WO2007132698A1 - Reticle case - Google Patents

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WO2007132698A1
WO2007132698A1 PCT/JP2007/059509 JP2007059509W WO2007132698A1 WO 2007132698 A1 WO2007132698 A1 WO 2007132698A1 JP 2007059509 W JP2007059509 W JP 2007059509W WO 2007132698 A1 WO2007132698 A1 WO 2007132698A1
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lid
case
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transparent window
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PCT/JP2007/059509
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Inventor
Chiaki Matsutori
Koichi Yanagihara
Original Assignee
Miraial Co., Ltd,
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Publication date
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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Definitions

  • the main body and lid other than the transparent window are each composed of a continuous non-chargeable polymer. Formed from material.
  • the basic structure of the reticle case according to the present invention includes a main body, a lid, and a support force that is attached to these and supports the reticle.
  • FIG. 2 and 3 are views in which the main body 3 and the lid body 4 are separately provided to describe the reticle case 2 of FIG. 1 in more detail.
  • the extraction fork is of a type that attracts reticle 1 from the upper surface of reticle 1
  • the lower surface of the reticle arranged on lower retainer 17 is not necessarily positioned above upper end position 25 of main body side surface 23. There is no need to be. In this case, the lower retainer 17 does not necessarily have to protrude beyond the upper end position 25 of the body side surface 23 as in this embodiment.
  • the lower retainer 17 has an elastic structure and softens the impact when the reticle 1 is placed. Further, even when the main body 3 and the lid 4 are joined, the extra force can be applied to the reticle 1 so that it can be fixed.
  • An elastic polymer material can be used as the retainer material. Examples of the elastic polymer material include a thermoplastic elastomer and a fluororesin. Thermoplastic elastomers include PEE (polyester elastomer), PBTE (polybutylene terephthalate elastomer), PBNE (polybutylene naphthalate elastomer), PPE (polyethylene ether), PUE (polyurethane elastomer), etc. .
  • FIG. 3 is a diagram showing a lid 4 that covers (or is coupled to) the main body 3.
  • FIG. 3 (a) is a view of the lid body 4 as viewed from below.
  • FIG. 3B is a view of the lid body 4 as viewed from the lateral direction.
  • non-chargeable materials are generally low in transparency, they are drawn through the inside as in FIG.
  • An upper retainer 18 is attached to the upper surface 15 of the lid, and when the lid 4 is coupled to the main body 3, the reticle 1 is fixed by pressing the reticle 1 from above.
  • the upper retainer 18 has an elastic structure similar to the lower retainer 17, and softens the impact when the reticle 1 is placed.
  • the lid side surface 16 is adapted to be aligned with the main body side surface 23. After joining, the side part has a flat part with a predetermined width for both the main body 3 and the lid 4 so that the joined part of the joined side surface can be smoothly taped. The gap is not generated and is made flat. As a result, the interior of the reticle case 2 can be kept completely airtight by taping.
  • a U-groove 26 is arranged at the boundary between the bottom surface 11 and the side surface 23 of the main body 3. Further, as shown in FIGS. 1 and 3, a U-groove 27 is also arranged at the boundary portion between the upper surface 15 and the side surface 16 of the lid 4. After joining the main body 3 and the lid 4, put the fixtures in both U-grooves. A V-groove, i.e. a notch, is formed in the middle of the U-groove.
  • the panel structure is formed in the fixing V-groove formed in the direction perpendicular to the ride direction.
  • the portions other than the transparent window 53 are non-chargeable materials, the whole is continuous, and there is no isolated portion in the non-chargeable portion 54. In other words, the entire non-charged part is connected through the part where the transparent window 53 does not exist. Absent.
  • the above-mentioned polymer material sufficiently satisfies this transparency condition.
  • the material is an insulator materials the surface resistivity is 10 Micromax Omega more.
  • non-chargeable materials include carbon fibers, carbon powder, the above polymer materials including at least one conductive material such as metal fine particles and conductive nanotubes.
  • the above polymer materials including conductive materials such as carbon fiber, carbon powder, fine metal particles and conductive nanotubes have improved conductivity and prevented charge charging, but generally the transparency is lowered and translucent. Or it becomes opaque and the inside becomes difficult to see or invisible.
  • the force attached to the lid side surface 16 can also be attached to the main body side surface 23. Further, it can be attached to the upper surface 15 of the lid or the bottom surface 11 of the main body. Even in this case, the flatness of the top surface 15 of the lid and the bottom surface 11 of the main body is maintained.
  • Le Case 2 can be stacked.
  • the reticle case main body (bottom of the main body) is provided with a transparent window 256, which can be combined with the first to fourth embodiments in FIGS.
  • the reticle information at the apex portion of the reticle 201 cannot be collected by transmitted light, but the reticle information near the four edges of the reticle can be collected.
  • the second embodiment information in the vicinity of the apex angle of a part of the reticle can also be collected.
  • Polycarbonate containing carbon fibers is a more suitable material as a non-chargeable material.
  • a carbon nanotube, a silicon nanotube, a germanium nanotube, or the like can be used as the conductive nanotube.
  • carbon nanotubes with a ring diameter of 40 to 80 nm are about 10 8 ⁇ by being mixed and dispersed in a base material such as polycarbonate or cyclic olefin having a high conductivity of about 5% or less, typically about 2 to 3%. It is possible to obtain the surface specific resistance.
  • FIG. 4 is a view showing a second embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
  • FIG. 7 is a diagram showing a joined state between a transparent window and an uncharged portion.
  • FIG. 8 is a diagram showing the functions of a breathing valve and a chemical absorber.

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Abstract

It is possible to provide means for preventing electrification of a reticle case and electrostatic adhesion of foreign matters to a reticle and the reticle case, and surely acquiring reticle information. Firstly, a transparent window is arranged on the upper and the lower surface of the reticle case. Thus, it is possible to observe the reticle state and reticle information in the reticle case. Secondly, the reticle case excluding the transparent windows is formed by a non-electrifiable and continuous material. This prevents electrification of the reticle case. Thirdly, a respiratory valve and a chemical absorber are arranged on the reticle case. This can always maintain a clean environment inside the reticle case. The respiratory valve has a structure not protruding from the external surface of the reticle case. Accordingly, it is possible to connect and fix a cover body to a reticle case body by a fixed slider by using V-shaped grooves formed on the side surfaces of the reticle case body and the cover body. Moreover, it is possible to prevent damage of the respiratory valve and easily handle the reticle case.

Description

明 細 書  Specification
レチクノレケース  Reticuno case
技術分野  Technical field
[0001] この発明は、半導体の微細パターンを形成するためのレチクルを収納するレチクノレ ケースに関する。  TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a reticle case that houses a reticle for forming a fine pattern of a semiconductor.
背景技術  Background art
[0002] 半導体、特に LSIにおいて使用されるトランジスタ、配線、拡散層、コンタクトホール などのパターンは年々小さくかつ狭くなつてきている。 2007年における工業上の最小 線幅は約 55nm〜65nmであり、 2012年には約 32nmのパターンが要求されている。この ようなパターンを形成するには、フォトリソ技術を用いる。すなわち、光（紫外光や X線 も含む）  [0002] Patterns of transistors, wiring, diffusion layers, contact holes, and the like used in semiconductors, particularly LSIs, are getting smaller and narrower year by year. The minimum industrial linewidth in 2007 is about 55nm to 65nm, and in 2012, a pattern of about 32nm is required. Photolithographic technology is used to form such a pattern. That is, light (including ultraviolet light and X-rays)
または電子線をレチクルに照射し、半導体基板上のフォトレジストを露光することによ り、微細パターンを形成する。レチクル上には、半導体基板上に形成される実際のパ ターン (実パターン)と同じ程度のサイズ (等倍投影露光の場合は、実パターンと同じ サイズ、縮小投影露光の場合は、実パターンより縮小の分だけ拡大したサイズ)の微 細化された回路パターンが形成されている。従って、レチクル上に微小なゴミゃ微粒 子などの異物が付着すると、その異物もパターン形成される。その結果、半導体基板 上にはパターン欠陥として存在し、半導体デバイスが本来の機能を有しないものとな る。半導体デバイスの場合には、通常何枚ものレチクルを使い長い工程を経た後に 完成品ができる。パターン欠陥検查装置を用いて、工程ごとのパターン欠陥を検查 する場合もある力 この検查装置は非常に高価なものであるため、通常は余り使用さ れない。従って、 1回のレチクルによるパターン欠陥が発生しても半導体デバイスが 完成するまで、気が付力ないことも多ぐ半導体デバイス完成後の電気特性試験に おいて歩留まりが悪ぐそれを解析することにより、初めてレチクルに付着したゴミ等 が原因だと分る。しかし、この段階で把握したとしても、それまでの間には多くの不良 品が生産される可能性もあり、高額の損失を被る場合もある。従って、レチクルにゴミ を付着させないことが重要であり、レチクルは通常レチクルケースに収納されて取り扱 われる。 Alternatively, a fine pattern is formed by irradiating the reticle with an electron beam and exposing the photoresist on the semiconductor substrate. On the reticle, the same size as the actual pattern (actual pattern) formed on the semiconductor substrate (same size as the actual pattern for 1X projection exposure, more than the actual pattern for reduced projection exposure) A miniaturized circuit pattern (size enlarged by the reduction) is formed. Therefore, when foreign matter such as fine dust or fine particles adheres on the reticle, the foreign matter is also patterned. As a result, pattern defects exist on the semiconductor substrate, and the semiconductor device does not have its original function. In the case of semiconductor devices, a finished product is usually produced after a long process using several reticles. Force that may detect pattern defects for each process using a pattern defect inspection device This inspection device is very expensive and is therefore rarely used. Therefore, even if a pattern defect due to a single reticle occurs, it is often unnoticeable until the semiconductor device is completed. In the electrical characteristic test after the completion of the semiconductor device, it is necessary to analyze the poor yield. From this, it can be understood that the dust is attached to the reticle for the first time. However, even if it is grasped at this stage, there is a possibility that many defective products may be produced in the meantime, and there is a case where a large loss is incurred. Therefore, it is important that dust does not adhere to the reticle, and the reticle is usually stored in the reticle case and handled. Is called.
[0003] すなわち、レチクルを作製するメーカーでは、クリーン度を厳重に管理したクリーン ノレームにおいて、レチクル上にパターンを作製する。パターン欠陥検査装置を用い て、レチクル上の異物の存在を検査して、良品レチクルをレチクルケースに保管し、 半導体デバイスメーカーに送付する。また、レチクル作製メーカーのプロセス中に、レ チクルをレチクルケースに保管し、プロセスを行う場合もある。  [0003] That is, a manufacturer that manufactures a reticle manufactures a pattern on the reticle in a clean norm with strictly controlled cleanliness. Using a pattern defect inspection system, inspect the presence of foreign matter on the reticle, store the good reticle in the reticle case, and send it to the semiconductor device manufacturer. In some cases, the reticle is stored in the reticle case during the process of the reticle manufacturer.
[0004] レチクルケースに入れられたレチクルを受け入れた半導体デバイスメーカーでは、 レチクルケースに入れた状態でレチクルをクリーンルームに入れ、通常ステッパー等 の露光装置内で、レチクル収納ケースからレチクルを取り出し、レチクルを使って半 導体基板にパターン形成する。露光が終了すれば、露光装置内でレチクルをレチク ル収納ケースへ再び収納する。繰り返し使う場合は、露光装置内に置かれる場合も ある。以上の露光装置内のレチクルの処理はすべて自動化されている。しかし、すぐ 使用しない場合は、露光装置から取り出し、レチクル保管庫へ保管される。  [0004] A semiconductor device manufacturer that has received a reticle in a reticle case places the reticle in a clean room with the reticle case in place, and usually removes the reticle from the reticle storage case in an exposure device such as a stepper. Use to pattern the semiconductor substrate. When the exposure is completed, the reticle is stored again in the reticle storage case in the exposure apparatus. If it is used repeatedly, it may be placed in the exposure equipment. All of the above reticle processing in the exposure apparatus is automated. However, if it is not used immediately, it is removed from the exposure apparatus and stored in the reticle storage.
[0005] 以上のように、レチクルには、ごみ等の異物が付着しないように厳重に管理されて いて、クリーンルーム内においても、レチクルはレチクル収納ケースに入れられて搬 送などがなされる。レチクルがレチクル収納ケース内で動いたりすると、レチクルに傷 がついたり、その傷から出た異物がレチクルに付着してしまう。従って、レチクルをし つ力りと固定する支持をレチクルケース内に持つ必要がある。  [0005] As described above, the reticle is strictly controlled so that foreign matter such as dust does not adhere to the reticle, and the reticle is transported in the reticle storage case even in a clean room. If the reticle moves in the reticle storage case, the reticle will be scratched or foreign objects coming from the scratch will adhere to the reticle. Therefore, it is necessary to have a support in the reticle case for firmly fixing the reticle.
[0006] レチクルは、ガラス基板の上にクロムなどの導電体膜のパターンが形成されている。  In the reticle, a conductive film pattern such as chromium is formed on a glass substrate.
従  Obedience
つて、ガラス基板は帯電しやすぐ周囲にゴミ等の異物があるとその異物を付着しや すレ、。そこで、レチクルケースにはゴミが付着しないような構造にする必要がある。そ のために、レチクルケースは、帯電しないようにすることが望ましい。露光装置の中以 外では、通常レチクルをレチクルケースから取り出さないので、どのようなレチクルが 入っているかを把握することができるように、従来は透明なレチクルケースへ保管され ていた。しかし、透過度の高い材料、たとえば、不純物のないポリカーボネートは、導 電性が非常に悪ぐ帯電しやすいという問題点があった。これを防止するために、炭 素入りのポリカーボネートを用いる場合があるが、帯電しにくい程度の炭素量を含ん だものは、着色し肉眼ではレチクルケースの内部を把握できない。あるいは、アンモ 二ゥム塩等の化学物質である不純物を含みある程度透過性を確保しながら帯電性も 幾分改良し、内部を把握できるようにした高分子材料 (たとえば、光吸収色素を含む ABC樹脂）力 構成されたレチクルケ一 In other words, the glass substrate is charged, and if there is foreign matter such as dust immediately around it, the foreign matter will be attached. Therefore, it is necessary to make a structure so that dust does not adhere to the reticle case. Therefore, it is desirable that the reticle case should not be charged. Since the reticle is not usually removed from the reticle case outside the exposure apparatus, it has been stored in a transparent reticle case so that it can be understood what kind of reticle is contained. However, a material with high permeability, for example, polycarbonate without impurities, has a problem that it has a very poor conductivity and is easily charged. In order to prevent this, polycarbonate containing carbon may be used, but it contains carbon that is difficult to be charged. The thing is colored and the inside of the reticle case cannot be grasped with the naked eye. Alternatively, polymer materials that contain impurities that are chemical substances such as ammonium salts and have a slightly improved chargeability while ensuring a certain degree of transparency, so that the inside can be grasped (for example, ABC containing light-absorbing dyes) Resin) Power Reticleke constructed
スも存在するが、レチクルケースに含まれた不純物からわずかではあるがアウトガス が発生し、長い間にレチクル表面が曇ってくるという問題が発生する。  However, a slight outgas is generated from the impurities contained in the reticle case, and the reticle surface becomes clouded for a long time.
[0007] さらに、レチクル作製メーカーから、半導体デバイスメーカーヘレチクルケースを搬 送する間に、気圧などが変化する時には次のような問題がある。レチクルケースの気 密性が不十分な場合において、航空機輸送時に上空で減圧された時にレチクルケ ース内部のガスがリークし、地上に戻った時に再び外気が入り込み、レチクル中に保 管されたレチクルが外気中の異物や化学物質により汚染されてしまう。また、平地に おいても台風通過の前後においても、同様の問題が発生する。  [0007] Further, there are the following problems when the atmospheric pressure or the like changes while the reticle case is transported from the reticle manufacturing manufacturer to the semiconductor device manufacturer. When the airtightness of the reticle case is insufficient, the gas inside the reticle case leaks when the pressure is reduced over the air during transportation, and the outside air enters again when returning to the ground, and the reticle stored in the reticle. Will be contaminated by foreign substances and chemicals in the open air. The same problem occurs on flat ground and before and after typhoon passage.
[0008] また、レチクルケースがシール性が高く完全密閉である場合は、容器内外の気圧差 によって容器内部が膨張するためにレチクルの保持ができなくなり、レチクルが損傷 してしまうことがある。容器が大きく膨らみ容器自体が破壊してしまう場合もある。さら に、レチクル内のレチクルに力が加わり、レチクルがレチクル内で動いてしまう。レチ クルがレチクルケース内でわずかでも動くと、レチクルと接触してレ、るレチクルケース の支持部とレチクルとの接触部分からゴミ等の異物が発生し、レチクルの形成パター ンに付着する可能性が出てくる。  [0008] In addition, when the reticle case has a high sealing property and is completely sealed, the inside of the container expands due to a difference in pressure inside and outside the container, so that the reticle cannot be held and the reticle may be damaged. In some cases, the container bulges and the container itself is destroyed. In addition, force is applied to the reticle in the reticle, and the reticle moves within the reticle. If the reticle moves even slightly in the reticle case, it may come into contact with the reticle and foreign matter such as dust may be generated from the contact portion between the reticle case support and the reticle, and adhere to the reticle formation pattern. Comes out.
[0009] レチクル作製メーカーでは、低湿度の環境（たとえば、湿度 20〜60%)でレチクルを レチクルケースに保管するが、完全に水分を除去することは困難である。幾分かでも 水分が残っている場合には、レチクル作製メーカーから、半導体デバイスメーカーへ レチクルケースを搬送する間に、低温 (特に航空搬送）でレチクルケース内の水蒸気 が露結して、レチクル上に付着し、ウォーターマークなどのスミアがレチクルのパター ン上に形成される可能性もある。  [0009] Although the reticle manufacturer stores the reticle in the reticle case in a low humidity environment (for example, humidity of 20 to 60%), it is difficult to completely remove the moisture. If some moisture remains, the water vapor in the reticle case is condensed at a low temperature (especially by air transportation) while the reticle case is being transported from the reticle manufacturer to the semiconductor device manufacturer. There is also a possibility that a smear such as a watermark will form on the reticle pattern.
[0010] さらに、水分ばかりではなぐレチクルケース内環境中における種々の化学物質か らレチクルが汚染する場合もある。  [0010] Further, there are cases where the reticle is contaminated by various chemical substances in the environment inside the reticle case that is not limited to moisture.
[0011] また、レチクルケースの外部と内部との気圧差を小さくするために、呼吸弁をレチク ノレノレケースの蓋体の上面に取り付ける場合がある。しかし、レチクルケースに保管さ れたレチクルのパターン面がレチクルルケースの蓋体の上面を向いていない場合、 すなわちレチクルケースの本体底面側を向いている場合には、呼吸弁を通した清浄 な空気がレチクルのパターン面に当たらないという問題がある。あるいは、蓋体の横 側面に呼吸弁を設けた場合には、横側面に突起物が存在するため、露光装置内で の保管や取り扱いが困難、およびレチクル保管庫内での保管や取り扱いが困難など の問題点がある。 [0011] Further, in order to reduce the pressure difference between the outside and the inside of the reticle case, the respiration valve is reticulated. There are cases where it is attached to the upper surface of the lid of the nore nore case. However, if the pattern surface of the reticle stored in the reticle case does not face the top surface of the lid of the reticle case, i.e., if it faces the bottom surface of the reticle case body, clean it through the breathing valve. There is a problem that air does not hit the pattern surface of the reticle. Alternatively, when a breathing valve is provided on the lateral side of the lid, there are protrusions on the lateral side, making it difficult to store and handle in the exposure apparatus and difficult to store and handle in the reticle storage. There are problems such as.
特許文献 1：特開 2005-062462  Patent Document 1: JP 2005-062462
発明の開示  Disclosure of the invention
発明が解決しょうとする課題  Problems to be solved by the invention
[0012] 背景技術において説明したように、従来は以下の問題点があった。 [0012] As described in the background art, there have conventionally been the following problems.
[0013] · レチクルケースの帯電性防止のために、アウトガスの少ない非帯電性材料を用 いて作製したレチクルケースは、レチクルケース内を観察することができなレ、。このた めレチクルケース内のレチクルの保管状態ゃレチクルに記されたレチクル情報を把 握できない。 [0013] · In order to prevent the chargeability of the reticle case, the reticle case manufactured using a non-chargeable material with less outgassing cannot observe the inside of the reticle case. For this reason, the reticle information recorded on the reticle cannot be grasped if the reticle is stored in the reticle case.
[0014] · レチクルケースの内外部環境からの汚染を防止する必要がある。  [0014] · It is necessary to prevent contamination of the reticle case from the inside and outside environment.
[0015] . レチクルケース上面に取付けられた呼吸弁は、レチクルのパターン面を清浄に する機能を充分に果たせない場合がある。また、レチクルケース面より外側へ張り出 しているため、破損しやすぐレチクルケースの保管や取り扱いが困難である。 [0015] The breathing valve attached to the upper surface of the reticle case may not sufficiently perform the function of cleaning the pattern surface of the reticle. In addition, since it protrudes outward from the reticle case surface, it is difficult to store and handle the reticle case as soon as it is damaged.
