WO2008052518A1 - Device and method for machining a workpiece by means of a laser beam, comprising suction and a lateral air supply - Google Patents

Device and method for machining a workpiece by means of a laser beam, comprising suction and a lateral air supply Download PDF

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WO2008052518A1
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suction
air
workpiece
air supply
suction head
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PCT/DE2007/001930
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Christian Krieg
Marc Hüske
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Lpkf Laser & Electronics Ag
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Definitions

  • the invention relates to a device for machining a workpiece by means of a laser beam with a, relative to the workpiece positionable, a processing zone enclosing suction with an extraction of liberated E-missions, which is associated with a processing optics. Furthermore, the invention relates to a method for protecting a processing optics for laser processing before emissions of the machining process, in which the air is sucked laterally in a processing zone.
  • machining of a workpiece for example by means of CO 2 laser cutting, based on the heating, melting and evaporation of the workpiece material as a result of the absorption of a focused laser beam, in particular a wavelength in the far infrared, with extremely high thermal energy.
  • the CO 2 laser as the laser source is preferred over other laser sources because the pulse energy of other laser beam sources, for example that of a frequency tripled Nd: YAG laser with 355 nm wavelength, is insufficient to separate larger material thicknesses of the workpiece. Due to the nature of the predominantly thermal Energyeinkopplung the workpiece material heats up very strongly up to visible fire or flame formation. For certain material / laser parameter combinations, a plasma may also be created.
  • a processing optics can be protected from contamination by supplying air to a directed air flow as a cross flow.
  • a high-pressure air curtain the so-called Crossjet, is used transversely to the laser axis between the optics and the workpiece.
  • an apparatus for processing a workpiece by means of a laser beam which comprises a suction device which can be positioned relative to the workpiece and is connected to the processing optics.
  • This document also shows a lateral air supply for a substantially horizontal flow of high flow velocity in a region between the suction and the processing optics.
  • the suction shown must be operated at high power and positioned exactly.
  • DE 20 2004 017 854 U1 shows a device for a substantially horizontal flow of high flow velocity, but no suction.
  • a gas nozzle is used in this device, which exerts a directed substantially against the workpiece air flow.
  • DE 102 26 359 A1 shows an enclosure of the substantially horizontal flow of high flow velocity with openings for freely flowing air to regulate a negative pressure. Furthermore, the document shows an annular gas channel which is designed such that gas is pressed onto the workpiece in order to suppress a movement of particles in the direction of the processing optics.
  • the invention has for its object to provide a device and a method in which smoke and particles that are produced during cutting of, in particular printed circuit board materials are sucked off and contamination of the focussing and processing optics is avoided.
  • the first object is achieved according to the invention with a device, a suction head, according to the features of claim 1.
  • the further embodiment of the suction is to be found in the dependent claims 2 to 9.
  • the invention relates to a device for processing a workpiece by means of a laser beam, which is a processing optics bearing, relative to the workpiece positionable, a processing zone enclosing suction with a suction of the released emissions.
  • the invention is characterized in that the suction head is additionally provided with a lateral air supply for a substantially horizontal flow of high flow velocity in the region between the suction and the processing optics.
  • the suction head according to the invention also suction hood, covers a large-area processing zone and includes the openings and / or ends of suction and supply air lines.
  • an advantageous embodiment of the device according to the invention is that the air supply is associated with a separate, in particular a suction device located opposite a lateral air supply.
  • a suction device located opposite a lateral air supply.
  • particles or gases that follow the flow of air supply specifically collected and guided out of the suction head.
  • a planar air flow in particular an air curtain, can be generated by means of the air feed within the suction head.
  • openings of the suction and the air supply are formed nozzle-shaped. This ensures that the entire air flows are detected and turbulences are minimized.
  • a feature is that the openings of the suction and the air supply are adjustable. As a result, the volume flow of the supplied air can be adjusted and regulated.
  • the flow velocity of the air introduced into the suction head by means of the air feed can be set substantially greater than the flow speed of the air extracted by means of the suction.
  • the protection of the processing optics from contamination, in particular by particles that were not detected by the suction improved.
  • the rapidly flowing layer of air forms a so-called air curtain, which deflects due to its high flow velocity penetrating particles from their trajectory and imposes on them the direction of movement of the air flow.
  • Both the suction and the supplied air flow are arranged between the processing optics and the workpiece. It has proven to be advantageous that the suction is arranged close to the workpiece and the air supply between the suction and the processing optics is arranged. This will be particles and gases that were not detected by the exhaust, deflected in their movement perpendicular to the workpiece.
  • the air supply is arranged as a suction downstream device whose functionality corresponds to an air curtain.
  • the suction head according to the invention is designed so that the discharge of gases and particles evenly on a surface is possible.
  • a processing optical system which is designed essentially as a scanner head having a planar field optics.
  • the extraction of the gases creates a vacuum in the suction head.
  • openings for freely flowing air are arranged in the suction head between the suction head and the workpiece and between the suction head and the processing optics.
  • the opening for freely flowing air between the suction head and the processing optics can be closed.
  • the negative pressure in the suction head and the volume of freely flowing air can be regulated.
  • the suction head is designed as a hood, wherein the openings are arranged in the air-impermeable envelope surface of the suction head.
  • the second object relates to the corresponding method for protecting the processing optics for laser processing, which is characterized in that between a workpiece and the processing optics particles and gases first be discharged from an exhaust, wherein the particles and gases, which were not detected by the suction, are deflected and discharged with a high-velocity air supply parallel to the workpiece in its direction of movement. This prevents gases and particles from polluting the processing optics with a high specific impulse.
  • emission is particularly advantageous for emission to be dissipated laterally from the air flow of the suction and the air feed, with both air flows being impressed by a direction of flow away from the processing optics, in particular perpendicular to the optical axis.
  • the drawing shows a device for machining a workpiece by means of a laser beam in a sectional schematic representation.
  • the drawing shows a sectioned and schematic representation of the suction head 1, which is guided over a workpiece 3 processed by a laser of a processing optical system 2.
  • the suction head essentially consists of three elements, a laser with corresponding processing optics 2, a device for an air feed 4 with high flow velocity 4 and a device for the extraction of particles and gases.
  • the suction head 1 In the plane of the suction 5, the suction head 1 has two opposite openings 6, via which the particles and gases are led out of the suction head 1. In this case, a negative pressure generated by the suction 5 in the suction head 1 is compensated by laterally flowing through openings 7 free air.
  • the resulting in the processing of the workpiece 3 by the laser of the processing optics 2 emissions, especially particles and gases are detected either by the air flow of the suction 5 or by the air supply 4 deflected at a high flow rate and transported from the suction head 1 along a movement path 10.

