WO2007125893A1 - 液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部のギャップ調整方法 - Google Patents
液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部のギャップ調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2007125893A1 WO2007125893A1 PCT/JP2007/058802 JP2007058802W WO2007125893A1 WO 2007125893 A1 WO2007125893 A1 WO 2007125893A1 JP 2007058802 W JP2007058802 W JP 2007058802W WO 2007125893 A1 WO2007125893 A1 WO 2007125893A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- unit
- droplet
- discharge
- ejection
- droplet discharge
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J25/00—Actions or mechanisms not otherwise provided for
- B41J25/304—Bodily-movable mechanisms for print heads or carriages movable towards or from paper surface
- B41J25/308—Bodily-movable mechanisms for print heads or carriages movable towards or from paper surface with print gap adjustment mechanisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1341—Filling or closing of cells
- G02F1/13415—Drop filling process
Definitions
- the present invention relates to a droplet coating apparatus for coating droplets on a substrate by an inkjet method or the like, a method for measuring a gap of a droplet discharge unit of the droplet coating apparatus, and a droplet of the droplet coating apparatus
- the present invention relates to a gap adjustment method for a discharge unit.
- JP-A-2003-84125 and JP-A-2003-127392 show the configuration of an apparatus equipped with an ink-jet droplet ejection element as a manufacturing apparatus for a liquid crystal display, an organic EL display, or the like.
- an inkjet head element having a width of 1Z2 to 2 inches in which nozzle holes are regularly arranged at intervals of 150 to 300 nozzles Z inches is usually provided for each color as an element for ejecting droplets.
- An image is formed by using a droplet discharge section as one inkjet head mounted several times.
- an image is formed on the recording paper by scanning the recording paper a plurality of times in a direction orthogonal to the conveyance direction of the recording paper while feeding the recording paper with a paper feed roller.
- the inkjet head element is the same as that for a general-purpose printer, and the size in the nozzle row direction is only about 1 to 2 inches at most.
- the gap of the droplet ejection section if the distance from the droplet ejection surface of the droplet ejection section to the surface of the target substrate (hereinafter referred to as the gap of the droplet ejection section) varies, the time from ejection to landing varies. Therefore, the landing position varies. Therefore, it is necessary to adjust the gaps of the droplet discharge portions so that all of the droplet discharge portions are substantially the same.
- the droplet discharge unit needs to be replaced due to damage to the droplet discharge surface or solid solid content, and the gap of the droplet discharge unit is adjusted each time the droplet discharge unit is replaced. Necessary.
- Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-31144 discloses a method using a length measuring device.
- the gap adjustment of the droplet discharge section is performed for a plurality of droplet discharge sections with one length measuring device.
- the droplet discharge section has one or a plurality of discharge elements and a housing for storing the discharge elements, and can be attached and removed in a lump.
- the gap of the droplet discharge portion is usually as narrow as about 0.5 mm. From the installation of the droplet discharge section to the completion of the adjustment of the gap of the droplet discharge section, it is necessary to release the lower force of the stage from the droplet discharge section.
- the procedure for adjusting the gap of the droplet discharge unit will be described. First, the length measuring device is moved below the droplet discharge unit, and the stage is moved below the droplet discharge unit. Then, the length measuring device is corrected. Thereafter, the stage is released from the lower force of the droplet discharge unit, and if there is an old droplet discharge unit, a new droplet discharge unit is attached and the gap of the liquid droplet discharge unit is adjusted.
- the length measuring device needs to be height-adjusted in a state under the droplet discharge unit. Force Since the replacement of the droplet discharge section needs to be performed at a place away from the fixed stage force, the height of the length measuring device cannot be corrected using the fixed stage.
- an object of the present invention is to obtain a gap between the discharge surface of the droplet discharge unit and the stage, which is related to the position of the stage, and to shorten the replacement time of the droplet discharge unit.
- the present invention provides a droplet coating apparatus that can be applied to a fixed stage, a method for measuring a gap of a droplet discharge portion of the droplet coating apparatus, and a method for adjusting a gap of a droplet discharge portion of the droplet coating apparatus. .
- a droplet coating apparatus of the present invention includes:
- a base having a mounting surface on which a substrate is mounted
- the beam part is attached to the base so as to face the placement surface and extend in one direction of the placement surface and to be movable relative to the base in the other direction of the placement surface.
- a plurality of droplet ejection units that are detachably attached to the beam unit and that eject droplets from the ejection surface onto the substrate;
- a reference portion having a known distance from the mounting surface, and provided in a portion of the beam portion near the discharge surface of each droplet discharge portion;
- a length measuring unit that measures a distance between each reference unit facing each of the reference units, and a discharge surface of the one droplet discharge unit measured by the length measuring unit and the length measuring unit. With The distance between the reference portion and the length measuring portion in the vicinity of the discharge surface of the one droplet discharge portion, and the known reference portion and the placement surface described above. And a calculation unit that calculates a gap between the ejection surface of the one droplet ejection unit and the placement surface described above.
- the beam application unit is provided at a site in the vicinity of the discharge surface of each of the droplet discharge units in the beam unit, and the distance from the mounting surface is known.
- the length measuring unit that measures the distance between the reference portion and the discharge surface of each droplet discharge portion and the distance between each reference portion, and the one liquid measured by the length measuring portion The distance between the ejection surface of the droplet ejection part and the length measuring part, the distance between the one reference part and the length measuring part, the known one reference part and the mounting surface described above
- a calculation unit that calculates a gap between the ejection surface of the one droplet ejection unit and the placement surface described above.
- the gap between the droplet discharge portions (that is, the distance between the discharge surface of the droplet discharge portion and the surface of the substrate) is the discharge surface of the droplet discharge portion and the placement surface described above. Since the thickness of the substrate is already known, the gap between the discharge surface of the droplet discharge portion and the mounting surface is as follows. If it is obtained, the gap of the droplet discharge part is obtained.
- the gap between the ejection surface of the droplet ejection unit and the placement surface can be obtained without moving the mounting surface as in the past, and the replacement of the droplet ejection unit can be performed. Time can be reduced. Further, when adjusting the gap between the discharge surface of the droplet discharge portion and the placement surface, the droplet discharge portion does not overlap the placement surface (the droplet discharge portion is Because it is located outside the placement surface), it is possible to safely adjust the height of the ejection surface of the droplet ejection section by preventing contact between the droplet ejection section and the placement surface. Even when the above-described mounting surface is fixed (that is, a fixed stage), the height of the discharge surface of the droplet discharge unit can be adjusted, and the apparatus can be made small and inexpensive.
- the discharge surface of each of the liquid droplet discharge units is moved closer to or away from the above described surface, and the discharge surface of each of the liquid droplet discharge units is described above. It has an adjustment part that adjusts the gap between the mounting surface.
- the discharge surface of each droplet discharge unit is moved closer to or away from the mounting surface, and the discharge surface of each droplet discharge unit described above. Since the adjustment unit that adjusts the gap between the placement surface and the placement surface is provided, the gap between the ejection surface of each droplet ejection unit and the placement surface can be reliably adjusted.
- the length measuring unit is not overlapped with the placement surface, and is positioned on the opposite side of the beam portion and the droplet discharge portion with respect to the placement surface. ing.
- the length measuring unit does not overlap the placement surface, and is positioned on the opposite side of the beam portion and the droplet discharge portion with respect to the placement surface. Therefore, the length measuring unit can be arranged in a wide space that is not in a narrow space between the mounting surface and the beam unit and the droplet discharge unit. Therefore, the length measuring section can be easily installed without difficulty.
- the beam unit has a beam unit main body and a slide mechanism that is attached to the beam unit main body and attaches the droplet discharge unit so as to be movable with respect to the beam unit main body.
- the reference portion is provided in the slide mechanism.
- the distance between the discharge surface of the droplet discharge portion and the reference portion is shortened.
- the relative error between the distance between the discharge surface of the droplet discharge portion and the length measuring portion and the distance between the reference portion and the length measuring portion can be reduced, and The gap between the discharge surface of the droplet discharge portion and the placement surface can be accurately calculated.
- the method for measuring the gap of the droplet discharge portion of the present invention includes:
- a base having a mounting surface on which a substrate is mounted
- the beam part is attached to the base so as to face the placement surface and extend in one direction of the placement surface and to be movable relative to the base in the other direction of the placement surface.
- a plurality of liquid droplet ejection units that are detachably attached to the beam unit and that eject liquid droplets from the ejection surface onto the substrate;
- a method for measuring a gap between the ejection surface of the droplet ejection section and the placement surface in the droplet coating apparatus comprising:
- a length measurement unit attached to the base so as to be movable with respect to the beam unit is opposed to the discharge surface of the one droplet discharge unit, and the discharge surface of the one droplet discharge unit Measuring the distance between
- the length measuring unit is provided in a portion of the beam unit in the vicinity of the ejection surface of each of the droplet ejection units, and the liquid of the one of the reference units having a known distance from the mounting surface is known.
- the distance between the ejection surface of the one droplet ejection unit measured by the length measuring unit and the length measuring unit, and the distance between the one reference unit and the length measuring unit are known. Calculating a gap between the discharge surface of the one droplet discharge unit and the placement surface from the distance between the certain one reference portion and the placement surface;
- the step of measuring the distance from the discharge surface of the one droplet discharge portion by the length measurement portion, and the length measurement portion Measuring the distance between the reference portion, the distance between the discharge surface of the one droplet discharge portion measured by the length measuring portion and the length measuring portion; and From the distance between the one reference part and the length measuring part and the known distance between the one reference part and the mounting surface, the calculation part causes the one droplet discharge part to And a step of calculating a gap between the ejection surface and the placement surface, so that the gap between the ejection surface of the one droplet ejection unit and the placement surface is related to the position of the placement surface. Can be calculated.
- the gap between the droplet discharge portions (that is, the distance between the discharge surface of the droplet discharge portion and the surface of the substrate) is between the discharge surface of the droplet discharge portion and the placement surface. And the thickness of the substrate. Since the thickness of the substrate is known, the gap between the discharge surface of the droplet discharge portion and the placement surface is If it is obtained, the gap of the droplet discharge part is obtained.
- the ejection surface of the droplet ejection unit without moving the mounting surface as in the prior art
- the gap with the mounting surface can be obtained, and the replacement time of the droplet discharge unit can be shortened.
- the droplet ejection section does not overlap the placement surface.
- the height of the discharge surface of the droplet discharge unit can be adjusted safely by preventing contact with the mounting surface. Even when the placement surface is fixed (that is, a fixed stage), the height of the discharge surface of the droplet discharge section can be adjusted, and the apparatus can be made small and inexpensive.
- the gap adjusting method of the droplet discharge portion of the present invention is
- a base having a mounting surface on which a substrate is mounted
- the beam part is attached to the base so as to face the placement surface and extend in one direction of the placement surface and to be movable relative to the base in the other direction of the placement surface.
- a plurality of liquid droplet ejection units that are detachably attached to the beam unit and that eject liquid droplets from the ejection surface onto the substrate;
- a method for adjusting the gap between the ejection surface of the droplet ejection section and the placement surface in the droplet coating apparatus comprising:
- a length measurement unit attached to the base so as to be movable with respect to the beam unit is opposed to the discharge surface of the one droplet discharge unit, and the discharge surface of the one droplet discharge unit Measuring the distance between
- the length measuring unit is provided in a portion of the beam unit in the vicinity of the ejection surface of each of the droplet ejection units, and the liquid of the one of the reference units having a known distance from the mounting surface is known.
- the distance between the ejection surface of the one droplet ejection unit measured by the length measuring unit and the length measuring unit, and the distance between the one reference unit and the length measuring unit are known.
- the ejection surface of the one droplet ejection unit is set to the above placement surface so that the gap between the ejection surface of the one droplet ejection unit calculated by the calculation unit and the placement surface is a predetermined amount.
- the step of moving the discharge surface of the one droplet discharge portion closer to or away from the placement surface as described above. Gap between the ejection surface and the mounting surface of the Nag the one droplet ejecting section related to the position of the mounting face can be calculated.
- the gap between the droplet discharge portions (that is, the distance between the discharge surface of the droplet discharge portion and the surface of the substrate) is the gap between the discharge surface of the droplet discharge portion and the mounting surface. Since the gap can be obtained from the gap and the thickness of the substrate, and the thickness of the substrate is known, the gap between the ejection surface of the droplet ejection section and the placement surface is obtained. Then, the gap of the droplet discharge unit is obtained.
- the gap between the ejection surface of the droplet ejection unit and the placement surface can be obtained without moving the mounting surface as in the prior art, and replacement of the droplet ejection unit can be performed. Time can be reduced.
- the droplet ejection section does not overlap the placement surface.
- the height of the discharge surface of the droplet discharge unit can be adjusted safely by preventing contact with the mounting surface. Even when the placement surface is fixed (that is, a fixed stage), the height of the discharge surface of the droplet discharge section can be adjusted, and the apparatus can be made small and inexpensive.
- the beam portion is provided in the vicinity of the discharge surface of each of the droplet discharge portions in the beam portion, and the distance from the mounting surface is known.
- the distance between the reference portion and the discharge surface of each droplet discharge portion, and the distance between each reference portion The distance measuring unit, the distance between the discharge surface of the one droplet discharge unit measured by the length measuring unit and the length measuring unit, and the one reference unit and the above From the distance between the measuring portion and the known distance between the one reference portion and the placement surface, the distance between the ejection surface of the one droplet ejection portion and the placement surface is And a calculation unit for calculating the gap.
- a step of approaching or separating the discharge surface of the one droplet discharge portion from the placement surface so as to be a predetermined amount The gap between the ejection surface of the droplet ejection unit and the placement surface above regardless of the position of the placement surface can be obtained, and the replacement time of the droplet ejection unit can be shortened.
- the surface is It can also be applied when fixed.
- FIG. 1A is a perspective view showing an embodiment of a droplet applying apparatus of the present invention.
- FIG. 1B is a plan view of a droplet applying apparatus.
- FIG. 2 is a CC cross-sectional view of FIG. 1A.
- FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line EE in FIG. 1B.
- FIG. 5 is a partial sectional view as seen from the Y direction in FIG. 1A.
- FIG. 6A is a partial cross-sectional view seen from the X direction in FIG. 1A.
- FIG. 6B is a cross-sectional view of the droplet discharge unit showing the adjustment unit.
- FIG. 7A is a bottom view of a droplet discharge unit.
- FIG. 7B is a bottom view of another droplet discharge unit.
- FIG. 8A is an operation explanatory diagram showing when the substrate processing is completed.
- FIG. 8B is an operation explanatory diagram showing when the substrate is unloaded.
- FIG. 8C is an operation explanatory diagram showing when the substrate is loaded.
- 9A is a side view of the non-ejection detection mechanism.
- 9B is a bottom view of the non-ejection detection mechanism.
- FIG. 10A is an operation explanatory view showing the alignment operation of the substrate.
- FIG. 10B is an operation explanatory diagram showing the alignment operation of the substrate.
- FIG. 11 is an enlarged bottom view of the imaging unit.
- FIG. 12 is a flowchart showing alignment operation.
- FIG. 13A is an explanatory diagram showing the field of view of the camera unit in the low magnification mode of the image pickup unit of one side.
- 13B An explanatory diagram showing the field of view of the camera unit in the low magnification mode of the other imaging unit.
- FIG. 14A] is an explanatory view showing the field of view of the camera unit in the high magnification mode of the image pickup unit.
- 14B An explanatory diagram showing the field of view of the camera unit in the high magnification mode of the other imaging unit.
- ⁇ 15A] is an operation explanatory diagram showing measurement of a droplet landing position by an observation power mela.
- ⁇ 15B] is an operation explanatory diagram showing measurement of a droplet landing position by an observation power mela.
- FIG. 16A In the operation of dripping droplets on the substrate, the arm moves most to the right of the page. It is action explanatory drawing which shows a state.
- FIG. 16B is an operation explanatory diagram showing a state in which the arm portion has moved to the leftmost side of the paper in the operation of dropping a droplet on the substrate.
- FIG. 17 is an operation explanatory diagram showing an operation of discharging droplets onto a substrate by a droplet discharge unit.
- FIG. 18A is an operation explanatory diagram showing an operation of discharging from a droplet discharge portion to a defect portion.
- FIG. 18B is an action explanatory diagram showing an operation of discharging the droplet discharge portion force to the defect portion.
- FIG. 18C is an operation explanatory diagram showing the operation of discharging from the droplet discharge portion to the defect portion.
- FIG. 18D is an operation explanatory diagram showing an operation of discharging from a droplet discharge portion to a defect portion.
- FIG. 19A is an operation explanatory diagram showing repair of a defective portion when the force in the pixel longitudinal direction of the defective portion is a direction orthogonal to the moving direction of the arm portion.
- FIG. 19B is an operation explanatory diagram showing repair of a defective portion when the force in the pixel longitudinal direction of the defective portion is a direction orthogonal to the moving direction of the arm portion.
- FIG. 19C is an operation explanatory diagram showing repair of a defect when the force in the pixel longitudinal direction of the defect is in a direction perpendicular to the moving direction of the arm.
- FIG. 20A is an operation explanatory diagram showing repair of a defect when the pixel longitudinal direction of the defect is the moving direction of the arm.
- FIG. 20B is an operation explanatory diagram showing repair of the defect when the force in the pixel longitudinal direction of the defect is the moving direction of the arm.
- FIG. 20C is an operation explanatory diagram showing repair of the defect when the pixel longitudinal direction of the defect is the moving direction of the arm.
- FIG. 21A is an operation explanatory diagram for explaining the measurement of the distance between the length measurement unit and the reference unit.
- FIG. 21B is an operation explanatory diagram for explaining the measurement of the distance between the length measuring unit and the ejection surface.
- FIG. 22A is a bottom view of a droplet discharge unit and a base plate.
- FIG. 22B is a bottom view of another droplet discharge unit and a base plate.
- FIG. 1A and FIG. 1B show a configuration diagram as an embodiment of the droplet applying apparatus of the present invention.
- the droplet discharge device 1 of the present invention includes a base 11 having a mounting surface 11a on which a substrate 10 is mounted, An arm part 4 attached to the base 11 so as to be movable relative to the base 11; and the substrate 10 attached to the arm part 4 so as to be movable and placed on the placement surface 11a. And a plurality of droplet discharge sections 6 for discharging droplets.
- the substrate 10 is, for example, a color filter substrate used for a liquid crystal display or the like.
- the substrate 10 has a defect 113 such as poor coloring.
- Two alignment marks 110 are formed in the vicinity of the end face of the substrate 10.
- the alignment mark 110 may be at least two.
- the base 11 includes a base 2 and a mounting base 3 that is mounted on the base 2 and moves when the substrate 10 is carried in and transported. That is, the upper surface of the mounting table 3 includes the above mounting surface 11a.
- the arm portion 4 is disposed so as to face the mounting surface 11a, and the upper mounting surface 11a is arranged in one direction of the upper mounting surface 11a, and can reciprocate in the other direction of the upper mounting surface 11a. It is.
- the one direction and the other direction are orthogonal to each other.
- the above-mentioned one direction means the arrow B direction, and the above other direction means the arrow A direction.
- the arm portion 4 is a so-called gantry, is formed in a gate shape, and crosses the mounting table 3 described above.
- the arm portion 4 can be reciprocated in the direction of arrow A by an arm portion moving mechanism 5 provided on the base 2.
- the base body 2 is provided with an arm portion moving mechanism 5 extending in the arrow A direction on each of both sides of the mounting table 3 in the arrow B direction.
- the arm unit 4 includes a rising and moving mechanism 43 attached to each of the arm unit moving mechanisms 5, and a first beam unit 41 and a second beam unit spanned by the two above-described rising and moving mechanisms 43 and 43. 42.
- the first beam portion 41 and the second beam portion 42 extend in the direction of arrow B, face the mounting surface 11a, and are arranged side by side in the direction of arrow A with a space between each other. It has been.
- the droplet discharge section 6 is detachably attached to the first beam section 41 and the second beam section 42 so as to be movable in the arrow B direction with respect to the base 11. It is done.
- the first beam portion 41 is attached to the beam portion main body 410 and the beam portion main body 410, and is movable in the direction of arrow B with respect to the beam portion main body 410. And a slide mechanism 7 to which the droplet discharge unit 6 is attached.
