WO2007108330A1 - 距離測定システム - Google Patents

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WO2007108330A1
WO2007108330A1 PCT/JP2007/054617 JP2007054617W WO2007108330A1 WO 2007108330 A1 WO2007108330 A1 WO 2007108330A1 JP 2007054617 W JP2007054617 W JP 2007054617W WO 2007108330 A1 WO2007108330 A1 WO 2007108330A1
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distance measuring
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Takashi Kurokawa
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National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology
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Definitions

  • the present invention relates to the measurement of ground deformation due to earthquakes, surveying in the civil engineering / architecture field, the distance from a laser light source to a distance detector, the distance between position detectors, or the breakage of an optical fiber used for optical communication.
  • the present invention relates to a distance measuring system capable of measuring the position of a break point with high accuracy.
  • the distance measuring device 7 modulates the laser light from the laser light source 71 with an optical modulator 72 and emits it as modulated light B 0 1 to form a half mirror. 7 irradiates the distance measurement object O via 3 and detects the reflected light B 1 1 by the photodetector 7 4 and outputs it as an electrical signal.
  • the mixer 7 5 combines the signal from the oscillator 7 6 that drives the optical modulator 7 2 and the signal from the local oscillator 7 7, and the mixer 7 8
  • the signal from 7 and the signal from photodetector 74 are combined.
  • the phase of the output signals from mixer 7 5 and mixer 7 8 is compared by phase comparator 7 9, and the distance from the phase difference between the two signals to distance measurement object O is measured.
  • the distance measuring device 7 in FIG. 15 detects the phase, an uncertainty of an integral multiple of 2 ⁇ occurs. For this reason, measurement is not possible unless the approximate distance to the distance measurement target ⁇ is known. Also, distance In the separation measuring device 7, the phase is detected, and the electric circuit becomes complicated and expensive.
  • the measuring device in FIG. 15 can measure only the distance between the laser light source 7 1 and the distance measuring object O, and measures the distance between the laser light source 7 1 and another distance measuring object. In order to achieve this, the laser beam path must be switched, and the distance to a plurality of distance measuring objects cannot be measured simultaneously using the laser light source 7 1.
  • the present inventors have two different frequency laser light sources that are modulated at the same frequency, and the two-photon absorption (TPA) is used to reduce the path length difference between the two optical paths.
  • TPA two-photon absorption
  • the path length difference between the two optical paths can be detected as the sine wave period of the modulation frequency.
  • the optical intensity modulators manufactured by the LN substrate
  • optical wavelength filters used in these distance measurement technologies are complicated in structure and expensive.
  • the present invention has a simple configuration in which a laser light source can be used to simultaneously measure a distance from a laser light source to a plurality of points or a distance between two points with high accuracy.
  • An object is to provide a distance measuring system.
  • the gist of the distance measuring system of the present invention is as follows.
  • a laser light source A plurality of distance detectors arranged on a path set in a serial, tree-like or radial shape in the space starting from the laser light source; a photodetector for detecting light returning from the path;
  • a distance measuring device that analyzes light detected by the light detector and measures a distance between the laser light source and each of the distance detectors;
  • a distance measuring system comprising:
  • a part of the light incident from the distance detector located on the start point side is reflected or returned to the distance detector located on the start point side by reflection and refraction, and the remaining part is transmitted, refracted or reflected, Or a combination of these can be sent to the distance detector located on the tip side,
  • the light returned from the distance detector located on the tip side is returned to the light detector through the distance detector located on the start point side by transmission, refraction or reflection, or a combination thereof.
  • the distance measurement technology based on the conventional time-of-flight method or light modulation method (see Fig. 15 above) can be used.
  • a reference detector can be provided in the monitoring station (on the output side of the laser light source), and the distance between the reference detector and another distance detector is detected by the distance measuring device. be able to.
  • the distance measuring device can detect the distance between the two detectors from the frequency component corresponding to the reference detector and the frequency component corresponding to another distance detector.
  • the distance displacement of each distance detector distance displacement between both detectors
  • the initial position (coordinates) of each distance detector is known in advance, there is an earthquake or the like.
  • the distance measurement technique (IEEEP hotonicsfechno 1 ogy L) according to the proposals of the present inventors, which includes a laser light source having two different frequencies modulated at the same modulation frequency and a two-photon absorption photosensor. ettersvol. 1 No. 1 2 pp 2 6 8 2-2 6 8 4, DECEMBER 2 0 0 5) can also be used.
  • the distance detector at the end of the path reflects all of the light incident from the distance detector located on the start point side, and passes through the distance detector located on the start point side to reflect the light detector. From (1)
  • a distance measurement system comprising a transmitter for transmitting a detection result from the distance measurement device, and at least one of the distance detectors is provided with an optical axis correcting device.
  • the optical axis correcting device is
  • a receiver for receiving the detection result from the transmitter
  • a control unit that controls an optical member so that light emitted from a distance detector located on the start end side is irradiated to an incident zone of the own device; and (1) (5) The distance measuring system according to any one of the above.
  • the distance measuring system according to (6) characterized by this.
  • the control unit An optical axis orientation adjustment mechanism that controls the outgoing optical axis or the optical axis and the incident optical axis to be in a predetermined orientation, or Z and
  • Any one of (1) to (7) is provided with an optical axis position adjusting mechanism for controlling the outgoing optical axis to move on a plane perpendicular to the optical axis without changing the direction of the optical axis.
  • the distance measuring system according to Crab is provided with an optical axis position adjusting mechanism for controlling the outgoing optical axis to move on a plane perpendicular to the optical axis without changing the direction of the optical axis.
  • a plurality of distance detectors are formed by a single optical fiber path, and at least one partial path that is configured not to have a distance detector is set in the middle of the optical fiber path.
  • One end of the optical fiber optical path is open to the atmosphere through a fiber collimator that can be used as a distance detector, respectively.
  • a fiber collimator that can be used as a distance detector, respectively.
  • the photodetector is a photodetector
  • a reference laser light source for generating a laser beam having a wavelength different from a wavelength generated by the laser light source by inputting the modulation signal
  • a first optical amplifier that amplifies the laser light emitted from the laser light source when the laser light is reflected back on the optical path;
  • An optical power bra that combines the laser light from the first optical amplifier and the laser light from the reference laser light source;
  • a second optical amplifier that amplifies the laser light from the optical power bra;
  • a photodetector that receives the laser light from the second optical amplifier and generates an electric output by two-photon absorption;
  • the distance measuring device is
  • a frequency detector for extracting a sine wave component included in the output signal of the photodetector and detecting a frequency component corresponding to a reflection position of light returning from the optical path of the laser light source;
  • a controller for controlling at least the modulator
  • the distance measuring system according to any one of (1) to (10), characterized by comprising: .
  • the distance measurement system of (11) does not require a light intensity modulator or a light wavelength filter.
  • the two laser light sources are directly modulated by a voltage-to-frequency converter, but the structure is simple and inexpensive because it is not necessary to use an LN substrate. is there.
  • a modulator that modulates the two laser beams at the same modulation frequency;
  • a first optical amplifier that amplifies the laser light emitted from the first laser light source when reflected by an optical path and returned; the laser light from the first optical amplifier; and the second laser light source.
  • An optical power bra that combines the laser light from
  • a second optical amplifier that amplifies laser light from the optical power bra; a photodetector that receives laser light from the second optical amplifier and generates electrical output by two-photon absorption;
  • 'A frequency detector that extracts a sine wave component included in the output signal of the photodetector and detects a frequency component corresponding to a reflection position of the light reflected back from the optical path of the first laser light source;
  • a corner cube provided at the end of the spatial optical path of the laser light emitted from the first optical fiber-to-fiber collimator
  • a second fiber collimator that takes the laser light reflected from the corner cube into the fiber optical path
  • a first optical amplifier for amplifying laser light from the second fiber collimator
  • An optical power bra that combines the laser light from the second laser light source and the laser light from the first optical amplifier;
  • a second optical amplifier for amplifying the laser light from the u sd optical power bra;
  • a photodetector for receiving the laser light from the second optical amplifier and generating an electric output by two-photon absorption;
  • a frequency detector that extracts a sine wave component contained in the output signal of the HU light detector and detects a frequency component corresponding to the reflection position of the light reflected back from the optical path of the first laser light source;
  • a controller for controlling at least the modulator
  • a distance measurement system that detects at least one break point of an optical fiber (an optical fiber break point detector),
  • the laser beam is provided at the start end of the optical fiber and propagates from the first laser light source toward the end side of the optical fiber, and the optical fiber ⁇ "from the one end side toward the start side. Separating the propagating laser light from-an optical circulator;
  • the first optical amplifier that amplifies the laser light from the ftu optical circulator ⁇
  • An optical power bra that combines the laser light from the laser light source and the laser light from the first optical amplifier
  • a second optical amplifier for amplifying the laser light from the HU light intensity bra; 'A photodetector that receives the laser beam from the second optical amplifier and generates an electric output by two-photon absorption; and
  • a frequency detector that extracts a sine wave component included in the output signal of the photodetector and detects a frequency component corresponding to a distance from the first laser light source to the break point;
  • the first laser light source and the second laser light source are semiconductor lasers, and the modulator has a configuration in which the semiconductor laser is directly modulated by a voltage-controlled oscillator and the modulation frequency is swept.
  • the distance measurement system from (1 2) to (1 8) does not require an optical intensity modulator or optical wavelength filter.
  • the two laser light sources are directly modulated by the voltage-frequency converter, but the structure is simple because it is not necessary to use an LN substrate. The price is low.
  • Fig. 1 is an explanatory diagram showing the basic configuration of the distance measuring system of the present invention.
  • Fig. 2 (A) is a diagram showing multiple distance detectors arranged in a tree-shaped path starting from the laser source, and (B) is formed in the same radiation ⁇ It is a figure which shows a mode that multiple distance detectors are arrange
  • Figure 3 (A) and (B) show the specific configuration of the distance detector.
  • Figure 4 (A) and (B) show other specific configurations of the distance detector.
  • Fig. 5 is a diagram showing an example in which the distance measurement system 1 in Fig. 1 is equipped with a visible wavelength laser light source.
  • FIG. 6 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention.
  • Figure 8 (A) is a front view of the distance detector, (B) is a side view of the distance detector, and (C) is a block diagram showing an outline of the optical axis correcting device.
  • Figure 9 (A) is an explanatory diagram of the distance detector when the path P is set in a straight line, and (B) is an explanatory diagram of the position detector when the path P is set on the radiation.
  • -'Fig. 10 A block diagram showing a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 Block diagram showing a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 (A) is a block diagram showing a fifth embodiment of the present invention, and (B) is a spectrum diagram of the detected component of reflected light.
  • FIG. 13 is a block diagram showing a sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a block diagram showing a seventh embodiment of the present invention.
  • Figure 15 An illustration of the prior art.
  • the present invention it is possible to simultaneously measure a distance from a laser light source to a plurality of points (a distance from a laser light source to a distance detector) or a distance between adjacent distance detectors on a path with high accuracy. it can.
