WO2013139570A2 - Vakuum-drehschieberpumpe - Google Patents

Vakuum-drehschieberpumpe Download PDF

Info

Publication number
WO2013139570A2
WO2013139570A2 PCT/EP2013/054004 EP2013054004W WO2013139570A2 WO 2013139570 A2 WO2013139570 A2 WO 2013139570A2 EP 2013054004 W EP2013054004 W EP 2013054004W WO 2013139570 A2 WO2013139570 A2 WO 2013139570A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
rotary vane
channel
vacuum rotary
vane pump
pump according
Prior art date
Application number
PCT/EP2013/054004
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2013139570A3 (de
Inventor
Laurent FURRER
Jean-Francois Aubert
Frederic Jeziorowski
Laurent BREGIER
Eric Figoni
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
Priority to EP13708741.7A priority Critical patent/EP2836722B1/de
Priority to ES13708741T priority patent/ES2900750T3/es
Priority to CN201380015852.1A priority patent/CN104204533B/zh
Publication of WO2013139570A2 publication Critical patent/WO2013139570A2/de
Publication of WO2013139570A3 publication Critical patent/WO2013139570A3/de

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F04C18/3441Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28Safety arrangements; Monitoring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/02Lubrication; Lubricant separation
    • F04C29/026Lubricant separation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F04C29/124Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
    • F04C29/126Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
    • F04C29/128Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type of the elastic type, e.g. reed valves