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Abstract

The invention relates to a device for machining a workpiece (3) by means of a laser beam, comprising an extraction head (1), which is designed for the suction (5) of the emissions released, can be positioned in relation to the workpiece (3), includes a working zone and is connected to working optics (2). Furthermore, the invention relates to a method for protecting working optics (2) for laser working from emissions of the working process, in which the air is laterally extracted in a working zone. The invention is designed to extract fumes and particles that are produced during the cutting of a workpiece (3), in particular of semiconductor materials, and to avoid contamination of the focusing and working optics (2). For this purpose, the extraction head (1) is additionally equipped with a lateral air supply (4) for an essentially horizontal flow at high flow velocity in the region between the suction (5) and the working optics (2). This device carries out the method according to the invention, in which particles and gases are initially removed by suction (5) between the workpiece (3) and the working optics, the particles and gases that are not taken up by the extractor (5) being deflected in their direction of movement by an air supply (4) parallel to the workpiece and removed.

Description

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG EINES WERKSTUCKS MITTELS EINES LASERSTRAHLS MIT EINER ABSAUGUNG UND EINER SEITLICHEN LUFTZUFÜHRUNG DEVICE AND METHOD FOR MACHINING A WORKPIECE BY MEANS OF A LASER BEAM WITH A SUCTION AND A SIDE AIR INTAKE
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls mit einem, relativ zu dem Werkstück positionierbaren, eine Bearbeitungszone einschließenden Absaugkopf mit einer Absaugung der freigesetzten E- missionen, welcher mit einer Bearbeitungsoptik verbundenen ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Schutz einer Bearbeitungsoptik für die Laserbearbeitung vor Emissionen des Bearbeitungsprozesses, bei dem in einer Bearbeitungszone die Luft seitlich abgesaugt wird.The invention relates to a device for machining a workpiece by means of a laser beam with a, relative to the workpiece positionable, a processing zone enclosing suction with an extraction of liberated E-missions, which is associated with a processing optics. Furthermore, the invention relates to a method for protecting a processing optics for laser processing before emissions of the machining process, in which the air is sucked laterally in a processing zone.
Die Bearbeitung eines Werkstücks, beispielsweise mittels CO2-Laserschneiden, ba- siert auf der Erwärmung, Schmelzebildung und Verdampfung des Werkstückmaterials als Folge der Absorption eines fokussierten Laserstrahls, insbesondere einer Wellenlänge im fernen Infrarot, mit extrem hoher thermischer Energie.The machining of a workpiece, for example by means of CO 2 laser cutting, based on the heating, melting and evaporation of the workpiece material as a result of the absorption of a focused laser beam, in particular a wavelength in the far infrared, with extremely high thermal energy.
Der Cθ2-Laser als Laserquelle wird dabei gegenüber anderen Laserquellen bevor- zugt, weil die Pulsenergie anderer Laserstrahlquellen, beispielsweise die eines frequenzverdreifachten Nd:YAG-Lasers mit 355 nm Wellenlänge, nicht ausreicht, um größere Materialstärken des Werkstücks zu trennen. Aufgrund der Art der vorwiegend thermischen Energieeinkopplung erhitzt sich das Werkstückmaterial sehr stark bis hin zu sichtbaren Branderscheinungen oder Flammenbildung. Bei bestimmten Material-/Laserparameterkombinationen kann zudem ein Plasma entstehen.The CO 2 laser as the laser source is preferred over other laser sources because the pulse energy of other laser beam sources, for example that of a frequency tripled Nd: YAG laser with 355 nm wavelength, is insufficient to separate larger material thicknesses of the workpiece. Due to the nature of the predominantly thermal Energieeinkopplung the workpiece material heats up very strongly up to visible fire or flame formation. For certain material / laser parameter combinations, a plasma may also be created.
Infolge der Branderscheinungen entstehen Dämpfe und Ruße entsprechend der Ma- te-rialzusammensetzungen, die sich auf dem bearbeiteten Werkstück ablagern. Darüber hinaus können Ablagerungen größerer Partikel festgestellt werden, die teilweise agglomerieren und sich ebenfalls in der Umgebung der Bearbeitungszone und auf der Bearbeitungsoptik niederschlagen. Diese Partikel verlassen die Bearbeitungszone teilweise mit sehr hohen Geschwindigkeiten. Aufgrund eines großen abgetragenen Materialvolumens ist ein erheblicher Verschmutzungsgrad in der Maschine nahe der Bearbeitungszone festzustellen.As a result of the fire phenomena, vapors and carbon blacks are produced in accordance with the material compositions which deposit on the machined workpiece. In addition, deposits of larger particles can be detected, which partially agglomerate and also precipitate in the vicinity of the processing zone and on the processing optics. These particles leave the processing zone partly at very high speeds. Due to a large volume of material removed, a significant degree of soiling is observed in the machine near the processing zone.
