WO2013127311A1 - 一种平面电机动子位移的测量方法 - Google Patents

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WO2013127311A1
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displacement
sensor
planar motor
motor mover
magnetic field
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朱煜
胡金春
徐登峰
孙玉婷
尹文生
张鸣
杨开明
穆海华
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清华大学
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    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B6/00Internal feedback arrangements for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral or differential
    • G05B6/02Internal feedback arrangements for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral or differential electric
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
    • GPHYSICS
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    • G01B7/14Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures

Definitions

  • the invention relates to a displacement measuring method of a motor, in particular to a magnetic field signal analysis of a planar motor, and a precise displacement detection of a planar motor.
  • the rotary motor produces a power drive that is converted to planar motion by mechanical means. Due to the complexity of the mechanical device, the transmission accuracy and speed are limited, and it needs to be adjusted frequently, resulting in high cost, poor reliability, and large volume.
  • the original planar motor was implemented by two directly driven planar motors that added complexity to the drive train.
  • the plane motor which directly uses electromagnetic energy to generate plane motion has the characteristics of high output density, low heat consumption and high precision. Since the intermediate conversion device from rotary motion to plane motion to plane motion is omitted, the control object can be controlled by the same motor. It has an integrated structure and has the advantages of fast response, high sensitivity, good follow-up and simple structure.
  • Signal subdivision technology has a wide range of applications in the fields of machinery and electronics.
  • the magnetic field signals of the planar motor are periodically distributed, and each time the signal changes, it corresponds to a fixed displacement in space.
  • the measurement circuit usually uses the method of counting the signal period to measure the displacement. If the period of the signal is simply counted, the resolution of the instrument is the displacement corresponding to a signal period. In order to improve the resolution of the instrument, subdivision techniques are required.
  • the object of the present invention is to provide a method for measuring the displacement of a planar motor mover, measuring the relative displacement of the planar motor mover and the stator in the x and F directions, realizing the signal height subdivision, and making the signal processing simple and fast.
  • the magnetic steel array on the stator of the planar motor generates a magnetic field
  • four magnetic induction sensors are arranged on the planar motor mover: the coordinates of the first sensor are ( ⁇ ' ), the coordinates of the second sensor are i) , and the third sensor The coordinates are), the coordinates of the fourth sensor are (the sampling signals of the first sensor, the second sensor, the third sensor, and the fourth sensor are respectively ⁇ ", Bb , A and , and the sampling signal, B » A, and the signal are perform processing circuit, wherein the distance between the X-direction are sequentially position coordinates Xl, ⁇ 2, and a planar motor ⁇ 4 X-direction magnetic field of the pole pitch of a quarter ⁇ , ⁇ L-direction position coordinate, a direction F away from the motor magnetic pole pitch plane a quarter of the ⁇ ;
  • the method of determining whether to generate the X-direction displacement and determining the X-direction displacement in the step 4) adopts the following method:
  • the relative displacement of the plane motor mover in the X direction is, if not, it is considered that the plane motor mover does not have a relative displacement in the X direction; if - ⁇ fa ⁇ 0 is established, the plane motor mover is relative in the X direction. The displacement is positive. If not, the relative displacement of the shell IJ plane motor mover in the X direction is negative.
  • step 4 it is determined whether a directional displacement is generated and a direction position is determined.
  • the positive and negative of the shift is as follows:
  • the relative displacement of the planar motor mover in the direction is not established, then it is considered that the planar motor mover does not have a relative displacement in the F direction;
  • the above technical solution can make the invention achieve the outstanding effect, that is, the displacement measurement of the motor mover relative to the stator is realized based on the magnetic field of the motor itself as the displacement detection signal, which can avoid unfavorable factors such as difficulty in mounting the sensor; and can improve the resolution of the measurement system and realize Highly subdivided;
  • the calculation of avoiding the transcendental function and solving the quadrant judgment problem make the calculation simple, and it is beneficial to real-time high-speed operation, which has high engineering value.
