WO2008122336A1 - Schienengebundenes flurfördersystem - Google Patents

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WO2008122336A1
WO2008122336A1 PCT/EP2008/001910 EP2008001910W WO2008122336A1 WO 2008122336 A1 WO2008122336 A1 WO 2008122336A1 EP 2008001910 W EP2008001910 W EP 2008001910W WO 2008122336 A1 WO2008122336 A1 WO 2008122336A1
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WO
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unit
goods
logistics
flurfördersystem
logistics unit
Prior art date
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PCT/EP2008/001910
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English (en)
French (fr)
Inventor
Fritz Zeiler
Stefan Huttelmaier
Bernhard FRÜH
Original Assignee
Sieghard Schiller Gmbh & Co. Kg
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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes

Definitions

  • the invention relates to an industrial conveyor system for transporting goods with a logistics unit movable along rails.
  • substrate cassettes In a photovoltaic factory or a semiconductor factory, substrate cassettes must be transported from one process station to the next. The cassettes containing one or more substrates must be moved precisely and effectively between the process stations. Another requirement for the manufacture of semiconductors or photovoltaic modules is that the material handling system operates in a highly clean environment and does not pollute this environment.
  • the object of the present invention is to provide a rail-bound material handling system which meets the requirements specified above.
  • an industrial conveyor system for the transport of goods with a logistics unit movable along rails, the logistics unit having a telescopic rotary shear unit.
  • the telescopic rotary shear unit also referred to as a telescoping end effector
  • goods in particular cassettes in which there are substrates, semiconductor wafers, thin-film solar cells or the like whose production process requires increased purity of the handling devices, can be implemented with minimal space requirements. In particular, they can be picked up particularly easily and precisely from a pick-up position and deposited at a transfer position.
  • the telescopic rotary shear unit has a rotary unit and a telescopic unit, which are preferably drivable independently of one another.
  • a goods receptacle can be extended and retracted via the telescope unit.
  • Telescope unit can be rotated by means of the rotation unit so that it receives a different orientation and goods can be deposited at another position by the telescopic unit is again extended. It is also conceivable that the two movements, ie the linear movement of the telescope unit and the rotational movement of the rotation unit, are superimposed.
  • the logistics unit has an undercarriage, which is guided along the rails and on which a lifting mast is arranged, along which a vertical carriage is movable, wherein the telescopic rotary shear unit is arranged on the vertical carriage.
  • Logistic unit lifted from a corresponding rack or cassette station, moved to the right place and dropped off again.
  • the logistics unit can be extended by at least one buffer device for goods.
  • the buffer device is an intermediate storage for the goods, so to speak.
  • the Pufferei device preferably has two Storage locations for cassettes.
  • the cycle time can be minimized.
  • the buffer means allows an exchange of goods or cassettes on one and the same cassette space of a cassette station in which one or more cassettes are stored.
  • the buffer device is detachably connected to the logistics unit.
  • the buffer device does not have to be constantly moved with the logistics unit.
  • the buffer device can only be attached to the logistics unit if necessary.
  • the buffer device may be attached as a kind of tender.
  • the buffer device is arranged on a carriage which can be coupled to the logistics unit.
  • the logistics unit is not burdened by the weight of the buffer device.
  • the buffer means may be guided on the rails and pulled or pushed by the logistics unit along the rails.
  • a control unit which controls the logistics unit. This makes it possible for the logistics unit to transport the cassettes through the processes of a factory based on a specific recipe.
  • a so-called line controller software tool
  • a so-called line controller can be implemented, which controls the movements of the logistics unit.
  • a position measuring system for example a laser path measuring system or a barcode path measuring system
  • detects the position of the logistics unit the control unit always knows where the logistics unit is located, and the logistics unit can be moved exactly to a predetermined position.
  • the logistics unit has a goods centering device. This can ensure that the goods can be centered exactly aligned and aligned to a transfer position. This also ensures that the cassettes can be picked up again correctly and error-free by the logistics unit at a later time.
  • Flur traditionallysystems in particular the logistics unit, are driven by belts or spindles.
