenen Richtungen verwendet werden, beispielsweise zur Fourier- Ptychographie, und einer Betriebsart mit herkömmlicher Beleuchtung, beispielsweise zur Weitfeldmikroskopie, umgeschaltet werden.

Die Lichtquelle kann beispielsweise eine oder mehrere Leuchtdioden, eine oder mehrere Laserlichtquellen, eine Halogenlampe kombiniert mit einem Farbfilter oder andere geeignete Lichtquellen, insbesondere monochromatische Lichtquellen, umfassen. Eine derartige

Lichtquelle kann insbesondere leicht austauschbar sein.

Eine Beleuchtungseinrichtung gemäß derartigen Ausführungsbeispielen kann eine homogene Ausleuchtung mit zumindest nur geringer Winkelabhängigkeit bei relativ kleinem Bauraum aufweisen. Beispielsweise kann die eingangs erwähnte herkömmliche Leuchtdiodenanordnung Abmessungen in der Größenordnung 10cm x 10cm aufweisen, während eine

erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung eine Auswahleinrichtung der Abmessungen 2cm x 2cm oder kleiner aufweisen kann. Gemäß einem anderen Aspekt wird eine Beleuchtungseinrichtung bereitgestellt, umfassend: eine Vielzahl kreisförmig angeordneter Lichtquellenelemente, wobei die Lichtquellenelemente wahlweise ansteuerbar sind, um ein Objekt nur mit einem Teil der Lichtquellenelemente zu beleuchten. Die Lichtquellenelemente können Leuchtdiodenelemente umfassen.

Eine Anzahl der Lichtquellenelemente kann zwischen 6 und 15 liegen.

Indem eine Integration in bestehende Beleuchtungskonzepte möglich ist, können auch herkömmliche, spezialisierte Optikdesigns zur homogenen Ausleuchtung in einem großen Winkelbereich verwendet werden. Die Auswahleinrichtung kann als Zusatzmodul an- und ausschaltbar sein, bei entsprechender Ausgestaltung auch innerhalb von Sekundenbruchteilen (beispielsweise bei einer DMD-Anordnung oder einer LCD-Flüssigkristallanordnung), wodurch eine Beobachtung lebender Zellen möglich wird. Zudem kann bei Untersuchungsverfahren, bei denen die Beleuchtungsrichtung egal ist, z.B. bei der Fluoreszenzmikroskopie, eine simultane Benutzung der Auswahleinrichtung möglich. Beispielsweise kann in einem derartigen Fall eine Fluoreszenz unabhängig von der Beleuchtungsrichtung, d.h. unabhängig von einem gerade ausgewählten Teil des Lichtes, untersucht werden, während gleichzeitig die

Beleuchtungsrichtung variiert wird (und dabei aufgenommene Bilder dann z.B. mittels Fourier- Ptychographie ausgewertet werden können).

Durch die Möglichkeit des wahlweisen Ausschaltens oder Deaktivierens der Auswahleinrichtung können bei deaktivierter Auswahleinrichtung aufgenommene Weitfeldbilder mit

Phaseninformationen, welche durch Fourier-Ptychographie gewonnen werden, verknüpft werden. Bei geeigneten Auswahleinrichtungen, wie beispielsweise einer DMD-Anordnung oder eines anderen räumlichen Lichtmodulators, können neuartige strukturierte Beleuchtungen, zum Beispiel verschiedene Verteilungen von gleichzeitigen Beleuchtungsrichtungen (zum Beispiel ringförmig), verwendet werden. Mit einem geeigneten räumlichen Lichtmodulator (SLM, vom Englischen„spacial light modulator") können zudem Aberrationen der Beleuchtungseinrichtung zumindest teilweise korrigiert werden. Zudem kann eine derartige Beleuchtungseinrichtung auch für eine Dunkelfeldbeleuchtung verwendet werden, wenn ein entsprechendes

Detektionsmodul verwendet wird. Auch kann eine derartige Beleuchtungseinrichtung zur Mikroskopie mit kohärenter strukturierter Beleuchtung (im Englischen als„coherent SIM" („structured Illumination microscopy") bezeichnet) verwendet werden. Eine Untersuchungsvorrichtung, insbesondere zur Fourier-Ptychographie, kann eine derartige Beleuchtungseinrichtung sowie eine Detektionsoptik, insbesondere eine Mikroskopoptik und eine Aufnahme für ein Objekt, beispielsweise für einen Objektträger, umfassen. Die

Detektionsoptik kann z.B. zur Durchführung der Fourier-Ptychographie mit einer Kamera zur Bildaufnahme gekoppelt sein. Bei einem Ausführungsbeispiel kann eine Steuerung dann in einer Betriebsart die Auswahleinrichtung bzw. die Lichtquellenelemente der

Beleuchtungseinrichtung ansteuern, um das Objekt sequentiell aus verschiedenen Richtungen zu beleuchten, und die Kamera ansteuern, um entsprechende Bilder bei den verschiedenen Beleuchtungen aufzunehmen. Aus den verschiedenen Bildern kann dann ein Gesamtbild errechnet werden, beispielsweise entsprechend dem Verfahren der Fourier-Ptychographie, wie eingangs erläutert.