Definitions

  • the invention relates to a vacuum rotary vane pump.
  • Vacuum rotary vane pumps have a pump chamber arranged in a housing. Within the housing, a rotor is arranged eccentrically. Two or more sliders are usually connected to the rotor in slide slots. As a result of the centrifugal force, the slides are pressed against an inner wall of the pump chamber during a rotation of the rotor. To generate a vacuum, a suction opening of the vacuum rotary vane pump is connected to the space to be vacuumed. Due to the eccentricity of the rotor and the changing size of the chambers formed between the sliders, the medium is conveyed through one or more ejection channels.
  • the at least one ejection channel usually runs from the suction chamber into an oil chamber.
  • a vacuum rotary vane pump in which a compensation channel is connected to the discharge channel. At the compensation channel is substantially at atmospheric pressure.
  • the compensation channel is arranged in a flange of the pump housing and covered by a valve plate of the valve device.
  • the object of the invention is to provide a covered groove in the flange to develop an alternative solution, which may be retrofitted cost and / or existing pumps.
  • the suction chamber is connected to an oil chamber via an ejection channel, wherein a valve device is arranged between the oil chamber and the ejection channel.
  • the valve device serves to prevent a backflow of medium, ie usually a mixture of oil and air, from the oil chamber into the pump chamber.
  • at least one compensation channel is provided, which connects the discharge channel with a region in which substantially atmospheric pressure prevails.
  • the compensation channel is connected to an air space of the oil chamber, wherein the air space of the oil chamber is the area of the oil chamber, which is above the oil bath and in which substantially enriched with oil air is present.
  • the medium By providing such a compensation channel in conjunction with a valve device arranged between the oil chamber and the discharge channel, the medium is forced out of the pump chamber into the discharge channel during operation, the medium, which is usually a mixture of gas such as air and oil acts, passes through the valve means in the oil chamber. A part of the oil present in the medium is pressed into the compensation channel or sucked in by it and thus seals it off. It is thereby ensured that no fresh air is sucked in during operation via the compensation channel, or air with ambient pressure reaches the discharge channel.
  • the medium which is usually a mixture of gas such as air and oil acts
  • the compensation channel is integrated into the valve device.
  • This has the advantage that a designed according to the invention the compensation channel having valve device can be used for differently designed rotary vane pumps.
  • the valve device preferably has a valve plate which closes the discharge channel and which cooperates with a spring element. By the spring element a closing force is exerted on the valve plate.
  • the spring element is preferably also plate-shaped and has an elastic material for generating the spring force.
  • the valve plate has a connection opening connected to the discharge channel.
  • the connection opening opens into the compensation channel.
  • the cross-sectional area of the connection opening and preferably also of the compensation channel is preferably chosen as a function of the viscosity of the lubricant such that the at least one compensation channel forms a capillary channel in which oil is sucked in during operation. This results in a closing of the compensation channel during operation.
  • Controlled and defined emulsification of the oil is also achieved by providing the equalization channel.
  • the compensation channel is at least partially filled with oil, while the medium is conveyed from a region of the pumping space between two adjacent slides into the discharge channel. If the trailing slide now subsequently passes through the opening of the ejection channel connected to the suction chamber, the oil reservoir stored in the compensation channel is conveyed into this space. In this case, a small amount of air is sucked out of the compensation channel, which leads to the emulsion of the oil.
  • the number and shape design of the compensation channels a good emulsification of the lubricant can be ensured depending on the lubricant used.
  • the provision according to the invention of at least one compensation channel thus also leads to a reduction of noise in rotational speed limits of the vacuum rotary vane pump.
  • the small cross-sectional area of the at least one compensation channel ensures that only a small amount of air enters the pump.
  • an intermediate element is provided between the valve plate and the spring element of the valve device.
  • the at least one compensation channel is formed.
  • the intermediate element limits the compensation channel laterally and downwardly so that a compensation channel opening is formed in an upper region of the intermediate element.
  • the equalizing passage opening is connected to the oil chamber, the connection being made in the region of the oil chamber in which gas or air is.
  • the lower region is thus the region opposite the upper region, wherein the lower region is preferably arranged in the oil bath of the oil chamber.
  • the compensation channel is delimited by the valve plate and the spring element.
  • a versatile closed channel is formed, which has a compensation channel opening in the upper region and is closed in the lower region.
  • the intermediate element is formed such that it partially surrounds the connection opening.
  • the intermediate element is U-shaped.
  • the individual intermediate elements are preferably U-shaped or, in the case of a common intermediate element, the intermediate elements have corresponding slots or openings forming the compensation channels.
  • the at least one intermediate element may be connected to the valve plate and / or the spring element or an intermediate part arranged between the spring element and the intermediate element. This can be done, for example, by gluing or welding. It is also possible that the intermediate element is integrally formed with the valve plate and / or the spring element.
  • a one-piece design can be made with the spring element made of an elastic plastic.
  • the spring element made of an elastic plastic.
  • that is Intermediate element also made of elastic material to ensure a good seal can.
  • the at least one intermediate element is made of elastomeric plastic. This may be a separate one or more compensation channels forming intermediate element.
  • the at least one compensation channel is provided in the Ventllplättchen.
  • a slot or a groove may be provided in the valve plate.
  • the at least one compensation channel formed thereby is in turn open at the top and has a corresponding compensation channel opening, which opens in particular in the oil chamber into a region in which gas or air is present.
  • a bore could be provided in the Ventllplättchen, wherein for manufacturing reasons, the provision of a slot or a groove is preferred. If a groove is provided, this is open in one direction. This opening of the groove can be closed by a housing wall, such as a flange of the housing.
  • the pumping chamber is connected to the oil chamber via a plurality of preferably parallel discharge channels.
  • the plurality of ejection channels may in this case be closed either with separate valve devices, wherein it is preferred to provide a common valve device.
  • This valve device may comprise a Ventllplättchen with multiple finger-like lugs, of Each finger-like approach a discharge channel is closed.
  • the spring element is preferably formed accordingly in this embodiment.
  • At least one of the plurality of ejection channels is connected to an integrated according to the invention in the valve means compensation channel.
  • several, in particular all, ejection channels are connected to a compensation channel.
  • a common equalization channel for a plurality of ejection channels or per ejection channel may be provided a separate equalization channel.
  • the valve plate is formed of an elastic, spring-back material.
  • a particularly good sealing of the valve plate can be achieved if the area of the valve plate which seals the discharge channel is located in an oil bath, so that an additional contact pressure is built up. Due to the increased tightness, a further and more efficient evacuation can be carried out.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of a first embodiment of a vacuum rotary vane pump
  • Fig. 2 is a schematic representation of the items of the
  • Fig. 3 is a schematic sectional view of a second embodiment of a vacuum rotary valve pump and Fig. 4 is a schematic representation of the items of the
  • a vacuum rotary vane pump (FIG. 1) has a housing 10. Within the housing 10, a rotor 14 is arranged in a pump chamber 12. The rotor 14 has in the illustrated embodiment, three slide slots 16, in each of which a slide 18 is arranged. The slides 18 are pressed by the rotation of the rotor 14 due to the centrifugal force against an inner wall 20 of the pump chamber.
  • a suction opening 22 which is connected to the space to be evacuated, medium is sucked from the space to be evacuated into a first area 24 of the pumping chamber 12.
  • the region 24 of the suction chamber 12 is bounded by two adjacent slides 18.
  • An area 28 of the suction space 12 located in front of the area 24 in the direction of rotation 26 is reduced by the rotation of the rotor 14, so that the medium located therein is compressed. From the region 28, the medium is conveyed through an ejection channel 30 from the suction chamber 12 in the direction of an oil chamber 32.
  • the oil chamber 32 is attached to a flange 34 of the housing 10 of the vacuum rotary vane pump.
  • the oil chamber 32 has an oil chamber or an oil bath 35, in which the oil supplied via the discharge channel 30, in particular together with the air taken from the space to be evacuated, collects.
  • valve means is an elastic valve pad 48 ( Figure 2) which is secured to the flange 34 of the housing 10, for example by means of a screw or nut 40. It is particularly preferred in the region of the outlet opening 36 that Place valve plate 48 in an oil bath 42.
  • a separate oil space is formed in the oil chamber 32 by an intermediate wall 44, wherein the oil flows in the direction of an arrow 47 when the oil space is filled.
  • a compensation channel is integrated according to the invention.
  • a compensation channel 50 is formed by an intermediate element 52.
  • the intermediate element 52 is in a preferred embodiment, a U-shaped made of elastic plastic part.
  • the valve has a valve plate 48.
  • the valve plate 48 which closes three mutually parallel discharge channels 30 in the illustrated embodiment, has finger-shaped projections 54 on this. These downward-pointing finger-shaped projections 54 each have a connection opening 56.
  • the connection opening 56 constitutes a connection between the discharge channel 30 and the compensation channel 50.
  • the intermediate elements 52 are arranged on the finger-shaped projections 54, wherein, for example, by means of gluing, fixing can take place.
  • An intermediate part 58 which is part of the intermediate element, closes off the front part of the respective compensation channels 50 facing away from a flange surface 47. Fixing of the intermediate part 58 likewise takes place by means of the screw 46.
  • the valve device has a spring element 60.
  • This spring element which is produced in particular from elastic plastic material, causes the valve plate 48 to be pressed back and thus the discharge channels 30 to be closed.
  • Both the intermediate part 58 and the spring element 60 have projections 62, 64 corresponding to the finger-shaped projections 54.
  • the compensation channels 50 are thus limited by the valve plate 48, the U-shaped intermediate elements 52 and the intermediate part 48.
  • the compensation channels 50 are connected to the discharge channels 30 via the connection openings 56.
  • the connection of the compensation channels 50 to an air space 53 of the oil chamber 32 takes place via compensation channel openings 66, which are arranged in the upper region of the intermediate elements.
  • an oil-enriched medium is conveyed from the region 28 in the direction of an arrow 68 into the discharge channel 30 during operation. Due to the pressure, the valve plate 48 is pushed back, so that the medium in the direction of an arrow 70 in the oil bath 42 and in the oil chamber 32 passes. A portion of the oil is in this case pressed into the Ausgieichskanäle 50, thus causing a seal.
  • the oil reservoir present in the channels 50 is drawn into the discharge channel 30 together with a small amount of air drawn in through the opening 66 from the air space 53 of the oil chamber 32.
  • the entrainment of air emulsifies the oil and thus reduces noise.
  • valve device 38 Due to the flow of oil or oil circulation in the area of the valve device 38, in particular of the valve plate 48, it is ensured that no deposits form here. In particular, pollution is the Valve device 38 avoided. As a result, jamming of the valve device 38 is avoided. Furthermore, a good seal is ensured and an influence of the valve tightness on the pump performance is avoided.
  • a second preferred embodiment (FIGS. 3 and 4), with the exception of the configuration of the valve device 38, has the same components, so that they are identified by the same reference numerals.
  • the mode of operation also corresponds to the mode of operation of the vacuum rotary vane pump described above with reference to FIGS. 1 and 2.
  • the at least one compensation channel is integrated into the valve device 38 such that a slot is provided in the valve plate 48 to form a compensation channel 72. This extends in the vertical direction over a large part of the valve plate in particular in one of the finger-shaped projections 54. The connection between the discharge channel 30 and the compensation channel 72 takes place in the lower region 74 of the slot.
  • the slot is bounded on the one side laterally by the valve plate 48 and on the other side by the flange surface 47 and by a correspondingly configured valve spring 60.
  • an intermediate part corresponding to the intermediate part 58 (FIG. be provided between the valve spring 60 and the valve plate 48.
  • the operation of the rotary vane vacuum pump shown in FIGS. 3 and 4 corresponds to that of the rotary vane vacuum pump illustrated in FIGS. 1 and 2.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Abstract