Auf dem bearbeiteten Werkstück können diese Abtragprodukte zu unerwünschten Funktionsbeeinträchtigungen der elektrischen/elektronischen Schaltung führen. Zum einen sind diese Abtragprodukte teilweise elektrisch leitfähig und können Kurzschlüsse verursachen, zum anderen wird die nachträgliche Benetzbarkeit von Löt- pads beeinträchtigt, sodass eine einwandfreie Lötung nicht mehr gewährleistet ist.On the machined workpiece these Abtragprodukte can lead to undesirable functional impairment of the electrical / electronic circuit. On the one hand, these removal products are partly electrically conductive and can cause short circuits, on the other hand, the subsequent wettability of solder pads is impaired, so that proper soldering is no longer guaranteed.
Aus dem Stand der Technik ist es bereits bekannt, mittels einer Absaugung den Rauch und die Partikel abzusaugen und einer Nachbehandlung zuzuführen.From the prior art, it is already known to suck the smoke and the particles by means of a suction and to supply a post-treatment.
Als problematisch erweist es sich hierbei jedoch, dass die seitliche Absaugung in einem zwischen den Absaugöffnungen befindlichen zentralen Bereich eine lediglich geringe Wirkung entfaltet. Insbesondere führt die entgegengesetzte Strömungsrichtung der seitlichen Luftabsaugung innerhalb des Absaugkopfs zu einer weitgehenden Wirkungslosigkeit in diesem zentralen Bereich zwischen den Absaugöffnungen der Absaugung. Dämpfe und Ruße sowie insbesondere Partikel können daher in diesem Bereich nahezu ungehindert zu der Bearbeitungsoptik gelangen.However, it proves to be problematic in this case that the lateral suction in a central region located between the suction openings develops only a slight effect. In particular, the opposite flow direction of the lateral air extraction within the suction head to a substantial inefficiency in this central area between the suction of the suction. Vapors and carbon blacks and in particular particles can therefore reach the processing optics in this area almost unhindered.
Weiterhin ist es auf dem Gebiet der Laserschweißtechnik bekannt, dass eine Bearbeitungsoptik durch Luftzufuhr einer gerichteten Luftströmung als Querströmung vor Verschmutzung geschützt werden kann. Um die Optiken zuverlässig vor Schweiß- rauch und -Spritzern zu schützen, wird ein quer zur Laserachse zwischen Optik und Werkstück angeordneter Hochdruckluftvorhang, der so genannte Crossjet, verwendet.Furthermore, it is known in the field of laser welding technology that a processing optics can be protected from contamination by supplying air to a directed air flow as a cross flow. To reliably protect the optics from welding To protect smoke and sprayers, a high-pressure air curtain, the so-called Crossjet, is used transversely to the laser axis between the optics and the workpiece.
Geschützt durch einen Crossjet wird ein optimaler Schutz auch im Hochleistungsbetrieb der Fokussieroptik durch eine Überschallluftströmung erreicht.Protected by a Crossjet, optimum protection is achieved even in high-performance operation of the focusing optics by supersonic air flow.
Aus der GB 2 390 319 A ist bereits eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls bekannt, die eine mit einem relativ zum Werkstück positionierbaren, mit der Bearbeitungsoptik verbundene Absaugung umfasst. Diese Schrift zeigt auch eine seitliche Luftzuführung für eine im Wesentlichen horizontale Strömung hoher Strömungsgeschwindigkeit in einem Bereich zwischen der Absaugung und der Bearbeitungsoptik. Um jedoch ein unkontrolliertes Strömungsbild und somit eine Verschmutzung der Anlage und des Werkstücks außerhalb der Bearbei- tungszone zu vermeiden, muss die gezeigte Absaugung mit hoher Leistung betrieben werden und exakt positioniert werden.From GB 2 390 319 A an apparatus for processing a workpiece by means of a laser beam is already known, which comprises a suction device which can be positioned relative to the workpiece and is connected to the processing optics. This document also shows a lateral air supply for a substantially horizontal flow of high flow velocity in a region between the suction and the processing optics. However, in order to avoid an uncontrolled flow pattern and thus contamination of the plant and the workpiece outside the processing zone, the suction shown must be operated at high power and positioned exactly.
Die DE 20 2004 017 854 U1 zeigt zwar eine Einrichtung für eine im Wesentlichen horizontale Strömung hoher Strömungsgeschwindigkeit, jedoch keine Absaugung. Zum Schutz der Bearbeitungsoptik wird bei dieser Vorrichtung eine Gasdüse eingesetzt, die eine im Wesentlichen gegen das Werkstück gerichtete Luftströmung ausübt.Although DE 20 2004 017 854 U1 shows a device for a substantially horizontal flow of high flow velocity, but no suction. To protect the processing optics, a gas nozzle is used in this device, which exerts a directed substantially against the workpiece air flow.
Der in DE 10 2005 025 119 B4 angegebene Stand der Technik betrifft einen zum Werkstück hin geschlossenen Bearbeitungskopf, wobei der untere Abschluss der Einhausung als wechselbares Verschleißteil ausgeführt ist.The state of the art given in DE 10 2005 025 119 B4 relates to a machining head which is closed towards the workpiece, the lower termination of the housing being designed as a replaceable wearing part.