  • Fig. 1 is a schematic view showing the overall structure of a movable motor type planar motor according to the method for measuring the displacement of a planar motor.
  • FIG. 2 is a view showing a position where a first sensor, a second sensor, a third sensor, and a fourth sensor are mounted on a planar motor mover.
  • FIG. 3 is a flow chart of a method for measuring a displacement of a planar motor mover according to the present invention.
  • 1-plane motor stator 2-magnetic steel array; 3-plane motor mover; 4-first sensor; 5-second sensor;
  • the measuring method of the planar motor mover displacement is applied to a sensor arrangement scheme of a moving coil type planar motor.
  • the coordinates of the first sensor 4 are ( ⁇ ⁇ ' ), the coordinates of the second sensor 5 are ⁇ ⁇ , the third sensor The coordinates of 6 are ( ⁇ 2' , the coordinates of the fourth sensor 7 are ( ⁇ 4' ), and the sampling signals of the first sensor, the second sensor, the third sensor, and the fourth sensor are A B b , B c and , respectively.
  • the sampling signal ⁇ ., B b, and a signal processing circuit 8 for processing wherein the distance between the X direction successively position coordinates, X ⁇ and X-direction X4 planar motor magnetic pole ⁇ quarter pitch, the direction of the position coordinates
  • One quarter of the distance of the magnetic field in the F direction of the plane motor. 3 is a flow chart of a method for measuring a displacement of a planar motor mover according to the present invention. Because according to the above sensor arrangement, ⁇ the sampling signals of the first sensor, the second sensor, the third sensor, and the fourth sensor, and are respectively
  • B and Wo are approximate as follows:
  • the left half equations of equations (13) and (14) are calculated by the sampling signals of the first sensor, the second sensor, the third sensor, and the fourth sensor.
  • ⁇ ; ⁇ are the X-direction displacement resolution and the directional displacement resolution that have been set at the time of initialization, respectively.
  • the plane motor mover When it is established, it is considered that the plane motor mover generates the X-direction displacement. If it is not true, the plane motor mover is considered to generate the X-square.
  • the displacement is less than . If it is established, it is considered that the planar motor mover produces a displacement in the F direction.
  • the invention provides a method for measuring the displacement of a planar motor mover, and the method comprises the following steps:
  • the magnetic steel array on the stator 1 of the planar motor generates a magnetic field
  • four magnetic induction sensors are arranged on the planar motor mover 3: the coordinates of the first sensor 4 are ( ), and the coordinates of the second sensor 5 are (the third sensor 6)
  • the coordinates of the fourth sensor 7 are), and the sampling signals of the first sensor, the second sensor, the third sensor, and the fourth sensor are respectively ⁇ .
  • the sampling signals «, , A and A are processed in the signal processing circuit 8, wherein the X-direction position coordinates, X and the distance between the X and the magnetic field of the plane motor are sequentially one quarter, y direction The position coordinate ⁇ , one quarter of the distance of the magnetic field in the y direction of the plane motor;
  • the method of determining whether to generate the X-direction displacement and determining the X-direction displacement in the step 4) adopts the following method:
  • the relative displacement of the planar motor mover in the X direction is, if not, it is considered that the planar motor mover has no relative displacement in the X direction.
  • the method of determining whether to generate the y-direction displacement and determining the positive and negative of the F-direction displacement in the step 4) adopts the following method:
  • the relative displacement of the planar motor mover in the F direction is ⁇ )7 . If not, it is considered that the planar motor mover does not have a relative displacement in the F direction; if ⁇ ⁇ ⁇ Q is established, the planar motor mover The relative displacement in the direction is positive. If not, the relative displacement of the planar motor mover in the direction is negative.