Eine Vakuum-Drehschieberpumpe weist einen Schöpfraum (12) in einem Gehäuse (10) auf. In dem Schöpfraum (12) ist ein Rotor (14) exzentrisch gelagert. Mit dem Rotor (14) sind verschiebbar Schieber (18) verbunden. Ferner ist mit dem Schöpfraum (12) und einer Ölkammer (32) ein Ausstoßkanal (30) verbunden. Zwischen dem Ausstoßkanal (30) und der Ölkammer (32) ist eine Ventileinrichtung (38) angeordnet, um ein Zurückströmen von Medium aus der Ölkammer (32) in den Schöpfraum (12) zu vermeiden. Erfindungsgemäß ist mindestens ein Ausgleichskanal (50,72) vorgesehen, der mit dem Ausstoßkanal (30) und der Ölkammer (32) verbunden ist und in die Ventileinrichtung (38) integriert ist.

Description

Vakuum-Drehschieberpumpe
Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Drehschieberpumpe.
Vakuum-Drehschieberpumpen weisen einen in einem Gehäuse angeordneten Schöpfraum auf. Innerhalb des Gehäuses ist ein Rotor exzentrisch angeordnet. Mit dem Rotor sind üblicherweise in Schieberschlitzen zwei oder mehr Schieber verbunden. Durch die Fliehkraft werden die Schieber während einer Drehung des Rotors gegen eine Innenwand des Schöpfraums gedrückt. Zur Erzeugung eines Vakuums ist eine Ansaugöffnung der Vakuum-Drehschieberpumpe mit dem zu vakuumierenden Raum verbunden. Auf Grund der Exzentrizität des Rotors und der sich verändernden Größe der zwischen den Schiebern ausgebildeten Kammern wird das Medium durch einen oder mehrere Ausstoßkanäle gefördert. Zur Schmierung und um eine gute Abdichtung der Schieber an der Innenwand des Schöpfraums zu gewährleisten, ist stets eine gewisse Menge an Öl zur Ausbildung eines Ölfilms im Schöpfraum vorhanden. Da das ausgestoßene Medium somit mit Öl vermischt ist, verläuft der mindestens eine Ausstoßkanal üblicherweise vom Schöpfraum in eine Ölkammer.
Wird die Vakuum-Drehschieberpumpe beispielsweise durch einen Ausfall plötzlich angehalten, hat dies zur Folge, dass der Schöpfraum über die Schmiermittelzufuhr mit Öl voll läuft. Dies führt zu einem erhöhten Drehmoment sowie zu einer erhöhten Geräuschentwicklung beim nächsten Starten der Pumpe. Ferner können auf Grund des erhöhten Drehmoments die Schieber beschädigt werden. Desweiteren besteht das Risiko, dass Öl in den zu vakuumierenden Raum eintritt und dort zu Beschädigungen führt. Es ist daher erforderlich, dass der Schöpfraum der Vakuum-Drehschieberpumpe nach dem Anhalten auf Atmosphärendruck gebracht wird, um ein Einströmen des Schmiermittels zu vermeiden.
Hierzu ist es aus US 3,301,474 bekannt, eine mit einer Ventilvorrichtung versehene Bohrung vorzusehen, die mit dem Schöpfraum verbunden ist. Dies ist relativ aufwändig, da eine gesondert anzusteuernde Ventilvorrichtung, die hohen Dichtigkeitsanforderungen genügen muss, vorgesehen werden muss.
Ferner ist aus EP 1 899 608 eine Vakuum-Drehschieberpumpe bekannt, bei der ein Ausgleichskanal mit dem Ausstoßkanal verbunden ist. An dem Ausgleichskanal liegt im Wesentlichen Atmosphärendruck an. Der Ausgleichskanal ist in einem Flansch des Pumpengehäuses angeordnet und von einem Ventilplättchen der Ventileinrichtung abgedeckt. Durch diese Lösung der Anmelderin kann ein Volllaufen des Schöpfraums beim Ausfall oder Abschalten der Vakuum-Drehschieberpumpe vermieden werden. Beim Ausfall bzw. Abschalten der Vakuum-Drehschieberpumpe wird durch den Ausgleichskanal Luft in den Schöpfraum eingesaugt, sodass nach kurzer Zeit in dem Schöpfraum bzw. dem mit dem Ausstoßkanal verbundenen Teil des Schöpfraums Atmosphärendruck herrscht.
Aufgabe der Erfindung ist es zu dem Vorsehen einer abgedeckten Nut in dem Flansch, eine alternative Lösung zu entwickeln, die ggf. kostengünstiger und/oder bei vorhandenen Pumpen nachrüstbar ist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1. Bei der erfindungsgemäßen Vakuum-Drehschieberpumpe ist der Schöpfraum mit einer Ölkammer über einen Ausstoßkanal verbunden, wobei zwischen der Ölkammer und dem Ausstoßkanal eine Ventileinrichtung angeordnet ist. Die Ventileinrichtung dient dazu, ein Zurückströmen von Medium, d. h. üblicherweise einem Gemisch aus Öl und Luft, aus der Ölkammer in den Schöpfraum zu verhindern. Ferner ist mindestens ein Ausgleichskanal vorgesehen, der den Ausstoßkanal mit einem Bereich verbindet, in dem im Wesentlichen Atmosphärendruck herrscht. Vorzugsweise ist der Ausgleichskanal mit einem Luftraum der Ölkammer verbunden, wobei es sich bei dem Luftraum der Ölkammer um den Bereich der Ölkammer handelt, der oberhalb des Ölbades liegt und in dem im Wesentlichen ggf. mit Öl angereicherte Luft vorhanden ist.
Durch das Vorsehen eines derartigen Ausgleichkanals in Verbindung mit einer zwischen der Ölkammer und dem Ausstoßkanal angeordneten Ventileinrichtung erfolgt im Betrieb ein Herausdrücken des Mediums aus dem Schöpfraum in den Ausstoßkanal, wobei das Medium, bei dem es sich üblicherweise um ein Gemisch aus Gas wie Luft und Öl handelt, durch die Ventileinrichtung in die Ölkammer gelangt. Ein Teil des in dem Medium vorhandenen Öls wird in den Ausgleichskanal gedrückt bzw. von diesem angesaugt und dichtet diesen somit ab. Es ist hierdurch sichergestellt, dass während des Betriebs über den Ausgleichskanal keine frische Luft angesaugt wird, bzw. Luft mit Umgebungsdruck in den Ausstoßkanal gelangt. Erfolgt ein Ausfall der Vakuum-Drehschieberpumpe oder auch ein bewusstes Anhalten der Vakuum-Drehschieberpumpe, so wird durch den Ausgleichskanal auf Grund des in dem Schöpfraum herrschenden geringeren Drucks das Öl aus der Kapillare gedrückt wird und Luft angesaugt. Dies führt zu einem schnellen Druckausgleich in dem Schöpfraum, so dass der Schöpfraum schnell auf Atmosphärendruck gebracht wird. Dies hat zur Folge, dass der Schöpfraum nicht über die Schmiermittelversorgung mit Öl voll läuft. Hierdurch sind die Nachteile eines erhöhten Drehmoments beim nächsten Start und ein hierdurch ggf. hervorgerufenes Beschädigen der Schieber vermieden. Auch ein Öl- oder Schmiermitteleintritt in den zu vakuumierenden Raum ist hierdurch vermieden. Die Zeitspanne zum Ausgleich des Drucks in dem Schöpfraum ist sehr gering.