Die Steuerung der Untersuchungsvorrichtung kann weiter eingerichtet sein, in einer weiteren Betriebsart die Beleuchtungseinrichtung zur Auswahl aller Teile des Zwischenbildes oder zur Auswahl aller Lichtquellenelemente anzusteuern.

Zudem wird ein Verfahren bereitgestellt, umfassend: Lenken von Licht einer Lichtquelle zu einem Objekt,

Auswählen nur eines Teiles des Lichtes der Lichtquelle zur Beleuchtung des Objekts, wobei das Auswählen zumindest näherungsweise in einer Ebene einer Beleuchtungspupille erfolgt, Aufnehmen eines Bildes des Objekts,

Wiederholen des Auswählens und des Aufnehmens des Bildes für eine Vielzahl

unterschiedlicher Teile des Lichtes, um eine Vielzahl von Bildern zu erzeugen, und

Berechnen einer Gesamtbildinformation aus der Vielzahl von Bildern, beispielsweise

entsprechend der Fourier-Ptychographie. In einer weiteren Betriebsart kann das gesamte Zwischenbild der Lichtquelle verwendet werden, beispielsweise, um eine Weitfeldmikroskopie durchzuführen. Auch kann gleichzeitig mit dem Verfahren eine Untersuchung, welche nicht von der Beleuchtungsrichtung abhängt, durchgeführt werden, beispielsweise eine Fluoreszenzuntersuchung wie oben beschrieben. Das Verfahren kann insbesondere mit einer der oben diskutierten Vorrichtungen durchgeführt werden.

Des Weiteren wird ein Verfahren bereitgestellt, umfassend:

in einer ersten Betriebsart, Ansteuern einer Beleuchtungseinrichtung zum sequenziellen Beleuchten eines Objekts aus verschiedenen Richtungen, und Aufnehmen eines Bildes des Objekts für jede Richtung, und in einer zweiten Betriebsart, Beleuchten des Objekts aus allen zur Verfügung stehenden Richtungen, und Aufnehmen eines Bildes des Objekts.

Das Ansteuern kann in der ersten Betriebsart ein Auswählen eines Teiles von

Lichtquellenelementen der Beleuchtungseinrichtung umfassen, und in der zweiten Betriebsart ein Auswählen aller Lichtquellenelemente der Beleuchtungseinrichtung umfassen.

Das Ansteuern kann auch in der ersten Betriebsart ein Auswählen nur eines Teiles von Licht einer Lichtquelle umfassen, und in der zweiten Betriebsart ein Auswählen aller in der ersten Betriebsart auswählbaren Teile des Lichtes umfassen.

Das Auswählen aller Teile, die in der ersten Betriebsart auswählbar sind, bedeutet dabei insbesondere auch, dass es Teile des Lichts geben kann, die nie zu einem Objekt gelangen, beispielsweise wenn sie durch eine Blende grundsätzlich abgeschattet werden.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 ein Blockdiagramm einer Mikroskopvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel,

Fig. 2 eine schematische Querschnittansicht einer Beleuchtungseinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel,

Fig. 3 eine Querschnittsansicht einer Beleuchtungseinrichtung gemäß einem weiteren

Ausführungsbeispiel, Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Auswahleinrichtung gemäß einem

Ausführungsbeispiel,

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Auswahleinrichtung gemäß einem weiteren

Ausführungsbeispiel,

Fig. 6 ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Ausführungsbeispiels eines

erfindungsgemäßen Verfahrens, und

Fig. 7 eine schematische Darstellung eine Beleuchtungseinrichtung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel.

Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung näher erläutert. Es ist zu bemerken, dass diese Ausführungsbeispiele lediglich einige Implementierungsbeispiele der vorliegenden Erfindung darstellen und die vorliegende Erfindung nicht auf diese konkreten Beispiele beschränkt ist. Beispielsweise ist die Beschreibung eines Ausführungsbeispiels mit einer Vielzahl von Elementen nicht dahingehend auszulegen, dass alle diese Elemente zur Implementierung notwendig sind. Vielmehr können bei anderen Ausführungsbeispielen manche der dargestellten Elemente weggelassen sein oder durch alternative Elemente ersetzt werden. Zusätzlich oder alternativ können auch zusätzliche Elemente bereitgestellt sein.

Elemente oder Merkmale verschiedener Ausführungsbeispiele können zudem miteinander kombiniert werden, sofern nichts anderes angegeben ist.

Manche der folgenden Ausführungsbeispiele werden am Beispiel der Fourier-Ptychographie erläutert. Die Anwendung der beschriebenen Techniken, insbesondere der beschriebenen Beleuchtungseinrichtungen und Untersuchungsvorrichtungen wie Mikroskopvorrichtungen, sind jedoch nicht auf die Fourier-Ptychographie begrenzt, wie ebenfalls erläutert werden wird.

In Fig. 1 ist eine Mikroskopvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel schematisch dargestellt. Die Mikroskopvorrichtung des Ausführungsbeispiels der Fig. 1 kann insbesondere zur Fourier-Ptychographie verwendet werden, ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Die

Mikroskopvorrichtung der Fig. 1 umfasst eine Beleuchtungseinrichtung 15 zum Beleuchten eines zu untersuchenden Objekts 14, welches sich auf einem Träger 13, beispielsweise einem auf einem Mikroskoptisch befindlichen Objektträger, befindet. Über eine Mikroskopoptik 10 wird ein Bild eines betrachteten Bereichs des Objekts 14 auf eine Kamera 1 1 abgebildet, um somit ein Bild des Objekts 14 zu erfassen. Zusätzlich kann auch eine Beobachtung durch das menschliche Auge möglich sein.

