WO2012036160A1 - Moコリメータおよびそれを用いたX線検出器、X線検査装置並びにCT装置 - Google Patents
Moコリメータおよびそれを用いたX線検出器、X線検査装置並びにCT装置 Download PDFInfo
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Definitions
- the step region having a step shape exceeding 0 and not more than 0.010 mm is in the end region, and the non-step region having a step shape of 0 mm is in the central region.
- the end region 3 is a region of 0 to 10 and 90 to 100 when the length L is 100.
- the central region 4 is a region of 45 to 55 when the length L is 100.
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Abstract
Description
しい。
。従って、Mo板の板厚は0.02~0.3mm、好ましくは0.1~0.2mmである。
Mo板サイズ、穴部サイズを表1に示したものをエッチング加工により製造した。これを表1に示した枚数の積層構造体を形成した。これをR1070のR形状にプレス加工してR形状とし、800℃で歪取り熱処理を行った。その後、側面を溶接して一体化したMoコリメータを製造した。なお、Mo板は純度99.9wt%以上のものを用いた。また、穴部はいずれもメッシュ状に複数個設けたものである。
上面Mo板サイズ、下面Mo板サイズを表3に示すようなものとし、その途中を徐々に下面Mo板サイズになるように小さくなるようなMo板を用意し積層体を構成した。なお、穴部は、30~50枚単位で徐々に小さくしていき上面Mo板に設けた穴部がすべて貫通穴になるようにエッチング処理によりメッシュ状のMo板を設けた。積層構造体は、いずれも側面を接着材塗布で固めたものである。
Mo板(Mo純度99.9wt%以上)として、縦100mm×横20mm×厚さ0.05mmのものを用意した。次に表5に示す枚数を1セットとし、200枚の積層構造を有するMoコリメータを実施例10~13として作製した。また、同様のMo板を用いて、積層枚数5000枚のものを実施例14、積層枚数9500枚のものを実施例15として作製した。実施例11では、20枚のセットを5セット積層した後、この積層物に50枚のセットを2セット積層した。また、実施例15では、20枚のセットを200セット積層した後、この積層物に10枚のセットを550セット積層した。実施例10~15のMoコリメータは、図7に示す構造のものとした。なお、穴部の形成はエッチングにより行い、穴部サイズは0.5mm×0.5mmのメッシュ形状に統一した。また、各セットのMo板を積層することにより形成される貫通孔はストレート形状に統一した。隣り合うセットにおいて、各セットの中心領域の貫通孔を同位置に設けた。各セットの中心領域以外の箇所の貫通孔は、セット間で異なる位置に設けた。
実施例1~15および比較例1のMoコリメータを用い、CT装置用X線検出器の被検体検出側にセットした。それぞれ、CT画像を検出したところ、いずれもきれいに3次元画像を検出することができた。これにより、本実施例にかかるMoコリメータは、従来品と同等のコリメータ性能を具備した上で、歩留まりおよび強度の高いコリメータとなっていることが分かった。言い換えれば、本実施例にかかる穴部のズレはCT画像を撮影するにあたり問題がないことが確認できた。
Claims (12)
- 板厚0.02~0.3mmのMo板を積層した積層体構造を有するMoコリメータであって、前記Mo板には短辺または直径が0.1~1.0mmの穴部が複数個設けられており、個々の前記穴部は前記積層体構造の上面から下面まで貫通穴を形成することを特徴とするMoコリメータ。
- 前記貫通穴の断面はストレートもしくは段差形状となっており、前記段差形状は0~0.010mm以内であることを特徴とする請求項1記載のMoコリメータ。
- 前記段差形状が0を超えて0.010mm以下の段差領域が端部領域、前記段差形状が0mmの非段差領域が中心領域にあることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか1項に記載のMoコリメータ。
- 2~50枚の前記Mo板のセットを複数含み、
前記セットが前記Mo板の前記穴部が互いに連通することにより形成されたストレートな貫通孔をそれぞれ有し、
隣り合う前記セット間での前記貫通孔の最大段差が0.001~0.1mmであることを特徴とする請求項1記載のMoコリメータ。 - 前記の各貫通穴を貫く直線を引いたとき、前記の各直線は一定の焦点を向いていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のMoコリメータ。
- 前記Mo板の積層枚数が10~10000枚であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のMoコリメータ。
- 厚さが10mm以上であることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のMoコリメータ。
- R形状を有していることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のMoコリメータ。
- 前記積層体構造は、溶接または接着剤による固定により前記Mo板が一体化されていることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載のMoコリメータ。
- 請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載のMoコリメータを含むことを特徴とするX線検出器。
- 請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載のMoコリメータを複数個含むことを特徴とするX線検査装置。
- 請求項10に記載のX線検出器または請求項11に記載のX線検査装置を含むことを特徴とするCT装置。
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