- the second beam section 42 is attached to the beam section main body 420 and the beam section main body 420 and is movable to the beam section main body 420 in the direction of arrow B. And a slide mechanism 7 to which the droplet discharge unit 6 is attached.
- Each of the first beam portion main body 410 and the second beam portion main body 420 has two planes that extend in the arrow B direction and face each other in the direction opposite to the arrow A direction.
- the slide mechanism 7 is mounted on a flat surface (mounting surface 420b) opposite to the flat surface (facing surface 420a) facing the first beam portion main body 410 in the main body 420.
- the droplet discharge section 6 mounted on the top can move in the direction of arrow B within the range of the movable area on the slide mechanism 7.
- the droplet discharge unit 6 discharges and applies droplets to a predetermined portion such as the defect 113 of the substrate 10.
- the droplet discharge section 6 has a discharge surface in which holes for discharging droplets are formed on a surface that is substantially parallel and closest to the placement surface 11a. Based on a control command from the apparatus, a droplet is dropped from the discharge surface onto the substrate 10 on the placement surface 11a.
- the imaging unit 90 images the substrate 10 in order to adjust the posture of the substrate 10 on the placement surface 11a.
- the imaging unit 90 has a low magnification mode and a high magnification mode, and detects the alignment mark 110 of the substrate 10 placed on the placement surface 11a. Up
- the imaging unit 90 is attached to the opposing surface 410a of the first beam unit main body 410 at each of both end portions in the arrow B direction of the first beam unit 41.
- the observation power mela 91 images the substrate 10 to correct the landing position on the substrate 10, or images the substrate 10 to observe the landing state of the substrate 10.
- the observation power mela 91 is attached to the facing surface 420a of the second beam portion main body 420.
- the base 11 is provided with a posture adjusting unit 12.
- the posture adjustment unit 12 adjusts the posture of the substrate 10 placed on the placement surface 11a based on the detection result of the imaging unit 90.
- the posture adjusting unit 12 adjusts the posture of the substrate by pressing two different points on the one end surface of the substrate 10 and one point on the other end surface orthogonal to the one end surface of the substrate 10. That is, the posture adjusting unit 12 includes a pin 12a that presses one end surface of the substrate 10 and a pin (not shown) that presses the other end surface of the substrate 10.
- a control unit 13 that controls the movement of the arm unit 4 is connected to the arm unit 4.
- the control unit 13 moves the arm unit 4 to move the imaging unit 90 to a predetermined position with respect to the placement surface 11a when the substrate 10 is placed on the placement surface 11a. Wait.
- the predetermined position is, for example, a position where the alignment mark 110 on the substrate 10 is detected.
- a maintenance mechanism 8 is provided on the base body 2 adjacent to the mounting table 3 described above.
- the maintenance mechanism 8 has a mechanism for capping the ejection surface when not in use, a mechanism for detecting a defective ejection port, a mechanism for recovering the defective ejection port, and the like with respect to the droplet ejection unit 6.
- the arm part moving mechanism 5 moves the arm part 4 directly above the maintenance mechanism 8, and the maintenance mechanism 8 performs various maintenance operations on the droplet discharge part 6.
- a reference portion 16 is provided in a portion of the first beam portion 41 in the vicinity of the discharge surface 60 of each droplet discharge portion 6.
- the distance between the reference portion 16 and the placement surface 11a is known.
- the length measuring unit moving mechanism 141 is attached to the base body 2 so as to be located outside the maintenance mechanism 8 in the direction of the arrow A, and the length measuring unit 14 is connected to the length measuring unit moving mechanism 141. Is attached movably in the direction of arrow B.
- the length measuring section 14 does not overlap the placement surface 11a, but is opposite to the first beam portion 41, the second beam portion 42, and the droplet discharge portion 6 with respect to the placement surface 11a. Located on the side.
- the ejection surface 60 of the droplet ejection unit 6 and the reference unit 16 move onto the length measuring unit 14. That is, although not shown in the drawing, the arm part 4 can be moved up to the length measuring part 14 because the arm part moving mechanism 5 can move the arm part 4 sufficiently wide. .
- the length measuring unit 14 is opposed to the discharge surface 60 of each droplet discharge unit 6, and the gap between the discharge surface 60 of each droplet discharge unit 6 and the length measurement unit 14 is set. While measuring the distance, the distance measuring section 14 is opposed to each reference section 16 and the distance between each reference section 16 and the length measuring section 14 is measured.
- the accuracy of the length measuring unit moving mechanism 141 need not be high. Therefore, it is possible to use an inexpensive, lightweight and space-saving moving mechanism for the length measuring unit moving mechanism 141.
- the length measuring unit moving mechanism 141 has a height shift of about 0.5 mm at 2500 mm.
- the length measuring unit 14 for example, a laser displacement sensor head LK 85 and an amplifier unit LK-2110 manufactured by Keyence Corporation are used.
- a calculation unit 15 is electrically connected to the length measurement unit 14.
- the calculation unit 15 includes the distance between the ejection surface 60 of the one droplet ejection unit 6 and the length measurement unit 14 measured by the length measurement unit 14, and the one droplet ejection unit. From the distance between the one reference portion 16 and the length measuring portion 14 in the vicinity of the six discharge surfaces 60 and the known distance between the one reference portion 16 and the placement surface 11a, The gap between the ejection surface 60 of one droplet ejection section 16 and the placement surface 11a is calculated.
- the base body 2 includes a main stage 20 located at the center and the main stage 20.
- the first substage 21 and the second substage 22 are located on both sides of the stage 20 in the arrow A direction.
- the substrate 10 is omitted.
- the first substage 21 has the maintenance mechanism 8.
- the main stage 20, the first substage 21 and the second substage 22 are mechanically coupled.
- the main stage 20 is a highly precise stage made of granite. While the droplet discharge unit 6 is also ejecting droplets toward the substrate 10 on the table 3, the table described above. Fix 3 correctly.
- the first substage 21 is equipped with the maintenance mechanism 8 and does not need to be manufactured with higher accuracy than the main stage 20.
- the second substage 22 moves the table 3 above.
- Each stage 20, 21, and 22 is equipped with a main moving mechanism 50, a first sub moving mechanism 51, and a second sub moving mechanism 52.
- the moving mechanisms 50, 51, 52 The movement mechanism 50, 51, 52 is connected with a joint so that the arm portion 4 can freely move across the gap.
- the arm portion 4 is always air-floating between the arm portion moving mechanism 5. That is, the arm unit 4 can be moved by linear motor control between the magnet type linear scale 53 provided on the arm unit moving mechanism 5 and the levitation moving mechanism 43 of the arm unit 4.
- the arm unit 4 is moved to an arbitrary position in the direction of arrow A by the control unit 13.
- the height accuracy of the arm part moving mechanism 5 is very high.
- the fluctuation amount of the distance from the discharge surface 60 of the droplet discharge part 6 to the mounting surface 11a described above is 10 ⁇ m or less when moving 2500 mm. .
- the arm part moving mechanism 5 and the magnet type linear scale 53 are continuously configured so as to freely move across the three stages 20, 21, and 22. Note that a general vibration isolation mechanism (not shown) is provided below the base 2. [0074] On the upper surface of the mounting table 3, a plurality of minute holes (not shown) are formed. All of the holes are connected to a suction mechanism (not shown), and the substrate 10 is suction-fixed on the mounting table 3 by suction control by the suction mechanism, while the suction mechanism release control controls the upper surface of the mounting table 3. The force also opens the substrate 10. Further, the upper surface of the mounting table 3 also serves as a stone surface plate with good flatness, and is parallel to the discharge surface of the droplet discharge unit 6.
- the mounting table 3 can move in the direction of arrow A by linear motor control on a slide rail (not shown) provided on the base 2, and when the substrate 10 is carried in or out, as shown in FIG. Then, it moves to the end opposite to the maintenance mechanism 8.
- the arm portion 4 is moved immediately above the maintenance mechanism 8 when the substrate 10 is carried in or out.
- FIGS. 1B and 4 four sets of the droplet discharge section 6 and the slide mechanism 7 are mounted on the mounting surface 410b of the first beam section main body 410.
- Two imaging sections 90 are attached to the facing surface 410a of the first beam section body 410.
- All the slide mechanisms 7 are arranged in a staggered manner in the direction of arrow B when viewed from the top surface of the mounting table 3.
- the slidable areas of the two slide mechanisms 7 and 7 are partially overlapped in the direction of arrow B. . It should be noted that it is desirable that the overlapping movable areas overlap one-third or more as the area is larger.
- the droplet discharge section 6 is mounted on the slide mechanism 7 installed on the arm section 4 and can move independently in the direction of arrow B.
- the droplet discharge unit 6 includes a box 66, a discharge element 61 housed in the box 66, a drive control circuit 62, an electrical connection cable 63, an ink tank 64, and an ink pipe 65. ,Up The box body 66 moves on the slide mechanism 7.
- a nozzle plate 69 is bonded to a surface parallel to the upper surface of the mounting table 3 above the discharge element 61, and a plurality of nozzle holes 67 are formed in the nozzle plate 69.
- the diameter of this nodule 67 is 10 ⁇ m to 20 ⁇ m.
- the ejection element 61 is a general one. For example, after forming grooves as a plurality of ink chambers on a piezoelectric substrate, an electrode is formed on a part of the side wall of the partition wall, and the partition wall is formed. By applying an electric field between both side surfaces of this, the partition wall itself is sheared to generate discharge energy.
- the drive control circuit 62 is connected to a drive control system (not shown) by a cable (not shown) to perform discharge control.
- the droplet discharge section 6 incorporates an adjustment section (not shown) that adjusts the height of the discharge element 61.
- this adjustment section By this adjustment section, the drop discharge section 6 and the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6 are located above. It is possible to adjust the distance from the substrate on the placement surface 11a. This distance is adjusted to be between 0.5 and 1. Omm.
- an automatic uniaxial stage can be used, and in this case, the adjustment can be performed fully automatically.
- a manual uniaxial stage can be used as the adjustment unit.
- a small and lightweight stage can be used, and the weight of the droplet discharge unit 6 can be reduced. . Therefore, it is possible to reduce the weight of the arm part 4 as a whole.
- the slide mechanism 7 for the droplet discharge section 6 attached to the second beam section main body 420 has two rows of LM guides 70, 70 arranged vertically. (Manufactured by THK Co., Ltd.), a linear guide 71 disposed between the two rows of LM guides 70 and 70, and a base plate 72 to which the droplet discharge section 6 is detachably attached.
- a part of the LM guide 70 is attached to the base plate 72, and the other part of the LM guide 70 is attached to the second beam section main body 420, and a part of the LM guide 70 is connected to the upper part of the LM guide 70.
- the other part of the LM guide 70 is slidable with respect to each other.
- the linear guide 71 is attached to the second beam portion main body 420, and is attached to the base plate 72 so as to face the linear guide 71.
- the droplet discharge section 6 can be moved to a predetermined position in the front or back direction in FIG. 6A (in the direction of arrow B in FIG. 1A).
- the linear guide 71 is one in which small N-pole and S-pole permanent magnets are alternately and regularly arranged.
- the linear drive mechanism 68 can freely generate N pole and S pole by AC control, and the liquid droplets on the slide mechanism 7 are generated by the magnetic force of the linear guide 71 and the linear drive mechanism 68.
- the position of the discharge unit 6 can be controlled.
- the effective movement stroke of the LM guide 70 is 250 mm, and the linear guide 71 is installed in a range exceeding the effective stroke.
- the height accuracy of the slide mechanism 7 is increased.
- the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the substrate 1 are increased.
- the variation in distance to zero is less than 10 ⁇ m with a 250 mm travel.
- the droplet discharge unit 6 is detachably attached to the base plate 72. When a problem occurs in the liquid droplet discharge unit 6, the droplet discharge unit 6 is connected to the base plate 72. Separate from and replace.
- the reference portion 16 is attached to the lower end of the base plate 72 so that the distance from the upper surface of the substrate 10 (that is, the placement surface 11a) is adjusted to a specified value.
- the reference portion 16 is, for example, a plate such as a reflecting plate.
- the distance a from the upper surface of the substrate 10 to the reference portion 16 is It is constant.
- a is 80 mm.
- the distance d between the upper surface of the substrate 10 and the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 is determined by the manufacturing error of the droplet ejection section 6 or the base plate 72. It fluctuates depending on the cause of errors when mounting to the. Therefore, when the droplet discharge section 6 is replaced, the height of the discharge surface 60 is adjusted so that the distance from the discharge surface 60 to the upper surface of the substrate 10 is always a specified value. This is because when the variation in the distance between the ejection surface 60 and the substrate 10 is large in the plurality of droplet ejection sections 6, or when the distance itself between the ejection surface 60 and the substrate 10 is large, This is because the landing accuracy is lowered. This fruit In the embodiment, d is adjusted to 0.5 mm ⁇ 20 m.
- the droplet discharge section 6 has an adjustment section 17 inside.
- the adjusting unit 17 adjusts the gap between the discharge surface 60 and the placement surface 1 la by moving the discharge surface 60 close to or away from the placement surface 11a.
- the adjustment unit 17 includes a fixing unit 170 provided inside the box 66, an adjustment screw 171 threaded through the fixing unit 170 and screwed onto the upper surface of the discharge element 61, and A fixing screw 172 inserted through the fixing portion 170 and screwed into the side surface of the discharge element 61 is provided.
- the height of the ejection element 61 can be adjusted by turning the adjusting screw 171.
- the fixing screw 172 By turning the fixing screw 172, the discharge element 61 can be brought into contact with or separated from the fixing portion 170. That is, by tightening the fixing screw 172, the discharge element 61 is pressed against the fixing portion 170 to position the discharge element 61.
- the fixing screw 172 includes a compression panel (not shown). Even when the fixing screw 172 is loosened, the discharge element 61 is pressed against the fixing portion 170 with a constant pressure. Attached.
- the slide mechanism 92 for the observation camera 91 attached to the second beam section main body 420 has the same configuration as the slide mechanism 7 and is arranged up and down.
- Two rows of LM guides 93, 93 manufactured by THK
- a linear guide 94 installed between the two rows of LM guides 93, 93.
- a part of the LM guide 93 is attached to the observation force lens 91, and the other part of the LM guide 93 is attached to the second beam part body 420.
- the other parts of the LM guide 93 are slidable with respect to each other.
- the linear guide 94 is attached to the second beam section main body 420, and is attached to the observation force lens 91 so as to be opposed to the linear guide 71, so as to drive and control the linear drive mechanism 95.
- the observation power mela 91 can be moved to the position.
- the linear guide 94 and the linear drive mechanism 95 have the same configuration as the linear guide 71 and the linear drive mechanism 68, and thus the description thereof is omitted. Note that the effective movement stroke of the LM guide 93 is 2500 mm, and the linear guide 94 is installed within the effective stroke.
- the observation power mela 91 is configured by the information acquisition function in the arrow A direction provided in the arm unit moving mechanism 5 and the information acquisition function in the arrow B direction provided in the slide mechanism 92.
- the address information of the substrate 10 with respect to the alignment mark 110 can be output.
- the observation power mela 91 mainly observes the landing image landed on the substrate 10 by the droplet discharge section 6, and the discharge state or alignment of each of the droplet discharge sections 6 The address of the mark reference landing position can be output.
- the droplet discharge section 6 includes the discharge element 61 that discharges one type of liquid.
- the nozzle holes 67 on the bottom surface of the droplet discharge section 6 are arranged in a line, and the right-angle force is inclined several degrees with respect to the arrow B direction. All the nozzle holes 67 discharge the same droplet material.
- a droplet discharge section 6A having discharge elements 61A, 61B, 61C for discharging three types of liquids may be used. That is, the droplet discharge section 6A includes the discharge element 61A that discharges the first droplet material, the discharge element 61B that discharges the second droplet material, and the third droplet material. The discharge element 61C for discharging is included.
- the nozzle holes 67A, 67B, and 67C of the ejection elements 61A, 61B, and 61C are inclined at a right angle of several degrees with respect to the direction of the arrow B, and the arrows of the nozzle holes 67A, 67B, and 67C, respectively.
- the projection areas in the B direction are configured to substantially coincide with each other.
- Each of the nozzle holes 67A, 67B, and 67C may be minutely movable in the direction of arrow B in the droplet discharge section 6.
- FIG.8A the processing of the substrate 10 is completed, and after the processing of the substrate 10, as shown in FIG.8B, the mounting table 3 is slid to the left side of the paper, and the arm portion 4 is Move directly above the maintenance mechanism 8. Then, after the adsorption of the processed substrate 10 is released, the substrate 10 is delivered to a transfer robot (not shown). Thereafter, the transfer robot places the next substrate 10 on the mounting table 3.
- the substrate 10 placed on the mounting table 3 is immediately air-adsorbed to the mounting table 3 as shown in Fig. 8C, and the mounting table 3 and the arm unit 4 are moved to Fig. 8A. Return to the original position as shown.
- the arm unit 4 is moved onto the maintenance mechanism 8 and then maintenance work is performed.
- the lower surface of the nozzle plate 69 of the droplet discharge section 6 is capped with a rubber cap member 81 as shown in FIG. 8B. Then, negative pressure is sucked from the vent hole at the bottom of the cap member 81, and the force of the nozzle hole 67 of the nozzle plate 69 is also discharged to remove the dust and the like in the nozzle hole 67.
- This maintenance operation includes non-discharge detection, cap, suction purge inside cap, and wiping.
- the droplet discharge unit 6 is mounted at the same time when the instruction for the unloading operation of the substrate 10 is given.
- the arm unit 4 is given a command to move directly above the maintenance mechanism 8.
- the maintenance mechanism 8 has a non-ejection detection mechanism that detects ejection failure of the droplet ejection section 6. This non-ejection detection mechanism is installed for each droplet ejection section 6.
- the non-ejection detection mechanism 85 includes a laser light emitting element 84 and a laser light receiving element 83, as shown in FIGS. 9A and 9B. Note that a droplet discharge unit 6A shown in FIG. 7B is used as the droplet discharge unit.
- the laser light emitting element 84 and a laser light emitting circuit continuously irradiate the laser light receiving element 83 with a laser beam 82 when receiving a non-ejection detection command.
- the received light amount measuring means connected to the laser light receiving element 83 stores a normal received light amount.
- the irradiation direction of the laser beam 82 is substantially parallel to the upper surface of the substrate 10 and substantially parallel to the ejection surface 60 of the liquid droplet ejection section 6A (the lower surface of the nozzle plate 69).
- the diameter of the laser beam 82 is 1 mm, and the droplets ejected from all the nozzle holes 67A, 67B, 67C of one droplet ejection unit 6A are within the optical axis of the laser beam 82. Pass through.
- the laser light emitting element 84 and the laser light receiving element 83 have a fine movement mechanism, and in the unlikely event that a droplet does not pass through the optical axis of the laser light 82, the laser light emission element 84 The positions of the element 84 and the laser receiving element 83 are adjusted.
- droplets are ejected from the first ejection element 61A for a certain period of time, the amount of light from the received light amount measuring means is read, and the amount of light shielded is measured by comparison with the normal amount of received light. Then, it is determined whether or not the force is within the range of the preset set value. If this value is within the set value range, it is regarded as normal discharge, and this value is not within the set value range. In the case of discharge failure.
- the droplet ejection section 6A is moved to the cap position, and cabbing is performed until just before the loading operation of the substrate 10 is completed.
- a generally known recovery operation for example, the droplet discharge unit 6A is moved to a cap position, is capped, and the cap is pulled to a negative pressure to forcibly discharge from the nozzle hole. Then, the cap is released, wiping is performed, and non-ejection detection is performed again. Then, non-discharge detection and recovery operations are performed up to several times until there is no discharge failure. If the discharge failure does not recover, output a message to that effect.
- the last non-discharge detection result immediately before processing the substrate 10 is compared with the first non-discharge detection result that is performed while the substrate 10 is being carried out, and the discharge state is changed. If this is observed, the above-described processing of the substrate 10 can be discarded as inappropriate, or can be sent to a repair process.
- the two imaging units 90, 90 fixed to the arm unit 4 are moved integrally with the arm unit 4 from the position shown in Fig. 10A to the position shown in Fig. 10B.