Erfindungsgemäß ist der Ausgleichskanal in die Ventileinrichtung integriert. Hierdurch ist es beispielsweise möglich die Ventileinrichtung unabhängig von dem Gehäuse, insbesondere einer in dem Gehäuse vorgesehene Nut herzustellen. Dies hat den Vorteil, dass eine erfindungsgemäße ausgestaltete den Ausgleichskanal aufweisende Ventileinrichtung für unterschiedlich ausgestaltete Drehschieberpumpen verwendet werden kann. Desweiteren ist es möglich, bestehende Drehschieberpumpen durch einfaches Austauschen der Ventileinrichtung nachzurüsten.
Vorzugsweise weist die Ventileinrichtung ein den Ausstoßkanal verschließendes Ventilpiättchen auf, das mit einem Federelement zusammenwirkt. Durch das Federelement wird auf das Ventilpiättchen eine Verschlusskraft ausgeübt. Das Federelement ist vorzugsweise ebenfalls plattenförmig ausgebildet und weist ein zum Erzeugen der Federkraft elastisches Material auf.
Da der mindestens eine Ausgleichskanal erfindungsgemäß in die Ventileinrichtung integriert ist, weist das Ventilpiättchen in besonders bevorzugter Ausführungsform, eine mit dem Ausstoßkanal verbundene Verbindungsöffnung auf. Die Verbindungsöffnung mündet in den Ausgleichskanal. Die Querschnittsfläche der Verbindungsöffnung sowie vorzugsweise auch des Ausgleichskanals ist vorzugsweise in Abhängigkeit der Viskosität des Schmiermittels derart gewählt, dass der mindestens eine Ausgleichskanal einen Kapillarkanal ausbildet, in dem während des Betriebs Öl eingesaugt wird. Hierdurch erfolgt während des Betriebs ein Verschließen des Ausgleichskanals.
Ein weiteres Problem von Vakuum-Drehschieberpumpen besteht darin, dass bei Rotationsgeschwindigkeiten des Rotors im Grenzbereich eine erhöhte Geräuschentwicklung festzustellen ist. Zur Reduzierung der Geräuschentwicklung weist das Gehäuse im Kompressionsbereich eine kleine Öffnung auf, durch die Luft einströmen kann. Hierdurch entsteht eine Öl- Emulsion, durch die die Geräuschentwicklung verringert werden kann. Da die Luftzufuhr sehr ungenau ist und somit auch der Grad der Emulsion des Öls ungenau ist, kann die Geräuschentwicklung nur geringfügig reduziert werden.
Ein kontrolliertes und definiertes Emulgieren des Öls wird durch das Vorsehen des Ausgleichskanals ebenfalls erreicht. Wie beschrieben, wird der Ausgleichskanal zumindest teilweise mit Öl gefüllt, während des Medium aus einem Bereich des Schöpfraums zwischen zwei benachbarten Schiebern in den Ausstoßkanal gefördert wird. Passiert der nachlaufende Schieber nun hieran anschließend die mit dem Schöpfraum verbundene Öffnung des Ausstoßkanals, wird der in dem Ausgleichskanal gespeicherte Ölvorrat in diesen Raum gefördert. Hierbei wird eine geringe Menge Luft aus dem Ausgleichskanal mitgesogen, die zur Emulsion des Öls führt. Insbesondere durch die Anzahl und die Formgestaltung der Ausgleichskanäle kann in Abhängigkeit des verwendeten Schmiermittels ein gutes Emulgieren des Schmiermittels gewährleistet werden. Das erfindungsgemäße Vorsehen mindestens eines Ausgleichskanals führt somit auch zu einer Geräuschreduzierung in Drehzahl-Grenzbereichen der Vakuum- Drehschieberpumpe.
Auf Grund der geringen Querschnittfläche des mindestens einen Ausgleichkanals ist gewährleistet, dass nur eine geringe Menge Luft in die Pumpe gelangt. Insbesondere kann durch die Anzahl und durch die Querschnittsfläche sowie die Formgestaltung des mindestens einen Ausgleichskanals die in dem bzw. den Ausgleichskanälen zwischengespeicherte Ölmenge sowie die angesaugte Luftmenge bestimmt werden. Bei einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist zwischen dem Ventilplättchen und dem Federelement der Ventileinrichtung ein Zwischenelement vorgesehen. Durch das Zwischenelement wird der mindestens eine Ausgleichskanal ausgebildet. Vorzugsweise begrenzt das Zwischenelement den Ausgleichskanal seitlich und unten, sodass in einem oberen Bereich des Zwischenelements eine Ausgleichskanal-Öffnung ausgebildet ist. Die Ausgleichskanal-Öffnung ist mit der Ölkammer verbunden, wobei die Verbindung in dem Bereich der Ölkammer erfolgt, in dem Gas bzw. Luft ist. Der untere Bereich ist somit der dem oberen Bereich gegenüberliegende Bereich, wobei der untere Bereich vorzugsweise in dem Ölbad der Ölkammer angeordnet ist.
Ferner ist es bevorzugt, dass der Ausgleichskanal durch das Ventilplättchen und das Federelement begrenzt ist. Hierdurch ist ein vielseitig verschlossener Kanal ausgebildet, der im oberen Bereich eine Ausgleichskanalöffnung aufweist und im unteren Bereich verschlossen ist.
Vorzugsweise ist das Zwischenelement derart ausgebildet, dass es die Verbindungsöffnung teilweise umgibt. Vorzugsweise ist das Zwischenelement U-förmig ausgebildet. Beim Vorsehen mehrerer Ausgleichskanäle können auch mehrere einzelne Zwischenelemente oder ein gemeinsames Zwischenelement vorgesehen sein. Hierbei sind die einzelnen Zwischenelemente vorzugsweise U-förmig ausgebildet oder bei einem gemeinsamen Zwischenelement weisen die Zwischenelemente entsprechende die Ausgleichskanäle ausbildende Schlitze oder Öffnungen auf. Das mindestens eine Zwischenelement kann mit dem Ventilplättchen und/oder dem Federelement oder einem zwischen dem Federelement und dem Zwischenelement angeordneten Zwischenteil verbunden sein. Dies kann bspw. durch Verkleben oder Verschweißen erfolgen. Ebenso ist es möglich, dass das Zwischenelement mit dem Ventilplättchen und/oder dem Federelement einstückig ausgebildet ist. Insbesondere kann eine einstückige Ausbildung mit dem aus einem elastischen Kunststoff hergestellten Federelement erfolgen. Vorzugsweise ist das Zwischenelement ebenfalls aus elastischem Material, um eine gute Abdichtung gewährleisten zu können. Insbesondere ist das mindestens eine Zwischenelement aus elastomerem Kunststoff hergestellt. Hierbei kann es sich um ein gesondertes ein oder mehr Ausgleichskanäle ausbildendes Zwischenelement handeln.