  • the magnetic steel array 2 on the stator 1 of the planar motor generates a magnetic field
  • four magnetic induction sensors are arranged on the planar motor mover 3: the coordinates of the first sensor 4 are (, ⁇ ), and the coordinates of the second sensor 5 are ( ⁇ ) 3 , ⁇ ), the coordinates of the third sensor 6 are (x 2 , r 2 ), the coordinates of the fourth sensor 7 are (X 4 , Y 2 ), the first sensor, the second sensor, the third sensor, and the fourth sensor
  • the sample signals are ⁇ ⁇ , B b , and , and the sampling signal, B b , and are processed in the signal processing circuit 8, wherein the X-direction position coordinates, X 2 , 3 and 4 are sequentially spaced apart by 8. 8375wwi , ⁇ direction position coordinates, y 2 distance 8.8375m;
  • steps 3) to 5) to measure the mover displacement of the planar motor in real time.
  • the measurement method of the planar motor mover displacement is provided, and the relative displacements of the plane motor mover and the plane motor stator in the X and 37 directions are respectively measured, the signal height is subdivided, and the signal processing is simple and fast.

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Abstract

一种平面电机动子位移的测量方法,所述测量方法包括:在平面电机动子上布置四个磁感应强度传感器,由所布置的四个传感器的采样信号处理后得到信号Β sx 、Β cx 、Β sy Β cy ,以及得到磁场参考值Β ksx 、Β kcx 、Β ksy Β kcy 。Δx、Δy分别为X、Y方向位移分辨率,Β M 为平面电机本身磁场的磁感应强度幅值,根据不等式(I)和(II)进行判断,可分别测量X方向位移和Y方向位移。本发明所述方法,计算简单,可避免超越函数的计算和解决象限判断问题,有利于实时高速运算,具有较高的工程价值。

Description

一种平面电机动子位移的测量方法
技术领域
本发明涉及电机的位移测量方法, 尤其是适用于处理平面电机磁场信号分析, 实现平面 电机精密位移检测。
背景技术
旋转式电动机产生动力驱动,再由机械装置,转换为平面运动。 由于机械装置复杂,传动精 度和速度都受到限制,且需经常调校,造成成本高、可靠性差、 体积较大。最初的平面电动机是 由两台直接驱动的平面式电动机来实现说的,这种结构增加了传动***的复杂性。 而直接利用电 磁能产生平面运动的平面电动机,具有出力密度高、低热耗、 高精度的特点,因省去了从旋转运 动到平面运动再到平面运动的中间转换装置,可把控制对象同电机做成一体化结构,具有反应 快、 灵敏度高、 随动性好及结构简单等优点。