Die DE 102 26 359 A1 zeigt eine Einhausung der im Wesentlichen horizontalen Strömung hoher Strömungsgeschwindigkeit mit Öffnungen für frei nachströmende Luft zur Regulierung eines Unterdrucks. Weiterhin zeigt die Schrift einen ringförmigen Gaskanal, der so ausgestaltet ist, dass Gas auf das Werkstück gedrückt wird, um eine Bewegung von Partikeln in Richtung der Bearbeitungsoptik zu unterdrücken. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zu schaffen, bei dem Rauch und Partikel, die beim Schneiden von, insbesondere Leiterplattenmaterialien entstehen, abgesaugt werden und eine Verschmutzung der Fo- kussier- und Bearbeitungsoptik vermieden wird.DE 102 26 359 A1 shows an enclosure of the substantially horizontal flow of high flow velocity with openings for freely flowing air to regulate a negative pressure. Furthermore, the document shows an annular gas channel which is designed such that gas is pressed onto the workpiece in order to suppress a movement of particles in the direction of the processing optics. The invention has for its object to provide a device and a method in which smoke and particles that are produced during cutting of, in particular printed circuit board materials are sucked off and contamination of the focussing and processing optics is avoided.
Die erstgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einer Vorrichtung, einem Absaugkopf, gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die weitere Ausgestaltung des Absaugkopfs ist den Unteransprüchen 2 bis 9 zu entnehmen.The first object is achieved according to the invention with a device, a suction head, according to the features of claim 1. The further embodiment of the suction is to be found in the dependent claims 2 to 9.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls, welche ein eine Bearbeitungsoptik tragender, relativ zum Werkstück positionierbarer, eine Bearbeitungszone einschließender Absaugkopf mit einer Absaugung der freigesetzten Emissionen ist. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Absaugkopf zusätzlich mit einer seitlichen Luftzuführung für eine im Wesentlichen horizontale Strömung hoher Strömungsgeschwindigkeit im Bereich zwischen der Absaugung und der Bearbeitungsoptik ausgestattet ist. Hierdurch werden aufgrund der Luftzuführung mit hoher Strömungsgeschwindigkeit nicht nur unerwünschte Partikel oder Gase von der Bearbeitungsoptik fern gehalten, sondern vielmehr eine Strömungsumlenkung erreicht, die der Bewegung dieser Partikel oder Ga- se in Richtung der Bearbeitungsoptik entgegenwirkt. Die Partikel oder Gase können mittels einer weiteren seitlichen Absaugung zuverlässig entfernt werden. Ein Niederschlag auf dem bearbeiteten Material wird vermieden.The invention relates to a device for processing a workpiece by means of a laser beam, which is a processing optics bearing, relative to the workpiece positionable, a processing zone enclosing suction with a suction of the released emissions. The invention is characterized in that the suction head is additionally provided with a lateral air supply for a substantially horizontal flow of high flow velocity in the region between the suction and the processing optics. As a result, not only unwanted particles or gases are kept away from the processing optics due to the air supply with high flow velocity, but rather a flow deflection is achieved, which counteracts the movement of these particles or gas in the direction of the processing optics. The particles or gases can be reliably removed by means of a further lateral extraction. Precipitation on the processed material is avoided.
Der erfindungsgemäße Absaugkopf, auch Absaughaube, überdeckt eine großflächi- ge Bearbeitungszone und schließt die Öffnungen und/oder Enden von Absaug- und Zuluftleitungen ein.The suction head according to the invention, also suction hood, covers a large-area processing zone and includes the openings and / or ends of suction and supply air lines.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es, dass der Luftzuführung eine separate, insbesondere eine einer seitlichen Luftzuführung gege- nüberliegende Absaugeinrichtung zugeordnet ist. Hierdurch werden Partikel oder Gase, die der Strömung der Luftzufuhr folgen, gezielt aufgefangen und aus dem Absaugkopf geführt. Vorteilhaft ist es, dass mittels der Luftzuführung innerhalb des Absaugkopfes eine flächige Luftströmung, insbesondere ein Luftvorhang erzeugbar ist. Hierdurch werden Partikel, die wegen ihres Impulses von der Absaugung nicht erfasst wurden, im gesamten Querschnitt des Absaugkopfs, insbesondere in dessen Randbereichen, vom Luftstrom erfasst und von ihrer Bewegung in Richtung der Bearbeitungsoptik abgelenkt.An advantageous embodiment of the device according to the invention is that the air supply is associated with a separate, in particular a suction device located opposite a lateral air supply. As a result, particles or gases that follow the flow of air supply, specifically collected and guided out of the suction head. It is advantageous that a planar air flow, in particular an air curtain, can be generated by means of the air feed within the suction head. As a result, particles that were not detected by the suction because of their pulse, detected in the entire cross-section of the suction, in particular in the edge regions of the air flow and deflected by their movement in the direction of the processing optics.
Von Vorteil ist es, dass Öffnungen der Absaugung und der Luftzuführung düsenför- mig ausgebildet sind. Hierdurch ist gewährleistet, dass die gesamten Luftströmungen erfasst und Verwirbelungen minimiert sind.It is advantageous that openings of the suction and the air supply are formed nozzle-shaped. This ensures that the entire air flows are detected and turbulences are minimized.
Ein Merkmal ist es, dass die Öffnungen der Absaugung und der Luftzuführung einstellbar sind. Hierdurch kann der Volumenstrom der zugeführten Luft eingestellt und reguliert werden.A feature is that the openings of the suction and the air supply are adjustable. As a result, the volume flow of the supplied air can be adjusted and regulated.