課題を解決するための手段  Means for solving the problem
[0016] 本発明は、上記の点に鑑みてなされたものである。本発明のレチクルケースは、ケ ース本体と、その本体に結合し本体を上部から被う蓋体と、レチクルを支持するため の支持体とからなり、上述した問題点を解決するために次のような手段を講じている。 • 上記本体底面の一部が透明窓を有している。 [0016] The present invention has been made in view of the above points. The reticle case of the present invention comprises a case main body, a lid body coupled to the main body and covering the main body from above, and a support body for supporting the reticle. In order to solve the above-mentioned problems, The following measures are taken. • A part of the bottom of the main unit has a transparent window.
• 上記本体底面の一部が、レチクルの少なくとも 1部分を観察可能な透明窓を有し てい  • A part of the bottom of the main body has a transparent window through which at least one part of the reticle can be observed.
る。  The
• 上記透明窓以外の本体および蓋体は、各々連続して構成された非帯電性高分子 材料から形成されている。 • The main body and lid other than the transparent window are each composed of a continuous non-chargeable polymer. Formed from material.
• 上記透明窓は、次の (i)〜(v)のいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有して いる。  • The transparent window has any of the following features (i) to (v) or combined features.
[0017] G)レチクル上に記された情報を把握することが可能な位置に存在する。  [0017] G) It exists at a position where the information written on the reticle can be grasped.
[0018] (ii)レチクル上の本パターン周辺部に記されている情報を把握することが可能な 位置に存在する。 (Ii) It exists at a position where the information written on the periphery of the pattern on the reticle can be grasped.
[0019] (m)レチクル上の本パターン周辺部に配置される 4箇所の周辺スペース部分のう ち、少なくとも 1箇所の周辺スペース部分を把握することが可能な大きさである。  [0019] (m) The size is such that at least one peripheral space portion of the four peripheral space portions arranged in the peripheral portion of the pattern on the reticle can be grasped.
[0020] (iv)レチクルの一方の面全体を観察可能な大きさの 1つの透明窓である。 [0020] (iv) One transparent window sized so that the entire surface of the reticle can be observed.
• 上記透明窓は、さらに、次のいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有してい る。  • The transparent window further has one of the following features or a combination of features.
[0021] G)ポリカーボネート (PC:Polycarbonate)等からなる高分子材料である。  [0021] G) A polymer material such as polycarbonate (PC).
[0022] (ii)少なくとも一層の高分子材料と少なくとも 1層の透明導電体膜を積層したも のである。 [0022] (ii) At least one polymer material and at least one transparent conductor film are laminated.
• 上記非帯電性高分子は、カーボンファイバー (CF:Carbon_Fiber)、カーボンパウダ 一 (CP:Carbon-Powder)、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料の少な くとも 1つ  • The non-charged polymer is at least one of conductive materials such as carbon fiber (CF: Carbon_Fiber), carbon powder (CP: Carbon-Powder), metal fine particles and conductive nanotubes.
を含む高分子材料である。  It is a polymeric material containing.
• 上記本体および蓋体の結合部分において、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、 内部を気密に隔離可能なように上記結合部分をテーピングすることにより被うために 、上記本体および蓋体の結合部分は面一になつているとともに、上記結合部分の上 記本体および蓋体の両外側面に所定の幅を持った平面部を有している。  • In the joint part of the main body and the lid body, when the main body is closed with the lid body, the joint part is covered by taping so that the inside can be hermetically isolated. The coupling portion is flush with each other, and has flat portions having a predetermined width on both outer surfaces of the body and the lid.
• 上記本体および蓋体の結合部は、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内部を外 界から気密に隔離してシールするためのガスケットを有している。  • The joint between the main body and the lid body has a gasket for sealing the interior airtightly from the outside when the main body is closed with the lid body.
(9)レチクルをレチクルケースに収納した場合において、上記レチクルは、その厚み 方向に関してレチクルケース内側面の中央部分に配置される。  (9) When the reticle is stored in the reticle case, the reticle is arranged at the center of the inner surface of the reticle case in the thickness direction.
(10)レチクルをレチクルケースに収納した場合において、上記レチクルの底面は、 上記本体と上記蓋体との結合部分よりも上に位置している。 (11)上記レチクルをレチクルケースに収納した場合における上記レチクルを保持固 定している位置の近傍に、少なくとも複数の貫通孔が存在し、各々の貫通孔にはダス トフィルターを介して環境中の微粒子を除去するための呼吸弁が取り付けられている (10) When the reticle is housed in the reticle case, the bottom surface of the reticle is positioned above the joint between the main body and the lid. (11) When the reticle is housed in a reticle case, there are at least a plurality of through holes in the vicinity of the position where the reticle is held and fixed, and each through hole is placed in the environment via a dust filter. Respiratory valve is installed to remove particulates
(12)上記呼吸弁は、次の (i)と (ii)とのいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有 している。 (12) The respiratory valve has one of the following features (i) and (ii) or a combination thereof.
[0023] (i)上記蓋体の相対する面に 1対設置されている。  [0023] (i) A pair is installed on the opposing surfaces of the lid.
[0024] (ii)上記蓋体の対角線の近傍位置に設置されている。 (Ii) It is installed at a position near the diagonal of the lid.
(13)上記呼吸弁は、次の (i)と (ii)とのいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有 している。  (13) The respiratory valve has one of the following features (i) and (ii) or a combination thereof.
[0025] G)上記蓋体の外側面よりも外側へ張り出していないことを特徴とする。  [0025] G) The lid is characterized by not projecting outward from the outer surface of the lid.
[0026] (Π)ダストフィルターの他に、さらに所定の化学物質を吸着するケミカルフィルター を有している。  [0026] (i) In addition to the dust filter, it further includes a chemical filter that adsorbs a predetermined chemical substance.
(14)上記本体または蓋体の内面に、所定の化学物質を吸着する少なくとも 1つのケ ミカルァブソーバーが設置されてレ、る。  (14) At least one chemical carb sober that adsorbs a predetermined chemical substance is installed on the inner surface of the main body or lid.
(15)上記ケミカルァブソーバーは、上記貫通孔が配置されている対角線とは異なる 他の対角線の近傍位置に設置されている。  (15) The chemical absorber is installed at a position near another diagonal line different from the diagonal line in which the through hole is arranged.
(16)上記本体および蓋体の結合部分において、押さえ部が平行移動可能なスライ ド部品（固定スライダ）で固定される。  (16) At the joint between the main body and the lid, the pressing part is fixed by a slide component (fixed slider) that can move in parallel.
(17)上記本体および蓋体の所定の位置に V溝が形成されているとともに、上記スラ イド部品は上記 V溝に嵌合して固定可能なパネ構造を有している。  (17) V-grooves are formed at predetermined positions of the main body and the lid, and the slide parts have a panel structure that can be fitted and fixed in the V-grooves.
(18)上記スライド部品を、スライドさせることにより、結合した上記本体および蓋体か ら取り外しできるとともに、スライドさせることにより、上記本体および蓋体を結合するこ とができるように、上記 V溝が形成されている。  (18) The V-groove is formed so that the slide part can be removed from the joined main body and lid body by sliding, and the main body and lid body can be joined by sliding. Is formed.
発明の効果  The invention's effect
[0027] 上記の手段により、次のような効果がある。 [0027] The above-described means has the following effects.
(1)レチクルケースは、主として非帯電性の材料、すなわち導電性の良好な材料から 構成されているので、レチクルケースが帯電することはない。このため、ゴミ、汚染物 質などの異物を吸着しにくい。従って、レチクルケース内に保管 ·収納されるレチクノレ に容器から異物が付着することがなくなり、レチクルのパターン欠陥が非常に少なく なる。 (1) Since the reticle case is mainly composed of a non-chargeable material, that is, a material having good conductivity, the reticle case is not charged. Because of this, garbage, contaminants Difficult to adsorb foreign substances such as quality. Therefore, foreign matter does not adhere from the container to the reticle stored / stored in the reticle case, and the pattern defect of the reticle is extremely reduced.
(2)非帯電性材料の場合、（特に CF含有 PCなど)光の透過率が小さぐ収納されたレ チクルの情報を外部から判別することが困難であるが、本発明の透明窓を設置する ことにより、収納されたレチクルの情報を外部から判別することが可能となる。また、収 納されたレチクルの設置された状態を外部から確認することも可能となる。従って、収 納されたレチクルの内容を間違えることもなぐ的確な処理ができる。レチクルをー且 レチクルケースに収納した後は、ステッパー等の露光装置に収納し、ステッパー内で ケースから取り出すまでの間に、レチクルの内容を確認するために、ケースから取り 出す必要がなくなるので、外部環境からの異物や汚染物がレチクルに付着することも なくなり、極めて品質の高いレチクルの状態を保持できる。  (2) In the case of non-chargeable materials (especially CF-containing PC), it is difficult to distinguish the information of the stored reticle with low light transmittance, but the transparent window of the present invention is installed. By doing so, it is possible to determine the information of the stored reticle from the outside. It is also possible to confirm the installed state of the stored reticle from the outside. Therefore, it is possible to perform accurate processing without making a mistake in the contents of the stored reticle. After the reticle is stored in the reticle case, it is not necessary to remove the reticle from the case in order to check the contents of the reticle before it is stored in the exposure device such as a stepper and removed from the case in the stepper. Foreign matter and contaminants from the external environment are no longer attached to the reticle, and an extremely high quality reticle can be maintained.
(3)透明窓以外のレチクルケースの部分は、すべて連続していて（つまり、繋がって いて）、し力も非帯電性材料であるから、ケースの一部で電気が発生しても、ケース内 に留まることはなぐケースから外部へ電気が放出され、透明窓以外の部分が帯電し ていることはない。  (3) All parts of the reticle case other than the transparent window are continuous (that is, connected), and the force is also non-chargeable material. Electricity is emitted from the case to the outside, and no part other than the transparent window is charged.
(4)レチクルの情報、たとえばレチクルに描画されているパターンの種類やバージョ ン  (4) Reticle information, such as the type and version of the pattern drawn on the reticle
などの情報は、通常レチクルの端辺の近傍に記載されているので、レチクルの内容を 知るにはレチクルの端辺を観察するだけで良い。本発明では、レチクルの端辺の情 報を読み取ることができるようにレチクルの端辺近傍に透明窓が設置されているので 、レチクルの情報を確実に把握できる。 Such information is usually written in the vicinity of the edge of the reticle, so to know the contents of the reticle, it is only necessary to observe the edge of the reticle. In the present invention, since the transparent window is provided near the edge of the reticle so that the information on the edge of the reticle can be read, the information on the reticle can be reliably grasped.
(5)本発明におけるレチクルケースは、非帯電性材料と透明性材料から構成されて いる。透明性材料は PCであり、非帯電性材料は CFを含む PCである。従って、化学性 物質がレチクルケースから発生することはなぐレチクルケース内部は極めて清浄な 雰囲気となるので、レチクルが汚染されることはなくなる。この結果レチクルを長期間 高品質の状態でレチクルケース内にて保管可能となる。  (5) The reticle case in the present invention is composed of a non-chargeable material and a transparent material. The transparent material is PC, and the non-chargeable material is PC containing CF. Therefore, since the inside of the reticle case is extremely clean, and no chemical substances are generated from the reticle case, the reticle is not contaminated. As a result, the reticle can be stored in a reticle case in a high quality state for a long time.
(6)レチクルケースには、ダストフィルターおよびケミカルフィルターを装備した呼吸 弁が設置されているので、レチクル外から大気等が呼吸弁を通してレチクル内に侵 入しても、大気等に含まれる塵埃等の異物や水分や化学物質は、ダストフィルターお よびケミカルフィルターに吸着ろ過される。従って、外部から汚染物質がレチクルケ一 ス内部に入り込むことはない。 (6) Reticle case equipped with dust filter and chemical filter Since the valve is installed, foreign matter such as dust, moisture, and chemical substances contained in the atmosphere are adsorbed to the dust filter and chemical filter even if the atmosphere enters the reticle through the breathing valve from outside the reticle. Filtered. Therefore, no contaminants enter the reticle case from the outside.
(7)呼吸弁はレチクルケースの外表面の外側には張り出さないので、呼吸弁が破損 することもなぐ極めて安全にレチクルケースを取り扱うことができる。呼吸弁をレチク ルケースの側面に配置し、この部分に固定スライダを取り付けることも可能となる。さら に、レチクルケースの異なる場所において、複数箇所に呼吸弁を取付けることも可能 となる。 （8)レチクルケースの内部には、水分や化学物質を吸着'ろ過するケミカルァ ブソーバーが装備されている。従って、レチクルケース内に侵入した水分や化学物質 はケミカルァブソーバーによって吸着'ろ過されるので、レチクルケース内部は極めて 清浄な雰囲気となり、レチクルが汚染されることはなくなる。この結果レチクルを長期 間高品質の状態でレチクルケース内にて保管可能となる。  (7) Since the breathing valve does not protrude outside the outer surface of the reticle case, the reticle case can be handled extremely safely without damaging the breathing valve. It is also possible to place a breathing valve on the side of the reticle case and attach a fixed slider to this part. In addition, breathing valves can be installed at multiple locations in different locations of the reticle case. (8) The reticle case is equipped with a chemical absorber that absorbs and filters moisture and chemical substances. Accordingly, since moisture and chemical substances that have entered the reticle case are adsorbed and filtered by the chemical absorber, the inside of the reticle case becomes a very clean atmosphere and the reticle is not contaminated. As a result, the reticle can be stored in the reticle case in a high quality state for a long time.
(9)固定スライダをレチクルケースの本体および蓋体に形成された U溝に沿ってスラ ドさせて、レチクルケースの本体および蓋体の結合を容易に取付けおよび取り外しで きる。また、 U溝の途中の所定位置には V溝、すなわち切り欠きが形成されていて、ス ライド部品がその V溝に固定可能なパネ構造を有しているので、レチクルケースは固 定スライダに  (9) The fixed slider can be slid along the U-groove formed in the reticle case main body and lid to easily attach and remove the reticle case main body and lid. In addition, a V-groove, that is, a notch is formed at a predetermined position in the middle of the U-groove, and the slide case has a panel structure that can be fixed to the V-groove.
て固定される。これにより、レチクルケースの本体および蓋体は確実に結合し固定さ れる。以上から、レチクルケースの本体および蓋体の取り扱いが極めて簡単であり、 自動化も容易である。 Fixed. As a result, the main body and the lid of the reticle case are securely coupled and fixed. From the above, handling of the reticle case body and lid is extremely simple, and automation is also easy.
(10)呼吸弁がレチクルケースの外表面に突き出さず、レチクル外表面、特にレチク ルケースの本体および蓋体の結合部分が平坦となったことにより、固定スライダが設 置可能となり、レチクルケース本体および蓋体の結合部分をテーピングすることがで きる。  (10) Since the breathing valve does not protrude from the outer surface of the reticle case and the outer surface of the reticle, particularly the connecting portion of the reticle case main body and lid, is flat, the fixed slider can be installed. Taping can be made at the joint of the lid.
以上から、本発明のレチクルケースを用いることにより、レチクルを信頼性および品 質の高い状態で維持できるので、歩留まりの高い半導体プロセスを構築できる。 発明を実施するための最良の形態 As described above, by using the reticle case of the present invention, the reticle can be maintained in a state of high reliability and quality, so that a semiconductor process with a high yield can be constructed. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0029] 本発明について実施形態をもとにして詳細に説明する。  The present invention will be described in detail based on an embodiment.
[0030] 本発明によるレチクルケースの基本構造は、本体、蓋体およびこれらに装着されて レ、るレチクルを支持するための支持体力 構成される。  [0030] The basic structure of the reticle case according to the present invention includes a main body, a lid, and a support force that is attached to these and supports the reticle.
[0031] 図 1は、本発明の透明窓を有する第 1の実施形態を示すレチクルケースである。図 1に示すレチクルケース 2は、レチクル 1が支持体（下側リテーナー 17および上側リテ ーナー 18)に支持されて、本体 3および蓋体 4が結合している状態、すなわちレチク ノレ 1がレチクルケース 2に収納された状態で示されている。図 1(a)は、本体の下側から 見た図  FIG. 1 is a reticle case showing a first embodiment having a transparent window of the present invention. In the reticle case 2 shown in FIG. 1, the reticle 1 is supported by the support (the lower retainer 17 and the upper retainer 18), and the main body 3 and the lid 4 are coupled, that is, the reticle 1 is the reticle case. 2 is shown in the stowed state. Figure 1 (a) is a view from the bottom of the main unit.
(内部を透視して見た図）である。図 1(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た 図）である。本実施形態においては、図 1に示されるように、 4つの分離した透明窓 13 (図 2における 13—：！〜 13— 4)を有している。これらの透明窓 13は、略四角形形 状のレチクル 1の 4端辺 5 (図 2における 5— :!〜 5— 4)近傍を外部から観察できる程 度の大きさを有する透明窓である。通常、レチクルの内容等を表す情報は、レチクノレ 表面に形成された回路等を有するパターンの外側に記されている。つまり、レチクル の内容等を表す情報は、レチクルの 4端辺 5近傍に記されている。上記レチクル情報 とは、たとえば、形成されているパターンのデバイス名、層の種類、寸法、製作日など である。従って、図 1に示すような 4端辺 5近傍を観察できる透明窓があれば、レチク ルの情報を把握できる。また、露光装置において、通常レチクルのパターン形成面は 下向きに配置されるので、露光装置に収納されるレチクルケース 2においても、レチク ノレ 1のパターン形成面を下向きにすることが露光装置の機能上は望ましい。何故なら 、露光装置内でレチクルを反転させる機能が不要となるからである。レチクル情報は 大部分、パターン形成面に存在するから、透明窓 13のある面に対面してレチクル 1 のパターン面がくるように、レチクル 1がレチクルケース 2に配置される。すなわち、本 実施例においては、レチクルケース 2において透明窓 13を有する本体 3を下側にし、 蓋体 4を上側にする。従って、本体 3の下面、すなわち本体底面 11側に透明窓 13が 配置されている。透明窓 13の外側（周囲）は非帯電性材料で形成されている。この部 分を非帯電性部分 14と記す。すなわち、透明窓以外の底面領域および底面と直接 つながる（本体)側面は、非帯電性材料で形成されている。 4つの透明窓 13は各々 独立していて、非帯電性材料に囲まれている。また、すべての非帯電性材料は、本 体の中で連続している。すなわちつながつていて、等電位になっている。従って、本 体の非帯電領域が外部に電気的に接地されていれば (たとえば、大地等に接地した 導電体シートなどの上にレチクルケースが置かれてレ、れば)本体の非帯電領域部 ( 本体底面の非帯電性部分 11および非帯電性材料で形成されてレ、る本体側面を含 む領域)で静電気が発生したとしても、本体 3と導電体シートとの接地を通じて、静電 気は大地へ流れ、本体 3が帯電することはない。これにより、ゴミゃ異物等が静電的 にレチクルケースへ付着することもなぐレチクルケース 2の内部は、極めてクリーンな 状態を保持することができる。 (The figure seen through the inside). Fig. 1 (b) is a diagram seen from the side (viewed through the inside). In this embodiment, as shown in FIG. 1, four transparent windows 13 (13— :! to 13-4 in FIG. 2) are provided. These transparent windows 13 are transparent windows having such a size that the vicinity of the four end sides 5 (5- :! to 5-4 in FIG. 2) of the substantially rectangular reticle 1 can be observed from the outside. Normally, information representing the contents of the reticle is written outside a pattern having a circuit or the like formed on the surface of the reticle. In other words, information representing the contents of the reticle is written in the vicinity of the four edges 5 of the reticle. The reticle information includes, for example, the device name of the pattern being formed, the type of layer, dimensions, and the date of manufacture. Therefore, if there is a transparent window that can observe the vicinity of 4 edges 5 as shown in Fig. 1, the information of the reticle can be grasped. In the exposure apparatus, since the pattern formation surface of the reticle is normally arranged downward, it is also necessary for the exposure apparatus function to make the pattern formation surface of the reticle 1 downward in the reticle case 2 housed in the exposure apparatus. Is desirable. This is because the function of reversing the reticle in the exposure apparatus becomes unnecessary. Since most of the reticle information exists on the pattern formation surface, reticle 1 is arranged on reticle case 2 so that the pattern surface of reticle 1 faces the surface having transparent window 13. That is, in the present embodiment, the main body 3 having the transparent window 13 in the reticle case 2 is on the lower side, and the lid body 4 is on the upper side. Accordingly, the transparent window 13 is arranged on the lower surface of the main body 3, that is, on the bottom surface 11 side of the main body. The outside (periphery) of the transparent window 13 is made of a non-chargeable material. This part is referred to as the non-chargeable part 14. That is, the bottom area other than the transparent window and the bottom surface directly The connecting (main body) side surface is formed of a non-chargeable material. The four transparent windows 13 are independent of each other and are surrounded by a non-chargeable material. All non-chargeable materials are continuous in the body. That is, they are connected and are equipotential. Therefore, if the uncharged area of the main body is electrically grounded to the outside (for example, if a reticle case is placed on a conductive sheet grounded to the ground, etc.), the uncharged area of the main body Even if static electricity is generated in the area (the area including the side surface of the main body and the non-chargeable portion 11 on the bottom surface of the main body), Qi flows to the ground, and the main body 3 is not charged. As a result, the inside of the reticle case 2 where dust and other foreign matters do not electrostatically adhere to the reticle case can be kept extremely clean.