Bei einer weiteren bevorzugten alternativen Ausführungsform ist der mindestens eine Ausgleichskanal in dem Ventllplättchen vorgesehen. Hierbei kann in dem Ventllplättchen bspw. ein Schlitz oder eine Nut vorgesehen sein. Der hierdurch gebildete mindestens eine Ausgleichskanal ist wiederum nach oben offen und weist eine entsprechende Ausgleichskanal-Öffnung, die insbesondere in der Ölkammer in einen Bereich mündet, in dem Gas bzw. Luft vorhanden ist. Zur Ausbildung des Ausgleichskanals könnte in dem Ventllplättchen auch eine Bohrung vorgesehen sein, wobei aus fertigungstechnischen Gründen das Vorsehen eines Schlitzes oder einer Nut bevorzugt ist. Sofern eine Nut vorgesehen ist, ist diese in eine Richtung offen. Diese Öffnung der Nut kann durch eine Gehäusewand, wie einen Flansch des Gehäuses, verschlossen. Ebenso ist es möglich, dass die Öffnung der Nut in die andere Richtung weist und sodann durch das Federelement oder ein Zwischenteil verschlossen ist. Beim Vorsehen eines Schlitzes in den Ventllplättchen ist diese in beide Richtungen offen und ist sodann auf einer Seite durch die Gehäusewand und auf der anderen Seite durch das Federelement bzw. das Zwischenteil verschlossen.
Wenngleich die vorstehende Erfindung im Wesentlichen anhand eines Ausstoßkanals, der mit einem Ausgleichskanal verbunden ist, beschrieben ist, ist es auch möglich, dass der Schöpfraum über mehrere vorzugsweise parallel zueinander verlaufende Ausstoßkanäle mit der Ölkammer verbunden ist. Die mehreren Ausstoßkanäle können hierbei entweder mit gesonderten Ventileinrichtungen verschlossen sein, wobei es bevorzugt ist, eine gemeinsame Ventileinrichtung vorzusehen. Diese Ventileinrichtung kann ein Ventllplättchen mit mehreren fingerartigen Ansätzen aufweisen, wobei von jedem fingerartigen Ansatz ein Ausstoßkanal verschlossen wird. Das Federelement ist bei dieser Ausführungsform vorzugsweise entsprechend ausgebildet. Zumindestens einer der mehreren Ausstoßkanäle ist mit einem erfindungsgemäß in die Ventileinrichtung integrierten Ausgleichskanal verbunden. Vorzugsweise sind mehrere insbesondere alle Ausstoßkanäle mit einem Ausgleichskanal verbunden. Hierbei kann ein gemeinsamer Ausgleichskanal für mehrere Ausstoßkanäle oder je Ausstoßkanal ein gesonderter Ausgleichskanal vorgesehen sein.
Vorzugsweise erfolgt mit Hilfe der Ventilzunge bzw. dem Ventilplättchen, das Öffnen und Verschließen des Ausstoßkanals. Hierzu ist das Ventilplättchen aus einem elastischen, rückfedernden Material ausgebildet. Eine besonders gute Abdichtung des Ventilplättchens kann erreicht werden, wenn sich der Bereich des Ventilplättchens, der den Ausstoßkanal abdichtet, in einem Ölbad befindet, so dass ein zusätzlicher Anpressdruck aufgebaut wird. Auf Grund der erhöhten Dichtigkeit kann ein weiteres und effizienteres Evakuieren durchgeführt werden.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen :
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer ersten Ausführungsform einer Vakuum-Drehschieberpumpe,
Fig. 2 eine schematische Darstellung der Einzelteile der
Ventileinrichtung der ersten Ausführungsform,
Fig. 3 eine schematische Schnittansicht einer zweiten Ausführungsform einer Vakuum-Drehschieberpump und Fig. 4 eine schematische Darstellung der Einzelteile der
Ventileinrichtung der zweiten Ausführungsform.
Eine Vakuum-Drehschieberpumpe (Fig. 1) weist ein Gehäuse 10 auf. Innerhalb des Gehäuses 10 ist in einem Schöpfraum 12 ein Rotor 14 angeordnet. Der Rotor 14 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel drei Schieberschlitze 16 auf, in denen jeweils ein Schieber 18 angeordnet ist. Die Schieber 18 werden durch die Rotation des Rotors 14 auf Grund der Fliehkraft gegen eine Innenwand 20 des Schöpfraums gedrückt.
Über eine Ansaugöffnung 22, die mit dem zu evakuierenden Raum verbunden ist, wird aus dem zu evakuierenden Raum Medium in einen ersten Bereich 24 des Schöpfraums 12 gesogen. Der Bereich 24 des Schöpfraums 12 ist durch zwei benachbarte Schieber 18 begrenzt. Ein in Drehrichtung 26 vor dem Bereich 24 befindlicher Bereich 28 des Schöpfraums 12 wird durch die Drehung des Rotors 14 verkleinert, so dass das darin befindliche Medium komprimiert wird. Aus dem Bereich 28 wird das Medium durch einen Ausstoßkanal 30 aus dem Schöpfraum 12 in Richtung einer Ölkammer 32 gefördert.
Die Ölkammer 32 ist an einem Flansch 34 des Gehäuses 10 der Vakuum- Drehschieberpumpe befestigt. Die Ölkammer 32 weist einen Ölraum bzw. ein Ölbad 35 auf, in dem sich das über den Ausstoßkanal 30 insbesondere zusammen mit der aus dem zu evakuierenden Raum entnommenen Luft zugeführte Öl sammelt.