  • the present invention is effective for measuring ground displacement due to earthquakes, measuring tunnel length excavated in tunnel construction, and surveying civil engineering, high-precision distance in the construction field, and displacement measurement. is there. [Best Mode for Carrying Out the Invention]
  • the distance measuring system 1 includes a laser light source 1 1, a distance detector 1 2, a light detector 1 3, and a distance measuring device 1 4.
  • the laser light source 1 1, the light detector 1 3, and the distance measuring device 1 4 are installed in the monitoring station 1 0 0.
  • Distance detectors (in Fig. 1, five distance detectors indicated by reference numerals 1 2 a, 1 2 b, 1 2 c, 1 2 d, 1 2 e) branch into the air starting from the laser light source 1 1 It shows how they are arranged (in a tree).
  • a plurality of distance detectors 12 are arranged on a path P set in a space ⁇ "or radial from the laser light source 11 as the starting point.
  • the distance detector 1 2 has a prism, a corner reflector, a semi-transparent mirror, and a part of the path ⁇ , as described later. It can be configured by the end face of the optical fiber.
  • an optical member made by combining all or some of the prism, corner reflector, semi-transparent mirror, and total reflector is integrated into the distance detector 1 2 (in Fig. 1, 1 2 a and 1 2 b, 1 2 c, 1 2 d, 1 2 e).
  • the distance detector 1 2 b returns a part of the light incident from the distance detector 1 2 a located on the start point side to the distance detector 1 2 a by reflection (or reflection and refraction), and the rest Partially transmissive, refracted or reflected Or a combination of these) to the distance detectors 1 2 c, 1 2 d, 1 2 e.
  • the distance detector 1 2 b transmits the light returned from the distance detectors 1 2 c, 1 2 d, and 1 2 e by transmitting, refracting, or reflecting (or a combination thereof). 2 Return to photodetector 1 3 via a.
  • the path P f from the 'start point (laser light source 1 1)' to the distance detectors 1 2 d and 1 2 e via the distance detectors 1 2 a and 1 2 b, and the distance detector distance detector 1 2 d , 1 2 e force, and path P b returning to the starting point via distance detectors 1 2 b and 1 2 a can be spatially separated.
  • the distance detector 12 b can be configured to include a corner reflector that returns the light incident from the distance detector 12 a to the distance detector 12 a.
  • the distance detector 1 2 a and the distance detector 1 2 b are composed of a corner reflector C, a semi-transparent mirror H, and a prism PR as shown in Figs.
  • the distance detector 12c can also be constituted by an optical member in which the corner reflector C, the semi-transparent mirror H, and the prism PR are integrated.
  • the distance detectors 1 2 d and 1 2 e can be composed of corner reflectors C as shown in Fig. 4 (B).
  • the light detector 13 detects the light returning through the path P.
  • the distance measuring device 14 analyzes the light detected by the light detector 1 3 and detects the distance detectors 1 2 a, 1 2 b, 1 2 c, 1 2 d from the start point (laser light source 1 1). , Measure the distance to 1 2 e.
  • the distance detector and the optical component in the path can be configured by a combination of a branching / coupling element, an optical waveguide, a fiber power bra, a lens, a semi-transparent mirror, and the like.
  • FIG. 5 is a diagram showing an example in which the distance measurement system 1 of FIG. 1 is provided with a visible wavelength laser light source 1] .a, prisms 1 1 b, 1 1 c.
  • the laser light generated by the laser light source 1 1 is invisible, for example, when installing the distance measurement system 1 or when changing the path P, the light source is changed from the laser light source 1 1 to the visible wavelength laser light source.
  • 1 1 Switch to a. Thereby, the worker can adjust the position and posture of the distance detector 12 by the visible laser beam from the laser light source 11 a.
  • FIG. 6 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.
  • the distance measuring system 2 shown in FIG. 6 includes a laser light source 2 1, a distance detector 2 2, a light detector 2 3, and a distance measuring device 2 4.
  • the optical sensor 2 3 5 receives the laser beam B 3 from the second optical amplifier 2 3 4 and absorbs two photons (T P A).
  • the laser light source 2 1 includes a semiconductor laser 2 1 1 and a fine collimator F-C 1.
  • the fiber collimator F C 1 is the starting point of the path P.
  • the semiconductor laser 2 1 1 (first laser light source) is directly modulated by V C O (voltage controlled oscillator: controlled by the control device 2 4 2).
  • FIG. 6 three distance detectors (each having an optical member) indicated by reference numerals 2 2 1 B and 2 2 1 C are shown on the path P. .
  • the length of the path P from the starting point to the farthest distance detector can be several + m to several km.
  • the distance detector 2 Two or more (for example, several tens) can be formed on the path P.
  • the optical detector 2 3 includes a fiber collimator FC 2, a reference semiconductor laser (second laser light source) 2 3 1, an optical power bra 2 3 3, a first optical amplifier 2 3 2, 2 It consists of optical amplifier 2 3 4 and optical sensor 2 3 5 and force.
  • the fiber collimator F C 2 can capture the light returning through path P.
  • the reference semiconductor laser 2 3 1 is directly modulated simultaneously with the semiconductor laser 2 1 1 by the VCO described above.
  • the semiconductor laser 2 1 1 and the reference semiconductor laser 2 3 1 generate laser beams BO 1 and ⁇ 0 2 having different wavelengths ⁇ 2 . .
  • the wavelength of the semiconductor laser 2 1 1 is 1 5 5 0 nm
  • the wavelength lambda 2 of the reference semiconductor laser 2 3 1 is 1 5 5 2 nm
  • the semiconductor laser 2 1 1 reference semiconductor
  • the laser 2 3 1 is swept by the VCO at a predetermined modulation frequency (for example, 1 ⁇ ⁇ to 10 O MHz, 5 O k step). .
  • the first optical amplifier 2 3 2 can amplify the reflected light B 1 1 returning from the optical path P taken in by the fiber collimator F C 2.
  • This reflected light B 1 1 includes light that is reflected back by the distance detectors 2 2 A, 2 2 B, 2 2 C.
  • a band pass filter can be provided at the subsequent stage of the first optical amplifier 2 32.
  • the optical power plastic 2 3 3 receives the laser beam B 0 2 from the reference semiconductor laser 2 3 1 and the laser beam B 1 1 from the second optical amplifier 2 3 2 and combines them. It is emitted as laser light B 3.
  • the second optical amplifier 2 3 4 amplifies the laser beam B 3 by the optical power 2 3 3 force.
  • a band pass filter for removing amplified spontaneous emission (ASE) can be provided at the subsequent stage of the second optical amplifier 2 34.
  • the optical sensor 2 3 5 receives the second optical amplifier 2 3 4 force, the laser beam B 3, and absorbs two photons (T P A).
  • the optical sensor 2 3 5 can be composed of, for example, an avalanche diode (APD), and receives the laser light from the second optical amplifier 2 3 4 and absorbs two photons.
  • APD avalanche diode
  • the optical sensor 2 3 5 is preferably controlled at a constant temperature by a temperature control element (here, Peltier element 2 0 0). As a result, the S / N ratio can be increased.
  • the distance measuring device 2 4 can be composed of a frequency detector 2 4 1 and a control device 2 4 2.
  • the frequency detector 2 4 1 can be configured by, for example, a dedicated processor, extracts a sine wave included in the output signal (electrical signal) of the optical sensor 2 3 5, and sets the reflected position of the light returning on the path P. Corresponding frequency components are detected. ,
  • control device 2 4 2 can display the detection result from the frequency detector 2 4 1 on the display. Note that the control device 2 4 2 can also perform the function of the frequency detector 2 4 1.
  • the control device 2 4 2 controls V C O connected to the semiconductor laser 2 1 1 and the reference semiconductor laser 2 3 1.
  • the distance measurement system 2 of the present embodiment can accurately calculate the distances from the start point to the distance detectors 2 2 A, 2 2 B, 2 2 C (for example, the displacement at a distance of 100 Om is (with mm error).
  • FIG. 7 shows a distance measuring system 2 equipped with an optical axis correcting device.
  • the optical axis correcting device 4 includes a control unit 2 3 and a transmitter / receiver 2 2 4 provided in the distance detectors 2 2 A, 2 2 B, and 2 2 C.
  • the control unit 2 2 3 includes a control circuit 2 2 5 and a position / orientation correction mechanism 2 2 2.
  • the optical axis correcting device 4 and the control unit 2 2 3 are not indicated by reference numerals.
  • the control device 2 4 2 installed in the distance measuring device 2 4 of the monitoring station 10 0 0 shows the detection result (light intensity) by the frequency detector 2 4 1. Passed to the transceiver 2 4 3, the transceiver 2 4 3 transmits this to the transceivers 2 2 4 of the distance detectors 2 2 A, 2 2 B and 2 2 C.
  • the control circuit 2 2 5 compares the detection results (light intensity) received by the transceiver 2 4 in real time while scanning the optical axis in space by the position and orientation correction mechanism 2 2 2.
  • the optical axis L shown in FIG. 8 (B) can be directed in the direction in which the light intensity is strong.
  • the control circuit 2 25 drives the position / posture variable of the optical member 2 2 1 shown in FIGS. 8 (A) and 8 (B) by driving the position / posture correction mechanism 2 2 2.
  • the values X, Z, ⁇ , and ⁇ can be controlled (Fig. 8 (C)).
  • the control of 0 and ⁇ can be realized by an actuator using a well-known piezo element and the control of X and Z can be realized by a mechanism such as a motor.
  • 8A and 8B show distance detectors 2 2 B and 2 2 C in which the optical member 2 2 1 is a corner reflector for easy understanding.
  • the control unit 2 2 3 of the distance detector 2 2 A is connected to the distance detector 2 2 B, 2-2 Control the optical member 2 2 1 so that the light emitted toward C is applied to the incident zone of the distance detector, and / or the distance detector 2 2 B , 2 2 C can control the optical member 2 2 1 so that the light is incident on the incident zone of the self-detector (2 2 A).
  • Part 2 2 3 is the light emitted toward the distance detector (2 2 A in the example of Fig. 8 (C)) on the start point side, and enters the incident zone of the distance detector (2 2 A).
  • the optical member 2 2 1 can be controlled so as to be irradiated.
  • the distances from the start point to the distance detectors 2 2 A, 2 2 B, 2 2 C can be accurately obtained.
  • Fig. 9 (A) when the path P is configured on a straight line, as shown in Fig. 9 (A), three glass plates are used as a distance detector. It is possible to use a corner reflector that is bonded to form a surface. An antireflection film F is formed on the surface of the optical member on which light is emitted.
  • Fig. 9 (A) the above corner reflectors are denoted by reference numerals 2 2 A and 2 2 B, and the corner reflectors made of ordinary vanorex glass are denoted by reference numerals 2 2 C.
  • the light emitted from the laser light source 21 is branched by the optical splitter SPL and returned to the path P. May be coupled by an optical coupler CPL to form a photodetector 23.
  • FIG. 10 is a block diagram showing a third embodiment of the present invention comprising a single beam system.