- the posture adjustment unit 12 shown in FIG. 1B corrects the posture of the substrate 10 in the direction of the arrow in FIG. 10B.
- the two alignment marks 110, 110 with high accuracy are provided in advance on the substrate 10, and a droplet application position on the substrate 10 is determined in advance with reference to the alignment mark 110. Has been.
- the alignment mark 110 is a concentric mark, and the pitch deviation between the two alignment marks 110 and 110 is within 2 / z m.
- the two imaging units 90 and 90 are installed on the arm unit 4 at the same pitch as the two alignment marks 110 and 110.
- the reference position of the imaging unit 90 and the landing position of the droplet discharge unit 6 are the observation powers. It is corrected in advance by the correction operation by the camera 91.
- the imaging unit 90 includes a camera unit 98 in a high magnification mode and a camera unit 97 in a low magnification mode.
- the high magnification mode camera unit 98 and the low magnification mode camera unit 97 are attached to the arm 4 side by side in the direction of arrow A. That is, the low magnification mode camera unit 97 and the high magnification mode camera unit 98 are attached to the first beam unit 41 in order.
- the alignment reference position of the camera unit 97 in the low-magnification mode and the alignment reference position of the camera unit 98 in the high-magnification mode are set in advance so that they coincide with each other by appropriately moving the arm unit 4. It has been corrected.
- the low magnification mode camera unit 97 has a camera mechanism with a focus magnification of 0.5, and can image the substrate 10 with a CCD camera of 2 million pixels (1400 * 1400 pixels).
- the imaging field of view is approximately 10 mm square, and the image resolution is approximately 13 m.
- the camera unit 98 in the high magnification mode has a camera mechanism with a focus magnification of 10 times, and can capture an image on the substrate 10 with a CCD camera having 1.4 million pixels (1400 * 1000 pixels).
- the field of view is approximately 0.5 mm square, and the image resolution is about 0.7 m.
- the low magnification mode camera unit 97 and the high magnification mode camera unit 98 are not shown respectively! ⁇ ⁇ Connected to image processing means! Speak.
- binary mark processing is performed from the alignment mark images picked up by the camera units 97 and 98 to determine the center of gravity position of the mark, which is the current alignment mark center position.
- the two alignment marks 110, 110 on the substrate 10 are imaged by the two camera units 97, 98, and the alignment position of the alignment mark is determined by determining the center position of the alignment mark. Can be determined.
- FIG. 12 is a flowchart showing the movement of the mounting table 3, the imaging unit 90, and the arm unit 4 described above for the alignment operation.
- a transfer robot (not shown) places the substrate 10 on the mounting table 3 (S11), and the upper mounting table 3 moves to the alignment position (S 12). ).
- the arm unit 4 moves to the alignment position (S31), and the low magnification mode camera unit 97 is moved to the alignment standard position where the alignment mark 110 of the substrate 10 is detected. Move (S32).
- FIGS. 13A and 13B show the field of view of the camera unit 97 in the low magnification mode when the movement of the mounting table 3 and the arm unit 4 is completed.
- FIG. 13A shows the field of view of the low magnification mode camera unit 97 of one imaging unit 90
- FIG. 13B shows the field of view of the low magnification mode camera unit 97 of the other imaging unit 90.
- the alignment mark 110 is concentric, the outer ring is for coarse alignment, the outer diameter of this outer ring is 1 mm, while the inner black circle is for fine alignment. The diameter of this black circle is 0.2 mm.
- the accuracy with which the transfer robot mounts the substrate 10 on the mounting table 3 described above is ⁇ 3mm relative to the ideal position, and the low magnification mode camera unit 97 with a viewing area of 10mm square is the alignment standard position.
- the alignment mark 110 is always within the field of view as shown in FIGS. 13A and 13B.
- the camera unit 97 in the low magnification mode has a field of view that is higher than the board mounting accuracy of the transfer robot, and performs a preliminary alignment operation for placing the alignment mark within the field of view of the camera after board mounting.
- the alignment operation can be performed immediately. Further, it is not necessary to separately provide a sequence and mechanism for searching around.
- the imaging unit 90 has a field of view for detecting the alignment mark 110 on the substrate 10 before the posture is adjusted by the posture adjusting unit 12 in the low magnification mode state. It is not necessary to detect the alignment mark 110 and place the alignment mark 110 within the field of view of the imaging unit 90 before adjusting the posture of 10, and a separate alignment detection mechanism is required. As for the rinsing force, the time until the posture of the substrate 10 is adjusted can be omitted.
- the camera units 97, 97 in the two low magnification modes described above are used.
- Each of the above alignment marks 110, 110 is imaged (S21), the center of gravity position of the outer ring is read, and the numerical value to which the substrate 10 should be moved from the direction and amount of deviation from the reference position of the two marks
- the amount of alignment is calculated (S22).
- the arm unit 4 moves to detect the camera unit 98 in the high magnification mode and the alignment mark 110 on the substrate 10. The position is moved to the alignment standard position (S33).
- the coarse alignment is to move the alignment mark 110 to the alignment reference position indicated by the dotted cross! Uh.
- FIGS. 14A and 14B show the alignment in the field of view of the camera unit 98 in the high magnification mode.
- FIGS. 14A and 14B show the alignment in the field of view of the camera unit 98 in the high magnification mode of the other imaging unit 90.
- the camera unit 98 in the high magnification mode images the black circle inside the alignment mark 110 (S23), reads the center of gravity of the black circle inside, and reads the two marks.
- the alignment amount which is a numerical value to which the substrate 10 should be moved, is calculated from the displacement direction and displacement amount from the reference position (S24). Based on the alignment amount, the attitude adjustment unit 12 performs precise adjustment of the substrate 10. Alignment is executed (S14).
- the fine alignment is to move the alignment mark 110 to the alignment reference position indicated by the dotted cross! Uh.
- the above-mentioned alarm is again performed by the camera unit 98 in the above-described high magnification mode.
- the black circle inside the mark 110 is imaged (S25), the accuracy of whether there is no deviation is confirmed (S26), and the alignment is completed (S2).
- the observation power mela 91 is used when acquiring the information for correcting the landing position by exchanging the ejection element 61 of the droplet ejection section 6, or when reconfirming the landing position in use. Yes.
- the observation power mecha 91 takes an image of an arbitrary position on the upper surface of the apparatus and calculates the position by the arm part moving mechanism 5 and the slide mechanism 92.
- the imaging position of the observation power mea 91 is output by a scale built in the arm unit moving mechanism 5 and the slide mechanism 92.
- a dummy substrate 10A provided with a predetermined alignment mark 110A similar to the normal substrate 10 is carried into the apparatus as the substrate, Perform normal substrate attitude control.
- the observation power mea 91 captures the two alignment marks 110A and 110A on the dummy substrate 10A, respectively, and obtains position information thereof.
- the arm portion 4 moves to an arbitrary position on the dummy substrate 10A. Droplets are ejected from the nozzle holes of the respective droplet ejection sections 6 toward the dummy substrate 10A. At this time, all nozzle pore force droplets may be discharged.
- the observation force memer 91 sequentially images the droplet landing position 111 while moving by the arm unit moving mechanism 5 and the slide mechanism 92, and the Determine the actual landing position from the LI mark 110A.
- FIG. 16A shows a state in which the arm portion 4 has moved most to the right in the drawing in the operation of dropping a droplet on the substrate 10, while FIG. 16B shows that in the operation of dropping a droplet on the substrate 10.
- the arm portion 4 is shown as having moved to the leftmost side of the paper, and the arm portion 4 reciprocates in the range of the length L in the direction of arrow A one or more times.
- the plurality of droplet discharge units 6 mounted on the arm unit 4 can move independently in the direction of arrow B, respectively.
- the arm portion 4 reciprocates on the substrate 10 in the direction of arrow A.
- Each of the droplet discharge units 6 moves to an address in the arrow B direction, which is a desired position, and stops before executing the droplet discharge operation. Then, in the process in which the arm portion 4 reciprocates in the direction of arrow A, a droplet is ejected when the addresses of the desired positions, arrow A direction and arrow B direction, match. This operation is controlled independently for each of the plurality of droplet discharge sections 6.
- the arm section 4 is equipped with nine droplet discharge sections 6 that can move independently in the direction of arrow B, and each droplet discharge section 6 has a handle on the substrate 10. The area is set.
- the substrate 10 is dotted with a plurality of defective portions 113, and each droplet discharge portion 6 has a band-shaped receiving region in the arrow B direction.
- the first droplet discharge section 6A is responsible for the hatched area 114 in the figure.
- the second droplet discharge unit 6B is responsible for the region 115.
- Each droplet discharge section 6 performs a droplet discharge operation on the defect portion 113 in the handling area.
- the droplet discharge section 6 discharges droplets to the defect portions 113 of a plurality of rectangular recesses in the process of reciprocating movement of the arm section 4.
- the defective portion 113 is a portion in which a defective portion is dented and corrected by a laser or the like in a portion where dust is mixed in a manufacturing process or a portion where a blank recess is formed.
- FIG. 18A to FIG. 18D focus on one of the plurality of droplet discharge units 6 mounted on the arm unit 4, and from one droplet discharge unit 6 to a plurality of deficient portions 113.
- FIG. 7 is an explanatory diagram of time series for performing a discharge operation.
- the defect portions 113A, 113B, 113C on the substrate are concave portions having a depth of about 2 / zm, and the opening portion indicates the moving direction of the arm portion 4 (arrow A direction). It has a rectangular shape with a long side of about 200m x 70m. Note that the arrangement direction of the nozzle holes 67 of the droplet discharge section 6 is a force that is parallel to the direction of the arrow A, and is actually inclined several degrees as shown in FIG. 7A.
- the droplet discharge portion 6 is moved at a high speed by using the slide mechanism 7, and the nozzle hole 67 is moved to the center of the defective portion 113A. Stop along the line.
- the movement time of the droplet discharge section 6 is not limited to the actual movement time, but after the droplet discharge section 6 stops, the residual vibration due to the movement of the droplet discharge section 6 is Including the settling time until it drops to the level without adversely affecting the droplet discharge of the droplet discharge section 6. There is a need.
- the droplet discharge section 6 that has discharged a droplet onto the defect portion 113A, as shown in FIG. 18B, uses the slide mechanism 7 to restore the arrow to repair another defect portion 113C. It moves in the E direction and stops at a position where the center line of the defect 113C and the arrangement direction of the nozzle holes 67 coincide. At this time, since the arm unit 4 is also moving leftward at a constant speed, the droplet discharge unit 6 is moved in the direction of arrow F with respect to the substrate 10 as shown in FIG. 18C.
- the droplet discharge portion 6 discharges a droplet from the nozzle hole 67 directly above the defect portion 113C while moving in the arrow G direction, and the defect portion Repair 113C.
- the arm section 4 starts moving in the opposite direction after completing movement in one direction.
- the droplet discharge section 6 moves in the direction of the arrow K using the slide mechanism 7 to repair another defect portion 113B, and the above-described drop line 113B is placed on the center line of the defect portion 113B.
- the nozzle holes 67 are aligned and stopped.
- the droplet discharge portion 6 moves in the direction of arrow L, and discharges droplets from the nozzle hole 67 immediately above the defect portion 113B.
- the three missing parts 113A, 113B, 113C are repaired in the order of the missing part 113A, the missing part 113C, and the missing part 113B. It takes full advantage of the structural advantages of
- the impossible area H includes the belt-like area corresponding to the distance between both ends of the nozzle hole 67 that also uses the defect end force immediately after processing, and the movement speed of the arm part 4 and the movement in the direction of arrow E. It also includes the area multiplied by the sum of the time required for movement and the time required to stabilize the residual vibration after movement.
- a droplet is dropped onto the defective portion 113 of the R pixel by the droplet discharge unit 6A, and further, as shown in FIG. 19C, the droplet discharge unit 6A Then, a droplet is dropped on the defective portion 113 of the G pixel.
- the pixel longitudinal direction of the defect portion 113 is The repair of the defective portion 113 when the moving portion 4 is in the moving direction will be described.
- a droplet is dropped onto the defective portion 113 of the R pixel by the droplet discharge unit 6A, and further, as shown in FIG. 20C, by the droplet discharge unit 6A. Then, a droplet is dropped on the defective portion 113 of the G pixel.
- a distance d between the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the upper surface of the substrate 10 (hereinafter referred to as the droplet ejection section 6). And a method of adjusting the distance d between the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the upper surface of the substrate 10 will be described.
- the distance d between the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the upper surface of the substrate 10 is obtained, but the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the placement surface 11a are described above.
- the gap can be determined in the same manner as described below only by replacing the upper surface of the substrate 10 with the mounting surface 11a.
- Adjustment of the gap of the droplet discharge section 6 is performed, for example, after the droplet discharge section 6 is replaced.
- a method of exchanging the droplet discharge unit 6 will be described.
- the arm unit 4 is moved to the exchange position of the droplet discharge unit 6.
- this replacement position is the end of the apparatus from the viewpoint of workability.
- the replacement position is the end on the length measuring unit 14 side.
- the lower portion of the droplet discharge section 6 is an open space at the replacement position.
- the lower portion of the droplet discharge section 6 is sufficiently positioned at the replacement position. It is a very open space, and it is unlikely that the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6 will be soiled by the replacement operation of the droplet discharge section 6.
- the old droplet discharge section 6 is removed and a new droplet discharge section 6 is attached. Since the gap of the attached droplet discharge unit 6 is unknown, the height of the discharge surface 60 is adjusted by the adjusting unit 17 so that the discharge surface 60 is the surface of the substrate 10 (described above). It should be the most distant from the mounting surface 11a). [0210] Subsequently, the gap of the droplet discharge section 6 is measured.
- the droplet discharge section 6, the length measuring section 14, and the arm section 4 are moved to cause the length measuring section 14 to measure the droplet to be measured. It is located below the reference portion 16 of the base plate 72 to which the discharge portion 6 is attached. Then, the length measuring unit 14 measures the distance from the length measuring unit 14 to the reference unit 16. Let c be the measured value obtained. In this embodiment, c was 80.24 mm.
- the arm unit 4 is moved, and the length measuring unit 14 is positioned below the ejection surface 60 of the droplet ejection unit 6 to be measured.
- the height accuracy of the arm part moving mechanism 5 is very high, the height of the discharge surface 60 hardly fluctuates due to the movement of the arm part 4.
- the moving distance of the arm portion 4 is about 50 mm, and the height fluctuation amount of the discharge surface 60 at this time is less than 0.2 m.
- the length measuring section 14 measures the distance from the length measuring section 14 to the ejection surface 60.
- the gap of the droplet discharge section 6 is adjusted. That is, the height of the ejection surface 60 is adjusted by the adjusting unit 17 (shown in FIG. 6B) so that the distance d calculated by the calculating unit 15 becomes a predetermined amount.
- the length measuring section 14 measures the distance from the length measuring section 14 to the discharge surface 60, and obtains the distance d again.
- the distance d was 0.50 ⁇ 0.01 mm.
- the adjustment amount of the height of the droplet discharge section 6 is obtained, the height of the droplet discharge section 6 is adjusted, and then the droplet discharge section again.
- the height of the droplet discharge section 6 may be gradually changed so that the distance d becomes a predetermined amount. Is possible. In this case, since the height of the droplet discharge section 6 is repeatedly measured, detection when the height changes abnormally is accelerated.
- the height of the reference portion 16 is always measured in the adjustment of the distance d.
- the height of the reference portion 16 is only measured during the first adjustment of the distance d. It is also possible to use the height of the reference portion 16 measured for the first time when measuring the distance d and adjusting the distance d after the second time. That is, since the position of the reference unit 16 and the position of the length measuring unit 14 are determined for each droplet discharge unit 6, the distance from the length measuring unit 14 to the reference unit 16 is It becomes the same value for every discharge part 6. In this case, in the second and subsequent adjustments of the distance d, the height measurement of the reference portion 16 can be omitted, so that the adjustment time of the distance d can be shortened.
- the length measuring section 14 can measure the heights of the reference section 16 and the discharge surface 60 only by moving the arm section 4 in the direction of arrow A.
- the reference portion 16 and the ejection surface 60 may be located at different positions in the direction of the arrow B.
- the arm portion 4 is not only moved in the direction of arrow A, but the length measuring portion 14 is moved in the direction of arrow B. There is a need to.
- the distance between the reference portion 16 and the discharge surface 60 in the arrow B direction is short. Therefore, the change in height due to the movement of the length measuring section 14 in the direction of arrow B is small.
- the distance in the direction of arrow B between the reference portion 16 and the discharge surface 60 was about 20 mm, and the variation in height was about. Then, when the distance d was repeatedly adjusted, the distance d was 0.50 and 0. Olmm.
- the gap of the droplet discharge unit 6 (that is, the distance d between the discharge surface 60 of the droplet discharge unit 6 and the surface of the substrate 10) is above the discharge surface 60 of the droplet discharge unit 6. It can be obtained from the gap between the mounting surface 11a and the thickness of the substrate 10. Since the thickness of the substrate 10 is known, the discharge surface 60 of the droplet discharge unit 6 and If the gap with the placement surface 11a is obtained, the gap of the droplet discharge section 6 is obtained.
- the gap between the ejection surface 60 of the droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a can be obtained without moving the placement surface as in the prior art, and the droplet ejection can be performed.
- the replacement time for part 6 can be shortened.
- the droplet ejection section 6 does not overlap the placement surface 11a. It is possible to safely adjust the height of the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 by preventing contact between the droplet ejection section 6 and the placement surface 11a. Even when the placement surface 11a is fixed (that is, a fixed stage), the height of the discharge surface 60 of the droplet discharge unit 6 can be adjusted, and the apparatus can be made small and inexpensive.
- the number of the droplet discharge sections 6 can be minimized, and the non-operating droplet discharge section can be reduced. 6 quantity can be reduced. Therefore, clogging of the droplet discharge section 6 due to droplets can be prevented, the amount of waste liquid accompanying the maintenance operation of the droplet discharge section 6 can be reduced, and the discharge of all the droplet discharge sections 6 can be further reduced. The amount can be made uniform.
- the ejection surface 60 of each droplet ejection section 6 is moved closer to or away from the placement surface 11a, and the ejection surface 60 of each droplet ejection section 6 and the placement surface 11a are separated. Therefore, the gap between the ejection surface 60 of each droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a can be adjusted with certainty.
- the length measuring unit 14 does not overlap the placement surface 11a, and is positioned on the opposite side of the beam placement units 11 and 42 and the droplet discharge unit 6 with respect to the placement surface 11a. Therefore, the length measuring unit 14 can be arranged in a wide space not in the narrow space between the mounting surface 11a, the beam units 41 and 42, and the droplet discharge unit 6. Therefore, the length measuring unit 14 can be easily and easily installed.
- the distance between the discharge surface 60 of the droplet discharge portion 6 and the reference portion 16 can be shortened.
- the relative error between the distance between the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6 and the length measuring section 14 and the distance between the reference section 16 and the length measuring section 14 can be reduced.
- the gap between the ejection surface 60 of the droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a can be accurately calculated.
- the step of measuring the distance from the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6 by the length measuring section 14 described above Accordingly, the step of measuring the distance between the one reference portion 16 and the discharge surface 60 of the one droplet discharge portion 6 measured by the length measurement portion 14 and the length measurement Between the one reference portion 16 and the length measuring portion 14, and between the known one reference portion 16 and the mounting surface 11a. And calculating the gap between the ejection surface 60 of the one droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a from the distance by the calculation unit 15, so that the calculation unit 15 is positioned at the position of the placement surface 11a.
- the gap between the discharge surface 60 of the one droplet discharge unit 6 and the placement surface 11a can be calculated.
- the gap of the droplet discharge section 6 (that is, the distance d between the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6 and the surface of the substrate 10) is the same as the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6.
- the gap between the mounting surface 11a and the above base Since the thickness and force of the plate 10 can be obtained and the thickness of the substrate 10 is known, the gap between the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the placement surface 11a is obtained. For example, the gap of the droplet discharge unit 6 is obtained.
- the gap between the ejection surface 60 of the droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a can be obtained without moving the placement surface as in the prior art, and the droplet ejection can be performed.
- the replacement time for part 6 can be shortened.
