WO2012039331A1

WO2012039331A1 - ガラス成形用の成形型、ガラス成形装置、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法

Info

Publication number: WO2012039331A1
Application number: PCT/JP2011/070961
Authority: WO
Inventors: 史康中野
Original assignee: 株式会社ニコン
Priority date: 2010-09-21
Filing date: 2011-09-14
Publication date: 2012-03-29
Also published as: CN102958854B; JPWO2012039331A1; CN102958854A; TW201217279A; KR20130112029A; KR101865977B1; JP5812005B2; TWI498289B

Abstract

　ガラス成形用の成形型は、ガラスの加熱加圧成形に用いられるモールド本体（１０）と、前記モールド本体における可動部材（１１）に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材（１５）と、を備える。

Description

ガラス成形用の成形型、ガラス成形装置、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法

　本発明は、ガラス成形用の成形型、ガラス成形装置、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法に関する。
本願は、２０１０年９月２１日に出願された特願２０１０－２１０６８６号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　近年、大型のレンズやレチクル、あるいは大型の液晶ディスプレイなど、広い面積の面を有する光学部材を得るため、予め形成されたガラスインゴットなどのガラス塊を加熱加圧成形することにより扁平形状にして面積を拡大する成形方法が利用されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４－３０７２６５号公報

　ここで、前記したようなガラス塊を加熱加圧成形する場合には、成形型を使用して高温下でガラス塊を加圧成形した後、当該ガラス塊の冷却を行い、それから炉外へ取り出される。この冷却の際、ガラスと成形型の間には温度降下に伴う収縮量の差が生じる。すなわち、成形対象であるガラスよりも線膨張係数が大きい成形型を使用した場合、冷却時にガラス及び成形型の収縮が起こった際に、線膨張係数の差によって内部のガラスよりも外部の成形型の収縮量の方が大きくなる。その結果、過剰な応力が掛かり、成形型が破損、またはガラスが破損する現象が生じる。

　なお、これらの破損を防ぐ方法として、成形型は、そのサイズが大きいほど高温時からの収縮量が大きくなるため、その収縮量を加味した隙間を型側に設ける方法がある。しかしながら、成形型に隙間を設けることで成形中、粘性体となったガラスが隙間へ入り込み、必要な形状が得られない場合がある。あるいは、成形型の連結部隙間にガラスが入り込み、成形型を破損させてしまう、または、成形型の破損を誘導させてしまう等の問題が生じる場合がある。

　本発明に係る態様は、ガラスや成形型本体の破損を回避し、所望の形状にガラスを成形することができる成形型、ガラス成形装置、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様は、ガラスの加熱加圧成形に用いられるモールド本体と、
前記モールド本体における可動部材に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材と、を備えるガラス成形用の成形型としたことを特徴とする。

　本発明の第２の態様は、ガラスインゴットを収容する中空部を有し、当該中空部を、台板と、その上に配設された側板と、該側板同士の内側を上下動可能にされた天板とで囲むように構成されたガラス成形用の成形型であって、前記台板には、前記側板の外側に当接するように支持部材が配設されていて、前記側板は、前記台板に対して、その外側方向に相対移動可能に形成されていると共に、前記支持部材により前記側板の外側から支持されており、前記支持部材は、前記中空部に収容したガラスインゴットを加熱加圧して変形させる際に、前記ガラスインゴットから前記側板を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、加熱加圧して変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際に、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有するガラス成形用の成形型としたことを特徴とする。

　また、本発明の第３の態様は、前記したガラス成形用の成形型と、ガラスインゴットの加熱手段及び加圧手段とを有するガラス成形装置としたことを特徴とする。

　また、本発明の第４の態様は、前記したガラス成形装置を用いたガラス成形方法であって、成形型にガラスインゴットを収容し、加熱手段及び加圧手段により前記ガラスインゴットを加熱加圧して変形させ、変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって、前記台板に対して側板がその外側方向に相対移動し、これにより支持部材に剪断力が作用し、この剪断力に応じて、前記支持部材を破断させるガラス成形方法としたことを特徴とする。