  • a high purity of the material handling system can be achieved so that it can be used in clean production environments, for example in clean rooms of semiconductor manufacturing.
  • the goods receptacle of the material handling system is floating when picking up and setting down the product - this means that it is freely movable in the horizontal direction. This is particularly advantageous for operation in clean rooms to reduce particle generation.
  • the goods receptacle is fixed in position.
  • the invention also includes a method for transporting goods by means of a rail-guided logistics unit, in which
  • Cargo pickup during the recording process (step c) is centered. Furthermore, it is advantageous if the material is simultaneously centered during the lowering process (step e). In the upstream and downstream movement sequences for centering when picking up and setting down the goods, the goods receptacle can be fixed in position. Accordingly, a fixing device may be provided.
  • a variant of the method is characterized in that the material is deposited on a buffer device. As a result, the good can be stored. In particular, conversion processes can thereby be carried out. Furthermore, a cassette exchange can be carried out at a process station.
  • a cassette station may be associated with a process station through which a work process is performed on the substrates of the cassette.
  • a pickup position could also be a buffer space of a buffer device which is moved with the logistics unit.
  • a rotation unit of the rotary thrust unit rotates after the reception of the item by 0 °, 90 ° or 180 °.
  • the cartridge may first be picked up from a lower pick-up position Teleskop maybe be moved back, the rotary shear unit are raised and then the telescopic unit are extended again to drop off the cassette at a higher transfer position.
  • a rotation of 90 ° is useful when first a cassette is picked up from a pick-up position, then the telescopic unit is retracted, then the rotation unit is rotated by 90 ° and the telescope unit is extended again to drop the cassette to a buffer space.
  • a 180 ° turn is contemplated when the cassette is received on a first side in a pickup position, then the telescopic unit is retracted, then the rotary unit is rotated 180 ° and then the telescopic unit is extended again to move the cassette to one of the pickup positions set down opposite transfer position.
  • a cartridge exchange can take place as follows:
  • the undercarriage of the logistics unit is possibly brought by a horizontal movement to a pickup position of the cassette station along the rails;
  • the vertical carriage is possibly brought by a vertical movement to a pickup position of the cassette station;
  • the rotation unit of the rotary push unit rotates to a transfer position - 0 °, when the transfer side corresponds to the pickup side;
  • the cassette is centered on the rotary shear unit by means of an active centering device;
  • the undercarriage is possibly brought by a horizontal movement along the rails to a transfer position
  • the vertical carriage is possibly brought by a vertical movement to a transfer position in height;
  • the telescopic unit of the rotary thrust unit moves out with the cassette;
  • the logistics unit is brought to a new pick-up position.
  • Fig. 1 is a first view of a material handling system
  • Fig. 2 is a side view of a material handling system
  • Fig. 3 is a plan view of a material handling system.
  • the floor conveyor system 10 shown in FIG. 1 comprises a control cabinet 11 with a control unit IIa, a master drive 12, a slave drive 13 and a position measuring system 14.
  • the drives 12, 13 serve to drive a logistics unit 15 which is guided on rails 16 to power the rails.
  • the drive is via a drag chain 17.
  • This means that the logistics unit 15 is arranged to be movable along the rails 16.
  • cassette stations 18 are provided in which goods in the form of cassettes, which are transported by the material handling system 10, are stored.
  • the cassette stations 18 can be assigned to process stations at which, for example, semiconductor processes are carried out.
  • a rotary shear unit 20 also referred to as Umsetzachse provided. It has a rotation unit 21 and a telescope unit 22. The rotation unit 21 and the telescopic unit 22 can be driven independently of each other.
  • the rotary push unit 20 is arranged on a vertical carriage 50, which is vertically movable along a lifting mast 51. The mast is attached to an undercarriage 19 of the logistics unit 15. The undercarriage 19 is guided on the rails 12, 13.
  • a buffer device 25 is attached to the logistics unit 15. That is, it is detachably attached to the logistics unit 15.
  • the buffer device 25 has its own undercarriage 52, which is guided on the rails 12, 13.