- the droplet ejection section 6 does not overlap the placement surface 11a. It is possible to safely adjust the height of the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 by preventing contact between the droplet ejection section 6 and the placement surface 11a. Even when the placement surface 11a is fixed (that is, a fixed stage), the height of the discharge surface 60 of the droplet discharge unit 6 can be adjusted, and the apparatus can be made small and inexpensive.
- the step of measuring the distance from the discharge surface 60 of the one droplet discharge section 6 by the length measuring section 14 Accordingly, the step of measuring the distance between the one reference portion 16 and the discharge surface 60 of the one droplet discharge portion 6 measured by the length measurement portion 14 and the length measurement Between the one reference portion 16 and the length measuring portion 14, and between the known one reference portion 16 and the mounting surface 11a.
- the calculation unit 15 calculates a gap between the discharge surface 60 of the one droplet discharge unit 6 and the placement surface 11a, and the one calculated by the calculation unit 15
- the discharge surface 60 of the one droplet discharge unit 6 is set to the above-described mounting surface 1 so that the gap between the discharge surface 60 of the liquid droplet discharge unit 6 and the mounting surface 11a is a predetermined amount. 1a, the gap between the ejection surface 60 of the one droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a is calculated regardless of the position of the placement surface 11a. be able to.
- the gap of the droplet discharge section 6 (that is, the distance d between the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6 and the surface of the substrate 10) is higher than the discharge surface 60 of the droplet discharge section 6.
- the gap between the mounting surface 11a and the thickness of the substrate 10 It can be determined from the gap between the mounting surface 11a and the thickness of the substrate 10. Since the thickness of the substrate 10 is known, the discharge surface 60 of the droplet discharge unit 6 and If the gap with the mounting surface 1 la is found, the gap of the droplet discharge section 6 is found 3. Therefore, the gap between the ejection surface 60 of the droplet ejection unit 6 and the placement surface 11a can be obtained without moving the placement surface as in the prior art, and the droplet ejection can be performed. The replacement time for part 6 can be shortened. In addition, when adjusting the gap between the ejection surface 60 of the droplet ejection section 6 and the placement surface 11a, the droplet ejection section 6 does not overlap the placement surface 11a.
- the present invention is not limited to the above-described embodiment.
- the reference portion 16 may be provided in the beam body 410, 420, for example, in addition to the slide mechanism 7.
- the length measuring unit 14 may be attached to the base 11 so as to be movable in the direction of arrow A with respect to the mounting surface 11a.
- the length measuring unit 14 is not required to move in the same direction as the direction in which the beam portions 41 and 42 extend (in the direction of arrow B). Any movement is possible as long as it can face the discharge surface 60 of the discharge unit 6.
- the adjustment unit 17 moves, for example, all of the droplet discharge unit 6 to place the discharge surface 60 and the above-described placement unit. It may be configured to adjust the gear between the surface 11a.
- the imaging body may be an imaging body other than the imaging unit 90 or the observation power mela 91.
- the imaging unit 90 may be a single camera unit that switches between a high magnification mode and a low magnification mode by zooming.
- the imaging unit 90 may be configured to simultaneously observe a high magnification and a low magnification by optical path division. More specifically, the light from the substrate 10 may be divided and guided to each of two CCDs having different numbers of pixels.
- the moving direction of the droplet discharge section 6 and the moving direction of the arm section 4 do not have to be orthogonal to each other when viewed from the plane.
- the slide mechanism 7 may be configured to be able to move the droplet discharge section 6 in a direction different from the arrow B direction.
- the droplet discharge unit 6 may be positioned on the beam units 41 and 42 that may not be movable with respect to the base 11.
- the arm 4 is stationary while the table 3 is movable. Please do it.
- the above-described droplet discharge section 6 may be attached to both side surfaces of the beam section.
- the number of the beam portions can be increased or decreased.
- the droplet discharge section 6 may discharge and apply droplets to the entire surface of the substrate 10. Further, the number of the droplet discharge units 6 can be freely increased or decreased.
- the droplet applying apparatus of the present invention is applied to an apparatus that repairs a defective portion of a color filter substrate, but is applied to another apparatus that discharges to desired locations scattered on the substrate. It's good.
- a device that draws a wiring pattern by discharging conductive ink on a substrate a device that manufactures an organic EL display by discharging a material that forms organic EL (Electro Luminescence) on the substrate, an organic EL
- the present invention can be applied to a device that repairs a defective portion of a display portion, a device that prints an image on a large signboard, a device that repairs an image, and a manufacturing device that applies other inkjet technology.
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
基板10が載置される載置面11aを有する基台11と、上記基台11に対して矢印A方向に移動可能に上記基台11に取り付けられたビーム部41,42と、上記ビーム部41,42に矢印B方向に移動可能に取り付けられると共に上記載置面11aに載置された上記基板10に液滴を吐出する複数の液滴吐出部6と、上記ビーム部41,42における上記各液滴吐出部6の吐出面近傍の部位に設けられると共に上記載置面11aとの間の距離が既知である基準部と、上記各液滴吐出部6の吐出面との間の距離および上記各基準部との間の距離を測定する測長部14と、上記測長部14によって測定された上記一の液滴吐出部6の吐出面と上記測長部14との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部14との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面11aとの間の距離とから、上記一の液滴吐出部6の吐出面と上記載置面11aとの間のギャップを算出する算出部15とを有する。
Description
明 細 書
液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部の ギャップ調整方法
技術分野
[0001] この発明は、インクジェット方式等により基板上に液滴を塗布する液滴塗布装置、こ の液滴塗布装置の液滴吐出部のギャップ測定方法、および、この液滴塗布装置の 液滴吐出部のギャップ調整方法に関する。
背景技術
[0002] 近年、インクジェット技術は紙媒体上に画像を形成するプリンター装置としてだけで なぐ製造装置としての用途が期待されている。例えば、特開 2003— 84125号公報 ゃ特開 2003— 127392号公報では、液晶ディスプレイ、有機 ELディスプレイなどの 製造装置として、インクジェット方式による液滴吐出素子を搭載した装置の構成が示 されている。
[0003] インクジェット方式による汎用プリンターには、通常は液滴を吐出させる素子として 1 50〜300ノズル Zインチの間隔でノズル孔が規則配列した幅 1Z2〜2インチのイン クジェットヘッド素子を各色毎に数個ずつ搭載した 1個のインクジェットヘッドとしての 液滴吐出部を用いて画像を形成する。方法としては、記録紙を紙送りローラーで送り つつ、記録紙の搬送方向に対して直交する方向に複数回走査することで、記録紙に 画像を形成していた。
[0004] インクジェット方式を製造装置として用いる場合でも、インクジェットヘッド素子は汎 用プリンター用と同等であり、ノズル列方向のサイズは高々 1〜2インチ程度しかない のが現状である。
[0005] 一方、液晶ディスプレイ、有機 ELディスプレイなどの製造プロセスは、大面積の基 板を使用して採れ数を増やすことで低コスト及びタクトの短縮を図る傾向にあり、イン クジェット方式によりこれらを製造するためには、一辺数 mにも及ぶ大面積基板に対 応できる装置が必要とされてきた。
[0006] そして、特開 2003— 84125号公報ゃ特開 2003— 127392号公報では、上記大
面積の基板に対応して、複数の液滴吐出部(ヘッド)を用いて 、る。
[0007] 一方、上記液滴吐出部の液滴吐出面から対象基板の表面までの距離 (以下、液滴 吐出部のギャップと記す)にばらつきがあると、吐出から着弾までの時間がばらつくた め、着弾位置がばらつく。そのため、上記液滴吐出部のギャップを調整して、すべて の上記液滴吐出部で略同一に合わす必要がある。この上記液滴吐出部は、液滴吐 出面の損傷や内部の固形分固着などの原因で交換が必要であり、上記液滴吐出部 を交換する毎に上記液滴吐出部のギャップの調整が必要となる。
[0008] そして、上記液滴吐出部のギャップを調整する方法として、特開 2005— 31144号 公報では、測長装置を用いた手法が開示されている。
[0009] この特開 2005— 31144号公報では、 1つの測長装置で複数の液滴吐出部につい て上記液滴吐出部のギャップ調整を行っている。ここで、上記液滴吐出部は、 1つな いし複数の吐出素子と、この吐出素子を収納する筐体とを有し、一括して取り付け取 り外し可能である。
[0010] 上記測長装置を上記複数の液滴吐出部の間で移動させると、上記測長装置の高 さが不正確になる。そして、特開 2005— 31144号公報では、不正確となった上記測 長装置の高さを補正する方法として、基板を載置するステージ内に、基準面を設けて 、上記測長装置の高さを補正する手法が開示されている。
[0011] また、上記液滴吐出部を取り付けた後は、必ず上記液滴吐出部のギャップの調整 が必要であるが、上記液滴吐出部のギャップは通常 0. 5mm程度と狭いため、上記 液滴吐出部の取り付けから、上記液滴吐出部のギャップの調整完了までは、上記ス テージを上記液滴吐出部の下力 逃がす必要がある。
[0012] 上記液滴吐出部のギャップの調整の手順を説明すると、まず、上記測長装置を上 記液滴吐出部の下に移動させ、上記ステージを上記液滴吐出部の下に移動させて 、上記測長装置の補正を行う。その後、上記ステージを上記液滴吐出部の下力 逃 がし、古い液滴吐出部があれば取り外して、新しい液滴吐出部を取り付けて、上記液 滴吐出部のギャップの調整を行う。
[0013] し力しながら、特開 2005— 31144号公報に開示された手法では、上記基板の大 型化に伴って、上記ステージの移動距離が増大し、上記ステージの移動に時間がか
かる。したがって、上記液滴吐出部の交換時間の増大を招いていた。また、上記基 板の大型化に伴って、上記ステージが大型化してコストが増大し、装置全体も大型に なる。
[0014] 一方、上記ステージとして、可動ステージを用いないで、固定ステージを用いる場 合、上記測長装置は、上記液滴吐出部の下にある状態で、高さ調整を行う必要があ る力 上記液滴吐出部の交換は、上記固定ステージ力 離れた箇所で行う必要があ るため、上記固定ステージを用いて、上記測長装置の高さの補正を行えない。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0015] そこで、この発明の課題は、ステージの位置に関係なぐ液滴吐出部の吐出面とス テージとの間のギャップを求めることができて、液滴吐出部の交換時間を短縮できる と共に、固定ステージにも適用できる液滴塗布装置、この液滴塗布装置の液滴吐出 部のギャップ測定方法、および、この液滴塗布装置の液滴吐出部のギャップ調整方 法を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0016] 上記課題を解決するため、この発明の液滴塗布装置は、
基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方 向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビ ーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を 吐出して塗布する複数の液滴吐出部と、
上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると 共に、上記載置面との間の距離が既知である基準部と、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられると共に、上 記各液滴吐出部の吐出面に対向して上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離を 測定し、上記各基準部に対向して上記各基準部との間の距離を測定する測長部と、 上記測長部によって測定された一の上記液滴吐出部の吐出面と上記測長部との
間の距離、および、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部と上記測 長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、 上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部と を備えることを特徴として 、る。
[0017] この発明の液滴塗布装置によれば、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の 吐出面の近傍の部位に設けられると共に、上記載置面との間の距離が既知である上 記基準部と、上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離および上記各基準部との間 の距離を測定する上記測長部と、上記測長部によって測定された上記一の液滴吐 出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部と の間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、上記 一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部とを有す るので、上記載置面の位置に関係なぐ上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置 面との間のギャップを算出することができる。そして、上記液滴吐出部のギャップ (す なわち、上記液滴吐出部の吐出面と上記基板の表面との間の距離)は、上記液滴吐 出部の吐出面と上記載置面との間のギャップと、上記基板の厚さとから、求めることが 可能であり、上記基板の厚さは既知であるため、上記液滴吐出部の吐出面と上記載 置面との間のギャップが求まれば、上記液滴吐出部のギャップが求まる。
[0018] したがって、従来のような載置面の移動を行うことなぐ上記液滴吐出部の吐出面と 上記載置面との間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部の交換時間を 短縮できる。また、上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整 するときに、上記液滴吐出部は上記載置面に重なることがないので (上記液滴吐出 部が上記載置面より外側に位置するため)、上記液滴吐出部と上記載置面との接触 を防止して、上記液滴吐出部の吐出面の高さを安全に調整できる。また、上記載置 面が固定されている場合 (つまり、固定ステージ)でも、上記液滴吐出部の吐出面の 高さを調整できて、装置を小型にかつ安価にできる。
[0019] また、一実施形態の液滴塗布装置では、上記各液滴吐出部の吐出面を上記載置 面に対して接近または離隔して、上記各液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間の ギャップを調整する調整部を有する。
[0020] この実施形態の液滴塗布装置によれば、上記各液滴吐出部の吐出面を上記載置 面に対して接近または離隔して、上記各液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間の ギャップを調整する調整部を有するので、上記各液滴吐出部の吐出面と上記載置面 との間のギャップを確実に調整できる。
[0021] また、一実施形態の液滴塗布装置では、上記測長部は、上記載置面に重ならず、 上記載置面に関して上記ビーム部および上記液滴吐出部と反対側に位置している。
[0022] この実施形態の液滴塗布装置によれば、上記測長部は、上記載置面に重ならず、 上記載置面に関して上記ビーム部および上記液滴吐出部と反対側に位置している ので、上記測長部を、上記載置面と上記ビーム部および上記液滴吐出部との間の狭 い空間ではなぐ広い空間に配置できる。したがって、上記測長部を無理なく容易に 設置できる。
[0023] また、一実施形態の液滴塗布装置では、
上記ビーム部は、ビーム部本体と、このビーム部本体に取り付けられると共に、この ビーム部本体に対して移動可能となるように上記液滴吐出部を取り付けるスライド機 構とを有し、
上記基準部は、上記スライド機構に、設けられている。
[0024] この実施形態の液滴塗布装置によれば、上記基準部は、上記スライド機構に、設け られているので、上記液滴吐出部の吐出面と上記基準部との間の距離を短くできて 、上記液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離と、上記基準部と上記測長 部との間の距離とのとの相対的な誤差を小さくできて、上記液滴吐出部の吐出面と 上記載置面との間のギャップを正確に算出できる。
[0025] また、この発明の液滴吐出部のギャップ測定方法は、
基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方 向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビ ーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を 吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギ ヤップを測定する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、 一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の 距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位 に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一 の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間 の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との 間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記 一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出 部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と
を備えることを特徴として 、る。
[0026] この発明の液滴吐出部のギャップ測定方法によれば、上記測長部によって、上記 一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、上記測長部によって、上 記一の基準部との間の距離を測定する工程と、上記測長部によって測定された上記 一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と 上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離 とから、上記算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間の ギャップを算出する工程とを有するので、上記載置面の位置に関係なぐ上記一の 液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出することができる。そして 、上記液滴吐出部のギャップ (すなわち、上記液滴吐出部の吐出面と上記基板の表 面との間の距離)は、上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップと、上 記基板の厚さとから、求めることが可能であり、上記基板の厚さは既知であるため、上 記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップが求まれば、上記液滴吐出 部のギャップが求まる。