Die Beleuchtungseinrichtung 15 umfasst eine Auswahleinrichtung 16 zu einer räumlichen Auswahl eines Teils eines Zwischenbildes einer Lichtquelle der Beleuchtungseinrichtung 15. Durch Auswahl verschiedener Teile des Zwischenbildes kann das Objekt 14 wahlweise aus verschiedenen Richtungen beleuchtet werden. Beispiele derartiger Beleuchtungseinrichtungen werden später näher erörtert. Eine Steuerung 12 ist dabei eingerichtet, die Auswahl der Teile zu steuern. Die Steuerung 12 kann dabei mittels eines entsprechend programmierten Prozessors, beispielsweise in Form eines Computers, oder auch durch fest programmierte Einrichtungen implementiert sein. Allgemein kann die Steuerung 12 durch Software, Hardware, Firmware oder Kombinationen hiervon realisiert sein.

Zur Fourier-Ptychographie kann dann die Steuerung 12 die Auswahleinrichtung 16 derart ansteuern, dass sequentiell verschiedene Teile des Zwischenbildes ausgewählt werden und somit sequentiell das Objekt 14 aus verschiedenen Richtungen beleuchtet wird. Für jede der Beleuchtungsrichtungen kann dann durch die Kamera 1 1 ein entsprechendes Bild

aufgenommen werden. Ein so entstehender Stapel an Bildern kann dann ausgewertet werden, wofür entweder die Steuerung 12 als Auswertungseinrichtung oder eine separate

Auswertungseinrichtung verwendet werden kann, beispielsweise ein weiterer Computer.

Insbesondere kann aus dem Stapel von Bildern, wie eingangs kurz erläutert, gemäß der Fourier-Ptychographie eine Gesamtbildinformation errechnet werden. Diese Auswertung erfolgt also dann auf herkömmliche Art und Weise. Bei manchen Ausführungsbeispielen verfügt die Mikroskopvorrichtung der Fig. 1 über eine weitere Betriebsart, bei welcher die Auswahleinrichtung 16 deaktiviert ist, sodass die Beleuchtungseinrichtung 15 wie eine herkömmliche Mikroskopbeleuchtung arbeiten kann. Dies kann es beispielsweise ermöglichen, die Mikroskopvorrichtung auch zur Weitfeldmikroskopie zu nutzen. Ausführungsbeispiele für die Beleuchtungseinrichtung 15 werden nachfolgend unter

Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 5 näher erläutert. Es ist zu bemerken, dass die

Beleuchtungseinrichtung 15 sowie die nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 5 diskutierten Beleuchtungseinrichtungen nicht nur in der Mikroskopvorrichtung der Fig. 1 , sondern auch in anderen Mikroskopvorrichtungen und auch in anderen

Untersuchungsvorrichtungen ohne Mikroskopobjektiv, z.B. mit einer Detektionsoptik ohne

Vergrößerung, benutzt werden können. Beispielsweise stellt die Mikroskopvorrichtung der Fig. 1 ein Lichtmikroskop dar, bei welchem die Beleuchtung des Objekts 14 und die Beobachtung von zwei gegenüberliegenden Seiten erfolgen, die Beobachtung also in Transmission erfolgt. Es sind jedoch auch andere Anordnungen, beispielsweise eine Beleuchtung aus der gleichen Richtung wie die Beobachtung, oder Dunkelfeldanordnungen, möglich.

In Fig. 2 ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung zusammen mit einem auf einem Objektträger 26 befindlichen Objekt 27 schematisch dargestellt. Die Beleuchtungseinrichtung der Fig. 2 ist auf Basis einer Kohlerschen Beleuchtungseinrichtung realisiert. Die Beleuchtungseinrichtung der Fig. 2 umfasst eine Lichtquelle 20, welche beispielsweise eine oder mehrere Leuchtdioden, eine oder mehrere Laserlichtquellen, eine oder mehrere Halogenlichtquellen, insbesondere mit Farbfiltern, oder andere Lichtquellen, für die Fourier-Ptychographie insbesondere monochromatische Lichtquellen, umfasst. Über eine erste Linse 21 , eine Feldblende 22 und eine zweite Linse 23, welche eine erste Teiloptik bilden, wird die Lichtquelle 20 vergrößert auf ein Zwischenbild in einer Ebene 21 1 abgebildet (d.h. die

Ausdehnung des Zwischenbildes in der Ebene 28 ist größer als die Ausdehnung der Lichtquelle 20). Die Ebene 21 1 entspricht dabei einer Ebene einer Beleuchtungspupille der

Beleuchtungseinrichtung der Fig. 2 sowie einer konjugierten Ebene des Objekts 27. Über eine Pupillenoptik (zweite Teiloptik), welche bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 durch eine Linse 25 realisiert ist, wird das Zwischenbild der Lichtquelle 20 dann zu dem Objekt 27 gelenkt.