  • a distance measuring system 5 shown in FIG. 10 includes a laser light source 51, a distance detector 52, a light detector 53, and a distance measuring device 54.
  • the laser light source 5 1 has a semiconductor laser 2 1 1.
  • a fiber collimator F C is provided after the circulator C.
  • the fiber collimator FC serves as a starting point for the path P and also serves as a light inlet for returning to the path P.
  • Distance detectors 5 2 A, 5 2 B, 5 2 C, and 5 2 D are provided in the middle of the route P starting from the fiber collimator F C (or the circuit C).
  • the distance detector 52 A is configured by a prism, and a semi-transparent mirror H is formed on the surface on the starting point side.
  • the distance detector 5 2 A returns a part to the start point side, transmits the rest, and further branches to the distance detector 5 2 B side and the distance detector 5 2 D.
  • the distance detector 5 2 B is composed of a semi-transparent mirror, a part of which is returned to the starting point side, and the rest is transmitted toward the distance detector 5 2 C.
  • the distance detectors 5 2 C and 5 2 D are composed of total reflection mirrors.
  • the configuration of the photodetector 53 is different from the configuration of the photodetector 23 shown in Fig. 6 in that the light returning through the path P is captured via the fiber collimator FC and the circuit C.
  • the configuration of is the same as that of photodetector 2 3.
  • the configuration of the distance measuring device 54 is the same as that of the distance measuring device 24 shown in FIG.
  • the distance measurement system 5 can accurately obtain the distances from the start point to the distance detectors 5 2 A, 5 2 B, 5 2 C, and 5 2 D, for example.
  • optical axis correcting device 4 similar to that shown in FIG. 7 can be incorporated in the distance measuring system 5.
  • FIG. 11 is a block diagram showing a fourth embodiment of the present invention.
  • a distance measuring system 6 shown in FIG. 11 includes a laser light source 61, a distance detector 62, a photodetector 63, and a distance measuring device 64.
  • the configurations of the laser light source 61, the photodetector 63, and the distance measuring device 6 4 are the same as the configurations of the laser light source 51, the photodetector 53, and the distance measuring device 5 4 shown in FIG.
  • a part of the path P is formed open to the atmosphere, and the remaining path is formed by an optical fiber.
  • one end face of the optical fiber connected to the fiber collimator in FIG. 11, T l, ⁇ 2, ⁇ 3, ⁇ 5, ⁇ , 6, ⁇ 7) is a semi-transparent mirror.
  • the end of path ⁇ ( ⁇ 4 and ⁇ 8 in Fig. 11) is composed of reflector ⁇ .
  • ⁇ 1 to ⁇ 8 function as distance detectors.
  • the path from ⁇ 2 to the tip side is divided into two by an optical shunt (light power plastic) and connected to the fiber collimators ⁇ 3 and ⁇ 5.
  • Figure 11 shows the partial path between FC and ⁇ 1, ⁇ 2 and ⁇ 3, ⁇ 2_ ⁇ 5, and ⁇ 6 and ⁇ 7.
  • This partial path is configured not to have a distance meter in the middle.
  • the distance measuring system 6 of this embodiment is open to the atmosphere T 1 — T
  • FIG. 12 (A) is a schematic view showing a fifth embodiment of the distance measuring system of the present invention. This example also uses two-photon absorption (TPA).
  • TPA two-photon absorption
  • the distance measurement system 1 A includes a first laser light source 3 0 1 and a second laser light source 3 0 2, an optical modulator light power plug 3 4, and a first optical amplifier 3 5 1. And a second optical amplifier 3 5 2, an optical sensor 3 6, and a frequency detector 3 7.
  • Both the first laser light source 30 0 1 and the second laser light source 30 2 can use a semiconductor laser. These generate laser beams of different optical frequencies, and the two laser beams are modulated at the same modulation frequency by a modulator (V C.O (voltage controlled oscillator)).
  • V C.O voltage controlled oscillator
  • Laser light source 30 0 emits laser beams B 10 and B 20 having different frequencies.
  • the frequency of the first laser light source 30 1 is f 1 (wavelength ⁇ : 1550 nm), and the frequency of the first laser light source 3 0 2 is f 2 (wavelength ⁇ 2 : 1 5 5 2 nm).
  • the modulation frequency is swept in 50 kHz steps, for example from 1 MHz to; LOO MHz.
  • the first optical amplifier 3 51 can amplify the reflected light B 1 1 that returns after being reflected by the optical path of the first laser light source 3 0 1.
  • a band pass filter that allows the reflected light B 1 1 to pass therethrough can be provided at the subsequent stage of the first optical amplifier 3 5 1.
  • the optical power coupler 3 4 combines the laser beam B 2 0 from the second laser light source 30 2 and the laser beam B 11 from the second optical amplifier 3 51.
  • the second optical amplifier 3 5 2 amplifies the laser light B 3 from the optical power plastic 3 4.
  • a band pass filter for removing amplified spontaneous emission (A S E) (not shown) can be provided after the second optical amplifier 3 52.
  • the optical sensor 36 receives the laser beam from the second optical amplifier 3 52 and absorbs two photons (T P A).
  • the optical sensor 36 can be composed of, for example, an avalanche photodiode (APD).
  • the optical sensor 36 is controlled at a constant temperature by a temperature control element (here, Peltier element 2 0 0). As a result, the S / N ratio can be increased.
  • the frequency detector 37 can be configured by, for example, a dedicated processor, extracts a sine wave included in the output signal (electric signal) of the optical sensor 36, and reflects the optical path of the first laser light source 30 1 The frequency component corresponding to the reflection position of the returning light is detected. ,.
  • the frequency detector 37 is connected to the control device 2, and the control device 2 controls the VCO connected to the first laser light source 3011 and the second laser light source 3002. ing.
  • the frequency detector 37 can be configured by, for example, a dedicated processor, extracts a sine wave included in the output signal (electric signal) of the optical sensor 36, and reflects the optical path of the first laser light source 30 1 The frequency component corresponding to the reflection position of the returning light is detected.
  • the detected component of the reflected light (current value i) is
  • i bias the DC bias value, the first laser light source 3 0 1 intensity, the light intensity of the E 2 are the laser beam emitted from the second laser light source 3 0 2
  • m is the modulation frequency
  • c is the speed of light
  • n is a positive integer
  • L is the distance from the first laser light source 301 to the reflection position
  • ⁇ ,] 3 are positive numbers less than one.
  • the reflection position of the light can be detected by the spectrum diagram of the detection component of the reflected light (see Fig. 12 ( ⁇ ): equivalent to the diagram where the horizontal axis is the distance L to the reflection point). .
  • This distance detection can simultaneously measure the distance to multiple distance detectors.
  • the frequency detector 37 is connected to the control device 2, and the control device 2 controls the VC ⁇ ⁇ connected to the first laser light source 3011 and the second laser light source 3002. Yes.
  • FIG. 13 is an explanatory view showing a sixth embodiment of the distance measuring system of the present invention.
  • the distance measuring system 1 ⁇ measures the distance or distance variation, and the first laser light source 4 0 1 and the second laser light source 4 0 2, and the fine coulometer 4 1 1, 4 1 2, corner reflector 4 2, optical first optical amplifier 4 5 1, optical power bra 4 4, second optical amplifier 4 5 2, optical sensor 4 6, frequency detector 4 7 .
  • Both the first laser light source 4 0 1 and the second laser light source 4 0 2 can use semiconductor lasers. These generate laser beams of different optical frequencies, and the two laser beams are modulated (VCO (voltage controlled oscillator)) Is modulated at the same modulation frequency.
  • the first laser light source 4 0 1 and the second laser light source 4 0 2 emit laser beams B 1 0 and B 2 0 having different frequencies.
  • the frequency of the first laser light source 4 0 1 is f 1 (wavelength; 1 5 50 nm)
  • the frequency of the first laser light source 4 0 2 is f 2 (wavelength 2 : 1 5 5 2 nm).
  • the modulation frequency is swept in 50 kHz steps, for example, from 1 ⁇ ⁇ to 100 MHz.
  • the corner reflector 4 2 reflects the laser beam B 10 from the first laser light source 4 0 1.
  • the fiber collimator 4 1 1 emits the light from the first laser light source 4 0 1 propagating through the optical fiber 1 to the corner reflector 4 2 as an optical beam into the space, and the fiber collimator 4 1 2 is the corner reflector 4 2 Forces the reflected laser beam B 1 into the optical fiber.
  • the laser beam B 11 is amplified by the first optical amplifier 45 1.
  • a band pass filter can be provided in the subsequent stage of the first optical amplifier 45 1.
  • the optical power coupler 44 combines the laser beam B 20 from the second laser light source 4, 0 2 and the laser beam B 11 from the fiber collimator 4 1 2 force.
  • the optical amplifier 4 5 2 amplifies the laser light B 3 from the optical power plug 4 4.
  • the optical amplifier 4 5 2 is not shown at the rear stage of the optical amplifier 4 5 2, but removes amplified spontaneous emission light (ASE).
  • a panda pass filter is provided. .
  • the optical sensor 46 can be constituted by, for example, an avalanche photodiode (APD), and receives the laser light from the optical amplifier 45 2 and absorbs two photons.
  • the optical sensor 46 is controlled to a constant temperature by a temperature control element (here, a Peltier element 100). As a result, the S / N ratio can be increased.
  • a temperature control element here, a Peltier element 100
  • the frequency detector 47 extracts the sine wave component included in the output signal of the optical sensor 46 and determines the distance from the first laser light source 4 1 1 included in the laser beam B 1 1 to the corner reflector 4 2. The corresponding frequency component is detected.
  • FIG. 14 is an explanatory view showing a seventh embodiment of the distance measuring system according to the present invention.
  • the distance measuring system 1 C detects the distance to the breaking point of the optical fiber.
  • Both the first laser light source 5 01 and the second laser light source 50 2 can use semiconductor lasers. These generate laser beams of different optical frequencies, and the two laser beams are modulated at the same modulation frequency by a modulator (VCO (voltage controlled oscillator)).
  • the first laser light source 5 0 1 and the second laser light source 5 0 2 emit laser beams B 1 0 and B 2 0 having different frequencies.
  • the frequency of the first laser light source 5 0 1 is (wavelength: 1550 nm)
  • the frequency of the first laser light source 5 0 2 is f 2 (wavelength 2 : 1 5 5 2 nm).
  • the modulation frequency is for example
  • the optical fiber 5 1 is the first laser light source 5 0 1 force, the laser light B 1
  • the optical separator 53 is provided at the starting end of the optical fiber 51, and is reflected at the end of the optical fiber 51 and reflected from the terminal side toward the starting end side.
  • the reflected laser beam B 1 1 composed of the reflected laser beam B 1 2 1 from the breaking point is separated.
  • the light separated by the optical separator 5 3 is amplified by the first optical amplifier 5 51.
  • the optical power plastic 54 combines the second laser light source 50 2, the laser beam B 20, and the laser beam B 11 from the optical separator 53.
  • the second optical amplifier 5 52 amplifies the laser beam B 3 from the optical power plastic 54.