信号细分技术在机械和电子等领域有着广泛的应用书。 平面电机的磁场信号周期性分布, 信号每变化一个周期就对应着空间上一个固定的位移量。 测量电路通常采用对信号周期进行 计数的方法实现对位移的测量, 若单纯对信号的周期进行计数, 则仪器的分辨力就是一个信 号周期所对应的位移量。 为了提高仪器的分辨力, 需采用细分技术。
发明内容
本发明的目的在于提供一种平面电机动子位移的测量方法, 测量平面电机动子与定子在 xF方向的相对位移, 实现信号高度细分, 并且使信号处理简单快速。
为了达到上述目的, 本发明所采用的技术方案如下:
1)平面电机定子上的磁钢阵列产生磁场,在平面电机动子上布置四个磁感应强度传感器: 第一传感器的坐标为(Χΐ' )、第二传感器的坐标为 i)、第三传感器的坐标为 )、 第四传感器的坐标为( 第一传感器、 第二传感器、 第三传感器和第四传感器的采样 信号分别为 β"、 Bb、 A和 , 将采样信号 、 B»、 A和 在信号处理电路中进行处理, 其中 X方向位置坐标 XlΧ2、 和 Χ4之间依次相距平面电机 X方向磁场极距^的四分之一, ^ 方向位置坐标 l、 相距平面电机 F方向磁场极距的 ^的四分之一;
2 )设 X方向位移分辨率 Δ 、 方向位移分辨率 测量磁钢阵列产生的磁场的磁感应 强度幅值 初始化 X方向计数单元 = Q、 y方向计数单元 = Q, 初始化 X方向磁场参
Figure imgf000003_0001
, y方向磁场参考值 中 。、 Bb0、 Α。和 。分别为平面电机动子在初始位置时第一传感器、第二传感器、第三传感 器和第四传感器的采样信号;
3)测量开始, 采样得到第一传感器、 第二传感器、 第三传感器和第四传感器的采样信号
Ba、 Bb、 ^和 S , 将^、 Bk、 ^和 在信号处理电路中分别处理成四路信号 β„、 Bcx、 S "和
, , . Β ― Β, Β ― Β, Β + Β, Β + Β,
Β , 其中: Β =^—— 、 Β =^—— d -, Β =^—— b -, Β =^—— d -
4) 通过信号处理电路判断是否产生 X方向位移和 ί7方向位移: a.若产生 X方向位移,需要进一歩判断 X方向位移的正负,如果产生的 X方向位移为正, 则 X方向计数单元 = + 1, 如果产生的 X方向位移为负, 则 X方向计数单元 更新 X方向磁场参考值 B = Β^ Β^ = B", 完成 X方向位移测量;
若没有产生 X方向位移, 则直接完成 X方向位移测量; b.若产生 i7方向位移, 需要进一步判断 F方向位移的正负, 如果产生的 F方向位移为正, 则 ί7方向计数单元 = +1, 如果产生的 F方向位移为负, 则 ί方向计数单元 = ― 更 新 ί7方向磁场参考值 = 5"、 B^ =Bcy , 完成 y方向位移测量; 若没有产生 y方向位移, 则直接完成 y方向位移测量;
5) X方向位移测量和 y方向位移测量均完成后, 计算平面电机动子方向的相对位移为 χ = 'Δχ, y方向的相对位移为 y = . ;
6) 重复步骤 3) 至 5), 实现实时测量平面电机动子的位移。
上述技术方案中, 其特征在于, 所述步骤 4) 中判断是否产生 X方向位移和判断 X方向 位移的正负采用如下方法:
Β, Β -Β, Β
成立, 则平面电机动子在 X方向的相对位移为 , 若不成立, 则认为平面电机动子在 X方向没有产生相对位移; 若 - ^fa ≥0成立, 则平面电机动子在 X方向的相对位移为正, 若不成立, 贝 IJ平 面电机动子在 X方向的相对位移为负。
上述技术方案中, 其特征在于, 所述步骤 4)中判断是否产生 方向位移和判断 方向位 移的正负采用如下方法:
B, B - B, B
B,
成立, 则平面电机动子在 方向的相对位移为 若不成立, 则 认为平面电机动子在 F方向没有产生相对位移;