Zu bemerken ist, dass, während in Fig. 2 Linsen 21 , 23, 25 dargestellt sind, diese im

Wesentlichen jeweils eine optische Komponente repräsentieren, die auch mehr als eine Linse, z.B. zwei oder mehr Linsen , und/oder auch andere optische Elemente umfassen kann. Soweit bisher beschrieben entspricht der Aufbau der Beleuchtungseinrichtung der Fig. 2 einer herkömmlichen Köhlerschen Beleuchtungseinrichtung.

Zusätzlich zu herkömmlichen Beleuchtungseinrichtungen verfügt die Beleuchtungseinrichtung der Fig. 2 über eine Auswahleinrichtung 24, welche in der Ebene 21 1 des Zwischenbildes angeordnet ist und angesteuert werden kann, wahlweise einen Teil des Zwischenbildes auszuwählen. Durch diese Auswahl kann wahlweise das Objekt 27 aus verschiedenen

Richtungen beleuchtet werden. Wird beispielsweise nur der Teil des Zwischenbildes entsprechend dem mit durchgezogenen Linien 210 dargestellten Strahlengang ausgewählt, entspricht dies im Wesentlichen (in der Querschnittsansicht der Fig. 2) einer senkrechten Beleuchtung des Objekts. Wird nur der dem gestrichelt dargestellten Strahlengang 28 entsprechende Teil des Zwischenbildes ausgewählt, entspricht dies in Fig. 2 einer Beleuchtung von schräg unten. Wird nur ein einem durch gepunktete Linien 29 dargestellten Strahlengang entsprechender Teil des Zwischenbildes ausgewählt, erfolgt die Beleuchtung in Fig. 2 von schräg oben. Zu bemerken ist dabei, dass es sich bei der Fig. 2 um eine Querschnittsansicht handelt und bei Ausführungsbeispielen die Auswahl des Teils des Zwischenbildes

zweidimensional in der Ebene 21 1 erfolgen kann, wie später anhand von Beispielen unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 5 noch näher erläutert werden wird. Zu bemerken ist, dass die Auswahleinrichtung 24 nicht exakt in der Ebene 21 1 angeordnet sein muss, sondern eine näherungsweise Anordnung in der Ebene 21 1 ausreichend sein kann, wobei sich hierdurch jedoch das nutzbare beleuchtbare Feld verringern kann. Der Begriff „näherungsweise" berücksichtigt in diesem Zusammenhang zum Einen, dass die das

Zwischenbild bei realen Optiken nicht unbedingt exakt eben ist (und somit die„Ebene" des Zwischenbildes gekrümmt sein kann). Beispielsweise kann eine Verschiebung entlang einer optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung der Fig. 2 (in Fig. 2 also in horizontaler Richtung) um nicht mehr als 10%, bevorzugt um nicht mehr als 5%, einer Brennweite eines nächsten optischen Elements, in dessen Richtung verschoben wird, vorhanden sein (d.h. in Fig. 2 um nicht mehr als 10% der Brennweite der Linse 23 nach links und um nicht mehr als 10% der Brennweite der Linse 25 nach rechts).

Die Auswahleinrichtung 24 kann dabei gleichzeitig als Aperturblende für die

Beleuchtungseinrichtung dienen. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann eine Aperturblende separat vorgesehen sein. Bei manchen Ausführungsbeispielen kann die Auswahleinrichtung 24 deaktiviert werden.

Deaktivieren der Auswahleinrichtung bedeutet dabei im Kontext der vorliegenden Anmeldung, dass die Auswahleinrichtung derart angesteuert wird, dass die Beleuchtungseinrichtung als konventionelle Beleuchtungseinrichtung ohne Auswahleinrichtung arbeitet. Beispielsweise kann die Auswahleinrichtung derart gesteuert werden, komplett lichtdurchlässig (oder komplett reflektierend, wenn z.B. durch Mikrospiegel eine Reflexion zu dem Objekt 27 hin erfolgt) zu sein, sie kann aus dem Strahlengang entfernt werden oder sie kann derart angesteuert werden, dass ihre Funktion der Funktion einer herkömmlichen Aperturblende entspricht, die

beispielsweise alle in Fig. 2 eingezeichneten Strahlengänge 28, 29 und 210 passieren lässt und nur Streulicht abschattet. Dies kann insbesondere dann vorteilhaft sein, wenn keine separate Aperturblende bereitgestellt ist.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung ist in Fig. 3 dargestellt. Das Ausführungsbeispiel der Fig. 3 basiert auf einer Beleuchtungseinrichtung zur kritischen Beleuchtung. Im Gegensatz zu dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 sind hier nur zwei Linsen 31 , 34 bereitgestellt. Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 ist eine durch eine

Lampenhalterung 31 1 gehaltene Lichtquelle 30 bereitgestellt, welche entsprechend der Lichtquelle 20 der Figur 2 implementiert sein kann. Über eine erste Linse 31 (erste Teiloptik) wird Licht von der Lichtquelle 30 zu einer Beleuchtungspupille in einer Ebene 310 gelenkt. Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 ist die Ebene 310 dabei eine konjugierte Ebene der Lichtquelle 30 sowie eines Objekts 36. Von dort wird das Licht über eine weitere Linse 34 (zweite Teiloptik) zu dem auf einem Objektträger 35 befindlichen Objekt 36 hingelenkt. Wie bereits für das Ausführungsbeispiel der Fig. 2 beschrieben können auch hier die Linsen 31 , 34 im Wesentlichen jeweils eine optische Komponente repräsentieren, die auch mehr als eine Linse, z.B. zwei oder mehr Linsen, und/oder auch andere optische Elemente umfassen kann.