[0032] 図 2および図 3は、図 1のレチクルケース 2をさらに詳細に説明するために、本体 3と 蓋体 4とを別個にした図である。  2 and 3 are views in which the main body 3 and the lid body 4 are separately provided to describe the reticle case 2 of FIG. 1 in more detail.
[0033] 図 2は、図 1におけるレチクルケース 2のうちの本体 3だけを示す図である。図 2(a) は、本体を下方向から見た平面図である。図 2(b)は、本体を横方向から見た図である  FIG. 2 shows only main body 3 in reticle case 2 in FIG. Fig. 2 (a) is a plan view of the main body as viewed from below. Figure 2 (b) is a view of the main body from the side.
非帯電性材料は一般に透明性が低いが、図 1と同様に内部を透視して描いている。 また、レチクル 1が配置される状態が分るように、レチクル 1も本体 3に配置している。 レチクル 1は下側リテーナー 17上の所定位置に置かれる。下側リテーナー 17は本体 側面 23の上端 25より上に食み出ている。本体底面 11に取り付けられた下側リテー ナー 17に配置されたレチクル下面は、本体側面 23の上端位置 25より上に位置して いる。これは、レチクルケース 2が露光装置に配置され、レチクル 1をロボットアームを 使い自動で取り出すときに、ロボットアームの取り出しホークがレチクル 1の下面に入 り込むことができるようにするためである。但し、取り出しホークがレチクル 1の上面か らレチクル 1を吸着するタイプのものであれば、下側リテーナー 17に配置されたレチ クル下面が、必ずしも本体側面 23の上端位置 25より上に位置している必要はない。 また、その場合には、本実施例のように、必ずしも下側リテーナー 17が本体側面 23 の上端位置 25よりはみ出してレ、る必要もなレ、。 Although non-chargeable materials are generally low in transparency, they are drawn through the inside as in FIG. Further, the reticle 1 is also arranged on the main body 3 so that the state in which the reticle 1 is arranged can be understood. Reticle 1 is placed in place on lower retainer 17. The lower retainer 17 protrudes above the upper end 25 of the side surface 23 of the main body. The lower surface of the reticle disposed on the lower retainer 17 attached to the bottom surface 11 of the main body is located above the upper end position 25 of the side surface 23 of the main body. This is because when the reticle case 2 is arranged in the exposure apparatus and the reticle 1 is automatically taken out using the robot arm, the robot arm take-out hawk can enter the lower surface of the reticle 1. However, if the extraction fork is of a type that attracts reticle 1 from the upper surface of reticle 1, the lower surface of the reticle arranged on lower retainer 17 is not necessarily positioned above upper end position 25 of main body side surface 23. There is no need to be. In this case, the lower retainer 17 does not necessarily have to protrude beyond the upper end position 25 of the body side surface 23 as in this embodiment.
[0034] 本体底面 11は、透明窓 13 (13— 1〜： 13— 4)と非帯電性部分 14とから構成される 。透明窓 13は本体底面 11全体から見れば、その面積の占める割合は小さい。従つ て、透明窓 13の導電性が低いために透明窓 13が帯電したとしても、全体に占める割 合は小さくゴミゃ異物を吸着する量も極めて少ない。また透明窓 13の周りは、非帯電 性部分 14によって取り囲まれているので、非帯電性部分 14の近くにある透明窓 13 の部分において静電気が発生したとしても、静電気はすぐに非帯電性部分 14を通し て放電され [0034] The bottom surface 11 of the main body is composed of a transparent window 13 (13-1 to: 13-4) and a non-chargeable portion 14. . The transparent window 13 occupies a small area when viewed from the bottom surface 11 of the main body. Therefore, even if the transparent window 13 is charged because the conductivity of the transparent window 13 is low, the percentage of the entire window is small, and the amount of foreign matter adsorbed is extremely small. In addition, since the periphery of the transparent window 13 is surrounded by the non-chargeable portion 14, even if static electricity is generated in the transparent window 13 portion near the non-chargeable portion 14, the static electricity immediately becomes the non-chargeable portion. Discharged through 14
る。  The
[0035] 透明窓 13を通して、レチクルの上下のリテーナー（17、 18)による保持の様子ゃレ チクルの位置をも確認可能なので、問題があれば、手直しも可能となる。すなわち、 充分に管理されたクリーンルーム内で、レチクル 1をレチクルケース 2から取り出し、レ チクル 1の欠陥を再確認したりして、再度レチクルケース 2へ収納することも可能とな る。  [0035] Through the transparent window 13, it is possible to check the position of the reticle as it is held by the upper and lower retainers (17, 18) of the reticle. That is, it is possible to take out the reticle 1 from the reticle case 2 in a well-controlled clean room, recheck the reticle 1 and store it in the reticle case 2 again.
[0036] 本体側面 23も非帯電性材料で構成されており、本体底面 11の非帯電性部分 14と 連続してつながっている。従って、本体 3の非帯電領域部の一部が外部と接地してい れば、本体全体は透明窓部分を除き帯電することはない。  The main body side surface 23 is also made of a non-chargeable material, and is continuously connected to the non-chargeable portion 14 of the main body bottom surface 11. Therefore, if a part of the non-charged area of the main body 3 is grounded to the outside, the entire main body is not charged except for the transparent window portion.
[0037] 本体側面 23周囲には、シール溝 20があり、シール材 19が配置されている。このシ 一ノレ材 19の凸片 22と、本体 3に結合する蓋体 4のシール壁（図 3における 21)とが当 接し、本体 3と蓋体 4とをしつ力りと結合 (たとえば、固定スライダ 6などにより押さえられ る）することにより、レチクルケース 2内部は気密を保持することができる。  [0037] Around the side face 23 of the main body, there is a seal groove 20, and a seal material 19 is arranged. The projecting piece 22 of the sheet material 19 and the sealing wall (21 in FIG. 3) of the lid body 4 coupled to the main body 3 are in contact with each other, and the main body 3 and the lid body 4 are coupled with a force (for example, , The inside of the reticle case 2 can be kept airtight.
[0038] 下側リテーナー 17は弾性構造となっていて、レチクル 1を置く時の衝撃を和らげて いる。また本体 3と蓋体 4とを結合した時もレチクル 1に余分な力を与えることがなぐ しつ力 と固定できるようになつている。リテーナ一の材料として、弾性高分子材料を 使用できる。弾性高分子材料として、熱可塑性エラストマ一やフッ素樹脂がある。熱 可塑性エラストマ一として、 PEE (ポリエステルエラストマ一）、 PBTE (ポリブチレンテ レフタレートエラストマ一）， PBNE (ポリブチレンナフタレートエラストマ一）、 PPE (ポ リフエ二レンエーテル）、 PUE (ポリウレタンエラストマ一）等がある。フッ素樹脂として、 PTFE (ポリテトラフルォロエチレン）や PFA (パーフルォロアルコキシアルカン）が挙 げられる。また、 PP (ポリプロピレン)も用いることができる。尚、上記の材料単独でも 良いし、複数を含む材料でも良い。 [0038] The lower retainer 17 has an elastic structure and softens the impact when the reticle 1 is placed. Further, even when the main body 3 and the lid 4 are joined, the extra force can be applied to the reticle 1 so that it can be fixed. An elastic polymer material can be used as the retainer material. Examples of the elastic polymer material include a thermoplastic elastomer and a fluororesin. Thermoplastic elastomers include PEE (polyester elastomer), PBTE (polybutylene terephthalate elastomer), PBNE (polybutylene naphthalate elastomer), PPE (polyethylene ether), PUE (polyurethane elastomer), etc. . Fluororesin includes PTFE (polytetrafluoroethylene) and PFA (perfluoroalkoxyalkane). PP (polypropylene) can also be used. In addition, the above materials alone A material including a plurality of materials may be used.
[0039] 図 1、図 2においては、レチクル 1の頂角をレチクルケース 2の 4側面の中心近傍に 配置して示している力 S、これに限られず、レチクル 1の頂角を四側面の中心から離れ た所に位置するように配置しても良いし、あるいは、レチクルケース 2の内部に配置し ても良い。レチクル端辺をレチクルケース端辺に平行に配置しても良い。露光装置に レチクルケース 1をセットした時に、レチクル 1を取り出しやすレ、ようにレチクル 1をレチ クルケース 2内に配置できるような構造とすることが、好適な配置方法となる。  In FIG. 1 and FIG. 2, the force S is shown by placing the apex angle of reticle 1 in the vicinity of the center of the four side surfaces of reticle case 2, and is not limited to this. It may be arranged so as to be located away from the center, or may be arranged inside the reticle case 2. The edge of the reticle may be arranged in parallel to the edge of the reticle case. A preferred arrangement method is such that when the reticle case 1 is set in the exposure apparatus, the reticle 1 can be arranged in the reticle case 2 so that the reticle 1 can be easily taken out.
[0040] 図 3は、本体 3の上を被う（あるいは、本体 3と結合する）蓋体 4を示す図である。図 3 (a)は、蓋体 4を下方から見た図である。図 3(b)は、蓋体 4を横方向から見た図である。 非帯電性材料は一般に透明性が低いが、図 1と同様に内部を透視して描いている。 蓋体上面 15には上側リテーナー 18が取付けてあり、蓋体 4が本体 3と結合した時に 、レチクル 1を上から押さえて、レチクル 1を固定する。上側リテーナー 18も下側リテ ーナー 17と同様に弾性構造となっていて、レチクル 1を配置する時の衝撃を和らげ ている。また本体 3と蓋体 4とを結合した時もレチクルに余分な力を与えることがなぐ しつ力りと固定できるようになつている。すなわち、下側リテーナー 17は、その裏面側 に空隙を有し、レチクル底面 11にて支持された板パネ構造となっている。また、上側 リテーナー 17も、その裏面側に空隙を有し、蓋体上面 15にて支持された板パネ構造 となっている。従って、下側リテーナー 17は、上側リテーナー 18と対になって、たわ むことが可能な板パネ構造の中央部でレチクルの辺を受けることができる。さらに、リ テーナ一によるレチクルの押さえは、線接触または点接触でレチクルを押さえている 。すなわち、レチクルの辺の角部をリテーナ一で受けており、レチクルとリテーナ一と の接触は最小面積になるように配置される。尚、上側リテーナー 18の材料も下側リテ ーナー 17の材料と同様の材料で構成される。以上から、リテーナ一の押さえによりレ チクルが損傷することはなく  FIG. 3 is a diagram showing a lid 4 that covers (or is coupled to) the main body 3. FIG. 3 (a) is a view of the lid body 4 as viewed from below. FIG. 3B is a view of the lid body 4 as viewed from the lateral direction. Although non-chargeable materials are generally low in transparency, they are drawn through the inside as in FIG. An upper retainer 18 is attached to the upper surface 15 of the lid, and when the lid 4 is coupled to the main body 3, the reticle 1 is fixed by pressing the reticle 1 from above. The upper retainer 18 has an elastic structure similar to the lower retainer 17, and softens the impact when the reticle 1 is placed. Further, when the main body 3 and the lid 4 are combined, an extra force is applied to the reticle so that the reticle 3 can be fixed. That is, the lower retainer 17 has a plate panel structure having a gap on the back surface side and supported by the reticle bottom surface 11. The upper retainer 17 also has a plate panel structure having a gap on the back side thereof and supported by the upper surface 15 of the lid. Accordingly, the lower retainer 17 can receive the side of the reticle at the center of the plate panel structure that can be bent in a pair with the upper retainer 18. Furthermore, the reticle is held by the retainer by pressing the reticle by line contact or point contact. That is, the corners of the side of the reticle are received by the retainer, and the contact between the reticle and the retainer is arranged so as to have a minimum area. The material of the upper retainer 18 is also made of the same material as that of the lower retainer 17. From the above, the reticle is not damaged by holding the retainer.
、またゴミ等の異物が発生することもない。  Moreover, no foreign matter such as dust is generated.
[0041] 本実施形態においては、レチクル 1頂角近傍の隣り合う 2箇所を上下から押さえて いる。すなわち、下側（本体 3側）は 8個のリテーナ一、上側（蓋体 4側)も 8個のリテー ナーを配置している。しかし、これらに制限されることはなぐ充分な押さえが可能で あれば、もっと少ないリテーナ一でも良いし、押さえをさらに充分に行う必要があれば 、リテーナ一の数を増やしても良レ、。リテーナ一の位置は、レチクルの情報が記載さ れている場所とは異なる位置に配置することが望ましい。何故なら、透明窓を通して 情報を把握する際に、リテーナ一により情報が隠される可能性もあるからである。 [0041] In the present embodiment, two adjacent positions near the vertex 1 of the reticle 1 are pressed from above and below. That is, eight retainers are arranged on the lower side (main body 3 side), and eight retainers are arranged on the upper side (lid body 4 side). However, it is possible to hold down enough to be limited to these. If there are fewer retainers, you can increase the number of retainers if you need to hold down more. It is desirable to place the retainer at a position different from the place where the reticle information is written. This is because the information may be hidden by the retainer when grasping the information through the transparent window.
[0042] 蓋体上面 15および蓋体側面 16は、非帯電性材料力も構成されている。従って、蓋 体上面 15および蓋体側面 16は連続していて、蓋体 4全体は非帯電性材料力 構成 されているので、蓋体 4全体は常に等電位になっている。蓋体 4が大地に接地されて いれば、蓋体 4が帯電することはなぐ静電気によりゴミゃ異物等が付着することはな レ、。蓋体 4が本体 3と結合している場合は、本体 3も非帯電性材料であるから、蓋体 4 も本体 3も等電位となり、本体 3が大地に接地されていれば、蓋体 4が帯電することは なぐ静電気によりゴミゃ異物等が蓋体 4に付着することはない。  [0042] The lid upper surface 15 and the lid side surface 16 are also configured with non-chargeable material force. Accordingly, the lid body upper surface 15 and the lid body side surface 16 are continuous, and the entire lid body 4 is composed of a non-chargeable material force. Therefore, the entire lid body 4 is always equipotential. If the lid 4 is grounded to the ground, the lid 4 will not be charged. When the lid 4 is coupled to the main body 3, the main body 3 is also a non-chargeable material. Therefore, if the lid 4 and the main body 3 are equipotential and the main body 3 is grounded, the lid 4 As a result of the static electricity, dust and other foreign substances do not adhere to the lid 4 due to static electricity.
[0043] 蓋体側面 16の周囲にはシール壁 21があり、本体 3と結合した時に本体 3のシール 材凸片 22と密着し、レチクルケース 2内部を気密に保持する。尚、本実施形態にお いては、本体 3側にシール材 19およびシール溝 20を、蓋体 4側にシール壁 21を配 置している力 これらが逆になつても同様の機能を果たすことは自明である。  [0043] There is a seal wall 21 around the lid side surface 16, and when it is coupled to the main body 3, it closely contacts the sealing material convex piece 22 of the main body 3, and the inside of the reticle case 2 is kept airtight. In the present embodiment, the same function is achieved even if the sealing material 19 and the sealing groove 20 are arranged on the main body 3 side, and the sealing wall 21 is arranged on the lid body 4 side. That is obvious.
[0044] 尚、シール材 19も非帯電性材料であることが望ましぐレチクルケース 2の本体 3お よび蓋体 4がシール材を通して電気的にも接続していることになる。  Note that it is desirable that the sealing material 19 is also a non-chargeable material, so that the main body 3 and the lid 4 of the reticle case 2 are also electrically connected through the sealing material.
[0045] 蓋体側面 16は、本体側面 23と合わさるようになっている。合体した後に、結合した 側面のあわせ部分をなめらかにテーピングできるように、側面部分は本体 3および蓋 体 4とも所定の幅を持った平坦部を有していて、結合した状態においてもあわせ部分 に隙間が生じることがなくかつ平坦になるように作製されている。この結果、テーピン グによりレチクルケース 2内部を完全に気密に保持できるようになつている。  [0045] The lid side surface 16 is adapted to be aligned with the main body side surface 23. After joining, the side part has a flat part with a predetermined width for both the main body 3 and the lid 4 so that the joined part of the joined side surface can be smoothly taped. The gap is not generated and is made flat. As a result, the interior of the reticle case 2 can be kept completely airtight by taping.
[0046] 尚、シール材 19も非帯電性材料であることが望ましぐレチクルケース 2の本体 3お よび蓋体 4がシール材を通して電気的にも接続していることになる。但し、通常は上 述したように蓋体側面 16と本体側面 23とは結合するので、たとえ、シール材 19が非 帯電性材料でなくとも、レチクルケース 2の本体 3および蓋体 4は電気的にも接続して いる。  [0046] Note that it is desirable that the sealing material 19 is also a non-chargeable material, so that the main body 3 and the lid 4 of the reticle case 2 are also electrically connected through the sealing material. However, since the lid side surface 16 and the main body side surface 23 are usually bonded as described above, the main body 3 and the lid body 4 of the reticle case 2 are electrically connected even if the sealing material 19 is not a non-chargeable material. Also connected to.
[0047] さらに、本体 3の底面 11と側面 23との境界部分には、図 1および図 2に示すように、 U溝 26が配置されている。また、蓋体 4の上面 15と側面 16との境界部分にも図 1 および図 3に示すように、 U溝 27が配置されている。本体 3と蓋体 4とを結合した後で 、両方の U溝に固定具をかませる。 U溝の途中には V溝、すなわち切り欠きが形成さ れてい [0047] Furthermore, at the boundary between the bottom surface 11 and the side surface 23 of the main body 3, as shown in FIG. 1 and FIG. A U-groove 26 is arranged. Further, as shown in FIGS. 1 and 3, a U-groove 27 is also arranged at the boundary portion between the upper surface 15 and the side surface 16 of the lid 4. After joining the main body 3 and the lid 4, put the fixtures in both U-grooves. A V-groove, i.e. a notch, is formed in the middle of the U-groove.
て、固定具により本体 3と蓋体 4とを完全に固定する。たとえば、図 1に示すようなスラ イド部品（固定スライダ 6)がある。この固定スライダ 6の両端は U溝に嵌合するように 鉤状構造となっている。この固定スライダ 6は、本体 3および蓋体 4の U溝 26、 27に 沿ってスライドさせることにより、取り付けまたは取り外しが可能である。また、本体 3お よび蓋体 4の結合部分に少し隙間 28が存在している。これにより、本体 3および蓋体 4の結合部分にテーピングできるようになつている。但し、テーピングがなくとも固定ス ライダ 6だけで本体 3と蓋体 4とを確実に固定できる構造となっている。たとえば、固定 スライダ 6は、板パネ等が取り付けられたパネ構造を有していて、 U溝の途中におい てス Then, the main body 3 and the lid body 4 are completely fixed by the fixing tool. For example, there is a slide component (fixed slider 6) as shown in Fig.1. Both ends of the fixed slider 6 have a hook-like structure so as to fit into the U-groove. The fixed slider 6 can be attached or detached by sliding along the U grooves 26 and 27 of the main body 3 and the lid body 4. In addition, there is a small gap 28 at the joint between the main body 3 and the lid 4. As a result, taping can be performed on the connecting portion of the main body 3 and the lid 4. However, the structure is such that the main body 3 and the lid 4 can be securely fixed only by the fixed slider 6 without taping. For example, the fixed slider 6 has a panel structure to which a panel panel or the like is attached, and is inserted in the middle of the U groove.
ライド方向に対して垂直な方向に形成された上記の固定用 V溝に、当該パネ構造に 形成さ The panel structure is formed in the fixing V-groove formed in the direction perpendicular to the ride direction.
れた嵌合用 V溝が嵌合して固定できるようになつている。 The fitted V-groove for fitting can be fitted and fixed.
図 4は、隣り合った透明窓が連続している場合の実施形態（第 2の実施形態）を示 す図である。図 4(a)は、本体の下側から見た図（内部を透視して見た図）である。図 4( b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図：!〜 3において、頂角部 分が配置される本体底面 11の部分にも透明窓が形成されることにより、透明窓 13— 1および 13— 2、あるいは透明窓 13 - 3および 13—4が結合してレ、る場合と考えるこ とができる。レチクル 1における頂角部分のセット状態を確認したい場合や、レチクル 1の頂角部分にレチクル情報が存在する場合に、本実施形態を使うことができる。た だし、通常これら頂角近傍にレチクル情報が形成されることはないために、これらの 頂角近傍に透明窓がないことは大きな問題になることは少ない。上記に加えて、この ように透明窓の数が減少することによって、部品点数が少なくなり、成形時の工数を 削減することも可能となる。本実施形態においても、透明窓 43 (43— 1、 43— 2)以外 の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分 44において孤 立した部分は存在しない。従って、非帯電性領域部に静電気が帯電することはなぐ ゴミゃ異物等がレチクルケース 2に付着することはない。 FIG. 4 is a diagram showing an embodiment (second embodiment) in which adjacent transparent windows are continuous. Fig. 4 (a) is a view from the bottom of the main body (view through the inside). Fig. 4 (b) is a diagram seen from the side (viewed through the inside). In Fig .:! ~ 3, transparent windows 13-1 and 13-2, or transparent windows 13-3 and 13- are formed by forming a transparent window on the bottom 11 of the body where the apex portion is located. This can be thought of as a combination of four. This embodiment can be used when it is desired to confirm the set state of the apex angle portion of the reticle 1 or when reticle information exists in the apex angle portion of the reticle 1. However, since reticle information is not normally formed near these vertical angles, the absence of a transparent window near these vertical angles is rarely a big problem. In addition to the above, by reducing the number of transparent windows in this way, the number of parts can be reduced and the man-hours for molding can be reduced. Also in this embodiment, the portions other than the transparent window 43 (43-1, 43-2) are non-chargeable materials, and the whole is continuous, and the non-chargeable portion 44 is isolated. There is no standing part. Therefore, no foreign matter or the like adheres to the reticle case 2 as long as static electricity is not charged in the non-chargeable region.