　また、本発明の第５の態様は、前記したガラス成形方法を用いてガラス成形体を得る工程を有しているフォトマスク基板の製造方法としたことを特徴とする。

　本発明の態様の成形型によれば、ガラスや成形型本体の破損を回避し、ガラスを所望の形状に成形することができる。

本実施の形態に係るガラス成形装置を示す断面図である。図１のガラス成形装置におけるガラス成形用の成形型を示す平面図である。図２のＡ－Ａ断面図である。図３のガラス成形用の成形型においてガラスインゴットを変形させた状態を示す断面図である。図４のガラス成形用の成形型においてピンが折れた状態を示す断面図である。ガラス成形用の成形型の他の例を示す斜視図である。ガラス成形用の成形型の他の例を示す斜視図である。ガラス成形用の成形型の他の例を示す斜視図である。ガラス成形用の成形型の他の例を示す斜視図である。

　以下、この発明の実施の形態の例について説明する。

　図１は、本実施の形態に係るガラス成形装置を示す断面図である。図２は、図１のガラス成形装置におけるガラス成形用の成形型を示す平面図である。図３は、図２のＡ－Ａ断面図である。図４は、図３のガラス成形用の成形型においてガラスインゴットを変形させた状態を示す断面図である。図５は、図４のガラス成形用の成形型においてピンが折れた状態を示す断面図である。図６～図９は、ガラス成形用の成形型の他の例を示す斜視図である。

　本実施の形態のガラス成形装置１は、珪素化合物を原料として製造される合成石英ガラスのインゴットから半導体用マスクなどのフォトマスク基板や液晶用マスク、光学用の大型レンズ材料などを所望の形状に加熱成形させる装置である。

　このガラス成形装置１は、図１に示すように、金属製の真空チャンバ２の内壁に、全面にわたって設けられた断熱材３と、当該断熱材３の壁に配設されたカーボンヒータ（加熱手段）５を有する。真空チャンバ２内部の中央部には、カーボングラファイト製のガラス成形用の成形型１０（以下、成形型１０というものとする）が設置され、その上部にはシリンダ（加圧手段）４を有している。

　成形型１０は、ガラス成形装置１の真空チャンバ２内部で台座６の上に配置されており、図２～５に示すように、台板１４及び底板１７を備えた底部を有している。この台板１４及び底板１７を含めた成形型１０（モールド本体）は、前記したようにカーボングラファイト製であり、ガラスインゴット２０Ａよりも線膨張係数が大きい材質となっている。具体的には、合成石英ガラスの線膨張係数は５×１０－７／℃程度、カーボングラファイトの線膨張係数は２～５×１０－６／℃程度である。

　また、成形型１０（モールド本体）は、ガラスインゴット２０Ａを収容する中空部１９を有しており、当該中空部１９を、台板１４及び底板１７と、その上に配設された側板１１と、この側板１１同士の内側を上下動可能にされた天板１３とで囲むように構成されている。詳述すると、成形型１０（モールド本体）には、台板１４に対して相対移動可能に形成された側板１１（可動部材）が設置されている。この側板１１とボルト等で固定された側板ガイド１２が、成形対象であるガラスインゴット２０Ａを直接プレスする天板１３の自由（移動）を上下方向に制限する。なお、本実施の形態では、図２に示すように、台板１４にはレール１８が設けられており、このレール１８に側板１１が乗っている。台板１４に対して、このレール１８の方向（すなわち、側板１１の外側方向）に、側板１１が移動可能となっている。

　また、台板１４における側板１１の外側には、当該側板１１に当接するようにピン（支持部材）１５が配設されている。そして、このピン１５は、側板１１を外側から支持しかつ拘束する。特に、本実施の形態では、図２に示すように、台板１４に、側板１１の外側に当接する位置に沿って、複数の挿入孔１６が形成されている。ピン１５は、その複数の挿入孔１６に挿脱可能なものとなっている。さらに、本実施の形態では、ピン１５は、平面視略方形状に配置された成形型１０における４つの側板１１それぞれに対して、複数本ずつ配置されるようになっている。ここでは、各側板１１に２本ずつピン１５が配置されている。

　また、ピン１５は、同じ種類のものを複数配置するようになっていても良い。あるいは、ピン１５は、必要な強度等に応じて、異なる材質や形、径のものを組み合わせて配置するようになっていても良い。複数の挿入孔１６は、その全ての挿入孔１６が異なる形や径に対応可能（例えば、孔の径が表面側から段階的に小さくなるような構成になっている等）に構成されていても良い。あるいは、複数の挿入孔１６は、挿入可能な形や径が互いに異なるように構成されていても良い。あるいは、それぞれの側板１１毎に、配置するピン１５の数を変化させるようになっていても良い（すなわち、ある側板１１と別の側板１１との間でピン１５の数が異なってもよい）。