  • the optical sensor 5 6 receives the laser beam from the second optical amplifier 5 52 and absorbs two photons.
  • the optical sensor 5 6 is controlled at a constant temperature by a temperature control element (here, Peltier element 2 0 0). As a result, the S / N ratio can be increased.
  • the frequency detector 5 7 extracts the sine wave component contained in the output signal of the optical sensor 56 and outputs the first laser light source 5 0 1 contained in the laser light B 1 1 to the end of the optical fiber 5 1.
  • the frequency component corresponding to the distance to the first laser light source 5 0 1 and the frequency component corresponding to the distance from the break point are detected.
  • the frequency detector 37 is connected to the control device 2, and the control device 2 controls the voltage-controlled oscillator connected to the first laser light source 3 0 1 and the second laser light source 3 0 2. ing.

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Abstract

距離検出器12bは、始点側に位置する距離検出器12aから入射した光の一部を反射により、または反射および屈折により当該始点側に位置する距離検出12aに返し、残りの一部を透過、屈折または反射、またはこれらの組み合わせにより先端側に位置する距離検出器12b,12c,12d,12eに送り、これら距離検出器12b~12eから返された光を透過、屈折または反射、またはこれらの組み合わせにより始点側に位置する距離検出器11aに返す。これにより、レーザ光源を使用して、レーザ光源から複数地点までの距離、あるいは2点間の距離を高精度に測定することができる。

Description

明 細 書
距離測定システム
〔技術分野〕
本発明は、 地震による地盤の変動測定、 土木 · 建築分野における 測量に使用される、 レーザ光源から距離検出器までの距離あるいは 位置検出器間の距離、 あるいは光通信に使用する光ファイバ一の破 断点の位置を高精度で測定できる距離測定システムに関する。
〔背景技術〕
従来、 レーザ光を用いて空間的距離を測定する距離測定装置が知 られている。
たとえば、 距離測定装置 7は、.図 1 5 に示すよ う にレーザ光源 7 1からのレーザ光を光変調器 7 2により変調し、 これを変調光 B 0 1 と して出射し、ハーフミ ラー 7 3を介して距離測定対象 Oに照射 し、 その反射光 B 1 1 を光検出器 7 4によ り.検出し、 電気信号と し て出力する。
そして、 ミ キサ 7 5によ り、.光変調,器 7 2を駆動する発振器 7 6 からの信号と局部発振器 7 7からの信号とを合成する と もに、 ミキ サ 7 8 により 局部発振器 7 7からの信号と光検出器 7 4からの信 号とを合成する。 ミキサ 7 5 と ミキサ 7 8 との出力信号の位相を位 相比較器 7 9 により比較して、両信号の位相差から距離測対象 Oま での距離を測定する。
〔発明が解決しょ う とする課題〕
しかし、図 1 5の距離測定装置 7では、位相を検出しているため、 2 π の整数倍の不確定さが生じる。 このため、 距離測対象 Οまで の、 おおよその距離がわかっていないと測定ができない。 また、 距' 離測定装置 7では、位相を検出するため電気回路が複雑化し高価と なる。
さ らに、 図 1 5 の測定装置では、 レーザ光源 7 1 と距離測対象 O との距離だけしか測定するこ とはできず、 レーザ光源 7 1 と他の距 離測定対象との距離を測定するには、 レーザ光の経路を切り換えな ければならず、 実質上、 レーザ光源 7 1 を用いて複数の距離測定対 象との距離を同時に測定することはできない。
そこで、 本発明者らは、 同一周波数で変調される 2つの異なる周 波数のレーザ光源を備え、 2光子吸収 (T P A : T w o — P h o t o n A b s o r p t i o n ) によ り 2つの光路の経路長差を高精 度で検出する距離測定技術を提案した( I E E E P h o t o n i c s f e c h n o 1 o g y L e t t e r s v o l . 1 7 N o . 1 2 p p 2 6 8 2 - 2 6 8 4 , D E C EM B E R 2 0 0 5 参照) 。
この距離測定技術では、 2つの光路の経路長差を、 変調周波数の 正弦波の周期と して検出することができる。 しかし、 これらの距離 測定技術で使用する光強度変調器 ( L N基板によ り作製される) や 光波長フ ィルタは構造が複雑である うえ価格が高い。
本発明は、 レーザ光源を使用して、 レーザ光源から複数地点まで の距離、 あるいは 2点間の距離を高精度に同時に測定することがで きる構成が簡単で
距離測定システムを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の距離測定システムは以下を要旨とする。
( 1 ) レーザ光源と、 前記レーザ光源を始点と して空間にシリ アル状、 ツリー状または 放射状に設定された経路上に複数配置された距離検出器と、 前記経路を返ってく る光を検出する光検出器と、
前記光検出器によ り検出された光を解析して前記レーザ光源と 前記各距離検出器までの距離を測定する距離測定器と、
を備えた距離測定システムであって、
前記各距離検出器は、
始点側に位置する距離検出器から入射した光の一部を反射に より 、 または反射および屈折によ り 当該始点側に位置する距離検出 器に返し、 残り の一部を透過、 屈折または反射、 またはこれらの組 み合わせによ り先端側に位置する距離検出器に送り、
前記先端側に位置する距離検出器から返された光を透過、屈折 または反射、またはこれらの組み合わせによ り前記始点側に位置す る距離検出器を介して前記光検出器に返す、
こと を特徴とする距離測定システム。
距離検出器による距離検出は、具体的には従来の飛行時間法や光 変調法 (前述した図 1 5参照) による距離測定技術を用いることが できる。
本発明では、 監視局に (レーザ光源の出力側に) 、 基準検出器を 設けることができ、 この基準検出器と他の距離検出器との間の距離 を、 距離測定器によ り検出する ことができる。
すなわち、 距離測定器は、 基準検出器に対応する周波数成分と他 の距離検出器に対応する周波数成分から、両検出器間の距離を検出 する ことができる。 本発明では、 各距離検出器の距離変位 (両検出器間の距離変位) を知るこ とができるので、 各距離検出器の初期位置 (座標) が予め わかっていれば、 地震等があつたときに、 簡単に変位後の位置 (座 標) を知ることができる。
また、同一の変調周波数で変調される 2つの異なる周波数のレー ザ光源と、 2光子吸収フォ トセンサとを含んで構成される本発明者 らにの提案にかかる距離測定技術( I E E E P h o t o n i c s f e c h n o 1 o g y L e t t e r s v o l . 1 N o . 1 2 p p 2 6 8 2 - 2 6 8 4 , D E C E M B E R 2 0 0 5 ) を用 いる こ と もでき る。
( 2 ) 前記経路を始点側に位置する距離検出器から先端側に位置 する距離検出器に向かう光と、前記経路を先端側に位置する距離検 出'器から始端側に位置する距離検出器に向けて戻る光とが空間的 に分離している ことを特徴とする( 1 )に記載の距離測定システム。
( 3 ) 前記経路を始点側に位置する距離検出器から先端側に向か う光と、前記経路を先端側に位置する,距離検出器から始端側に向け て戻る光とが空間的に重なっていることを特徴とする ( 1 ) に記載 の距離測定システム。
( 4 ) 前記距離検出器は、
始点側に位置する距離検出器から入射された光を当該距離検出 器に返すコーナリ フ レクタ、 および Zまたは、
先端側に位置する距離検出器から入射された光を半透鏡、または さ らに反射鏡を介して始点側の距離検出器に返すコーナリ フレタ タ、 からなる光学部材を備えていることを特徴とする ( 1 ) または ( 2 ) に記載の距離測定システム。
( 5 ) 前記経路の終端の距離検出器は、 始点側に位置する距離検 出器から入射した光の全部を反射によ り 当該始点側に位置する距 離検出器を介して前記光検出器に返すこ とを特徴とする ( 1 ) から
( 4 ) の何れかに記載の距離測定システム。
( 6 ) 前記距離測定装器による検出結果を送信する送信機を備え、 前記距離検出器の少なく と も 1つに光軸修正装置が設けられてな る距離測定システムにおいて、
前記光軸修正装置は、
前記送信機からの前記検出結果を受信する受信機と、
前記受信機によ り受信した前記検出結果に基づき、
先端側に位置する距離検出器に向けて出射される光が、当該距 離検出器の入射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材を制御し、 かつ または、
始端側に位置する距離検出器から出射される光が、 自装置の入 射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材を制御する制御部と、 を備えたことを特徴とする ( 1 ) から ( 5 ) の何れかに記載の距離 測定システム。
( 7 ) 前記距離検出器が前記経路の終端の距離検出器である とき は、
始端側に位置する距離検出器が出射する光が、光軸修正装置の入 射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材を制御する、
こ.とを特徴とする ( 6 ) に記載の距離測定システム。
( 8 ) 前記制御部は、 出射光軸またはノおよび入射光軸が所定の方位を向く よ うに 制御する光軸方位調整機構、 または Zおよび、
出射光軸が当該光軸の方位を変えずに当該光軸に垂直な面を 移動するよ う に制御する光軸位置調整機構を備えたことを特徴と する ( 1 ) から ( 7 ) の何れかに記載の距離測定システム。
( 9 ) 前記制御部は、 距離検出器の入射部と出射部とを別々に制 御することを特徴とする ( 6 ) から ( 8 ) の何れかに記載の距離測 定システム。
( 1 0 ) 前記経路の一部が大気に開放して設定されてなる距離測 定システムであって、
複数の距離検出器間が光ファイバ一光路によ り形成され、当該光 ファイバー光路の途中には距離検出器を有さないよ うに構成され た部分経路が、 全経路中に少なく とも 1つ設定され、
前記光ファイバ一光路の端部は、それぞれ距離検出器と しても機 熊するファイバーコ リ メータを介して大気に開放している ことを 特徴とする ( 1 ) から ( 9 ) の何れかに記載の距離測定システム。
( 1 1 ) 前記距離測定器は、
前記光検出器は、
変調信号を生成する変調装置と、
前記変調信号を入力して前記レーザ光源が発生する波長とは異 なる波長のレーザ光を発生する参照用レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光が光路を反射して戻つ てきたと きの当該レーザ光を増幅する第 1光増幅器と、
前記第 1光増幅器からのレーザ光と、前記参照用レーザ光源から のレーザ光とを結合する光力ブラと、 前記光力ブラからのレーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 前記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
を備え、
前記距離測定器は、
前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 レーザ光源の光路を反射して戻ってく る光の反射位置に対応する 周波数成分を検出する周波数検出器と、
少なく とも前記変調装置を制御する制御装置と、
を備えたこと を特徴とする ( 1 ) から ( 1 0 ) の何れかに記載の距 離測定システム。 .