Besonders günstig ist es, dass mittels der Absaugung zumindest ein Teil des mittels der Luftzuführung zugeführten Luftvolumens derart ablenkbar ist, dass der Luftströmung eine auf das Werkstück gerichtete vektorielle Strömungskomponente aufgeprägt wird. Hierdurch wird die Geschwindigkeit von Partikeln und Gasen reduziert und derart abgelenkt, dass diese von der Absaugung erfasst werden.It is particularly favorable that by means of the suction at least a part of the air volume supplied by means of the air supply can be deflected such that the air flow is impressed on the workpiece directed vectorial flow component. As a result, the velocity of particles and gases is reduced and deflected so that they are detected by the suction.
Vorteilhaft ist insbesondere, dass die Strömungsgeschwindigkeit der mittels der Luftzuführung in den Absaugkopf eingebrachten Luft wesentlich größer als die Strömungsgeschwindigkeit der mittels der Absaugung abgesaugten Luft einstellbar ist. Hierdurch wird der Schutz der Bearbeitungsoptik vor Verschmutzung, insbesondere durch Partikel, die von der Absaugung nicht erfasst wurden, verbessert. Denn die schnell strömende Luftschicht bildet einen so genannten Luftvorhang, der auf Grund seiner hohen Strömungsgeschwindigkeit eindringende Partikel von ihrer Flugbahn ablenkt und ihnen die Bewegungsrichtung der Luftströmung aufprägt.It is particularly advantageous that the flow velocity of the air introduced into the suction head by means of the air feed can be set substantially greater than the flow speed of the air extracted by means of the suction. As a result, the protection of the processing optics from contamination, in particular by particles that were not detected by the suction, improved. Because the rapidly flowing layer of air forms a so-called air curtain, which deflects due to its high flow velocity penetrating particles from their trajectory and imposes on them the direction of movement of the air flow.
Sowohl die Absaugung als auch der zugeführte Luftstrom sind zwischen der Bearbeitungsoptik und dem Werkstück angeordnet. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, dass die Absaugung nah am Werkstück angeordnet ist und die Luftzuführung zwischen der Absaugung und der Bearbeitungsoptik angeordnet ist. Hierdurch werden Partikel und Gase, welche von der Absaugung nicht erfasst wurden, in ihrer Bewegung senkrecht zum Werkstück abgelenkt. Die Luftzuführung ist als eine der Absaugung nachgeschaltete Vorrichtung, deren Funktionalität einem Luftvorhang entspricht, angeordnet.Both the suction and the supplied air flow are arranged between the processing optics and the workpiece. It has proven to be advantageous that the suction is arranged close to the workpiece and the air supply between the suction and the processing optics is arranged. This will be particles and gases that were not detected by the exhaust, deflected in their movement perpendicular to the workpiece. The air supply is arranged as a suction downstream device whose functionality corresponds to an air curtain.
Es sind Laser bekannt, die punktuell arbeiten und bei denen der Schutz der Bearbeitungsoptik vor Verschmutzung einfach zu realisieren ist. Der erfindungsgemäße Absaugkopf ist so ausgeführt, dass das Abführen von Gasen und Partikeln gleichmäßig auf einer Fläche möglich ist. Hierdurch ist der Einsatz einer Bearbeitungsoptik, wel- che im Wesentlichen als ein eine Planfeldoptik aufweisender Scannerkopf ausgeführt ist, möglich.There are known lasers that work selectively and where the protection of the processing optics from contamination is easy to implement. The suction head according to the invention is designed so that the discharge of gases and particles evenly on a surface is possible. As a result, it is possible to use a processing optical system, which is designed essentially as a scanner head having a planar field optics.
Die Absaugung der Gase erzeugt im Absaugkopf einen Unterdruck. Zum Ausgleich des Unterdrucks ist es günstig, dass Öffnungen für frei nachströmende Luft in den Absaugkopf zwischen dem Absaugkopf und dem Werkstück sowie zwischen dem Absaugkopf und der Bearbeitungsoptik angeordnet sind.The extraction of the gases creates a vacuum in the suction head. To compensate for the negative pressure, it is favorable that openings for freely flowing air are arranged in the suction head between the suction head and the workpiece and between the suction head and the processing optics.
Von Vorteil ist es, dass die Öffnung für frei nachströmende Luft zwischen dem Absaugkopf und der Bearbeitungsoptik schließbar ist. Hierdurch kann der Unterdruck im Absaugkopf und das Volumen der frei nachströmenden Luft reguliert werden.It is advantageous that the opening for freely flowing air between the suction head and the processing optics can be closed. As a result, the negative pressure in the suction head and the volume of freely flowing air can be regulated.
Für die Absaugung ist es von Vorteil, dass der Absaugkopf als eine Haube ausgestaltet ist, wobei die Öffnungen in die luftundurchlässige Hüllfläche des Absaugkopfs angeordnet sind. Hierdurch ist es möglich, dass die unterschiedlichen Komponenten der Absaugung und Luftzuführung in einer aufeinander abgestimmten Weise zusammenarbeiten, sodass sich innerhalb des gegenüber der Außenluft weitestgehend abgetrennten Haubenraums eine kontrollierte Luftströmung einstellen kann, die es ermöglicht, einerseits Partikel und Gase von dem Werkstück abzusaugen und einen Niederschlag von Partikeln und Gasen auf dem Werkstück zu verhindern, und ande- rerseits eine Verschmutzung der Fokussier- und Bearbeitungsoptik verhindert.For the suction, it is advantageous that the suction head is designed as a hood, wherein the openings are arranged in the air-impermeable envelope surface of the suction head. This makes it possible that the different components of the extraction and air supply work together in a coordinated manner, so that within the relative to the outside air largely separated hood space can set a controlled air flow, which allows on the one hand to suck particles and gases from the workpiece and a Precipitation of particles and gases on the workpiece to prevent, and on the other hand prevents contamination of the focusing and processing optics.