若 BksyBcy—BkcyBsy≥ 0成立, 则平面电机动子在 y方向的相对位移为正, 若不成立, 则平 面电机动子在 ί7方向的相对位移为负。
采用以上技术方案可使得本发明取得突出性效果, 即基于电机本身磁场作为位移检测信 号实现电机动子相对定子的位移测量, 可以避免传感器安装困难等不利因素; 并且能够提高 测量***分辨率, 实现高度的细分; 此外, 由于避免超越函数的计算和解决象限判断问题使 计算简单, 而有利于实时高速运算, 具有较高的工程价值。
附图说明
图 1为本发明所述平面电机动子位移的测量方法应用于动圈式平面电机总体结构示意 图。
图 2为在平面电机动子上安装第一传感器、 第二传感器、 第三传感器和第四传感器位置 图 3为本发明所述平面电机动子位移的测量方法的流程图。
其中, 1-平面电机定子; 2-磁钢阵列; 3-平面电机动子; 4-第一传感器; 5-第二传感器;
6-第三传感器; 7-第四传感器; 8-信号处理电路。
具体实施方式
下面以动圈式平面电机为例, 结合附图和实施例对本发明所述平面电机动子位移的测量 方法进行说明。
参考图 1和图 2, 为所述平面电机动子位移的测量方法应用于动圈式平面电机的传感器 布置方案。 平面电机定子 1上的磁钢阵列 2产生磁场^ = 2^ («^ + 801 } , 其中 ¾ /为磁钢阵 列 2产生的磁场 β的磁感应强度幅值, 为平面电机动子 X方向位移, y为平面电机动子 y方 向位移。 在平面电机动子 3上布置四个磁感应强度传感器: 第一传感器 4的坐标为(Χι' )、 第二传感器 5的坐标为 Υι 、 第三传感器 6的坐标为 (Χ2' 、 第四传感器 7的坐标为 (Χ4' ) ,第一传感器、第二传感器、第三传感器和第四传感器的采样信号分别为 A B bBc 和 , 将采样信号 β。、 Bb、 和 在信号处理电路 8中进行处理, 其中 X方向位置坐标 、 X ^和 X4之间依次相距平面电机 X方向磁场极距^的四分之一, 方向位置坐标
^ 相距平面电机 F方向磁场极距的 ^的四分之一。 图 3为本发明所述平面电机动子位移的测量方法的流程图。 因为按照上述传感器布置方 案, }所以第一传感器、 第二传感器、 第三传感器、 第四传感器的采样信号 、 、 和 分 别为
ΒαΜ{ήαχ+ύηγ) Bh = (— sin x+ sin y) Bc = BM (cos + cos y) Bd - BM (- cos x + cos j)
Β
ΰ。、 。b、 和 分别处理成四路信号 β Β«-、 Ββ< 其中: 2
= BC-Bd Β = Ba +Bb Β =Bc +Bd
2 和 设 i'时刻的 、 Bcx β 和 分别 Β. 、 Β. 禾 ΐπ口 Β " 由 (1) 式、 (2) 式、 (3) 式
B B Β
和 (4) 式, 以及 '"和 的定义, 得 "和£ 如下:
=¾sin ...... (5)
¾= si"…… (7) cos y (8) 设 + 1时刻的 β«、 β«、 和£ 分别 β+ 、 和 、"'。 由 (1) 式、 (2) 式、 (3) 式和 (4) 式, 以及平面电机动子在 ^时刻到 时刻所产生的 X方向相对位移 Δ 平面电机动子在 ^时刻到 i+1时刻所产生的 方向相对位移 Δ 位移很小的情况下, B 、 禾口 近似如下:
B(M)sx = BM sin(x + Δ ¾; βΜ ( sin x + cos x) (9)
B, BM cos(x+A ) ¾ ¾(cos -A sin ) (10)
BM)sy = sin(v + Δ,) - ( sin + A^cosv) ·····' (11) B, BM cos(y+A ) « SM (cos -Δ sin y) ' (12)
将公式 (5) - (12) 运算得:
Figure imgf000007_0001