Eine Auslassöffnung 36 des Ausstoßkanals 30 ist mit einer Ventileinrichtung 38 verschlossen. In dem dargestellten besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Ventileinrichtung um ein elastisches Ventilplättchen 48 (Fig. 2), das beispielsweise mit Hilfe einer Schraube oder Mutter 40 an dem Flansch 34 des Gehäuses 10 befestigt ist. Besonders bevorzugt ist es, im Bereich der Auslassöffnung 36 das Ventilplättchen 48 in einem Ölbad 42 anzuordnen. Hierzu ist in der Ölkammer 32 durch eine Zwischenwand 44 ein gesonderter Ölraum gebildet, wobei bei gefülltem Ölraum das Öl in Richtung eines Pfeils 47 fließt. Durch das Vorsehen eines Ölbads 42 wird auf eine Rückseite des Ventilplättchens, d. h. die in Richtung des Ölbads 42 weisende Seite des Ventilplättchens, Druck ausgeübt. Hierdurch wird die Dichtigkeit der Ventileinrichtung 38 erhöht.
In die Ventileinrichtung 38 ist erfindungsgemäß ein Ausgleichskanal integriert.
In der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung (Fig. 1 und 2) ist ein Ausgleichskanal 50 durch ein Zwischenelement 52 ausgebildet. Bei dem Zwischenelement 52 handelt es sich in bevorzugter Ausführungsform um ein U-förmiges aus elastischem Kunststoff hergestelltes Teil. Zur Ausgestaltung der im darstellten Ausführungsbespiel drei Ausgleichskanäle 50 weist das Ventil ein Ventilplättchen 48 auf. Das Ventilplättchen 48, das im dargestellten Ausführungsbeispiel drei zueinander parallel verlaufende Ausstoßkanäle 30 verschließt, weist hierzu fingerförmige Ansätze 54 auf. Diese nach unten weisenden fingerförmigen Ansätze 54 weisen jeweils eine Verbindungsöffnung 56 auf. Die Verbindungsöffnung 56 stellt eine Verbindung zwischen dem Ausstoßkanal 30 und dem Ausgleichskanal 50 dar. Auf den fingerförmigen Ansätzen 54 werden die Zwischenelemente 52 angeordnet, wobei bspw. durch Verkleben ein Fixieren erfolgen kann. Ein Zwischenteil 58, das Bestandteil des Zwischenelements ist, verschließt den vorderen von einer Flanschfläche 47 wegweisenden Teil der jeweiligen Ausgleichskanäle 50. Das Fixieren des Zwischenteils 58 erfolgt ebenfalls durch die Schraube 46.
Desweiteren weist die Ventileinrichtung ein Federelement 60 auf. Dieses insbesondere aus elastischem Kunststoffmaterial hergestellte Federelement bewirkt ein Zurückdrücken des Ventilplättchens 48 und somit ein Verschließen der Ausstoßkanäle 30. Sowohl das Zwischenteil 58 als auch das Federelement 60 weisen den fingerförmigen Ansätzen 54 entsprechende Ansätze 62,64 auf. Im montierten Zustand sind die Ausgleichskanäle 50 somit durch das Ventil plättchen 48, die U-förmigen Zwischenelemente 52 und das Zwischenteil 48 begrenzt. Über die Verbindungsöffnungen 56 erfolgt ein Verbinden der Ausgleichskanäle 50 mit den Ausstoßkanälen 30. Die Verbindung der Ausgleichskanäle 50 mit einem Luftraum 53 der Ölkammer 32 erfolgt über Ausgleichskanalöffnungen 66, die im oberen Bereich der Zwischenelemente angeordnet sind.
Durch Rotation des Rotors 14 wird im Betrieb ein mit Öl angereichertes Medium aus dem Bereich 28 in Richtung eines Pfeils 68 in den Ausstoßkanal 30 gefördert. Auf Grund des Drucks wird das Ventilplättchen 48 zurückgedrückt, so dass das Medium in Richtung eines Pfeils 70 in das Ölbad 42 bzw. in die Ölkammer 32 gelangt. Ein Teil des Öls wird hierbei in die Ausgieichskanäle 50 gedrückt und bewirkt somit ein Abdichten.
Sobald der Bereich 28 im Wesentlichen entleert ist, wird der in den Kanälen 50 vorhandene Ölvorrat zusammen mit einer geringen Menge an Luft, die durch die Öffnung 66 aus dem Luftraum 53 der Ölkammer 32 angesaugt wird, in den Ausstoßkanal 30 gesogen. Durch das Mitziehen von Luft erfolgt ein Emulgieren des Öls und somit eine Geräuschreduktion.
Beim Anhalten der Pumpe, beispielsweise durch einen Ausfall, wird über die Öffnung 66 und die Ausgleichskanäle 50 aus dem Luftraum 53 Luft in den Schöpfraum 12 gesaugt, so dass ein Druckausgleich erfolgt und der Schöpfraum 12 im Wesentlichen auf Atmosphärendruck gebracht wird. Hierdurch ist sichergestellt, dass kein oder allenfalls nur geringe Mengen an Schmiermittel in den Schöpfraum gelangt. Ein Volllaufen des Schöpfraums 12 durch Schmiermittel ist hierdurch vermieden.
Aufgrund der Ölströmung bzw. Ölzirkulation im Bereich der Ventileinrichtung 38, insbesondere des Ventilplättchens 48, ist sichergestellt, dass sich hier keine Ablagerungen bilden. Insbesondere ist eine Verschmutzung der Ventileinrichtung 38 vermieden. Hierdurch ist eine Verklemmung der Ventileinrichtung 38 vermieden. Ferner ist eine gute Abdichtung gewährleistet und ein Einfluss der Ventildichtigkeit auf die Pumpenleistung vermieden.
Eine zweite bevorzugte Ausführungsform (Fig. 3 und 4) weist mit Ausnahme der Ausgestaltung der Ventileinrichtung 38 dieselben Bauteile auf, sodass diese mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Auch die Funktionsweise entspricht der vorstehend anhand der Fig. 1 und 2 beschriebenen Funktionsweise der Vakuum-Drehschieberpumpe.
Bei dem in Fig. 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der mindestens eine Ausgleichskanal derart in die Ventileinrichtung 38 integriert, dass zur Ausbildung eines Ausgleichskanals 72 in dem Ventilplättchen 48 ein Schlitz vorgesehen ist. Dies erstreckt sich in vertikale Richtung über einen Großteil des Ventilplättchens insbesondere in einen der fingerförmigen Ansätze 54. Die Verbindung zwischen dem Ausstoßkanal 30 und dem Ausgleichskanal 72 erfolgt im unteren Bereich 74 des Schlitzes.
Zur Ausgestaltung des Ausgleichskanals 72 ist der Schlitz einerseits seitlich durch das Ventilplättchen 48 begrenzt und andererseits durch die Flanschfläche 47 sowie durch eine entsprechende ausgestaltete Ventilfeder 60. Zusätzlich kann zwischen der Ventilfeder 60 und dem Ventilplättchen 48 ein Zwischenteil entsprechend dem Zwischenteil 58 (Fig. 2) vorgesehen sein. Die Funktionsweise der in den Figuren 3 und 4 dargestellten Drehschieber- Vakuumpumpe entspricht derjenigen der in Fig. 1 und 2 dargestellten Drehschieber- Vakuumpumpe.

