JP5180594B2 - 干渉計 - Google Patents
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Description
レーザビームを発生する光源と、
前記光源からのレーザビームを測定ビームと参照ビームに分岐させて、再帰ミラーに向けて出射するとともに、前記再帰ミラーで反射した測定ビームと参照ビームを合成して、合成ビームを出射する台形型偏光ビームスプリッタと、
前記台形型偏光ビームスプリッタに相対向して配置され、入射した測定ビームと参照ビームをそれぞれ入射した経路とは異なる経路で前記台形型偏光ビームスプリッタに向けて反射させる再帰ミラーと、
前記台形型偏光ビームスプリッタと再帰ミラーとを連結するとともに、前記参照ビームの光路を形成する真空容器と、
前記台形型偏光ビームスプリッタから出射した合成ビームを受光し、受光した合成ビームを基に前記測定ビームと参照ビームの干渉に伴う測定を行う計測器とを備え、
前記レーザビームが前記測定ビームと前記参照ビームに分岐する分岐点と、前記再帰ミラーで反射した測定ビームと参照ビームが合成ビームに合成される合成点とを結ぶ光路のうち、前記測定ビームの光路と前記参照ビームの光路は、同一の光路長に設定されてなる、干渉計であって、
前記台形型偏光ビームスプリッタは、直角三角形部と、当該直角三角形部の斜辺にその一辺が接合された平行四辺形部との結合により、その周囲に台形形状の四辺が形成され、
前記直角三角形部と前記平行四辺形部との接合による接合面の一部は、前記光源からのレーザビームを透過光としての測定ビームと反射光としての参照ビームに分岐させる第1の半透過部を構成し、
前記接合面に対して45度傾斜した第1の辺は、前記第1の半透過部で分岐された測定ビームと参照ビームを前記再帰ミラーに向けて出射する出射面を構成し、
前記直角三角形部の一辺であって、前記第1の辺と直交する第2の辺は、前記光源からのレーザビームを透過する入射面を構成し、
前記平行四辺形部の一辺であって、前記接合面と平行な第3の辺は、前記接合面を透過した測定ビームを前記第1の辺から前記再帰ミラーの入出射面に向けて反射させるとともに、前記真空容器から前記第1の辺を介して入射した参照ビームを前記接合面側に反射させる反射面を構成し、
前記接合面の他の部位は、前記第3の辺で反射した参照ビームを前記第1の辺と平行な第4の辺側に反射させ、前記再帰ミラーから前記第1の辺に入射した測定ビームを前記第4の辺側に透過し、前記参照ビームと測定ビームを合成して合成ビームを生成する第2の半透過部を構成し、
前記平行四辺形部の一辺であって、前記第4の辺は、前記第2の透過部から合成ビームを前記計測器に向けて出射する出射面を構成し、
前記再帰ミラーは、直角三角形形状に形成されて、その斜辺が、前記台形型偏光ビームスプリッタの第1の辺と平行になって配置され、
前記再帰ミラーの斜辺のうち前記真空容器と相対向する中心部は、前記参照ビームの入出射面を構成し、前記再帰ミラーの斜辺のうち前記中心部から外れた部位は、前記測定ビームの入出射面を構成し、
前記再帰ミラーの残りの二辺のうち一方の反射面は、前記入出射面から入射した測定ビームを他方の反射面に反射させるとともに、前記入出射面から入射して他方の反射面で反射した参照ビームを前記真空容器側へ反射させる第1のミラー反射面を構成し、
前記再帰ミラーの他方の反射面は、前記第1のミラー反射面で反射した測定ビームを前記真空容器から外れた領域を介して前記第1の辺側へ反射させるとともに、前記入出射面から入射した参照ビームを前記第1のミラー反射面側に反射させる第2のミラー反射面を構成してなる構成とした。
再帰ミラー18で反射した測定ビーム102と参照ビーム104のうち測定ビーム102は、辺14bから接合面26に入射し、参照ビーム104は辺14bから辺14dに入射する。
12 光源
14 台形型偏光ビームスプリッタ
16 真空容器
18 再帰ミラー
20 計測器
100 レーザビーム
102 測定ビーム
104 参照ビーム
106 合成ビーム
Claims (1)
- レーザビームを発生する光源と、
前記光源からのレーザビームを測定ビームと参照ビームに分岐させて、再帰ミラーに向けて出射するとともに、前記再帰ミラーで反射した測定ビームと参照ビームを合成して、合成ビームを出射する台形型偏光ビームスプリッタと、