　ピン１５は、中空部１９に収容したガラスインゴット２０Ａを加熱加圧して変形させる際に、ガラスインゴット２０Ａから側板１１を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、加熱加圧して変形させたガラスインゴット２０Ｂを冷却する際に、成形型１０の線膨張係数とガラスインゴット２０Ａの線膨張係数との差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有している。なお、本実施の形態では成形型１０を構成する部材の線膨張係数は全て等しいものとする。この場合、台板１４の横幅が最も大きいため、冷却時に生じる剪断力の大きさは台板１４とガラスインゴット２０Ａの線膨張係数の差によって実質的に決定される。

　すなわち、ピン１５は、中空部１９に収容したガラスインゴット２０Ａを加熱加圧して変形させる際に、変形したガラスインゴット２０Ａから側板１１に対して作用する圧力には、破断しないで耐えられる強度を有している。変形させたガラスインゴット２０Ｂが冷却される際に、そのガラスインゴット２０Ｂよりもカーボングラファイト製の成形型１０の台板１４の方が線膨張係数が大きいことにより、その横方向の縮み量が台板１４の方が大きい。その結果、縮み量の小さいガラスインゴット２０Ｂが縮み量の大きい台板１４の上に配置された側板１１を外側に向かって相対的に押す荷重が発生する。ピン１５はこのときの負荷される荷重によって生じる剪断力により折れるような強度を有する。ガラスインゴット２０Ｂの冷却時の成形型１０の台板１４との線膨張係数の差により荷重が負荷され、該荷重によって生じる剪断力でピン１５が折れるようになっている。その結果、当該ガラスや成形型１０が破損することを防止できる。

　また、ガラス成形装置１の上部には、前記したように、天板１３を直接プレスするシリンダ（加圧手段）４が設置されている。このシリンダ４により、ガラスインゴット２０Ａを任意の厚さまで加圧して成形する。

　次に、この成形型１０及び成形型１０を備えたガラス成形装置１によるガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法について説明する。

　まず、図１及び図３に示すように、ガラス成形装置１における真空チャンバ２内部の台座６の上に、台板１４、底板１７、側板１１、側板ガイド１２を組み合わせて配置する。さらに、所定のピン１５（ここでは、１つの側板１１に対してピン１５を２つずつ配置）を台板１４に形成された挿入孔１６に挿入する。これにより、側板１１を外側からピン１５で支持した状態にセットされた成形型１０を形成する。また、この成形型１０に対して、ガラスインゴット２０Ａを成形型１０の中空部１９に配置し、その上部に天板１３を配置し、さらに天板１３の上面にシリンダ４を当接させる。

　次に、前記したようにセットされたガラス成形装置１の真空チャンバ２内部の排気を行った後、真空チャンバ２内部を不活性ガスで充填する。さらに、カーボンヒータ５により成形型１０の中空部１９内のガラスインゴット２０Ａを加熱して、結晶化温度以上軟化点以下に昇温する。このとき、ガラスインゴット２０Ａの内部が均一の温度となるまで一定の温度で保持させても良い。

　所定の温度に到達したら、シリンダ４を作動させて天板１３を下方に移動させて、ガラスインゴット２０Ａを加圧成形していく。なお、この加圧成形開始時点で、成形型１０は環境温度に準じた膨張を示している。また、ガラスインゴット２０Ａの加圧プロセスの進行に伴い、ガラスインゴット２０Ａは徐々に扁平形状となり、側板１１に実質的に隙間なく密着した状態となる。

　天板１３によりガラスインゴット２０Ａを加圧していくに連れて、側板１１には、ガラスインゴット２０Ａを介して天板１３の押圧力が外周方向（外方向）の応力として作用する。側板１１はピン１５によって外方向に移動する自由を拘束されているため移動が困難である。この際、ガラスの成形により発生する応力が、ガラスインゴット２０Ａ及び側板１１を通じてピン１５に伝えられる。ここで、前記した応力によりピン１５が折れた場合、側板１１は拘束が解かれると同時にガラスインゴット２０Ａから受ける力によって、ガラスインゴット２０Ａが流動する外周方向へ移動する。その結果、ガラスインゴット２０Ａが側板１１に囲まれたエリア外に流出し、側板１１の内側面に倣った形状が得られないこととなる。このため、ピン１５は、ガラスの成形により発生する応力に耐え得る強度が必要であり、これを有するように構成されている。

