JP4057037B2 - 欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
<装置全体の構成説明>
図1は、実施の形態1に係る欠陥修復装置1の外観を示す斜視図である。図2は、欠陥修復装置1の模式的断面図である。
装置基体2の構成について図2を用いて説明する。
基板載置台3は、上面には図示しない微小な孔が複数形成されており、その孔の全てが図示しない吸引/送風機構に連結し、吸引/送風制御を行うことにより、基板載置台3上に配置された対象基板の吸着固定、もしくは基板載置台3からの基板の解放を行うことが可能となっている。
図4(a)は、ヘッドガントリーユニット7の構成を説明するためのZ方向から見た要部平面図であり、図4(b)は、X方向から見た要部正面図である。ヘッドガントリーユニット7の構成について、図4を参照して説明する。
ガントリースライド機構4は、浮上スライド機構8との間にエアー浮上させるとともに、浮上スライド機構8との間のリニア駆動制御により、欠陥修復装置1本体からの制御信号に従って、ヘッドガントリーユニット7を図1のY方向に平行な方向に沿って任意の位置に移動させることが可能である。
図5は、液滴吐出ユニット11の構成を説明するための図1のY方向から見た要部側面図である。液滴吐出ユニット11は、ヘッドガントリーユニット7上に設置された吐出ユニットスライド機構10に搭載されており、矢印r3方向にそれぞれ独立して移動可能である。
図6は、吐出ユニットスライド機構10の構成を説明するための図1のX方向から見た要部正面図である。吐出ユニットスライド機構10の構成を、図6を用いて説明する。
カメラスライド機構28の構成を、図6を用いて説明する。観察カメラユニット14は、ガントリースライド機構4に設けられたY方向に平行な方向の情報取得機能と、カメラスライド機構28に設けられたX方向に平行な方向の情報取得機能とにより、アライメントマークに対する対象基板のアドレス情報を出力することが可能である。観察カメラユニット14は、主に液滴吐出ユニット11が基板上に着弾した着弾画像を観察し、それぞれの液滴吐出ユニット11の吐出状態、若しくはアライメントマーク基準の着弾位置のアドレスを出力することができる。
図7(a)は、液滴吐出ユニット11の構成を説明するための要部下面図であり、図7(b)は、他の液滴吐出ユニット11aの構成を説明するための要部下面図である。液滴吐出ユニット内のノズル孔の配列を、図7(a)(b)を用いて説明する。図7(a)は、1種類の液体を吐出する液滴吐出ユニット11を複数搭載した装置を示す。ヘッドガントリーユニット7には、吐出ユニットスライド機構10を介して、液滴吐出ユニット11が矢印X方向(図1)に移動可能に取り付けられている。液滴吐出面であるノズルプレート22に形成されたノズル孔23は一列に配列し、矢印Bに対して直角な方向から数度傾いている。配列しているノズル孔23は全て同一の液滴材料が吐出する。
Q=p×sinθ、
となるため、実際のノズルピッチに比べてB方向のピッチQを高密度化できる利点がある。ピッチQを高密度化することで、複数のヘッドを組み合わせて1つのユニットを作製する際に、各ヘッドの位置合わせを厳密に行わなくとも、少なくともピッチQの精度以内で配列させることが可能となる。
図8(a)〜図8(c)は、ヘッドガントリーユニット7及び基板載置台3の動作を説明するための図1のX方向から見た模式的断面図である。
基板の搬出及び搬入を実行する間、または基板への液滴吐出動作を長期間実施しないときは、液滴吐出ユニット11に対してメンテナンス動作を実行する。このメンテナンス動作は、不吐出検出動作と、キャップ動作と、キャップ内吸引パージ動作と、ワイピング動作とを含む。先の対象基板を処理後に、直ちに次の対象基板の処理を行う場合、先の対象基板の搬出動作の命令が与えられるのと同時に、液滴吐出ユニット11を搭載したヘッドガントリーユニット7は、メンテナンス機構15の直上への移動命令が与えられる。