  • the rotary shear unit 20 also referred to as Umsetzachse provided. It has a rotation unit 21 and a telescope unit 22. The rotation unit 21 and the telescopic unit 22 can be driven independently of each other.
  • the rotary push unit 20 is arranged on a vertical carriage 50, which is vertically movable along a
  • Buffer means 25 two memory slots 52, 54 for cassettes. 2, it is indicated that a cassette 56 is arranged on a goods receptacle 55. This could be transferred by sole method of the telescope unit 22 in the lower memory space 53 of the buffer means 25. Alternatively, the vertical carriage 50 could be moved upwards along the lifting mast 51 and subsequently the cassette 56 could be transferred to the storage space 54 by means of the telescopic unit 22.
  • cassette stations 18 are shown on both sides of the conveyor system 10.
  • the material handling system 10 is suitable for transporting loads in the range from approx. To 500 kg with a high accuracy.
  • cassettes may be transferred from a first cassette station 18 via the logistics unit to an opposite cassette station 18.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

Bei einem Flurfördersystem (10) zur Beförderung von Gütern, mit einer entlang von Schienen (12, 13) bewegbaren Logistikeinheit (15) weist die Logistikeinheit (15) eine teleskopierbare Drehschubeinheit (20) auf.

Description

Schienengebundenes Flurfördersystem
Die Erfindung betrifft ein Flurfördersystem zur Beförderung von Gütern mit einer entlang von Schienen bewegbaren Logistikeinheit.
Beispielsweise in einer Photovoltaikfabrik oder einer Halbleiterfabrik müssen Substratkassetten von einer Prozessstation zur nächsten transportiert werden. Die Kassetten, die ein oder mehrere Substrate enthalten, müssen besonders präzise und effektiv zwischen den Prozessstationen bewegt werden. Eine weitere Anforderung an die Herstellung von Halbleitern bzw. Photovoltaikmodulen ist es, dass das Flurfördersystem in einer hochgradig reinen Umgebung arbeitet und diese Umgebung nicht verunreinigt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein schienengebundenes Flurfördersystem bereitzustellen, welches die oben angegebenen Anforderungen erfüllt.
Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch ein Flurfördersystem zur Beförderung von Gütern, mit einer entlang von Schienen bewegbaren Logistikeinheit, wobei die Logistikeinheit eine teleskopierbare Drehschubeinheit aufweist. Mittels der teleskopierbaren Drehschubeinheit (auch als teleskopierbarer Endeffektor bezeichnet) können Güter, insbesondere Kassetten, in denen sich Substrate, Halbleiterwafer, Dünnschichtsolarzellen oder dergleichen befinden, deren Herstellungsprozess erhöhte Reinheit der Handhabungsgeräte erfordert, mit minimalem Platzbedarf umgesetzt werden. Insbesondere können sie besonders einfach und präzise von einer Abholposition aufgenommen werden und an einer Übergabeposition abgesetzt werden. Besonders bevorzugt ist es, wenn die teleskopierbare Drehschubeinheit eine Rotationseinheit und eine Teleskopeinheit aufweist, die vorzugsweise unabhängig voneinander antreibbar sind. Somit kann eine Güteraufnahme über die Teleskopeinheit ausgefahren und eingezogen werden. Die
Teleskopeinheit kann mittels der Rotationseinheit gedreht werden, sodass sie eine andere Ausrichtung erhält und Güter an einer anderen Position abgesetzt werden können, indem die Teleskopeinheit wiederum ausgefahren wird. Es ist auch denkbar, dass die beiden Bewegungen, also die Linearbewegung der Teleskopeinheit und die Rotationsbewegung der Rotationseinheit, überlagert werden.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die Logistikeinheit einen Unterwagen aufweist, der entlang der Schienen geführt ist und an dem ein Hubmast angeordnet ist, entlang dem ein Vertikalwagen verfahrbar ist, wobei die teleskopierbare Drehschubeinheit an dem Vertikalwagen angeordnet ist. Durch diese Maßnahme ist es möglich, Güter aus unterschiedlichen Ebenen aufzunehmen bzw. in unterschiedlichen Ebenen abzusetzen. Dadurch, dass die Logistikeinheit entlang von Schienen verfahrbar ist, kann sie an definierte Stellen verfahren werden. Mit dem erfindungsgemäßen Flurfördersystem kann eine hohe Genauigkeit in Bezug auf den Verfahrweg sowie die Umsetzprozedur der Kassetten erreicht werden. Es können sehr hohe Gewichte sehr genau transportiert werden. Insbesondere können Güter, beispielsweise Kassetten, von der
Logistikeinheit aus einer entsprechenden Regal- oder Kassettenstation gehoben, an die richtige Stelle verfahren und wieder abgesetzt werden.