In der Ebene 310 ist eine Auswahleinrichtung 33 angeordnet, welche wie die

Auswahleinrichtung 24 der Fig. 2 eingerichtet ist, wahlweise einen Teil der Beleuchtungspupille in der Ebene 310 auszuwählen, womit eine Beleuchtung des Objekts 36 aus verschiedenen Richtungen realisiert werden kann. Beispielsweise kann ein einem durch gestrichelte Linien 37 dargestellten Strahlengang entsprechender Teil der Beleuchtungspupille in der Ebene 310 ausgewählt werden, was in Fig. 3 zu einer Beleuchtung von schräg oben führt. Es kann auch ein einem durch durchgezogene Linien 38 dargestellten Strahlengang entsprechender Teil der Beleuchtungspupille in der Ebene 310 ausgewählt werden, was in Fig. 3 einer senkrechten Beleuchtung entspricht. In einem anderen Fall kann ein einem durch gestrichelte Linien 39 dargestellten Strahlenbündel entsprechender Teil der Beleuchtungspupille in der Ebene 310 ausgewählt werden, was in Fig. 3 einer Beleuchtung von schräg unten entspricht. Diese drei Möglichkeiten dienen wie bei Fig. 2 nur zur Veranschaulichung, und es können auch andere Teile der Beleuchtungspupille in der Ebene 310 zusätzlich oder alternativ ausgewählt werden. Modifikationen und Abwandlungen sowie die Deaktivierung der Auswahleinrichtung 24, welche unter Bezugnahme auf Fig. 2 diskutiert wurden, sind in entsprechender Weise auch auf die Beleuchtungseinrichtung der Fig. 3 und die Auswahleinrichtung 33 anwendbar. Insbesondere kann auch die Auswahleinrichtung 33 nur näherungsweise in der Ebene 310 angeordnet sein. Zudem stellen die Beleuchtungseinrichtungen der Fig. 2 und 3 lediglich Beispiele dar, und es können auch andere optische Anordnungen mit mehr oder weniger Linsen als dargestellt oder anderen zusätzlichen optischen Elementen wie beispielsweise Spiegeln verwendet werden.

Nunmehr werden unter Bezugnahme auf Fig. 4 und 5 Beispiele für Auswahleinrichtungen (beispielsweise für die Auswahleinrichtung 24 der Fig. 2 oder die Auswahleinrichtung 33 der Fig. 3) näher erläutert. In Figur 4 ist als Beispiel für eine Auswahleinrichtung eine bewegliche Lochblende 40 mit einer transparenten Öffnung 42 dargestellt, welche wie durch Pfeile 41 angedeutet in der Zeichenebene (welche beispielsweise der Ebene 21 1 der Fig. 2 oder der Ebene 310 der Fig. 3 entsprechen kann) beweglich ist, um so einen Teil des Zwischenbildes bzw. der Beleuchtungspupille auszuwählen. Die Größe der transparenten Öffnung 42 kann in Abhängigkeit von einer gewünschten Genauigkeit einer Auswahl der Beleuchtungsrichtung und/oder in Abhängigkeit von Eigenschaften der Lichtquelle wie Kohärenz ausgewählt werden und kann bei manchen Ausführungsbeispielen einstellbar sein.

Zum Deaktivieren einer derart ausgestalteten Auswahleinrichtung kann die Lochblende 40 beispielsweise ganz aus dem Strahlengang entfernt werden. Bei anderen

Ausführungsbeispielen kann die Größe der transparenten Öffnung 42 variabel sein, und zum Deaktivieren der Auswahleinrichtung kann die transparente Öffnung 42 beispielsweise mittig im Strahlengang angeordnet werden und soweit vergrößert werden, dass sie als herkömmliche Aperturblende fungiert, beispielsweise alle in den Fig. 2 bzw. 3 eingezeichneten Strahlengänge durchlässt und lediglich Streulicht abschattet. Während die transparente Öffnung 42 in Fig. 4 als rund dargestellt ist, sind auch andere Formen möglich.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Auswahleinrichtung, welche beispielsweise als

Auswahleinrichtung 24 der Fig. 2 oder als Auswahleinrichtung 33 der Fig. 3 verwendbar ist, ist in Fig. 5 dargestellt. Eine Auswahleinrichtung 50 der Fig. 5 umfasst eine Vielzahl von in einer Matrix angeordneten Elementen 51 , wobei die Elemente 51 einzeln wahlweise lichtdurchlässig oder lichtundurchlässig geschaltet werden können, um so eine räumliche Auswahl eines Teils des Zwischenbildes bzw. der Beleuchtungspupille zu ermöglichen. Die Anzahl an Elementen 51 , d.h. die Anzahl an Zeilen und Spalten der Matrix aus Fig. 5, ist nicht als einschränkend auszulegen, und in Abhängigkeit von der Anzahl verschiedener gewünschter auswählbarer Teile des Zwischenbildes und der Größe dieser Teile können mehr oder weniger Elemente 51 als in Fig. 5 dargestellt, bereitgestellt sein. Zum Auswählen eines Teils des Zwischenbildes bzw. der Beleuchtungspupille können dann ein oder mehrere Elemente 51 , welche dem

gewünschten Teil entsprechen, lichtdurchlässig geschaltet werden, während die übrigen Elemente 51 lichtundurchlässig geschaltet werden. Dabei kann durch entsprechende Auswahl die Form des Teils im Wesentlichen beliebig gewählt werden.