Claims

Ansprüche
1. Vakuum-Drehschieberpumpe, mit einem einen Schöpfraum (12) aufweisenden Gehäuse (10), einem exzentrisch in dem Schöpfraum (12) angeordneten Rotor (14), mit dem Rotor (14) verschiebbar verbundenen Schiebern (18), einem mit dem Schöpfraum (12) und einer Ölkammer (32) verbundenen Ausstoßkanal (30), einer zwischen der Ölkammer (32) und dem Ausstoßkanal (30) angeordneten Ventileinrichtung (38), um ein Zurückströmen von Medium aus der Ölkammer (32) in den Schöpfraum (12) zu unterbinden und mindestens einem mit dem Ausstoßkanal (30) verbundenen Ausgleichskanal (50,72), an dem im Wesentlichen Atmosphärendruck anliegt, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Ausgleichskanal (50,72) in die Ventileinrichtung (38) integriert ist.
2. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventileinrichtung (38) ein den mindestens einen Ausstoßkanal (30) verschließendes Ventilplättchen (48) und ein auf das Ventilplättchen (48) einwirkendes Federelement (60) aufweist.
3. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventiipiättchen (48) eine in den Ausgleichskanal (30) mündende mit dem Ausgleichskanal (30) verbundene Verbindungsöffnung (56,74) aufweist.
4. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) durch ein zwischen dem Ventiipiättchen (48) und dem Federelement (60) angeordnetes Zwischenelement (52) ausgebildet ist.
5. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (52) den Ausgleichskanal (50) seitlich und unten begrenzt und im oberen Bereich eine Ausgleichskanal-Öffnung (66) ausgebildet ist.
6. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) ferner durch das Ventiipiättchen (48) und das Federelement (60) oder ein Zwischenteil (58) begrenzt ist.
7. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (52) die Verbindungsöffnung (56) teilweise umgibt und vorzugsweise U-förmig ausgebildet ist.
8. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelemente (52) mit dem Ventiipiättchen (48) und/oder dem Federelement (60) und/oder dem Zwischenteil (58) verbunden oder mit dem Ventiipiättchen (48) und/oder dem Federelement (60) und/oder dem Zwischenteil (58) einstückig ausgebildet ist.
9. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (52) aus elastischem Material, insbesondere elastomerem Kunststoff hergestellt ist.
10. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (72) in dem Ventilplättchen (48) vorsehen ist.
11. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (72) als Schlitz oder Nut in dem Ventilplättchen (48) vorgesehen ist, der bzw. die seitlich durch das Federelement (60) oder ein Zwischenteil (58) und/oder eine Gehäusewand (47) des Gehäuses (10) verschlossen ist.
12. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Schlitz oder die Nut nach oben offen ist.
13. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50,72) in dem Betrieb der Drehschieber-Vakuumpumpe mit Öl verschlossen ist.
14. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50,72) als Kapillarkanal ausgebildet ist.
15. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Schöpfraum (12) und der Ölkammer (32) mehrere vorzugsweise parallel zueinander verlaufende Ausstoßkanäle (30) vorgesehen sind, die vorzugsweise von einer gemeinsamen Ventileinrichtung (38) verschlossen sind, wobei mindestens ein vorzugsweise mehrere und besonders bevorzugt alle Ausstoßkanäle (30) mit einem Ausgleichskanal (50,72) verbunden sind.
16. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Ausgleichskanal (50,72) mit einem Luftraum (53) der Ölkammer (32) verbunden ist.
17. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die den mindestens einen Ausstoßkanal (30) verschließende Ventileinrichtung (38) im Bereich des mindestens einen Ausstoßkanals (30) in einem Ölbad (42) angeordnet ist.
PCT/EP2013/054004 2012-03-22 2013-02-28 Vakuum-drehschieberpumpe WO2013139570A2 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP13708741.7A EP2836722B1 (de) 2012-03-22 2013-02-28 Vakuum-drehschieberpumpe
ES13708741T ES2900750T3 (es) 2012-03-22 2013-02-28 Bomba rotativa de paletas de vacío
CN201380015852.1A CN104204533B (zh) 2012-03-22 2013-02-28 旋片式真空泵