[0049] 図 5は、透明窓がすべて連続している場合の実施形態（第 3の実施形態）である。  FIG. 5 shows an embodiment (third embodiment) in which all transparent windows are continuous.
図 5(a)は、本体の下側から見た図（内部を透視して見た図）である。図 5(b)は、横方向 力 見た図（内部を透視して見た図）である。図 1〜3における透明窓 13— 1、 13- 2 、 13- 3,および 13— 4がすべて結合している場合と考えることができる。すなわち、 レチクルの 4頂角部分のうち、 3頂角部分にも透明窓が存在する。図 4における実施 形態に比べて、さらにもう一つ頂角部分を観察できる。また、レチクル 1に、より多くの 情報を載せることができるとともに、より的確にレチクル 1のレチクルケース内における 設置状態を把握できる。さらにまた、部品点数を図 4に示した場合よりもさらに削減す ることが可能となり、工数を減らすことができる。本実施形態においても、透明窓 53以 外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分 54において 孤立した部分は存在しない。すなわち、透明窓 53の存在しない部分を通して、非帯 電性部分全体がつながつていて、従って、非帯電性領域部に静電気が帯電すること はなぐゴミゃ異物等がレチクルケースに付着することはない。  FIG. 5 (a) is a view as seen from the lower side of the main body (a view seen through the inside). Fig. 5 (b) shows the lateral force (view through the inside). It can be considered that the transparent windows 13-1, 13-2, 13-3, and 13-4 in Fig. 1 to 3 are all connected. In other words, of the 4 apex corners of the reticle, there are also transparent windows at the 3 apex corners. Compared with the embodiment in FIG. 4, one more apex angle portion can be observed. In addition, more information can be placed on the reticle 1, and the installation state of the reticle 1 in the reticle case can be grasped more accurately. Furthermore, the number of parts can be further reduced as compared with the case shown in FIG. 4, and man-hours can be reduced. Also in this embodiment, the portions other than the transparent window 53 are non-chargeable materials, the whole is continuous, and there is no isolated portion in the non-chargeable portion 54. In other words, the entire non-charged part is connected through the part where the transparent window 53 does not exist. Absent.
[0050] 図 6は、さらに別の実施形態（第 4の実施形態）を示す。図 6に示すレチクルケース 2 において、本体底面 11は、レチクルの 4端辺部分および 4頂角部分およびレチクノレ 表面も観察できるような 1枚の透明窓 63を有している。本実施形態においても、透明 窓 63以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分 64 において孤立した部分は存在しない。このような透明窓 63の場合には、レチクル 1全 体を観察できるので、レチクル 1全体のレチクルケース内における設置状態を観察可 能である。レチクルケース 2にレチクル 1が収納された状態でも、レチクルパターンを 観察できるので、レチクルケース 2ヘレチクル 1を収納した状態のままでも、レチクル パターン欠陥を検查できるという利点がある。すなわち、レチクル自体に全く影響を及 ぼす必要がないから、検查ゃ搬送などを通じて、レチクル 1にゴミゃ異物が付着する こともないし、外部環境から汚染されることもない。但し、透明窓 63の領域がかなり大 きくなるので、静電気が透明窓 63に発生して帯電した場合は、他の場合に比べて電 荷が抜けてなくなるまでの時間が長くなるという課題がある。し力 ながら、たとえば、 室温で湿度 50 %の条件下で透明部分に 1 OkVの電位を故意に付与した場合でも、 約 1分で電位がゼロとなるため実質的に大きな問題とならない。それでも、ある程度ク リーン度や帯電が発生しない場所など環境条件を考慮したプロセスで扱うことが望ま しレ、。このように透明窓 63の面積が大きくなる場合において、 ITO (Indium-Tin_Oxid e)膜や酸化亜鉛系等の透明導電体膜を透明窓に付着したり、あるいは透明窓の表 面に透明性を損なわない程度に軽くドーピングしたりすることにより、透明窓の非帯電 性を増加させることができる。この結果、透明窓にも静 FIG. 6 shows still another embodiment (fourth embodiment). In the reticle case 2 shown in FIG. 6, the bottom surface 11 of the main body has a single transparent window 63 through which the four edge portions, the four apex corner portions, and the reticle surface of the reticle can be observed. Also in this embodiment, the portions other than the transparent window 63 are made of non-chargeable material, and the whole is continuous, and there is no isolated portion in the non-chargeable portion 64. In the case of such a transparent window 63, the entire reticle 1 can be observed, so that the installation state of the entire reticle 1 in the reticle case can be observed. Since the reticle pattern can be observed even when the reticle 1 is stored in the reticle case 2, there is an advantage that a reticle pattern defect can be detected even when the reticle case 1 and the reticle 1 are stored. That is, since there is no need to affect the reticle itself, dust or foreign matter does not adhere to the reticle 1 through inspection or transport, and the external environment is not contaminated. However, since the area of the transparent window 63 becomes considerably large, when static electricity is generated and charged in the transparent window 63, there is a problem that the time until the electric charge is lost is longer than in other cases. . However, for example, Even if a potential of 1 OkV is intentionally applied to the transparent area under conditions of 50% humidity at room temperature, the potential will be zero in about 1 minute, so there will be no substantial problem. Nevertheless, it is desirable to handle it in a process that considers environmental conditions such as cleanliness and places where charging does not occur to some extent. When the area of the transparent window 63 increases in this way, an ITO (Indium-Tin_Oxide) film or a transparent conductive film such as zinc oxide is attached to the transparent window or the surface of the transparent window is made transparent. The light-undoped property of the transparent window can be increased by lightly doping it to the extent that it is not impaired. As a result, even transparent windows
電気を帯電させにくくすることも可能となる。  It is also possible to make it difficult to charge electricity.
[0051] 図 11はレチクルのパターン面を模式的に示した図で、レチクル情報の 1例について さらに詳細に説明するための図である。現在使用されているレチクルの形状は、一定 の厚みを持った略正方形形状をしている。レチクルの材質はガラスであり、ガラス面 の一方の面にパターンが形成される。図 11に示すように、素子形成用の本パターン 111がレチクルの中心に大きく形成されてレ、る。略正方形形状である本パターンの 4 辺の周辺（周縁）にはスペース力 ¾箇所（周辺スペース部分： 112〜115)あり、この 4 箇所にレチクル情報が記される。 4箇所すべてにレチクル情報が記されてレ、る場合も あれば、 1箇所だけに記されている場合もある。さらに、レチクルの頂角近傍にもスぺ ースが 4箇所 (頂角近傍スペース部分： 116〜： 119)ある力 この部分には通常レチク ル情報は記されなレ、。しかし、必要な場合には頂角スペース部分にもレチクル情報 が記される。 6インチレチクルの場合の例として、本パターンの大きさ力 SI 20mm (1辺） の場合には、周辺スペース部分のサイズは、 10〜： 15mm (短辺側）となる。図 1〜図 5 において示される透明窓のサイズは、周辺スペース部分の情報を把握できる程度の 大きさである。図 6において示される透明窓のサイズは、本パターン、 4つの周辺スぺ ース部分および 4つの頂角スペース部分の情報を把握できる程度の大きさである。尚 、ここで述べる「把握できる」とは、肉眼で観察できるというほかに、紫外光、可視光や 赤外光などを使って機械で読み取ることができることも含まれる。  FIG. 11 is a diagram schematically showing the pattern surface of the reticle, and is a diagram for explaining one example of reticle information in more detail. The shape of the reticle currently used is a substantially square shape with a certain thickness. The reticle is made of glass, and a pattern is formed on one side of the glass surface. As shown in FIG. 11, the main pattern 111 for element formation is formed largely at the center of the reticle. There are three places of space force (peripheral space portions: 112 to 115) around the four sides (periphery) of this pattern having a substantially square shape, and reticle information is written at these four places. In some cases, reticle information is written in all four locations, or in only one location. In addition, there are four spaces in the vicinity of the apex angle of the reticle (space area near the apex angle: 116-: 119). This part usually has no reticle information. However, if necessary, reticle information is also written in the apex space. As an example in the case of a 6 inch reticle, when the size force of this pattern is SI 20mm (one side), the size of the peripheral space is 10 to 15 mm (short side). The size of the transparent window shown in Figs. 1 to 5 is large enough to grasp the information of the surrounding space. The size of the transparent window shown in Fig. 6 is large enough to grasp the information of this pattern, the four peripheral space parts, and the four apex space parts. Note that “can be grasped” described here includes not only being observable with the naked eye but also being able to be read by a machine using ultraviolet light, visible light, infrared light, or the like.
[0052] 図 7は透明窓と非帯電部との接合状態を示す図である。図 7においては、レチクノレ ケース本体における底面および側面部の一部だけを示している。透明窓 13は非帯 電性部分 14に嵌合して密着している。透明窓 13は、透明度の大きな材料であり、た とえば、ポリカーボネート樹脂、環状ォレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレン テレフタレート樹脂、スチレン樹脂等の高分子材料である。あるいはこれらの高分子 材料をブレンドしたものでも良い。尚、本発明における「透明」とは、可視光領域にお いて平均して 50%以上の光透過率を有し、ヘイズ値が約 30%以下のものをいう。上 記高分子材料はこの透明性の条件を充分に満足する。一般に上記材料は絶縁体材 料でありその表面固有抵抗は 10Μ Ω以上である。また非帯電性材料として、カーボ ンファイバー、カーボンパウダー、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材 料の少なくとも 1つを含む上記高分子材料等がある。カーボンファイバー、カーボン パウダー、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料を含む上記高分子材 料等は導電性を向上させ電荷の帯電を防止したものであるが、一般に透明性は低下 し半透明もしくは不透明となり、内部は見えにくいか見えない状態になる。 10" Ω以 下の表面固有抵抗があれば帯電しにくいと言われている力 lOOnm以下の異物の 吸着を問題にする LSIプロセスにおいては、さらに抵抗を下げる必要があり、カーボ ンファイバー、カーボンパウダーや金属微粒子等の導電体材料を好適に含む必要が ある。その場合においては、さらに透明性が低下する。従って、帯電性を防止しかつ 内部を観察可能とするところに、本発明の意義がある。カーボンファイバーを含むポリ カーボネートは、非帯電性材料としてより好適な材料である。導電性ナノチューブチ ユーブとしては、カーボンナノチューブ、シリコンナノチューブやゲルマニウムナノチュ 一ブ等を用いることができる。特に、環径 40〜80nmのカーボンナノチューブは導電率 が高ぐポリカーボネートや環状ォレフィンなどの母材に約 5%以下、典型的には約 2 〜3%混合 '分散することによって約 108 Ωの表面固有抵抗を得ることが可能となる。 FIG. 7 is a diagram showing a joined state between the transparent window and the non-charged portion. FIG. 7 shows only a part of the bottom surface and the side surface of the reticulone case body. The transparent window 13 is fitted and adhered to the non-electroconductive portion 14. Transparent window 13 is a highly transparent material. For example, polymer materials such as polycarbonate resin, cyclic olefin resin, polyethylene resin, polyethylene terephthalate resin, and styrene resin. Alternatively, a blend of these polymer materials may be used. In the present invention, “transparent” means that having an average light transmittance of 50% or more and a haze value of about 30% or less in the visible light region. The above-mentioned polymer material sufficiently satisfies this transparency condition. Generally the material is an insulator materials the surface resistivity is 10 Micromax Omega more. Examples of non-chargeable materials include carbon fibers, carbon powder, the above polymer materials including at least one conductive material such as metal fine particles and conductive nanotubes. The above polymer materials including conductive materials such as carbon fiber, carbon powder, fine metal particles and conductive nanotubes have improved conductivity and prevented charge charging, but generally the transparency is lowered and translucent. Or it becomes opaque and the inside becomes difficult to see or invisible. Force that is said to be difficult to be charged if there is a surface resistivity of 10 "Ω or less In the LSI process that makes it difficult to adsorb foreign substances of less than lOOnm, it is necessary to further reduce the resistance, carbon fiber, carbon powder In this case, the transparency is further lowered, and therefore, the significance of the present invention is that the charging property can be prevented and the inside can be observed. Polycarbonate containing carbon fibers is a more suitable material for non-chargeable materials, and carbon nanotubes, silicon nanotubes, germanium nanotubes, etc. can be used as conductive nanotube tubes. Carbon nanotubes with a ring diameter of 40 to 80 nm are approximately 5% for base materials such as polycarbonate and cyclic olefin having high conductivity. It is possible to obtain a surface resistivity of about 10 8 Ω by dispersing and dispersing at a concentration of less than%, typically about 2 to 3%.
[0053] このような材料の接合は、たとえばインサート成形により達成可能である。また、図 7 に示した形状に成形した材料を熱圧着や超音波圧着を用いて接着する方法もある。 以上のような方法を用いて、密着させたものは、その接合部において充分な気密性 が確保されていて、接合も完璧に行われるので、信頼性の高いレチクルケースを製 造できる。尚、透明窓としてガラスを用いることも可能である。但し、ガラスの場合透明 性は極めて良好である力 S、破壊しやすいので取り扱いに充分注意する必要がある。  [0053] Joining of such materials can be achieved, for example, by insert molding. There is also a method of bonding the material molded into the shape shown in Fig. 7 using thermocompression bonding or ultrasonic pressure bonding. A thing tightly bonded using the method as described above has sufficient airtightness at the joint, and the joining is performed perfectly, so that a highly reliable reticle case can be manufactured. It is also possible to use glass as the transparent window. However, in the case of glass, transparency is extremely good, and it is easy to break.
[0054] また、図 7においてはレチクルケースの底面に足 30を示している。この足 30は、大 地へ接地された導電性シート等の上にレチクルケース 2を置レ、た時に、レチクルケ一 ス 2と導電性シートとの間を電気的に接続する部分であるから、導電性材料で形成さ れることが望ましい。たとえば、レチクルケース本体底面 11の非帯電性部分 14と同一 の材料であっても良い。また、図に示すように、足 30は非帯電性部分 14に配置され ることが望ましい。従って、足 30が、非帯電性材料であり、非帯電性部分 14に接続し ていることにより、レチクルケース 2で発生した電荷は、非帯電性部分 14から足 30を 通して、接地面を通して流れていくので、レチクルケース 2が帯電することはなレ、。図 7に示す足 30は、レチクルケース 2内に発生した電荷を外部へ放出する（電荷が正 電荷の場合には、電子が外部から入り込む場合も含む）、上述したいわゆるアースの 役目を果たすという目的以外にも、レチクルケース 2の本体底面 11に傷をつけないと レ、う目的もある。すなわち、足 30がない場合には、直接レチクルケース 2の本体底面 11が台などに接触して置かれる力 繰り返しの接触などにより、レチクルケース 2の本 体底面 11に傷がついたりする可能性もある。傷などがついたりすると、レチクルケ一 ス 2の本体底面 11の強度が低下するだけでなぐ傷などから発生するゴミゃ異物が、 レチクルケース 2に付着する可能性もある。また透明窓 13は導電性が小さいので静 電的に付着する。さらに機械的に付着する場合もある。しかし、足 30をつけることによ りこのようなレチクルケース 2へゴミゃ異物等が付着する可能性をかなり小さくできる。 尚、足 30は導電性の良い材料であることが望ましいが、必ずしもレチクルケース 2に おける本体底面 11の非帯電性材料と同じ材料でなくても良レ、。レチクルケース 2に足 30を設置する効果としては、上記の他に外部からの衝撃を緩和するという効果もある 。すなわち、本体底面 11全体が直接台等に接している場合には、台からの振動等の 衝撃を本体底面 11全体が受けるため大きな力がレチクルケース 2に作用する。この 結果内部に収納されたレチクルへも衝撃が加わる。足 30は、この影響をかなり小さく すること力 Sできる。 In FIG. 7, a foot 30 is shown on the bottom surface of the reticle case. This foot 30 is large This is a part that electrically connects the reticle case 2 and the conductive sheet when the reticle case 2 is placed on a conductive sheet that is grounded to the ground. It is desirable that For example, the same material as that of the non-chargeable portion 14 of the bottom surface 11 of the reticle case body may be used. Further, as shown in the figure, the foot 30 is preferably disposed on the non-chargeable portion 14. Therefore, since the foot 30 is a non-chargeable material and is connected to the non-chargeable portion 14, the charge generated in the reticle case 2 passes from the non-chargeable portion 14 through the foot 30 and through the ground plane. As it flows, reticle case 2 will not be charged. The foot 30 shown in FIG. 7 releases the charge generated in the reticle case 2 to the outside (in the case where the charge is a positive charge, including the case where electrons enter from the outside), and plays the role of the so-called ground described above. In addition to the purpose, there is also a purpose to make sure that the bottom surface 11 of the reticle case 2 is not damaged. That is, when the foot 30 is not present, the bottom surface 11 of the reticle case 2 may be damaged by the repeated contact of the force when the bottom surface 11 of the reticle case 2 is in contact with the base. There is also. If scratches or the like are attached, dust or foreign matter generated from scratches or the like may be attached to the reticle case 2 simply by reducing the strength of the bottom surface 11 of the reticle case 2. The transparent window 13 is electrostatically attached because of its low conductivity. Furthermore, it may adhere mechanically. However, by attaching the foot 30, the possibility that foreign matter or the like adheres to the reticle case 2 can be considerably reduced. It is desirable that the foot 30 is made of a material having good conductivity, but it is not always necessary to use the same material as the non-chargeable material on the bottom surface 11 of the main body 11 in the reticle case 2. In addition to the above, the effect of installing the foot 30 on the reticle case 2 is to reduce the impact from the outside. That is, when the entire bottom surface 11 of the main body is in direct contact with the table or the like, a large force acts on the reticle case 2 because the entire bottom surface 11 of the main body receives an impact such as vibration from the table. As a result, an impact is also applied to the reticle stored inside. The foot 30 can force S to significantly reduce this effect.
足 30は、本体底面 11と同時に形成することが可能である。しかし、足 30とレチクル ケース本体底面 11との密着性がよければ、必ずしもレチクルケース本体底面 11と同 時形成する必要もない。レチクルケース 2を作製した後で、熱圧着する方法によって 、足 30をレチクルケース本体底面 11に付着しても良レ、。 [0056] 尚、透明窓 13はレチクルケース 2の本体底面の 1部のみに存在する。従って、透明 窓が帯電してゴミ等の異物を吸着したとしても、レチクルケース 2の本体 3および蓋体 4の合わせ部分の周囲は広く非帯電性材料で囲まれているので、レチクルケース 2の 内部へ透明窓に付着したゴミ等の異物が入り込むことはない。 The foot 30 can be formed simultaneously with the bottom surface 11 of the main body. However, as long as the adhesion between the foot 30 and the reticle case main body bottom surface 11 is good, it is not always necessary to form the same with the reticle case main body bottom surface 11. After the reticle case 2 is manufactured, the legs 30 can be attached to the bottom surface 11 of the reticle case body 11 by thermocompression bonding. Note that the transparent window 13 exists only in one part of the bottom surface of the main body of the reticle case 2. Therefore, even if the transparent window is charged and foreign matter such as dust is adsorbed, the periphery of the case 3 of the reticle case 2 and the cover 4 are widely surrounded by a non-chargeable material. Foreign matter such as dust attached to the transparent window does not enter inside.
[0057] 図 8は、図 6に示すレチクルケースに取付けられた呼吸弁およびケミカルァブソーバ 一の働きを示す図である。図 8(a)が平面図であり、図 8(b)が側面図である。共にレチ クルケース 2内部を透視して描レ、てレ、る。  [0057] Fig. 8 is a diagram showing the operation of the breathing valve and the chemical absorber installed in the reticle case shown in Fig. 6. FIG. 8 (a) is a plan view and FIG. 8 (b) is a side view. Both are drawn through the inside of the reticle case 2.