前記台形型偏光ビームスプリッタに相対向して配置され、入射した測定ビームと参照ビームをそれぞれ入射した経路とは異なる経路で前記台形型偏光ビームスプリッタに向けて反射させる再帰ミラーと、
前記台形型偏光ビームスプリッタと再帰ミラーとを連結するとともに、前記参照ビームの光路を形成する真空容器と、
前記台形型偏光ビームスプリッタから出射した合成ビームを受光し、受光した合成ビームを基に前記測定ビームと参照ビームの干渉に伴う測定を行う計測器とを備え、
前記レーザビームが前記測定ビームと前記参照ビームに分岐する分岐点と、前記再帰ミラーで反射した測定ビームと参照ビームが合成ビームに合成される合成点とを結ぶ光路のうち、前記測定ビームの光路と前記参照ビームの光路は、同一の光路長に設定されてなる、干渉計であって、
前記台形型偏光ビームスプリッタは、直角三角形部と、当該直角三角形部の斜辺にその一辺が接合された平行四辺形部との結合により、その周囲に台形形状の四辺が形成され、
前記直角三角形部と前記平行四辺形部との接合による接合面の一部は、前記光源からのレーザビームを透過光としての測定ビームと反射光としての参照ビームに分岐させる第1の半透過部を構成し、
前記接合面に対して45度傾斜した第1の辺は、前記第1の半透過部で分岐された測定ビームと参照ビームを前記再帰ミラーに向けて出射する出射面を構成し、
前記直角三角形部の一辺であって、前記第1の辺と直交する第2の辺は、前記光源からのレーザビームを透過する入射面を構成し、
前記平行四辺形部の一辺であって、前記接合面と平行な第3の辺は、前記接合面を透過した測定ビームを前記第1の辺から前記再帰ミラーの入出射面に向けて反射させるとともに、前記真空容器から前記第1の辺を介して入射した参照ビームを前記接合面側に反射させる反射面を構成し、
前記接合面の他の部位は、前記第3の辺で反射した参照ビームを前記第1の辺と平行な第4の辺側に反射させ、前記再帰ミラーから前記第1の辺に入射した測定ビームを前記第4の辺側に透過し、前記参照ビームと測定ビームを合成して合成ビームを生成する第2の半透過部を構成し、
前記平行四辺形部の一辺であって、前記第4の辺は、前記第2の透過部から合成ビームを前記計測器に向けて出射する出射面を構成し、
前記再帰ミラーは、直角三角形形状に形成されて、その斜辺が、前記台形型偏光ビームスプリッタの第1の辺と平行になって配置され、
前記再帰ミラーの斜辺のうち前記真空容器と相対向する中心部は、前記参照ビームの入出射面を構成し、前記再帰ミラーの斜辺のうち前記中心部から外れた部位は、前記測定ビームの入出射面を構成し、
前記再帰ミラーの残りの二辺のうち一方の反射面は、前記入出射面から入射した測定ビームを他方の反射面に反射させるとともに、前記入出射面から入射して他方の反射面で反射した参照ビームを前記真空容器側へ反射させる第1のミラー反射面を構成し、
前記再帰ミラーの他方の反射面は、前記第1のミラー反射面で反射した測定ビームを前記真空容器から外れた領域を介して前記第1の辺側へ反射させるとともに、前記入出射面から入射した参照ビームを前記第1のミラー反射面側に反射させる第2のミラー反射面を構成してなることを特徴とする干渉計。
Priority Applications (1)
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JP2008000925A JP5180594B2 (ja) | 2008-01-08 | 2008-01-08 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008000925A JP5180594B2 (ja) | 2008-01-08 | 2008-01-08 | 干渉計 |
Publications (2)
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JP5180594B2 true JP5180594B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=40965412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008000925A Active JP5180594B2 (ja) | 2008-01-08 | 2008-01-08 | 干渉計 |
Country Status (1)
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