前述した本発明者らによる距離測定技術( I E E E P h o t o n i c s T e c h n o l o g y s e t t e r s v o l . 1 N o . 1 2 p p 2 6 8 2 - 2 6 8 4 , D E C E M B E R 2 0 0 5 ) では、 2つのレーザ光源からの光を合波してこれを変調する光 強度変調器と、 それらを分離する光波長フィルタが必要になる。
( 1 1 ) の距離測定システムでは、 光強度変調器や光波長フィル タが不要である。 なお、 ( 1 1 ) の距離測定システムでは、 2つの レーザ光源を電圧一周波数変換器により 直接変調しているが、 L N 基板等を使用 しないく てもよいので構造は簡単であ り低価格であ る。
( 1 2 ) なる光周波数のレーザ光を発生する第 1 レーザ光源お よぴ第 2 レーザ光源と、
前記 2つのレーザ光を同一の変調周波数で変調する変調器と、 前記第 1 レーザ光源から出射されたレーザ光が光路を反射して 戻ってきたときの当該レーザ光を増幅する第 1光増幅器と、 前記第 1光増幅器からのレーザ光と、前記第 2 レーザ光源からの レーザ光とを結合する光力ブラ と、
前記光力ブラからのレ ザ光を増幅する第 2光増幅器と、 前記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
'前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 第 1 レーザ光源の光路を反射して戻ってく る光の反射位置に対応 する周波数成分を検出する周波数検出器と、
前記変調器を制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする距離測定システム。
( 1 3 ) 異なる光周波数のレーザ光を発生する第 1 レーザ光源お よび第 2 レーザ光源と、
前記 2 つの レーザ光を同一の変調周波数で変調する変調器と、 前記第 1 レーザ光源からのレーザ光を空間経路に出射する第 1 光ファイバ一ファイバコ リ メータ と、
前記第 1光ファイバ一ファイバコ リ メータから出射されたレー ザ光の空間光路の終端に設けられたコーナキューブと、
前記コーナキューブから反射されるレーザ光をファイバー光路 に取り込む第 2 ファイ バーコ リ メータ と、
前記第 2 フ ァイバーコ リメータからのレーザ光を増幅する第 1 光増幅器と、
前記第 2 レーザ光源からのレーザ光および前記第 1光増幅器か らのレーザ光を結合する光力ブラと、 目 u sd光力ブラからのレーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 m記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
HU記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出 して、前記 第 1 レ ザ光源の光路を反射して戻ってく る光の反射位置に対応 する周波数成分を検出する周波数検出器と、
少なぐ とも前記変調器を制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする距離測定システム。
( 1 4 ) 光ファイバ一の少なく とも 1つの破断点を検出する距離 測定システム (光ファイバ一破断点検出装置) であって、
異なる光周波数のレーザ光を発生する第 1 レーザ光源および第
2 レ一ザ光源と、
前記 2 つのレーザ光を同一の変調周波数で変調する変調器と、
HU記第 1 レーザ光源からのレーザ光を始端よ り入射する前記光 ファィノ^一と、
m記光フ ァイバーの始端に設けられ、前記第 1 レーザ光源から前 記光ファィバーの終端側に向けて伝播する レーザ光と、前記光ファ ィノ^ "一の終端側から始端側に向けて伝播する レーザ光と を分離す る-光サ一キユ レータ と、
ftu記光サーキユ レータから の レーザ光を増幅する第 1 光増幅器 ヽ
刖記第 2. レーザ光源からのレーザ光および前記第 1光増幅器か らの レ一ザ光を結合する光力ブラと、
HU記光力ブラ からの レーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 '前記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 第 1 レーザ光源から前記破断点までの距離に対応する周波数成分 を検出する周波数検出器と、
を備えたこ とを特徴とする距離測定システム。
( 1 5 ) 前記第 1 レーザ光源および前記第 2 レーザ光源は半導体 レーザからなり、前記変調器は電圧制御発振器によ り前記半導体レ 一ザを直接変調し、かつ変調周波数を掃引する構成を備えたこと を 特徴とする請求項 1 から 3の何れかに記載の距離測定システム。
( 1 6 ) 前記光検出器は温度制御されることを特徴とする請求項 1から 4の何れかに記載の距離測定システム。
( 1 2 ) から ( 1 8 ) の距離測定システムでは、 光強度変調器や 光波長フィルタが不要である。 なお、 ( 1 1. ) の距離測定システム では、 2つのレーザ光源を電圧一周波数変換器によ り直接変調して いるが、 L N基板等を使用しないくて,もよいので構造は簡単であ り 低価格である。
〔図面の簡単な説明〕
図 1 :本発明の距離測定システムの基本構成を示す説明図である。 .図 2 : (A) はレーザ光源を始点と して空間にツリー状に設定さ れた経路に距離検出器が複数配置された様子を示す図、 ( B ) は同 じく放射^に形成された経路に距離検出器が複数配置された様子 を示す図である。
図 3 : ( A) , ( B ) は距離検出器の具体的な構成を示す図であ る。 ' 図 4 : (A) , ( B ) は距離検出器の他の具体的な構成を示す図 である。
図 5 :図 1 の距離測定システム 1 に可視波長レーザ光源を備えた 例を示す図である。
図 6 : 本発明の第 1実施例を示すブロ ック図である。
図 7 : 本発明の第 2実施例を示すブロ ック図である。
図 8 : ( A) は距離検出器の正面説明図、 ( B ) は距離検出器の 側面説明図、(C )は光軸修正装置の概要を示すブロ ック図である。
図 9 : ( A) は経路 Pを直線状に設定するときの距離検出器の説 明図、 ( B ) は経路 Pを放射上に設定するときの置検出器の説明図 である。 - '図 1 0 : 本発明の第 3実施例を示すプロ ック図である。
図 1 1 : 本発明の第 4実施例を示すブロ ック図である。
図 1 2 : (A) は本発明の第 5実施例を示すブロ ック図、 (B ) は反射光の検出成分のスぺク トラム図である。
図 1 3 : 本発明の第 6実施例を示すプロ ック図である。
図 1 4 : 本発明の第 7実施例を示すブロ ック図である。
図 1 5 : 従来技術の説明図である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、 レーザ光源から複数地点までの距離 (レーザ光 源から距離検出器までの距離) 、 あるいは経路上で隣接する距離検 出器間の 離を高精度に同時に測定するこ とができる。
特に本発明は、 地震等による地盤の変位測定、 ト ンネル工事にお ける掘削した トンネル長の測定、建築中の建造物における測量とい つた土木 · 建築分野での高精度距離 · 変位測定に有効である。 〔発明を実施するための最良の形態〕
図 1 によ り、 本発明の距離測定システムを説明する。
,図 1 において、 距離測定システム 1は、 レーザ光源 1 1 と、 距離 検出器 1 2 と、 光検出器 1 3 と、 距離測定器 1 4 とを備えている。 図 1では、 レーザ光源 1 1、 光検出器 1 3および距離測定器 1 4は 監視局 1 0 0に設置されている。
距離検出器 (図 1 では、 符号 1 2 a , 1 2 b , 1 2 c , 1 2 d , 1 2 eで示す 5つの距離検出器)がレーザ光源 1 1 を始点と して空 間に分岐 (ツリー状に) して配置されている様子を示している。
距離検出器 1 2は、 図 2 (A) , (B ) に示すよ うに、 レーザ光 源 1 1 を始点と して空間にツリ ^"状または放射状に設定された経 路 P上に複数配置すること もできる。 図 2 ( A) , ( B ) では、 距 離検出器を Τ η ( ή = 1 , 2 , 3, · · · ) で示してある。 経路 Ρ は、往路と復路とが空間的に分離した二重ビ.ームによ り構成しても よいし、 単ビームによ り構成してもよい。
距離検出器 1 2は、 分岐点には、 後,述するよ う にプリ ズム、 コ ー ナリ フ レクタ、 半透鏡、 経路 Ρの一部が光ファイバ一によ り構成さ れた場合には光ファイバ一の端面等によ り構成するこ とができる。 また、 プリ ズム、 コーナリ フ レクタ、 半透鏡、 全反射鏡のう ちの全 部または一部を組み合わせて一体に作製した光学部材を、距離検出 器 1 2 (図 1 では、 1 2 a , 1 2 b , 1 2 c , 1 2 d , 1 2 e ) と して使用することもできる。
たとえば、 距離検出器 1 2 bは、 始点側に位置する距離検出器 1 2 aから入射した光の一部を反射 (または反射および屈折) によ り 距離検出器 1 2 a に返し、 残り の一部を透過、 屈折または反射 (ま たはこれらの組み合わせ) によ り距離検出器 1 2 c, 1 2 d , 1 2 eに送る。 また、距離検出器 1 2 b は、距離検出器 1 2 c, 1 2 d, 1 2 e から返された光を透過、 屈折または反射 (またはこれらの組 み合わせ) によ り距離検出器 1 2 a を介して光検出器 1 3 に返す。
'始点 (レーザ光源 1 1 )'から距離検出器 1 2 a, 1 2 bを介して 距離検出器 1 2 d, 1 2 e に向かう経路 P f と、 距離検出器距離検 出器 1 2 d, 1 2 e 力、ら距離検出器 1 2 b, 1 2 a を介して始点に 返る経路 P b とを空間的に分離することができる。 この場合、 たと えば距離検出器 1 2 b は、距離検出器 1 2 aから入射される光を距 離検出器 1 2 a に返すコーナリ フ レクタを備えるよ う に構成でき る。 - 具体的には、距離検出器 1 2 a、距離検出器 1 2 bは、図 3 (A), ( B ) に示すよ う に、 コーナリ フ レクタ C と半透鏡 Hとプリ ズム P Rとが一体となった光学部材によ り構成するこ とができる。 また、 距離検出器 1 2 c も、 図 4 ( A) に示すよ う に、 コーナリ フ レクタ Cと半透鏡 Hとプリ ズム P Rとが一体となつた光学部材によ り構 成することができる。 距離検出器 1 2 d, 1 2 e は、 図 4 ( B ) に 示すよ う に、 コーナリ フ レクタ Cにより構成することができる。 光 検出器 1 3は、 経路 Pを返ってく る光を検出する。
距離測定器 1 4は、光検出器 1 3 によ り検出された光を解析して、 始点 ( レーザ光源 1 1 ) から距離検出器 1 2 a, 1 2 b , 1 2 c , 1 2 d , 1 2 e までの距離を測定する。
本発明においては、 距離検出器や、 経路中の光学部品は、 分岐 · 結合素子、 光導波路、 フ ァ イバ一力ブラ、 レンズ、 半透鏡等の組合 せによ り構成するこ とができる。 図 5は、図 1 の距離測定システム 1 に可視波長レーザ光源 1 ]. a , プリ ズム 1 1 b, 1 1 c を備えた例を示す図である。 レーザ光源 1 1が発生する レーザ光が不可視である場合、 たとえば、 距離測定シ ステム 1 の設置の際や、 経路 Pを変更するよ うな場合には、 光源を レーザ光源 1 1から可視波長レーザ光源 1 1 a に切り換えておく 。 これによ り 、 作業員は、 レーザ光源 1 1 aからの可視レーザ光によ り距離検出器 1 2の位置や姿勢の調整を行う ことができる。
〔実施例〕
《第 1実施例》
図 6は、 本発明の第 1実施例を示すブロック図である。 図 6 に示 す距離測定システム 2は、 レーザ光源 2 1 と、 距離検出器 2 2 と、 光検出器 2 3 と、 距離測定器 2 4 とからなる。 本実施形態では、 光 センサ 2 3 5 は、第 2光増幅器 2 3 4からのレーザ光 B 3 を受光し 2光子吸収 (T P A ) する。
レーザ光源 2 1 は、半導体レーザ 2 1 1 とファイノ ーコ リ メータ F- C 1 とを備えており、 本実施例では、. ファイバーコ リ メータ F C 1 は経路 Pの始点となる。 本実施例では、 半導体レーザ 2 1 1 (第 1 レーザ光源) は V C O (電圧制御発振器: 制御装置 2 4 2 によ り 制御される) によ り直接変調される。
図 6では、 経路 P上に符号 2 2 1 B , 2 2 1 Cで示す 3つの距離検出器 (それぞれ光学部材を備えている) が示されてい る。 .