Die zweitgenannte Aufgabe betrifft das entsprechende Verfahren zum Schutz der Bearbeitungsoptik für die Laserbearbeitung, das dadurch gekennzeichnet ist, dass zwischen einem Werkstück und der Bearbeitungsoptik Partikel und Gase zunächst von einer Absaugung abgeführt werden, wobei die Partikel und Gase, welche von der Absaugung nicht erfasst wurden, mit einer Luftzuführung hoher Strömungsgeschwindigkeit parallel zu dem Werkstück in ihrer Bewegungsrichtung abgelenkt und abgeführt werden. Hierdurch wird verhindert, dass Gase und Partikel mit einem ho- hen spezifischen Impuls die Bearbeitungsoptik verschmutzen.The second object relates to the corresponding method for protecting the processing optics for laser processing, which is characterized in that between a workpiece and the processing optics particles and gases first be discharged from an exhaust, wherein the particles and gases, which were not detected by the suction, are deflected and discharged with a high-velocity air supply parallel to the workpiece in its direction of movement. This prevents gases and particles from polluting the processing optics with a high specific impulse.
Besonders vorteilhaft ist es, dass von der Luftströmung der Absaugung und der Luftzuführung Emission seitlich abgeführt werden, wobei beiden Luftströmungen eine von der Bearbeitungsoptik abgewandten Strömungsrichtung, insbesondere senkrecht zur optischen Achse, aufgeprägt wird. Hierdurch werden abgelenkte Partikel und Gase aus dem Absaugkopf geführt, ein Verschmutzen des Absaugkopfes wird so unterdrückt.It is particularly advantageous for emission to be dissipated laterally from the air flow of the suction and the air feed, with both air flows being impressed by a direction of flow away from the processing optics, in particular perpendicular to the optical axis. As a result, deflected particles and gases are guided out of the suction head, soiling of the suction head is thus suppressed.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt und wird im Folgenden näher beschrieben. Die Zeichnung zeigt eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls in geschnittener schematischer Darstellung.In the drawing, an embodiment of the invention is shown and will be described in more detail below. The drawing shows a device for machining a workpiece by means of a laser beam in a sectional schematic representation.
Die Zeichnung zeigt eine geschnittene und schematische Darstellung des Absaug- kopfes 1, welcher über einem, von einem Laser einer Bearbeitungsoptik 2 bearbeiteten Werkstück 3 geführt wird. Der Absaugkopf besteht im Wesentlichen aus drei E- lementen, einem Laser mit entsprechender Bearbeitungsoptik 2, einer Vorrichtung für eine Luftzuführung 4 mit hoher Strömungsgeschwindigkeit 4 und einer Vorrichtung zur Absaugung von Partikeln und Gasen. In der Ebene der Absaugung 5 weist der Absaugkopf 1 zwei gegenüberliegende Öffnungen 6 auf, über welche die Partikel und Gase aus dem Absaugkopf 1 geführt werden. Dabei wird ein von der Absaugung 5 in dem Absaugkopf 1 erzeugter Unterdruck von seitlich durch Öffnungen 7 frei nachströmende Luft ausgeglichen. In der Ebene der Luftzuführung 4 mit hoher Strömungsgeschwindigkeit ist an einer Seite eine Einlassöffnung 8 für den Luftstrom, an der gegenüberliegenden Seite befindet sich eine Auslassöffnung 9, über welche die schnell strömende Luft aus dem Absaugkopf 1 entweder frei ausströmt oder abgesaugt wird. Die bei der Bearbeitung des Werkstücks 3 durch den Laser der Bearbeitungsoptik 2 entstehenden Emissionen, insbesondere Partikel und Gase, werden entweder von der Luftströmung der Absaugung 5 erfasst oder von der Luftzuführung 4 mit hoher Strömungsgeschwindigkeit abgelenkt und aus dem Absaugkopf 1 entlang einer Bewegungsbahn 10 transportiert. The drawing shows a sectioned and schematic representation of the suction head 1, which is guided over a workpiece 3 processed by a laser of a processing optical system 2. The suction head essentially consists of three elements, a laser with corresponding processing optics 2, a device for an air feed 4 with high flow velocity 4 and a device for the extraction of particles and gases. In the plane of the suction 5, the suction head 1 has two opposite openings 6, via which the particles and gases are led out of the suction head 1. In this case, a negative pressure generated by the suction 5 in the suction head 1 is compensated by laterally flowing through openings 7 free air. In the plane of the air supply 4 with high flow velocity is an inlet opening 8 for the air flow on one side, on the opposite side there is an outlet opening 9, via which the fast flowing air from the suction head 1 either flows freely or is sucked off. The resulting in the processing of the workpiece 3 by the laser of the processing optics 2 emissions, especially particles and gases are detected either by the air flow of the suction 5 or by the air supply 4 deflected at a high flow rate and transported from the suction head 1 along a movement path 10.