図10(a)(b)は、欠陥修復装置1のアライメント動作を説明するための平面図である。図10(a)(b)は欠陥修復装置1を上方から見た図であり、ヘッドガントリーユニット7上に計9個の液滴吐出ユニット11が搭載されている。
対象基板のアライメント動作を図10(a)(b)及び図11(a)(b)を用いて説明する。図11(a)(b)は、ヘッドガントリーユニット7に設けられたアライメントカメラ12の構成を説明するための要部平面図である。基板載置台3上で吸着固定された対象基板35の基板端近傍には、対象基板35の面内回転方向を補正するためのアライメントマーク36が2箇所設けられている。
図15(a)(b)は、欠陥修復装置1に設けられた観察カメラユニット14による液滴着弾位置の計測動作を説明するための平面図である。観察カメラユニット14は、液滴吐出ユニット11の液滴吐出素子17(図5)を交換して着弾位置補正を行うための情報を取得する場合や、使用中の着弾位置を再確認する際に用いる。観察カメラユニット14は、ガントリースライド機構4とカメラスライド機構28とにより、欠陥修復装置1上面の任意の位置を撮像することができ、また、欠陥修復装置1上面の任意の位置を割り出すことが可能である。観察カメラユニット14の撮像位置は、ガントリースライド機構4とカメラスライド機構28とに内在しているスケールにより、その位置情報を出力することが可能である。
図16(a)(b)は、ヘッドガントリーユニット7の往復動作を説明するための平面図である。姿勢制御が完了した対象基板35に対して、アライメントマーク36基準の所望位置に液滴を滴下する方法を以下に示す。
図17(a)(b)は、ヘッドガントリーユニット7の対象基板35に対する動作を説明するための平面図である。ヘッドガントリーユニット7には、X方向に独立して移動可能な9個の液滴吐出ユニット11a・11b・11c・11d・11e・11f・11g・11h・11iが搭載されており、それぞれの液滴吐出ユニット11a〜11iには、対象基板35上の受け持ち領域41a・41b・41c・41d・41e・41f・41g・41h・41iが設定されている。
図21(a)は、実施の形態2に係る欠陥修復装置のヘッドガントリーユニットの構成を示す平面図であり、図21(b)は、その動作を説明するための平面図である。
0.8d≦D/n≦1.2d、
の範囲にあると、基板の処理時間を短縮することができる。
2 基体
2a メインステージ
2b、2c サブステージ
3 基板載置台(固定手段)
4 ガントリースライド機構(移動手段)
5a、5b、5c ガントリーガイド
6 リニアスケール
7 ヘッドガントリーユニット(ガントリー)
8 浮上スライド機構
9 ガントリー
10 吐出ユニットスライド機構(スライド機構)
11、11R、11G、11B 液滴吐出ユニット
11a〜11i 液滴吐出ユニット
12 アライメントカメラ
13 カメラスライド機構
14 観察カメラユニット
15 メンテナンス機構
16 筐体
17 吐出素子
18 駆動制御回路
19 ケーブル
20 インクタンク
21 インク配管
22 ノズルプレート
23 ノズル孔
24 リニア駆動機構
25 LMガイド
26 ガントリーリニアスケール
27 リニア駆動機構
28 カメラスライド機構
29 LMガイド
30 カメラ用リニアスケール
31 キャップ部材
32 不吐出検出器
33 レーザ発光素子
34 レーザ受光素子
35 対象基板
36 アライメントマーク
37a 外側円環部
37b 内側円部
38 ダミー基板
39 液滴着弾位置
40 欠損部(欠陥)
41 領域(修復領域)
Claims (11)
- 搬送された基板を固定する固定手段と、
前記固定手段によって固定された基板に垂直な方向から見て、前記基板の搬送方向と異なる方向に沿って配置されて前記基板上に点在する欠陥に液滴を吐出する複数個の液滴吐出ユニットと、
前記複数個の液滴吐出ユニットを搭載した一列以上のガントリーと、
前記ガントリーを前記基板の搬送方向に沿って相対的に等速移動させる移動手段とを備え、