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202012002882U DE202012002882U1 (de) 2012-03-22 2012-03-22 Vakuum-Drehschieberpumpe
DE202012002882.0 2012-03-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2013139570A2 true WO2013139570A2 (de) 2013-09-26
WO2013139570A3 WO2013139570A3 (de) 2014-07-03

Family

ID=47845961

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2013/054004 WO2013139570A2 (de) 2012-03-22 2013-02-28 Vakuum-drehschieberpumpe

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP2836722B1 (de)
CN (1) CN104204533B (de)
DE (1) DE202012002882U1 (de)
ES (1) ES2900750T3 (de)
WO (1) WO2013139570A2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024078678A1 (de) 2022-10-10 2024-04-18 Busch Produktions Gmbh Verbesserte drehschieberpumpe

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202014009218U1 (de) 2014-07-11 2015-10-14 GM Global Technology Operations LLC (n. d. Ges. d. Staates Delaware) Drehschiebervakuumpumpe
FR3048462B1 (fr) * 2016-03-03 2020-01-10 Mil's Pompe, notamment a palettes lubrifiees
CN108119297B (zh) * 2017-11-14 2019-09-10 武汉船用机械有限责任公司 一种液压马达壳体和液压马达
CN117212157B (zh) * 2023-11-08 2024-02-27 江苏芬奇工业设备制造有限公司 一种可自动润滑旋片的旋片式真空泵

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3301474A (en) 1965-09-24 1967-01-31 Bendix Balzers Vacuum Inc Oil sealed mechanical rotary vacuum pump
EP1899608A1 (de) 2005-07-07 2008-03-19 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Vakuum-drehschieberpumpe

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3326456A (en) * 1965-09-13 1967-06-20 Prec Scient Company Check valve for a vacuum pump
GB1336873A (en) * 1970-01-31 1973-11-14 Gen Eng Radcliffe Vacuum pumps
WO2007003215A1 (en) * 2005-07-05 2007-01-11 Vhit S.P.A. Vacuum vane pump with discharge valve
DE102007005216B4 (de) * 2007-01-29 2015-07-30 Pierburg Gmbh Vakuumpumpe
WO2009018906A1 (de) * 2007-08-04 2009-02-12 Ixetic Hückeswagen Gmbh Vakuumpumpe
DE102010044898A1 (de) * 2010-09-09 2012-03-15 Schwäbische Hüttenwerke Automotive GmbH Vakuumpumpe mit Lüftungseinrichtung
CN201891609U (zh) * 2010-10-11 2011-07-06 王晟 一种真空泵排气装置的改进结构
CN202157963U (zh) * 2011-07-22 2012-03-07 上海真空泵厂有限公司 一种新型防返油旋片式真空泵

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3301474A (en) 1965-09-24 1967-01-31 Bendix Balzers Vacuum Inc Oil sealed mechanical rotary vacuum pump
EP1899608A1 (de) 2005-07-07 2008-03-19 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Vakuum-drehschieberpumpe

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024078678A1 (de) 2022-10-10 2024-04-18 Busch Produktions Gmbh Verbesserte drehschieberpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
CN104204533B (zh) 2017-03-08
EP2836722A2 (de) 2015-02-18
DE202012002882U1 (de) 2013-06-25
CN104204533A (zh) 2014-12-10
WO2013139570A3 (de) 2014-07-03
EP2836722B1 (de) 2021-11-03
ES2900750T3 (es) 2022-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1899608B1 (de) Vakuum-drehschieberpumpe
EP2836722B1 (de) Vakuum-drehschieberpumpe
DE3013006A1 (de) Drehkolbenverdichter
DE1728282A1 (de) Mechanische Vakuum-Rotorpumpe vom Schraubentyp
DE1628144B2 (de) Saugdrosselsteuereinrichtung
DE2308265A1 (de) Rotations- bzw. drehkolbenverdichter anlage mit oelkreislauf und ventilanordnungen
DE1503507C3 (de) Flügelzellenverdichter
DE3319000A1 (de) Drehkolbenpumpe
EP0084085B1 (de) Vakuumpumpe mit einem Saugstutzen-Ventil und Betriebsverfahren dafür
DE102008004569A1 (de) Hubkolbenverdichter
DE102007010729B3 (de) Vakuumpumpe
DE202012002883U1 (de) Vakuum-Drehschieberpumpe
DE4008522C2 (de)
WO2014198524A1 (de) Vakuumpumpe sowie verfahren zum betreiben einer vakuumpumpe
WO2010025799A2 (de) Vakuumpumpe
DE2029280A1 (de) Vakuumpumpe
DE4425406A1 (de) Abstützkonstruktion für eine Drehwelle eines Kompressors
DE10130953C2 (de) Flügelzellen- oder Rollenzellenpumpe
DE202005022024U1 (de) Vakuum-Drehschieberpumpe
DE202012002881U1 (de) Vakuum-Drehschieberpumpe
EP0608796A1 (de) Druck-Saugverteiler eines Hochdruckreinigungsgerätes mit zusätzlichem Steuerventil
DE19918393B4 (de) Hydraulische Fördereinrichtung
DE2157637B2 (de) Flügelzellenpumpe oder -motor
DE2843170A1 (de) Anordnung in einem kompressor zur draenierung von fluessigkeit
DE4123938A1 (de) Fluessigkeitsring-vakuumpumpe

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13708741

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2013708741

Country of ref document: EP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13708741

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2