Besondere Vorteile ergeben sich, wenn die Logistikeinheit durch zumindest eine Puffereinrichtung für Güter erweiterbar ist. Die Puffereinrichtung stellt quasi ein Zwischenlager für die Güter dar. Wenn Kassetten transportiert werden sollen, weist die Pufferei nrichtung vorzugsweise zwei Speicherplätze für Kassetten auf. Dadurch, dass eine Puffereinrichtung verwendet wird, kann die Taktzeit minimiert werden. Außerdem ermöglicht die Puffereinrichtung einen Austausch von Gütern bzw. Kassetten an ein und demselben Kassettenplatz einer Kassettenstation, in der eine oder mehrere Kassetten gelagert sind.
Besonders bevorzugt ist es, wenn die Puffereinrichtung lösbar mit der Logistikeinheit verbunden ist. Somit muss die Puffereinrichtung nicht ständig mit der Logistikeinheit verfahren werden. Die Puffereinrichtung kann nur bei Bedarf an die Logistikeinheit angehängt werden.
Beispielsweise kann die Puffereinrichtung als eine Art Tender angehängt werden.
In diesem Zusammenhang ist es weiterhin vorteilhaft, wenn die Puffereinrichtung auf einem an die Logistikeinheit ankoppelbaren Wagen angeordnet ist. Dadurch wird die Logistikeinheit nicht durch das Gewicht der Puffereinrichtung belastet. Die Puffereinrichtung kann auf den Schienen geführt sein und durch die Logistikeinheit entlang der Schienen gezogen oder geschoben werden.
Weitere Vorteile ergeben sich, wenn eine Steuereinheit vorgesehen ist, die die Logistikeinheit steuert. Dadurch ist es möglich, dass die Logistikeinheit die Kassetten anhand einer bestimmten Rezeptur durch die Prozesse einer Fabrik transportiert. In der Steuereinrichtung kann ein so genannter Line Controller (Software Tool) implementiert sein, der die Bewegungen der Logistikeinheit steuert.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn ein Wegmesssystem, beispielsweise ein Laser- Weg messsystem oder ein Barcode- Weg messsystem, vorgesehen ist, das die Position der Logistikeinheit erfasst. Dadurch weiß die Steuereinheit stets, wo sich die Logistikeinheit befindet, und kann die Logistikeinheit exakt an eine vorgegebene Position verfahren werden. Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die Logistikeinheit eine Güterzentriereinrichtung aufweist. Dadurch kann sichergestellt werden, dass die Güter genau richtig zentriert und ausgerichtet an eine Übergabeposition übergeben werden können. Dies stellt weiterhin sicher, dass die Kassetten auch wieder zu einem späteren Zeitpunkt richtig und fehlerfrei von der Logistikeinheit aufgenommen werden können.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die beweglichen Elemente des
Flurfördersystems, insbesondere der Logistikeinheit, über Riemen oder Spindeln angetrieben sind. Dadurch kann eine hohe Reinheit des Flurfördersystems erreicht werden, sodass dieses in sauberen Fertigungsumgebungen, beispielsweise in Reinräumen der Halbleiterfertigung, eingesetzt werden kann.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Güteraufnahme des Flurfördersystems beim Aufnehmen und Absetzen des Guts schwimmend - das bedeutet in der Horizontalen frei beweglich - gelagert ist. Dies ist insbesondere für den Betrieb in Reinräumen zur Reduzierung der Partikelgeneration von Vorteil. In den vor- und nachgelagerten Bewegungsabläufen zur Zentrierung beim Aufnehmen und Absetzen des Guts ist die Güteraufnahme in ihrer Position fixiert.