Zum Deaktivieren der Auswahleinrichtung 50 der Fig. 5 können dann beispielsweise alle Elemente 51 lichtdurchlässig geschaltet werden, oder eine Anzahl von Elementen 51 können lichtdurchlässig geschaltet werden, um eine Aperturblende zu bilden, welche beispielsweise alle in Fig. 2 bzw. 3 dargestellten Strahlengänge durchlässt.

Für die Realisierung der Elemente 51 gibt es verschiedene Möglichkeiten. Beispielsweise kann die Auswahleinrichtung 50 eine Flüssigkristallanzeige sein, und die Elemente 51 können ansteuerbare Bildpunkte der Flüssigkeitskristallanzeige (LCD, vom Englischen„liquid crystal display"), welche wahlweise auf dunkel oder hell geschaltet werden können, sein. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel ist die Auswahleinrichtung 50 eine digitale Mikrospiegelanordnung (DMD, vom Englischen„digital micromirror device"), und die Elemente 51 sind einzeln ansteuerbare Mikrospiegel. Bei wieder anderen Ausführungsbeispielen können andere Arten von räumlichen Lichtmodulatoren (SLM, vom Englischen„spacial light modulator") verwendet werden.

Die Auswahleinrichtungen der Fig. 4 und 5 stellen lediglich Beispiele dar, und es sind auch andere Arten von Auswahleinrichtungen möglich. In Fig. 6 ist ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Verfahrens gemäß einem

Ausführungsbeispiel dargestellt. Das Verfahren der Fig. 6 kann beispielsweise unter Benutzung der unter Bezugnahme auf Fig. 1 bis 5 diskutierten Vorrichtungen ausgeführt werden, ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Zu bemerken ist, dass die verschiedenen Verfahrensschritte nicht notwendigerweise in der dargestellten Reihenfolge ausgeführt werden müssen. Beispielsweise können die nachfolgend beschriebenen Schritte 60 und 61 auch in vertauschter Reihenfolge durchgeführt werden. Zudem können bei manchen Ausführungsbeispielen manche der dargestellten Schritte weggelassen sein. So sind in Fig. 6, wie nachfolgend näher erläutert, Verfahrensschritte für zwei verschiedene Betriebsarten, nämlich einer ersten Betriebsart für Durchführung einer Fourier-Ptychographie und einer zweiten Betriebsart für Durchführung einer Weitfeldmikroskopie, vorgesehen. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann auch nur eine Betriebsart, beispielsweise die Betriebsart zur Fourier-Ptychographie, vorgesehen sein.

Bei 60 in Fig. 6 wird eine Lichtquelle eingeschaltet, um über eine entsprechende Optik Licht über eine Beleuchtungspupille zu einem Objekt zu lenken, beispielsweise wie unter

Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 erläutert.

Bei 61 wird eine Betriebsart ausgewählt. Wird Fourier-Ptychographie als Betriebsart ausgewählt, wird das Verfahren bei 62 fortgesetzt. Wird Weitfeldmikroskopie ausgewählt, wird das Verfahren bei 66 fortgesetzt. Bei 62 wird ein Teil des Lichtes der Lichtquelle, insbesondere ein Teil der Beleuchtungspupille, ausgewählt, während das restliche Licht abgeschattet wird. Hierdurch wird eine Beleuchtung eines zu untersuchenden Objekts aus der Richtung des ausgewählten Teils der

Beleuchtungspupille realisiert. Bei 63 wird dann beispielsweise über einen Mikroskopaufbau ein Bild des Objekts aufgenommen (beispielsweise mittels der Kamera 1 1 der Fig.1 ).

Bei 64 wird überprüft, ob alle gewünschten Bilder aufgenommen wurden, insbesondere mit Beleuchtung aus allen gewünschten Raumrichtungen. Falls dies nicht der Fall ist, wird das Verfahren bei 62 fortgesetzt, wobei nun ein anderer Teil des Lichtes ausgewählt wird, um eine Beleuchtung aus einer anderen Richtung zu realisieren. Falls ja wird bei 65 aus den

aufgenommenen Bildern eine Gesamtbildinformation berechnet, beispielsweise wie in dem eingangs zitierten Artikel zur Fourier-Ptychographie beschrieben.