　次に、図４に示すように、前記した加熱加圧成形によってガラスインゴット２０Ａを、成形型１０の底板１７、天板１３及び側板１１に密着する状態まで加圧して薄板状のガラスインゴット２０Ｂとした後、冷却工程を行う。この冷却に伴い成形型１０とガラスインゴット２０Ｂは環境温度に準じた収縮を示す。ここで、成形型１０は、ガラスインゴット２０Ｂに比べ線膨張係数が大きい。さらに、成形型１０のうち特に台板１４は側板１１に比べて横方向の大きさが大きい。そのため、台板１４の収縮量が側板１１に対して相対的に大きくなり冷却に伴う収縮が顕著になる。従って、相対的に見れば、冷却に従ってガラスインゴット２０Ｂが膨張する方向に、すなわち側板１１を外周方向（外方向）へ押し出す方向に荷重が発生する。

　側板１１が受ける荷重は、側板１１の外側に設置されているピン１５に伝わる。側板１１から与えられる収縮によって発生する応力がピン１５の強度限界を超えると、図５に示すように、ピン１５は外側に向かって破断する。そして、ピン１５の破断と共に側板１１は拘束が解かれ、同時に側板１１はガラスインゴット２０Ｂが流動される外周方向（外方向）へ移動し応力が開放される。このとき、ガラスインゴット２０Ｂは冷却により既に固化しているため、側板１１に囲まれたエリア外へ流出することはない。その後、室温程度まで空冷し真空チャンバ２内から成形型１０を取り出し、ガラスの成形が完了する。

　その後、前記したようなガラス成形方法を用いて得たガラス成形体に対し、所定のサイズに加工するための研削加工やスライス加工、端面部をＲ形状にするための面取り加工、研磨剤等を使用して表面を仕上げ加工するための研磨工程等の加工を適宜行う。その結果、所望のフォトマスク基板を得ることができる。

　以上のように、本実施の形態のガラス成形用の成形型１０、ガラス成形装置１、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法によれば、成形後の冷却によって生じる応力により破断するピン（支持部材）１５を設置することで、成形対象であるガラスに過剰な応力を加えることなく、また、成形対象であるガラスを破損させることなく応力を開放することができ、また、成形対象であるガラスと成形型１０の台板１４との線膨張係数差によって生じる応力による成形型１０への負荷を最小限に抑えることができ、ガラスを所望の形状に成形できる。

　また、本実施の形態では、支持部材としてピン１５（ピン状部材、棒状部材）を使用し、このピン１５を、台板１４に複数形成された挿入孔１６に挿脱可能としている。そのため、配置するピン１５の数や種類を変えれば簡単にその強度を変えることができる。例えば、本実施の形態では、１つの側板に対して同じ種類のピン１５を２つずつ配置している。配置するピンの数を増やせば、ピン全体としての強度を上げることができる（逆に配置するピンの数を減らせば、ピン全体としての強度を下げることができる）。また、複数のピンを配置する際、径の太いもののみを複数使用したり、径の細いもののみを複数使用したり、径の太いものと細いものを混在させて使用したり、さらには径や形の異なる複数種類のものを混在させたりすることで、その強度を変化させることができる。なお、複数のピンを配置する際には、荷重がそれぞれのピンに均等に掛かるように、側板に対して略一列で当接するように配置しても良い。また、複数のピンは、荷重がそれぞれのピンに均等に掛かるように、できるだけ等間隔に配置しても良い。追加的及び／又は代替的に、ピンを非一列配置、又は非等間隔配置にできる。

　また、前記したように本実施の形態では、支持部材として、台板１４に形成された挿入孔１６に挿脱可能としたピン１５を使用している。そのため、ピン１５が折れた後の処理を簡単にすることができる。例えば、ガラスの成形後、折れたピン１５を挿入孔１６から抜き、新しいピン１５を挿入孔１６に挿入し直すだけで良い。そのため、ガラス及びフォトマスク基板の製造効率を向上できる。

　なお、ピンの強度を決定する際は、例えば、予め力学シミュレーションによって側板にかかる荷重及びピンに生じる剪断力を求め、成形時の荷重によって生じる剪断力では破断せず、冷却時の荷重によって生じる剪断力で破断するようにピンの強度を決定できる。このようにしてピンに必要な強度を決定すれば、あらかじめ強度を測定しておいた種々のピンの内から必要な強度を有するものを選択して使用できる。