[0027] したがって、従来のような載置面の移動を行うことなぐ上記液滴吐出部の吐出面と
上記載置面との間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部の交換時間を 短縮できる。また、上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整 するときに、上記液滴吐出部は上記載置面に重なることがないので、上記液滴吐出 部と上記載置面との接触を防止して、上記液滴吐出部の吐出面の高さを安全に調 整できる。また、上記載置面が固定されている場合 (つまり、固定ステージ)でも、上 記液滴吐出部の吐出面の高さを調整できて、装置を小型にかつ安価にできる。 また、この発明の液滴吐出部のギャップ調整方法は、
基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方 向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビ ーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を 吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギ ヤップを調整する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、 一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の 距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位 に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一 の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間 の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との 間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記 一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出 部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と、
上記算出部によって算出された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との 間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部の吐出面を上記載置面に
対して接近または離隔する工程と
を備えることを特徴として 、る。
[0029] この発明の液滴吐出部のギャップ調整方法によれば、上記測長部によって、上記 一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、上記測長部によって、上 記一の基準部との間の距離を測定する工程と、上記測長部によって測定された上記 一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と 上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離 とから、上記算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間の ギャップを算出する工程と、上記算出部によって算出された上記一の液滴吐出部の 吐出面と上記載置面との間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部の 吐出面を上記載置面に対して接近または離隔する工程とを有するので、上記載置面 の位置に関係なぐ上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを 算出することができる。そして、上記液滴吐出部のギャップ (すなわち、上記液滴吐出 部の吐出面と上記基板の表面との間の距離)は、上記液滴吐出部の吐出面と上記 載置面との間のギャップと、上記基板の厚さとから、求めることが可能であり、上記基 板の厚さは既知であるため、上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギヤッ プが求まれば、上記液滴吐出部のギャップが求まる。
[0030] したがって、従来のような載置面の移動を行うことなぐ上記液滴吐出部の吐出面と 上記載置面との間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部の交換時間を 短縮できる。また、上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整 するときに、上記液滴吐出部は上記載置面に重なることがないので、上記液滴吐出 部と上記載置面との接触を防止して、上記液滴吐出部の吐出面の高さを安全に調 整できる。また、上記載置面が固定されている場合 (つまり、固定ステージ)でも、上 記液滴吐出部の吐出面の高さを調整できて、装置を小型にかつ安価にできる。 発明の効果
[0031] この発明の液滴塗布装置によれば、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の 吐出面の近傍の部位に設けられると共に、上記載置面との間の距離が既知である上 記基準部と、上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離および上記各基準部との間
の距離を測定する上記測長部と、上記測長部によって測定された上記一の液滴吐 出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部と の間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、上記 一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部とを有す るので、上記載置面の位置に関係なぐ上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との 間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部の交換時間を短縮できると共に 、上記載置面が固定されている場合にも適用できる。
[0032] また、この発明の液滴吐出部のギャップ測定方法によれば、上記測長部によって、 上記一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、上記測長部によつ て、上記一の基準部との間の距離を測定する工程と、上記測長部によって測定され た上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基 準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間 の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間 のギャップを算出する工程とを有するので、上記載置面の位置に関係なぐ上記液 滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを求めることができて、上記液滴吐 出部の交換時間を短縮できると共に、上記載置面が固定されている場合にも適用で きる。
[0033] また、この発明の液滴吐出部のギャップ調整方法によれば、上記測長部によって、 上記一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、上記測長部によつ て、上記一の基準部との間の距離を測定する工程と、上記測長部によって測定され た上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基 準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間 の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間 のギャップを算出する工程と、上記算出部によって算出された上記一の液滴吐出部 の吐出面と上記載置面との間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部 の吐出面を上記載置面に対して接近または離隔する工程とを有するので、上記載置 面の位置に関係なぐ上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを求 めることができて、上記液滴吐出部の交換時間を短縮できると共に、上記載置面が
固定されている場合にも適用できる。
図面の簡単な説明
[図 1A]本発明の液滴塗布装置の一実施形態を示す斜視図である。
[図 1B]液滴塗布装置の平面図である。
[図 2]図 1 Aの C C断面図である。
圆 3]基板の搬入または搬出時における液滴塗布装置の作用説明図である。
[図 4]図 1Bの E— E断面図である。
[図 5]図 1Aの Y方向からみた部分断面図である。
[図 6A]図 1Aの X方向からみた部分断面図である。
[図 6B]調整部を示す液滴吐出部の断面図である。
[図 7A]液滴吐出部の底面図である。
[図 7B]他の液滴吐出部の底面図である。
圆 8A]基板の処理が完了したときを示す作用説明図である。
圆 8B]基板を搬出するときを示す作用説明図である。
圆 8C]基板を搬入するときを示す作用説明図である。
圆 9A]不吐出検出機構の側面図である。
圆 9B]不吐出検出機構の底面図である。
圆 10A]基板のァライメント動作を示す作用説明図である。
圆 10B]基板のァライメント動作を示す作用説明図である。
[図 11]撮像部の拡大底面図である。
[図 12]ァライメント動作を示すフローチャートである。
圆 13A]—方の撮像部の低倍率モードのカメラユニットの視野を示す説明図である。 圆 13B]他方の撮像部の低倍率モードのカメラユニットの視野を示す説明図である。 圆 14A]—方の撮像部の高倍率モードのカメラユニットの視野を示す説明図である。 圆 14B]他方の撮像部の高倍率モードのカメラユニットの視野を示す説明図である。 圆 15A]観察力メラにより液滴着弾位置の計測を示す作用説明図である。
圆 15B]観察力メラにより液滴着弾位置の計測を示す作用説明図である。
[図 16A]基板に液滴を滴下する作業において、アーム部が最も紙面右に移動した状
態を示す作用説明図である。
[図 16B]基板に液滴を滴下する作業において、アーム部が最も紙面左に移動した状 態を示す作用説明図である。
[図 17]液滴吐出部によって基板に液滴を吐出する動作を示す作用説明図である。
[図 18A]液滴吐出部から欠損部に吐出する動作を示す作用説明図である。
[図 18B]液滴吐出部力 欠損部に吐出する動作を示す作用説明図である。
[図 18C]液滴吐出部から欠損部に吐出する動作を示す作用説明図である。
[図 18D]液滴吐出部から欠損部に吐出する動作を示す作用説明図である。
[図 19A]欠損部の画素長手方向力 アーム部の移動方向に直交する方向であるとき の、欠損部の修復を示す作用説明図である。
[図 19B]欠損部の画素長手方向力 アーム部の移動方向に直交する方向であるとき の、欠損部の修復を示す作用説明図である。
[図 19C]欠損部の画素長手方向力 アーム部の移動方向に直交する方向であるとき の、欠損部の修復を示す作用説明図である。
[図 20A]欠損部の画素長手方向が、アーム部の移動方向であるときの、欠損部の修 復を示す作用説明図である。
[図 20B]欠損部の画素長手方向力 アーム部の移動方向であるときの、欠損部の修 復を示す作用説明図である。
[図 20C]欠損部の画素長手方向が、アーム部の移動方向であるときの、欠損部の修 復を示す作用説明図である。
[図 21A]測長部と基準部との間の距離の測定を説明する作用説明図である。
[図 21B]測長部と吐出面との間の距離の測定を説明する作用説明図である。
[図 22A]液滴吐出部およびベース板の底面図である。
[図 22B]他の液滴吐出部およびベース板の底面図である。
発明を実施するための最良の形態
[0035] 以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
[0036] 図 1Aと図 1Bは、本発明の液滴塗布装置の一実施形態である構成図を示している
。本発明の液滴吐出装置 1は、基板 10が載置される載置面 11aを有する基台 11と、
上記基台 11に対して相対的に移動可能に上記基台 11に取り付けられたアーム部 4 と、上記アーム部 4に移動可能に取り付けられると共に上記載置面 11aに載置された 上記基板 10に液滴を吐出する複数の液滴吐出部 6とを有する。
[0037] 上記基板 10は、例えば、液晶ディスプレイ等に用いられるカラーフィルター基板で ある。上記基板 10には、着色不良等の欠損部 113がある。上記基板 10の端面近傍 には、二つの上記ァライメントマーク 110が形成されている。なお、上記ァライメントマ ーク 110は、少なくとも二つあればよい。
[0038] 上記基台 11は、基体 2と、この基体 2上に搭載されて上記基板 10の搬入及び搬送 時に移動する載置台 3とを有する。つまり、上記載置台 3の上面は、上記載置面 11a を含む。
[0039] 上記アーム部 4は、上記載置面 11aに対向し上記載置面 11aを上記載置面 11aの 一方向に渡って配設され、上記載置面 11aの他方向に往復移動可能である。上記 一方向と上記他方向とは、互いに直交する。上記一方向とは、矢印 B方向をいい、上 記他方向とは、矢印 A方向をいう。
[0040] つまり、上記アーム部 4は、いわゆる、ガントリーであり、門型に形成され、上記載置 台 3を横断している。上記アーム部 4は、上記基体 2に設けられたアーム部移動機構 5によって、矢印 A方向に往復移動できる。
[0041] 具体的に述べると、上記基体 2には、上記載置台 3の矢印 B方向の両側のそれぞ れに、矢印 A方向に延びているアーム部移動機構 5が設けられている。上記アーム 部 4は、各上記アーム部移動機構 5に取り付けられた浮上移動機構 43と、二つの上 記浮上移動機構 43, 43に掛け渡された第 1のビーム部 41および第 2のビーム部 42 とを有する。
[0042] 上記第 1のビーム部 41および上記第 2のビーム部 42は、矢印 B方向に延在し、上 記載置面 11 aに対向し、互いに間隔をあけて矢印 A方向に並んで配置されて 、る。
[0043] 上記液滴吐出部 6は、上記基台 11に対して矢印 B方向に移動可能となるように、上 記第 1のビーム部 41および上記第 2のビーム部 42に着脱自在に取り付けられる。
[0044] 上記第 1のビーム部 41は、ビーム部本体 410と、このビーム部本体 410に取り付け られると共にこのビーム部本体 410に対して矢印 B方向に移動可能となるように上記
液滴吐出部 6を取り付けるスライド機構 7とを有する。
[0045] 同様に、上記第 2のビーム部 42は、ビーム部本体 420と、このビーム部本体 420に 取り付けられると共にこのビーム部本体 420に対して矢印 B方向に移動可能となるよ うに上記液滴吐出部 6を取り付けるスライド機構 7とを有する。
[0046] 上記第 1のビーム部本体 410および上記第 2のビーム部本体 420は、それぞれ、矢 印 B方向に延びると共に互いに矢印 A方向の反対側を向く二つの平面を有する。そ して、上記第 1のビーム部本体 410における上記第 2のビーム部本体 420に対向す る平面 (対向面 410a)とは反対側の平面(取付面 410b)、および、上記第 2のビーム 部本体 420における上記第 1のビーム部本体 410に対向する平面(対向面 420a)と は反対側の平面(取付面 420b)には、上記スライド機構 7が搭載されており、このスラ イド機構 7上に搭載された上記液滴吐出部 6は、上記スライド機構 7上の移動可能領 域の範囲内で、矢印 B方向に移動できる。上記液滴吐出部 6は、上記基板 10の上記 欠損部 113等の所定部分に液滴を吐出して塗布する。
[0047] 上記第 1のビーム部本体 410の上記取付面 410bには、四個の上記液滴吐出部 6 が搭載され、上記第 2のビーム部本体 420の上記取付面 410aには、五個の上記液 滴吐出部 6が搭載され、九個の上記液滴吐出部 6は、それぞれ個別に、上記スライド 機構 7に取り付けられている。そして、上記全ての液滴吐出部 6は、それぞれの上記 スライド機構 7上を、装置力もの制御指令に基づいて、個別に独立して矢印 B方向に 移動する。
[0048] また、上記液滴吐出部 6には、上記載置面 11aに対して略平行でかつ最も近接し た面に、液滴を吐出するための孔が形成された吐出面を有し、装置からの制御指令 に基づいて、上記吐出面より液滴を上記載置面 11a上の上記基板 10に滴下する。
[0049] 上記第 1のビーム部 41と上記第 2のビーム部 42との間に配置されて、上記第 1のビ ーム部 41に取り付けられた撮像体としての撮像部 90、および、上記第 2のビーム部 4 2に取り付けられた撮像体としての観察力メラ 91を有する。
[0050] 上記撮像部 90は、上記載置面 11a上での上記基板 10の姿勢を調整するために上 記基板 10を撮像する。上記撮像部 90は、低倍率モードおよび高倍率モードを有し、 上記載置面 11aに載置された上記基板 10のァライメントマーク 110を検出する。上
記撮像部 90は、上記第 1のビーム部本体 410の上記対向面 410aに、上記第 1のビ ーム部 41の矢印 B方向の両端部のそれぞれに、取り付けられている。
[0051] 上記観察力メラ 91は、上記基板 10への着弾位置を補正するために上記基板 10を 撮像し、または、上記基板 10の着弾状況を観察するために上記基板 10を撮像する 。上記観察力メラ 91は、上記第 2のビーム部本体 420の上記対向面 420aに、取り付 けられている。
[0052] 上記基台 11には、姿勢調整部 12が設けられている。この姿勢調整部 12は、上記 撮像部 90の検出結果に基づいて上記載置面 11aに載置された上記基板 10の姿勢 を調整する。
[0053] 上記姿勢調整部 12は、上記基板 10の一端面の異なる 2点、および、上記基板 10 の一端面に直交する他端面の 1点を押圧して、上記基板の姿勢を調整する。つまり、 上記姿勢調整部 12は、上記基板 10の一端面を押圧するピン 12aと、上記基板 10の 他端面を押圧する(図示しない)ピンとを有する。
[0054] また、上記アーム部 4には、上記アーム部 4の移動を制御する制御部 13が接続され ている。上記制御部 13は、上記基板 10が上記載置面 11aに載置されたときに、上記 アーム部 4を移動することで、上記撮像部 90を上記載置面 11aに対する所定位置に 移動して待機させる。ここで、上記所定位置とは、例えば、上記基板 10のァライメント マーク 110を検出する位置である。
[0055] 上記基体 2上には、上記載置台 3に隣接して、メンテナンス機構 8が設けられている 。上記メンテナンス機構 8は、上記液滴吐出部 6に対して、非使用時に吐出面をキヤ ップする機構、不良吐出口を検出する機構、および、不良吐出口を回復する機構な どを有する。そして、メンテナンス時は、上記アーム部移動機構 5により上記アーム部 4を上記メンテナンス機構 8直上に移動して、上記メンテナンス機構 8により上記液滴 吐出部 6に対して各種メンテナンス動作を行う。
[0056] 図 1A、図 IBと図 4に示すように、上記第 1のビーム部 41における上記各液滴吐出 部 6の吐出面 60の近傍の部位に、基準部 16が設けられている。上記基準部 16と上 記載置面 11aとの間の距離は、既知である。
[0057] 上記第 1のビーム部 41および上記第 2のビーム部 42に対して矢印 B方向に移動可
能となるように、測長部 14が上記基台 11に取り付けられて 、る。
[0058] つまり、上記メンテナンス機構 8よりも矢印 A方向の外側に位置するように、測長部 移動機構 141が上記基体 2に取り付けられ、この測長部移動機構 141に、上記測長 部 14が矢印 B方向に移動自在に取り付けられて 、る。
[0059] 上記測長部 14は、上記載置面 11aに重ならず、上記載置面 11aに関して上記第 1 のビーム部 41,上記第 2のビーム部 42および上記液滴吐出部 6と反対側に位置して いる。
[0060] そして、上記アーム部 4が移動することで、上記液滴吐出部 6の吐出面 60や上記基 準部 16は、上記測長部 14の上に移動する。つまり、図面では省略しているが、上記 アーム部移動機構 5による上記アーム部 4の移動可能領域は十分広ぐ上記アーム 部 4を上記測長部 14の上にまで移動させることが可能である。
[0061] このように、上記測長部 14を上記各液滴吐出部 6の吐出面 60に対向して、上記各 液滴吐出部 6の吐出面 60と上記測長部 14との間の距離を測定する一方、上記測長 部 14を上記各基準部 16に対向して、上記各基準部 16と上記測長部 14との間の距 離を測定する。
[0062] 上記測長部移動機構 141の精度は高くなくて良い。したがって、上記測長部移動 機構 141には、安価で軽量で省スペースの移動機構を用いる事が可能となる。例え ば、上記測長部移動機構 141としては、 2500mmで約 0. 5mmの高さずれを生じる
[0063] 上記測長部 14としては、例えば、キーエンス社製レーザー変位センサヘッド LK 85及びアンプユニット LK— 2110を用いる。
[0064] 上記測長部 14には、算出部 15が電気的に接続されている。この算出部 15は、上 記測長部 14によって測定された一の上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記測長部 1 4との間の距離、および、上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60近傍の一の上記基準 部 16と上記測長部 14との間の距離と、既知である上記一の基準部 16と上記載置面 11aとの間の距離とから、上記一の液滴吐出部 16の吐出面 60と上記載置面 11aと の間のギャップを算出する。
[0065] 図 2に示すように、上記基体 2は、中央に位置するメインステージ 20と、このメインス
テージ 20の矢印 A方向の両側に位置する第 1のサブステージ 21および第 2のサブス テージ 22とを有する。なお、図 2では、上記基板 10を省略して描いている。
[0066] 上記第 1のサブステージ 21は、上記メンテナンス機構 8を有する。上記メインステー ジ 20、上記第 1のサブステージ 21および上記第 2のサブステージ 22は、機械的に連 結している。
[0067] 上記メインステージ 20は、御影石製の高精度のステージであり、上記液滴吐出部 6 力も上記載置台 3上の上記基板 10に向けて液滴が吐出される間は、上記載置台 3を 正確に固定する。
[0068] 上記第 1のサブステージ 21は、上記メンテナンス機構 8を搭載し、上記メインステー ジ 20に比べ精度良く製造する必要はない。
[0069] 上記第 2のサブステージ 22は、上記載置台 3上に上記基板 10を搬入するとき、ま たは、上記載置台 3上から上記基板 10を搬出するときに、上記載置台 3を上記装置
1端部に移動させる際に使用するステージである。
[0070] 上記各ステージ 20, 21, 22には、メイン移動機構 50、第 1のサブ移動機構 51およ び第 2のサブ移動機構 52が搭載されており、上記移動機構 50, 51, 52の間を跨い で上記アーム部 4が自由に移動できるように、上記移動機構 50, 51, 52の間に繋ぎ 目を有しつつ連結している。
[0071] 図 1Aと図 1Bに示すように、上記アーム部 4は、上記アーム部移動機構 5との間で 常時エアー浮上している。つまり、上記アーム部移動機構 5上に設けられた磁石式リ ユアスケール 53と上記アーム部 4の上記浮上移動機構 43との間のリニアモータ制御 により、上記アーム部 4の移動を可能としている。
[0072] なお、上記アーム部 4は、上記制御部 13によって、矢印 A方向の任意の位置に移 動される。上記アーム部移動機構 5の高さ精度は、非常に高ぐ上記液滴吐出部 6の 吐出面 60から上記載置面 11aまでの距離の変動量は、 2500mmの移動で 10 μ m 以下である。
[0073] そして、上記アーム部移動機構 5および上記磁石式リニアスケール 53は、上記 3つ のステージ 20, 21, 22を跨って自由に移動できるよう連続的に構成されている。な お、上記基体 2の下部には、図示しない一般的な除振機構が設けられている。
[0074] 上記載置台 3の上面には、図示しない微小な孔が複数形成されている。この孔の 全てが、図示しない吸引機構に連結し、この吸引機構による吸引制御によって、上記 載置台 3上に上記基板 10を吸着固定する一方、上記吸引機構の解除制御によって 、上記載置台 3上力も上記基板 10を開放する。また、上記載置台 3の上面は、平坦 性が良い石定盤カもなり、液滴吐出部 6の吐出面と平行である。
[0075] 上記載置台 3は、上記基体 2上に設けられた図示しないスライドレール上をリニアモ ータ制御により矢印 A方向に移動できて、上記基板 10の搬入または搬出時に、図 3 に示すように、上記メンテナンス機構 8と反対方向の端部に移動する。なお、上記ァ ーム部 4は、上記基板 10の搬入または搬出時に、上記メンテナンス機構 8直上に移 動する。
[0076] 図 1Bと図 4に示すように、上記第 1のビーム部本体 410の上記取付面 410bには、 四組の上記液滴吐出部 6および上記スライド機構 7が取り付けられている。上記第 1 のビーム部本体 410の上記対向面 410aには、二つの上記撮像部 90が取り付けられ ている。
[0077] 上記第 2のビーム部本体 420の上記取付面 420bには、五組の上記液滴吐出部 6 および上記スライド機構 7が取り付けられて 、る。上記第 2のビーム部本体 420の上 記対向面 420aには、上記載置台 3の B方向の幅と略等しいスライド機構 92が取り付 けられている。このスライド機構 92に、上記観察力メラ 91が移動可能に取り付けられ 、この観察力メラ 91は、矢印 B方向に移動可能である。
[0078] 上記全てのスライド機構 7は、上記載置台 3の上面からみて、矢印 B方向に千鳥状 に配列している。また、矢印 A方向に互いに隣接する上記 2つのスライド機構 7, 7に おいて、上記 2つのスライド機構 7, 7のそれぞれのスライド可能領域は、矢印 B方向 に対して、一部重複している。なお、重複する移動可能領域は、その領域が大きいほ どよぐ三分の一以上重複していることが望ましい。
[0079] 図 5に示すように、上記液滴吐出部 6は、上記アーム部 4上に設置された上記スライ ド機構 7に搭載され、矢印 B方向にそれぞれ独立して移動可能である。
[0080] 上記液滴吐出部 6は、箱体 66と、この箱体 66に収納された吐出素子 61、駆動制 御回路 62、電気接続ケーブル 63、インクタンク 64およびインク配管 65とを有し、上
記箱体 66は、上記スライド機構 7上を移動する。
[0081] 上記吐出素子 61の上記載置台 3の上面との平行面には、ノズルプレート 69が接着 され、このノズルプレート 69には、複数のノズル孔 67が形成されている。なお、このノ ズノレ孑し 67の直径は、 10 μ m〜20 μ mである。
[0082] 上記吐出素子 61は、一般的なものであり、例えば、圧電体基板に複数のインク室と しての溝を形成した後、隔壁側面の一部に電極を形成して、この隔壁の両側面の間 に電界を印加することで、この隔壁自体をせん断変形させて、吐出エネルギーを発 生させる。
[0083] 上記駆動制御回路 62は、図示しないケーブルにより、図示しない駆動制御システ ムに接続されて、吐出制御が行われる。