In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem ein Verfahren zum Transport von Gütern mittels einer schienengeführten Logistikeinheit, bei dem
a) eine eine Güteraufnahme umfassende teleskopierbare Drehschubeinheit auf eine Abholposition gebracht wird; b) eine Güteraufnahme unter einem aufzunehmenden Gut positioniert wird; c) die Güteraufnahme mit dem Gut angehoben wird; d) die Drehschubeinheit auf eine Übergabeposition gebracht wird; e) die Güteraufnahme abgesenkt wird und das Gut abgesetzt wird.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die schwimmend gelagerte
Güteraufnahme während des Aufnahmevorgangs (Schritt c) zentriert wird. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn das Gut während des Absenkvorgangs (Schritt e) gleichzeitig zentriert wird. In den vor- und nachgelagerten Bewegungsabläufen zur Zentrierung beim Aufnehmen und Absetzen des Guts kann die Güteraufnahme in ihrer Position fixiert werden. Entsprechend kann eine Fixiereinrichtung vorgesehen sein.
Eine Verfahrensvariante zeichnet sich dadurch aus, dass das Gut auf einer Puffereinrichtung abgesetzt wird. Dadurch kann das Gut zwischengelagert werden. Insbesondere können dadurch Umsetzvorgänge durchgeführt werden. Weiterhin kann ein Kassettentausch an einer Prozessstation durchgeführt werden. Eine Kassettenstation kann einer Prozessstation, durch die ein Arbeitsprozess an den Substraten der Kassette durchgeführt wird, zugeordnet sein.
Gemäß einer Verfahrensvariante kann vorgesehen sein, dass die Logistikeinheit nach Aufnahme des Guts an eine Abholposition verfahren wird. Somit können Güter, insbesondere Kassetten, zwischen unterschiedlichen Prozessstationen verfahren werden. Eine Abholposition könnte jedoch auch ein Pufferplatz einer Puffereinrichtung sein, die mit der Logistikeinheit verfahren wird.
Weiterhin kann vorgesehen sein, dass eine Rotationseinheit der Drehschubeinheit nach der Aufnahme des Guts um 0°, 90° oder 180° dreht. Bei einer Drehung um 0° kann beispielsweise die Kassette zunächst von einer unteren Abholposition aufgenommen werden, die Teleskopeinheit zurückgefahren werden, die Drehschubeinheit angehoben werden und anschließend die Teleskopeinheit wieder ausgefahren werden, um die Kassette an einer höher gelegenen Übergabeposition wieder abzusetzen.
Eine Drehung um 90° ist sinnvoll, wenn zunächst eine Kassette aus einer Abholposition aufgenommen wird, anschließend die Teleskopeinheit eingefahren wird, dann die Rotationseinheit um 90° gedreht wird und die Teleskopeinheit wieder ausgefahren wird, um die Kassette auf einen Pufferplatz abzusetzen.
Eine 180°-Drehung kommt infrage, wenn die Kassette auf einer ersten Seite in einer Abholposition aufgenommen wird, anschließend die Teleskopeinheit eingefahren wird, dann die Rotationseinheit um 180° gedreht wird und anschließend die Teleskopeinheit wieder ausgefahren wird, um die Kassette an einer der Abholposition gegenüberliegenden Übergabeposition abzusetzen.