　なお、以上説明した実施の形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。

　例えば、前記した実施の形態では、成形するガラスとして石英ガラスを例に挙げ、成形型の材質としてカーボン（カーボングラファイト）を例に挙げて説明したが、本発明は、これに限るものではない。例えば、成形する他のガラスとしては、ホウケイ酸ガラスやソーダ石灰ガラスなどが挙げられる。成形型の材質としては、アルミナ（酸化アルミニウム）等の高温で使用可能な他の材質であっても良い。

　ここで、ガラスと成形型の材質を選択するに当たっては、ガラスの組成や成形条件等を考慮して決定すれば良い。ガラスの線膨張係数が、成形型（特には台板）の材質の線膨張係数よりも相対的に小さいもの（支持部材が破断して本発明の成形型の機能が発揮される条件）である組み合わせとなっていれば本実施の形態の効果を得ることができる。但し、成形型（モールド本体）の材質としては、アルミナよりカーボンの方が強度、耐熱衝撃性が優れているため、カーボンの使用が好ましい場合が多い。

　また、本実施の形態では、ピン１５の材料としてカーボングラファイトを用いている。ピン１５の材料として、カーボングラファイト以外の材料を用いても良く、例えば、アルミナ（酸化アルミニウム）等の高温でも使用できる材料を用いても良い。

　また、前記した実施の形態では、支持部材としてピン１５（ピン状部材、棒状部材）を使用していたが、本発明はこれに限るものではない。必要な強度を有していて所定の荷重で破断する構成の部材であれば、ピン１５以外のものを使用しても良い。ピン１５以外の支持部材としては、例えば、図６に示すような、長板状部材１１５ａの下方に、台板１１４に複数形成された挿入孔１１６に挿脱可能な複数の挿入部材１１５ｂが形成された挿入部材付長板状部材１１５が挙げられる。この挿入部材付長板状部材１１５を用いた成形型では、側板１１１に当接する長板状部材１１５ａが冷却時に外周方向（外方向）に押圧されることで、当該長板状部材１１５ａと挿入部材１１５ｂの間の部分が破断可能である。

　また、ピン１５以外の他の支持部材としては、図７に示す形態が挙げられる。図７において、挿入孔１６の代わりに、台板２１４における側板２１１に沿った位置に溝２１６が形成されており、この溝２１６に挿脱可能な薄板状部材２１５が支持部材として用いられる。この薄板状部材２１５を用いた成形型では、薄板状部材２１５の一部（当接部）が側板２１１に当接していて、これが冷却時に外周方向（外方向）に押圧される。また、薄板状部材２１５の別の一部（挿入部）が溝２１６に挿入されて実質的に固定される。その結果、薄板状部材２１５の当接部と挿入部との間の部分が破断可能である。

　また、ピン１５以外の他の支持部材としては、図８に示す形態が挙げられる。図８において、略Ｌ字状部材３１５が支持部材とされる。一例において、略Ｌ字状部材３１５のＬ字の底辺部分３１５ｂがその長手方向を外周方向（外方向）として台板３１４に固定される。例えば、台板３１４にこの底辺部分３１５ｂを固定する凹み３１６が形成されている。また、Ｌ字の上部分３１５ａに側板３１１が当接している。換言すると、一例において、略Ｌ字状部材３１５は、台板３１４に設けられた凹み３１６に挿入されて台板３１４に実質的に固定される底辺部分３１５ｂと、底辺部分３１５ｂの一端を基部として底辺部分３１５ｂの延在方向と直交する方向に延在する上部分３１５ａとを有し、上部分３１５ａの一面が側板３１１に当接される。この略Ｌ字状部材３１５を用いた成形型では、冷却時に当該略Ｌ字状部材３１５の上部分３１５ａを側板３１１が押圧することで、Ｌ字の上部分３１５ａと底辺部分３１５ｂとの間の部分が破断可能である。