[0058] 図 8に示すように、蓋体側面 16に貫通孔（後述）が配置され、その貫通孔に呼吸弁 93が取り付けられている。貫通孔は蓋体側面 16のレチクル 1が配置される位置近傍 に存在する。その貫通孔に取付けられた呼吸弁 93は、蓋体側面 16 (16— 1)の対向 する蓋体側面 16 (16— 2)にも形成されている。本実施形態においては、呼吸弁 93 ( 93— 1および 93— 2)は互いにレチクルケース 2の対角線の両端近傍部分に配置さ れている。レチクル 1はレチクルケース 2に保持された後は、レチクルケース 2内の雰 囲気に影響される。従って、レチクルケース 2内の雰囲気は極力レチクル 1に影響を 与えないものが望ましい。たとえば、レチクルケース 2内を、窒素ガスで充填しておい たり、ヘリウムガスやアルゴンガスなどの希ガスで充填したりして、不活性ガスで満た すと良い。あるいは、不活性ガスほどの効果はないが、乾燥した空気でも良い。そこ で、レチクルを収納  As shown in FIG. 8, a through hole (described later) is disposed on the side surface 16 of the lid, and a breathing valve 93 is attached to the through hole. The through hole exists near the position where the reticle 1 on the side surface 16 of the lid is disposed. The breathing valve 93 attached to the through hole is also formed on the lid side surface 16 (16-2) opposed to the lid side surface 16 (16-1). In the present embodiment, the breathing valves 93 (93-1 and 93-2) are arranged in the vicinity of both ends of the diagonal line of the reticle case 2. After the reticle 1 is held in the reticle case 2, it is affected by the atmosphere in the reticle case 2. Therefore, it is desirable that the atmosphere in the reticle case 2 does not affect the reticle 1 as much as possible. For example, the inside of the reticle case 2 may be filled with an inert gas by filling it with nitrogen gas or with a rare gas such as helium gas or argon gas. Or, it is not as effective as an inert gas, but may be dry air. So we store the reticle
し本体 3を蓋体 4と結合した後に、不活性ガス等を一方の呼吸弁 93 (93— 1)より吹き 込む。レチクルケース 2内に当初入っていた気体（たとえば空気）は、もう一方の呼吸 弁 93 (93— 2)より押出され放出される。一定時間後には、レチクルケース 2内は不活 性ガス等で充満した状態になる。呼吸弁 93にはフィルター（後述）が入っているので 、自動的に大気圧より幾分揚圧になる。従って、レチクルケース 2の本体 3および蓋 体 4が結合し、さらに結合部にテーピングされ、固定スライドにて固定されると、（但し 、テーピングや固定スライドを用いなくても、結合状態は保持される）呼吸弁 93以外 には外部と通じる所はなくなるので、レチクルケース 2内は不活性ガスが充満した状 態になり、気密性が保持される。従って、レチクル 1が経時変化をすることはない。  After the main body 3 is coupled to the lid body 4, an inert gas or the like is blown from one of the breathing valves 93 (93-1). The gas (for example, air) initially contained in the reticle case 2 is pushed out from the other breathing valve 93 (93-2) and released. After a certain time, the inside of the reticle case 2 is filled with an inert gas. Since the breathing valve 93 contains a filter (described later), the pressure automatically rises somewhat from atmospheric pressure. Therefore, if the main body 3 and the lid 4 of the reticle case 2 are joined, taped to the joint, and fixed with a fixed slide (however, the connected state is maintained without using taping or a fixed slide). Since there is no place other than the breathing valve 93 to communicate with the outside, the inside of the reticle case 2 is filled with an inert gas, and the airtightness is maintained. Therefore, the reticle 1 does not change with time.
[0059] 呼吸弁 93は、互いに対向する蓋体 4の側面（16 _ 1、 16 _ 2)に設置されていて、 しかもレチクル 1が配置される位置付近に呼吸弁 93 (93— 1、 93— 2)も配置されて いる。また、レチクル 1はレチクルケース 2の側面の中央付近に配置されることが望ま しい。また、これに対応して呼吸弁 93もレチクルケース 2の側面の中央付近にくるよう に、蓋体 4に設置されることが望ましい。一方の呼吸弁 93— 1から不活性ガス等を導 入すると、不活性ガス等は、図 8の矢印で示すように、レチクルの上面および下面を 流れて、レチクル 1の反対の側の近傍にある他方の呼吸弁 93 _ 2から、レチクルケ一 ス 2内の気体を押出す。従って、レチクルの両面は速やかに不活性ガス等で覆われ るとともに、レチクルケース 2内の気体は効率的に不活性ガス等に置換される。また、 このような対角線位置に呼吸弁 93を配置することにより、レチクルケース 2内におい て不活性ガス等に置換されない部分は非常に少なくなる。尚、この効果をさらに高め るために、蓋体 4の他の面、または各面に貫通孔および呼吸弁を設けても良い。 [0059] The breathing valve 93 is installed on the side surfaces (16_1, 16_2) of the lid body 4 facing each other, In addition, a breathing valve 93 (93-1, 93-2) is also disposed near the position where the reticle 1 is disposed. In addition, it is desirable that reticle 1 be arranged near the center of the side surface of reticle case 2. Correspondingly, it is desirable that the breathing valve 93 is also installed on the lid 4 so as to be near the center of the side surface of the reticle case 2. When inert gas or the like is introduced from one breathing valve 93-1, the inert gas or the like flows through the upper and lower surfaces of the reticle as shown by the arrows in FIG. 8 and in the vicinity of the opposite side of the reticle 1. The gas in the reticle case 2 is pushed out from the other breathing valve 93_2. Accordingly, both surfaces of the reticle are quickly covered with inert gas or the like, and the gas in the reticle case 2 is efficiently replaced with inert gas or the like. In addition, by arranging the breathing valve 93 at such a diagonal position, there are very few portions in the reticle case 2 that are not replaced by inert gas or the like. In order to further enhance this effect, a through hole and a breathing valve may be provided on the other surface of the lid body 4 or on each surface.
[0060] 一方、航空機等で運搬した時には、高度の高い気圧の低い場所において、レチク ルケース 2内の不活性ガス等が抜けていく可能性もある。その状態におけるレチクノレ 内の圧力は、周囲の環境より揚圧になっているとしても、およそ 0.8気圧まで低圧にな る。そのよう [0060] On the other hand, when transported by an aircraft or the like, there is a possibility that the inert gas or the like in the reticule 2 escapes in a place with a high altitude and a low atmospheric pressure. In this state, the pressure in the reticulometer is reduced to about 0.8 atm, even if it is higher than the surrounding environment. Like that
なレチクルケース 2を地上に持ってきた時には、地上はレチクルケース 2内より気圧が 高くなつているので、周囲の環境からレチクルケース 2内に、周囲の（汚れた）空気が 呼吸弁 93を通して侵入してくる。また、呼吸弁 93よりレチクルケース 2内へ入る不活 性ガス等が微量の化学物質や水分を含む場合もある。このような場合も考慮して、本 発明においては、呼吸弁 93にダストフィルターの他に、ケミカルフィルターも合わせ て取り付けることができる。これにより、呼吸弁 93を通じて出入する気体から、水分や 化学物質を除去することが可能となる。  When the reticle case 2 is brought to the ground, the atmospheric pressure on the ground is higher than that in the reticle case 2, so ambient (dirty) air enters the reticle case 2 from the surrounding environment through the breathing valve 93. Come on. In addition, the inert gas or the like entering the reticle case 2 from the breathing valve 93 may contain a trace amount of chemical substances or moisture. Considering such a case, in the present invention, in addition to the dust filter, a chemical filter can also be attached to the breathing valve 93. This makes it possible to remove moisture and chemical substances from the gas entering and leaving through the breathing valve 93.
[0061] さらにまた、レチクルケース 2の運搬や保管において、充分に管理することによって レチクルケース 2内の状態が変化しないとしても、何かの問題が発生して、レチクルケ ース 2を露光装置に入れる前に、クリーンルーム内でレチクル 1をレチクルケース 2か ら取り出さざるを得ない場合も考えられる。そのような場合にはクリーンルームの雰囲 気だとしても、レチクル 1へ影響を与えることも考えられる。さらに、露光装置内では、 何度もレチクルがレチクルケースから出されるので、レチクルケース内の雰囲気は露 光装置内の雰囲気と同じくなる。このように、クリーンノレーム内や露光装置内の水分 や微量の化学物質等がレチクルケース 2内に入り込む可能性がある。 [0061] Furthermore, even if the state in the reticle case 2 does not change due to sufficient management during transportation and storage of the reticle case 2, some problem occurs and the reticle case 2 is transferred to the exposure apparatus. In some cases, reticle 1 must be taken out of reticle case 2 in a clean room before loading. In such a case, even if the atmosphere in the clean room is affected, it may affect the reticle 1. Further, since the reticle is removed from the reticle case many times in the exposure apparatus, the atmosphere in the reticle case is exposed. It is the same as the atmosphere in the optical device. In this way, moisture, trace chemical substances, etc. in the clean noreme and exposure apparatus may enter the reticle case 2.
[0062] そこで、本発明においては、図 8に示すようにレチクルケース 2の内側にケミカルァ ブソーバー 31すなわち、化学物質吸着剤が設置される。これにより、上述したような 水分や汚染物質がレチクルケース 2内に入り込んでも、あるいはレチクルケース 2内 部から微量にアウトガスが出ても、レチクル 1にとつて問題となる化学物質等は速やか にケミカルァブソーバー 31によって吸収され、レチクル 1へ及ぼす影響を極力減じる ことが可能となる。さらに、本実施形態においては、ケミカルァブソーバー 31を蓋体 4 の側面 1箇所に設けている力 蓋体 4の各面に設置しても良いし、本体 3底面や蓋体 4上面に設けても Therefore, in the present invention, as shown in FIG. 8, the chemical absorber 31, that is, the chemical substance adsorbent is installed inside the reticle case 2. As a result, even if moisture or contaminants such as those mentioned above enter the reticle case 2 or if a small amount of outgas comes out from the inside of the reticle case 2, the chemical substances that cause problems with the reticle 1 will be quickly It is absorbed by the absorber 31 and the influence on the reticle 1 can be reduced as much as possible. Furthermore, in the present embodiment, the chemical absorber 31 may be installed on each surface of the force lid 4 provided on one side of the lid 4 or on the bottom surface of the main body 3 or on the top surface of the lid 4. Even
良い。 1箇所に限らず複数の箇所に設置しても良い。より好適には、レチクルケース 2 内  good. You may install in not only one place but several places. More preferably, in the reticle case 2
のレチクルに直接接触しない場所、あるいはレチクルを配置したり取り出したりする時 に障害にならない場所などに配置することが望ましい。 1対の呼吸弁 93 (93— 1およ び 93— 2)が互いに対向する蓋体側面 16 (16— 1および 16— 2)に設置されている 場合には、ケミカルァブソーバー 31は呼吸弁が配置されていない蓋体側面 16に配 置することが、スペース上でも効果の面においても好適である。また、蓋体 4の対角線 近傍位置付近に配置されるとさらに好適である。  It is desirable to place it in a place where it does not come into direct contact with the reticle, or in a place where it does not become an obstacle when placing or removing the reticle. If a pair of breathing valves 93 (93-1 and 93-2) are installed on the opposite sides 16 (16-1 and 16-2), the chemical absorber 31 will breathe. Arrangement on the side surface 16 of the lid where no valve is arranged is preferable in terms of space and effect. Further, it is more preferable that the lid 4 is arranged in the vicinity of the position near the diagonal line.
[0063] 尚、図 1、図 3〜図 6においては、レチクルケース 2内部の様子が分るように、呼吸弁 93およびケミカルァブソーバー 31を配置して示している。これらの働きは上述した内 容と同様である。 In FIG. 1 and FIGS. 3 to 6, the breathing valve 93 and the chemical absorber 31 are shown so that the state inside the reticle case 2 can be seen. These functions are the same as described above.
[0064] 図 9は、貫通孔 98に取付けられた呼吸弁 93を詳細に示す図である。呼吸弁 93は レチクルケース 2の蓋体側面 94から外側に張り出さないように形成される。  FIG. 9 is a diagram showing in detail the breathing valve 93 attached to the through hole 98. The breathing valve 93 is formed so as not to protrude outward from the lid side surface 94 of the reticle case 2.
[0065] 図 10は、図 9をさらに詳細に説明するために、呼吸弁 93を貫通孔 98と分離した状 態を示す図である。  FIG. 10 is a diagram showing a state in which the breathing valve 93 is separated from the through hole 98 in order to explain FIG. 9 in more detail.
[0066] 図 10(a)が呼吸弁取付け部 92を示す図であり、図 10(b)が呼吸弁 93を示す図であ る。呼吸弁取付け部 92は、蓋体側面 94の外側にははみ出さず、蓋体側面 94の内側 に形成される。すなわち、呼吸弁ガイド側面 95が蓋体側面 94に対して内側に筒状に 窪んでいて、さらに呼吸弁ガイド底面 96につながり、呼吸弁ガイド底面 96の中心付 近から呼吸弁ガイド嵌合筒部 97が外側に筒状に伸びている。呼吸弁ガイド嵌合筒部 97には貫通孔 98があり、蓋体 4の内側と外側とがつながっている。呼吸弁 93は、呼 吸弁嵌合筒部 99、フィルター本体部 100および呼吸弁開口筒部 101から構成される 。呼吸弁嵌合筒部 99は中空になっていて、また呼吸弁開口筒部 101も中空になって いる。フィルター本体部 100にはフィルター 102が入っている。フィルター 102がない 時には、呼吸弁嵌合筒部 99と呼吸弁開口筒部 101は中でつながつている。呼吸弁 嵌合筒部 99は、呼吸弁取付け部 92における呼吸弁ガイド嵌合筒部 97に嵌合できる ようになつている。呼吸弁取付け部 92に呼吸弁 93を取り付けた状態が図 9に示す図 である。呼吸弁取付け部 92に呼吸弁 93を取り付けても、図 9に示すように、呼吸弁 9 3は蓋体側面 94より外側にはみ出ないように設計され、組立てられる。すなわち、呼 吸弁 93の呼吸弁開口筒部 101の先端部は、蓋体側面 94より外側にはみ出なレ、。フ ィルター 102が入っていなければ、レチクルケースの内部は、貫通孔 98、フィルター 本体部 100および呼吸弁開口筒部 101を通じて、レチクルケースの外部と連通して いる。フィルター本体部 100にはフィルター 102が入っている。フィルター 102には、 メンブレンフィルターとケミカルフィルタ一とが含まれる。通常、フィルター 102は、ケミ カルフィルターを真ん中に挟んで両側にメンブレンフィルターで構成されたサンドイツ チ構造になっている。また、両方の機能を併せ持つフィルターでも良い。メンブレンフ ィルターは、たとえば多孔質フッ素樹脂で構成され、メンブレンフィルターを通過する 気体中の塵埃等を主に吸着ろ過する。ケミカルフィルタ一は化学吸着剤で主に構成 される。ケミカルフィルタ一は、ケミカルフィルターを通過する気体中の化学物質を主 に吸着ろ過する。化学物質には、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、硫化水素、酢酸、有機 酸、亜硫酸ガス、アルカリ性ガス、有機溶剤、オゾン、二酸化窒素、ホルムアルデヒド 、アンモニア等のガスも含む。化学吸着剤には、活性炭、多孔質セラミックス、多孔質 焼結金属、顆粒状物、不織物等がある。 FIG. 10 (a) is a diagram showing the breathing valve mounting portion 92, and FIG. 10 (b) is a diagram showing the breathing valve 93. The breathing valve mounting portion 92 does not protrude outside the lid side surface 94 and is formed inside the lid side surface 94. In other words, the breathing valve guide side surface 95 is inwardly cylindrical with respect to the lid side surface 94. It is hollow and is further connected to the breathing valve guide bottom surface 96, and the breathing valve guide fitting tube portion 97 extends outward from the vicinity of the center of the breathing valve guide bottom surface 96. The breathing valve guide fitting tube portion 97 has a through hole 98, and the inside and outside of the lid 4 are connected. The breathing valve 93 includes a breathing valve fitting tube portion 99, a filter main body portion 100, and a breathing valve opening tube portion 101. The breathing valve fitting tube portion 99 is hollow, and the breathing valve opening tube portion 101 is also hollow. The filter main body 100 includes a filter 102. When the filter 102 is not provided, the breathing valve fitting tube portion 99 and the breathing valve opening tube portion 101 are connected together. The breathing valve fitting tube portion 99 can be fitted into the breathing valve guide fitting tube portion 97 in the breathing valve mounting portion 92. FIG. 9 shows a state in which the breathing valve 93 is attached to the breathing valve attachment portion 92. FIG. Even if the breathing valve 93 is attached to the breathing valve attachment portion 92, the breathing valve 93 is designed and assembled so that it does not protrude beyond the lid side face 94, as shown in FIG. That is, the distal end portion of the breathing valve opening cylinder portion 101 of the exhalation valve 93 does not protrude beyond the lid side surface 94. If the filter 102 is not included, the inside of the reticle case communicates with the outside of the reticle case through the through hole 98, the filter main body 100, and the breathing valve opening cylinder 101. The filter main body 100 includes a filter 102. The filter 102 includes a membrane filter and a chemical filter. Normally, the filter 102 has a sandwich structure in which a chemical filter is sandwiched between the membrane filters on both sides. A filter having both functions may be used. The membrane filter is made of, for example, a porous fluororesin, and mainly adsorbs and filters dust in the gas passing through the membrane filter. A chemical filter is mainly composed of a chemical adsorbent. The chemical filter mainly absorbs and filters chemical substances in the gas that passes through the chemical filter. Chemical substances include hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, hydrogen sulfide, acetic acid, organic acids, sulfurous acid gas, alkaline gases, organic solvents, ozone, nitrogen dioxide, formaldehyde, ammonia, and other gases. Chemical adsorbents include activated carbon, porous ceramics, porous sintered metals, granules, and non-woven fabrics.
レチクル 1がレチクルケース本体 3に収納され、レチクルケース蓋体 4が本体 3に結 合した時に、呼吸弁 93を通してのみ、レチクルケース 2の内部と外部との気体の導通 が行われる。レチクルケース 2の外部から、気体が呼吸弁 93を通してレチクルケース 2の内部へ入り込む場合には、呼吸弁開口筒部 101の中空部分より入り、フィルター 100を When the reticle 1 is stored in the reticle case main body 3 and the reticle case lid 4 is coupled to the main body 3, gas conduction between the inside and outside of the reticle case 2 is performed only through the breathing valve 93. Gas from outside the reticle case 2 passes through the breathing valve 93 and the reticle case. When entering the inside of 2, enter the hollow part of the breathing valve opening tube 101 and insert the filter 100.
通り、貫通孔 98から気体が入っていく。この時、気体中の塵埃等はメンブレンフィルタ 一で除去される。また、気体中の化学物質はケミカルフィルターで除去される。従って 、レチクルケース 2の外部から入り込む気体が塵埃等や化学物質で汚染されていても 、レチクルケース 2内には塵埃等や化学物質のない常に清浄な気体が入り込むので 、レチクル 1が汚染されることはない。  The gas enters through the through hole 98. At this time, dust and the like in the gas are removed with a membrane filter. Also, chemical substances in the gas are removed with a chemical filter. Therefore, even if the gas entering from the outside of the reticle case 2 is contaminated with dust or chemical substances, the reticle case 2 is contaminated because clean gas without dust or chemical substances enters the reticle case 2 at all times. There is nothing.
[0068] レチクルケース 2に不活性ガスを導入する時には、呼吸弁 93の開口筒部 101にた とえば、気体ホースやチューブをつなぎ不活性ガス等を送り出す。  [0068] When the inert gas is introduced into the reticle case 2, for example, a gas hose or tube is connected to the opening cylinder 101 of the breathing valve 93 to send out the inert gas or the like.
[0069] 尚、フィルター 102は、塵埃等や化学物質をある程度吸着すると吸着能力が低下 するので、定期的に交換することが望ましい。また、呼吸弁 93もある程度汚れる可能 性もあるので、呼吸弁 93も定期的に取り外して洗浄することが望ましい。  [0069] It should be noted that it is desirable to replace the filter 102 periodically because the adsorption capacity is reduced when dust or other chemical substances are adsorbed to some extent. In addition, since the breathing valve 93 may become dirty to some extent, it is desirable to periodically remove and clean the breathing valve 93.
[0070] これまでに説明したように、本発明における呼吸弁 93はレチクルケース蓋体側面 1 6 (図 9および図 10においては、 94)の外側にはみ出ない構造となっている。従って、 蓋体側面 16は平坦な面となっているので、たとえ、レチクルケース本体 3および蓋体 4の結合部分の近傍に呼吸弁が存在したとしても、レチクルケース本体 3および蓋体 4の結合を確実に固定するためのスライド方式の固定スライダ 6を取り付けることが可 能となる。さらに、レチクルケース本体 3および蓋体 4の結合部分全体に、平坦性を保 ちながらなめらかにテーピングすることも可能となり、さらに結合を確実にし、気密性 を保持できる。また、蓋体側面 16の外側にはみ出さないため、他のものに接触するこ とがなくなり、呼吸弁 93が破損するなどの問題も発生しない。さらに、蓋体側面 16の 複数箇所に取付けることも容易である。本発明の実施形態においては、対面する蓋 体側面 16に 1対取付けた呼吸弁を示してきたが、蓋体側面 16の複数箇所に取付け ることも可能であり、上述したようにレチクルケース 2の内部のガス置換も極めて容易 となる。  [0070] As described above, the breathing valve 93 in the present invention has a structure that does not protrude outside the side surface 16 of the reticle case lid (94 in Figs. 9 and 10). Therefore, since the lid side surface 16 is a flat surface, even if there is a breathing valve in the vicinity of the coupling portion between the reticle case body 3 and the lid body 4, the coupling between the reticle case body 3 and the lid body 4 is performed. It is possible to attach a slide-type fixed slider 6 for securely fixing. Furthermore, it is possible to tap smoothly on the entire connecting portion of the reticle case main body 3 and the lid body 4 while maintaining flatness, further ensuring the bonding and maintaining the airtightness. Further, since it does not protrude outside the lid side surface 16, it does not come into contact with other objects, and problems such as breakage of the breathing valve 93 do not occur. Further, it can be easily attached to a plurality of locations on the side surface 16 of the lid. In the embodiment of the present invention, a pair of breathing valves attached to the facing lid side face 16 has been shown. However, it can be attached to a plurality of locations on the lid side face 16, and the reticle case 2 as described above. Gas replacement inside is also very easy.