実際には、始点から最も遠い距離検出器に至るまでの経路 Pの長 さは、 数 + mから数 k mとすることができる。 また、 距離検出器 2 2は、経路 P上に 2つ以上 (たとえば、数十個とするこ と もできる) が形成される。
光検出器 2 3 は、 ファイバーコ リ メータ F C 2 と、 参照用半導体 レーザ (第 2 レーザ光源) 2 3 1 と、 光力ブラ 2 3 3 と、 第 1光増 幅器 2 3 2 と、第 2光増幅器 2 3 4 と、光センサ 2 3 5 と力 らなる。
ファイバーコ リ メータ F C 2は、経路 Pを返ってく る光を取り込 むことができる。
参照用半導体レーザ 2 3 1 は、 前述した V C Oによ り、 半導体レ 一ザ 2 1 1 と同時に直接変調される。 半導体レーザ 2 1 1 と、 参照 用半導体レーザ 2 3 1 とは、 異なる波長 え い λ 2の レーザ光 B O 1, Β 0 2を発生する。 . 。
本実施例では、 半導体レーザ 2 1 1 の波長 は 1 5 5 0 n mで あり、 参照用半導体レーザ 2 3 1 の波長 λ 2は 1 5 5 2 n mであり 、 半導体レーザ 2 1 1 , 参照用半導体レーザ 2 3 1 は、 V C Oによ り 所定の変調周波数 (たとえば 1 ΜΗ ζ〜 1 0 O MH z まで、 5 O k ステップ) で掃引される。 . ·
'第 1光増幅器 2 3 2は、ファイバーコ リ メータ F C 2によ り取り 込まれた、光路 Pを戻ってく る反射光 B l 1 を増幅することができ る。 この反射光 B 1 1 には、 距離検出器 2 2 A, 2 2 B , 2 2 Cで 反射されて戻ってく る光が含まれて.いる。第 1光増幅器 2 3 2の後 段には、図示はしないがバン ドパスフィルタを設けるこ とができる。
光力プラ 2 3 3は、参照用半導体レーザ 2 3 1 からのレーザ光 B 0 2およぴ第 2光増幅器 2 3 2からのレーザ光 B 1 1 を入射し、 こ れらを結合してレーザ光 B 3 と して出射する。 第 2光増幅器 2 3 4は、光力プラ 2 3 3力、らのレーザ光 B 3 を増 幅する。 第 2光増幅器 2 3 4の後段には、 図示はしないが増幅され た自然放出光 ( A S E ) を除去するためのバン ドパスフィルタを設 けることができる。
光センサ 2 3 5 は、第 2光増幅器 2 3 4力、らのレーザ光 B 3 を受 光し 2光子吸収 ( T P A ) する。 光センサ 2 3 5は、 たとえ^アバ ランシェフオ トダイオー ド ( A P D ) によ り 構成するこ とができ、 第 2光増幅器 2 3 4からのレーザ光を受光し 2光子吸収する。
光センサ 2 3 5 は、温度制御素子(ここではペルチェ素子 2 0 0 ) によ り一定温度に制御することが好ましい。 これによ り、 S N比を 大き くするこ とができる。 - 距離測定器 2 4は、 周波数検出器 2 4 1 と、 制御装置 2 4 2 とか ら構成できる。 周波数検出器 2 4 1 は、 たとえば専用プロセッサに よ り構成でき、 光センサ 2 3 5 の出力信号 (電気信号) に含まれる 正弦波を抽出して、経路 Pを戻ってく る光の反射位置に対応する周 波数成分を検出する。 ,
具体的には、 制御装置 2 4 2は、 周波数検出器 2 4 1からの検出 結果をディスプレイに表示させるこ とができる。 なお、 周波数検出 器 2 4 1 の機能を制御装置 2 4 2が奏するよ う にもできる。 なお、 制御装置 2 4 2は、半導体レーザ 2 1 1および参照用半導体レーザ 2 3 1 に接続された V C Oを制御している。
本実施例の距離測定システム 2によ り、たとえば始点から距離検 出器 2 2 A , 2 2 B , 2 2 Cまでの距離を正確に (たとえば、 1 0 0 O mの距離の変位を数 m mの誤差で) 求めることができる。
《第 2実施例》 図 7は、光軸修正装置が備えられた距離測定システム 2 を示して いる。
図 8 ( C ) に示すよ う に光軸修正装置 4は、 距離検出器 2 2 A , 2 2 B , 2 2 Cに設けられた制御部 2 3 と送受信機 2 2 4 と力、ら 構成されている。 制御部 2 2 3 は、 制御回路 2 2 5 と位置姿勢修正 機構 2 2 2 とからなる。 なお、 図 7においては、 光軸修正装置 4お よび制御部 2 2 3は符号で示していない。
図 8 ( C ) にも示すよ うに、 監視局 1 0 0の距離測定器 2 4に設 け,られた制御装置 2 4 2は、 周波数検出器 2 4 1 による検出結果 (光強度) を、 送受信機 2 4 3 に渡し、 送受信機 2 4 3 はこれを、 距離検出器 2 2 A , 2 2 B , 2 2 C の送受信機 2 2 4に送信する。 制御回路 2 2 5は、位置姿勢修正機構 2 2 2によ り光軸を空間上 で走査させつつ、 送受信機 2 2 4が受信した検出結果 (光強度) を リ アルタイ ムで比較し、 最も光強度が強い向きに、 図 8 ( B ) に示 す光軸 Lを向けることができる。
本実施例では、 制御回路 2 2 5は、,位置姿勢修正機構 2 2 2 を駆 動することによ り 、 図 8 ( A ) , ( B ) に示した光学部材 2 2 1の 位置姿勢変数値 X, Z, θ , φ を制御することができる(図 8 ( C ) )。 なお、 0、 φ の制御は周知のピエゾ素子等によるァクチユエータ によ り実現でき、 X , Zの.制御ははモータ等の機構によ り実現でき る。 なお、 図 8 ( A ) , ( B ) では、 説明をわかり易くするために、 光学部材 2 2 1 がコーナリ フ レクタである距離検出器 2 2 B, 2 2 Cを示してある。
図 8 ( C )に示したよ うな光軸修正装置 4 を使用することによ り 、 たとえば距離検出器 2 2 Aの制御部 2 2 3は、 距離検出器 2 2 B , 2- 2 Cに向けて出射される光が、それら距離検出器の入射可能ゾー ンに照射されるよ う に光学部材 2 2 1 を制御し、'かつ/または、 距 離検出器 2 2 B , 2 2 Cから出射された光が、 自検出器 ( 2 2 A) の入射可能ゾーンに入射されるよ うに光学部材 2 2 1 を制御する ことができる。
なお、 図 7に示した距離検出器 2 2 B, 2 2 Cのよ うに距離検出 器が経路 Pの終端に位置している ときは、 図 8 ( C ) の光軸修正装 置 4の制御部 2 2 3は、 始点側に位置する距離検出器 (図 8 ( C ) の例では 2 2 A) に向けて出射される光が、 その距離検出器 ( 2 2 A) の入射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材 2 2 1 を制御す る'ことができる。 - '
本実施例の距離測定システム 2によっても、たとえば始点から距 離検出器 2 2 A, 2 2 B , 2 2 Cまでの距離を正確に求める ことが できる。
図 6および図 7の距離測定システム 2において、経路 Pを直線上 に構成するときは、 図 9 ( A) に示すよ うに、 距離検出器と して、 3枚のガラス板を 3角錐の 3面となるよ うに貼り合わせた形状の コーナリ フ レクタを使用することができる。 この光学部材の光が出 射する側の面には反射防止膜 Fが形成される。 図 9 ( A) では上記 コーナリ フ レクタを符号 2 2 A , 2 2 Bで示し、 通常のバノレクガラ スからなるコーナリ フ レクタを符号 2 2 Cで示す。
経路 P ^放射上に構成する ときは、 図 9 ( B ) に示すよ う に、 レ 一ザ光源 2 1からの出射光を光分岐器 S P Lによ り分岐し、経路 P を戻ってきた光を光結合器 C P Lによ り結合して光検出器 2 3 に る処理を行う よ う にしてもよい。 《第 3実施例》
図 1 0は、単一ビームの系からなる本発明の第 3実施例を示すブ ロ ック図である。 図 1 0に示す距離測定システム 5は、 レーザ光源 5 1 と、 距離検出器 5 2 と、 光検出器 5 3 と、 距離測定器 5 4 と力 らなる。
レーザ光源 5 1 は、 半導体レーザ 2 1 1 を有している。 本実施例 では、サ一キュ レータ Cの後段にファイバ一コ リ メータ F Cが設け られている。 ファイバーコ リ メータ F Cは、 経路 Pの始点である と ともに、 経路 Pを戻ってく る光の取り込み口 と しても機能する。 フ ァ イ バーコ リ メータ F C (または、 サーキユ レータ C ) を始点 とする経路 Pの途中には、 距離検出器 5 2 A , 5 2 B , 5 2 C , 5 2 Dが設けられている。 距離検出器 5 2 Aは、 プリ ズムによ り構成 され始点側の面に半透鏡 Hが形成されている。距離検出器 5 2 Aは、 一部を始点側に返し、 残り を透過させ、 さ ら.に距離検出器 5 2 B側 と距離検出器 5 2 D とに向けて分岐させる。
距離検出器 5 2 Bは半透鏡によ り構成され、一部を始点側に返し、 残り を距離検出器 5 2 Cに向けて透過させる。 距離検出器 5 2 C , 5 2 Dは全反射鏡によ り構成されている。