在平面电机动子位移的实时测量应用中, (13)式和(14)式的左半部分等式由第一传感 器、 第二传感器、 第三传感器、 第四传感器的采样信号经过运算求得; 和 Δ;ν分别为初始 化时已设定的 X方向位移分辨率和 方向位移分辨率。 在实时测量的过程中, 分别同时判断
Figure imgf000007_0002
成立, 则认为平面电机动子产生 X方向位移为 若不成立则认为平面电机动子产生 X方
> Ay
B;
向位移小于 。 若 成立, 则认为平面电机动子产生 F方向位移为
Ay■ 若不成立则认为平面电机动子产生 F方向位移小于 Δ^。 如果认为平面电机动子产生 X方向位移, 需要进一步判断位移 的方向: 若
B 、U Β;0则认为位移 Δ 的方向为正方向, 同时 X方向计数单元 = ^ + 1 ;
Β(Μ)^ - Β(Μ)^Χ < 0则认为位移 Λ¾的方向为负方向, 同时 X方向计数单元 = — 1,。 如果认为平面电机动子产生 方向位移, 需要进一步判断位移 Δ^的方向: 若
- ≥0则认为位移 的方向为正方向, 同时 方向计数单元 = + 1; 若
< °则认为位移 Δ^的方向为负方向, 同时 F方向计数单元 = ― 1
X方向位移测量和 y方向位移测量均完成后, 计算平面电机动子 X方向的相对位移为
Figure imgf000007_0003
本发明提供的一种平面电机动子位移的测量方法, 该方法包括以下歩骤:
1)平面电机定子 1上的磁钢阵列 产生磁场, 在平面电机动子 3上布置四个磁感应强度 传感器: 第一传感器 4的坐标为( )、 第二传感器 5的坐标为( 第三传感器 6 的坐标为 第四传感器 7的坐标为 ), 第一传感器、 第二传感器、 第三传感 器和第四传感器的采样信号分别为 β。、 ^、 Α和 将采样信号 «、 、 A和 A在信号处理 电路 8中进行处理, 其中 X方向位置坐标 、 X 和 之间依次相距平面电机 X方向磁 场极距 的四分之一, y方向位置坐标 ^、 相距平面电机 y方向磁场极距的 的四分之一;
2)设 X方向位移分辨率 、 方向位移分辨率 Δ^, 测量磁钢阵列 2产生的磁场的磁感 应强度幅值 βΜ, 初始化 X方向计数单元 =Qy方向计数单元 =Q, 初始化 X方向磁场 β = β = β = + β = 参考值 2 fa" 2 , F方向磁场参考值 — 2 、 _ 2 , 其中 。、 β Μ、 。和 Q分别为平面电机动子在初始位置时第一传感器、第二传感器、第三传 感器和第四传感器的采样信号;
3) 测量开始, 釆样得到第一传感器 4、 第二传感器 5、 第三传感器 6和第四传感器 7的 釆样信号^、 Bb、 S和 ¾, 将 ΰ。、 Bb、 ^和 在信号处理电路 8中分别处理成四路信号3„、 丄 .、 B ― B, B ― Β> _ B -h Β· Β + Β, β , 、,和 „, , 其中: Β„= α - Β„ = c . ΰ,', = α 、 Β„, = c "
4) 通过信号处理电路 s判断是否产生 χ方向位移和 y方向位移: 若产生 X方向位移,需要进一步判断 X方向位移的正负,如果产生的 X方向位移为正, 则 X方向计数单元 =^ + 1, 如果产生的 X方向位移为负, 则 X方向计数单元 :^—1, 更新 X方向磁场参考值 = 、 完成 χ方向位移测量;
若没有产生 X方向位移, 则直接完成 X方向位移测量; b.若产生 y方向位移, 需要进一步判断 y方向位移的正负, 如果产生的 y方向位移为正, 则 F方向计数单元 = +1, 如果产生的 y方向位移为负, 则 y方向计数单元 = ― 更 新 r方向磁场参考值^ "、 Β^= , 完成 y方向位移测量; 若没有产生 y方向位移, 则直接完成 y方向位移测量;
5) X方向位移测量和 方向位移测量均完成后, 计算平面电机动子方向的相对位移为 = ^,A , y方向的相对位移为3 ^ ^;
6) 重复步骤 3) 至 5), 实现实时测量平面电机动子的位移。
上述技术方案中, 其特征在于, 所述步骤 4) 中判断是否产生 X方向位移和判断 X方向 位移的正负采用如下方法:
Β, Β -Β, Β