[0071] 尚、本実施形態においては、蓋体側面 16に取付けている力 本体側面 23にも取り 付けることも可能である。さらに、蓋体上面 15や本体底面 11にも取り付けることもでき る。この場合でも蓋体上面 15や本体底面 11の平坦性は維持されているから、レチク ルケース 2を積み重ねることも可能である。 In the present embodiment, the force attached to the lid side surface 16 can also be attached to the main body side surface 23. Further, it can be attached to the upper surface 15 of the lid or the bottom surface 11 of the main body. Even in this case, the flatness of the top surface 15 of the lid and the bottom surface 11 of the main body is maintained. Le Case 2 can be stacked.
[0072] 尚、本発明は、ペリクルを装着したレチクルにも適用できることは、 自明である。すな わち、これまで示したレチクルがペリクルを装着していると考えれば良い。ペリクルの 目的は、レチクル上に直接付着する異物等をなくし、異物の転写を防止することであ る。ペリクルは、たとえばニトロセルロースに代表される透明薄膜からなり、アルミ合金 などの材料からなるペリクル枠を介してレチクルのパターン部を保護するように覆って レチクルに固定される。本発明を用いた場合、前述した多くの利点以外に、特に呼吸 弁の作用がペリクルを保護するという利点もある。前述した飛行機などによるレチクノレ (ここではペリクル付き）を保管したレチクルケースの運搬や台風通過時などによる気 圧の変化時に、呼吸弁がなければレチクルケースの内部と外部との気圧差によりペリ クルが変形する可能性があり、パターン欠陥や、ひどい時にはペリクルの破損も発生 する。しかし、本発明においては、呼吸弁によりレチクルケースの内部と外部との気圧 差は自動的に解消されるので、レチクルケースの内部と外部との気圧差はなくなり、 ペリクルの変形は生じなレ、。  It is obvious that the present invention can be applied to a reticle equipped with a pellicle. In other words, it can be considered that the reticle shown so far is equipped with a pellicle. The purpose of the pellicle is to eliminate foreign matter that adheres directly to the reticle and prevent transfer of foreign matter. The pellicle is made of a transparent thin film typified by nitrocellulose, for example, and is fixed to the reticle so as to protect the pattern portion of the reticle through a pellicle frame made of a material such as an aluminum alloy. When the present invention is used, in addition to the above-mentioned many advantages, there is also an advantage that the action of the respiratory valve particularly protects the pellicle. If the air pressure changes due to transportation of the reticle case storing the reticle (here with a pellicle) by an airplane, etc., or when a typhoon passes, the pressure difference between the inside and outside of the reticle case will occur due to the pressure difference between the inside and outside of the reticle case. There is a possibility of deformation, pattern defects and, in severe cases, damage to the pellicle. However, in the present invention, since the pressure difference between the inside and outside of the reticle case is automatically eliminated by the breathing valve, the pressure difference between the inside and outside of the reticle case is eliminated, and the pellicle is not deformed. .
[0073] また、これまで、レチクルケースについて詳細に説明してきた力 本発明は、フォト マスクを収納するフォトマスクケースにも適用できることは言うまでもない。  [0073] Further, the force that has been described in detail for the reticle case so far. It goes without saying that the present invention can also be applied to a photomask case that houses a photomask.
[0074] 次に、これまでの発明をさらに改良した関連発明について説明する。  [0074] Next, a related invention obtained by further improving the above invention will be described.
[0075] これまで説明してきた本発明は、レチクルケースの本体底面に透明窓を有している が、  [0075] The present invention described so far has a transparent window on the bottom surface of the main body of the reticle case.
蓋体上面には透明窓を有していない。これらの発明は、上述した課題を解決できる 力 以下の問題点を有している。  There is no transparent window on the top of the lid. These inventions have the following problems that can solve the above-mentioned problems.
[0076] レチクル上の本パターンや本パターン周辺部に記載されている情報（レチクル情報 )は、主にクロム等の金属系材料で形成されている。上述したように、パターン形成後 は、クロム形成面は通常本体底面を向いている。蓋体上面には透明部分は存在しな いので、上述した本発明である本体底面の透明窓を通して、レチクル上のクロム等で 形成されたパターンまたはパターン以外の部分の反射光を利用して、レチクル情報 を読取ることになる。形成されているパターンは主としてネガタイプのために、クロム等 で形成されたパターン以外の部分の面積が相対的に広くなる場合が多レ、。その場合 には、パターン以外の部分からの反射光がパターン部分 (情報部分)からの反射光 に対して著しく強くなり、読み取り誤差を生じやすくなる。 [0076] The main pattern on the reticle and information (reticle information) described in the periphery of the main pattern are mainly formed of a metal material such as chromium. As described above, after the pattern is formed, the chrome forming surface is usually directed to the bottom surface of the main body. Since there is no transparent portion on the top surface of the lid, the pattern formed by chrome on the reticle or the like other than the pattern is used through the transparent window on the bottom surface of the main body according to the present invention described above. Reticle information is read. Since the pattern that is formed is mainly of the negative type, the area of the part other than the pattern formed of chrome or the like is often relatively large. In that case In this case, the reflected light from the part other than the pattern is remarkably stronger than the reflected light from the pattern part (information part), and reading errors are likely to occur.
[0077] 肉眼で観察する時ばかりでなぐ拡大鏡や顕微鏡、或いは画像処理装置を用いた りする時にも、パターン部分およびそれ以外の部分における反射光の強度差によつ て、視認困難または誤認識する恐れもある。  [0077] When using a magnifying glass, a microscope, or an image processing apparatus that is used not only when observing with the naked eye, it is difficult to visually recognize or cause an error due to a difference in intensity of reflected light in the pattern portion and other portions. There is also the danger of recognizing.
[0078] このような問題点を改良するために、さらに本発明は、レチクルケース本体底面だ けでなぐレチクルケース蓋体上面にも所定の位置に透明窓を配置する。蓋体上面 の透明窓も本体底面に配置された透明窓と同様のこれまで説明した本発明を採用で きるので、帯電等の問題は発生しない。  In order to improve such a problem, the present invention further arranges a transparent window at a predetermined position on the upper surface of the reticle case lid not only on the bottom surface of the reticle case main body. Since the transparent window on the upper surface of the lid can employ the present invention described so far as the transparent window disposed on the bottom surface of the main body, problems such as charging do not occur.
[0079] 図 12は、本発明のレチクルケース 181内に配置しているレチクル 182に記されてい る情報を、透過光を用いて読取る場合の 1実施例を示す。レチクルケース 181にレチ クル 182が配置されている。理解しやすいように、リテーナ一等の付帯部品は示して いない。本体底面 183には透明窓 184力 また蓋体上面 185にも透明窓 186が付い ている。蓋体上面 185の上方にある光源 191から出た光力 投影レンズ 192を通り蓋 体上面透明窓 186を通ってレチクル 182へ照射される。光源としては、 LED (発光 ダイオード）、水銀ランプ、ハロゲンランプ、メタハラランプ、キセノンランプ等各種の波 長を有するものがある。さらに、紫外光、 X線、あるいは赤外線なども光源として用い ること力 Sできる。本実施例では、照明光学系とレチクル上の像を結像する結像光学系 を用いて、レチクル表面のパターンを観察する例を示した。レチクルの情報を得る方 法としては、レーザ光源からのコヒーレント光を用いてレチクル表面を走査し、レチク ルからの透過光強度を計測する走査光学系などの光学系等、これ以外の種々の光 学系を用いることができることは言うまでもなレ、。レチクル 182上にはクロムパターンに て、本パターンゃレチクル情報が記されている。レチクル上のクロムパターンが存在 する所については光が通らなレ、が、クロムパターンのない所（レチクルのガラス部分） については光が通過（透過）する。レチクル 182を通過した光は本体底面透明窓 184 を通って、さらに結像レンズ 193を通って受光器 194に入り、レチクル上のクロムパタ 一ンを受光器 194の受光素子（図示せず）上に結像する。レチクル 182を通過した光 は、レチクル 182上のパターン情報を獲得しており、この情報が受光器 194にもたら される。受光素子は、 CCD (電荷結合素子）、 PD (フォト'ダイオード）、リニアイメージ センサー、 PSD (位置検出素子）などであり、レチクル情報を読取ることができる。蓋体 上面透明窓 186の位置は、本体底面透明窓の位置に対応する位置に配置されてい るため、レチクルケース蓋体上面透明窓 186から入射した光力 レチクルを透過し、 レチクルケース本体底面透過窓 184から出ていくことができる。 FIG. 12 shows an example in the case of reading the information written on the reticle 182 arranged in the reticle case 181 of the present invention using transmitted light. Reticle 182 is arranged in reticle case 181. For ease of understanding, accessory parts such as retainers are not shown. A transparent window 184 force is provided on the bottom surface 183 of the main body, and a transparent window 186 is also provided on the upper surface 185 of the lid. The light force emitted from the light source 191 above the upper surface 185 of the lid body irradiates the reticle 182 through the projection lens 192, the transparent upper surface window 186 of the lid body. There are various light sources such as LEDs (light-emitting diodes), mercury lamps, halogen lamps, meta-harahal lamps, xenon lamps, and the like. In addition, ultraviolet light, X-rays, or infrared light can be used as a light source. In the present embodiment, an example in which a pattern on the reticle surface is observed using an illumination optical system and an imaging optical system that forms an image on the reticle has been shown. Reticle information can be obtained by scanning the reticle surface using coherent light from a laser light source and measuring various other light sources such as an optical system such as a scanning optical system that measures the intensity of transmitted light from the reticle. Needless to say, you can use the academic system. On the reticle 182, the reticle information is written in a chrome pattern. Where there is a chrome pattern on the reticle, light cannot pass through, but where there is no chrome pattern (the glass part of the reticle), light passes (transmits). The light that has passed through the reticle 182 passes through the transparent bottom window 184 of the main body, passes through the imaging lens 193, enters the light receiver 194, and the chrome pattern on the reticle is placed on the light receiving element (not shown) of the light receiver 194. Form an image. The light that has passed through reticle 182 has acquired pattern information on reticle 182, and this information is provided to receiver 194. Is done. The light receiving elements are CCD (charge coupled device), PD (photo diode), linear image sensor, PSD (position detecting element), etc., and can read reticle information. Since the position of the transparent upper surface window 186 of the lid is arranged at a position corresponding to the position of the transparent window on the bottom surface of the main body, the light power incident from the transparent upper surface of the reticle case lid 186 is transmitted through the reticle, and the bottom surface of the reticle case is transmitted You can exit through window 184.
[0080] 尚、図 12における場合と逆に、本体底面側から光を入射させ蓋体上面から光を透 過させることが可能であることは言うまでもなレ、。  [0080] Needless to say, contrary to the case of FIG. 12, it is possible to allow light to enter from the bottom surface side of the main body and to transmit light from the top surface of the lid.
[0081] さらに、肉眼または拡大鏡によってもレチクルケース内部のレチクル上におけるレチ クル情報を透過光により読取ることもできる。  Furthermore, reticle information on the reticle inside the reticle case can also be read with transmitted light using the naked eye or a magnifying glass.
[0082] 透過光の場合は、クロムパターンによる反射光の影響を受けないため、レチクル上 のレチクル情報を確実に読取ることができる。すなわち、レチクルケースにおける本 体底面および蓋体上面のそれぞれ対応する位置に透明窓を設けるという本発明のレ チクルケースを用いることにより、すべての透過光学系を用いてレチクルケース内に 保持しているレチクル情報を収集することができる。  In the case of transmitted light, the reticle information on the reticle can be reliably read because it is not affected by the reflected light from the chrome pattern. That is, by using the reticle case of the present invention in which transparent windows are provided at positions corresponding to the bottom surface and the top surface of the lid body in the reticle case, all the transmission optical systems are used to hold the reticle case in the reticle case. Reticle information can be collected.
[0083] 図 13は、本発明の透明窓を有する第 5の実施形態を示すレチクルケースである。  FIG. 13 is a reticle case showing a fifth embodiment having a transparent window of the present invention.
図 13に示すレチクルケース 202は、レチクル 201が支持体（下側リテーナー 217およ び上側リテーナー 218)に支持されて、（レチクルケース）本体および（レチクルケース )蓋体 203が結合している状態、すなわちレチクル 201がレチクルケース 202に収納 された状態で示されている。図 13(a)は、蓋体 203の上側から見た図（内部を透 視して見た図）である。図 13(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）であ る。図 1〜図 3において示した実施形態 1と同様の構造をしている。すなわち、本実施 形態においては、図 13に示されるように、 4つの分離した透明窓 213 (213—：！〜 21 3— 4)を蓋体上面 215に有している。これらの透明窓 213は、略四角形形状のレチク ノレ 201の 4端辺 205 (図 14に示す 205 - 1-205 -4)近傍を外部から観察できる程 度の大きさを有する透明窓である。通常、レチクルの内容等を表す情報は、レチクノレ 表面に形成された回路等を有する本パターンの外側に記されている。つまり、レチク ルの内容等を表す情報（レチクル情報）は、レチクルの 4端辺 205近傍に記されてい る。上記レチクル情報とは、たとえば、形成されているパターンのデバイス名、層の種 類、寸法、製作日などである。従って、図 13に示すような 4端辺 205近傍を観察でき る透明窓があれば、レチクルの情報を正確に把握できる。 In the reticle case 202 shown in FIG. 13, the reticle 201 is supported by the support (the lower retainer 217 and the upper retainer 218), and the (reticle case) main body and the (reticle case) lid 203 are combined. That is, the reticle 201 is shown in a state of being accommodated in the reticle case 202. FIG. 13A is a view from the upper side of the lid 203 (a view seen through the inside). Fig. 13 (b) is a diagram seen from the side (viewed through the inside). The structure is the same as that of the first embodiment shown in FIGS. That is, in the present embodiment, as shown in FIG. 13, four separate transparent windows 213 (213— :! to 21 3-4) are provided on the upper surface 215 of the lid. These transparent windows 213 are transparent windows having such a size that the vicinity of the four end sides 205 (205-1-205-4 shown in FIG. 14) of the substantially rectangular shaped reticle 201 can be observed from the outside. Normally, information representing the contents of the reticle is written outside this pattern having a circuit formed on the surface of the reticle. In other words, information representing the contents of the reticle (reticle information) is written in the vicinity of the four edges 205 of the reticle. The reticle information includes, for example, the device name of the pattern being formed and the type of layer. Class, size, date of production, etc. Therefore, if there is a transparent window capable of observing the vicinity of the four end sides 205 as shown in FIG. 13, the reticle information can be accurately grasped.
[0084] 透明窓 213の外側 (周囲）は非帯電性材料で形成されている。この部分を蓋体非 帯電性部分 214と記す。すなわち、透明窓以外の蓋体上面領域および上面と直接 つながる（蓋体)側面 216は、非帯電性材料で形成されている。 4つの透明窓 213は 各々独立していて、非帯電性材料に囲まれている。また、すべての非帯電性材料は 、蓋体の中で連続している。すなわちつながつていて、等電位になっている。従って 、蓋体の非帯電領域が外部に電気的に接地されていれば (たとえば、大地等に接地 した導電体シートなどの上にレチクルケースが置かれていれば）蓋体の非帯電性領 域部分 (蓋体上面の非帯電性部分 214および非帯電性材料で形成されている蓋体 側面 216を含む領域)で静電気が発生したとしても、蓋体の非帯電性領域部分と結 合 (接合）している本体および導電体シートの接地を通じて、静電気は大地へ流れ、 蓋体 203が帯電することはない。これにより、ゴミゃ異物等が静電的にレチクルケース へ付着することもなぐレチクルケース 202の内部は、極めてクリーンな状態を保持す ること力 Sできる。 [0084] The outside (periphery) of the transparent window 213 is formed of a non-chargeable material. This portion is referred to as a lid non-chargeable portion 214. That is, the lid upper surface region other than the transparent window and the side surface 216 directly connected to the upper surface (lid body) 216 are formed of a non-chargeable material. The four transparent windows 213 are independent of each other and are surrounded by a non-chargeable material. Also, all non-chargeable materials are continuous in the lid. That is, they are connected and are equipotential. Therefore, if the non-charged area of the lid is electrically grounded to the outside (for example, if the reticle case is placed on a conductive sheet or the like grounded to the ground), the non-chargeable area of the lid is Even if static electricity is generated in the region (the region including the non-chargeable portion 214 on the top surface of the lid and the side surface 216 formed of a non-chargeable material), it binds to the non-chargeable region portion of the lid ( Static electricity flows to the ground through the grounding of the main body and the conductive sheet that are joined together, and the lid 203 is not charged. As a result, the inside of the reticle case 202 where dust and other foreign matters do not adhere to the reticle case electrostatically can be maintained in a very clean state.
[0085] 図 14は、図 13におけるレチクルケース 202のうちの蓋体 203だけを示す図である。  FIG. 14 is a diagram showing only lid 203 in reticle case 202 in FIG.
図 14(a)は、蓋体を上方向から見た平面図（内部を透視して見た図）である。図 1 4(b)は、蓋体を横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。非帯電性材料は 般に透明性が低いが、図 14においては、図 13と同様に内部を透視して描いている。 また、レチクル 201が配置される状態が分るように、レチクル 201も蓋体 203に配置し ている。レチクノレ 201は、上側リテーナー 218の所定位置に配置され、蓋体側面 216 の下端 224の上側に位置している。  FIG. 14 (a) is a plan view (viewed through the inside) of the lid viewed from above. Fig. 14 (b) is a diagram of the lid viewed from the side (viewed through the inside). The non-chargeable material is generally low in transparency, but in FIG. 14, it is drawn through the inside as in FIG. Further, the reticle 201 is also arranged on the lid 203 so that the state where the reticle 201 is arranged can be seen. The reticulometer 201 is disposed at a predetermined position of the upper retainer 218 and is positioned above the lower end 224 of the lid side surface 216.
[0086] 蓋体上面 215は、蓋体透明窓 213 (213—：！〜 213— 4)と非帯電性部分 214とか ら構成される。蓋体透明窓 213は蓋体底面 215全体から見れば、その面積の占める 害 IJ合は小さレ、。従って、蓋体透明窓 213の導電性が低いために蓋体透明窓 213が 帯電したとしても、全体に占める割合は小さくゴミゃ異物を吸着する量も極めて少な レ、。また蓋体透明窓 213の周りは、非帯電性部分 214によって取り囲まれているので 、非帯電性部分 214の近くにある蓋体透明窓 213の部分において静電気が発生し たとしても、静電気はすぐに非帯電性部分 214を通して放電される。 The lid upper surface 215 includes a lid transparent window 213 (213— :! to 213-4) and a non-chargeable portion 214. The cover transparent window 213 has a small damage IJ when the cover bottom 215 is viewed as a whole. Therefore, even if the lid transparent window 213 is charged due to the low conductivity of the lid transparent window 213, the proportion of the whole is small, and the amount of foreign matter adsorbed is extremely small. Since the lid transparent window 213 is surrounded by the non-chargeable portion 214, Even if static electricity is generated in the portion of the lid transparent window 213 near the non-chargeable portion 214, the static electricity is immediately discharged through the non-chargeable portion 214.
[0087] 蓋体透明窓 213を通して、レチクルの上下のリテーナー（たとえば、図 13における 2 17、 218)による保持の様子ゃレチクルの位置をも確認可能なので、問題があれば、 手直しも可能となる。すなわち、充分に管理されたクリーンノレーム内で、レチクノレ 201 をレチクルケース 202から取り出し、レチクル 201の欠陥を再確認したりして、再度レ チクルケース 202へ収納することも可能となる。  [0087] Through the cover transparent window 213, the state of holding of the reticle by the upper and lower retainers (for example, 2 17 and 218 in FIG. 13) can be confirmed, and if there is a problem, it can be corrected. . That is, it is possible to take out the reticle 201 from the reticle case 202 in a well-managed clean nolem, recheck the reticle 201, and store it again in the reticle case 202.
[0088] 蓋体側面 216も非帯電性材料で構成されており、蓋体上面 215の非帯電性部分 2 14と連続してつながつている。従って、本体の非帯電領域部の一部が外部と接地し ていれば、蓋体も含めたレチクルケース全体は透明窓部分を除き帯電することはな レ、。  The lid side surface 216 is also made of a non-chargeable material, and is continuously connected to the non-chargeable portion 214 of the top surface 215 of the lid. Therefore, if a part of the non-charged area of the main body is grounded to the outside, the entire reticle case including the lid will not be charged except for the transparent window.
[0089] 図 13においては、レチクル 201の頂角をレチクルケース 202の 4側面の中心近傍 に配置して示している力 これに限られず、レチクル 201の頂角を四側面の中心から 離れた所に位置するように配置しても良いし、あるいは、レチクル端辺 205をレチクル ケース端辺に平行に配置しても良い。露光装置にレチクルケース 201をセットした時 に、レチクル 201を取り出しやすいようにレチクル 201をレチクルケース 202内に配置 するような構造とすることが、好適な配置方法となる。  In FIG. 13, the force shown by placing the apex angle of reticle 201 near the center of the four side surfaces of reticle case 202 is not limited to this, and the apex angle of reticle 201 is separated from the center of the four side surfaces. Alternatively, the reticle end side 205 may be arranged parallel to the reticle case end side. When the reticle case 201 is set in the exposure apparatus, a preferable arrangement method is such that the reticle 201 is arranged in the reticle case 202 so that the reticle 201 can be easily taken out.