Wird hingegen bei 61 die Weitfeldmikroskopie als Betriebsart gewählt, wird bei 66

beispielsweise das gesamte Licht der Lichtquelle oder ein großer Teil des gesamten Lichtes, beispielsweise 80% oder mehr, zur Beleuchtung des Objekts genutzt und bei 67 ein

entsprechendes Bild aufgenommen. Durch die Benutzung des gesamten Lichtes oder nahezu des gesamten Lichtes kann die Beleuchtung bei der Weitfeldmikroskopie inkohärenter sein als bei der Fourier-Ptychographie, bei welcher lediglich ein Teil des Lichtes, z.B. ein Teil einer Beleuchtungspupille, benutzt wird. Anstelle der vorstehend beschriebenen Beleuchtungseinrichtungen können zur Fourier- Ptychographie und auch für das Verfahren der Fig. 6, bei welchem zwischen Fourier- Ptychographie und Weitfeldmikroskopie umgeschaltet werden kann, auch andere

Beleuchtungseinrichtungen verwendet werden. Ein Ausführungsbeispiel einer weiteren

Beleuchtungseinrichtung 70 ist dabei in Fig. 7 schematisch dargestellt. Das

Ausführungsbeispiel der Fig. 7 umfasst eine Vielzahl von z.B. zwischen 6 und 15, z.B. ungefähr 8, im Wesentlichen kreisförmig angeordneten Lichtquellenelementen 71 . Die

Lichtquellenelemente 71 können beispielsweise einzelne Leuchtdioden oder Gruppen von Leuchtdioden, andere Leuchtmittel, schaltbare Elemente einer Flüssigkristallanzeige (LCD) in Verbindung mit einer oder mehreren dahinter angeordneten Lichtquellen, schaltbare Blenden oder andere Mittel umfassen, mittels derer die einzelnen Lichtquellenelemente 71 selektiv aktiviert und deaktiviert werden können. Auch andere Arten segmentierter Beleuchtungen können verwendet werden. Ein Bereich 72 zwischen in Fig. 7 dargestellten Kreisen 73 und 74, zwischen denen die Lichtquellenelemente 71 liegen, stellt dann einen Detektionsbereich für Dunkelfelddetektion dar. Innerhalb eines Kreises 74 liegt ein Hellfeld einer Detektion. Somit kann eine segmentierte Beleuchtung oder auch die vorstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 2-5 diskutierten Beleuchtungseinrichtungen sowohl für Hellfelddetektion als auch für

Dunkelfelddetektion verwendet werden. Dies kann beispielsweise in

Auflichtbeleuchtungsanordnungen geschehen.

Zu bemerken ist, dass neben der Weitfeldmikroskopie und der Fourier-Ptychographie auch andere Betriebsarten möglich sind. Auch können die Beleuchtungseinrichtungen gemäß den dargestellten Ausführungsbeispielen auch in anderen Fällen verwendet werden, in welchen es wünschenswert ist, ein Objekt sequentiell aus verschiedenen Richtungen zu beleuchten. Für jede Richtung können dann ein oder mehrere Bilder des Objekts aufgenommen werden, und ein Gesamtbild des Objekts kann aus den einzelnen aufgenommenen Bildern gebildet werden.

Alternativen zur Fourier-Ptychographie sind hier beispielsweise direkte Berechnungsverfahren. Beispielsweise können die Einzelbilder einfach summiert werden, was näherungsweise ein Bild mit klassischer inkohärenter Beleuchtung erzeugen kann. Bei anderen Ausführungsbeispielen können zunächst paarweise Differenzbilder gebildet werden, d.h. Differenzbilder zwischen zwei verschiedenen Beleuchtungsrichtungen. Die so gebildeten Differenzbilder und/oder Beträge hiervon können dann aufsummiert werden. Zur paarweisen Differenzbildung können dabei insbesondere gegenüberliegende Beleuchtungsrichtungen verwendet werden. Hierdurch kann ein Bild erzeugt werden, welches einen Phasenkontrast erzeugt, ähnlich der Aufnahme eines differenziellen Interferenzkontrastes (DIK). Bei wieder anderen Ausführungsbeispielen können die einzelnen Bilder gewichtet und/oder renormiert summiert werden, was beispielsweise zur Erzeugung inkohärenter Bilder mit erhöhtem Kontrast oder von Bildern mit alternativem Phasenkontrast dienen kann. Somit ist ersichtlich, dass die Anwendung der dargestellten Beleuchtungseinrichtungen nicht auf die Fourier-Ptychographie beschränkt ist.

Die dargestellten Ausführungsbeispiele sind daher nicht als einschränkend auszulegen.

Claims

Patentansprüche 1 . Beleuchtungseinrichtung (15), umfassend:

eine Lichtquelle (20; 30)

eine erste Teiloptik (21 , 23; 31 ) zum Lenken von Licht von der Lichtquelle (20; 30) zu einer Auswahleinrichtung (16; 24; 33), wobei die Auswahleinrichtung (16; 24; 33) zumindest näherungsweise in einer Ebene (21 1 ; 310) einer Beleuchtungspupille der

Beleuchtungseinrichtung (15) angeordnet ist,

eine zweite Teiloptik (25; 34) zum Lenken von Licht von der Auswahleinrichtung (16; 24; 33) auf ein Objekt (14; 27; 36),

wobei die Auswahleinrichtung (16; 24; 33) zum sequentiellen Auswählen verschiedener Teile des Lichtes zum Beleuchten des Objekts (14; 27; 36) eingerichtet ist.

2. Beleuchtungseinrichtung (15) nach Anspruch 1 , wobei die Auswahleinrichtung (16; 24; 33) deaktivierbar ausgestaltet ist.

3. Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei die

Auswahleinrichtung (16; 24; 33) eine in einer Ebene (21 1 ; 310) bewegliche Lochblende (40) umfasst.

4. Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei die

Auswahleinrichtung (16; 24; 33) eine Matrix aus einzeln aktivierbaren und deaktivierbaren Elementen (51 ) umfasst.

5. Beleuchtungseinrichtung (15) nach Anspruch 4, wobei die Beleuchtungseinrichtung eine Mikrospiegelanordnung, eine Flüssigkeitskristallmatrix oder einen räumlichen Lichtmodulator umfasst.

6. Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Lichtquelle (20), die erste Teiloptik (21 ; 23) und die zweite Teiloptik (25) eine Köhlersche

Beleuchtungseinrichtung bilden.

7. Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Lichtquelle (30), die erste Teiloptik (31 ) und die zweite Teiloptik (34) eine Beleuchtungseinrichtung zur Kritischen Beleuchtung bilden.

8. Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die erste Teiloptik (21 ; 23; 33) eingerichtet ist, die Lichtquelle (20; 30) auf ein vergrößertes Zwischenbild abzubilden.

9. Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Lichtquelle (20; 30) eine monochromatische Lichtquelle ist.

10. Beleuchtungseinrichtung (70), umfassend:

eine Vielzahl kreisförmig angeordneter Lichtquellenelemente (71 ), wobei die

Lichtquellenelemente wahlweise ansteuerbar sind, um ein Objekt nur mit einem Teil der Lichtquellenelemente (71 ) zu beleuchten.

1 1 . Beleuchtungseinrichtung (70) nach Anspruch 10, wobei die Lichtquellenelemente (71 ) Leuchtdiodenelemente umfassen.

12. Beleuchtungseinrichtung (70) nach einem der Ansprüche 10 oder 1 1 , wobei eine Anzahl der Lichtquellenelemente (71 ) zwischen 6 und 15 liegt.

13. Untersuchungsvorrichtung, umfassend:

eine Beleuchtungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zur Beleuchtung eines Objekts (14; 27; 36),

eine Detektionsoptik (10) mit einer Kamera (1 1 ) zum Aufnehmen eines Bildes des Objekts (14; 27; 36), und

eine Steuerung (12), wobei die Steuerung (12) eingerichtet ist, in einer Betriebsart die

Beleuchtungseinrichtung (15) sequentiell zur Auswahl verschiedene Teile des Lichts oder zur Auswahl verschiedener Lichtquellenelemente anzusteuern und die Kamera (1 1 ) zum

Aufnehmen von jeweils zugeordneten Bildern für jeden ausgewählten Teil anzusteuern.

14. Untersuchungsvorrichtung nach Anspruch 13, weiter umfassend:

eine Auswerteeinrichtung (12) zum Berechnen einer Gesamtbildinformation auf Basis der aufgenommenen Bilder des Objekts (14; 27; 36).

15. Untersuchungsvorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, wobei die Detektionsoptik (10) eine Mikroskopoptik umfasst.

16. Untersuchungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 13-15, wobei die Steuerung eingerichtet ist, in einer weiteren Betriebsart die Beleuchtungseinrichtung zur Auswahl aller Teile des Lichts oder zur Auswahl aller Lichtquellenelemente anzusteuern.

17. Verfahren, umfassend:

Lenken von Licht einer Lichtquelle (20; 30) zu einem Objekt (14; 27; 36),

Auswählen nur eines Teiles des Lichtes der Lichtquelle zur Beleuchtung des Objekts (14; 27; 36), wobei das Auswählen zumindest näherungsweise in einer Ebene einer

Beleuchtungspupille erfolgt,

Aufnehmen eines Bildes des beleuchteten Objekts (14; 27; 36),

Wiederholen des Auswählens und des Aufnehmens des Bildes für eine Vielzahl

Berechnen einer Gesamtbildinformation aus der Vielzahl von Bildern.

18. Verfahren nach Anspruch 17, wobei das Verfahren mit einer Untersuchungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16 durchgeführt wird.

19. Verfahren, umfassend:

in einer ersten Betriebsart, Ansteuern einer Beleuchtungseinrichtung zum sequenziellen Beleuchten eines Objekts aus verschiedenen Richtungen, und

Aufnehmen eines Bildes des Objekts für jede Richtung, und

in einer zweiten Betriebsart, Beleuchten des Objekts aus allen zur Verfügung stehenden Richtungen, und Aufnehmen eines Bildes des Objekts.

20. Verfahren nach Anspruch 19, wobei das Ansteuern in der ersten Betriebsart ein

Auswählen eines Teiles von Lichtquellenelementen der Beleuchtungseinrichtung umfasst, und in der zweiten Betriebsart ein Auswählen aller Lichtquellenelemente der

Beleuchtungseinrichtung umfasst.

21 . Verfahren nach Anspruch 19, wobei das Ansteuern in der ersten Betriebsart ein

Auswählen nur eines Teiles von Licht einer Lichtquelle umfasst, und wobei das Ansteuern in der zweiten Betriebsart ein Auswählen aller in der ersten Betriebsart auswählbaren Teile des Lichtes umfasst.