成立, 则平面电机动子在 X方向的相对位移为 , 若不成立, 则认为平面电机动子在 X方向没有产生相对位移
老 BksxBcx—BkcxBsx≥ , 则平面电机动子在 X方向的相对位移为正, 若不成立, 贝 IJ平 面电机动子在 X方向的相对位移为负。
上述技术方案中, 其特征在于, 所述步骤 4)中判断是否产生 y方向位移和判断 F方向位 移的正负采用如下方法:
Bt B —Bt B
≥Ay
B
成立, 则平面电机动子在 F方向的相对位移为 Δ)7, 若不成立, 则 认为平面电机动子在 F方向没有产生相对位移; 若 ^^― ^^≥Q成立, 则平面电机动子在 方向的相对位移为正, 若不成立, 则平 面电机动子在 方向的相对位移为负。
实施例:
所述的磁场极距^ =^= 35.35mm, 所述的 X方向位移分辨率 Δ¾ = 15 «ί、 F方向位移分 辨率 Ay = \5Mm, 测量得磁钢阵列形成的磁场的磁感应强度幅值为 =80mT
1)平面电机定子 1上的磁钢阵列 2产生磁场, 在平面电机动子 3上布置四个磁感应强度 传感器: 第一传感器 4的坐标为( , ^), 第二传感器 5的坐标为(Χ3, ί)、 第三传感器 6 的坐标为(x2, r2)、 第四传感器 7的坐标为 (X4, Y2) , 第一传感器、 第二传感器、 第三传感 器和第四传感器的釆样信号分别为 βα、 Bb、 和 , 将采样信号 、 Bb、 和 在信号处理 电路 8中进行处理, 其中 X方向位置坐标 、 X234之间依次相距 8.8375wwi, Γ方向 位置坐标 、 y2相距 8.8375m ;
2) 设 X方向位移分辨率 Δχ = 15 «ί、 ; Γ方向位移分辨率 Ay = 15 /m, 测量磁钢阵列 2产 生的磁场的磁感应强度幅值 M=8QmT, 初始化 X方向计数单元 =0、 方向计数单元 ny y方向磁场参考值
B, Bk。 BM、 。和 。分别为平面电机动子在初始位置时
Figure imgf000010_0001
第一传感器、 第二传感器、 第三传感器和第四传感器的采样信号;
3) 测量开始, 采样得到第一传感器 4、 第二传感器 5、 第三传感器 6和第四传感器 7的 采样信号 a、 BB、 和 , 将 、 BB、 和 6^在信号处理电路 (8) 中分别处理成四路信号
Β -Β,
β„、 5 , 和 , 其中: B<r
2 2 2
4 ) 通过信号处理电路 s判断是否产生 χ方向位移和 y方向位移:
\B, B -B, B
>15
a.若 6400 成立, 则平面电机在 X方向的相对位移为 15^m,进一歩判断 X 方向位移的正负, 如果 , 则 X方向位移为正, X方向计数单元 = +1 : 如果" fa ^^ - Dfa ^ ^J, 则 ί方向位移为负, X方向计数单元 =^— 更新 X方向磁场 = BSX、 , 完成 X方向位移测量;
B, B -B, B
<15
6400 , 则直接完成 X方向位移测量; b. 若
Figure imgf000010_0002
成立,则平面电机在 Υ方向的相对位移为 15^",进一步判断 i7 方向位移的正负, 如果 m Ay≥o, 则; F方向位移为正, y方向计数单元 = +1, 如果 m Ay <0,则; F方向位移为负, y方向计数单元 = ― 更新 r方向磁场参 考值 Β = 、 B^ = Β , 完成 y方向位移测量;
B, B -B, B
<15
6400 , 则完成 方向位移测量;
5) X方向位移测量和 方向位移测量均完成后, 计算平面电机动子 X方向的相对位移 为 x=i54 , y方向的相对位移为
Figure imgf000010_0003
6) 重复步骤 3) 至 5), 实现实时测量平面电机的动子位移。 通过上述步骤, 提供了平面电机动子位移的测量方法, 分别测量平面电机动子与平面电 机定子在 X、 37方向的相对位移, 实现信号高度细分, 并且使信号处理简单快速。