[0090] 図 13および図 14に示す第 5の実施形態は、第 1〜第 4の実施形態と組み合わせる こと力 Sできる。レチクルケース本体にも図 1〜7に示したように、（本体底面)透明窓が 配置されている。いずれの組合せにおいても、本体底面透明窓 223は、蓋体上面透 明窓 214と位置的に対応している。たとえば、図 1〜3に示すものと同様の本体底面 透明窓（第 1の実施形態）である場合には、本体底面透明窓 223および蓋体上面透 明窓 214は、互いに対応する位置に同程度の形状を有する透明窓となる。また、図 4 〜図 6に示すものと同様の本体底面透明窓である場合 (第 2〜4の実施形態）には、 本体底面透明窓 223は、蓋体上面透明窓 214に対応する位置にあり、かつ蓋体上 面透明窓 214より広い範囲をカバーしている。  The fifth embodiment shown in FIGS. 13 and 14 can be combined with the first to fourth embodiments. As shown in Figs. 1-7, the reticle case body also has a transparent window (bottom of the body). In any combination, the main body bottom surface transparent window 223 corresponds in position to the lid top surface transparent window 214. For example, when the main body bottom transparent window (first embodiment) is the same as that shown in FIGS. 1 to 3, the main body bottom transparent window 223 and the lid upper surface transparent window 214 are the same as the corresponding positions. It becomes a transparent window having a shape of a degree. In addition, when the main body transparent bottom window is the same as that shown in FIGS. 4 to 6 (the second to fourth embodiments), the main main body transparent window 223 is located at a position corresponding to the lid upper transparent window 214. Yes, and covers a wider area than the transparent window 214 on the top of the lid.
[0091] 従って、たとえば、図 12に示すようなレチクル情報収集系を用いることにより、レチク ルケース内に保持しているレチクルの情報を透過光によって収集できる。もちろん、 上述したレチクルケース本体の透明窓を通して、反射光を用いてレチクル情報を収 集できることと同様に、レチクルケース蓋体の透明窓を通して、反射光を用いてレチク ル情報を収集できることは言うまでもない。 Therefore, for example, by using a reticle information collection system as shown in FIG. 12, information on the reticle held in the reticle case can be collected by transmitted light. of course, It goes without saying that the reticle information can be collected using the reflected light through the transparent window of the reticle case lid in the same manner that the reticle information can be collected through the transparent window of the reticle case body.
[0092] 図 15は、隣り合った透明窓が連続している場合の実施形態（第 6の実施形態）を示 す図である。図 15(a)は、蓋体の上側から見た図（内部を透視して見た図）である。図  FIG. 15 is a diagram showing an embodiment (sixth embodiment) in which adjacent transparent windows are continuous. FIG. 15 (a) is a view (a view seen through the inside) seen from the upper side of the lid. Figure
5(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図 13および図 14にお いて、頂角部分が配置される蓋体上面 215の部分にも透明窓 213が形成されること により、透明窓 213— 1および 213— 2、あるレ ま透明窓 213— 3および 213— 4力 S結 合している場合と考えることができる。レチクル 201における頂角部分のセット状態を 確認したい場合や、レチクル 201の頂角部分にレチクル情報が存在する場合に、本 実施形態を使うことができる。ただし、通常これら頂角近傍にレチクル情報が形成さ れることはないために、これらの頂角近傍に透明窓がないことは大きな問題になること は少ない。上記に加えて、このように透明窓の数が減少することによって、部品点数 が少なくなり、成形時の工数を削減することも可能となる。本実施形態においても、透 明窓 243 (243— 1、 243— 2)以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続して いて、非 FIG. 5 (b) is a diagram seen from the lateral direction (a diagram seen through the inside). 13 and 14, the transparent window 213 is also formed on the portion of the lid upper surface 215 where the apex portion is disposed, so that the transparent windows 213-1 and 213-2, or the transparent window 213 — 3 and 213— It can be considered that 4 forces are S-bonded. This embodiment can be used when it is desired to confirm the set state of the apex angle portion of the reticle 201 or when reticle information exists in the apex angle portion of the reticle 201. However, since reticle information is not usually formed in the vicinity of these apex angles, the absence of a transparent window in the vicinity of these apex angles is rarely a big problem. In addition to the above, by reducing the number of transparent windows in this way, the number of parts can be reduced and the number of man-hours for molding can be reduced. Also in this embodiment, the portions other than the transparent window 243 (243-1, 243-1) are non-chargeable materials, and the whole is continuous and non-chargeable.
帯電性部分 244において孤立した部分は存在しない。従って、非帯電性領域部に 静電気が帯電することはなぐゴミゃ異物等がレチクルケース 202に付着することはな レ、。  There is no isolated portion in the charged portion 244. Therefore, no foreign matter or the like adheres to the reticle case 202 as long as static electricity is not charged in the non-chargeable region.
[0093] 第 6の実施形態においても、レチクルケース本体にも（本体底面)透明窓 245が配 置されていて、図 1〜7における第 1〜第 4の実施形態と組み合わせることができる。 第 1の実施形態と組み合わせた時には、レチクル 201の頂角部分におけるレチクノレ 情報は透過光によって収集できないが、レチクル 4端辺近傍のレチクル情報を収集 可能である。第 2〜4の実施形態と組み合わせた場合には、レチクルの一部における 頂角近傍にある情報も収集可能となる。尚、上述したレチクルケース本体の透明窓を 通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体 の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもない。 [0094] 図 16は、透明窓がすべて連続している場合の実施形態（第 7の実施形態）である。 図 16(a)は、蓋体の上側から見た図（内部を透視して見た図）である。図 16(b)は、横 方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図 13における透明窓 213— 1、 21 3 - 2, 213— 3、および 213— 4がすべて結合している場合と考えることができる。す なわち、レチクルの 4頂角部分のうち、 3頂角部分にも透明窓が存在する。図 15にお ける実施形態に比べて、さらにもう一つ頂角部分を観察できる。また、レチクノレ 201に 、より多くの情報を載せることができるとともに、より的確にレチクル 201のレチクルケ ース内における設置状態を把握できる。さらにまた、部品点数を図 15に示した場合よ りもさらに削減することが可能となり、工数を減らすことができる。本実施形態におい ても、透明窓 253以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯 電性部分 254において孤立した部分は存在しなレ、。すなわち、透明窓 253の存在し ない部分を通して、非帯電性部分全体がつながつていて、従って、非帯電性領域部 に静電気が帯電することはなぐゴミゃ異物等がレチクルケースに付着することはな レ、。 [0093] Also in the sixth embodiment, a transparent window 245 (bottom of the main body) is also arranged on the reticle case main body, which can be combined with the first to fourth embodiments in Figs. When combined with the first embodiment, reticle information at the apex portion of the reticle 201 cannot be collected by transmitted light, but reticle information near the four edges of the reticle can be collected. When combined with the second to fourth embodiments, information in the vicinity of the apex angle of a part of the reticle can also be collected. Needless to say, the reticle information can be collected using the reflected light through the transparent window of the reticle case lid in the same manner as the reticle information can be collected using the reflected light through the transparent window of the reticle case body. FIG. 16 shows an embodiment (seventh embodiment) in which all the transparent windows are continuous. FIG. 16 (a) is a view as seen from the upper side of the lid (viewed through the inside). Fig. 16 (b) is a view from the side (view through the inside). It can be considered that transparent windows 213-1, 21 3-2, 213-3, and 213-4 in Fig. 13 are all connected. In other words, out of the 4 apex corners of the reticle, there are also transparent windows at the 3 apex corners. Compared with the embodiment in FIG. 15, one more apex angle portion can be observed. In addition, more information can be placed on the reticle 201, and the installation state of the reticle 201 in the reticle case can be grasped more accurately. Furthermore, the number of parts can be further reduced as compared with the case shown in FIG. 15, and man-hours can be reduced. Also in the present embodiment, the portions other than the transparent window 253 are non-chargeable materials, the whole is continuous, and there is no isolated portion in the non-charged portion 254. That is, the entire non-chargeable part is connected through the part where the transparent window 253 does not exist. Nah ...
[0095] 第 7の実施形態においても、レチクルケース本体にも（本体底面)透明窓 256が配 置されていて、図 1〜7における第 1〜第 4の実施形態と組み合わせることができる。 第 1の実施形態と組み合わせた時には、レチクル 201の頂角部分におけるレチクノレ 情報は透過光によって収集できなレ、が、レチクル 4端辺近傍のレチクル情報を収集 可能である。第 2の実施形態と組み合わせた時には、レチクルの一部における頂角 近傍にある情報も収集可能となる。さらに、第 3および第 4の実施形態と組み合わせ た場合には、第 7の実施形態における透明窓の形状に対応した透過光によるレチク ル情報を収集できる。尚、上述したレチクルケース本体の透明窓を通して反射光を用 レ、てレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体の透明窓を通して 反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもなレ、。  Also in the seventh embodiment, the reticle case main body (bottom of the main body) is provided with a transparent window 256, which can be combined with the first to fourth embodiments in FIGS. When combined with the first embodiment, the reticle information at the apex portion of the reticle 201 cannot be collected by transmitted light, but the reticle information near the four edges of the reticle can be collected. When combined with the second embodiment, information in the vicinity of the apex angle of a part of the reticle can also be collected. Further, when combined with the third and fourth embodiments, it is possible to collect reticle information by transmitted light corresponding to the shape of the transparent window in the seventh embodiment. Needless to say, the reticle information can be collected using the reflected light through the transparent window of the reticle case cover in the same manner as the reticle information can be collected through the transparent window of the reticle case body.
[0096] 図 17は、さらに別の実施形態（第 8の実施形態）を示す。図 17(a)は、蓋体の上側 力 見た図（内部を透視して見た図）である。図 17(b)は、横方向から見た図（内部を 透視して見た図）である。図 17に示すレチクルケース 202において、蓋体上面 262は 、レチクルの 4端辺部分および 4頂角部分およびレチクル表面も観察できるような 夂 の透明窓 263を有している。本実施形態においても、透明窓 263以外の部分は、非 帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分 264において孤立した部分 は存在しなレ、。このような透明窓 263の場合には、レチクル 201全体を観察できるの で、レチクル 201全体のレチクルケース内における設置状態を観察可能である。レチ クルケース 202にレチクル 201が収納された状態でも、レチクルパターンを観察でき るので、レチクルケース 202ヘレチクル 201を収納した状態のままでも、レチクルパタ ーン欠陥を検查できるという利点がある。すなわち、レチクル自体に全く影響を及ぼ す必要がないから、検查ゃ搬送などを通じて、レチクル 201にゴミゃ異物が付着する こともないし、外部環境から汚染されることもなレ、。但し、透明窓 263の領域がかなり 大きくなるの FIG. 17 shows still another embodiment (eighth embodiment). Fig. 17 (a) is a view of the upper side of the lid (viewed through the inside). Figure 17 (b) is a view from the side (viewed through the inside). In the reticle case 202 shown in FIG. 17, the lid upper surface 262 is such that the four edge portions, the four apex corner portions, and the reticle surface of the reticle can be observed. The transparent window 263 is provided. Also in this embodiment, the portions other than the transparent window 263 are non-chargeable materials, and the whole is continuous, and there is no isolated portion in the non-chargeable portion 264. In the case of such a transparent window 263, since the entire reticle 201 can be observed, the installation state of the entire reticle 201 in the reticle case can be observed. Since the reticle pattern can be observed even when the reticle 201 is stored in the reticle case 202, there is an advantage that a reticle pattern defect can be detected even when the reticle 201 is stored in the reticle case 202. In other words, since there is no need to affect the reticle itself, there is no possibility that foreign matter will adhere to the reticle 201 or be contaminated from the external environment through inspection and transport. However, the area of transparent window 263 becomes quite large
で、静電気が透明窓 263に発生して帯電した場合は、他の場合に比べて電荷が抜 けてなくなるまでの時間が長くなるという課題がある。し力 ながら、たとえば、室温で 湿度 50 %の条件下で透明部分に 1 OkVの電位を故意に付与した場合でも、約 1分で 電位がゼロとなるため実質的に大きな問題とならない。それでも、ある程度クリーン度 や帯電が発生しない場所など環境条件を考慮したプロセスで扱うことが望ましい。  Thus, when static electricity is generated in the transparent window 263 and is charged, there is a problem that the time until the charge is removed is longer than in other cases. However, for example, even when a potential of 1 OkV is intentionally applied to a transparent part under conditions of room temperature and 50% humidity, since the potential becomes zero in about 1 minute, there is no substantial problem. Nevertheless, it is desirable to handle in a process that considers environmental conditions such as cleanliness and a place where charging does not occur to some extent.
[0097] 第 8の実施形態においても、レチクルケース本体にも（本体底面)透明窓 266が配 置されていて、図 1〜7における第 1〜第 4の実施形態と組み合わせることができる。 第 1〜第 3の実施形態と組み合わせた時には、第 1〜第 3の実施形態における透明 窓の形状に対応した透過光によるレチクル情報を収集できる。第 4の実施形態と組み 合わせた時には、第 8 (または第 4)の実施形態における透明窓の形状に対応した透 過光によるレチクル情報を収集できる。尚、上述したレチクルケース本体の透明窓を 通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体 の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもない。  Also in the eighth embodiment, a transparent window 266 (the bottom surface of the main body) is arranged on the reticle case main body, and can be combined with the first to fourth embodiments in FIGS. When combined with the first to third embodiments, reticle information by transmitted light corresponding to the shape of the transparent window in the first to third embodiments can be collected. When combined with the fourth embodiment, reticle information by transmitted light corresponding to the shape of the transparent window in the eighth (or fourth) embodiment can be collected. Needless to say, the reticle information can be collected using the reflected light through the transparent window of the reticle case lid in the same manner as the reticle information can be collected using the reflected light through the transparent window of the reticle case body.
[0098] 尚、このように透明窓 263の面積が大きくなる場合においても、 IT〇膜、酸化亜鉛 系等の透明導電体膜、またはカーボンナノチューブなどの導電性高分子膜を透明窓 表面に形成したり、あるいは透明窓の表面に透明性を損なわない程度に軽くドーピ ングしたりすることにより、透明窓の非帯電性を増加させることもできる。この結果、透 明窓にも静電気を帯電させにくくすることも可能となる。 [0099] 蓋体上面においても、蓋体透明窓と蓋体非帯電部との接合状態は、図 7で示す本 体底面における場合と同様で、蓋体透明窓は蓋体非帯電性部分に嵌合して密着し ている。また、蓋体透明窓の材料も、本体底面で用いた透明窓の材料と同様である。 すなわち、蓋体透明窓は、透明度の大きな材料であり、たとえば、ポリカーボネート樹 脂、環状ォレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレ ン樹脂等の高分子材料である。あるいはこれらの高分子材料をブレンドしたものでも 良い。尚、本発明における「透明」とは、可視光領域において平均して 50%以上の光 透過率を有し、ヘイズ値が約 30%以下のものをいう。上記高分子材料はこの透明性 の条件を充分に満足する。一般に上記材料は絶縁体材料でありその表面固有抵抗 は 10" Ω以上である。また非帯電性材料として、カーボンファイバー、カーボンバウ ダー、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料の少なくとも 1つを含む上 記高分子材料等がある。カーボンファイバー、カーボンパウダー、金属微粒子や導 電性ナノチューブ等の導電体材料を含む上記高分子材料等は導電性を向上させ電 荷の帯電を防止したものであるが、一般に透明性は低下し半透明もしくは不透明とな り、内部は見えにくいか見えない状態になる。 10" Ω以下の表面固有抵抗があれば 帯電しにくいと言われている力 lOOnm以下の異物の吸着を問題にする LSIプロセ スにおいては、さらに抵抗を下げる必要があり、カーボンファイバー、カーボンパウダ 一や金属微粒子等の導電体材料を好適に含む必要がある。その場合においては、 さらに透明性が低下する。従って、帯電性を防止しかつ内部を観察可能とするところ に、本発明の意義がある。カーボンファイバーを含むポリカーボネートは、非帯電性 材料としてより好適な材料である。導電性ナノチューブとしては、カーボンナノチュー ブ、シリコンナノチューブやゲルマニウムナノチューブ等を用いることができる。特に、 環径 40〜80nmのカーボンナノチューブは導電率が高ぐポリカーボネートや環状ォ レフインなどの母材に約 5%以下、典型的には約 2〜3%混合'分散することによって 約 108 Ωの表面固有抵抗を得ることが可能となる。 [0098] Even when the area of the transparent window 263 is increased as described above, a transparent conductive film such as an ITO film, a zinc oxide-based film, or a conductive polymer film such as a carbon nanotube is formed on the surface of the transparent window. Or by doping lightly on the surface of the transparent window so as not to impair the transparency, the non-chargeability of the transparent window can be increased. As a result, it is possible to make it difficult to charge static electricity to the transparent window. [0099] Also on the top surface of the lid, the joining state of the lid transparent window and the lid non-charged portion is the same as that on the bottom surface of the main body shown in Fig. 7, and the lid transparent window is placed on the lid non-chargeable portion. Mated and in close contact. The material of the lid transparent window is the same as the material of the transparent window used on the bottom surface of the main body. In other words, the lid transparent window is a material with high transparency, for example, a polymer material such as polycarbonate resin, cyclic olefin resin, polyethylene resin, polyethylene terephthalate resin, or styrene resin. Alternatively, a blend of these polymer materials may be used. In the present invention, the term “transparent” means that having an average light transmittance of 50% or more in the visible light region and a haze value of about 30% or less. The above polymer material sufficiently satisfies this transparency condition. In general, the above material is an insulator material and has a surface resistivity of 10 "Ω or more. Further, as an uncharged material, at least one of conductor materials such as carbon fiber, carbon boundary, metal fine particles, and conductive nanotubes is used. The above polymer materials including conductive materials such as carbon fiber, carbon powder, metal fine particles and conductive nanotubes have improved conductivity and prevent charge charging. However, in general, the transparency is lowered and it becomes translucent or opaque, and the inside becomes difficult to see or invisible. The surface resistance of 10 "Ω or less is said to be difficult to be charged lOOnm In the LSI process where adsorption of the following foreign matter is a problem, it is necessary to further reduce the resistance, and conductive properties such as carbon fiber, carbon powder, and metal particles are required. It should suitably comprise a material. In that case, the transparency is further reduced. Therefore, the present invention is significant in that the charging property is prevented and the inside can be observed. Polycarbonate containing carbon fibers is a more suitable material as a non-chargeable material. As the conductive nanotube, a carbon nanotube, a silicon nanotube, a germanium nanotube, or the like can be used. In particular, carbon nanotubes with a ring diameter of 40 to 80 nm are about 10 8 Ω by being mixed and dispersed in a base material such as polycarbonate or cyclic olefin having a high conductivity of about 5% or less, typically about 2 to 3%. It is possible to obtain the surface specific resistance.
[0100] このような材料の接合は、たとえばインサート成形により達成可能である。また、熱 圧着や超音波圧着を用いて接着する方法もある。以上のような方法を用いて、密着 させたものは、その接合部において充分な気密性が確保されていて、接合も完璧に 行われるので、信頼性の高いレチクルケースを製造できる。尚、透明窓としてガラスを 用いることも可能 [0100] Joining of such materials can be achieved, for example, by insert molding. There is also a method of bonding using thermocompression bonding or ultrasonic pressure bonding. For those that are brought into close contact with each other using the method described above, sufficient airtightness is secured at the joints, and the joints are perfect. As a result, a highly reliable reticle case can be manufactured. Glass can also be used as a transparent window
である。  It is.
[0101] 尚、本体底面に透明窓を設けることに関してこれまで説明してきたことであって、蓋 体上面に透明窓を設ける場合について説明していない事項については、お互いに 矛盾しない限り、蓋体上面に透明窓を設ける場合についても適用できることは言うま でもない。  [0101] It should be noted that, as far as there is no contradiction with respect to matters that have been described so far regarding the provision of a transparent window on the bottom surface of the main body, Needless to say, this can also be applied to the case where a transparent window is provided on the upper surface.
[0102] また、透過光を用いた時には、本体底面における透明窓と蓋体上面における透明 窓との両者を透過する光により、レチクル情報を収集可能であることも言うまでもない 。従って、本体底面における透明窓と蓋体上面における透明窓との位置および形状 は、必ずしも同一である必要はないが、最低限所望のレチクル情報を収集できる程 度に共通してレ、る必要があることも言うまでもなレ、。  [0102] Needless to say, when transmitted light is used, reticle information can be collected by light transmitted through both the transparent window on the bottom surface of the main body and the transparent window on the top surface of the lid. Therefore, the position and shape of the transparent window on the bottom surface of the main body and the transparent window on the top surface of the lid body do not necessarily have to be the same, but they need to be shared in such a way that at least the desired reticle information can be collected. Needless to say that there is.