[0084] 上記液滴吐出部 6は、上記吐出素子 61の高さを調整する(図示しない)調整部を 内蔵しており、この調整部により、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11a 上の上記基板との間の距離を調整することができる。この距離は、 0. 5〜1. Ommと なるように調整される。
[0085] 上記調整部として、自動一軸ステージを用いることができて、この場合には、全自動 で調整を行うこともできる。
[0086] また、上記調整部として、手動一軸ステージを用いることができて、この場合には、 小型で軽量のステージを用いることもでき、上記液滴吐出部 6の重量を軽減が可能と なる。したがって、上記アーム部 4全体の重量の軽減も可能となる。
[0087] 図 6Aに示すように、上記第 2のビーム部本体 420に取り付けられている上記液滴 吐出部 6用の上記スライド機構 7は、上下に配置された二列の LMガイド 70, 70 (株 式会社 THK製)と、この二列の LMガイド 70, 70の間に配置されたリニアガイド 71と 、上記液滴吐出部 6を着脱可能に取り付けるベース板 72とを有する。
[0088] 上記 LMガイド 70の一部は、上記ベース板 72に取り付けられ、上記 LMガイド 70の 他部は、上記第 2のビーム部本体 420に取り付けられ、上記 LMガイド 70の一部と上 記 LMガイド 70の他部とは、互いに、スライド自在である。
[0089] 上記リニアガイド 71は、上記第 2のビーム部本体 420に取り付けられ、上記リニアガ イド 71に対向するように上記ベース板 72に取り付けられて 、るリニア駆動機構 68を
駆動制御することで、図 6Aの紙面手前または奥方向(図 1Aの矢印 B方向)の所定の 位置に、上記液滴吐出部 6を移動させることができる。
[0090] 上記リニアガイド 71は、小型の N極および S極の永久磁石を、交互に、規則的に配 列させたものである。上記リニア駆動機構 68は、交流制御で N極および S極を自在 に発生できるものであり、上記リニアガイド 71と上記リニア駆動機構 68との磁石力に より、上記スライド機構 7上の上記液滴吐出部 6の位置制御を可能として 、る。
[0091] 上記 LMガイド 70の有効移動ストロークは 250mmであり、この有効ストローク以上 の範囲で、上記リニアガイド 71は、設置されている。
[0092] 上記スライド機構 7の高さ精度は高ぐ上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記基板 1
0との間の距離の変動は、 250mmの移動で 10 μ m以下である。
[0093] なお、上記第 1のビーム部 41の上記スライド機構 7も同様の構成であるため説明を 省略する。
[0094] 上記液滴吐出部 6は、上記ベース板 72に分離可能に取り付けられており、上記液 滴吐出部 6に不都合が発生した際には、上記液滴吐出部 6を上記ベース板 72から 分離して交換する。
[0095] 上記ベース板 72の下端には、上記基板 10の上面(つまり、上記載置面 11a)との 距離が指定値となるように調整された上記基準部 16が取り付けられている。上記基 準部 16は、例えば、反射板等のプレートである。
[0096] 上記基準部 16は、上記ベース板 72に取り付けられているため、上記液滴吐出部 6 を分離または交換しても、上記基板 10の上面から上記基準部 16までの距離 aは、一 定である。この実施形態において、 aは 80mmである。
[0097] 上記基板 10の上面と上記液滴吐出部 6の吐出面 60との間の距離 dは、上記液滴 吐出部 6の製造上の誤差や上記液滴吐出部 6を上記ベース板 72に取り付ける際の 誤差などの原因により変動する。そのため、上記液滴吐出部 6を交換した場合には、 必ず上記吐出面 60から上記基板 10の上面までの距離が指定値となるように、上記 吐出面 60の高さを調整する。これは、上記複数の液滴吐出部 6において上記吐出 面 60と上記基板 10との間の距離のばらつきが大きいときや、上記吐出面 60と上記 基板 10との間の距離自体が大きいと、着弾精度が低下してしまうためである。この実
施形態において、 dを 0. 5mm ± 20 mに合わせる。
[0098] 図 6Bに示すように、上記液滴吐出部 6は、内部に、調整部 17を有する。この調整 部 17は、上記吐出面 60を上記載置面 11aに対して接近または離隔して、上記吐出 面 60と上記載置面 1 laとの間のギャップを調整する。
[0099] 上記調整部 17は、上記箱体 66の内部に設けられた固定部 170と、この固定部 17 0に揷通され上記吐出素子 61の上面に螺合された調整ネジ 171と、この固定部 170 に挿通され上記吐出素子 61の側面に螺合された固定ネジ 172とを有する。
[0100] 上記調整ネジ 171を回すことによって、上記吐出素子 61の高さを調整することがで きる。上記固定ネジ 172を回すことによって、上記吐出素子 61を上記固定部 170〖こ 対して接触または離隔することができる。つまり、上記固定ネジ 172を締めることによ り、上記吐出素子 61を上記固定部 170に押し当てて、上記吐出素子 61を位置決め する。
[0101] 上記固定ネジ 172には、図示しない圧縮パネが内蔵しており、上記固定ネジ 172を 緩めた状態であっても、上記吐出素子 61は、一定の圧力で、上記固定部 170に押し 付けられる。
[0102] 上記固定ネジ 172が緩められており、上記圧縮パネだけにより上記吐出素子 61が 上記固定部 170に押し付けられた状態であれば、上記調整ネジ 171を回すことによ り、上記吐出素子 61の高さを自由に変更することが可能である。
[0103] 図 6Aに示すように、上記第 2のビーム部本体 420に取り付けられている上記観察 カメラ 91用の上記スライド機構 92は、上記スライド機構 7と同様の構成であり、上下に 配置された二列の LMガイド 93, 93 (株式会社 THK製)と、この二列の LMガイド 93 , 93の間に設置されたリニアガイド 94とを有する。
[0104] 上記 LMガイド 93の一部は、上記観察力メラ 91に取り付けられ、上記 LMガイド 93 の他部は、上記第 2のビーム部本体 420に取り付けられ、上記 LMガイド 93の一部と 上記 LMガイド 93の他部とは、互いに、スライド自在である。
[0105] 上記リニアガイド 94は、上記第 2のビーム部本体 420に取り付けられ、上記リニアガ イド 71に対向するように上記観察力メラ 91に取り付けられて 、るリニア駆動機構 95を 駆動制御することで、図 6Aの紙面手前または奥方向(図 1Aの矢印 B方向)の所定の
位置に、上記観察力メラ 91を移動させることができる。なお、上記リニアガイド 94およ び上記リニア駆動機構 95は、上記リニアガイド 71および上記リニア駆動機構 68と同 じ構成であるので、説明を省略する。なお、上記 LMガイド 93の有効移動ストローク は 2500mmであり、この有効ストローク以上の範囲で、上記リニアガイド 94は、設置 されている。
[0106] 上記観察力メラ 91は、上記アーム部移動機構 5に設けられた矢印 A方向の情報取 得機能と、上記スライド機構 92に設けられた矢印 B方向の情報取得機能とにより、上 記ァライメントマーク 110に対する上記基板 10のアドレス情報を出力することができる
[0107] 上記観察力メラ 91は、主に、上記液滴吐出部 6が上記基板 10上に着弾した着弾画 像を観察し、それぞれの上記液滴吐出部 6の吐出状態、または、ァライメントマーク基 準の着弾位置のアドレスを出力することができる。
[0108] 上記観察力メラ 91で得た着弾位置座標を用いて、それぞれの上記液滴吐出部 6に ついて、矢印 A方向に対して吐出タイミングの補正を行う一方、矢印 B方向に対して 上記スライド機構 7の移動量の補正を行うことによって、上記基板 10上の所望の位置 に液滴を着弾させることができる。
[0109] 図 7Aの底面図に示すように、上記液滴吐出部 6は、 1種類の液体を吐出する上記 吐出素子 61を有する。上記液滴吐出部 6の底面の上記ノズル孔 67は、一列に配列 し、矢印 B方向に対して直角力も数度傾いている。上記ノズル孔 67は、全て同一の 液滴材料を吐出する。
[0110] なお、上記液滴吐出部としては、図 7Bに示すように、 3種類の液体を吐出する吐出 素子 61A, 61B, 61Cを有する液滴吐出部 6Aを用いてもよい。つまり、この液滴吐 出部 6Aは、第一の液滴材料を吐出する上記吐出素子 61 Aと、第二の液滴材料を吐 出する上記吐出素子 61Bと、第三の液滴材料を吐出する上記吐出素子 61Cとを有 する。
[0111] 上記吐出素子 61 A, 61B, 61Cのそれぞれのノズル孔 67A, 67B, 67Cは、矢印 B方向に対して直角力 数度傾いており、上記ノズル孔 67A, 67B, 67Cのそれぞれ の矢印 B方向への投影領域は、ほぼ一致するように構成されて 、る。
[0112] なお、上記ノズル孔 67A, 67B, 67Cのそれぞれは、上記液滴吐出部 6内で矢印 B 方向に微小に移動可能であってもよ 、。
[0113] 次に、上記構成の液滴塗布装置の動作を説明する。
[0114] 図 8A、図 8Bおよび図 8Cを用いて、上記基板 10の搬出および搬入の動作を説明 する。図 8Aに示すように、上記基板 10の処理が完了し、上記基板 10の処理後は、 図 8Bに示すように、上記載置台 3を、紙面左側にスライドすると共に、上記アーム部 4 を、上記メンテナンス機構 8の直上に移動する。そして、処理済の上記基板 10の吸 着を開放した後に、図示しない搬送ロボットに上記基板 10を受け渡たす。その後、上 記搬送ロボットは、次の上記基板 10を上記載置台 3に載せる。
[0115] そして、上記載置台 3に載せられた上記基板 10は、図 8Cに示すように、即座に上 記載置台 3にエアー吸着され、上記載置台 3および上記アーム部 4は、図 8Aに示す ように、元の位置に戻る。
[0116] 上記載置台 3から上記基板 10が搬出され、次の基板 10が搬入されて、上記載置 台 3が元の位置に戻る間に、並行して、上記液滴吐出部 6に対する通常のメンテナン ス動作が行われる。
[0117] 上記メンテナンス動作では、上記アーム部 4を上記メンテナンス機構 8上に移動し、 その後、メンテナンス作業を行う。
[0118] 具体的に述べると、上記液滴吐出部 6の上記ノズルプレート 69の下面は、図 8Bに 示すように、ゴム製のキャップ部材 81によりキャップされる。そして、上記キャップ部材 81の底部にある通気口より負圧吸引して、上記ノズルプレート 69の上記ノズル孔 67 力も液を強制排出することにより、上記ノズル孔 67のダスト等を除去する。
[0119] その後、上記ノズルプレート 69の下面を図示しないワイプブレードでワイプする。そ して、図示しない不吐出検出機構により、上記ノズル孔 67からの吐出状態をチェック する。なお、これら一連のメンテナンス動作の順序は、異なっていてもよい。
[0120] 新たな上記基板 10が搭載された上記載置台 3と、上記液滴吐出部 6のメンテナンス 動作が完了した上記アーム部 4は、ほぼ同時に図 8Cの矢印方向に移動し、図 8Aの 位置に戻る。
[0121] 次に、上記液滴塗布装置 1のメンテナンス動作を説明する。上記基板 10の搬出お
よび搬入を実行する間、または、上記基板 10への液滴吐出動作を長期間実施しな いときは、上記液滴吐出部 6に対してメンテナンス動作を実行する。このメンテナンス 動作は、不吐出検出、キャップ、キャップ内吸引パージおよびワイビングを行う。
[0122] 先の上記基板 10の処理後に、直ちに、次の上記基板 10の処理を行う場合、先の 上記基板 10の搬出動作の命令が与えられるのと同時に、上記液滴吐出部 6を搭載 した上記アーム部 4に、上記メンテナンス機構 8直上への移動命令が与えられる。
[0123] 上記メンテナンス機構 8は、上記液滴吐出部 6の吐出不良を検出する不吐出検出 機構を有する。この不吐出検出機構は、上記液滴吐出部 6毎に設置されている。
[0124] 上記不吐出検出機構 85は、図 9Aと図 9Bに示すように、レーザー発光素子 84およ びレーザー受光素子 83を有する。なお、上記液滴吐出部として、図 7Bに示す液滴 吐出部 6Aを用いる。
[0125] 上記レーザー発光素子 84と、図示しないレーザー発光回路とは、不吐出検出の指 令を受けると、レーザー光 82を上記レーザー受光素子 83に向けて連続的に照射す る。上記レーザー受光素子 83に接続された受光量計測手段は、通常の受光量を記 憶する。
[0126] 上記レーザー光 82の照射方向は、上記基板 10の上面に略平行で、かつ、上記液 滴吐出部 6Aの吐出面 60 (上記ノズルプレート 69の下面)に略平行である。
[0127] 上記レーザー光 82の直径は、 1mmであり、一つの上記液滴吐出部 6Aの全てのノ ズル孔 67A, 67B, 67Cから吐出される液滴は、上記レーザー光 82の光軸内を通過 する。
[0128] 上記レーザー発光素子 84および上記レーザー受光素子 83は、微動機構を有して おり、この微動機構は、万一上記レーザー光 82の光軸内を液滴が通過しない場合、 上記レーザー発光素子 84および上記レーザー受光素子 83の位置を調整する。
[0129] 上記不吐出検出機構 85の動作を説明する。
[0130] 初めに、第一番目の上記吐出素子 61Aから、液滴を、一定時間吐出させて、受光 量計測手段からの光量を読み取り、通常の受光量と比較して、遮光量を計測して、こ の値が予め設定した設定値の範囲内にある力否かを判断する。そして、この値が設 定値の範囲内にある場合は、正常吐出とみなし、この値が設定値の範囲内にない場
合は、吐出不良とみなす。
[0131] 次に、 2番目の上記吐出素子 61Bおよび 3番目の上記吐出素子 61Cに関して、順 次、同様の吐出制御および遮光量計測を行って、上記液滴吐出部 6Aの全てのノズ ル孔 67A, 67B, 67Cについて、吐出不良の有無を確認する。
[0132] 吐出不良がない場合、上記液滴吐出部 6Aをキャップ位置に移動させて、上記基 板 10の搬入動作が完了する直前まで、キヤッビングを行う。
[0133] 吐出不良がある場合、一般的に知られている回復動作、例えば、上記液滴吐出部 6Aをキャップ位置に移動し、キヤッビングし、キャップを負圧に引いてノズル孔から強 制排出し、キャップを解除し、ワイビングを行い、再度、不吐出検出を行う。そして、不 吐出検出と回復動作を、吐出不良がなくなるまで、数回を限度に実行する。吐出不 良が回復しない場合は、その旨を装置に出力する。
[0134] なお、先の上記基板 10を処理する直前の最後の不吐出検出結果と、先の上記基 板 10を搬出中に行う最初の不吐検出結果とを比較して、吐出状態に変化が認めら れる場合、先の上記基板 10の処理が不適として廃棄するか、修復工程に回すことが できる。
[0135] 次に、上記基板 10のァライメント動作を説明する。
[0136] 上記アーム部 4に固定されている二つの上記撮像部 90, 90を、図 10Aの位置から 上記アーム部 4と一体的に、図 10Bの位置に移動して、上記撮像部 90の画像情報を 元に、図 1Bに示す上記姿勢調整部 12によって、図 10Bの矢印方向に上記基板 10 の姿勢を補正する。
[0137] 上記基板 10には、予め高精度の上記二つのァライメントマーク 110, 110が設けら れており、上記基板 10の液滴塗布位置は、上記ァライメントマーク 110を基準として 、予め決定されている。
[0138] 上記ァライメントマーク 110は、同心円状のマークであり、上記二つのァライメントマ ーク 110, 110のピッチずれは、 2 /z m以内である。上記二つのァライメントマーク 11 0, 110のピッチと同ピッチで、上記二つの撮像部 90, 90は、上記アーム部 4上に設 置されている。
[0139] また、上記撮像部 90の基準位置と上記液滴吐出部 6の着弾位置とは、上記観察力
メラ 91による補正動作により予め補正されて 、る。
[0140] よって、上記撮像部 90の基準位置に、上記基板 10の上記ァライメントマーク 110を 一致させることにより、液滴の着弾位置と液滴を塗布すべき位置とを、一致させること ができる。
[0141] 図 11に示すように、上記撮像部 90は、高倍率モードのカメラユニット 98と低倍率モ ードのカメラユニット 97とを有する。上記高倍率モードのカメラユニット 98と上記低倍 率モードのカメラユニット 97とは、上記アーム部 4に矢印 A方向に並んで取り付けられ ている。つまり、上記第 1のビーム部 41に、順に、上記低倍率モードのカメラユニット 9 7および上記高倍率モードのカメラユニット 98が並んで取り付けられる。
[0142] 上記低倍率モードのカメラユニット 97のァライメント基準位置と、上記高倍率モード のカメラユニット 98のァライメント基準位置とは、上記アーム部 4を適切に移動させる ことで一致するように、予め位置補正されている。
[0143] 上記低倍率モードのカメラユニット 97は、フォーカス倍率 0. 5倍のカメラ機構を有し 、 200万画素(1400 * 1400ピクセル)の CCDカメラにより上記基板 10上を撮像する ことができ、撮像視野域は概ね 10mm四方、画像分解能は約 13 mである。
[0144] 上記高倍率モードのカメラユニット 98は、フォーカス倍率 10倍のカメラ機構を有し、 140万画素(1400 * 1000ピクセル)の CCDカメラにより上記基板 10上を撮像するこ とができ、撮像視野域は概ね 0. 5mm四方、画像分解能は、約 0. 7 mである。
[0145] 上記低倍率モードのカメラユニット 97および上記高倍率モードのカメラユニット 98 は、それぞれ図示しな!ヽ画像処理手段に接続されて!ヽる。
[0146] この画像処理手段では、上記カメラユニット 97, 98で撮像したァライメントマーク画 像から二値ィ匕処理を経て、マークの重心位置を割り出し、現在のァライメントマーク中 心位置とする。
[0147] 上記基板 10上の二つのァライメントマーク 110, 110を二つのカメラユニット 97, 98 で撮像し、ァライメントマーク中心位置を割り出すことにより、上記基板 10の回転移動 および直線移動のァライメント量を決定することができる。
[0148] 図 12は、ァライメント動作について、上記載置台 3、上記撮像部 90および上記ァー ム部 4の動きを併記したフローチャートである。
[0149] ァライメント開始の指令がだされると (SI)、図示しない搬送ロボットが上記基板 10 を上記載置台 3上に載せ (S11)、上記載置台 3はァライメント定位置まで移動する(S 12)。
[0150] このとき、上記アーム部 4は、ァライメント位置に移動し (S31)、上記低倍率モード のカメラユニット 97を、上記基板 10のァライメントマーク 110を検出する位置であるァ ライメント標準位置に移動する(S32)。
[0151] ここで、上記載置台 3および上記アーム部 4の移動が完了したときの、上記低倍率 モードのカメラユニット 97の視野を、図 13Aと図 13Bに示す。図 13Aでは、一方の上 記撮像部 90の上記低倍率モードのカメラユニット 97の視野を示し、図 13Bでは、他 方の上記撮像部 90の上記低倍率モードのカメラユニット 97の視野を示す。
[0152] 上記ァライメントマーク 110は、同心円状であり、外側のリングは、粗ァライメント用で あり、この外側のリングの外径は、 1mmである一方、内側の黒丸は、精ァライメント用 であり、この黒丸の直径は、 0. 2mmである。
[0153] 搬送ロボットが上記載置台 3上に上記基板 10を搭載する精度は、理想位置に対し て ± 3mmであり、視野域 10mm角の上記低倍率モードのカメラユニット 97をァライメ ント標準位置にもってきたときには、上記ァライメントマーク 110は、図 13Aと図 13B に示すように、必ず視野内に収まる。
[0154] つまり、上記低倍率モードのカメラユニット 97は、搬送ロボットの基板搭載精度以上 の視野を有しており、基板搭載後にァライメントマークをカメラの視野内に収めるため の予備ァライメント動作を行うことなぐ即座にァライメント動作を行うことができる。また 、周囲をサーチするシーケンスや機構を、別途、設けなくてもよい。
[0155] 要するに、上記撮像部 90は、低倍率モードの状態で、上記姿勢調整部 12によって 姿勢が調整される前の上記基板 10における上記ァライメントマーク 110を検出する 視野を有するので、上記基板 10の姿勢を調整する前に、上記ァライメントマーク 110 を検出して、上記ァライメントマーク 110を上記撮像部 90の視野内に納めるようにす る必要がなくて、ァライメント検出機構を別途設ける必要なぐし力も、上記基板 10の 姿勢を調整するまでの時間を省略できる。
[0156] その後、図 12に示すように、上記二つの低倍率モードのカメラユニット 97, 97でそ
れぞれ上記ァライメントマーク 110, 110を撮像し (S21)、外側のリングの重心位置を 読み取って、 2つのマークの基準位置からのずれ方向およびずれ量から、上記基板 10を移動させるべき数値であるァライメント量を算出する(S22)。
[0157] また、上記ァライメントマーク 110の撮像が完了した時点(S21)で、上記アーム部 4 が移動して、上記高倍率モードのカメラユニット 98を、上記基板 10のァライメントマ一 ク 110を検出する位置であるァライメント標準位置に移動する(S33)。
[0158] また、ァライメント量が決定すると(S22)、この情報を元に上記姿勢調整部 12によ つて上記基板 10の粗ァライメントを実行する(S 13)。
[0159] ここで、粗ァライメントとは、図 13Aと図 13Bに示すように、上記ァライメントマーク 11 0を、点線の十字線で示されて!/ヽるァライメント基準位置に移動させることを!、う。
[0160] その後、粗ァライメント、および、上記高倍率モードのカメラユニット 98の移動が完 了すると、上記高倍率モードのカメラユニット 98の視野では、図 14Aと図 14Bに示す ように、上記ァライメントマーク 110の微小なずれがある。図 14Aでは、一方の上記撮 像部 90の上記高倍率モードのカメラユニット 98の視野を示し、図 14Bでは、他方の 上記撮像部 90の上記高倍率モードのカメラユニット 98の視野を示す。
[0161] これは、上記低倍率モードのカメラユニット 97の視野では、画像分解能は 13 mで あり画像検出のずれも含めると数十 mの誤差を生じる恐れがあるために、粗ァライ メントを実行しても厳密なずれは解消できないためである。
[0162] その後、図 12に示すように、上記高倍率モードのカメラユニット 98で、上記ァラィメ ントマーク 110の内側の黒丸を撮像し (S23)、内側の黒丸の重心位置を読み取って 、 2つのマークの基準位置からのずれ方向およびずれ量から、上記基板 10を移動さ せるべき数値であるァライメント量を算出し (S24)、このァライメント量を元に上記姿 勢調整部 12によって上記基板 10の精ァライメントを実行する(S14)。
[0163] ここで、精ァライメントとは、図 14Aと図 14Bに示すように、上記ァライメントマーク 11 0を、点線の十字線で示されて!/ヽるァライメント基準位置に移動させることを!、う。
[0164] この精ァライメントでは、画像分解能 0. 6 mであるために、少なくとも 2 m以下の ァライメント精度を実現することができる。
[0165] その後、必須ではないが、再度、上記高倍率モードのカメラユニット 98で、上記ァラ
ィメントマーク 110の内側の黒丸を撮像し (S25)、ずれがな 、かの精度を確認して( S26)、ァライメントを完了する(S2)。
[0166] 次に、図 15Aと図 15Bを用いて、上記観察力メラ 91による液滴着弾位置の計測を 説明する。
[0167] 上記観察力メラ 91は、上記液滴吐出部 6の上記吐出素子 61を交換して着弾位置 補正を行うための情報を取得する場合や、使用中の着弾位置を再確認する際に用 いる。上記観察力メラ 91は、上記アーム部移動機構 5および上記スライド機構 92によ つて、装置上面の任意の位置を撮像すると共にその位置の割り出しを行う。
[0168] 上記観察力メラ 91の撮像位置は、上記アーム部移動機構 5および上記スライド機 構 92に内在されたスケールによって、出力される。
[0169] 液滴着弾位置を観察する場合、図 15Aに示すように、上記基板として、通常の基 板 10と同様の所定のァライメントマーク 110Aが付与されたダミー基板 10Aを装置に 搬入し、通常通りの基板姿勢制御を行う。上記観察力メラ 91は、上記ダミー基板 10A 上の二つのァライメントマーク 110A, 110Aをそれぞれ撮像し、その位置情報を取 得する。
[0170] そして、上記アーム部 4は、上記ダミー基板 10Aの任意の位置まで移動する。それ ぞれの上記液滴吐出部 6のノズル孔から上記ダミー基板 10Aに向けて液滴を吐出す る。なお、このとき、全てのノズル孔力 液滴を吐出しても良い。
[0171] また、それぞれの上記液滴吐出部 6において、上記アーム部移動機構 5および上 記スライド機構 92に内在されたスケールによって、仮想の着弾位置 (理想的な着弾 位置)をそれぞれ認識する。
[0172] その後、図 15Bに示すように、上記観察力メラ 91は、上記アーム部移動機構 5およ び上記スライド機構 92により移動しながら、液滴着弾位置 111を順次撮像して、上記 ァライメントマーク 110Aからの実際の着弾位置を割り出す。
[0173] そして、仮想の着弾位置と実際の着弾位置の差分をそれぞれの液滴吐出部 6の補 正データとして保管する。このずれは、矢印 A方向および矢印 B方向に分解される。
[0174] 矢印 A方向のずれに対しては、上記アーム部 4が矢印 A方向に移動しながら、上記 液滴吐出部 6の液滴吐出を行うため、上記液滴吐出部 6の吐出タイミングを調整する
ことで補正することができる。矢印 B方向のずれに対しては、上記スライド機構 7の移 動量をオフセット補正する。この作業は、ノズル毎の不吐出の検出や着弾よれの検出 をすることも可會である。
[0175] 次に、図 16Aと図 16Bを用いて、姿勢制御が完了した上記基板 10に対して、ァライ メントマーク基準の所望位置に液滴を滴下する方法を説明する。図 16Aは、上記基 板 10に液滴を滴下する作業において、上記アーム部 4が最も紙面右に移動した状 態を示す一方、図 16Bは、上記基板 10に液滴を滴下する作業において、上記ァー ム部 4が最も紙面左に移動した状態を示し、上記アーム部 4は、矢印 A方向の長さ L の範囲を 1〜複数回往復する。
[0176] 上記アーム部 4に搭載されている上記複数の液滴吐出部 6は、矢印 B方向にそれ ぞれ独立して移動可能である。上記アーム部 4は、上記基板 10上を、矢印 A方向に 往復移動する。
[0177] それぞれの上記液滴吐出部 6は、液滴吐出動作を実行する前に、所望位置である 矢印 B方向のアドレスに移動して停止する。そして、上記アーム部 4が矢印 A方向に 往復移動する過程で、所望位置である矢印 A方向および矢印 B方向のアドレスがー 致した時点で、液滴を吐出する。この動作は、複数の液滴吐出部 6について、それぞ れ独立して制御される。
[0178] 次に、図 17を用いて、上記液滴吐出部 6によって上記基板 10に液滴を吐出する動 作を説明する。
[0179] 上記アーム部 4には、矢印 B方向に独立して移動可能な上記液滴吐出部 6が 9個 搭載されており、それぞれの液滴吐出部 6には、上記基板 10上の受け持ち領域が設 定されている。
[0180] 上記基板 10には、複数の欠損部 113が点在しており、それぞれの液滴吐出部 6に は、矢印 B方向に帯状の受け持ち領域がある。第 1の液滴吐出部 6Aは、図のハッチ ング領域 114を受け持つ。第 2の液滴吐出部 6Bは、領域 115を受け持つ。それぞれ の液滴吐出部 6は、受け持ち領域にある上記欠損部 113に対して液滴吐出動作を 行う。
[0181] 上記アーム部 4を、矢印 A方向に繰り返し往復移動させる過程で、それぞれの液滴
吐出部 6は、それぞれ受け持つ上記欠損部 113の直上に移動すベぐ矢印 B方向に 個別に移動し、矢印 B方向のアドレスが一致した場所で停止して、上記アーム部 4の 移動に伴って、矢印 A方向のアドレスが一致するまで待機する。そして、上記基板 10 上の所望位置が直下に来るタイミングで、上記液滴吐出部 6を駆動して液滴を吐出 口から上記基板 10上の所望位置に吐出させる。