光検出器 5 3の構成は、 ファイバーコ リ メータ F Cおよびサーキ ユ レータ Cを介して経路 Pを戻ってく る光を取り込む点が図 6に 示した光検出器 2 3 の構成と異なるが、その他の構成は光検出器 2 3.と同じ ある。距離測定器 5 4の構成は図 6 に示した距離測定器 2 4の構成と同じである。 距離測定システム 5 によっても、図 6 の距離測定システム 2 と同 様、 たとえば始点から距離検出器 5 2 A, 5 2 B , 5 2 C , 5 2 D までの距離を正確に求めることができる。
,図示はしないが、距離測定システム 5に図 7に示したと同様の光 軸修正装置 4を組み込むこ とができる。
《第 4実施例》
図 1 1 は、 本発明の第 4実施例を示すプロ ック図である。 図 1 1 に示す距離測定システム 6 は、 レーザ光源 6 1 と、 距離検出器 6 2 と、 光検出器 6 3 と、 距離測定器 6 4 とからなる。
レーザ光源 6 1、 光検出器 6 3および距離測定器 6 4 の構成は、 図 1 0 に示したレーザ光源 5 1、光検出器 5 3および距離測定器 5 4 の構成と同じである。
本実施例では、 経路 Pの一部が大気に開放して形成され、 残り の 経路が光ファイバ一によ り形成されている。.すなわち、 本実施例で は、 ファイバーコ リ メータに接続された光ファイバ一の端面 (図 1 1 では、 T l, Τ 2 , Τ 3 , Τ 5 , Τ, 6 , Τ 7 ) が半透鏡と して機 能し、 経路 Ρの終端 (図 1 1 では、 Τ 4, Τ 8 ) は反射鏡 Μによ り 構成されている。 本実施例では、 Τ 1から Τ 8が距離検出器と して 機能する。 なお、 本実施例では、 Τ 2から先端側に向かう経路は、 光分路器 (光力プラ) に 2分されて Τ 3, Τ 5 のファイバーコ リ メ ータに接続されている。
図 1 1 は、 F C— Τ 1 間、 Τ 2 — Τ 3間、 Τ 2 _ Τ 5間、 Τ 6 一 Τ 7間が部分経路を構成している。 この部分経路は、 途中に距離 出器を有さないよ う に構成されている。 本実施例の距離測定システム 6 は、大気に開放している T 1 — T
2間 、 T 3 — T 4間、 T 5 — T 6間, T 7 — T 8間の距離、 および その変位を正確に測定することができる。
《第 5実施例》
図 1 2 ( A) は本発明の距離測 ^システムの、 第 5実施例を示す 説面図である。本実施例でも 2光子吸収( T P A)を利用している。
図 1 2 ( A ) において、 距離測定システム 1 Aは、 第 1 レーザ光 源 3 0 1 および第 2 レーザ光源 3 0 2 と、光変調器光力プラ 3 4 と、 第 1光増幅器 3 5 1 と、 第 2光増幅器 3 5 2 と、 光センサ 3 6 と、 周波数検出器 3 7 とを備えている。
第 1 レーザ光源 3 0 1 と第 2 レーザ光源 3 0 2は、何れも半導体 レ一ザを用いる ことができる。 これらは異なる光周波数のレーザ光 を発生し、 2つのレーザ光は、 変調器 (V C.O (電圧制御発振器) ) によ り 同一の変調周波数で変調される。第 1 レーザ光源 3 0 1 と第
2 レ一ザ光源 3 0 2は、 異なる周波数のレーザ光 B 1 0, B 2 0を 出射する。
本実施例では、 第 1 レーザ光源 3 0 1 の周波数は f 1 (波長 λ : 1 5 5 0 n m) であり、 第 1 レーザ光源 3 0 2の周波数は f 2 (波 長 λ 2 : 1 5 5 2 n m) である。 変調周波数は、 たとえば 1 M H z 〜 ; L O O MH z まで、 5 0 k H z ステップで掃引される。
第 1光増幅器 3 5 1 は、第 1 レーザ光源 3 0 1 の光路を反射して 戻ってく る反射光 B 1 1 を増幅することができる。 第 1光増幅器 3 5 1 の後段には、図示はしないが反射光 B 1 1 を通過させるバン ド パスフィルタを設ける こ とができる。 光力プラ 3 4 は、第 2 レーザ光源 3 0 2力ゝらのレーザ光 B 2 0お よび第 2光増幅器 3 5 1 からのレーザ光 B 1 1 を結合する。
第 2光増幅器 3 5 2は、光力プラ 3 4から の レーザ光 B 3 を増幅 する。 第 2光増幅器 3 5 2の後段には、 図示はしないが増幅された 自然放出光 (A S E ) を除去するためのバン ドパス フィルタを設け る'こ とができる。
光センサ 3 6 は、第 2光増幅器 3 5 2から の レーザ光を受光し 2 光子吸収 (T P A) する。 光センサ 3 6は、 たとえばアバランシェ フォ トダイオー ド (A P D) により構成する ことができる。 光セン サ 3 6は、 温度制御素子 (ここではペルチェ素子 2 0 0 ) によ り一 定温度に制御されている。 これによ り、 S N比を大き くするこ とが できる。
周波数検出器 3 7は、 たとえば専用プロセッサによ り構成でき、 光センサ 3 6の出力信号(電気信号)に含まれる正弦波を抽出して、 第 1 レーザ光源 3 0 1 の光路を反射して戻ってく る光の反射位置 に対応する周波数成分を検出する。 , .
図 1 2 (A)では、周波数検出器 3 7は、制御装置 2に接続され、 制御装置 2は、第 1 レーザ光源 3 0 1および第 2 レーザ光源 3 0 2 に接続された V C Oを制御している。
周波数検出器 3 7は、 たとえば専用プロセッサによ り構成でき、 光センサ 3 6 の出力信号(電気信号)に含まれる正弦波を抽出して、 第 1 レーザ光源 3 0 1 の光路を反射して戻ってく る光の反射位置 に対応する周波数成分を検出する。
具体的には、 反射光の検出成分 (電流値 i ) は、
i oc i b i a s +E i E s ひ i3 c o s co m ( 2 n L / c ) で表される。
ここで、 i b i a sは直流バイアス値、 は第 1 レーザ光源 3 0 1の強度、 E 2は第 2 レーザ光源 3 0 2から出射されたレーザ光の 光強度、 mは変調周波数、 c は光速、 n は正の整数、 Lは第 1 レ 一ザ光源 3 0 1から反射位置までの距離、 α, ]3 は 1以下の正の数 である。
反射光の検出成分のスぺク トラム図 (図 1 2 (Β ) 参照 : 横軸を 反射点までの距離 L と した図と等価) によ り、 光の反射位置を検出 するこ とができる。
この距離検出は、複数の距離検出器までの距離を同時に計測でき る。 - 図 3では、 周波数検出器 3 7は、 制御装置 2に接続され、 制御装 置 2は、第 1 レーザ光源 3 0 1および第 2 レーザ光源 3 0 2 に接続 された V C Οを制御している。
《第 6実施例》
図 1 3 は本発明の距離測定システムの第 6実施例を示す説明図 である。 図 1 3 において、 距離測定システム 1 Βは、 距離または距 離の変動を測定するものであり、第 1 レーザ光源 4 0 1および第 2 レーザ光源 4 0 2 と、 ファイノくーコ リ メータ 4 1 1 , 4 1 2 と、 コ ーナリ フ レクタ 4 2 と、光第 1光増幅器 4 5 1 と、光力ブラ 4 4 と、 第 2光増幅器 4 5 2 と、 光センサ 4 6 と、 周波数検出器 4 7 とから なる。 .
第 1 レーザ光源 4 0 1 と第 2 レーザ光源 4 0 2は、何れも半導体 レーザを用いることができる。 これらは異なる光周波数のレーザ光 を発生し、 2つのレーザ光は、 変調器 (V C O (電圧制御発振器) ) によ り 同一の変調周波数で変調される。第 1 レーザ光源 4 0 1 と第 2 レーザ光源 4 0 2は、 異なる周波数のレーザ光 B 1 0, B 2 0を 出射する。本実施例では、第 1 レーザ光源 4 0 1 の周波数は f 1 (波 長; 1 5 5 0 n m) であり、 第 1 レーザ光源 4 0 2 の周波数は f 2 (波長 2 : 1 5 5 2 n m) である。 変調周波数は、 たと えば 1 ΜΗ ζ〜 1 0 0 MH z まで、 5 0 k H z ステップで掃引される。 コーナリ フ レクタ 4 2は、第 1 レーザ光源 4 0 1からのレーザ光 B 1 0を反射する。
ファイバーコ リ メータ 4 1 1 は光ファイバ一を伝播する第 1 レ —ザ光源 4 0 1 からの光をコーナリ フレクタ 4 2 に向けて光ビー ムと して空間に放出し、 ファ イバーコ リ メータ 4 1 2はコーナリ フ レクタ 4 2力、ら反射してく る レーザ光 B l 1 を光ファイバ一に取 り込む。 レーザ光 B 1 1 は第 1光増幅器 4 5 1 によ り増幅される。 なお図示はしないが、第 1光増幅器 4 5 1 の後段にはバン ドパスフ ィルタを設けることができる。
光力プラ 4 4は、第 2 レーザ光源 4, 0 2力ゝらのレーザ光 B 2 0お よびファイバーコ リ メータ 4 1 2力 らのレーザ光 B 1 1 を結合す る。
光増幅器 4 5 2は、光力プラ 4 4からのレーザ光 B 3 を増幅する 光増幅器 4 5 2 の後段には、 図示はしないが、 増幅された自然放出 光 ( A S E ) を除去するためのパン ドパスフィルタが設けられてい る。 .