Claims

PATENTANSPRUCHE PATENT CLAIMS
1. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks (3) mittels eines Laserstrahls mit einem, relativ zum Werkstück (3) positionierbaren, eine Bearbeitungszone einschließenden Absaugkopf (1) mit einer Absaugung (5) der freigesetzten Emissionen, welcher mit einer Bearbeitungsoptik (2) verbundenen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Absaugkopf (1 ) zusätzlich mit einer seitlichen Luftzuführung (4) für eine im Wesentlichen horizontale Strömung hoher Strömungsgeschwindigkeit im Bereich zwischen der Absaugung (5) und der Bearbeitungsoptik (2) ausgestattet ist.1. The invention relates to a device for processing a workpiece (3) by means of a laser beam with a relative to the workpiece (3) positionable, a processing zone enclosing suction head (1) with an exhaust (5) of the released emissions, which with a processing optics ( 2), characterized in that the suction head (1) is additionally equipped with a lateral air supply (4) for a substantially horizontal flow of high flow velocity in the region between the suction (5) and the processing optics (2).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Luftzuführung (4) eine separate, insbesondere eine einer seitlichen Luftzuführung (Einlassöffnung 8) gegenüberliegende Absaugeinrichtung (Auslassöffnung 9) zugeordnet ist.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the air supply (4) is associated with a separate, in particular one of a lateral air supply (inlet opening 8) opposite the suction device (outlet opening 9).
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Luftzuführung (4) innerhalb des Absaugkopfs (1) eine flächige Luftströmung, insbesondere ein Luftvorhang, erzeugbar ist.3. Device according to claims 1 or 2, characterized in that by means of the air supply (4) within the suction head (1), a planar air flow, in particular an air curtain, can be generated.
4. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Öffnungen (6, 8, 9) der Absaugung (5) und/oder der Luftzuführung (4) düsenförmig ausgebildet sind. 4. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that openings (6, 8, 9) of the suction (5) and / or the air supply (4) are nozzle-shaped.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen (6, 8, 9) der Absaugung (5) und der Luftzuführung (4) einstellbar sind.5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the openings (6, 8, 9) of the suction (5) and the air supply (4) are adjustable.
6. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Absaugung (5) zumindest ein Teil des mittels der Luftzuführung (4) zugeführten Luftvolumens derart ablenkbar ist, dass der Luftströmung eine auf das Werkstück gerichtete vektorielle Strömungskomponente aufgeprägt wird.6. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that by means of the suction (5) at least a portion of the means of the air supply (4) supplied air volume is deflected such that the air flow is directed onto the workpiece vectorial flow component is impressed.
7. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strömungsgeschwindigkeit der mittels der Luftzuführung (4) in den Absaugkopf (1) eingebrachten Luft wesentlich größer als die Strömungsgeschwindigkeit der mittels der Absaugung (5) abgesaugten Luft einstellbar ist.7. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the flow velocity of the means of the air supply (4) in the suction head (1) introduced air is substantially greater than the flow rate of the extracted by means of the suction (5) air adjustable.
8. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Absaugung (5) nah am Werkstück (3) angeordnet ist und die Luftzuführung (4) zwischen der Absaugung (5) und der Bearbeitungsoptik (2) angeordnet ist.8. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the suction (5) is arranged close to the workpiece (3) and the air supply (4) between the suction (5) and the processing optics (2) is arranged.
9. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Absaugung (5) das Abführen von Gasen und Partikeln gleichmäßig auf einer Fläche erfolgt.9. Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that by means of the suction (5) the removal of gases and particles takes place uniformly on a surface.
10. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Öffnungen (7) für frei nachströmende Luft in den Absaugkopf (1) zwischen dem Absaugkopf (1) und dem Werkstück (3) sowie zwischen dem Absaugkopf (1 ) und der Bearbeitungsoptik (2) angeordnet sind.10. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that openings (7) for freely flowing air into the suction head (1) between the suction head (1) and the workpiece (3) and between the suction head (1) and the processing optics (2) are arranged.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (7) für frei nachströmende Luft zwischen dem Absaugkopf (1) und der Bearbeitungsoptik (2) schließbar ist. 11. The device according to claim 10, characterized in that the opening (7) for freely flowing air between the suction head (1) and the processing optics (2) can be closed.
12. Vorrichtung nach zumindest einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Absaugkopf (1 ) als eine Haube ausgestaltet ist, wobei die Öffnungen (6, 8, 9) in die luftundurchlässige Hüllfläche des Absaugkopfs (1) angeordnet sind.12. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the suction head (1) is designed as a hood, wherein the openings (6, 8, 9) in the air-impermeable envelope surface of the suction head (1) are arranged.
13. Verfahren zum Schutz einer Bearbeitungsoptik für die Laserbearbeitung, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen einem Werkstück (3) und der Bearbeitungsoptik (2) Partikel und Gase zunächst von einer Absaugung (5) abgeführt werden, wobei die Partikel und Gase, welche von der Absaugung (5) nicht er- fasst wurden, mit einer Luftzuführung (4) hoher Strömungsgeschwindigkeit parallel zum Werkstück (3) in ihrer Bewegungsrichtung abgeführt und abgeführt werden.13. A method for protecting a processing optics for laser processing, characterized in that between a workpiece (3) and the processing optics (2) particles and gases are first removed from a suction (5), wherein the particles and gases, which from the suction (5) were not detected, with an air supply (4) high flow velocity parallel to the workpiece (3) dissipated in their direction of movement and dissipated.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass von der Luftströmung der Absaugung (5) und der Luftzuführung (4) Emission seitlich abgeführt werden, wobei beiden Luftströmungen eine von der Bearbeitungsoptik (2) abgewandten Strömungsrichtung, insbesondere senkrecht zur optischen Achse, aufgeprägt wird. 14. The method according to claim 13, characterized in that from the air flow of the suction (5) and the air supply (4) emission are discharged laterally, wherein both air flows from the processing optics (2) facing away flow direction, in particular perpendicular to the optical axis impressed becomes.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014217862A (en) * 2013-05-09 2014-11-20 大日本印刷株式会社 Laser processing smoke cleaner and laser processing device
JP2018522751A (en) * 2015-11-16 2018-08-16 ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング Apparatus for generating a three-dimensional object in a generative manner