Ein Kassettentausch kann also beispielsweise folgendermaßen ablaufen:
- der Unterwagen der Logistikeinheit wird ggf. durch eine Horizontalbewegung auf eine Abholposition der Kassettenstation entlang der Schienen gebracht;
- der Vertikalwagen wird ggf. durch eine Vertikalbewegung auf eine Abholposition der Kassettenstation gebracht;
- über die Teleskopeinheit wird eine Kassettenaufnahme unter eine Kassette gebracht;
- der Vertikalwagen fährt eine kurze Strecke nach oben, dadurch wird die Kassette angehoben und aus einer passiven Zentrierung entnommen; - die Teleskopeinheit der Drehschubeinheit fährt mit der Kassette wieder ein;
- die Rotationseinheit der Drehschubeinheit dreht auf eine Übergabeposition - 0°, wenn die Übergabeseite der Abholseite entspricht;
- 90°, wenn die Übergabe auf eine Puffereinrichtung erfolgt;
- 180°, wenn die Übergabeseite der Abholseite gegenüberliegend ist;
- die Kassette wird auf der Drehschubeinheit mittels einer aktiven Zentriereinrichtung zentriert;
- der Unterwagen wird ggf. durch eine Horizontalbewegung entlang der Schienen auf eine Übergabeposition gebracht;
- der Vertikalwagen wird ggf. durch eine Vertikalbewegung auf eine Übergabeposition in der Höhe gebracht; - die Teleskopeinheit der Drehschubeinheit fährt mit der Kassette aus;
- der Vertikalwagen wird abgelassen, und die Kassette wird abgesetzt, entweder auf einen Pufferplatz oder eine Kassettenstation
- die Teleskopeinheit der Drehschubeinheit fährt ein;
- die Logistikeinheit wird auf eine neue Abholposition gebracht.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigt, sowie aus den Ansprüchen. Die dort gezeigten Merkmale sind nicht notwendig maßstäblich zu verstehen und derart dargestellt, dass die erfindungsgemäßen Besonderheiten deutlich sichtbar gemacht werden können. Die verschiedenen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen bei Varianten der Erfindung verwirklicht sein. In der schematischen Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine erste Ansicht eines Flurfördersystems;
Fig. 2 eine Seitenansicht eines Flurfördersystems; und
Fig. 3 eine Draufsicht auf ein Flurfördersystem.
Das in der Fig. 1 gezeigte Flurfördersystem 10 umfasst einen Schaltschrank 11 mit einer Steuereinheit IIa, einen Masterantrieb 12, einen Slaveantrieb 13 und ein Wegmesssystem 14. Die Antriebe 12, 13 dienen dazu, eine Logistikeinheit 15, die auf Schienen 16 geführt ist, entlang der Schienen anzutreiben. Der Antrieb erfolgt über eine Schleppkette 17. Dies bedeutet, dass die Logistikeinheit 15 entlang der Schienen 16 verfahrbar angeordnet ist. Neben dem Flurfördersystem sind Kassettenstationen 18 vorgesehen, in denen als Kassetten ausgebildete Güter, die durch das Flurfördersystem 10 transportiert werden, gelagert sind. Die Kassettenstationen 18 können Prozessstationen zugeordnet sein, an denen beispielsweise Halbleiterprozesse durchgeführt werden.
Ausweislich der Fig. 2 ist eine Drehschubeinheit 20, auch als Umsetzachse bezeichnet, vorgesehen. Sie weist eine Rotationseinheit 21 und eine Teleskopeinheit 22 auf. Die Rotationseinheit 21 und die Teleskopeinheit 22 können unabhängig voneinander antreibbar sein. Die Drehschubeinheit 20 ist an einem Vertikalwagen 50 angeordnet, der entlang eines Hubmasts 51 vertikal beweglich ist. Der Hubmast ist an einem Unterwagen 19 der Logistikeinheit 15 befestigt. Der Unterwagen 19 ist auf den Schienen 12, 13 geführt. An die Logistikeinheit 15 ist eine Puffereinrichtung 25 angehängt. Das heißt, sie ist lösbar an der Logistikeinheit 15 befestigt. Die Puffereinrichtung 25 weist einen eigenen Unterwagen 52 auf, der auf den Schienen 12, 13 geführt ist. Im Ausführungsbeispiel weist die
Puffereinrichtung 25 zwei Speicherplätze 52, 54 für Kassetten auf. In der Fig. 2 ist angedeutet, dass auf einer Güteraufnahme 55 eine Kassette 56 angeordnet ist. Diese könnte durch alleiniges Verfahren der Teleskopeinheit 22 in den unteren Speicherplatz 53 der Puffereinrichtung 25 übergeben werden. Alternativ könnte der Vertikalwagen 50 entlang des Hubmasts 51 nach oben verfahren werden und anschließend die Kassette 56 mittels der Teleskopeinheit 22 an den Speicherplatz 54 übergeben werden.