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Claims

权利 要求 书
1.一种平面电机动子位移的测量方法, 其特征在于所述方法包括:
1) 平面电机定子 (1) 上的磁钢阵列 (2) 产生磁场, 在平面电机动子 (3) 上布置四个 磁感应强度传感器: 第一传感器(4)的坐标为(Χι' yi)、第二传感器(5)的坐标为 i)、 第三传感器 (6) 的坐标为(Χ2' )、 第四传感器 (7) 的坐标为(Χ4' Υ2) , 第一传感器、 第 二传感器、 第三传感器和第四传感器的采样信号分别为 、 Bb、 和 , 将釆样信号
B"、 Bb、 和 在信号处理电路(8)中进行处理, 其中 X方向位置坐标 Χι、 Χι、 和 之 间依次相距平面电机 X方向磁场极距 的四分之一, J7方向位置坐标 ^、 相距平面电机 方向磁场极距的 ^的四分之一;
2) 设 X方向位移分辨率^、 方向位移分辨率 >;, 测量磁钢阵列 (2) 产生的磁场的 磁感应强度幅值 βΜ, 初始化 X方向计数单元 =Q、 方向计数单元 =(), 初始化 X方向 t>,„, = D,
磁场参考值
Figure imgf000012_0001
2 , 方向磁场参考值 β + Bbl B n+B,
ο, . = B
by ~ 2 、 — 2 , 其中 。、 A。、 。和 。分别为平面电机动子在初始位置时 第一传感器、 第二传感器、 第三传感器和第四传感器的采样信号;
3) 测量开始, 采样得到第一传感器 )、 第二传感器 (5)、 第三传感器 (6) 和第四传 感器(7) 的釆样信号 βα、 Bb、 和 , 将 Βα、 Bb、 和 在信号处理电路 (8) 中分别处理 成四路信号 、 Bcx、 和 β , 其中:
B =B。_BbB Bc-Bd B = Ba +Bb B
2 2 sy 2 cy 2
4) 通过信号处理电路 (8) 判断是否产生 X方向位移和 ί7方向位移: a.若产生 X方向位移,需要进一步判断 X方向位移的正负,如果产生的 X方向位移为正, 则 X方向计数单元 =^ + 1, 如果产生的 X方向位移为负, 则 X方向计数单元 = ― 更新 X方向磁场参考值 Β^ = B^ = , 完成 X方向位移测量; 若没有产生 X方向位移, 则直接完成 X方向位移测量; b.若产生 ί7方向位移, 需要进一步判断 F方向位移的正负, 如果产生的 F方向位移为正, 则 F方向计数单元 = +1, 如果产生的 ί7方向位移为负, 则 i7方向计数单元 = ― 更 新 ί7方向磁场参考值 = β"、 完成 y方向位移测量;
若没有产生 y方向位移, 则直接完成 y方向位移测量;
5) X方向位移测量和 y方向位移测量均完成后, 计算平面电机动子方向的相对位移为 ^ 'Δ , 方向的相对位移为 'Δ
6) 重复步骤 3) 至 5), 实现实时测量平面电机动子的位移。
2.根据权利要求 1所述的一种平面电机动子位移的测量方法, 其特征在于, 所述步骤 4) 中判断是否产生 X方向位移和判断 X方向位移的正负采用如下方法:
Figure imgf000013_0001
则平面电机动子在 X方向的相对位移为 , 若不成立, 则认为平面电机动子在 X方向没有产生相对位移; Bk!xBcx-B ≥ΰ 则平面电机动子在 X方向的相对位移为正, 若不成立, 则平 面电机动子在 X方向的相对位移为负。
3.根据权利要求 1所述的一种平面电机动子位移的测量方法, 其特征在于, 所述步骤 4) 中判断是否产生 F方向位移和判断 方向位移的正负采用如下方法:
B, B —Bt B
B
' 成立, 则平面电机动子在 方向的相对位移为 Δ 1, 若不成立, 则 认为平面电机动子在 F方向没有产生相对位移;
若 BksyBcy—BkcyBs ≥Q航, 则平面电机动子在 Γ方向的相对位移为正, 若不成立, 则平 面电机动子在 方向的相对位移为负。
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