産業上の利用可能性  Industrial applicability
[0103] 本発明は、半導体プロセス等におけるレチクルまたはフォトマスク処理工程におい て、利用することができる。特に、レチクルまたはフォトマスクを用いる半導体産業に おいて、利用することができる。 The present invention can be used in a reticle or photomask processing step in a semiconductor process or the like. In particular, it can be used in the semiconductor industry using a reticle or photomask.
図面の簡単な説明  Brief Description of Drawings
[0104] [図 1]図 1は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 1の実施形態を示す 図である。  FIG. 1 is a view showing a first embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 2]図 2は、第 1の実施形態であるレチクルケースの本体を示す図である。  FIG. 2 is a view showing a main body of a reticle case according to the first embodiment.
[図 3]図 3は、第 1の実施形態であるレチクルケースの蓋体を示す図である。  FIG. 3 is a view showing a lid of a reticle case according to the first embodiment.
[図 4]図 4は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 2の実施形態を示す 図である。  FIG. 4 is a view showing a second embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 5]図 5は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 3の実施形態を示す 図である。  FIG. 5 is a view showing a third embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 6]図 6は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 4の実施形態を示す 図である。  FIG. 6 is a view showing a fourth embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 7]図 7は、透明窓と非帯電部との接合状態を示す図である。 [図 8]図 8は、呼吸弁およびケミカルァブソーバーの働きを示す図である。 [FIG. 7] FIG. 7 is a diagram showing a joined state between a transparent window and an uncharged portion. [FIG. 8] FIG. 8 is a diagram showing the functions of a breathing valve and a chemical absorber.
[図 9]図 9は、貫通孔に取付けられた呼吸弁を示す図である。  FIG. 9 is a view showing a breathing valve attached to a through hole.
[図 10]図 10は、呼吸弁取付け部および呼吸弁を示す図である。  FIG. 10 is a view showing a breathing valve mounting portion and a breathing valve.
[図 11]図 11は、レチクルのパターン面を模式的に示した図である。  FIG. 11 is a diagram schematically showing a pattern surface of a reticle.
[図 12]図 12は、本発明のレチクルケース内に配置しているレチクルに記されている情 報を、透過光を用いて読取る場合の 1実施例を示す  [FIG. 12] FIG. 12 shows an embodiment in which information recorded on a reticle arranged in the reticle case of the present invention is read using transmitted light.
[図 13]図 13は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 5の実施形態を示 す図である。  FIG. 13 is a view showing a fifth embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 14]図 14は、第 5の実施形態であるレチクルケースの蓋体を示す図である。  FIG. 14 is a view showing a lid of a reticle case according to a fifth embodiment.
[図 15]図 15は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 6の実施形態を示 す図である。  FIG. 15 is a view showing a sixth embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 16]図 16は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 7の実施形態を示 す図である。  FIG. 16 is a view showing a seventh embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
[図 17]図 17は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第 8の実施形態を示 す図である。  FIG. 17 is a view showing an eighth embodiment of a reticle case having a transparent window according to the present invention.
符号の説明 Explanation of symbols
1 · · ·レチクノレ、 2 · · ·レチクルケース、 3··· (レチクルケース）本体、 1 ··· Reticle, 2 ··· Reticle case, 3 ··· (Reticle case) body,
4··· (レチクルケース）蓋体、 5···レチクル端辺、 6···固定スライダ、  4 (Reticle case) Lid, 5 Edge of reticle, 6 Fixed slider,
11···本体底面、 13···透明窓、 14···非帯電性部分、  11 ··· Main body bottom, 13 ··· Transparent window, 14 ······
15···蓋体上面、 16···蓋体側面、 17···下側リテーナ一、  15 ··· Upper surface of the lid, 16 ··· Side of the lid, 17 ··· Lower retainer,
18· ··上側リテーナ一、 19·· 'シール材、 20· ··シール溝、  18 ··· Upper retainer 19 · 'Seal material 20 · · · Seal groove,
21· ··シール壁、 22· ·シール材凸片、 23· ·本体側面、 24· ·蓋体側面下端、 21 ··· Sealing wall, 22 · · Sealing material convex piece, 23 · · Body side, 24 · · Lower end of lid side surface,
25·· '本体側面上端、 26··· (下側） U溝、 27··· (上側） U溝、 25 ·· “Upper side of body side, 26 ··· (lower side) U groove, 27 ··· (upper side) U groove,
28··隙間、 30··· (レチクルケース本体の）足、 31···ケミカルァブソーバー、 28 ··· Gap, 30 ········································
43· · ·透明窓、 44· · ·非帯電性部分、 51·· ·本体底面、 43 ··· Transparent window, 44 · · Uncharged part, 51 · · Bottom of the body,
53···透明窓、 54···非帯電性部分、 63···透明窓、  53 ... Transparent window, 54 ... Non-chargeable part, 63 ... Transparent window,
64···非帯電性部分、 92···呼吸弁取付け部、 93···呼吸弁、  64 ··· Uncharged part, 92 ··· Respiratory valve mounting portion, 93 ··· Respiratory valve,
94· · ·蓋体側面、 95· ··呼吸弁ガイド側面、 96· ··呼吸弁ガイド底面、 97···呼吸弁ガイド嵌合筒部、 98···貫通孔、 99···呼吸弁嵌合筒部、 94 ... side of lid, 95 ... side of breathing valve guide, 96 ... bottom of breathing valve guide, 97 ··· Breathing valve guide fitting tube, 98 ··· Through hole, 99 ··· Breathing valve fitting tube,
100···フィルター本体部、 101···呼吸弁開口筒部、 102···フィルター 110···レ チクル、 111···本パターン、  100 ·····························································································································
111〜115···周辺スペース部分、 116〜： 119···頂角スペース部分、  111 to 115 ··· Peripheral space portion, 116 to: 119 ··· Vertical space portion,
181···レチクルケース、 182···レチクル、 183···本体底面、  181 ... Reticle case, 182 ... Reticle, 183 ...
184···本体底面透明窓、 185···蓋体上面、 186···蓋体上面透明窓、  184 ··· Transparent window on the bottom of the main unit, 185 ··· Upper surface of the lid, 186 ··· Transparent window on the upper surface of the lid,
191···光源、 192··投影レンズ、 193··結像レンズ、 194· ··受光器 201 ·· 'レチク ノレ、 202· ··レチクルケース、 203· ··レチクルケース蓋体、  191 ··· Light source, 192 · Projection lens, 193 · Imaging lens, 194 ··· Receiver 201 ··· Reticle, 202 ··· Reticle case, 203 ··· Reticle case lid,
205···レチクル端辺、 206···固定スライダ、 211···本体底面、  205 ··· reticle edge, 206 ··· fixed slider, 211 ··· bottom of body,
213···蓋体透明窓、 214···蓋体非帯電性部分、 215···蓋体上面、  213 ···················································································································
216···蓋体側面、 217···下側リテーナ一、 218···上側リテーナ一、  216 ··· Cover side, 217 ··· Lower retainer, 218 ··· Upper retainer,
219···シーノレ材、 220···シーノレ溝、 221··シーノレ壁、  219 ··· Sinole material, 220 ··· Sinore groove, 221 ·· Sinore wall,
223· · ·本体底面透明窓、 224· ··蓋体側面下端、  223 ··· Transparent window on the bottom of the main unit, 224 ··· Lower end of the side of the lid,
225· · '本体非帯電性部分、 226··· (下側) U溝、  225 'Main body non-chargeable part, 226 (Lower side) U groove,
227··· (上側） U溝、 228···隙間、 231···ケミカルァブソーバー、  227 (Upper side) U-groove, 228 ··· Gap, 231 ··· Chemical absorber
232· ··呼吸弁、 243· ··蓋体透明窓、 244· ··蓋体非帯電性部分、  232 ··· Breathing valve, 243 ··· Transparent lid window, 244 ··· Uncharged lid portion,
245···本体底面透明窓、 246··本体底面非帯電性部分、 251···蓋体上面、 245 ··· Transparent window on the bottom of the main unit, 246 · Non-chargeable part on the bottom of the main unit, 251 · · · Upper surface of the lid,
253· ··蓋体透明窓、 254· ··蓋体非帯電性部分、 255· · ·本体底面透明窓、·························································································· •
256···本体底面非帯電性部分、 257···本体底面、 262···蓋体上面、 256 ··· Uncharged part on the bottom of the main unit, 257 ··· Bottom of the main unit, 262 ··· Upper surface of the lid,
263· ··蓋体透明窓、 264· ··蓋体非帯電性部分、  263 ··· Transparent body of the lid, 264 ··· Uncharged part of the lid,
265· · ·本体底面非帯電性部分、 266· · ·本体底面透明窓、  265 ··· Uncharged part on bottom of main body, 266 · · Transparent window on bottom of main body,
271···置換時のガスの流れ、 272 ·· ·内部有機ガス吸収  271 ··· Gas flow during replacement, 272 · · · Internal organic gas absorption
273· ··蓋体内側、 274· ··蓋体外側  273 ... Inside the lid, 274 ... Outside the lid

Claims

請求の範囲 The scope of the claims
[1] 本体と、蓋体と、レチクルを支持するための支持体とからなる、レチクルを内部に収 納するためのレチクルケースにおいて、前記本体底面の少なくとも一部が透明窓で あることを特徴とするレチクルケース。  [1] In a reticle case for storing a reticle inside, comprising a main body, a lid, and a support for supporting the reticle, at least a part of the bottom surface of the main body is a transparent window Reticle case.
[2] 上記透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に記されている情報を把握す ることが可能な位置に存在することを特徴とする、請求項 1記載のレチクルケース。  [2] The reticle case according to [1], wherein the transparent window exists at a position where the information written on the periphery of the pattern on the reticle can be grasped.
[3] 上記透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に配置される 4箇所の周辺ス ペース部分のうち、少なくとも 1箇所の周辺スペース部分を把握することが可能な大き さであることを特徴とする、請求項 1または 2記載のレチクルケース。 [3] The transparent window is sized so that at least one peripheral space portion can be grasped among the four peripheral space portions arranged in the peripheral portion of the pattern on the reticle. The reticle case according to claim 1 or 2, characterized by the above.
[4] 上記透明窓は、上記レチクル全体を把握することが可能な大きさであることを特徴と する、請求項 1記載のレチクルケース。 [4] The reticle case according to claim 1, wherein the transparent window is sized so that the entire reticle can be grasped.
[5] 上記蓋体上面の少なくとも一部が透明窓であることを特徴とする、請求項 1〜4のい ずれかの項記載のレチクルケース。 [5] The reticle case according to any one of claims 1 to 4, wherein at least a part of the upper surface of the lid is a transparent window.
[6] 上記蓋体上面における透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に記されて レ、る情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする、請求項 5記載の レチクノレケース。 [6] The transparent window on the upper surface of the lid body is located at a position where the transparent information recorded on the periphery of the pattern on the reticle can be grasped. Reticunore case.
[7] 上記蓋体上面における透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に配置され る 4箇所の周辺スペース部分のうち、少なくとも 1箇所の周辺スペース部分を把握す ることが可能な大きさであることを特徴とする、請求項 5または 6記載のレチクルケース  [7] The transparent window on the upper surface of the lid is sized so that at least one peripheral space portion can be grasped among the four peripheral space portions arranged around the main pattern on the reticle. Reticle case according to claim 5 or 6, characterized in that
[8] 上記蓋体上面における透明窓は、上記レチクル全体を把握することが可能な大き さであることを特徴とする、請求項 5記載のレチクルケース。 8. The reticle case according to claim 5, wherein the transparent window on the upper surface of the lid is sized so that the entire reticle can be grasped.
[9] 上記本体底面および蓋体上面における透明窓は、上記本体底面および蓋体上面 における透明窓を用いて透過光により、上記レチクル上の本パターン周辺部に記さ れている情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする、請求項 5ま たは 6記載のレチク [9] The transparent window on the bottom surface of the main body and the top surface of the lid body should grasp the information written on the periphery of the pattern on the reticle by the transmitted light using the transparent windows on the bottom surface of the main body and the top surface of the lid body. The reticule according to claim 5 or 6, characterized in that
ノレケース。  Norecase.
[10] 上記本体底面および蓋体上面における透明窓は、上記本体底面および蓋体上面 における透明窓を用いて透過光により、上記レチクル上の本パターン周辺部に配置 される 4箇所の周辺スペース部分のうち、少なくとも 1箇所の周辺スペース部分を把握 することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項 5〜7のいずれかの項記載の レチクノレケース。 [10] The transparent windows on the bottom surface of the main body and the top surface of the lid body are formed on the bottom surface of the main body and the top surface of the lid body. The size is such that at least one peripheral space portion can be grasped among the four peripheral space portions arranged in the peripheral portion of the pattern on the reticle by the transmitted light using the transparent window in FIG. The reticulole case according to any one of claims 5 to 7, characterized by:
[11] 上記本体および蓋体における透明窓は、上記本体および蓋体における透明窓を 用いて透過光により、上記レチクル全体を把握することが可能な大きさであることを特 徴とする、請求項 5または 8記載のレチクルケース。  [11] The transparent window in the main body and the lid is sized so that the entire reticle can be grasped by transmitted light using the transparent window in the main body and the lid. Item 10. The reticle case according to item 5 or 8.
[12] 上記透明窓は、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、環状ォレフィン樹脂、ポリェチ レン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレン樹脂からなる高分子材料から選 択される少なくとも 1種類の高分子材料であることを特徴とする、請求項:!〜 11のいず れかの項記載のレチクノレケース。  [12] The transparent window is at least one polymer material selected from polymer materials made of acrylic resin, polycarbonate resin, cyclic olefin resin, polyethylene resin, polyethylene terephthalate resin, and styrene resin. Claim: A reticulative case as defined in any one of claims 11 to 11.
[13] 上記透明窓は、上記高分子材料の上に透明導電体膜を被覆したものであることを 特徴と  [13] The transparent window is characterized in that the polymer material is coated with a transparent conductor film.
する、請求項 1〜： 12のいずれかの項記載のレチクルケース。  The reticle case according to any one of claims 1 to 12.
[14] 上記透明窓以外の本体および蓋体は、各々連続して構成された非帯電性高分子 材料から形成されていることを特徴とする、請求項 1〜： 13のいずれかの項記載のレチ クルケース。 [14] The body according to any one of claims 1 to 13, wherein the main body and the lid other than the transparent window are each formed of a non-chargeable polymer material configured continuously. Reticle case.
[15] 上記非帯電性高分子材料は、カーボンファイバー、カーボンパウダー、金属微粒 子または導電性ナノチューブの少なくとも 1つを含む非帯電性高分子材料であること を特徴とする、請求項 14記載のレチクルケース。  [15] The non-chargeable polymer material according to claim 14, wherein the non-chargeable polymer material is a non-chargeable polymer material including at least one of carbon fiber, carbon powder, metal fine particles, or conductive nanotubes. Reticle case.
[16] 上記本体を上記蓋体で閉じた場合において、上記支持体は上記レチクルの 4頂角 近傍部分を線接触または点接触で上下から対向挟持して、上記レチクルを保持固定 することを特徴とする、請求項 1〜： 15のいずれかの項記載のレチクルケース。 [16] When the main body is closed by the lid body, the support body holds and fixes the reticle by sandwiching the vicinity of the four apex angles of the reticle from above and below by line contact or point contact. The reticle case according to any one of claims 1 to 15.
[17] 上記支持体における上記レチクルを挟持する保持部は、弾性構造となっていること を特徴とする、請求項 16記載のレチクルケース。 17. The reticle case according to claim 16, wherein the holding portion that holds the reticle in the support has an elastic structure.
[18] 上記弾性構造は、弾性高分子材料で形成されると同時に、裏面側に空隙を有し両 端を支持されてなるパネ構造であることを特徴とする、請求項 17記載のレチクルケ一 ス。 18. The reticle structure according to claim 17, wherein the elastic structure is a panel structure formed of an elastic polymer material and having a gap on the back side and supported at both ends. Su.
[19] 上記本体および蓋体の結合部は、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内部を外 界から気密に隔離してシールするためのガスケットを有していることを特徴とする、請 求項 1〜 18のいずれかの項記載のレチクルケース。 [19] The connecting portion of the main body and the lid body has a gasket for sealing the inside airtightly from the outside when the main body is closed by the lid body, A reticle case according to any one of claims 1 to 18.
[20] 上記本体および蓋体の結合部分において、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内 部を気密に隔離可能なように上記結合部分をテーピングにより被うために、上記結合 部分の上記本体および蓋体の両外側面に所定の幅を持った平面部を有していること を特徴とする、請求項 1〜： 19のいずれかの項記載のレチクルケース。  [20] In the joint portion of the main body and the lid, the joint portion is covered with the taping so that the inner portion can be hermetically isolated when the main body is closed with the lid. The reticle case according to any one of claims 1 to 19, wherein the outer side surfaces of the main body and the lid have flat portions having a predetermined width.
[21] 上記レチクルを上記レチクルケースに収納した場合において、上記レチクルは、上 記レチクルケース側面の中央部分に配置されるとともに、上記レチクルの底面は、上 記本体と上記蓋体との結合部分よりも上に位置していることを特徴とする、請求項 1 〜20のいずれかの項記載のレチクルケース。  [21] In the case where the reticle is stored in the reticle case, the reticle is disposed at a central portion of the side surface of the reticle case, and the bottom surface of the reticle is a connecting portion between the main body and the lid body. The reticle case according to any one of claims 1 to 20, characterized in that the reticle case is located above.
[22] 上記レチクルを上記レチクルケースに収納した場合において、上記レチクルを保持 固定している位置の近傍に、少なくとも複数の貫通孔が存在し、各々の貫通孔には ダストフィルターを介して環境中の微粒子を除去するための呼吸弁が取り付けられて レ、ることを特徴とする、請求項 1〜21のいずれかの項記載のレチクルケース。  [22] When the reticle is housed in the reticle case, there are at least a plurality of through holes in the vicinity of the position where the reticle is held and fixed, and each through hole is placed in the environment via a dust filter. The reticle case according to any one of claims 1 to 21, further comprising a respiration valve attached to remove the fine particles.
[23] 上記呼吸弁は、上記蓋体の相対する面に一対設置されていることを特徴とする、請 求項 22記載のレチクルケース。  [23] The reticle case according to claim 22, wherein the breathing valve is installed in a pair on opposite surfaces of the lid.
[24] 上記呼吸弁は、上記蓋体の対角線の近傍位置に設置されていることを特徴とする 、請求項 22または 23記載のレチクルケース。  24. The reticle case according to claim 22 or 23, wherein the breathing valve is installed at a position near a diagonal of the lid.
[25] 上記呼吸弁には、さらに所定の化学物質を吸着するケミカルフィルターを有してい ることを特徴とする、請求項 22〜24のいずれかの項記載のレチクルケース。  [25] The reticle case according to any one of claims 22 to 24, wherein the respiratory valve further includes a chemical filter that adsorbs a predetermined chemical substance.
[26] 上記呼吸弁は、上記蓋体の外側面よりも外側へ張り出していないことを特徴とする 、請求項 22〜25のいずれかの項記載のレチクルケース。  26. The reticle case according to any one of claims 22 to 25, wherein the breathing valve does not protrude outward from the outer surface of the lid.
[27] 上記蓋体の内面に、所定の化学物質を吸着する少なくとも 1つのケミカルァブソー バーが設置されていることを特徴とする、請求項 1〜26のいずれかの項記載のレチク ノレケ—ス。  [27] The reticle case according to any one of [1] to [26], wherein at least one chemical absorber that adsorbs a predetermined chemical substance is provided on the inner surface of the lid.
[28] 上記ケミカルァブソーバーは、上記呼吸弁が配置されている対角線とは異なる他の 対角線の近傍位置に設置されていることを特徴とする、請求項 27記載のレチクルケ ース。 [28] The reticle kettle according to claim 27, wherein the chemical absorber is installed at a position near another diagonal line different from the diagonal line on which the breathing valve is arranged. Source.
[29] 上記本体および蓋体の結合部分において、押さえ部が平行移動可能なスライド部 品で固定されることを特徴とする、請求項 1〜28のいずれかの項記載のレチクルケ一 ス。  [29] The reticle case according to any one of [1] to [28], wherein the holding portion is fixed by a slide component that can move in parallel at the joint portion of the main body and the lid.
[30] 上記スライド部品は、上記本体および蓋体の所定の位置に形成された V溝に嵌合 して固定可能なパネ構造を有してレ、ることを特徴とする、請求項 29記載のレチクルケ —ス。  30. The slide part according to claim 29, wherein the slide part has a panel structure that can be fixed by fitting into a V groove formed at a predetermined position of the main body and the lid. Reticle case
[31] 上記スライド部品は、スライドさせることにより、結合した上記本体および蓋体から取 り外しできるとともに、スライドさせることにより、上記本体および蓋体を結合させること ができるように、上記本体および蓋体の所定の位置に上記 V溝が形成されていること を特徴とする、請求項 29または 30記載のレチクルケース。  [31] The slide part can be removed from the joined body and lid by sliding, and the body and lid can be joined by sliding. The reticle case according to claim 29 or 30, wherein the V-groove is formed at a predetermined position of the body.
[32] 上記レチクルはペリクルを装着していることを特徴とする、請求項 1〜31のいずれか の項に記載のレチクルケース。  [32] The reticle case according to any one of [1] to [31], wherein the reticle is equipped with a pellicle.
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