[0182] 次に、図 18A〜図 18Dを用いて、上記液滴吐出部 6が、上記アーム部 4の往復移 動の過程で、複数の長方形状凹部の上記欠損部 113に液滴を吐出させる工程を説 明する。ここで、上記欠損部 113とは、製造工程でダストが混入した部分や、空白の 窪みが形成された部分等について、レーザー等により不良部分を一定形状に凹み 修正した部分である。
[0183] 上記液滴吐出部 6は、全て同一の液滴材料を吐出するものとして、 1種類の画素( レッド、ブルー、イェローのいずれか)の欠損について、その修復方法を説明する。な お、全ての色の欠損部を修復するには、本装置を色材毎に 3台設けて逐次処理する 力 図 7Bに示すような液滴吐出部 6Aを複数色吐出可能とすることで、可能となる。
[0184] 図 18A〜図 18Dは、上記アーム部 4に搭載されている複数の液滴吐出部 6のうち の 1つに着目して、 1つの液滴吐出部 6から複数の欠損部 113に吐出動作を行う時 系列の説明図である。
[0185] 図 18Aに示すように、基板上の欠損部 113A, 113B, 113Cは、深さ 2 /z m程度の 凹部であり、開口部は,上記アーム部 4の移動方向(矢印 A方向)を長辺とした 200 m X 70 m程度の長方形状をしている。なお、上記液滴吐出部 6の上記ノズル孔 67の配列方向は、矢印 A方向に対して平行である力 実際には図 7Aに示すように 数度傾いている。
[0186] まず、欠損部 113Aに液滴を吐出し修復するために、上記液滴吐出部 6を、上記ス ライド機構 7を用いて高速移動させて、上記ノズル孔 67を欠損部 113Aの中心線上 に合わせて停止する。
[0187] なお、上記液滴吐出部 6の移動時間は、実際に移動する時間に加えて、上記液滴 吐出部 6が停止した後に、上記液滴吐出部 6の移動による残留振動が、上記液滴吐 出部 6の液滴吐出に悪影響を与えな 、レベルまで低減するまでの静定時間を、含む
必要がある。
[0188] 上記欠損部 113Aの中心線上まで予め移動させた上記液滴吐出部 6は、上記ァー ム部 4の等速移動により矢印 D方向に移動し、上記欠損部 113A上にある上記ノズル 孔 67から液滴を吐出する。
[0189] このとき、使用するノズル孔 67は、上記欠損部 113Aの直上にある複数のノズル孔 67を使用することができるため、 1つのノズル孔 67を使用する場合に比べて、上記ァ ーム部 4の等速移動速度を上げることになり、基板全体の処理速度を向上させること が可能となる。
[0190] その後、上記欠損部 113A上に液滴を吐出した上記液滴吐出部 6は、図 18Bに示 すように、他の欠損部 113Cを修復するために、上記スライド機構 7によって上記矢印 E方向に移動して、上記欠損部 113Cの中心線と上記ノズル孔 67の配列方向とがー 致する位置で停止する。このとき、上記アーム部 4も一定速度で紙面左方向に移動し ているため、上記液滴吐出部 6は、図 18Cに示すように、上記基板 10に対して矢印 F 方向に移動する。
[0191] そして、上記アーム部 4の移動により、上記液滴吐出部 6は、矢印 G方向に移動し ながら、上記欠損部 113C直上にある上記ノズル孔 67から液滴を吐出し、上記欠損 部 113Cの修復を行う。
[0192] その後、上記アーム部 4は、一方向の移動を完了した後に反対方向に移動を始め る。図 18Dに示すように、上記液滴吐出部 6は、さらに他の欠損部 113Bを修復する ために、上記スライド機構 7を用いて矢印 K方向に移動し、上記欠損部 113Bの中心 線上に上記ノズル孔 67の配列方向を合わせて停止する。そして、上記アーム部 4の 移動により、上記液滴吐出部 6は、矢印 L方向に移動して、上記欠損部 113Bの直上 にある上記ノズル孔 67から液滴を吐出する。
[0193] したがって、上記アーム部 4の往復動作を利用して、 3つの欠損部 113A, 113B, 113Cの修復を、欠損部 113A、欠損部 113Cおよび欠損部 113Bの順で行っており 、本装置の構成上の利点を最大限活用するものである。
[0194] 即ち、図 18A〜図 18Dに示すように、上記欠損部 113Aに複数のノズル孔 67で吐 出する際に、実際に吐出を行う紙面右端のノズル孔 67が欠損部 113A直上力も離れ
るまでは移動させることはできず、少なくとも使用するノズル孔 67の両端間距離に相 当する領域では、液滴吐出部 6を紙面上下方向に移動させて、次の欠損部の修復に 向かうことはできない。
[0195] つまり、不能領域 Hは、処理直後の欠損部端力も使用するノズル孔 67の両端間距 離に相当する帯状の領域に加えて、上記アーム部 4の移動速度と、矢印 E方向の移 動に要する時間および移動後の残留振動の静定に要する時間の和、を掛け合わせ た領域も含まれる。
[0196] 図 18Cに示すように、上記欠損部 113Bは、上記欠損部 113Aに対する不能領域 Hに入るため、上記欠損部 113Aの修復の直後に、上記欠損部 113Bの処理を行な わず、不能領域 Hに属さな!/、上記欠損部 113Cの修復を行って 、る。
[0197] そして、上記アーム部 4の復路移動に伴って、上記欠損部 113Cの修復後に、この 不能領域 Hに属さな 、上記欠損部 113Bの修復を行って 、る。
[0198] 以上、 1つの液滴吐出部 6の移動動作について説明を行った力 この装置は複数 の液滴吐出部 6を有し、それぞれが独立して動作して 、る。
[0199] 次に、図 7Bに示す複数の液滴材料を滴下する液滴吐出部 6Aによって、上記欠損 部 113の画素を修復する手順を、図 19A〜図 19C、および、図 20A〜図 20Cを用 いて、説明する。
[0200] まず、図 19A〜図 19Cに示すように、上記欠損部 113の画素長手方向が、上記ァ ーム部 4の移動方向に直交する方向であるときの、上記欠損部 113の修復を説明す る。
[0201] 図 19Aに示すように、ダスト等が原因で、製造途中に、 Rおよび Gの画素間が混色 してしまって、所望の色を示さない画素ができた際に、その部分を矩形状にレーザー で除去して、上記欠損部 113である凹部を形成する。そして、上記液滴吐出部 6Aを 、矢印 A方向の一方向に移動する。
[0202] その後、図 19Bに示すように、上記液滴吐出部 6Aによって、 R画素の上記欠損部 113に液滴を滴下し、さらに、図 19Cに示すように、上記液滴吐出部 6Aによって、 G 画素の上記欠損部 113に液滴を滴下する。
[0203] 次に、図 20 A〜図 20Cに示すように、上記欠損部 113の画素長手方向が、上記ァ
ーム部 4の移動方向であるときの、上記欠損部 113の修復を説明する。
[0204] 図 20Aに示すように、ダスト等が原因で、製造途中に、 Rおよび Gの画素間が混色 してしまって、所望の色を示さない画素ができた際に、その部分を矩形状にレーザー で除去して、上記欠損部 113である凹部を形成する。そして、上記液滴吐出部 6Aを 、矢印 A方向の一方向に移動する。
[0205] その後、図 20Bに示すように、上記液滴吐出部 6Aによって、 R画素の上記欠損部 113に液滴を滴下し、さらに、図 20Cに示すように、上記液滴吐出部 6Aによって、 G 画素の上記欠損部 113に液滴を滴下する。
[0206] 次に、図 6A,図 21Aおよび図 21Bを用いて、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上 記基板 10の上面との間の距離 d (以下、上記液滴吐出部 6のギャップという)を測定 する方法、および、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記基板 10の上面との間の距 離 dを調整する方法を説明する。なお、ここでは、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上 記基板 10の上面との間の距離 dを求めているが、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上 記載置面 11aとの間のギャップを求める場合も、上記基板 10上面を上記載置面 11a にかえるだけで、以下と同じように説明できる。
[0207] 上記液滴吐出部 6のギャップの調整は、例えば、上記液滴吐出部 6を交換した後に 行う。ここで、上記液滴吐出部 6を交換する方法を説明する。
[0208] 上記アーム部 4を移動させて、上記液滴吐出部 6の交換位置に移動させる。この交 換位置は、作業容易性の観点から、この装置の一番端であることが望ましぐこの実 施形態では、上記測長部 14側の端である。また、同時に、上記交換位置において、 上記液滴吐出部 6の下方は、開放空間であることが望ましぐこの実施形態では、上 記交換位置において、上記液滴吐出部 6の下方は、十分な開放空間となっており、 上記液滴吐出部 6の交換作業により、上記液滴吐出部 6の吐出面 60を汚損する可 能性は低い。
[0209] その後、古い液滴吐出部 6を取り外し、新しい液滴吐出部 6を取り付ける。取り付け たば力りの液滴吐出部 6のギャップは、不明であるため、上記調整部 17によって上記 吐出面 60の高さを調整して、上記吐出面 60が、上記基板 10面(上記載置面 11a)か ら一番離れた状態となるようにする。
[0210] 続いて、上記液滴吐出部 6のギャップを測定する。
[0211] まず、図 21Aに示すように、上記液滴吐出部 6、上記測長部 14、および、上記ァー ム部 4を移動させて、上記測長部 14を、測定したい上記液滴吐出部 6が取り付けられ ている上記ベース板 72の基準部 16の下に位置する。そして、上記測長部 14にて、 上記測長部 14から上記基準部 16までの距離を測定する。得られた測定値を cとする oこの実施形態では、 cは 80. 24mmであった。
[0212] その後、図 21Bに示すように、上記アーム部 4を移動させて、上記測長部 14を、測 定したい上記液滴吐出部 6の吐出面 60の下に位置する。ここで、上記アーム部移動 機構 5の高さ精度が非常に高いため、上記アーム部 4の移動で、上記吐出面 60の高 さはほとんど変動しない。この実施形態では、上記アーム部 4の移動距離は約 50m mであり、このときの上記吐出面 60の高さ変動量は 0. 2 m未満である。
[0213] そして、上記測長部 14にて、上記測長部 14から上記吐出面 60までの距離を測定 する。得られた測定値を bとする。この実施形態では、 bは 72. 15mmであった。
[0214] その後、(図 1Bに示す)上記算出部 15によって、上記基板 10の上面と上記液滴吐 出部 6の吐出面 60との間の距離 dを求める。つまり、 [d=a— (c— b) ]の式で求める。
[0215] この実施形態では、 aは、予め 10. OOmmとなるように取り付けられている。したがつ て、 dは、 1. 91mm ( = 10. 00— (80. 24— 72. 15) )となった。
[0216] 続いて、上記液滴吐出部 6のギャップを調整する。つまり、上記算出部 15によって 算出された距離 dが所定量となるように、(図 6Bに示す)上記調整部 17によって、上 記吐出面 60の高さを調整する。
[0217] この実施形態では、距離 dの所定量は 0. 50mmであるため、上記吐出面 60の高さ を、 1. 41mm( = l. 91— 0. 50)低くした。
[0218] 再度、図 21Bに示すように、上記測長部 14にて、上記測長部 14から上記吐出面 6 0までの距離を測定して、再度距離 dを求める。
[0219] この実施形態では、再度の測定における上記測長部 14から上記吐出面 60までの 距離 bは 70. 74mmとなって、距離 dは 0. 50mm ( = 10. 00— (80. 24— 70. 74) ) となった。
[0220] この距離 dの調整を繰り返し実施したところ、距離 dは、 0. 50±0. 01mmとなった。
[0221] なお、この実施形態では、まず、上記液滴吐出部 6の高さの調整量を求めて、上記 液滴吐出部 6の高さを調整してから、再度、上記液滴吐出部 6の高さを測定したが、 上記液滴吐出部 6の高さを繰り返し測定し、上記距離 dが所定量となるように、上記 液滴吐出部 6の高さを徐々に変化させることも可能である。この場合、上記液滴吐出 部 6の高さを繰り返し測定するため、高さが異常に変化した場合の検知が早くなる。
[0222] また、この実施形態では、上記距離 dの調整において、必ず上記基準部 16の高さ を測定しているが、最初の上記距離 dの調整のときだけ、上記基準部 16の高さを測 定し、 2回目以降の上記距離 dの調整の際には、 1回目に測定した上記基準部 16の 高さを用いる事も可能である。つまり、上記液滴吐出部 6毎に、上記基準部 16の位置 および上記測長部 14の位置が決まっているため、上記測長部 14から上記基準部 1 6までの距離は、上記液滴吐出部 6毎に同じ値となる。この場合、 2回目以降の上記 距離 dの調整では、上記基準部 16の高さの測定を省略できるため、上記距離 dの調 整時間を短縮することが可能である。
[0223] 図 22Aの底面図に示すように、上記基準部 16と上記吐出面 60とは、矢印 B方向で 同じ位置にある。したがって、上記アーム部 4を矢印 A方向に移動するだけで、上記 測長部 14は、上記基準部 16および上記吐出面 60のそれぞれの高さを測定すること ができる。
[0224] なお、図 22Bに示すように、上記基準部 16と上記吐出面 60とが、矢印 B方向で異 なる位置にあるようにしてもよい。この場合、上記基準部 16および上記吐出面 60の それぞれの高さを測定するために、上記アーム部 4を矢印 A方向に移動するのみな らず、上記測長部 14を矢印 B方向に移動する必要がある。
[0225] しかしながら、上記基準部 16は、上記液滴吐出部 6毎に設けられているため、上記 基準部 16と上記吐出面 60との矢印 B方向の距離は短い。そのため、上記測長部 14 が矢印 B方向に移動することによる高さの変化は小さい。この実施形態では、上記基 準部 16と上記吐出面 60との矢印 B方向の距離は、約 20mmであり、高さの変動は約 であった。そして、上記距離 dを繰り返し調整したところ、上記距離 dは 0. 50士 0. Olmmであった。
[0226] 上記構成の液滴塗布装置によれば、上記ビーム部 41, 42における上記各液滴吐
出部 6の吐出面 60の近傍の部位に設けられると共に、上記載置面 11aとの間の距離 が既知である上記基準部 16と、上記各液滴吐出部 6の吐出面 60との間の距離およ び上記各基準部 16との間の距離を測定する上記測長部 14と、上記測長部 14によつ て測定された上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記測長部 14との間の距離、お よび、上記一の基準部 16と上記測長部 14との間の距離と、既知である上記一の基 準部 16と上記載置面 11aとの間の距離とから、上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と 上記載置面 11 aとの間のギャップを算出する算出部 15とを有するので、上記載置面 11aの位置に関係なぐ上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間 のギャップを算出することができる。そして、上記液滴吐出部 6のギャップ (すなわち、 上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記基板 10の表面との間の距離 d)は、上記液滴 吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップと、上記基板 10の厚さとか ら、求めることが可能であり、上記基板 10の厚さは既知であるため、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップが求まれば、上記液滴吐出部 6の ギャップが求まる。
[0227] したがって、従来のような載置面の移動を行うことなぐ上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部 6の交 換時間を短縮できる。また、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間 のギャップを調整するときに、上記液滴吐出部 6は上記載置面 11aに重なることがな いので、上記液滴吐出部 6と上記載置面 11aとの接触を防止して、上記液滴吐出部 6の吐出面 60の高さを安全に調整できる。また、上記載置面 11aが固定されている 場合 (つまり、固定ステージ)でも、上記液滴吐出部 6の吐出面 60の高さを調整でき て、装置を小型にかつ安価にできる。
[0228] また、上記基台 11に対して相対的に移動可能なビーム部 41, 42と、このビーム部 41 , 42に移動可能に取り付けられた複数の液滴吐出部 6とを有するので、上記基板 10の (着色不良部分等の)所定部分に上記液滴吐出部 6によって液滴を塗布すると きに、上記ビーム部 41, 42や上記液滴吐出部 6を移動して液滴を塗布できて、効率 よぐ上記基板 10の所定部分に液滴を塗布できる。
[0229] また、上記液滴吐出部 6の数量を必要最小限にできて、非動作の上記液滴吐出部
6の数量を減らすことができる。したがって、液滴による上記液滴吐出部 6の目詰まり を防止し、上記液滴吐出部 6のメンテナンス動作に伴う廃液の液量を減少でき、さら に、全ての上記液滴吐出部 6の吐出量を均一にできる。
[0230] また、上記各液滴吐出部 6の吐出面 60を上記載置面 11aに対して接近または離隔 して、上記各液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップを調整す る調整部 17を有するので、上記各液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの 間のギャップを確実に調整できる。
[0231] また、上記測長部 14は、上記載置面 11aに重ならず、上記載置面 11aに関して上 記ビーム部 41, 42および上記液滴吐出部 6と反対側に位置しているので、上記測長 部 14を、上記載置面 11aと上記ビーム部 41, 42および上記液滴吐出部 6との間の 狭い空間ではなぐ広い空間に配置できる。したがって、上記測長部 14を無理なく容 易に設置できる。
[0232] また、上記基準部 16は、上記スライド機構 7に、設けられて 、るので、上記液滴吐 出部 6の吐出面 60と上記基準部 16との間の距離を短くできて、上記液滴吐出部 6の 吐出面 60と上記測長部 14との間の距離と、上記基準部 16と上記測長部 14との間の 距離とのとの相対的な誤差を小さくできて、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載 置面 11aとの間のギャップを正確に算出できる。
[0233] 上記構成の液滴吐出部のギャップ測定方法によれば、上記測長部 14によって、上 記一の液滴吐出部 6の吐出面 60との間の距離を測定する工程と、上記測長部 14〖こ よって、上記一の基準部 16との間の距離を測定する工程と、上記測長部 14によって 測定された上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記測長部 14との間の距離、およ び、上記一の基準部 16と上記測長部 14との間の距離と、既知である上記一の基準 部 16と上記載置面 11aとの間の距離とから、上記算出部 15によって、上記一の液滴 吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップを算出する工程とを有する ので、上記載置面 11aの位置に関係なぐ上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記 載置面 11aとの間のギャップを算出することができる。そして、上記液滴吐出部 6のギ ヤップ (すなわち、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記基板 10の表面との間の距離 d)は、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップと、上記基
板 10の厚さと力 、求めることが可能であり、上記基板 10の厚さは既知であるため、 上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップが求まれば、上記 液滴吐出部 6のギャップが求まる。
[0234] したがって、従来のような載置面の移動を行うことなぐ上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部 6の交 換時間を短縮できる。また、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間 のギャップを調整するときに、上記液滴吐出部 6は上記載置面 11aに重なることがな いので、上記液滴吐出部 6と上記載置面 11aとの接触を防止して、上記液滴吐出部 6の吐出面 60の高さを安全に調整できる。また、上記載置面 11aが固定されている 場合 (つまり、固定ステージ)でも、上記液滴吐出部 6の吐出面 60の高さを調整でき て、装置を小型にかつ安価にできる。
[0235] 上記構成の液滴吐出部のギャップ調整方法によれば、上記測長部 14によって、上 記一の液滴吐出部 6の吐出面 60との間の距離を測定する工程と、上記測長部 14〖こ よって、上記一の基準部 16との間の距離を測定する工程と、上記測長部 14によって 測定された上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記測長部 14との間の距離、およ び、上記一の基準部 16と上記測長部 14との間の距離と、既知である上記一の基準 部 16と上記載置面 11aとの間の距離とから、上記算出部 15によって、上記一の液滴 吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップを算出する工程と、上記算 出部 15によって算出された上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aと の間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60を上記載 置面 11aに対して接近または離隔する工程とを有するので、上記載置面 11aの位置 に関係なぐ上記一の液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップ を算出することができる。そして、上記液滴吐出部 6のギャップ (すなわち、上記液滴 吐出部 6の吐出面 60と上記基板 10の表面との間の距離 d)は、上記液滴吐出部 6の 吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップと、上記基板 10の厚さとから、求めるこ とが可能であり、上記基板 10の厚さは既知であるため、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 1 laとの間のギャップが求まれば、上記液滴吐出部 6のギャップが 求 3;る。
[0236] したがって、従来のような載置面の移動を行うことなぐ上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギャップを求めることができて、上記液滴吐出部 6の交 換時間を短縮できる。また、上記液滴吐出部 6の吐出面 60と上記載置面 11aとの間 のギャップを調整するときに、上記液滴吐出部 6は上記載置面 11aに重なることがな いので、上記液滴吐出部 6と上記載置面 11aとの接触を防止して、上記液滴吐出部 6の吐出面 60の高さを安全に調整できる。また、上記載置面 11aが固定されている 場合 (つまり、固定ステージ)でも、上記液滴吐出部 6の吐出面 60の高さを調整でき て、装置を小型にかつ安価にできる。
[0237] なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記基準部 16を、上 記スライド機構 7以外に、例えば、上記ビーム部本体 410, 420に設けてもよい。また 、上記測長部 14を、上記載置面 11aに対して矢印 A方向に移動可能となるように上 記基台 11に取り付けてもよい。また、上記測長部 14は、上記ビーム部 41, 42が延在 する方向(矢印 B方向)と、同じ方向に移動する必要はなぐ上記測長部 14の移動に より、上記全ての液滴吐出部 6の吐出面 60に対向可能であれば、どのように移動し てもよい。
[0238] また、上記調整部 17は、上記液滴吐出部 6の一部を移動する以外に、例えば、上 記液滴吐出部 6の全部を移動して、上記吐出面 60と上記載置面 11aとの間のギヤッ プを調整するように構成してもよ ヽ。
[0239] 上記撮像体として、上記撮像部 90や上記観察力メラ 91以外の撮像体であってもよ い。上記撮像部 90は、高倍率モードと低倍率モードとをズームによって切り換える一 つのカメラユニットであってもよい。また、上記撮像部 90は、光路分割で高倍率およ び低倍率を同時に観察できるようにしてもよい。具体的に述べると、上記基板 10から の光を分割して、画素数の異なる二つの CCDのそれぞれに導くようにしてもょ 、。
[0240] また、上記液滴吐出部 6の移動方向と、上記アーム部 4の移動方向とは、平面から みて、互いに直交しなくてもよい。また、上記スライド機構 7を、上記液滴吐出部 6を矢 印 B方向と異なる方向に移動できるような構成としてもよい。また、上記液滴吐出部 6 は、上記基台 11に対して移動可能とならなくてもよぐ上記ビーム部 41, 42に位置 決めされていてもよい。また、上記アーム部 4を静止する一方、上記載置台 3を可動
するようにしてちょい。
[0241] また、上記のビーム部を一本として、このビーム部の両側面に、上記液滴吐出部 6 を取り付けてもよい。また、上記ビーム部の数量の増減は、自由である。
[0242] また、上記液滴吐出部 6は、上記基板 10の全面に液滴を吐出して塗布するようにし てもよい。また、上記液滴吐出部 6の数量の増減は、自由である。
[0243] また、本発明の液滴塗布装置を、カラーフィルター基板の欠損部の修復を行う装置 に適用しているが、基板に点在する所望箇所に吐出を行う他の装置に適用してもよ い。例えば、基板上に導電性インクを吐出して配線パターンを描画する装置や、基 板上に有機 EL (Electronic Luminescence)を形成する材料を吐出して有機 EL表示 部を製造する装置や、有機 EL表示部の欠損部を修復する装置や、大型看板等に画 像を印刷する装置や、画像を修復する装置や、その他のインクジェット技術を応用し た製造装置に適用できる。
Claims
[1] 基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方 向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビ ーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を 吐出して塗布する複数の液滴吐出部と、
上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると 共に、上記載置面との間の距離が既知である基準部と、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられると共に、上 記各液滴吐出部の吐出面に対向して上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離を 測定し、上記各基準部に対向して上記各基準部との間の距離を測定する測長部と、 上記測長部によって測定された一の上記液滴吐出部の吐出面と上記測長部との 間の距離、および、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部と上記測 長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、 上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部と を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