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10672603B2 (en) * 2015-10-23 2020-06-02 Infineon Technologies Ag System and method for removing dielectric material
DE102016212082A1 (en) * 2016-07-04 2018-01-04 MTU Aero Engines AG Device for laser melting with several suction devices
DE102016221012A1 (en) * 2016-10-26 2018-04-26 Continental Reifen Deutschland Gmbh Device for cleaning a tire inner surface
CN108067494B (en) * 2016-11-17 2020-12-04 宁德新能源科技有限公司 Dust removing device
CN108098155B (en) * 2016-11-17 2020-10-09 宁德新能源科技有限公司 Dust removing device
JP6450783B2 (en) 2017-01-19 2019-01-09 ファナック株式会社 Nozzle for laser processing head
JP6450784B2 (en) 2017-01-19 2019-01-09 ファナック株式会社 Laser processing machine
CN106840680A (en) * 2017-01-19 2017-06-13 上海泛智能源装备有限公司 A kind of air curtain configuration device and optical measuring device
DE102017104351A1 (en) 2017-03-02 2018-09-06 Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh Device for the additive production of three-dimensional objects
DE102018211423A1 (en) 2018-07-10 2020-01-16 Volkswagen Aktiengesellschaft Tool arrangement and method for receiving an optical tool in a parking position
DE102019126697B4 (en) * 2019-10-02 2023-07-13 Lpkf Laser & Electronics Ag Device for processing a substrate using a laser beam

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH091374A (en) * 1995-06-14 1997-01-07 Kobe Steel Ltd Machining head for welding in laser beam machine
JP2001150176A (en) * 1999-11-22 2001-06-05 Matsushita Electronics Industry Corp Dust collector for laser beam marking
GB2390319A (en) * 2002-07-03 2004-01-07 Rolls Royce Plc Method and apparatus for laser welding
US6683277B1 (en) * 2002-12-20 2004-01-27 Osram Opto Semiconductors Laser ablation nozzle assembly
JP2005088068A (en) * 2003-09-19 2005-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Laser beam machining apparatus and laser beam machining method
JP2005349418A (en) * 2004-06-08 2005-12-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd Trepanning apparatus for printed circuit board
EP1658921A1 (en) * 2004-11-17 2006-05-24 TRUMPF Laser GmbH + Co.KG Laser welding apparatus for a high-power laser with high beam quality and long focal-length focussing optics

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10226359B4 (en) * 2002-06-13 2010-08-19 Precitec Kg Laser processing head for machining, in particular for cutting a workpiece by means of a laser beam
DE102005025119B4 (en) * 2004-05-27 2006-09-28 Highyag Lasertechnologie Gmbh Device for increasing the service life of laser processing optics
DE202004017854U1 (en) * 2004-11-17 2005-01-27 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Laser welding device has moving unit which limits mixture of welding gases produced during laser welding and hot ambient air within focused laser beam to region close to workpiece

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH091374A (en) * 1995-06-14 1997-01-07 Kobe Steel Ltd Machining head for welding in laser beam machine
JP2001150176A (en) * 1999-11-22 2001-06-05 Matsushita Electronics Industry Corp Dust collector for laser beam marking
GB2390319A (en) * 2002-07-03 2004-01-07 Rolls Royce Plc Method and apparatus for laser welding
US6683277B1 (en) * 2002-12-20 2004-01-27 Osram Opto Semiconductors Laser ablation nozzle assembly
JP2005088068A (en) * 2003-09-19 2005-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Laser beam machining apparatus and laser beam machining method
JP2005349418A (en) * 2004-06-08 2005-12-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd Trepanning apparatus for printed circuit board
EP1658921A1 (en) * 2004-11-17 2006-05-24 TRUMPF Laser GmbH + Co.KG Laser welding apparatus for a high-power laser with high beam quality and long focal-length focussing optics

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014217862A (en) * 2013-05-09 2014-11-20 大日本印刷株式会社 Laser processing smoke cleaner and laser processing device
JP2018522751A (en) * 2015-11-16 2018-08-16 ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング Apparatus for generating a three-dimensional object in a generative manner
US11130289B2 (en) 2015-11-16 2021-09-28 Concept Laser Gmbh Device for the generative production of a three-dimensional object

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