In der Fig. 3 sind Kassettenstationen 18 beidseits des Flurfördersystems 10 gezeigt. Das Flurfördersystem 10 ist geeignet, bei einer hohen Genauigkeit Lasten im Bereich von ca. bis 500 kg zu transportieren. Beispielsweise können Kassetten aus einer ersten Kassetten Station 18 über die Logistikeinheit auf eine gegenüberliegende Kassettenstation 18 übergeben werden.

Claims

Patentansprüche
1. Flurfördersystem (10) zur Beförderung von Gütern, mit einer
5 entlang von Schienen (12, 13) bewegbaren Logistikeinheit (15), wobei die Logistikeinheit (15) eine teleskopierbare Drehschubeinheit (20) aufweist.
2. Flurfördersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass lo die teleskopierbare Drehschubeinheit (20) eine Rotationseinheit
(21) und eine Teleskopeinheit (22) aufweist, die vorzugsweise unabhängig voneinander antreibbar sind.
3. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, i5 dadurch gekennzeichnet, dass die Logistikeinheit (15) einen
Unterwagen (19) aufweist, der entlang der Schienen (12, 13) geführt ist, und an dem ein Hubmast (51) angeordnet ist, entlang dem ein Vertikalwagen (50) verfahrbar ist, wobei die teleskopierbare Drehschubeinheit (20) an dem Vertikalwagen (50) 20 angeordnet ist.
4. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Logistikeinheit (15) durch zumindest eine Puffereinrichtung (25) für Güter erweiterbar ist.
25
5. Flurfördersystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Puffereinrichtung (25) lösbar mit der Logistikeinheit (15) verbunden ist.
30 6. Flurfördersystem nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Puffereinrichtung (25) auf einem an die Logistikeinheit (15) koppelbaren Wagen (52) angeordnet ist.
7. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuereinheit (IIa) vorgesehen ist, die die Logistikeinheit (15) steuert.
5
8. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Wegmesssystem (14) vorgesehen ist, das die Position der Logistikeinheit (15) erfasst.
lo 9. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Logistikeinheit (15) eine Güterzentriereinrichtung aufweist.
10. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, i5 dadurch gekennzeichnet, dass die beweglichen Elemente des
Flurfördersystems (10), insbesondere der Logistikeinheit (15), über Riemen oder Spindeln angetrieben sind.
11. Flurfördersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 20 dadurch gekennzeichnet, dass die Güteraufnahme des
Flurfördersystems beim Aufnehmen und Absetzen des Guts schwimmend gelagert ist.
12. Verfahren zum Transport von Gütern mittels einer 25 schienengeführten Logistikeinheit (15), bei dem
a. eine eine Güteraufnahme (55) umfassende teleskopierbare Drehschubeinheit (20) auf eine Abholposition gebracht wird; 0 b. eine Güteraufnahme (55) unter einem aufzunehmenden
Gut positioniert wird; c. die Güteraufnahme (55) mit dem Gut angehoben wird; d. die Drehschubeinheit (20) auf eine Übergabeposition gebracht wird; e. die Güteraufnahme (55) abgesenkt wird und das Gut abgesetzt wird.
5
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Gut auf einer Puffereinrichtung (25) abgesetzt wird.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 12 oder 13, lo dadurch gekennzeichnet, dass die Logistikeinheit (15) nach
Aufnahme des Guts an eine Abholposition verfahren wird.
15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine Rotationseinheit (21) der i5 Drehschubeinheit (20) nach der Aufnahme des Guts um 0°, 90° oder 180° dreht.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die schwimmend gelagerte Güteraufnahme
20 (55) während des Aufnahmevorgangs des Guts zentriert wird.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Gut während des Absenkvorgangs gleichzeitig zentriert wird.
25
18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass in den vor- und nachgelagerten Bewegungsabläufen zur Zentrierung beim Aufnehmen und Absetzen des Guts die Güteraufnahme in ihrer Position fixiert
3o wird.
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