[2] 請求項 1に記載の液滴塗布装置にお!、て、
上記各液滴吐出部の吐出面を上記載置面に対して接近または離隔して、上記各 液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整する調整部を有すること を特徴とする液滴塗布装置。
[3] 請求項 1に記載の液滴塗布装置にお!、て、
上記測長部は、上記載置面に重ならず、上記載置面に関して上記ビーム部および 上記液滴吐出部と反対側に位置して 、ることを特徴とする液滴塗布装置。
[4] 請求項 1に記載の液滴塗布装置にお!、て、
上記ビーム部は、
ビーム部本体と、
このビーム部本体に取り付けられると共に、このビーム部本体に対して移動可能と
なるように上記液滴吐出部を取り付けるスライド機構と
を有し、
上記基準部は、上記スライド機構に、設けられていることを特徴とする液滴塗布装 置。
[5] 基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方 向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビ ーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を 吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギ ヤップを測定する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、 一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の 距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位 に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一 の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間 の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との 間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記 一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出 部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と
を備えることを特徴とする液滴吐出部のギャップ測定方法。
[6] 基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方 向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビ ーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を 吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギ ヤップを調整する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、 一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の 距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位 に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一 の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間 の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との 間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記 一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出 部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と、
上記算出部によって算出された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との 間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部の吐出面を上記載置面に 対して接近または離隔する工程と
を備えることを特徴とする液滴吐出部のギャップ調整方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/226,803 US7980645B2 (en) | 2006-04-28 | 2007-04-24 | Droplet applying apparatus, method for measuring gap of droplet ejecting section and method for adjusting gap of droplet ejecting section |
EP07742237A EP2017014A4 (en) | 2006-04-28 | 2007-04-24 | TRAPPING APPLICATION DEVICE, METHOD FOR MEASURING THE COLUMN OF A PUNCH EXHAUST SECTION, AND METHOD FOR ADJUSTING THE COLUMN OF A PUNCH EXHAUST SECTION |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006-125349 | 2006-04-28 | ||
JP2006125349A JP4051077B2 (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部のギャップ調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2007125893A1 true WO2007125893A1 (ja) | 2007-11-08 |
Family
ID=38655419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2007/058802 WO2007125893A1 (ja) | 2006-04-28 | 2007-04-24 | 液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部のギャップ調整方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7980645B2 (ja) |
EP (1) | EP2017014A4 (ja) |
JP (1) | JP4051077B2 (ja) |
WO (1) | WO2007125893A1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9149952B2 (en) | 2010-10-21 | 2015-10-06 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue |
US9222932B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-12-29 | Organovo, Inc. | Engineered liver tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US9315043B2 (en) | 2013-07-31 | 2016-04-19 | Organovo, Inc. | Automated devices, systems, and methods for the fabrication of tissue |
US9481868B2 (en) | 2014-10-06 | 2016-11-01 | Organovo, Inc. | Engineered renal tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US9499779B2 (en) | 2012-04-20 | 2016-11-22 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue utilizing UV cross-linking |
US9556415B2 (en) | 2008-06-24 | 2017-01-31 | The Curators Of The University Of Missouri | Self-assembling multicellular bodies and methods of producing a three-dimensional biological structure using the same |
US9752116B2 (en) | 2004-02-24 | 2017-09-05 | The Curators Of The University Of Missouri | Self-assembling cell aggregates and methods of making engineered tissue using the same |
US9983195B2 (en) | 2014-04-04 | 2018-05-29 | Organovo, Inc. | Engineered three-dimensional breast tissue, adipose tissue, and tumor disease model |
US11529436B2 (en) | 2014-11-05 | 2022-12-20 | Organovo, Inc. | Engineered three-dimensional skin tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US12037603B2 (en) | 2015-11-09 | 2024-07-16 | Organovo, Inc. | Methods for tissue fabrication |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010042382A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Ulvac Japan Ltd | 印刷装置、印刷方法 |
JP5349122B2 (ja) * | 2009-04-14 | 2013-11-20 | 株式会社ミツトヨ | 同期移動装置および画像測定装置 |
JP5510178B2 (ja) * | 2010-08-18 | 2014-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置 |
JP5699521B2 (ja) | 2010-10-18 | 2015-04-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置 |
JP2019535705A (ja) | 2016-11-10 | 2019-12-12 | オルガノボ インコーポレイテッド | バイオプリントされた毛包およびその使用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003084125A (ja) | 2001-07-04 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、el発光層配設基板の製造方法及び製造装置、el発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2003127392A (ja) | 2001-10-19 | 2003-05-08 | Seiko Epson Corp | ヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、液滴吐出ヘッドの固定装置および固定方法、並びに液晶表示装置の製造方法、有機el装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、pdp装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機elの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
JP2004130299A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-04-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2005031144A (ja) | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Seiko Epson Corp | ギャップ調整装置、これに使用されるキャリブレーション用治具、およびギャップ調整装置を備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1827852B1 (en) * | 2004-12-03 | 2012-06-06 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Print method and systems using printheads |
JP4029895B2 (ja) * | 2004-12-08 | 2008-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
-
2006
- 2006-04-28 JP JP2006125349A patent/JP4051077B2/ja active Active
-
2007
- 2007-04-24 WO PCT/JP2007/058802 patent/WO2007125893A1/ja active Application Filing
- 2007-04-24 US US12/226,803 patent/US7980645B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-24 EP EP07742237A patent/EP2017014A4/en not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003084125A (ja) | 2001-07-04 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、el発光層配設基板の製造方法及び製造装置、el発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2003127392A (ja) | 2001-10-19 | 2003-05-08 | Seiko Epson Corp | ヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、液滴吐出ヘッドの固定装置および固定方法、並びに液晶表示装置の製造方法、有機el装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、pdp装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機elの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
JP2004130299A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-04-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2005031144A (ja) | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Seiko Epson Corp | ギャップ調整装置、これに使用されるキャリブレーション用治具、およびギャップ調整装置を備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP2017014A4 * |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9752116B2 (en) | 2004-02-24 | 2017-09-05 | The Curators Of The University Of Missouri | Self-assembling cell aggregates and methods of making engineered tissue using the same |
US11518978B2 (en) | 2008-06-24 | 2022-12-06 | The Curators Of The University Of Missouri | Self-assembling multicellular bodies and methods of producing a three-dimensional biological structure using the same |
US9556415B2 (en) | 2008-06-24 | 2017-01-31 | The Curators Of The University Of Missouri | Self-assembling multicellular bodies and methods of producing a three-dimensional biological structure using the same |
US10967560B2 (en) | 2010-10-21 | 2021-04-06 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue |
US11577450B2 (en) | 2010-10-21 | 2023-02-14 | Organovo, Inc. | Methods for the fabrication of tissue via printing |
US9227339B2 (en) | 2010-10-21 | 2016-01-05 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue |
US11577451B2 (en) | 2010-10-21 | 2023-02-14 | Organovo, Inc. | Bioprinter for the fabrication of tissue |
US11413805B2 (en) | 2010-10-21 | 2022-08-16 | Organovo, Inc. | Bioprinter for the fabrication of tissue |
US9149952B2 (en) | 2010-10-21 | 2015-10-06 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue |
US9855369B2 (en) | 2010-10-21 | 2018-01-02 | Organovo, Inc. | Method of printing a three-dimensional structure |
US9499779B2 (en) | 2012-04-20 | 2016-11-22 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue utilizing UV cross-linking |
US10174276B2 (en) | 2012-04-20 | 2019-01-08 | Organovo, Inc. | Devices, systems, and methods for the fabrication of tissue utilizing UV cross-linking |
US10400219B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-09-03 | Organovo, Inc. | Engineered liver tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US11124774B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-09-21 | Organovo, Inc. | Engineered liver tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US9222932B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-12-29 | Organovo, Inc. | Engineered liver tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US9442105B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-13 | Organovo, Inc. | Engineered liver tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US9315043B2 (en) | 2013-07-31 | 2016-04-19 | Organovo, Inc. | Automated devices, systems, and methods for the fabrication of tissue |
US11789011B2 (en) | 2014-04-04 | 2023-10-17 | Organovo, Inc. | Engineered three-dimensional breast tissue, adipose tissue, and tumor disease model |
US9983195B2 (en) | 2014-04-04 | 2018-05-29 | Organovo, Inc. | Engineered three-dimensional breast tissue, adipose tissue, and tumor disease model |
US10962526B2 (en) | 2014-10-06 | 2021-03-30 | Organovo, Inc. | Engineered renal tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US9481868B2 (en) | 2014-10-06 | 2016-11-01 | Organovo, Inc. | Engineered renal tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US10094821B2 (en) | 2014-10-06 | 2018-10-09 | Organovo, Inc. | Engineered renal tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US11867689B2 (en) | 2014-10-06 | 2024-01-09 | Organovo, Inc. | Engineered renal tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US11529436B2 (en) | 2014-11-05 | 2022-12-20 | Organovo, Inc. | Engineered three-dimensional skin tissues, arrays thereof, and methods of making the same |
US12037603B2 (en) | 2015-11-09 | 2024-07-16 | Organovo, Inc. | Methods for tissue fabrication |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2017014A4 (en) | 2010-02-24 |
US7980645B2 (en) | 2011-07-19 |
US20090219311A1 (en) | 2009-09-03 |
JP4051077B2 (ja) | 2008-02-20 |
JP2007296446A (ja) | 2007-11-15 |
EP2017014A1 (en) | 2009-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4051077B2 (ja) | 液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部のギャップ調整方法 | |
JP4086879B2 (ja) | 液滴塗布装置 | |
JP4058453B2 (ja) | 液滴塗布装置 | |
JP4086878B2 (ja) | 液滴塗布装置 | |
JP4057037B2 (ja) | 欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP6925143B2 (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR100990001B1 (ko) | 액적 토출 방법 및 액적 토출 장치 | |
US20090309905A1 (en) | Droplet Discharging and Drawing Apparatus | |
JP2006159116A (ja) | ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP6695237B2 (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出条件補正方法 | |
JP2008168207A (ja) | 吐出不良検出装置およびその方法 | |
JP5131450B2 (ja) | 液滴吐出量調整方法及びパターン形成装置 | |
JP4541321B2 (ja) | 液滴塗布装置、液滴塗布方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP4598036B2 (ja) | 欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2010015052A (ja) | 液滴塗布装置及び方法 | |
JP2007289893A (ja) | 液滴塗布装置 | |
JP2009045547A (ja) | 吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出装置、及び液滴吐出方法 | |
KR20070057479A (ko) | 잉크젯 패터닝 장비의 프린트 헤드 노즐 및 기판 정렬장치및 방법 | |
JP2006154128A (ja) | カラーフィルタ製造装置およびカラーフィルタ製造方法 | |
KR20240065902A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR20210057992A (ko) | 인쇄 장비 검사 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 07742237 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2007742237 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 12226803 Country of ref document: US |