　また、ピン１５以外の他の支持部材としては、図９に示す形態が挙げられる。図９において、略Ｌ字状長板状部材４１５を支持部材とし、当該略Ｌ字状棒状部材４１５のＬ字の底辺部分４１５ｂが台板４１４に固定されている。例えば、台板４１４にこの底辺部分４１５ｂを固定する凹み４１６が形成されている。また、Ｌ字の上部分４１５ａに側板４１１が当接している。換言すると、一例において、略Ｌ字状長板状部材４１５は、台板４１４に設けられた凹み４１６に挿入されて台板４１４に実質的に固定される底辺部分４１５ｂを有する。底辺部分４１５ｂは、側板４１１に沿って延在する長辺を有する。また、略Ｌ字状長板状部材４１５は、底辺部分４１５ｂの１つの長辺を基部として延在する上部分４１５ａを有し、上部分４１５ａの一面が側板４１１に当接される。底辺部分４１５ｂと上部分４１５ａとの間の角度は例えば９０°である。この略Ｌ字状長板状部材４１５を用いた成形型では、冷却時に当該略Ｌ字状長板状部材４１５の上部分４１５ａを側板４１１が押圧することで、上部分４１５ａと底辺部分４１５ｂとの間の部分が破断可能である。

　なお、本実施の形態では、結晶化温度以上軟化点温度以下の温度でガラスインゴット２０Ａを成形する例について説明したがこれに限定されない。成形温度は、ガラスインゴット２０Ａの結晶化温度以上であればよい。例えば、ガラスインゴット２０Ａの軟化点より高い温度で成形しても良い。

　１　ガラス成形装置
　２　真空チャンバ
　３　断熱材
　４　シリンダ（加圧手段）
　５　カーボンヒータ（加熱手段）
　６　台座
　１０　ガラス成形用の成形型
　１１，１１１，２１１，３１１，４１１　側板
　１２　側板ガイド
　１３　天板
　１４，１１４，２１４，３１４，４１４　台板
　１５　ピン（支持部材）
　１１５　挿入部材付長板状部材（支持部材）
　２１５　薄板状部材（支持部材）
　３１５　略Ｌ字状棒状部材（支持部材）
　４１５　略Ｌ字状長板部材（支持部材）
　１６，１１６　挿入孔
　２１６　溝
　３１６，４１６　凹み
　１７　底板
　１８　レール
　２０Ａ，２０Ｂ　ガラスインゴット

Claims

　ガラスの加熱加圧成形に用いられるモールド本体と、
　前記モールド本体における可動部材に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材と、
　を備えるガラス成形用の成形型。
　前記モールド本体は、前記支持部材の一部を挿入可能な複数の孔及び／又は複数の溝を有する、請求項１に記載のガラス成形用の成形型。
　前記支持部材は、加熱加圧工程で前記可動部材を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、冷却工程で前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有する、請求項１又は２に記載のガラス成形用の成形型。
　前記支持部材の材質は、カーボンを含む、請求項１乃至３の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。
　前記モールド本体は、
　　台板と、
　　上下動可能である天板と、
　　前記台板上に配置され、前記台板に対して相対移動可能である、前記可動部材としての側板と、
　を有する、請求項１乃至４の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。
　ガラスインゴットを収容する中空部を有し、当該中空部を、台板と、その上に配設された側板と、該側板同士の内側を上下動可能にされた天板とで囲むように構成されたガラス成形用の成形型であって、
　前記台板には、前記側板の外側に当接するように支持部材が配設されていて、前記側板は、前記台板に対して、その外側方向に相対移動可能に形成されていると共に、前記支持部材により前記側板の外側から支持されており、
　前記支持部材は、
　前記中空部に収容したガラスインゴットを加熱加圧して変形させる際に、前記ガラスインゴットから前記側板を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、
　加熱加圧して変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際に、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有することを特徴とするガラス成形用の成形型。
　前記台板には、前記側板の外側に当接する位置に沿って、複数の挿入孔が形成されており、
　前記支持部材は、前記複数の挿入孔に挿脱可能なピンで構成されていることを特徴とする請求項６に記載のガラス成形用の成形型。
　前記ガラスインゴットは、石英ガラスであることを特徴とする請求項６又は７に記載のガラス成形用の成形型。
　前記成形型は、カーボンで構成されていることを特徴とする請求項６乃至８の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。
　請求項１乃至９の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型と、
　ガラスインゴットの加熱手段及び加圧手段とを有することを特徴とするガラス成形装置。
　請求項１０に記載のガラス成形装置を用いたガラス成形方法であって、
　成形型にガラスインゴットを収容し、
　加熱手段及び加圧手段により前記ガラスインゴットを加熱加圧して変形させ、
　変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって、前記台板に対して側板がその外側方向に相対移動し、これにより支持部材に剪断力が作用し、この剪断力に応じて、前記支持部材を破断させることを特徴とするガラス成形方法。
　請求項１１に記載のガラス成形方法を用いてガラス成形体を得る工程を有していることを特徴とするフォトマスク基板の製造方法。