各液滴吐出ユニットは、前記基板上に点在する複数個の欠陥の位置を表すデータに応じて、前記ガントリーが前記基板の搬送方向に沿って相対移動している間に、前記搬送方向と異なる方向に沿って互いに独立して移動し、
前記ガントリーには、各液滴吐出ユニットを前記搬送方向と異なる方向に沿ってスライドさせる複数個のスライド機構が設けられており、
前記基板に垂直な方向から見て、前記複数個のスライド機構は、千鳥状に配置されていることを特徴とする欠陥修復装置。 - 前記移動手段は、前記基板の一端から他端まで前記ガントリーを往復移動させる請求項1記載の欠陥修復装置。
- 前記ガントリーは、前記基板の搬送方向に沿って所定の間隔を空けて複数列設けられている請求項1記載の欠陥修復装置。
- 前記搬送方向から見て、各スライド機構によってスライドする液滴吐出ユニットのスライド範囲の端部が、互いに重なり合っている請求項1記載の欠陥修復装置。
- 前記基板の修復領域を、各液滴吐出ユニット毎に割り当てる請求項1記載の欠陥修復装置。
- 各液滴吐出ユニットは、前記搬送方向と異なる方向に沿って移動した後停止した状態で前記欠陥に前記液滴を吐出する請求項1記載の欠陥修復装置。
- 各液滴吐出ユニットは、その液滴吐出位置と、前記基板上の欠陥の位置とが一致するように前記搬送方向と異なる方向に沿って移動する請求項1記載の欠陥修復装置。
- 前記複数個の液滴吐出ユニットを搭載したガントリーの重量は、0.5トン以上4トン以下である請求項1記載の欠陥修復装置。
- 搬送された基板を固定し、
前記固定した基板に垂直な方向から見て、前記基板の搬送方向と異なる方向に沿って配置された複数個の液滴吐出ユニットを搭載した一列以上のガントリーを前記基板の搬送方向に沿って相対的に等速移動させながら、前記基板に垂直な方向から見て、前記ガントリーに千鳥状に配置された複数個のスライド機構によって、各液滴吐出ユニットを前記搬送方向と異なる方向に沿ってスライドさせ、
前記ガントリーが前記基板の搬送方向に沿って移動している間に、前記基板上に点在する複数個の欠陥の位置を表すデータに応じて、前記搬送方向と異なる方向に沿って各液滴吐出ユニットを互いに独立して移動させて、前記基板上に点在する欠陥に液滴を吐出することを特徴とする欠陥修復方法。 - コンピュータに、搬送された基板を固定する手順と、
前記固定した基板に垂直な方向から見て、前記基板の搬送方向と異なる方向に沿って配置された複数個の液滴吐出ユニットを搭載した一列以上のガントリーを前記基板の搬送方向に沿って相対的に等速移動させながら、前記基板に垂直な方向から見て、前記ガントリーに千鳥状に配置された複数個のスライド機構によって、各液滴吐出ユニットを前記搬送方向と異なる方向に沿ってスライドさせる手順と、
前記ガントリーが前記基板の搬送方向に沿って移動している間に、前記基板上に点在する複数個の欠陥の位置を表すデータに応じて、前記搬送方向と異なる方向に沿って各液滴吐出ユニットを互いに独立して移動させて、前記基板上に点在する欠陥に液滴を吐出する手順とを実行させることを特徴とするプログラム。 - コンピュータに、搬送された基板を固定する手順と、
前記固定した基板に垂直な方向から見て、前記基板の搬送方向と異なる方向に沿って配置された複数個の液滴吐出ユニットを搭載した一列以上のガントリーを前記基板の搬送方向に沿って相対的に等速移動させながら、前記基板に垂直な方向から見て、前記ガントリーに千鳥状に配置された複数個のスライド機構によって、各液滴吐出ユニットを前記搬送方向と異なる方向に沿ってスライドさせる手順と、
前記ガントリーが前記基板の搬送方向に沿って移動している間に、前記基板上に点在する複数個の欠陥の位置を表すデータに応じて、前記搬送方向と異なる方向に沿って各液滴吐出ユニットを互いに独立して移動させて、前記基板上に点在する欠陥に液滴を吐出する手順とを実行させるプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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