光センサ 4 6 は、 たとえばアバランシェフォ トダイオー ド ( A P D ) によ り構成することができ、 光増幅器 4 5 2からのレーザ光を 受光し 2光子吸収する。 光センサ 4 6は、 温度制御素子 (ここではペルチヱ素子 1 0 0 ) によ り一定温度に制御されている。 これによ り 、 S N比を大き くす るこ とができる。
周波数検出器 4 7は、光センサ 4 6 の出力信号に含まれる正弦波 成分を抽出して、 レーザ光 B 1 1 に含まれる第 1 レーザ光源 4 1 1 からコーナリ フ レクタ 4 2までの距離に対応する周波数成分を検 出する。
図 1 3では、 周波数検出器 4 7は、 制御装置 2に接続され、 制御 装置 2は、第 1 レーザ光源 4 0 1および第 2 レーザ光源 4 0 2に接 された電圧制御発振器 V c oを制御している。 , 《第 7実施例》 - 図 1 4は本発明の距離測定システムの第 7実施例を示す説明図 である。 図 1 4において、 距離測定システム 1 Cは、 光フ ァイバ一 の破断点までの距離を検出するもので、第 1.レーザ光源 5 0 1およ び第 2 レーザ光源 5 0 2 と、 光ファイバ一 5 1 と、 光分離器 (光サ ーキユ レータ) 5 3 と、 光力ブラ 5 4,と、 第 1光増幅器 5 5 1、 第 2光増幅器 5 5 2 と、 光センサ 5 6 と、 周波数検出器 5 7 とからな る。
第 1 レーザ光源 5 0 1 と第 2 レーザ光源 5 0 2は、何れも半導体 レーザを用いるこ とができる。 これらは異なる光周波数のレーザ光 を発生し、 2つの レーザ光は、 変調器 (V C O (電圧制御発振器) ) によ り 同一の変調周波数で変調される。第 1 レーザ光源 5 0 1 と第 2 レーザ光源 5 0 2は、 異なる周波数のレーザ光 B 1 0, B 2 0 を 出射する。本実施例では、第 1 レーザ光源 5 0 1 の周波数は (波 長 : 1 5 5 0 n m) であり、 第 1 レーザ光源 5 0 2 の周波数は f 2 (波長 2 : 1 5 5 2 n m ) である。 変調周波数は、 たとえば
1 M H z 〜 1 0 O M H z まで、 5 0 k H z ステップで掃引される。 光ファィバー 5 1 は、第 1 レーザ光源 5 0 1力、らのレーザ光 B 1
0 を始端よ り入射する。
光分離器 5 3は、 光ファイバ一 5 1の始端に設けられ、 光フアイ ノ^一 5 1 の終端において反射した当該終端側から始端側に向けて 伝播する反射レーザ光 B 1 2 1および光ファイバ一 5 1 が破断し ているときに当該破断点からの反射レーザ光 B 1 2 1からなる反 射レ一ザ光 B 1 1 を分離する。 光分離器 5 3 によ り分離された光は 第 1光増幅器 5 5 1 によ り増幅される。 なお図示はしないが、 第 1 光増幅 5 5 1 の後段にはバンドパスフィルタを設ける ことがで さる。
光力プラ 5 4は、第 2 レーザ光源 5 0 2力、らのレーザ光 B 2 0お よび光分離器 5 3からのレーザ光 B 1 1 を結合する。
第 2光増幅器 5 5 2 は、光力プラ 5 4からのレーザ光 B 3 を増幅 する。
光センサ 5 6 は、第 2光増幅器 5 5 2からのレーザ光を受光し 2 光子吸収する。 光センサ 5 6 は、 温度制御素子 (ここではペルチェ 素子 2 0 0 ) によ り一定温度に制御されている。 これによ り、 S N 比を大き くするこ とができる。
,周波数検出器 5 7は、光センサ 5 6 の出力信号に含まれる正弦波 成分を抽出.して、 レーザ光 B 1 1 に含まれる第 1 レーザ光源 5 0 1 から光ファイバ一 5 1 の終端までの距離に対応する周波数成分と、 第 1 レーザ光源 5 0 1 から破断点までの距離に対応する周波数成 分を検出する。 図 1 4では、 周波数検出器 3 7は、 制御装置 2 に接続され、 制御 装置 2は、第 1 レーザ光源 3 0 1および第 2 レーザ光源 3 0 2に接 続された電圧制御発振器を制御している。

Claims

請求の範囲
1 . レーザ光源と、
前記レーザ光源を始点と して空間にシリ アル状、 ッリ一状または 放射状に設定された経路上に複数配置された距離検出器と、
前記経路を返ってく る光を検出する光検出器と、
前記光検出器によ り検出された光を解析して前記レーザ光源と 前記各距離検出器までの距離を測定する距離測定器と、
を備えた距離測定システムであって、
前記各距離検出器は、
始点側に位置する距離検出器から入射した光の一部を反射に よ り 、または反射および屈折により 当該始点側に位置する距離検出 器に返し、 残り の一部を透過、 屈折または反射、 またはこれらの組 み合わせによ り先端側に位置する距離検出器に送り、
, 前記先端側に位置する距離検出器から返された光を透過、屈折 または反射、またはこれらの組み合わせによ り前記始点側に位置す る距離検出器を介して前記光検出器に返す、
ことを特徴とする距離測定システム。
2 . 前記経路を始点側に位置する距離検出器から先端側に位置す る距離検出器に向かう光と、前記経路を先端側に位置する距離検出 器から始端側に位置する距離検出器に向けて戻る光とが空間的に 分離しているこ とを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の距離測 定システ 。
3 . 前記経路を始点側に位置する距離検出器から先端側に向かう 光と、前記経路を先端側に位置する距離検出器から始端側に向けて 戻る光とが空間的に重なっていることを特徴とする請求の範囲第
1項に記載の距離測定システム。
4 . 前記距離検出器は、
始点側に位置する距離検出器から入射された光を当該距離検出 器に返すコーナリ フ レクタ、 および/または、
'先端側に位置する距離検出器から入射された光を半透鏡、 または さ らに反射鏡を介して始点側の距離検出器に返すコーナリ フ レタ タ、
からなる光学部材を備えていることを特徴とする請求の範囲第 1 項または第 2項に記載の距離測定システム。
5 . 前記経路の終端の距離検出器は、 始点側に位置する距離検出 器から入射した光の全部を反射によ り 当該始点側に位置する距離 検出器を介して前記光検出器に返すことを特徴とする請求の範囲 第 1項から第 4項の何れかに記載の距離測定システム。
6 . 前記距離測定器による検出結果を送信する送信機を備え、 前 記距離検出器の少なく と も 1つに光軸修正装置が設けられてなる 距離測定システムにおいて、
前記光軸修正装置は、
前記送信機からの前記検出結果を受信する受信機と、
前記受信機によ り受信した前記検.出結果に基づき、
先端側に位置する距離検出器に向けて出射される光が、 当該距 離検出器の入射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材を制御し、 かつ/または、
始端側に位置する距離検出器が出射する光が、光軸修正装置の 入射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材を制御する制御部と、 を備えたことを特徴とする請求の範囲第 1項から第 5項の何れか に記載の距離測定システム。
7 . 前記距離検出器が前記経路の終端の距離検出器である ときは、 始端側に位置する距離検出器が出射する光が、光軸修正装置の入 射可能ゾーンに照射されるよ う に光学部材を制御する、
こ とを特徴とする請求の範囲第 6項に記載の距離測定システム。
8 . 前記制御部は、
出射光軸または および入射光軸が所定の方位を向く よ うに 制御する光軸方位調整機構、 または Zおよび、
出射光軸が当該光軸の方位を変えずに当該光軸に垂直な面を 移動するよ うに制御する光軸位置調整機構を備えたことを特徴と する請求の範囲第 1項から第 7項の何れかに記載の距離測定シス テム。
9 . 前記制御部は、 距離検出器の入射部と.出射部とを別々に制御 することを特徴とする請求の範囲第 6項から第 8項の何れかに記 載の距離測定システム。 . ,
1 0 . 前記経路の一部が大気に開放して設定されてなる距離測定 システムであって、
複数の距離検出器間が光フアイバー光路により形成され、当該光 ファイバー光路の途中には距離検出器を有さないよ うに構成され た部分経路が、 全経路中に少なく と も 1つ設定され、
前記光フ.アイバー光路の端部は、それぞれ距離検出器と しても機 能するファイバーコ リ メータを介して大気に開放しているこ とを 特徴とする請求の範囲第 1項から第 9項の何れかに記載の距離測 定システム。
1 1 . 前記距離測定器は、
前記光検出器は、
変調信号を生成する変調装置と、
前記変調信号を入力して前記レーザ光源が発生する波長とは異 なる波長のレーザ光を発生する参照用レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光が光路を反射して戻つ てきたときの当該レーザ光を増幅する第 1光増幅器と、
前記第 1光増幅器から の レーザ光と、前記参照用 レーザ光源から のレーザ光とを結合する光力ブラ と、
前記光力ブラからのレーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 前記第 2光増幅器からの レーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
を備 ·、
前記距離測定器は、
前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 レーザ光源の光路を反射して戻ってく る光の反射位置に対応する 周波数成分を検出する周波数検出器と、
前記変調装置を制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする請求の範囲第 1項から第 1 0項の何れ かに記載の距離測定システム。
1 2 . 異なる光周波数のレーザ光を発生する第 1 レーザ光源およ び第 2 レーザ光源と、
前記 2つのレーザ光を同一の変調周波数で変調する変調器と、 前記第 1 レーザ光源から出射されたレーザ光が光路を反射して 戻ってきたとき の当該レーザ光を増幅する第 1光増幅器と、 '前記第 1光増幅器からの レーザ光と、前記第 2 レーザ光源からの レーザ光とを結合する光力ブラ と、
前記光力ブラからの レーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 前記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 第 1 レーザ光源の光路を反射して戻ってく る光の反射位置に対応 する周波数成分を検出する周波数検出器と、
前記変調器を制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする距離測定システム。
1 3 . 異なる光周波数のレーザ光を発生する第 1 レーザ光源およ び第 2 レーザ光源と、
前記 2 つの レーザ光を同一の変調周波数で変調する変調器と、 前記第 1 レーザ光源からのレーザ光を空間経路に出射する第 1 光ファイ ノ ーファイ ノ コ リ メータと、
前記第 1光ファイバ一ファイバコ 1 J メータから出射されたレー ザ光の空間光路の終端に設けられたコーナキューブと、
前記コーナキューブから反射されるレーザ光をフ ァイバー光路 に取り込む第 2 フ ァイバーコ リ メータ と、
前記第 2 フ ァイバーコ リ メータからの レーザ光を増幅する第 1 光増幅器と、
前記第 2 レーザ光源からの レーザ光および前記第 1光増幅器か らのレーザ光を結合する光力ブラと、
前記光力ブラからのレーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 前記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、
前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 第 1 レーザ光源の光路を反射して戻ってく る光の反射位置に対応 する周波数成分を検出する周波数検出器と、
少なく とも前記変調器を制御する制御装置と.、
を備えたことを特徴とする距離測定システム。
1 . 光ファイバ一の少なく とも 1 つの破断点を検出する距離測 定システム (光ファイバ一破断点検出装置) であって、
異なる光周波数のレーザ光を発生する第 1 レーザ光源および第 2 レーザ光源と、 - '前記 2 つの レーザ光を同一の変調周波数で変調する変調器と、 前記第 1 レーザ光源からのレーザ光を始端よ り入射する前記光 ファイバーと、
前記光ファイバ一の始端に設けられ、前記第 1 レーザ光源から前 記光ファイバ一の終端側に向けて伝播するレーザ光と、前記光ファ ィバーの終端側から始端側に向けて伝播する レーザ光とを分離す る光サーキユ レータ と、
前記光サーキユ レータからの レーザ光を増幅する第 1光増幅器 と、
前記第 2 レーザ光源からのレーザ光および前記第 1光増幅器か らのレーザ光を結合する光力ブラと、
前記光力ブラからの レーザ光を増幅する第 2光増幅器と、 前記第 2光増幅器からのレーザ光を受光し 2光子吸収によ り電 気出力を発生する光検出器と、 前記光検出器の出力信号に含まれる正弦波成分を抽出して、前記 第 1 レーザ光源から前記破断点までの距離に対応する周波数成分 を検出する周波数検出器と、
を備えたことを特徴とする距離測定システム。
1 5 . 前記第 1 レーザ光源および前記第 2 レーザ光源は半導体レ —ザからなり、前記変調器は電圧制御発振器によ り前記半導体レー ザを直接変調し、かつ変調周波数を掃引する構成を備えたこ とを特 徴とする請求の範囲第 1 2項から第 1 4項の何れかに記載の距離 測定システム。
1 6 . 前記光検出器は温度制御されるこ とを特徴とする請求の範 囲第 1 2項から第 1 5項の何れかに記載の距離測定システム。
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